KR20140088770A - Roll-to-roll sputtering apparatus - Google Patents

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(주)이엔에이치
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Abstract

The present invention relates to a roll-to-roll sputtering device. The present invention provides the roll-to-roll sputtering device which enables a process of continuously depositing both sides by separately using one roll-to-roll sputtering device or connecting a plurality of roll-to-roll sputtering devices; and a process for depositing a cross section several times without separate additional mechanical modification.

Description

롤투롤 스퍼터링 장치{ROLL-TO-ROLL SPUTTERING　APPARATUS}[0001] ROLL-TO-ROLL SPUTTERING APPARATUS [0002]

본 발명은 롤투롤 스퍼터링 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 하나의 롤투롤 스퍼터링 장치를 단독으로 사용하거나, 복수개 연결함으로써 양면을 연속적으로 증착하는 공정, 단면을 복수회 증착하는 공정을 별도의 추가적인 기계적 수정 없이 손쉽게 가능하도록 하는 롤투롤 스퍼터링 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a roll-to-roll sputtering apparatus, and more particularly, to a roll-to-roll sputtering apparatus using a single roll-to-roll sputtering apparatus alone or by connecting a plurality of roll- To a roll-to-roll sputtering apparatus which is easily made possible without mechanical modification.

일반적으로 플렉시블 디스플레이는 액정 디스플레이, 유기 EL 디스플레이, E-ink 등에서 액정을 싸고 있는 유리기판을 플라스틱 필름으로 대체하여 접고 펼 수 있는 유연성을 부여한 것으로서, 가볍고 충격에 강할 뿐 아니라, 휘거나 굽힐 수 있어 다양한 형태로 제작이 가능하므로 근래에 그 연구가 활발히 이루어지고 있다.In general, flexible display is flexible and can be folded and replaced by substituting plastic film for glass substrates wrapping liquid crystal in liquid crystal display, organic EL display, E-ink, etc. It is not only strong against light and impact, Since it can be produced in the form, researches have been actively carried out in recent years.

이러한 플렉서블 기술 분야에서는, 박막을 형성하기 위한 장비로 롤투롤 공정이 가능한 스퍼터링 장치에 대한 요구가 높은 것이 사실이다.In such a flexible technology field, there is a strong demand for a sputtering apparatus capable of performing a roll-to-roll process as a device for forming a thin film.

먼저, 스퍼터링 장비에 대해 간단히 살펴본다. 기상증착법(Vapor Deposition)은 증착시키려는 물질이 기판으로 기체상태에서 고체상태로 변태될 때 어떤 과정을 거치느냐에 따라 화학증착법(Chemical Vapor Deposition; CVD)과 물리증착법(Physical Vapor Deposition;PVD)으로 구분될 수 있다.First, let's look at sputtering equipment briefly. Vapor Deposition (Vapor Deposition) is classified into Chemical Vapor Deposition (CVD) and Physical Vapor Deposition (PVD) depending on what process is performed when a substance to be deposited is transformed from a gas state to a solid state on a substrate .

물리증착법으로는 스퍼터링(Sputtering), 전자빔증착법(E-beam evaporation), 열증착법(Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법Laser molecular beam epitaxy; L-MBE), 펄스레이저증착법(Pulsed laser deposition; PLD) 등이 있다.Examples of the physical vapor deposition method include sputtering, E-beam evaporation, thermal evaporation, laser molecular beam epitaxy, and the like. L-MBE), pulsed laser deposition (PLD), and the like.

