KR20140083732A - Arc-jet plasma generator - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 아크제트 플라스마 발생기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 아크제트 플라스마의 표면처리면적을 증가시킬 수 있는 아크제트 플라스마 발생기에 관한 것이다.The present invention relates to an arc jet plasma generator, and more particularly, to an arc jet plasma generator capable of increasing the surface treatment area of an arc jet plasma.
아크제트 플라스마 발생기는 음극(Cathode)과 양극(Anode) 사이에서 발생되는 전기방전(Electric discharge)에 의하여 아크(Arc)를 발생시키고, 이 아크에 의하여 반응가스(Reaction gas)를 전리(Ionization)시켜 아크제트 플라스마를 발생시킨다. 이러한 아크제트 플라스마 발생기는 아크방전(Arc discharge)을 이용하여 글로우 방전(Glow discharge)과 유사한 플라스마를 만들 수 있다. The arc jet plasma generator generates an arc by an electric discharge generated between a cathode and an anode and ionizes the reaction gas by the arc, Arc jet plasma. Such an arc jet plasma generator can generate a plasma similar to a glow discharge by using an arc discharge.
한편, 아크제트 플라스마는 다양한 워크피스(Workpiece)들, 타깃(Target)들의 표면처리에 이용되고 있다. 일례로 아크제트 플라스마는 인쇄회로기판, 액정디스플레이(Liquid crystal display, LCD) 등에서 회로 패턴(Circuit pattern)의 크리닝에 이용되고 있다. On the other hand, arc jet plasma is used for surface treatment of various workpieces and targets. For example, arc jet plasma is used for cleaning circuit patterns in printed circuit boards, liquid crystal displays (LCDs), and the like.
미국 특허 제4,902,870호 "알에프 플라스마 시스템에서 기질의 트랜스퍼 아크 크리닝 장치 및 방법(Apparatus and method for transfer arc cleaning of a substrate in an RF plasma system)"은 타깃의 표면을 플라스마에 의하여 크리닝하는 기술이 개시되어 있다. U.S. Patent No. 4,902,870 entitled " Apparatus and method for transfer arc cleaning of a substrate in an RF plasma system in an RF plasma system "discloses a technique of cleaning the surface of a target by plasma have.
상기한 바와 같은 종래의 아크제트 플라스마 발생기에서 아크 방전은 아크가 발생되는 부분에 방전이 집중되는 부분 방전(Partial discharge)의 특성이 있다. 따라서 아크제트 플라스마 발생기는 그 물리적인 특성으로 인해 처리할 수 있는 타깃의 면적에 제한을 갖게 되고, 제한적인 표면처리면적에 인하여 적용할 수 범위에 한계를 가질 수밖에 없다. In the conventional arc-jet plasma generator as described above, arc discharge has a partial discharge characteristic in which a discharge is concentrated at a portion where an arc is generated. Therefore, the arc jet plasma generator has a limitation on the area of the target that can be processed due to its physical characteristics, and the limited range of the surface treatment area limits the applicable range.
본 발명은 상기와 같은 종래 아크제트 플라스마 발생기의 여러 가지 문제점들을 해결하기 위한 것이다. 본 발명의 목적은, 플라스마에 의하여 표면처리면적을 증가시킬 수 있는 새로운 아크제트 플라스마 발생기를 제공하는 것이다.The present invention is intended to solve various problems of the conventional arc jet plasma generator. It is an object of the present invention to provide a new arc jet plasma generator capable of increasing the surface treatment area by plasma.
본 발명의 다른 목적은, 단순한 구조에 의하여 간편하고 정확하게 제어할 수 있는 아크제트 플라스마 발생기를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an arc jet plasma generator capable of simple and accurate control by a simple structure.
