KR20130121377A - Quadrangle wafer supporting boat for manufacturing solar cell - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 태양전지 제조용 확산장치에 투입되는 기판 탑재 보트에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 기판을 지지하는 제1로드바와 제2로드바에 구비된 슬롯을 절곡 형성함으로써, 사각형 기판의 탑재 방향이 변경되더라도 기판을 안정적으로 지지할 수 있는 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate mounting boat to be introduced into a diffusion device for manufacturing a solar cell, and more specifically, by forming a bent slot provided in a first rod bar and a second rod bar supporting a substrate, even if the mounting direction of the rectangular substrate is changed. The present invention relates to a square board mounted boat for manufacturing a solar cell capable of stably supporting a substrate.
일반적으로 태양전지(Solar Cell)는 빛 에너지를 직접 전기 에너지로 변환하는 반도체 소자의 하나로서, 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)를 가공하여 전자(electron)와 정공(hole)이 각각 구비되는 다른 극성의 N(negative)형 반도체 및 P(positive)형 반도체를 접합시키고 전극을 형성함으로써, P-N접합에 의한 태양광 발전의 원리를 이용하여 빛 에너지에 의한 전자의 이동을 통해 전기 에너지를 생산하게 되는 광전지 중의 하나이다.In general, a solar cell is a semiconductor device that converts light energy directly into electrical energy, and processes a silicon wafer to process electrons and holes of different polarities, respectively. It is one of the photovoltaic cells that produce electrical energy through the movement of electrons by light energy using the principle of photovoltaic power generation by PN junction by joining (negative) type semiconductor and P (positive) type semiconductor. .
상기와 같은 태양전지는 전력 생산을 위해 다수개의 모듈(module)과 태양전지 패널(panel)로 구성되는 태양전지 어레이(array)의 가장 최소 단위의 기본 소자로서, 다결정(poly crystal) 및 단결정(single crystal) 실리콘 태양전지 또는 비정질 실리콘 태양전지와 같은 실리콘계 태양전지와 화합물 반도체 태양전지 등으로 크게 분류된다.Such a solar cell is a basic element of the smallest unit of a solar array, which is composed of a plurality of modules and a solar panel for power generation, and is a poly crystal and a single crystal. crystals are broadly classified into silicon-based solar cells such as silicon solar cells or amorphous silicon solar cells, and compound semiconductor solar cells.
실리콘계 태양전지는 대략 200㎛의 얇은 두께의 실리콘 웨이퍼(이하 '기판'이라 함)를 제조한 후, 이 기판을 여러 가공 공정을 통해 처리함으로써 제작되어 진다.Silicon-based solar cells are fabricated by fabricating a silicon wafer (hereinafter referred to as a substrate) of approximately 200 μm in thickness and then processing the substrate through various processing processes.
이러한 태양전지 제조공정은 광 흡수율을 높이기 위한 텍스처링공정(Texturing,표면조직화공정), P-N접합을 형성시키는 확산공정(도핑공정), 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하는 산화막 제거공정, 광반사 손실을 줄이기 위한 반사 방지막 코팅공정, 전후면 전극 인쇄공정, 및 P-N접합 분리를 위한 P-N접합 분리공정 등으로 이루어진다.Such solar cell manufacturing processes include texturing (surface organization) to increase light absorption, diffusion (doping) to form PN junctions, oxide film removal to remove impurities from the wafer surface, and light reflection loss. Antireflection coating process, front and back electrode printing process, and PN junction separation process for PN junction separation.
상기 제조공정 중 확산(도핑)공정은 극성이 다른 N형 반도체 층과 P형 반도체 층으로 구성된 P-N접합을 형성하기 위해 의도적으로 첨가물을 고온에서 P형 실리콘 기판에 확산시켜 P층과 N층을 적층 형성하는 단계이다.In the manufacturing process, the diffusion (doping) process intentionally diffuses an additive to a P-type silicon substrate at a high temperature to form a PN junction composed of an N-type semiconductor layer and a P-type semiconductor layer having different polarities, thereby stacking the P layer and the N layer. Forming.
