KR20140022664A - 플라스틱 기판의 제조 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 플라스틱 기판의 제조시 산소 유입에 따른 희생층의 체적 변화를 방지함으로써, 플라스틱 기판의 박리 불량을 방지하고 제조 효율을 향상시킬 수 있도록 한 플라스틱 기판의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로, 복수의 플라스틱 제조 기판이 수납되며, 밀폐된 공간을 형성하되 복수의 가스 유입구와 가스 배출구를 통해 내부 공간이 질소 가스 분위기로 유지되도록 하는 복수의 카세트; 상기 복수의 카세트가 적층되는 형태로 수납되도록 하며 상기 복수의 카세트를 포함한 상기 각 카세트의 내부 공간을 가열하는 내부 발열 챔버; 및 상기 내부 발열 챔버가 내부 공간에 고정되도록 하여 내부 공간의 온도 및 부압을 관리하는 외부 챔버를 구비한 것을 특징으로 한다.
Description
평판형 표시장치에 이용되는 플라스틱 기판의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로, 플라스틱 기판의 제조시 산소 유입에 따른 희생층의 체적 변화를 방지함으로써, 플라스틱 기판의 박리 불량을 방지하고 제조 효율을 향상시킬 수 있도록 한 플라스틱 기판의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
최근 들어, 다양하게 출시되는 평판형의 영상 표시장치로 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 유기 발광 다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display) 등이 대두 되고 있다.
평판형의 영상 표시장치들을 제조하기 위해서는 유리나 플라스틱 또는 실리콘 등의 재질로 형성된 글래스나 기판을 먼저 마련한 후, 상기의 글래스나 기판에 증착, 사진, 식각, 그리고 연마 등과 같은 다양한 단위 공정들을 반복적으로 수행하게 된다.
이 중, 플라스틱 기판의 경우는 글래스 상에 추후에 제거되는 희생층을 먼저 형성한 후, 희생층 상에 폴리 이미드(Polyimid, 이하 PI)막을 코팅 및 경화시키고, 경화된 PI막을 희생층으로부터 박리시켜 형성하게 된다. 다시 말해, 플라스틱 기판은 글래스 상에 박리를 용이하게 하는 희생층인 비정질 실리콘(amorphous silicon) 박막을 먼저 증착하고, 박막 형태의 희생층 상에 플라스틱 기판이 되는 PI막을 코팅한 후 경화시킨다. 이 후, 경화된 PI막 상에 레이저를 조사하여 비정질 실리콘 박막이 체적 변화를 일으키도록 함으로써, 경화된 PI막 즉, 플라스틱 기판을 글래스 및 희생층으로부터 박리시켜 형성하게 된다.
하지만, 종래 기술에서 희생층으로 이용되는 비정질 실리콘 박막의 경우는 주변의 산소들과 결합시에도 체적 변화가 일어나기 때문에 PI막을 통해 입사되는 레이저 에너지의 흡수율을 떨어뜨리는 문제가 있다. 다시 말해, 비정질 실리콘 박막은 PI막의 건조 및 경화 과정에서 주변의 산소들과 결합하여 체적 변화를 먼저 일으키게 된다. 이에 따라, PI막의 경화 과정 이후의 레이저 조사시 레이저 에너지 흡수율이 감소되고, 경화된 PI막의 박리시 박리 불량이 발생하는 문제가 발생하였다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 평판형 표시장치에 이용되는 플라스틱 기판의 제조시, 산소 유입에 따른 희생층의 체적 변화를 방지함으로써, 플라스틱 기판의 박리 불량을 방지하고 제조 효율을 향상시킬 수 있도록 한 플라스틱 기판의 제조 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 플라스틱 기판의 제조 장치는 복수의 플라스틱 제조 기판이 