본 발명의 일 측면에 따르면, 아크제트 플라스마 발생기가 제공된다. 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기는, 전력의 인가에 의하여 아크 방전을 발생시키는 중공형 음극과 양극을 구비한다. 음극이 노즐 헤드에 결합되어 있다. 노즐 헤드는 아크 방전에 의하여 발생되는 아크제트 플라스마가 유입되도록 음극의 통로와 연통되어 있는 작동 공간을 가지며, 작동 공간과 연통되어 있는 출구를 갖는다. 회전 분사 노즐이 작동 공간에 회전할 수 있도록 장착되어 있다. 회전 분사 노즐은 출구에 배치되어 아크제트 플라스마를 분사하는 편심 노즐 구멍을 가지며, 편심 노즐 구멍을 통하여 분사되는 아크제트 플라스마의 영역이 확장되도록 통로의 중심축선과 편심 노즐 구멍의 중심축선은 서로 평행하게 배치되어 있다.According to an aspect of the invention, an arc jet plasma generator is provided. An arc jet plasma generator according to the present invention includes a hollow cathode and an anode for generating an arc discharge by application of electric power. A cathode is coupled to the nozzle head. The nozzle head has an operating space communicating with the passage of the cathode so that the arc jet plasma generated by the arc discharge flows, and has an outlet communicating with the operating space. The rotary injection nozzle is mounted so as to be rotatable in the operating space. The rotary jet nozzle has an eccentric nozzle hole disposed at an outlet for jetting an arc jet plasma, and the central axis of the passage and the central axis of the eccentric nozzle hole are arranged parallel to each other so as to expand the area of the arc jet plasma injected through the eccentric nozzle hole Respectively.
또한, 압축공기가 작동 공간에 공급되면 회전 분사 노즐이 원활하게 회전할 수 있도록 회전 분사 노즐의 외면에 복수의 날개들이 형성되어 있다. 가이드 노즐이 통로를 통과하는 아크제트 플라스마의 흐름을 편심 노즐 구멍으로 유도하기 위하여 작동 공간에 장착되어 있다. 가이드 노즐은 회전 분사 노즐과 함께 회전되도록 회전 분사 노즐에 결합되어 있으며, 베어링에 의하여 지지되어 원활하게 회전된다. In addition, when the compressed air is supplied to the operation space, a plurality of vanes are formed on the outer surface of the rotary injection nozzle so that the rotary injection nozzle can smoothly rotate. A guide nozzle is mounted in the working space to direct the flow of arc jet plasma through the passageway to the eccentric nozzle hole. The guide nozzle is coupled to the rotation injection nozzle so as to rotate together with the rotation injection nozzle, and is supported by the bearing and smoothly rotated.
본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기는, 회전 분사 노즐이 편심 회전되면서 아크제트 플라스마를 워크피스에 분사함으로써 플라스마에 의한 표면처리면적을 증가시킬 수 있다. 또한, 회전 분사 노즐이 압축공기의 공급에 의하여 회전되는 단순한 구조에 의하여 간편하고 정확하게 제어할 수 있는 유용한 효과가 있다. The arc jet plasma generator according to the present invention can increase the area of surface treatment by plasma by jetting arc jet plasma onto the workpiece while eccentrically rotating the rotary jet nozzle. Further, there is a useful effect that the rotary injection nozzle can be simply and accurately controlled by a simple structure that is rotated by supply of compressed air.
도 1은 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기의 구성을 나타낸 정면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기에서 노즐 헤드, 가이드 노즐과 회전 분사 노즐의 구성을 분리하여 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기에서 노즐 헤드, 가이드 노즐과 회전 분사 노즐의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기에서 노즐 헤드의 구성을 나타낸 평면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기에서 회전 분사 노즐의 작동을 설명하기 위하여 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기에서 회전 분사 노즐의 작동을 설명하기 위하여 나타낸 평면도이다. 1 is a front view showing the construction of an arc jet plasma generator according to the present invention.
2 is a cross-sectional view showing the construction of an arc jet plasma generator according to the present invention.
FIG. 3 is a perspective view illustrating the nozzle head, the guide nozzle, and the rotary injection nozzle in the arc jet plasma generator according to the present invention.