물리증착법 중에서 스퍼터링은 기판 재료의 종류에 관계없이 어떤 재질의 막으로도 유독한 가스를 사용하지 않고 안전하게 비교적 간단한 장치로 박막을 얻을 수 있다는 점에서 널리 사용되고 있다. 스퍼터링은 진공 중에서 불활성 기체(Ar, Kr, Xe 등)의 글로 방전(Glow discharge)을 형성하여 양이온들이 음극 바이어스된 타겟에 충돌하도록 함으로써 운동량 전달에 의해 타겟의 원자가 방출되도록 하는 방법이다. 방출된 원자들은 진공챔버 안에서 자유롭게 운동하게 되며 기판에 입사되는 입자들은 박막을 형성한다. 스퍼터링 가스와 함께 반응성가스(O2, N2, NH3, CH4, C2H2 등)를 도입하게 되면 반응성 가스분자들도 함께 이온화되고 활성화되며 스퍼터링된 입자들과 반응하여 질화물, 타화물 등의 화합물 피막을 형성한다.In the physical vapor deposition method, sputtering is widely used regardless of the kind of the substrate material in that a thin film can be obtained with a relatively simple device safely without using a toxic gas as a film of any material. Sputtering is a method in which a glow discharge of an inert gas (Ar, Kr, Xe, etc.) is formed in a vacuum to cause cations to collide with a target that is negatively biased, thereby releasing atoms of the target by momentum transfer. The emitted atoms are allowed to move freely in the vacuum chamber and the particles entering the substrate form a thin film. When reactive gases (O 2 , N 2 , NH 3 , CH 4 , C 2 H 2, etc.) are introduced together with the sputtering gas, the reactive gas molecules are also ionized and activated and react with the sputtered particles to form nitrides, And the like.

이러한 스퍼터링 장비를 롤투롤로 제조하려는 노력이 있어 왔다. 한국공개특허 제2011-12182호는 그 일예에 해당한다. 이 발명은 드럼 주위에 복수의 스퍼터를 설치하여 연속 성막 공정으로 투명 전극 물질 사이에 은(Ag)을 투과층 및 전도층으로 증착하는 롤투롤(roll-to-roll) 스퍼터장치를 개시하고 있다.Efforts have been made to manufacture such sputtering equipment in roll-to-roll. Korean Patent Publication No. 2011-12182 corresponds to the example. The present invention discloses a roll-to-roll sputtering apparatus in which a plurality of sputters are provided around a drum to deposit silver (Ag) between the transparent electrode materials as a transparent layer and a conductive layer in a continuous film forming process.

그러나, 이러한 종래 기술에 의한 롤투롤 스퍼터장치는 박막을 한쪽 면에만 형성하는 구조를 가지고 있다. 따라서, 하나의 기판이나 필름의 양면에 박막을 증착하기 위해서는 한쪽 면에 박막을 형성하고 난 뒤에 진공 챔버를 열어 기판을 뒤집어 나머지 한족 면에 스퍼터링을 하여 양면을 증착하게 되므로 생산성이 떨어지고 외부 이물에 대한 오염에 취약한 단점이 있었다.However, such a conventional roll-to-roll sputtering apparatus has a structure in which a thin film is formed on only one side. Therefore, in order to deposit a thin film on both sides of one substrate or film, after forming a thin film on one side, the vacuum chamber is opened and the substrate is turned upside down and sputtered on the other side to deposit both sides. There was a drawback that it was susceptible to contamination.

한편, 한국 공개특허 2012-80024호는 이러한 문제점을 해결하고자 기판 양면 코팅장치를 제안하고 있다. 그러나, 2개의 설비를 직렬로 결합한 형태로 제작하여 제작비용이 과도하고 원가 절감이나 생산성 향상 면에서 많은 이득이 되지 못하는 문제점이 여전히 존재한다.Korean Patent Publication No. 2012-80024 proposes a substrate double-sided coating apparatus to solve such a problem. However, there is still a problem in that the production cost is excessive and the cost is not reduced and the productivity is not improved in a large amount.

상술한 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명의 목적은 새로운 유형의 롤투롤 스퍼터링 장치를 제공하는 것이다.In order to solve the above-mentioned problems, it is an object of the present invention to provide a new type of roll-to-roll sputtering apparatus.

본 발명의 다른 목적은 하나의 롤투롤 스퍼터링 장치를 복수개 연결함으로써 양면을 연속적으로 증착하는 공정, 단면을 복수회 증착하는 공정을 별도의 추가적인 기계적 수정 없이 손쉽게 가능하도록 하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a process for continuously depositing both surfaces by connecting a plurality of roll-to-roll sputtering apparatuses, and a process for depositing a cross-section multiple times without any additional mechanical modification.

