KR20140070913A - Electrically Driven Carrier Transfer Apparatus - Google Patents

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KR20140070913A
KR20140070913A KR1020120137565A KR20120137565A KR20140070913A KR 20140070913 A KR20140070913 A KR 20140070913A KR 1020120137565 A KR1020120137565 A KR 1020120137565A KR 20120137565 A KR20120137565 A KR 20120137565A KR 20140070913 A KR20140070913 A KR 20140070913A
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Abstract

Disclosed is an electric cart for transferring a carrier. According to an embodiment of the present invention, the electric cart for transferring a carrier comprises: a main body of the electric cart for transferring a carrier, which is formed to be able to move; at least one carrier support guide unit which is joined to the main body of the electric cart for transferring a carrier and supports the carrier to enable relative movements of the carrier for insertion and extraction of the carrier; and a chucking unit which is installed on the main body of the electric cart for transferring a carrier, to prevent the carrier from escaping from the carrier support guide unit.

Description

전동식 캐리어 이송대차{Electrically Driven Carrier Transfer Apparatus}[0002] Electrically Driven Carrier Transfer Apparatus [0003]

본 발명은, 캐리어 이송대차에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 캐리어의 이송 및 인입과 인출을 전동식으로 손쉽고 효과적이며 정밀하게 할 수 있는 전동식 캐리어 이송대차에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a carrier transfer carriage, and more particularly, to an electric carrier transfer carriage capable of easily transferring, pulling in and pulling out a carrier electrically, efficiently, and precisely.

평판표시소자(FPD) 중에서 요즘에 각광받고 있는 OLED는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.Among flat panel display devices (FPDs), OLEDs, which have been popular in recent years, have been attracting attention as a promising display device of the next generation in that they have a simple structure and a high light efficiency, and realize a color image by self- .

이러한 OLED의 제조 공정은 크게 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정으로 나뉜다.The manufacturing process of the OLED is divided into a pattern forming process, an organic film deposition process, a sealing process, and a deposition process in which an organic thin film is deposited and a sealing process is performed.

이 중 유기박막 증착 공정은, 기판이 증착챔버 내에서 정지된 상태 또는 기판이 증착챔버 내를 이동하는 중에 이루어지는데, 기판의 처짐이 발생하는 경우 증착이 균일하게 이루어질 수 없다.Among them, the organic thin film deposition process is performed while the substrate is stopped in the deposition chamber or while the substrate is moving in the deposition chamber, and the deposition can not be made uniform when deflection of the substrate occurs.

특히, 기판이 대면적화되면서 처짐량이 심해지고 있어, 이를 보완하기 위해 기판을 이송시킬 때 캐리어가 사용되고 있다.In particular, as the substrate becomes larger, the amount of deflection becomes worse. To compensate for this, a carrier is used to transport the substrate.

종래에는 일정한 높이를 가진 프레임과 바퀴를 포함하는 간단한 캐리어 이송대차를 사용하여 캐리어를 이송하였는데, 이 경우 사람이 캐리어 이송대차를 직접 밀어서 원하는 위치까지 이동시켜야 하였고, 캐리어를 증착장치나 캐리어 카세트 등의 상대장비에 인입 및 인출시키기 위해서는 별도의 크레인이 필요하였다. Conventionally, a carrier is transported using a simple carrier transporting carriage including a frame and a wheel having a predetermined height. In this case, a person has to push the carrier transporting carriage directly to a desired position and the carrier has to be moved to a desired position Separate cranes were needed to pull in and out the other equipment.

그런데, 이러한 종래의 캐리어 이송대차를 사용하는 방식은 평판표시소자의 크기가 증가함에 따라 캐리어의 크기 및 중량도 증가하게 되어, 캐리어 이송이 매우 불편하고 작업 시간이 증가하며, 진공장비에 캐리어를 인입 및 인출시킬 때에 파티클(Particle)이 장비 내부로 유입되어 평판표시소자 생산에 있어 품질 저하의 원인이 되는 문제점이 있다.However, in the conventional method using the carrier transport bogie, as the size of the flat panel display device increases, the size and the weight of the carrier also increase, so that the carrier transport is very inconvenient and the operation time is increased. There is a problem that the particles are introduced into the inside of the equipment when they are taken out and cause deterioration in the quality of the flat panel display device.

대한민국 등록특허 제10-0683203호, 2007.02.15.Korean Patent No. 10-0683203, Feb. 15, 2007.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 캐리어의 이송 및 인입과 인출을 전동식으로 손쉽고 효과적이며 정밀하게 할 수 있어 고품질의 평판표시소자를 생산할 수 있는 전동식 캐리어 이송대차를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a motorized carrier conveyance truck capable of easily, effectively and precisely conveying, pulling in and out of a carrier.

본 발명의 일 측면에 따르면, 이동가능하게 마련되는 캐리어 이송대차 본체; 상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되며, 캐리어의 인입 및 인출을 위하여 상기 캐리어가 상대이동될 수 있도록 상기 캐리어를 지지하는 적어도 하나의 캐리어 지지가이드 유닛; 및 상기 캐리어 이송대차 본체에 마련되어 상기 캐리어를 상기 캐리어 지지가이드 유닛에서 이동하지 않도록 척킹하는 캐리어 척킹 유닛을 포함하는 전동식 캐리어 이송대차가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a carrier conveyance bogie body movably provided; At least one carrier support guide unit coupled to the carrier transport bogie body and supporting the carrier so that the carrier can be moved relative to the carrier for pulling in and out of the carrier; And a carrier chucking unit provided in the carrier transport bogie main body for chucking the carrier so as not to move in the carrier supporting guide unit.

상기 캐리어 척킹 유닛은, 캐리어 척킹 유닛 본체; 상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 대하여 상대이동 가능하게 상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 결합되는 캐리어 척킹암; 및 상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 배치되어 상기 캐리어 척킹암을 상기 캐리어 척킹 유닛 본체 쪽으로 탄성 바이어스시키는 탄성부재를 포함할 수 있다.Wherein the carrier chucking unit comprises: a carrier chucking unit main body; A carrier chucking arm coupled to the carrier chuck unit body so as to be movable relative to the carrier chuck unit body; And an elastic member disposed in the carrier chucking unit main body and elastically biasing the carrier chucking arm toward the carrier chucking unit main body.

상기 캐리어 척킹암은 상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 대해 상대회동 및 직선이동이 가능하게 상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 결합될 수 있다.The carrier chucking arm may be coupled to the carrier chucking unit body such that the carrier chucking arm can rotate relative to the carrier chucking unit body and linearly move.

상기 캐리어 척킹 유닛 본체는, 상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되는 캐리어 척킹 프레임; 및 상기 캐리어 척킹암이 상대이동 가능하게 결합되며, 상기 캐리어 척킹 프레임에 상대회동 가능하게 결합되는 캐리어 척킹 피벗부를 포함할 수 있다.The carrier chucking unit body includes: a carrier chucking frame coupled to the carrier transport bogie body; And a carrier chucking pivot portion that is relatively movably coupled to the carrier chucking arm and is pivotally coupled to the carrier chucking frame.

상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 각각 결합되며, 상기 캐리어의 인입 및 인출을 위하여 상기 캐리어 척킹 유닛 본체를 상기 캐리어 이송대차 본체에 대하여 상대이동시키는 캐리어 이송 유닛을 더 포함할 수 있다.And a carrier transporting unit coupled to the carrier transporting carriage body and the carrier chucking unit body, respectively, for moving the carrier chucking unit body relative to the carrier transporting carriage body for pulling in and out of the carrier.

상기 캐리어 이송 유닛은, 상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되는 고정프레임; 상기 고정프레임에 대해 상대이동 가능하게 결합되는 이동프레임; 상기 이동프레임에 대해 상대이동 가능하게 결합되며, 상기 캐리어 척킹 유닛 본체가 배치되는 이송 블록; 상기 이동프레임에 결합되어 상기 이동프레임을 이동시키는 이송 구동부; 및 상기 이동프레임과 상기 이송 블록에 각각 결합되며, 상기 이동프레임의 이동에 연동되어 상기 이송 블록을 이동시키는 연동 이송부를 포함할 수 있다.The carrier transport unit includes: a fixed frame coupled to the carrier transport bogie body; A moving frame relatively movably coupled to the fixed frame; A transport block which is movably coupled to the moving frame and in which the carrier chucking unit body is disposed; A transport driving unit coupled to the moving frame to move the moving frame; And an interlocking transferring part coupled to the moving frame and the transferring block, respectively, for moving the transferring block in conjunction with the movement of the moving frame.

상기 이송 구동부는, 상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되는 모터; 상기 모터의 회전축에 결합되는 피니언 기어; 및 상기 이동프레임의 일측에 결합되고 상기 피니언 기어와 기어 맞물림되는 랙 기어를 포함할 수 있다.The transport driving unit includes: a motor coupled to the carrier transport bogie body; A pinion gear coupled to a rotating shaft of the motor; And a rack gear coupled to one side of the moving frame and meshing with the pinion gear.

