KR20140138063A - Self-diagnosis of machine and method for precision calibration of machine - Google Patents

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나카무라 토메 세이미쓰고교 가부시키가이샤
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Abstract

The present invention relates to a self-diagnosis method for preventing malfunctioning attributable for machine tool deformation or component wear in a machine provided with a camera therein and a method for calibrating processing precision reduction attributable to deformation or loosening detected by the diagnosis. When a machine operation time or work processing number reaches a registered gap, a rotation table or a transport table and the camera in the machine are moved to a measurement position, an image is acquired, the position of a detection target site is detected from the image, and polarization from the original position is detected. This is repeated multiple times to obtain a plurality of polarizations and a calibration value in each control axis direction of a table or the transport table is calculated so as to update the calibration value set in a controller. Warning is issued and the machine is stopped when the difference between the plurality of detected or calculated polarizations or between the calibration values exceeds a threshold.

Description

기계의 자기 진단 및 기계 정밀도의 보정 방법{SELF-DIAGNOSIS OF MACHINE AND METHOD FOR PRECISION CALIBRATION OF MACHINE}[0001] SELF-DIAGNOSIS OF MACHINE AND METHOD FOR PRECISION CALIBRATION OF MACHINE [0002]

본 발명은, 공작기계의 변형이나 부품의 마모 등에 의한 고장을 예방하기 위한 자기 진단 방법 및 상기 진단에 의해 검출한 변형이나 마모에 의한 가공 정밀도의 저하를 보정하는 방법에 관한 것으로, 특히, 기계 내부에 카메라를 구비한 공작기계에 있어서의 상기 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a self-diagnosis method for preventing a failure due to deformation of a machine tool or wear of a part, and a method for correcting degradation of machining accuracy due to deformation or wear detected by the above diagnosis, To a method for such a machine tool.

공작기계에는, 기계에 반입된 소재의 자세를 검출하거나, 기계 동작을 감시하는 목적으로, 기계 내부에 소재나 가공부를 촬영하는 카메라를 구비한 것이 실용화되어 있다.BACKGROUND ART A machine tool is provided with a camera for photographing a material or a machined portion inside a machine for the purpose of detecting the attitude of the material brought into the machine or monitoring the machine operation.

도 7 및 도 8은, 소재의 반입 자세를 검출하는 카메라를 구비한 유리판의 주연(周緣) 가공 장치의 예를 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 7은, 텔레비전 수상기의 디스플레이 패널에 이용하는 것과 같은 대형 유리 기판의 주연 가공 장치의 예이며, 도 8은, 휴대 단말의 디스플레이 패널에 이용하는 것과 같은 소형 내지 중형 유리 기판의 주연 연삭장치의 예이다.Figs. 7 and 8 are diagrams schematically showing an example of a peripheral edge machining apparatus of a glass plate provided with a camera for detecting a material carry-in attitude. Fig. Fig. 7 shows an example of a peripheral machining apparatus for a large glass substrate used for a display panel of a television receiver, and Fig. 8 shows an example of a peripheral grinding apparatus for a small to medium-sized glass substrate used for a display panel of a portable terminal.

도 7에 나타낸 장치는, 테이블(12) 상에 고정한 유리 기판(w)을 도면의 Y방향으로 이동하면서 테이블(12)의 양측에 배치한 숫돌(3, 3)로 워크의 Y방향의 양측변(e, e)의 가공을 행하는 장치이다. 이 주연 가공 장치에서는, 장치에 설치한 2대의 카메라(5, 5)로 워크(w)의 모퉁이 또는 각부 부근에 붙인 마크(m1, m2, m3)를 읽어내고, 테이블(12) 상에서의 워크(w)의 위치 및 각도의 편의(偏倚, 어긋남)를 검출하며, 검출한 편의량(偏倚量)을 근거로, 테이블(12)의 회전각이나 공구(3)의 절삭깊이 방향(도면의 X방향)의 위치 지령을 보정한다. 각 측의 숫돌(3)과 카메라(5)는, 각각의 측에 설치한 X방향 이송대(21, 21)에 탑재되어 있으며, 카메라(5)로 검출된 X방향의 편의량이 그대로 숫돌(3)의 X방향의 위치의 보정치로 된다.The apparatus shown in Fig. 7 is a system in which glass substrates w fixed on a table 12 are moved in the Y direction in the drawing, and grindstones 3 and 3 arranged on both sides of the table 12 are moved to both sides in the Y direction (e, e). In this peripheral processing apparatus, marks (m1, m2, m3) attached to the corners or portions of the work w are read by the two cameras 5 and 5 provided on the apparatus, (deviation amount) of the tool 12 and the cutting depth direction of the tool 3 (X direction in the figure) based on the detected bending amount (displacement amount) ) Is corrected. The grindstone 3 and the camera 5 on each side are mounted on the X-direction transfer belts 21 and 21 provided on the respective sides and the amount of X-directional amount detected by the camera 5 is directly applied to the grindstone 3 In the X direction.

도 8에 나타낸 장치는, 워크(w)를 고정한 테이블(12)의 연직축(P) 둘레의 회전각(θ)과, 테이블 중심(P)을 향해서 도면의 X방향으로 접근 및 이격(離隔)하는 공구(3)의 이동량(x)을 관련지어 제어함(이하,「컨투어링 방식」이라 한다.)으로써, 워크(w)에 자유로운 형상의 주연 가공을 행하는 장치이다. 이 주연 가공 장치에서는, 테이블을 회전시키거나 카메라(5)를 도면의 지면(紙面) 직각 방향으로 이동시킴에 의해, 공구(3)를 X방향으로 이동시키는 가로 이송대(21)에 탑재한 1개의 카메라(5)로 테이블(12)상에 놓여진 워크(w)의 복수 개소의 모퉁이를 검출함으로써, 테이블(12) 상에서의 워크(w)의 위치 및 각도의 편의를 검출하고, 검출한 편의량에 근거하여, 테이블(12)의 회전각이나 공구(3)의 X축 방향의 위치 지령을 보정한다.The apparatus shown in Fig. 8 has a structure in which the rotational angle [theta] around the vertical axis P of the table 12 to which the workpiece w is fixed is shifted toward and away from the table center P in the X direction (Hereinafter referred to as " contouring system ") in association with the movement amount x of the tool 3, thereby performing a peripheral machining of a free shape on the work w. In this peripheral machining apparatus, a table 1 is mounted on a transverse conveying table 21 for moving the tool 3 in the X direction by rotating the table or moving the camera 5 in the direction perpendicular to the paper surface The positions of the work w and the angles of the work w on the table 12 are detected by detecting the corners of the work w placed on the table 12 with the number of the cameras 5, , The rotation angle of the table 12 and the position command in the X-axis direction of the tool 3 are corrected.