4 is a cross-sectional view illustrating the structure of a nozzle head, a guide nozzle, and a rotary spray nozzle in an arc jet plasma generator according to the present invention.
5 is a plan view showing the configuration of a nozzle head in an arc jet plasma generator according to the present invention.
6 is a cross-sectional view illustrating the operation of the rotary injection nozzle in the arc jet plasma generator according to the present invention.
7 is a plan view for explaining the operation of the rotary injection nozzle in the arc jet plasma generator according to the present invention.
본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들과 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.Other objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and preferred embodiments with reference to the accompanying drawings.
이하, 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기에 대한 바람직한 실시예들을 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of an arc jet plasma generator according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기는 전기방전을 위한 음극(10)과 양극(20)을 구비한다. 음극(10)은 반응가스의 통로(12)를 갖는 중공형 원통(Hollow cylinder)으로 구성되어 있으며, 접지되어 있다. 반응가스는 공기와 질소(N2), 아르곤(Ar), 헬륨(He), 수소(H2) 등의 다양한 가스가 사용될 수 있다. 반응가스의 공급을 위한 인렛 피팅(Inlet fitting: 14)이 통로(12)와 연통되도록 음극(10)의 외면 상부에 결합되어 있다. Referring first to FIGS. 1 and 2, an arc jet plasma generator according to the present invention includes a
음극(10)의 중심축선(L1)과 양극(20)의 중심축선(L2)은 서로 정렬되어 있다. 양극(20)은 통로(12) 안에 음극(10)과 동심을 이루도록 수용되어 있다. 양극(20)은 음극(10)의 선단과 이웃하도록 통로(12) 안에 수용되어 있는 팁(Tip: 22)을 갖는다. 양극(20)의 상단부 외면과 팁(22)의 외면을 제외한 양극(20)의 외면에 절연피복(24)이 씌워져 있다. The center axis (L 2) of the center of the cathode (10) axis (L 1) and the
출구 포트 링(Exit port ring: 30)이 반응가스의 흐름을 팁(22)의 주위로 유도하도록 통로(12) 안에 장착되어 있다. 출구 포트 링(30)의 중심축선은 양극(20)의 중심축선(L2)에 정렬되어 있다. 팁(22)은 출구 포트 링(30)의 구멍(32)을 통과하도록 통로(12) 안에 배치되어 있다. An exit port ring (30) is mounted in the passage (12) to direct the flow of reaction gas around the tip (22). The center axis of the
본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기는 음극(10)이 수용되어 있는 하우징(Housing: 40)을 구비한다. 하우징(40)은 상하로 분리할 수 있도록 결합되어 있는 하부 하우징 분할체(42)와 상부 하우징 분할체(44)로 구성되어 있다. 하부 하우징 분할체(42)는 반응가스의 통로(46)를 갖는 중공형 원통으로 구성되어 있다. 상부 하우징 분할체(44)는 양극(20)이 끼워지는 구멍(48)을 가지며, 음극(10)의 통로(12)와 하부 하우징 분할체(42)의 통로(46)를 폐쇄하는 캡(Cap)의 기능을 보유한다. 양극(20)의 상단은 상부 하우징 분할체(44) 밖으로 노출되어 있다. 전원공급장치(50)가 전력의 인가를 위하여 상부 하우징 분할체(44) 밖으로 노출되어 있는 양극(20)의 상단에 연결되어 있다.The arc jet plasma generator according to the present invention includes a
