KR20140118674A - Electric wave absorption sheet for near-field and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 전자기기나 통신기기에 있어서 여분의 방사전파를 억제하기 위해 사용되는 근방계용 전파 흡수 시트 및 그의 제조방법에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a radio wave absorbing sheet for a near field system used for suppressing extra radiation radio waves in an electronic apparatus or a communication apparatus, and a manufacturing method thereof.
근년, 전자기기나 통신기기의 소형화·경량화에 수반하여, 전자회로에 장착되는 부품의 실장밀도도 높아지고 있다. 그 때문에, 전자부품으로부터 방사되는 전파에 기인해서, 전자부품들간 또는 전자회로들간에 있어서 전파 간섭이 생기는 것에 기인하는 전자기기 등의 오동작이 문제가 된다.2. Description of the Related Art In recent years, mounting density of components mounted on electronic circuits has increased along with miniaturization and weight reduction of electronic apparatuses and communication apparatuses. For this reason, a malfunction of an electronic device or the like due to radio wave interference between electronic components or electronic circuits due to radio waves radiated from the electronic components becomes a problem.
이 문제를 방지하기 위해, 여분의 방사 전파를 열로 변환하는 근방계용 전파 흡수 시트가 전자기기 등에 실장되어 있다. 이 전파 흡수 시트는 두께가 0.1~2mm이기 때문에, 전자부품이나 전자회로 근방에 삽입하는 것이 가능하고, 가공이 용이하고 형상 자유도도 높다. 그 때문에, 전파 흡수 시트는 전자기기 등의 소형화·경량화에 적응하는 것이 가능하고, 전자기기 등의 노이즈 대책 부품으로서 광범위하게 이용되고 있다.In order to prevent this problem, a radio wave absorbing sheet for a nearby system for converting extra radiating radio waves into heat is mounted on electronic equipment or the like. Since the electromagnetic wave absorptive sheet has a thickness of 0.1 to 2 mm, it can be inserted in the vicinity of electronic parts and electronic circuits, and is easy to process and has high degree of freedom in shape. Therefore, the radio wave absorbing sheet can be adapted to miniaturization and weight reduction of electronic devices and the like, and is widely used as a noise countermeasure component for electronic devices and the like.
전형적인 전파 흡수 시트는 편평상으로 가공된 연자성 금속 분말과 수지로 이루어지며, 연자성 금속 분말의 자기 손실에 의해 전파를 열로 변환하는 구조이다. 따라서, 전파 흡수 시트의 전파 흡수 성능은 연자성 금속 분말의 투자율에 의존한다. 일반적으로 투자율은 실부 투자율 μ'와 허수부 투자율 μ"를 이용해서 복소 투자율 μ = μ' - j·μ" 로 표시되지만, 전파 흡수 시트와 같은 자기 손실을 이용하는 경우에는 허수부 투자율 μ"가 중요하게 된다. 즉, 흡수하고 싶은 전파 노이즈의 주파수 대역에 걸쳐서, 허수부 투자율 μ"가 분포하는 것이 중요하다. 이하, 본 명세서에서는 주파수에 대한 허수부 투자율 μ"의 분포를 「μ" 분산」이라 칭한다.A typical electromagnetic wave absorbing sheet is composed of soft magnetic metal powder and resin processed in a flat shape and is a structure that converts radio waves into heat by magnetic loss of the soft magnetic metal powder. Therefore, the radio wave absorption performance of the radio wave absorbing sheet depends on the permeability of the soft magnetic metal powder. Generally, the permeability is expressed by the complex permeability μ = μ ' - j · μ " using the real magnetic permeability μ' and the imaginary magnetic permeability μ" Quot ; , it is important that the imaginary part magnetic permeability 占 is distributed over the frequency band of the propagation noise to be absorbed. Hereinafter, in the present specification, the term " The distribution is referred to as "μ" dispersion.
자기 손실은 히스테리시스 손실, 과전류 손실 및 잔류 손실의 3개로 이루어지나, 전파 흡수 시트에 의해 억제하려 하는 듯한 전파 노이즈는 1MHz~1GHz 정도의 고주파대역에 있고, 그 대역에서의 자기 손실은 과전류 손실 및 잔류 손실이 지배적이다. 또, 잔류 손실로서는 주로 자기 공명이 중요하다. The magnetic loss consists of hysteresis loss, overcurrent loss and residual loss. However, the propagation noise which seems to be suppressed by the radio wave absorbing sheet is in the high frequency band of about 1 MHz to 1 GHz, and the magnetic loss in the band is the overcurrent loss and the residual Loss is dominant. In addition, magnetic resonance is important as the residual loss.
특허문헌 1에는 편평상으로 가공된 단일 조성의 연자성 금속 분말과 수지로 이루어지고, 연자성 금속 분말의 비표면적을 소정치 이상이 되도록 가공하는 것에 의해, 고주파측에서 새로운 자기 공명이 출현하고, 단일 조성이더라도 μ" 분산이 광대역에서 얻어지는 기술이 기재되어 있다.
특허문헌 2로서, 산화물 연자성 재료인 육방정 페라이트를 사용한 전파 흡수 시트도 알려져 있다. 육방정 페라이트에는 GHz 대역에서 자기 공명을 나타내는 재료가 많고, 구성원소의 일부를 타원소로 치환하는 것으로 공명 주파수를 제어할 수 있기 때문에 GHz 대역의 전파를 흡수하는 전파흡수체로서 적당하다. As
μ" 분산을 광대역에서 얻기 위해 복수 종의 자성 재료를 조합한 전파 흡수 시트로서는 복수 종의 연자성 금속 분말을 혼합한 것(특허문헌 3), 복수 종의 육방정 페라이트를 혼합한 것(특허문헌 4), 연자성 금속 분말의 표면을 페라이트 층으로 코팅한 것(특허문헌 5)이 알려져 있다. As a radio wave absorbing sheet in which a plurality of kinds of magnetic materials are combined to obtain a dispersion of " mu " in a wide band, a combination of a plurality of types of soft magnetic metal powders (Patent Document 3), a mixture of a plurality of kinds of hexagonal ferrite 4), and a surface of a soft magnetic metal powder coated with a ferrite layer (Patent Document 5).
근년, 전자 기기 등의 고성능화는 급속히 진전되고 있고, 사용하는 주파수는 점점 높아지는 경향에 있다. 예를 들면, 퍼스널 컴퓨터에서는 한층 더 고속화가 요구되고, CPU의 구동 주파수는 GHz대에 달하게 하려 하고 있다. 이러한 전자 기기 등의 다기능화나 융합이 진행되는 한편으로, 전자 기기 등으로부터 방사되는 여분의 전파의 주파수도 높아지고, 그 방사 전파에 의한 기능 간섭이나 오동작도 종래보다 증가하여 염려된다. 또, 전자회로에는 다양한 전자부품이 고밀도로 실장되어 있어, 다양한 주파수의 여분의 전파가 방사되기 때문에, 좁은 주파수 대역에서 기능하는 전파 흡수 시트로는 대응할 수 없게 되어 있다. 그 때문에, μ" 분산이 GHz대역을 포함하여 광대역에서 얻어지는 전파 흡수 시트의 개발이 요구되고 있다. [0002] In recent years, high performance of electronic devices and the like is rapidly advancing, and the frequency of use tends to increase. For example, in personal computers, a higher speed is required, and the driving frequency of the CPU is set to reach GHz. The frequency of extra radio waves radiated from an electronic device or the like is increased while multifunctionality or fusion of such electronic devices is progressing and the function interference or malfunction caused by the radiation radio waves is also increased. In addition, various electronic components are mounted on the electronic circuit at a high density, and extra radio waves of various frequencies are radiated, so that the radio wave absorbing sheet functioning in a narrow frequency band can not cope with it. For this reason, development of a radio wave absorbing sheet having a dispersion of μ "in a broad band including a GHz band is desired.