또한, 선반 등의 금속가공기계에 있어서도, 기내에 카메라를 설치하여 해당 카메라로 촬영한 화상을 제어반의 디스플레이에 표시함으로써, 수동 조작으로 테스트 가공을 실시할 때 등의 오퍼레이터에 의한 기계의 동작 확인을 용이하게 한 장치가 제안되어 있다.In addition, in a metal processing machine such as a lathe, a camera is installed in a cabin and an image photographed by the camera is displayed on a display of a control panel, thereby confirming the operation of the machine by the operator, A device for facilitating the operation is proposed.

기계는, 운전에 따른 발열이나 환경 온도의 변화에 의해서 열변형한다. 공작기계에서는, 기계의 부분적인 열변형이나 워크와 기계의 열변형의 차이에 의해서 가공 오차가 생긴다. 또한, 기계는 장기간의 사용에 의해, 슬라이딩부의 마모나 베어링의 손상 등에 의해, 느슨함이 발생한다. 이 느슨함도 또한 공작기계의 가공 정밀도를 저하시켜, 불량품을 발생시키는 원인으로 된다. 불량품이 발생했을 때는, 그 원인을 규명하기 위해서 기계 정밀도의 측정이 행해진다. 또한, 그러한 불량품의 발생을 미연에 막기 위해서는, 정기적으로 기계 정밀도의 측정을 행할 필요가 있다.The machine is thermally deformed by the heat generated by the operation or the change of the environmental temperature. In a machine tool, a machining error occurs due to a difference between partial thermal deformation of the machine and thermal deformation of the work and the machine. In addition, the machine is loosened due to abrasion of the sliding portion or damage to the bearing due to long-term use. This slackness also causes the machining accuracy of the machine tool to deteriorate and causes defective products to be generated. When defective products occur, the machine precision is measured to identify the cause. Further, in order to prevent such defective products from occurring, it is necessary to periodically measure the machine precision.

부재의 마모 등에 의한 공작기계의 가공 정밀도의 저하는, 칼날대 등의 직선 이동 부재의 위치 결정 정밀도의 저하와, 주축이나 선회 테이블 등의 회전 부재의 회전 위치 결정 정밀도의 저하가 주된 요인이다. 직선 이동 부재의 정밀도의 계측은, 도 9에 나타낸 바와 같이, 소정 위치로 위치 결정한 직선 이동 부재(51)의 실제의 위치를 다이얼 게이지나 접촉 센서(52)로 검출함에 의해 행해지며, 회전 부재의 회전각의 정밀도는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 회전 부재(53)에 다면경(多面鏡, 54)을 부착하여, 각 반사면(55)이 오토콜리미터(56) 등의 광학 측정기를 향했을 때의 투사광과 반사광의 어긋남에 의해 계측된다.The reduction in the machining precision of the machine tool due to abrasion of the member or the like is mainly caused by a decrease in the positioning precision of the linear moving member such as a blade and a reduction in the rotational positioning accuracy of the rotating member such as the main shaft and the turning table. The accuracy of the linearly movable member is measured by detecting the actual position of the linearly-moving member 51 positioned at a predetermined position by the dial gauge or the contact sensor 52 as shown in Fig. 9, As shown in Fig. 10, the accuracy of the rotation angle is determined by attaching a polygon mirror 54 to the rotating member 53 such that each reflecting surface 55 is directed to an optical measuring device such as an auto collimator 56 Is measured by a deviation between the projected light and the reflected light.

즉, 기계의 각 부재의 이동축이나 회전축에 대해서, 그들의 정밀도를 계측하는데 필요한 측정기를 소정의 개소에 부착하여, 부재가 있어야 할 위치와 실제의 위치와의 편의량의 측정치로부터 해당 부재의 구동원(써보모터 등)에 부여되는 지령치를 보정하는 보정치(보정 파라미터)를 구하여 제어기에 설정함으로써, 소망한 가공 정밀도가 유지되도록 한다.That is, a measuring instrument necessary for measuring the precision of the moving shafts and the rotating shafts of the respective members of the machine is attached to a predetermined position so as to determine the position of the member and the actual position, (Correction parameter) for correcting a command value given to a servo motor (servo motor, servomotor, etc.) is determined and set in the controller to maintain the desired machining accuracy.

(특허 문헌 1) 일본 공개특허 2013－035089호 공보(Patent Document 1) JP-A-2013-035089

공작기계의 정밀도 저하를 인식하지 않는 채 기계를 계속 사용하여 불량품을 발생시키면, 다대한 손실을 초래하게 되므로, 정기적으로 기계 정밀도를 측정하여 기계의 정밀도 저하나 열변형에 대응한 보정치를 설정함으로써, 가공 정밀도의 유지를 도모하는 것은 매우 중요하다.If the machine is continuously used without recognizing the deterioration of the precision of the machine tool, it will cause a lot of loss. Therefore, by regularly measuring the machine precision and setting the correction value corresponding to the reduction of the accuracy of the machine or the thermal deformation, It is very important to maintain the processing precision.

그러나, 불량품의 발생을 확실히 방지하려고 하면, 빈번하게 기계 정밀도의 확인(측정)을 하지 않으면 안되며, 종래의 기계 정밀도의 측정 방법으로는 장시간 기계를 정지하고 측정을 실시할 필요가 있어, 측정을 위한 작업 부담도 컸다. 즉, 측정을 위해서는 기계를 정지하여, 기계가 구비하는 복수의 이동 부재나 회전 부재에 대해서, 그 이동 방향마다 픽 테스터나 오토콜리미터 등의 측정기를 부착하여 계측할 필요가 있으며, 고가의 측정기를 필요로 하는 것 외에도 고도의 측정 기술과 다대한 작업시간을 필요로 한다. 그리고, 이 측정 동안, 워크의 가공 작업이 정지하므로, 생산성도 저하되는 등, 경제적 부담 및 계측 작업자의 작업 부담이 크다는 문제가 있었다.However, in order to reliably prevent the generation of defective products, it is necessary to frequently confirm (measure) the accuracy of the machine. In the conventional method of measuring the machine precision, it is necessary to stop the machine for a long time and perform measurement. The workload was also great. That is, for the measurement, it is necessary to stop the machine, measure a plurality of moving members or rotating members of the machine by attaching a measuring device such as a pick tester or an auto collimator to each moving direction, In addition to what you need, you need advanced measurement techniques and time-consuming work. In addition, during this measurement, since the machining operation of the work is stopped, the productivity is lowered, and there is a problem that the economical burden and the work load of the measurement operator are large.

