KR20140136541A - Transportation Module of Glass Substrate - Google Patents

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Abstract

In the present invention, disclosed is a transportation module of a glass substrate, comprising a plate-shaped carrier and a supporting tool for supporting the lower surface of the glass substrate located on the upper part of the carrier and having effects of reducing the possibility of generating scratches on the back of the glass substrate since the carrier and the glass substrate are not directly contacted. According to the present invention, the transportation module of the glass substrate is allowed to reduce the possibility of generating scratches on the back of the glass substrate since a graphite sheet is located between the glass substrate and the carrier and thus the graphite supports the glass substrate.

Description

유리 기판의 이송 모듈{Transportation Module of Glass Substrate}[0002] Transportation Module of Glass Substrate [0003]

본 발명은 평판 디스플레이 패널에 사용되는 유리 기판의 열처리 공정에서 유리 기판을 이송하는 유리 기판의 이송 모듈에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass substrate transfer module for transferring a glass substrate in a heat treatment process of a glass substrate used in a flat panel display panel.

일반적으로, 평판 디스플레이 패널에 사용되는 유리 기판은 열처리 공정중에 유리 기판의 면적보다 큰 면적을 가지는 캐리어(carrier) 또는 세터(setter)에 안착되어 이송된다. 상기 캐리어는 고온에서 사용 가능하며, 내열충격성(thermal shock resistance)가 높고, 열팽창계수(thermal expansion coefficient)가 작으며, 기계적 특성(mechanical properties)가 높은 소재로 형성되며, 예를 들면, 쿼츠(Quartz)과 같은 소재로 형성된다.Generally, a glass substrate used in a flat panel display panel is placed and transported on a carrier or setter having an area larger than the area of the glass substrate during the heat treatment process. The carrier can be used at high temperature, is formed of a material having high thermal shock resistance, low thermal expansion coefficient, and high mechanical properties. For example, quartz ).

상기 유리 기판은 열처리 공정 중에 캐리어에 안착되어 이송되면서 다양한 원인에 의하여 세터와 접촉하는 후면에 스크래치가 발생하게 된다. 상기 스크래치는 캐리어 표면의 거칠기(roughness), 캐리어와 유리 기판의 열팽창 계수 및 강도 차이, 열처리 공정에서의 유리 기판의 슬립(slip) 현상, 유리 기판의 슬립 방지를 위한 진공 적용시 캐리어에 의한 유리 기판 찍힘 현상, 유리 기판의 위치 정렬시 슬립 또는 진동 현상, 캐리어와 유기 기판 사이에 존재하는 공기의 팽창에 의한 유리 기판의 국부적인 휨(warpage) 현상, 열처리 온도 변화에 따른 유리 기판의 급속 팽창 및 수축에 의하여 발생한다. 상기 스크래치는 발생 원인에 따라 대략 일정한 위치에 일정한 형상으로 형성된다. 예를 들면, 상기 스크래치가 캐리어 표면의 거칠기에 의하여 발생되는 경우에는, 스크래치는 유기 기판 후면에 점 형태로 전체적으로 분포되어 형성된다. 또한, 상기 스크래치가 열처리 공정 중 유리 기판의 슬립 현상에 의하여 형성되는 경우에, 스크래치는 일정 길이의 직선 형태로 형성된다.The glass substrate is placed on the carrier during the heat treatment process and is transported, and scratches are generated on the rear surface contacting the setter due to various causes. The scratch may be caused by a roughness of the carrier surface, a difference in thermal expansion coefficient and strength between the carrier and the glass substrate, a slip phenomenon of the glass substrate in the heat treatment process, A phenomenon of slip or vibration in alignment of a glass substrate, a local warpage phenomenon of a glass substrate due to expansion of air existing between a carrier and an organic substrate, rapid expansion and shrinkage of a glass substrate due to a change in heat treatment temperature Lt; / RTI > The scratches are formed in a predetermined shape at a substantially constant position depending on the cause of the scratches. For example, when the scratches are generated by the roughness of the carrier surface, the scratches are formed in a distributed manner in the form of a dot on the rear surface of the organic substrate. Further, when the scratches are formed by the slip phenomenon of the glass substrate during the heat treatment process, the scratches are formed in a linear shape with a constant length.

상기 유리 기판은 스크래치가 형성되는 경우에, 투명도가 저해되고 디스플레이 장치의 화면 선명도를 저하시키는 문제가 있다.In the case where scratches are formed on the glass substrate, the transparency is deteriorated and the sharpness of the screen of the display device is lowered.

본 발명은 평판 디스플레이 패널에 사용되는 유리 기판의 열처리 과정에서 유리 기판의 후면에 스크래치가 형성되는 것을 감소시킬 수 있는 유리 기판의 이송 모듈을 제공한다.The present invention provides a glass substrate transfer module capable of reducing the formation of scratches on the back surface of a glass substrate in a heat treatment process of the glass substrate used in a flat panel display panel.

본 발명의 유리 기판의 이송 모듈은 판상으로 형성되는 캐리어 및 상기 캐리어의 상부에 위치하는 유리 기판의 하면을 지지하는 지지 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. The transfer module of the glass substrate of the present invention is characterized by including a carrier formed in a plate shape and a supporting means for supporting a lower surface of the glass substrate located on the carrier.

상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 큰 면적을 가지는 판상이며 상면에 상기 유리 기판의 하면과 접촉되며, 하면이 상기 캐리어의 상면과 접촉되도록 형성되며, 상기 유리 기판보다 표면 경도가 낮도록 형성될 수 있다. The support means is in the form of a plate having a larger area than the glass substrate, is in contact with the lower surface of the glass substrate on the upper surface, is formed in contact with the upper surface of the carrier, and has a lower surface hardness than the glass substrate .

또한, 상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 큰 면적을 가지는 판상이며 상면에 상기 유리 기판의 하면과 접촉되며, 하면이 상기 캐리어의 상면과 접촉되도록 형성되며, 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮도록 형성될 수 있다. In addition, the supporting means is formed in a plate shape having a larger area than the glass substrate, is in contact with the lower surface of the glass substrate on the upper surface, is formed in contact with the upper surface of the carrier, and is formed to have a lower surface roughness than the glass substrate .

또한, 상기 지지 수단은 상기 유리 기판의 열처리 공정 온도 이상의 온도에서 프리-컴팩션된 판상의 유리 재질로 형성될 수 있다.Further, the supporting means may be formed of a plate-shaped glass material that is pre-compaction at a temperature equal to or higher than the heat treatment temperature of the glass substrate.

또한, 상기 지지 수단은 열처리되는 상기 유리 기판과 동일한 재질로 형성될 수 있다.The supporting means may be formed of the same material as the glass substrate to be heat-treated.

또한, 상기 지지 수단은 그라파이트 시트로 형성될 수 있다. 이때, 상기 그라파이트 시트는 표면에서 내부로 연장되는 홈 또는 홀이 형성되며, 100℃∼120℃의 온도에서 30분 내지 2시간 동안 큐어링되어 형성될 수 있다. 또한, 상기 그라파이트 시트는 압축 롤링되어 형성될 수 있다. Further, the supporting means may be formed of a graphite sheet. The graphite sheet may have grooves or holes extending from the surface to the inside thereof and may be cured at a temperature of 100 ° C to 120 ° C for 30 minutes to 2 hours. Further, the graphite sheet may be formed by compression rolling.

또한, 상기 지지 수단은 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분을 감싸는 지지바를 더 포함하여 형성될 수 있다. 상기 지지바는 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분에 대응되는 형상으로 형성되어 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분에 전체적으로 접촉되도록 결합되는 지지홈을 구비할 수 있다. The support means may further include a support bar surrounding the upper surface corner of the graphite sheet. The support bar may have a shape corresponding to a corner of the upper surface of the graphite sheet, and may have a support groove which is in contact with the upper surface corner of the graphite sheet so as to be entirely contacted.

또한, 상기 캐리어는 상면에 격자 형상으로 배열되는 복수의 수용 홈을 포함하며, 상기 지지 수단은 기둥 형상으로 형성되며 상기 수용 홈에 결합되는 지지 몸체를 포함하며, 상기 지지 몸체의 상면은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮고 상기 유리 기판의 하면이 접촉되어 지지되도록 형성될 수 있다.The carrier includes a plurality of receiving grooves arranged in a lattice shape on an upper surface thereof. The supporting means includes a supporting body formed in a columnar shape and coupled to the receiving groove, And the lower surface of the glass substrate is contacted and supported.

