KR20130111802A - 마이크로 유체 채널 제조 방법 및 그 방법으로 제조되는 마이크로 유체 채널 - Google Patents
마이크로 유체 채널 제조 방법 및 그 방법으로 제조되는 마이크로 유체 채널 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20130111802A KR20130111802A KR1020120033985A KR20120033985A KR20130111802A KR 20130111802 A KR20130111802 A KR 20130111802A KR 1020120033985 A KR1020120033985 A KR 1020120033985A KR 20120033985 A KR20120033985 A KR 20120033985A KR 20130111802 A KR20130111802 A KR 20130111802A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- microfluidic channel
- control system
- hydrophobic barrier
- cutting
- barrier line
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B1/00—Devices without movable or flexible elements, e.g. microcapillary devices
- B81B1/006—Microdevices formed as a single homogeneous piece, i.e. wherein the mechanical function is obtained by the use of the device, e.g. cutters
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
- B81C1/00119—Arrangement of basic structures like cavities or channels, e.g. suitable for microfluidic systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00388—Etch mask forming
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
본 발명은 인쇄 기술을 이용하는 마이크로 유체 채널 제조 방법 및 그 방법으로 제조되는 마이크로 유체 채널에 관한 것이다.
본 발명의 인쇄 기술을 이용하는 마이크로 유체 채널 제조 방법은 (A) 기 설정된 다공성 매체에 커팅 제어 명령을 수신하여, 커팅 라인 형성 수단으로 기 설정된 모양의 커팅 라인을 형성하는 단계; (B) 디스펜싱 제어 명령을 수신하여, 소수성 배리어 라인 형성 수단으로 상기 커팅 라인을 따라 적어도 1회 이상의 소수성 배리어 라인을 형성하는 단계;및 (C) 상기 소수성 배리어 라인이 형성된 상기 다공성 매체를 큐어링(curing)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명을 활용하면, 저렴한 비용으로 마이크로 유체 채널을 제조할 수 있으며, 원하는 재료를 잉크젯 프린팅, 디스펜싱(dispensing)을 이용하여 직접 인쇄 패터닝하므로, 포토 마스크 없이 CAD정보를 인쇄기에 전달하여, 패터닝을 할 수 있으므로, 작업 시 설계 변경이 용이하며, 동일 기판에서 원하는 서로 다른 형상의 패턴이 인쇄가 가능하며, 기판의 가공 상태나, 단차가 있는 구조물에도 본 발명 사상은 적용 가능하다.
본 발명의 인쇄 기술을 이용하는 마이크로 유체 채널 제조 방법은 (A) 기 설정된 다공성 매체에 커팅 제어 명령을 수신하여, 커팅 라인 형성 수단으로 기 설정된 모양의 커팅 라인을 형성하는 단계; (B) 디스펜싱 제어 명령을 수신하여, 소수성 배리어 라인 형성 수단으로 상기 커팅 라인을 따라 적어도 1회 이상의 소수성 배리어 라인을 형성하는 단계;및 (C) 상기 소수성 배리어 라인이 형성된 상기 다공성 매체를 큐어링(curing)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명을 활용하면, 저렴한 비용으로 마이크로 유체 채널을 제조할 수 있으며, 원하는 재료를 잉크젯 프린팅, 디스펜싱(dispensing)을 이용하여 직접 인쇄 패터닝하므로, 포토 마스크 없이 CAD정보를 인쇄기에 전달하여, 패터닝을 할 수 있으므로, 작업 시 설계 변경이 용이하며, 동일 기판에서 원하는 서로 다른 형상의 패턴이 인쇄가 가능하며, 기판의 가공 상태나, 단차가 있는 구조물에도 본 발명 사상은 적용 가능하다.
Description
본 발명은 마이크로 유체 채널 제조 방법 및 그 방법으로 제조되는 마이크로 유체 채널에 관한 것으로 더욱 더 상세하게는 인쇄 기술을 이용하는 마이크로 유체 채널 제조 방법 및 그 방법으로 제조되는 마이크로 유체 채널에 관한 것이다.
다공성 친수성 기재의 마이크로 유체 시스템 제조 분야에 있어 사용되는 채널의 일반적인 제조 방법은 도 1과 같다. 제작 공정을 살펴보면, (1) 다공성 친수성 기재를 감광제로 적시는 단계 (2) 적신 기판을 소정 패턴의 광에 노출하는 단계 (3) 패턴에 기초하여 감광제를 제거하여 감광제로 이루어진 소수성 장벽을 형성하는 단계(현상)를 포함한다. 이러한 제조 공정은 포토 리소그래피 공정을 이용하므로 포토 마스크를 이용하여 사진 식각 공정을 사용하여 구조를 형성한다. 이 과정에서 고가의 반도체 공정과 재료를 사용하게 되므로 생산 단가도 높아지게 된다.
