KR20140037317A - System for controlling supplementary equipment of semiconductor production and method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 장비를 제어하는 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 생산을 위한 부대 장비를 제어하는 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a system for controlling equipment, and more particularly, to a system and method for controlling ancillary equipment for semiconductor production.
반도체를 생산하는 공장에서는 반도체 디바이스를 대량 생산하기 위하여 다수의 생산 장비를 병렬로 연결하여 작업을 하고 있다. 또한, 반도체 생산 장비의 원활한 동작을 지원하기 위한 다양한 부대 장비들이 활용되고 있다. 따라서, 반도체 생산 장비와 부대 장비 간의 유기적인 동작이 필요하다.In a semiconductor manufacturing plant, a large number of production equipments are connected in parallel to mass-produce semiconductor devices. In addition, a variety of auxiliary equipment is being used to support the smooth operation of semiconductor production equipment. Therefore, an organic operation between the semiconductor production equipment and the auxiliary equipment is required.
예컨대, 반도체 생산 장비의 작동 상태에 따라 부대 장비를 제어할 필요가 있다. For example, it is necessary to control the auxiliary equipment according to the operating state of the semiconductor production equipment.
특히, 지구 온난화 등과 같은 환경 문제가 즉각적인 위협이 되고 있고, 화석 에너지 자원 고갈에 따른 에너지 절감에 대한 요구가 커짐에 따라 에너지를 효율적으로 사용하는 기술에 대한 필요성이 증대되고 있다. In particular, environmental problems such as global warming are becoming an immediate threat, and as the demand for energy saving due to depletion of fossil energy resources is growing, the need for technology to use energy efficiently is increasing.
이에, 반도체, 디스플레이 등의 첨단 제품 산업에서도 온실 가스 및 에너지 감축을 선언하고 각 산업의 표준을 통하여 에너지, 유틸리티 및 소재 등의 자원에 대한 효율적인 사용과 환경 오염 감소를 권고하고 있는 실정이다. Therefore, in the high-tech products industry such as semiconductors and displays, we declare the reduction of greenhouse gas and energy and recommend efficient use of resources such as energy, utilities and materials and reduction of environmental pollution through standards of each industry.
따라서, 반도체 생산 업체는 작업의 실행 상태에 따라 실시간으로 부대 장비의 출력 등을 효율적으로 제어하여 생산성의 증대뿐만 아니라 에너지를 절감해야 하는 실정에 있다. Therefore, semiconductor manufacturers are required to efficiently control the output of auxiliary equipment in real time according to the execution state of the work, thereby reducing the energy as well as increasing the productivity.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 반도체 생산 장비의 작동 상태에 상응하여 부대 장비를 제어할 수 있는 시스템을 제공하는데 있다.In order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a system capable of controlling an incidental equipment in accordance with an operation state of a semiconductor production equipment.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은, 반도체 생산 장비의 작동 상태에 상응하여 부대 장비를 제어할 수 있는 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention for solving the above problems is to provide a method capable of controlling the auxiliary equipment in accordance with the operating state of the semiconductor production equipment.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템은, 장비 제어 장치를 통하여 반도체 생산 장비의 부대 장비를 제어하는 장비 제어 시스템에 있어서, 메시지를 수신하고 수신한 메시지에 기반하여 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출하는 메시지 관리부와, 수신한 메시지 및 생산 장비 정보에 기반하여 장비 제어 장치가 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성하는 시스템 명령 생성부 및 시스템 명령을 장비 제어 장치로 전송하는 장치 연결부를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an equipment control system for controlling an incidental equipment of a semiconductor production equipment through an equipment control device, the equipment control system comprising: A message management unit for extracting production equipment information including information on the operating state of the semiconductor production equipment based on the received message and production equipment information, and a system control unit for generating a system command for controlling the equipment control apparatus based on the received message and production equipment information A system command generation unit, and a device connection unit for transmitting the system command to the equipment control apparatus.
여기에서, 상기 부대 장비는, 펌프(pump), 칠러(chiller) 또는 스크러버(scrubber) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. Here, the auxiliary equipment may include at least one of a pump, a chiller, or a scrubber.
여기에서, 상기 시스템 명령 생성부는, 장비 제어 장치의 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 생성하고, 상기 장치 연결부는, 체크 메시지를 주기적으로 장비 제어 장치로 전송할 수 있다. Here, the system command generation unit generates a check message for checking the status of the equipment control apparatus, and the apparatus connection unit may periodically transmit the check message to the equipment control apparatus.
여기에서, 상기 수신한 메시지가 상기 장비 제어 장치에 대한 업데이트 정보를 포함하는 경우에 있어서, 상기 메시지 관리부는 수신한 메시지에서 업데이트 정보를 추출하고, 상기 시스템 명령 생성부는 업데이트 정보에 상응하여 장비 제어 장치를 업데이트하도록 하는 업데이트 명령을 생성하며, 상기 장치 연결부는 업데이트 명령을 장비 제어 장치에 전송할 수 있다. Here, in the case where the received message includes update information for the equipment control apparatus, the message management unit extracts update information from the received message, and the system command generation unit generates, And the device connection unit may transmit an update command to the equipment control apparatus.