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기는 하우징(40)의 하단에 장착되어 있는 노즐 헤드(Nozzle head: 60)를 구비한다. 노즐 헤드(60)는 좌우로 분리할 수 있도록 결합되어 있는 좌측 헤드 분할체(62)와 우측 헤드 분할체(64)로 구성되어 있다. 좌측 헤드 분할체(62)와 우측 헤드 분할체(64)는 복수의 볼트(66)들의 체결에 의하여 결합된다. 보스(Boss: 68)가 노즐 헤드(60)의 상부에 형성되어 있다. 하우징(40)의 하단은 보스(68)에 끼워져 있다. 다른 실시예에 있어서, 하우징(40)은 삭제될 수 있고, 음극(10)이 노즐 헤드(60)의 보스(68)에 끼워져 결합될 수 있다. 1 to 5, an arc jet plasma generator according to the present invention includes a
노즐 헤드(60)는 하우징(40)의 통로(46)와 연통되어 있는 작동 공간(70)과, 이 작동 공간(70)가 연통되도록 하면에 형성되어 있는 출구(72)를 갖는다. 제1 단(Step: 74)이 작동 공간(70)의 내면에 돌출되도록 형성되어 있다. 제2 단(76)이 출구(72)의 주위에 형성되어 있다. 압축공기의 유입을 위한 인렛 피팅(78)이 작동 공간(70)과 연통되도록 노즐 헤드(60)의 외면에 형성되어 있다. The
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기는 노즐 헤드(60)의 작동 공간(70)에 회전할 수 있도록 장착되어 있는 가이드 노즐(Guide nozzle: 80)을 구비한다. 가이드 노즐(80)의 노즐 구멍(82)의 중심축선(L3)과 양극(20)의 중심축선(L2)은 서로 정렬되어 있다. 노즐 구멍(82)은 하우징(40)의 통로(46)과 연통되어 아크제트 플라스마의 흐름을 유도한다. 플랜지(Flange: 84)가 가이드 노즐(80)의 상단에 형성되어 있다. 가이드 노즐(80)의 회전을 지지하기 위한 베어링으로 스러스트 베어링(Thrust bearing: 90)이 제1 단(74)과 플랜지(84) 사이에 장착되어 있다. 2 to 5, an arc jet plasma generator according to the present invention includes a
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기는 노즐 헤드(60)의 작동 공간(70)에 회전할 수 있도록 장착되어 있는 회전 분사 노즐(Eccentric nozzle: 100)을 구비한다. 회전 분사 노즐(100)의 선단은 출구(72)를 통과하여 노즐 헤드(90) 밖으로 돌출되어 있다. 회전 분사 노즐(100)은 보어(102), 비대칭 테이퍼 보어(Asymmetry taper bore: 104)와 편심 노즐 구멍(106)이 형성되어 있는 노즐 팁(108)을 구비한다. Referring to FIGS. 1 to 6, an arc jet plasma generator according to the present invention includes a
보어(102)는 회전 분사 노즐(100)의 내부 상부에 형성되어 있다. 가이드 노즐(80)의 하단은 보어(102)에 끼워져 결합되어 있다. 따라서 가이드 노즐(80)과 회전 분사 노즐(100)은 함께 회전된다. 가이드 노즐(80)과 회전 분사 노즐(100)은 나사 결합이나 억지 끼워맞춤에 의하여 결합될 수 있다. The
비대칭 테이퍼 보어(104)는 하부로 갈수록 단면적이 점진적으로 감소되도록 보어(102)로부터 연장되어 있다. 편심 노즐 구멍(106)은 비대칭 테이퍼 보어(104)로부터 연장되어 있다. 편심 노즐 구멍(106)의 중심축선(L4)과 음극(10)의 중심축선(L1)은 서로 평행하게 배치되어 있다. 노즐 팁(108)은 출구(72)를 통하여 노즐 헤드(60) 밖으로 돌출되어 있다. The asymmetric taper bore 104 extends from the
회전 분사 노즐(100)의 외면에 복수의 날개(110)들이 원주 방향을 따라 형성되어 있다. 압축공기가 인렛 피팅(78)을 통하여 작동 공간(70)에 공급되면, 압축공기력을 받는 날개(110)들에 의하여 회전 분사 노즐(100)이 회전된다. 즉, 회전 분사 노즐(100)은 압축공기에 의하여 회전되는 임펠러 형태의(Impeller like)의 노즐이다. 다른 실시에 있어서, 가이드 노즐(80)은 삭제되고, 회전 분사 노즐(100)의 보어(102)가 하우징(40)의 통로(46)와 연통되도록 장착될 수도 있다. 이 경우, 회전 분사 노즐(100)의 회전은 스러스트 베어링(90) 또는 레이디얼 베어링(Radial bearing)에 의하여 지지될 수 있다. A plurality of
지금부터는, 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기에 대한 작용을 설명한다. Hereinafter, the operation of the arc jet plasma generator according to the present invention having such a configuration will be described.
