KR20140025001A - Steel sheet by coated aluminium-silicon alloy and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to aluminum-silicon coated steel and a manufacturing method for the same. The method for coating a steel plate using a sputtering process comprises the steps of forming a first coating layer at an oblique angle by coating aluminum-silicon alloy on the steel plate at the first oblique angle; and forming a second coating layer at an oblique angle by coating the aluminum-silicon alloy at the second oblique angle, which has the same size but a different direction as the first oblique angle. The first and second oblique angles are the angle between the vertical elements of a target and a test piece.

Description

알루미늄-실리콘 코팅 강판 및 이의 제조방법{STEEL SHEET BY COATED ALUMINIUM-SILICON ALLOY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}Aluminum-silicon coated steel sheet and manufacturing method thereof {STEEL SHEET BY COATED ALUMINIUM-SILICON ALLOY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 알루미늄-실리콘 코팅 강판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 강판 표면에 진공 코팅 방법과 빗각증착을 이용하여 알루미늄-실리콘 합금을 코팅하여 내식성, 내열성 및 반사율을 향상시킨 강판 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an aluminum-silicon coated steel sheet and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a steel sheet coated with an aluminum-silicon alloy using a vacuum coating method and an oblique evaporation to improve corrosion resistance, heat resistance and reflectivity, and It relates to a manufacturing method.

일반적으로 알루미늄-실리콘 합금은 철 소재의 내식성과 내열성을 향상시키기 위한 표면처리 소재로 널리 사용되고 있다. 알루미늄-실리콘 합금이 코팅된 강판은 높은 내열성을 가지고 있기 때문에 자동차 배기계에 적용될 수 있으며, 알루미늄-실리콘 합금을 강판에 코팅하는 방법은 용융 도금법(출원번호: 10-2001-0022954, 10-2003-0409227)이 가장 일반적으로 사용되는데, 이 방법은 비용이 저렴하고 도금욕의 조성을 쉽게 제어할 수 있는 장점을 가지고 있다. In general, aluminum-silicon alloy is widely used as a surface treatment material for improving the corrosion resistance and heat resistance of the iron material. Steel plate coated with aluminum-silicon alloy can be applied to automobile exhaust system because it has high heat resistance, and the method of coating aluminum-silicon alloy on steel sheet is hot-dip plating method (application number: 10-2001-0022954, 10-2003-0409227). ) Is most commonly used, and this method has the advantage of being inexpensive and easily controlling the composition of the plating bath.

순수한 알루미늄 코팅층보다 실리콘이 함유된 알루미늄 코팅층은 반사율 향상을 기대할 수 있기 때문에 광학 소재에도 사용되는데, 광학 분야에 알루미늄-실리콘 합금 코팅층을 적용하기 위해서 진공 코팅 방법이 이용된다. 진공 코팅 방법 중에서 열 기상 증착법이나 전자빔 증착법(출원번호: 10-2002-0051609, 10-1998-0051211, 10-1995-0000309, 10-1994-0007217)이 많이 이용되는데 알루미늄을 코팅할 때 진공도가 낮으면 알루미늄이 코팅 중에 산소나 물 분자와 반응하여 산화막이 형성되어 반사율이 낮아지는 문제가 발생한다. The aluminum coating layer containing silicon rather than the pure aluminum coating layer is also used in optical materials because it can be expected to improve the reflectance, vacuum coating method is used to apply the aluminum-silicon alloy coating layer in the optical field. Among the vacuum coating methods, a thermal vapor deposition method or an electron beam deposition method (application number: 10-2002-0051609, 10-1998-0051211, 10-1995-0000309, 10-1994-0007217) is widely used. If the aluminum reacts with oxygen or water molecules during coating, an oxide film is formed, resulting in a low reflectance.

알루미늄-실리콘 합금 코팅층을 합성하기 위해서 스퍼터링(sputtering) 방법을 사용하면 스퍼터링은 10-4torr 이하로 공정 압력을 낮추는 것이 용이하지 않기 때문에 높은 반사율의 알루미늄 코팅층을 합성하는 것이 쉽지 않다. 또한, 스퍼터링 방법으로 금속을 코팅할 경우, 대부분의 코팅층이 주상정 구조를 갖기 때문에 코팅층의 치밀도가 낮고 표면 거칠기가 높아서 난반사 현상이 발생하고 이로 인해 반사율이 낮아지는 현상이 나타난다. 주상정 구조의 낮은 치밀도와 함께 주상정과 주상정 사이에 기공이 발생하기 때문에 부식을 방지하기 위한 보호막으로서는 단점이 된다.When the sputtering method is used to synthesize the aluminum-silicon alloy coating layer, it is difficult to synthesize a high reflectance aluminum coating layer because sputtering is not easy to lower the process pressure to 10 -4 torr or less. In addition, when coating the metal by the sputtering method, since most of the coating layer has a columnar structure, the reflection density is low due to low density and high surface roughness of the coating layer, which results in a low reflectance. Porosity occurs between the columnar column and columnar column with low density of columnar structure, which is a disadvantage as a protective film to prevent corrosion.