여기에서, 상기 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템은, 장치 연결부를 통하여 부대 장비 정보를 수집하는 장비 정보 수집부와, 부대 장비 정보를 수신하여 저장하고 관리하는 장비 정보 관리부를 더 포함할 수 있다. Here, the incidental equipment control system for semiconductor production may further include an equipment information collecting unit for collecting the equipment information through the equipment connecting unit, and an equipment information managing unit for receiving and storing the equipment information.
여기에서, 상기 부대 장비 정보는, 장비 제어 장치가 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. Here, the incidental equipment information may include at least one of the type of the incidental equipment controlled by the equipment control apparatus, the number of the incidental equipment, and the state of the incidental equipment.
여기에서, 상기 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템은, 메시지를 외부의 사용자 인터페이스로부터 수신하여 메시지 관리부에 전달하고, 부대 장비 정보를 외부의 사용자 인터페이스에 전달하는 사용자 인터페이스 연결부를 더 포함할 수 있다. Here, the incidental equipment control system for semiconductor production may further include a user interface connection unit for receiving a message from an external user interface, transferring the message to a message management unit, and transmitting incidental equipment information to an external user interface.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치는, 장비 제어 시스템에 연결되어 반도체 생산 장비의 부대 장비를 제어하는 장비 제어 장치에 있어서, 장비 제어 장치에 의해 제어되는 부대 장비에 대한 정보를 포함하는 부대 장비 정보를 저장하는 장비 정보 저장부와, 장비 제어 시스템으로부터 시스템 명령을 수신하여 장비 정보 저장부에 저장된 부대 장비 정보에 기반하여 상기 부대 장비를 제어할 수 있도록 상기 시스템 명령을 변환하여 장비 명령을 생성하는 장비 명령 생성부와, 장비 명령을 부대 장비로 전송하는 장비 연결부를 포함한다. According to another aspect of the present invention, there is provided an equipment control apparatus for controlling an incidental equipment of a semiconductor production equipment connected to an equipment control system, the equipment control apparatus comprising: A device information storage unit for storing device information including information on the attached device, and a control unit for receiving the system command from the device control system and controlling the accessory device based on the device information stored in the device information storage unit An equipment command generation unit for converting the system command to generate an equipment command, and an equipment connection unit for transmitting the equipment command to the equipment.
여기에서, 장비 명령 생성부는, 장비 제어 시스템이 장비 제어 장치의 상태를 확인하기 위하여 전송하는 체크 메시지에 상응하여 장비 제어 장치의 상태에 대한 정보를 포함하는 응답 메시지를 생성할 수 있다. Here, the equipment command generation unit may generate a response message including information on the state of the equipment control apparatus, corresponding to a check message transmitted by the equipment control system to confirm the state of the equipment control apparatus.
여기에서, 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치는, 부대 장비 정보 및 응답 메시지를 장비 제어 시스템으로 전송하는 시스템 연결부를 더 포함할 수 있다. Here, the auxiliary equipment control device for semiconductor production may further include a system connection part for transmitting the auxiliary equipment information and the response message to the equipment control system.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 측면에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법은, 장비 제어 시스템이 장비 제어 장치를 제어하여 반도체 생산 장비의 부대 장비를 제어하는 방법에 있어서, 메시지를 수신하고 수신한 메시지에 기반하여 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출하는 단계와, 수신한 메시지 및 생산 장비 정보에 기반하여 장비 제어 장치가 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성하는 단계와, 시스템 명령을 장비 제어 장치로 전송하는 단계를 포함한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of controlling an accessory device for semiconductor production, the method comprising: controlling an accessory device of a semiconductor production equipment by controlling an equipment control device; A step of extracting production equipment information including information on the operating state of the semiconductor production equipment based on the received message, a system command for controlling the equipment control apparatus based on the received message and production equipment information, , And transmitting the system command to the equipment control apparatus.
상기와 같은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템을 이용할 경우, 반도체 생산 장비의 작동 상태에 상응하여 실시간으로 부대 장비를 효과적으로 제어할 수 있다. When the control system for an accessory equipment for semiconductor production according to the embodiment of the present invention as described above is used, the accessory equipment can be effectively controlled in real time in accordance with the operation state of the semiconductor production equipment.
또한, 효율적으로 부대 장비를 제어함으로써 에너지를 절감할 수 있는 장점이 있다. In addition, there is an advantage that energy can be saved by controlling the auxiliary equipment efficiently.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 시스템을 설명하기 위한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법을 설명하는 데이터의 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법을 설명하는 흐름도이다. 1 is a conceptual diagram for explaining an equipment control system according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram illustrating a configuration of an equipment control system according to an embodiment of the present invention.
3 is a block diagram showing a configuration of an equipment control apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart of data for explaining an apparatus control method according to an embodiment of the present invention.
