KR20140083315A - Cantilever type energy harverster - Google Patents
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- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 100
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 70
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 claims description 10
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 7
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 claims description 7
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 5
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 4
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 1
- 125000002573 ethenylidene group Chemical group [*]=C=C([H])[H] 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/852—Composite materials, e.g. having 1-3 or 2-2 type connectivity
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/18—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing electrical output from mechanical input, e.g. generators
- H02N2/186—Vibration harvesters
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8536—Alkaline earth metal based oxides, e.g. barium titanates
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/80—Constructional details
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- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8548—Lead-based oxides
- H10N30/8554—Lead-zirconium titanate [PZT] based
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
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Abstract
Description
본 발명은 플렉서블 압전 복합체 및 이를 이용한 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 세라믹-폴리머 복합체에 전도성 패스(path) 역할을 하는 폴링 전극을 형성하여, 압전 특성 및 출력 특성을 향상시킬 수 있는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flexible piezoelectric composite and a cantilever type piezoelectric energy harvester using the same. More particularly, the present invention relates to a piezoelectric / electrostrictive energy harvester which can improve a piezoelectric characteristic and an output characteristic by forming a poling electrode serving as a conductive path in a ceramic- To a cantilever type piezoelectric energy harvester.
에너지 하베스팅(energy harvesting)은 예를 들어 태양광 에너지를 전기 에너지로 변환하는 것과 같이, A 에너지를, 이와 상이한 성질을 갖는 B 에너지로 변환하는 것을 의미한다. Energy harvesting refers to the conversion of A energy into B energy of a different nature, such as, for example, converting solar energy to electrical energy.
이중 압전 에너지 하베스팅은 외부로부터 기계적 변형을 가하면 전기분극이 나타나는 현상을 이용한 압전 재료(piezoelectric materials)를 매개체로 하여 외부의 기계적 에너지를 압전 재료의 변형에 의하여 전기 에너지로 변환시키는 것을 말한다. The piezoelectric energy harvesting refers to the conversion of external mechanical energy into electrical energy by the deformation of the piezoelectric material, using piezoelectric materials as a mediator of electro-polarization when mechanical deformation is applied from the outside.
이때, 압전 재료의 변형에 의하여 변형 및 복원이 반복되면서 전기 에너지를 발생 시키는 압전소자는 유니몰프 타입 또는 바이몰프 타입의 캔틸레버 구조로 형성될 수 있다. 유니몰프 타입은 강성이 우수한 금속판의 일면에 압전 재료막이 접착되며, 바이몰프 타입은 강성이 우수한 금속판의 양쪽면에 압전 재료막이 접착되는 것이다.
At this time, the piezoelectric element that generates electric energy while being deformed and restored by the deformation of the piezoelectric material may be formed as a unimorph type or a bimorph type cantilever structure. In the unimorph type, a piezoelectric material film is bonded to one surface of a metal plate having excellent rigidity. In the bimorph type, a piezoelectric material film is bonded to both surfaces of a metal plate having excellent rigidity.
본 발명과 관련된 배경기술로는 대한민국 공개특허공보 제 10-2010-0035271호 (2010. 04. 05. 공개)가 있으며, 상기 문헌에는 압전 진동자 및 압전 진동자의 전극 구조가 개시되어 있다.
A background art related to the present invention is Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2010-0035271 (published on Apr. 05, 2010), which discloses an electrode structure of a piezoelectric vibrator and a piezoelectric vibrator.
본 발명의 목적은 세라믹-폴리머 복합체에 전도성 패스(path) 역할을 하는 폴링 전극을 형성함으로써, 압전 특성 및 출력 특성을 향상시킬 수 있는 플렉서블 압전 복합체를 이용한 압전 에너지 하베스터를 제공하는 것이다.
An object of the present invention is to provide a piezoelectric energy harvester using a flexible piezoelectric composite capable of improving piezoelectric characteristics and output characteristics by forming a poling electrode serving as a conductive path in a ceramic-polymer composite.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체는 압전 특성을 가지는 세라믹-폴리머 복합체; 상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하고, 상기 폴링 전극은 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에, 서로 이격된 복수개의 전극 형태로 패터닝되어 형성된 것을 특징으로 한다.
