KR20130131625A - 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크 및 전기영동 표시장치의 제조방법 - Google Patents

전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크 및 전기영동 표시장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전기영동 표시장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 제조효율을 향상시킬 수 있는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크 및 전기영동 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크는 전기영동 표시장치에 형성된 복수의 화소 대전입자를 충진시키기 위한 복수의 화소 홀; 및 상기 복수의 화소 홀에 균일한 인장도가 가해지도록 상기 복수의 화소 홀 외곽에 형성된 복수의 더미 홀을 포함한다.

Description

전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크 및 전기영동 표시장치의 제조방법{MASK FOR MANUFACTURING ELECTROPHORETIC DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTROPHORETIC DISPLAY DEVICE}
본 발명은 전기영동 표시장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 제조효율을 향상시킬 수 있는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크 및 전기영동 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
전기영동 표시장치란 착색된 대전입자가 외부로부터 가해진 전계에 의해 이동하는 전기영동(Electrophoresis) 현상을 이용하여 화상을 표시하는 장치를 말한다. 여기서 전기영동 현상이란, 대전입자를 용매 속에 분산시킨 전기영동 분산액(e-ink)에 전계를 인가하는 경우에 상기 대전입자가 쿨롱력에 의하여 용매 속을 이동하는 현상을 의미한다.
전기영동 현상을 이용한 전기영동 표시장치는 쌍안정성(bistability)의 특징을 갖고 있어, 인가된 전압이 제거되어도 원래의 이미지를 장시간 표시할 수 있다. 즉, 전기영동 표시장치는 지속적으로 전압을 인가하지 않아도 일정 화면을 장기간 유지할 수 있기 때문에 화면의 신속한 교환이 요구되지 않는 전자 책(e-book) 분야에 적합한 디스플레이 장치이다.
또한, 전기영동 표시장치는 시야각(Viewing Angle)에 대한 의존성이 없을 뿐만 아니라, 종이와 유사한 정도로 눈에 편안한 화상을 제공할 수 있다. 아울러, 자유롭게 휘어지는 유연성(Flexibility), 저전력 소비(low power consumption), 친환경(eco like)의 장점이 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 전기영동 표시장치를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 전기영동 표시장치는 하부 기판(10), 상부 기판(20) 및 전기영동 필름(30)을 포함한다. 전기영동 필름(30)은 하부 기판(10)과 상부 기판(20) 사이에 개재되어 있다.
하부 기판(10)에는 상호 교차하도록 형성된 복수의 게이트 라인(미도시) 및 복수의 데이터 라인(미도시)이 형성되어 있다. 복수의 게이트 라인과 복수의 데이터 라인에 의해 복수의 화소(pixel)가 정의된다. 하부 기판(10)에 형성된 복수의 화소에는 박막트랜지스터(TFT, 미도시)와 화소 전극(미도시)이 형성된다.
박막트랜지스터는 게이트 라인을 통해 인가된 스캔 신호에 따라 스위칭 된다. 박막트랜지스터의 스위칭에 의해 데이터 라인을 통해 공급된 데이터 전압이 화소 전극에 공급되게 된다.
상부 기판(20)은 상기 화소 전극과 대향되는 공통 전극(22)을 포함한다.
전기영동 필름(30)은 다수의 마이크로 캡슐(32) 및 접착층(34)을 포함한다.
다수의 마이크로 캡슐(32)은 복수의 대전입자 및 용매(solvent)로 구성된다.
복수의 대전입자는 일부가 포지티브(+)로 대전되고, 나머지 일부는 네거티브(-)로 대전된다. 접착층(34)은 상기 마이크로 캡슐(32)을 보호함과 아울러, 전기영동 필름(30)을 하부 기판(10)과 접착시킨다.
하부 기판(10)의 화소 전극과 상부 기판(20)의 공통 전극(22) 사이에 전계가 형성되면, 상기 마이크로 캡슐(32) 내에 포함된 대전입자들이 전기영동에 의해 이동함으로써 화상을 구현하게 된다.
이러한, 종래 기술에 따른 전기영동 표시장치는 하부 기판(10), 상부 기판(20) 및 전기영동 필름(30)을 각각 제조한다. 전기영동 필름(30)은 상부 기판(20)에 부착된 상태로 보관 및 운반된다. 이후, 전기영동 필름(30)의 하부에 부착된 릴리즈 필름(미도시) 제거되고, 라미네이션(Lamination) 공정에 의해 전기영동 필름(30)이 하부 기판(10)에 부착된다.
따라서, 하부 기판(10), 상부 기판(20), 전기영동 필름(30) 각각을 별도로 제작하여야 함으로 제조 공정이 복잡하고, 제조 시간이 많이 소요되어 제조효율이 떨어지는 단점이 있다. 또한, 별도로 제조된 전기영동 필름(30)을 적용하여야 함으로 제조 비용이 증가되는 문제점이 있다.
한편, 전기영동 필름(30)을 대체하여 전기영동 분산액이 하부 기판에 내재화된 내재화 타입의 전기영동 표시장치가 개발되고 있으나, 디바이스 구조 및 제조공정의 개발이 성숙되지 않아 표시품질이 떨어지고 제조공정 중에 오염이 발생되는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전기영동 표시장치의 제조효율을 향상시킬 수 있는 전기영동 표시장치의 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 양산성 및 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있는 전기영동 표시장치의 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 표시품질이 높은 전기영동 표시장치의 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 다양한 컬러로 높은 품질의 화상을 구현할 수 있는 전기영동 표시장치의 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전기영동 분산액의 미충진 및 과충진을 방지할 수 있는 전기영동 표시장치의 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전기영동 분산액을 하부 기판에 내재화시키는 제조공정 중 격벽 상부로 전기영동 분산액이 넘쳐 오염되는 것을 방지할 수 있다.
위에서 언급된 본 발명의 기술적 과제 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크는 전기영동 표시장치에 형성된 복수의 화소 대전입자를 충진시키기 위한 복수의 화소 홀; 및 상기 복수의 화소 홀에 균일한 인장도가 가해지도록 상기 복수의 화소 홀 외곽에 형성된 복수의 더미 홀을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 제조방법은 하부 기판에 복수의 화소 영역을 정의하는 격벽 및 상기 복수의 화소 영역에 대응되는 화소 전극을 형성하는 단계; 전기영동 표시장치에 형성된 복수의 화소 대전입자를 충진시키기 위한 복수의 화소 홀 및 상기 복수의 화소 홀에 균일한 인장도가 가해지도록 상기 복수의 화소 홀 외곽에 형성된 복수의 더미 홀을 포함하는 위한 마스크를 상기 격벽 상부에 얼라인 시키는 단계; 상기 마스크를 이용하여 상기 격벽에 의해 정의된 복수의 화소 영역 내에 특정 컬러로 착색된 대전입자와 제1 용매를 충진하는 단계; 건조공정을 수행하여 상기 제1 용매를 휘발시키는 단계; 상기 복수의 화소 영역에 제2 용매를 충진시키는 단계; 및 상부 기판과 하부 기판을 실링 합착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 따른 본 발명은 하부 기판에 전기영동 분산액을 내재화 시킬 수 있는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 마스크 및 전기영동 표시장치의 제조방법은 전기영동 분산액의 미충진 및 과충진을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 마스크 및 전기영동 표시장치의 제조방법은 전기영동 분산액을 하부 기판에 내재화시키는 제조공정 중 격벽 상부로 전기영동 분산액이 넘쳐 오염되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 마스크 및 전기영동 표시장치의 제조방법은 전기영동 표시장치의 제조효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 마스크 및 전기영동 표시장치의 제조방법은 전기영동 분산액의 충진 방법을 개선하여 전기영동 표시장치의 구동 신뢰성을 확보할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 마스크 및 전기영동 표시장치의 제조방법은 전기영동 분산액의 미충진 및 과충진을 방지하여 전기영동 표시장치의 표시품질을 향상시킬 수 있다.
실시 예에 따른 본 발명은 다양한 컬러로 높은 품질의 화상을 구현할 수 있는 전기영동 표시장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
이 밖에도, 본 발명의 실시 예들을 통해 본 발명의 또 다른 특징 및 이점들이 새롭게 파악될 수도 있을 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 전기영동 표시장치의 구조를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 전기영동 표시장치의 제조방법을 통해 제조된 전기영동 표시장치의 화소를 나타내는 평면도.
도 3은 흑백 화상을 표시할 수 있는 전기영동 표시장치의 단면도.
도 4는 컬러 화상을 표시할 수 있는 전기영동 표시장치의 단면도.
도 5 및 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크를 나타내는 도면.
도 7 내지 도 12는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크와 이를 이용한 전기영동 표시장치의 제조방법을 나타내는 도면.
도 13 내지 도 20은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크와 이를 이용한 전기영동 표시장치의 제조방법을 나타내는 도면.
