KR20140142433A - 플렉서블 기판의 제조방법 - Google Patents

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KR20140142433A
KR20140142433A KR1020130063722A KR20130063722A KR20140142433A KR 20140142433 A KR20140142433 A KR 20140142433A KR 1020130063722 A KR1020130063722 A KR 1020130063722A KR 20130063722 A KR20130063722 A KR 20130063722A KR 20140142433 A KR20140142433 A KR 20140142433A
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서명희
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 공정의 생산성 및 효율성을 증대시킬 수 있는 플렉서블 기판의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 플렉서블 기판의 제조방법은, 원장기판을 준비하는 제1단계와, 상기 원장기판의 상부로 플렉서블 필름을 부착하는 제2단계와, 상기 플렉서블 필름이 부착된 원장기판을 레이저유닛을 적용하여 셀 단위로 절단함으로써 셀 기판으로 개별화하는 제3단계 및 상기 셀 기판에 부착된 플렉서블 필름의 모서리를 레이저유닛을 적용하여 모따기 가공하는 제4단계를 포함한다.

Description

플렉서블 기판의 제조방법{Manufacturing method of flexible substrate}
본 발명은 플렉서블 기판의 제조방법에 관한 것으로, 제조 공정시간을 단축하며 공정의 효율성을 높일 수 있는 플렉서블 기판의 제조방법에 관한 것이다.
근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 여러 가지 다양한 평판표시장치가 개발되어 각광받고 있다.
이 같은 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device : PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device : FED), 전기발광표시장치(Electroluminescence Display device : ELD) 등을 들 수 있는데, 이들 평판표시장치는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 보여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
한편, 이러한 평판표시장치는 제조 공정 중 발생하는 높은 열을 견딜 수 있도록 유리기판을 사용하므로 경량 박형화 및 유연성을 부여하는데 한계가 있다.
따라서 최근 기존의 유연성이 없는 유리기판 대신에 플라스틱 등과 같이 유연성 있는 재료를 사용하여 종이처럼 휘어져도 표시성능을 그대로 유지할 수 있게 제조된 플렉서블(flexible) 표시장치가 차세대 평판표시장치로 급부상중이다.
이러한 플렉서블 표시장치를 제조하기 위해서는, 대면적의 플렉서블 기판 상에 박막트랜지스터(TFT)와 유기발광다이오드와 같은 표시소자를 단위 셀 영역마다 형성하는 표시소자 형성공정을 진행한 후 셀 단위로 기판을 절단하는 절단 공정이 요구되는데, 플렉서블 기판은 잘 휘어지는 특성 때문에 유리 또는 석영재질의 베이스기판 상에 플렉서블 기판을 부착하고, 셀 단위로 절단한 후 베이스기판으로부터 플렉서블 기판을 분리하는 기술이 요구된다.
일반적으로 절단 공정은 스크라이빙장치라고도 불리는 기판 절단 시스템을 통해 이루어지는데, 기판 절단 시스템은 절단 휠(wheel)을 사용하여 셀 영역별로 스크라이빙(scribing)해서 선 모양의 흠집을 내는 스크라이빙유닛(scribing unit)과, 흠집을 따라 대면적 기판을 실질적으로 절단하여 다수의 단위기판으로 형성하는 브레이킹유닛(breaking unit)으로 나뉘게 된다.
이때, 휠을 사용하여 기판을 절단하게 되면, 기판과 절단 휠 사이의 물리적인 접촉면에서 미세한 크랙이 발생하게 된다. 이러한 크랙들은 표시장치 구현 시 기판의 파손 및 깨짐의 원인이 되며 불량을 야기시킨다.
한편, 최근에는 표시장치가 TV 또는 모니터뿐만 아니라 휴대폰, PDA 등 개인 휴대용 전자기기에도 활발하게 적용되고 있는데, 이러한 소형 표시장치의 경우 경량 및 박형이면서 그리고 표시영역은 넓게 그리고 표시영역 이외의 비표시영역인 베젤(bezel)영역은 가능한 작게 형성하는 것뿐만 아니라 사용자의 취향에 맞는 다양한 사이즈와 라운드 처리된 모서리를 가지는 미려한 디자인이 요구되고 있다.
