KR20140045200A - 가스 스크러버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유독성 폐가스를 정화하는 가스 스크러버에 관한 것으로서, 더욱 상세히는 케이스에 내재된 가열부재에 감싸져 가열부재에 의해 가열될 수 있도록 연소실이 구비된 버닝챔버와; 상기 케이스 하부에 설치되어 폐가스를 연소실로 유입시키는 폐가스 유입구와; 상기 케이스 상부에 설치되어 일정한 압력의 공기를 연소실로 공급해주는 공기 공급부와; 상기 연소실 내측둘레에 일정한 공간을 가지도록 돌출형성되며, 그 돌출된 전면은 배기 포트가 구비된 보강부로 형성되고, 하부는 상기 폐가스 유입구와 연결되는 예열챔버와; 상기 공기 공급부 하부에 위치하여 공기 공급부에서 공급되는 공기를 연소실에 확산시켜 천천히 공급시켜주는 확산부재;를 포함한다.
이러한 본 발명은 가스 스크러버의 연소실에 예열챔버를 구성하여 연소실의 열팽창에 따른 변형을 방지하고, 폐가스에 대량의 분말을 포함되더라도 분말을 별도로 집진시켜 배출시킬 수 있으며, 연소실로 공급되는 공기는 분산되면서 천천히 공급되도록 구성함에 따라 연소실의 폐가스가 완전연소될 수 있는 것이다.

Description

가스 스크러버{Gas Scrubber}

본 발명은 독성이 포함된 폐가스를 정화시켜 대기로 방출시키는 가스 스크러버에 관한 것으로, 더욱 상세히는 폐가스를 고온으로 정화시키는 과정에서 버닝챔버의 열변형에 따른 체적변화로 타 부품을 파손시키거나, 오동작이 발생 되는 현상을 방지하며, 버닝챔버로 유입되는 공기의 흐름을 분산시키면서 천천히 유입되도록 함으로써 폐가스를 완전연소시킬 수 있도록 한 가스 스크러버에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자를 생산하는 공정 중에는 독성 가스를 배출하는 공정이 많다. 예를 들면 기상 증착(Chemical Vapor Deposition; CVD) 공정, 이온주입(ion implantation) 공정, 식각 공정, 확산 공정 등에는 SiH₄, SiH₂, NO, AsH₃, PH₃, NH₃, N₂O, SiH₂Cl₂ 등의 가스들이 사용되는데, 이러한 가스들이 공정을 거치고 배출되면 여러 종류의 독성 물질을 함유하고 있다.

따라서 이러한 독성 가스는 인체에 해로울 뿐만 아니라 환경오염을 유발하게 되므로 대기에 방출되기 전 정화시킬 필요가 있으며, 그러한 정화장치로서 가스 스크러버(Gas Scrubber)가 사용되고 있다.

이러한 가스 스크러버에 대해 살펴보면, 가스 스크러버는 크게 웨팅(Wetting) 방식과 버닝(Burning) 방식으로 구분할 수 있으며, 웨팅 방식은 물을 이용하여 배기가스를 세정 및 냉각하는 구조로써, 비교적 간단한 구성을 가지므로 제작이 용이하고 대용량화할 수 있다는 장점은 있으나, 불수용성의 가스는 처리가 불가능하고, 특히 발화성이 강한 수소기를 포함하는 배기가스의 처리에는 부적절한 문제점이 있다.

그리고 버닝 방식은 수소 버너 등의 버너 속을 배기가스가 통과되도록 하여 직접 연소시키거나, 또는 열원을 이용하여 고온의 챔버를 형성하고, 그 속으로 배기가스가 통과되도록 하여 간접적으로 연소시키는 구조를 되어 있으며, 이와 같은 버닝 방식의 스크러버는 발화성 가스의 처리에 탁월한 효과가 있으나, 잘 연소되지 않은 유독성 가스(Toxic Gas)의 처리에는 부적절한 문제점이 있다.