본 발명의 일 측면은 기재가 롤링하며 막이 형성되도록 구성된 드럼과 적어도 하나의 스퍼터를 포함하여 구성된 롤투롤 스퍼터링 장치에 있어서, 기재의 도입을 가이드 하기 위한 제1 가이드 롤러; 상기 제1 가이드롤러와 인접하게 배치되며, 착탈이 가능하도록 구현되어 기재를 와인딩 또는 언와인딩시키기 위한 제1 와인딩롤러; 복수개의 롤러들로 배열되어 구성되며, 상기 제1 가이드롤러 또는 상기 제1 와인딩롤러로부터 전달된 상기 기재를 성막하기 위해 상기 드럼으로 전달하는 제1 장력유지부; 복수개의 롤러들로 배열되어 구성되며, 상기 드럼을 통과하여 성막된 기재를 배출하기 위한 제2 장력유지부; 상기 제1 및 제2 장력유지부와 다른 열에 복수개의 롤러들로 배열되어 구성되며, 일편에서 다른편으로 상기 기재를 롤링하여 전달하기 위해 장력을 유지시키는 제3 장력유지부; 및 상기 기재의 배출을 가이드 하기 위한 제2 가이드롤러를 구비하는 롤투롤 스퍼터링 장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a roll-to-roll sputtering apparatus comprising a drum configured to roll a substrate and a film to be formed, and at least one sputterer, the apparatus comprising: a first guide roller for guiding introduction of a substrate; A first winding roller disposed adjacent to the first guide roller and configured to be detachable to wind or unroll the substrate; A first tension holding unit configured to be arranged in a plurality of rollers and transmitting the substrate transferred from the first guide roller or the first winding roller to the drum for forming a film; A second tension holding part configured to be arranged with a plurality of rollers, for discharging a substrate formed through the drum; A third tension maintaining unit arranged in a row different from the first tension holding unit and the second tension holding unit, the third tension holding unit holding the tension for rolling and transferring the substrate from one side to the other side; And a second guide roller for guiding the discharge of the substrate.

바람직하게는, 제1 가이드롤러와 인접하게 배치되며, 착탈이 가능하도록 구현되어 상기 기재를 와인딩 또는 언와인시키기 위한 제2 와인딩롤러를 추가로 더 구비할 수 있다.Preferably, the apparatus further includes a second winding roller disposed adjacent to the first guide roller and configured to be detachable to wind or unwind the base material.

바람직하게는, 롤투롤 스퍼터링 장치는 서로 직렬로 2개 연결되어 서로 다른 면을 연속으로 증착할 수 있는데, 직렬로 2개 연결된 제1 롤투롤 스퍼터링장치와 제2 롤투롤 스퍼터링장치에서, 상기 제1 롤투롤 스퍼터링 장치의 제2 가이드롤러를 통과한 기재는 상기 제2 롤투롤 스퍼터링 장치의 제1 가이드롤러에 전달되고, 이어서 상기 제2 롤투롤 스퍼터링 장치의 제3 장력유지부로 전달된다.Preferably, the roll-to-roll sputtering apparatus can be connected in series with two of them to continuously deposit different surfaces. In the first roll-to-roll sputtering apparatus and the second roll-to-roll sputtering apparatus that are connected in series, The substrate having passed through the second guide rollers of the roll to roll sputtering apparatus is transferred to the first guide rollers of the second roll to roll sputtering apparatus and then to the third tension holding section of the second roll to roll sputtering apparatus.

또한, 롤투롤 스퍼터링 장치는 서로 직렬로 2개 연결되어 동일 면에 연속으로 적층할 수 있는데, 직렬로 2개 연결된 제1 롤투롤 스퍼터링장치와 제2 롤투롤 스퍼터링장치에서, 상기 제1 롤투롤 스퍼터링 장치의 제2 가이드롤러를 통과한 기재는 상기 제2 롤투롤 스퍼터링 장치의 제1 가이드롤러에 전달되고, 이어서 상기 제2 롤투롤 스퍼터링 장치의 제1 장력유지부로 전달된다.In addition, two roll-to-roll sputtering apparatuses can be connected in series to each other and continuously stacked on the same plane. In the first roll-to-roll sputtering apparatus and the second roll-to-roll sputtering apparatus that are connected in series, The substrate having passed through the second guide roller of the apparatus is transferred to the first guide roller of the second roll-to-roll sputtering apparatus and then to the first tension holding unit of the second roll-to-roll sputtering apparatus.

또한, 롤투롤 스퍼터링 장치가 단독으로 사용되는 경우, 상기 제1 와인딩롤러, 상기 제1 장력유지부, 상기 제2 장력유지부, 및 상기 제2 와인딩롤러를 이용하여 성막을 수행한다.
When the roll-to-roll sputtering apparatus is used alone, the film formation is performed using the first winding roller, the first tension holder, the second tension holder, and the second winding roller.