그러나 특허문헌 1의 기술에서는 단일 조성의 연자성 금속 분말을 사용하고 있어, 비교적 광대역에서 μ" 분산이 얻어진다고는 하지만, 특히 GHz대역에서의 μ" 분산이 불충분하다. However, in the technique of
특허문헌 2의 육방정 페라이트는 합금자성체와는 달라서 전기저항이 대단히 높기 때문에, 과전류에 의한 자기 손실은 거의 예상할 수 없다. 그 때문에, 육방정 페라이트를 사용한 전파 흡수 시트의 μ" 분산은 자기 공명에 의한 것뿐이기 때문에, GHz대라고 하더라도 비교적 좁은 대역이 된다.Since the hexagonal ferrite of
특허문헌 3은 복수 종의 연자성 금속 분말을 혼합했다고 하더라도 GHz 대역에서의 μ" 분산이 불충분한 것은 특허문헌 1과 동양이다. 특허문헌 4는 복수 종의 육방정 페라이트를 혼합했다 하더라도 하나하나의 재료에 기인하는 μ" 분산의 피크는 좁기 때문에, 폭 넓은 주파수 대역에서 μ" 분산을 얻기 위해서는 공명주파수가 다른 다수의 재료를 조합시키지 않으면 안 되어, 효율적이지 않다.Patent Document 3 discloses that even when a plurality of kinds of soft magnetic metal powders are mixed, the dispersion of μ " in the GHz band is insufficient.
특허문헌 5는 연자성 금속 분말의 표면에 도금법으로 페라이트층을 성장시키는 것으로, 양산 기술이 확립되어 있지 않기 때문에 소량밖에 합성할 수 없다. 또, 육방정 페라이트의 자기 공명 주파수는 부분적인 원소 치환에 의해 제어하는 것이 가능하지만, 이러한 도금법으로 원소 치환을 제어하는 것과 같은 기술은 확립되어 있지 않다.Patent Document 5 discloses that a ferrite layer is grown on the surface of a soft magnetic metal powder by a plating method, and since a technique for mass production is not established, only a small amount of ferrite can be synthesized. The magnetic resonance frequency of hexagonal ferrite can be controlled by partial element substitution, but such a technique as controlling element substitution by such a plating method is not established.
이상과 같이, 종래 기술에서는 μ" 분산이 GHz 대역을 포함하여 광대역에서 얻어지는 전파 흡수 시트는 실용적으로는 얻어지고 있지 않다.As described above, in the prior art, the radio wave absorbing sheet obtained in a wide band including the " dispersion " in the GHz band has not been practically obtained.
여기서 본 발명은 상기 과제에 비추어, GHz 대역을 포함하여 광대역에 걸쳐서 허수부 투자율 μ"의 분포가 얻어지는 근방계용 전파 흡수 시트 및 그의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. In view of the above-described problem, the present invention provides a method of measuring the imaginary part magnetic permeability " And a method for producing the same.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명자가 예의 검토한 결과, 비교적 광대역에서 μ" 분산을 얻는 것이 가능한 편평상의 연자성 금속 분말 사이에, 이 연자성 금속 분말의 자기 공명보다도 높은 GHz 대역의 주파수로 자기 공명을 나타내는 페라이트 분말이 산재하는 구조를 가지는 전파 흡수 시트에 의하면, GHz 대역을 포함하여 광대역에 걸쳐 μ" 분산을 얻는 것이 가능한 것을 발견하고, 본 발명을 완성하였다. To achieve the above object, the present inventors have intensively studied. As a result, in the relatively wide as that between the soft magnetic metal powder on the available flat, the soft magnetic resonance than the frequency of the high-GHz band of the magnetic metal powder to obtain a μ "dispersion self According to the radio wave absorbing sheet having a structure in which ferrite powder showing resonance is scattered, it was found that it is possible to obtain a dispersion of " spread over a wide band including the GHz band, and the present invention has been completed.
즉, 본 발명의 근방계용 전파 흡수 시트는 편평상의 연자성 금속 분말과, 페라이트 분말과, 수지를 포함하며, 상기 편평상의 연자성 금속 분말이 수평 배향하고 있어, 편평상의 연자성 금속 분말 사이에 상기 페라이트 분말이 산재하는 구조를 가지는 것을 특징으로 한다.That is, the electromagnetic wave absorbing sheet for a near-field system of the present invention includes a flat soft magnetic metal powder, a ferrite powder, and a resin, wherein the flat soft magnetic metal powder is horizontally oriented, Characterized in that the ferrite powder has a scattered structure.
이 근방계용 전파 흡수 시트에 있어서, 페라이트 분말은 마그네토플럼바이트 (magnetoplumbite)형 또는 페록스플라나(ferroxplana)형의 육방정 페라이트 분말인 것이 바람직하다. 또한, 편평상의 연자성 금속 분말은 이 분말간의 절연을 목적으로 한 자기 산화 피막을 가지고 있지 않은 것이 바람직하다.In the electromagnetic wave absorptive sheet for a near field system, the ferrite powder is preferably a magnetoplumbite type or a ferroxplana type hexagonal ferrite powder. It is also preferable that the flat soft magnetic metal powder does not have a magnetic oxidation film for the purpose of insulating the powders.
본 발명의 근방계용 전파 흡수 시트의 제조방법은 편평상의 연자성 금속 분말과, 페라이트 분말과, 수지와, 유기 용매를 혼합해서 슬러리를 제조하는 공정과, 이 슬러리를 닥터블레이드법에 의해 시트상의 성형체로 가공하는 공정과, 이 성형체를 상기 수지의 연화점 이상의 온도하에서 프레스하는 공정을 가지는 것을 특징으로 한다.A method of manufacturing a radio wave absorbing sheet for a near field system of the present invention comprises the steps of: preparing a slurry by mixing a flat soft magnetic metal powder, a ferrite powder, a resin and an organic solvent; And a step of pressing the molded article at a temperature equal to or higher than the softening point of the resin.
이 제조방법에 있어서, 상기 페라이트 분말은 마그네토플럼바이트형 또는 페록스플라나형의 육방정 페라이트 분말인 것이 바람직하다. 또 상기 편평상의 연자성 금속분말은 분말간의 절연을 목적으로 한 산화 처리를 하지 않은 것이 바람직하다. In this manufacturing method, it is preferable that the ferrite powder is a hexagonal ferrite powder of the magnetoplumbite type or the Peroxplora type. It is preferable that the flat soft magnetic metal powder is not subjected to an oxidation treatment for the purpose of insulation between powders.
