KR20130134263A - 편광 빔 스플리터를 포함하는 노광 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 편광 빔 스플리터를 포함하는 노광 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 입사되는 비편광된 광을 2종의 서로 다른 편광으로 분리하는 편광 빔 스플리터 및 상기 편광 빔 스플리터에서 분리된 어느 하나의 편광을 다른 하나의 편광과 평행하게 진행하도록 하는 반사체를 구비하여, 서로 다른 2종의 편광을 기판의 서로 다른 영역에 동시에 조사함으로써, 서로 다른 패턴 동시에 형성시킬 수 있어 제조 공정을 간소화시킬 수 있고 공정 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있는 노광 장치에 관한 것이다.

Description

편광 빔 스플리터를 포함하는 노광 장치 {LIGHT EXPOSURE APPARATUS COMPRISING POLARIZING BEAM SPLITTER}

본 발명은 편광 빔 스플리터를 포함하는 노광 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 서로 다른 편광을 동시에 조사하여 효과적인 패턴 형성이 가능한 노광 장치에 관한 것이다.

최근 액정표시장치 등을 제조함에 있어 마스크를 사용하여 패턴을 형성시키는 경우가 늘어나고 있다. 예컨대, 액정표시장치의 좁은 시야각 문제를 해결하기 위해 각 화소 내에서 주시야각 방향을 달리하여 시야각 보상 효과를 내는 멀티도메인 액정셀을 제작할 때나, 편광 안경 방식의 액정표시장치로 입체 영상을 구현하기 위해 패턴 리타더 (복굴절 매질 또는 위상차 필름이라고도 함)를 제작할 때가 그러하다.

이 중, 패턴 리타더(10)는 예컨대 도 1과 같이 기재 (1, 이는 경우에 따라 편광판일 수 있음), 그 일면에 형성되어 광에 의해 배향되는 배향막(2) 및 그 위에 형성된 액정 코팅층(3)을 포함하여 구성될 수 있으며, 이와 같이 구성된 패턴 리타더가 액정패널(20)의 일면에 접합된다.

액정 코팅층(3)은 예컨대 도 2와 같이 배향막(2)이 자외선 등의 광에 의해 배향됨으로써 스트라이프 형상의 좌원 편광부(L, Left circularly polarized light part)와 우원 편광부(R, Right circularly polarized light part)가 교대로 반복하여 배치되는 구조로 되어 있다. 좌원 편광부(L)를 통과한 빛은 편광 안경의 좌안의 편광 필름을 통과하고, 우원 편광부(R)를 통과한 빛은 편광 안경의 우안의 편광 필름을 통과하여 양안에 서로 다른 이미지를 맺히게 함으로써 입체 영상이 구현되는 원리이다.

패턴 리타더를 제조하는 기술은 널리 알려져 있다. 예컨대, 도 3에는 일본 특허공개 제2003-337226호의 방법이 도식화되어 있는데, 낱장의 기판 위에 배향막 형성용 조성물을 도포하여 배향막을 형성한 후, 그 배향막 상에 마스크를 덮어 편광된 광을 조사하여 A 영역(도 2의 L 또는 R에 대응)을 배향시키고 마스크를 이동시켜 다시 진동 방향이 다른 편광된 광을 조사하여 B 영역(도 2의 R 또는 L에 대응)을 배향시킨다. 위와 같이 패턴화된 배향막 상에 액정 코팅층 형성용 조성물을 도포한 후 이를 열 또는 자외선 등을 이용하여 경화시키면 패턴 리타더가 완성된다.

위와 같이, 종래의 노광 장치를 이용한 패턴 형성 방법은 마스크를 옮겨가며 노광을 2회 실시해야 했고, 의도하는 배향 방향이 상이한 각 영역을 위한 노광기가 별도로 구비되어야 하거나 또는 한 대의 노광기로 두 종류의 편광 노광을 해야 하는 한계가 있는 등 복잡한 공정을 거쳐야 했다. 또한, 패턴 리타더의 각 패턴 영역이 더욱 정교해지고 미세해짐에 따라 마스크를 각 패턴 영역과 정확히 얼라인 시키지 못하게 되면 심각한 불량을 야기하는 문제도 있었다.