수납되며, 밀폐된 공간을 형성하되 복수의 가스 유입구와 가스 배출구를 통해 내부 공간이 질소 가스 분위기로 유지되도록 하는 복수의 카세트; 상기 복수의 카세트가 적층되는 형태로 수납되도록 하며 상기 복수의 카세트를 포함한 상기 각 카세트의 내부 공간을 가열하는 내부 발열 챔버; 및 상기 내부 발열 챔버가 내부 공간에 고정되도록 하여 내부 공간의 온도 및 부압을 관리하는 외부 챔버를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 각각의 카세트는 육면체의 사각 프레임 형상으로 형성되어, 하부 바닥면과는 수직 방향인 전면, 또는 전면과 마주보는 후면에는 상기 복수의 플라스틱 제조 기판이 반입 또는 반출되도록 하는 개구부가 형성되며, 상기의 개구부가 형성되지 않은 어느 한 측면에는 상기 복수의 가스 유입구가 형성되고, 상기 복수의 가스 유입구와 마주하는 다른 측면에는 상기 복수의 가스 유입구와 마주보는 형태로 상기 복수의 가스 배출구가 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 내부 발열 챔버는 외형을 이루는 외부 프레임이 단열재질로 형성되고, 내부면들과 셔터들에는 적어도 하나의 면상 히터 또는 열선 히터와 복수의 열선들이 배열되며, 상기 셔터들이 형성되지 않고 서로 마주하는 두 측면에는 내외부를 관통하는 형태로 복수의 가스 공급관 및 가스 배출관들이 서로 마주보는 형태로 더 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 가스 공급관은 가스 공급부로부터 상기의 외부 챔버를 비롯한 내부 발열 챔버를 관통하여 복수로 분기되도록 형성되며, 상기 복수의 카세트들이 상기 내부 발열 챔버에 수납되면, 상기 복수의 카세트들에 형성된 가스 유입관과 연결 및 조립되어 상기 카세트 내부의 가스 유입구들로 질소 가스를 공급하고, 상기 복수의 가스 배출관은 상기의 내부 발열 챔버를 비롯한 상기 외부 챔버를 각각 관통하여 외부 배출관과 연결되도록 형성되며, 상기 복수의 카세트들이 상기 내부 발열 챔버에 수납되면, 상기 복수의 카세트들에 형성된 가스 배출구와 연결 및 조립되어 상기 카세트 내부의 공기들이나 가스들이 외부로 배출되도록 하는 것을 특징으로 한다.
상기 내부 발열 챔버의 셔터와 상기 내부 발열 챔버의 외부면 및 상기 개구부 간에는 적어도 하나의 오링(O-ring) 및/또는 적어도 하나의 벨로우즈(Bellows)가 더 구비되어 상기의 셔터와 상기 내부 발열 챔버의 외부면 및 상기 개구부가 외부와 밀폐되도록 하며, 상기 내부 발열 챔버와 상기 카세트에 구성된 나사들이나 볼트들을 비롯한 각 체결 부재들의 조립 면에는 적어도 하나의 가스켓(Gasket)이 함께 결합되어 상기 각 체결 부재와 상기 내부 발열 챔버 또는 상기 카세트의 외부면에 밀폐되도록 한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 플라스틱 기판의 제조 방법은 밀폐된 공간을 형성하되 복수의 가스 유입구와 가스 배출구를 통해 내부 공간이 질소 가스 분위기로 유지되도록 하는 적어도 하나의 카세트에 복수의 플라스틱 제조 기판을 수납하는 단계; 내부 발열 챔버의 내부 공간에 상기 적어도 하나의 카세트를 수납하여 상기 복수의 카세트를 포함한 상기 각 카세트의 내부 공간을 가열하는 단계; 및 외부 챔버의 내부에 상기 내부 발열 챔버가 고정되도록 하여 내부 공간의 온도 및 부압을 관리하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 각각의 카세트에는 하부 바닥면과는 수직 방향인 전면, 또는 전면과 마주보는 후면에는 상기 복수의 플라스틱 제조 기판이 반입 또는 반출되도록 하는 개구부가 형성되도록 하며, 상기의 개구부가 형성되지 않은 어느 한 측면에는 