According to an aspect of the present invention, there is provided a flexible piezoelectric composite body comprising: a ceramic-polymer composite body having piezoelectric properties; Electrodes formed on upper and lower portions of the ceramic-polymer composite; And a poling electrode formed inside the ceramic-polymer composite, wherein the poling electrode is patterned into a plurality of electrodes spaced apart from each other in the ceramic-polymer composite.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체는 압전 특성을 가지며, 복수개가 적층된 세라믹-폴리머 복합체; 상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및 상기 복수개의 세라믹-폴리머 복합체의 사이에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
In order to achieve the above object, a flexible piezoelectric composite according to another embodiment of the present invention includes: a ceramic-polymer composite having piezoelectric properties; Electrodes formed on upper and lower portions of the ceramic-polymer composite; And a poling electrode formed between the plurality of ceramic-polymer composites.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터는 지지부; 상기 지지부에 캔틸레버 형태로 타측이 고정되어, 탄성운동을 하는 판형몸체; 및 상기 판형몸체의 일면 또는 양면에 배치되어, 상기 판형몸체의 탄성운동에 의해 변형 및 복원을 반복하면서 교류전원을 발생시키는 플렉서블 압전 복합체;를 포함하고, 상기 플렉서블 압전 복합체는 세라믹-폴리머 복합체와, 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성된 폴링 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a cantilever piezoelectric energy harvester including: a support; A plate-shaped body fixed to the support portion in the form of a cantilever, the plate-shaped body being elastically moved; And a flexible piezoelectric composite disposed on one or both surfaces of the plate-like body and generating AC power while repeating deformation and restoration by elastic movement of the plate-like body, wherein the flexible piezoelectric composite includes a ceramic- And a poling electrode formed inside the ceramic-polymer composite.
본 발명에 따른 플렉서블 압전 복합체는 세라믹-폴리머 복합체에 복수개의 폴링 전극을 패터닝하거나, 복수개가 적층된 세라믹-폴리머 복합체 사이에 폴링 전극을 형성함으로써, 압전 성능을 향상시킬 수 있으며, 전자의 이동 경로를 형성함으로써 출력 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
The flexible piezoelectric composite according to the present invention can improve the piezoelectric performance by patterning a plurality of poling electrodes on a ceramic-polymer composite or forming a poling electrode between a plurality of ceramic-polymer composites, So that the output characteristics can be improved.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체 구조를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 도 1의 A를 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체 구조를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 4는 도 2의 B를 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 압전 에너지 하베스터를 나타낸 것이다.1 schematically illustrates a flexible piezoelectric composite structure according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 shows A in Fig.
3 schematically shows a flexible piezoelectric composite structure according to another embodiment of the present invention.
4 shows B in Fig.
5 shows a piezoelectric energy harvester according to the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. It should be understood, however, that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but is capable of many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체 및 이를 이용한 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
Hereinafter, a flexible piezoelectric composite according to a preferred embodiment of the present invention and a cantilever type piezoelectric energy harvester using the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체 구조를 개략적으로 나타낸 것이다. 도 2는 도 1의 A를 나타낸 것이다.1 schematically illustrates a flexible piezoelectric composite structure according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 shows A in Fig.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체(100)는 세라믹-폴리머 복합체(110), 전극(120) 및 폴링 전극(130)을 포함한다.Referring to FIGS. 1 and 2, a flexible
세라믹-폴리머 복합체(110)는 PZT, 티탄산바륨(BaTiO3), 산화아연(ZnO), 질화갈륨(GaN) 및 질화알루미늄(AlN) 중 선택된 1종 이상의 압전 세라믹과 폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리이미드(Polyimide), P(VDF-TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-HFP), 실리콘(silicone), 고무(rubber) 및 에폭시(epoxy) 중 선택된 1종 이상의 폴리머로 형성될 수 있다. 세라믹-폴리머 복합체(110)를 형성하기 위하여 세라믹의 형상은 구(sphere), 바늘(needle), 막대(bar or rod), 평판(plate)형 단독으로 혹은 2종 이상 혼용될 수 있다.The ceramic-
여기서 세라믹-폴리머 복합체(110)는 3개의 층으로 도시하였으나, 이는 예시적인 것으로서 세라믹-폴리머 복합체(110)는 단층 또는 다층으로 구성될 수 있다.