상기 연동 이송부는, 상기 이동프레임의 양단부에 각각 상대회전 가능하게 결합되는 제1 및 제2 풀리; 및 상기 제1 및 제2 풀리를 폐루프 형태로 연결하되 일측부와 타측부에서 상기 고정프레임 및 상기 이송 블록과 각각 결합되는 타이밍벨트를 포함할 수 있다.The first and second pulleys being coupled to both ends of the movable frame so as to be rotatable relative to each other; And a timing belt that connects the first and second pulleys in a closed loop manner and is coupled to the fixed frame and the transport block at one side and the other side, respectively.

상기 캐리어 이송 유닛은, 상기 고정프레임과 상기 이동프레임 사이 및 상기 이동프레임과 상기 이송 블록 사이에 각각 결합되는 LM 가이드를 더 포함할 수 있다.The carrier transport unit may further include an LM guide coupled between the fixed frame and the movable frame and between the movable frame and the transport block, respectively.

상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되며, 상기 캐리어 지지가이드 유닛과 상기 캐리어 척킹 유닛과 상기 캐리어 이송 유닛을 지지하는 테이블; 및 상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 테이블에 각각 결합되며, 상기 테이블을 상기 캐리어 이송대차 본체에 대하여 상하이동시키는 테이블 리프터를 더 포함할 수 있다.A table coupled to the carrier transport bogie body and supporting the carrier support guide unit, the carrier chucking unit and the carrier transport unit; And a table lifter coupled to the carrier transport bogie body and the table, respectively, for moving the table up and down with respect to the carrier bogie body.

상기 테이블 리프터는, 상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 테이블에 각각 결합되어 상기 테이블을 상기 캐리어 이송대차 본체에 대해 상하이동시키는 적어도 하나의 X-리프트; 상기 X-리프트와 결합되어 상기 X-리프트를 이동시키는 테이블 리프터 구동부; 및 상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 X-리프트에 각각 결합되어 상기 X-리프트의 이동을 가이드하는 적어도 하나의 테이블 리프터 가이드를 포함할 수 있다.Wherein the table lifter comprises: at least one X-lift coupled to the carrier bogie body and the table, respectively, to move the table up and down relative to the carrier bogie body; A table lifter driver coupled to the X-lift to move the X-lift; And at least one table lifter guide coupled to the carrier transport bogie body and the X-lift to guide movement of the X-lift, respectively.

상기 테이블 리프터 구동부는, 상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되는 서보모터; 및 상기 서보모터와 상기 X-리프트에 각각 결합되어 상기 서보모터의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼스크류를 포함할 수 있다.The table lifter drive unit includes: a servomotor coupled to the carrier transport bogie body; And a ball screw coupled to the servo motor and the X-lift, respectively, for converting rotational motion of the servo motor into rectilinear motion.

상기 테이블 리프터는, 상기 테이블의 승강 또는 하강 높이를 측정하는 적어도 하나의 위치선정 센서를 더 포함할 수 있다.The table lifter may further include at least one position determining sensor for measuring the height of the table.

상기 테이블 리프터는, 파티클 발생 방지를 위하여 상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 테이블에 각각 결합되는 벨로즈 타입의 커버를 더 포함할 수 있다.The table lifter may further include a bellows type cover coupled to the carrier transport bogie body and the table, respectively, for preventing the occurrence of particles.

상기 캐리어 지지가이드 유닛에 의해 지지되는 상기 캐리어가 수평을 유지할 수 있도록 상기 캐리어 지지가이드 유닛의 일측에 마련되는 적어도 하나의 수평조절장치를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include at least one level adjusting device provided at one side of the carrier supporting guide unit so that the carrier supported by the carrier supporting guide unit can maintain a horizontal position.

상기 캐리어 이송대차 본체의 일측에 마련되며, 해당 장비와 도킹 후 상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 해당 장비를 락킹시키는 대차 락킹 블록을 더 포함할 수 있다.And a docking lock block provided at one side of the carrier transporting truck main body and locking the carrier transporting truck main body and the corresponding equipment after docking with the equipment.

상기 캐리어 이송대차 본체의 일측에 마련되어 상기 해당 장비와 도킹되는 도킹 위치를 안내하는 도킹 가이드 블록을 더 포함할 수 있다.And a docking guide block provided at one side of the carrier transporting truck body and guiding a docking position to be docked with the corresponding equipment.

상기 캐리어 이송대차 본체의 일측에 마련되며, 상기 해당 장비와 도킹이 완료되면 상기 전동식 캐리어 이송대차가 정지하도록 신호를 보내는 도킹 감지 스위치를 더 포함할 수 있다.And a docking detection switch provided at one side of the carrier transport bogie main body and sending a signal to stop the electric carrier bogie when the docking with the corresponding equipment is completed.

상기 캐리어 이송대차 본체에 마련되며, 상기 전동식 캐리어 이송대차를 이동시키는 대차 구동부; 상기 대차 구동부와 결합되어 전원을 공급하는 충전식 전원공급부; 및 상기 캐리어 이송대차 본체에 마련되며, 상기 전동식 캐리어 이송대차의 주행을 정지시키는 제동장치를 더 포함할 수 있다.A bogie driving unit provided on the carrier bogie main body for moving the electric carrier bogie; A rechargeable power supply unit coupled to the bogie driving unit to supply power; And a braking device provided in the carrier transfer bogie main body for stopping the running of the electric carrier bogie.

상기 캐리어 이송대차 본체의 일측에 마련되며, 상기 전동식 캐리어 이송대차를 조종정보를 입력하는 터치 패널을 더 포함할 수 있다.And a touch panel provided at one side of the carrier transfer bogie main body for inputting control information of the electric carrier bogie.

본 발명의 실시예들은, 인력과 부대장비의 투입 없이 전동식으로 캐리어를 이송시킬 수 있는 전동식 이송대차를 제공함으로써 캐리어의 이송 및 인입과 인출을 손쉽고 효과적이며 정밀하게 할 수 있어 고품질의 평판표시소자를 생산할 수 있다.Embodiments of the present invention provide an electric transfer carriage capable of electrically transferring a carrier in an electrically powered manner without the input of manpower and auxiliary equipment, so that the carrier can be transferred, drawn in and out easily, effectively and precisely, Can be produced.

도 1은 캐리어의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전동식 캐리어 이동대차의 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 2의 전동식 캐리어 이동대차의 개략적인 정면도이다.
도 4는 도 2의 전동식 캐리어 이동대차에 캐리어를 적재한 상태의 개략적인 평면도이다.
도 5는 캐리어를 척킹한 캐리어 척킹 유닛을 도시한 대략적인 사시도이다.
도 6은 캐리어 척킹 유닛의 개략적인 사시도로서 캐리어 척킹과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 2의 캐리어 이송 유닛이 후퇴한 상태의 개략적인 측면도이다.
도 8은 도 2의 캐리어 이송 유닛이 전진한 상태의 개략적인 측면도이다.
도 9는 도 2의 캐리어 이송 유닛의 개략적인 후면도이다.1 is a schematic perspective view of a carrier.
Figure 2 is a schematic side view of an electric carrier moving carriage in accordance with an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a schematic front view of the electric carrier moving carriage of Figure 2;
Fig. 4 is a schematic plan view of a state in which a carrier is mounted on the electric carrier moving carriage of Fig. 2; Fig.
5 is a schematic perspective view showing a carrier chucking unit chucking the carrier.
6 is a schematic perspective view of the carrier chucking unit, illustrating the carrier chucking process.
7 is a schematic side view of the carrier transport unit of Fig. 2 in a retracted state.
Fig. 8 is a schematic side view of the carrier transport unit of Fig. 2 being advanced. Fig.
Figure 9 is a schematic rear view of the carrier transport unit of Figure 2;

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1은 캐리어의 개략적인 사시도이다. 이에 도시된 바와 같이, 캐리어(60)의 좌측 및 우측면에는 캐리어(60)의 이송을 위한 주행 롤러(62)가 마련된다. 본 실시예에서는 주행 롤러(62)를 이용하여 이송시 마찰계수를 낮추는 방법을 사용하였으나 이에 한정되지 않고 전자석을 이용한 자기부상식 방법을 사용할 수도 있다.1 is a schematic perspective view of a carrier. As shown in the figure, on the left and right sides of the carrier 60, a traveling roller 62 for transporting the carrier 60 is provided. In this embodiment, a method of lowering the friction coefficient during transportation by using the traveling roller 62 is used, but the present invention is not limited to this, and a magnetic inversion method using an electromagnet may be used.