도 21은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 화소 구조를 나타내는 도면.
도 22 및 도 23은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 마스크와 이를 이용한 전기영동 표시장치의 제조방법을 나타내는 도면.
이하, 첨부되는 도면들을 참고하여 본 발명은 전기영동 표시장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 제조효율 및 구동의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크 및 전기영동 표시장치의 제조방법에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명의 실시 예를 설명함에 있어서 어떤 구조물이 다른 구조물 '상에 또는 상부에' 및 '아래에 또는 하부에' 형성된다고 기재된 경우, 이러한 기재는 이 구조물들이 서로 접촉되어 있는 경우는 물론이고 이들 구조물들 사이에 제3의 구조물이 개재되어 있는 경우까지 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
본 발명은 대전입자와 용매를 포함하는 전기영동 분산액이 하부 기판에 내재화된 전기영동 표시장치의 제조방법을 제안한다.
본 발명의 기술적 사상은 모노 또는 컬러 구현의 여부와 관계없이 모든 타입의 전기영동 표시장치에 적용될 수 있다.
도 2는 본 발명의 전기영동 표시장치의 제조방법을 통해 제조된 전기영동 표시장치의 화소를 나타내는 평면도이고, 도 3은 흑백 화상을 표시할 수 있는 제조된 전기영동 표시장치의 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 전기영동 표시장치는 하부 기판(100), 상부 기판(200) 및 하부 기판(100)에 내재화되어 화상을 표시하는 전기영동 레이어를 포함한다.
하부 기판(100)은 하부 베이스 기판(110, 제1 베이스 기판), 화소 전극(120) 및 격벽(130)을 포함하고, 격벽(130)에 의해 각 화소마다 소정 공간 즉, 화소 영역이 마련된다. 화상을 표시하기 위한 전기영동 분산액 즉, 디스플레이 솔벤트(display solvent)가 화소 영역에 충진된다.
도면에 도시되어 있지 않지만, 하부 베이스 기판(110)에는 복수의 게이트 라인(미도시)과 복수의 데이터 라인(미도시)이 교차하도록 형성되어 있다. 복수의 게이트 라인 및 복수의 데이터 라인의 교차에 의해 복수의 화소가 정의되며, 복수의 화소 각각에 박막트랜지스터(TFT)가 형성되어 있다.
박막트랜지스터의 게이트는 게이트 라인과 접속되고, 소스는 데이터 라인과 접속되며, 드레인은 화소 전극(120)과 접속된다. 박막트랜지스터를 통해 각 화소의 온-오프(on-off)가 스위칭되고, 데이터 라인에 인가된 데이터 전압이 화소 전극(120)에 공급된다.
격벽(130)은 5㎛ ~ 30㎛의 폭 및 10㎛ ~ 100㎛의 높이를 가지도록 형성되며, 화소 영역(액티브 영역)에 형성된 복수의 화소 전극(120)을 둘러싸도록 형성된다. 격벽(130)에 의해 전기영동 분산액이 충진될 수 있는 충진 공간이 마련된다.
격벽(130)은 전기영동 분산액의 물성과 일치되도록 무극성의 유기물질 또는 무극성의 무기물질로 형성되어, 제조과정에서 전기영동 분산액의 충진이 원활이 이루어질 수 있도록 한다.
격벽(130)에 의해 마련된 충진 공간에 전기영동 분산액이 충진되어 화상을 표시하기 위한 전기영동 레이어가 구성된다. 여기서, 전기영동 분산액은 복수의 대전입자(140)와 구동 용매(150)로 구성된다.
복수의 대전입자(140) 중에서 일부는 포지티브(+) 극성으로 대전되고, 나머지는 네거티브(-) 극성으로 대전되어 있다.
전기영동 표시장치가 흑백 화상을 표시하는 경우에는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 대전입자(140)가 블랙(black) 컬러 및 화이트(white) 컬러로 착색된다.
이때, 블랙 컬러의 대전입자는 카본 블랙(carbon black) 물질로 형성될 수 있고, 화이트 컬러의 대전입자는 이산화 티타늄(TiO2: titanium oxide)으로 형성될 수 있다.
구동 용매(150)는 대전입자(140)가 전기영동에 의해 이동될 수 있도록 10cP ~ 10KcP의 점도를 가지는 무극성의 유기물질 또는 무극성의 무기물질이 적용될 수 있다.
일 예로서, 구동 용매(150)로는 할로겐 솔벤트(halogenated solvents), 포화 탄화수소(saturated hydrocarbons), 실리콘 오일(silicone oils), 저 분자량 할로겐을 포함하는 폴리머(low molecular weight halogen-containing polymers), 에폭사이드(epoxides), 비닐 에테르(vinyl ethers), 비닐 에스테르(vinyl ester), 방향족 탄화수소(aromatic hydrocarbon), 톨루엔(toluene), 나프탈렌(naphthalene), 액상 파라핀(paraffinic liquids) 또는 폴리 클로로트리플루오로에틸렌 폴리머(poly chlorotrifluoroethylene polymers) 물질 또는 상기 물질들 중 적어도 하나를 포함하는 물질이 사용될 수 있다.
상부 기판(200)은 상부 베이스 기판(210, 제2 베이스 기판), 공통 전극(220) 및 실링 레이어(230)를 포함한다.
상부 기판(200)은 화상을 표시하기 위해 투명하여야 함으로, 상부 베이스 기판(210)은 투명 재질의 유리 또는 투명한 플라스틱의 재질로 형성될 수 있다.
공통 전극(220)은 산화 인듐 주석(ITO: Indium Tin Oxide) 또는 산화 인듐 아연(IZO: Indium Zinc Oxide)와 같은 투명한 전도성 물질로 형성된다.
실링 레이어(230)는 공통 전극(230) 위에 투명한 실런트(sealant)로 형성되며, 실링 레이어(230)를 통해 하부 기판(100)에 내재화된 전기영동 분산액을 실링한다. 이때, 실링 레이어(230)는 전기영동 분산액을 실링하는 용도뿐만 아니라 하부 기판(100)과 상부 기판(200)을 합착시키는 기능도 가진다.
한편, 본 발명의 다른 실시 예로서, 실링 레이어(230)가 하부 기판(100)의 격벽(130) 상에 형성될 수도 있다.
복수의 화소 전극(120)에 인가되는 데이터 전압과 공통 전극(220)에 인가되는 공통전압(Vcom)에 의해 각 화소마다 전계가 형성된다. 각 화소에 충진 된 전기영동 분산액의 대전입자(140)들이 전계에 의해 구동 용매(150) 내에서 이동하여 흑백 화상을 표시할 수 있다.
도 4는 컬러 화상을 표시할 수 있는 전기영동 표시장치의 단면도이다.
도 4를 참조하면, 컬러 화상을 표시할 수 있는 전기영동 표시장치는 레드 컬러, 그린 컬러, 블루 컬러를 표시할 수 있는 3개의 화소들로 하나의 단위 화소를 구성하여 컬러 화상을 표시할 수 있다.
격벽(130)에 의해 각 화소가 표시하고자 하는 컬러에 따른 레드 화소들, 그린 화소들 및 블루 화소들이 구분된다. 복수의 레드 화소, 그린 화소 및 블루 화소에 구동 용매(150) 및 화소에 대응되는 컬러로 착색된 복수의 대전입자(140)가 충진된다.
상기 대전입자(140)는 각 화소가 표시하고자 하는 컬러에 대응되는 컬러로 착색되게 된다. 이때, 복수의 대전입자(140)는 레드(red), 그린(green), 블루(blue) 및 블랙(black) 컬러로 착색될 수 있다
레드 컬러를 표시하기 위한 레드 화소들에는 레드 컬러 대전입자가 충진된다. 그린 컬러를 표시하기 위한 그린 화소들에는 그린 컬러 대전입자가 충진된다. 블루 컬러를 표시하기 위한 블루 화소들에는 블루 컬러 대전입자가 충진된다. 이와 함께, 레드 화소들, 그린 화소들 및 블루 화소들에는 블랙 컬러의 대전입자가 충진된다.
전기영동에 의해 레드 컬러의 대전입자가 공통 전극(220) 쪽으로 이동하여 화소의 상측에 위치하면, 외부로부터 입사된 빛을 반사시켜 해당 화소는 레드 컬러를 표시한다.
또한, 그린 컬러의 대전입자가 공통 전극(220) 쪽으로 이동하여 화소의 상측에 위치하면, 외부로부터 입사된 빛을 반사시켜 해당 화소는 그린 컬러를 표시한다.
또한, 블루 컬러의 대전입자가 공통 전극(220) 쪽으로 이동하여 화소의 상측에 위치하면, 외부로부터 입사된 빛을 반사시켜 해당 화소는 블루 컬러를 표시한다.