특허문헌 1: 일본 특허공개 제2003-337226호

본 발명은 기판에 편광방향이 서로 다른 편광을 마스크 없이 동시에 조사하여, 구분된 영역에 서로 다른 패턴 노광을 동시에 수행할 수 있는 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 광원에서 출사되는 광을 광량의 손실 없이 효율적으로 기판에 조사할 수 있는 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 조사되는 광의 편광방향을 구분된 서로 다른 영역별로 자유롭게 조절할 수 있는 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 공정 및 시간을 효과적으로 단축시킬 수 있는 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 패턴이 포함된 전자 부품의 대량 생산에 유리한 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

1. 입사되는 비편광된 광을 편광방향이 서로 다른 2종의 편광으로 분리하는 편광 빔 스플리터 및 상기 편광 빔 스플리터에서 분리된 어느 하나의 편광을 다른 하나의 편광과 평행하게 진행하도록 하는 반사체를 구비하여, 서로 다른 2종의 편광을 기판의 서로 다른 영역에 동시에 조사하는 노광 장치.

2. 위 1에 있어서, 편광 빔 스플리터는 어느 하나의 편광은 투과시키고 다른 하나의 편광은 반사시키는 것인 노광 장치.

3. 위 1에 있어서, 2종의 서로 다른 두 편광은 그 편광방향이 서로 수직인 노광 장치.

4. 위 1에 있어서, 2종의 서로 다른 두 편광은 각각 s 편광 및 p 편광인 노광 장치.

5. 위 1에 있어서, 반사체는 편광을 편광도 저하 없이 반사시키는 것인 노광 장치.

6. 위 1에 있어서, 반사체는 제2의 편광 빔 스플리터인 노광 장치.

7. 위 1에 있어서, 편광 빔 스플리터에 입사하는 광이 어느 하나의 편광의 조사 영역에 해당하는 폭을 갖도록 하는 필터를 편광 빔 스필리터와 광원 사이에 구비하는 노광 장치.

8. 위 7에 있어서, 필터의 광원측의 면에는 제2의 반사체를 더 구비하는 노광 장치.

9. 위 3에 있어서, 편광 빔 스플리터를 투과하는 편광은 p 편광이고 편광 빔스플리터에서 반사되는 편광은 s 편광인 노광 장치.

10. 위 1에 있어서, 반사체의 광입사면 상에 제1 위상차층을 더 구비하는 노광 장치.

11. 위 10에 있어서, 반사체에서 반사되어 제1 위상차층을 통과하여 출사되는 편광은 편광 빔 스플리터를 투과한 광과의 편광방향이 수직이 아닌 노광 장치.

12. 위 1에 있어서, 편광 빔 스플리터의 광 출사면에 제2 위상차층을 더 구비하는 노광 장치.

13. 위 12에 있어서, 편광 빔 스플리터를 투과하고 제2 위상차층을 통과하여 출사되는 편광은 반사체에서 반사된 편광과의 편광방향이 수직이 아닌 노광 장치.

14. 위 1에 있어서, 반사체의 광입사면에 제1 위상차층 및 편광 빔 스플리터의 광 출사면에 제2 위상차층을 더 구비하는 노광 장치.

15. 위 1에 있어서, 반사체와 기판 사이에 반사체와 이격된 제1 위상차층, 편광 빔 스플리터와 기판 사이에 편광 빔 스플리터와 이격된 제2 위상차층 또는 상기 제1 위상차층과 제2 위상차층 모두를 더 구비하는 노광 장치.

본 발명은 기판에 편광방향이 서로 다른 편광을 동시에 조사하여, 서로 다른 패턴 동시에 형성시킬 수 있는 노광 장치를 제공할 수 있다.

본 발명은 편광의 편광방향을 조절할 수 있으므로, 그 활용도가 매우 높다.

본 발명의 노광 장치를 사용하면, 노광 횟수를 줄일 수 있으므로, 결과적으로 광원 사용에 필요한 전력을 줄일 수 있다.

본 발명의 노광 장치를 사용하면 공정을 간소화시킬 수 있고 공정 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있고, 패턴이 포함된 전자 부품의 경제적 대량 생산이 가능해 진다.

