KR20140091099A - 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치 및 그 방법 - Google Patents

코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 초음파 펄서/리시버에서 전기신호를 발진하여 이를 수평횡파 모드의 초음파로 변환하는 송신용 초음파탐촉자, 수평횡파 모드의 초음파가 박판 형태의 송신용 웨이브가이드를 통하여 클램프로 물리적 접촉을 유지하고 있는 피검체로 초음파 에너지가 전달되며 피검체 내부에서 다중 반사에 의한 초음파 신호가 수신용 웨이브가이드로 전달된 뒤 수신용 수평횡파 초음파 탐촉자에 도달함으로써 초음파 도달 시간을 측정하여 두께로 환산한다. 여기에 웨이브가이드와 피검체 간에 접촉부를 금으로 코팅하여 고온에서 장시간 유지하더라도 측정되는 초음파 신호의 품질이 저하되지 않도록 고안한 것이다.

Description

코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치 및 그 방법{Apparatus and method for high temperature thickness measurement/monitoring using coated waveguide}
본 발명은 고온 배관 또는 평판의 두께를 초음파 방식으로 측정하고 감시하는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, 고온에서 1 년 이상 장시간 유지하더라도 웨이브가이드와 피검체 접촉부의 초음파 전달 특성을 우수하게 유지하기 위해 코팅된 웨이브가이드를 채택하여 우수한 초음파 전달 상태를 유지함으로써 고온 배관의 두께 감육을 장기간 감시하기 위한 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
고온 배관을 운영하고 있는 중화학 플랜트, 원자력발전소 등에서 고온 탄소강 배관의 감육이 광범위하게 발생하고 있어서 이에 대한 측정 및 감시가 절실한 상태이다. 배관의 두께 측정 또는 감육 감시는 일반적으로 초음파 측정법이 널리 사용되어 왔으며 대상체가 고온인 배관의 경우 특수 초음파 탐촉자를 사용하거나 특수 접촉매질을 사용하여 순간적으로 측정하고 있다. 그러나 원전이나 석유화학 설비에 사용되는 고온 배관의 경우 일반적으로 보온재가 덮여 있어서 접근이 용이하지 않으며 측정 장치를 설치하는데 어려움이 있다. 또한 초음파 탐촉자는 일반적으로 고온에서 장시간 성능을 유지하는 것이 어렵고 수신감도가 저하되는 것이 일반적이다. 따라서 초음파 탐촉자와 검사대상체 사이에 버퍼나 웨이브가이드를 사용하여 초음파 두께측정법이 사용되고 있다.
그러나 일반적인 액체 접촉매질은 고온 상태에서 장시간 성능을 유지할 수 없으며 금속 접촉매질을 사용할 경우 초음파 탐촉자 또는 버퍼와 검사대상체 간에 계면에서의 초음파 에너지의 전달이 원활치 못하며 더욱이 고온 배관의 감육은 보통 수년간 서서히 진전하므로 계면의 산화 및 열화 현상이 발생하여 계면 접촉 특성이 저하되고 수신감도가 떨어지는 등 실시간으로 두께를 측정하거나 감육 감시를 할 수 없다.
따라서 현재 이러한 고온 배관의 두께 측정 또는 감육 감시는 매 1-2년 마다 정기적으로 계획예방정비기간 동안에 상온 상태에서 초음파검사원이 간이형 초음파 두께측정기로 측정하는 방식이 일반적이다. 그러나 이 방법은 탄소강 배관의 경우 1년에 수 μm ~ 수십 μm 의 변화를 정밀 측정해야 하는 상황에서 매번 검사원의 개인차, 접촉 매질의 차이, 온도차, 사용장비의 특성 등의 일관성을 유지할 수 없으므로 그 측정 오차가 대단히 크다고 볼 수 밖에 없다.
이러한 종래의 초음파 두께측정 장치의 예로서는, 예를 들면, 한국 공개특허 제 10-2009-0042500호(2009.04.30. 공개)에 게시된 “초음파 고온 튜브 검사 장치”와 같은 것이 있다.
