KR20140083495A - 터치 센서 및 그 제조 방법 - Google Patents

터치 센서 및 그 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20140083495A
KR20140083495A KR1020120153337A KR20120153337A KR20140083495A KR 20140083495 A KR20140083495 A KR 20140083495A KR 1020120153337 A KR1020120153337 A KR 1020120153337A KR 20120153337 A KR20120153337 A KR 20120153337A KR 20140083495 A KR20140083495 A KR 20140083495A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
region
metal wiring
wiring pattern
insulating layer
touch sensor
Prior art date
Application number
KR1020120153337A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101441525B1 (ko
Inventor
남성일
Original Assignee
(주)멜파스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)멜파스 filed Critical (주)멜파스
Priority to KR1020120153337A priority Critical patent/KR101441525B1/ko
Publication of KR20140083495A publication Critical patent/KR20140083495A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101441525B1 publication Critical patent/KR101441525B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B5/00Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form
    • H01B5/14Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form comprising conductive layers or films on insulating-supports

Abstract

본 발명의 터치 센서는, 접촉 검출을 위한 제 1 영역과 배선부 형성을 위한 제 2 영역으로 된 기판과, 상기 제 2 영역 상에 형성된 금속 배선 패턴과, 상기 금속 배선 패턴의 상부 일부를 노출시키는 개구를 가지며, 상기 금속 배선 패턴 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에 형성되며, 상기 개구를 통해 상기 금속 배선 패턴과 연결되는 도전성 패턴을 포함할 수 있다.