본 발명의 롤투롤 스퍼터링장치는 단독으로 사용하여 성막을 수행하는 것이 가능하면서도, 복수개 연결함으로써 양면을 연속적으로 증착하는 공정, 단면을 복수회 증착하는 공정을 별도의 추가적인 기계적 수정 없이 손쉽게 가능하도록 하는 효과가 있다.
The roll-to-roll sputtering apparatus of the present invention is capable of performing film formation by using it singly, and it is also possible to carry out a process of continuously depositing both surfaces by connecting a plurality of rolls, and a process of easily depositing a plurality of times of cross- .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤(roll-to-roll) 스퍼터 장치의 개략도이다.
도 2는 도 1의 롤투롤(roll-to-roll) 스퍼터 장치가 2개 연결되어 서로 다른 면을 연속으로 증착하는 개념을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1의 롤투롤(roll-to-roll) 스퍼터 장치가 2개 연결되어 상기 롤투롤 스퍼터링 장치는 서로 직렬로 2개 연결되어 동일 면에 연속으로 증착하는 개념을 설명하기 위한 도면이다.1 is a schematic diagram of a roll-to-roll sputter apparatus according to one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view for explaining a concept of two roll-to-roll sputtering apparatuses of FIG. 1 connected in series to deposit different surfaces. FIG.
FIG. 3 is a view for explaining a concept that two roll-to-roll sputtering apparatuses of FIG. 1 are connected to each other and two of the roll-to-roll sputtering apparatuses are connected in series to each other to continuously deposit on the same surface.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나, 다음에 예시하는 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되어지는 것이다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the following embodiments of the present invention may be modified into various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to enable those skilled in the art to more fully understand the present invention.

도 1은 본 발명의 롤투롤(roll-to-roll) 스퍼터링 장치를 도시한 것이다.Figure 1 illustrates a roll-to-roll sputtering apparatus of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 롤투롤 스퍼터링 장치는 드럼(180), 적어도 하나의 스퍼터(130)를 기본적으로 구비한다. 본 발명의 특징적인 구성 중 하나는 본 발명의 롤투롤 스퍼터링장치는 하나의 롤투롤 스퍼터링장치 단독으로 사용가능하면서 복수개 연결함으로써 양면을 연속적으로 증착하는 공정, 단면을 복수회 연속으로 증착하는 공정을 수행할 수 있도록 제1 및 제2 가이드롤러(110,190), 제1 및 제2 와인딩롤러(Winding Roll, 120,170), 제1 및 제2 장력유지부(150,160), 그리고 제3 장력유지부(140)를 구비한다. 다만, 제2 와인딩롤러(170)는 선택적으로 구비될 수도 있는 구성으로서, 롤투롤 스퍼터링 장치가 단독으로 사용되는 경우 와인딩 또는 언와인딩을 수행하도록 하는 것이 효과적이지만 롤투롤 장치가 성막을 하기 위해 반드시 필요한 요소는 아니다. 이 구성은 복수개가 연결되어 성막하는 경우는 기계로부터 분리하여 생략할 수도 있다. 이에 대해서는 후술한다.Referring to FIG. 1, the roll-to-roll sputtering apparatus of the present invention basically comprises a drum 180 and at least one sputter 130. One of the characterizing features of the present invention is that the roll-to-roll sputtering apparatus of the present invention can be used singly as a single roll-to-roll sputtering apparatus and can continuously deposit both surfaces by connecting a plurality of rolls, The first and second guide rollers 110 and 190, the first and second winding rollers 120 and 170, the first and second tension holders 150 and 160, and the third tension maintaining member 140, Respectively. The second winding roller 170 may be selectively provided. However, it is effective to perform winding or unwinding when the roll-to-roll sputtering apparatus is used singly, but it is necessary that the roll- It is not an element. This configuration may be omitted when a plurality of films are connected and separated from the machine. This will be described later.

스퍼터(130)는 드럼(drum, 180)의 좌측 일측면에 배치되며 타겟 물질과 캐소드를 구비하여 구성된다. 타겟 물질은 캐소드로부터 직류(DC) 전류를 인가 받아 전류의 세기에 따라 성막이 이루어진다. 이러한 사항들은 당업자에게 널리 알려진 내용으로 설명의 편의를 위해 상세한 설명을 생략한다.The sputter 130 is disposed on one side of the left side of the drum 180 and includes a target material and a cathode. The target material is a film formed according to the intensity of a current by receiving a direct current (DC) current from the cathode. These matters are well known to those skilled in the art and will not be described in detail for the sake of convenience of explanation.