본 발명은, 워크의 연속 가공중에, 그 가공을 행하는 공작기계의 이동 부재나 회전 부재, 특히 가공 정밀도에 크게 영향을 줄 우려가 있는 이동 부재나 회전 부재의 위치 결정 정밀도를 계측하고, 필요에 따라서 제어기에 등록되는 보정치를 변경하면서 연속 가공을 계속할 수 있으며, 나아가 그들 부재를 지지하는 베어링이나 구동계의 손상에 의한 고장의 발생을 예지하는 것도 가능한 공작기계를 얻는 것을 과제로 한다.The present invention is characterized in that during the continuous machining of a workpiece, the positioning accuracy of a moving member or a rotating member of a machine tool, particularly a moving member or a rotating member, which may significantly affect machining accuracy, is measured, It is an object of the present invention to provide a machine tool capable of continuing continuous machining while changing a correction value registered in a controller and also capable of predicting the occurrence of a failure due to damage to a bearing or a drive system that supports these members.

본 발명은, 기계 내부의 화상을 취득하는 카메라(5)를 구비하고, 제어기(4)는 가공 프로그램에 따라서 생성되는 지령치를 설정되어 있는 보정치로 보정하여 각 구동장치를 동작시킴에 의해 워크의 연속 가공을 행하는 공작기계에 있어서, 상기 카메라(5)를 이용하여 정기적으로 이동대(21) 내지 회전대(12)의 동일 부위를 촬영해서 취득한 화상으로부터 기계의 편의량의 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 기계의 자기 진단 방법, 및, 그 진단 결과를 바탕으로, 상기 이동대 내지 회전대에 대한 동작 지령의 보정치의 설정 내지 변경을 행하는 것을 특징으로 하는 보정치의 자동 설정 방법을 제공함으로써, 상기 과제를 해결한 것이다.The present invention includes a camera (5) for capturing an image of the inside of a machine, and the controller (4) corrects the command value generated in accordance with the machining program with the set correction value, The machine tool according to any one of claims 1 to 3, wherein the machine (5) is used to periodically measure the same portion of the moving table (21) to the rotating table (12) And setting or changing a correction value of an operation command for the moving table or the rotating table on the basis of the self diagnosis method of the machine and the diagnosis result, will be.

제어기(4)는, 자기 진단 프로그램 및 카메라(5)를 촬상 대상이 되는 이동대 내지 회전대의 소정 개소에 위치 결정하는 위치 결정 수단, 화상을 취득하는 화상 취득 수단, 취득 화상으로부터 소정 개소의 현실의 위치를 검출하는 위치 검출 수단, 상기 검출한 위치와 제어기에 등록 내지 기억한 본래의 위치와의 편의를 연산하는 연산 수단을 구비하고, 또한, 연산한 편의로부터 테이블이나 이송대의 각 제어축방향의 보정치를 연산하는 보정치 연산 수단, 및 연산한 보정치를 제어기의 소정의 기억 영역에 기억하는 보정치 설정 수단을 구비한다.The controller 4 is provided with a positioning means for positioning the self-diagnosis program and the camera 5 at a predetermined position of a moving base or a rotation base to be imaged, an image obtaining means for obtaining an image, A position detection means for detecting a position of the table and a calculation means for calculating the position of the detected position and a position of the position registered in the controller and an original position stored in the controller, And a correction value setting means for storing the calculated correction value in a predetermined storage area of the controller.

자기 진단 프로그램은, 기계의 운전 시간이나 워크 가공수가 제어기에 미리 등록한 자기 진단 간격에 도달한 후의 가공 동작 종료시에 호출된다. 자기 진단 프로그램은, 상기 위치 결정 수단에 의해 테이블, 그 외의 회전대나 이송대와 카메라를 계측 위치로 이동하고, 화상 취득 수단으로 해당 위치에서 카메라의 화상을 취득하며, 위치 검출 수단에 의해 상기 화상으로부터 검출 대상 개소의 위치를 검출하여, 편의연산 수단에 의해 검출 대상 개소의 본래 있어야 할 위치로부터의 편의를 검출한다. 이들 조작을 복수회 반복함에 의해, 복수의 편의량을 구한다. 그리고, 이들 편의량으로부터 테이블이나 이송대의 각 제어축 방향의 보정치를 연산하여 제어기에 설정되어 있는 보정치를 새로 연산한 보정치로 갱신한다.The self-diagnosis program is called at the end of the machining operation after the running time of the machine or the number of workpiece machining reaches the self-diagnosis interval preliminarily registered in the controller. In the self-diagnosis program, the positioning means moves the table, the other rotary table, the transfer table, and the camera to the measurement position, acquires the image of the camera at the position by the image acquisition means, The position of the detection subject position is detected and the convenience from the position where the detection subject position should be originally detected by the convenience calculation means. By repeating these operations a plurality of times, a plurality of convenience quantities are obtained. Then, the correction values in the directions of the control axes of the table and the transfer table are calculated from these amounts, and the correction values set in the controller are updated with the newly calculated correction values.

상기 순서에 있어서, 검출 내지 연산한 복수의 편의량 상호 내지 보정치 상호의 차이가 미리 등록한 문턱치를 넘을 때는 경고를 발하고, 필요한 경우에는 연속 가공을 종료하여 기계를 정지시킨다.In the above procedure, a warning is issued when a difference between a plurality of pieces detected or calculated and a difference between correction values exceeds a threshold value registered in advance, and if necessary, the continuous machining is terminated to stop the machine.

본 발명의 자기 진단 방법에 의하면, 오퍼레이터의 관리나 작업을 전혀 필요로 하지 않고 기계 정밀도의 저하에 의한 불량품의 발생 우려가 사전에 검지되기 때문에, 불량품의 발생을 미연에 방지할 수 있다. 또한, 기계 고장으로 이어질 우려가 있는 기계의 느슨함이나 변형을 검지했을 때에 경고를 발함에 의해, 기계 고장을 사전에 방지할 수 있다.According to the self-diagnosis method of the present invention, there is no need for management or operation of the operator at all, and the generation of defective products due to the deterioration of the machine precision is detected in advance, so that the generation of defective products can be prevented in advance. In addition, a machine malfunction can be prevented in advance by issuing a warning when detecting looseness or deformation of a machine which may lead to a machine malfunction.