이때, 휠을 적용하면 미세한 크랙으로 인해 네로우 베젤을 구현하기가 어려우며, 셀 크기가 작아질수록 또는 모서리가 라운드 처리된 경우에는 휠을 적용하기가 어렵기 때문에 플렉서블 기판을 별도의 공정을 거쳐 복수의 단위 셀로 절단한 후에 복수의 단위 셀을 베이스기판 상에 각각 부착하는 복잡하고 어려운 제조공정을 거치게 된다. 이로 인해, 공정비용을 늘어나고 생산성 및 효율성이 저하되는 문제점이 있다.
특히, 라운드 정도를 나타내는 곡면각(curved surface angle) 일정 곡면각 이하로 제작할 수 없는 한계가 있어 사용자의 요구에 부응하는 디자인을 제공할 수 없는 문제점이 있다.
이에 따라 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 셀 크기 및 곡면각에 제한을 가지지 않는 플렉서블 기판의 제조방법을 제공하고자 하는 것을 제1목적으로 한다.
이를 통해, 경량, 박형 및 네로우 베젤을 가지는 플렉서플 표시장치를 제작하는데 기여하는 것을 제2목적으로 한다.
또한, 공정비용을 절감하고 생산성 및 효율성을 증가시키는 것을 제 3 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플렉서블 기판의 제조방법은, 원장기판을 준비하는 제1단계와; 상기 원장기판의 상부로 플렉서블 필름을 부착하는 제2단계와; 상기 플렉서블 필름이 부착된 원장기판을 레이저유닛을 적용하여 셀 단위로 절단함으로써 셀 기판으로 개별화하는 제3단계 및 상기 셀 기판에 부착된 플렉서블 필름의 모서리를 레이저유닛을 적용하여 모따기 가공하는 제4단계를 포함한다.
이때, 상기 제4단계 후에, 상기 모따기 가공된 플렉서블 필름을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1단계 전에, 상기 플렉서블 필름 상의 복수의 단위 셀 영역마다 표시소자를 형성하는 표시소자 형성공정을 진행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 레이저유닛은 Nd:YAG(neodymium doped yttrium aluminum garnet) 레이저유닛, Nd:YVO4(neodymium doped yttrium orthovanadate) 레이저유닛, Nd:YLF(neodymium doped yttrium lithium fluoride) 레이저유닛 및 피코초(picosecond) 레이저유닛 중 하나에 해당되는 것을 특징으로 한다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 플렉서블 필름이 부착된 원장기판을 셀 단위로 절단하고, 셀 단위로 절단된 셀 기판 상의 필름의 모서리만 라운드 컷팅함으로써 보다 간편하게 플렉서블 기판을 제조할 수 있게 된다. 이로 인해 공정비용을 절감하고, 공정의 생산성 및 효율성을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 레이저 빔을 조사하여 절단 공정을 진행함으로써 종래 휠을 적용하여 직접 접촉함에 따라 발생되던 문제점을 해결하며 네로우 베젤을 구현할 수 있는 효과가 있다.
특히, 셀 사이즈와 곡면각에 제한 없이 플렉서블 기판을 제조할 수 있어 경량, 박형 및 네로우 베젤(narrow bezel)을 가지는 동시에 사용자의 요구에 부응하는 미려한 디자인을 가지는 다양한 플렉서블 표시장치를 제작할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 일반적인 플렉서블 표시장치의 플렉서블 기판에 대한 내부 구조를 보여주는 단면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉서블 표시기판의 제조공정을 공정순서에 따라 나타낸 흐름도.
도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉서블 기판의 제조 단계별 공정을 설명하기 위한 도면.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 일반적인 플렉서블 표시장치의 플렉서블 기판에 대한 내부 구조를 보여주는 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 플렉서블 기판(112)은 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기발광다이오드(E)를 구비한다.