상기 복수의 가스 유입구가 형성되고, 상기 복수의 가스 유입구와 마주하는 다른 측면에는 상기 복수의 가스 유입구와 마주보는 형태로 상기 복수의 가스 배출구가 형성되도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 내부 발열 챔버에는 외형을 이루는 외부 프레임이 단열재질로 형성되도록 하고, 내부면들과 셔터들에는 적어도 하나의 면상 히터 또는 열선 히터와 복수의 열선들이 배열되도록 하며, 상기 셔터들이 형성되지 않고 서로 마주하는 두 측면에는 내외부를 관통하는 형태로 복수의 가스 공급관 및 가스 배출관들이 서로 마주보는 형태로 더 형성되도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 가스 공급관은 가스 공급부로부터 상기의 외부 챔버를 비롯한 내부 발열 챔버를 관통하여 복수로 분기되도록 형성되며, 상기 복수의 카세트들이 상기 내부 발열 챔버에 수납되면, 상기 복수의 카세트들에 형성된 가스 유입관과 연결 및 조립되어 상기 카세트 내부의 가스 유입구들로 질소 가스를 공급하고, 상기 복수의 가스 배출관은 상기의 내부 발열 챔버를 비롯한 상기 외부 챔버를 각각 관통하여 외부 배출관과 연결되도록 형성되며, 상기 복수의 카세트들이 상기 내부 발열 챔버에 수납되면, 상기 복수의 카세트들에 형성된 가스 배출구와 연결 및 조립되어 상기 카세트 내부의 공기들이나 가스들이 외부로 배출되도록 하는 것을 특징으로 한다.
상기 내부 발열 챔버의 셔터와 상기 내부 발열 챔버의 외부면 및 상기 개구부 간에는 적어도 하나의 오링(O-ring) 및/또는 적어도 하나의 벨로우즈(Bellows)가 더 구비되어 상기의 셔터와 상기 내부 발열 챔버의 외부면 및 상기 개구부가 외부와 밀폐되도록 하며, 상기 내부 발열 챔버와 상기 카세트에 구성된 나사들이나 볼트들을 비롯한 각 체결 부재들의 조립 면에는 적어도 하나의 가스켓(Gasket)이 함께 결합되어 상기 각 체결 부재와 상기 내부 발열 챔버 또는 상기 카세트의 외부면에 밀폐되도록 한 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 다양한 기술적 특징을 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 플라스틱 기판의 제조 장치 및 방법은 플라스틱 기판을 이루는 PI막의 경화 및 건조 과정에서 산소 유입을 방지하고 질소 분위기가 형성될 수 있도록 함으로써, 플라스틱 기판을 박리시킬 수 있도록 형성된 희생층의 체적 변화를 방지할 수 있다.
이에, 경화된 플라스틱 기판이 희생층이나 글래스로부터 용이하게 박리될 수 있으며, 박리 불량이 줄어들어 제조 효율 또한 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 플라스틱 기판 제조 장치를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 플라스틱 기판 제조 장치의 정면 방향 단면 구성도.
도 3은 도시된 플라스틱 기판 제조 장치의 측면 방향 단면 구성도.
도 4는 도 2의 플라스틱 제조 기판들이 수납된 카세트의 내외부 공간을 도시한 도면.
도 5는 도 3 및 도 4에 도시된 복수의 카세트가 적층된 상태를 나타낸 사시도.
도 6은 도 3 및 도 5에 도시된 복수의 카세트가 적층된 상태를 나타낸 측면도.
도 7a 내지 도 7c는 내부 발열 챔버의 셔터와 카세트의 개구부 조립 단면도.
도 8a 및 도 8b는 내부 발열 챔버 또는 카세트의 조립 구성을 나타낸 조립 단면도.
도 2는 도 1에 도시된 플라스틱 기판 제조 장치의 정면 방향 단면 구성도.
도 3은 도시된 플라스틱 기판 제조 장치의 측면 방향 단면 구성도.
도 4는 도 2의 플라스틱 제조 기판들이 수납된 카세트의 내외부 공간을 도시한 도면.