한편, 수소 등의 발화성 가스 및 실란(SiH₄) 등의 유독성 가스를 사용하는 반응공정인 반도체 제조공정은 상온보다 높은 고온에서 이루어지므로, 배기가스를 처리함에 있어서 유독성 가스의 정화와 동시에 배기가스를 냉각시킬 필요가 있다.

이에 따라 반도체 제조공정에서는 웨팅 방식의 스크러버와 버닝 방식의 스크러버를 결합한 혼합형 가스 스크러버가 사용되고 있으며, 이러한 혼합형 가스 스크러버는 먼저 배기가스를 연소실에서 1차로 연소시켜 발화성 가스 및 폭발성 가스를 제거한 후 2차적으로 수조에 수용시켜 수용성의 유독성 가스를 물에 용해시키는 구조로 되어 있다.

한편, 이와 같은 가스 스크러버의 선행기술로는 국내 등록특허 10-0938911호 "폐가스에 포함된 암모니아를 제거하기 위한 스크러버"를 통해 이미 제시된 바 있으며, 그 구성을 도 1 을 통해 살펴보면, 암모니아를 포함하는 폐가스가 유입되는 유입구(2)와; 상기 유입구(2)에 연결설치되는 동시에 하나의 관이 다른 관의 내부에 삽입된 이중관 형태로 구성된 것이다.

그리고 상기 이중관의 외측관으로 암모니아를 포함하는 폐가스가 이동하여 암모니아가 질소 및 수소로 전환되는 열분해부(6) 및 그 내측관으로 상기 암모니아가 질소 및 수소로 전환된 폐가스가 유입되어 연소되며 이동하는 연소부(8)가 구비된 반응기(18)와; 상기 연소부(8)의 일측에 연결설치되어 외부의 공기가 연소부(8) 내부로 유입되도록 하는 공기 주입부(10)와; 상기 공기 주입부(10)와 이웃하게 연결설치되어 열분해부(6)의 외측관으로부터 유입되는 암모니아가 질소 및 수소로 전환된 폐가스와 공기가 서로 접촉하는 것을 방지하는 차단부(12)와; 상기 반응기(18)의 외주면에 연결설치되어 반응기(18)의 외측관을 가열하는 가열수단(16)과; 상기 연소부(8)의 일측에 구비되어 연소된 폐가스가 배출되는 배출구(14)로 구성된 것임을 알 수 있다.

따라서 유입구(2)로 유입된 폐가스는 가열수단(16)에 의해 대략 700℃~1,000℃ 로 가열된 상태에서 열분해부(6)을 거쳐 연소부(8)로 이동되고, 이때 공기주입부(10)를 통해 압축공기가 주입되어 열반응에 필요한 산소가 공급되면서 강제 산화를 통해 900℃~1,200℃ 의 온도 범위로 폐가스가 연소 처리된 후 배출구(4)를 통해 배출되는 것이다.

그러나 상기와 같은 종래의 가스 스크러버는 다음과 같은 문제점을 가지고 있다.

즉, 연소부(8)의 내부 온도가 900℃~1,200℃로 급격히 상승함에 따라 연소부(8)가 급격히 열 팽창을 하게 되어 체적변화를 일으키게 되고, 그러한 체적변화에 의해 가열수단(16)이 영향을 받게 되면서 전기적 합선 등의 고장원인을 유발하는 문제점이 있었다.

또한 폐가스가 유입구(2)를 통해 열분해부(6)로 이동될 때 상기 유입구(2)로 유입되는 폐가스가 대량의 siH4, ph3, AsH3 등 분말을 포함하는 분말 가스(Powder Gas)인 경우 상기 분말의 간섭으로 인하여 폐가스가 유입구(2)를 통해 원활히 유입되지 못하는 문제점이 있었다.

아울러 연소부(8)에 공기주입부(10)로부터 압축공기가 주입될 때 구조상 압축공기가 연소부(8) 내로 빠르게 이동되면서 연소부(8)에서 폐가스가 충분히 연소되지 못하고 불완전연소가 되는 문제점이 있었다.