캐리어(60)의 전후측면에는 캐리어(60)를 척킹시키기 위한 척킹홀(61)이 마련된다.A chucking hole 61 for chucking the carrier 60 is provided on the front and rear sides of the carrier 60.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전동식 캐리어 이동대차의 개략적인 측면도이고, 도 3은 도 2의 전동식 캐리어 이동대차의 개략적인 정면도이며, 도 4는 도 2의 전동식 캐리어 이동대차에 캐리어를 적재한 상태의 개략적인 평면도이고, 도 5는 캐리어를 척킹한 캐리어 척킹 유닛을 도시한 대략적인 사시도이며, 도 6은 캐리어 척킹 유닛의 개략적인 사시도로서 캐리어 척킹과정을 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 도 2의 캐리어 이송 유닛이 후퇴한 상태의 개략적인 측면도이며, 도 8은 도 2의 캐리어 이송 유닛이 전진한 상태의 개략적인 측면도이고, 도 9는 도 2의 캐리어 이송 유닛의 개략적인 후면도이다.FIG. 2 is a schematic side view of a motorized carrier moving carriage according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a schematic front view of the motorized carrier moving carriage of FIG. 2, FIG. 5 is a schematic perspective view showing a carrier chucking unit chucking the carrier, FIG. 6 is a schematic perspective view of the carrier chucking unit, illustrating the carrier chucking process, and FIG. 7 Fig. 8 is a schematic side view of the state in which the carrier transfer unit of Fig. 2 is advanced, and Fig. 9 is a schematic rear view of the carrier transfer unit of Fig. 2 to be.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 전동식 캐리어 이송대차(1)는, 이동가능하게 마련되는 캐리어 이송대차 본체(10)와, 캐리어(60)의 인입 및 인출을 위하여 캐리어(60)가 상대이동될 수 있도록 캐리어(60)를 지지하는 적어도 하나의 캐리어 지지가이드 유닛(50)과, 캐리어(60)를 캐리어 지지가이드 유닛(12)에서 이동하지 않도록 척킹하는 캐리어 척킹 유닛(20)과, 캐리어(60)의 인입 및 인출을 위하여 캐리어 척킹 유닛 본체(21)를 캐리어 이송대차 본체(10)에 대하여 상대이동시키는 캐리어 이송 유닛(20)과, 테이블(17)을 캐리어 이송대차 본체(10)에 대하여 상하이동시키는 테이블 리프터(40)를 포함한다.As shown in these figures, the electric carrier transport bogie 1 according to the embodiment of the present invention includes a carrier transport bogie main body 10 movably provided, At least one carrier supporting guide unit 50 for supporting the carrier 60 so that the carrier 60 can be moved relative to the carrier supporting unit 12 and a carrier chucking unit A carrier transporting unit 20 for relatively moving the carrier chucking unit main body 21 relative to the carrier transporting cart main body 10 for pulling in and out the carrier 60; And a table lifter (40) for moving the main body (10) up and down.

캐리어 이송대차 본체(10)는 전동식 캐리어 이송대차(1)를 이동시키는 대차 구동부(14)와, 대차 구동부(14)와 결합되어 전원을 공급하는 충전식 전원공급부(15)와, 전동식 캐리어 이송대차(1)의 주행을 정지시키는 제동장치(미도시)를 포함한다.The carrier transfer bogie main body 10 includes a bogie driving portion 14 for moving the electric carrier bogie 1, a rechargeable power supply portion 15 for supplying electric power in association with the bogie driving portion 14, 1) for stopping the running of the vehicle.

대차 구동부(14)는 전원공급부(15)와 결합되고 전원공급부(15)로부터 전원을 공급받아 캐리어 이송대차 본체(10)에 마련된 바퀴를 구동시켜 전동식 캐리어 이송대차(1)를 이동시킨다. 대차 구동부(14)는 모터와 기어박스 등을 포함하여 제작될 수 있다.The bogie driving unit 14 is coupled to the power supply unit 15 and receives power from the power supply unit 15 to drive a wheel provided on the carrier bogie body 10 to move the electric carrier bogie 1. The bogie driving unit 14 can be manufactured including a motor, a gear box, and the like.

제동장치(미도시)는 전동식 캐리어 이송대차(1)의 주행을 정지시킬 뿐만 아니라 주행이 정지되면 자동으로 잠금장치가 작동하여 캐리어 이송대차 본체(10)가 움직이지 않도록 할 수 있다. 이는 캐리어(60)의 인입 및 인출시 캐리어(60)의 위치를 정밀하게 조절하여야 하기 때문에 캐리어 이송대차 본체(10)를 고정시킬 필요가 있기 때문이다.The braking device (not shown) not only stops the running of the electric carrier braking carriage 1 but also automatically locks when the running is stopped to prevent the carrier braking carriage body 10 from moving. This is because it is necessary to precisely adjust the position of the carrier 60 when the carrier 60 is pulled in and pulled out, so that it is necessary to fix the carrier transfer bogie body 10.

또한, 캐리어 이송대차 본체(10)는 대차 락킹 블록(11)과, 도킹 가이드 블록(12)과, 도킹 감지 스위치(13)와, 터치 패널(16)을 더 포함한다.The carrier transport bogie body 10 further includes a carriage locking block 11, a docking guide block 12, a docking detection switch 13 and a touch panel 16.

대차 락킹 블록(11)은 캐리어 이송대차 본체(10)의 전면부 일측에 마련되며, 해당 장비(미도시)와 도킹 후 캐리어 이송대차 본체(10)와 해당 장비(미도시)를 락킹시키는 역할을 한다. 대차 락킹 블록(11)과 해당 장비(미도시)는 전자석을 이용하여 락킹이 가능하며, 이에 한정되지 않고 걸림구조 및 핀구조 등 다양한 방법으로 락킹이 가능하다. The carriage locking block 11 is provided at one side of the front portion of the carrier conveyance truck body 10 and serves to lock the equipment (not shown) and the carrier conveyance truck body 10 after docking and the corresponding equipment (not shown) do. The trolley locking block 11 and the corresponding equipment (not shown) can be locked using an electromagnet, and locking is possible by various methods such as a locking structure and a pin structure.

본 실시예에서는 대차 락킹 블록(11)이 캐리어 이송대차 본체(10)의 전면부 중앙영역에 하나가 마련되었지만 이에 한정되지 않고 전동식 캐리어 이송대차(1)의 크기와 무게를 고려하여 두 개 이상의 대차 락킹 블록(11)이 설치될 수 있으며 설치 위치도 다양하게 변경 가능하다.The present invention is not limited to this embodiment, but the present invention is not limited to this, and the size and weight of the electric carrier transfer bogie 1 may be considered as two or more bogies The locking block 11 can be installed and the installation position can be variously changed.

도킹 가이드 블록(12)은 캐리어 이송대차 본체(10)의 전면부 일측에 마련되며, 해당 장비(미도시)와 도킹되는 도킹 위치를 안내하는 역할을 한다. 도킹 가이드 블록(12)은 사다리꼴의 형태로 제작되며 해당 장비(미도시)에는 가이드 롤러(미도시)가 마련되며, 전동식 캐리어 이송대차(1)와 해당 장비(미도시)의 도킹시 가이드 롤러(미도시)에 의해 정확한 도킹위치로 안내된다. 캐리어(60)의 인입 및 인출시 캐리어(60)의 위치를 정밀하게 조절하여야 하기 때문에 도킹 가이드 블록(15)에 의해 캐리어 이송대차 본체(10)를 정확한 위치에 도킹시킬 수 있다. The docking guide block 12 is provided at one side of the front portion of the carrier transport bogie body 10 and guides the docking position to be docked with the corresponding equipment (not shown). The docking guide block 12 is formed in a trapezoidal shape and a guide roller (not shown) is provided on the corresponding equipment (not shown). When the electric carrier transporting carriage 1 and the corresponding equipment (not shown) (Not shown) to the correct docking position. Since the position of the carrier 60 is precisely adjusted when the carrier 60 is pulled in and pulled out, the carrier transport bogie body 10 can be docked to the correct position by the docking guide block 15.

본 실시예에서는 도킹 가이드 블록(12)이 캐리어 이송대차 본체(10)의 전면부에 두 개가 마련되었지만 이에 한정되지 않고 전동식 캐리어 이송대차(1)의 크기와 무게를 고려하여 세 개 이상의 도킹 가이드 블록(12)이 설치될 수 있으며 설치 위치도 다양하게 변경 가능하다.In this embodiment, two docking guide blocks 12 are provided on the front portion of the carrier transport bogie body 10, but the present invention is not limited thereto. In view of the size and weight of the electric carrier bogie 1, (12) can be installed, and the installation position can be variously changed.

도킹 감지 스위치(13)는 캐리어 이송대차 본체(10)의 전면부 일측에 마련되며, 해당 장비(미도시)와 도킹이 완료되면 전동식 캐리어 이송대차(1)가 정지하도록 신호를 보내는 역할을 한다. 전동식 캐리어 이송대차(1)와 해당 장비(미도시)의 도킹시 전동식 캐리어 이송대차(1)가 정확한 위치에 정지하지 못하고 계속 전진하면 해당 장비(미도시) 및 전동식 캐리어 이송대차(1)가 파손될 우려가 있기 때문에 도킹 감지 스위치(13)가 작동됨으로써 이를 방지할 수 있다.The docking detection switch 13 is provided at one side of the front portion of the carrier transport bogie body 10 and serves to send a signal to stop the electric carrier bogie 1 when the docking is completed with the equipment (not shown). When the electric carrier braking carriage 1 and the corresponding equipment (not shown) are docked, the electric carrier braking carriage 1 is not stopped at the correct position and continues to advance, the corresponding equipment (not shown) and the electric carrier braking carriage 1 are broken There is a possibility that the docking detection switch 13 is operated.