플렉서블 기판(112)의 상부에는 각 화소영역(P) 별로 스위칭(switching) 박막트랜지스터(미도시)와 구동(driving) 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있고, 각각의 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결되는 제 1 전극(211)과 제 1 전극(211)의 상부에 위치하며 특정한 색의 빛을 발광하는 유기발광층(213), 유기발광층(213)의 상부에 위치하는 제 2 전극(215)으로 이루어지는 유기발광다이오드(E)가 형성된다.
여기서, 구동 박막트랜지스터(DTr)는 게이트전극(207)과 반도체층(203) 그리고 소스 및 드레인전극(219a, 219b)으로 이루어진다.
이때, 구동 박막트랜지스터(DTr)는 폴리실리콘 반도체층을 포함하여 탑 게이트(top gate) 타입이거나, 순수 및 불순물의 비정질질실리콘으로 이루어진 반도체층을 포함하여 보텀 케이트(bottom gate) 타입으로 형성할 수 있다.
여기서, 탑게이트 타입의 구동 박막트랜지스터(DTr)를 일예로 설명하면, 반도체층(203)은 폴리실리콘으로 이루어지며 그 중앙부는 채널을 이루는 액티브영역(203a) 그리고 액티브영역(203a) 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(203b, 203c)으로 구성되며, 이러한 반도체층(203) 상부로는 게이트절연막(205)이 형성되어 있다.
게이트절연막(205) 상부로는 반도체층(203)의 액티브영역(203a)에 대응하여 게이트전극(207)이 형성되어 있으며, 도면에 나타나지는 않았지만 게이트전극(207)과 연결되며 일방향으로 연장하는 게이트배선이 형성되어 있다.
그리고, 게이트전극(207)의 상부 전면에는 층간절연막(209a)이 형성되어 있으며, 이때 층간절연막(209a)과 그 하부의 게이트절연막(205)은 액티브영역(203a)의 양측면에 위치한 소스 및 드레인영역(203b, 203c)을 각각 노출시키는 반도체층 콘택홀(202)을 구비한다.
다음으로, 반도체층 콘택홀(202)을 포함하는 층간절연막(209a) 상부로는 서로 이격하며 반도체층 콘택홀(202)을 통해 노출된 소스 및 드레인영역(203b, 203c)과 각각 접촉하는 소스 및 드레인 전극(219a, 219b)이 형성되어 있다.
그리고, 소스 및 드레인전극(219a, 219b)과 이들 사이로 노출된 층간절연막(209a) 상부로 보호막(209b)이 형성되는데, 보호막(209b)은 드레인전극(219b)을 노출시키는 드레인콘택홀(217)을 갖는다.
이때 도면에 나타나지 않았지만, 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 구동 박막트랜지스터(DTr)와 동일한 구조로, 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결된다.
또한, 보호막(209b) 상부의 실질적으로 화상을 표시하는 영역에는 유기발광 다이오드(E)를 구성하는 제 1 전극(211)과 유기발광층(213) 그리고 제 2 전극(215)이 순차적으로 형성되어 있다.
유기발광층(213)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입막(hole injection layer), 정공수송막(hole transporting layer), 발광막(emitting material layer), 전자수송막(electron transporting layer) 및 전자주입막(electron injection layer)의 다중층으로 구성될 수도 있다.
한편, 상기 제 1 전극(211)은 각 화소영역(P) 별로 형성되는데, 각 화소영역(P) 별로 형성된 제 1 전극(211) 사이의 비화소영역(미도시)에는 뱅크(bank)가 위치할 수 있다. 이러한 뱅크(미도시)를 각 화소영역(P) 별 경계부로 하여 제 1 전극(211)이 화소영역(P) 별로 분리된 구조를 가지게 된다.
또한 제 1 전극(211)은 보호막(209b)의 드레인콘택홀(217)을 통해 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(219b)과 연결된다.
한편 도면에 도시하지는 않았지만, 제2전극(215)의 상부로는 유기발광층(213)으로 수분이나 산소가 침투되지 않도록 하는 봉지층이 형성됨이 바람직하다.
이러한 플렉서블 기판(112)은 빛이 출사되는 방향에 따라 상부발광방식(top emission type)과 하부발광방식(bottom emission type)으로 나뉜다.