상기와 같은 문제를 해결하기 위한 본 발명은 빗각 증착으로 알루미늄-실리콘 합금 코팅층을 제작하여 내식성, 내열성 및 반사율이 향상된 강판을 제공하고자 한다.The present invention for solving the above problems is to produce an aluminum-silicon alloy coating layer by an oblique deposition to provide a steel sheet with improved corrosion resistance, heat resistance and reflectance.

본 발명의 하나 또는 다수의 실시예에서는 스퍼터링 공정을 이용한 강판 코팅방법에 있어서, 상기 강판에 알루미늄-실리콘 합금을 제1 빗각으로 코팅하여 제1 빗각 코팅층을 형성하는 단계; 상기 알루미늄-실리콘 합금을 상기 제1 빗각과 크기가 같고 방향이 반대인 제2 빗각으로 코팅하여 제2 빗각 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하는 강판 코팅방법이 제공될 수 있다. 단, 상기 제1 및 제2 빗각은 타겟의 수직 성분과 시편의 수직 성분이 이루는 각이다.In one or more embodiments of the present invention, a method for coating a steel sheet using a sputtering process, comprising: forming a first oblique coating layer by coating an aluminum-silicon alloy on the steel sheet at a first oblique angle; Coating the aluminum-silicon alloy with a second comb angle having the same size and opposite direction as the first comb angle to form a second comb coating layer; may be provided with a steel sheet coating method. However, the first and second oblique angles are angles formed between the vertical component of the target and the vertical component of the specimen.

상기 알루미늄-실리콘 합금 코팅층은 2층 이상이고, 상기 알루미늄-실리콘 합금은 실리콘의 함량이 3~15 중량 퍼센트(wt%)인 것을 특징으로 한다.The aluminum-silicon alloy coating layer is two or more layers, and the aluminum-silicon alloy is characterized in that the silicon content of 3 to 15 weight percent (wt%).

상기 제1 및 제2 빗각의 크기는 10~80°일 수 있으며, 상기 제1 빗각 코팅층을 형성하기 전에, 상기 강판을 세척 및 청정하는 단계를 포함할 수 있다.The sizes of the first and second oblique angles may be 10 to 80 °, and may include washing and cleaning the steel sheet before forming the first oblique coating layer.

또한, 본 발명에 따른 하나 또는 다수의 실시예에서는 상기 방법 중 어느 하나의 방법에 의해 코팅된 알루미늄-실리콘 강판이 제공될 수 있으며, 이때, 상기 강판의 코팅층의 두께는 3~10㎛인 것을 특징으로 한다.In addition, in one or more embodiments according to the present invention, an aluminum-silicon steel sheet coated by any one of the above methods may be provided, wherein the thickness of the coating layer of the steel sheet is 3 to 10 μm. It is done.

본 발명의 실시예에 따르면 알루미늄-실리콘 합금 타겟에 실리콘이 함유되어 있고 빗각으로 시편에 증착시켜 다층으로 합성된 알루미늄-실리콘 코팅층을 형성시킴으로써 내식성, 내열성 및 반사율을 향상시킬 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the aluminum-silicon alloy target contains silicon and is deposited on the specimen at an oblique angle to form a multi-layered aluminum-silicon coating layer, thereby improving corrosion resistance, heat resistance, and reflectance.