5 is a flowchart illustrating an apparatus control method according to an embodiment of the present invention.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. When a component is referred to as being "connected" or "connected" to another component, it may be directly connected to or connected to that other component, but it may be understood that other components may be present in between. Should be. On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "having" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, components, or a combination thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 시스템을 설명하기 위한 개념도이다. 1 is a conceptual diagram for explaining an equipment control system according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템(100)은 다수의 장비 제어 장치(200)를 이용하여 부대 장비를 제어할 수 있다.Referring to FIG. 1, an incidental
반도체 생산 장비의 부대 장비는 반도체 생산 장비와 유기적으로 작동하는 것이 필요하다. 예컨대, 반도체 생산 장비가 유휴 상태(idle state) 등에 있을 경우, 그 부대 장비의 출력을 감소시켜 에너지를 효과적으로 절감할 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예는 반도체 생산 장비의 작동 상태에 상응하여 부대 장비를 제어할 수 있는 장비 제어 시스템을 제공할 수 있다. The equipment of the semiconductor production equipment needs to work organically with the semiconductor production equipment. For example, when the semiconductor production equipment is in an idle state or the like, the output of the auxiliary equipment can be reduced to effectively save energy. That is, the embodiment of the present invention can provide an equipment control system capable of controlling the incidental equipment in accordance with the operating state of the semiconductor production equipment.
사용자는 외부의 사용자 인터페이스(10)를 통하여 장비 제어 시스템(100)에 접속하여 부대 장비를 제어할 수 있다. 장비 제어 시스템(100)은 다수의 장비 제어 장치(200)에 연결되어 다수의 부대 장비의 상태를 실시간으로 모니터링하고 관리할 수 있다. The user can access the
즉, 장비 제어 시스템(100)은 다수의 장비 제어 장치(200)와 연결되고, 장비 제어 장치(200)는 부대 장비들과 연결될 수 있다. That is, the
예컨대, 장비 제어 장치(200)는 반도체 생산 장비 별로 설치될 수 있어 반도체 생산 장비의 부대 장비에 대한 정보를 수집하여 장비 제어 시스템(100)에 전달할 수 있다. 또한, 장비 제어 장치(200)는 장비 제어 시스템(100)을 통하여 사용자에 의한 데이터를 수신할 수 있으며, 수신한 데이터를 부대 장비에 전달할 수 있다. For example, the
따라서, 본 발명의 실시예에 따르면, 사용자는 장비 제어 시스템(100)에 접속하여 원격에서 다수의 부대 장비를 모니터링하고 제어할 수 있다. 또한, 사용자는 다수의 장비 제어 장치(200)의 실행 상태를 실시간으로 파악하여 실행 상태에 상응하는 명령 또는 업데이트를 수행할 수 있다. Thus, according to an embodiment of the present invention, a user can connect to the
특히, 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 시스템(100)은 반도체를 생산하는 장비의 부대 장비를 제어 또는 관리하는데 활용될 수 있다. 예컨대, 본 발명은 실리콘웨이퍼 제조 공장(Fab)의 장비를 제어하는데 활용될 수 있다. 즉, 장비 제어 시스템(100)을 이용하여 Fab에서 이용되는 펌프(pump), 스크러버(scrubber) 등의 출력을 효과적으로 제어함으로써 에너지를 절감할 수 있다.
Particularly, the
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다.2 is a block diagram illustrating a configuration of an equipment control system according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템(100)은 사용자 인터페이스 연결부(110), 메시지 관리부(120), 시스템 명령 생성부(130), 장치 연결부(140), 장비 정보 수집부(150) 및 장비 정보 관리부(160)를 포함한다. Referring to FIG. 2, an
사용자 인터페이스 연결부(110)는 외부의 사용자 인터페이스(10)와 장비 제어 시스템(100)을 연결한다. 즉, 장비 제어 시스템(100)은 인터넷을 포함하는 네트워크를 통하여 사용자 인터페이스(10)와 연결될 수 있다. 따라서, 장비 제어 시스템(100)은 사용자 인터페이스 연결부(110)를 통하여 사용자 인터페이스(10)와 데이터를 교환할 수 있다. 여기서, 사용자 인터페이스(10)는 사용자에 의해 조작되는 컴퓨터 단말, 서버 또는 다른 외부 시스템을 의미할 수 있다. 예컨대, 사용자 인터페이스 연결부(110)는 메시지 및 생산 장비 정보 등을 외부의 사용자 인터페이스(10)로부터 수신하여 메시지 관리부(120)에 전달할 수 있고, 부대 장비 정보를 외부의 사용자 인터페이스(10)에 전달할 수 있다. The user
메시지 관리부(120)는 사용자 인터페이스 연결부(110)를 통하여 수신된 메시지에 기반하여 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출할 수 있다. 예컨대, 사용자가 사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력한 메시지는 메시지 관리부(120)로 전달되고, 메시지 관리부(120)는 수신한 메시지에 기반한 생산 장비 정보를 추출할 수 있다. The