본 발명의 노광 장치를 사용하면 마스크와 패턴 영역의 얼라인 공정시 발생되는 문제를 현저히 줄일 수 있어 패턴 리타더 등의 전자 부품의 품질 향상에 유리하다.

도 1 및 2는 일반적인 패턴 리타더의 구조를 나타낸다.
도 3은 종래 노광 장치를 이용하여 패턴 리타더를 제조하는 일례를 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 장치의 개략적인 구조를 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 따른 편광 빔 스플리터의 편광 분리 메커니즘을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 반사체의 광입사면(a) 또는 편광 빔 스플리터의 광출사면(b)에 위상차층을 더 구비한 노광 장치의 개략적인 구조를 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 반사체와 기판 사이에 반사체와 이격된 제1 위상차층 및 편광 빔 스플리터와 기판 사이에 편광 빔 스플리터와 이격된 제2 위상차층을 더 구비한 노광 장치의 개략적인 구조를 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 필터의 광원측 면에 제2의 반사체를 더 구비한 노광 장치의 개략적인 구조를 나타낸 단면도이다.

본 발명은 입사되는 비편광된 광을 2종의 서로 다른 편광으로 분리하는 편광 빔 스플리터 및 상기 편광 빔 스플리터에서 분리된 어느 하나의 편광을 다른 하나의 편광과 평행하게 진행하도록 하는 반사체를 구비하여, 서로 다른 2종의 편광을 기판의 서로 다른 영역에 동시에 조사함으로써, 서로 다른 영역을 서로 다른 편광으로 동시에 노광시킬 수 있어 제조 공정을 간소화시킬 수 있고 공정 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있는 노광 장치에 관한 것이다.

이하 본 발명을 도면을 참조하여 상세하게 설명하도록 한다.

도 4에는 본 발명의 노광 장치의 일 구현예가 개략적으로 도시되어 있다.

본 발명의 노광 장치는 비편광된 광을 2종의 서로 다른 편광으로 분리하는 편광 빔 스플리터(polarizing beam splitter)(100) 및 상기 편광 빔 스플리터에서 분리된 어느 하나의 편광을 다른 하나의 편광과 평행하게 진행하도록 하는 반사체(200)를 구비한다. 그에 따라, 본 발명이 노광 장치는 서로 다른 2종의 편광을 동시에 조사가 가능하게 되므로 기판 상에 서로 다른 패턴의 경화를 동시에 수행할 수 있다.

편광 빔 스플리터(100)는 예를 들면 도 5와 같다. 도 5의 편광 빔 스플리터(100)는 입사하는 비편광된 광을 편광방향이 서로 다른 두 편광으로 분리하는 기능을 한다. 구체적으로는, 어느 하나의 편광은 편광 빔 스플리터(100)를 투과하게 하고, 다른 하나의 편광은 편광 빔 스플리터(100)를 투과하지 못하고 반사된다. 이러한 편광 빔 스플리터(100)에서 분리되는 2종의 서로 다른 두 편광은 일반적으로 그 편광방향이 서로 수직을 이루게 된다. 이러한 편광으로서 가장 대표적인 것이 p 편광과 s 편광이다. 본 발명에 따른 편광 빔 스플리터(100)는 예를 들면 p 편광을 투과시키고 s 편광을 반사시킬 수 있으며(도 5의 (a)), 그 반대의 경우도 가능하다 (도 5의 (b)).

편광 빔 스플리터(100)는 그 구체적인 종류에 따라 비편광된 광의 입사각이 달라질 수 있다. 그 종류에 따라 투과광과 반사광이 가장 잘 분리되는 각도를 선택하여 편광 빔 스플리터(100)를 설치할 수 있다.

반사체(200)는 편광 빔 스플리터(100)에서 반사된 편광을 다시 반사시켜 편광 빔 스플리터(100)를 투과하는 편광과 평행하게 진행하도록 한다. 이러한 반사체(200)로는 당분야에서 사용되는 반사체로서 편광을 반사시킬 수 있는 것이라면 특별한 제한없이 사용될 수 있으며, 바람직하게는 편광을 편광도 저하없이 반사시킬 수 있는 것이 좋다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 반사체(200)는 제2의 편광 빔 스플리터일 수 있다. 비편광된 광이 제1의 편광 빔 스플리터를 만나서 일부는 투과되고 다른 일부는 반사되게 되는데, 상기 제1의 편광 빔 스플리터와 동일한 소재의 제2의 편광 빔 스플리터를 반사체(200)의 위치에 배치하면, 제1의 편광 빔 스플리터에서 반사되는 편광은 제2의 편광 빔 스플리터에서도 반사된다. 이 경우 제1의 편광 빔 스플리터의 광 입사면과 제2의 편광 빔 스플리터의 광 입사면은 서로 마주보아야 하는 것은 당연하다.

