KR20130117551A - Fuel cell bipolar plate for local structure, building and mobile devices and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A manufacturing method of the fuel cell separating board is provided to mass produce the fuel cell separating board which has the corrosion resistance and conductivity with the simple process by coating the graphite-like carbon on the stainless steel base material substrate with the nano size thin film within a short time. CONSTITUTION: A fuel cell separating board for the region, the building and the mobile device comprises by coating a graphite-like carbon layer as the nano size thickness on the surface of the base material substrate (100) which consists of the stainless steel. Moreover, a manufacturing method of the fuel cell separating board comprises a step of charging the stainless steel base material substrate and a solid carbon target in a vacuum chamber; a step of heating and vacuum processing the inside of the chamber; and a step of coating the graphite-like carbon layer as the nano size thickness in the surface of the stainless steel base material substrate by inserting the inert gas in the vacuum chamber.

Description

지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판 및 그 제조방법{FUEL CELL BIPOLAR PLATE FOR LOCAL STRUCTURE, BUILDING AND MOBILE DEVICES AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}FUEL CELL BIPOLAR PLATE FOR LOCAL STRUCTURE, BUILDING AND MOBILE DEVICES AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은 연료전지 분리판 및 그 제조방법에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는, 스테인레스스틸을 모재 기판으로 하여 전도성과 내식성을 모두 구비하도록 특수 표면처리 한, 연료전지 분리판 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a fuel cell separator and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a fuel cell separator and a method for manufacturing the same, which are specially surface treated to have both conductivity and corrosion resistance using a stainless steel as a base substrate. will be.

연료전지는 수소와 산소가 촉매 존재하에 반응하여 물과 에너지를 생성하는 연소 반응에 근거한 친환경 신 재생 에너지원 중 하나이다. 전기에너지를 특별한 공해 물질 없이 생성할 수 있으며, 발생 되는 열을 합하면 매우 고효율을 나타내는 장점도 지닌다. Fuel cells are one of eco-friendly renewable energy sources based on combustion reactions in which hydrogen and oxygen react in the presence of catalysts to produce water and energy. Electric energy can be generated without special pollutants, and the heat generated can have the advantage of very high efficiency.

이러한 연료전지에 필수적인 부품으로 연료전지 분리판이 있으며, 연료전지 분리판이 구비해야 하는 물성으로는, 강도, 내식성, 기체 차단성, 전도성 및 치수정밀도 등이 있다. 또한, 연료전지 자체의 실용성을 고려할 때, 연료전지 분리판은 양산에 적합한 제조공정설계를 요한다. An essential part of such a fuel cell is a fuel cell separator, and the physical properties of the fuel cell separator include strength, corrosion resistance, gas barrier property, conductivity, and dimensional accuracy. In addition, in consideration of the practicality of the fuel cell itself, the fuel cell separator requires a manufacturing process design suitable for mass production.

현재, 상기와 같은 요건에 맞추어 개발되고 있는 연료전지 분리판은 카본재에 수지코팅을 하는 것과 금속재에 표면처리를 하는 것으로 두 가지 모재를 중심으로 경쟁 발전하고 있으며, 본 발명은 강도, 기체 차단성, 전도성 및 치수정밀도가 우수한 스테인레스스틸을 모재로 한 범주에 속한다.Currently, fuel cell separators developed to meet the above requirements have developed competitively with two main materials: resin coating on carbon materials and surface treatment on metal materials, and the present invention provides strength and gas barrier properties. It belongs to the category based on stainless steel with excellent conductivity and dimensional accuracy.

스테인레스스틸을 모재로 할 경우, 내식성과 더불어 전도성 또한 우수하여야 하며, 이 두 가지 특성은 사실상 양립이 어려운 면이 있다. 기존에는 대개 스테인레스스틸 모재에 대하여 질화 처리로 표면 개질을 하는 것이 연구의 주류를 이루었으나, 비용면에서나 물성면에서 실용화할 만큼 만족스러운 결과를 얻지 못하고 있다. In the case of stainless steel as a base material, the conductivity must be excellent in addition to corrosion resistance, and these two characteristics are in fact incompatible. In the past, the surface modification of the stainless steel base material by nitriding has been the mainstream research, but it has not been satisfactory in terms of cost and physical properties.