또한, 기계 내부에 설치되어 있는 카메라를 이용하여, 진단의 타이밍 및 계측 동작, 그리고 계측 결과의 판정까지가 프로그램 동작으로 행해지기 때문에, 오퍼레이터의 숙련을 필요로 하지 않고 누구라도 현상(現狀)의 기계 정밀도를 파악할 수 있다.Further, since the timing of the diagnosis, the measurement operation, and the determination of the measurement result are carried out by the program operation by using the camera installed in the inside of the machine, any one of the present machine Precision can be grasped.

또한, 기계의 편의를 측정하기 위한 고가의 측정기를 준비할 필요가 없고, 계측에 이용하는 카메라는, 워크의 위치 결정 확인이나 가공 정밀도 계측용의 카메라를 병용할 수 있으며, 계측 작업을 위해서 긴 시간 기계를 정지시키는 일도 없으므로, 계측에 요하는 비용이나 기계 가동의 손실을 큰 폭으로 경감할 수 있다.In addition, there is no need to prepare an expensive measuring instrument for measuring the convenience of the machine, and a camera used for measurement can be used in combination with a camera for position confirmation of a work and measurement of a processing accuracy, It is possible to greatly reduce the cost required for the measurement and the loss of the machine operation.

또한, 본 발명의 보정치 자동 설정 방법에 의하면, 상기의 자기 진단법에 의한 효과가 발휘되는 외에, 보정치의 산출 오류나 입력 오류 등의 인위적 오류를 방지할 수 있고, 보정치가 자동적으로 변경되어 연속 운전을 계속할 수 있으므로, 높은 가공 정밀도를 유지할 수 있는 동시에, 기계 가동률의 향상에 의한 생산성의 향상과 오퍼레이터의 작업 부담의 경감을 도모할 수 있다고 하는 효과가 있다.Further, according to the automatic correction value setting method of the present invention, not only the effect of the above-mentioned self-diagnosis method can be demonstrated, but also an artificial error such as a calculation error of a correction value or an input error can be prevented, Therefore, it is possible to maintain high machining accuracy, and to improve the productivity by improving the machine operation rate and to reduce the work load of the operator.

도 1은 주연 가공 장치의 측면도이다.
도 2는 도 1의 장치의 주요한 기기 배치를 나타내는 평면도이다.
도 3은 컨투어링 방식의 가공을 나타내는 설명도이다.
도 4는 취득한 카메라의 화상의 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 연속 가공 순서를 나타내는 플로차트이다.
도 6은 자기 진단 및 보정치의 설정 순서를 나타내는 플로차트이다.
도 7은 대형 유리판의 주연 가공 장치 예를 나타내는 모식적인 사시도이다.
도 8은 소형 내지 중형 유리판의 주연 가공 장치의 예를 나타내는 모식적인 사시도이다.
도 9는 이동대의 위치 계측의 종래 예를 나타내는 모식도이다.
도 10은 회전대의 회전각 계측의 종래 예를 나타내는 모식도이다.Fig. 1 is a side view of a peripheral edge machining apparatus.
Fig. 2 is a plan view showing the main arrangement of the apparatus of Fig. 1; Fig.
3 is an explanatory view showing the contouring process.
4 is a diagram showing an example of an image of the obtained camera.
5 is a flowchart showing a continuous machining sequence.
6 is a flowchart showing a procedure for setting self diagnosis and correction values.
7 is a schematic perspective view showing an example of a peripheral machining apparatus for a large glass plate.
8 is a schematic perspective view showing an example of a peripheral machining apparatus for a small to medium-sized glass plate.
Fig. 9 is a schematic diagram showing a conventional example of the position measurement of the moving table.
10 is a schematic diagram showing a conventional example of the rotation angle measurement of the rotating table.

이하, 컨투어링 방식의 주연 가공 장치를 예로 들어, 본 발명의 실시형태를 설명한다. 도면은 이런 종류의 주연 가공 장치의 일례를 나타내는 도면으로서, 특허 문헌 1에서 제안하고 있는 장치이며, 도 1은 측면도, 도 2는 요부의 기기 배치를 나타내는 평면도이다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described by taking a circumferential machining apparatus of a contouring method as an example. FIG. 1 is a side view, and FIG. 2 is a plan view showing the arrangements of the main parts of the main part.

도면에 있어서, 1은 워크축이다. 워크축(1)은, 연직 방향의 중공(中空)의 회전축으로서, 상단에 테이블(12)이 설치되어 있으며, 가공되는 워크(유리판, w)는, 테이블(12)의 상면에 수평 자세로 유지된다. 테이블(12)의 상면에는, 워크축(1)의 중공 구멍을 통해 부압이 공급되며, 워크(w)는, 하면(下面)이 진공 흡착되어 테이블(12)에 고정된다. 워크축(1)의 하단에는, 주축 모터(써보모터, 15)가 연결되어 있으며, 상기 주축 모터(15)는, 써보 앰프(41)를 통해 제어기(4)에 접속되고, 제어기(4)의 지령에 의해서 워크축(1)의 회전각이 제어된다.In the figure, reference numeral 1 denotes a work axis. The work shaft 1 is provided with a table 12 at the upper end thereof as a rotation shaft of a hollow hollow in the vertical direction and is held in a horizontal posture on the upper surface of the table 12 do. A negative pressure is supplied to the upper surface of the table 12 through the hollow hole of the work shaft 1 and the lower surface of the work w is vacuum absorbed and fixed to the table 12. [ A spindle motor 15 is connected to the lower end of the work shaft 1. The spindle motor 15 is connected to the controller 4 via the servo amplifier 41 and is connected to the controller 4 The rotation angle of the work shaft 1 is controlled by the command.