또한, 상기 캐리어는 상기 수용 홈의 상부에서 상기 수용 홈의 외측 방향으로 연장되도록 형성되는 수용 연장턱을 포함하며, 상기 지지 수단은 상기 지지 몸체의 상부 외측면에서 수평 방향으로 연장되는 지지 연장부를 포함하며, 상기 지지 연장부의 상면은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮고 상기 유리 기판의 하면이 접촉되어 지지되도록 형성될 수 있다. 이때, 상기 수용 홈은 상기 격자 형상 배열에서 외측에 위치하는 수용 홈이 상기 캐리어의 외측단으로부터 100mm ∼ 150mm로 이격되도록 형성되며, 서로 인접한 수용 홈 사이의 이격 거리가 120mm ∼ 350m가 되도록 형성될 수 있다.Further, the carrier may include a receiving extension protrusion formed to extend in an outer direction of the receiving groove at an upper portion of the receiving groove, and the supporting means may include a support extending portion extending horizontally at an upper outer side of the supporting body And an upper surface of the support extension may be formed to have a surface roughness lower than that of the glass substrate and to support the lower surface of the glass substrate. At this time, the receiving grooves are formed such that the receiving grooves located on the outer side in the lattice-like arrangement are spaced apart from the outer ends of the carrier by 100 mm to 150 mm, and the distance between the adjacent receiving grooves is 120 mm to 350 m have.

또한, 상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 표면 경도가 낮은 그라파이트 또는 보론나이트라이드 재질로 형성될 수 있다.Further, the supporting means may be formed of graphite or boron nitride having a surface hardness lower than that of the glass substrate.

또한, 상기 캐리어는 상면에 격자 형상으로 배열되는 복수의 수용 홈 및 상기 수용 홈의 상부에서 상기 수용 홈의 외측 방향으로 연장되도록 형성되는 수용 연장턱을 포함하며, 상기 지지 수단은 상기 수용 홈에 삽입되며 상부에 반구 형상의 상부 수용 홈을 구비하는 하부 지지체와, 상기 상부 수용 홈에 수용되어 상기 유리 기판의 하면을 지지하는 메인 볼과, 상기 상부 수용 홈과 상기 메인 볼 사이에 위치하는 구동 볼 및 상기 하부 지지체의 외측을 감싸며 상기 수용 홈에 삽입되는 상부 캡을 포함하여 형성될 수 있다. 이때, 상기 메인 볼은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮도록 형성될 수 있다.또한, 상기 메인 볼은 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3), 실리콘카바이드(SiC) 또는 텅스텐 재질로 형성될 수 있다. The carrier includes a plurality of receiving grooves arranged in a lattice shape on an upper surface thereof and a receiving extension jaw extending from the upper portion of the receiving groove to extend outwardly of the receiving groove, A main ball which is accommodated in the upper receiving groove and supports the lower surface of the glass substrate, and a driving ball positioned between the upper receiving groove and the main ball, And an upper cap which surrounds the outer side of the lower support and is inserted into the receiving groove. The main ball may be formed of zirconia (ZrO 2 ), alumina (Al 2 O 3 ), silicon carbide (SiC), or tungsten. The main ball may be formed to have a lower surface roughness than the glass substrate. .

또한, 상기 하부 지지체는 인코넬(incornel) 재질, 스테인레스 스틸(SUS) 재질, 쿼츠(quartz), 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3), 실리콘카바이드(SiC) 또는 텅스텐 재질로 형성될 수 있다.The lower support may be formed of an inconel material, a stainless steel material, quartz, zirconia (ZrO 2 ), alumina (Al 2 O 3 ), silicon carbide (SiC), or tungsten have.

본 발명에 따른 유리 기판의 이송 모듈은 유리 기판과 캐리어가 직접적으로 접촉되지 않도록 함으로써 유리 기판의 후면에 스크래치가 발생되는 정도를 감소시키는 효과가 있다. The transfer module of the glass substrate according to the present invention has an effect of reducing the degree of scratches on the back surface of the glass substrate by preventing direct contact between the glass substrate and the carrier.

또한, 본 발명에 따른 유리 기판의 이송 모듈은 유리 기판과 캐리어 사이에 그라파이트 시트를 위치시켜 유리 기판이 그라파이트에 의하여 지지되도록 함으로써 유리 기판의 후면에 스크래치가 발생되는 정도를 감소시키는 효과가 있다.In addition, the transfer module of the glass substrate according to the present invention has a function of placing the graphite sheet between the glass substrate and the carrier and supporting the glass substrate by the graphite, thereby reducing the degree of scratches on the back surface of the glass substrate.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 수직 단면도를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 수식 단면도를 나타낸다.
도 3은 도 2에서 캐리어의 평면도를 나타낸다.
도 4는 도 2의 지지 수단에 대한 측면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 부분 수직 단면도를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 적용된 다른 구조의 지지수단의 단면도를 나타낸다.
도 7은 기존의 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 열처리된 유리 기판을 지지 수단으로 구비하는 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 그라파이트 시트를 지지 수단으로 구비하는 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 그라파이트 핀을 지지 수단으로 구비하는 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 볼-트랜스퍼를 지지 수단으로 구비하는 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.1 is a vertical sectional view of a transfer module of a glass substrate according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view of a transfer module of a glass substrate according to another embodiment of the present invention.
Figure 3 shows a top view of the carrier in Figure 2;
Figure 4 is a side view of the support means of Figure 2;
Figure 5 shows a partial vertical cross-sectional view of a transfer module of a glass substrate according to another embodiment of the present invention.
6 shows a cross-sectional view of a support means of another structure applied to a transfer module of a glass substrate according to another embodiment of the present invention.
FIG. 7 shows the result of scratch measurement on the rear surface of the glass substrate after the heat treatment of the glass substrate using the conventional transfer module of the glass substrate.
8 is a graph illustrating a result of scratch measurement on the rear surface of a glass substrate after heat treatment of a glass substrate using a glass substrate transfer module having a heat-treated glass substrate according to an embodiment of the present invention.
9 is a graph illustrating a result of scratch measurement on the rear surface of a glass substrate after heat treatment of a glass substrate using a glass substrate transfer module having a graphite sheet as a supporting means according to an embodiment of the present invention.
10 is a graph illustrating a result of a scratch measurement on the back surface of a glass substrate after heat treatment of a glass substrate using a glass substrate transfer module having graphite pins as supporting means according to an embodiment of the present invention.
11 is a graph illustrating a result of scratch measurement on the back surface of a glass substrate after heat treatment of the glass substrate using the glass substrate transfer module having the ball-transfer device as a support means according to the embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
Hereinafter, a transfer module of a glass substrate according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대하여 설명한다. First, a transfer module of a glass substrate according to an embodiment of the present invention will be described.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 수직 단면도를 나타낸다.
1 is a vertical sectional view of a transfer module of a glass substrate according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈(100)은, 도 1을 참조하면, 캐리어(110) 및 지지 수단(120)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 유리 기판의 이송 모듈(100)은 지지바(130)를 더 포함하여 형성될 수 있다.1, a transfer module 100 of a glass substrate according to an embodiment of the present invention is formed including a carrier 110 and a support means 120. As shown in FIG. Further, the transfer module 100 of the glass substrate may further include a support bar 130.

상기 유리 기판의 이송 모듈(100)은 캐리어(110)의 상면에 지지 수단(120)이 안착되며, 지지 수단(120)의 상부에 안착되는 유리 기판(a)을 이송하게 된다. 상기 유리 기판의 이송 모듈(100)은 지지 수단(120)이 유리 기판(a)을 지지하도록 하여 유리 기판(a)이 캐리어(110)와 직접 접촉되지 않게 함으로써, 유리 기판(a)의 후면에 스크래치가 발생되는 것을 감소시키게 된다. The transfer module 100 of the glass substrate transfers the glass substrate a which is seated on the upper portion of the support means 120 and the support means 120 is mounted on the upper surface of the carrier 110. The transfer module 100 of the glass substrate is configured such that the support means 120 supports the glass substrate a so that the glass substrate a is not in direct contact with the carrier 110, Thereby reducing occurrence of scratches.

상기 유리 기판의 이송 모듈(100)은 캐리어 이송 모듈(10)에 안착되어 캐리어 이송 모듈(10)의 상부에 형성되는 롤러(20)에 의하여 이송된다. 또한, 상기 유리 기판의 이송 모듈(100)은 유리 기판(a)의 프리-컴팩션(pre-compaction) 공정, 열처리 공정을 진행하는 열처리 장치에 설치되어 사용될 수 있다. 또한, 상기 유리 기판(a)은 LCD, PDP, OLED와 같은 평판 디스플레이 장치에 사용될 수 있다.
The transport module 100 of the glass substrate is transported by the rollers 20 that are seated on the carrier transport module 10 and formed on top of the carrier transport module 10. In addition, the transfer module 100 of the glass substrate may be used in a pre-compaction process of the glass substrate (a) or in a heat treatment apparatus for performing a heat treatment process. In addition, the glass substrate (a) may be used in flat panel display devices such as LCDs, PDPs, and OLEDs.