따라서 본 발명의 목적은 스테인레스스틸을 모재로 한 연료전지 분리판에 대하여, 새로운 물질을 코팅하여 요구되는 물성을 구비하게 하면서, 공정의 단순화로 양산성 및 비용 절감을 이루고자 하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to achieve mass production and cost reduction by simplifying the process while providing a required material property by coating a new material for a fuel cell separator plate based on stainless steel.

이에 따라, 본 발명은, 스테인레스스틸로 된 모재 기판 표면에 나노 사이즈 두께로 흑연 상 카본을 코팅한 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판을 제작하였다. Accordingly, the present invention produced a fuel cell separator plate for an area, a building, or a mobile device in which graphite carbon was coated on a surface of a stainless steel base substrate at a nano size thickness.

또한, 본 발명은, 상기 흑연 상 카본 층의 두께는, 1 내지 100nm 이하로 한 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판을 제공한다.The present invention also provides a fuel cell separator plate for a region, a building, or a mobile device, wherein the graphite carbon layer has a thickness of 1 to 100 nm or less.

또한, 본 발명은, Further, according to the present invention,

진공 챔버 안에 스테인레스스틸 모재 기판을 장입하고,Insert the stainless steel base substrate into the vacuum chamber,

진공 챔버 내부를 진공화하고 가열하며,Vacuumize and heat the inside of the vacuum chamber,

탄화수소 가스와 비활성 가스를 진공 챔버 내에 넣고, 플라즈마를 생성하여 스테인레스스틸 모재 기판 표면에 나노 사이즈 두께로 흑연 상 카본층을 코팅하는 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법을 제공한다.A fuel cell separator for a regional, building or mobile device, characterized by putting a hydrocarbon gas and an inert gas into a vacuum chamber and generating a plasma to coat a graphite-like carbon layer with a nano size thickness on the surface of a stainless steel base substrate. It provides a manufacturing method.

또한, 본 발명은, Further, according to the present invention,

진공 챔버 안에 스테인레스스틸 모재 기판과 고체 카본 타깃을 장입하고,Charge the stainless steel base substrate and the solid carbon target into the vacuum chamber,

진공 챔버 내부를 진공화하고 가열하며,Vacuumize and heat the inside of the vacuum chamber,

비활성 가스를 진공 챔버 내에 넣고, 플라즈마를 생성하여 스테인레스스틸 모재 기판 표면에 나노 사이즈 두께로 흑연 상 카본층을 코팅하는 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법을 제공한다.A method of manufacturing a fuel cell separator plate for a regional, building or mobile device, comprising placing an inert gas into a vacuum chamber and generating a plasma to coat a graphite-like carbon layer with a nano size thickness on a surface of a stainless steel base substrate. to provide.

또한, 본 발명은, 상기 챔버 내 공정 온도를 200 내지 1000℃로 하는 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법을 제공한다.In addition, the present invention provides a method for manufacturing a fuel cell separator plate for a region, a building, or a mobile device, wherein the process temperature in the chamber is set to 200 to 1000 ° C.

또한, 본 발명은, 상기 챔버 내 공정 압력을 10-1 내지 10-5 Torr로 하는 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법을 제공한다.The present invention also provides a method for manufacturing a fuel cell separator plate for a region, a building, or a mobile device, wherein the process pressure in the chamber is 10 -1 to 10 -5 Torr.

또한, 본 발명은, 상기 방법에 있어서, 플라즈마 생성 수단으로 이온 건을 사용하고, 상기 이온 건에는 이온 건 가열용 히터를 구비한 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법을 제공한다.In the above method, an ion gun is used as a plasma generating means, and the ion gun is equipped with a heater for heating an ion gun, wherein the fuel cell separator plate for a region, a building, or a mobile device is used. It provides a method of manufacturing.