이러한 확산공정은 고온의 가열로(furnace) 내에 다수개의 기판을 투입하고 소스 가스를 주입하여 수행되어 진다.This diffusion process is performed by injecting a plurality of substrates into a high temperature furnace and injecting source gas.
이때 다수개의 기판은 쿼츠(석영) 소재로 이루어진 보트에 탑재되어 가열로 내에 투입된다.At this time, a plurality of substrates are mounted on a boat made of quartz (quartz) material and are put into a heating furnace.
확산로에 투입되는 종래의 보트는 통상적으로 'U'자 형상의 지지프레임에 기판을 고정시킬 수 있는 다수의 가이드부재 또는 지지부재를 설치함으로써, 다수의 기판을 순차적으로 상부에서 하측으로 끼워 넣어 탑재시킬 수 있도록 구성되어 있었다.Conventional boats introduced into the diffusion path are typically mounted by inserting a plurality of substrates sequentially from the top to the bottom by installing a plurality of guide members or support members that can fix the substrate to the 'U' shaped support frame. It was configured to be.
그러나 상기와 같은 종래의 보트는 사각 기판의 한 변이 하측에 위치하도록 하여 상부에서 수직으로 끼워 넣어 수납시키는 구조를 가지고 있었기 때문에 사각 기판의 경우 모서리가 하측을 향하도록 탑재 방향을 변경하는 경우에는 탑재가 불가능하기 때문에 이에 대응되는 새로운 보트를 별도로 구비해야될 뿐 아니라, 기판의 서로 다른 방향으로의 혼합 탑재가 불가능한 문제점이 있었다.
However, since the conventional boat as described above has a structure in which one side of the quadrangular substrate is positioned at the lower side and is vertically inserted from the top to be accommodated, in the case of the quadrangular substrate, when the mounting direction is changed so that the corner faces downward, the mounting is not possible. Since it is impossible to not only have to separately provide a new boat corresponding to this, there is a problem that the mixed mounting of the substrate in different directions is impossible.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 외주가 끼워지는 상부슬롯과 하부슬롯을 서로 대칭되도록 절곡 형성함으로써, 기판의 탑재 방향을 달리하여도 간편하게 탑재 및 인출이 가능하도록 하여 공정 효율성을 향상시킬 수 있는 사각 기판 탑재 보트를 제공하고자 하는 것이다.
The present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention is to be formed by bending the upper slot and the lower slot to be symmetrical to each other, the outer periphery of the substrate is inserted, it is easy to mount and It is to provide a square board mounted boat that can be withdrawn to improve the process efficiency.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 서로 마주보도록 대향되어 설치되는 한 쌍의 지지플레이트와, 양단이 상기 지지플레이트에 각각 결합되는 지지바와, 상기 지지플레이트의 상측부에 평행하게 이격 설치되며, 외주면에는 기판의 외주가 끼워지는 다수개의 상부슬롯이 일정 간격으로 이격되어 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제1로드바, 및 상기 한 쌍의 제1로드바 사이에 위치하도록 상기 지지플레이트의 하부에 평행하게 이격 설치되며, 외주면에는 기판의 외주가 끼워지는 다수개의 하부슬롯이 일정 간격으로 이격되어 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제2로드바로 구성하되,In order to achieve the above object, the present invention provides a pair of support plates which are installed to face each other so as to face each other, support bars coupled to the support plates at both ends, and spaced apart in parallel to an upper side of the support plate, A plurality of upper slots to which the outer periphery of the substrate is fitted are spaced at regular intervals to face each other, and a pair of first rod bars, and parallel to the lower portion of the support plate so as to be positioned between the pair of first rod bars. Spaced apart is installed, the outer circumferential surface is composed of a pair of second rod bar which is arranged to face each other spaced apart at regular intervals a plurality of lower slots are fitted,
상기 상부슬롯과 하부슬롯은 상기 기판의 탑재 방향에 대응하여 기판의 일측변을 각각 지지할 수 있도록 절곡 형성된다.The upper slot and the lower slot are bent to support each side of the substrate in accordance with the mounting direction of the substrate.