제1 및 제2 와인딩롤러(120,170)는 회전운동에 의해 기재(20)를 풀거나(Unwinding), 감도록(winding) 하는 기능을 수행하고, 본 발명에서는 복수개가 연결되는 경우, 필요에 따라서는 사용되지 않고 기재(20)와 접촉되지 않도록 탈착식으로 제조한다.The first and second winding rollers 120 and 170 function to unwound and wind the substrate 20 by rotational motion. In the present invention, when a plurality of the winding rollers 120 and 170 are connected, And is made detachable so that it is not used and does not come into contact with the substrate 20.

제1 가이드롤러(110)는 기재(20)의 도입을 가이드 하기 위한 기능을 수행하고, 제2 가이드 롤러(190)는 기재(20)를 배출하기 위한 기능을 수행한다.The first guide roller 110 functions to guide the introduction of the substrate 20 and the second guide roller 190 functions to discharge the substrate 20. [

제1 장력유지부(150)는 복수개의 롤러들로 배열되어 구성되며, 제1 가이드롤러(110) 또는 제1 와인딩롤러(120)로부터 전달된 기재(20)를 성막하기 위해 드럼(180)으로 전달한다. 제1 장력유지부(150)는 일정 간격으로 배열되어 기재(20)가 롤링(rolling) 될 때 장력 제어를 원할 하게 한다. 한편, 제2 장력유지부(160) 역시 복수개의 롤러들로 배열되어 구성되며, 드럼(180)을 통과하여 성막된 기재(20)를 배출하기 위한 구성이다.The first tension unit 150 includes a plurality of rollers arranged to rotate the drum 180 in order to form the substrate 20 transferred from the first guide roller 110 or the first winding roller 120 . The first tension maintaining portions 150 are arranged at regular intervals to allow tension control when the substrate 20 is rolling. The second tension holding unit 160 is also configured by arranging a plurality of rollers and discharging the substrate 20 formed through the drum 180. [

제3 장력유지부(140)는 제1 및 제2 장력유지부(150,160)와 다른 열에 복수개의 롤러들로 배열되어 구성되며, 일편에서 다른 편으로 기재(20)를 롤링하여 전달하기 위해 장력을 유지시킨다.The third tension maintenance unit 140 is configured by arranging a plurality of rollers in different rows from the first and second tension maintenance units 150 and 160. The third tension maintenance unit 140 is configured to roll the substrate 20 from one side to the other side, .

제1, 제2, 및 제3 장력유지부(150,160,140)를 구성하는 각 롤러는 실질적으로 제1 및 제2 가이드롤러(110,190)와 동일한 롤러를 사용할 수 있다.The rollers constituting the first, second, and third tension holders 150, 160, and 140 may use substantially the same rollers as the first and second guide rollers 110 and 190.

다만, 본 발명의 롤투롤(roll-to-roll) 스퍼터링 장치는 롤투롤 스퍼터링 장치가 단독으로 사용되는 경우, 제1 와인딩롤러(120), 제1 장력유지부(150), 제2 장력유지부(160), 및 제2 와인딩롤러(160)를 이용하여 성막을 수행한다. 즉, 제1 및 제2 가이드롤러(110,190), 제3 장력유지부(140)는 사용되지 않는다. 제1 및 제2 가이드롤러(110,190), 제3 장력유지부(140)는 본 발명의 롤투롤 스퍼터링장치가 복수개 연결되어 사용되는 경우를 대비하여 특별히 고안된 것으로 이 구성들에 의해 본 발명은 양면을 연속적으로 증착하는 공정, 단면을 복수회 증착하는 공정을 별도의 추가적인 기계적 수정 없이 손쉽게 가능하도록 하는 효과가 있다.However, in the roll-to-roll sputtering apparatus of the present invention, when the roll-to-roll sputtering apparatus is used alone, the first winding roller 120, the first tension holder 150, The first winding roller 160, and the second winding roller 160. That is, the first and second guide rollers 110 and 190 and the third tension maintaining portion 140 are not used. The first and second guide rollers 110 and 190 and the third tension holding part 140 are specially designed for a case where a plurality of roll-to-roll sputtering apparatuses of the present invention are connected and used. There is an effect that the process of continuously depositing and the process of depositing the cross section a plurality of times can be easily performed without any additional mechanical modification.