도 1는 본 발명에 따른 실시예에서 사용한 스퍼터링 코팅 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명에 따른 실시예에서 사용한 빗각 코팅의 개념도이다.
도 3는 본 발명의 실시예에 따른 알루미늄-실리콘 합금의 다층 구조에 대한 개념도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 알루미늄, 알루미늄-실리콘 합금 코팅층의 표면조도 평가결과이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 알루미늄, 알루미늄-실리콘 합금 코팅층의 반사율 평가결과이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 알루미늄, 알루미늄-실리콘 합금 코팅층의 염수분무시험 결과이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 알루미늄, 알루미늄-실리콘 합금 코팅층의 내열성 평가결과이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 코팅 공정의 흐름도이다.
1 is a schematic view of a sputtering coating apparatus used in the embodiment according to the present invention.
2 is a conceptual diagram of the oblique angle coating used in the embodiment according to the present invention.
3 is a conceptual diagram of a multilayer structure of an aluminum-silicon alloy according to an embodiment of the present invention.
4 is an evaluation result of the surface roughness of the aluminum, aluminum-silicon alloy coating layer according to an embodiment of the present invention.
5 is a reflectance evaluation result of the aluminum, aluminum-silicon alloy coating layer according to an embodiment of the present invention.
6 is a salt spray test results of the aluminum, aluminum-silicon alloy coating layer according to an embodiment of the present invention.
7 is a heat resistance evaluation results of the aluminum, aluminum-silicon alloy coating layer according to an embodiment of the present invention.
8 is a flowchart of a coating process according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, it is to be understood that the present invention is not limited to the disclosed embodiments, but may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. It is intended that the disclosure of the present invention be limited only by the terms of the appended claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 발명에 따른 실시예에서는 강판의 내식성, 내열성 및 반사율을 향상하기 위해서 알루미늄-실리콘 합금의 조성과 스퍼터링 공정시 빗각 증착 방법을 이용하였다. In the embodiment according to the present invention, in order to improve the corrosion resistance, heat resistance and reflectance of the steel sheet, an oblique deposition method was used during the composition and sputtering process of the aluminum-silicon alloy.

상기 빗각 증착 방법은 타겟과 시편이 서로 평행하게 놓여 있는 기존 코팅 방법과는 다르게 타겟과 시편의 수직 성분에 대하여 시편이 0° 이상의 각으로 기울어져 코팅되는 방법이다. 빗각 증착 방법을 사용하게 되면 코팅층의 미세구조를 제어할 수 있으며 기울어진 기둥, 나선형 기둥, 지그재그(zigzag) 기둥 구조 등 다양한 구조를 갖는 코팅층을 합성할 수 있다. 본 발명에 따른 실시예에서는 스퍼터링 공정에 빗각 증착 방법을 도입하여 알루미늄-실리콘 코팅층의 미세구조를 제어하여 치밀한 조직을 갖는 코팅층을 합성할 수 있도록 하였다. The oblique deposition method is a method in which the specimen is inclined at an angle of 0 ° or more with respect to the vertical component of the target and the specimen, unlike the existing coating method in which the target and the specimen are placed in parallel with each other. When the oblique deposition method is used, the microstructure of the coating layer can be controlled, and a coating layer having various structures such as a tilted pillar, a spiral pillar, and a zigzag pillar structure can be synthesized. In the embodiment according to the present invention by introducing the oblique deposition method in the sputtering process to control the microstructure of the aluminum-silicon coating layer to synthesize a coating layer having a dense structure.

즉, 본 발명에 따른 실시예에서는 스퍼터링 공정과 빗각 증착을 이용하여 치밀한 구조를 갖는 알루미늄-실리콘 합금 코팅층을 합성함으로써 반사율을 향상하고 기판의 내식성을 높일 수 있는 코팅 방법을 도출하였다. 또한, 고온에서도 기판을 보호할 수 있는 내열 특성을 향상할 수 있는 코팅 방법을 도출하였다.That is, in the embodiment according to the present invention by using a sputtering process and an oblique deposition by synthesizing the aluminum-silicon alloy coating layer having a dense structure to derive a coating method to improve the reflectance and increase the corrosion resistance of the substrate. In addition, a coating method that can improve the heat resistance characteristics that can protect the substrate even at high temperatures was derived.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 코팅 공정의 흐름을 나타낸 것인데, 이하에서는 도 8을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.8 illustrates a flow of a coating process according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 8.

먼저, 기판(70)에 알루미늄-실리콘 합금을 코팅하기 전에 기판(70)에 묻은 이물질을 제거하기 위하여 세척(S100)하고, 세척된 기판(70)의 표면을 깨끗이 하여 증착이 잘 이루어지도록 기판 청정(S110)을 실시한다.First, before coating the aluminum-silicon alloy on the substrate 70, the substrate 70 is cleaned (S100) to remove foreign substances on the substrate 70, and the substrate is cleaned to clean the surface of the cleaned substrate 70 so that the deposition is performed well. (S110).

이후에는 상기 기판(70)을 기울여 기판 상에 제1 빗각(α)으로 알루미늄-실리콘 합금을 코팅하여 제1 빗각 코팅층(110)을 형성(S120)하고, 이어서 상기 기판(70)을 제1 빗각과 크기는 같지만 방향이 반대인 제2 빗각(-α)으로 기울여 알루미늄-실리콘 합금을 코팅하여 제2 빗각 코팅층(120)을 형성(S130)한다.Thereafter, the substrate 70 is inclined to coat the aluminum-silicon alloy on the substrate at a first bevel angle α to form a first bevel coating layer 110 (S120), and then the substrate 70 is first beveled. And the same size but the opposite direction is inclined at a second oblique angle (-α) to coat the aluminum-silicon alloy to form a second oblique coating layer 120 (S130).