상부발광방식은, 제2전극(215)을 투명하게 하여 유기발광층(213)으로부터의 빛이 제2전극(215)을 통과하여 나오게 되고, 하부발광방식은, 제1전극(211)을 투명하게 하여 유기발광층(213)으로부터의 빛이 제1전극(211)을 통과하여 나오게 된다.
이때 상부발광방식에서는, 제2전극(215)을 투명도전물질인 ITO로 형성하고, 제1전극(211)을 알루미늄과 같은 금속물질로 형성하여, 유기발광층(213)으로부터의 빛이 제2전극(215)을 통과하여 나오도록 할 수 있다.
그리고 하부발광방식에서는, 제1전극(211)을 투명도전물질인 ITO로 형성하고, 제2전극(215)을 알루미늄과 같은 금속물질로 형성하여, 유기발광층(213)으로부터의 빛이 제1전극(211)을 통과하여 나오도록 할 수 있다.
전술한 구성을 가지는 플렉서블 기판(112)은, 선택된 색 신호에 따라 제 1 전극(211)과 제 2 전극(215)으로 소정의 전압이 인가되면, 일례로 제1전극(211)이 음극(cathode)이고, 제2전극(215)이 양극(anode)일 시에 제 1 전극(211)으로부터 주입된 전자와 제 2 전극(215)으로부터 인가된 정공(hole)이 유기발광층(213)으로 수송되어 엑시톤(exciton)을 이루고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 천이 될 때 빛이 발생되어 가시광선의 형태로 방출된다.
이와 같은 플렉서블 기판(112)을 적용한 플렉서블 표시장치는, 발광된 빛을 통해 임의의 화상을 구현하게 된다
이와 같은 플렉서블 기판을 적용함으로써 경량 및 박형의 플렉서블 표시장치를 제작할 수 있게 된다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 기판 제조공정을 공정순서에 따라 나타낸 흐름도이고, 도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉서블 기판의 제조 단계별 공정을 설명하기 위한 도면이다.
여기서, 설명의 편의를 위해 플렉서블 필름이 부착된 원장기판을 셀 단위로 절단하여 형성된 기판을 셀 기판이라 하고, 셀 기판 중 절단된 원장기판을 베이스기판이라 하며, 셀 기판 중 절단된 플렉서블 필름을 단위 필름이라 정의한다.
도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 기판 제조 공정은 크게 원장기판 준비 공정(st10), 플렉서블 필름 부착 공정(st20) 및 절단 공정(st30), 박리 공정(st40)으로 나뉠 수 있다.
우선, 도 3a에 도시된 바와 같이 대면적의 원장기판(110)을 준비하여 원장기판 준비 공정(st10)을 진행한다.
상기 원장기판(110)은 지지기판의 역할을 하는 것으로, 후에 설명할 플렉서블 필름(120)의 배면에서 플렉서블 필름(120)이 공정 중에 쉽게 휘거나 뒤틀리지 않고 그 형태가 고정되도록 플렉서블 필름(120)을 안정적으로 지지하는 역할을 한다. 이러한 원장기판(110)을 통해 플렉서블 필름(120)의 취급이 용이해지며 후속 공정이 보다 정밀하고 안정적으로 진행될 수 있다.
이때, 원장기판(110)은 투명하면서 내열성이 우수한 판상의 유리 또는 석영 등의 투명 무기 성형물로 이루어질 수 있고, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate:PET), 폴리카보네이트(polycarbonate:PC) 또는 폴리염화비닐(polyvinyl chloride:PVC) 등의 투명 유기 고분자 성형물로 이루어질 수도 있다.
이러한, 원장기판(110)에는 얼라인하기 위한 얼라인 마크(M)가 형성되어 있다.
이어 도 3b에 도시된 바와 같이, 원장기판(110)의 상부로 플렉서블 필름(120)을 위치시킨 후 원장기판(110) 상의 얼라인 마크(M)를 통해 플렉서블 필름(120)을 원장기판(110)에 부착함으로써 플렉서블 필름 부착 공정(st20)을 진행한다.