Here, the ceramic-
세라믹-폴리머 복합체(110)의 두께는 0.01~1000㎛로 형성하는 것이 바람직하다. 만약, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 두께가 0.01㎛ 미만일 경우에는 폴링 전극을 형성하기 어려우며, 압전 효율이 저하되는 문제가 있다. 반대로, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 두께가 1000㎛를 초과할 경우에는 두께가 두꺼워지며 변형이 어려워져 전력 출력 특성이 저하되므로 더 이상의 압전 에너지 하베스팅 효율의 상승 없이 제조 비용만을 상승시키는 요인으로 작용할 수 있다.
The thickness of the ceramic-
전극(120)은 세라믹-폴리머 복합체(110)의 상하부에 각각 형성될 수 있다. 전극(120)은 백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(Graphene), 루테늄(Ru), 탄탈륨 나이트라이드(TaN) 및 타이타늄 나이트라이드(TiN) 중 선택된 1종 이상으로 형성될 수 있다.
The
한편, 세라믹-폴리머 복합체(110) 형성 이후에는 전극(120)에 전압을 인가하여 세라믹-폴리머 복합체(110)를 폴링하는 과정이 포함된다. 폴링이란, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 상부 및 하부에 형성된 전극(120)에 전압을 인가하면, 전기장이 발생되고, 전기장에 의하여 인접한 도메인들의 다이폴 방향이 점차 일치하게 되는 공정이다.The ceramic-
종래에는 전극(120)에 전압을 인가하면, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 전기 저항이 높아 두께방향의 중심부까지 전기장이 전달이 되지 않는 문제점이 있었다.Conventionally, when a voltage is applied to the
따라서, 본 발명에서는 세라믹-폴리머 복합체(110)에 복수개의 폴링 전극(130)을 형성하여, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 상부에서 하부까지 전기장이 전달될 수 있도록 하였으며, 여기서, 폴링 전극(130)은 보조 전극으로 작용하였다고 볼 수 있다.
Accordingly, in the present invention, a plurality of
폴링 전극(130)은 세라믹-폴리머 복합체(110)에 서로 이격된 복수개의 전극 형태로 패터닝되어 형성될 수 있다. 이때, 폴링 전극(130)은 세라믹-폴리머 복합체(110)에 도전성 물질이 삽입되어, 서로 이격된 형태의 복수개의 전극이 되도록 패터닝되어 형성될 수 있다. 이때, 도전성 물질은 백금(Pt), 알루미늄(Al), 금(Au), 은(Ag), 파라듐(Pd), 구리(Cu) 등의 금속, ITO (indium tin oxide) 및 IZO (indium zinc oxide) 등과 같은 도전성 산화물, ZnO, AlN와 같은 반도성 필름 등으로 형성될 수 있다.
폴링 전극(130)은 세라믹-폴리머 복합체(110)에 형성함으로써, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 중심부까지 전기장이 발생할 수 있기 때문에 압전 효과도 향상될 수 있는 장점이 있다. 이때, 압전 효과란 물체에 힘을 가하여 신축시킨 순간에 전압을 일으키고, 역으로 물체에 높은 전압을 가했을 때 신축하는 성질 나타내는 것이다. 이와 같은 성질을 가진 대표적인 예로 강유전체인 티탄산 지르코산연〔Pb(Ti, Zr)O3〕(PZT), 티탄산 바륨 (BaTiO3)이 있으며, 유전성 미세분말의 소결체에 강한 직류전압을 가하면 분극의 방향이 일정방향으로 일치하는 성질을 이용하여 1000℃ 이상의 고온에서 만들어지는 세라믹스이다.Since the
따라서, 폴링 전극(130)을 형성함으로써, 전류는 증가하고, 전압은 감소하지만, 전체적인 전력은 증가함으로써, 에너지 하베스팅 소자에 응용이 가능하도록 출력 특성을 향상시킬 수 있다.
