KR20130127758A - Vision inspection apparatus of improved image visibility - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 영상 선명도가 개선된 비전검사장치에 관한 발명으로서, 보다 상세하게는 조명부와 카메라부에 편광필터를 설치함으로써, 산란광의 편광성분을 제거하여 영상의 선명도를 향상시킨 비전검사장치에 관한 발명이다.The present invention relates to a vision inspection apparatus having improved image clarity, and more particularly, to a vision inspection apparatus which improves image clarity by removing polarization components of scattered light by installing polarization filters in an illumination unit and a camera unit. to be.
일반적으로, 인쇄회로기판(PCB) 등에 표면실장부품을 조립하는 표면실장기술(SMT; Surface Mounting Technology)은 표면실장부품(SMD; Surface Mounting Device)을 소형화/집적화하는 기술과, 이러한 표면실장부품을 정밀하게 조립하기 위한 정밀조립장비의 개발 및 각종 조립장비를 운용하는 기술을 포함한다.In general, Surface Mounting Technology (SMT) for assembling surface mount components on a printed circuit board (PCB) is a technology for miniaturizing / integrating Surface Mounting Device (SMD) Development of precise assembly equipment for precise assembly, and techniques for operating various assembly equipment.
통상적으로, 표면실장라인은 표면실장기와 비전검사장치와 같은 장비로 구성된다. Typically, the surface mount line consists of equipment such as surface mount and vision inspection devices.
상기 표면실장기는 표면실장부품을 인쇄회로기판상에 실장하는 장비로서, 테입(Tape), 스틱(Stick), 트레이(Tray) 형태로 공급되는 각종 표면실장부품을 부품공급기(Feeder)로부터 공급받아 인쇄회로기판 상의 실장위치에 올려놓는 작업을 수행한다.The surface mount device is a device for mounting a surface mount component on a printed circuit board. Various surface mount components supplied in the form of a tape, a stick, and a tray are supplied from a component feeder, And then putting it on the mounting position on the circuit board.
그리고, 상기 비전검사장치는 표면실장부품의 납땜공정 완료 전 또는 완료 후, 표면실장부품의 실장상태를 검사하며 검사결과에 따라 다음 공정으로 인쇄회로기판을 이송시키게 된다.The vision inspection apparatus inspects the mounting state of the surface mounted component before or after the soldering process of the surface mounted component is completed, and transfers the printed circuit board to the next process according to the inspection result.
이때, 컨베이어를 통해 납땜이 완료된 인쇄회로기판이 수평 이송되면 위치조절장치에서 초기 위치를 조절하고, 조절이 완료된 후 조명등이 인쇄회로기판을 조사하면 카메라가 각 표면실장부품의 납땜 부위를 촬영한다.At this time, when the soldering completed printed circuit board is transported horizontally by the conveyor, the position adjusting device adjusts the initial position, and after the adjustment is completed, when the lamp illuminates the printed circuit board, the camera photographs the soldered portion of each surface mounting component.
이후 비전검사장치는 납땜부위의 촬영 상태를 모니터로 출력하고 연산함으로써, 실장의 양호/불량을 검사하거나, 표면실장부품의 실장 유/무를 검사하게 된다.After that, the vision inspection device outputs the photographed state of the soldering part to the monitor and calculates the result of the inspection of the good / bad of the mounting or the mounting of the surface mount component.
따라서, 상기 비전검사장치는 검사대상물이 놓여지는 면의 수직 상부에 배치되어 검사대상물의 평면적 영상을 촬영하기 위한 수직카메라와, 검사대상물의 측부에서 경사지게 배치되어 검사대상물을 촬영하기 위한 측부카메라 및 조명부를 포함하여 구성된다. Accordingly, the vision inspection apparatus is disposed on a vertical upper surface of the surface on which the inspection object is placed, and a vertical camera for photographing a planar image of the inspection object, and a side camera and an illumination unit disposed to be inclined at the side of the inspection object to photograph the inspection object. It is configured to include.