터치 패널(16)은 캐리어 이송대차 본체(10)의 일측에 마련되며, 전동식 캐리어 이송대차(1)의 조종정보를 입력하는 역할을 한다. 터치 패널(16)을 통해 작동상태를 확인하고 명령을 입력함으로써 전동식 캐리어 이송대차(1)의 기능을 손쉽고 정밀하게 조작할 수 있다.The touch panel 16 is provided at one side of the carrier conveyance truck body 10 and serves to input control information of the electric carrier conveyance truck 1. [ It is possible to easily and precisely operate the functions of the electric carrier bogie 1 by confirming the operation state and inputting a command through the touch panel 16. [

또한, 캐리어 이송대차 본체(10)에는 테이블(17)이 마련되며, 테이블(17)은 후술하게 될 캐리어 지지가이드 유닛(50)과 캐리어 척킹 유닛(20) 및 캐리어 이송 유닛(30)을 지지하는 역할을 한다. The table 17 is provided on the carrier transport bogie body 10 and the table 17 supports the carrier support unit 50 and the carrier chucking unit 20 and the carrier transport unit 30, It plays a role.

한편, 캐리어 지지가이드 유닛(50)은 테이블(17)의 좌우 양단부에 캐리어 이송대차 본체(10)의 전후 방향으로 길게 마련된다. 캐리어 지지가이드 유닛(50)은 한 쌍으로 마련되며 상부에 단차를 가지게 형성됨으로써, 캐리어(60)의 주행 롤러(62)를 하부에서 지지함과 동시에 캐리어(60)가 캐리어 지지가이드 유닛(50)에서 이탈하는 것을 방지할 수 있다.On the other hand, the carrier supporting guide unit 50 is provided at both left and right ends of the table 17 in the longitudinal direction of the carrier conveyance truck body 10. The carrier supporting guide unit 50 is provided in a pair and has a stepped portion at an upper portion so that the driving roller 62 of the carrier 60 is supported from the lower side and the carrier 60 is supported by the carrier supporting guide unit 50, Can be prevented.

캐리어 지지가이드 유닛(50)에는 다수의 통과공이 마련되고 통과공에는 적어도 하나의 수평조절장치(51)가 마련된다. 수평조절장치(51)는 캐리어 지지가이드 유닛(50)에 의해 지지되는 캐리어(60)가 수평을 유지할 수 있도록 캐리어 지지가이드 유닛(50)의 기울기를 조절하는 역할을 한다.The carrier supporting guide unit 50 is provided with a plurality of through holes and at least one horizontal adjusting device 51 is provided in the through hole. The horizontal adjustment device 51 serves to adjust the inclination of the carrier supporting guide unit 50 so that the carrier 60 supported by the carrier supporting guide unit 50 can maintain the horizontal position.

수평조절장치(51)는 볼트와 너트를 포함하며, 테이블(17)과 캐리어 지지가이드 유닛(50)의 결합 거리를 조절함으로써 캐리어 지지가이드 유닛(50)의 기울기를 조절하여 캐리어(60)의 수평을 유지시킬 수 있다.The horizontal adjustment device 51 includes a bolt and a nut and adjusts the inclination of the carrier supporting guide unit 50 by adjusting a coupling distance between the table 17 and the carrier supporting guide unit 50, Can be maintained.

한편, 캐리어 척킹 유닛(20)은, 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 캐리어(60)의 측면부에 형성된 척킹홀(61)을 통해 캐리어(60)의 측벽을 척킹한다. 캐리어(60)의 측벽을 척킹함으로써 캐리어(60)를 이송하는 동안 캐리어(60)가 캐리어 지지가이드 유닛(50)에서 이동하지 않도록 고정시키는 역할을 하고, 또한 캐리어(60)를 척킹한 상태로 해당 장비(미도시)에 인입 및 인출시키는 역할을 한다.On the other hand, the carrier chucking unit 20 chucks the side wall of the carrier 60 through the chucking hole 61 formed in the side portion of the carrier 60, as shown in detail in Fig. The side wall of the carrier 60 is chucked so as to fix the carrier 60 so that it does not move in the carrier supporting guide unit 50 while the carrier 60 is being transported, (Not shown).

이러한 캐리어 척킹 유닛(20)은, 캐리어 척킹 유닛 본체(21)와, 캐리어 척킹암(25)과, 탄성부재(24)를 포함한다.The carrier chucking unit 20 includes a carrier chucking unit main body 21, a carrier chucking arm 25, and an elastic member 24.

캐리어 척킹 유닛 본체(21)는, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 캐리어 이송대차 본체(10)에 결합되는 캐리어 척킹 프레임(22)과, 캐리어 척킹암(25)이 상대이동 가능하게 결합되며 캐리어 척킹 프레임(22)에 상대회동 가능하게 결합되는 캐리어 척킹 피벗부(23)를 포함한다.6, the carrier chucking unit main body 21 includes a carrier chucking frame 22 coupled to the carrier transport bogie main body 10, a carrier chucking arm 25 that is relatively movably coupled, And a carrier chucking pivot portion 23 that is pivotally coupled to the chucking frame 22 in a relative pivotal manner.

전동식 캐리어 이송대차(1)가 캐리어 평탄도 측정기(미도시)와 도킹할 때에는 캐리어 척킹장치(20)에 의해 높이 간섭이 발생할 수 있기 때문에 이를 방지하기 위해 캐리어 척킹암(25)의 높이를 낮춰 높이 간섭을 방지할 필요가 있다. When the electric carrier transporting carriage 1 is docked with the carrier flatness meter (not shown), height interference may occur due to the carrier chucking device 20. To prevent this, the height of the carrier chucking arm 25 is lowered It is necessary to prevent interference.

이는 캐리어 척킹 피벗부(23)가 캐리어 척킹 프레임(22)에 상대회동 가능하게 결합됨으로써 해결할 수 있다. 즉, 캐리어 척킹장치(20)가 캐리어(60)를 척킹할 때에는, 도 5 및 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 캐리어 척킹 피벗부(23)와 캐리어 척킹 프레임(22)이 직각을 이루어 캐리어 척킹 유닛 본체(21)가 "ㄷ"자 모양을 유지하며 캐리어 척킹암(25)이 캐리어(60)와 높이를 맞춘다.This can be solved by the carrier chucking pivot portion 23 being pivotally coupled to the carrier chucking frame 22. 5 and 6, when the carrier chucking device 20 chucks the carrier 60, the carrier chucking pivot portion 23 and the carrier chucking frame 22 are arranged at right angles to the carrier chucking portion 22, The unit main body 21 maintains a "C" shape and the carrier chucking arm 25 is aligned with the carrier 60.

그러나 전동식 캐리어 이송대차(1)가 캐리어 평탄도 측정기(미도시)와 도킹할 때에는, 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 캐리어 척킹 피벗부(23)와 캐리어 척킹 프레임(22)이 직선을 이루어 캐리어 척킹 유닛 본체(21)가 "ㅡ"자 모양을 유지하며 캐리어 척킹암(25)의 높이를 낮춤으로써 높이 간섭을 방지할 수 있다. 3, the carrier chucking pivot portion 23 and the carrier chucking frame 22 are linearly connected to each other by a carrier (not shown) The height of the carrier chucking arm 25 can be lowered while maintaining the chucking unit main body 21 in an "a" -shaped shape, thereby preventing height interference.

캐리어 척킹암(25)은 캐리어 척킹 피벗부(23)에 결합되며, 캐리어 척킹 피벗부(23)에 대하여 상대이동 가능하게 결합된다. 도면에 도시된 바와 같이, 캐리어 척킹 피벗부(23)에는 관통공이 형성되고, 캐리어 척킹암(25)이 관통공을 관통하여 배치되므로 캐리어 척킹암(25)은 캐리어 척킹 유닛 본체(21)에 대해 상대회동 및 직선이동이 가능하다.The carrier chucking arm 25 is coupled to the carrier chucking pivot portion 23 and is movably coupled to the carrier chucking pivot portion 23. As shown in the figure, the carrier chucking pivot portion 23 is provided with a through-hole, and the carrier chucking arm 25 is disposed so as to pass through the through-hole, so that the carrier chucking arm 25 is supported by the carrier chucking unit body 21 Relative rotation and linear movement are possible.

캐리어 척킹암(25)의 일측에는 척킹부(26)가 마련되고 척킹부(26)에는 돌출부(27)가 마련되어, 캐리어(60)와 척킹되며 캐리어(60)를 인입 및 인출시킬 수 있다. 캐리어 척킹암(25)의 타측에는 척킹 조작부(28)가 마련되어 수동으로 캐리어(60)를 척킹할 수 있다. 캐리어(60)를 척킹한 이후에는 자동으로 캐리어(60)를 이송과 인입 및 인출시킬 수 있으나 캐리어(60)를 척킹하는 작업은 정확도를 요구하므로 오작동을 방지하기 위해 수동으로 조작한다.A chucking portion 26 is provided on one side of the carrier chucking arm 25 and a protruding portion 27 is provided on the chucking portion 26 to be chucked with the carrier 60 to pull in and out the carrier 60. On the other side of the carrier chucking arm 25, a chucking operation portion 28 is provided, and the carrier 60 can be manually chucked. After the carrier 60 is chucked, the carrier 60 can be automatically transferred, pulled in, and pulled out. However, since the operation of chucking the carrier 60 requires accuracy, it is manually operated to prevent malfunction.