상기 캐리어(110)는 지지 수단(120) 및 유리 기판(a)보다 큰 면적을 갖는 판상으로 형성된다. 또한, 상기 캐리어(110)는 고온에서 사용 가능하며, 내열충격성(thermal shock resistance)이 높고, 열팽창계수(thermal expansion coefficient)가 작으며, 기계적 특성(mechanical properties)이 우수한 수정(quartz)으로 형성될 수 있다. 한편, 상기 캐리어(110)는 일반적인 유리 기판의 열처리 장치에 사용되는 캐리어로 형성될 수 있다.The carrier 110 is formed in a plate shape having a larger area than the support means 120 and the glass substrate a. The carrier 110 may be formed of quartz having high thermal shock resistance, low thermal expansion coefficient, and excellent mechanical properties, which can be used at high temperatures. . Meanwhile, the carrier 110 may be formed of a carrier used in a general glass substrate heat treatment apparatus.

상기 지지 수단(120)은 상면에 안착되는 유리 기판(a)보다 큰 면적을 가지는 판상으로 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 바람직하게는 열처리 되는 유리 기판과 동일 또는 유사한 유리 재질로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)과 열팽창 계수가 동일 또는 유사하게 되어, 유리 기판의 열처리 공정에서 열팽창 계수의 차이에 의하여 유리 기판(a)의 후면에 발생될 수 있는 스크래치를 감소시키게 된다. The supporting means 120 is formed in a plate shape having a larger area than the glass substrate (a) which is seated on the upper surface. The support means 120 may be formed of the same or similar glass material as the glass substrate to be heat-treated. Therefore, the supporting means 120 has the same or similar thermal expansion coefficient as that of the glass substrate (a), and the scratches which may be generated on the rear surface of the glass substrate (a) due to the difference in thermal expansion coefficient in the heat treatment process of the glass substrate .

또한, 상기 지지 수단(120)이 유리 재질로 형성되는 경우에, 사전에 열처리되어 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 바람직하게는 열처리 되는 유리 기판(a)의 열처리 공정 온도 이상의 온도에서 미리 열처리되어 형성될 수 있다. 상기 지지 수단(120)은 열처리를 통하여 프리-컴팩션될 수 있다. 따라서, 상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)의 열처리 과정에서는 변형과 수축이 감소되어 유리 기판(a)과 동일 또는 유사한 열팽창 계수를 갖게 된다. 따라서, 상기 지지 수단(120)은 열처리 공정중에 유리 기판(a)과 동일 또는 유사하게 팽창(승온 구간) 또는 수축(냉각 구간)되어 유리 기판(a)의 하면에 스크래치 유발을 최소화하게 된다.Further, when the supporting means 120 is formed of a glass material, it is formed by heat treatment in advance. The supporting means 120 may be formed by heat-treating the glass substrate (a) at a temperature equal to or higher than the heat treatment temperature of the heat-treated glass substrate (a). The support means 120 may be pre-compaction through heat treatment. Therefore, the supporting means 120 has a thermal expansion coefficient that is the same or similar to that of the glass substrate (a) due to a decrease in deformation and shrinkage in the heat treatment process of the glass substrate (a). Therefore, the support means 120 is expanded (raised in temperature) or shrunk (cooled) in the same or similar manner as the glass substrate (a) during the heat treatment process to minimize scratches on the lower surface of the glass substrate (a).

상기 지지 수단(120)은 유리 재질로 형성되는 경우에 유리 기판(a)의 하면과 접촉되는 상면이 별도의 에칭 처리될 수 있다. 또한 상기 지지 수단(120)은 상면의 표면 조도가 유리 기판(a)의 하면의 표면 조도보다 낮도록 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 에칭 처리에 의하여 Ra 10-100nm의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 표면 조도가 조정되어, 상면에 안착되는 유리 기판(a)과 서로 붙는(sticky) 현상이 감소될 수 있다. When the support means 120 is formed of a glass material, the upper surface contacting the lower surface of the glass substrate a may be separately etched. Also, the supporting means 120 is formed such that the surface roughness of the upper surface is lower than that of the lower surface of the glass substrate (a). The supporting means 120 is formed to have a surface roughness Ra of 10-100 nm by an etching treatment. The surface roughness of the supporting means 120 is adjusted so that the phenomenon of sticking to the glass substrate a which is seated on the upper surface can be reduced.

상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)을 상승시키기 위한 리프트 핀이 관통되는 리프트 핀 홀(도시하지 않음), 진공을 형성하기 위한 진공 홀(도시하지 않음)이 형성되는 경우에, 홀 주변에 열처리를 행하여 홀 가공시 홀 주변에 형성되는 마이크로 크랙(micro crack)이 제거되도록 한다.
The supporting means 120 is provided with a lift pin hole (not shown) through which a lift pin for raising the glass substrate a is passed, and a vacuum hole (not shown) The microcracks formed around the holes are removed during the hole machining.

상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)보다 표면 경도가 낮은 재질로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)과 접촉시에도 유리 기판(a)의 하면에 스크래치가 발생되는 정도를 감소시키게 된다. 예를 들면, 상기 지지 수단(120)은 그라파이트(graphite) 시트로 형성될 수 있다. 이때, 상기 그라파이트 시트는 내부에 존재할 수 있는 수분이 제거되도록 100℃∼120℃의 온도에서 1∼2시간 큐어링(curing) 또는 열처리될 수 있다. 상기 그라파이트 시트는 내부에 존재하는 수분 또는 습기등에 의하여 에어 버블(air bubble)이 발생될 수 있으며, 에어 버블에 의하여 유리 기판의 하면에 스크래치가 유발되거나 유리 기판에 손상을 유발할 수 있다. 따라서, 상기 그라파이트 시트는 큐어링 과정을 통하여 내부에 존재하는 수분 또는 습기가 제거되는 것이 바람직하다.
The supporting means 120 may be formed of a material having a surface hardness lower than that of the glass substrate (a). Accordingly, the support means 120 reduces the degree of scratching on the lower surface of the glass substrate a even when the support means 120 is in contact with the glass substrate a. For example, the support means 120 may be formed of a graphite sheet. At this time, the graphite sheet may be cured or heat-treated at a temperature of 100 ° C to 120 ° C for 1 to 2 hours to remove moisture that may be present therein. Air bubbles may be generated in the graphite sheet due to moisture or moisture present therein. Scratches may be generated on the lower surface of the glass substrate due to air bubbles or damage to the glass substrate may occur. Therefore, it is preferable that the graphite sheet is removed from moisture or moisture existing therein through the curing process.

또한, 상기 지지 수단(120)은 표면에서 내부로 연장되며, 직경이 1mm이하인 홈 또는 홀(도면에 도시하지 않음)로 형성되는 배출부(도면에 도시하지 않음)가 형성될 수 있다. 상기 홈 또는 홀은 10∼20mm 간격으로 형성될 수 있다. 상기 홈 또는 홀은 레이저 가공, 핀 또는 송곳에 의한 기계 가공에 의하여 형성될 수 있다. 상기 배출부는 그라파이트 시트가 큐어링 또는 열처리 과정에서 수분 또는 에어 버블이 신속하게 제거되도록 한다. 따라서, 상기 배출부는 유리 기판(a)의 열처리 공정 중에 수분에 의해서 유리 기판의 하면에 발생될 수 있는 스크래치를 감소시키게 된다.Further, the supporting means 120 may extend from the surface to the inside, and may have a discharge portion (not shown) formed by a groove or a hole (not shown) having a diameter of 1 mm or less. The grooves or holes may be formed at intervals of 10 to 20 mm. The grooves or holes may be formed by laser machining, machining by a pin or drill bit. The discharge portion allows the graphite sheet to quickly remove moisture or air bubbles during curing or heat treatment. Therefore, the discharge portion reduces the scratches that may be generated on the lower surface of the glass substrate by moisture during the heat treatment process of the glass substrate (a).

또한, 상기 그라파이트 시트는 표면에 배출부가 형성된 후에 추가로 압축 롤링 공정을 통하여 압축됨으로써 홈 또는 홀의 직경을 감소시켜 유리 기판(a)과의 접촉시 스크래치의 유발이 더욱 더 감소되도록 할 수 있다. 또한, 상기 그라파이트 시트는 압축 롤링 공정을 통하여 기계적 강도가 증가될 수 있다.Further, the graphite sheet may be compressed through the compression rolling process after the discharge portion is formed on the surface, thereby reducing the diameter of the grooves or holes, thereby further reducing the scratching incidence upon contact with the glass substrate (a). In addition, the graphite sheet may have increased mechanical strength through a compression rolling process.