그런데, 조명부로부터의 광이 검사대상물의 표면에서 반사되는 경우에, 예를 들어 정반사가 발생되는 경우에는 카메라를 통해 지나치게 많은 양의 광이 입사되므로, 광 번짐 현상에 의해 선명한 영상을 획득하지 못하는 경우가 발생된다.However, when the light from the lighting unit is reflected on the surface of the inspection object, for example, when a specular reflection occurs, too much light is incident through the camera, and thus a clear image cannot be obtained due to light blurring. Is generated.
상기와 같이 선명한 영상을 획득하지 못하는 경우에는, 미세한 패턴 또는 소형 부품의 3차원적 형상을 정확히 판별하는데에 한계가 될 수 있다.If a clear image is not obtained as described above, it may be a limitation in accurately determining a fine pattern or three-dimensional shape of a small component.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 조명부로부터의 광이 정반사되는 경우에 정반사 광으로부터 편광성분을 제거함으로써, 선명한 영상을 획득할 수 있도록 구성되는 영상선명도가 개선된 비전검사장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to remove the polarization component from the specular light when the light from the light reflecting, the image sharpness is configured to obtain a clear image It is to provide an improved vision inspection device.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 영상 선명도가 개선된 비전검사장치는 검사대상물을 카메라로 촬영하여 양호 또는 불량을 판별하기 위한 비전검사장치로서, 검사대상물을 안착시키는 스테이지부와, 렌즈와 이미지감지부를 포함하여 구성되되 검사대상물의 영상을 촬영하기 위한 카메라부와, 상기 검사대상물에 조명을 제공하기 위한 조명부와, 상기 카메라부에서 촬영된 영상을 판독하여 상기 검사대상물의 양호 또는 불량을 판별하는 비전처리부와, 상기 구성들을 제어하기 위한 제어부를 포함하며, 상기 카메라부는 상기 검사대상물의 수직 상부에 배치되는 중앙카메라부와 상기 검사대상물에 대해 일정 각도 기울어져 설치되는 측부카메라부를 포함하며, 상기 조명부는 상기 중앙카메라부하부에 배치되는 상부조명부와 상기 측부카메라부 하부에 배치되는 하부조명부를 포함하고, 상기 상부조명부와 상기 측부카메라부에는 편광필터가 설치되는 것을 특징으로 한다.Vision inspection apparatus with improved image clarity according to the present invention for achieving the above object is a vision inspection apparatus for determining the good or bad by photographing the inspection object with a camera, a stage unit for mounting the inspection object, the lens and the image A camera unit for capturing an image of the inspection object, a lighting unit for providing illumination to the inspection object, and an image photographed by the camera unit to read the image of the inspection object to determine whether the inspection object is good or bad. And a vision processing unit and a control unit for controlling the components, wherein the camera unit includes a central camera unit disposed on a vertical upper portion of the inspection object and a side camera unit installed at an angle with respect to the inspection object, and the illumination unit Is an upper lighting unit and the side camera disposed at the central camera load unit. Portion including a lower illumination portion is disposed at the bottom, and the upper illumination portion and the side camera unit is characterized in that the polarization filter is installed.
여기서, 상기 상부조명부에 설치되는 편광필터와 측부카메라부에 설치되는 편광필터는 편광 방향이 서로 다를 수 있다.Here, the polarization filter installed in the upper lighting unit and the polarization filter installed in the side camera unit may have different polarization directions.
본 발명에 의해, 조명부로부터의 광이 정반사되는 경우에 정반사 광으로부터 편광성분을 제거함으로써 선명한 영상을 획득할 수 있다.According to the present invention, a clear image can be obtained by removing the polarization component from the specularly reflected light when the light from the illuminating part is specularly reflected.
첨부의 하기 도면들은, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 본 발명에 따른 비전검사장치의 개략 측단면도이며,
도 2 는 조명부의 입사각도에 따른 반사광의 강도를 편광성분에 따라 분할 도시한 그래프이며,
도 3 역시 조명부의 입사각도에 따른 반사광의 강도를 편광성분에 따라 분할 도시한 그래프이며,
도 4 는 하부조명부의 반사광으로부터 S 편광 성분을 제거하기 이전의 영상예이며,
도 5 는 하부조명부의 반사광으로부터 S 편광 성분을 제거한 영상예이며,
도 6 은 상부조명부의 반사광으로부터 S 편광성분과 P 편광성분을 제거하기 이전의 영상예이며,
도 7 은 상부조명부의 반사광으로부터 S 편광성분과 P 편광성분을 제거한 영상예이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the invention and are incorporated in and constitute a part of this application, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention.