또한, 기존의 제작 기술은 고가의 포토 리소그래피공정을 이용하여, CVD 공정, 사진 감광 공정을 진행하여 채널을 제작한다. 이러한 공정을 사용하게 되면, 원하는 패턴을 얻기 위하여, CAD 도면 작업 후, 포토마스크를 사용하므로 사용자가 원하는 시점에서 설계 변경이 불가능하며, 특정 물질을 현상해 내는 공정만을 사용하여야 하는 단점이 있으며, 유해 케미컬을 이용한 세정 공정이 필요하고, 폐액이 발생하는 문제점이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 첫번째 기술적 과제는 인쇄 기법을 이용하는 마이크로 유체 채널 제조 방법을 제시하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 첫번째 기술적 과제는 인쇄 기법을 이용하는 마이크로 유체 채널 제조 방법으로 제조되는 마이크로 유체 채널을 제시하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제를 달성하기 위하여, (A) 기 설정된 다공성 매체에 커팅 제어 명령을 수신하여, 커팅 라인 형성 수단으로 기 설정된 모양의 커팅 라인을 형성하는 단계; (B) 디스펜싱 제어 명령을 수신하여, 소수성 배리어 라인 형성 수단으로 상기 커팅 라인을 따라 적어도 1회 이상의 소수성 배리어 라인을 형성하는 단계;및 (C) 상기 소수성 배리어 라인이 형성된 상기 다공성 매체를 큐어링(curing)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법을 제시한다.
상기 다공성 매체의 후면에는 기 설정된 재질의 기재가 형성되어 있는 것이며, 상기 커팅 라인은 적어도 하나 이상의 폐곡선을 포함하는 것인 것이며, 상기 폐곡선 중 적어도 일부 이상에서 상기 커팅 라인은 상기 다공성 매체를 관통하나 상기 기재는 관통하지 않는 것인 것이 바람직하다.
상기 디스펜싱 제어 명령은 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템이 내리는 것이며, 상기 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템의 디스펜싱 제어 명령에는 상기 소수성 배리어 라인의 형성 시, 상기 커팅 라인의 적어도 일부에는 상기 소수성 배리어 라인이 형성되어 있지 않도록 제어하는 것인 것이 바람직하다.
상기 커팅 라인은 기 설정된 커팅 라인 폭을 가지는 것이며,
상기 소수성 배리어 라인은 기 설정된 소수성 배리어 라인 폭을 가지는 것인 것이며, 상기 소수성 배리어 라인은 상기 커팅 라인 폭보다 크거나 같은 것인 것이 바람직하다.
상기 커팅 라인 폭은 상기 소수성 배리어 라인 폭보다 2.5배 내지 16.7배 더 큰 것인 것이 바람직하다.
상기 디스펜싱 제어 명령은 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템이 내리는 것이며, 상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템의 디스펜싱 제어 명령은 상기 (B) 단계의 소수성 배리어 라인이 상기 다공성 매체에 스며들도록 제어하는 것이 바람직하다.
상기 (B) 단계는 적어도 2회 이상 반복적으로 수행되는 것인 것이 바람직하다.
상기 (C) 단계 이후에, 상기 (B) 단계의 소수성 배리어 라인 형성 단계 및 상기 (C) 단계의 큐어링 단계를 교번하여 적어도 1회 이상씩 더 수행하는 것인 것이 바람직하다.
상기 (C) 단계는 UV를 조사하여 상기 소수성 배리어 라인을 경화시키는 것인 것이거나, 가온 경화시키는 것인 것이 바람직하다.
상기 소수성 배리어 라인은 100um 내지 1.2mm인 것이며, 상기 소수성 배리어 라인의 폭은 디스펜서의 토출 압력이나 잉크젯 프린터의 드랍 스페이스로 조절하는 것이거나, 상기 디스펜서의 디스펜싱 반복 회수나 상기 잉크젯 프린터의 프린팅 반복 회수로 조절하는 것인 것이 바람직하다.
상기 다공성 매체는 니트로셀룰로오스 아세테이트, 셀룰로오스 아세테이트, 셀룰로오스 종이, 여과지, 티슈 종이, 필기용 종이, 종이 타올, 천, 및 다공성 폴리머 필름 중 어느 하나인 것이며, 상기 소수성 배리어 라인을 형성하는 소재는 UV-접착제, 일액형 에폭시계 접착제, 일액형 아크릴계 접착제, UV-잉크 및 감광제 중 어느 하나 이상인 것이 바람직하다.