도 5는 도 3 및 도 4에 도시된 복수의 카세트가 적층된 상태를 나타낸 사시도.
도 6은 도 3 및 도 5에 도시된 복수의 카세트가 적층된 상태를 나타낸 측면도.
도 7a 내지 도 7c는 내부 발열 챔버의 셔터와 카세트의 개구부 조립 단면도.
도 8a 및 도 8b는 내부 발열 챔버 또는 카세트의 조립 구성을 나타낸 조립 단면도.
이하, 상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 플라스틱 기판 제조 장치 및 방법을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 플라스틱 기판 제조 장치를 나타낸 사시도이다. 그리고, 도 2는 도 1에 도시된 플라스틱 기판 제조 장치의 정면 방향 단면 구성도이며, 도 3은 도시된 플라스틱 기판 제조 장치의 측면 방향 단면 구성도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 플라스틱 기판 제조 장치는 복수의 플라스틱 제조 기판(20)이 수납되며 밀폐된 공간을 형성하되, 복수의 가스 유입구와 가스 배출구를 통해 내부 공간이 질소 가스 분위기로 유지되도록 하는 복수의 카세트(6); 복수의 카세트(6)가 적층되는 형태로 수납되도록 하며 복수의 카세트(6)를 포함한 상기 각 카세트(6)의 내부 공간을 가열하는 내부 발열 챔버(4); 및 내부 발열 챔버(4)가 내부 공간에 고정되도록 하여 내부 공간의 온도 및 부압을 관리하는 외부 챔버(2)를 구비한다.
복수의 플라스틱 제조 기판(20)은 글래스 상에 희생층이 형성된 상태에서, PI(Polyimid)막이 희생층 상에 코팅된 상태의 기판이다. 다시 말해, 플라스틱 기판은 글래스 상에 박리를 용이하게 하는 희생층인 비정질 실리콘(amorphous silicon) 박막이 먼저 증착되도록 한 후, 박막 형태의 희생층 상에 플라스틱 기판이 되는 PI막을 코팅한 후 경화시켜 형성한다. 이때, 코팅된 PI막이 플라스틱 기판이 되도록 경화시키는 과정에서 희생층인 비정질 실리콘 박막이 산소에 의해 체적 변화를 일으키지 않도록 해야한다. 이에, 복수의 플라스틱 제조 기판(20)이 수납된 카세트(6)의 내부 공간은 산소가 유입될 수 없는 밀폐 상태로 유지되어, 해당 플라스틱 제조 기판(20)들이 가열 건조되도록 해야한다.
복수의 카세트(6) 각각은 그 내부에 복수의 플라스틱 제조 기판(20)이 소정 간격을 가지고 수납된 상태로 내부 발열 챔버(4) 내에 적층되어 수납된다. 복수의 카세트(6) 및 그 내부에 수납된 플라스틱 제조 기판(20)들은 내부 발열 챔버(4)에 밀폐된 상태로 고정되어 내부 발열 챔버(4)에 의해 가열된다.
각각의 카세트(6)는 육면체의 사각 프레임 형상으로 형성되며, 하부 바닥면과는 수직 방향인 전면, 또는 전면과 마주보는 후면에는 복수의 플라스틱 제조 기판(20)이 반입 또는 반출되도록 하는 개구부(24)가 형성된다. 그리고, 개구부(24)가 형성되지 않은 어느 한 측면에는 복수의 가스 유입구(32)가 형성되고, 복수의 가스 유입구(32)와 마주하는 다른 측면에는 복수의 가스 배출구(34)가 형성된다.
플라스틱 제조 기판(20)들이 수납된 카세트(6)들이 내부 발열 챔버(4)의 내부 공간에 적층 및 수납되면, 내부 발열 챔버(4)의 셔터(22)들에 의해 각각의 개구부들이 닫히게 되어 내부 공간들이 밀폐된다. 이때, 복수의 가스 유입구(32)에서는 미리 설정된 기간 동안 질소 가스가 유입되고, 복수의 가스 배출구(34)로는 카세트(6) 내부 공기와 가스들이 배출되도록 함으로써, 카세트(6) 내부 공간을 질소 분위기로 형성한다.