Description

터치 센서 및 그 제조 방법{TOUCH SENSOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 터치 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 금속 배선 패턴에 연결되는 도전성 패턴에 인접하는 주변 도전성 패턴과의 연결 차단을 위한 절연막에 기인하는 단차 발생을 억제하는데 적합한 터치 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
근래 들어, 이동통신 기술의 발달과 함께 스마트폰, PDA, 스마트패드, 태블릿 PC 등과 같은 휴대용 전자기기는 문자 정보를 표시하는 수단으로서 뿐만 아니라 오디오, 동영상, 무선 인터넷 웹 브라우징(web browsing) 등과 같은 더욱 다양하고 복잡한 멀티미디어를 제공하는 수단으로 그 기능이 확대되고 있다.
따라서, 휴대용 전자기기의 제한된 크기 내에서 가능한 한 넓은 디스플레이 화면의 구현이 요구되고 있으며, 이러한 요구의 충족을 위해 대부분의 휴대용 전자기기에는 별도의 키 버튼이나 키패드의 필요 없이 키 조작이 가능하도록 하는 터치스크린 패널(터치 센서 패널)이 적용되고 있다.
이와 같은 터치스크린 패널은 표시 모듈(예컨대, LCD 모듈, LED 모듈 등)의 상부 또는 표시 모듈의 내부에 배치되어 사용자로부터의 터치(접촉)를 인식하여 관련 키 입력 정보를 발생시키는 장치로서 동작 방식에 따라 분류되는 저항막(resistive) 방식, 정전용량(capacitive) 방식, 초음파 방식, 광센서 방식, 전자유도 방식 중 어느 하나를 적용할 수 있는데, 본 발명은 정전용량 방식의 개선에 관련된다.
전형적인 종래의 터치스크린용(터치 센서용) 배선 기판은 투명 기판, 투명 기판의 외부 배선 영역(비 표시 영역)에 형성되는 인쇄층, 투명 기판의 접촉 검출 영역(표시 영역)과 인쇄층 상에 형성되는 투명 전극(도전성 패턴), 인쇄층 상에서 투명 전극의 일부를 노출시키는 형태로 형성되는 절연층, 절연층의 상부에 형성되어 노출된 투명 전극에 연결되는 금속 배선 패턴 등을 포함한다. 여기에서, 투명 전극은 감지 전극과 구동 전극을 포함할 수 있다.
여기에서, 인쇄층은, 예컨대 흰색 또는 검정색 등으로 시인되는 불투명한 물질로 구성될 수 있으며, 그 배선 패턴은 보다 확실한 은폐와 인쇄층 물질의 명확한 색깔 구현 등을 위해 하나 이상의 층으로 형성될 수 있다.
그러나, 종래의 전형적인 터치스크린용 배선 기판은 금속 배선 패턴을 최후에 형성하기 때문에 금속 배선 패턴을 형성할 때 도전성 패턴이 손상되는 문제점이 있다.
또한, 종래의 전형적인 터치스크린용 배선 기판은, 인쇄층이 복수의 층으로 형성되는 경우 투명 기판의 비 표시 영역에서 단차(수직 구조 단차)가 증가하게 되는데, 이와 같이 단차가 존재하는 영역에 투명 전극이 형성될 경우 단차로 인해 투명 전극에 단선 등이 발생하는 문제점이 있다.
또한, 종래의 전형적인 터치스크린용 배선 기판은 단차에 기인하는 투명 전극의 단선 불량 등으로 인해 터치 입력의 인식 불량, 고스트 터치 발생 등의 오작동이 발생할 수 있는 문제가 있다.
대한민국 공개특허번호 제2011-0047473호(공개일 : 2011. 05. 09.)
본 발명은 터치 센서의 배선 기판에 있어서 금속 배선 패턴 상에 절연층을 먼저 형성한 후 최종적으로 도전성 패턴을 형성함으로써, 터치 센서의 제조 공정의 과정에서 금속 배선 패턴의 형성에 기인하는 불량 발생을 억제할 수 있는 새로운 기법을 제공한다.
또한, 본 발명은 금속 배선 패턴과 투명 기판의 표시 영역에 절연층을 형성하고, 그 절연층 위에 도전성 패턴을 형성하여 표면 거칠기(roughness)를 개선함으로써, 투명 기판의 비 표시 영역에서의 단차 발생을 억제할 수 있는 새로운 기법을 제공한다.
또한, 본 발명은 인쇄 공정이 아닌 스핀코팅 공정을 이용하여 절연층을 형성함으로써, 투명 기판의 비 표시 영역에서의 단차 발생을 더욱 억제할 수 있는 새로운 기법을 제공한다.
본 발명은, 일 관점에 따라, 접촉 검출을 위한 제 1 영역과 배선부 형성을 위한 제 2 영역으로 된 기판과, 상기 제 2 영역 상에 형성된 금속 배선 패턴과, 상기 금속 배선 패턴의 상부 일부를 노출시키는 개구를 가지며, 상기 금속 배선 패턴 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에 형성되며, 상기 개구를 통해 상기 금속 배선 패턴과 연결되는 도전성 패턴을 포함하는 터치 센서를 제공한다.
본 발명의 상기 절연층은 스핀 코팅 공정을 통해 형성되는 투명 절연성 물질일 수 있다.
본 발명은, 상기 제 2 영역에서 상기 기판과 금속 배선 패턴 사이에 형성되는 인쇄층을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 상기 인쇄층은 불투명 재질의 절연막일 수 있고, 상기 도전성 패턴은 투명 전도성 물질일 수 있으며, 상기 기판은 강화 글라스 또는 고경질의 플라스틱 물질로 이루어진 커버 글라스일 수 있다.