워크축(1)의 상방에는, 가로 이송대(21)가 설치되어 있다. 가로 이송대(21)는, 도시하지 않은 수평 방향의 가로 가이드에 이동 가능하게 안내되어, 가로 이송 모터(써보모터, 23)로 회전 구동되는 가로 이송 나사(24)에 나사결합되어 있다. 가로 이송 모터(23)는, 제어기(4)에 접속되어 있으며, 가로 이송대(21)의 이동 위치가 제어기(4)에 의해서 제어된다.Above the work shaft 1, a transverse conveying table 21 is provided. The transverse conveying table 21 is screwed to a transverse conveying screw 24 which is guided movably by a horizontal transverse guide (not shown) and rotationally driven by a transverse conveying motor (servomotor 23). The transverse feeding motor 23 is connected to the controller 4 and the moving position of the transverse feeding table 21 is controlled by the controller 4. [

가로 이송대(21)에는, 세로 이송대(25)가 설치되어 있다. 세로 이송대(25)는, 가로 이송대(21)에 고정한 연직 방향의 세로 가이드에 이동 가능하게 장착되고, 세로 이송 모터(26)로 회전 구동되는 세로 이송 나사(27)에 나사결합된다.In the transverse conveying table 21, a vertical conveying table 25 is provided. The vertical conveying table 25 is movably mounted on a vertical guide in the vertical direction fixed to the transverse conveying table 21 and is screwed to a vertical conveying screw 27 rotationally driven by the vertical conveying motor 26. [

세로 이송대(25)에는, 연직 방향의 숫돌축(31)이 축지지되고, 이 숫돌축의 하단에 숫돌(3)이 장착되어 있다. 숫돌축(31)의 상단은, 톱니형 벨트(33)를 매개로 숫돌 구동 모터(34)에 연결되어 있다. 도면의 장치는, 숫돌축이 1개이지만, 복수의 숫돌축을 설치하여 지름이나 형상이 다른 복수의 숫돌을 장착 가능한 장치도 많이 이용되고 있다.A vertically moving grinding wheel shaft 31 is axially supported on the vertical transferring table 25, and a grinding wheel 3 is mounted on the lower end of the grinding shaft. The upper end of the grinding wheel shaft 31 is connected to the grinding wheel driving motor 34 via the toothed belt 33. The apparatus shown in the drawing has one grindstone shaft, but a plurality of grindstone shafts are provided to mount a plurality of grindstones having different diameters and shapes.

워크축(1)의 축심 및 숫돌축(31)의 축심은, 가로 이송대(21)의 이동 방향과 평행한 동일 연직면(s) 상에 위치한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 컨투어링 방식으로는, 제어기(4)로 가로 이송대(21)의 이동량(즉, 숫돌(3)의 이동량)(x)과 워크축(1)의 회전각(θ)을 관련지어 제어함으로써, 소망한 평면 형상의 주연 가공을 행한다.The axis of the work shaft 1 and the axis of the grindstone shaft 31 are located on the same vertical plane s which is parallel to the moving direction of the transverse conveying table 21. [ 3, in the contouring method, the amount of movement (that is, the amount of movement of the grinding wheel 3) (x) of the transverse conveying table 21 and the rotation angle (?) Of the work shaft 1 are controlled by the controller 4, So that peripheral processing of the desired planar shape is performed.

가로 이송대(21)의 정위치에는, 테이블(12)상에 반입된 워크의 화상을 취득하기 위한 카메라(5)가 설치되어 있다. 이 카메라(5)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 그 광축이 상기 연직면(s)을 통과하는 위치에 설치되어 있다.A camera 5 for acquiring an image of the workpiece carried on the table 12 is provided at a predetermined position of the transverse conveying table 21. As shown in Fig. 2, the camera 5 is provided at a position where its optical axis passes through the vertical surface (s).

테이블(12)의 각부(角部, A, B)의 상면에는, 각각 마크(a, b)가 각설(刻設)되어 있다. 테이블(12) 상에서의 이 마크(a, b)의 위치는 알고 있기 때문에, 테이블(12)을 회전하여 마크(a, b)를 상기 연직면(s)에 위치시켰을 때의 워크축(1)의 원점 각도로부터의 회전각과, 연직면(s)상에 위치한 마크에 카메라(5)의 광축을 일치시킬 때의 가로 이송대의 이동 위치는, 연산에 의해서 구할 수 있다.Marks a and b are formed on the upper surfaces of the corners A and B of the table 12, respectively. Since the positions of the marks a and b on the table 12 are known, the positions of the marks a and b on the work surface 1 when the table 12 is rotated to place the marks a and b on the vertical surface s The rotation angle from the origin point angle and the movement position of the horizontal transfer zone when the optical axis of the camera 5 is aligned with the mark located on the vertical plane s can be obtained by calculation.

여기에, 제어기(4)로 가로 이송 모터(23)와 주축 모터(15)를 회전시켜, 마크(a)를 카메라(5)의 광축의 위치에 위치 결정하여, 카메라(5)로 각부(A)의 화상을 취득한다. 도 4는, 카메라가 취득한 화상의 예를 나타낸 도면이다. 취득한 화상으로부터 마크(a)의 화상 중심으로부터의 위치를 검출할 수 있다. 다음으로, 테이블(12)를 180도 회전하고, 필요하면 가로 이송대(21)를 이동하여, 마크(b)를 카메라(5)의 광축의 위치에 위치 결정하며, 카메라(5)로 각부(B)의 화상을 취득한다.The horizontal transfer motor 23 and the spindle motor 15 are rotated by the controller 4 to position the mark a at the position of the optical axis of the camera 5, ) Is acquired. 4 is a diagram showing an example of an image acquired by a camera. The position of the mark a from the center of the image can be detected from the acquired image. Next, the table 12 is rotated 180 degrees, and if necessary, the transverse conveying table 21 is moved so that the mark b is positioned at the position of the optical axis of the camera 5, B) is acquired.

이와 같이 하여 취득한 화상 상의 마크(a, b)의 카메라 광축으로부터의 편의를 계측함으로써, 테이블(12)의 회전각의 오차(초기 위치로부터의 어긋남) 및 가로 이송대(21)의 위치 결정 오차를 계측할 수 있다. 또한, 테이블(12) 및 가로 이송대(21)를 반대 방향으로부터 회전 및 이동하여 마크(a, b)를 카메라(5)의 광축에 일치시켜 동일한 계측을 행함에 의해, 반대 방향에서 계측했을 때의 오차와 최초로 계측했을 때의 오차와의 차이에 의해, 마모 등에 의해 생긴 기계의 느슨함을 계측할 수 있다.The deviation of the rotation angle of the table 12 (deviation from the initial position) and the positioning error of the transverse conveying table 21 are calculated by measuring the convenience of the marks a and b on the thus obtained image from the camera optical axis Can be measured. When the table 12 and the transverse conveyance table 21 are rotated and moved from the opposite direction to make the marks a and b coincident with the optical axis of the camera 5 and the same measurement is performed, The looseness of the machine caused by abrasion and the like can be measured by the difference between the error of the first measurement and the error of the first measurement.