여기서, 플렉시블(flexibility) 필름(120)은 형태를 자유자재로 변형시킬 수 있는 유연한 특성을 가지는 것으로, 폴리 에테르 술폰(Polyethersulfone:PES), 폴리 에틸렌 나프탈레이트(polyethylenenaphthalate:PEN), 폴리 에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate:PET), 폴리 카보네이트(polycarbonate: PC), 폴리염화비닐(polyvinyl chloride:PVC), 스테인레스 스틸(stainless steel), 폴리 이미드(polyimide : PI) 중에서 선택된 적어도 하나 물질로 이루어질 수 있다.
이때, 플렉서블 필름(120)은 원장기판(110)에 대응하여 대면적을 가지며, 복수의 단위 필름(도 3c의 120a)을 구성하도록 하는 복수의 단위 필름 영역(A)과, 복수의 단위 표시 필름 영역(A)을 경계 짓는 경계영역(B)으로 구분할 수 있는데, 이후 후속공정인 절단 공정(st30)을 통해 경계영역(B)을 절단함으로써 복수의 단위 필름(도 3c의 120a)을 제조할 수 있게 된다.
한편, 상기 플렉서블 필름(120)은 선행공정인 표시소자 형성공정이 이루어진 상태로, 표시소자 형성공정은 플렉서블 필름(120) 상의 복수의 단위 필름 영역(A) 마다 표시장치를 구성하기 위한 각종 구성요소 예를들면 박막트랜지스터, 화소전극, 게이트 및 데이터 배선, 컬러필터층 등 화상표시를 위한 구성요소들을 형성하는 공정이다.
일예로 플렉서블 표시장치가 최종적으로, 도 1과 마찬가지로 유기발광다이오드(organic light emitting diode:OLED) 표시장치를 이루게 되는 경우, 표시소자 형성공정을 통해 구동 및 스위칭 박막트랜지스터와 제 1및 제 2 전극과 유기발광층으로 이루어지는 유기발광 다이오드를 형성하게 된다.
다음으로 절단 공정(st30)을 진행하는데, 절단 공정(st30)은 셀 단위로 원장기판을 절단하는 공정(st31)과 셀 기판(130)에 부착된 필름의 모서리를 라운드 컷팅하는 공정(st32)으로 나뉜다
우선 도 3c에 도시된 바와 같이, 플렉서블 필름(120)이 부착된 원장기판(110)을 셀 단위 별로 절단하여 베이스기판(110a)과 이의 상부에 단위 필름(120a)으로 이루어지는 셀 기판(130)으로 개별화함으로써 셀 단위로 원장기판을 절단하는 공정(st31)을 진행한다.
이때, 플렉서블 필름(120)이 부착된 원장기판(110)의 경계영역(B)에 레이저유닛을 통해 레이저 빔을 조사하여 절단 공정을 진행함으로써 사각형 또는 직사각형 형태를 가지는 복수의 셀 기판(130)을 형성한다.
이어 도 3d에 도시된 바와 같이, 셀 기판(130)에 부착된 단위 필름(120a)에 레이저유닛(300)을 통해 레이저 빔을 조사하여 모따기(chamfering) 가공을 진행함으로써 셀 기판(130)에 부착된 필름(120a)의 모서리를 라운드 컷팅(cutting)하는 공정(st32)을 진행한다.
이때, 베이스기판(110a)과 이의 상부에 부착된 단위 필름(120a)으로 구성된 셀 기판(130) 전체에 모따기 가공을 하는 것이 아니라 베이스기판(110a) 상부의 단위 필름(120a)에만 모따기(chamfering) 가공을 진행함으로써 보다 쉽게 라운드 처리된 단위 필름(120b)을 완성할 수 있게 된다.
한편, 레이저유닛(300)은 레이저 빔을 발생시키는 레이저발생기와, 레이저발생기에서 가공되지 않은 채로 방출된 초기 레이저광의 에너지를 조절하고 집속시키며 가공하는 광감쇠기(optical attenuator), 빔쉐이퍼(beam shaper), 빔익스팬더(beam expander), 필드 렌즈(field lens)를 포함하여 구성될 수 있다.