본 발명에 따르면, 스테인레스스틸 모재 기판에 흑연 상 카본을 나노 스케일 박막으로 단시간 내 코팅하여 내식성과 전도성을 모두 구비한 연료전지 분리판을 단순화된 공정으로 양산성 있게 제공할 수 있다. According to the present invention, by coating graphite phase carbon on a stainless steel base substrate in a short time with a nano scale thin film, a fuel cell separator plate having both corrosion resistance and conductivity can be mass-produced in a simplified process.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 사용된 이온 건 가열용 히터의 구성을 보여주는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 사용된 이온 건의 구성을 보여주는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연료전지 분리판의 제조방법을 나타내는 개략적인 단면 구성도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 공정 실시 순서도 이다.
도 5는 연료전지분리판 용 스테인레스스틸 모재에 적층 된 박막에 대한 공정온도별 라만 분석 결과를 나타낸 그래프이다.
도 6은 연료전지분리판 용 스테인레스스틸 모재에 적층 된 박막에 대한 공정온도별 광 투과도를 나타낸 그래프이다. 1 is a cross-sectional view showing the configuration of a heater for ion gun heating used in the preferred embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view showing the configuration of an ion gun used in the preferred embodiment of the present invention.
3 is a schematic cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a fuel cell separator in accordance with a preferred embodiment of the present invention.
4 is a process implementation flowchart for a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a graph showing Raman analysis results for each process temperature of a thin film laminated on a stainless steel base material for a fuel cell separator. FIG.
6 is a graph showing light transmittance at each process temperature for a thin film laminated on a stainless steel base material for a fuel cell separator.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 주요 특징은 강도, 기체 차단성 및 치수정밀도가 모두 우수한 스테인레스스틸 모재 기판(100)에 전도성과 내식성을 양립시키기 위해, 특수 표면처리를 실시하는 것으로, 종래 흔히 실시되어 오던 질화 처리와는 전혀 다른 나노 스케일의 흑연 상 카본 층을 코팅하는 것이다. The main feature of the present invention is to perform a special surface treatment to achieve both conductivity and corrosion resistance to the stainless steel base substrate 100 having excellent strength, gas barrier properties, and dimensional accuracy. It is to coat a carbon layer of graphite on an entirely different nanoscale.

이러한 나노 스케일의 흑연 상 카본 층을 코팅하기 위해서는, 원료가 되는 탄화수소 가스에 상당한 수준의 에너지를 부여할 필요가 있다. 즉, 고온 환경에서는 수소의 증발로 수소 분율이 낮아져 흑연 상 카본 층이 형성되는 데 유리하다. 이를 위해, 고밀도 고에너지 플라즈마를 생성할 수 있는 이온 건(200)을 사용하였으며, 반응 챔버 내 히터(미 도시)를 설치하여 공정 온도를 올려주는 것이 바람직하다. In order to coat such a nanoscale graphite phase carbon layer, it is necessary to give a considerable level of energy to the hydrocarbon gas as a raw material. That is, in a high temperature environment, the hydrogen fraction is lowered by the evaporation of hydrogen, which is advantageous in forming the graphite carbon layer. To this end, an ion gun 200 capable of generating a high density high energy plasma was used, and it is preferable to raise a process temperature by installing a heater (not shown) in the reaction chamber.

또한, 특별히 상기 이온 건(200)에 히터(300, 400)를 장착하여 탄화수소 가스 및 플라즈마 이온들을 활성화시키는 것이 흑연 상 카본 층을 기판(100)에 형성하는데 더욱 유리하게 작용한다. In addition, the activation of hydrocarbon gas and plasma ions, in particular by mounting heaters 300 and 400 on the ion gun 200, is more advantageous for forming the graphite phase carbon layer on the substrate 100.

이온 건(200)에 히터(300, 400)를 장착한 상태를 도 1에 나타내었다. 즉, 도 2를 보면, 이온 건의 가스 공급관에 장착되어 공급 가스를 가열하는 히터(300)와 이온 건(200) 전단에 설치되어 플라즈마 발생 영역을 더욱 고온으로 가열하는 히터(400)가 나타나 있다. 이들 히터(300, 400)를 통하여 탄화수소 가스에 적절한 에너지가 부여되고, 이로써 기판(100) 상에 흑연 상 카본 층이 형성될 수 있게 된다. 그러나, 상기 히터(300, 400)를 설치하지 않고 챔버 내 별도의 히터에 의해서도 동일 목적을 이룰 수 있으므로 히터(300, 400)는 선택적이다. 1 illustrates a state in which heaters 300 and 400 are mounted on the ion gun 200. That is, referring to FIG. 2, a heater 300 mounted on the gas supply pipe of the ion gun and heating the supply gas and a heater 400 installed at the front end of the ion gun 200 to heat the plasma generation region to a higher temperature are shown. Appropriate energy is imparted to the hydrocarbon gas through these heaters 300 and 400, thereby allowing a graphite-like carbon layer to be formed on the substrate 100. However, since the same purpose can be achieved by a separate heater in the chamber without installing the heaters 300 and 400, the heaters 300 and 400 are optional.