1 is a schematic side cross-sectional view of a vision inspection apparatus according to the present invention,
2 is a graph showing the intensity of the reflected light according to the incident angle of the illumination unit divided by the polarization component,
3 is also a graph showing the intensity of the reflected light according to the incident angle of the illumination unit divided by the polarization component,
4 is an example of an image before removing the S-polarized component from the reflected light of the lower lighting unit;
5 is an image example in which the S-polarized component is removed from the reflected light of the lower lighting unit;
6 is an example of an image before removing the S-polarized component and the P-polarized component from the reflected light of the upper lighting unit;
7 is an image example in which the S-polarized component and the P-polarized component are removed from the reflected light of the upper lighting unit.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to this, the terms used in the specification and claims should not be construed in a dictionary sense, and the inventor may, on the principle that the concept of a term can be properly defined in order to explain its invention in the best way And should be construed in light of the meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments shown in the present specification and the drawings are only exemplary embodiments of the present invention, and not all of the technical ideas of the present invention are presented. Therefore, various equivalents It should be understood that water and variations may exist.
도 1 은 본 발명에 따른 비전검사장치의 개략 측단면도이다.1 is a schematic side cross-sectional view of a vision inspection apparatus according to the present invention.
본 발명에 따른 영상 선명도가 개선된 비전검사장치는 검사대상물을 카메라로 촬영하여 양호 또는 불량을 판별하기 위한 비전검사장치로서, 검사대상물(15)을 안착시키는 스테이지부(10)와, 렌즈와 이미지감지부를 포함하여 구성되되 검사대상물의 영상을 촬영하기 위한 카메라부(20, 30)와, 상기 검사대상물(15)에 조명을 제공하기 위한 조명부(40, 50)와, 상기 카메라부(20, 30)에서 촬영된 영상을 판독하여 상기 검사대상물의 양호 또는 불량을 판별하는 비전처리부(60)와, 상기 구성들을 제어하기 위한 제어부(70)를 포함하며, 상기 카메라부(20, 30)는 상기 검사대상물의 수직 상부에 배치되는 중앙카메라부(20)와 상기 검사대상물에 대해 일정 각도 기울어져 설치되는 측부카메라부(30)를 포함하며, 상기 조명부(40, 50)는 상기 중앙카메라부(20) 하부에 배치되는 상부조명부(40)와 상기 측부카메라부(30) 하부에 배치되는 하부조명부(50)를 포함하고, 상기 상부조명부(40)와 상기 측부카메라부(30)에는 편광필터(80, 90)가 설치되는 것을 특징으로 한다.Vision inspection apparatus with improved image clarity according to the present invention is a vision inspection device for determining the good or bad by photographing the inspection object with a camera, the
본 발명에 따른 비전검사장치는 표면실장라인에서 작업을 마친 인쇄회로기판의 표면실장부품을 검사할 경우, 선행장비의 컨베이어를 통해 다음 공정으로 이동되기 이전에 비전검사를 실시할 수 있도록 설치된다.The vision inspection apparatus according to the present invention is installed so that vision inspection can be performed before moving to a next process through a conveyor of a preceding equipment when inspecting a surface mounted component of a printed circuit board finished in a surface mounting line.
이와 같은 비전검사장치는 선, 후행 장비의 컨베이어와 컨베이어 사이에 형성되는 공간에 배치되는 방식으로 설치되거나, 또는 선, 후행장비와 연계되지 않고 단독 테이블 형태로도 사용될 수 있다.Such a vision inspection device may be installed in a manner such that it is disposed in a space formed between the conveyor of the line and the trailing equipment and the conveyor, or may be used in the form of a single table without being linked with the line or trailing equipment.