한편, 블랙 컬러의 대전입자가 공통 전극(220) 쪽으로 이동하여 화소의 상측에 위치하면, 외부로부터 입사된 빛을 흡수하여 해당 화소는 블랙 컬러를 표시한다.
이와 같이, 블랙 컬러와 함께, 레드 컬러, 그린 컬러 또는 블루 컬러를 표시하는 3개의 화소들로 하나의 단위 화소를 구성하여 컬러 화상을 표시할 수 있다.
도면에 도시하지 않았지만, 본 발명의 다른 실시 예로서, 대전입자(140)는 옐로우(yellow), 시안(cyan), 마젠타(magenta) 및 화이트(white)의 컬러로 착색될 수도 있다.
도 2 내지 도 4에 도시된 전기영동 표시장치는 실링 레이어(230)을 이용하여 하부 기판(100)과 상부 기판(200)을 합착함으로써, 표시영역의 차폐가 완벽하게 이루어지도록 할 수 있다. 따라서, 외부 공기 및 수분에 의해 전기영동 표시장치가 오염되는 불량을 방지하고, 전기영동 표시장치의 양산성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 도 4에 도시된 전기영동 표시장치는 격벽(130)에 레드 화소, 그린 화소 및 블루 화소에 대전입자가 이웃하는 다른 컬러의 화소로 넘쳐 혼색되는 것을 방지할 수 있다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크를 나타내는 도면이고, 도 7 내지 도 12는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크와 이를 이용한 전기영동 표시장치의 제조방법을 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 전기영동 표시장치의 제조공정 중 격벽(130)에 의해 마련된 화소 영역 내에 대전입자(140)를 충진할 때, 마스크(300)를 이용한 스크린 프린팅(screen printing) 방법을 이용한다. 이때, 충진 용매를 이용하여 대전입자(140)를 화소 영역 내에 충진하며, 이후에 화소 영역 내에 구동 용매(150)를 충진한다.
본 발명의 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크(300)는 화소 영역과 더미 영역을 포함한다. 화소 영역에는 복수의 화소 홀(310)이 형성되어 있고, 더미 영역에는 복수의 더미 홀(320)이 형성되어 있다.
마스크(300)에 형성된 복수의 화소 홀(310)은 전기영동 표시장치의 화소와 1:1로 대응되도록 형성된다. 예로서, 화소가 512 라인(line)으로 형성된 경우, 복수의 화소 홀(310)도 512 라인으로 형성된다.
한편, 더미 영역의 복수의 더미 홀(320)은 2 라인 내지 10 라인(2~10 line)으로 형성될 수 있다. 도 5 및 도 6에서는 복수의 더미 홀(320)이 4 라인으로 형성되어 있는 것을 일 예로 도시하고 있다.
이때, 복수의 더미 홀(320)은 화소 영역에 형성된 복수의 화소 홀(310)과 동일한 크기 및 동일 형상으로 형성될 수 있으며, 규칙적으로 배열될 수 있다.
마스크(300)에 형성된 복수의 화소 홀(310)은 제조 공정 중에 하부 기판(100)에 형성된 격벽(130) 상부에 얼라인되어 각 화소를 오픈시킨다.
화소 홀(310)은 직경이 20㎛ ~ 60㎛로 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 예로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 더미 홀(320)은 화소 홀(310) 대비 최대 200% 크게 형성될 수 있다.
동일 라인에 형성된 복수의 더미 홀(320)은 동일한 크기를 가지도록 형성될 수 있다. 이때, 라인 단위로 외곽으로 갈수록 더미 홀(320)의 크기가 이전 라인의 크기 대비 90%의 크기를 가지도록 형성되어 그 크기가 작아질 수 있다.
일 예로서, 제1 라인에 형성된 더미 홀(320a)은 화소 영역에 형성된 화소 홀(310) 대비 최대 200%의 크기로 형성되고, 제2 라인에 형성된 복수의 더미 홀(320b)은 상기 제1 라인에 형성된 복수의 더미 홀(320a)의 90%의 크기로 형성될 수 있다.
또한, 제3 라인에 형성된 복수의 더미 홀(320c)은 상기 제2 라인에 형성된 복수의 더미 홀(320b)의 90%의 크기로 형성될 수 있다.
제4 라인에 형성된 복수의 더미 홀(320d)은 상기 제3 라인에 형성된 복수의 더미 홀(320c)의 90%의 크기로 형성될 수 있다.
도면에 도시하지 않았지만, 제5 라인 내지 제10 라인에 형성되는 복수의 더미 홀(320)도 상술한 규칙이 동일하게 적용되어 이전 라인에 형성된 더미 홀의 대비 90%의 크기로 형성될 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시된 마스크(300)는 두께가 20㎛ ~ 40㎛이고, 니켈(nickel)을 재료로 한 메탈 마스크가 적용될 수 있다. 본 발명의 다른 예로서, 마스크(300)은 격벽(130)과 동일 물질의 유기 마스크 또는 무기 마스크가 이용될 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 더미 영역에 형성된 복수의 더미 홀(320)은 화소 영역에 형성된 복수의 화소 홀(310)과 대응되어 규칙적으로 형성될 수 있다. 그러나, 더미 홀(320)은 화소 홀(310) 주변에 형성되는 인장도(tension)를 균일하게 하는 것이 주된 용도이므로, 더미 영역에 형성된 복수의 더미 홀(320)은 불규칙하게 형성될 수 도 있다.
스크린 프린팅 방법을 이용하여 대전입자(140)를 화소 영역에 충진시킬 때, 화소 홀(310) 주변에 형성된 인장도에 따라서 대전입자(140)가 충진되는 양이 달라질 수 있다.
만약, 복수의 화소 홀(310) 외곽에 복수의 더미 홀(320)이 형성되어 있지 않으면, 화소 영역의 모서리 부분에 형성된 화소 홀들은 주변에는 3개의 화소 홀들이 형성되게 된다.
또한, 화소 영역의 테두리 부분에 형성된 화소 홀들의 주변에는 5개의 화소 홀들이 형성되게 된다.
그리고, 화소 영역의 중앙부에 형성된 화소 홀들의 주변에는 8개의 화소 홀들이 형성되게 된다.
이와 같이, 복수의 화소 홀(310) 외곽에 복수의 더미 홀(320)이 형성되어 있지 않으면, 화소 영역의 모서리 부분(a), 테두리 부분(b) 및 중앙부(c)에 형성된 화소 홀들에 상이한 인장도가 가해지게 된다.
이로 인해, 대전입자(140)의 충진 시, 각 화소에 충진되는 양이 불균일해지는 문제점이 있다. 대전입자(140)가 충진되는 양이 불균일하면 화소마다 빛을 반사 및 흡수하는 정도가 상이하게 되어 화상의 표시품질이 떨어진다. 특히, 화소 영역의 외곽에서 대전입자 및 충진용매가 과충진되어 패널 외곽이 오염되는 문제점이 발생될 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크(300)는 복수의 화소 홀(310) 외곽에 복수의 더미 홀(320)이 형성되어 있어 화소 영역의 모서리 부분(a), 테두리 부분(b) 및 중앙부(c)에 형성된 모든 화소 홀(310)들 주변에 8개의 홀이 형성되어 있다.
이를 통해, 모든 화소 홀(310) 주변에 동일 개수의 홀이 형성되어 있어, 화소 영역에 형성된 모든 화소 홀(310) 주변에 동일한 인장도가 가해지도록 할 수 있다.
또한, 대전입자(140)의 충진 공정 시, 복수의 더미 홀(320)이 버퍼(buffer)로 기능하여 마스크(300)와 스퀴지 바에 가해지는 충격을 완화시킨다. 이를 통해, 충진 공정의 난이도를 낮추고, 마스크(300) 및 스퀴지 바의 수명을 연장시킬 수 있다.
도 7 내지 도 12는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크와 이를 이용한 전기영동 표시장치의 제조방법을 나타내는 도면이다. 이하, 도 7 내지 도 12를 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 마스크를 이용한 전기영동 표시장치의 제조방법을 설명한다.
도 7을 참조하면, 하부 베이스 기판(110) 상에 구리(Cu: copper), 알루미늄(Al: aluminum), ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 도전성 물질을 도포하여 도전성 레이어를 형성한다.
이후, 도전성 레이어 상에 포토레지스트(PR: photoresist)를 도포하고, 포토레지스트를 마스크로 이용한 포토리쏘그래피(Photo lithography) 공정 및 에칭 공정을 수행하여 도전성 레이어를 패터닝한다.
도전성 레이어를 패터닝하여 복수의 화소 영역 각각에 구리, 알루미늄, ITO 또는 IZO 물질로 복수의 화소 전극(120)을 형성한다. 한편, 화소 전극(120)은 상술한 구리, 알루미늄, ITO 또는 IZO의 물질에 니켈(Ni: nickel) 또는 금(Au) 등이 더 적층되어 형성될 수도 있다.