탄성부재(24)는 캐리어 척킹 피벗부(23)에 형성된 관통공에 배치되어 캐리어 척킹암(25)을 캐리어 캐리어 척킹 피벗부(23)쪽으로 탄성 바이어스시킬 수 있다. 이때 탄성 바이어스시키는 방향은 캐리어 척킹암(25)과 결합된 척킹 조작부(28)가 캐리어 척킹 피벗부(23)에 탄성 바이어스되는 방향이다.The elastic member 24 may be disposed in a through hole formed in the carrier chucking pivot portion 23 to elastically bias the carrier chucking arm 25 toward the carrier carrier chucking pivot portion 23. At this time, the direction in which the elastic bias is applied is the direction in which the chucking operation portion 28 coupled with the carrier chucking arm 25 is elastically biased to the carrier chucking pivot portion 23.

이하에서는, 도 5 및 도 6을 참조하여 캐리어 척킹 유닛(20)이 캐리어(60)를 척킹하는 과정을 설명한다.Hereinafter, a process in which the carrier chucking unit 20 chucks the carrier 60 will be described with reference to Figs. 5 and 6. Fig.

도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 척킹 해제상태(A)는 돌출부(27)가 회전하여 척킹부(26)와 동일한 높이에 위치하므로 캐리어(60)를 척킹할 수 없지만 캐리어(60)의 측면부에 형성된 척킹홀(61)을 통과할 수 있고, 척킹 상태(B)는 돌출부(27)가 회전하여 척킹부(26)보다 낮은 높이에 위치하므로 캐리어(60)를 척킹할 수 있다.6, the chucking state A can not be chucked by the carrier 60 because the protruding portion 27 is rotated and positioned at the same height as the chucking portion 26, And the chucking state B can chuck the carrier 60 because the protruding portion 27 is rotated and positioned at a lower height than the chucking portion 26. [

척킹 해제상태(A)와 척킹 상태(B) 사이의 전환은 척킹 조작부(28)를 통해 조작할 수 있으며, 척킹 조작부(28)에는 손잡이가 마련되어 쉽게 조작이 가능하다.The switching between the chucking state A and the chucking state B can be operated through the chucking operation unit 28 and the chucking operation unit 28 can be easily operated by providing a handle.

먼저 척킹 상태(B)에서, 척킹 조작부(28)에는 캐리어 척킹 피벗부(23)와 접촉하는 부분에 고정핀이 마련되고 캐리어 척킹 피벗부(23)에는 고정핀에 대응하는 고정홀이 형성되어 고정핀과 고정홀의 결합에 의해 캐리어 척킹암(25)의 회전을 방지한다. 이때 탄성부재(24)에 의해 척킹 조작부(28)는 캐리어 척킹 피벗부(23) 쪽으로 탄성 바이어스되므로 고정핀과 고정홀의 결합은 쉽게 풀어지지 않는다.First, in the chucking state B, the chucking operation portion 28 is provided with a fixing pin at a portion contacting the carrier chucking pivot portion 23 and a fixing hole corresponding to the fixing pin is formed at the carrier chucking pivot portion 23, The rotation of the carrier chucking arm 25 is prevented by the engagement of the pin and the fixing hole. At this time, since the chucking operation portion 28 is elastically biased toward the carrier chucking pivot portion 23 by the elastic member 24, the engagement of the fixing pin and the fixing hole is not easily released.

척킹 조작부(28)를 캐리어 척킹 피벗부(23)에서 멀어지는 방향으로 잡아당기면 고정핀과 고정홀의 결합이 풀리게 되어 캐리어 척킹암(25)의 회전이 가능하고 척킹 조작부(28)를 충분히 당긴 후 캐리어 척킹암(25)을 회전시켜 척킹 해제 고정부(29)에 형성된 고정홀에 척킹 조작부(28)의 고정핀을 결합시키면 척킹 해제상태(A)가 된다. 이때도 마찬가지로 탄성부재(24)에 의해 척킹 조작부(28)는 척킹 해제 고정부(29) 쪽으로 탄성 바이어스되므로 고정핀과 고정홀의 결합은 쉽게 풀어지지 않는다.When the chucking operation portion 28 is pulled in a direction away from the carrier chucking pivot portion 23, the engagement of the fixing pin and the fixing hole is released, the rotation of the carrier chucking arm 25 is enabled and the chucking operation portion 28 is fully pulled. When the fixing pin of the chucking operating portion 28 is engaged with the fixing hole formed in the chucking releasing portion 29 by rotating the king arm 25, the chucking releasing state A is obtained. The chucking operation portion 28 is elastically biased toward the chucking releasing portion 29 by the elastic member 24 so that the engagement between the fixing pin and the fixing hole is not easily released.

탄성부재(24)의 탄성력은 캐리어 척킹 피벗부(23)에 탄성 바이어스된 척킹 조작부(28)를 수동으로 탄성 바이어스를 풀 수 있을 정도보다는 작고 캐리어(60)의 인입 및 인출시에 자동으로 탄성 바이어스가 풀릴 정도보다는 크게 설정되어야 하는데, 캐리어(60)의 중량이 크더라도 가이드 롤러(62)에 의해 마찰계수 작아지기 때문에 자동으로 탄성 바이어스가 풀리지 않을 정도의 탄성력으로 설정할 수 있다.The elastic force of the elastic member 24 is smaller than the elastic biasing force of the chucking operation portion 28 elastically biased to the carrier chucking pivot portion 23 so that the elastic biasing force is automatically reduced Since the friction coefficient is reduced by the guide roller 62 even if the weight of the carrier 60 is large, the elastic force can be set to such an extent that the elastic bias can not be automatically released automatically.

한편, 캐리어 이송 유닛(30)은 테이블(17)과 캐리어 척킹 프레임(22)에 각각 결합되며, 캐리어 척킹 유닛(20)을 캐리어 이송대차 본체(10)에 대하여 상대이동시킴으로써 캐리어 척킹 유닛(20)에 척킹된 캐리어(60)를 인입 및 인출시키는 역할을 한다.On the other hand, the carrier transfer unit 30 is coupled to the table 17 and the carrier chucking frame 22, respectively, and the carrier chucking unit 20 is moved relative to the carrier transfer bogie body 10, And pulls out the carrier 60 that has been chucked.

이러한 캐리어 이송 유닛(30)은, 도 7 내지 도 9에 자세히 도시된 바와 같이, 고정프레임(31)과, 이동프레임(32)과, 이송블록(33)과, 이송 구동부(34)와, 연동 이송부(35)를 포함한다.7 to 9, the carrier transporting unit 30 includes a fixed frame 31, a moving frame 32, a transport block 33, a transport driving unit 34, And a transfer unit 35.

고정프레임(31)은 캐리어 이송대차 본체(10)에 마련된 테이블(17)에 결합되고, 이동프레임(32)은 고정프레임(31)에 대해 상대이동 가능하게 결합되며, 이송 블록(33)은 이동프레임(32)에 대해 상대이동 가능하게 결합된다.The fixed frame 31 is coupled to a table 17 provided in the carrier transport bogie body 10 and the movable frame 32 is coupled to the fixed frame 31 in a relative moveable manner, Is relatively movably coupled to the frame (32).

고정 프레임(31)은 테이블(17)에 결합되어 고정된 상태로 움직이지 않고, 이동프레임(32)은 이송 구동부(34)와 결합되어 이송 구동부(34)가 작동함에 따라 직접 이동하며, 이송 블록(33)은 이동프레임(32)이 이동함에 따라 작동되는 연동 이송부(35)에 의해 간접적으로 이송된다.The fixed frame 31 is coupled to the table 17 and does not move in a fixed state and the movable frame 32 is coupled with the feed drive unit 34 to move directly as the feed drive unit 34 operates, (33) is indirectly conveyed by the interlock conveying part (35) which is operated as the movable frame (32) moves.

이송 블록(33)은 캐리어 척킹 프레임(22)과 결합되고, 이송 블록(33)이 이동함으로써 캐리어 척킹 유닛(20)이 이동하여 캐리어(60)를 인입 및 인출시킬 수 있다.The transport block 33 is engaged with the carrier chucking frame 22 and the transport block 33 is moved so that the carrier chucking unit 20 can move and pull the carrier 60 in and out.

이송 구동부(34)는 이동프레임(32)에 결합되어 이동프레임(32)을 이동시키는 역할을 하며, 연동 이송부(35)는 이동프레임(32)과 이송 블록(33)에 각각 결합되어 이동프레임(32)의 이동에 연동되어 이송 블록(33)을 이동시키는 역할을 한다.The transfer driving unit 34 is coupled to the moving frame 32 to move the moving frame 32. The interlocking transfer unit 35 is coupled to the moving frame 32 and the transfer block 33, 32 to move the conveying block 33 in cooperation with the movement of the conveying block 33.