도 1과 도 2를 참조하면, 인렛 피팅(14)을 통하여 유입되는 반응가스는 통로(12)를 따라 하강기류(Descending current)를 형성하면서 출구 포트 링(30)에 의하여 팁(22) 주위로 흐른다. 전원공급장치(50)의 작동에 의하여 양극(20)에 전력, 예를 들어 전압 600V, 전류 25A가 인가되면, 음극(10)과 팁(22) 사이에서 아크 방전이 발생된다. 1 and 2, the reaction gas introduced through the inlet fitting 14 is formed around the
도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 반응가스는 팁(22) 주위에 발생되는 아크 방전 영역(Z1)에서 전리되고, 반응가스의 전리에 의하여 아크제트 플라스마가 발생된다. 아크제트 플라스마는 음극(10)의 통로(12), 하우징(40)의 통로(46), 가이드 노즐(80)의 노즐 구멍(82)을 통과하여 회전 분사 노즐(100)의 비대칭 테이퍼 보어(104)로 흐른다.As shown in Fig. 2, the reaction gas is ionized in the arc discharge region Z 1 generated around the
도 6과 도 7을 참조하면, 압축공기가 인렛 피팅(78)을 통하여 작동 공간(70)에 유입되면, 날개(110)들이 압축공기력을 받게 된다. 회전 분사 노즐(100)은 압축공기력에 의하여 회전되고, 회전 분사 노즐(100)과 함께 회전된다. 회전 분사 노즐(100)은 그 중심축선(L4)이 음극(10)의 중심축선(L1)과 어긋나도록 배치되어 음극(10)의 중심축선(L1)을 기준으로 편심 회전된다. 압축공기는 출구(72)를 통하여 노즐 헤드(60) 밖으로 유출된다.6 and 7, when the compressed air flows into the working
이러한 회전 분사 노즐(100)의 편심 회전에 의하여 편심 노즐 구멍(106)을 통하여 워크피스(2)의 표면에 분사되는 아크제트 플라스마 분사 영역(Z2)이 넓어지게 된다. 회전 분사 노즐(100)의 정지 상태에서 워크피스(2)의 표면에 분사되는 아크제트 플라스마 분사 영역(Z3)은 편심 노즐 구멍(106)의 직경보다 작다. 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기에 있어서 회전 분사 노즐(100)의 편심 회전에 의하여 편심 노즐 구멍(106)의 궤적이 음극(10)의 중심축선(L1)을 기준으로 원을 이루게 되면서 플라스마 분사 영역(Z2)이 링 형태로 넓어진다. 따라서 본 발명에 따른 아크제트 플라스마 발생기는 넓은 면적의 아크제트 플라스마에 의하여 워크피스(2), 예를 들면 인쇄회로기판의 회로 패턴을 효율적으로 크리닝할 수 있다. The eccentric rotation of the
이상에서 설명된 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
10: 음극 12: 통로
20: 양극 22: 팁
30: 출구 포트 링 40: 하우징
46: 통로 50: 전원공급장치
60: 노즐 헤드 70: 작동 공간
78: 인렛 피팅 80: 가이드 노즐
90: 스러스트 베어링 100: 회전 분사 노즐
106: 편심 노즐 구멍 110: 날개10: cathode 12: passage
20: anode 22: tip
30: outlet port ring 40: housing
46: passage 50: power supply
60: nozzle head 70: operating space
78: inlet fitting 80: guide nozzle
90: thrust bearing 100: rotary spray nozzle
106: eccentric nozzle hole 110: wing
Claims (6)
전력의 인가에 의하여 상기 음극과의 사이에 아크 방전이 발생되도록 상기 통로 안에 수용되어 있는 팁을 갖는 양극과;
상기 음극이 결합되어 있고, 상기 아크 방전에 의하여 발생되는 아크제트 플라스마가 유입되도록 상기 통로와 연통되어 있는 작동 공간을 가지며, 상기 작동 공간과 연통되어 있는 출구를 갖는 노즐 헤드와;
상기 작동 공간에 회전할 수 있도록 장착되어 있고, 상기 출구에 배치되어 상기 아크제트 플라스마를 분사하는 편심 노즐 구멍을 가지며, 상기 편심 노즐 구멍을 통하여 분사되는 상기 아크제트 플라스마의 영역이 확장되도록 상기 통로의 중심축선과 상기 편심 노즐 구멍의 중심축선은 서로 평행하게 배치되어 있는 회전 분사 노즐을 포함하는 아크제트 플라스마 발생기.A hollow cathode having a passage for the flow of the reaction gas;
A cathode having a tip accommodated in the passage so that an arc discharge is generated between the anode and the cathode by application of electric power;