내부 발열 챔버(4)는 복수의 카세트(6)들이 수납되면 각각의 카세트(6)를 포함한 각 카세트(6)의 내부 공간이 가열되도록 함으로써, 복수의 플라스틱 제조 기판(20)들이 가열 및 건조되도록 한다. 내부 발열 챔버(4)는 외부면을 이루는 외형 프레임이 단열재질로 형성되고, 그 내부면들과 셔터(22)들에는 적어도 하나의 면상 히터 또는 열선 히터와 복수의 열선(Heat Rays)들이 배열된다. 이와 아울러, 셔터(22)들이 형성되지 않고 서로 마주하는 두 측면에는 그 내외부를 관통하는 형태로 복수의 가스 공급관(14) 및 가스 배출관(15)들이 서로 마주보는 형태로 더 형성될 수 있다.
복수의 가스 공급관(14)은 가스 공급부(18)로부터 외부 챔버(2)를 비롯한 내부 발열 챔버(4)를 관통하여 복수로 분기되도록 형성된다. 이에, 복수의 카세트(6)들이 내부 발열 챔버(4)에 수납되면, 복수의 카세트(6)들에 형성된 가스 유입관(12)과 연결 및 조립되어 상기 카세트(6) 내부의 가스 유입구(32)들로 질소 가스를 공급한다.
복수의 가스 배출관(15)은 내부 발열 챔버(4)를 비롯한 외부 챔버(2)를 각각 관통하여 외부 배출관과 연결되도록 형성된다. 그리고, 복수의 카세트(6)들이 내부 발열 챔버(4)에 수납되면, 복수의 카세트(6)들에 형성된 가스 배출구(34)와 연결 및 조립되어 카세트(6) 내부의 공기들이나 가스들이 외부로 배출되도록 한다.
외부 챔버(2)는 플라스틱 기판 제조장치의 외관을 이루는데, 지지 프레임(38) 상에서 내부 발열 챔버(4)가 그 내부에 밀폐된 상태로 고정되도록 하며, 내부 공간의 온도 및 부압을 관리한다. 이러한, 외부 챔버(2)는 내부 발열 챔버(4)로 외부의 이물과 기류가 유입되지 않도록 차단하며, 내부 발열 챔버(4)에 의한 내부 온도가 방열되지 않도록 한다. 외부 챔버(2)의 외관은 단열 재질로 형성되며, 내부의 적어도 한 면에는 적어도 하나의 히터와 열선들이 더 형성될 수 있다. 외부 챔버(2)나 지지 프레임(38)에는 내부 발열 챔버(4) 및 카세트(6)들의 온도 제어부와 가스 공급부(18) 및 유량계(16) 등이 고정 배치되기도 한다.
도 4는 도 2의 플라스틱 제조 기판들이 수납된 카세트의 내외부 공간을 도시한 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 카세트(6)는 그 내부 공간이 육면체의 사각 프레임 공간으로 형성되어, 플라스틱 제조 기판(20)들이 카세트(6) 내부 측면의 지지핀(미도시) 간격에 따라 소정 간격을 갖고 적층되도록 한다.
각 카세트(6)의 개구부(24)가 형성되지 않은 어느 한 내부 측면에는 복수의 가스 유입구(32)가 형성되어, 바깥쪽의 가스 공급관(14)을 통해 유입되는 질소 가스들을 내부 공간으로 공급한다. 그리고, 복수의 가스 유입구(32)와 마주하는 다른 측면에는 복수의 가스 배출구(34)가 형성되어 카세트(6) 내부의 공기나 가스들을 외부로 배출한다. 카세트(6)의 내부 공간에는 가스 유입구(32)를 통해 공급되는 질소 가스 외에 산소 등의 다른 가스들은 유입되지 못하도록 차단됨이 바람직하다.