본 발명의 근방계용 전파 흡수 시트는 GHz대역을 포함하여 광대역에 걸쳐서 허수부 투자율 μ"의 분포가 얻어질 수 있다. 또 본 발명의 근방계용 전파 흡수 시트의 제조방법에 의하면, GHz대역을 포함하여 광대역에 걸쳐서 허수부 투자율 μ"의 분포가 얻어질 수 있는 근방계용 전파 흡수 시트를 제조할 수 있다.The distribution of the imaginary part permeability 占 can be obtained over a wide band including the GHz band of the present invention. Further, according to the manufacturing method of the radio wave absorbing sheet for a near field system of the present invention, It is possible to manufacture a radio wave absorbing sheet for a near system which can obtain a distribution of the imaginary part magnetic permeability 占 over a wide band.
도 1은 실시예 2에서 제작한 본 발명의 일 실시 형태에 의한 근방계용 전파 흡수 시트의 단면 구조를 나타내는 SEM 사진이다.
도 2는 비교예 1에서 제작한 근방계용 전파 흡수 시트의 단면구조를 나타내는 SEM 사진이다.
도 3은 비교예 1, 실시예 1~3에 있어서 허수부 투자율 특성을 나타내는 그래프이다.
도 4는 비교예 2, 실시예 4~6에 있어서 허수부 투자율 특성을 나타내는 그래프이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is an SEM photograph showing a cross-sectional structure of a radio wave absorbing sheet for a near-field system according to an embodiment of the present invention produced in Example 2. Fig.
Fig. 2 is an SEM photograph showing the cross-sectional structure of the near-field wave absorbing sheet produced in Comparative Example 1. Fig.
3 is a graph showing the imaginary part magnetic permeability characteristics in Comparative Example 1 and Examples 1 to 3.
4 is a graph showing the imaginary part magnetic permeability characteristics in Comparative Examples 2 and 4 to 6. FIG.
이하, 본 발명의 근방계용 전파 흡수 시트 및 그의 제조방법의 실시 형태에 대해서 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a radio wave absorbing sheet for a near-field system of the present invention and a manufacturing method thereof will be described.
본 발명의 일 실시 형태에 의한 근방계용 전파 흡수 시트(이하, 단순히 '전파 흡수 시트'라 한다.)는 편평상의 연자성 금속 분말과, 페라이트 분말과, 수지를 포함한다. 그리고 본 실시 형태는 편평상의 연자성 금속 분말이 수평 배향하고 있어, 이 편평상의 연자성 금속 분말 사이에 페라이트 분말이 산재하는 구조를 가지는 것을 특징으로 한다.A radio wave absorbing sheet for a near-bystand according to an embodiment of the present invention (hereinafter, simply referred to as an "radio wave absorbing sheet") includes a flat soft magnetic metal powder, a ferrite powder, and a resin. The present embodiment is characterized in that the flat soft magnetic metal powder is oriented horizontally and the ferrite powder is scattered between the flat soft magnetic metal powders.
이러한 구조의 예를 도 1에 나타낸다. 도 1에 있어서, 좌우로 늘어진 편평상의 물질이 연자성 금속 분말이고, 서로 수평 배향하고 있는 것을 알 수 있다. 또 이 연자성 금속 사이에 산재하고 있는 물질이 페라이트 분말이다.An example of such a structure is shown in Fig. In Fig. 1, it is seen that the flat material which is stretched to the left and right is the soft magnetic metal powder and is horizontally oriented to each other. The material scattered between the soft magnetic metals is ferrite powder.
편평상의 연자성 금속 분말은 비교적 광대역에서 μ" 분산을 생기게 한다. 한편, 페라이트 분말은 연자성 금속 분말의 자기 공명보다도 높은 GHz대역의 주파수에서 자기 공명을 나타낸다. 따라서, 이들 재료를 복합하는 것에 의해, GHz 대역을 포함하여 광대역에 걸쳐서 μ" 분산을 얻을 수 있다.The soft magnetic metal powder on the flat will cause a μ "dispersion in the relatively wide. On the other hand, the ferrite powder shows a magnetic resonance at the frequency of the high-GHz band than the magnetic resonance of the soft magnetic metal powder. Accordingly, by the composite of these materials Mu] " dispersion over a wide band including the GHz band can be obtained.
또한, 특허문헌 5와 같이 연자성 금속 분말에 페라이트를 코팅하면, 전파 흡수 시트의 절곡 등을 실시한 때에, 페라이트가 갈라져 버릴 우려가 있다. 또한, 페라이트는 연자성 금속 분말에 비해 포화 자화가 반분 이하이고, 연자성 금속 분말을 페라이트로 덮으면, 단위 체적당 연자성 금속 분말의 비율이 상대적으로 저하하고, 그에 수반하는 전파 흡수 시트의 평균적인 포화 자화, 즉 방사전파의 차폐 비율이 저하해 버린다. 한편, 본 발명과 같이, 편평상의 연자성 금속 분말보다도 작은 페라이트 분말이 편평상의 연자성 금속 분말의 근방에 분포하는 경우, 연자성 금속 분말과 페라이트 분말에 의한 국소적인 자기 결합이 생기고, 이것이 μ"의 주파수 분산을 생기게 한다.Further, when ferrite is coated on the soft magnetic metal powder as in Patent Document 5, there is a possibility that the ferrite is split when the electromagnetic wave absorbing sheet is bent or the like. When the soft magnetic metal powder is covered with ferrite, the ratio of the soft magnetic metal powder per unit volume is relatively lowered, and the average of the resulting electromagnetic wave absorbing sheet The saturation magnetization, that is, the shielding ratio of the radiated radio wave is lowered. On the other hand, as in the present invention, the kite is smaller than a ferrite powder, the magnetic metal powder on the flat case distributed in the vicinity of the soft magnetic metal powder on the flat, looking and the local magnetic coupling according to the soft magnetic metal powder and ferrite powder, which μ " Frequency dispersion of the frequency.
본 실시 형태의 전파 흡수 시트의 바람직한 태양을 제조방법의 설명과 함께 제시한다. A preferred aspect of the radio wave absorbing sheet of the present embodiment is presented together with the description of the manufacturing method.
본 실시 형태의 전파 흡수 시트의 제조방법으로서, 우선은 편평상의 연자성 금속 분말과, 페라이트 분말과, 수지와, 유기용매를 혼합해서 슬러리를 제조한다.In the method of manufacturing the radio wave absorbing sheet of the present embodiment, first, a flat soft magnetic metal powder, a ferrite powder, a resin, and an organic solvent are mixed to prepare a slurry.