상기 한국 공개특허 제10-2009-0042500호의 초음파 고온 튜브검사 장치는 고온에서의 튜브나 파이프라인의 검사 및 두께 측정 장치로 초음파 펄스를 발생하고 수신하는 초음파 송수신 장치, 튜브에 초음파 신호를 주고 받는 초음파 탐촉자, 초음파 탐촉자를 튜브에 접촉시키는 초음파 매질, 초음파 탐촉자를 튜브에 고정시키는 고정 스트립, 초음파를 냉각시키는 냉각유 순환 장치, 및 취득한 데이터를 저장하고 전송하는 데이터 처리 장치 등으로 구성되는데 이런 방식에서는 초음파 탐촉자와 초음파 매질을 고온에서 장기간 유지시키면서 접촉시키기가 어렵기 때문에 초음파 탐촉자를 냉각시키기 위한 냉각유 순환 장치를 사용하고, 초음파 전달특성을 유지하기 위해 금속 초음파 매질과 이를 고정시키기 위해나 고정용 스트립을 사용하는 방식을 취하고 있다. 이러한 방식은 단시간에 초음파 측정이 가능할지는 모르겠으나 1년 이상 장기간 유지할 경우 접촉매질 및 검사체의 산화/열화로 인한 접촉 특성이 저하되어 초음파 신호 품질이 저하된다는 단점이 있으며 실제로 이러한 이유로 현장에 적용되는 사례가 거의 없다.
또한, 상기한 바와 같은 종래기술의 다른 예로서는, 예를 들면, 한국 등록특허 제10-1063644호(2011.09.01. 등록)에 개시된 바와 같은 "웨이브가이드 초음파 센서 장치"가 있다.
즉, 상기 한국 등록특허 제10-1063644호는, 초음파 가시화 성능을 향상시킬 수 있는 웨이브가이드 초음파 센서 장치에 관한 내용으로 대상체에 대해 초음파 신호를 송수신하는 초음파 센서, 초음파 센서의 일측을 지지하여 초음파 신호를 모드 전환시키는 웨지, 웨지와 대상체 사이에 마련되어 송수신되는 초음파 신호를 안내하는 웨이브가이드 및 송수신되는 초음파 신호를 처리하는 고출력 초음파 시스템을 포함하며, 웨이브가이드의 외면 중 적어도 일부에 산화알루미늄(Al2O3) 및 또는 베릴륨(Be)으로 형성된 코팅층이 마련된다. 이러한 구성을 통하여 웨이브가이드를 통해 방사되는 A0 모드 판파의 위상속도를 증가시킬 수 있음과 아울러 일정 군속도를 구현하여 고 해상도 초음파 스캔 영상을 구현할 수 있는 장치이다.
상기한 바와 같이, 고온 상태의 대상물에 대한 초음파 기술에는 여러 가지 가 있으나, 여기에는 다음과 같은 문제점들이 있는 것이었다.
종래, 고온 배관 또는 평판의 두께를 측정하기 위해 사용되는 비파괴검사 기술들은, 단시간 동안 초음파 신호가 고온 상태의 검사체로 송수신하도록 하여 두께를 측정할 수는 있으나 장기간 접촉상태를 유지하기에는 어려운 점이 많아서 배관 감육과 같이 고온에서 장기간에 걸쳐서 서서히 일어나는 현상은 측정하거나 감시하기 곤란하다.
따라서 상기한 바와 같은 종래의 비파괴 검사기술의 문제점을 해결하여, 고온 상태의 배관 또는 금속 평판의 두께를 측정하거나 감육을 감시하기 위한 장치나 측정 방법이 일부 제한적으로 사용되고 있기는 하나, 아직까지 이들 방법에 의한 장기간 고온 감시 결과에 대해서는 그 신뢰성에 의문을 제기하고 있는 상태이다.
또한, 피검체 표면의 산화에 의해 물리적 접촉 성능이 저하된다는 근본적인 문제점으로 인해서 초음파 신호의 품질이 저하되면서 장시간 경과 후에는 측정이 곤란하다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명은 다음과 같은 해결과제를 목적으로 한다.
첫째는 장기 가동시 수년간 고온 환경에서도 초음파 전파특성이 저하되지 않고 측정 신호 품질이 유지되는 기술을 개발하는 것이다.
둘째는 고온에서 저하되는 초음파 전파 특성이나 고온에서의 초음파 속도 변화에 따른 측정 오차를 보정하여 실시간으로 정밀하게 장기간 두께 감육을 감시할 수 있는 기술을 개발하여 고온 배관의 두께 감육을 장기간 실시간 감시함으로써 원전을 포함한 모든 고온 운전 배관의 부식, 감육 열화 상태를 정밀 진단하여 안전성 향상 및 경제성 증진을 도모하기 위함이다.