Thus, by forming the
본 발명에 따른 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터(100)에 의하면, 복수개가 적층된 세라믹-폴리머 복합체에 일정간격 이격되도록 복수개의 폴링 전극을 패터닝 함으로써, 압전 특성 및 출력 특성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
According to the cantilever piezoelectric energy harvester 100 of the present invention, a plurality of poling electrodes are patterned so as to be spaced apart from each other by a predetermined distance in a laminated ceramic-polymer composite, thereby improving piezoelectric characteristics and output characteristics.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체 구조를 개략적으로 나타낸 것이다. 도 4는 도 2의 B를 나타낸 것이다.3 schematically shows a flexible piezoelectric composite structure according to another embodiment of the present invention. 4 shows B in Fig.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터(200)는 세라믹-폴리머 복합체(110), 전극(120) 및 폴링 전극(230)을 포함한다.3 and 4, a cantilever piezoelectric energy harvester 200 according to another embodiment of the present invention includes a ceramic-
도 3 및 도 4에 도시된 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터(200)의 경우, 다른 요소는 도 1 내지 도 2에 도시된 요소들과 동일하나, 폴링 전극(230)의 크기 및 형태가 상이하다.In the case of the cantilever
도 3 및 도 4에 도시된 폴링 전극(230)은 전극(120)과 동일한 크기 및 형태로 형성될 수 있다. 이와 같이, 폴링 전극(230)은 플레이트 형상으로 형성되며, 전극(120)과 동일한 크기 및 형태로 세라믹-폴리머 복합체(110)의 사이에 형성할 수 있다. 따라서, 폴링 전극(230)은 전도성 패스(path) 역할도 하기 때문에, 전류 특성 및 출력전력 특성을 극대화 시킬 수 있게 된다.
The
본 발명에 따른 플렉서블 압전 복합체(200)에 의하면, 압전 특성을 갖는 세라믹-폴리머 복합체층이 복수개가 적층된 세라믹-폴리머 복합체 사이에 폴링 전극을 위치 시킴으로써 압전 특성이 더욱 향상될 수 있다. 또한, 세라믹-폴리머 복합체의 변형 시 발생되는 전류는 증가하고, 전압은 다소 감소하지만, 전체적인 전력은 증가시킴으로써, 출력 특성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
According to the flexible
도 5는 본 발명에 따른 압전 에너지 하베스터를 나타낸 것이다.5 shows a piezoelectric energy harvester according to the present invention.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 압전 에너지 하베스터(300)는 지지부(310), 판형몸체(320) 및 플렉서블 압전 복합체(330)를 포함한다.5, a
압전 에너지 하베스터(300)는 바람, 진동 등의 외부의 힘에 의해 플렉서블 압전 복합체(330)의 변형 및 복원이 반복되면서 전기 에너지를 발생시킨다.The
지지부(310)는 일렬로 정렬된 복수개의 판형몸체(320)의 타측이 고정된다. 지지부(310)는 원통형, 직육면체 등의 형태로 형성될 수 있으나, 여기서 지지부(310)의 형태를 한정하는 것은 아니다.The supporting
판형몸체(320)는 플렉서블 압전 복합체(330)의 변형과 복원을 반복하기 위해서, 캔틸레버(cantilever) 형태로 고정되어, 탄성 운동한다. 이를 위하여, 판형몸체(220)는 일측은 지지부(310)에 고정되고, 타측은 탄성 운동에 의해 변형 및 복원을 반복할 수 있다.The plate-
플렉서블 압전 복합체(330)는 판형몸체(320)의 일면 또는 양면에 배치되며, 판형몸체(320)의 탄성 운동에 의해 변형 및 복원을 반복하면서 교류전원을 발생시킨다.The flexible piezoelectric
이때, 플렉서블 압전 복합체(330)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 세라믹-폴리머 복합체, 전극 및 폴링 전극으로 형성될 수 있다. 플렉서블 압전 복합체(330)에서 교류전원을 발생시키기 위하여, 세라믹-폴리머 복합체층은 PZT, 티탄산바륨(BaTiO3), 산화아연(ZnO), 질화갈륨(GaN) 및 질화알루미늄(AlN) 중 선택된 1종 이상의 압전 세라믹과 폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리이미드(Polyimide), P(VDF-TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-HFP), 실리콘(silicone), 고무(rubber) 및 에폭시(epoxy) 중 선택된 1종 이상의 폴리머로 형성될 수 있다. 이들 물질들은 단독으로 혹은 2종 이상 혼용될 수 있다.