또한 상기 상부슬롯은 사선 방향의 제1경사슬롯과 상기 제1경사슬롯의 하단에서 하향 설치되는 수직슬롯으로 구성된다.In addition, the upper slot is composed of a first inclined slot in the diagonal direction and a vertical slot installed downward from the lower end of the first inclined slot.
또 상기 하부슬롯은 상기 제2로드바 상부에 설치되는 수평슬롯과 상기 수평슬롯의 일단으로부터 하향 경자지도록 설치되는 제2경사슬롯으로 구성된다.The lower slot may include a horizontal slot installed on the second rod bar and a second slope slot installed downward from one end of the horizontal slot.
또 상기 제1경사슬롯과 제2경사슬롯은 각각의 저면을 연결한 라인이 상기 지지플레이트의 라인을 기준으로 45°각도를 이루도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the first inclined slot and the second inclined slot is preferably formed such that the line connecting the bottom of each of the 45 ° angle with respect to the line of the support plate.
한편 상기 상부슬롯과 하부슬롯에는 기판의 삽입이 용이하도록 입구 양측부에 외측 방향으로 경사지도록 가이드면이 대칭 형성되는 것이 바람직하다.On the other hand, it is preferable that the guide surface is symmetrically formed in the upper slot and the lower slot so as to be inclined in the outward direction on both sides of the inlet to facilitate the insertion of the substrate.
또한 상기 지지플레이트는 일정 크기의 관통부가 형성되고, 상부에는 외측 방향으로 돌출되는 핸들링지지대가 설치될 수 있다.
In addition, the support plate may be formed with a penetrating portion having a predetermined size, and a handling support protruding outward may be installed on the support plate.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 기판의 탑재 방향이 변경되더라도 간편하게 탑재 또는 인출이 가능한 것은 물론 서로 다른 방향으로의 혼합 탑재도 가능하여 공정 효율성을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라, 생산성을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.
As described above, the present invention can be easily mounted or withdrawn even if the mounting direction of the substrate is changed, as well as mixed mounting in different directions, thereby improving process efficiency and increasing productivity. It works.
도 1은 본 발명의 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트의 사시도,
도 2는 도 1의 단면도,
도 3은 본 발명의 제1로드바에 구비된 상부슬롯의 평면도의 부분 확대도,
도 4는 본 발명의 제1로드바에 구비된 상부슬롯의 정면도의 부분 확대도,
도 5는 본 발명의 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트에 기판이 탑재된 상태의 사시도,
도 6은 도 5의 단면도이다.1 is a perspective view of a square board mounted boat for manufacturing a solar cell of the present invention,
Fig. 2 is a sectional view of Fig. 1,
3 is a partially enlarged view of a plan view of an upper slot provided in a first rod bar of the present invention;
4 is a partially enlarged view of a front view of an upper slot provided in a first rod bar of the present invention;
5 is a perspective view of a state in which a substrate is mounted on a square substrate mounting boat for manufacturing a solar cell of the present invention;
Fig. 6 is a sectional view of Fig. 5. Fig.
본 발명은 태양전지(sollar cell) 제조용 확산장치의 가열로(furnace) 내에 다수의 웨이퍼(이하 '기판'이라 함)를 동시에 투입시켜 확산 공정을 수행할 수 있게 하되, 기판의 삽입 방향에 상관없이 탑재가 가능한 쿼츠(석영) 소재의 사각 기판 탑재용 보트에 관한 것이다.The present invention allows a plurality of wafers (hereinafter referred to as substrates) to be simultaneously introduced into a furnace of a diffusion device for manufacturing a solar cell to perform a diffusion process, regardless of the insertion direction of the substrate. The present invention relates to a quadrangular board mounting boat made of quartz (quartz) material that can be mounted.