상기 커팅 제어 명령은 제 1 마이크로 유체 채널 제어 시스템이 내리는 것이며, 상기 디스펜싱 제어 명령은 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템이 내리는 것이며, 상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템이 구성되는 방법은 상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템은 동일한 시스템인 제1 제어 시스템 구성 방법 및 상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템은 커팅 제어 시스템이며, 상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템은 디스펜싱 제어 시스템으로 상기 커팅 제어 시스템과 독립적으로 작동되는 제2 제어 시스템 구성 방법 중 어느 하나 이상인 것이 바람직하다.
상기 커팅 제어 명령은 제 1 마이크로 유체 채널 제어 시스템이 내리는 것이며, 상기 디스펜싱 제어 명령은 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템이 내리는 것이며, 상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템에 입력되는 제어 명령은 유무선 네트워크 또는 파일 복사 방식으로 CAD 파일로 최초 입력되는 것인 것이며, 상기 CAD 파일은 적어도 하나 이상의 제3의 시스템으로부터 유무선 네트워크를 통하여 다운로드 되는 것이거나, 상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 독립적으로 생성되는 것인 것이 바람직하다.
상기 (A) 단계 내지 상기 (C) 단계는 상기 다공성 매체에는 적어도 2 이상의 이격된 영역에서 동일 모양의 마이크로 유체 채널 또는 서로 다른 모양의 마이크로 유체 채널의 형성을 위하여 수행되는 것인 것이 바람직하다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제를 달성하기 위하여, 상기 방법을 통해서 제조되는 마이크로 유체 채널을 제시한다.
본 발명을 활용하면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 저렴한 비용으로 마이크로 유체 채널을 제조할 수 있다.
둘째, 원하는 재료를 잉크젯 프린팅, 디스펜싱(dispensing)을 이용하여 직접 인쇄 패터닝하므로, 포토 마스크 없이 CAD정보를 인쇄기에 전달하여, 패터닝을 할 수 있으므로, 작업 시 설계 변경이 용이하며, 동일 기판에서 원하는 서로 다른 형상의 패턴이 인쇄가 가능하다.
셋째, 0.1～1mm 일정간격을 유지하면서 인쇄 공정을 진행하므로, 기판의 가공 상태나, 단차가 있는 구조물의 경우에도 직접 패터닝이 가능하며, 전 후속 공정에 거의 영향을 받지 않는다.
도 1은 종래의 마이크로 유체 채널의 제조 방법에 관한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예적 마이크로 유체 채널의 제조 방법에 관한 것이다.
도 3은 본 발명의 마이크로 유체 채널을 제조할 때, 소수성 배리어 라인을 생성하고, 소수성 배리어 라인을 큐어링 하는 과정이 적어도 1회 이상 추가적으로 더 실시됨을 보여 주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 마이크로 유체 채널 제조 공정에 대한 일 실시예적 흐름을 설명하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 마이크로 유체 채널에 대한 일 실시예적 구성도이다.
도 6은 본 발명의 함을 보여 주는 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템으로서의 커팅 장치에 대한 일 실시예적 도면이다.
도 7은 본 발명의 함을 보여 주는 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템으로서의 잉크젯 프린팅 장치에 대한 일 실시예적 도면이다.
도 8은 본 발명의 함을 보여 주는 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템으로서의 디스펜싱 장치에 대한 일 실시예적 도면이다.
도 9는 본 발명의 마이크로 유체 채널을 사용하는 방법을 설명하는 일 실험예적 도면이다.
도 10는 본 발명의 마이크로 유체 채널을 사용하는 다른 방법을 설명하는 일 실험예적 도면이다.
도 11은 다공성 매체에 소수성 배리어 라인 형성 소재가 침투하여 소수성 배리어 라인이 형성되는 것을 보여 주는 일 실시예적 도면이다.
도 12는 본 발명의 마이크로 유체 채널 제조 시스템의 일 실시예적 네트워크 구성을 보여 주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예적 마이크로 유체 채널의 제조 방법에 관한 것이다.
도 3은 본 발명의 마이크로 유체 채널을 제조할 때, 소수성 배리어 라인을 생성하고, 소수성 배리어 라인을 큐어링 하는 과정이 적어도 1회 이상 추가적으로 더 실시됨을 보여 주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 마이크로 유체 채널 제조 공정에 대한 일 실시예적 흐름을 설명하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 마이크로 유체 채널에 대한 일 실시예적 구성도이다.