편평상의 연자성 금속 분말의 조성은 특히 한정되지 않고, Fe-Si계, Fe-Al-Si계, Fe-Ni계, Fe-Co계, Fe기 아몰퍼스계, Co기 아몰퍼스계 등의 연자성 금속을 사용하는 것이 가능하다. 편평상의 연자성 금속 분말이 생기게 하는 μ" 분산으로서는 MHz대역을 중심으로 GHz대역의 일부에까지 연장해 있는 것이나, 주로 GHz 대역에 위치하는 것을 들 수 있다. 이러한 재료의 선정 기준으로서는 포화 자화가 가능한 한 높은 재료를 선정하는 것이 포인트이다.The composition of the flat soft magnetic metal powder is not particularly limited and the soft magnetic metal powder such as Fe-Si, Fe-Al-Si, Fe-Ni, Fe-Co, Fe group amorphous, Can be used. As the " dispersion " which causes the flat soft magnetic metal powder to be generated, it is possible to mention that the dispersion is extended to a part of the GHz band centering on the MHz band, but mainly located in the GHz band. The point is to select materials.
편평상의 분말은 구형에 가까운 원료 분말을 기계적으로 가공하는 것에 의해 제작하는 것이 가능하다. 원료 분말은 구형인 것이 바람직하고, 일반적인 분말 합성 방법인 가스 아토마이즈 또는 물 아토마이즈에 의해 얻어질 수 있다. 원료 분말의 평균 입경은 10~100㎛로 하는 것이 바람직하다. 편평상의 분말 면내의 반자계의 영향이 무시될 수 있도록 하기 위해, 편평상의 분말의 애스펙트비는 10 이상으로 하는 것이 바람직한바, 원료 분말의 평균 입경이 10㎛ 미만인 경우 애스펙트비가 큰 편평상의 분말이 얻어지기 어려우며, 원료 분말의 평균 입경이 100㎛를 초과하는 경우, 편평 가공에 장시간이 소요되어서 비효율적으로 되기 때문이다. 편평상의 분말의 애스펙트비는 클수록 바람직하지만, 10 이상에서는 분말 면내의 반자계 감소 효과가 포화한다. 편평 가공에 대해서는 볼밀(ball mill), 어트라이터(attritor), 스탬프 밀(stamp mill) 등의 기계 가공으로 실시할 수 있다. The flat powder can be produced by mechanically processing raw powder close to spherical shape. The raw material powder is preferably spherical, and can be obtained by gas atomization or water atomization, which is a general powder synthesis method. The average particle size of the raw material powder is preferably 10 to 100 mu m. The aspect ratio of the flat powder is preferably 10 or more so that the effect of the semi-magnetic field in the flat powder surface can be ignored. When the average particle diameter of the raw powder is less than 10 mu m, a flat powder having a large aspect ratio is obtained If the average particle diameter of the raw material powder exceeds 100 탆, it takes a long time to perform the flattening process, resulting in inefficiency. The aspect ratio of the flat powder is preferably as large as possible, but when it is 10 or more, the effect of reducing the demagnetizing factor in the powder surface is saturated. The flattening can be performed by machining such as a ball mill, an attritor, a stamp mill, or the like.
또, 본 명세서에 있어서 '평균 입경'은 레이저 회절·산랍법으로 구한 입도 분포에 있어서의 적산치 50%에서의 입경(50% 누적입경: D50)을 의미한다. 또한, '애스펙트비'는 SEM에서 관찰한 때의, 편평상의 연자성 금속 분말의 길이/두께의 비의 값을, 시야 중의 10개의 분말에 대해서 평균한 값을 의미하는 것으로 한다. 본 실시형태에서는, SEM에서 관찰한 때의 시야 중의 10개의 편평상의 연자성 금속 분말의 길이 평균은 30~70㎛ 정도, 두께 평균은 1~2㎛ 정도가 된다. 연자성 금속 분말은 전기 저항이 낮기 때문에, GHz대역에서의 스킨뎁스(skin depth)(전파의 침투 깊이)를 고려하면, 연자성 금속 분말의 두께는 2㎛ 이하로 하는 것이 바람직하다. 또한, 편평 가공에 의해 분말에는 잔류 응력이 생기기 때문에, 그에 의한 투자율의 저하를 방지하기 위해, 편평 가공 후에 연자성 금속 분말에 대해서 불활성 분위기 중에서 소둔 처리를 실시하는 것이 바람직하다. 소둔 조건은 예를 들면 300~700℃, 1~5시간으로 할 수 있다.In this specification, 'average particle diameter' means the particle diameter (50% cumulative particle diameter: D50) at an integrated value of 50% in the particle size distribution obtained by the laser diffraction / scattering method. The 'aspect ratio' means a value obtained by averaging the ratio of the length / thickness ratio of the flat soft magnetic metal powder to the ten powders in the field of view when observed with an SEM. In the present embodiment, the average length of the ten flat soft magnetic metal powders observed in the SEM is about 30 to 70 mu m, and the average thickness is about 1 to 2 mu m. Since the soft magnetic metal powder has a low electrical resistance, it is preferable that the thickness of the soft magnetic metal powder is 2 mu m or less in consideration of the skin depth (penetration depth of radio wave) in the GHz band. In addition, since the residual stress is generated in the powder by the flattening, it is preferable to anneal the soft magnetic metal powder in an inert atmosphere after the flattening process in order to prevent the permeability from decreasing. Annealing conditions may be, for example, 300 to 700 ° C for 1 to 5 hours.
페라이트 분말의 결정계나 조성은 특히 한정되지 않고, 스피넬 페라이트, 육방정 페라이트, 가넷 페라이트 등을 사용할 수 있다. GHz대역에서의 μ" 분산의 광대역화를 고려하면, GHz 대역에서 자기공명을 나타내는, 육방정 페라이트 분말을 이용하는 것이 바람직하다. The crystal system and the composition of the ferrite powder are not particularly limited, and spinel ferrite, hexagonal ferrite, garnet ferrite and the like can be used. Considering the broadening of the " dispersion " in the GHz band, it is preferable to use a hexagonal ferrite powder showing magnetic resonance in the GHz band.
육방정 페라이트는 크게 구별한다면 마그네토플럼바이트형 또는 페록스플라나형으로 분류할 수 있고, 본 실시 형태에 있어서는 어느 타입의 육방정 페라이트를 사용하여도 괜찮다. 마그네토플럼바이트형은 MFe12O19(M=Ba, Sr, Pb)의 조성식으로 표시된다. Fe 사이트의 일부를 Co, Ti, Mn 등의 원소에 의해 치환하는 것으로 GHz대역에서 자기 공명이 나타나는 것이 알려져 있고, 그 공명 주파수는 치환 원소, 치환량에 의해 제어한다. 페록스플라나형은 일반적으로 W, X, Y, Z 및 U형으로 분류되지만, 합성의 용이성에서 고려하면 Y형 및 Z형이 바람직하다. Y형은 Ba2Me2Fe12O22로 표현되고, Me를 Zn, Co, Mn 등에서 선택하면 GHz 대역에서 자기 공명이 발현된다. 또, Z형은 Ba3Me2Fe24O41로 표현되고, Me를 Co, Cu, Zn 등에서 선택하면 GHz 대역에서 자기 공명이 발현된다. The hexagonal ferrite may be classified into a magnetoplumbite type or a Peroxplanar type, and any type of hexagonal ferrite may be used in the present embodiment. The magnetoplumbite type is represented by a composition formula of MFe 12 O 19 (M = Ba, Sr, Pb). It is known that magnetic resonance appears in the GHz band by substituting a part of the Fe site with an element such as Co, Ti, Mn, etc., and the resonance frequency is controlled by the substitution element and the substitution amount. The peroxplanar type is generally classified into W, X, Y, Z, and U types, but Y and Z types are preferred considering ease of synthesis. Y is represented by Ba 2 Me 2 Fe 12 O 22 , and when Me is selected from Zn, Co, and Mn, magnetic resonance is expressed in the GHz band. Z type is represented by Ba 3 Me 2 Fe 24 O 41 , and when Me is selected from Co, Cu, Zn, etc., magnetic resonance is expressed in the GHz band.