또한, 본 발명에 따른 실시예에서는 상기 S120 단계와 S130단계를 여러 번 반복하여 다층의 코팅층을 형성할 수 있다.In addition, in the embodiment according to the present invention it is possible to form a multi-layer coating layer by repeating the steps S120 and S130 several times.

상기와 같이 본 발명에 따른 실시예에서는 빗각 증착으로 알루미늄-실리콘 합금 코팅층을 제작할 경우, 시편을 기울이기 때문에 타겟과 시편의 거리가 짧은 부분과 긴 부분이 나타나는데 이 때문에 동일한 시편 내에서 코팅층 두께가 상대적으로 두껍게 코팅되는 부분과 얇게 코팅되는 부분으로 나뉘게 된다. As described above, in the embodiment according to the present invention, when fabricating the aluminum-silicon alloy coating layer by the oblique deposition, the specimen is inclined so that the distance between the target and the specimen is short and long. It is divided into a thick coated portion and a thin coated portion.

이로 인하여 알루미늄-실리콘 코팅층의 두께 편차는 내식성 평가시 오차를 발생시킬 수 있기 때문에 본 발명에 따른 실시예에서는 다층으로 코팅층을 형성하여 이러한 문제를 해결하였다. Because of this, because the thickness variation of the aluminum-silicon coating layer may cause an error in the evaluation of corrosion resistance in the embodiment according to the present invention solved this problem by forming a coating layer in a multi-layer.

상기 다층으로 알루미늄-실리콘 코팅층을 합성하는 방법은, 예를 들어, 45°의 빗각으로 제1 빗각 코팅층을 코팅하고 -45°의 빗각으로 제1 빗각 코팅층과 동일한 두께의 제2 빗각 코팅층을 코팅하여 시편에 코팅되는 알루미늄-실리콘 코팅층의 두께를 일정하게 유지하는 것이다.The method of synthesizing the aluminum-silicon coating layer with the multilayer may include, for example, coating a first oblique coating layer at an oblique angle of 45 ° and coating a second oblique coating layer having the same thickness as the first oblique coating layer at an oblique angle of −45 °. The thickness of the aluminum-silicon coating layer coated on the specimen is to be kept constant.

이와 같이 알루미늄-실리콘 코팅층의 두께를 일정하게 유지하기 위해서는 상기 제1 빗각 코팅층(110)과 제2 빗각 코팅층(120)을 형성하는 시간을 동일하게 해야 할 것이다.As such, in order to maintain a constant thickness of the aluminum-silicon coating layer, the time for forming the first oblique coating layer 110 and the second oblique coating layer 120 should be the same.

본 발명에 따른 실시예에서 제1 및 제2 빗각은 타겟의 수직 성분과 시편의 수직 성분이 이루는 각이다. 상기 빗각의 크기(α)는 예각이면 되고 특별히 제한되지 않으나 10~80°가 바람직하다. 상기 코팅층은 사각 효과(shadowing effect)에 의해 수평으로의 성장은 억제되므로 보통 10°이상의 코팅층이 형성되고, 상기 빗각의 크기가 80°보다 크다면 빗각 코팅층(20)의 경사각이 수직에 가까워져 경도 향상 효과가 미미하므로 빗각의 크기를 상기 범위로 한정한다.In an embodiment according to the present invention, the first and second oblique angles are angles formed between the vertical component of the target and the vertical component of the specimen. The angle α of the oblique angle may be an acute angle, and is not particularly limited, but 10 to 80 ° is preferable. Since the growth of the coating layer is suppressed horizontally by a shadowing effect, a coating layer of 10 ° or more is usually formed, and when the size of the bevel angle is greater than 80 °, the inclination angle of the bevel coating layer 20 is close to the vertical, thereby improving hardness. Since the effect is insignificant, the size of the oblique angle is limited to the above range.