셋째는 고온 배관 또는 평판의 두께를 초음파 방식으로 측정하고 감시하는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 고온 배관 또는 평판의 두께 측정 및 감육 감시를 위한 초음파 두께 측정/감시 장치에 있어서, 초음파 펄스를 송수신하는 초음파 펄서/리시버; 상기 초음파 펄서/리시버로부터 전달되는 초음파를 발진하는 송신용 초음파 탐촉자; 상기 송신용 초음파 탐촉자에서 발진된 초음파를 피검체에 전달하는 코팅층을 포함하는 송신용 웨이브가이드; 상기 피검체에서 다중 반사에 의한 초음파를 전달하는 코팅층을 포함하는 수신용 웨이브가이드; 상기 수신용 웨이브가이드로부터 전달되는 초음파 신호를 전기신호로 변환하는 수신용 초음파 탐촉자; 및 초음파 신호를 도시하고 시간을 측정하여 두께로 환산하는 PC/오실로스코프;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치를 제공한다.
또한, 상기 코팅층은 습식도금에 의해서 이루어지고, 금 또는 은 또는 니켈 중 어느 하나의 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치를 이용한 두께 측정/감육 감시 방법에 있어서, 코팅층을 포함하는 송신용 웨이브가이드를 통해서 피검체에 초음파를 송신하는 S1단계; 상기 S1단계에서 송신한 초음파가 피검체에서 다중 반사되는 S2단계; 상기 S2단계후 반사되는 초음파를 코팅층을 포함하는 수신용 웨이브가이드를 통해서 수신하는 S3단계; 및 상기 S3단계에서 수신한 초음파를 도시하고, 도시된 제 1 피크와 제 2 피크 사이의 시간을 측정하여 두께로 환산하는 S4단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정/감육 감시 방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 기존의 초음파 두께 측정장치로는 고온에서 장시간 측정하거나 두께 감육을 감시하기 어려운데 반해 본 고안을 사용하면 고온 배관의 두께 감육을 장기간 실시간 감시함으로써 원전을 포함한 모든 고온 운전 배관의 부식, 감육 열화 상태를 정밀 진단하여 안전성 향상 및 경제성 증진을 도모할 것이다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.
도 1은 고온 시험체에 대한 초음파 두께 측정 원리를 나타내고 있다.
도 2는 웨이브가이드를 사용하여 고온 초음파 두께 측정 방법을 묘사하고 있다.
도 3은 본 발명에 따른 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 4는 본 발명에 따른 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치의 코팅층을 포함하는 웨이브가이드 및 클램프 접촉 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치의 실시 예를 보여주고 있다.
도 6은 본 발명에 따라 200?에서 수평횡파 초음파 탐촉자 및 금코팅(gold coating)된 웨이브가이드에 의한 초음파 두께측정 신호 사례로 200?로 유지되는 두께 6 mm 의 탄소강 피검체에서 측정한 데이터이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 의한 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치 및 그 방법의 바람직한 실시 예들을 자세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 고온 시험체에 대한 초음파 두께 측정 원리를 나타내고 있는데, 배관의 두께 변화 또는 감육을 측정하기 위해서 초음파측정법을 사용하는데 고온 배관에 대해 적용할 경우 일반적인 초음파 탐촉자는 큐리(Curie) 온도 이상에서는 압전 특성을 상실함으로써 사용할 수 없다. 이를 피하고자 버퍼 로드(buffer rod) 나 웨이브가이드(waveguide)와 같은 기법을 사용하여 초음파 탐촉자의 온도가 상승하지 않도록 유지하면서 초음파 측정을 실시한다.
도 1에서는 버퍼 로드를 초음파 탐촉자와 피검체 사이에 배치하여 피검체로부터 전달되는 열이 초음파 탐촉자에 미치지 않도록 하였다. 또한, 초음파 탐촉자와 피검체 사이에 고체 냉매를 배치하여 피검체로부터 전달되는 열을 차단하도록 하였다. 도 1의 하단에서 측정된 B1 피크와 B2 피크 사이의 시간을 구하여 이를 이용하여 피검체의 두께를 측정하는 방식으로 두께를 측정한다.
도 2는 웨이브가이드를 사용하여 고온 초음파 두께 측정 방법을 묘사하고 있는데, 이 경우 초음파 에너지가 웨이브가이드를 통하여 원활하게 시험체로 전달되어야 하는데 고온 환경 하에서 웨이브가이드 및 피검체 표면의 산화에 의해 물리적 접촉 성능이 저하된다는 근본적인 문제점에 직면하여 결국 초음파 신호의 품질이 저하되면서 장시간 경과 후에는 측정이 곤란하다는 단점이 있다. 도 2에서는 접촉 성능을 유지하기 위해서 드라이 커플링을 사용하였으나 이것 또한 장시간 경과 후에는 접촉 성능이 저하되는 문제가 있었다.
