KR20140018629A - 유체 제어 시스템 - Google Patents

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Abstract

유체 제어 시스템은, 압축기와, 압축기에 유체를 공급하는 챔버와, 압축기에서 배출된 유체의 압력을 감지하는 압력 감지부와, 압축기를 통과하는 유체의 유량을 감지하는 유량 감지부와, 압축기에서 배출된 유체의 일부가 유입되는 분기 통로와, 분기 통로에 연결되어 유체를 팽창시켜 냉각시키는 팽창부와, 팽창부에서 배출된 유체를 챔버로 공급하는 제1 회귀 통로와, 팽창부의 상류에서 분기 통로에 연결되어 분기 통로의 유체를 챔버로 공급하는 제2 회귀 통로와, 분기 통로의 유체를 팽창부나 제2 회귀 통로로 분기시키는 분기 밸브와, 감지된 유체의 유량과 감지된 유체의 압력을 기준값과 비교하여 분기 밸브를 제어하는 제어부를 구비한다.

Description

유체 제어 시스템{Fluid control system}
실시예들은 유체 제어 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 압축기에 유입되는 유체의 온도를 조절하여 압축기를 변화하는 작동 조건에 대응시킴으로써 압축기의 작동 효율이 유지될 수 있는 유체 제어 시스템에 관한 것이다.
액체나 기체 상의 유체를 제어하는 유체 제어 시스템에는 유체를 압축시키는 압축기가 사용된다. 압축기는 가능한 한 넓은 범위의 토출 압력과 유량에 대해 고효율로 작동할 수 있도록 설계되는데, 압축기의 효율뿐만 아니라 작동 영역(TR: turn down ratio)도 유체 제어 시스템의 중요한 성능 변수로 작용한다.
압축기는 압축기가 주로 운용되는 임의의 토출 압력과 유량을 설계점으로 선정한 후, 선정된 설계점에 대해 최고 효율을 낼 수 있도록 설계된다. 설계점 이외의 작동영역, 즉 탈설계 영역에서는 압축기의 효율이 크게 떨어지므로 전력 소모가 증가한다. 특히, 공장이나 대형 설비나 기반 시설 등에 사용되는 대용량의 압축기는 효율에 따라 전력 소모량이 크게 변화하므로, 압축기를 운용하는 대형 시스템이나 설비에서는 탈설계 영역에 대해서도 압축기가 고효율을 낼 수 있어야 한다.
압축기의 운용 영역을 제어하기 위해 입구 가이드 베인(inlet guide vane), 가변 형상 디퓨저(variable geometry diffuser)와 같은 제어 장치나, 분당 회전속도(RPM)를 제어하는 직접 구동(direct drive) 방식을 독립적 또는 복합적으로 사용한다.
미국 등록특허 6039534는 압축기에 사용되는 입구 가이드 베인(IGV)의 구조를 개시한다.
도 1은 종래 기술의 입구 가이드 베인을 이용한 압축기의 성능맵을 도시한다.
IGV를 이용한 압축기는 유동 속도 벡터와 차압을 통해 유량과 압력을 조절할 수 있다. 그러나 압축기의 IGV가 일정 개도를 벗어나면 IGV에 의한 손실로 인해 압축기 운용 범위가 제한이 되어 압축기 효율이 급격하게 감소한다.
도 2는 종래 기술의 가변 형상 디퓨저를 이용한 압축기의 성능맵을 도시한다.
VGD를 이용하는 경우에는 간극의 손실이 필연적으로 발생하며, IGV를 이용한 압축기에서와 같이 VGD에 의한 차압이 증가하므로 탈설계 영역에서의 효율은 감소한다. 또한 IGV와 VGD는 모두 로터(rotor)의 전후에 위치하기 때문에 공진이 발생할 위험이 있어, 로터의 특성에 따라 각각의 베인 수를 변경해야 하는 제한이 있다.
도 3은 종래 기술의 분당 회전속도(RPM)를 제어하는 압축기 제어 기술에 의한 압축기의 성능맵을 도시한다.
RPM을 이용한 제어는 IGV나 VGD에 비교하여 상대적으로 탈설계 영역에서의 효율 감소가 적지만, 기계적인 한계로 인해 대용량 압축기에는 적용하기가 어렵다.
미국 등록특허 6039534(2000.03.21.)
실시예들의 목적은 작동 환경에 변화에 대응하며 압축기의 효율을 유지할 수 있는 유체 제어 시스템을 제공하는 데 있다.