따라서 본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 가스 스크러버의 버닝챔버의 내부에 예열챔버를 구성하여 버닝챔버에 열팽창을 방지하고, 폐가스를 예열챔버와 연소실을 통해 충분히 연소시켜 연소의 효율성을 높이며, 폐가스에 대량의 분말을 포함되더라도 분말이 별도로 집진되어 배출되도록 구성함에 따라 폐가스의 이동성이 향상되고, 연소부로 공급되는 공기가 분산되어 천천히 공급되면서 연소부의 폐가스가 충분히 연소될 수 있도록 한 가스 스크러버와 관련된다.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 의하면,

케이스에 내재된 가열부재에 감싸져 가열부재에 의해 가열될 수 있도록 연소실이 구비된 버닝챔버와; 상기 케이스 하부에 설치되어 폐가스를 연소실로 유입시키는 폐가스 유입구와; 상기 케이스 상부에 설치되어 일정한 압력의 공기를 연소실로 공급해주는 공기 공급부와;

상기 연소실 내측둘레에 일정한 공간을 가지도록 돌출형성되며, 그 돌출된 전면은 배기 포트가 구비된 보강부로 형성되고, 하부는 상기 폐가스 유입구와 연결되는 예열챔버와;

상기 공기 공급부 하부에 위치하여 공기 공급부에서 공급되는 공기를 연소실에 확산시켜 천천히 공급시켜주는 확산부재;와 관련된다.

바람직하게는 상기 예열챔버는 연소실 내주면을 따라 다수개로 형성되고, 각각의 예열챔버 전면 보강부에는 다수개의 배기 포트가 형성된 것과 관련된다.

더 바람직하게는 상기 예열챔버의 보강부는 평면 또는 볼록면 또는 요철면 중 선택된 어느 하나로 구성된 것과 관련된다.

더욱 바람직하게는 상기 버닝챔버의 하부에 일정한 공간의 통로를 가지는 분말가스 집진부를 형성하되, 상기 통로의 한쪽은 폐가스 유입구를 연결하고, 통로의 다른 한쪽은 예열챔버를 연결하며, 통로의 또 다른 한쪽은 분말 제거용 포트를 형성한 것과 관련된다.

더욱 바람직하게는 상기 분말가스 집진부는 내부 통로에 다수개의 베플이 형성된 것과 관련된다.

더욱 바람직하게는 상기 확산부재는 연소실의 내부 공간과 상응하는 형상을 가지며, 표면에 다수개의 통공이 형성된 다공판인 것과 관련된다.

더욱 바람직하게는 상기 확산부재는 연소실의 상부에 위치하면서 공기 공급부의 저면에 결합되며, 그 외주면과 저면에 다수개의 통공이 구비된 원통형의 다공파이프인 것과 관련된다.

본 발명에 따른 가스 스크러버는 버닝챔버의 연소실 내부에 다수개의 예열챔버를 구비하므로서, 연소실의 고온현상에 따라 열변형에 의해 체적이 변화되는 것을 방지할 수 있는 것이며, 연소실 하부에 설치되는 분말 가스 집진부를 통하여 폐가스에 포함된 다량의 분말이 폐가스로부터 제거되면서 폐가스만이 예열챔버로 원활하게 이동될 수 있도록 한 것이다.

그리고 상기 연소실 상부에는 확산판을 설치함으로써, 연소실의 내부로 공급되는 공기가 분산되면서 천천이 연소실에 유입될 수 있어 연소실의 폐가스가 열반응에 필요한 충분한 산소를 공급받아 완전연소가 될 수 있도록 한 것이다.

도 1 은 종래 가스 스크러버의 구성을 도시한 구성도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 가스 스크러버의 내부 구성을 예시한 일부 절결 사시도이다.
도 3 는 본 발명에 따른 가스 스크러버의 연소실 내부를 예시한 평단면도이다.
도 4 는 본 발명에 따라 연소실 내부에 설치되는 확산부재를 예시한 사시도이다.
도 5 는 본 발명에 따른 가스 스크러버에 의해 폐가스가 정화되는 과정을 예시한 작동도이다.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.