본 발명은, 다른 관점에 따라, 접촉 검출을 위한 제 1 영역과 배선부 형성을 위한 제 2 영역으로 된 기판을 준비하는 단계와, 상기 제 2 영역 상에 금속 배선 패턴을 형성하는 단계와, 상기 금속 배선 패턴 상에 절연층을 형성하는 단계와, 상기 금속 배선 패턴의 상부 일부를 노출시키는 개구를 형성하는 단계와, 상기 절연층 상에 상기 개구를 통해 상기 금속 배선 패턴과 연결되는 도전성 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 터치 센서 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 상기 방법은, 상기 금속 배선 패턴의 형성 전에, 상기 제 2 영역 상에 인쇄층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 상기 절연층은, 스핀 코팅 공정을 통해 형성되는 투명 절연성 물질일 수 있다.
본 발명은, 또 다른 관점에 따라, 접촉 검출을 위한 제 1 영역과 배선부 형성을 위한 제 2 영역으로 된 기판과, 상기 제 2 영역 상에 형성된 금속 배선 패턴과, 상기 금속 배선 패턴의 상부 일부를 노출시키는 개구를 가지며, 상기 제 1 영역과 금속 배선 패턴 상에 형성된 절연층과, 상기 제 1 영역과 절연층 상에 형성되며, 상기 개구를 통해 상기 금속 배선 패턴과 연결되는 도전성 패턴을 포함하는 터치 센서를 제공한다.
본 발명의 상기 절연층은, 스핀 코팅 공정을 통해 형성되는 투명 또는 불투명 절연성 물질일 수 있다.
본 발명의 상기 터치 센서는, 상기 제 2 영역에서 상기 기판과 금속 배선 패턴 사이에 형성되는 인쇄층을 더 포함할 수 있다.
본 발명은, 금속 배선 패턴과 투명 기판의 표시 영역에 절연층을 형성하고, 그 절연층 위에 도전성 패턴을 형성함으로써, 투명 기판의 비 표시 영역에서의 단차 발생을 억제할 수 있으며, 이를 통해 단차(수직 구조 단차)에 기인하는 투명 전극의 단선 불량 등을 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 본 발명은 인쇄 공정이 아닌 스핀코팅 공정을 이용하여 절연층을 형성함으로써, 투명 기판의 비 표시 영역에서의 단차 발생을 더욱 억제할 수 있으며, 이를 통해 전자기기상 인식 불량, 고스트 터치 발생 등의 오작동이 발생하는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명의 터치 센서가 적용 가능한 터치 센서 패널의 평면 구조를 개략적으로 보여주는 평면 구조도,
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 터치 센서의 일부를 도시한 일부 절결 단면도,
도 3a 내지 3d는 본 발명의 일실시 예에 따라 터치 센서를 제조하는 주요 과정을 도시한 공정 순서도,
도 4는 본 발명의 일실시 예의 변형 실시 예에 따른 터치 센서의 일부를 도시한 일부 절결 단면도,
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 센서의 일부를 도시한 일부 절결 단면도,
도 6은 본 발명의 다른 실시 예의 변형 실시 예에 따른 터치 센서의 일부를 도시한 일부 절결 단면도.
먼저, 본 발명의 장점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 여기에서, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명의 범주를 명확하게 이해할 수 있도록 하기 위해 예시적으로 제공되는 것이므로, 본 발명의 기술적 범위는 청구항들에 의해 정의되어야 할 것이다.
아울러, 아래의 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성 등에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들인 것으로, 이는 사용자, 운용자 등의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 그 정의는 본 명세서의 전반에 걸쳐 기술되는 기술사상을 토대로 이루어져야 할 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 터치 센서가 적용 가능한 터치 센서 패널의 평면 구조를 개략적으로 보여주는 평면 구조도로서, 기판(100)은 표시 영역(또는 접촉 검출 영역)으로 정의될 수 있는 제 1 영역(110)과 비 표시 영역(또는 외부 배선 영역)으로 정의될 수 있는 제 2 영역(120)을 포함할 수 있으며, 제 1 영역은 서로 전기적으로 절연된 컬럼(column) 전극(111)과 패치(patch) 전극(112)을 포함할 수 있다.
여기에서, 컬럼 전극(111)은 제1축(예컨대, 가로 방향)의 입력 좌표를 감지하기 위해 제1축 상에 일정한 간격으로 복수개가 배열되고, 패치 전극(112)은 제2축(예컨대, 세로 방향)의 입력 좌표를 감지하기 위해 제2축 상에 일정한 간격으로 복수개가 배열되는 구조를 가질 수 있다.
또한, 각 컬럼 전극(111)은 제1축 방향을 따라 길게 형성되며, 각 패치 전극(112)은 제2축 상에서 동일한 위치에 위치한 패치 전극(112)끼리 전기적으로 연결된다. 제2축 상에서 동일한 위치에 위치한 패치 전극(112)들은 제2 영역(120)에서 전기적으로 연결될 수 있다.