실시예들의 다른 목적은 압축기의 입구로 유입되는 유체의 온도를 제어함으로써 변화하는 작동 환경에 효율적으로 대응할 수 있는 유체 제어 시스템을 제공하는 데 있다.
실시예들의 또 다른 목적은 압축기에서 배출된 고온의 유체를 압축기의 입구로 회귀시키거나 팽창기에서 배출되는 저온의 유체를 압축기의 입구로 공급함으로써 압축기에 공급되는 유체의 온도를 제어할 수 있는 유체 제어 시스템을 제공하는 데 있다.
일 실시예에 관한 유체 제어 시스템은, 유체를 압축하여 배출하는 압축기와, 압축기에 연결되어 유체를 공급하는 챔버와, 압축기에서 배출된 유체의 압력을 감지하는 압력 감지부와, 압축기를 통과하는 유체의 유량을 감지하는 유량 감지부와, 압축기에서 배출된 유체의 일부가 유입되는 분기 통로와, 분기 통로에 연결되어 유체를 팽창시켜 냉각시키는 팽창부와, 팽창부에서 배출된 유체를 챔버로 공급하는 제1 회귀 통로와, 팽창부의 상류에서 분기 통로에 연결되어 분기 통로의 유체를 챔버로 공급하는 제2 회귀 통로와, 분기 통로에 배치되며 외부에서 인가된 신호에 의해 작동하여 분기 통로의 유체를 팽창부나 제2 회귀 통로로 분기시키는 분기 밸브와, 유량 감지부에 의해 감지된 유체의 유량과 압력 감지부에 의해 감지된 유체의 압력을 기준값과 비교하여 분기 밸브를 제어하는 제어부를 구비한다.
유량 감지부에 의해 감지된 유량이나 압력 감지부에 의해 감지된 압력이 기준값을 초과하는 경우 제어부가 분기 밸브를 작동시켜 제1 회귀 통로를 통해 저온의 유체를 챔버로 공급할 수 있다.
제어부는 분기 밸브를 작동시켜 제1 회귀 통로를 통해 공급되는 유체의 유량을 제어할 수 있다.
유량 감지부에 의해 감지된 유량이나 압력 감지부에 의해 감지된 압력이 기준값의 미만인 경우 제어부가 분기 밸브를 작동시켜 제2 회귀 통로를 통해 고온의 유체를 챔버로 공급할 수 있다.
제어부는 분기 밸브를 작동시켜 제2 회귀 통로를 통해 공급되는 유체의 유량을 제어할 수 있다.
유체 제어 시스템은 압축기로 유입되는 유체의 온도를 감지하는 온도 감지부를 더 구비할 수 있고, 제어부는 온도 감지부에 의해 감지된 유체의 온도에 기초하여 챔버의 유체의 온도를 상승시키거나 하강시키도록 분기 밸브를 제어할 수 있다.
압축기는 복수 개의 압축단을 구비하는 다단 압축기일 수 있고, 온도 감지부는 복수 개의 압축단의 각각의 입구의 온도를 측정하는 복수 개의 온도 센서들을 구비할 수 있다.
압축기는 유체가 유입되는 입구와 유체가 배출되는 출구를 구비할 수 있고, 압력 감지부는 압축기의 출구에 연결된 배출 통로에 설치될 수 있다.
유량 감지부는 배출 통로에 설치될 수 있다.
분기 통로는 배출 통로에 연결될 수 있다.
상술한 바와 같은 실시예들에 관한 유체 제어 시스템은, 압축기의 유량이나 압력비를 직접 조정하는 것이 아니라 압축기의 입구에서의 유체의 온도를 제어함으로써 압축기의 전체적인 효율을 유지할 수 있다. 즉 압축기의 입구에서의 유체의 온도를 제어하면, 현재 작동하고 있는 압축기의 유량과 압력비가 제어된 유체의 온도에 대응하는 압축기 작동 영역에 포함되므로 압축기의 효율이 효과적으로 유지될 수 있다.
도 1은 종래 기술의 입구 가이드 베인을 이용한 압축기의 성능맵을 도시한다.
도 2는 종래 기술의 가변 형상 디퓨저를 이용한 압축기의 성능맵을 도시한다.
도 3은 종래 기술의 분당 회전속도(RPM)를 제어하는 압축기 제어 기술에 의한 압축기의 성능맵을 도시한다.
도 4는 일 실시예에 관한 유체 제어 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 시스템 구성도이다.