이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.

또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.

우선, 도 2 에 따른 가스 스크러버의 중요 구성 요소를 살펴보면, 가열부재(120)가 내부에 설치된 케이스(150)와, 상기 가열부재(120)의 내부에 설치되는 연소실(110)을 포함하는 버닝챔버(100)와, 상기 연소실(110) 내부에 구비되는 예열챔버(200)와, 상기 연소실(110)의 하부에 설치되는 분말가스 집진부(300)와, 상기 연소실(110) 상부에 설치되는 확산부재로 크게 구분할 수 있으며, 각각의 상세한 구성 및 작용을 살펴보면 다음과 같다.

버닝챔버(100)는 내부에 원통형의 연소실(110)이 구비되면서 상기 연소실(110)을 감싸는 바깥면에는 상기 연소실(110)을 가열하기 위해 히터와 같은 가열부재(120)가 설치되며, 상기 가열부재(120)의 외측은 케이스(150)에 의해 감싸져 구성된다.

그리고 버닝챔버(100)의 케이스(150) 상부에는 연소실(110) 내부로 연결되는 공기 공급부(140)가 형성됨에 따라 외부로부터 연소실(110) 내부에 일정한 압력의 공기가 공급될 수 있도록 한 것이며, 버닝챔버(100)의 케이스(150) 하부 측면에는 폐가스 유입구(130)가 형성된 것이다.

예열챔버(200)는 도 2 또는 도 3 에 예시한 바와 같이 상기 버닝챔버(100)의 연소실(110) 내측둘레에 좌우로 일정한 폭을 가지면서 상하방향으로 길게 형성되고, 연소실(110)의 내측둘레로부터 전방을 향해 돌출된 형태로 구성되어 그 내부에 일정한 공간이 형성되며, 그 하부는 상기 폐가스 유입구(130)와 서로 연결되도록 구성된 것이다.

그리고 예열챔버(200)는 연소실(110) 내부에 복수개로 설치되는 것이 바람직한 것이며, 서로 대향되게 마주보는 형태로 예열챔버(200)를 형성되고, 이때 예열챔버(200)의 설치개수는 원하는 가스공정을 감안하여 연소실(110) 내측둘레를 따라 최소 2개에서 6개까지 설치가능한 것이다.

아울러 상기 예열챔버(200)의 전면은 평면형태의 보강부(210)로 구성하므로서, 연소실(110)의 내부가 고온이 되면서 열팽창을 인해 연소실(110)이 체적변화를 일으키더라도 상기 보강부(210)에 의해 연소실(110)의 변형을 방지할 수 있도록 한 것이다.

여기서 상기 보강부(210)의 형상은 평면의 형태를 가질 수도 있지만 그 형상을 평면으로 한정시킬 필요없이 연소실(110)의 열팽창에 의한 체적변화를 방지하기 위해서라면 볼록면으로 구성할 수도 있으며, 요철면으로 구성할 수도 있는 것이다.

아울러 상기 보강부(210)의 형상을 요철면으로 구성할 경우에는 연소실(110)의 변형 방지효과는 물론 요철면으로 인해 가열부재(120)의 열원과의 접촉면적이 커지게 되면서 가열부재(120)로부터 전달되는 열전도 효과가 더욱 향상됨에 따라 예열챔버(200)의 내부에서 이동되는 폐가스의 온도를 효과적으로 올려줄 수 있는 것이다.

그리고 상기 각각의 예열챔버(200) 상측에는 예열챔버(200)의 내부에서 이동되는 폐가스를 연소실(110)로 이동시켜줄 수 있도록 배기포트(220)가 형성된 것인데, 도면에 예시된 배기포트(220)의 개수는 일 실시예이며, 그 개수는 원하는 가스공정에 따라 2개에서 20개까지 가능한 것이다.