상기 스테이지부(10)는 비전 검사의 대상이 되는 PCB 기판 등의 검사대상물(15)을 안착시키기 위한 구성으로서, 예를 들어 제어부(70)의 제어를 통한 로봇 암, 이송롤러 또는 모터 및 컨베이어벨트 등의 이송 수단에 의해 이송된 상기 검사대상물(15)이 안착된다.The
상기 카메라부(20, 30)는 검사대상물의 2차원적 형상 및 격자 그림자를 촬영하기 위한 구성으로서, 측부카메라(30)는 상기 검사대상물(15)에 대해 일정 각도 비스듬히 설치된다.The
상기 카메라부(20, 30) 내에 포함되는 이미지감지부는 씨씨디(CCD: Charge Coupled Device) 또는 씨모스(CMOS: Complementary metal-oxide semiconductor)와 같은 촬상소자로 구성된다.The image sensing unit included in the
상기 조명부(40, 50)는 상기 검사대상물(15)에 조명을 비추기 위한 구성으로서, 상기 중앙카메라부(20)의 하부에 배치되는 상부조명부(40)와 상기 측부카메라부(30)의 하부에 배치되는 하부조명부(50)로 구성된다.The
통상적인 비전검사장치는 격자 형상의 그림자를 상기 검사대상물(15)의 표면에 형성되도록 하고, 이와 같이 형성된 격자 형상의 그림자를 상기 카메라부(20, 30)를 통해 촬영함으로써. 상기 검사대상물의 3차원적 높이를 측정하게 된다.Conventional vision inspection apparatus is to form a grid-shaped shadow on the surface of the
여기서, 상기 검사대상물(15)의 표면에서 3차원적 높이가 동일한 부분에서는 격자 형상의 그림자가 평행한 일직선의 형태로 촬영된다.Here, in the portion where the three-dimensional height is the same on the surface of the
그러나, 상기 검사대상물(15)의 표면에서 3차원적 높이가 서로 다른 부분의 경우, 상기 격자 형상의 그림자가 서로 어긋나는 형태로 왜곡되어 촬영되는데, 이러한 왜곡의 정도를 3각함수로 계산하면 검사대상물(15)의 3차원적 높이를 계산할 수 있다.However, in the case where the three-dimensional height is different on the surface of the object to be inspected 15, the lattice-like shadows are distorted in such a manner as to be mutually misaligned. By calculating the degree of such distortion by the trigonometric function, It is possible to calculate the three-dimensional height of the
상기 카메라부(20, 30)에 의해 촬영된 영상은 상기 비전처리부(60)에서 판독되어, 상기 검사대상물(15) 표면의 3차원적 높이가 계산되고, 이러한 검사대상물(15)의 높이가 미리 저장된 기준 데이터 높이보다 현저히 높거나 또는 낮을 경우, 예를 들어 PCB 기판 상의 칩과 같은 검사대상물(15)이 올바르게 장착되지 않은 것으로 판단하게 된다.The images photographed by the
상기 제어부(70)는 상기 카메라부(20, 30)와 조명부(40, 50) 등의 구동 및 동작을 제어하는 구성요소로써, 본 발명에 따른 검사장치 전체의 구동을 제어하도록 마련될 수 있다.The
상기 제어부(70)는 시스템 제어 프로그램에 따라 검사장치의 위치제어와 촬영된 영상의 처리와 광원부 제어 등의 물리적인 제어를 담당함은 물론 데이터 연산 작업을 수행한다. The
아울러, 상기 제어부(70)는 검사결과를 모니터에 출력하기 위한 출력장치 제어와 작업자가 제반사항을 설정 및 입력할 수 있는 입력장치 제어 등 검사장치의 총괄적인 제어를 담당한다.In addition, the
한편, 상기 상부조명부(40)에는 편광필터(80)가 설치되는데, 예를 들어 상기 상부조명부(40)로부터 조사되는 광의 P 편광성분을 제거할 수 있는 P 편광필터가 설치된다.On the other hand, the
또한, 상기 측부카메라부(30)에는 예를 들어 S 편광성분을 제거할 수 있는 S 편광필터가 설치된다.In addition, the
상기 상부조명부(40)와 하부조명부(50)에 의한 광조사 시 검사대상물(15) 표면에 의한 정반사로 인해 지나치게 많은 양의 광이 입사되는 것은 주로 상기 측부카메라부(30)이며, 상기 중앙카메라부(20)는 카메라의 설치 각도 상 검사대상물에 의한 정반사의 영향을 많이 받지 않는다.When the light is irradiated by the
따라서, 상기 측부카메라부(30)에 입사되는 정반사 광 중에서 편광성분을 제거함으로써, 영상의 선명도 확보에 적절히 필요한 광 밝기를 획득하고자 하는 것이 본 발명의 목적이다.Accordingly, it is an object of the present invention to remove the polarization component from the specularly reflected light incident on the
도 2 는 조명부의 입사각도에 따른 반사광의 강도를 편광성분에 따라 분할 도시한 그래프이며, 도 3 역시 조명부의 입사각도에 따른 반사광의 강도를 편광성분에 따라 분할 도시한 그래프이다.2 is a graph showing the intensity of the reflected light according to the incident angle of the illumination unit according to the polarization component, and FIG. 3 is also a diagram illustrating the intensity of the reflected light according to the incident angle of the illumination unit according to the polarization component.