또한, 본 발명에 따른 실시예에서와 같은 빗각 증착을 고진공 영역에서 실시할 경우, 사각 효과(shadowing effect)에 의해서 코팅 초기 단계에서 형성된 핵(nucleus)이 일정한 각을 유지하면서 성장하여 다양한 기하학적 구조를 만든다. 그러나, 본 발명에 따른 실시예에서와 같은 스퍼터링은 공정상 불활성 가스를 사용하기 때문에 고진공 영역(10-4~ 10-6 torr)보다 압력이 높은 진공에서 알루미늄-실리콘 합금 코팅층 합성이 실시되어 사각 효과에 의한 기하학적 구조를 갖는 코팅층의 합성은 일어나지 않으며, 이온의 산란(scattering)과 충돌 효과(ion bombardment effect)에 의해서 오히려 주상정 구조가 억제되는 결과가 나타난다. In addition, when the oblique angle deposition as in the embodiment according to the present invention is carried out in a high vacuum region, the nucleus formed in the initial stage of the coating is grown while maintaining a constant angle due to a shadowing effect to produce various geometric structures. Make. However, since sputtering as in the embodiment according to the present invention uses an inert gas in the process, the aluminum-silicon alloy coating layer is synthesized in a vacuum having a higher pressure than the high vacuum region (10 -4 to 10 -6 torr), thereby causing a square effect. Synthesis of the coating layer having a geometrical structure does not occur, and the columnar structure is suppressed by scattering and collision bombardment of ions.

따라서 본 발명에 따른 실시예에서는 알루미늄-실리콘 합금 코팅층 합성시 주상정의 성장이 억제되면서 코팅층의 치밀도가 향상되고 코팅층 표면 거칠기가 낮아진다. 이로 인하여 강판의 부식 방지효과가 향상되며 반사율이 높아져 강판 외관이 미려해진다. 또한, 종래의 용융도금으로 제작된 알루미늄 도금강판과 비교해 내열성이 향상되었다.
Therefore, in the embodiment according to the present invention, while the growth of columnar tablets is suppressed when the aluminum-silicon alloy coating layer is synthesized, the density of the coating layer is improved and the surface roughness of the coating layer is lowered. As a result, the corrosion protection effect of the steel sheet is improved, and the reflectance is increased, thereby enhancing the appearance of the steel sheet. In addition, heat resistance is improved as compared with the aluminum plated steel sheet produced by conventional hot dip plating.

이하에서는 본 발명에 따른 실시예에 대하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail.

본 발명에 따른 실시예에서 기판(70)으로는 냉연 강판을 사용하였다. 상기 강판은 부식을 방지하기 위해서 방청유가 도유되어 있어서 방청유를 제거하기 위한 탈지 공정을 실시하였다. 강판의 방청유는 계면활성제를 이용하여 제거하고 수세를 실시하였다. 강판 표면에 남아있는 물은 질소 가스나 압축 공기로 건조하였다. 탈지가 완료되면 강판을 알코올과 아세톤으로 초음파 세척하여 진공 코팅 장비에 장착한다. In the embodiment according to the present invention, a cold rolled steel sheet was used as the substrate 70. The steel sheet was subjected to a degreasing step to remove the rust preventive oil because the rust preventive oil was infiltrated in order to prevent corrosion. The rust preventive oil of the steel plate was removed using a surfactant and washed with water. Water remaining on the surface of the steel sheet was dried with nitrogen gas or compressed air. When degreasing is completed, the steel sheet is ultrasonically cleaned with alcohol and acetone and mounted on a vacuum coating equipment.

도 1은 본 발명에 따른 실시예에서 알루미늄-실리콘 합금을 강판에 코팅하기 위해서 사용한 스퍼터링 코팅 장비의 개략도이다. 도 1을 참조하면, 상기 진공 코팅 장비는 기판(70)을 장착한 후 10-6 torr까지 배기를 실시한다. 진공 배기 후, 아르곤(Ar) 가스를 가스 주입구(20)를 통해서 진공 챔버(10) 내부로 주입하여 진공도가 1ⅹ10-2 torr에 이르면 기판 홀더(60)에 약 800 V의 직류 전압을 인가하여 글로우 방전을 발생시켜 기판의 표면을 약 30 분간 청정을 실시한다. 상기 기판은 냉연 강판을 사용하였다. 1 is a schematic diagram of a sputtering coating apparatus used to coat an aluminum-silicon alloy on a steel sheet in an embodiment according to the present invention. Referring to FIG. 1, the vacuum coating equipment exhausts up to 10 −6 torr after mounting the substrate 70. After evacuating, argon (Ar) gas is injected into the vacuum chamber 10 through the gas inlet 20, and when the degree of vacuum reaches 1ⅹ10 -2 torr, a DC voltage of about 800 V is applied to the substrate holder 60 to glow. The discharge is generated to clean the surface of the substrate for about 30 minutes. The substrate used a cold rolled steel sheet.