A nozzle head coupled to the cathode and having an operating space communicated with the passage to allow arc jet plasma generated by the arc discharge to flow therethrough and an outlet communicating with the working space;
And an eccentric nozzle hole disposed at the outlet for ejecting the arc jet plasma, wherein the arc jet plasma is injected through the eccentric nozzle hole, Wherein the center axis of the eccentric nozzle hole is parallel to the central axis of the eccentric nozzle hole.
상기 작동 공간에 압축공기의 공급을 위하여 상기 노즐 헤드의 외면에 유입구가 형성되어 있고, 상기 압축공기의 공급에 의하여 상기 회전 분사 노즐이 회전할 수 있도록 상기 회전 분사 노즐의 외면에 복수의 날개들이 형성되어 있는 아크제트 플라스마 발생기.The method according to claim 1,
A plurality of blades are formed on the outer surface of the rotary spray nozzle so that the rotary spray nozzle can be rotated by the supply of the compressed air, an inlet is formed on the outer surface of the nozzle head for supplying compressed air to the operation space, Arc jet plasma generator.
상기 통로를 통과하는 아크제트 플라스마의 흐름을 상기 편심 노즐 구멍으로 유도하기 위하여 상기 음극과 상기 회전 분사 노즐 사이에 배치되도록 상기 작동 공간에 장착되어 있는 가이드 노즐을 더 포함하고, 상기 가이드 노즐은 상기 회전 분사 노즐과 함께 회전되도록 상기 회전 분사 노즐에 결합되어 있는 아크제트 플라스마 발생기. 3. The method according to claim 1 or 2,
Further comprising a guide nozzle mounted in the working space so as to be disposed between the cathode and the rotary spray nozzle to guide a flow of arc jet plasma through the passage to the eccentric nozzle hole, And an arc jet plasma generator coupled to the rotary injection nozzle to rotate with the injection nozzle.
상기 가이드 노즐의 회전을 지지하기 위하여 상기 작동 공간에 장착되어 있는 베어링을 더 포함하는 아크제트 플라스마 발생기.The method of claim 3,
Further comprising: a bearing mounted in the working space for supporting rotation of the guide nozzle.
상기 반응가스의 흐름이 상기 팁 주위로 유도되도록 상기 통로에 장착되어 있는 출구 포트 링을 더 포함하고, 상기 팁은 상기 출구 포트 링에 통과되어 있는 아크제트 플라스마 발생기.3. The method according to claim 1 or 2,
Further comprising an exit port ring mounted to the passage such that a flow of the reaction gas is directed around the tip, the tip being passed through the exit port ring.
상기 음극은 중공형 하우징의 통로 안에 장착되어 있고, 상기 하우징은 상기 노즐 헤드에 결합되어 있는 아크제트 플라스마 발생기. 3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the cathode is mounted in a passageway of the hollow housing and the housing is coupled to the nozzle head.
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2012
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