본 발명은 이와 같은 문제점으로 극복하기 위해 도출된 것으로, 본 발명의 목적은 고온 상태의 배관이나 금속 평판의 두게 측정 및 감육 감시를 위한 새로운 기술에 관한 것으로서, 상온에서 발진된 초음파 신호가 우수한 전달 특성을 유지하면서 장기간 고온 상태에 유지되는 배관이나 평판 내부로 전달되어 초음파 도달 시간을 정밀 측정하여 두께를 정밀 측정 또는 감육 감시하는 장치 및 그 기술에 관한 것이다.
도 3을 참조하면, 도 3은 본 발명에 따른 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치(10)는 초음파 신호를 도시하고, 시간을 측정하여 두께로 환산하는 PC/오실로스코프(11), 초음파펄스를 송수신하는 초음파펄서/리시버((12), 수평횡파 모드 초음파를 발진하는 송신용 초음파 탐촉자(13), 발진된 초음파를 피검체에 전달하는 송신용 웨이브가이드(14), 고온 배관 또는 평판 피검체(15), 수신된 초음파를 전달하는 수신용 웨이브가이드(16), 수신된 초음파 신호를 전기신호로 변환하는 수신용 초음파 탐촉자(17)를 포함하여 구성되어 있다.
초음파 신호를 각각 피크 신호로 전환해서 각각의 피크 신호의 간격을 측정하고, 이를 이용하여 피검체의 두께를 계산하는 방식으로 두께 측정 및 감육을 감시한다.
도 4를 참조하면, 도 4는 웨이브가이드를 사용한 고온 초음파두께측정 방법을 나타내는 도면으로 송신용 초음파 탐촉자(13)에서 발생한 수평횡파 모드의 초음파가 웨이브가이드(14)를 따라 유도초음파의 형태로 진행하면서 건식 클램프 방식의 접촉을 통하여 고온 상태의 피검체(15)로 전달하는 원리를 나타내고 있다.
코팅층을 포함하는 유도초음파 웨이브가이드를 통하여 고온 배관 또는 평판의 두께 측정하는 기술에 대해 더 상세하게는 도 4에 보인 바와 같이 수평횡파 송신용 및 수신용 초음파 탐촉자(13, 17)와 송신용 및 수신용 웨이브가이드(14, 16)를 정확히 수직으로 접촉하기 위한 탐촉자 고정용 클램프(18), 송신용 및 수신용 웨이브가이드(14, 16)와 피검체(15)가 압력으로 접촉하기 위한 웨이브가이드-피검체 고정용 클램프(19)를 보여주고 있다. 웨이브가이드-피검체 고정용 클램프(19)는 건식 클램프 형태이고, 고정을 위해서 고정용 볼트(20)가 각각 채결될 수도 있다.
여기서 송신용 및 수신용 웨이브가이드(14, 16)와 고온의 피검체(15)가 장기간 접촉할 경우 접촉면이 산화하거나 열화되는 것을 방지하기 위해 송신용 및 수신용 웨이브가이드(14, 16)와 피검체(15)의 접촉면에 각각 코팅층(20)을 갖도록 하여 초음파 신호 감도가 저하되는 것을 방지한다.
상기 코팅층(20)은 습식도금에 의해서 이루어지고, 금 또는 은 또는 니켈 중 어느 하나의 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 바람직하게는 금코팅(gold coating)된 웨이브가이드가 가장 바람직하다. 코팅층(20)은 웨이브가이드를 전체로 하는 것이 바람직하나, 비용측면에서 웨이브가이드와 피검체(15)의 접촉면의 일측 또는 양측에 도금을 하는 것이 좋다.
도 5는 본 발명에 따른 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치(10)의 전체 모습을 보여주고 있다.
도 5와 같은 구성을 통하여, 정밀 측정한 사례로 도 6에는 200?로 유지되는 두께 6 mm 의 탄소강 피검체에서 저면 에코 신호를 측정한 데이터로 고온 배관 또는 평판에 대해 정밀 두께 측정이나 감육 감시가 가능함을 보여주고 있다.
또한 상기 측정 방법에서 1 μm 의 측정 정밀도로 고온 배관이나 평판의 두께를 측정할 수 있다.
다음으로는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치를 이용한 두께 측정/감육 감시 방법을 설명한다.
우선, 코팅층을 포함하는 송신용 웨이브가이드를 통해서 피검체에 초음파를 송신한다.
다음으로, 송신한 초음파가 피검체에서 다중 반사가 일어난다.