도 5는 도 3 및 도 4에 도시된 복수의 카세트가 적층된 상태를 나타낸 사시도이고, 도 6은 도 3 및 도 5에 도시된 복수의 카세트가 적층된 상태를 나타낸 측면도이다.
도 3을 비롯한 도 5와 도 6에 각각 도시된 바와 같이, 각각의 카세트(6)들은 내부 발열 챔버(4)의 내부에 적층된 형태로 수납될 수 있으며, 카세트(6)들이 내부 발열 챔버(4)의 내부 공간에 수납되면, 내부 발열 챔버(4)의 셔터(22)들에 의해 각각의 개구부(24)들이 닫히게 된다.
내부 발열 챔버(4)의 가스 공급관(14)은 복수의 카세트(6)들이 수납되면 복수의 카세트(6)들에 형성된 가스 유입관(12)과 연결 및 조립되어 카세트(6) 내부의 가스 유입구들로 질소 가스를 공급한다. 반면, 복수의 가스 배출관(15)은 복수의 카세트(6)들이 내부 발열 챔버(4)에 수납되면, 복수의 카세트(6)들에 형성된 가스 배출구와 연결 및 조립되어 카세트(6) 내부의 공기들이나 가스들이 외부로 배출되도록 한다.
카세트(6)의 내부 공간에는 가스 유입구(32)를 통해 공급되는 질소 가스 외에 산소 등의 다른 가스들은 유입되지 못하도록 차단됨이 바람직하다. 이를 위해, 카세트(6)를 비롯한 내부 발열 챔버(4)의 조립부에는 외기 유입이 방지되도록 조치되어야 한다.
도 7a 내지 도 7c는 내부 발열 챔버의 셔터와 카세트의 개구부 조립 단면도이다.
도 7a 및 7c로 도시된 바와 같이, 카세트(6)들이 내부 발열 챔버(4)의 내부 공간에 수납되면, 내부 발열 챔버(4)의 셔터(22)들에 의해 각각의 개구부(24)들이 닫히게 된다. 이때, 내부 발열 챔버(4)의 셔터(22)와 내부 발열 챔버(4)의 외부면 및 상기 셔터(22)와 개구부(24) 간에는 적어도 하나의 오링(O-ring, 26)이 더 구비되어 상기의 셔터(22)와 내부 발열 챔버(4)의 외부면 및 상기 개구부(24)가 밀폐되도록 할 수 있다. 도 7c에 도시된 오링(26)의 경우는 셔터(22)에 의해 가압되면 셔터(22)와 내부 발열 챔버(4)의 외벽면에서 압착되어 개구부(24)가 외부와 밀폐되도록 한다.
반면, 도 7b로 도시된 바와 같이, 카세트(6)들이 내부 발열 챔버(4)의 내부 공간에 수납되면, 내부 발열 챔버(4)의 셔터(22)들에 의해 각각의 개구부(24)들이 닫히게 된다. 이때, 내부 발열 챔버(4)의 셔터(22)와 내부 발열 챔버(4)의 외부면 및 상기 셔터(22)와 개구부(24) 간에는 적어도 하나의 벨로우즈(Bellows, 25)가 더 구비되어 상기의 셔터(22)와 내부 발열 챔버(4)의 외부면 및 개구부(24)가 밀폐되도록 할 수 있다.
적어도 하나의 오링(26)이나 벨로우즈(25)는 고무 등의 탄성 재질로 형성되어, 셔터(22)의 압력에 의해 가압되면 셔터(22)와 내부 발열 챔버(4)의 외부면 및 개구부(24)가 밀폐되도록 한다.
도 8a 및 도 8b는 내부 발열 챔버 또는 카세트의 조립 구성을 나타낸 조립 단면도이다.