이하 본 발명에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트의 사시도를 나타낸 것이고, 도 2는 도 1의 단면도를 나타낸 것이며, 도 3은 본 발명의 제1로드바에 구비된 상부슬롯의 평면도의 부분 확대도를, 도 4는 본 발명의 제1로드바에 구비된 상부슬롯의 정면도의 부분 확대도를 각각 나타낸 것이다.1 is a perspective view of a rectangular board mounted boat for manufacturing a solar cell of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view of Figure 1, Figure 3 is a partially enlarged view of a plan view of the upper slot provided in the first rod bar of the present invention 4 is a partially enlarged view of a front view of the upper slot provided in the first rod bar of the present invention, respectively.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명은 지지플레이트(10), 지지바(15), 제1로드바(30), 및 제2로드바(50)로 구성된다.As shown in FIG. 1, the present invention includes a
지지플레이트(10)는 일정 두께를 가지는 사각 형상의 플레이트(plate) 형태로 구비되는 것으로서, 서로 마주보도록 대향되게 설치되며, 중앙부에는 사각 형상의 관통부(12)가 설치된다.The
여기서 관통부(12)는 보트의 중량을 최소화하기 위한 것이므로, 다양한 형상으로 구비될 수 있을 것이다.Since the through
또한 지지플레이트(10)의 상부에는 외측 방향으로 일정 길이로 돌출된 핸들링지지대(13)가 설치된다.In addition, the upper portion of the
핸들링지지대(13)는 별도의 지그(jig)(도시하지 않음)를 이용하여 보트를 간편하게 이동시킬 수 있도록 하기 위한 것으로서, 두 개의 지지플레이트(10)에 각각 설치되어 보트의 양측부에 돌출되도록 구비된다.The
또 지지플레이트(10)의 하부에는 보트를 확산로 내에 투입시킬 때 보트를 이동시킬 수 있는 패들(paddle, 거치대)(도시하지 않음)에 안착될 수 있도록 패들안착부(17)가 양측부에 각각 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the lower portion of the
패들안착부(17)는 지지플레이트(10)의 하단 중앙부와 일정 높이의 단차가 형성되도록 구비될 수 있다.The
한편 지지플레이트(10)의 하부 양측 단부에는 지지바(15)가 설치된다.Meanwhile,
지지바(15)는 지지플레이트(10)를 고정 지지하는 것으로서, 복수로 평행하게 병렬 설치되며, 양단이 지지플레이트(10)에 각각 결합된다. The
여기서 지지바(15)는 원형의 봉으로 구비될 수 있으나, 봉으로 한정되는 것은 아니며, 사각형 또는 오각형 등 다양한 단면 형상을 가지는 바(bar) 형태로 구비될 수 있을 것이다.The
또한 지지바(15)는 보트의 강성을 고려하여 적정 직경을 유지하도록 형성된다. In addition, the
한편 도시하지는 않았지만 지지플레이트(10) 하부에는 이물질을 수용할 수 있는 수거공간이 구비된 이물질 수거부(도시하지 않음)가 구비될 수 있다.On the other hand, although not shown, the lower portion of the
이물질 수거부는 공정 진행 과정에서 기판(W)에서 낙하하는 이물질 등을 수용하여 처리가 용이하도록 하기 위한 것으로서, 지지플레이트(10) 하측부에 수평 상태로 구비된 반원형 플레이트(plate) 형태로 설치될 수 있다.The foreign matter collecting unit is for accommodating foreign matters falling from the substrate W during the process and for easy processing. The foreign matter collecting unit may be installed in the form of a semi-circular plate provided in a horizontal state under the
따라서 이물질 수거부는 기판(W)에서 낙하하는 이물질이 상측 수거공간에 모이도록 함으로써, 이물질 처리가 용이하도록 할 수 있다.Therefore, the foreign matter collecting unit may collect the foreign matter falling from the substrate W in the upper collection space, thereby facilitating the foreign matter treatment.