도 6은 본 발명의 함을 보여 주는 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템으로서의 커팅 장치에 대한 일 실시예적 도면이다.
도 7은 본 발명의 함을 보여 주는 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템으로서의 잉크젯 프린팅 장치에 대한 일 실시예적 도면이다.
도 8은 본 발명의 함을 보여 주는 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템으로서의 디스펜싱 장치에 대한 일 실시예적 도면이다.
도 9는 본 발명의 마이크로 유체 채널을 사용하는 방법을 설명하는 일 실험예적 도면이다.
도 10는 본 발명의 마이크로 유체 채널을 사용하는 다른 방법을 설명하는 일 실험예적 도면이다.
도 11은 다공성 매체에 소수성 배리어 라인 형성 소재가 침투하여 소수성 배리어 라인이 형성되는 것을 보여 주는 일 실시예적 도면이다.
도 12는 본 발명의 마이크로 유체 채널 제조 시스템의 일 실시예적 네트워크 구성을 보여 주는 도면이다.
이하, 도면을 참조하면서 더욱 더 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예적 마이크로 유체 채널의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 마이크로 유체 채널 제조 방법은 (A) 다공성 매체에 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템의 커팅 제어 명령을 수신하여, 커팅 라인 형성 수단(200)으로 기 설정된 모양의 커팅 라인을 형성(S21)하는 단계, (B) 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)의 디스펜싱 제어 명령을 수신하여, 소수성 배리어 라인 형성 수단(300)으로 상기 커팅 라인을 따라 적어도 1회 이상의 소수성 배리어 라인을 형성(S22)하는 단계, 및 (C) 소수성 배리어 라인이 형성된 상기 다공성 매체를 큐어링(S23)하는 단계를 포함한다. 본 발명의 마이크로 유체 채널을 제조 하기 위해서는 1) 커팅 라인 형성 수단(200)으로서의 커팅 장치, 2) 소수성 배리어 라인 형성 수단(300)으로서의 잉크젯 프린터 또는 디스펜스 장치, 3) 큐어링 수단(400)로서의 UV 조사 장치 또는 가온 경화 장치 등이 필요하다.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 마이크로 유체 채널 제조 과정을 개념적으로 보여 주는 공정 흐름도와 마이크로 유체 채널의 구조를 보여 주고 있다. 4 및 도 5에서 알 수 있듯이, 다공성 친수성 기재에 소수성 배리어가 형성되어 있음을 알 수 있다. 도 5에서 알 수 있듯이, 소수성 배리어에 둘러 쌓인 다공성 친수성 기재는 일종의 유채에 대한 마이크로 채널로 사용될 수 있게 된다.
상기 커팅 장치는 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템인 커팅 제어 시스템으로부터 유무선 네트워크(700)를 통하여 커팅 제어 명령을 수신할 수도 있지만, 상기 커팅 장치 내부에 상기 커팅 제어 시스템을 내장하고 있을 수 있다. 상기 커팅 장치는 CAD 도면과 같은 커팅 제어 명령과 관련된 파일이 입력되면, 이 도면과 같이 다공성 매체를 커팅한다. 도 6은 커팅 장치의 예시를 보여 주고 있다. 도 6에 예시되어 있는 커팅 라인 형성 수단(200)은 Graphtedc FC8000으로, 최대 커팅 범위는 1372㎜ x 50㎜이며, 커팅 속도는 1485㎜/s 45도 방향이며, 최대 커팅 압력은 600gp이다. 예시적으로 두께 0.34 ㎜ 의 종이는 커팅 속도 1㎝/s로 커팅기의 force 16으로 컷팅할 수 있다. 커팅 속도가 너무 빠르면 모서리 부분에서 깨끗이 컷팅이 되지 않고 종이가 갈라 지는 문제가 있다. 그리고, force가 16 보다 작으면 종이의 아랫면 끝까지 컷팅이 되지 않고 force가 16보다 크면 모서리 부분이 둥글게 되는 현상이 생기기도 한다.
상기 커팅 장치는 커팅 제어 명령에 따라, 다공성 매체에 기 설정된 모양의 커팅 라인을 형성한다. 상기 다공성 매체는 니트로셀룰로오스 아세테이트, 셀룰로오스 아세테이트, 셀룰로오스 종이, 여과지, 티슈 종이, 필기용 종이, 종이 타올, 천, 및 다공성 폴리머 필름 중 어느 하나인 것일 수 있다.
이때, 상기 다공성 매체의 후면에는 기 설정된 재질의 기재가 형성되어 있을 수 있다.