아울러, 테이블(12)에 마크(a, b)를 각설하지 않는 경우에도, 화상 상에 있어서의 테이블의 주연의 선의 교점으로부터 테이블(12)의 모퉁이를 검출할 수 있다. 이 경우에는, 테이블(12)의 대상으로 되는 모퉁이(A, B)가 있어야 할 위치에 광축(Co)을 위치 결정한 카메라(5)로 테이블의 각부(A)의 화상을 취득하고, 이어서 테이블(12)을 180도 회전하여 각부(B)의 화상을 취득한다. 취득한 화상에는, 테이블의 가장자리의 영상으로서 직교하는 2개의 선분(線分)이 비치고 있기 때문에, 이 2개의 교점의 화상 상에서의 좌표를 취득할 수 있다.Even when the marks a and b are not laid on the table 12, the corners of the table 12 can be detected from the intersection of the lines on the periphery of the table on the image. In this case, the image of each portion A of the table is acquired by the camera 5 in which the optical axis Co is positioned at the position where the corners A and B to be the target of the table 12 should be located, 12 is rotated by 180 degrees to acquire an image of the corner portion B. [ Since the acquired image shows two line segments (line segments) orthogonal to the image of the edge of the table, coordinates on the images of the two intersections can be acquired.

상기와 같이 하여 취득한 마크(a, b) 내지 모퉁이(A, B)의 정점의 위치를 비교함으로써, 다음과 같은 내용의 기계 상태의 자기 진단 및 그 계측 결과에 근거한 보정 처리를 행할 수 있다.By comparing the positions of the vertices of the marks (a, b) and the corners (A, B) acquired as described above, the following self-diagnosis of the machine state and correction processing based on the measurement results can be performed.

(1) 기계의 사용 개시시 및 그 후의 제어기에 미리 등록한 기계 가동 시간이나 가공 개수마다, 테이블의 X 및 Y방향의 어긋남 양을 비교하여, 열편의(熱偏倚)의 상황을 확인한다. 또한, 어긋남 양을 바탕으로, 열편의의 어긋남을 보정하는 보정치를 제어기에 자동으로 설정한다.(1) The state of the heat piece (heat bias) is checked by comparing the amounts of deviation in the X and Y directions of the table with respect to the machine operation time and the number of machining registered in advance at the start of use of the machine and thereafter in the controller. Further, on the basis of the amount of misalignment, a correction value for correcting misalignment of the lobes is automatically set in the controller.

(2) 테이블 및 가로 이송대를 정지한 상태에서 동일 개소를 복수회 촬영하고, 그들의 화상에 있어서의 마크(a, b)나 모퉁이(A, B)의 정점의 위치를 비교함으로써, 기계 진동의 상태를 확인할 수 있다. 비교한 위치의 편차가 미리 등록한 문턱치보다 클 때는, 예를 들면 가로 이송대의 구동계에 생긴 헐거움의 증대 등을 생각할 수 있으므로, 경고를 발하여 오퍼레이터에게 주의를 촉구한다.(2) The same position is photographed a plurality of times while the table and the horizontal transfer belt are stationary, and the positions of the vertices of the marks (a, b) and the corners (A, B) You can check the status. When the deviation of the compared position is larger than the threshold value registered in advance, for example, an increase in looseness caused in the driveline of the transverse conveying belt can be considered, so a warning is issued and the operator is urged to pay attention.

(3) 테이블을 같은 각도로 반복해서 위치 결정하여 동일 개소를 촬영하고, 그들의 화상에 있어서의 마크(a, b)나 모퉁이(A, B)의 정점의 위치를 비교함으로써, 테이블을 지지하고 있는 주축 베어링 등의 테이블 지지계나 주축 모터 등의 구동계의 이상을 검출할 수 있으며, 이상으로 판정되었을 때에 경고를 발한다.(3) The tables are repeatedly positioned at the same angle, the same positions are photographed, and the positions of the vertices of the marks (a, b) and the corners (A, B) It is possible to detect an abnormality of a drive system such as a table support system such as a main shaft bearing or a spindle motor, and issues a warning when it is judged as abnormal.

다음으로 도 5 및 도 6을 참조하여, 상술한 장치에 있어서의 본 발명의 자기 진단 및 기계 정밀도의 보정 방법을 설명한다. 우선, 연속 가공을 개시하기에 앞서, 제어기(4)에 운전 시간을 계시(計時)하는 타이머를 설치하고, 자기 진단을 실시하는 시간 간격과 허용되는 느슨함(헐거움)의 허용치를 설정해 둔다.Next, with reference to Fig. 5 and Fig. 6, a self-diagnosis and a method of correcting the mechanical precision of the present invention in the above-described apparatus will be described. Prior to starting the continuous processing, a timer for measuring the running time is provided in the controller 4, and a time interval for performing the self-diagnosis and an allowable value of allowable looseness are set.

연속 가공 순서를 나타내는 도 5에 있어서, 가공이 개시되면, 제어기(4)는, 반입 반출 장치로부터의 워크 반입 완료 신호를 기다린다. 워크가 반입되면, 예를 들면 특허 문헌 1에 기재된 순서로 테이블(12) 상에 반입된 워크(w)의 위치 어긋남을 검출하고, 상기 검출된 위치 어긋남에 근거하여 워크 1개 마다 해당 워크의 위치 어긋남에 의한 보정치를 연산하여 제어기에 설정한다. 그리고, 테이블 상의 1개의 워크의 가공을 행하고, 가공이 종료하면 종료 신호를 반입 반출 장치에 보내어 테이블(12) 상으로부터의 워크(w)의 반출을 기다린다. 워크가 반출되면, 도 6에서 설명하는 자기 진단 프로그램을 실행하고, 제어가 회복하면 다음의 워크가 있으면 최초로 돌아와 다음 워크의 반입을 기다린다. 다음 워크가 없으면 연속 가공 순서를 종료한다.In Fig. 5 showing the continuous machining sequence, when machining is started, the controller 4 waits for a workpiece carry-in completion signal from the carry-in / out machine. When the workpiece is carried in, for example, the positional shift of the workpiece w carried on the table 12 is detected in the order described in Patent Document 1, and based on the detected positional deviation, A correction value by misalignment is calculated and set in the controller. Then, one work on the table is machined. When the machining is finished, a finish signal is sent to the take-in and take-out device, and the wait for the work w from the table 12 is waited for. When the work is taken out, the self-diagnosis program described in Fig. 6 is executed. When the control is restored, if there is a next work, it returns to the beginning and waits for the next work to be carried. If there is no next work, the continuous machining sequence is terminated.