이러한 레이저유닛(300)은 Nd:YAG(neodymium doped yttrium aluminum garnet) 레이저유닛, Nd:YVO4(neodymium doped yttrium orthovanadate) 레이저유닛, Nd:YLF(neodymium doped yttrium lithium fluoride) 레이저유닛 및 피코초(picosecond) 레이저유닛 중 하나에 해당될 수 있다.
이러한 레이저유닛(300)은, 종래 절단 공정에서 휠을 적용하여 플렉서블 기판에 직접 접촉함에 따라 발생되던 크랙(crack) 및 파손을 방지하며 간접 접촉에 의해 취성이 약한 플렉서블 기판을 보호하며 절단 공정을 진행할 수 있게 한다.
종래에는 셀 사이즈의 변경 또는 라운드 컷팅으로 인해 복수의 단위 필름을 별도로 제작한 후 원장기판에 각각 부착함으로써 부착시간이 오래 걸리며 이로 인해 생산성 및 효율성이 저하되었는데, 본 발명에서는 셀 사이즈와 라운드 컷팅에 상관없이 절단 공정에서 셀 단위의 셀 기판을 형성하고, 셀 기판 상의 단위 필름에 모따기 가공을 진행함으로써 공정시간을 줄이며 생산성 및 효율성을 높일 수 있는 이점이 있다.
또한, 종래에는 기판과 함께 필름을 라운드 컷팅함에 따라 곡면각에 제한이 있었지만, 본 발명에서는 필름만 라운드 컷팅함에 따라 곡면각에 구애를 받지 않는 이점이 있다.
마지막으로 박리 공정(st40)을 진행하는데, 도 3e에 도시된 바와 같이 셀 기판(130)의 베이스기판(110a)으로부터 모따기된 단위 필름(120b)을 분리해 냄으로써 플렉서블 표시장치의 플렉서블 기판을 완성한다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 제조공정에 따르면, 셀 사이즈 및 곡면각에 제한을 받지 않으며 보다 쉬운 공정을 통해 플렉서블 기판을 제작할 수 있기 때문에 생산성 및 효율성을 증대시킬 수 있게 된다.
이를 통해 경량, 박형 및 네로우 베젤을 가지는 플렉서블 표시장치를 제작할 수 있게 되는데, 특히 사용자의 다양한 취향에 맞춰 표시영역의 사이즈를 다양하게 함과 동시에 곡면각(curved surface angle)도 자유자재로 조절하여 다양한 디자인을 가지는 플렉서블 표시장치를 구현할 수 있게 된다.
이상과 같은 본 발명의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 자유로운 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 첨부된 특허청구범위 및 이와 균등한 범위 내에서의 본 발명의 변형을 포함한다.
110: 원장기판 120: 플렉서블 필름
130: 셀 기판 120b: 단위 필름

Claims (4)

  1. 원장기판을 준비하는 제1단계와;
    상기 원장기판의 상부로 플렉서블 필름을 부착하는 제2단계와;
    상기 플렉서블 필름이 부착된 원장기판을 레이저유닛을 적용하여 셀 단위로 절단함으로써 셀 기판으로 개별화하는 제3단계 및
    상기 셀 기판에 부착된 플렉서블 필름의 모서리를 레이저유닛을 적용하여 모따기 가공하는 제4단계를 포함하는 플렉서블 기판의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제4단계 후에, 상기 모따기 가공된 플렉서블 필름을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1단계 전에,
    상기 플렉서블 필름 상의 복수의 단위 셀 영역마다 표시소자를 형성하는 표시소자 형성공정을 진행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 레이저유닛은
    Nd:YAG(neodymium doped yttrium aluminum garnet) 레이저유닛, Nd:YVO4(neodymium doped yttrium orthovanadate) 레이저유닛, Nd:YLF(neodymium doped yttrium lithium fluoride) 레이저유닛 및 피코초(picosecond) 레이저유닛 중 하나에 해당되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 기판의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112317969A (zh) * 2020-09-16 2021-02-05 东莞康源电子有限公司 高精度的激光切割fpc直边工艺方法

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