또한, 상기 그라파이트 시트는 표면에 산화 방지 및 이물 생성 방지를 위하여 유리 기판(a)보다 표면 경도가 높지 않은 실리콘 옥사이드 코팅층과 같은 세라믹 재질에 의한 표면 코팅막이 형성될 수 있다.
The graphite sheet may have a surface coating layer formed of a ceramic material such as a silicon oxide coating layer having a surface hardness not higher than that of the glass substrate (a) in order to prevent oxidation and prevent the formation of foreign substances on the surface.

상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)의 표면 조도보다 낮은 표면 조도를 가지도록 형성될 수 된다. 따라서, 상기 지지 수단(120)은 유리 기판(a)과 접촉시에도 유리 기판(a)의 하면에 스크래치를 유발하는 정도를 감소시키게 된다. 또한, 상기 지지 수단(120)은 표면 조도가 캐리어(110)의 표면 조도보다 낮은 표면 조도를 가지도록 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 바람직하게는 Ra 100nm 이하의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 또한, 상기 지지 수단(120)은 Ra 10nm 이상의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 표면 조도가 너무 높게 되면 유리 기판(a)에 스크래치를 유발하게 된다.The supporting means 120 can be formed to have a surface roughness lower than the surface roughness of the glass substrate (a). Therefore, the supporting means 120 reduces the degree of scratching on the lower surface of the glass substrate (a) even when it comes into contact with the glass substrate (a). Further, the supporting means 120 is formed such that the surface roughness has a lower surface roughness than the surface roughness of the carrier 110. The supporting means 120 is preferably formed to have a surface roughness Ra of 100 nm or less. Further, the supporting means 120 is formed to have a surface roughness Ra of 10 nm or more. If the surface roughness of the supporting means 120 is too high, scratches may be caused on the glass substrate (a).

상기 지지 수단(120)은 0.5 ∼ 3.0mm의 두께를 가지도록 형성되며, 바람직하게는 유리 기판(a)의 두께보다 큰 두께를 가지도록 형성된다. 상기 지지 수단(120)은 두께가 너무 얇으면, 사용 횟수에 따라 변형이 유발되어 상면에 안착되는 유리 기판(a)에 변형을 초래하게 된다. 또한, 상기 지지 수단(120)의 두께가 너무 두꺼우면, 유리 기판(a)이 공정 시간 대비 충분히 가열되디 않을 수 있다. 또한, 상기 이송 모듈의 무게 증가로 인하여 롤러 및 세터의 균일이 발생할 수 있으며, 균열에 의하여 파티클(particle)이 발생될 수 있다. The supporting means 120 is formed to have a thickness of 0.5 to 3.0 mm, and is preferably formed to have a thickness larger than the thickness of the glass substrate (a). If the thickness of the supporting means 120 is too small, deformation is caused according to the number of times of use, and the glass substrate a which is seated on the top surface is deformed. Further, if the thickness of the supporting means 120 is too large, the glass substrate (a) may not be heated sufficiently for the processing time. In addition, due to the increase in weight of the conveying module, uniformity of the roller and the setter may occur, and particles may be generated due to cracks.

상기 지지바(130)는 바 형상으로 형성되며, 판상으로 형성되는 지지 수단의 상면 모서리 부분을 감싸게 된다. 상기 지지바(130)는 바람직하게는 지지 수단이 그라파이트 쉬트로 형성되는 경우에 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분을 감싸도록 형성된다. 상기 그라파이트 시트는 모서리 부분이 상대적으로 취약하여 유리 기판의 열처리 과정에서 파티클(particle)을 발생시킬 수 있다. 따라서, 상기 지지바(130)는 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분을 감싸서 유리 기판(a)의 열처리 과정에서 외부로 노출되지 않도록 한다. The supporting bar 130 is formed in a bar shape and covers a corner portion of the upper surface of the plate-shaped supporting means. The support bar 130 is preferably formed to surround the top edge of the graphite sheet when the support means is formed of a graphite sheet. The graphite sheet is relatively fragile at the corners, so that particles can be generated during the heat treatment of the glass substrate. Accordingly, the support bar 130 covers the upper surface corner portion of the graphite sheet so as not to be exposed to the outside in the heat treatment process of the glass substrate (a).

상기 지지바(130)는 바람직하게는 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분의 형상에 대응되는 지지홈(132)을 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분이 "ㄱ"자 형상의 직각으로 형성되는 경우에, 지지홈(132)도 "ㄱ"자 형상의 홈으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분이 라운드 형상으로 형성되는 경우에, 지지홈(132)도 호 형상의 홈으로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 지지홈(132)은 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분과 전체적으로 접촉되도록 결합되어 파티클이 발생되는 것을 최소화할 수 있다.
The support bar 130 may preferably have a support groove 132 corresponding to the shape of the top edge portion of the graphite sheet. For example, when the upper surface corner portion of the graphite sheet is formed at a right angle of "a" shape, the support groove 132 may also be formed as a " Further, when the upper surface corner portion of the graphite sheet is formed in a round shape, the support groove 132 may also be formed as an arc-shaped groove. Accordingly, the support groove 132 is formed to be in contact with the upper edge portion of the graphite sheet as a whole to minimize the generation of particles.

다음은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대하여 설명한다.Next, a glass substrate transfer module according to another embodiment of the present invention will be described.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 수식 단면도를 나타낸다. 도 3은 도 2에서 캐리어의 평면도를 나타낸다. 도 4는 도 2의 지지 수단에 대한 측면도이다.2 is a schematic cross-sectional view of a transfer module of a glass substrate according to another embodiment of the present invention. Figure 3 shows a top view of the carrier in Figure 2; Figure 4 is a side view of the support means of Figure 2;

본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈(200)은, 도 2와 도 3 및 도 4를 참조하면, 캐리어(210) 및 지지 수단(220)을 포함하여 형성된다. 상기 유리 기판의 이송 모듈(200)은 도 1에 도시된 유리기판의 이송 모듈(100)과 동일하게 캐리어 이송 모듈(10)에 안착되어 이송된다. 이하에서는 도 1의 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈(100)과 다른 부분을 중심으로 설명하며, 동일한 부분에 대하여는 설명을 생략한다.
2 and 3 and 4, the transfer module 200 of the glass substrate according to another embodiment of the present invention is formed to include the carrier 210 and the support means 220. [ The transfer module 200 of the glass substrate is mounted on the carrier transfer module 10 in the same manner as the transfer module 100 of the glass substrate shown in FIG. Hereinafter, the glass substrate according to the embodiment of FIG. 1 will be mainly described with respect to the transfer module 100, and description of the same parts will be omitted.

상기 캐리어(210)는, 도 3을 참조하면, 복수의 수용 홈(212) 및 수용 연장턱(214)를 포함하여 형성된다.Referring to FIG. 3, the carrier 210 is formed to include a plurality of receiving grooves 212 and a receiving extension jaw 214.

상기 수용 홈(212)는 복수 개로 형성되며, 캐리어(210)의 상면에 격자 형상으로 배열되도록 형성된다. 상기 수용 홈(212)은 바람직하게는 x축 방향과 y축 방향으로 서로 일정 간격으로 이격되어 형성된다. 상기 수용 홈(212)은 각각 지지 수단(220)을 수용하게 된다.The receiving grooves 212 are formed in a plurality of slots and are arranged in a lattice shape on the top surface of the carrier 210. The receiving grooves 212 are preferably spaced apart from one another in the x-axis direction and the y-axis direction. Each of the receiving grooves 212 receives the supporting means 220.

상기 수용 홈(212)은 캐리어(210)의 상면에서 캐리어(210)의 내측 하부 방향으로 연장되어 형성되고, 캐리어(210)의 하면을 관통하지 않게 된다. 상기 수용 홈(212)은 캐리어(210)의 하부에서 유리 기판(a)의 하면으로 국부적인 열 유입이 이루어지지 않도록 한다. 따라서, 상기 유리 기판(a)은 국부적인 가열에 의한 변형이 발생하지 않게 된다.The receiving groove 212 extends from the upper surface of the carrier 210 to the inner lower side of the carrier 210 and does not penetrate the lower surface of the carrier 210. The receiving grooves 212 prevent local heat inflow from the bottom of the carrier 210 to the bottom surface of the glass substrate a. Therefore, the glass substrate (a) is not deformed by local heating.