한편, 본 발명의 도시 및 설명에서는 스퍼터링 장치의 일반적인 사항들인 진공 펌퍼, 드럼, 쿨링, 가스들의 주입에 대해서는 상세한 설명을 생략하였는데, 이는 본 발명의 핵심적인 사항이 아니고 당업계에 널리 알려진 사항이기 때문이다. 예를 들어, 챔버는 진공 펌퍼에 의해 작업 압력(Working pressure)이 0.1 mTorr ~ 100 mTorr 정도로 유지되어 증착이 진행된다.
In the meantime, detailed description of the injection of vacuum pumper, drum, cooling, and gases, which are general matters of the sputtering apparatus, is omitted in the description and the description of the present invention. However, this is not a core matter of the present invention, to be. For example, the chamber is maintained at a working pressure of about 0.1 mTorr to about 100 mTorr by a vacuum pumper.

다음으로 본 발명의 롤투롤 스퍼터링 장치가 복수개 연결된 경우를 상세히 설명한다.Next, a plurality of roll-to-roll sputtering apparatuses according to the present invention will be described in detail.

도 2는 도 1의 롤투롤(roll-to-roll) 스퍼터 장치가 2개 연결되어 상기 롤투롤 스퍼터링 장치는 서로 직렬로 2개 연결되어 동일 면에 연속으로 증착하는 개념을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 2 is a view for explaining the concept that two roll-to-roll sputtering apparatuses of FIG. 1 are connected to each other and two roll-to-roll sputtering apparatuses are connected to each other in series to continuously deposit on the same surface.

2개를 연결한 경우, 제1 롤투롤 스퍼터링장치(L)는 드럼(180), 적어도 하나의 스퍼터(130), 제1 및 제2 가이드롤러(110,190), 제1 및 제2 와인딩롤러(Winding Roll, 120,170), 제1 및 제2 장력유지부(150,160), 그리고 제3 장력유지부(140)를 구비하고, 제2 롤투롤 스퍼터링장치(R)는 드럼(180a), 적어도 하나의 스퍼터(130a), 제1 및 제2 가이드롤러(110a,190a), 제1 및 제2 와인딩롤러(Winding Roll, 120a,170a), 제1 및 제2 장력유지부(150a,160a), 그리고 제3 장력유지부(140a)를 구비한다.The first roll to roll sputtering apparatus L includes a drum 180, at least one sputter 130, first and second guide rollers 110 and 190, first and second winding rollers Winding And a third tension holding unit 140. The second roll-to-roll sputtering apparatus R includes a drum 180a, at least one sputtering unit 140a, First and second guide rollers 110a and 190a, first and second winding rollers 120a and 170a, first and second tension holders 150a and 160a, And a holding portion 140a.

제1 롤투롤 스퍼터링 장치(L)의 제2 가이드롤러(190)를 통과한 기재(20)는 제2 롤투롤 스퍼터링 장치(R)의 제1 가이드롤러(110a)에 전달되고, 이어서 제2 롤투롤 스퍼터링 장치(R)의 제1 장력유지부(150a)로 전달되어 드럼(180a)으로 진행된다. 드럼(180a)을 진행하면서 성막이 진행되고 나면 제2 롤투롤 스퍼터링 장치(R)의 제2 장력유지부(160a)로 전달되어 공정이 완료된다.
The substrate 20 having passed through the second guide rollers 190 of the first roll to roll sputtering apparatus L is transferred to the first guide rollers 110a of the second roll to roll sputtering apparatus R, Is transferred to the first tension holding portion 150a of the rolling sputtering apparatus R and proceeds to the drum 180a. The film is transferred to the second tension holding unit 160a of the second roll-to-roll sputtering apparatus R, and the process is completed.

도 3은 도 1의 롤투롤(roll-to-roll) 스퍼터 장치가 2개 연결되어 상기 롤투롤 스퍼터링 장치는 서로 직렬로 2개 연결되어 동일 면에 연속으로 증착하는 개념을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 3 is a view for explaining a concept that two roll-to-roll sputtering apparatuses of FIG. 1 are connected to each other and two of the roll-to-roll sputtering apparatuses are connected in series to each other to continuously deposit on the same surface.