이때, 주입된 가스는 배기구(90)을 통해 외부로 배출되며, 진공 챔버(10)의 일측에 부착된 진공 게이지(80)에 의해 진공 챔버(10) 내의 진공도를 측정하게 된다. 또한, 전동 모터(62)에 의해 작동되는 회전 기둥(65)이 회전함으로써 기판(70)이 기울어지도록 한다.In this case, the injected gas is discharged to the outside through the exhaust port 90, and the degree of vacuum in the vacuum chamber 10 is measured by the vacuum gauge 80 attached to one side of the vacuum chamber 10. In addition, the rotating column 65 operated by the electric motor 62 rotates so that the substrate 70 is inclined.

상기 강판의 청정이 완료되면 진공 장비를 기본 압력인 10-6 torr까지 배기한 후 강판을 전동 모터(62)를 이용하여 제1의 빗각(α)으로 기울여 놓았다. 도 2는 본 발명에 따른 실시예에서 사용한 빗각 코팅의 개념도인데, 이에 대해서는 도 2에 도시하였다.When the cleaning of the steel sheet was completed, the vacuum equipment was evacuated to a basic pressure of 10 −6 torr, and the steel sheet was inclined at the first oblique angle α using the electric motor 62. 2 is a conceptual diagram of the oblique coating used in the embodiment according to the present invention, as shown in FIG.

본 발명에 따른 실시예에서 빗각의 크기(α)는 0, 30, 45, 60, 90°로 하여 다섯 가지의 빗각에 대하여 실시하였다. In the embodiment according to the present invention, the size α of the oblique angle was 0, 30, 45, 60, 90 °, and was performed for five oblique angles.

이때, 0°는 기판(70)을 기울이지 않은 상태를 의미한다.In this case, 0 ° means a state in which the substrate 70 is not tilted.

이후, 스퍼터링 소스(30)에 직류 전원 공급 장치(50)를 이용해서 직류 전원을 공급하여 플라즈마를 발생시키고 알루미늄-실리콘 합금 제1 빗각 코팅층(110)을 강판에 코팅하였다.Thereafter, DC power was supplied to the sputtering source 30 using the DC power supply device 50 to generate plasma, and the aluminum-silicon alloy first beveled coating layer 110 was coated on the steel sheet.

이때, 타겟(40)의 실리콘 함량은 각각 0, 3, 10 중량 퍼센트(wt%) 였으며, 상기 스퍼터링 소스(30)에 인가되는 전원의 세기는 약 1.5 kW 이었다. 제1 빗각 코팅층(110)의 코팅이 끝나면 제1의 빗각(α)과 크기는 같고 방향이 반대인 제2의 빗각(-α)으로 강판을 기울여 놓고, 상기 제1 빗각 코팅층(110)과 동일한 공정 조건으로 알루미늄-실리콘 합금 제2 빗각 코팅층(120)을 코팅한다. At this time, the silicon content of the target 40 was 0, 3, 10 weight percent (wt%), respectively, and the intensity of the power applied to the sputtering source 30 was about 1.5 kW. When the coating of the first oblique coating layer 110 is finished, the steel sheet is inclined at a second oblique angle (−α) having the same size as that of the first oblique angle α and having opposite directions, and the same as the first oblique coating layer 110. The aluminum-silicon alloy second oblique coating layer 120 is coated under the process conditions.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 알루미늄-실리콘 코팅층의 다층 구조를 도시한 것인데, 도 3에서 코팅층(110, 120)의 총 두께는 3~10 ㎛이었다. 3 illustrates a multilayer structure of the aluminum-silicon coating layer according to the embodiment of the present invention. In FIG. 3, the total thicknesses of the coating layers 110 and 120 were 3 to 10 μm.