이온 건(200)의 전체 구성은 도 2에 좀 더 상세히 나타나 있다. 애노드(210) 및 캐소드(220)를 포함하고 마그넷을 포함한 이온 건(200)은 히터로 인해, 탄화수소 가스와 아르곤 가스 및 이들로부터 생성된 플라즈마의 에너지를 높여 더욱 활성화된 플라즈마 입자를 이용하여 흑연 상 카본 층을 형성한다. The overall configuration of the ion gun 200 is shown in more detail in FIG. The ion gun 200 including the anode 210 and the cathode 220 and including the magnet increases the energy of the hydrocarbon gas and the argon gas and the plasma generated therefrom due to the heater, thereby making the graphite phase more active by using the activated plasma particles. Form a carbon layer.

도 3은 도 2의 이온 건(200)을 이용하여 기판(100)에 흑연 상 카본 층을 형성하는 모습을 나타내는 모식적인 단면 구성도이다. 히터(300, 400)가 장착된 이온 건(200)에 의하여 활성화된 카본 이온이 생성된 플라즈마에 의한 플라즈마 필드의 작용으로 기판(100) 쪽으로 입사하면서 흑연 상 카본 층으로 적층 된다. 상술한 바와 같이 히터(300, 400) 장착은 선택적으로 할 수 있다. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating the formation of a graphite carbon layer on the substrate 100 using the ion gun 200 of FIG. 2. Activated carbon ions by the ion guns 200 equipped with the heaters 300 and 400 are stacked in the graphite-like carbon layer while being incident toward the substrate 100 by the action of the plasma field by the generated plasma. As described above, the heaters 300 and 400 may be mounted selectively.

흑연 상 카본 층의 두께는 나노사이즈의 박막으로 형성하며, 이러한 얇은 두께의 형성은 단시간의 증착 공정으로 완성되므로 공정진행이 빨라 양산에 적합하다.
The thickness of the graphite-like carbon layer is formed into a nano-sized thin film, and the formation of such a thin thickness is completed in a short deposition process, so that the process is fast and suitable for mass production.

도 4에는 본 발명의 실시예를 공정 진행 순서에 따른 순서도를 나타내었으며, 이를 중심으로 공정에 대하여 상세히 설명한다.4 is a flowchart illustrating an embodiment of the present invention according to the process proceeding process, the process will be described in detail.

먼저, 연료전지 분리판 형상으로 가공된 스테인레스스틸 모재 기판(100)을 깨끗이 세척하고, 챔버 안에 장입한다. First, the stainless steel base substrate 100 processed in the shape of a fuel cell separation plate is washed cleanly and charged in a chamber.

챔버 내부는 진공화하여 초기 진공도는 고 진공화하고, 이온 건(200) 가열 히터(300, 400)와 가열 히터를 동작시켜 온도와 압력 조건을 맞추어 공정 분위기를 구현한다.The inside of the chamber is evacuated, the initial vacuum degree is high, and the ion gun 200 heats the heaters 300 and 400 and the heaters to operate to adjust the temperature and pressure conditions to implement a process atmosphere.

이온 건(200)을 통하여 먼저 비활성 가스, 예를 들면 아르곤(Ar) 가스를 주입하고, 이를 이용하여 모재 기판(100)을 세정하고 표면을 활성화하는 플라즈마 전처리 단계를 진행한다. Inert gas, for example, argon (Ar) gas, is first injected through the ion gun 200, and the plasma pretreatment step of cleaning the base substrate 100 and activating the surface thereof is performed.

이온 건(200)을 통하여 탄화수소 가스를 주입하여 플라즈마를 생성시켜 흑연 상 카본 층을 모재 기판(100)에 형성한다. 이때, 공정 실시 중 온도를 200 내지 1000 ℃, 바람직하게는, 400 내지 600 ℃로 유지하며, 공정 진행 중 챔버 진공도는 10-1 내지 10-5 Torr, 바람직하게는 10-2 내지 10-5 Torr로 유지되도록 한다.Hydrocarbon gas is injected through the ion gun 200 to generate a plasma to form a graphite carbon layer on the base substrate 100. At this time, the temperature during the process is maintained at 200 to 1000 ℃, preferably, 400 to 600 ℃, the chamber vacuum during the process is 10 -1 to 10 -5 Torr, preferably 10 -2 to 10 -5 Torr To be maintained.