분말가스 집진부(300)는, 도 2 에서와 같이 예열챔버(200)의 하부에 설치된 것이며, 연소실(110)에 상응하는 중앙부분이 관통된 대략 링 형태로 구성되고, 내부에는 일정한 공간을 가지는 통로(310)가 구성된 것인데, 도면에서는 상기 통로(310)가 사각의 형상으로 예시되어 있지만 이는 일 실시 예일 뿐 상기 통로(310)를 사각의 형상으로 한정할 필요없이 원형이나 비원형 또는 다각형 등 다양한 형상으로 구성할 수도 있는 것이다.

그리고 상기 통로(310)의 한쪽에는 폐가스 유입구(130)를 연결되고, 다른 한쪽에는 상기 예열챔버(200)의 하부가 연결되도록 구성함에 따라 상기 폐가스 유입구(130)로 유입된 폐가스는 상기 통로(310)를 거쳐 선회된 후 예열챔버(200)로 이동될 수 있도록 한 것이다.

이는 폐가스 유입구(130)로 유입되는 폐가스가 다량의 분말을 함유하고 있는 분말 가스인 경우 예열챔버 로 직접 유입될 경우 많은 양의 분말로 인해 폐가스의 흐름이 원활하지 못하게 됨에 따라 폐가스가 상기 통로(310)를 선회하는 과정에서 폐가스로부터 다량의 분말이 분리되도록 함으로써 폐가스만이 예열챔버(200)를 통해 연소실(110)로 이동되도록 한 것이다.

또한 상기 통로(310)의 또 다른 한쪽에는 통로(310)에 집진된 분말을 외부로 제거할 수 있도록 분말 제거용 포트(320)가 형성된 것이다.

여기서 상기 통로(310)의 내부에 대향된 전,후면으로 다수개의 베플(basffle)(도면중 미도시)을 설치함으로써, 분말이 포함된 폐가스가 통로(310)를 통과하는 과정에서 상기 베플에 부딪히는 과정을 통해 분말과 폐가스의 분리를 더욱 효과적으로 할 수 있도록 한 것이다.

확산부재는 연소실(110)의 상부에 설치되는 것이며, 그 형상은 연소실(110)의 내부 형상과 상응하게 형성함으로써 연소실(110) 상부에 위치한 공기 공급부(140)로부터 공급된 공기가 상기 확산부재를 통과하여 연소실(110)로 공급되도록 한 것이다.

여기서는 연소실(110)의 내부 형상이 원형이므로 도 4 에 예시한 바와 같이 확산부재 또한 연소실(110)의 내부 직경과 상응하는 크기를 가지는 원판 형태의 다공판(400)으로 구성된 것이며, 이때 다공판(400)의 표면에는 다수개 통공(410)이 형성됨에 따라 상기 공기 공급부(140)에서 공급되는 공기가 상기 다공판(400)의 통공(410)을 통해 골고루 확산되면서 최대한 천천히 연소실(110)로 공급되므로 연소실(110)로 이동된 폐가스가 열반응에 필요한 산소를 충분히 공급받게 되면서 강재산화를 통해 완전연소될 수 있는 것이다.

이때 상기 다공판(400)은 공기 공급부(140)의 하부에 내주면에 고정시켜 구성할 수도 있지만 예열챔버(200)의 상부에 안착시켜 고정시키므로서 탈착이 가능하도록 구성할 수도 있는 것이다.

한편, 도면에는 도시되지 않았지만 상기 확산부재의 다른 실시예로서 연소실(110)의 상부에 위치한 공기 공급부(140)로부터 연장시키거나 상기 공기 공급부(140)에 별도로 연결시켜 연소실(110) 내부를 향해 돌출되는 형태의 다공파이프의 형태로 구성할 수도 있는 것이며, 이때 상기 다공파이프의 외주면과 저면에는 다수개의 통공이 형성되는 것이다.

이와 같은 구성으로 이루어지는 가스 스크러버의 동작과정을 도 5 를 통해 살펴보면 다음과 같다.