한편 제1로드바(30)는 지지플레이트(10)의 상부에 한 쌍으로 구비되는 것으로서, 양단이 지지플레이트(10)에 각각 결합되어 서로 마주보도록 평행하게 이격되어 병렬 설치된다.On the other hand, the
이때 제1로드바(30)의 양단은 지지플레이트(10)의 상부 모서리에 각각 결합되며, 외주면에는 기판(W)의 외주가 끼워질 수 있도록 길이 방향을 따라 다수개의 상부슬롯(35)이 일정 간격으로 설치된다.At this time, both ends of the
상부슬롯(35)은 두 개의 제1로드바(30)의 길이 방향을 따라 서로 마주보도록 대칭되게 설치된다.The
이때 상부슬롯(35)은 제1로드바(30)의 외주면에 일정 깊이의 홈 형상으로 구비하되, 도 5에 도시된 바와 같이, 사각형 기판(W)의 탑재 방향이 다르더라도 탑재가 가능하도록 중앙부가 절곡 형성된다. At this time, the
즉 상부슬롯(35)은 도 2의 확대도에 도시된 바와 같이, 사선 방향의 제1경사슬롯(35a)과 제1경사슬롯(35a)의 하단에서 하향 설치되는 수직슬롯(35b)으로 구성된다.That is, the
이때 제1경사슬롯(35a)은 도 5에 도시된 바와 같이 기판(W)을 모서리가 하측에 위치하도록 한 상태에서 수납시키는 'A'타입 탑재의 경우에 기판(W)의 양측 변을 사선 방향에서 지지할 수 있도록 일정 각도로 경사지게 설치된다.In this case, as shown in FIG. 5, the
여기서 제1경사슬롯(35a)은 45°각도로 경사지도록 설치되는 것이 바람직하다.Here, the first
한편 제1경사슬롯(35a)의 상측부에는 도 3,4에 도시된 바와 같이, 기판(W)의 삽입이 용이하도록 외측 방향으로 일정 각도 경사지게 형성되는 가이드면(35c)이 설치되는 것이 바람직하다.Meanwhile, as shown in FIGS. 3 and 4, the upper surface of the
가이드면(35c)은 도 4에 도시된 바와 같이, 60°경사지도록 형성되는 것이 바람직하다.
한편 수직슬롯(35b)은 도 5에 도시된 바와 같이 기판(W)을 일측변이 하측에 위치하도록 한 상태에서 탑재시키는 'B'타입 탑재의 경우에 기판(W)의 양측 변을 수직 방향에서 지지할 수 있도록 제1경사슬롯(35a)의 하단부에서 하측 방향으로 수직하게 형성된다.On the other hand, the
여기서 제1로드바(30)의 상부슬롯(35)은 기판(W)의 크기와 탑재 방향을 고려하여 적절한 각도로 절곡되도록 설치될 수 있을 것이다.Here, the
한편 제2로드바(50)는 한 쌍의 제1로드바(30) 사이에 위치하도록 지지플레이트(10)의 하부에 평행하게 이격되어 한 쌍으로 설치되는 것으로서, 외주면에는 기판(W)의 외주가 끼워지는 다수개의 하부슬롯(55)이 서로 마주보도록 배치된다.On the other hand, the
이때 하부슬롯(55)은 제2로드바(50)의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 이격되게 다수개가 설치되며, 이때 기판(W)이 수직 방향으로 끼워질 수 있도록 제1로드바(30)의 상부슬롯(35)과 동일한 위치에 동일 간격으로 설치된다.In this case, a plurality of
하부슬롯(55)은 상부슬롯(35)과 마찬가지로 기판(W)의 탑재 방향을 고려하여 절곡 형성된다.The
즉 하부슬롯(55)은 수평슬롯(55a)과 제2경사슬롯(55b)으로 구성된다.That is, the
수평슬롯(55a)은 기판(W)을 일측변이 하측에 위치하도록 한 상태에서 탑재시키는 'B'타입 탑재의 경우에 기판(W)의 하측변을 지지할 수 있도록 제2로드바(50)의 상측부에 수평 상태로 일정 깊이로 형성되며, 제2경사슬롯(55b)은 기판(W)을 'A'타입 탑재 방향으로 수납시킬 때 모서리의 양측 변이 끼워질 수 있도록 수평슬롯(55a)의 일측 단부로부터 하향 경자지도록 설치된다.The
여기서 수평슬롯(55a)의 상측부에는 제1경사슬롯(35a)과 마찬가지로 외측 방향으로 경사지도록 형성되는 가이드면(55c)이 구비되는 것이 바람직하다.Here, the upper surface of the
한편 제1경사슬롯(35a)과 제2경사슬롯(55b)은 도 2에 도시된 바와 같이, 각각의 저면을 연결한 가상 라인이 중심라인(S)과 이루는 각이 45°를 이루도록 설치된다.Meanwhile, as illustrated in FIG. 2, the
여기서 제1경사슬롯(35a)과 수직슬롯(35b), 또한 수평슬롯(55a)과 제2경사슬롯(55b)은 각각 동일한 깊이로 형성되는 것이 바람직하다. Here, the first
이하 도 5와 도 6을 참조하여 본 발명에 기판을 탑재하는 방법을 설명한다.Hereinafter, a method of mounting a substrate in the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6.