여기서, 하부 베이스 기판(110)은 투명 재질의 유리기판, 유연성(Flexibility)을 가지는 플라스틱 기판 또는 금속 기판이 적용될 수 있다. 전기영동 표시장치의 하부 기판(100)은 화상이 표시되는 화면의 반대 측에 위치함으로 하부 베이스 기판(110)이 반드시 투명할 필요는 없다.
도 7에 도시되지 않았지만, 하부 베이스 기판(110)에는 복수의 게이트 라인과 복수의 데이터 라인이 교차하도록 형성되어 복수의 화소를 정의한다. 게이트 라인 및 데이터 라인은 비저항(Resistivity)이 낮은 은(Ag), 알루미늄(Al), 또는 합금(Alloy)으로 이루어진 단일막으로 형성될 수 있다.
한편, 게이트 라인 및 데이터 라인은 전기적 특성이 우수한 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 또는 탄탈륨(Ta)으로 이루어진 막을 더 포함하는 다층막으로 형성될 수도 있다.
박막트랜지스터의 게이트는 게이트 라인과 접속되고, 소스는 데이터 라인과 접속되며, 드레인은 화소 전극(120)과 전기적으로 접속된다. 박막트랜지스터를 통해 화소의 온-오프(on-off)를 스위칭된다. 게이트 라인을 통해 스캔 펄스가 박막트랜지스터의 게이트에 인가되면 박막트랜지스터가 온(on)되고, 데이터 라인에 인가된 데이터 전압이 화소 전극(120)에 공급된다.
이어서, 도 8 및 도 9를 참조하면, 화소 전극(120)이 형성된 하부 베이스 기판(110) 상에 유기물질을 도포한 후, 패터닝하여 화소 영역에 격벽(130)을 형성한다. 격벽(130)은 5㎛ ~ 30㎛의 폭 및 10㎛ ~ 100㎛의 높이를 가지며, 복수의 화소 전극(120)을 둘러싸도록 형성된다.
격벽(130)에 의해 하부 기판(100)과 상부 기판(200) 사이에 셀 갭(cell gap)이 형성되고, 각 화소마다 가로 및 세로의 폭이 100㎛ ~ 150㎛인 충진 공간이 마련된다. 후술될 제조 공정에서, 충진 공간에 대전입자(140) 및 구동용매(150)가 충진된다.
여기서, 격벽(130)은 상술한 포토리쏘그래피 방식뿐만 아니라, 임프린팅(imprinting) 또는 몰드 프린팅(Mold Printing) 방식을 이용하여 형성될 수 있다.
격벽(130)은 전기영동 분산액의 물성과 일치되도록 무극성의 유기물질로 형성한다. 한편, 본 발명의 다른 실시 예로서, 상기 격벽(130)을 무극성의 무기물질로 형성할 수도 있다.
이어서, 도 10을 참조하면, 대전입자(140) 및 충진 용매(155, 제1 용매)를 각 화소의 충진 공간에 충진한다.
구체적으로, 도 10(A)에 도시된 바와 같이, 각 화소를 오픈시키는 복수의 화소 홀(310) 및 복수의 화소 홀(310)의 외곽에 복수의 더미 홀(320)이 형성된 마스크(300)를 격벽(130) 상부에 얼라인 시킨다.
이때, 마스크(300)는 도 5 또는 도 6에 도시된 마스크(300)가 이용된다.
마스크(300)는 화소 영역과 더미 영역으로 구성되고, 화소 영역에는 직경이 20㎛ ~ 60㎛인 복수의 화소 홀(310)이 형성되어 있다. 마스크(300)는 니켈(nickel)을 재료로 한 메탈 마스크, 격벽(130)과 동일 물질의 유기 마스크 또는 무기 마스크가 이용될 수 있다.
마스크(300)의 더미 영역은 화소 영역 외곽에 형성되고, 복수의 화소 홀(310)의 외곽에 복수의 더미 홀(320)이 형성되어 있다. 이때, 복수의 더미 홀(320)은 화소 홀(310) 대비 최대 200% 크게 형성될 수 있다.
동일 라인에 형성된 복수의 더미 홀(320)은 동일한 크기를 가지도록 형성될 수 있다. 이때, 라인 단위로 외곽으로 갈수록 더미 홀(320)의 크기가 이전 라인의 크기 대비 90%의 크기를 가지도록 형성되어 그 크기가 작아질 수 있다.
이어서, 도 10(B)에 도시된 바와 같이, 스퀴지 바(400)를 이용한 스크린 프린팅 방식으로 대전입자(140)와 충진 용매(155)로 구성된 전기영동 분산액을 전체 화소에 충진 공간에 충진 시킨다. 이때, 충진 공간의 10% ~ 50% 해당하는 부피로 대전입자(140)의 충진이 이루어진다.
대전입자(140) 및 충진 용매(155)로 구성된 전기영동 분산액의 충진 공정은 5~50[mm/sec]의 스퀴지 속도 및 0.1~30[Kgf/㎠] 스퀴지 압력으로 이루어질 수 있다.
여기서, 복수의 대전입자(140)는 블랙(black) 컬러 및 화이트(white) 컬러로 착색된다. 블랙 컬러의 대전입자는 카본 블랙(carbon black) 물질로 형성될 수 있고, 화이트 컬러의 대전입자는 이산화 티타늄(TiO2: titanium oxide)으로 형성될 수 있다.
한편, 전기영동 분산액 충진 공정은 상기 스크린 프린팅 방식 이외에도 다이 코팅(Die coating) 방식, 캐스팅(Casting) 방식, 바 코팅(Bar Coating) 방식, 슬릿 코팅(Slit Coating) 방식, 디스펜스(Dispense) 방식, 스퀴징(squeezing) 방식, 방식 또는 잉크젯 프린팅(Inkjet printing) 방식을 이용할 수도 있다.
이어서, 도 11(A)을 참조하면, 전체 화소에 대전입자(140) 및 충진 용매(155)를 충진한 후, 건조(휘발) 공정을 수행하여 충진 용매(155)를 휘발시킨다. 이때, 충진 용매(155)의 일부 또는 전부를 휘발시킬 수 있다.
충진 용매(155)를 일부 휘발시키는 경우, 10분~30분의 시간 동안 충진 용매(155)를 휘발 시킬 수 있다.
충진 용매(155)를 완전 휘발시키는 경우, 10분 ~ 24시간 동안 건조공정을 진행한다.
건조공정의 효율을 높이기 위해, 150℃ 이하의 온도를 가하여 충진 용매(155)의 휘발 속도를 높일 수 있다. 그러나, 이는 건조공정의 일 예를 나타낸 것으로 상기 충진 용매(155)의 휘발성이 높고, 화소 영역의 부피가 작은 경우에는 건조공정의 시간이 더 단축될 수 있다.
한편, 상기 충진 용매(155)의 휘발성이 낮고, 화소 영역의 부피가 큰 경우에는 건조공정의 시간이 더 연장될 수 있다. 따라서, 건조공정의 진행 시간은 충진 용매(155)의 휘발 특성 및 화소 영역의 부피를 고려하여 적정시간 동안 건전 공정을 진행한다.
도 11(B)에 도시된 바와 같이, 화소 영역에 충진되었던 충진 용매(155)의 전부 또는 일부를 휘발시킨 이후에, 도 11(C)에 도시된 바와 같이, 전체 화소 영역에 구동 용매(150)를 충진시킨다. 이때, 대전입자(140)의 전기영동 구동을 위한 구동 용매(150)는 전체 화소 영역 내에 동시에 충진된다.
구동 용매(150)는 대전입자(140)가 전기영동에 의해 이동될 수 있도록 10cP ~ 10KcP의 점도를 가지는 무극성의 유기물질 또는 무극성의 무기물질이 적용될 수 있다.
일 예로서, 구동 용매(150)로는 할로겐 솔벤트(halogenated solvents), 포화 탄화수소(saturated hydrocarbons), 실리콘 오일(silicone oils), 저 분자량 할로겐을 포함하는 폴리머(low molecular weight halogen-containing polymers), 에폭사이드(epoxides), 비닐 에테르(vinyl ethers), 비닐 에스테르(vinyl ester), 방향족 탄화수소(aromatic hydrocarbon), 톨루엔(toluene), 나프탈렌(naphthalene), 액상 파라핀(paraffinic liquids) 또는 폴리 클로로트리플루오로에틸렌 폴리머(poly chlorotrifluoroethylene polymers) 물질 또는 상기 물질들 중 적어도 하나를 포함하는 물질이 사용될 수 있다.
여기서, 충진 용매(155)와 구동 용매(150)는 동일한 물질이 적용될 수 있다. 그러나, 충진 용매(155)와 구동 용매(150)가 반드시 동일한 물질일 필요는 없으며, 충진 용매(155)와 구동 용매(150)는 각 용매를 충진시키는 방식에 따라서 서로 다른 물질이 사용될 수 있다.