즉, 폐가스가 폐가스 유입구(130)를 통해 유입되면 분말가스 집진부(300)의 통로(310)를 통해 선회하게 되면서 예열챔버(200)로 이동되며, 이때 상기 폐가스 유입구(130)로 유입되는 폐가스에 다량의 분말이 포함되더라도 상기 분말가스 집진부(300)의 통로(310)를 선회하는 과정에서 폐가스로부터 분말이 효과적으로 분리되면서 폐가스가 다수개의 예열챔버(200)로 원활하게 분산되어 이동될 수 있는 것이다.

그리고 각각의 예열챔버(200)로 이동된 폐가스는 가열부재(120)에 의해 설정치 온도까지 1차로 가열된 후 연소실(110)로 나뉘어져 이동되고, 이때 공기 공급부(140)에서 공급되는 공기는 다공판(400)의 통공(410)을 통해 확산되면서 천천히 폐가스에 공급됨에 따라 연소실(110)에 위치한 폐가스가 가열부재(120)에 의해 2차로 가열되면서 충분히 연소된 후 외부로 배출될 수 있는 것이다.

따라서 폐가스의 분말처리를 효과적으로 할 수 있으며, 예열챔버(200)를 통해 1차 가열된 폐가스가 적절한 공기의 공급을 통해 연소실(110)에서 2차 가열되면서 폐가스가 완전연소될 수 있는 것이며, 연소실(110)의 열팽창에 따른 변형 또한 방지하므로서, 가스 스크러버의 내구성 및 유지 보수를 용이하게 할 수 있는 것이다.

이와 같이 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관한 설명을 하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

100 : 버닝챔버 110 : 연소실
120 : 가열부재 130 : 폐가스 유입구
140 : 공기 공급부 150 : 케이스
200 : 예열 챔버 210 : 보강부
220 : 배기포트 300 : 분말가스 집진부
310 : 통로 320 : 분말 제거용 포트
400 : 다공판 410 : 통공

Claims (7)

1. 케이스에 내재된 가열부재에 감싸져 구성되며, 상기 가열부재에 의해 내부가 가열되는 연소실이 구비된 버닝챔버;
   상기 케이스 하부에 설치되어 폐가스를 연소실로 유입시키는 폐가스 유입구;
   상기 케이스 상부에 설치되어 일정한 압력의 공기를 연소실로 공급해주는 공기 공급부;
   상기 연소실 내측둘레에 일정한 공간을 가지도록 돌출형성되며, 그 돌출된 전면은 배기 포트가 구비된 보강부로 형성되고, 하부는 상기 폐가스 유입구와 연결되는 예열챔버; 및
   상기 공기 공급부의 하부에 위치하여 공기 공급부에서 공급되는 공기를 연소실에 확산시켜 천천히 공급시켜주는 확산부재;
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 예열챔버는 연소실 내주면을 따라 다수개로 형성되고, 각각의 예열챔버 전면 보강부에는 다수개의 배기 포트가 형성된 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
   
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 예열챔버의 보강부는 평면 또는 볼록면 또는 요철면 중 선택된 어느 하나로 구성된 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
   
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 버닝챔버의 하부에 일정한 공간의 통로를 가지는 분말가스 집진부를 형성하되, 상기 통로의 한쪽은 폐가스 유입구를 연결하고, 통로의 다른 한쪽은 예열챔버를 연결하며, 통로의 또 다른 한쪽은 분말 제거용 포트를 형성하여 된 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
   
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 분말가스 집진부는 내부 통로에 다수개의 베플이 형성된 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
   
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 확산부재는,
   연소실의 내부 공간과 상응하는 형상을 가지며, 표면에 다수개의 통공이 형성된 다공판인 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
   
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 확산부재는,
   연소실의 상부에 위치하면서 공기 공급부의 저면에 결합되며, 그 외주면과 저면에 다수개의 통공이 구비된 원통형의 다공파이프인 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   

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