상기 수용 홈(212)은 격자 형상 배열에서 외측에 위치하는 수용 홈(212)이 캐리어(210)의 외측단으로부터 100mm ∼ 150mm 이격되도록 형성된다. 상기 수용 홈(212)이 캐리어(210)의 외측단으로부터 100mm 보다 작은 거리로 이격되면, 유리 기판(a)의 외측단에서 발생되는 모멘텀(중력)에 대한 응력이 유리 기판(a)의 온도차에 의해 발생되는 응력보다 작게 되어 외측단 부분이 상부로 들뜨는 현상이 발생될 수 있다. 또한, 상기 수용 홈(212)이 캐리어(210)의 외측단으로부터 너무 이격되는 경우에 불필요하게 캐리어(210)의 면적이 증가될 수 있다.The receiving groove 212 is formed such that the receiving groove 212 located outside in the lattice-like arrangement is spaced 100 mm to 150 mm from the outer end of the carrier 210. When the receiving groove 212 is spaced at a distance of less than 100 mm from the outer end of the carrier 210, the stress on the momentum (gravity) generated at the outer end of the glass substrate (a) The outer end portion may be lifted up to the upper side. Further, the area of the carrier 210 may be unnecessarily increased when the receiving groove 212 is too far from the outer end of the carrier 210. [

상기 수용 홈(212)은 서로 인접한 수용 홈 사이의 이격 거리가 120mm ∼ 350mm가 되도록 형성될 수 있다. 상기 수용 홈(212)은 유리 기판(a)의 두께에 따라 적정한 이격 거리를 가지도록 형성된다. 상기 수용 홈(212)의 이격 거리가 크게 되면, 열처리 과정에서 유리 기판(a)에 발생되는 변형(warpage)량이 유리 기판(a)과 캐리어(210)의 이격 거리를 초과하게 된다. 따라서, 상기 유리 기판(a)의 하면이 캐리어(210)의 상면과 접촉하게 되어 스크래치가 발생될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 기판(a)의 두께가 0.5mm 이고 수용 홈(212)의 이격 거리가 350mm 보다 크게 되면, 열처리 과정에서 유리 기판(a)의 하면이 캐리어(210)의 상면에 접촉될 수 있다.The receiving groove 212 may be formed to have a distance between adjacent receiving grooves of 120 mm to 350 mm. The receiving groove 212 is formed to have an appropriate distance according to the thickness of the glass substrate a. The amount of warpage generated in the glass substrate a in the heat treatment process exceeds the separation distance between the glass substrate a and the carrier 210. Therefore, the lower surface of the glass substrate (a) comes into contact with the upper surface of the carrier 210, and scratches can be generated. For example, when the thickness of the glass substrate (a) is 0.5 mm and the separation distance of the receiving groove 212 is larger than 350 mm, the lower surface of the glass substrate (a) is brought into contact with the upper surface of the carrier 210 .

상기 수용 연장턱(214)은 수용 홈(212)의 상부에서 수용 홈(212)의 외측 방향으로 연장되어 형성되며, 캐리어(210)의 상면에서 수용 홈(212)의 하부 방향으로 단차지도록 형성된다. 상기 수용 연장턱(214)은 지지 수단(220)의 상부가 안착되어 지지되도록 한다.The receiving extension jaw 214 is formed to extend from the upper portion of the receiving groove 212 to the outer side of the receiving groove 212 and is formed to be stepped in the lower direction of the receiving groove 212 from the upper surface of the carrier 210 . The receiving extension jaw 214 allows the upper portion of the supporting means 220 to be seated and supported.

한편, 상기 수용 연장턱(214)이 형성되는 경우에, 상대적으로 수평 면적이 더 작은 수용 홈(212)을 깊게 형성할 수 있게 된다. 따라서, 상기 캐리어(210)가 가공이 상대적으로 어려운 수정으로 형성되는 경우에 가공 공정을 단축할 수 있게 된다.
On the other hand, when the receiving extension jaw 214 is formed, the receiving groove 212 having a relatively smaller horizontal area can be formed deeply. Accordingly, when the carrier 210 is formed with relatively difficult crystal processing, it is possible to shorten the machining process.

상기 지지 수단(220)은, 도 4를 참조하면, 지지 몸체(222) 및 지지 연장부(224)를 포함하는 핀 형상으로 형성된다. 상기 지지 수단(220)은 캐리어 상부에 위치하는 유리 기판(a)의 하면을 지지하여 유리 기판(a)의 하면이 캐리어(210)의 상면에 직접 접촉되지 않도록 한다. 한편, 상기 지지 수단(220)은 지지 몸체(222)만으로 유리 기판(a)의 지지가 충분한 경우에 지지 연장부(224)가 형성되지 않을 수 있다. 이 경우에, 상기 캐리어(210)는 지지 연장부(224)를 수용하기 위한 수용 연장턱(214)이 형성되지 않을 수 있다. 또한, 상기 지지 수단(220)은 캐리어(210)에 수용 연장턱(214)이 형성되지 않는 경우에 지지 연장부(224)가 형성되지 않을 수 있다. 4, the support means 220 is formed in a fin shape including a support body 222 and a support extension portion 224. [ The support means 220 supports the lower surface of the glass substrate a positioned on the carrier so that the lower surface of the glass substrate a does not directly contact the upper surface of the carrier 210. On the other hand, when the glass substrate (a) is sufficiently supported by the support body 222 alone, the support means 220 may not be formed with the support extension portion 224. In this case, the carrier 210 may not have the receiving extension jaws 214 for receiving the support extensions 224. In addition, the support means 220 may not have the support extension 224 when the carrier 210 has no receiving extension tab 214.

상기 지지 수단(220)은 고온에서 사용가능하며, 유리 기판(a)의 표면 경도보다 경도가 낮은 고순도 그라파이트(graphite), 보론나이트라이드(boron nitride)와 같은 재질로 형성된다. The supporting means 220 can be used at a high temperature and is formed of a material such as high purity graphite or boron nitride having a hardness lower than that of the glass substrate a.

또한, 상기 지지 수단(220)이 그라파이트로 형성되는 경우에 그라파이트 표면에 산화 방지 및 이물 생성 방지를 위하여 유리 기판(a)보다 표면 경도가 높지 않은 실리콘 산화물과 같은 세라믹 재질에 의한 표면 코팅막이 형성될 수 있다. In addition, when the supporting means 220 is formed of graphite, a surface coating film of a ceramic material such as silicon oxide having a surface hardness not higher than that of the glass substrate (a) is formed on the graphite surface in order to prevent oxidation and prevent foreign matters .

또한, 상기 지지 수단(220)은 유리 기판(a)의 하면과 직접 접촉되는 표면의 표면 조도가 유리 기판(a)의 표면 조도보다 낮으며, 바람직하게는 Ra 100nm 이하의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 상기 지지 수단(220)은 유리 기판(a)의 하면과 직접 접촉되는 표면을 폴리싱(polishing) 또는 경면 연마 처리하여 유리 기판(a)의 하면에 스크래치가 발생되지 않도록 한다. 상기 지지 수단(220)은 표면 조도가 너무 높게 되면 유리 기판(a)의 하면에 스크래치를 유발하게 된다. The supporting means 220 is formed such that the surface roughness of the surface directly contacting the lower surface of the glass substrate a is lower than the surface roughness of the glass substrate a and preferably has a surface roughness Ra of 100 nm or less do. The supporting means 220 polishes or polishes a surface directly contacting the lower surface of the glass substrate a to prevent scratches on the lower surface of the glass substrate a. If the surface roughness of the supporting means 220 is too high, the lower surface of the glass substrate (a) may cause scratches.

또한, 상기 지지 수단(220)는 캐리어(210)의 상면으로부터 0.5mm ∼ 3.0mm로 돌출되도록 형성된다. 상기 지지 수단(220)의 돌출 높이가 너무 낮게 되면 유리 기판(a)의 하면이 캐리어(210)의 상면과 접촉될 가능성이 증가된다. 또한, 상기 지지 수단(220)의 돌출되는 높이가 너무 높게 되면 이송되는 유리 기판(a)이 불안정하게 지지될 수 있다Further, the supporting means 220 is formed to protrude from the upper surface of the carrier 210 by 0.5 mm to 3.0 mm. If the protruding height of the supporting means 220 is too low, the possibility that the lower surface of the glass substrate a comes into contact with the upper surface of the carrier 210 is increased. Also, if the protruding height of the supporting means 220 is too high, the glass substrate a to be conveyed may be unstably supported

상기 지지 몸체(222)는 기둥 형상으로 형성되며, 수평 단면이 원형으로 형성된다. 상기 지지 몸체(222)는 수평 단면이 삼각형, 사각형, 오각형 또는 육각형과 같은 다각형인 기둥 형상으로 형성될 수 있다.The support body 222 is formed in a columnar shape and has a circular cross-section. The support body 222 may be formed in a columnar shape having a polygonal shape such as a triangular, rectangular, pentagonal, or hexagonal cross section.