2개를 연결한 경우, 제1 롤투롤 스퍼터링장치(L)는 드럼(180), 적어도 하나의 스퍼터(130), 제1 및 제2 가이드롤러(110,190), 제1 및 제2 와인딩롤러(Winding Roll, 120,170), 제1 및 제2 장력유지부(150,160), 그리고 제3 장력유지부(140)를 구비하고, 제2 롤투롤 스퍼터링장치(R)는 드럼(180b), 적어도 하나의 스퍼터(130b), 제1 및 제2 가이드롤러(110b,190b), 제1 및 제2 와인딩롤러(Winding Roll, 120b,170b), 제1 및 제2 장력유지부(150b,160b), 그리고 제3 장력유지부(140b)를 구비한다.The first roll to roll sputtering apparatus L includes a drum 180, at least one sputter 130, first and second guide rollers 110 and 190, first and second winding rollers Winding And a third tension holding unit 140. The second roll-to-roll sputtering apparatus R includes a drum 180b, at least one sputtering unit 140b, The first and second guide rollers 110b and 190b, the first and second winding rollers 120b and 170b, the first and second tension holders 150b and 160b, And a holding portion 140b.

제1 롤투롤 스퍼터링 장치(L)의 제2 가이드롤러(190)를 통과한 기재(20)는 제2 롤투롤 스퍼터링 장치(R)의 제1 가이드롤러(110b)에 전달되고, 이어서 제2 롤투롤 스퍼터링 장치(R)의 제3 장력유지부(140b)로 전달된다. 그런 다음, 기재(20)는 제2 롤투롤 스퍼터링 장치(R)의 제2 장력유지부(160b)를 거쳐 드럼(180b)에 전달되고, 성막이 진행된다. 그 후, 기재(20)는 제1 장력유지부(150b)에 전달됨으로써 양면 증착이 완료된다.
The substrate 20 having passed through the second guide rollers 190 of the first roll to roll sputtering apparatus L is transferred to the first guide rollers 110b of the second roll to roll sputtering apparatus R, And is transmitted to the third tension maintaining portion 140b of the to-roll sputtering device R. [ Then, the base material 20 is transferred to the drum 180b via the second tension holding portion 160b of the second roll-to-roll sputtering apparatus R, and the film formation progresses. Thereafter, the substrate 20 is transferred to the first tension holding portion 150b, thereby completing the two-side deposition.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit of the invention as set forth in the appended claims. The present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, and it is also within the scope of the present invention.

110, 110a, 110b : 제1 가이드롤러
120, 120a, 120b : 와인딩롤러
130, 130a, 130b : 스퍼터
140, 140a, 140b : 제3 장력유지부
150, 150a, 150b : 제1 장력유지부
160, 160a, 160b : 제2 장력유지부
170, 170a, 170b : 제2 와인딩롤러
180, 180a, 180b : 드럼
190, 190a, 190b : 제2 가이드롤러110, 110a, 110b: first guide roller
120, 120a, 120b: winding rollers
130, 130a and 130b:
140, 140a, 140b: Third tension unit
150, 150a, 150b: first tension holding portion
160, 160a, 160b: a second tension unit
170, 170a, 170b: a second winding roller
180, 180a, 180b: drum
190, 190a, 190b: a second guide roller

Claims (7)