이상과 같이, 페라이트는 결정계나 조성을 고려하면 수많은 조합이 고려될 수 있지만, 본 실시 형태에 있어서는 특히 결정형이나 조성을 한정하는 것은 아니며, 목표로 하는 공명 주파수가 얻어질 수 있는 임의의 페라이트를 이용할 수 있다.As described above, a large number of combinations of ferrite can be considered in consideration of the crystal system and composition. In the present embodiment, however, the present invention is not limited to the crystal form or composition, and any ferrite that can attain the target resonance frequency can be used .
페라이트 분말의 제작방법은 이하와 같다. 원하는 조성이 되도록 원료를 칭량하고, 습식 볼밀을 이용하여 혼합한다. 이어서 건조한 볼밀 분말을 일축 프레스 성형하여 그린체 제작을 하고, 대기 중에서 900~1300℃의 온도 범위에서 1~10시간 소성을 실시한다. 얻어진 페라이트 소결체를 볼밀 또는 제트밀 가공으로, 평균 입경 0.1~3㎛로 분쇄한다. 평균 입경의 정의는 이미 기술한 대로이다.The production method of the ferrite powder is as follows. The raw materials are weighed so as to have a desired composition and mixed using a wet ball mill. Then, the dried ball mill powder is uniaxially pressed to prepare a green body, and firing is performed in the atmosphere at a temperature of 900 to 1300 ° C for 1 to 10 hours. The resulting ferrite sintered body is ground by ball milling or jet milling to an average grain size of 0.1 to 3 占 퐉. The definition of the average particle size is as already described.
또, 페라이트 분말의 평균 입경은 현실적으로 제조할 수 있는 분쇄 최소 입경을 고려하여, 0.1㎛를 하한으로 하고 있으나, 그 외의 양산적인 수법에 의해 0.1㎛보다도 더 세밀하게 분쇄하는 것이 가능하다면, 0.1㎛ 미만이어도 상관없다. 한편, 페라이트 분말의 평균 입경은 최대로 바람직하게는 3㎛, 보다 바람직하게는 1㎛이다. 페라이트 분말의 평균 입경이 3㎛를 초과하면 편평상의 연자성 금속 분말과의 복합 시트를 제작한 때에, 복합 시트 중에 충전할 수 있는 연자성 금속 분말의 비율이 적어지게 되고, 편평상의 연자성 금속 분말의 배향도가 저하한다고 하는 장애가 생긴다.The average particle diameter of the ferrite powder is set to 0.1 占 퐉 in consideration of the minimum grinding grain size that can be produced in reality. However, if it is possible to finely grind finer than 0.1 占 퐉 by other mass production method, . On the other hand, the average particle diameter of the ferrite powder is at most 3 mu m, more preferably 1 mu m. When the average particle size of the ferrite powder exceeds 3 탆, the ratio of the soft magnetic metal powder that can be filled in the composite sheet becomes small when the composite sheet is formed with the flat soft magnetic metal powder, There is a problem that the degree of orientation of the film is lowered.
또, 상기에서는 부정형의 육방정 페라이트 분말의 합성 방법에 대해서 기술했지만, 그 외 수열(水熱) 합성법 등을 사용하여 제작한 귀갑(龜甲)상의 육방정 페라이트 분말도 사용할 수 있다.Although a method of synthesizing an amorphous hexagonal ferrite powder has been described above, it is also possible to use a hexagonal ferrite powder on a tortoise shell produced by a hydrothermal synthesis method or the like.
수지는 결합제, 가소성의 부여 및 연자성 분말끼리의 절연 격리라고 하는 기능이 있다. 수지로서는 에폭시 수지, 페놀 수지, 셀룰로오스 수지, 폴리에틸렌 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리염화비닐 수지, 폴리부티랄 수지 등을 들 수 있으며, 수지 재료의 선정에 대해서는 목적에 따라서 적의 선택하면 된다. 또, 유기 용매로서는 특히 한정되지 않으며, 톨루엔, 초산부틸, 초산에틸 등을 사용할 수 있다. 유기 용매는 후속 공정에서 증발하고, 전파 흡수 시트에는 포함되지 않는다.The resin functions as a binder, imparting plasticity, and insulating insulation between soft magnetic powders. Examples of the resin include an epoxy resin, a phenol resin, a cellulose resin, a polyethylene resin, a polyester resin, a polyvinyl chloride resin, and a polybutyral resin. The resin material may be appropriately selected depending on the purpose. The organic solvent is not particularly limited, and toluene, butyl acetate, ethyl acetate and the like can be used. The organic solvent evaporates in subsequent processes and is not included in the radio wave absorbing sheet.
본 실시 형태의 전파 흡수 시트를 구성하는 재료의 비율로서는, 체적비로서 편평상의 연자성 금속 분말 30~70%, 페라이트 분말 10~50%, 수지 10~30%로 하는 것이 바람직하다. 편평상의 연자성 금속 분말의 배합비가 적은 경우에는 그의 자기 손실에 기인하는 μ" 분산이 충분하게 얻어지지 않고, 배합비가 많아지면, 육방정 페라이트 분말의 자기 손실에 기인하는 μ" 분산이 얻어질 수 없게 된다. 또, 수지의 배합비가 적은 경우에는 전파 흡수 시트의 가소성이 손실되어 버린다. 수지의 배합비가 많은 경우에는 전파 흡수 시트 성형시에, 편평상의 연자성 금속 분말이 수평으로 배향하지 않게 되는 것에 더하여, 전파 흡수 시트로서 기능하기 위해 필요한 μ" 값을 만족할 수 없게 된다.The ratio of the material constituting the electric wave absorbing sheet of the present embodiment is preferably 30 to 70% of the flat soft magnetic metal powder, 10 to 50% of the ferrite powder, and 10 to 30% of the resin as the volume ratio. When the blending ratio of the flat soft magnetic metal powder is small, the " dispersion " due to the magnetic loss thereof can not be sufficiently obtained, and when the blending ratio is increased, the " dispersion " due to the magnetic loss of the hexagonal ferrite powder can be obtained I will not. Further, when the compounding ratio of the resin is small, the plasticity of the radio wave absorbing sheet is lost. In addition to being so if the blending ratio of the resin is large, the soft magnetic metal powder on the flat at the time of radio wave absorbing sheet molding not oriented horizontally, the μ "value necessary to function as an electric wave absorbing sheet It becomes unsatisfactory.