상기 지지 몸체(222)는 캐리어(210)의 수용 홈(212)에 안착되어 고정된다. 또한, 상기 지지 몸체(222)는 상면이 유리 기판(a)의 하면과 접촉되며, 유리 기판(a)을 지지하게 된다. 상기 지지 몸체(222)는 상면의 표면 조도가 유리 기판(a)의 하면의 표면 조도보다 낮게 된다.The support body 222 is seated and fixed in the receiving groove 212 of the carrier 210. The upper surface of the support body 222 is in contact with the lower surface of the glass substrate a to support the glass substrate a. The surface roughness of the upper surface of the support body 222 becomes lower than the surface roughness of the lower surface of the glass substrate (a).

상기 지지 연장부(224)는 지지 몸체(222)의 상부 외측면에서 수평 방향으로 연장되어 형성되며, 상면이 지지 몸체(222)의 상면과 동일 평면을 이루도록 형성된다. 상기 지지 연장부(224)는 지지 몸체(222)와 일체로 형성될 수 있다. 상기 지지 연장부(224)는 상면이 유리 기판(a)의 하면에 접촉되며, 지지 몸체(222)와 함께 유리 기판(a)을 지지하게 된다. 상기 지지 연장부(224)는 상면의 표면 조도가 유리 기판(a)의 하면의 표면 조도보다 낮게 된다.
The support extension part 224 extends horizontally from the upper outer surface of the support body 222 and has an upper surface formed flush with the upper surface of the support body 222. The support extension 224 may be integrally formed with the support body 222. The support extension part 224 contacts the lower surface of the glass substrate a with its upper surface and supports the glass substrate a together with the support body 222. The surface extension of the upper surface of the support extension 224 is lower than the surface roughness of the lower surface of the glass substrate a.

다음은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대하여 설명한다.Next, a glass substrate transfer module according to another embodiment of the present invention will be described.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 대한 부분 수직 단면도를 나타낸다. 도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈에 적용된 다른 구조의 지지수단의 단면도를 나타낸다.Figure 5 shows a partial vertical cross-sectional view of a transfer module of a glass substrate according to another embodiment of the present invention. 6 shows a cross-sectional view of a support means of another structure applied to a transfer module of a glass substrate according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈(300)은, 도 5를 참조하면, 캐리어(310) 및 지지 수단(320)을 포함하여 형성된다. 이하에서는 도 2와 도 3 및 도 4의 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈(200)과 다른 부분을 중심으로 설명하며, 동일한 부분에 대하여는 설명을 생략한다.
5, a transport module 300 of a glass substrate according to another embodiment of the present invention is formed including a carrier 310 and a support means 320. Hereinafter, the glass substrate transfer module 200 according to the embodiment of FIG. 2, FIG. 3 and FIG. 4 will be mainly described, and description of the same parts will be omitted.

상기 캐리어(310)는 복수의 수용 홈(312) 및 수용 연장턱(314)를 포함하여 형성된다. 상기 수용 홈(312) 및 수용 연장턱(314)은 도 2 및 도 3의 실시예에 따른 수용 홈(212) 및 수용 연장턱(214)와 동일한 작용을 하며 동일한 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 수용 홈(312) 및 수용 연장턱(314)은 지지 수단(320)의 형상에 따라 수용 홈(212) 및 수용 연장턱(214)에 비하여 직경 또는 높이가 다르게 형성될 수 있다. 따라서, 여기서는 구체적인 설명은 생략한다.
The carrier 310 is formed to include a plurality of receiving grooves 312 and a receiving extension jaw 314. The receiving groove 312 and the receiving extension jaw 314 may have the same shape and function in the same manner as the receiving groove 212 and the receiving extension jaw 214 according to the embodiment of FIGS. The receiving groove 312 and the receiving extending step 314 may be different in diameter or height from each other in the receiving groove 212 and the receiving extending step 214 depending on the shape of the supporting means 320. Therefore, a detailed description is omitted here.

상기 지지 수단(320)은 하부 지지체(322)와 메인 볼(324)과 구동 볼(326) 및 상부 캡(328)을 포함하여 형성된다. 즉, 상기 지지 수단(320)은 일반적으로 사용되는 볼-트랜스퍼(ball-transfer)로 형성된다. 또한, 상기 볼 트랜스퍼는 도 5에 도시된 구조외에도 유리 기판과 같은 평판을 이송하는데 사용되는 다양한 구조의 볼-트랜스퍼로 형성될 수 있다. 따라서, 이하에서는 상기 지지 수단(320)의 구조에 대한 구체적인 설명을 생략하고 일반적인 볼-트랜스퍼와 차이가 있는 부분을 중심으로 설명한다. The support means 320 includes a lower support 322, a main ball 324, a drive ball 326, and an upper cap 328. That is, the supporting means 320 is formed of a generally used ball-transfer. In addition to the structure shown in FIG. 5, the ball transfer may be formed of ball-transfers of various structures used to transfer a flat plate such as a glass substrate. Therefore, a detailed description of the structure of the support means 320 will be omitted, and a description will be given mainly of the difference from the general ball-transfer.

상기 하부 지지체(322)는 상부에 메인 볼(324)과 구동 볼(326)을 수용하는 반구 형상의 상부 수용 홈(322a)를 포함하여 형성된다. 상기 하부 지지체(322)는 캐리어의 수용 홈(312)에 삽입된다. 상기 하부 지지체(322)는 다른 금속 재질에 비하여 고온에서 열팽창계수가 상대적으로 낮고 부식에 강한 인코넬(inconel) 재질, 스테인레스 스틸(SUS) 재질, 쿼츠(quartz), 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3) 또는 실리콘카바이드(SiC) 재질로 형성될 수 있다.The lower support 322 includes a hemispherical upper receiving groove 322a for receiving the main ball 324 and the driving ball 326 at the upper portion thereof. The lower support 322 is inserted into the receiving groove 312 of the carrier. The lower support 322 is the coefficient of thermal expansion at high temperatures is relatively low and resistant to corrosion Inconel (inconel) material, stainless steel (SUS) material, quartz (quartz), zirconia (ZrO 2) as compared with other metal materials, alumina (Al 2 O 3 ) or silicon carbide (SiC) material.

도 5에서 미설명 부호인 329a와 329b는 하부 지지체(322)의 상부에 형성되는 상부 수용 홈(322a)에 결합되는 차단링이다.In FIG. 5, reference numerals 329a and 329b denote blocking rings coupled to the upper receiving groove 322a formed in the upper portion of the lower supporting member 322. As shown in FIG.

상기 메인 볼(324)은 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3) 또는 실리콘카바이드(SiC) 재질로 형성될 수 있다. 상기 메인 볼(324)은 회전하면서 유리 기판(a)의 하면을 지지하게 된다. 상기 메인 볼(324)은 표면 조도가 유리 기판(a)의 표면 조도보다 낮으며, 바람직하게는 Ra 100nm 이하의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 또한, 상기 메인 볼(324)은 Ra 10nm 이상의 표면 조도를 가지도록 형성된다. 상기 메인 볼(324)은 표면 조도가 너무 높게 되면 유리 기판(a)에 스크래치를 유발할 수 있다.The main ball 324 may be formed of zirconia (ZrO 2 ), alumina (Al 2 O 3 ), or silicon carbide (SiC). The main ball 324 rotates to support the lower surface of the glass substrate a. The main ball 324 is formed such that the surface roughness is lower than the surface roughness of the glass substrate (a) and preferably has a surface roughness Ra of 100 nm or less. Further, the main ball 324 is formed to have a surface roughness Ra of 10 nm or more. If the surface roughness of the main ball 324 is too high, it may cause scratches on the glass substrate (a).

또한, 상기 메인 볼(324)은 유리 기판(a)의 하면과 점 접촉을 하게 되어 유리 기판(a)의 하면과 접촉되는 면적을 최소화함으로써 유리 기판(a)의 하면에 형성될 수 있는 스크래치를 감소시키게 된다. The main ball 324 makes point contact with the lower surface of the glass substrate a to minimize the contact area with the lower surface of the glass substrate a so that scratches can be formed on the lower surface of the glass substrate a .

상기 구동 볼(326)은 메인 볼(324)과 동일한 재질로 형성되며, 회전하면서 메인 볼이 원활하게 회전할 수 있도록 한다.The driving ball 326 is formed of the same material as the main ball 324 and allows the main ball to rotate smoothly while rotating.

상기 상부 캡(328)은 하부 지지체(322)의 외측을 감싸며, 수용 홈(312)에 삽입되도록 형성된다. 상기 상부 캡(328)은 하부 지지체(322)와 동일 또는 유사한 재질로 형성될 수 있다. 즉, 상기 상부 캡은 인코넬(inconel) 재질, 스테인레스 스틸(SUS) 재질, 쿼츠(quartz) 또는 세라믹 재질로 형성될 수 있다.
The upper cap 328 surrounds the outer side of the lower support 322 and is formed to be inserted into the receiving groove 312. The upper cap 328 may be formed of the same or similar material as the lower support 322. That is, the upper cap may be formed of inconel material, stainless steel material, quartz or ceramic material.