흑연 상 카본 층의 두께는 나노사이즈의 박막으로 하며 두께 제어는 증착 공정 시간을 제어하여 이루어지며, 수십 초 정도의 단시간에 공정이 완성된다. 흑연 상 카본 층의 두께는 수십 nm, 즉, 1 내지 100nm 일 수 있으며, 상기 범위 안에서 경제성, 생산성 및 두께에 따른 물성 변화를 고려하여 아주 얇은 층으로 하거나 다소 두께를 갖는 층으로 할 수 있다. The thickness of the graphite-like carbon layer is a nano-sized thin film, and the thickness control is performed by controlling the deposition process time, and the process is completed in a short time of several tens of seconds. The graphite carbon layer may have a thickness of several tens of nm, that is, 1 to 100 nm, and may be a very thin layer or a layer having a slight thickness in consideration of economical efficiency, productivity, and physical property change depending on the thickness.

상기 공정은 PECVD 공정이나, 이를 변형하여 카본 타깃을 이용한 PVD 공정으로 실시하여도 동일한 결과물을 얻을 수 있다. The same process can be obtained even if the process is performed by a PECVD process, or a modified PVD process using a carbon target.

또한, 기판(100)에는 바이어스 전압을 인가하여 공정 효율을 더 높이고 박막의 품질도 더 높일 수 있다. In addition, a bias voltage may be applied to the substrate 100 to further increase process efficiency and to further improve quality of the thin film.

또한, 상기 공정에서 플라즈마 발생에 필요한 전력의 인가는 DC 전원, AC 전원, 펄스 전원을 선택적으로 택할 수 있다. 본 발명의 일실시예에서는 플라즈마 발생에 필요한 전압은 직류로 1000 내지 2500 V를 인가하였고, 바이어스 전압으로는 50 내지 350 KHz 주파수의 교류 전압으로 -50 내지 -200V를 인가하였다. 상기 수치는 예시적이며, 플라즈마 발생원의 전력 수치, 기판(100)에 인가하는 바이어스 전압의 수치 등은 당업자에게 자명한 사항으로 필요에 따라 변경될 수 있으므로 특별히 한정하지 않는다. In addition, in the process, the power required for plasma generation may be selectively selected from DC power, AC power, and pulse power. In one embodiment of the present invention, the voltage required for plasma generation was applied at 1000 to 2500 V by direct current, and -50 to -200 V was applied at an AC voltage having a frequency of 50 to 350 KHz as a bias voltage. The numerical values are exemplary, and the numerical value of the power of the plasma generating source, the numerical value of the bias voltage applied to the substrate 100, etc. are obvious to those skilled in the art and may be changed as necessary, so that the numerical value is not particularly limited.

도 5는 연료전지분리판 용 스테인레스스틸 모재에 적층 된 박막에 대한 공정온도별 라만 분석 결과를 나타낸 그래프이다. 스테인레스스틸 모재에 박막을 적층함에 있어, 상온에서 공정을 실시하는 경우에는 수소 분율이 높아 비 정질의 a-C:H 구조가 나타나나, 이와 대비하여 본 발명의 실시예에 따라 고온에서 박막을 제작한 경우, 전도성의 흑연 상 카본 층(이를 미세 결정질 흑연(μc-graphite)이라고도 한다)이 형성되었음을 확인할 수 있다. FIG. 5 is a graph showing Raman analysis results for each process temperature of a thin film laminated on a stainless steel base material for a fuel cell separator. FIG. When laminating a thin film on a stainless steel base material, when the process is performed at room temperature, the hydrogen fraction is high, resulting in an amorphous aC: H structure. In contrast, when the thin film is manufactured at a high temperature according to an embodiment of the present invention. It can be seen that a conductive graphite phase carbon layer (also referred to as microcrystalline graphite (μc-graphite)) was formed.

또한, 도 6은 연료전지분리판 용 스테인레스스틸 모재에 적층 된 박막에 대한 공정온도별 광 투과도를 나타낸 그래프로, 여기에서도, 상온 공정의 경우보다 본 발명의 고온 공정의 경우, 박막의 광 투과도가 낮게 나타나, 전도성 흑연 상 카본 층이 형성되었음을 확인할 수 있다. In addition, Figure 6 is a graph showing the light transmittance according to the process temperature for the thin film laminated to the stainless steel base material for fuel cell separator, and here, also in the high temperature process of the present invention than the case of room temperature process, the light transmittance of the thin film Appearing low, it can be seen that the conductive graphite phase carbon layer is formed.