이어서, 도 12를 참조하면, 상부 베이스 기판(210) 상에 공통 전극(220) 및 실링 레이어(230)를 형성하여 상부 기판(200)을 제조한다. 이때, 상부 기판(200)의 제조는 하부 기판(100)의 제조 공정과 별도로 이루어지며, 선행 제조공정을 통해 미리 마련될 수 있다.
이후, 실링 레이어(230)를 이용하여 격벽(130) 상부 및 전기영동 분산액을 실링하고, 하부 기판(100)과 상부 기판(200)을 합착시킨다.
상부 기판(200)은 화상을 표시하기 위해 투명하여야 함으로, 상부 베이스 기판(210, 제2 베이스 기판)은 투명 재질의 유리 또는 투명한 플라스틱의 재질로 형성될 수 있다.
공통 전극(220)은 상부 베이스 기판(210) 위에 ITO와 같은 투명 전도성 물질로 형성되며, 전체 화소 영역에 대응되도록 판(plate) 형상으로 형성된다.
실링 레이어(230)는 공통 전극(220) 상에 접착 물질을 도포한 후, 임프린팅 또는 포토리쏘그래피 공정을 통해 형성할 수 있다.
다른 예로서, 상기 실링 레이어(230)는 특정 패턴이 양각 또는 음각으로 형성된 롤러를 이용한 롤-투-롤(Roll-to-Roll) 공정을 이용하여 형성할 수도 있다.
한편, 상기 실링 레이어(230)를 필름 형태(film type)로 제조한 뒤, 라미네이션(lamination) 공정을 이용하여 상부 기판(100)과 하부 기판(200)을 합착시킬 수도 있다.
상부 기판(200)과 하부 기판(100)의 합착은 일정 압력을 가하는 가압 공정을 통해 이루어질 수 있으며, 상기 가압 공정과 함께 일정 온도를 가하는 어닐링 공정이 함께 이루어질 수 있다.
하부 기판(100)과 상부 기판(200)의 외곽을 실런트로 실링하여 복수의 대전입자(140) 및 구동 용매(150)가 외부로 흘러나가지 않도록 한다.
한편, 구동 용매(150)의 충진 공정은 스퀴지 바(squeeze bar)를 이용한 스크린 프린팅(screen printing) 방식, 다이 코팅(Die coating) 방식, 캐스팅(Casting) 방식, 바 코팅(Bar Coating) 방식, 슬릿 코팅(Slit Coating) 방식, 디스펜스(Dispense) 방식, 스퀴징(squeezing) 방식, 방식, 잉크젯 프린팅(Inkjet printing) 방식 또는 모세관 현상을 이용한 방이 적용될 수 있다.
도 13 내지 도 20은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크와 이를 이용한 전기영동 표시장치의 제조방법을 나타내는 도면이다. 이하, 도 13 내지 도 20을 참조하여, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크를 이용한 컬러 화상을 표시할 수 있는 전기영동 표시장치의 제조방법을 설명한다.
하부 기판(100)에 격벽(130)을 형성하는 제조 공정은 도 7 내지 도 9를 참조하여 상술한 제조공정과 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 전기영동 표시장치가 컬러 화상을 표시하는 경우, 복수의 화소는 레드 화소들, 그린 화소들 및 블루 화소들로 구성된다.
여기서, 전기영동 표시장치가 풀 컬러를 구현하는 경우, 상기 대전입자(140)는 각 셀이 표시하고자 하는 컬러에 대응되는 컬러로 착색되게 된다. 따라서, 대전입자(140)와 충진 용매(155)의 충진 공정은 착색된 대전입자(140)의 컬러 별로 순차적으로 이루어질 수 있다.
일 예로서, 복수의 화소가 레드(red), 그린(green), 블루(blue)의 3가지 컬러로 구성되는 경우, 레드(red), 그린(green), 블루(blue)의 컬러와 대응되는 화소 별로 전기영동 분산액의 충진이 순차적으로 이루어질 수 있다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 제조를 위한 제1 마스크(500)는 화소 영역과 더미 영역을 포함한다. 화소 영역에는 복수의 화소 홀(510)이 형성되어 있고, 더미 영역에는 복수의 더미 홀(520)이 형성되어 있다.
제1 마스크(500)에 형성된 복수의 화소 홀(510)은 전기영동 표시장치의 전체화소들 중에서 레드 화소들과 1:1로 대응되도록 형성된다.
한편, 더미 영역에 형성된 복수의 더미 홀(520)은 2 라인 내지 10 라인(2~10 line)으로 형성될 수 있다. 도 13에서는 복수의 더미 홀(520)이 4 라인으로 형성되어 있는 것을 일 예로 도시하고 있다.
제1 마스크(500)에 형성된 복수의 화소 홀(510)은 제조 공정 중에 하부 기판(100)에 형성된 격벽(130) 상부에 얼라인되어 복수의 화소들 중에서 레드 화소들만을 오픈시킨다.
화소 홀(510)은 직경이 20㎛ ~ 60㎛로 형성될 수 있다.
복수의 더미 홀(520)은 일 예로서, 화소 영역에 형성된 복수의 화소 홀(310)과 동일한 크기 및 동일 형상으로 형성될 수 있으며, 규칙적으로 배열될 수 있다.
다른 예로서, 복수의 더미 홀(520)은 화소 홀(510) 대비 최대 200% 크게 형성될 수 있다.
동일 라인에 형성된 복수의 더미 홀(520)은 동일한 크기를 가지도록 형성될 수 있다. 이때, 라인 단위로 외곽으로 갈수록 더미 홀(520)의 크기가 이전 라인의 크기 대비 90%의 크기를 가지도록 형성되어 그 크기가 작아질 수 있다.
더미 영역에 형성된 복수의 더미 홀(520)은 화소 영역에 형성된 복수의 화소 홀(510)과 대응되어 규칙적으로 형성될 수 있다. 그러나, 더미 홀(520)은 화소 홀(510) 주변에 형성되는 인장도를 균일하게 하는 것이 주된 용도이므로, 더미 영역에 형성된 복수의 더미 홀(520)은 불규칙하게 형성될 수 도 있다.
여기서, 도 13(A)에 도시된 바와 같이, 제1 마스크(500)에 형성된 복수의 더미 홀(520)은 더미 영역 전체 영역에 균일하게 형성될 수 있다. 한편, 도 13(B)에 도시된 바와 같이, 제1 마스크(500)에 형성된 복수의 더미 홀(520)은 전기영동 표시장치의 레드 화소들만을 오픈시키도록 형성된 복수의 화소 홀(510)과 대응되도록 형성될 수 있다.
이어서, 도 14를 참조하면, 전체 화소들 중에서 레드 화소들만을 오픈시키는 복수의 화소 홀(510) 및 상기 복수의 화소 홀(510) 외곽에 형성된 복수의 더미 홀(520)을 포함하는 제1 마스크(500)를 격벽(130) 상부에 얼라인 시킨다.
이후, 스퀴지 바(400, squeeze bar)를 이용한 스크린 프린팅(screen printing) 방법으로 레드 컬러의 대전입자 및 충진 용매로 구성된 전기영동 분산액을 레드 화소들에 충진 시킨다.
이어서, 도 15를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 제조를 위한 제2 마스크(600)는 화소 영역과 더미 영역을 포함한다. 화소 영역에는 복수의 화소 홀(610)이 형성되어 있고, 더미 영역에는 복수의 더미 홀(620)이 형성되어 있다.
제2 마스크(600)에 형성된 복수의 화소 홀(610)은 전기영동 표시장치의 전체화소들 중에서 그린 화소들과 1:1로 대응되도록 형성된다.
한편, 더미 영역에 형성된 복수의 더미 홀(620)은 2 라인 내지 10 라인(2~10 line)으로 형성될 수 있다. 도 15에서는 복수의 더미 홀(620)이 4 라인으로 형성되어 있는 것을 일 예로 도시하고 있다.
제2 마스크(600)에 형성된 복수의 화소 홀(610)은 제조 공정 중에 하부 기판(100)에 형성된 격벽(130) 상부에 얼라인되어 복수의 화소들 중에서 그린 화소들만을 오픈시킨다.
여기서, 도 15(A)에 도시된 바와 같이, 제2 마스크(600)에 형성된 복수의 더미 홀(620)은 더미 영역 전체 영역에 균일하게 형성될 수 있다. 한편, 도 15(B)에 도시된 바와 같이, 제2 마스크(600)에 형성된 복수의 더미 홀(620)은 전기영동 표시장치의 레드 화소들만을 오픈시키도록 형성된 복수의 화소 홀(610)과 대응되도록 형성될 수 있다.