도 1을 참조하면, 기판(100)은 투명 기판일 수 있는 것으로, 강화 글라스, 아크릴 수지 등의 고강도 재료, 또는 플렉서블 디스플레이 등에 적용 가능한 경질의 PET(Polyethylene Terephthalate), PC(Polycarbonate), PES(Polyethersulfone), PI(Polyimide), PMMA(PolyMethly MethaAcrylate) 등의 물질로 형성될 수 있다. 또한, 기판(100)은 터치스크린에 적용되는 커버 글라스일 수 있는데, 이 경우 커버 글라스는 강화 글라스 또는 고경질의 플라스틱 물질 등으로 이루어지며, 0.3T 이상의 두께를 구현함으로써 충분한 보호 기능을 갖도록 설계될 수 있다.
그리고, 접촉 검출 영역(또는 표시 영역)으로서 기능하는 제 1 영역(110)에는 복수의 전극(111, 112), 전극과 배선 패턴을 연결하기 위한 복수의 내부 배선을 포함하는 도전성 패턴(도시 생략)이 형성되며, 배선부 또는 외부 배선 영역(또는 비 표시 영역)으로서 기능하는 제 2 영역(120)에는 대응하는 도전성 패턴들과 연결되는 다수의 금속 배선 패턴(121) 등이 형성되는 영역일 수 있으며, 사용자가 시인하지 않아도 되는 영역이므로, 외부 배선 영역(120)(또는 배선부)에 존재하는 금속 배선 패턴(121) 등을 은폐하기 위해, 외부 배선 영역 상에는 하나 이상의 인쇄층(도시 생략)이 형성될 수 있다.
한편, 도 1의 실시 예에서는 외부 배선 영역(120)이 접촉 검출 영역(110)의 외곽 중 상단과 하단에 위치하는 것으로 도시하였으나, 이것은 설명의 편의와 이해의 증진을 위한 예시적인 제시일 뿐 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 외부 배선 영역을 접촉 검출 영역의 좌단과 우단에 위치하도록 설계하거나 혹은 4면의 접촉 검출 영역을 둘러싸는 형태로 설계하거나 혹은 접촉 검출 영역과 외부 배선 영역을 구분함이 없이 일체화시킨 형태로 설계할 수도 있음은 물론이다.
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 처티 센서의 일부를 도시한 일부 절결 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시 예의 터치 센서는 표시 영역(또는 접촉 검출 영역)으로 정의될 수 있는 제 1 영역(201a)과 비 표시 영역(또는 외부 배선 영역)으로 정의될 수 있는 제 2 영역(201b)을 포함할 수 있으며, 기판(202) 상의 제 2 영역(201b) 상에 임의의 패턴을 갖는 인쇄층(204)이 형성되고, 인쇄층(204)의 상부에 금속 배선 패턴(206)이 형성되는 구조를 갖는다.
또한, 기판(202)의 제 1 영역(201a)과 금속 배선 패턴(206)의 상부에는 금속 배선 패턴(206)의 상부 일부를 노출시키는 개구를 갖는 절연층(208)이 형성되며, 이 절연층(208)의 상부 전면에는 개구를 통해 상부 일부가 노출된 금속 배선 패턴(206)과 전기적으로 연결되는 도전성 패턴(210)이 형성된다.
여기에서, 기판(202)의 제 2 영역(201b) 상에 형성되는 인쇄층(204)은, 사용자가 시인하지 않아도 되는 영역이므로, 흰색 잉크 또는 검은색 잉크 등과 같은 불투명 재질의 절연막으로 형성할 수 있으며, 제 2 영역(201b)에 존재하는 금속 배선 패턴 등을 보다 확실하게 은폐할 수 있도록, 복수의 인쇄층으로 형성될 수도 있다.
그리고, 인쇄층(204)의 상부에 형성되는 다수의 금속 배선 패턴(206)은, 예컨대 스퍼터링 공정 등을 실시하여 인쇄층(204)의 전면에 금속 배선 물질(예컨대, 실버 등)을 형성(증착)한 후 마스크 패턴을 이용하는 포토 공정 등을 실시하여 금속 배선 물질의 일부를 선택적으로 제거함으로써 원하는 형상의 패턴으로 형성할 수 있으며, 이러한 금속 배선 패턴(206)의 일단은 기판(202) 상의 대응하는 도전성 패턴과 연결되고 타단은 터치 센서 칩(도시 생략)과 연결된다.
다음에, 기판(202)의 제 1 영역(201a)과 금속 배선 패턴(206)의 상부에 걸쳐 형성되는 절연층(208)은, 기능적인 관점에서 볼 때 서로 대응하는 금속 배선 패턴(206)과 도전성 패턴(210)만이 연결되고, 대응하는 도전성 패턴(210)에 인접하는 다른 도전성 패턴들이 금속 배선 패턴(206)에 연결되는 것을 방지하기 위한 것으로, 금속 배선 패턴(206)과 도전성 패턴(210)간의 전기적 연결을 위한 개구(즉, 금속 배선 패턴(206)의 상부 일부를 노출시키는 개구)가 형성되어 있다. 여기에서, 개구는 비아홀로서 정의될 수 있다.
여기에서, 절연층(208)은 투명 절연성 물질로서, 예컨대 스핀코팅 공정을 통해 형성(도포)될 수 있으며, 개구는 에칭 마스크를 이용하는 에칭 공정을 통해 투명 절연성 물질의 일부를 선택 제거하는 방식으로 형성될 수 있다. 그리고, 금속 배선 패턴(206)의 상부 일부를 노출시키는 개구는, 예컨대 원형, 타원형, 사각형 등과 같은 형상으로 형성될 수 있다.
다시, 도전성 패턴(210)은 투명 전도성 물질, 예컨대 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ZO(Zinc Oxide) 등의 산화물, 탄소나노튜브, 금속 나노 와이어, 전도성 폴리머 등과 같은 투명 전도성 물질을 적용할 수 있으며, 예컨대 스퍼터링 공정 등을 실시하여 금속 배선 패턴(206)의 상부 일부를 노출시키는 개구를 갖는 절연층(208)의 전면에 투명 전도성 물질을 형성(증착)한 후 마스크 패턴을 이용하는 포토 공정 등을 실시하여 투명 전도성 물질의 일부를 선택적으로 제거함으로써 원하는 형상의 패턴으로 형성할 수 있다. 여기에서, 도전성 패턴(210)과 금속 배선 패턴(206)은 절연층(208)에 형성된 개구를 통해 전기적으로 연결되는 구조를 갖는다.