다음으로, 슬러리를 닥터블레이드법에 의해 시트상으로 성형·건조해서, 성형체를 제작한다. 이때의 전단응력에 의해 편평상의 연자성 금속 편평 분말이 서로 수평 방향으로 배향하고, 또, 편평상의 연자성 금속 분말 사이에 페라이트 분말이 산재하는 구조를 얻는 것이 가능하다. Next, the slurry is formed into a sheet form by a doctor blade method and dried to produce a molded article. It is possible to obtain a structure in which the flat soft magnetic metal flat powder is aligned in the horizontal direction by the shear stress at this time and the ferrite powder is scattered between the flat soft magnetic metal powders.
시트상의 성형체는 편평상의 연자성 금속 분말의 배향성을 높이기 때문에, 수지의 연화점 이상(예를 들면 50~100℃ 정도)으로 가열한 상태에서 프레스를 실시하는 것이 바람직하다. 얻어지는 전파 흡수 시트의 두께는 0.05~2mm 정도로 할 수 있다. Since the sheet-shaped formed article enhances the orientation of the flat soft magnetic metal powder, it is preferable to perform the pressing in a state of being heated to a temperature not lower than the softening point of the resin (for example, about 50 to 100 DEG C). The thickness of the resulting radio wave absorbing sheet may be about 0.05 to 2 mm.
이상의 공정에 의해, 본 실시 형태의 전파 흡수 시트를 제작하는 것이 가능하다. 여기서 본 실시 형태에서는 편평상의 연자성 금속 분말 사이에 페라이트 분말이 산재하는 구조가 형성될 수 있다. 이 구조는 연자성 금속 분말의 절연성을 높이는 효과도 있는 점에서 바람직하다. 일반적으로 전파 흡수 시트에 있어서, 연자성 금속 분말끼리의 접촉에 의해 자기 열화를 방지하기 위한 절연 처리로서, 연자성 금속 분말의 편평가공 후에 산화 처리를 하여, 분말 표면에 자기 산화 피막을 형성한다. 이 때문에, 산화에 의해 자성상(磁性相)의 체적이 감소하기 때문에, μ" 값을 낮추는 요인이 된다. 여기서 페라이트, 특히 육방정 페라이트는 포화 자화와 고저항을 가진다. 본 실시 형태에서는 이 페라이트 분말이 연자성 금속 분말 사이에 분포해서, 편평상의 연자성 금속 분말끼리의 접촉을 억제할 수 있다.By the above process, it is possible to manufacture the radio wave absorbing sheet of the present embodiment. Here, in the present embodiment, a structure in which ferrite powders are scattered between flat soft magnetic metal powders may be formed. This structure is preferable in that it has an effect of enhancing the insulation of the soft magnetic metal powder. Generally, as an insulating treatment for preventing magnetic deterioration due to contact between soft magnetic metal powders in an electromagnetic wave absorbing sheet, oxidation treatment is performed after flattening the soft magnetic metal powder to form a magnetic oxidation film on the powder surface. Therefore, since the characters by the oxidation reducing the volume of the aqueous phase (磁性相), μ "is a factor to lower the value, where ferrite, in particular hexagonal ferrite has a high resistance, and saturation magnetization. In this embodiment, the ferrite The powder is distributed between the soft magnetic metal powders so that contact between the flat soft magnetic metal powders can be suppressed.
그 때문에, 본 실시 형태에서는 상기와 같은 산화처리를 하지 않고, 표면에 자기 산화 피막을 가지지 않는 편평상의 연자성 금속 분말을 원료로 해서 슬러리를 제조할 수 있다. 따라서 연자성 금속 분말의 산화처리에 의한 μ" 값의 저감이 없다.
For this reason, in the present embodiment, it is possible to produce a slurry from a flat soft magnetic metal powder having no magnetic oxidation film on its surface as a raw material without performing the oxidation treatment as described above. Therefore, there is no reduction in the value of mu " due to the oxidation treatment of the soft magnetic metal powder.
실시예Example
[비교예 1][Comparative Example 1]
가스아토마이즈에 의해 얻어진 평균 입경 50㎛의 Fe - 3질량% Si 분말을 어트라이터에서 편평가공하고, 평균 두께 0.5㎛, 애스펙트비 42로 했다. 그 후 잔류 응력을 제거하기 위해, Ar 분위기 중에서 550℃, 5시간의 소둔 처리를 했다. 이어서 상기 분말 표면에 자기 산화 피막을 형성하기 위해, 대기 중에서 60℃, 8시간의 산화처리를 했다. 이 편평상의 분말, 폴리부티랄 수지(연화점: 약 70℃, 이하 'PVB'라 한다.), 및 초산부틸을 혼합해서 슬러리를 제조했다. 편평상의 Fe - 3질량% Si 분말과 PVB의 체적비는 표 1에 나타내었다. 이 슬러리를 닥터블레이드법에 의해 시트 상의 성형체로 가공하고, 85℃하에서 프레스하여 두께 1mm의 전파 흡수 시트를 제작했다.
The Fe-3 mass% Si powder having an average particle diameter of 50 탆 obtained by Gas atomization was flattened in an attritor to obtain an average thickness of 0.5 탆 and an aspect ratio of 42. After that, in order to remove the residual stress, annealing treatment was carried out at 550 DEG C for 5 hours in an Ar atmosphere. Subsequently, in order to form a magnetic oxidation film on the surface of the powder, oxidation treatment was performed at 60 ° C for 8 hours in the air. This flaky powder, polybutyral resin (softening point: about 70 ° C, hereinafter referred to as "PVB"), and butyl acetate were mixed to prepare a slurry. The volume ratios of the flat Fe - 3 mass% Si powder and PVB are shown in Table 1. This slurry was processed into a sheet-form molded body by the doctor blade method and pressed at 85 캜 to produce a radio wave absorbing sheet having a thickness of 1 mm.
[실시예 1~3][Examples 1 to 3]
자기 산화 피막의 형성을 실시하지 않은 것 이외에는 비교예 1과 동일한 형태로 해서 편평상의 Fe - 3질량% Si 분말을 제작했다. 또, 이하의 순서로 페록스플라나형의 육방정 페라이트로서 Z형 페라이트 Ba3Co2Fe24O41 분말(평균 입경: 0.5㎛, 공명 주파수: 4GHz)를 제작했다. 우선, 상기 조성으로 되도록 원료를 칭량하고, 습식 볼밀로 혼합했다. 이어서, 건조한 볼밀 분말을 일축 프레스 성형해서 그린체의 제작을 하고, 대기 중에서 1300℃, 5시간의 소성을 실시했다. 얻어진 소결체를 볼밀 가공에 의해 분쇄했다.A flat Fe-3 mass% Si powder was produced in the same manner as in Comparative Example 1 except that the formation of the magnetic oxidation film was not carried out. Z-type ferrite Ba 3 Co 2 Fe 24 O 41 powder (average particle diameter: 0.5 탆, resonance frequency: 4 GHz) was produced as perox planar type hexagonal ferrite in the following procedure. First, the raw materials were weighed so as to have the above composition, and were mixed with a wet ball mill. Then, the dried ball mill powder was uniaxially pressed to prepare a green body, and firing was carried out in the air at 1300 DEG C for 5 hours. The obtained sintered body was ground by ball milling.