도 5는 도 4의 유체 제어 시스템의 제어 개념을 개략적으로 설명한 그래프이다.
도 6은 도 4의 유체 제어 시스템의 효율을 입구 가이드 베인을 이용한 기술에 의한 효율을 비교한 그래프이다.
도 7은 도 4의 유체 제어 시스템의 효율을 분당 회전속도를 이용한 기술에 의한 효율을 비교한 그래프이다.
이하, 첨부 도면의 실시예들을 통하여, 실시예들에 관한 유체 제어 시스템의 구성과 작용을 상세히 설명한다.
도 4는 일 실시예에 관한 유체 제어 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 시스템 구성도이고, 도 5는 도 4의 유체 제어 시스템의 제어 개념을 개략적으로 설명한 그래프이다.
도 4에 나타난 실시예에 관한 유체 제어 시스템에 있어서, 유체 제어 시스템은 유체를 압출하여 배출하는 압축기(10)와, 압축기(10)에 유체를 공급하는 챔버(20)와, 압축기의 배출 유체 압력을 감지하는 압력 감지부(30)와, 유체의 유량을 감지하는 유량 감지부(40)와, 압축기(10)에서 배출된 유체의 일부가 유입되는 분기 통로(50)와, 분기 통로(50)에 연결되며 유체를 팽창시켜 냉각시키는 팽창부(60)와, 팽창부(60)에서 배출된 유체를 챔버(20)로 공급하는 제1 회귀 통로(70)와, 분기 통로(50)의 고온 유체를 챔버(20)로 공급하는 제2 회귀 통로(80)와, 분기 통로(50)에 배치되어 유체의 흐름을 제어하는 분기 밸브(90)와, 분기 밸브(90)의 작동을 제어하는 제어부(100)를 구비한다.
터보 기기에서의 RPM(분당 회전속도)은 구동되는 압축기(10)의 실제 기계적인 회전속도(mechanical RPM)와 압축기(10)의 성능에 영향을 미치는 보정 회전속도(corrected RPM)로 구분된다. 압축기(10)의 실제적인 성능과 운용 범위는 보정 회전속도에 의해 정해지며, 보정 회전속도는 기계적인 회전속도를 기준으로 온도의 영향을 보정한 값으로 구해지며 다음과 같은 수학식 1에 의해 정의된다.
Figure pat00001
수학식 1에서 NC는 보정 회전속도, NM은 기계적인 회전속도, Tact는 압축기가 작동하는 주변 온도, TDP는 압축기의 입구 온도에 해당한다.
압축기가 일정한 기계적인 회전속도로 운용 중일 때 입구 온도가 증가하면 보정 회전속도는 감소한다. 반대로, 입구 온도가 감소하면 보정 회전속도는 증가한다. 압축기의 유량(Q)과 압력비(Pr)와 보정 회전속도(NC)의 관계는 다음 수학식 2로 정의된다.
Figure pat00002
수학식 2를 참조하면, 보정 회전속도가 감소할수록 유량과 압력비가 감소하며, 반대로 보정 회전속도가 증가할수록 유량과 압력비가 증가한다.
한편, 압축기의 효율은 보정 회전속도의 변화에 따라 레이놀즈수(Reynolds Number)와 임펠러 입구의 깃 속도에 따라 미소하게 변화한다.
압축기(10)는 일정한 입구조건을 갖는 유체를 흡입하여 압력을 상승시켜 운용 중인 유체 시스템이나 설비에 압축된 유체를 공급하는 기능을 한다. 일반적으로 압축기(10)의 입구(11)에 공급 배관(11a)이 연결되고 압축기(10)의 출구(12)에 배출 배관(12a)이 연결되므로, 압축기(10)가 공급 배관(11a)으로 공급되는 유체를 흡입하여 압축된 유체를 배출 배관(12a)으로 배출한다.
실시예에서 압축기(10)를 비롯한 각종 유체 기계 요소를 통과하는 유체는 기체가 사용되었지만, 실시예는 이러한 유체의 형태에 의해 제한되는 것은 아니므로 예를 들어 액체가 사용될 수 있다.
압축기(10)에는 압축기(10)의 입구(11)에 유체를 공급하는 챔버(20)가 연결된다. 챔버(20)는 외부의 유체 공급원(미도시)에 연결된 유입 배관(21)에 연결되어 외부에서 공급된 유체를 압축기(10)와 연결된 공급 배관(11a)으로 전달한다.