도 5는 본 발명의 기판 탑재 보트에 사각형 기판이 서로 다른 방향으로 끼워진 상태의 일 예의 사시도를 나타낸 것이고, 도 6은 도 5의 단면도를 나타낸 것이다.5 is a perspective view showing an example of a state in which the rectangular substrate is inserted in different directions in the substrate mounting boat of the present invention, Figure 6 shows a cross-sectional view of FIG.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 기판 탑재 보트는 사각형 기판(W)을 모서리가 하측을 향하도록 삽입하는 'A'타입 탑재나 또는 일측변이 하측을 향하도록 삽입하는 'B'타입 탑재에 대해서 수납이 가능하며, 또는 혼합 탑재도 가능하게 되는 것이다.As shown in FIG. 5, the board mounting boat of the present invention has a 'A' type mounting for inserting a rectangular substrate W so that its corners face downward, or a 'B' type mounting for inserting one side of its lower side facing downward. It can be accommodated or it can be mixed-mounted.
즉 'A' 타입 탑재의 경우에는 기판(W)의 하측 모서리가 제2로드바(50) 사이에 위치하게 되고, 이때 상부슬롯(35)의 제1경사슬롯(35a)과 하부슬롯(55)의 제2경사슬롯(55b)이 기판(W)의 외주(양측변)를 지지하게 된다.That is, in the case of the 'A' type mounting, the lower edge of the substrate W is positioned between the second rod bars 50, and at this time, the first
또한 'B' 타입 탑재의 경우에는 기판(W)의 일측변이 하측을 향하기 때문에 하부슬롯(55)의 수평슬롯(55a)이 기판(W)의 하측변을 지지하게 되고, 상부슬롯(35)의 수직슬롯(35b)이 기판(W)의 양측변을 가이드함과 동시에 지지하게 되는 것이다.In addition, in the case of the 'B' type mounting, since one side of the substrate W faces downward, the
도 5에 도시된 본 발명의 기판(W) 탑재 방법의 실시예는 통상적으로 사용되는 8"(8인치) 웨이퍼를 예로 하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 4", 6" 등 다양한 크기의 사각 기판(W)에 적용 가능할 것이다.In the embodiment of the substrate W mounting method of FIG. 5, an 8 ″ (8 inch) wafer is used. However, the present invention is not limited thereto, and the rectangular substrate having various sizes such as 4 ″ and 6 ″ may be used. (W) will be applicable.
상기와 같이 기판(W)의 크기가 달라지는 경우에는 기판(W)의 크기에 대응되도록 제1로드바(30)와 제2로드바(50)의 이격 거리를 적절히 조정하여 제작할 수 있을 것이다. When the size of the substrate W is changed as described above, the distance between the
따라서 본 발명은 기판의 외주가 끼워지는 상부슬롯과 하부슬롯을 서로 대응되게 절곡 형성함으로써, 사각형 기판의 탑재 방향이 변경되더라도 탑재 및 인출이 가능하게 되어 기판의 탑재가 간편하고 용이하며 또한 공정 효율성을 향상시킬 수 있게 되는 것이다.Therefore, according to the present invention, the upper slot and the lower slot into which the outer circumference of the substrate is fitted are bent to correspond to each other, so that even if the mounting direction of the rectangular substrate is changed, the mounting and withdrawal is possible, thus making it easy and easy to mount the substrate and also increase the process efficiency. It can be improved.