다음으로, 다중반사가 일어난 초음파를 코팅층을 포함하는 수신용 웨이브가이드를 통해서 수신한다.
다음으로, 수신한 초음파를 도시하고, 도시된 제 1 피크(31)와 제 2 피크(32) 사이의 시간을 측정하여 두께를 환산한다.
제 1 피크(31)와 제 2 피크(32) 사이에 측정된 시간은 3.802847μs가 되고, 여기에 초음파의 속도를 곱해주면 피검체의 두께를 구할 수 있게 된다.
보다 정확한 측정을 위해서는 제 1 피크(31)와 제 2 피크(32) 사이에 측정된 시간, 제 2 피크(32)와 제 3 피크(33) 사이에 측정된 시간, 제 3 피크(33)와 제 4 피크(34) 사이에 측정된 시간을 평균을 내서 적용할 수도 있다.
이상과 같이 본 발명은 고온에서 1 년 이상 장시간 유지하더라도 웨이브가이드와 피검체 접촉부의 초음파 전달 특성을 우수하게 유지하기 위해 웨이브가이드와 피검체 접촉부를 장시간 유지 후에도 우수한 초음파 전달 상태를 유지함으로써 고온 배관의 두께 감육을 장기간 감시할 수 있게 하였다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래 청구범위에 의하여 해석되어야하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치
11: PC/오실로스코프
12: 초음파 펄서/리시버
13: 송신용 초음파탐촉자
14: 송신용 웨이브가이드
15: 피검체
16: 수신용 웨이브가이드
17: 수신용 초음파탐촉자
18: 탐촉자 고정용 클램프
19: 웨이브가이드-피검체 고정용 클램프
20: 고정용 볼트
21: 코팅층
31: 제 1 피크
32: 제 2 피크
33: 제 3 피크
34: 제 4 피크

Claims (9)

  1. 고온 배관 또는 평판의 두께 측정 및 감육 감시를 위한 초음파 두께 측정/감시 장치에 있어서,
    초음파 펄스를 송수신하는 초음파 펄서/리시버;
    상기 초음파 펄서/리시버로부터 전달되는 초음파를 발진하는 송신용 초음파 탐촉자;
    상기 송신용 초음파 탐촉자에서 발진된 초음파를 피검체에 전달하는 코팅층을 포함하는 송신용 웨이브가이드;
    상기 피검체에서 다중 반사에 의한 초음파를 전달하는 코팅층을 포함하는 수신용 웨이브가이드;
    상기 수신용 웨이브가이드로부터 전달되는 초음파 신호를 전기신호로 변환하는 수신용 초음파 탐촉자; 및
    초음파 신호를 도시하고 시간을 측정하여 두께로 환산하는 PC/오실로스코프;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 코팅층은 상기 웨이브가이드의 피검체 접촉면 일측 또는 양측에 마련되는 것을 특징으로 하는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 코팅층은 습식도금에 의해서 이루어지고, 금 또는 은 또는 니켈 중 어느 하나의 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 초음파 탐촉자와 상기 웨이브가이드 사이에 배치되는 탐촉자 고정용 클램프; 및
    상기 웨이브가이드와 피검체 사이에 고정용 건식 클램프 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 피검체는 고온 배관재나 평판 재료인 것을 특징으로 하는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 초음파는 수평 횡파 초음파 인 것을 특징으로 하는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 두께측정의 정확도는 적어도 10 μmm 이하의 측정 정밀도를 가지는 것을 특징으로 하는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있는 코팅된 유도초음파 웨이브가이드에 의한 고온 초음파 두께 측정/감육 감시 장치를 이용한 두께 측정/감육 감시 방법에 있어서,
    코팅층을 포함하는 송신용 웨이브가이드를 통해서 피검체에 초음파를 송신하는 S1단계;
    상기 S1단계에서 송신한 초음파가 피검체에서 다중 반사되는 S2단계;
    상기 S2단계후 반사되는 초음파를 코팅층을 포함하는 수신용 웨이브가이드를 통해서 수신하는 S3단계; 및
    상기 S3단계에서 수신한 초음파를 도시하고, 도시된 제 1 피크와 제 2 피크 사이의 시간을 측정하여 두께로 환산하는 S4단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정/감육 감시 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 S4 단계에서, 도시된 제 1 피크와 제 2 피크 사이의 시간과, 제 2 피크와 제 3 피크 사이의 시간과, 제 3 피크와 제 4 피크 사이의 시간의 평균값을 이용하여 두께를 측정하는 것을 특징으로 하는 두께 측정/감육 감시 방법.


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