도 2 와 3 에서 입사각은 중앙카메라부(20)로부터 스테이지부(10)를 향하여 측정된 각도로서, 스테이지부가 입사각 90 도에 해당되며 중앙카메라부(20)는 0 도에 해당된다.2 and 3, the incident angle is an angle measured from the
도 2 의 그래프에서 알 수 있는 바와 같이, 입사각도 40도 내지 60도의 범위 즉, 하부조명부(50)에 의한 광조사각도 범위(R1)에서는 반사광 중 P 편광성분이 거의 나타나지 않고, 대부분 S 편광성분이 주를 이룬다.As can be seen in the graph of FIG. 2, in the range of the incident angle of 40 to 60 degrees, that is, the light irradiation angle range R1 by the
따라서, 하부조명부(50)에 의한 정반사 광 중에서 S 편광성분을 제거할 경우 광 번짐 현상을 제거함으로써 선명한 영상을 확보할 수 있다.Therefore, when the S polarization component is removed from the specularly reflected light by the
상기와 같이 하부조명부(50)에 의해 정반사된 광으로부터 S 편광성분을 제거하기 위해 측부카메라부(30) 내에 S 편광필터(90)를 설치하였다.As described above, the
도 4 는 하부조명부(50)에 의한 반사광으로부터 S 편광 성분을 제거하기 이전의 영상예이며, 도 5 는 하부조명부에 의한 반사광으로부터 S 편광 성분을 제거한 영상예이다.4 is an example of an image before removing the S-polarized component from the reflected light by the
상기 영상예에서 알 수 있는 바와 같이, 하부조명부(50)로부터 S 편광성분을 제거하기 이전에는 영상의 상부 부분에서 지나치게 많은 양의 광이 측부카메라부(30)에 입사되어 광 번짐 현상이 발생된다.As can be seen in the above image example, before removing the S polarization component from the
따라서, 상기 하부조명부(50)에 의해 정반사된 광으로부터 S 편광성분을 제거함으로써, 도 5 에서와 같이 영상의 상부부분에서 광번짐이 제거된 보다 선명한 영상을 획득하였다.Therefore, by removing the S-polarized component from the light reflected by the
또한, 도 3 의 그래프에서 알 수 있는 바와 같이, 입사각도 15도 내지 30도의 범위 즉, 상부조명부(40)에 의한 광조사각도 범위(R2)에서는 정반사되는 반사광 내에 S 편광성분과 P 편광성분이 모두 강하게 나타난다.In addition, as can be seen in the graph of FIG. 3, in the range of the incident angle of 15 degrees to 30 degrees, that is, the light irradiation angle range R2 by the
따라서, 상부조명부(40)에 의한 정반사 광에 대해서는 S 편광성분과 P 편광성분을 모두 제거하는 것이 바람직하다.Therefore, it is preferable to remove both S polarization component and P polarization component with respect to the specular reflection light by the
상기와 같이 상부조명부(40)의 광으로부터 P 편광성분을 제거하기 위해 상기 상부조명부(40)에 P 편광필터를 설치하였다.As described above, in order to remove the P polarization component from the light of the
그리하여, 상기 상부조명부(40)에 설치되는 P 편광필터(80)에 의해 상기 상부조명부(40) 광에서 P 편광성분을 제거하고, 상기 측부카메라부(30)에 설치되는 S 편광필터(90)에 의해 S 편광성분을 제거하도록 구성하였다.Thus, the
도 6 은 상부조명부(40)의 반사광으로부터 S 편광 성분과 P 편광성분을 제거하기 이전의 영상예이며, 도 7 은 상부조명부(40)의 반사광으로부터 S 편광 성분과 P 편광성분을 제거한 영상예이다.FIG. 6 is an example of an image before removing the S-polarized component and the P-polarized component from the reflected light of the
상기 영상예에서 알 수 있는 바와 같이, 상부조명부(40)로부터 S 편광성분과 P 편광성분을 제거하기 이전에는, 영상의 하부부분에서 지나치게 많은 양의 광이 측부카메라부(30)에 입사되어 영상의 하부 부분에 광번짐 현상이 발생된다.As can be seen in the above image example, before removing the S-polarized component and the P-polarized component from the
따라서, 상기 상부조명부(40)에 의해 정반사된 광으로부터 S 편광성분과 P 편광성분을 제거함으로써, 도 7 에서와 같이 영상의 하부부분에서 광번짐이 제거된 보다 선명한 영상을 획득하였다.Thus, by removing the S-polarized component and the P-polarized component from the light reflected by the