한편, 상기 지지수단(420)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 하부 지지체(422)와 메인 볼(424)과 구동 볼(426) 및 상부 캡(428)을 포함하여 형성된다. 상기 하부 지지체(422)와 메인 볼(424)과 구동 볼(426) 및 상부 캡(428)은 각각의 구조 및 결합관계가 도 5의 지지수단(320)을 구성하는 하부 지지체(322)와 메인 볼(324)과 구동 볼(326) 및 상부 캡(328)과 유사하게 형성될 수 있다. 상기 지지 수단(420)은 도 5의 지지 수단(320)과 같이 캐리어(310)의 수용 홈(312)에 하부 지지체(422)가 삽입되어 결합되며, 메인 볼(424)이 구동되어 유리 기판(a)의 후면을 지지하게 된다. 6, the supporting unit 420 includes a lower support 422, a main ball 424, a driving ball 426, and an upper cap 428. [ The lower support 422, the main ball 424, the drive ball 426, and the upper cap 428 are connected to each other via a lower support 322 and a main support 422, The ball 324, the drive ball 326, and the upper cap 328. [0064] 5, the lower support 422 is inserted and coupled to the receiving groove 312 of the carrier 310, and the main ball 424 is driven to move the glass substrate a).

도 6에서 미설명 부호인 429a와 429b는 하부 지지체(422)의 상부에 형성되는 상부 수용 홈(422a)에 결합되는 차단링이다. 또한, 미설명 부호인 422c는 하부 지지체(422)와 상부 캡(428)을 고정하는 핀(미도시)이 결합되는 통로이다.
In FIG. 6, reference numerals 429a and 429b denote a blocking ring coupled to the upper receiving groove 422a formed on the upper portion of the lower supporting body 422. In FIG. A reference numeral 422c is a passage through which a pin (not shown) for fixing the lower support 422 and the upper cap 428 is coupled.

한편, 상기의 설명에서는 유리 기판의 이송 모듈의 지지 수단이 핀 형상의 지지 수단(220) 또는 볼-트랜스퍼의 지지 수단(320)의 어느 하나만으로 형성되는 구성에 대하여 설명하였다. 그러나, 상기 유리 기판의 이송 모듈은 핀 형상의 지지 수단(220)과 볼-트랜스퍼의 지지 수단(320)이 함께 사용되도록 형성될 수 있음은 물론이다. 또한, 상기 유리 기판의 이송 모듈은 캐리어의 외측 모서리에 형성되는 수용 홈(도 3에서 212a로 표시되는 수용 홈)에는 핀 형상의 지지 수단(220)이 위치하고, 다른 부분에는 볼-트랜스퍼의 지지 수단(320)이 위치하도록 형성될 수 있다. 즉, 상기 핀 형상의 지지 수단(220)은 상대적으로 면적이 넓어 유리 기판(a)의 하면을 안정적으로 지지할 수 있으므로 유리 기판(a)의 외측 모서리 부분을 지지하도록 위치하고, 볼-트랜스퍼의 지지 수단(320)은 유리 기판(a)의 다른 부분을 지지하도록 위치할 수 있다.
In the above description, the supporting means of the conveying module of the glass substrate is formed of only one of the fin-shaped supporting means 220 and the ball-transfer supporting means 320. However, it goes without saying that the transfer module of the glass substrate may be formed so that the pin-shaped support means 220 and the ball-transfer support means 320 are used together. In the transfer module of the glass substrate, a fin-shaped support means 220 is located in a receiving groove (indicated by 212a in FIG. 3) formed on the outer edge of the carrier, and a ball- (320) may be positioned. That is, since the pin-shaped supporting means 220 can relatively stably support the lower surface of the glass substrate a, it is positioned to support the outer edge portion of the glass substrate a, and the support of the ball- Means 320 may be positioned to support other portions of the glass substrate a.

다음은 본 발명의 각 실시예에 따른 유리 기판의 이송 모듈들의 스크래치 발생 정도에 대한 평가 결과를 설명한다. Next, the evaluation results of the degree of scratch occurrence of the transfer modules of the glass substrate according to each embodiment of the present invention will be described.

도 7은 기존의 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다. 도 8 내지 도 11은 각각 본 발명의 실시예에 따라, 열처리된 유리 기판, 그라파이트 시트, 그라파이트 핀, 볼트랜스퍼를 지지 수단으로 구비하는 유리 기판의 이송 모듈을 이용한 유리 기판의 열처리 후 유리 기판의 후면에 발생한 스크래치 측정 결과이다.FIG. 7 shows the result of scratch measurement on the rear surface of the glass substrate after the heat treatment of the glass substrate using the conventional transfer module of the glass substrate. 8 to 11 are schematic cross-sectional views of a rear surface of a glass substrate after heat treatment of a glass substrate using a transfer module of a glass substrate having a heat-treated glass substrate, a graphite sheet, a graphite pin, Of the scratches.

유리 기판은 LCD 또는 OLED와 같은 평판 표시 장치에 사용되는 0.5t, 730mm x 920mm를 사용하였다. 상기 유리 기판의 열처리는 평판 표시 장치에 사용되는 유리 기판을 열처리하는 조건으로 실시하였다. 보다 구체적으로는, 상기 유리 기판은 RT(Room Temperature) - T1(650℃, 10min) - T2(650℃, 10min) - T3((550℃, 5min) - T4(50℃, 5min) - T5(500℃, 5min) - T6(400℃, 2.5min) - RT(Cooling Plate)의 조건으로 열처리되었다. 상기 유리 기판을 이송하는 이송 모듈은 본 발명의 실시예에 따른 지지 수단인 사전 열처리된 유리 기판, 그라파이트 시트, 그라파이트 핀 및 볼 트랜스퍼를 각각 구비하는 이송 모듈을 사용하였다. 또한, 비교 평가를 위하여, 별도의 지지 수단을 구비하지 않은 이송 모듈을 사용하여 열처리를 진행하였다. The glass substrate used was 0.5t, 730mm x 920mm, which is used in flat panel display devices such as LCD or OLED. The heat treatment of the glass substrate was performed under the condition of heat treating the glass substrate used in the flat panel display. More specifically, the glass substrate was cooled to room temperature (RT) - T1 (650 ° C., 10 min) - T 2 (650 ° C., 10 min) - T 3 500 ° C., 5 min) - T6 (400 ° C., 2.5 min) - RT (Cooling Plate). The transfer module for transferring the glass substrate was a pre- , A graphite sheet, a graphite pin, and a ball transfer, respectively. In addition, for the comparative evaluation, heat treatment was carried out using a conveyance module not provided with a separate supporting means.

상기 유리 기판의 후면에 형성된 스크래치는 열처리 된 후에 파티클 카운터를 사용하여 평가하였다. 도 7 및 도 8 내지 도 11에서 X축과 Y축의 숫자는 유리 기판의 크기를 나타낸다. 또한, 도 7 및 도 8 내지 도 11에서 도시되는 원들은 유리 기판의 하면에 형성되는 스크래치의 위치 및 크기를 나타낸다. Scratches formed on the back surface of the glass substrate were evaluated by using a particle counter after heat treatment. 7 and 8 to 11, the numbers of the X and Y axes indicate the size of the glass substrate. In addition, the circles shown in Figs. 7 and 8 to 11 show the position and size of the scratch formed on the lower surface of the glass substrate.

기존의 이송 모듈을 사용하여 열처리한 경우에는, 도 7을 참조하면, 후면에 전체적으로 스크래치가 발생되는 것을 볼 수 있다. Referring to FIG. 7, when heat treatment is performed using an existing transfer module, it can be seen that scratches are generated as a whole on the rear surface.

그러나, 본 발명의 실시예에 따른 이송 모듈을 사용하여 열처리한 경우는, 도 8 내지 도 11을 참조하면, 전체적으로 스크래치가 국부적으로 발생되고 있으며, 스크래치의 개수와 크기로 현저히 감소되는 것을 알 수 있다. 특히, 그라파이트 시트를 포함하는 이송 모듈을 사용하여 열처리한 경우에는, 스크래치가 발생되지 않는 것을 알 수 있다.However, in the case of heat treatment using the transfer module according to the embodiment of the present invention, referring to FIGS. 8 to 11, it can be seen that scratches are generated locally, and the number and size of scratches are significantly reduced . Particularly, when heat treatment is performed using a conveyance module including a graphite sheet, it can be seen that no scratch is generated.