즉, 도전성 패턴(210)은 도시 생략된 전극(컬럼 전극, 패치 전극)과 금속 배선 패턴간의 연결을 위해 기판(202)의 제 1 영역(201a)과 제 2 영역(201b)에 걸쳐 형성될 수 있다. 여기에서, 컬럼 전극은 제1축(예컨대, 가로 방향)의 입력 좌표를 감지하기 위해 제1축 상에 일정한 간격으로 복수개가 배열되고, 패치 전극은 제2축(예컨대, 세로 방향)의 입력 좌표를 감지하기 위해 제2축 상에 일정한 간격으로 복수개가 배열되는 구조를 가질 수 있다.
도 3a 내지 3d는 본 발명의 일실시 예에 따라 터치 센서를 제조하는 주요 과정을 도시한 공정 순서도이다.
도 3a를 참조하면, 터치 센서 제작용의 기판(202)을 준비한 후, 흰색 잉크 또는 검은색 잉크 등과 같은 불투명 재질의 잉크 등을 이용하는 인쇄 공정을 실시하여 기판(202)의 제 2 영역(201b) 상에 임의의 패턴을 갖는 인쇄층(204)을 형성한다.
그리고, 예컨대 스퍼터링 등과 같은 증착 공정을 실시하여 인쇄층(204)의 전면에 금속 배선 물질을 형성하고, 마스크 패턴(도시 생략)을 이용하는 포토 공정 등을 실시하여 금속 배선 물질의 일부를 선택적으로 제거함으로써, 일예로서 도 3b에 도시된 바와 같이, 인쇄층(204)의 상부에 임의의 패턴을 갖는 다수의 금속 배선 패턴(206)을 형성한다. 여기에서, 각 금속 배선 패턴(206)의 일단은 후술하는 공정을 통해 형성되는 도전성 패턴(210)과 연결되고 타단은 터치 센서 칩(도시 생략)과 연결된다.
이어서, 스핀코팅 공정을 실시하여 금속 배선 패턴(206)이 형성된 기판(202)의 전면에 걸쳐 투명 절연성 물질(예컨대, 유기 절연체 물질)을 도포하고, 에칭 마스크(도시 생략)를 이용하는 에칭 공정 등을 실시하여 투명 절연성 물질의 일부를 선택 제거함으로써, 일예로서 도 3c에 도시된 바와 같이, 제 1 영역(201a)과 금속 배선 패턴(206)의 상부에 걸쳐 금속 배선 패턴(206)의 상부 일부를 노출시키는 개구(208a)를 갖는 절연층(208)을 형성한다. 여기에서, 개구(208a)는 비아홀로서 정의될 수 있으며, 예컨대 원형, 타원형, 사각형 등과 같은 형상으로 형성될 수 있다.
여기에서, 절연층(208)을 형성하기 위한 스핀코팅 공정은 인쇄층(204)과 금속 배선 패턴(206)이 적층 형성된 제 2 영역(201b)과 어떠한 층(또는 패턴)도 형성되지 않은 제 1 영역(201a)간의 단차 경사(각도)를 원만하게 조절(단차 불량의 완화 효과) 가능하게 하며, 또한 표면 거칠기(roughness)를 양호하게 하는 효과를 실현 가능하게 한다.
다시, 예컨대 스퍼터링 등과 같은 증착 공정을 실시하여 절연층(208)의 전면에 투명 전도성 물질을 형성하고, 마스크 패턴(도시 생략)을 이용하는 포토 공정 등을 실시하여 투명 전도성 물질의 일부를 선택적으로 제거함으로써, 일예로서 도 3d에 도시된 바와 같이, 절연층(208)의 상부에 개구(208a)를 통해 그 하부의 금속 배선 패턴(206)과 연결되는 도전성 패턴(210)을 형성한다.
여기에서, 도전성 패턴(210)으로서는, 예컨대 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ZO(Zinc Oxide) 등의 산화물, 탄소나노튜브, 금속 나노 와이어, 전도성 폴리머 등과 같은 투명 전도성 물질을 적용(사용)할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일실시 예의 변형 실시 예에 따른 터치 센서의 일부를 도시한 일부 절결 단면도이다.
도 4를 참조하면, 본 실시 예의 터치 센서는, 금속 배선 패턴의 대략 중앙 부분의 상부 일부가 노출되도록 절연층에 개구를 형성하는 도 2의 실시 예와는 달리, 금속 배선 패턴(406)의 일측 종단의 상부를 노출시키는 노출 영역(408a)을 형성한다는 점에 차이를 가지며, 그 이외의 구조, 재질, 기능 및 제조 공정은 도 2에 도시된 대응하는 구성부재들의 구조, 기능, 재질 및 제조 공정과 실질적으로 동일하다. 여기에서, 도전성 패턴(410)은 노출 영역(408a)을 통해 절연층(408)의 하부에 형성된 금속 배선 패턴(406)과 연결된다.
즉, 제 1 영역(401a)은 도 2의 제 1 영역(201a)을, 제 2 영역(401b)은 도 2의 제 2 영역(201b)을, 기판(402)은 도 2의 기판(202)에, 인쇄층(404)은 도 2의 인쇄층(204)에, 금속 배선 패턴(406)은 도 2의 금속 배선 패턴(206)에, 절연층(408)의 도 2의 절연층(208)에, 도전성 패턴(410)은 도 2의 도전성 패턴(210)에 각각 대응하는 것으로, 이들 대응하는 구성부재들은 구조, 기능 및 제조 공정 면에서 실질적으로 동일하며, 금속 배선 패턴(406)과 도전성 패턴(410)은 금속 배선 패턴(406)의 일측 종단에 형성되어 있는 노출 영역(408a)을 통해 전기적으로 연결되는 구조를 갖게 된다. 여기에서, 절연층(408)은, 예컨대 4개의 금속 배선 패턴(406)이 형성될 때 그 적층 면적을 달리하는 4개의 층으로 형성될 수 있다.