여기서, 제2 마스크(600)에 형성된 복수의 화소 홀(610)의 크기 및 배열된 형태는 상술한 제1 마스크(500)와 동일 또는 유사함으로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이어서, 도 16을 참조하면, 전체 화소들 중에서 그린 화소들만을 오픈시키는 복수의 화소 홀(610) 및 상기 복수의 화소 홀(610) 외곽에 형성된 복수의 더미 홀(620)을 포함하는 제2 마스크(600)를 격벽(130) 상부에 얼라인 시킨다.
이후, 스퀴지 바(400)를 이용한 스크린 프린팅 방법으로 그린 컬러의 대전입자 및 충진 용매로 구성된 전기영동 분산액을 그린 화소들에 충진 시킨다.
이어서, 도 17을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 제조를 위한 제3 마스크(700)는 화소 영역과 더미 영역을 포함한다. 화소 영역에는 복수의 화소 홀(710)이 형성되어 있고, 더미 영역에는 복수의 더미 홀(720)이 형성되어 있다.
제3 마스크(700)에 형성된 복수의 화소 홀(710)은 전기영동 표시장치의 전체화소들 중에서 블루 화소들과 1:1로 대응되도록 형성된다.
한편, 더미 영역에 형성된 복수의 더미 홀(720)은 2 라인 내지 10 라인(2~10 line)으로 형성될 수 있다. 도 17에서는 복수의 더미 홀(720)이 4 라인으로 형성되어 있는 것을 일 예로 도시하고 있다.
제3 마스크(700)에 형성된 복수의 화소 홀(710)은 제조 공정 중에 하부 기판(100)에 형성된 격벽(130) 상부에 얼라인되어 복수의 화소들 중에서 블루 화소들만을 오픈시킨다.
여기서, 도 17(A)에 도시된 바와 같이, 제3 마스크(700)에 형성된 복수의 더미 홀(720)은 더미 영역 전체 영역에 균일하게 형성될 수 있다. 한편, 도 17(B)에 도시된 바와 같이, 제3 마스크(700)에 형성된 복수의 더미 홀(720)은 전기영동 표시장치의 레드 화소들만을 오픈시키도록 형성된 복수의 화소 홀(710)과 대응되도록 형성될 수 있다.
여기서, 제3 마스크(700)에 형성된 복수의 화소 홀(710)의 크기 및 배열된 형태는 상술한 제1 마스크(500)와 동일 또는 유사함으로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이어서, 도 18을 참조하면, 전체 화소들 중에서 블루 화소들만을 오픈시키는 복수의 화소 홀(710) 및 상기 복수의 화소 홀(710) 외곽에 형성된 복수의 더미 홀(720)을 포함하는 제3 마스크(700)를 격벽(130) 상부에 얼라인 시킨다.
이후, 스퀴지 바(400)를 이용한 스크린 프린팅 방법으로 블루 컬러의 대전입자 및 충진 용매로 구성된 전기영동 분산액을 그린 화소들에 충진 시킨다.
여기서, 충진 용매(155)는 할로겐 솔벤트(halogenated solvents), 포화 탄화수소(saturated hydrocarbons), 실리콘 오일(silicone oils), 저 분자량 할로겐을 포함하는 폴리머(low molecular weight halogen-containing polymers), 에폭사이드(epoxides), 비닐 에테르(vinyl ethers), 비닐 에스테르(vinyl ester), 방향족 탄화수소(aromatic hydrocarbon), 톨루엔(toluene), 나프탈렌(naphthalene), 액상 파라핀(paraffinic liquids), 폴리 클로로트리플루오로에틸렌 폴리머(poly chlorotrifluoroethylene polymers) 물질 또는 상기 물질들 중 적어도 하나를 포함하는 물질이 사용될 수 있다.
이때, 충진 용매(155)는 레드, 그린, 블루로 착색된 대전입자(140)를 각 컬러의 화소들의 충진 셀에 충진시키는 용도로만 이용되는 것으로, 상술한 충진방식에 적합한 물질을 적용할 수 있다.
일 예로서, 잉크젯 방식을 이용하여 충진 셀에 전기영동 분산액을 충진시키는 경우 솔벤트(solvents)가 이용될 수 있으며, 각각의 충진 방식에 따라 대전입자의 반응성을 고려하여 용해 및 침전이 없는 재료를 이용할 수 있다.
여기서, 충진 공간의 10% ~ 50% 해당하는 부피로 대전입자(140)의 충진이 이루어진다.
대전입자(140) 및 충진 용매(155)로 구성된 전기영동 분산액의 충진 공정은 5~50[mm/sec]의 스퀴지 속도 및 0.1~30[Kgf/㎠] 스퀴지 압력으로 이루어질 수 있다.
여기서, 복수의 대전입자(140)는 블랙(black) 컬러 및 화이트(white) 컬러로 착색된다. 블랙 컬러의 대전입자는 카본 블랙(carbon black) 물질로 형성될 수 있고, 화이트 컬러의 대전입자는 이산화 티타늄(TiO2: titanium oxide)으로 형성될 수 있다.
상술한 설명에서는 대전입자(140)가 레드(red), 그린(green), 블루(blue)의 컬러로 착색된 것을 일 예로 설명하였으나, 옐로우(yellow), 시안(cyan), 마젠타(magenta) 및 화이트(white)의 컬러로 착색되는 경우에도 동일하게 적용될 수 있다.
한편, 전기영동 분산액 충진 공정은 상기 스크린 프린팅 방식 이외에도 다이 코팅(Die coating) 방식, 캐스팅(Casting) 방식, 바 코팅(Bar Coating) 방식, 슬릿 코팅(Slit Coating) 방식, 디스펜스(Dispense) 방식, 스퀴징(squeezing) 방식, 방식 또는 잉크젯 프린팅(Inkjet printing) 방식을 이용할 수도 있다.
도 13 내지 도 18에 도시된 제1 마스크(500) 내지 제3 마스크(700)는 두께가 20㎛ ~ 40㎛이고, 니켈(nickel)을 재료로 한 메탈 마스크가 적용될 수 있다. 본 발명의 다른 예로서, 제1 마스크(500) 내지 제3 마스크(700)는 격벽(130)과 동일 물질의 유기 마스크 또는 무기 마스크가 이용될 수 있다.
상술한, 본 발명의 실시 예에 따른 제1 마스크(500) 내지 제3 마스크(700)는 복수의 화소 홀 외곽에 복수의 더미 홀이 형성되어 있어 화소 영역의 모서리 부분, 테두리 부분 및 중앙부에 형성된 모든 화소 홀들 주변에 동일한 인장도가 형성되도록 할 수 있다.
또한, 대전입자(140)의 충진 공정 시, 복수의 더미 홀이 버퍼(buffer)로 기능하여 마스크와 스퀴지 바에 가해지는 충격을 완화시킨다. 이를 통해, 충진 공정의 난이도를 낮추고, 마스크 및 스퀴지 바의 수명을 연장시킬 수 있다.
이어서, 도 19(A)를 참조하면, 전체 화소에 대전입자(140) 및 충진 용매(155)를 충진한 후, 건조(휘발) 공정을 수행하여 충진 용매(155)를 휘발시킨다. 이때, 충진 용매(155)의 일부 또는 전부를 휘발시킬 수 있다.
충진 용매(155)를 일부 휘발시키는 경우, 10분~30분의 시간 동안 충진 용매(155)를 휘발 시킬 수 있다.
충진 용매(155)를 완전 휘발시키는 경우, 10분 ~ 24시간 동안 건조공정을 진행한다.
건조공정의 효율을 높이기 위해, 150℃ 이하의 온도를 가하여 충진 용매(155)의 휘발 속도를 높일 수 있다. 그러나, 이는 건조공정의 일 예를 나타낸 것으로 상기 충진 용매(155)의 휘발성이 높고, 화소 영역의 부피가 작은 경우에는 건조공정의 시간이 더 단축될 수 있다.
한편, 상기 충진 용매(155)의 휘발성이 낮고, 화소 영역의 부피가 큰 경우에는 건조공정의 시간이 더 연장될 수 있다. 따라서, 건조공정의 진행 시간은 충진 용매(155)의 휘발 특성 및 화소 영역의 부피를 고려하여 적정시간 동안 건전 공정을 진행한다.
도 19(B)에 도시된 바와 같이, 화소 영역에 충진되었던 충진 용매(155)의 전부 또는 일부를 휘발시킨 이후에, 도 19(C)에 도시된 바와 같이, 전체 화소 영역에 구동 용매(150)를 충진시킨다. 이때, 대전입자(140)의 전기영동 구동을 위한 구동 용매(150)는 전체 화소 영역 내에 동시에 충진된다.
구동 용매(150)는 대전입자(140)가 전기영동에 의해 이동될 수 있도록 10cP ~ 10KcP의 점도를 가지는 무극성의 유기물질 또는 무극성의 무기물질이 적용될 수 있다.