본 발명의 다른 실시예에 있어서, 필요에 따라 반사체(200)의 광입사면 상에 제1 위상차층을 더 구비할 수 있다. 도 6의 (a)에는 제1 위상차층(210)을 구비한 본 발명의 노광 장치의 개략적인 단면도가 도시되어 있다. 제1 위상차층(210)은 편광 빔 스플리터(100)에서 분리되는 편광 중 반사체로 반사되는 편광의 위상을 변화시켜 기판(400)에 조사되게 함으로써, 편광 빔 스플리터에서 편광방향이 서로 수직이 되도록 분리된 서로 다른 2종의 편광이 기판에 조사될 때는 그 편광방향이 더 이상 서로 수직이 아니게 할 수 있다. 예를 들어, 편광 빔 스플리터(100)에서 s 편광 및 p 편광이 분리되어 s 편광이 반사체(200)로 입사하는 경우에 반사체(200)에 제1 위상차층(210)을 더 설치하게 되면, s 편광의 위상이 변하게 되어 기판(400)에 조사되는 광은 더 이상 s 편광이 아니게 될 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 있어서, 필요에 따라 편광 빔 스플리터(100)의 광출사면 상에 제2 위상차층을 더 구비할 수 있다. 도 6의 (b)에는 제2 위상차층(211)을 구비한 본 발명의 노광 장치의 개략적인 단면도가 도시되어 있다. 제2 위상차층(211)은 편광 빔 스플리터(100)에서 분리되는 편광 중 편광 빔 스플리터를 투과하는 편광의 위상을 변화시켜 기판(400)에 조사되게 함으로써, 편광 빔 스플리터에서 편광방향이 서로 수직이 되도록 분리된 서로 다른 2종의 편광이 기판에 조사될 때는 그 편광방향이 더 이상 서로 수직이 아니게 할 수 있다. 예를 들어, 편광 빔 스플리터(100)에서 s 편광 및 p 편광이 분리되어 p 편광이 편광 빔 스플리터(100)를 투과하는 경우에 제2 위상차층(211)을 통과하는 p 편광의 위상이 변하게 되어 기판(400)에 조사되는 광은 더 이상 p 편광이 아니게 될 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 있어서, 반사체의 광입사면에 제1 위상차층(210) 및 편광 빔 스플리터의 광출사면에 제2 위상차층(211)을 더 구비할 수 있다. 도 6의 (c)에는 제1 위상차층(210) 및 제2 위상차층(211)을 모두 구비한 본 발명의 노광 장치의 개략적인 단면도가 도시되어 있다. 본 실시예에서와 같이 반사체(200)의 광입사면과 편광 빔 스플리터(100)의 광출사면에 동시에 위상차층(210, 211)을 구비하는 경우에는 위상차층(210, 211)의 구체적인 종류에 따라 다양한 편광 방향의 차이를 갖는 서로 다른 2종의 편광을 기판에 조사할 수 있다. 예를 들면, 위상차층(210, 211)이 없는 경우의 편광 빔 스플리터(100)과 반사체(200)에서 출사되는 광의 편광 차이를 그대로 유지하면서, 전체적인 편광 방향이 달라진 서로 다른 2종의 편광을 조사할 수 있게 된다. 보다 구체적으로, 만약 위상차층(210, 211)이 없는 경우의 편광 빔 스플리터(100)과 반사체(200)에서 출사되는 편광이 각각 0°와 90°의 편광방향을 갖는 경우에, 위상차층(210, 211)을 설치하여 그 편광방향을 전체적으로 이동시켜 기판에 조사되는 편광이 각각 45°와 135°의 편광방향을 갖도록 할 수 있다. 하지만, 이는 단순한 예시일 뿐 이와 같은 방법으로 다양한 편광방향을 갖도록 할 수 있으며, 필요에 따라서는 위상차층(210, 211)이 없는 경우의 편광 빔 스플리터(100)과 반사체(200)에서 출사되는 광의 편광 차이를 유지하지 않고 서로 다른 편광 방향을 갖도록 하거나, 또는 같은 편광방향을 갖도록 할 수도 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 있어서, 반사체(200)와 기판 사이에 반사체(200)와 이격된 제1 위상차층(210), 편광 빔 스플리터(100)와 기판 사이에 편광 빔 스플리터(100)와 이격된 제2 위상차층(211) 또는 이러한 제1 위상차층(210) 및 제2 위상차층(211) 모두를 더 구비할 수 있다. 도 7에는 제1 위상차층(210) 및 제2 위상차층(211)을 모두 각각 반사체(200)과 편광 빔 스플리터(100)에 이격되도록 구비한 본 발명의 노광 장치의 개략적인 단면도가 도시되어 있다. 본 실시예는 기본적으로 위상차층(210, 211)이 반사체(200)와 편광 빔 스플리터(100)에 접착된 층으로 형성되는 도 6의 (a), (b), (c)의 실시예와 동일한 효과를 발휘할 수 있으며, 광의 진행방향에 대해서 위상차층(210, 211)의 위치를 자유롭게 조절할 수 있으므로, 위상차를 조절하기에 보다 용이할 수 있다.