챔버(20)는 제1 회귀 통로(70) 및 제2 회귀 통로(80)와도 연결되므로, 팽창부(60)를 통과한 저온 유체나 팽창부(60)를 통과하기 전의 고온 유체가 챔버(20)에 공급된다. 따라서 챔버(20)는 고온 유체나 저온 유체를 압축기(10)에 공급할 수 있다.
압축기(10)에서 배출된 유체는 배출 배관(12a)을 통해 배출 통로(140)로 전달된다. 배출 통로(140)에는 압축기(10)에서 배출된 유체의 압력을 감지하는 압력 감지부(30)와, 압축기(10)에서 배출된 유체의 유량을 감지하는 유량 감지부(40)가 설치된다.
배출 통로(140)에는 배출 통로(140)를 통과하는 유체의 일부를 분기시키는 분기 통로(50)가 연결된다. 또한 분기 통로(50)에는 분기 통로(50)를 통과하는 유체를 팽창시켜 냉각시키는 팽창부(60)가 연결된다. 팽창부(60)는 팽창의 원리를 이용하여 압축기(10)에서 배출된 고온의 유체를 팽창시킴으로써 압력과 온도를 감소시켜 냉각하는 기능을 수행한다.
팽창부(60)의 출구는 제1 회귀 통로(70)를 통해 챔버(20)로 연결된다. 제1 회귀 통로(70)는 팽창부(60)에서 배출된 저온의 유체를 챔버(20)로 공급하는 기능을 한다.
팽창부(60)의 상류의 분기 통로(50)에는 제2 회귀 통로(80)가 연결된다. 제2 회귀 통로(80)는 팽창부(60)를 통과하기 전의 분기 통로(50)의 고온의 유체를 챔버(20)로 공급하는 기능을 한다.
제2 회귀 통로(80)는 분기 밸브(90)를 통해 분기 통로(50)에 연결된다. 분기 밸브(90)는 분기 통로(50)에 배치되며 외부에서 인가된 신호(Mc)에 의해 작동함으로써 분기 통로(50)의 유체가 팽창부(60)나 제2 회귀 통로(80)로 흐르게 하는 기능을 한다. 도시된 실시예에서 분기 밸브(90)는 전기적 신호에 의해 작동하는 솔레노이드 밸브에 의해 구현되었다. 그러나 실시예는 이러한 분기 밸브(90)의 구체적 구현 예에 의해 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 유압에 의해 작동하는 유압 밸브나 공압에 의해 작동하는 공압 밸브로 구현될 수 있다.
제어부(100)는 압력 감지부(30)와 유량 감지부(40)와 분기 밸브(90)에 연결되며, 유량 감지부(40)에 의해 감지된 유체의 유량과 압력 감지부(30)에 의해 감지된 유체의 압력을 기준값과 비교하여 분기 밸브(90)를 제어한다.
압축기(10)의 입구(11)와 연결된 공급 배관(11a)에는 압축기(10)로 유입되는 유체의 온도를 감지하는 온도 감지부(130)가 설치된다. 제어부(100)는 온도 감지부(130)에 의해 감지된 유체의 온도에 기초하여 챔버(20)의 유체의 온도를 상승시키거나 하강시키도록 분기 밸브(90)를 제어할 수 있다.
도시된 실시예에서 압축기(10)와 온도 감지부(130)가 각각 하나씩 설치되는 것으로 설명되었으나, 실시예는 이러한 구성에 의해 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 압축기(10)는 복수 개의 압축단을 구비하는 다단 압축기로 구현될 수 있으며, 온도 감지부는 복수 개의 압축단의 각각의 입구의 온도를 측정하는 복수 개의 온도 센서들을 구비할 수 있다.
제어부(100)는 압력 감지부(30)와 유량 감지부(40)와 온도 감지부(130)의 감지 신호들(Fc, Pc, Tc)을 수신하는 수신부(110)와, 제어 신호(Mc)를 출력하여 분기 밸브(90)를 제어하는 회귀 제어부(120)를 구비한다.
유량 감지부(40)에 의해 감지된 유량이나 압력 감지부(30)에 의해 감지된 압력이 미리 정해진 기준값에 미달하는 경우 제어부(100)는 분기 밸브(90)를 작동시켜 제2 회귀 통로(80)를 통해 고온의 유체를 챔버(20)로 공급한다.
유량 감지부(40)에 의해 감지된 유량이나 압력 감지부(30)에 의해 감지된 압력이 미리 정해진 기준값을 초과하는 경우 제어부(100)는 분기 밸브(90)를 작동시켜 제1 회귀 통로(70)를 통해 팽창부(60)에서 배출된 저온의 유체를 챔버(20)로 공급한다.