여기서 생산 장비 정보는 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보로 동작, 대기, 정지 등의 정보를 포함할 수 있다. 또한, 생산 장비 정보는 반도체 생산 장비를 제어하는 호스트 또는 후술하는 부대 장비 제어 장치(200)로부터 얻을 수 있다. Here, the production equipment information is information on the operation state of the semiconductor production equipment, and may include information such as operation, waiting, and stopping. Further, the production equipment information can be obtained from a host that controls the semiconductor production equipment or an auxiliary
즉, 사용자가 입력한 메시지는 사용자가 제어하고자 하는 부대 장비를 제어하는 장비 제어 장치(200)의 식별정보 및 제어하고자 하는 부대 장비에 대한 정보를 포함할 수 있다. 따라서, 메시지 관리부(120)는 메시지를 분석하여 장비 제어 장치(200)의 식별정보 또는 부대 장비에 대한 정보를 추출하고, 이에 기반한 부대 장비 정보를 추출할 수 있다. 여기서, 부대 장비 정보는 장비 제어 장치(200)가 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보를 포함할 수 있다. 또한, 부대 장비 정보는 장비 제어 장치(200)에 의해 수집되어 장비 제어 시스템(100)으로 전송되어 저장되는 정보일 수 있다.That is, the message input by the user may include identification information of the
시스템 명령 생성부(130)는 수신한 메시지 및 생산 장비 정보에 기반하여 장비 제어 장치(200)가 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성한다. 사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력한 메시지에 포함된 모든 명령이 부대 장비에 의해 수행되지 않을 수 있다. 즉, 부대 장비의 종류 또는 부대 장비의 상태에 따라 수행될 수 있는 명령이 결정될 수 있다. 따라서, 시스템 명령 생성부(130)는 수신한 메시지에 포함된 명령에 부대 장비의 종류 및 부대 장비의 상태 등을 반영하여 시스템 명령을 생성할 수 있다. 여기서, 부대 장비의 종류는 펌프(pump), 칠러(chiller) 또는 스크러버(scrubber) 등을 의미할 수 있고, 부대 장비의 상태는 실행, 대기, 고장 등을 의미할 수 있다.The system
또한, 시스템 명령 생성부(130)는 장비 제어 장치(200)의 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 생성하여 장비 제어 장치(200)로 주기적으로 전달할 수 있다. 체크 메시지를 수신한 장비 제어 장치(200)는 자신의 상태에 대한 정보를 포함한 응답 메시지를 장비 제어 시스템(100)으로 전송할 수 있다. The system
장치 연결부(140)는 장비 제어 시스템(100)이 다수의 장비 제어 장치(200)와 연결되도록 한다. 즉, 장비 제어 시스템(100)은 장치 연결부(140)를 통하여 유선 또는 무선으로 장비 제어 장치(200)와 연결될 수 있다. 따라서, 장비 제어 시스템(100)은 장치 연결부(140)를 통하여 장비 제어 장치(200)와 데이터를 교환할 수 있다. 예컨대, 장치 연결부(140)는 시스템 명령, 체크 메시지 또는 업데이트 명령을 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있다.
The
장비 정보 수집부(150)는 장치 연결부(140)를 통하여 부대 장비 정보를 수집할 수 있다. 즉, 장비 제어 장치(200)는 자신이 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보를 포함하는 부대 장비 정보를 수집하여 저장할 수 있으며, 이러한 부대 장비 정보를 장치 연결부(140)를 통하여 장비 제어 시스템(100)으로 전송할 수 있다. 따라서, 장비 정보 수집부(150)는 다수의 장비 제어 장치(200)에 의해 수집된 각각의 부대 장비 정보를 수집할 수 있다.The device
장비 정보 관리부(160)는 장비 정보 수집부(150)에 의해 수집된 부대 장비 정보를 저장하고 관리한다. 예컨대, 장비 정보 관리부(160)는 다수의 장비 제어 장치(200)에 의해 수집된 각각의 부대 장비 정보를 장비 제어 장치(200)의 식별 정보를 기준으로 하여 분류하고 정리하여 저장할 수 있다.The equipment
또한, 사용자는 장비 제어 장치(200)를 업데이트하고자 할 때, 메시지에 업데이트 정보를 포함하여 입력할 수 있다. 이러한 경우, 메시지 관리부(120)는 수신한 메시지에서 업데이트 정보를 추출할 수 있다. 또한, 시스템 명령 생성부(130)는 업데이트 정보에 상응하여 장비 제어 장치(200)를 업데이트하도록 하는 업데이트 명령을 생성할 수 있으며, 장치 연결부(140)는 업데이트 명령을 해당 장비 제어 장치(200)에 전송할 수 있다.In addition, when the user desires to update the
따라서, 사용자는 업데이트가 필요한 장비 제어 장치(200)를 선택적으로 원격에서 업데이트할 수 있다.
Accordingly, the user can selectively and remotely update the
또한, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템(100)은 상술한 사용자 인터페이스 연결부(110), 메시지 관리부(120), 시스템 명령 생성부(130), 장치 연결부(140), 장비 정보 수집부(150) 및 장비 정보 관리부(160)가 유기적으로 동작할 수 있도록 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있음은 당업자에 자명하다. The
상술한 본 발명에서의 사용자 인터페이스 연결부(110), 메시지 관리부(120), 시스템 명령 생성부(130), 장치 연결부(140), 장비 정보 수집부(150) 및 장비 정보 관리부(160)는 서로 독립적으로 개시되지만, 사용자 인터페이스 연결부(110), 메시지 관리부(120), 시스템 명령 생성부(130), 장치 연결부(140), 장비 정보 수집부(150) 및 장비 정보 관리부(160)는 하나의 단일한 형태, 하나의 물리적 장치로 구현될 수 있다. 이뿐만 아니라, 사용자 인터페이스 연결부(110), 메시지 관리부(120), 시스템 명령 생성부(130), 장치 연결부(140), 장비 정보 수집부(150) 및 장비 정보 관리부(160)가 각각 하나의 물리적인 장치 또는 집단이 아닌 복수의 물리적 장치 또는 집단으로 구현될 수 있다.