제1 위상차층(210) 및 제2 위상차층(211)은 도 6에 도시된 바와 같이, 반사체(200) 및 편광 빔 스플리터(100) 표면에 코팅된 코팅층이거나 별도의 필름으로 형성된 것을 사용한 것일 수도 있다.

제1 위상차층(210) 및 제2 위상차층(211)은 각각 그 구체적인 소재나 연신 정도 등 제조 방법에 따라 위상의 변환 정도 정도를 필요에 따라 제어할 수 있다. 예를 들면, 통상 디스플레이 분야 등에서 사용되는 위상차층의 재료와 동일한 것으로서, 트리아세틸셀룰로오스(TAC), 시클로올레핀폴리머(COP), 시클로올레핀코폴리머(COC), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리프로필렌(PP), 폴리카보네이트(PC), 폴리술폰(PSF), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 변성폴리스티렌(PS) 및 변성폴리카보네이트(PC)로 이루어진 군에서 선택된 고분자이거나 액정을 포함하는, 자외선을 투과시킬 수 있고 위상 변화를 일으킬 수 있는 재료 등일 수 있다.

제1 위상차층(210) 및 제2 위상차층(211)은 각각 바람직하게 연신 필름, 디스플레이 장치의 액정셀과 같은 셀 형태의 투명 기재벽 내에 분포하는 액정층, 또는 경화된 연신 필름일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 노광 장치는 광원과 편광 빔 스플리터 사이에 필터(300)를 더 구비할 수 있다. 필터(300)는 편광 빔 스플리터(100)에 입사하는 광이 어느 하나의 편광의 조사 영역에 해당하는 폭을 가질 수 있다. 필터(300)가 이러한 폭을 갖는 경우에 편광 빔 스플리터(100)에서 분리된 서로 다른 편광의 혼광을 방지하는 데에 바람직하다.

본 발명의 다른 실시예에서, 필터(300)는 광원측의 면에 제2의 반사체를 더 구비할 수 있다. 도 8에는 반사체(310)를 더 구비한 본 발명의 노광 장치의 개략도가 도시되어 있다. 필터(300)를 구비하게 되면 광원에서 나오는 광 중에서 필터(300)로 입사하는 광은 활용할 수 없게 되므로, 광원의 작동에 사용되는 에너지의 활용이 비효율적이게 된다. 본 실시예에 따라 필터(300)의 광원측 면에 제2의 반사체(310)를 구비하게 되면, 필터(300)로 입사되는 광을 반사시켜 광원 측에 통상적으로 위치하는 반사경(미도시)으로 보냄으로써 그 광이 다시 필터(300)를 통과하여 편광 빔 스플리터(100)로 입사하도록 할 수 있다. 따라서, 광원에 사용되는 에너지 및 광량을 효율적으로 사용할 수 있다.