제어부(100)는 예를 들어 반도체칩이나, 반도체칩과 회로들을 포함하여 인쇄회로기판의 형태로 제작된 제어보드나, 반도체칩이나 제어보드에 포함되는 소프트웨어나, 반도체칩 장착 장비에 설치되는 컴퓨터에 포함된 제어용 알고리즘 등의 다양한 형태로 구현될 수 있다.
제어부(100)는 도 5에 도시된 것과 같이 압축기(10)가 작동하는 성능맵에 대응하는 압축기 작동 데이터를 기준값으로 가지고 있을 수 있다. 예를 들어, 제어부(100)는 성능맵에 대응하는 기준값의 데이터 베이스(미도시)에 연결되거나, 기준값을 메모리(미도시)에 저장하여 보유할 수 있다.
제어부(100)는 압력 감지부(30)와 유량 감지부(40)의 각각에서 감지된 유체의 압력이나 유량이 압축기 작동 데이터의 기준값에 미달하는 경우 압축기(10)에 고온의 유체가 필요한 상태로 판단하여, 팽창부(60)의 상류의 고온의 유체를 제2 회귀 통로(80)를 통해 챔버(20)로 공급한다.
제어부(100)는 감지된 유체의 압력이나 유량이 압축기 작동 데이터의 기준값을 초과하는 경우 압축기(10)에 저온의 유체가 필요한 상태로 판단하여, 팽창부(60)에서 배출된 저온의 유체를 제1 회귀 통로(70)를 통해 챔버(20)로 공급한다.
챔버(20)는 외부로부터 공급된 유체를 제1 회귀 통로(70)에서 유입된 저온의 유체나 제2 회귀 통로(80)에서 유입된 고온의 유체와 혼합함으로써 유체를 가열하거나 냉각시키는 기능을 한다.
그러므로 유체 제어 시스템의 외기 조건이나 압축기(10)가 사용되는 운용 조건의 변화에 따라 현재 압축기(10)가 작동하는 유량과 압력비를 감소시킬 필요가 있을 경우에는, 압축기(10)로부터 배출된 고온의 공기를 바이패스(bypass)시켜 챔버(20)를 통해 압축기(10)로 재순환시킴으로써 압축기(10)의 입구(11)에서의 온도를 증가시킬 수 있다.
제어부(100)는 분기 밸브(90)를 작동시켜 제1 회귀 통로(70)를 통해 공급되는 저온 유체의 유량과 제2 회귀 통로(80)를 통해 공급되는 고온 유체의 유량을 제어할 수 있다. 그러므로 제2 회귀 통로(80)를 통해 압축기(10)로 공급되는 고온 유체의 유량을 제어함으로써 압축기(10)의 입구(11)로 공급되는 유체의 온도를 조절할 수 있다.
외기 조건이나 운용 조건의 변화에 따라 현재 압축기(10)가 작동하는 유량과 압력비를 증가시킬 필요가 있는 경우에는 제2 회귀 통로(80)를 통해 압축기(10)로 공급되는 고온 유체의 유량을 감소시키거나, 상온보다 낮은 온도의 유체 공급이 필요한 경우에는 압축기(10)로부터 배출된 유체를 팽창부(60)로 유입시켜 유체의 온도를 감소시킨 후 저온 유체를 제1 회귀 통로(70)를 통해 챔버(20)로 공급할 수 있다.
제어부(100)는 분기 밸브(90)를 작동시켜 팽창부(60)로 유입되는 유체의 유량을 제어할 수 있으므로, 제1 회귀 통로(70)를 통해 챔버(20)로 공급되는 저온 유체의 유량을 제어하여 압축기(10)의 입구(11)로 공급되는 유체의 온도를 조절할 수 있다.
도 6은 도 4의 유체 제어 시스템의 효율을 입구 가이드 베인을 이용한 기술에 의한 효율을 비교한 그래프이고, 도 7은 도 4의 유체 제어 시스템의 효율을 분당 회전속도를 이용한 기술에 의한 효율을 비교한 그래프이다.
도 6에서 점선으로 도시된 그래프는 입구 가이드 베인(IGV)을 이용하여 압축기를 제어할 때의 유량과 효율의 관계를 나타낸다. 도 7에서 점선으로 도시된 그래프는 압축기의 분당 회전속도(RPM)를 제어할 때의 유량과 효율의 관계를 나타낸다.