한편, 본 발명의 상술한 실시 예들에서는 스핀코팅을 통해 형성하는 기판의 전면(제 1 영역과 제 2 영역)에 절연층을 형성하는 것으로 하여 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 제 1 영역(접촉 검출 영역 또는 표시 영역)에 형성된 절연층을 선택적으로 제거한 구조(예컨대, 제 2 영역에만 절연층을 형성한 구조)로 적용할 수도 있음은 물론이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 센서의 일부를 도시한 일부 절결 단면도이다.
도 5를 참조하면, 본 실시 예의 터치 센서는, 제 1 영역과 제 2 영역의 전면에 걸쳐 절연층을 형성하는 도 2의 실시 예와는 달리, 제 1 영역(501a)에는 절연층을 형성하지 않고 제 2 영역(501b)에만 절연층(508)을 선택적으로 형성한다는 점에 차이를 가지며, 그 이외의 구조, 재질, 기능 및 제조 공정은 도 2에 도시된 대응하는 구성부재들의 구조, 기능, 재질 및 제조 공정과 실질적으로 동일하다. 여기에서, 스핀코팅을 통해 제 1 영역(501a)에 형성되는 절연성 물질은 개구의 형성을 위해 절연성 물질을 선택 제거(에칭)할 때 동시에 제거될 수 있다.
즉, 제 1 영역(501a)은 도 2의 제 1 영역(201a)을, 제 2 영역(501b)은 도 2의 제 2 영역(501b)을, 기판(502)은 도 2의 기판(502)에, 인쇄층(504)은 도 2의 인쇄층(204)에, 금속 배선 패턴(506)은 도 2의 금속 배선 패턴(506)에, 절연층(508)의 도 2의 절연층(208)에, 도전성 패턴(510)은 도 2의 도전성 패턴(210)에 각각 대응하는 것으로, 이들 대응하는 구성부재들은 구조, 기능 및 제조 공정 면에서 실질적으로 동일하다.
여기에서, 절연층(508)은 비 표시 영역(배선부 또는 외부 배선 영역)으로 정의될 수 있는 제 2 영역(501b)에만 형성되기 때문에 투명 절연성 물질이 아닌 불투명 절연성 물질을 적용할 수도 있다.
따라서, 명세서의 간결화를 위한 불필요한 중복 기재를 피하기 위하여, 본 실시 예에서는 터치 센서를 구성하는 각 구성부재들의 구조, 기능, 재질 및 제조 공정 등에 대한 설명을 생략한다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예의 변형 실시 예에 따른 터치 센서의 일부를 도시한 일부 절결 단면도이다.
도 6을 참조하면, 본 실시 예의 터치 센서는, 금속 배선 패턴의 대략 중앙 부분의 상부 일부가 노출되도록 절연층에 개구를 형성하는 도 5의 실시 예와는 달리, 금속 배선 패턴(606)의 일측 종단의 상부를 노출시키는 노출 영역(608a)을 형성한다는 점에 차이를 가지며, 그 이외의 구조, 재질, 기능 및 제조 공정은 도 5에 도시된 대응하는 구성부재들의 구조, 기능, 재질 및 제조 공정과 실질적으로 동일하다. 여기에서, 도전성 패턴(610)은 노출 영역(608a)을 통해 절연층(608)의 하부에 형성된 금속 배선 패턴(606)과 연결된다.
즉, 제 1 영역(601a)은 도 5의 제 1 영역(501a)을, 제 2 영역(601b)은 도 5의 제 2 영역(501b)을, 기판(602)은 도 5의 기판(502)에, 인쇄층(604)은 도 5의 인쇄층(504)에, 금속 배선 패턴(606)은 도 5의 금속 배선 패턴(506)에, 절연층(608)의 도 5의 절연층(508)에, 도전성 패턴(610)은 도 5의 도전성 패턴(510)에 각각 대응하는 것으로, 이들 대응하는 구성부재들은 구조, 기능 및 제조 공정 면에서 실질적으로 동일하며, 금속 배선 패턴(606)과 도전성 패턴(610)은 금속 배선 패턴(606)의 일측 종단에 형성되어 있는 노출 영역(608a)을 통해 전기적으로 연결되는 구조를 갖게 된다. 여기에서, 절연층(608)은, 예컨대 4개의 금속 배선 패턴(606)이 형성될 때 그 적층 면적을 달리하는 4개의 층으로 형성될 수 있다.
한편, 본 발명에 따라 제작되는 터치 센서는 휴대용 전자기기의 터치 센서로서 제작될 수 있으며, 이러한 터치 센서는 하나의 터치 센싱 장치로서 제작될 수 있음은 물론이다.
이상의 설명은 본 발명의 기술사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경 등이 가능함을 쉽게 알 수 있을 것이다. 즉, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것으로서, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다.
따라서, 본 발명의 보호 범위는 후술되는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
201a, 401a, 501a, 601a : 제 1 영역
201b, 401b, 501a, 601a : 제 2 영역
202, 402, 502, 602 : 기판
204, 404, 504, 604 : 인쇄층
206, 406, 506, 606 : 금속 배선 패턴
208, 408, 508, 608 : 절연층
208a : 개구
210, 410, 510, 610 : 도전성 패턴
408a, 608a : 노출 영역