본 발명에서 사용되는 광원은 당 분야에서 통상적으로 사용되는 광원을 제한 없이 채택할 수 있다. 통상적으로는 자외선 광원이 사용될 수 있다.

본 발명의 노광 장치는 기판(400)에 서로 다른 2종의 편광을 조사할 수 있다. 이러한 편광은 광을 경화 수단으로 사용하는 기판에 사용될 수 있는데, 편광방향이 서로 다른 편광을 사용할 경우에는 패턴화된 리타더의 배향막과 같이, 패턴을 갖는 경화막의 제조가 가능하다. 전술한 바와 같이, 본 발명은 동시에 2종의 편광을 조사할 수 있으므로 서로 다른 패턴이 인쇄되는 패턴화된 리타더에 사용되는 배향막 등의 제조에 매우 유용하게 사용될 수 있다.

1: 기재 2: 배향막
3. 액정 코팅층 10: 패턴 리타더
20: 액정패널
100: 편광 빔 스플리터 200: 반사체
210: 제1 위상차층 211: 제2 위상차층
300: 필터 310: 제2의 반사체
400: 기판

Claims (15)

1. 입사되는 비편광된 광을 편광방향이 서로 다른 2종의 편광으로 분리하는 편광 빔 스플리터 및 상기 편광 빔 스플리터에서 분리된 어느 하나의 편광을 다른 하나의 편광과 평행하게 진행하도록 하는 반사체를 구비하여, 서로 다른 2종의 편광을 기판의 서로 다른 영역에 동시에 조사하는 노광 장치.
   
2. 청구항 1에 있어서, 편광 빔 스플리터는 어느 하나의 편광은 투과시키고 다른 하나의 편광은 반사시키는 것인 노광 장치.
   
3. 청구항 1에 있어서, 2종의 서로 다른 두 편광은 그 편광방향이 서로 수직인 노광 장치.
   
4. 청구항 1에 있어서, 2종의 서로 다른 두 편광은 각각 s 편광 및 p 편광인 노광 장치.
   
5. 청구항 1에 있어서, 반사체는 편광을 편광도 저하없이 반사시키는 것인 노광 장치.
   
6. 청구항 1에 있어서, 반사체는 제2의 편광 빔 스플리터인 노광 장치.
   
7. 청구항 1에 있어서, 편광 빔 스플리터에 입사하는 광이 어느 하나의 편광의 조사 영역에 해당하는 폭을 갖도록 하는 필터를 편광 빔 스필리터와 광원 사이에 구비하는 노광 장치.
   
8. 청구항 7에 있어서, 필터의 광원측의 면에는 제2의 반사체를 더 구비하는 노광 장치.
   
9. 청구항 3에 있어서, 편광 빔스플리터를 투과하는 편광은 p 편광이고 편광 빔스플리터에서 반사되는 편광은 s 편광인 노광 장치.
   
10. 청구항 1에 있어서, 반사체의 광입사면 상에 제1 위상차층을 더 구비하는 노광 장치.
    
11. 청구항 10에 있어서, 반사체에서 반사되어 제1 위상차층을 통과하여 출사되는 편광은 편광 빔 스플리터를 투과한 광과의 편광방향이 수직이 아닌 노광 장치.
    
12. 청구항 1에 있어서, 편광 빔 스플리터의 광 출사면에 제2 위상차층을 더 구비하는 노광 장치.
    
13. 청구항 12에 있어서, 편광 빔 스플리터를 투과하고 제2 위상차층을 통과하여 출사되는 편광은 반사체에서 반사된 편광과의 편광방향이 수직이 아닌 노광 장치.
    
14. 청구항 1에 있어서, 반사체의 광입사면에 제1 위상차층 및 편광 빔 스플리터의 광출사면에 제2 위상차층을 더 구비하는 노광 장치.
    
15. 청구항 1에 있어서, 반사체와 기판 사이에 반사체와 이격된 제1 위상차층, 편광 빔 스플리터와 기판 사이에 편광 빔 스플리터와 이격된 제2 위상차층 또는 상기 제1 위상차층과 제2 위상차층 모두를 더 구비하는 노광 장치.

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