The user
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 장치의 구성을 나타내는 블록도이다. 3 is a block diagram showing a configuration of an equipment control apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치(200)는 시스템 연결부(210), 장비 명령 생성부(220), 장비 연결부(230) 및 장비 정보 저장부(240)를 포함한다. Referring to FIG. 3, an
시스템 연결부(210)는 장비 제어 장치(200)와 장비 제어 시스템(100)이 연결될 수 있도록 한다. 즉, 장비 제어 장치(200)는 시스템 연결부(210)를 통하여 유선 또는 무선으로 장비 제어 시스템(100)과 연결될 수 있다. The
장비 명령 생성부(220)는 장비 제어 시스템(100)으로부터 시스템 명령을 수신하여 장비 정보 저장부(240)에 저장된 부대 장비 정보에 기반하여 부대 장비를 제어할 수 있도록 시스템 명령을 변환하여 장비 명령을 생성할 수 있다. 예컨대, 장비에 따라 적용될 수 있는 명령이 다를 수 있으므로, 장비 제어 장치(200)는 장비 제어 시스템(100)으로부터 수신한 시스템 명령을 각각의 부대 장비에 적응적으로 변환할 수 있다. 또한, 장비 명령 생성부(220)는 장비 제어 시스템(100)이 장비 제어 장치(200)의 상태를 확인하기 위하여 전송하는 체크 메시지에 상응하여 장비 제어 장치(200)의 상태에 대한 정보를 포함하는 응답 메시지를 생성할 수 있다. The equipment
장비 정보 저장부(240)는 장비 연결부(230)를 통하여 수집된 부대 장비 정보를 저장할 수 있다. 즉, 장비 정보 저장부(240)는 장비 제어 장치(200)에 의해 제어되는 부대 장비에 대한 정보를 포함하는 부대 장비 정보를 저장할 수 있다. 따라서, 장비 명령 생성부(220)는 장비 정보 저장부(240)에 저장된 부대 장비 정보를 활용할 수 있다. 또한, 장비 정보 저장부(240)에 저장된 부대 장비 정보는 시스템 연결부(210)를 통하여 장비 제어 시스템(100)으로 전달될 수 있다. The equipment
장비 연결부(230)는 장비 제어 장치(200)와 다수의 부대 장비를 연결하며, 장비 제어 장치(200)는 장비 연결부(230)를 통하여 다수의 부대 장비와 데이터를 교환할 수 있다. The
상술한 본 발명에서의 시스템 연결부(210), 장비 명령 생성부(220), 장비 연결부(230) 및 장비 정보 저장부(240)는 서로 독립적으로 개시되지만, 시스템 연결부(210), 장비 명령 생성부(220), 장비 연결부(230) 및 장비 정보 저장부(240)는 하나의 단일한 형태, 하나의 물리적 장치로 구현될 수 있다. 이뿐만 아니라, 시스템 연결부(210), 장비 명령 생성부(220), 장비 연결부(230) 및 장비 정보 저장부(240)가 각각 하나의 물리적인 장치 또는 집단이 아닌 복수의 물리적 장치 또는 집단으로 구현될 수 있다.
Although the
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법을 설명하는 데이터의 흐름도이다. 4 is a flowchart of data for explaining an apparatus control method according to an embodiment of the present invention.
도 4를 참조하면, 사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력된 메시지는 장비 제어 시스템(100)으로 전달되고, 장비 제어 시스템(100)은 수신한 메시지와 생산 장비 정보에 기반한 시스템 명령을 생성하여 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있다. 또한, 장비 제어 장치(200)는 시스템 명령을 수신하여 장비 제어 장치(200)가 제어하는 부대 장비의 상태 등에 대한 정보에 기반하여 시스템 명령을 변환한 장비 명령을 생성하여 해당 부대 장비에 전송할 수 있다. 4, a message input through the
또한, 사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력된 메시지에 업데이트 정보가 포함되어 있는 경우, 장비 제어 시스템(100)은 업데이트 정보를 추출하여 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있고, 장비 제어 장치(200)는 수신한 업데이트 정보를 이용하여 업데이트될 수 있다. When the update information is included in the message input through the
즉, 사용자는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법을 이용하여 원격에서 다수의 부대 장비를 제어할 수 있다. 또한, 업데이트가 필요한 장비 제어 장치(200)가 있는 경우, 업데이트 정보가 포함된 메시지를 장비 제어 시스템(100)에 전송하여 해당 장비 제어 장치(200)에 전달하도록 하여 원격에서 장비 제어 장치(200)를 업데이트할 수 있다. That is, the user can control a plurality of incidental devices remotely by using the device control method according to the embodiment of the present invention. If there is an
장비 제어 시스템(100)은 장비 제어 장치(200)의 실행 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 장비 제어 장치(200)로 주기적으로 전송할 수 있다. 체크 메시지를 수신한 장비 제어 장치(200)는 자신의 실행 상태에 대한 정보를 포함하는 응답 메시지를 장비 제어 시스템(100)을 통하여 사용자 인터페이스(10)로 전송할 수 있다. 이를 통하여 사용자는 장비 제어 장치(200)의 실행 상태(예: 실행, 대기, 다운 등)를 실시간으로 모니터링할 수 있다. The
또한, 장비 제어 장치(200)는 부대 장비의 상태에 대한 정보 등을 포함하는 부대 장비 정보를 수집하여 장비 제어 시스템(100)으로 전송할 수 있으며, 장비 제어 시스템(100)으로 전송된 부대 장비 정보는 사용자 인터페이스(10)로 전송될 수 있다. 따라서, 사용자는 부대 장비의 상태에 대한 정보를 실시간으로 모니터링할 수 있다. In addition, the
즉, 사용자는 장비 제어 시스템(100)을 통하여 원격에서 다수의 장비 제어 장치(200) 및 해당 장비 제어 장치(200)가 제어하는 부대 장비의 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 모니터링 결과에 따른 메시지를 입력할 수 있다.