빗각으로 코팅된 알루미늄-실리콘 코팅층은 표면 형상 측정기(surface profiler)와 분광 광도계(spectrophotometer)로 표면조도와 가시광선 영역에서 상대 반사율을 각각 측정하였다. 측정의 정확도를 높이기 위해서 표면조도와 반사율 측정을 위해 사용된 기판은 실리콘 웨이퍼를 사용하였다. The angle-coated aluminum-silicon coating layer measured the surface roughness and the relative reflectance in the visible region with a surface profiler and a spectrophotometer, respectively. In order to increase the accuracy of the measurement, the substrate used for surface roughness and reflectance measurement was made of silicon wafer.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 알루미늄, 알루미늄-실리콘 합금 코팅층의 표면조도를 측정한 결과를 나타낸 것인데, 순수한 알루미늄은 빗각의 크기를 증가시킬수록 표면조도가 향상되었으나 실리콘이 함유된 합금은 빗각의 크기에 따라 큰 변화를 보이지 않았다. 이는 실리콘이 표면조도 향상에 큰 영향을 미치지 않음을 시사한다.Figure 4 shows the result of measuring the surface roughness of the aluminum, aluminum-silicon alloy coating layer according to an embodiment of the present invention, the pure aluminum is improved surface roughness as the size of the bevel angle but the silicon-containing alloy bevel angle The size did not change significantly. This suggests that silicon does not significantly affect surface roughness improvement.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 알루미늄, 알루미늄-실리콘 합금 코팅층의 반사율 측정 결과를 나타낸 것인데, 순수한 알루미늄의 경우 빗각의 크기가 증가해도 반사율에 큰 변화를 보이지 않음을 알 수 있다. 그러나, 30°의 빗각에서 실리콘의 함량이 10 wt%인 코팅층에서 가장 높은 96.5%의 반사율을 보였다. 실리콘의 함량이 3 wt%인 코팅층은 빗각 90°를 제외하면 빗각의 변화에 따른 반사율 변화가 크지 않았다.Figure 5 shows the reflectance measurement results of the aluminum, aluminum-silicon alloy coating layer according to an embodiment of the present invention, it can be seen that the pure aluminum does not show a significant change in the reflectance even if the size of the oblique angle increases. However, at the oblique angle of 30 °, the highest reflectance was 96.5% in the coating layer containing 10 wt% of silicon. The coating layer having a silicon content of 3 wt% did not have a large change in reflectance due to the change in the oblique angle except for the oblique angle of 90 °.

일반적으로 순수한 알루미늄을 진공 코팅 방법으로 약 3 ㎛ 두께로 강판에 코팅해서 염수분무시험(ASTM B117)을 실시하면 약 72 시간 전후로 적청이 발생한다.In general, pure aluminum is coated on a steel sheet with a thickness of about 3 μm by a vacuum coating method, and then a salt spray test (ASTM B117) is performed to produce red blue color in about 72 hours.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 알루미늄, 알루미늄-실리콘 합금 코팅층의 염수분무시험 결과를 나타낸 것인데, 도 6을 참조하면 빗각 증착을 적용하지 않은 경우, 즉, 빗각을 0°로 코팅한 코팅층의 염수분무 결과를 비교하면 실리콘의 함량이 증가할수록 적청 발생 시간이 증가하는 것을 확인할 수 있다. 이는 실리콘이 강판의 내부식 특성을 향상하는데 기여를 하고 있기 때문이다.Figure 6 shows the results of the salt spray test of the aluminum, aluminum-silicon alloy coating layer according to an embodiment of the present invention, referring to Figure 6 when not applying the oblique deposition, that is, the coating of the coating layer of the oblique angle 0 ° Comparing the salt spray results, it can be seen that as the content of silicon increases, the time of occurrence of red-blue red is increased. This is because silicon contributes to improving the corrosion resistance of the steel sheet.

빗각의 크기가 30°이고, 실리콘 함량이 10 wt%인 알루미늄-실리콘 합금을 다층으로 코팅한 강판은 200 시간 이상에서 적청이 발생하는 것으로 나타났다. 빗각이 증가하면 실리콘이 포함된 합금 코팅층의 적청 발생 시간이 줄어드는 것을 알 수 있다. The steel sheet coated with a multilayered aluminum-silicon alloy having a comb angle of 30 ° and a silicon content of 10 wt% was found to have red blue color over 200 hours. It can be seen that as the angle of inclination increases, the red-blue occurrence time of the alloy coating layer containing silicon decreases.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 알루미늄, 알루미늄-실리콘 합금 코팅층의 내열성 평가 결과를 나타낸 것인데, 도 7을 참조하면 500℃로 4, 8 시간을 가열한 후 알루미늄-실리콘 코팅 강판의 중량 변화를 관찰한 결과로 실리콘 함량이 증가할수록 중량 감소 폭이 줄어드는 것을 알 수 있다.Figure 7 shows the results of the evaluation of the heat resistance of the aluminum, aluminum-silicon alloy coating layer according to an embodiment of the present invention, referring to Figure 7 after changing the weight of the aluminum-silicon coated steel sheet after heating to 500 ℃ 4 As a result, it can be seen that as the silicon content increases, the weight reduction width decreases.