이송 구동부(34)는, 캐리어 이송대차 본체(10)에 결합되는 모터(39)와 모터의 회전축에 결합되는 피니언 기어(34a)와 이동프레임(32)의 일측에 결합되고 피니언 기어(34a)와 기어 맞물림되는 랙 기어(34b)를 포함한다. 모터(39)가 회전하여 피니언 기어(34a)가 회전하고, 피니언 기어(34a)와 기어 맞물림되는 랙 기어(34b)가 이동하면서 랙 기어(34b)와 결합된 이동프레임(32)이 함께 이동한다.The conveyance drive unit 34 includes a motor 39 coupled to the carrier conveyance truck body 10 and a pinion gear 34a coupled to the rotation shaft of the motor. The conveyance drive unit 34 includes a pinion gear 34a And a rack gear 34b to which the gear is meshed. The motor 39 rotates to rotate the pinion gear 34a and the rack gear 34b to be engaged with the pinion gear 34a moves and the moving frame 32 coupled with the rack gear 34b moves together .

연동 이송부(35)는, 이동프레임(32)의 양단부에 각각 상대회전 가능하게 결합되는 제1 및 제2 풀리(36)와, 제1 및 제2 풀리(36)를 폐루프 형태로 연결하는 타이밍벨트(37)를 포함한다. The interlocking transfer unit 35 includes first and second pulleys 36 that are rotatably coupled to both ends of the moving frame 32 so as to be rotatable relative to each other, And a belt 37.

타이밍 벨트(37)는 C위치에서 고정프레임(31)과 결합되고, D위치에서 이송 블록(33)과 결합된다.The timing belt 37 is engaged with the stationary frame 31 at the C position and with the transport block 33 at the D position.

또한 캐리어 이송 유닛(30)은 적어도 하나의 LM 가이드(38)를 더 포함한다.Further, the carrier transfer unit 30 further includes at least one LM guide 38.

LM 가이드(38)는, 도 9에 자세히 도시된 바와 같이, 고정프레임(31)과 이동프레임(32) 사이와 이동프레임(32)과 이송 블록(33) 사이에도 마련되어, 고정프레임(31)과 이동프레임(32) 사이의 상대운동과 이동프레임(32)과 이송 블록(33) 사이의 상대운동을 가이드한다. The LM guide 38 is provided between the fixed frame 31 and the movable frame 32 and between the movable frame 32 and the movable block 33 as shown in FIG. Relative movement between the moving frame 32 and the relative movement between the moving frame 32 and the transport block 33 is guided.

이하에서는, 도 7 및 도 8을 참조하여 캐리어 이송 유닛(30)의 작동과정을 설명한다.Hereinafter, the operation of the carrier transport unit 30 will be described with reference to Figs. 7 and 8. Fig.

타이밍 벨트(37)와 고정프레임(31)이 C위치에서 결합되어 고정된 상태이고 타이밍 벨트(37)와 이송 블록(33)이 D위치에서 결합되어 고정된 상태이기 때문에, 이동프레임(32)이 전진할 때에는 제 1 및 제 2 풀리가 시계방향으로 회전하면서 타이밍 벨트(37)가 이동프레임(32)에 대하여 상대 회전하게 되고, C위치가 이동프레임(32)에 대하여 상대적으로 후퇴하며 D위치가 이동프레임(32)에 대하여 상대적으로 전진한다.Since the timing belt 37 and the fixed frame 31 are coupled and fixed at the position C and the timing belt 37 and the conveying block 33 are coupled and fixed at the position D, When advancing, the first and second pulleys rotate clockwise to cause the timing belt 37 to rotate relative to the moving frame 32, the position C is relatively retracted relative to the moving frame 32, and the position D And advances relative to the moving frame 32.

반대로 이동프레임(32)이 후퇴할 때에는 제 1 및 제 2 풀리가 반시계방향으로 회전하면서 타이밍 벨트(37)가 이동프레임(32)에 대하여 상대 회전하게 되고, C위치가 이동프레임(32)에 대하여 상대적으로 전진하며 D위치가 이동프레임(32)에 대하여 상대적으로 후퇴한다.On the contrary, when the movable frame 32 is retracted, the first and second pulleys rotate counterclockwise, the timing belt 37 rotates relative to the moving frame 32, and the C position moves to the moving frame 32 So that the D position is relatively retracted relative to the moving frame 32

따라서, 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 이송 구동부(34)가 이동프레임(32)를 후퇴시키면 캐리어 척킹 유닛(20)이 최후방에 위치하므로 캐리어 척킹 유닛(20)에 척킹된 캐리어(60)는 해당 장비(미도시)에서 인출되어 캐리어 지지가이드 유닛(50)에 위치하게 되고, 도 8에 도시된 바와 같이, 이송 구동부(34)가 이동프레임(32)를 전진시키면 캐리어 척킹 유닛(20)이 최전방에 위치하므로 캐리어 척킹 유닛(20)에 척킹된 캐리어(60)는 캐리어 지지가이드 유닛(50)에서 이탈하여 해당 장비(미도시)에서 인입된다.7, the carrier chucking unit 20 is positioned at the rear end, so that the carrier chucked in the carrier chucking unit 20 can be prevented from moving in the direction of the carrier 60, The carrier chucking unit 20 is pulled out from the corresponding equipment (not shown) and placed in the carrier supporting guide unit 50. When the conveying driving unit 34 advances the moving frame 32 as shown in Fig. 8, The carrier chucked by the carrier chucking unit 20 is detached from the carrier supporting guide unit 50 and is drawn in from the corresponding equipment (not shown).

한편, 도 2에 자세히 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 전동식 캐리어 이송대차(1)에는 테이블(17)과 테이블 리프터(40)가 마련되는데, 테이블(17)은 앞에서 설명한 캐리어 지지가이드 유닛(50)과 캐리어 척킹 유닛(20) 및 캐리어 이송 유닛(30)을 지지하는 역할을 한다. 2, a table 17 and a table lifter 40 are provided on the electric carrier bogie 1 according to an embodiment of the present invention. The table 17 is supported by the above- And serves to support the guide unit 50, the carrier chucking unit 20, and the carrier transfer unit 30.

테이블 리프터(40)는 캐리어 이송대차 본체(10)와 테이블(17)에 각각 결합되며 테이블(17)을 캐리어 이송대차 본체(10)에 대하여 상하이동시키는 역할을 한다.The table lifter 40 is coupled to the carrier transport bogie body 10 and the table 17 and serves to move the table 17 up and down with respect to the carrier bogie body 10.

테이블 리프터(40)는, X-리프트(41)와, 테이블 리프터 구동부(42)와, 테이블 리프터 가이드(45)와, 위치선정 센서(미도시)와, 커버(46)를 포함한다.The table lifter 40 includes an X-lift 41, a table lifter drive section 42, a table lifter guide 45, a positioning sensor (not shown), and a cover 46.

X-리프트(41)는 테이블(17)의 좌우 양단부에서 캐리어 이송대차 본체(10)와 결합되어 테이블(17)을 지지하면서 테이블(17)이 캐리어 이송대차 본체(10)에 대해 상하이동하게 한다. The X-lift 41 is engaged with the carrier conveyance carriage body 10 at the right and left ends of the table 17 to support the table 17 and cause the table 17 to move up and down with respect to the carrier conveyance carriage body 10 .

리프터 구동부(42)는 X-리프트(41)를 작동시켜 테이블(17)을 스강 또는 하강 시키는 역할을하며, 본 실시예에서 캐리어 이송대차 본체(10)에 결합되는 서보모터(43)와, 서보모터(43)와 X-리프트(41)에 각각 결합되어 서보모터(43)의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼스크류(44)를 포함한다. 다만 이에 한정되지 않고, 피니언 기어와 랙기어의 조합에 의해서도 X-리프트(41)를 이동시킬 수 있다.The lifter drive unit 42 functions to swing or lower the table 17 by operating the X-lift 41. The lifter drive unit 42 includes a servo motor 43 coupled to the carrier transfer bogie body 10 in this embodiment, And a ball screw 44 coupled to the motor 43 and the X-lift 41 to convert the rotational motion of the servo motor 43 into linear motion. However, the present invention is not limited to this, and the X-lift 41 can be moved by the combination of the pinion gear and the rack gear.

테이블 리프터 가이드(45)는 X-리프트(41)와 캐리어 이송대차 본체(10) 사이 및 X-리프트(41)와 테이블(17) 사이에 마련되어 X-리프트(41)가 이동하는 방향을 안내한다.The table lifter guide 45 is provided between the X-lift 41 and the carrier conveyance truck body 10 and between the X-lift 41 and the table 17 to guide the direction in which the X-lift 41 moves .

본 실시예에서는 각각 2개의 X-리프트(41)와 테이블 리프터 가이드(45)가 마련되었으나, 캐리어(60)의 크기와 무게를 고려하여 각각 3개 이상의 X-리프트(41)와 테이블 리프터 가이드(45)가 마련될 수 있다.Two X-lifts 41 and a table lifter guide 45 are provided in the present embodiment, but three or more X-lifts 41 and table lifter guides 45 are provided in consideration of the size and weight of the carriers 60, 45 may be provided.