That is, the user can remotely monitor the status of a plurality of
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법을 설명하는 흐름도이다. 5 is a flowchart illustrating an apparatus control method according to an embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법은 생산 장비 정보를 추출하는 단계, 시스템 명령을 생성하는 단계 및 시스템 명령을 장비 제어 장치로 전송하는 단계를 포함한다. Referring to FIG. 5, an accessory equipment control method for semiconductor production according to an embodiment of the present invention includes extracting production equipment information, generating a system command, and transmitting a system command to an equipment control apparatus .
생산 장비 정보를 추출하는 단계는 사용자 인터페이스를 통하여 입력된 메시지를 수신하고 수신한 메시지에 기반하여 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출할 수 있다. The step of extracting the production equipment information can receive the input message through the user interface and extract the production equipment information including the information on the operation state of the semiconductor production equipment based on the received message.
시스템 명령을 생성하는 단계는 수신한 메시지 및 생산 장비 정보에 기반하여 장비 제어 장치(200)가 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성할 수 있다. 또한, 장비 제어 장치(200)의 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 생성할 수 있다. The generating of the system command may generate a system command that causes the
시스템 명령을 장비 제어 장치(200)로 전송하는 단계는 시스템 명령을 장비 제어 장치(200)로 전송하여 사용자가 원격에서 장비를 제어할 수 있도록 한다. 또한, 체크 메시지를 주기적으로 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있다. The step of transmitting the system command to the
또한, 수신한 메시지가 장비 제어 장치(200)에 대한 업데이트 정보를 포함하는 경우, 수신한 메시지에서 업데이트 정보를 추출하고, 추출한 업데이트 정보에 상응하여 장비 제어 장치(200)를 업데이트하도록 하는 업데이트 명령을 생성하며, 업데이트 명령을 장비 제어 장치(200)에 전송할 수 있다. When the received message includes update information for the
또한, 장비 제어 장치(200)를 통하여 상기 부대 장비 정보를 수집하여 저장하는 단계를 더 포함할 수 있다.
In addition, the method may further include collecting and storing the incidental equipment information through the
도 5를 참조하여, 장비 제어 시스템(100)이 장비 제어 장치(200)를 제어하여 반도체 생산 장비의 부대 장비를 제어하는 방법을 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법은 상술한 장비 제어 시스템(100)에 의해 수행될 수 있는 방법으로 상술한 장비 제어 시스템(100)의 설명과 중복되는 실시예는 생략하여 설명하기로 한다. Referring to FIG. 5, a method of controlling the equipment of the semiconductor production equipment by controlling the
장비 제어 시스템(100)은 사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력된 메시지를 수신한다(S100). The
사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력된 메시지를 수신하여 수신된 메시지에 업데이트 정보가 포함되어 있는지 확인할 수 있다(S200). Upon receipt of the message input through the
수신한 메시지가 업데이트 정보를 포함하지 않은 경우, 수신한 메시지에 기반하여 생산 장비 정보를 추출할 수 있다(S210). 여기서, 생산 장비 정보는 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함할 수 있다. If the received message does not include update information, the production equipment information may be extracted based on the received message (S210). Here, the production equipment information may include information on the operating state of the semiconductor production equipment.
장비 제어 시스템(100)은 수신한 메시지 및 생산 장비 정보에 기반한 시스템 명령을 생성하여(S220), 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있다. The
또한, 수신한 메시지가 업데이트 정보를 포함하는 경우, 업데이트 정보를 추출할 수 있고(S300), 추출한 업데이트 정보에 상응하는 업데이트 명령을 생성하여(S310), 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있다(S320).If the received message includes the update information, the update information can be extracted (S300), and an update command corresponding to the extracted update information can be generated (S310) and transmitted to the equipment control apparatus 200 ( S320).
또한, 장비 제어 시스템(100)은 장비 제어 장치(200)가 저장하는 부대 장비 정보를 수집하여 저장할 수 있다(S400). 즉, 장비 제어 시스템(100)은 수집된 부대 장비 정보를 시스템 명령의 생성 등에 활용할 수 있다. In addition, the
따라서, 본 발명의 실시예에 따르면, 사용자는 장비 제어 시스템(100)을 통하여 원격에서 다수의 장비 제어 장치(200) 및 해당 장비 제어 장치(200)가 제어하는 부대 장비의 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 모니터링 결과에 따른 메시지를 입력할 수 있다. 또한, 업데이트가 필요한 장비 제어 장치(200)를 선택적으로 업데이트할 수 있다.