Claims (13)

  1. 접촉 검출을 위한 제 1 영역과 배선부 형성을 위한 제 2 영역으로 된 기판과,
    상기 제 2 영역 상에 형성된 금속 배선 패턴과,
    상기 금속 배선 패턴의 상부 일부를 노출시키는 개구를 가지며, 상기 금속 배선 패턴 상에 형성된 절연층과,
    상기 절연층 상에 형성되며, 상기 개구를 통해 상기 금속 배선 패턴과 연결되는 도전성 패턴
    을 포함하는 터치 센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 절연층은,
    스핀 코팅 공정을 통해 형성되는
    터치 센서.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 절연층은,
    투명 절연성 물질인
    터치 센서.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 영역에서 상기 기판과 금속 배선 패턴 사이에 형성되는 인쇄층
    을 더 포함하는 터치 센서.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 인쇄층은,
    불투명 재질의 절연막인
    터치 센서.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 도전성 패턴은,
    투명 전도성 물질인
    터치 센서.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은,
    강화 글라스 또는 고경질의 플라스틱 물질로 이루어진 커버 글라스인
    터치 센서.
  8. 접촉 검출을 위한 제 1 영역과 배선부 형성을 위한 제 2 영역으로 된 기판을 준비하는 단계와,
    상기 제 2 영역 상에 금속 배선 패턴을 형성하는 단계와,
    상기 금속 배선 패턴 상에 절연층을 형성하는 단계와,
    상기 금속 배선 패턴의 상부 일부를 노출시키는 개구를 형성하는 단계와,
    상기 절연층 상에 상기 개구를 통해 상기 금속 배선 패턴과 연결되는 도전성 패턴을 형성하는 단계
    를 포함하는 터치 센서 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 방법은,
    상기 금속 배선 패턴의 형성 전에, 상기 제 2 영역 상에 인쇄층을 형성하는 단계
    를 더 포함하는 터치 센서 제조 방법.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 절연층은,
    스핀 코팅 공정을 통해 형성되는 투명 절연성 물질인
    터치 센서 제조 방법.
  11. 접촉 검출을 위한 제 1 영역과 배선부 형성을 위한 제 2 영역으로 된 기판과,
    상기 제 2 영역 상에 형성된 금속 배선 패턴과,
    상기 금속 배선 패턴의 상부 일부를 노출시키는 개구를 가지며, 상기 제 1 영역과 금속 배선 패턴 상에 형성된 절연층과,
    상기 제 1 영역과 절연층 상에 형성되며, 상기 개구를 통해 상기 금속 배선 패턴과 연결되는 도전성 패턴
    을 포함하는 터치 센서.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 절연층은,
    스핀 코팅 공정을 통해 형성되는 투명 또는 불투명 절연성 물질인
    터치 센서.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 터치 센서는,
    상기 제 2 영역에서 상기 기판과 금속 배선 패턴 사이에 형성되는 인쇄층
    을 더 포함하는 터치 센서.
KR1020120153337A 2012-12-26 2012-12-26 터치 센서 및 그 제조 방법 KR101441525B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120153337A KR101441525B1 (ko) 2012-12-26 2012-12-26 터치 센서 및 그 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120153337A KR101441525B1 (ko) 2012-12-26 2012-12-26 터치 센서 및 그 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140083495A true KR20140083495A (ko) 2014-07-04
KR101441525B1 KR101441525B1 (ko) 2014-09-17