At this time, the flexible piezoelectric composite 330 may be formed of a ceramic-polymer composite, an electrode, and a poling electrode as shown in FIGS. The ceramic-polymer composite layer may include at least one selected from the group consisting of PZT, barium titanate (BaTiO3), zinc oxide (ZnO), gallium nitride (GaN), and aluminum nitride (AlN) to generate AC power in the
본 발명에 따른 압전 에너지 하베스터(300)는 바람, 진동 등의 외부의 힘에 의해 흔들리게 되면서 플렉서블 압전 복합체에 진동 에너지가 가해지고, 이에 따라 변형 및 복원이 반복되면서 진동 에너지를 전기 에너지로 변환할 수 있는 장점이 있다.
The
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It is to be understood that the invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.
100, 200: 플렉서블 압전 복합체
110: 세라믹-폴리머 복합체층
120: 전극층
130, 230: 폴링 전극
300: 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터
310: 지지부
320: 판형몸체
330: 플렉서블 압전 복합체100, 200: Flexible piezoelectric composite
110: Ceramic-polymer composite layer
120: electrode layer
130, 230: poling electrode
300: cantilever type piezoelectric energy harvester
310: Support
320: plate body
330: Flexible piezoelectric composite
Claims (16)
상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및
상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하고,
상기 폴링 전극은 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에, 서로 이격된 복수개의 전극 형태로 패터닝되어 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
A ceramic-polymer composite having piezoelectric properties;
Electrodes formed on upper and lower portions of the ceramic-polymer composite; And
And a poling electrode formed inside the ceramic-polymer composite,
Wherein the poling electrodes are patterned in the form of a plurality of electrodes spaced apart from each other inside the ceramic-polymer composite.
상기 전극은
백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(Graphene), 루테늄(Ru), 탄탈륨 나이트라이드(TaN) 및 타이타늄 나이트라이드(TiN) 중 선택된 1종 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
The method according to claim 1,
The electrode
(Pt), gold (Au), silver, aluminum, tantalum, titanium, palladium, carbon nanotubes, graphene, ruthenium Ru), tantalum nitride (TaN), and titanium nitride (TiN).
상기 세라믹-폴리머 복합체는
PZT, 티탄산바륨(BaTiO3), 산화아연(ZnO), 질화갈륨(GaN) 및 질화알루미늄(AlN) 중 선택된 1종 이상의 압전 세라믹을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
The method according to claim 1,
The ceramic-polymer composite
Wherein the piezoelectric ceramic composition comprises at least one piezoelectric ceramic selected from the group consisting of PZT, barium titanate (BaTiO3), zinc oxide (ZnO), gallium nitride (GaN), and aluminum nitride (AlN).
상기 세라믹-폴리머 복합체는
폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리이미드(Polyimide), P(VDF-TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-HFP), 실리콘(silicone), 고무(rubber) 및 에폭시(epoxy) 중 선택된 1종 이상의 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
The method according to claim 1,
The ceramic-polymer composite
(PVDF), poly (dimethyl siloxane) (PDMS), polyimide, P (VDF-TrFE), P (VDF-TrFE-CFE) A rubber, and an epoxy. The flexible piezoelectric composite according to claim 1,
상기 세라믹-폴리머 복합체의 두께는
0.01 ~ 1000㎛인 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
The method according to claim 1,
The thickness of the ceramic-polymer composite is
0.01 to 1000 탆.
상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및
상기 복수개의 세라믹-폴리머 복합체의 사이에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
A ceramic-polymer composite having piezoelectric properties and having a plurality of layers stacked;
Electrodes formed on upper and lower portions of the ceramic-polymer composite; And
And a poling electrode formed between the plurality of ceramic-polymer composites.