일 예로서, 구동 용매(150)로는 할로겐 솔벤트(halogenated solvents), 포화 탄화수소(saturated hydrocarbons), 실리콘 오일(silicone oils), 저 분자량 할로겐을 포함하는 폴리머(low molecular weight halogen-containing polymers), 에폭사이드(epoxides), 비닐 에테르(vinyl ethers), 비닐 에스테르(vinyl ester), 방향족 탄화수소(aromatic hydrocarbon), 톨루엔(toluene), 나프탈렌(naphthalene), 액상 파라핀(paraffinic liquids) 또는 폴리 클로로트리플루오로에틸렌 폴리머(poly chlorotrifluoroethylene polymers) 물질 또는 상기 물질들 중 적어도 하나를 포함하는 물질이 사용될 수 있다.
이어서, 도 20을 참조하면, 상부 베이스 기판(210) 상에 공통 전극(220) 및 실링 레이어(230)를 포함하는 상부 기판(200)과 하부 기판(100)을 합착시킨다. 이때, 상부 기판(200)에 형성된 실링 레이어(230)를 이용하여 격벽(130) 상부 및 전기영동 분산액을 실링하고, 하부 기판(100)과 상부 기판(200)을 합착시킨다.
상부 기판(200)의 구성 및 제조방법은 도 12를 참조한 설명과 동일 또는 유사함으로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 21은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 화소 구조를 나타내는 도면이고, 도 22 및 도 23은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 마스크와 이를 이용한 전기영동 표시장치의 제조방법을 나타내는 도면이다.
하부 기판(100)에 격벽(130)을 형성하는 제조 공정은 도 7 내지 도 9를 참조하여 상술한 제조공정과 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 21을 참조하면, 전기영동 표시장치가 컬러 화상을 표시하는 경우, 복수의 화소는 레드 화소들, 그린 화소들, 블루 화소들 및 화이트 화소들로 구성될 수 있다. 이때, 하나의 단위 화소를 구성하는 4컬러의 화소들은 쿼드 구조로 형성될 수 있다.
전기영동 표시장치가 풀 컬러를 구현하는 경우, 상기 대전입자(140)는 각 셀이 표시하고자 하는 컬러에 대응되는 컬러로 착색되게 된다. 따라서, 대전입자(140)와 충진 용매(155)의 충진 공정은 착색된 대전입자(140)의 컬러 별로 순차적으로 이루어질 수 있다.
일 예로서, 복수의 화소가 레드(red), 그린(green), 블루(blue) 및 화이트의 4컬러 화소들로 구성되는 경우, 레드(red), 그린(green), 블루(blue) 및 화이트 컬러와 대응되는 화소 별로 전기영동 분산액의 충진이 순차적으로 이루어질 수 있다.
이때, 레드 화소들, 그린 화소들, 블루 화소들 및 화이트 화소들에는 각 화소가 나타내고자 하는 컬러로 착색된 대전입자와 함께, 블랙 컬러의 대전입자가 충진되어 있어 모든 화소들은 블랙 컬러를 표시할 수 있다.
도 22를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 전기영동 표시장치의 제조를 위한 제4 마스크(810) 내지 제7 마스크(840)는 화소 영역과 더미 영역을 포함한다. 화소 영역에는 복수의 화소 홀이 형성되어 있고, 더미 영역에는 복수의 더미 홀이 형성되어 있다.
레드 화소들, 그린 화소들, 블루 화소들 또는 화이트 화소들에 대응되도록 형성된 복수의 화소 홀의 외곽에 복수의 더미 홀이 형성되어 있다.
예로서, 제4 마스크(810)의 복수의 더미 홀(814)은 레드 화소들에 대응되도록 형성된 복수의 화소 홀(812)의 외곽에 형성되어 있다.
제5 마스크(820)의 복수의 더미 홀(824)은 그린 화소들에 대응되도록 형성된 복수의 화소 홀(822)의 외곽에 형성되어 있다.
제6 마스크(830)의 복수의 더미 홀(834)은 블루 화소들에 대응되도록 형성된 복수의 화소 홀(832)의 외곽에 형성되어 있다.
제7 마스크(840)의 복수의 더미 홀(844)은 화이트 화소들에 대응되도록 형성된 복수의 화소 홀(842)의 외곽에 형성되어 있다.
제4 마스크(810)에 형성된 복수의 화소 홀(812)은 전기영동 표시장치의 전체화소들 중에서 레드 화소들과 1:1로 대응되도록 형성된다. 제4 마스크(810)의 더미 영역에 형성된 복수의 더미 홀(814)은 2 라인 내지 10 라인(2~10 line)으로 형성될 수 있다.
제4 마스크(810)에 형성된 복수의 화소 홀(812)은 제조 공정 중에 하부 기판(100)에 형성된 격벽(130) 상부에 얼라인되어 복수의 화소들 중에서 레드 화소들만을 오픈시킨다.
이이서, 제5 마스크(820)에 형성된 복수의 화소 홀(822)은 전기영동 표시장치의 전체화소들 중에서 그린 화소들과 1:1로 대응되도록 형성된다. 제5 마스크(820)의 더미 영역에 형성된 복수의 더미 홀(824)은 2 라인 내지 10 라인(2~10 line)으로 형성될 수 있다.
제5 마스크(820)에 형성된 복수의 화소 홀(822)은 제조 공정 중에 하부 기판(100)에 형성된 격벽(130) 상부에 얼라인되어 복수의 화소들 중에서 그린 화소들만을 오픈시킨다.
이이서, 제6 마스크(830)에 형성된 복수의 화소 홀(832)은 전기영동 표시장치의 전체화소들 중에서 블루 화소들과 1:1로 대응되도록 형성된다. 제6 마스크(830)의 더미 영역에 형성된 복수의 더미 홀(834)은 2 라인 내지 10 라인(2~10 line)으로 형성될 수 있다.
제6 마스크(830)에 형성된 복수의 화소 홀(832)은 제조 공정 중에 하부 기판(100)에 형성된 격벽(130) 상부에 얼라인되어 복수의 화소들 중에서 블루 화소들만을 오픈시킨다.
이이서, 제7 마스크(840)에 형성된 복수의 화소 홀(842)은 전기영동 표시장치의 전체화소들 중에서 블루 화소들과 1:1로 대응되도록 형성된다. 제7 마스크(840)의 더미 영역에 형성된 복수의 더미 홀(844)은 2 라인 내지 10 라인(2~10 line)으로 형성될 수 있다.
제7 마스크(840)에 형성된 복수의 화소 홀(842)은 제조 공정 중에 하부 기판(100)에 형성된 격벽(130) 상부에 얼라인되어 복수의 화소들 중에서 화이트 화소들만을 오픈시킨다.
여기서, 제4 마스크(810) 내지 제7 마스크(840)에 형성된 복수의 화소 홀의 크기 및 배열된 형태는 상술한 제1 마스크(500)와 동일 또는 유사함으로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이어서, 도 23(A)을 참조하면, 전체 화소들 중에서 레드 화소들만을 오픈시키는 복수의 화소 홀(812) 및 상기 복수의 화소 홀(812) 외곽에 형성된 복수의 더미 홀(814)을 포함하는 제4 마스크(810)를 격벽(130) 상부에 얼라인 시킨다.
이후, 스퀴지 바(400)를 이용한 스크린 프린팅 방법으로 레드 컬러의 대전입자 및 충진 용매로 구성된 전기영동 분산액을 레드 화소들에 충진 시킨다.
이어서, 도 23(B)를 참조하면, 전체 화소들 중에서 그린 화소들만을 오픈시키는 복수의 화소 홀(822) 및 상기 복수의 화소 홀(822) 외곽에 형성된 복수의 더미 홀(824)을 포함하는 제5 마스크(820)를 격벽(130) 상부에 얼라인 시킨다.
이후, 스퀴지 바(400)를 이용한 스크린 프린팅 방법으로 그린 컬러의 대전입자 및 충진 용매로 구성된 전기영동 분산액을 그린 화소들에 충진 시킨다.
이어서, 도 23(C)를 참조하면, 전체 화소들 중에서 블루 화소들만을 오픈시키는 복수의 화소 홀(832) 및 상기 복수의 화소 홀(832) 외곽에 형성된 복수의 더미 홀(834)을 포함하는 제6 마스크(830)를 격벽(130) 상부에 얼라인 시킨다.
이후, 스퀴지 바(400)를 이용한 스크린 프린팅 방법으로 블루 컬러의 대전입자 및 충진 용매로 구성된 전기영동 분산액을 블루 화소들에 충진 시킨다.
이어서, 도 23(D)를 참조하면, 전체 화소들 중에서 화이트 화소들만을 오픈시키는 복수의 화소 홀(842) 및 상기 복수의 화소 홀(842) 외곽에 형성된 복수의 더미 홀(844)을 포함하는 제7 마스크(840)를 격벽(130) 상부에 얼라인 시킨다.