Therefore, according to the embodiment of the present invention, the user can remotely monitor the status of a plurality of
상술한 본 발명의 실시예에 따르면, 반도체를 생산하는 장비를 운용하는 사용자는 장비 제어 시스템을 이용하여 다수의 장비 제어 장치를 모니터링하고 제어함으로써 다수의 부대 장비를 효과적으로 관리할 수 있다. 또한, 반도체 생산 장비의 작업 상태에 상응한 효율적인 부대 장비의 운용을 통하여 작업 효율을 향상시킴과 동시에 에너지를 절감할 수 있는 효과가 있다. 이에 본 발명에 따른 장비 제어 시스템은 그린 에너지 제어 시스템(gECS: green Energy Control System)으로 명명될 수 있고, 장비 제어 장치(200)는 그린 에너지 제어 유닛(gECU: green Energy Control Unit)으로 명명될 수 있다. According to the embodiment of the present invention, a user operating equipment for producing semiconductors can effectively manage a plurality of auxiliary equipment by monitoring and controlling a plurality of equipment control devices using an equipment control system. In addition, it is possible to improve the working efficiency and reduce the energy through efficient operation of the auxiliary equipment corresponding to the working state of the semiconductor production equipment. Accordingly, the equipment control system according to the present invention can be named as a green energy control system (gECS), and the
또한, 본 발명에 따른 장비 제어 시스템 및 장비 제어 장치는 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 프로그램 또는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의해 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 또한 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어 분산방식으로 컴퓨터로 읽을 수 있는 프로그램 또는 코드가 저장되고 실행될 수 있다. Also, the apparatus control system and apparatus control apparatus according to the present invention can be implemented as a computer-readable program or code on a computer-readable recording medium. A computer-readable recording medium includes all kinds of recording apparatuses in which data that can be read by a computer system is stored. The computer-readable recording medium may also be distributed and distributed in a networked computer system so that a computer-readable program or code can be stored and executed in a distributed manner.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims It can be understood that
10: 사용자 인터페이스
100: 장비 제어 시스템 110: 사용자 인터페이스 연결부
120: 메시지 관리부 130: 시스템 명령 생성부
140: 장치 연결부 150: 장비 정보 수집부
160: 장비 정보 관리부
200: 장비 제어 장치 210: 시스템 연결부
220: 장비 명령 생성부 230: 장비 연결부
240: 장비 정보 저장부10: User interface
100: Equipment control system 110: User interface connection
120: message management unit 130: system command generation unit
140: Device connection part 150: Equipment information collection part
160: equipment information management unit
200: equipment control device 210: system connection part
220: equipment command generation unit 230: equipment connection unit
240: Equipment information storage unit
Claims (18)
메시지를 수신하고 상기 수신한 메시지에 기반하여 상기 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출하는 메시지 관리부;
상기 수신한 메시지 및 상기 생산 장비 정보에 기반하여 상기 장비 제어 장치가 상기 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성하는 시스템 명령 생성부; 및
상기 시스템 명령을 상기 장비 제어 장치로 전송하는 장치 연결부를 포함하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템.1. An apparatus control system for controlling an incidental equipment of a semiconductor production equipment through an equipment control apparatus,
A message management unit for receiving a message and extracting production equipment information including information on an operating state of the semiconductor production equipment based on the received message;
A system command generation unit for generating a system command for allowing the equipment control apparatus to control the incidental equipment based on the received message and the production equipment information; And
An accessory equipment control system for semiconductor production comprising a device connection for transmitting the system command to the equipment control device.
펌프(pump), 칠러(chiller) 또는 스크러버(scrubber) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템. The apparatus according to claim 1,
And at least one of a pump, a chiller, or a scrubber.
상기 시스템 명령 생성부는, 상기 장비 제어 장치의 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 생성하고,
상기 장치 연결부는, 상기 체크 메시지를 주기적으로 상기 장비 제어 장치로 전송하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템. The method according to claim 1,
The system command generation unit generates a check message for confirming the state of the equipment control device,
And the device connection unit periodically transmits the check message to the device control device.
상기 메시지 관리부는 상기 수신한 메시지에서 상기 업데이트 정보를 추출하고,
상기 시스템 명령 생성부는 상기 업데이트 정보에 상응하여 상기 장비 제어 장치를 업데이트하도록 하는 업데이트 명령을 생성하며,
상기 장치 연결부는 상기 업데이트 명령을 상기 장비 제어 장치에 전송하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템.The method as claimed in claim 1, wherein when the received message includes update information for the equipment control apparatus,
The message management unit extracts the update information from the received message,
Wherein the system command generator generates an update command to update the equipment control device in accordance with the update information,
And the device connection unit transmits the update command to the equipment control apparatus.
상기 장치 연결부를 통하여 부대 장비 정보를 수집하는 장비 정보 수집부; 및
상기 부대 장비 정보를 수신하여 저장하고 관리하는 장비 정보 관리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템.The method according to claim 1,
An equipment information collecting unit for collecting equipment information through the apparatus connection unit; And
And an equipment information management unit for receiving, storing, and managing the incidental equipment information.