이상, 상기의 실시 예는 단지 설명의 편의를 위해 예시로서 설명한 것에 불과하므로 특허청구범위를 한정하는 것은 아니며, 본 발명의 기술 범주 내에서 다양한 변형이 가능할 것이다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and similarities.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 지지플레이트 12 : 관통부
13 : 핸들링지지대 15 : 지지바
17 : 패들안착부 30 : 제1로드바
35 : 상부슬롯 35a : 제1경사슬롯
35b : 수직슬롯 35c,55c : 가이드면
50 : 제2로드바 55 : 하부슬롯
55a : 수평슬롯 55b : 제2경사슬롯
W : 기판Description of the Related Art [0002]
10: support plate 12: through part
13: handling support 15: support bar
17: paddle seating portion 30: the first rod bar
35:
35b:
50: second rod bar 55: lower slot
55a:
W: substrate
Claims (6)
양단이 상기 지지플레이트에 각각 결합되는 지지바;
상기 지지플레이트의 상측부에 평행하게 이격 설치되며, 외주면에는 기판의 외주가 끼워지는 다수개의 상부슬롯이 일정 간격으로 이격되어 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제1로드바; 및
상기 한 쌍의 제1로드바 사이에 위치하도록 상기 지지플레이트의 하부에 평행하게 이격 설치되며, 외주면에는 기판의 외주가 끼워지는 다수개의 하부슬롯이 일정 간격으로 이격되어 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 제2로드바;로 구성하되,
상기 상부슬롯과 하부슬롯은 상기 기판의 탑재 방향에 대응하여 기판의 일측변을 각각 지지할 수 있도록 절곡 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트.A pair of support plates which are installed to face each other;
A support bar having both ends coupled to the support plate, respectively;
A pair of first rod bars spaced apart in parallel to an upper side of the support plate, and arranged on the outer circumferential surface such that a plurality of upper slots on which the outer circumference of the substrate is fitted are spaced at regular intervals to face each other; And
Spaced apart parallel to the lower portion of the support plate so as to be positioned between the pair of first rod bars, and a plurality of lower slots on which an outer circumference of the substrate is fitted are spaced apart at regular intervals to face each other Second rod bar;
The upper slot and the lower slot is a square substrate mounting boat for solar cell manufacturing, characterized in that bent to support each side of the substrate in accordance with the mounting direction of the substrate.
상기 상부슬롯은 사선 방향의 제1경사슬롯과 상기 제1경사슬롯의 하단에서 하향 설치되는 수직슬롯으로 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트. The method of claim 1,
The upper slot is a rectangular substrate mounting boat for manufacturing a solar cell, characterized in that consisting of a first inclined slot in the oblique direction and a vertical slot installed downward from the lower end of the first inclined slot.
상기 하부슬롯은 상기 제2로드바 상부에 설치되는 수평슬롯과 상기 수평슬롯의 일단으로부터 하향 경자지도록 설치되는 제2경사슬롯으로 구성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트. 3. The method of claim 2,
The lower slot is a rectangular substrate mounting boat for manufacturing a solar cell, characterized in that consisting of a horizontal slot is installed on the second rod bar and the second inclined slot is installed to slope down from one end of the horizontal slot.
상기 제1경사슬롯과 제2경사슬롯은 각각의 저면을 연결한 라인이 상기 지지플레이트의 라인을 기준으로 45°각도를 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트. The method of claim 3,
The first inclined slot and the second inclined slot is a square substrate mounting boat for solar cell manufacturing, characterized in that the line connecting each bottom is formed at an angle of 45 ° with respect to the line of the support plate.
상기 상부슬롯과 하부슬롯에는 기판의 삽입이 용이하도록 입구 양측부에 외측 방향으로 경사지도록 가이드면이 대칭 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트.The method of claim 3,
The upper slot and the lower slot is a square substrate mounting boat for solar cell manufacturing, characterized in that the guide surface is symmetrically formed to be inclined in the outward direction on both sides of the inlet to facilitate the insertion of the substrate.
상기 지지플레이트는,
일정 크기의 관통부가 형성되고, 상부에는 외측 방향으로 돌출되는 핸들링지지대가 설치되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트.
The method according to any one of claims 1 to 5,
The support plate
A through-board of a predetermined size is formed, and the rectangular substrate mounting boat for manufacturing a solar cell, characterized in that the upper side is provided with a handling support protruding outward.
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2012
- 2012-04-27 KR KR1020120044521A patent/KR20130121377A/en not_active Application Discontinuation
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