도 6 및 도 7을 참조하면 정상 온도(Tin=300K)의 영역에서는 IGV나, RPM에 의한 제어 효율이 정상적으로 유지되고 있지만, 온도가 상승한 영역들(Tin=360K, Tin=330K)에서는 IGV나 RPM 제어를 이용하더라도 압축기의 효율이 감소함을 알 수 있다.
실시예에 관한 유체 제어 시스템에서는 압축기(10)의 유량이나 압력비를 직접 조정하는 것이 아니라 압축기(10)의 입구(11)에서의 유체의 온도를 제어함으로써 압축기(10)의 전체적인 효율을 유지할 수 있다. 즉 압축기(10)의 입구(11)에서의 유체의 온도를 제어하면, 현재 작동하고 있는 압축기(10)의 유량과 압력비가 제어된 유체의 온도에 대응하는 압축기 성능맵, 즉 압축기 작동 데이터의 작동 영역에 포함되므로 도 6 및 도 7에 도시된 것과 같이 압축기(10)의 효율이 정상적으로 유지될 수 있다.
상술한 실시예들에 대한 구성과 효과에 대한 설명은 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
10: 압축기 60: 팽창부
11a: 공급 배관 70: 제1 회귀 통로
11: 입구 80: 제2 회귀 통로
12a: 배출 배관 90: 분기 밸브
12: 출구 100: 제어부
20: 챔버 110: 수신부
21: 연결된 유입 배관 120: 회귀 제어부
30: 압력 감지부 130: 온도 감지부
40: 유량 감지부 140: 배출 통로
50: 분기 통로

Claims (7)

  1. 유체를 압축하여 배출하는 압축기;
    상기 압축기에 연결되어 유체를 공급하는 챔버;
    상기 압축기에서 배출된 유체의 압력을 감지하는 압력 감지부;
    상기 압축기를 통과하는 유체의 유량을 감지하는 유량 감지부;
    상기 압축기에서 배출된 유체의 일부가 유입되는 분기 통로;
    상기 분기 통로에 연결되어 유체를 팽창시켜 냉각시키는 팽창부;
    상기 팽창부에서 배출된 유체를 상기 챔버로 공급하는 제1 회귀 통로;
    상기 팽창부의 상류에서 상기 분기 통로에 연결되어 상기 분기 통로의 유체를 상기 챔버로 공급하는 제2 회귀 통로;
    상기 분기 통로에 배치되며 외부에서 인가된 신호에 의해 작동하여, 상기 분기 통로의 유체를 상기 팽창부나 상기 제2 회귀 통로로 분기시키는 분기 밸브; 및
    상기 유량 감지부에 의해 감지된 유체의 유량과 상기 압력 감지부에 의해 감지된 유체의 압력을 기준값과 비교하여 상기 분기 밸브를 제어하는 제어부;를 구비하는, 유체 제어 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유량 감지부에 의해 감지된 유량이나 상기 압력 감지부에 의해 감지된 압력이 기준값을 초과하는 경우 상기 제어부가 상기 분기 밸브를 작동시켜 상기 제1 회귀 통로를 통해 저온의 유체를 상기 챔버로 공급하는, 유체 제어 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 분기 밸브를 작동시켜 상기 제1 회귀 통로를 통해 공급되는 유체의 유량을 제어하는, 유체 제어 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 유량 감지부에 의해 감지된 유량이나 상기 압력 감지부에 의해 감지된 압력이 기준값의 미만인 경우 상기 제어부가 상기 분기 밸브를 작동시켜 상기 제2 회귀 통로를 통해 고온의 유체를 상기 챔버로 공급하는, 유체 제어 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압축기로 유입되는 유체의 온도를 감지하는 온도 감지부를 더 구비하고,
    상기 제어부는 상기 온도 감지부에 의해 감지된 유체의 온도에 기초하여 상기 챔버의 유체의 온도를 상승시키거나 하강시키도록 상기 분기 밸브를 제어하는, 유체 제어 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 압축기는 복수 개의 압축단을 구비하는 다단 압축기이고, 상기 온도 감지부는 복수 개의 상기 압축단의 각각의 입구의 온도를 측정하는 복수 개의 온도 센서들을 구비하는, 유체 제어 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 압축기는 유체가 유입되는 입구와 유체가 배출되는 출구를 구비하고,
    상기 압력 감지부는 상기 압축기의 상기 출구에 연결된 배출 통로에 설치된, 유체 제어 시스템.
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