상기와 같이 형성된 나노사이즈의 흑연 상 카본 층을 갖는 연료전지 분리판은 우수한 물성을 가지며 공정의 단순화 및 신속성으로 가격 경쟁력이 있다. The fuel cell separator having the nano-sized graphite-like carbon layer formed as described above has excellent physical properties and is competitive in price due to the simplicity and speed of the process.

본 발명의 연료전지 분리판은 자동차용, 선박용 등의 수송용과 지역용, 건물용, 모바일 기기용 등 다양하게 사용될 수 있다.
The fuel cell separator of the present invention can be used in various ways such as for automobiles, ships, and the like, and for local, building, and mobile devices.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.The rights of the present invention are not limited to the embodiments described above, but are defined by the claims, and those skilled in the art can make various modifications and adaptations within the scope of the claims. It is self-evident.

100: 기판
200: 이온 건
210: 애노드
220: 캐소드
300, 400: 히터100: substrate
200: ion gun
210: anode
220: cathode
300, 400: heater

Claims (9)

스테인레스스틸로 된 모재 기판 표면에 나노 사이즈 두께로 흑연 상 카본층을 코팅한 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판.A fuel cell separator plate for a regional, building or mobile device, characterized in that a graphite-like carbon layer is coated on a surface of a stainless steel base substrate at a nano size thickness. 제1항에 있어서, 상기 흑연 상 카본 층의 두께는, 1 내지 100nm 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판.The fuel cell separator plate of claim 1, wherein the graphite carbon layer has a thickness of 1 nm to 100 nm. 진공 챔버 안에 스테인레스스틸 모재 기판을 장입하고,
진공 챔버 내부를 진공화하고 가열하며,
탄화수소 가스와 비활성 가스를 진공 챔버 내에 넣고, 플라즈마를 생성하여 스테인레스스틸 모재 기판 표면에 나노 사이즈 두께로 흑연 상 카본층을 코팅하는 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법.Insert the stainless steel base substrate into the vacuum chamber,
Vacuumize and heat the inside of the vacuum chamber,
A fuel cell separator for a regional, building or mobile device, characterized by putting a hydrocarbon gas and an inert gas into a vacuum chamber and generating a plasma to coat a graphite-like carbon layer with a nano size thickness on the surface of a stainless steel base substrate. Manufacturing method. 제3항에 있어서, 챔버 내 공정 온도를 200 내지 1000℃로 하는 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법.The method of claim 3, wherein the process temperature in the chamber is 200 to 1000 ° C. 5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 챔버 내 공정 압력을 10-1 내지 10-5 Torr로 하는 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법.5. The method of claim 3 or 4, wherein the process pressure in the chamber is 10 -1 to 10 -5 Torr. 진공 챔버 안에 스테인레스스틸 모재 기판과 고체 카본 타깃을 장입하고,
진공 챔버 내부를 진공화하고 가열하며,
비활성 가스를 진공 챔버 내에 넣고, 플라즈마를 생성하여 스테인레스스틸 모재 기판 표면에 나노 사이즈 두께로 흑연 상 카본층을 코팅하는 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법.Charge the stainless steel base substrate and the solid carbon target into the vacuum chamber,
Vacuumize and heat the inside of the vacuum chamber,
A method of manufacturing a fuel cell separator plate for a regional, building or mobile device, comprising placing an inert gas into a vacuum chamber and generating a plasma to coat a graphite-like carbon layer with a nano size thickness on a surface of a stainless steel base substrate. 제6항에 있어서, 챔버 내 공정 온도를 200 내지 1000℃로 하는 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법.The method of claim 6, wherein the process temperature in the chamber is 200 to 1000 ° C. 7. 제6항 또는 제7항에 있어서, 챔버 내 공정 압력을 10-1 내지 10-5 Torr로 하는 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법.8. A method of manufacturing a fuel cell separator plate for a local, building or mobile device according to claim 6 or 7, wherein the process pressure in the chamber is 10 -1 to 10 -5 Torr. 제3항, 제4항, 제6항 또는 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 플라즈마 생성 수단으로 이온 건을 사용하고, 상기 이온 건에는 이온 건 가열용 히터를 더 구비한 것을 특징으로 하는 지역용, 건물용 또는 모바일 기기용 연료전지 분리판의 제조방법.



8. An area according to any one of claims 3, 4, 6 or 7, wherein an ion gun is used as the plasma generating means, and the ion gun is further provided with an ion gun heating heater. Process for manufacturing fuel cell separator for industrial, building or mobile devices.



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