이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.As mentioned above, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the technical idea of the present invention is not limited thereto, and a person having ordinary skill in the art to which the present invention pertains, Various modifications and variations may be made without departing from the scope of the appended claims.
10: 스테이지부 15: 검사대상물
20: 중앙카메라부 30: 측부카메라부
40: 상부조명부 50: 하부조명부10: stage unit 15: inspection object
20: center camera portion 30: side camera portion
40: upper lighting unit 50: lower lighting unit
Claims (2)
검사대상물을 안착시키는 스테이지부와;
렌즈와 이미지감지부를 포함하여 구성되되 검사대상물의 영상을 촬영하기 위한 카메라부와;
상기 검사대상물에 조명을 제공하기 위한 조명부와;
상기 카메라부에서 촬영된 영상을 판독하여 상기 검사대상물의 양호 또는 불량을 판별하는 비전처리부와;
상기 구성들을 제어하기 위한 제어부를 포함하며,
상기 카메라부는 상기 검사대상물의 수직 상부에 배치되는 중앙카메라부와 상기 검사대상물에 대해 일정 각도 기울어져 설치되는 측부카메라부를 포함하며,
상기 조명부는 상기 중앙카메라부하부에 배치되는 상부조명부와 상기 측부카메라부 하부에 배치되는 하부조명부를 포함하고,
상기 상부조명부와 상기 측부카메라부에는 편광필터가 설치되는 것을 특징으로 하는 영상 선명도가 개선된 비전검사장치. As a vision inspection device to determine the good or bad by photographing the inspection object with a camera,
A stage unit for seating the inspection object;
A camera unit configured to include a lens and an image sensing unit, and to capture an image of an inspection object;
An illumination unit for providing illumination to the inspection object;
A vision processor for reading the image photographed by the camera unit and discriminating the good or bad of the object to be inspected;
A control unit for controlling the components,
The camera unit includes a central camera unit disposed on the vertical upper portion of the inspection object and a side camera unit installed at an angle with respect to the inspection object,
The lighting unit includes an upper lighting unit disposed at the lower portion of the central camera and a lower lighting unit disposed below the side camera unit.
Vision inspection apparatus with improved image clarity, characterized in that the upper illumination unit and the side camera unit is provided with a polarization filter.
상기 상부조명부에 설치되는 편광필터와 측부카메라부에 설치되는 편광필터는 편광 방향이 서로 다른 것을 특징으로 하는 영상 선명도가 개선된 비전검사장치.
The method of claim 1,
And a polarization filter installed in the upper lighting unit and a polarization filter installed in the side camera unit, wherein the polarization direction is different from each other.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170012329A (en) * | 2014-09-10 | 2017-02-02 | 야마하하쓰도키 가부시키가이샤 | External appearance inspection device and substrate inspection device |
KR20200047104A (en) * | 2018-10-26 | 2020-05-07 | 현대위아 주식회사 | Apparatus and method for image acquisition using vision camera |
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