도 8a 및 도 8b에 각각 도시된 바와 같이, 내부 발열 챔버(4)나 카세트(6) 등은 복수의 프레임과 나사 및 다양한 볼트 등으로 조립 및 체결되어 구성된다. 따라서, 다양한 형태의 나사나 볼트 등의 조립 체결부(A,B)를 통해 외기가 유입되지 못하도록 하기 위해서는 각각의 체결부(A,B) 또한 완벽하게 밀폐되도록 해야한다. 이를 위해, 각각의 나사나 볼트를 비롯한 체결 부재들의 조립 면에는 적어도 하나의 가스켓(Gasket, 28)이 결합되어 해당 체결 부재와 내부 발열 챔버(4) 또는 카세트(6)의 외부면에 밀폐되도록 할 수 있다.
이상에서 상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 플라스틱 기판의 제조 장치 및 방법은 플라스틱 기판을 이루는 PI막의 경화 및 건조 과정에서 산소 유입을 방지하고, 질소 분위기가 형성될 수 있도록 함으로써, 플라스틱 기판을 박리시킬 수 있도록 형성된 희생층의 체적 변화를 방지할 수 있다. 이에, 경화된 플라스틱 기판이 희생층이나 글래스로부터 용이하게 박리될 수 있으며, 박리 불량이 줄어들어 제조 효율 또한 향상될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
Claims (10)
- 복수의 플라스틱 제조 기판이 수납되며, 밀폐된 공간을 형성하되 복수의 가스 유입구와 가스 배출구를 통해 내부 공간이 질소 가스 분위기로 유지되도록 하는 복수의 카세트;
상기 복수의 카세트가 적층되는 형태로 수납되도록 하며 상기 복수의 카세트를 포함한 상기 각 카세트의 내부 공간을 가열하는 내부 발열 챔버; 및
상기 내부 발열 챔버가 내부 공간에 고정되도록 하여 내부 공간의 온도 및 부압을 관리하는 외부 챔버를 구비한 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판 제조 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 각각의 카세트는
육면체의 사각 프레임 형상으로 형성되어, 하부 바닥면과는 수직 방향인 전면, 또는 전면과 마주보는 후면에는 상기 복수의 플라스틱 제조 기판이 반입 또는 반출되도록 하는 개구부가 형성되며,
상기의 개구부가 형성되지 않은 어느 한 측면에는 상기 복수의 가스 유입구가 형성되고, 상기 복수의 가스 유입구와 마주하는 다른 측면에는 상기 복수의 가스 유입구와 마주보는 형태로 상기 복수의 가스 배출구가 형성된 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판 제조 장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 내부 발열 챔버는
외형을 이루는 외부 프레임이 단열재질로 형성되고, 내부면들과 셔터들에는 적어도 하나의 면상 히터 또는 열선 히터와 복수의 열선들이 배열되며,
상기 셔터들이 형성되지 않고 서로 마주하는 두 측면에는 내외부를 관통하는 형태로 복수의 가스 공급관 및 가스 배출관들이 서로 마주보는 형태로 더 형성된 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판 제조 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 복수의 가스 공급관은
가스 공급부로부터 상기의 외부 챔버를 비롯한 내부 발열 챔버를 관통하여 복수로 분기되도록 형성되며, 상기 복수의 카세트들이 상기 내부 발열 챔버에 수납되면, 상기 복수의 카세트들에 형성된 가스 유입관과 연결 및 조립되어 상기 카세트 내부의 가스 유입구들로 질소 가스를 공급하고,
상기 복수의 가스 배출관은 상기의 내부 발열 챔버를 비롯한 상기 외부 챔버를 각각 관통하여 외부 배출관과 연결되도록 형성되며, 상기 복수의 카세트들이 상기 내부 발열 챔버에 수납되면, 상기 복수의 카세트들에 형성된 가스 배출구와 연결 및 조립되어 상기 카세트 내부의 공기들이나 가스들이 외부로 배출되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판 제조 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 내부 발열 챔버의 셔터와 상기 내부 발열 챔버의 외부면 및 상기 개구부 간에는 적어도 하나의 오링(O-ring) 및/또는 적어도 하나의 벨로우즈(Bellows)가 더 구비되어 상기의 셔터와 상기 내부 발열 챔버의 외부면 및 상기 개구부가 외부와 밀폐되도록 하며,