도 6은, 자기 진단 프로그램의 순서이다. 이 순서에는, 기계 정밀도의 보정 순서가 포함되어 있다. 이 순서의 실행이 개시되면, 우선 제어기(4)에 마련한 운전 시간 타이머로 계시되어 있는 운전 시간이 자기 진단을 실행하는 시간 간격에 도달하였는지 아닌지가 판단되고(스텝 61), 도달하지 않았으면 즉시 종료하여 연속 가공 순서로 돌아온다. 자기 진단의 시간 간격에 도달한 경우에는, 미리 등록되어 있는 각도로 테이블(12)를 회전시키는 동시에, 미리 등록되어 있는 위치에 가로 이송대(21)를 이동하여, 제1 마크(a)를 카메라(5)의 광축 상에 위치시킨다(스텝 62). 그리고, 카메라(5)의 화상을 취득하고(스텝 63), 취득한 화상으로부터 마크(a)를 검출하여 그 본래의 위치(광축 중심)로부터의 편의를 검출한다(스텝 64). 다음으로 테이블을 180도 회전하여, 카메라의 화상을 취득함에 의해 마크(b)를 검출하여, 그 있어야 할 위치로부터의 편의를 검출한다(스텝 65~68). 이 2개의 마크(a, b)의 편의로부터 테이블의 회전각의 편의와, 테이블 중심과 가로 이송대(21)와의 X방향(가로 이송대의 이송방향)과 이와 직교하는 Y방향의 편의를 연산할 수 있는데, Y방향의 편의가 가공 정밀도에 미치는 영향은 작기 때문에, 테이블 각도와 가로 이송대의 위치편의를 보정하기 위한 제1 보정치를 구하여 기억한다(스텝 69).Fig. 6 shows a procedure of the self-diagnosis program. In this procedure, the correction order of the machine precision is included. When the execution of this procedure is started, it is first judged whether or not the operation time indicated by the operation time timer provided in the controller 4 has reached the time interval for executing the self diagnosis (step 61). If not, And returns to the continuous machining sequence. When the self-diagnosis time interval is reached, the table 12 is rotated at an angle registered in advance and the transverse conveyance table 21 is moved to a previously registered position, (Step 62). Then, the image of the camera 5 is acquired (step 63), the mark a is detected from the acquired image, and the convenience from the original position (optical axis center) is detected (step 64). Next, the table is rotated by 180 degrees to acquire an image of the camera, thereby detecting the mark b and detecting the convenience from the position where it should be located (steps 65 to 68). From the convenience of these two marks (a, b), the convenience of the rotation angle of the table and the convenience of the table center and the X-direction (conveying direction of the transverse conveying belt) between the transverse conveying table 21 and the Y- Since the influence on the machining accuracy in the Y direction is small, a first correction value for correcting the table angle and the positional deviation of the transverse movement table is obtained and stored (step 69).

다음으로 테이블(12)과 가로 이송대(21)를 반대 방향으로부터 이동하여 동일한 조작에 의해 마크(a)와 마크(b)의 화상을 취득하여, 상기와 동일하게 제2 보정치를 연산한다(스텝 70~77). 그리고, 제1과 제2 보정치의 차이가 등록된 헐거움의 허용치보다 클 때는, 이를 제어기에 대한 보정치의 설정에 의해 해소하는 것은 곤란하므로, 경고를 발하여 운전을 정지한다. 만약, 제1과 제2 보정치의 차이가 허용치 이하이면, 그들 보정치의 평균치를 현재 보정치로서 설정하고(스텝 78), 운전 시간 타이머를 리셋하여 연속 가공 순서로 돌아온다.Next, the table 12 and the transverse conveying belt 21 are moved from opposite directions to acquire images of the marks a and b by the same operation, and the second correction values are calculated in the same manner as described above 70-77). When the difference between the first and second correction values is larger than the registered looseness allowable value, it is difficult to resolve it by setting the correction value for the controller, so that a warning is issued and the operation is stopped. If the difference between the first and second correction values is below the allowable value, the average value of the correction values is set as the current correction value (step 78), and the operation time timer is reset to return to the continuous processing order.

상기의 실시예에 나타낸 장치 및 순서는, 테이블의 회전과 공구의 X방향만의 이동에 의해 워크의 가공을 행하는 것이지만, 공구를 X, Y방향으로 이동하여 가공을 행하는 장치에서는, 테이블 상에 설정한 일 개소를 카메라로 촬영한 화상으로부터 X, Y 양방향의 편의를 검출함으로써, 경시 변화나 열편차에 의한 공구와 테이블의 상대 위치 관계의 변화를 검출하고, 자동으로 이들 편의를 보정하기 위한 보정치를 제어기에 설정한다.The apparatus and procedure shown in the above embodiments are for machining a workpiece by rotation of the table and movement of the tool only in the X direction. However, in the apparatus for performing machining by moving the tool in the X and Y directions, A change in the relative positional relationship between the tool and the table due to the aging change or the thermal deviation is detected by detecting the biases in both the X and Y directions from the image obtained by photographing the one place with the camera and a correction value Set on the controller.

또한, 상기의 자기 진단 순서에 있어서의 스텝 63이나 66에서 기계를 정지시킨 채로 동일 개소를 복수회 촬영하여, 그들 상호의 화상의 편의를 검출함으로써, 기계 진동의 확인을 행하는 것이 가능하고, 그 복수회의 화상에 있어서의 대상물의 화상의 위치에 설정된 허용치를 넘는 편차가 있을 때는, 어떠한 이상이 발생한 것으로서 경고를 발하도록 할 수 있다.It is also possible to confirm the mechanical vibration by photographing the same portion plural times while detecting the mechanical vibration at steps 63 and 66 in the above-described self-diagnosis procedure and detecting the mutual image convenience. When there is a deviation exceeding the allowable value set at the position of the image of the object in the conference image, it is possible to issue a warning that any abnormality has occurred.