기재가 롤링하며 막이 형성되도록 구성된 드럼과 적어도 하나의 스퍼터를 포함하여 구성된 롤투롤 스퍼터링 장치에 있어서,
기재의 도입을 가이드 하기 위한 제1 가이드 롤러;
상기 제1 가이드롤러와 인접하게 배치되며, 착탈이 가능하도록 구현되어 기재를 와인딩 또는 언와인시키기 위한 제1 와인딩롤러;
복수개의 롤러들로 배열되어 구성되며, 상기 제1 가이드롤러 또는 상기 제1 와인딩롤러로부터 전달된 상기 기재를 성막하기 위해 상기 드럼으로 전달하는 제1 장력유지부;
복수개의 롤러들로 배열되어 구성되며, 상기 드럼을 통과하여 성막된 기재를 배출하기 위한 제2 장력유지부;
상기 제1 및 제2 장력유지부와 다른 열에 복수개의 롤러들로 배열되어 구성되며, 일편에서 다른편으로 상기 기재를 롤링하여 전달하기 위해 장력을 유지시키는 제3 장력유지부; 및
상기 기재의 배출을 가이드 하기 위한 제2 가이드롤러를 구비하는 롤투롤 스퍼터링 장치.
A roll-to-roll sputtering apparatus comprising a drum configured to roll a substrate and to form a film, and at least one sputter,
A first guide roller for guiding the introduction of the substrate;
A first winding roller disposed adjacent to the first guide roller and configured to be detachable so as to wind or unwind the substrate;
A first tension holding unit configured to be arranged in a plurality of rollers and transmitting the substrate transferred from the first guide roller or the first winding roller to the drum for forming a film;
A second tension holding part configured to be arranged with a plurality of rollers, for discharging a substrate formed through the drum;
A third tension maintaining unit arranged in a row different from the first tension holding unit and the second tension holding unit, the third tension holding unit holding the tension for rolling and transferring the substrate from one side to the other side; And
And a second guide roller for guiding the discharge of the substrate.
제1 항에 있어서,
상기 제1 가이드롤러와 인접하게 배치되며, 착탈이 가능하도록 구현되어 상기 기재를 와인딩 또는 언와인시키기 위한 제2 와인딩롤러를 더 구비하는 롤투롤 스퍼터링 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a second winding roller disposed adjacent to the first guide roller and configured to be detachable to wind or unwind the base material.
제1 항에 있어서,
상기 롤투롤 스퍼터링 장치는 서로 직렬로 2개 연결되어 서로 다른 면을 연속으로 증착하는 롤투롤 스퍼터링 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the roll-to-roll sputtering apparatus is connected in series with two of the roll-to-roll sputtering apparatuses to continuously deposit different surfaces on the roll-to-roll sputtering apparatus.
제3 항에 있어서,
상기 직렬로 2개 연결된 제1 롤투롤 스퍼터링장치와 제2 롤투롤 스퍼터링장치에서,
상기 제1 롤투롤 스퍼터링 장치의 제2 가이드롤러를 통과한 기재는 상기 제2 롤투롤 스퍼터링 장치의 제1 가이드롤러에 전달되고, 이어서 상기 제2 롤투롤 스퍼터링 장치의 제3 장력유지부로 전달되는 롤투롤 스퍼터링 장치.
The method of claim 3,
In the two serially connected first roll-to-roll sputtering apparatuses and second roll-to-roll sputtering apparatuses,
The base material having passed through the second guide rollers of the first roll-to-roll sputtering apparatus is transferred to the first guide rollers of the second roll-to-roll sputtering apparatus, To-roll sputtering device.
제1 항에 있어서,
상기 롤투롤 스퍼터링 장치는 서로 직렬로 2개 연결되어 동일 면에 연속으로 적층하는 롤투롤 스퍼터링 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the roll-to-roll sputtering apparatuses are connected to each other in series and are continuously laminated on the same surface.
제5 항에 있어서,
상기 직렬로 2개 연결된 제1 롤투롤 스퍼터링장치와 제2 롤투롤 스퍼터링장치에서,
상기 제1 롤투롤 스퍼터링 장치의 제2 가이드롤러를 통과한 기재는 상기 제2 롤투롤 스퍼터링 장치의 제1 가이드롤러에 전달되고, 이어서 상기 제2 롤투롤 스퍼터링 장치의 제1 장력유지부로 전달되는 롤투롤 스퍼터링 장치.
6. The method of claim 5,
In the two serially connected first roll-to-roll sputtering apparatuses and second roll-to-roll sputtering apparatuses,
The base material having passed through the second guide rollers of the first roll-to-roll sputtering apparatus is transferred to the first guide rollers of the second roll-to-roll sputtering apparatus and then transferred to the first tension holding section of the second roll- To-roll sputtering device.
제1 항에 있어서,
상기 롤투롤 스퍼터링 장치가 단독으로 사용되는 경우, 상기 제1 와인딩롤러, 상기 제1 장력유지부, 상기 제2 장력유지부, 및 상기 제2 와인딩롤러를 이용하여 성막을 수행하는 롤투롤 스퍼터링 장치.The method according to claim 1,
Wherein the film forming is performed using the first winding roller, the first tension holder, the second tension holder, and the second winding roller when the roll-to-roll sputtering apparatus is used singly.
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