위치선정 센서(미도시)는 미리 정해진 높이에 맞추기 위하여 테이블(17)의 승강 또는 하강 높이를 측정하는 역할을 한다. 이는 캐리어(60)를 인입 및 인출시키는 해당 장비(미도시)의 높이가 각각 상이하기 때문에 미리 정해진 높이에 맞춰 캐리어(60)를 승강 또는 하강 시킬 필요가 있기 때문이다. 위치선정 센서(미도시)에 의해 측정된 높이가 미리 정해진 높이와 일치할 때 테이블 리프터(40)의 승강 및 하강 동작이 정지되도록 제어할 수 있다.The position determining sensor (not shown) measures the height of the table 17 to ascend or descend in order to match the predetermined height. This is because the heights of corresponding equipments (not shown) for pulling in and pulling out the carrier 60 are different from each other, it is necessary to raise or lower the carrier 60 in accordance with a predetermined height. It is possible to control the lifting and lowering operation of the table lifter 40 to be stopped when the height measured by the position determining sensor (not shown) coincides with a predetermined height.

커버(46)는 캐리어 이송대차 본체(10)와 테이블(17)에 각각 결합되어 캐리어 이송대차 본체(10)와 테이블(17) 사이에 마련되며, X-리프트(41)와 서보모터(43)와 볼스크류(44)와 테이블 리프터 가이드(45)를 외부와 격리시키는 역할을 한다. 커버(46)가 마련됨으로써 테이블 리프터(40)에서 발생하는 파티클이 외부로 나가는 것을 방지하고 테이블 리프터(40)의 보호 및 전동식 캐리어 이송대차(1)의 사용자를 보호하는 역할을 한다. 또한 커버(46)는 벨로즈 타입으로 제작되어 테이블(17)의 승강 또는 하강함에 따라 늘어나고 줄어들기 때문에 파손되지 않고 효과적으로 외부와 격리시킬 수 있다.The cover 46 is provided between the carrier transport bogie body 10 and the table 17 and is coupled to the carrier transport bogie body 10 and the table 17 and is connected to the X- And separates the ball screw 44 and the table lifter guide 45 from the outside. The cover 46 is provided to prevent the particles generated in the table lifter 40 from escaping to the outside and to protect the table lifter 40 and the user of the electric carrier transport bogie 1. [ Further, the cover 46 is made of a bellows type and is expanded and contracted as the table 17 ascends or descends, so that the cover 46 can be effectively isolated from the outside without breakage.

이하에서는, 본 실시예의 전동식 캐리어 이송대차(1)에 의해 인력과 부대장비의 투입 없이 전동식으로 손쉽고 효과적이며 정밀하게 캐리어(60)를 이송 및 인입과 인출시키는 과정에 대해서 설명하기로 한다.Hereinafter, a process of transferring, pulling in, and pulling out the carrier 60 easily, effectively, and precisely in an electric manner without input of manpower and auxiliary equipment by the electric carrier conveyance truck 1 of the present embodiment will be described.

먼저, 해당 장비에서 캐리어(60)를 인출하는 과정을 설명하면, 전동식 캐리어 이송대차(1)는 대차 구동부(14)에 의해 캐리어(60)가 적재된 해당 장비(미도시)의 근처로 이동한 후에 도킹 가이드 블록(12)에 의해 도킹 위치로 안내되고 대차 락킹 블록(11)에 의해 도킹이 완료된다.First, the process of withdrawing the carrier 60 from the equipment will be described. The electric carrier transporting truck 1 is moved to the vicinity of the corresponding equipment (not shown) loaded with the carrier 60 by the truck driving unit 14 Is guided to the docking position by the docking guide block (12) and docking is completed by the docking locking block (11).

이후, 캐리어(60)가 적재되어 있는 높이까지 테이블 리프터(40)가 테이블(17)이 상승시키고, 캐리어 이송 유닛(30)이 전진하여 캐리어 척킹 유닛(20)을 캐리어(60)에 근접하게 이동시킨다.The table lifter 40 raises the table 17 to the height at which the carrier 60 is loaded and the carrier transfer unit 30 advances to move the carrier chucking unit 20 close to the carrier 60 .

다음으로 운전자가 수동으로 캐리어 척킹 유닛(20)을 캐리어(60)에 척킹시키면, 캐리어 이송 유닛(30)이 후퇴하여 캐리어(60)를 해당 장비(미도시)에서 인출하여 캐리어 지지가이드 유닛(50)에 위치시킨다.Next, when the operator manually chucks the carrier chucking unit 20 to the carrier 60, the carrier transfer unit 30 is retracted to withdraw the carrier 60 from the corresponding equipment (not shown) ).

해당 장비로 캐리어(60)를 인입시키는 과정은, 캐리어(60)를 적재한 전동식 캐리어 이송대차(1)를 해당 장비(미도시)근처로 이동 및 도킹시키고, 테이블 리프터(40)에 의해 캐리어(60)를 인입시키려는 높이로 테이블(17)을 승강 또는 하강시킨 후, 캐리어 이송 유닛(30)이 전진하여 캐리어(60)를 해당 장비(미도시)로 인입하고, 운전자가 수동으로 캐리어(60)에 척킹된 캐리어 척킹 유닛(20)을 척킹 해제시킴으로써 이루어진다.The process of pulling the carrier 60 into the equipment is carried out by moving and docking the electric carrier transporting carriage 1 carrying the carrier 60 to the vicinity of the equipment (not shown), by the table lifter 40, The carrier transport unit 30 advances to bring the carrier 60 into the equipment (not shown), and the operator manually moves the carrier 60 to the carrier And chucking the carrier chucking unit 20 which has been chucked.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 인력과 부대장비의 투입 없이 전동식으로 캐리어를 이송시킬 수 있는 전동식 이송대차를 제공함으로써 캐리어의 이송 및 인입과 인출을 손쉽고 효과적이며 정밀하게 할 수 있고, 인력과 부대장비의 투입이 없으므로 파티클이 장비 내부로 유입되어 평판표시소자 생산에 있어 품질 저하의 원인이 되는 문제점을 해결할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, it is possible to easily carry out the transfer, the pull-in and the pull-out of the carrier by providing the electric-type transfer truck which can carry the carrier in the electric style without the input of the manpower and the auxiliary equipment, Since there is no input of equipment, particles can be introduced into the inside of the equipment and the problem of quality degradation in production of flat panel display devices can be solved.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

10 : 캐리어 이송대차 본체 11 : 대차 락킹 블록
12 : 도킹 가이드 블록 13 : 도킹 감지 스위치
17 : 테이블 20 : 캐리어 척킹 유닛
22 : 캐리어 척킹 프레임 23 : 캐리어 척킹 피벗부
24 : 탄성부재 25 : 캐리어 척킹암
30 : 캐리어 이송 유닛 31 : 고정 프레임
32 : 이동 프레임 33 : 이송 블록
34 : 이송 구동부 34a : 피니언 기어
34b : 랙 기어 35 : 운동 전달부
36 : 제 1 및 제 2 풀리 37 : 타이밍 벨트
38 : LM 가이드 39 : 모터박스
40 : 테이블 리프터 41 : X-리프트
42 : 테이블 리프터 구동부 45 : 테이블 리프터 가이드
50 : 캐리어 지지가이드 유닛 51 : 수평조절장치
60 : 캐리어 10: Carrier transfer bogie main body 11: Bogie locking block
12: Docking guide block 13: Docking detection switch
17: Table 20: Carrier chucking unit
22: carrier chucking frame 23: carrier chucking pivot part
24: elastic member 25: carrier chucking arm
30: Carrier transfer unit 31: Fixing frame
32: Moving frame 33: Moving block
34: Feed drive part 34a: Pinion gear
34b: rack gear 35:
36: first and second pulleys 37: timing belt
38: LM Guide 39: Motor box
40: table lifter 41: X-lift
42: table lifter drive part 45: table lifter guide
50: carrier supporting guide unit 51: horizontal adjustment device
60: Carrier

Claims (20)