상기 장비 제어 장치가 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템.The system according to claim 5,
And at least one of the type of the auxiliary equipment, the number of the auxiliary equipment, and the status of the auxiliary equipment controlled by the equipment control device.
상기 메시지를 외부의 사용자 인터페이스로부터 수신하여 상기 메시지 관리부에 전달하고, 상기 부대 장비 정보를 상기 외부의 사용자 인터페이스에 전달하는 사용자 인터페이스 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템.The method according to claim 5,
Further comprising a user interface connection unit for receiving the message from an external user interface and transmitting the message to the message management unit, and transmitting the attached equipment information to the external user interface.
상기 장비 제어 장치에 의해 제어되는 부대 장비에 대한 정보를 포함하는 부대 장비 정보를 저장하는 장비 정보 저장부;
상기 장비 제어 시스템으로부터 시스템 명령을 수신하여 상기 장비 정보 저장부에 저장된 상기 부대 장비 정보에 기반하여 상기 부대 장비를 제어할 수 있도록 상기 시스템 명령을 변환하여 장비 명령을 생성하는 장비 명령 생성부; 및
상기 장비 명령을 상기 부대 장비로 전송하는 장비 연결부를 포함하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치.1. An equipment control apparatus connected to an equipment control system for controlling equipment equipment of a semiconductor production equipment,
An equipment information storage unit for storing auxiliary equipment information including information on an auxiliary equipment controlled by the equipment control unit;
An equipment command generation unit receiving a system command from the equipment control system and converting the system command so as to control the incidental equipment based on the incidental equipment information stored in the equipment information storage unit to generate an equipment command; And
An accessory equipment control device for semiconductor production comprising an equipment connection for transmitting the equipment command to the accessory equipment.
상기 장비 명령 생성부는 상기 장비 제어 시스템이 장비 제어 장치의 상태를 확인하기 위하여 전송하는 체크 메시지에 상응하여 장비 제어 장치의 상태에 대한 정보를 포함하는 응답 메시지를 생성하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치.The method according to claim 8,
The equipment command generator generates a response message including information on the status of the equipment control device in response to the check message transmitted by the equipment control system to check the status of the equipment control device. Bag equipment control device.
상기 부대 장비 정보 및 상기 응답 메시지를 상기 장비 제어 시스템으로 전송하는 시스템 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치.The method of claim 9,
Further comprising: a system connection unit for transmitting the incidental equipment information and the response message to the equipment control system.
상기 장비 제어 장치가 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치.The system according to claim 8,
Wherein the control unit includes at least one of the type of the auxiliary equipment, the number of the auxiliary equipment, and the status of the auxiliary equipment controlled by the equipment control unit.
펌프(pump), 칠러(chiller) 또는 스크러버(scrubber) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치. The system of claim 8,
And at least one of a pump, a chiller, or a scrubber.
메시지를 수신하고 상기 수신한 메시지에 기반하여 상기 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출하는 단계;
상기 수신한 메시지 및 상기 생산 장비 정보에 기반하여 상기 장비 제어 장치가 상기 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성하는 단계; 및
상기 시스템 명령을 상기 장비 제어 장치로 전송하는 단계를 포함하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법.1. A method for controlling an equipment control system of a semiconductor production equipment by controlling the equipment control equipment,
Receiving a message and extracting production equipment information including information on an operational state of the semiconductor production equipment based on the received message;
Generating a system command to cause the equipment control device to control the incidental equipment based on the received message and the production equipment information; And
Sending the system command to the equipment control device.
펌프(pump), 칠러(chiller) 또는 스크러버(scrubber) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법.14. The apparatus of claim 13,
A method for controlling an accessory equipment for semiconductor production, the method comprising at least one of a pump, a chiller, or a scrubber.
시스템 명령을 생성하는 단계는, 상기 장비 제어 장치의 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 생성하고,
상기 시스템 명령을 상기 장비 제어 장치로 전송하는 단계는, 상기 체크 메시지를 주기적으로 상기 장비 제어 장치로 전송하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법.The method according to claim 13,
Generating a system command, generating a check message for confirming the state of the equipment control device,
And transmitting the system command to the equipment control device, periodically sending the check message to the equipment control device.
상기 수신한 메시지에서 상기 업데이트 정보를 추출단계;,
상기 업데이트 정보에 상응하여 상기 장비 제어 장치를 업데이트하도록 하는 업데이트 명령을 생성단계;
상기 업데이트 명령을 상기 장비 제어 장치에 전송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산 장비 제어 방법. The method as claimed in claim 13, wherein when the received message includes update information for the equipment control apparatus,
Extracting the update information from the received message;
Generating an update command to update the equipment control apparatus in accordance with the update information;
And transmitting the update command to the equipment control apparatus.
상기 장비 제어 장치를 통하여 상기 부대 장비 정보를 수집하여 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법.The method according to claim 13,
Further comprising the step of collecting and storing the incidental equipment information through the equipment control apparatus.
상기 장비 제어 장치가 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법.The system according to claim 17,
Wherein the control unit includes at least one of a type of auxiliary equipment controlled by the equipment control unit, a number of auxiliary equipment, and a status of auxiliary equipment.
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