이들 2종류의 분말, PVB, 및 초산부틸을 혼합해서 슬러리를 제조했다. 편평상의 Fe - 3질량% Si 분말, Z형 페라이트 Ba3Co2Fe24O41 분말, 및 PVB의 체적비는 표1에 나타내었다. 이 슬러리를 닥터블레이트법에 의해 시트상이 성형체로 가공하고, 85℃하에서 프레스하여 두께 1mm의 전파 흡수 시트를 제작했다.These two kinds of powders, PVB, and butyl acetate were mixed to prepare a slurry. The volume ratios of the flat Fe - 3 mass% Si powder, Z type ferrite Ba 3 Co 2 Fe 24 O 41 powder, and PVB are shown in Table 1. This slurry was processed into a molded body by the doctor blading method and pressed at 85 캜 to produce a radio wave absorbing sheet having a thickness of 1 mm.
비교예 1 및 실시예 1~3에서 제작한 전파흡수 시트에 대해서, 단면 구조를 주사형 전자현미경(SEM)으로 관찰했다. 대표예로서 실시예 2의 SEM 사진(1만배)을 도 1에, 비교예 1의 SEM 사진(5천배)을 도 2에 나타낸다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 좌우로 늘어져 서로 수평 배향하고 있는 편평상의 Fe - 3질량% Si 분말의 사이에, Z형 페라이트 Ba3Co2Fe24O41 분말이 산재하고 있는 구조가 관찰되었다. 다른 실시예도 동양의 구조를 가지고 있었다. 한편, 도 2에 나타낸 바와 같이, 비교예 1에서는 좌우로 늘어져 상호 수평배향하고 있는 편평상의 Fe - 3질량% Si 분말이 관찰되고, 서로 접촉하고 있는 분말도 있었다. The cross-sectional structure of the radio wave absorbing sheet prepared in Comparative Example 1 and Examples 1 to 3 was observed with a scanning electron microscope (SEM). As a representative example, an SEM photograph (10,000 magnifications) of Example 2 is shown in Fig. 1, and an SEM photograph (5,000 magnifications) of Comparative Example 1 is shown in Fig. As shown in Fig. 1, there was observed a structure in which Z-type ferrite Ba 3 Co 2 Fe 24 O 41 powder was scattered between flat Fe - 3 mass% Si powders which were horizontally aligned to each other. Another embodiment has an oriental structure. On the other hand, as shown in Fig. 2, in Comparative Example 1, flat Fe-3 mass% Si powder which horizontally aligned to each other and horizontally aligned was observed, and there was also powder in contact with each other.
또, 비교예 1 및 실시예 1~3에서 제작한 전파 흡수 시트에 대해서, 네트워크애널라이저를 이용한 S파라미터법에 의해 투자율 특성을 측정했다. 도 3에, 각 전파 흡수 시트의 주파수와 허수부 투자율 μ"와의 관계를 나타낸다. 자성 재료로서 편평상의 Fe - 3질량% Si 분말만을 포함하는 비교예 1에서는 0.4GHz를 초과하면 μ"의 급감이 보인다. 한편, 자성 재료로서 편평상의 Fe - 3질량% Si 분말과 Ba3Co2Fe24O41 분말을 포함하는 실시예 1~3에서는 0.4GHz를 초과하면 μ"의 감소가 약간 보이나, 0.7GHz부터 다시 Ba3Co2Fe24O41 분말의 자기 공명에 기인하는 μ"의 증대가 보였다. 이렇게 본 발명에 따른 전파 흡수 시트에서는 GHz 대역을 포함하여 광대역에 걸쳐서 허수부 투자율 μ"의 분포가 얻어졌다.
The magnetic permeability characteristics of the radio wave absorbing sheets prepared in Comparative Example 1 and Examples 1 to 3 were measured by the S parameter method using a network analyzer. 3 shows the relationship between the frequency of each radio wave absorbing sheet and the imaginary part magnetic permeability μ " . In Comparative Example 1 including only a flat Fe-3 mass% Si powder as a magnetic material, a sharp decrease of μ" see. On the other hand, Fe as the magnetic material on the flat-of Examples 1 to 3, when it is more than 0.4GHz μ "containing 3 mass% Si powder and Ba 3 Co 2 Fe 24 O 41 powders Of μ "which reduces the look slightly, again due to the magnetic resonance of Ba 3 Co 2 Fe 24 O 41 powders from 0.7GHz There was an increase. Thus, in the radio wave absorbing sheet according to the present invention, an imaginary part permeability mu " over a wide band including the GHz band Distribution was obtained.
[비교예 2][Comparative Example 2]
가스아토마이즈에 의해 얻어진 평균 입경 50㎛의 Fe48Co50V2 분말을 어트라이터에서 편평가공하여, 평균 두께 0.5㎛, 애스팩트비 45로 했다. 그 후, 잔류 응력을 제거하기 위해, Ar 분위기 중에서 600℃, 5시간의 소둔 처리를 실시했다. 다음으로, 상기 분말 표면에 자기 산화 피막을 형성하기 위해, 대기 중에서 60℃, 8시간의 산화처리를 실시했다. 이 편평상의 분말, PVB, 및 초산부틸을 혼합해서 슬러리를 제조했다. 편평상의 Fe48Co50V2 분말과 PVB의 체적비는 표2에 나타냈다. 이 슬러리를 닥터블레이트법에 의해 시트상의 성형체로 가공하고, 85℃하에서 프레스하여 두께 1mm의 전파 흡수 시트를 제작했다.
An Fe 48 Co 50 V 2 powder having an average particle diameter of 50 μm obtained by Gas atomization was flattened by an attritor to obtain an average thickness of 0.5 μm and an aspect ratio of 45. Thereafter, in order to remove the residual stress, annealing treatment was performed at 600 캜 for 5 hours in an Ar atmosphere. Next, in order to form a magnetic oxidation film on the surface of the powder, oxidation treatment was carried out at 60 ° C for 8 hours in the air. This flat powder, PVB, and butyl acetate were mixed to prepare a slurry. The volume ratios of the flat Fe 48 Co 50 V 2 powder and PVB are shown in Table 2. This slurry was processed into a sheet-shaped article by the doctor blading method and pressed at 85 캜 to produce a radio wave absorbing sheet having a thickness of 1 mm.