상기 전극은
백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(Graphene), 루테늄(Ru), 탄탈륨 나이트라이드(TaN) 및 타이타늄 나이트라이드(TiN) 중 선택된 1종 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
The method according to claim 6,
The electrode
(Pt), gold (Au), silver, aluminum, tantalum, titanium, palladium, carbon nanotubes, graphene, ruthenium Ru), tantalum nitride (TaN), and titanium nitride (TiN).
상기 세라믹-폴리머 복합체는
PZT, 티탄산바륨(BaTiO3), 산화아연(ZnO), 질화갈륨(GaN) 및 질화알루미늄(AlN) 중 선택된 1종 이상의 압전 세라믹을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
The method according to claim 6,
The ceramic-polymer composite
Wherein the piezoelectric ceramic composition comprises at least one piezoelectric ceramic selected from the group consisting of PZT, barium titanate (BaTiO3), zinc oxide (ZnO), gallium nitride (GaN), and aluminum nitride (AlN).
상기 세라믹-폴리머 복합체는
폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리이미드(Polyimide), P(VDF-TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-HFP), 실리콘(silicone), 고무(rubber) 및 에폭시(epoxy) 중 선택된 1종 이상의 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
The method according to claim 6,
The ceramic-polymer composite
(PVDF), poly (dimethyl siloxane) (PDMS), polyimide, P (VDF-TrFE), P (VDF-TrFE-CFE) A rubber, and an epoxy. The flexible piezoelectric composite according to claim 1,
상기 세라믹-폴리머 복합체의 두께는
0.01 ~ 1000㎛인 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
The method according to claim 6,
The thickness of the ceramic-polymer composite is
0.01 to 1000 탆.
상기 지지부에 캔틸레버 형태로 타측이 고정되어, 탄성운동을 하는 판형몸체; 및
상기 판형몸체의 일면 또는 양면에 배치되어, 상기 판형몸체의 탄성운동에 의해 변형 및 복원을 반복하면서 교류전원을 발생시키는 플렉서블 압전 복합체;를 포함하고,
상기 플렉서블 압전 복합체는 세라믹-폴리머 복합체와, 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성된 폴링 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터.
A support;
A plate-shaped body fixed to the support portion in the form of a cantilever, the plate-shaped body being elastically moved; And
And a flexible piezoelectric composite disposed on one or both surfaces of the plate-like body and generating AC power while repeating deformation and restoration by elastic movement of the plate-like body,
Wherein the flexible piezoelectric composite includes a ceramic-polymer composite and a poling electrode formed inside the ceramic-polymer composite.
상기 플렉서블 압전 복합체는
압전 특성을 가지는 세라믹-폴리머 복합체;
상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및
상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하고,
상기 폴링 전극은 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에, 서로 이격된 복수개의 전극 형태로 패터닝되어 형성된 것을 특징으로 하는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터.
12. The method of claim 11,
The flexible piezoelectric composite
A ceramic-polymer composite having piezoelectric properties;
Electrodes formed on upper and lower portions of the ceramic-polymer composite; And
And a poling electrode formed inside the ceramic-polymer composite,
Wherein the poling electrode is formed in the ceramic-polymer composite by patterning the electrode in the form of a plurality of electrodes spaced apart from each other.
상기 플렉서블 압전 복합체는
압전 특성을 가지며, 복수개가 적층된 세라믹-폴리머 복합체;
상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및
상기 복수개의 세라믹-폴리머 복합체의 사이에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
12. The method of claim 11,
The flexible piezoelectric composite
A ceramic-polymer composite having piezoelectric properties and having a plurality of layers stacked;
Electrodes formed on upper and lower portions of the ceramic-polymer composite; And
And a poling electrode formed between the plurality of ceramic-polymer composites.
상기 세라믹-폴리머 복합체는
PZT, 티탄산바륨(BaTiO3), 산화아연(ZnO), 질화갈륨(GaN) 및 질화알루미늄(AlN) 중 선택된 1종 이상의 압전 세라믹을 포함하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터.
The method according to claim 12 or 13,
The ceramic-polymer composite
Wherein the piezoelectric ceramic includes at least one piezoelectric ceramic selected from the group consisting of PZT, barium titanate (BaTiO3), zinc oxide (ZnO), gallium nitride (GaN), and aluminum nitride (AlN).