상기 내부 발열 챔버와 상기 카세트에 구성된 나사들이나 볼트들을 비롯한 각 체결 부재들의 조립 면에는 적어도 하나의 가스켓(Gasket)이 함께 결합되어 상기 각 체결 부재와 상기 내부 발열 챔버 또는 상기 카세트의 외부면에 밀폐되도록 한 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판 제조 장치. - 밀폐된 공간을 형성하되 복수의 가스 유입구와 가스 배출구를 통해 내부 공간이 질소 가스 분위기로 유지되도록 하는 적어도 하나의 카세트에 복수의 플라스틱 제조 기판을 수납하는 단계;
내부 발열 챔버의 내부 공간에 상기 적어도 하나의 카세트를 수납하여 상기 복수의 카세트를 포함한 상기 각 카세트의 내부 공간을 가열하는 단계; 및
외부 챔버의 내부에 상기 내부 발열 챔버가 고정되도록 하여 내부 공간의 온도 및 부압을 관리하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판 제조 방법. - 제 6 항에 있어서,
상기 각각의 카세트에는
하부 바닥면과는 수직 방향인 전면, 또는 전면과 마주보는 후면에는 상기 복수의 플라스틱 제조 기판이 반입 또는 반출되도록 하는 개구부가 형성되도록 하며,
상기의 개구부가 형성되지 않은 어느 한 측면에는 상기 복수의 가스 유입구가 형성되고, 상기 복수의 가스 유입구와 마주하는 다른 측면에는 상기 복수의 가스 유입구와 마주보는 형태로 상기 복수의 가스 배출구가 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판 제조 방법. - 제 7 항에 있어서,
상기 내부 발열 챔버에는
외형을 이루는 외부 프레임이 단열재질로 형성되도록 하고, 내부면들과 셔터들에는 적어도 하나의 면상 히터 또는 열선 히터와 복수의 열선들이 배열되도록 하며,
상기 셔터들이 형성되지 않고 서로 마주하는 두 측면에는 내외부를 관통하는 형태로 복수의 가스 공급관 및 가스 배출관들이 서로 마주보는 형태로 더 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판 제조 방법. - 제 8 항에 있어서,
상기 복수의 가스 공급관은
가스 공급부로부터 상기의 외부 챔버를 비롯한 내부 발열 챔버를 관통하여 복수로 분기되도록 형성되며, 상기 복수의 카세트들이 상기 내부 발열 챔버에 수납되면, 상기 복수의 카세트들에 형성된 가스 유입관과 연결 및 조립되어 상기 카세트 내부의 가스 유입구들로 질소 가스를 공급하고,
상기 복수의 가스 배출관은 상기의 내부 발열 챔버를 비롯한 상기 외부 챔버를 각각 관통하여 외부 배출관과 연결되도록 형성되며, 상기 복수의 카세트들이 상기 내부 발열 챔버에 수납되면, 상기 복수의 카세트들에 형성된 가스 배출구와 연결 및 조립되어 상기 카세트 내부의 공기들이나 가스들이 외부로 배출되도록 하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판 제조 방법. - 제 9 항에 있어서,
상기 내부 발열 챔버의 셔터와 상기 내부 발열 챔버의 외부면 및 상기 개구부 간에는 적어도 하나의 오링(O-ring) 및/또는 적어도 하나의 벨로우즈(Bellows)가 더 구비되어 상기의 셔터와 상기 내부 발열 챔버의 외부면 및 상기 개구부가 외부와 밀폐되도록 하며,
상기 내부 발열 챔버와 상기 카세트에 구성된 나사들이나 볼트들을 비롯한 각 체결 부재들의 조립 면에는 적어도 하나의 가스켓(Gasket)이 함께 결합되어 상기 각 체결 부재와 상기 내부 발열 챔버 또는 상기 카세트의 외부면에 밀폐되도록 한 것을 특징으로 하는 플라스틱 기판 제조 방법.
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