이후, 스퀴지 바(400)를 이용한 스크린 프린팅 방법으로 화이트 컬러의 대전입자 및 충진 용매로 구성된 전기영동 분산액을 화이트 화소들에 충진 시킨다.
여기서, 레드 화소들, 그린 화소들, 블루 화소들 및 화이트 화소들에는 블랙 컬러의 대전입자가 함께 충진된다.
도 22 및 도 23에 도시된 제4 마스크(810) 내지 제7 마스크(840)는 두께가 20㎛ ~ 40㎛이고, 니켈(nickel)을 재료로 한 메탈 마스크가 적용될 수 있다. 본 발명의 다른 예로서, 제4 마스크(810) 내지 제7 마스크(840)는 격벽(130)과 동일 물질의 유기 마스크 또는 무기 마스크가 이용될 수 있다.
상술한, 본 발명의 실시 예에 따른 제4 마스크(810) 내지 제7 마스크(840)는 복수의 화소 홀 외곽에 복수의 더미 홀이 형성되어 있어 화소 영역의 모서리 부분, 테두리 부분 및 중앙부에 형성된 모든 화소 홀들 주변에 동일한 인장도가 형성되도록 할 수 있다.
또한, 대전입자(140)의 충진 공정 시, 복수의 더미 홀이 버퍼(buffer)로 기능하여 마스크와 스퀴지 바에 가해지는 충격을 완화시킨다. 이를 통해, 충진 공정의 난이도를 낮추고, 마스크 및 스퀴지 바의 수명을 연장시킬 수 있다.
이어서, 상술한 실시 예들과 동일하게 건조(휘발) 공정을 수행하여 충진 용매(155)를 휘발시킨다. 이때, 충진 용매(155)의 일부 또는 전부를 휘발시킬 수 있다.
화소 영역에 충진되었던 충진 용매(155)의 전부 또는 일부를 휘발시킨 이후에, 전체 화소 영역에 구동 용매(150)를 충진시킨다. 이때, 대전입자(140)의 전기영동 구동을 위한 구동 용매(150)는 전체 화소 영역 내에 동시에 충진된다.
이어서, 상부 베이스 기판(210) 상에 공통 전극(220) 및 실링 레이어(230)를 포함하는 상부 기판(200)과 하부 기판(100)을 합착시킨다. 이때, 상부 기판(200)에 형성된 실링 레이어(230)를 이용하여 격벽(130) 상부 및 전기영동 분산액을 실링하고, 하부 기판(100)과 상부 기판(200)을 합착시킨다.
본 발명의 실시 예에 따른 마스크와 이를 이용한 전기영동 표시장치의 제조방법은 복수의 화소 홀 외곽에 복수의 더미 홀이 형성되어 있어 화소 영역의 모서리 부분, 테두리 부분 및 중앙부에 형성된 모든 화소 홀들 주변에 동일한 인장도가 형성되도록 할 수 있다.
이를 통해, 대전입자(140)의 충진 공정 시, 복수의 더미 홀이 버퍼(buffer)로 기능하여 마스크와 스퀴지 바에 가해지는 충격을 완화시켜, 충진 공정의 난이도를 낮춤과 아울러, 마스크(300) 및 스퀴지 바의 수명을 연장시킬 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 마스크와 이를 이용한 전기영동 표시장치의 제조방법은 복수의 화소 홀 외곽에 복수의 더미 홀을 형성하여, 전기영동 분산액의 미충진을 방지한다. 이를 통해, 전기영동 표시장치의 표시품질을 향상시키고, 구동 신뢰성을 확보할 수 있다.
또한, 전기영동 분산액의 미충진 및 과충진에 따른 불량을 방지하여 전기영동 표시장치의 양산성 및 제조효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 전기영동 분산액을 둘러싸는 외벽 즉, 격벽과 전기영동 분산액의 물성일 일치시켜 전기영동 분산액의 충진 공정이 원활히 이루어지도록 할 수 있다.
상술한 본 발명의 실시 예들에 따른 전기영동 표시장치의 제조방법은 기존의 액정 표시장치의 제조 공정에 이용되는 제조 인프라(infra)를 적용할 수 있는 장점이 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 상술한 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 하부 기판 110: 하부 베이스 기판
120: 화소 전극 130: 격벽
140: 대전입자 150: 구동 용매
155: 충진 용매 200: 상부 기판
210: 상부 베이스 기판 220: 공통 전극
230: 실링 레이어 400: 스퀴지 바
300, 500, 600, 700, 810, 820, 830, 840: 마스크
310, 510, 610, 710, 812, 822, 832, 842: 화소 홀
320, 520, 620, 720, 814, 824, 834, 844: 더미 홀

Claims (17)

  1. 전기영동 표시장치에 형성된 복수의 화소 대전입자를 충진시키기 위한 복수의 화소 홀; 및
    상기 복수의 화소 홀에 균일한 인장도가 가해지도록 상기 복수의 화소 홀 외곽에 형성된 복수의 더미 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 화소 홀은 상기 복수의 화소와 대응되도록 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 더미 홀은 복수의 라인으로 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 복수의 더미 홀은 2 라인 내지 10 라인으로 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크.
  5. 제 1 항에 있어서,
    화소 홀은 직경이 20㎛ ~ 60㎛로 형성되고,
    상기 복수의 더미 홀은 상기 복수의 화소 홀 대비 최대 200% 크기로 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 더미 홀은 복수의 라인으로 배열되어 형성되고,
    외곽으로 갈수록 홀의 크기가 이전 라인에 형성된 홀의 크기 대비 90%의 크기로 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 화소는 레드 화상을 표시하기 위한 레드 화소들을 포함하고,
    상기 복수의 화소 홀은 상기 레드 화소들에 대응되도록 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 화소는 그린 화상을 표시하기 위한 그린 화소들을 포함하고,
    상기 복수의 화소 홀은 상기 그린 화소들에 대응되도록 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 화소는 블루 화상을 표시하기 위한 블루 화소들을 포함하고,
    상기 복수의 화소 홀은 상기 블루 화소들에 대응되도록 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 화소는 화이트 화상을 표시하기 위한 화이트 화소들을 포함하고,
    상기 복수의 화소 홀은 상기 화이트 화소들에 대응되도록 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크.
  11. 제 7 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 레드 화소들, 그린 화소들, 블루 화소들 또는 화이트 화소들에 대응되도록 형성된 복수의 화소 홀의 외곽에 복수의 더미 홀이 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조를 위한 마스크.
  12. 하부 기판에 복수의 화소 영역을 정의하는 격벽 및 상기 복수의 화소 영역에 대응되는 화소 전극을 형성하는 단계;
    전기영동 표시장치에 형성된 복수의 화소 대전입자를 충진시키기 위한 복수의 화소 홀 및 상기 복수의 화소 홀에 균일한 인장도가 가해지도록 상기 복수의 화소 홀 외곽에 형성된 복수의 더미 홀을 포함하는 위한 마스크를 상기 격벽 상부에 얼라인 시키는 단계;
    상기 마스크를 이용하여 상기 격벽에 의해 정의된 복수의 화소 영역 내에 특정 컬러로 착색된 대전입자와 제1 용매를 충진하는 단계;
    건조공정을 수행하여 상기 제1 용매를 휘발시키는 단계;
    상기 복수의 화소 영역에 제2 용매를 충진시키는 단계; 및
    상부 기판과 하부 기판을 실링 합착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    제 2 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항 마스크와 스퀴지 바를 이용한 스크린 프린팅 방식으로 상기 복수의 화소 영역 내에 상기 대전입자를 충진시키는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 대전입자의 충진은 레드 화소, 그린 화소, 블루 화소 및 화이트 화소 별로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조방법.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 제1 용매 및 제2 용매는 할로겐 솔벤트(halogenated solvents), 포화 탄화수소(saturated hydrocarbons), 실리콘 오일(silicone oils), 저 분자량 할로겐을 포함하는 폴리머(low molecular weight halogen-containing polymers), 에폭사이드(epoxides), 비닐 에테르(vinyl ethers), 비닐 에스테르(vinyl ester), 방향족 탄화수소(aromatic hydrocarbon), 톨루엔(toluene), 나프탈렌(naphthalene), 액상 파라핀(paraffinic liquids), 폴리 클로로트리플루오로에틸렌 폴리머(poly chlorotrifluoroethylene polymers) 물질 중 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조방법.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 제1 용매 및 상기 제2 용매는 무극성의 유기물인 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조방법.
  17. 제 12 항에 있어서,
    상기 대전입자는 레드(red), 블루(blue), 그린(green), 엘로우(yellow), 시안(cyan), 마젠타(magenta), 블랙(black), 화이트(white)의 색상이 선택적으로 착색되는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조방법.
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