[실시예 4~6][Examples 4 to 6]
자기 산화 피막의 형성을 실시하지 않은 것 이외에는 비교예 2와 동일하게 하여 편평상의 Fe48Co50V2 분말을 제작했다. 또, 이하의 순서로 마그네토플럼바이트형의 육방정 페라이트로서 Ba(CoTi)1.25Fe9 .5O19 분말(평균 입경: 0.5㎛, 공명주파수: 10GHz)을 제작했다. 우선, 상기 조성으로 되도록 원료를 칭량하고, 혼식 볼밀로 혼합했다. 이어서, 건조한 볼밀 분말을 일축 프레스 성형하여 그린체의 제작을 하고, 대기 중에서 1100℃, 5시간 소성했다. 얻어진 소결체를 볼밀 가공하여 분쇄했다.A flat Fe 48 Co 50 V 2 powder was produced in the same manner as in Comparative Example 2 except that the formation of the magnetic oxidation film was not carried out. Ba (CoTi) 1.25 Fe 9 .5 O 19 powder (average particle diameter: 0.5 탆, resonance frequency: 10 GHz) was produced as a hexagonal ferrite of the magnetoplumbite type in the following procedure. First, the raw materials were weighed so as to have the above composition, and mixed by a mixed ball mill. Then, the dried ball mill powder was uniaxially pressed to prepare a green body, which was then fired in the air at 1100 DEG C for 5 hours. The obtained sintered body was ball milled and pulverized.
이들 2종류의 분말, PVB 및 초산부틸을 혼합해서 슬러리를 만들었다. 편평상의 Fe48Co50V2 분말, Ba(CoTi)1.25Fe9 .5O19 분말 및 PVB의 체적비는 2로 했다. 이 슬러리를 닥터블레이드법에 의해 시트상의 성형체로 가공하고, 85℃하에서 프레스하여 두께 1mm의 전파 흡수 시트를 제작했다. These two kinds of powders, PVB and butyl acetate were mixed to prepare a slurry. The volume ratio of the flat Fe 48 Co 50 V 2 powder, Ba (CoTi) 1.25 Fe 9 .5 O 19 powder and PVB was set to 2. This slurry was processed into a sheet-form molded body by the doctor blade method and pressed at 85 캜 to produce a radio wave absorbing sheet having a thickness of 1 mm.
비교예 2 및 실시예 4~6에서 제작한 전파 흡수 시트에 대해서, 단면구조를 주사형 전자현미경(SEM)에서 관찰했다. 실시예 4~6에서는 도 1과 동양의 구조가 관찰되고, 비교예 2에서는 도 2와 동양의 구조가 관찰되었다.The cross-sectional structure of the radio wave absorbing sheet prepared in Comparative Example 2 and Examples 4 to 6 was observed with a scanning electron microscope (SEM). In Examples 4 to 6, orientations were observed in Fig. 1, and in Comparative Example 2, orientations were observed in Fig.
또한, 비교예 2 및 실시예 4~6에서 제작한 전파 흡수 시트에 대해서, 네트워크애널라이저를 이용한 S파라미터법에 의해 투자율 특성을 측정했다. 도 4에 각 전파 흡수 시트의 주파수와 허수부 투자율 μ"와의 관계를 나타낸다. 자성 재료로서 편평상의 Fe48Co50V2 분말만을 포함하는 비교예 2에서는 4GHz를 초과하면 μ"의 급감이 보인다. 한편, 자성 재료로서 편평상의 Fe48Co50V2 분말과 Ba(CoTi)1.25Fe9 .5O19 분말을 포함하는 실시예 4~6에서는 4GHz를 초과하면 μ"의 감소가 약간 보이지만, 6GHz부터 다시 Ba(CoTi)1.25Fe9 .5O19 분말의 자기공명에 기인하는 μ"의 증대가 보였다. 이와 같이 본 발명에 따른 전파 흡수 시트에서는 GHz대역을 포함하여 광대역에 걸쳐서 허수부 투자율 μ"의 분포가 얻어졌다. The magnetic permeability characteristics of the radio wave absorbing sheets prepared in Comparative Example 2 and Examples 4 to 6 were measured by S parameter method using a network analyzer. Fig. 4 shows the relationship between the frequency of each radio wave absorbing sheet and the imaginary part magnetic permeability 占 Relationship. As the magnetic material, flat Fe 48 Co 50 V 2 In Comparative Example 2 containing only the powder when it is more than 4GHz μ "of I see a sharp decline. On the other hand, as the magnetic material, flat Fe 48 Co 50 V 2 Of Examples 4 to 6, when it is more than 4GHz μ "including a powder and a Ba (CoTi) 1.25 Fe 9 .5 O 19 powder (CoTi) 1.25 Fe 9 .5 O 19 powder from 6 GHz, but the magnetic resonance of μ " There was an increase. As described above, in the radio wave absorbing sheet according to the present invention, the ratio of the imaginary part permeability 占 Distribution was obtained.
본 발명에 의하면, GHz 대역을 포함하는 광대역에 걸쳐서 허수부 투자율 μ"의 분포가 얻어질 수 있는 근방계용 전파 흡수 시트 및 그의 제조방법을 제공할 수 있다. According to the present invention, since the imaginary part permeability mu " over the wide band including the GHz band The present invention can provide a radio wave absorbing sheet for a near field system in which a distribution can be obtained and a manufacturing method thereof.
Claims (6)
상기 편평상의 연자성 금속 분말이 수평 배향하고 있고, 상기 편평상의 연자성 금속 분말의 사이에 상기 페라이트 분말이 산재하는 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 근방계용 전파 흡수 시트.
A flat soft magnetic metal powder, a ferrite powder, and a resin,
Wherein the flat soft magnetic metal powder is oriented in a horizontal direction and the ferrite powder is scattered between the flat soft magnetic metal powders.
상기 페라이트 분말이, 마그네토플럼바이트형 또는 페록스플라나형의 육방정 페라이트 분말인 근방계용 전파 흡수 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the ferrite powder is a hexagonal ferrite powder of the magnetoplumbite type or the Peroxplora type.
상기 편평상의 연자성 금속 분말이, 상기 분말 사이의 절연을 목적으로 한 자기 산화 피막을 가지지 않는 근방계용 전파 흡수 시트.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the flat soft magnetic metal powder does not have a magnetic oxidation film for the purpose of insulating between the powders.
상기 슬러리를 닥터블레이드법에 의해 시트상의 성형체로 가공하는 공정과,
상기 성형체를 상기 수지의 연화점 이상의 온도하에서 프레스하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 근방계용 전파 흡수 시트의 제조방법.
A step of mixing a flat soft magnetic metal powder, a ferrite powder, a resin, and an organic solvent to prepare a slurry,
A step of processing the slurry into a sheet-shaped formed body by a doctor blade method,
And pressing the molded body under a temperature higher than the softening point of the resin.
상기 페라이트 분말이 마그네토플럼바이트형 또는 페록스플라나형의 육방정 페라이트 분말인 근방계용 전파 흡수 시트의 제조방법.
5. The method of claim 4,
Wherein the ferrite powder is a hexagonal ferrite powder of a magnetoplumbite type or a Peroxplora type.
상기 편평상의 연자성 금속 분말이, 상기 분말 사이의 절연을 목적으로 한 자기 산화 피막을 가지지 않는 근방계용 전파 흡수 시트의 제조방법.The method according to claim 4 or 5,
Wherein the flat soft magnetic metal powder does not have a magnetic oxidation film for the purpose of insulating between the powders.
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