또한, 상기의 자기 진단 순서에 있어서의 스텝 62~67을 반복하여 복수의 화상을 취득하고, 그 화상 상호의 대상물의 위치의 편차를 확인할 수 있다. 이 편차가 클 때는, 예를 들면 주축 모터(15)를 포함하는 주축의 구동계나 주축을 축지지하는 베어링, 혹은 가로 이송대(21)의 구동계에 이상이 발생한 것으로 생각되므로, 이러한 경우에도 그 편차의 양이 미리 설정된 허용치를 넘을 때는, 경고를 발하여 기계의 점검을 촉구할 수도 있다.Further, it is possible to repeat the steps 62 to 67 in the above-described self-diagnosis procedure to acquire a plurality of images, and confirm the deviation of the positions of the objects in the images. When this deviation is large, for example, it is considered that an abnormality has occurred in the drive system of the main shaft including the main shaft motor 15, the bearing supporting the main shaft, or the drive system of the transverse conveyance table 21, It may issue a warning and prompt the inspection of the machine.

상기 실시예에서 설명한 공작기계는, 컨투어링 방식에 의한 유리판의 주연 가공 장치이지만, 도 7에 나타낸 장치나 공구를 2차원 평면상에서 이동하여 가공을 행하는 머시닝센터와 같은 기계에도 본 발명의 방법을 채용할 수 있다. 특히, 카메라가 공구의 절입 방향으로 보내는 이송대에 탑재되어 있는 기계에 있어서는, 카메라와 공구와의 상대 위치 관계가 변화하지 않고, 검출된 편의량을 그대로 상기 방향의 보정치로 할 수 있으므로, 본 발명의 방법이 특히 유효하다.The machine tool described in the above embodiment is a peripheral machining apparatus for a glass plate by a contouring method. However, the apparatus of the present invention may be employed in a machine such as a machining center for machining by moving the apparatus or tool shown in Fig. 7 on a two- . Particularly, in a machine in which a camera is mounted on a conveyance belt that is fed in the direction of infeed of a tool, the relative positional relationship between the camera and the tool does not change, Is particularly effective.

이상과 같이, 본 발명의 방법에 의하면, 기존의 장치에 검출기나 계측기를 추가 설치하지 않고, 제어기에 자기 진단 프로그램과 각종 허용치를 등록하여 연속 가공중에 적시 자기 진단 프로그램을 호출하는 것만으로 기계 정밀도의 진단과 각각의 시점에 있어서의 기계의 열편의 등에 응한 보정치를 설정하는 것이 가능하게 되며, 나아가 자기 진단 프로그램으로 복수의 화상을 취득하여 그들을 상호 비교함으로써 기계의 이상이나 고장을 발견할 수 있으므로, 불량품의 발생을 방지할 수 있을 뿐만 아니고, 기계의 마모나 고장을 초기 단계에서 발견할 수 있다고 하는 효과가 있다.As described above, according to the method of the present invention, it is possible to register a self-diagnosis program and various allowable values in a controller without adding a detector or a meter to an existing apparatus, and to call a timely self- It is possible to set the correction value corresponding to the diagnosis and the lobe of the machine at each time point. Further, since a plurality of images are acquired by the self-diagnosis program and compared with each other, an abnormality or failure of the machine can be found, It is possible to detect the wear and tear of the machine at an early stage.

1　워크축
3　숫돌
4　제어기
5　카메라
12　테이블
15　주축 모터
21　가로 이송대
23　이송 장치(가로 이송 모터)
A,B　테이블의 각부
a,b　각부에 각설한 마크
P　테이블의 중심
w　워크1 Work axis
3 Wheels
4 controller
5 Camera
12 tables
15 spindle motors
21 Horizontal conveying belt
23 Feeding device (Horizontal feed motor)
Parts A and B of the table
a, b marks on each part
P Center of table
w Work

Claims (4)

기계 내부의 화상을 취득하는 카메라를 구비하고, 제어기는 가공 프로그램에 따라 생성되는 지령치를 설정되어 있는 보정치로 보정하여 가공에 이용하는 이동대 내지 회전대의 각 구동장치를 동작시킴에 의해 워크의 연속 가공을 행하는 공작기계의 기계 정밀도의 자기 진단 방법에 있어서, 상기 카메라로 정기적으로 상기 이동대 내지 회전대의 동일 개소를 촬영하여 취득한 화상으로부터 기계의 편의량의 변화를 검출하고, 제어기에 설정한 문턱치를 넘었을 때에 경고를 발하는 것을 특징으로 하는 공작기계의 자기 진단 방법.The controller corrects the command value generated in accordance with the machining program with the set correction value to operate each of the drive units of the moving unit and the rotating unit used for machining to perform continuous machining of the workpiece A method for self-diagnosing a machine tool of a machine tool, comprising the steps of periodically photographing the same portion of the moving table or the rotating table with the camera, detecting a change in the machine's convenience from the acquired image, And a warning is issued when a warning is issued. 제 1 항에 기재된 방법으로 검출한 편의량이 상기 문턱치를 넘지 않는 것을 조건으로 하여, 상기 편의량의 변화에 근거해서, 상기 이동대 내지 회전대에 대한 동작 지령의 보정치의 설정 내지 갱신을 행하는 것을 특징으로 하는 공작기계에 있어서의 기계 정밀도의 보정 방법.Characterized in that the correction value of the operation command to the moving table or the rotating table is set or updated on the basis of the change in the amount of the bite provided that the bite amount detected by the method according to claim 1 does not exceed the threshold value A method for correcting machine precision in a machine tool. 제 1 항에 있어서, 상기 카메라로 상기 이동대 내지 회전대의 동일 개소를 복수회 촬영하여 취득한 복수의 화상의 각각으로부터 기계의 편의량을 검출하고, 검출한 복수의 편의량의 편차가 제어기에 설정한 문턱치를 넘었을 때에 경고를 발하는 것을 특징으로 하는 공작기계의 자기 진단 방법.The apparatus according to claim 1, further comprising: means for detecting a bias amount of the machine from each of the plurality of images obtained by photographing the same portion of the moving table or the rotating table a plurality of times by the camera, And a warning is issued when the threshold value is exceeded. 제 3 항에 있어서, 상기 이동대 내지 회전대를 정지시킨 상태에서 상기 복수의 화상을 취득하는 공작기계의 자기 진단 방법.The self-diagnosis method of the machine tool according to claim 3, wherein the plurality of images are acquired while the moving table and the rotating table are stopped.
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