Family

ID=51733922

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120153337A KR101441525B1 (ko) 2012-12-26 2012-12-26 터치 센서 및 그 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101441525B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160003406A (ko) * 2014-07-01 2016-01-11 엘지이노텍 주식회사 터치 패널
KR20160007224A (ko) * 2014-07-11 2016-01-20 엘지이노텍 주식회사 터치 패널

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120038868A (ko) * 2010-10-14 2012-04-24 엘지이노텍 주식회사 터치 패널
KR101323033B1 (ko) * 2010-10-20 2013-10-29 엘지디스플레이 주식회사 정전용량 방식 터치 스크린 패널

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160003406A (ko) * 2014-07-01 2016-01-11 엘지이노텍 주식회사 터치 패널
KR20160007224A (ko) * 2014-07-11 2016-01-20 엘지이노텍 주식회사 터치 패널

Also Published As

Publication number Publication date
KR101441525B1 (ko) 2014-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102618486B1 (ko) 표시 장치
US10804338B2 (en) Display device having a portion of a sub layer that does not overlap with signal lines
US10840312B2 (en) Display device
US9436334B2 (en) Touch panel substrate with floating electrode pattern
US20180165494A1 (en) Touch sensor capable of recognizing fingerprints, display device adopting the touch sensor, and electronic device adopting the touch sensor
US8624849B2 (en) Touch actuated sensor configuration integrated with an OLED structure
US20190371865A1 (en) Display device
US8378993B2 (en) Capacitive touch display panel
EP2495643B1 (en) Method of manufacturing transparent circuit substrate for touch screen
US11561657B2 (en) Touch panel and manufacturing method therefor, and touch display device
US11067723B2 (en) Optical touch film, display device including the same, and manufacturing method thereof
KR20120111985A (ko) 입력 장치 및 그 제조 방법
US10452219B2 (en) Touch sensor
KR101585976B1 (ko) 블랙매트릭스를 이용한 대면적 터치센서 제조방법
US20160041659A1 (en) Touch panels and fabrication methods thereof
KR101366111B1 (ko) 터치 스크린 디스플레이 및 제조방법
US9958974B2 (en) Touch substrate, its manufacturing method and display device
US10768764B2 (en) Touch structure and manufacturing method thereof, and touch device
TWI498948B (zh) Input device and manufacturing method thereof
US10303309B2 (en) Display device including touch key electrodes
KR101441525B1 (ko) 터치 센서 및 그 제조 방법
US11061504B2 (en) Input sensing unit and display device including the same
KR101414423B1 (ko) 터치 스크린 패널
KR101400741B1 (ko) 터치 센싱 장치 및 터치 센싱 장치의 제조 방법
KR20150017178A (ko) 터치 스크린 패널의 인쇄층 구조 및 형성 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170810

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190814

Year of fee payment: 6