요컨대, 본 발명에 따른 실시예에서는 스퍼터링과 빗각 증착을 이용하여 치밀한 조직의 알루미늄-실리콘 코팅층을 강판 위에 제작하였으며, 실리콘의 함량이 10 wt%이고 빗각이 30°일 때 우수한 내식성과 반사율을 보이는 코팅층을 얻을 수 있었다. 실리콘의 함량이 10 wt%일 때 빗각 증착을 하지 않아도 내식성이 향상되는 현상을 관찰할 수 있는데, 이는 순수한 알루미늄에 실리콘이 첨가되어 내식성을 향상시킨 것이다. 또한, 내열성 평가 결과에서 실리콘의 함량이 증가하면 열처리 후에도 코팅층의 중량 감소폭이 낮은 것을 확인할 수 있었다. 상기와 같은 실험 결과에 따라 본 발명에 따른 실시예에서의 실리콘의 함량을 3~15 중량 퍼센트(wt%)로 한정하였다.In other words, in the embodiment according to the present invention, a dense aluminum-silicon coating layer was fabricated on the steel sheet using sputtering and inclined deposition, and the coating layer exhibited excellent corrosion resistance and reflectance when the content of silicon was 10 wt% and the inclination was 30 °. Could get When the silicon content is 10 wt%, corrosion resistance can be observed without an oblique deposition, which is improved by adding silicon to pure aluminum. In addition, it was confirmed that the weight reduction width of the coating layer was low even after the heat treatment when the silicon content increased in the heat resistance evaluation results. According to the experimental results as described above, the content of silicon in the Example according to the present invention was limited to 3 to 15 weight percent (wt%).

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, You will understand.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변경된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be interpreted as being included in the scope of the present invention .

10: 진공 챔버 20: 가스 주입구 30: 스퍼터링 소스
40: 타겟 50: 전원 공급 장치 60: 기판 홀더
62: 모터 65: 회전 기둥 70: 기판
80: 진공 게이지 90: 배기구 100: 강판
110: 제1 빗각 코팅층 120: 제2 빗각 코팅층
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vacuum chamber 20 Gas inlet 30 Sputtering source
40: target 50: power supply 60: substrate holder
62: motor 65: rotating pillar 70: substrate
80: vacuum gauge 90: exhaust port 100: steel sheet
110: first oblique coating layer 120: second oblique coating layer

Claims (7)

스퍼터링 공정을 이용한 강판 코팅방법에 있어서,
상기 강판에 알루미늄-실리콘 합금을 제1 빗각으로 코팅하여 제1 빗각 코팅층을 형성하는 단계;
상기 알루미늄-실리콘 합금을 상기 제1 빗각과 크기가 같고 방향이 반대인 제2 빗각으로 코팅하여 제2 빗각 코팅층을 형성하는 단계;
를 포함하는 강판 코팅방법.
단, 상기 제1 및 제2 빗각은 타겟의 수직 성분과 시편의 수직 성분이 이루는 각이다.
In the steel sheet coating method using a sputtering process,
Coating an aluminum-silicon alloy on the steel sheet at a first oblique angle to form a first oblique coating layer;
Coating the aluminum-silicon alloy with a second comb angle that is the same size and opposite in direction as the first comb angle to form a second comb angle coating layer;
Steel plate coating method comprising a.
However, the first and second oblique angles are angles formed between the vertical component of the target and the vertical component of the specimen.
제1항에 있어서,
상기 알루미늄-실리콘 합금 코팅층은 2층 이상인 것을 특징으로 하는 강판 코팅방법.
The method of claim 1,
The aluminum-silicon alloy coating layer is a steel sheet coating method, characterized in that more than two layers.
제1항에 있어서,
상기 알루미늄-실리콘 합금은 실리콘의 함량이 3~15 중량 퍼센트(wt%)인 것을 특징으로 하는 강판 코팅방법.
The method of claim 1,
The aluminum-silicon alloy is a steel sheet coating method, characterized in that the silicon content of 3 to 15 weight percent (wt%).
제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 빗각의 크기는 10~80°인 것을 특징으로 하는 강판 코팅방법.
The method of claim 1,
Steel sheet coating method characterized in that the size of the first and second oblique angle is 10 ~ 80 °.
제1항에 있어서,
상기 제1 빗각 코팅층을 형성하기 전에, 상기 강판을 세척 및 청정하는 단계를 포함하는 강판 코팅방법.
The method of claim 1,
Before forming the first oblique coating layer, the steel sheet coating method comprising the step of washing and cleaning the steel sheet.
제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 방법에 의해 코팅된 알루미늄-실리콘 코팅 강판. An aluminum-silicon coated steel sheet coated by the method of any one of claims 1 to 5. 제6항에 있어서,
코팅층의 두께는 3~10㎛인 것을 특징으로 하는 알루미늄-실리콘 코팅 강판.
The method according to claim 6,
Aluminum-silicon coated steel sheet, characterized in that the thickness of the coating layer is 3 ~ 10㎛.
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