이동가능하게 마련되는 캐리어 이송대차 본체;
상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되며, 캐리어의 인입 및 인출을 위하여 상기 캐리어가 상대이동될 수 있도록 상기 캐리어를 지지하는 적어도 하나의 캐리어 지지가이드 유닛; 및
상기 캐리어 이송대차 본체에 마련되어 상기 캐리어를 상기 캐리어 지지가이드 유닛에서 이동하지 않도록 척킹하는 캐리어 척킹 유닛을 포함하는 전동식 캐리어 이송대차.A carrier transport bogie body movably provided;
At least one carrier support guide unit coupled to the carrier transport bogie body and supporting the carrier so that the carrier can be moved relative to the carrier for pulling in and out of the carrier; And
And a carrier chucking unit provided on the carrier transport bogie main body for chucking the carrier so as not to move in the carrier supporting guide unit. 제1항에 있어서,
상기 캐리어 척킹 유닛은,
캐리어 척킹 유닛 본체;
상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 대하여 상대이동 가능하게 상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 결합되는 캐리어 척킹암; 및
상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 배치되어 상기 캐리어 척킹암을 상기 캐리어 척킹 유닛 본체 쪽으로 탄성 바이어스시키는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.The method according to claim 1,
Wherein the carrier chucking unit comprises:
A carrier chucking unit main body;
A carrier chucking arm coupled to the carrier chuck unit body so as to be movable relative to the carrier chuck unit body; And
And an elastic member which is disposed in the carrier chucking unit main body and elastically biases the carrier chucking arm toward the carrier chucking unit main body. 제2항에 있어서,
상기 캐리어 척킹암은 상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 대해 상대회동 및 직선이동이 가능하게 상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 결합되는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.3. The method of claim 2,
Wherein the carrier chucking arm is coupled to the carrier chucking unit body such that the carrier chucking arm is capable of relative rotation and linear movement with respect to the carrier chucking unit main body. 제2항에 있어서,
상기 캐리어 척킹 유닛 본체는,
상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되는 캐리어 척킹 프레임; 및
상기 캐리어 척킹암이 상대이동 가능하게 결합되며, 상기 캐리어 척킹 프레임에 상대회동 가능하게 결합되는 캐리어 척킹 피벗부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.3. The method of claim 2,
The carrier chucking unit main body includes:
A carrier chucking frame coupled to the carrier transport bogie body; And
Wherein the carrier chucking arm includes a carrier chucking pivot portion that is relatively movably coupled to the carrier chucking arm and is pivotally coupled to the carrier chucking frame. 제2항에 있어서,
상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 캐리어 척킹 유닛 본체에 각각 결합되며, 상기 캐리어의 인입 및 인출을 위하여 상기 캐리어 척킹 유닛 본체를 상기 캐리어 이송대차 본체에 대하여 상대이동시키는 캐리어 이송 유닛을 더 포함하는 전동식 캐리어 이송대차.3. The method of claim 2,
Further comprising a carrier transporting unit coupled to the carrier transporting truck body and the carrier chucking unit body, respectively, for moving the carrier chucking unit body relative to the carrier transporting truck body for pulling in and out of the carrier, Balance. 제5항에 있어서,
상기 캐리어 이송 유닛은,
상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되는 고정프레임;
상기 고정프레임에 대해 상대이동 가능하게 결합되는 이동프레임;
상기 이동프레임에 대해 상대이동 가능하게 결합되며, 상기 캐리어 척킹 유닛 본체가 배치되는 이송 블록;
상기 이동프레임에 결합되어 상기 이동프레임을 이동시키는 이송 구동부; 및
상기 이동프레임과 상기 이송 블록에 각각 결합되며, 상기 이동프레임의 이동에 연동되어 상기 이송 블록을 이동시키는 연동 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.6. The method of claim 5,
The carrier transport unit includes:
A fixed frame coupled to the carrier transport bogie body;
A moving frame relatively movably coupled to the fixed frame;
A transport block which is movably coupled to the moving frame and in which the carrier chucking unit body is disposed;
A transport driving unit coupled to the moving frame to move the moving frame; And
And an interlocking transfer unit coupled to the moving frame and the transfer block, respectively, for moving the transfer block interlocked with the movement of the movable frame. 제6항에 있어서,
상기 이송 구동부는,
상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되는 모터;
상기 모터의 회전축에 결합되는 피니언 기어; 및
상기 이동프레임의 일측에 결합되고 상기 피니언 기어와 기어 맞물림되는 랙 기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.The method according to claim 6,
The feed drive unit
A motor coupled to the carrier transport bogie body;
A pinion gear coupled to a rotating shaft of the motor; And
And a rack gear coupled to one side of the moving frame and meshing with the pinion gear. 제6항에 있어서,
상기 연동 이송부는,
상기 이동프레임의 양단부에 각각 상대회전 가능하게 결합되는 제1 및 제2 풀리; 및
상기 제1 및 제2 풀리를 폐루프 형태로 연결하되 일측부와 타측부에서 상기 고정프레임 및 상기 이송 블록과 각각 결합되는 타이밍벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.The method according to claim 6,
The interlocking conveying portion
First and second pulleys relatively rotatably coupled to both ends of the moving frame; And
And a timing belt that connects the first and second pulleys in a closed loop manner and is coupled to the fixed frame and the transport block at one side and the other side, respectively. 제6항에 있어서,
상기 캐리어 이송 유닛은,
상기 고정프레임과 상기 이동프레임 사이 및 상기 이동프레임과 상기 이송 블록 사이에 각각 결합되는 LM 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.The method according to claim 6,
The carrier transport unit includes:
Further comprising an LM guide coupled between the fixed frame and the movable frame and between the movable frame and the transport block, respectively. 제5항에 있어서,
상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되며, 상기 캐리어 지지가이드 유닛과 상기 캐리어 척킹 유닛과 상기 캐리어 이송 유닛을 지지하는 테이블; 및
상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 테이블에 각각 결합되며, 상기 테이블을 상기 캐리어 이송대차 본체에 대하여 상하이동시키는 테이블 리프터를 더 포함하는 전동식 캐리어 이송대차.6. The method of claim 5,
A table coupled to the carrier transport bogie body and supporting the carrier support guide unit, the carrier chucking unit and the carrier transport unit; And
Further comprising a table lifter coupled to the carrier transport bogie body and the table, the table lifter moving the table up and down with respect to the carrier bogie body. 제10항에 있어서,
상기 테이블 리프터는,
상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 테이블에 각각 결합되어 상기 테이블을 상기 캐리어 이송대차 본체에 대해 상하이동시키는 적어도 하나의 X-리프트;
상기 X-리프트와 결합되어 상기 X-리프트를 이동시키는 테이블 리프터 구동부; 및
상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 X-리프트에 각각 결합되어 상기 X-리프트의 이동을 가이드하는 적어도 하나의 테이블 리프터 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.11. The method of claim 10,
The table lifter includes:
At least one X-lift coupled to the carrier bogie body and the table to move the table up and down relative to the carrier bogie body;
A table lifter driver coupled to the X-lift to move the X-lift; And
And at least one table lifter guide coupled to the carrier bogie body and the X-lift to guide movement of the X-lift. 제11항에 있어서,
상기 테이블 리프터 구동부는,
상기 캐리어 이송대차 본체에 결합되는 서보모터; 및
상기 서보모터와 상기 X-리프트에 각각 결합되어 상기 서보모터의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼스크류를 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.12. The method of claim 11,
The table lifter drive unit includes:
A servo motor coupled to the carrier transfer bogie body; And
And a ball screw coupled to the servo motor and the X-lift, respectively, for converting rotational motion of the servo motor into rectilinear motion. 제12항에 있어서,
상기 테이블 리프터는,
상기 테이블의 승강 또는 하강 높이를 측정하는 적어도 하나의 위치선정 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.13. The method of claim 12,
The table lifter includes:
Further comprising at least one position determining sensor for measuring the height of the table up and down. 제13항에 있어서,
상기 테이블 리프터는,
파티클 발생 방지를 위하여 상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 테이블에 각각 결합되는 벨로즈 타입의 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.14. The method of claim 13,
The table lifter includes:
Further comprising a bellows type cover coupled to the carrier transport bogie body and the table, respectively, for preventing particles from being generated. 제1항에 있어서,
상기 캐리어 지지가이드 유닛에 의해 지지되는 상기 캐리어가 수평을 유지할 수 있도록 상기 캐리어 지지가이드 유닛의 일측에 마련되는 적어도 하나의 수평조절장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.The method according to claim 1,
Further comprising at least one leveling device provided on one side of the carrier support guide unit such that the carrier supported by the carrier support guide unit can maintain a horizontal position. 제1항에 있어서,
상기 캐리어 이송대차 본체의 일측에 마련되며, 해당 장비와 도킹 후 상기 캐리어 이송대차 본체와 상기 해당 장비를 락킹시키는 대차 락킹 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.The method according to claim 1,
Further comprising a bogie locking block provided at one side of the carrier bogie main body and locking the carrier bogie main body and the corresponding equipment after docking with the equipment. 제16항에 있어서,
상기 캐리어 이송대차 본체의 일측에 마련되어 상기 해당 장비와 도킹되는 도킹 위치를 안내하는 도킹 가이드 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.17. The method of claim 16,
Further comprising a docking guide block provided at one side of the carrier transporting truck body for guiding a docking position to be docked with the corresponding equipment. 제17항에 있어서,
상기 캐리어 이송대차 본체의 일측에 마련되며, 상기 해당 장비와 도킹이 완료되면 상기 전동식 캐리어 이송대차가 정지하도록 신호를 보내는 도킹 감지 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.18. The method of claim 17,
Further comprising a docking detection switch provided at one side of the carrier transfer bogie main body and sending a signal to stop the electric carrier bogie when the docking with the corresponding equipment is completed. 제1항에 있어서,
상기 캐리어 이송대차 본체에 마련되며, 상기 전동식 캐리어 이송대차를 이동시키는 대차 구동부;
상기 대차 구동부와 결합되어 전원을 공급하는 충전식 전원공급부; 및
상기 캐리어 이송대차 본체에 마련되며, 상기 전동식 캐리어 이송대차의 주행을 정지시키는 제동장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.The method according to claim 1,
A bogie driving unit provided on the carrier bogie main body for moving the electric carrier bogie;
A rechargeable power supply unit coupled to the bogie driving unit to supply power; And
Further comprising a braking device provided on the carrier transfer bogie main body for stopping the running of the electric carrier bogie. 제1항에 있어서,
상기 캐리어 이송대차 본체의 일측에 마련되며, 상기 전동식 캐리어 이송대차를 조종정보를 입력하는 터치 패널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전동식 캐리어 이송대차.The method according to claim 1,
Further comprising a touch panel provided at one side of the carrier transfer bogie main body for inputting steering information of the electric carrier bogie.
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