따라서, 본 발명의 실시예에 따른 이송 모듈은 유리 기판의 열처리 과정에서 유리 기판의 후면에 스크래치가 발생되는 것을 현저히 감소시키거나 발생시키지 않는 것을 알 수 있다.
Accordingly, it can be seen that the transfer module according to the embodiment of the present invention does not significantly reduce or cause the generation of scratches on the rear surface of the glass substrate in the heat treatment process of the glass substrate.

본 명세서에 개시된 실시예는 여러 가지 실시 가능한 예중에서 당업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 실시예를 선정하여 제시한 것일 뿐, 이 발명의 기술적 사상이 반드시 이 실시예에만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 부가 및 변경이 가능함 물론, 균등한 다른 실시예의 구현이 가능하다. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the present invention are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims.

100, 200, 300: 유리 기판의 이송 모듈
110, 210, 310: 캐리어
120, 220, 320, 420: 지지 수단100, 200, 300: Feed module for glass substrate
110, 210, 310: carrier
120, 220, 320, 420: support means

Claims (18)

판상으로 형성되는 캐리어 및
상기 캐리어의 상부에 위치하는 유리 기판의 하면을 지지하는 지지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.A carrier formed in a plate shape and
And a supporting means for supporting a lower surface of the glass substrate positioned on the upper portion of the carrier. 제 1 항에 있어서,
상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 큰 면적을 가지는 판상이며 상면에 상기 유리 기판의 하면과 접촉되며, 하면이 상기 캐리어의 상면과 접촉되도록 형성되며, 상기 유리 기판보다 표면 경도가 낮은 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the support means is in the form of a plate having a larger area than the glass substrate and is in contact with the lower surface of the glass substrate on the upper surface and is in contact with the upper surface of the carrier, Transfer module for substrate. 제 1 항에 있어서,
상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 큰 면적을 가지는 판상이며 상면에 상기 유리 기판의 하면과 접촉되며, 하면이 상기 캐리어의 상면과 접촉되도록 형성되며, 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮은 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the support means is in the form of a plate having a larger area than the glass substrate and is in contact with the lower surface of the glass substrate on the upper surface and is in contact with the upper surface of the carrier on the upper surface, Transfer module for substrate. 제 1 항에 있어서,
상기 지지 수단은 상기 유리 기판의 열처리 공정 온도 이상의 온도에서 프리-컴팩션된 판상의 유리 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the support means is formed of a plate-shaped glass material that is pre-compaction at a temperature equal to or higher than the heat treatment temperature of the glass substrate. 제 1 항에 있어서,
상기 지지 수단은 열처리되는 상기 유리 기판과 동일한 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the supporting means is formed of the same material as the glass substrate to be heat-treated. 제 1 항에 있어서,
상기 지지 수단은 그라파이트 시트로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the supporting means is formed of a graphite sheet. 제 6 항에 있어서,
상기 그라파이트 시트는 표면에서 내부로 연장되는 홈 또는 홀이 형성되며, 100℃∼120℃의 온도에서 30분 내지 2시간 동안 큐어링되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.The method according to claim 6,
Wherein the graphite sheet has grooves or holes extending inwardly from a surface thereof and is cured at a temperature of 100 ° C to 120 ° C for 30 minutes to 2 hours. 제 7 항에 있어서,
상기 그라파이트 시트는 압축 롤링되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.8. The method of claim 7,
Wherein the graphite sheet is formed by compression rolling. 제 6 항에 있어서,
상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분을 감싸는 지지바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.The method according to claim 6,
Further comprising a support bar surrounding an upper surface corner portion of the graphite sheet. 제 9 항에 있어서,
상기 지지바는 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분에 대응되는 형상으로 형성되어 상기 그라파이트 시트의 상면 모서리 부분에 전체적으로 접촉되도록 결합되는 지지홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.10. The method of claim 9,
Wherein the support bar is formed in a shape corresponding to a corner of the upper surface of the graphite sheet and has a support groove which is in contact with the upper edge corner of the graphite sheet so as to be entirely contacted. 제 1 항에 있어서,
상기 캐리어는 상면에 격자 형상으로 배열되는 복수의 수용 홈을 포함하며,
상기 지지 수단은 기둥 형상으로 형성되며 상기 수용 홈에 결합되는 지지 몸체를 포함하며,
상기 지지 몸체의 상면은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮고 상기 유리 기판의 하면이 접촉되어 지지되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the carrier includes a plurality of receiving grooves arranged in a lattice shape on an upper surface thereof,
The supporting means includes a support body formed in a columnar shape and coupled to the receiving groove,
Wherein the upper surface of the support body is formed to have a surface roughness lower than that of the glass substrate and to support the lower surface of the glass substrate in contact therewith. 제 11 항에 있어서,
상기 캐리어는 상기 수용 홈의 상부에서 상기 수용 홈의 외측 방향으로 연장되도록 형성되는 수용 연장턱을 포함하며,
상기 지지 수단은 상기 지지 몸체의 상부 외측면에서 수평 방향으로 연장되는 지지 연장부를 포함하며,
상기 지지 연장부의 상면은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮고 상기 유리 기판의 하면이 접촉되어 지지되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.12. The method of claim 11,
Wherein the carrier includes a receiving extension protrusion formed to extend in an outer direction of the receiving groove at an upper portion of the receiving groove,
Wherein the support means includes a support extension extending in a horizontal direction at an upper outer surface of the support body,
Wherein the upper surface of the support extension portion is formed to have a surface roughness lower than that of the glass substrate and to support the lower surface of the glass substrate in contact with the lower surface of the glass substrate. 제 11 항에 있어서,
상기 수용 홈은
상기 격자 형상 배열에서 외측에 위치하는 수용 홈이 상기 캐리어의 외측단으로부터 100mm ∼ 150mm로 이격되도록 형성되며,
서로 인접한 수용 홈 사이의 이격 거리가 120mm ∼ 350m가 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.12. The method of claim 11,
The receiving groove
Wherein a receiving groove located on the outer side in the lattice-like arrangement is formed to be spaced apart from the outer end of the carrier by 100 mm to 150 mm,
And the spacing distance between adjacent receiving grooves is 120 mm to 350 m. 제 11 항에 있어서,
상기 지지 수단은 상기 유리 기판보다 표면 경도가 낮은 그라파이트 또는 보론나이트라이드 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.12. The method of claim 11,
Wherein the supporting means is formed of a graphite or boron nitride material having a surface hardness lower than that of the glass substrate. 제 1 항에 있어서,
상기 캐리어는 상면에 격자 형상으로 배열되는 복수의 수용 홈 및 상기 수용 홈의 상부에서 상기 수용 홈의 외측 방향으로 연장되도록 형성되는 수용 연장턱을 포함하며,
상기 지지 수단은 상기 수용 홈에 삽입되며 상부에 반구 형상의 상부 수용 홈을 구비하는 하부 지지체와, 상기 상부 수용 홈에 수용되어 상기 유리 기판의 하면을 지지하는 메인 볼과, 상기 상부 수용 홈과 상기 메인 볼 사이에 위치하는 구동 볼 및 상기 하부 지지체의 외측을 감싸며 상기 수용 홈에 삽입되는 상부 캡을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the carrier includes a plurality of receiving grooves arranged in a lattice shape on an upper surface thereof and an receiving extension jaw extending from the upper portion of the receiving groove to the outside of the receiving groove,
Wherein the supporting means comprises a lower support inserted into the receiving groove and having a hemispherical upper receiving groove at an upper portion thereof, a main ball accommodated in the upper receiving groove and supporting a lower surface of the glass substrate, A drive ball positioned between the main balls, and an upper cap surrounding an outer side of the lower support and inserted into the receiving groove. 제 15 항에 있어서,
상기 메인 볼은 상기 유리 기판보다 표면 조도가 낮은 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.16. The method of claim 15,
Wherein the main ball has lower surface roughness than the glass substrate. 제 15 항에 있어서,
상기 메인 볼은 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3), 실리콘카바이드(SiC) 또는 텅스텐 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.16. The method of claim 15,
Wherein the main ball is made of zirconia (ZrO 2 ), alumina (Al 2 O 3 ), silicon carbide (SiC), or tungsten. 제 15 항에 있어서,
상기 하부 지지체는 인코넬(inconel) 재질, 스테인레스 스틸(SUS) 재질, 쿼츠(quartz), 지르코니아(ZrO2), 알루미나(Al2O3), 실리콘카바이드(SiC) 또는 텅스텐 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 모듈.16. The method of claim 15,
The lower support is formed of an inconel material, a stainless steel material, quartz, zirconia (ZrO 2 ), alumina (Al 2 O 3 ), silicon carbide (SiC), or tungsten A transfer module for the glass substrate.
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