상기 세라믹-폴리머 복합체는
폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리이미드(Polyimide), P(VDF-TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-HFP), 실리콘(silicone), 고무(rubber) 및 에폭시(epoxy) 중 선택된 1종 이상의 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터.
The method according to claim 12 or 13,
The ceramic-polymer composite
(PVDF), poly (dimethyl siloxane) (PDMS), polyimide, P (VDF-TrFE), P (VDF-TrFE-CFE) A rubber, and an epoxy. The cantilever piezoelectric energy harvester according to claim 1,
상기 세라믹-폴리머 복합체의 두께는
0.01 ~ 1000㎛인 것을 특징으로 하는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터.The method according to claim 12 or 13,
The thickness of the ceramic-polymer composite is
Wherein the cantilever-type piezoelectric energy harvester is 0.01 to 1000 mu m thick.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120152908A KR101417855B1 (en) | 2012-12-26 | 2012-12-26 | Cantilever type energy harverster |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120152908A KR101417855B1 (en) | 2012-12-26 | 2012-12-26 | Cantilever type energy harverster |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20140083315A true KR20140083315A (en) | 2014-07-04 |
| KR101417855B1 KR101417855B1 (en) | 2014-07-09 |
Family
ID=51733774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020120152908A KR101417855B1 (en) | 2012-12-26 | 2012-12-26 | Cantilever type energy harverster |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101417855B1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108336218A (en) * | 2018-01-29 | 2018-07-27 | 长安大学 | A kind of road piezo-electricity composite material and preparation method thereof |
| CN115295717A (en) * | 2022-01-24 | 2022-11-04 | 青岛大学 | Preparation method of 3D printing piezoelectric barium titanate composite material and piezoelectric device |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101647054B1 (en) * | 2014-09-24 | 2016-08-11 | 전남대학교산학협력단 | Polymer cantilever structure integrated with a Graphene/PDMS composite sensor for detecting contractile force of cardiomyocyte, and manufacturing of the same |
| KR102293796B1 (en) | 2014-12-03 | 2021-08-25 | 삼성전자주식회사 | Triboelectric generating device |
| KR101720166B1 (en) | 2015-03-31 | 2017-03-28 | 한국과학기술원 | Device and fabrication method of piezoelectric nanogenerators |
| KR101988729B1 (en) * | 2017-09-11 | 2019-06-13 | 전남대학교산학협력단 | Stretchable speaker |
| WO2019180586A1 (en) | 2018-03-20 | 2019-09-26 | Sabic Global Technologies B.V. | Flexible and low cost piezoelectric composites with high d33 values |
| KR102188942B1 (en) * | 2019-05-07 | 2020-12-09 | 한국화학연구원 | Paste composition and method for producing the same, and piezoelectric pressure sensor manufactured therefrom and method for producing the same |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008151638A (en) * | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Cable-like pressure sensor |
| JP2009014584A (en) | 2007-07-06 | 2009-01-22 | Epson Toyocom Corp | Vibration gyroscope |
| EP2330648A1 (en) * | 2009-12-04 | 2011-06-08 | Bayer MaterialScience AG | Piezoelectric polymer film element, in particular polymer film and method for production of same |
| JP2012043844A (en) * | 2010-08-13 | 2012-03-01 | Ngk Insulators Ltd | Piezoelectric/electrostrictive actuator |
-
2012
- 2012-12-26 KR KR1020120152908A patent/KR101417855B1/en active IP Right Grant
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108336218A (en) * | 2018-01-29 | 2018-07-27 | 长安大学 | A kind of road piezo-electricity composite material and preparation method thereof |
| CN108336218B (en) * | 2018-01-29 | 2021-12-07 | 长安大学 | Piezoelectric composite material for road and preparation method thereof |
| CN115295717A (en) * | 2022-01-24 | 2022-11-04 | 青岛大学 | Preparation method of 3D printing piezoelectric barium titanate composite material and piezoelectric device |
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|---|---|
| KR101417855B1 (en) | 2014-07-09 |
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| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
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|
| FPAY | Annual fee payment |
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|
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Payment date: 20190701 Year of fee payment: 6 |