한편, 오픈 프레임 패턴의 경우 상기 다공성 매체의 아랫면에 마스킹 테이프를 붙여서 컷팅할 수도 있다.
상기 커팅 라인은 마이크로 유체 채널의 용도나 사용 목적에 대응하는 적어도 하나 이상의 폐곡선을 포함할 수 있다. 한편, 상기 폐곡선 중 적어도 일부 이상에서 상기 커팅 라인은 상기 다공성 매체를 관통하나 기재는 관통하지 않는 것인 것이 바람직하다. 상기 폐곡선은 상기 다공성 매체에 복수 개 형성되어 있을 수 있다. 본 발명의 소수성 배리어 라인(310)은 상기 폐곡선의 전부 또는 일부에 형성된다. 상기 소수성 배리어 라인(310)이 형성된 예시는 도 9 내지 도 10에서 확인할 수 있다. 도 9의 왼쪽 그림에서 알 수 있듯이, 마이크로 유체 채널의 동그라미로 된 부분을 수성 잉크에 담그면, 오른쪽 그림과 같이 수성 잉크가 마이크로 유체 채널을 따라 이동함을 보여 주어 마이크로 유체 채널이 어떻게 기능하는 지를 알 수 있게 한다. 도 10에서 알 수 있듯이, 도 10의 좌측 그림과 같이 마이크로 유체 채널에 동그라미 부분에 수성 잉크를 떨어뜨리면, 오른쪽 그림과 같이 소수성 배리어 라인으로 둘러 쌓인 영역으로 수성 잉크가 퍼져 나간다. 이와 같이 마이크로 유체 채널이 형성되면, 소수성 배리어 라인을 벗어나서 유체의 이동이 제한됨을 알 수 있다.
이어, 소수성 배리어 라인을 형성하는 방법에 대해 더욱 더 상세하게 설명한다.
소수성 배리어 라인 형성 수단(300)은 도 7과 같은 잉크젯 프린터나 도 8과 같은 디스펜스 장치가 될 수 있다. 소수성 배리어 라인 형성 수단(300)은 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)의 디스펜싱 제어 명령을 수신하여, 상기 커팅 라인을 따라 적어도 1회 이상의 소수성 배리어 라인을 형성(S22)한다. 상기 소수성 배리어 라인(310)을 형성하는 소재는 UV-접착제, 일액형 에폭시계 접착제, 일액형 아크릴계 접착제, UV-잉크 및 감광제 중 어느 하나 이상인 것이 바람직하며, 상기 소재는 디스펜싱 제어 명령에 따라 소수성 배리어 라인 형성 수단(300)을 통해 디스펜싱 된다.
이때, 상기 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)은 상기 소수성 배리어 라인 형성 수단(300)에 내장되어 있을 수도 있지만, 제 3의 시스템(511)에 탑재되어 있어, 유무선 네트워크(700)를 통하여 상기 소수성 배리어 라인 형성 수단(300)에 소수성 배리어 라인 형성을 위한 디스펜싱 제어 명령을 전송할 수도 있다.
상기 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)의 디스펜싱 제어 명령에는 상기 소수성 배리어 라인의 형성 시, 도 10과 같이 상기 커팅 라인 전체에 소수성 배리어 라인을 형성할 수도 있을 것이다. 한편, 상기 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)의 디스펜싱 제어 명령에는 상기 소수성 배리어 라인의 형성 시, 상기 커팅 라인의 적어도 일부에는 상기 소수성 배리어 라인이 형성되어 있지 않도록 제어하도록 할 수도 있을 것이다.
도 7은 소수성 배리어 라인 형성 수단(300)로서의 잉크젯 프린터의 일례를 보여 준다. 도 7의 장비는 Dimatix사의 모델명 DMP-2381(좌측)과 DMP-11610(우측)로서, Inkjet Printer Head system: 16 inline nozzles (Φ 19 ㎛), Substrate traverse system: 2-axis stage, Visualization system: CCD Camera LED backlight, Alignment system: Fiducial camera의 사양을 가지고 있다. 도 8은 소수성 배리어 라인 형성 수단(300)로서의 디스펜서의 일례를 보여 준다. 도 8의 장비는 MUSASHI SHOTMASTER300 SUPER∑CM II-V5로서 토출 압력: 30~500kpa, 프린트속도: 0~800 mm/s의 사양을 가지고 있다.
이어, 상기 소수성 배리어 라인(310)의 형성에 대해서 더욱 더 상세하게 설명한다.
소수성 배리어 라인(310)의 폭을 줄이기 위해서, 소수성 배리어 라인 형성 소재(320)의 디스펜싱 시 한번에 많은 양의 소수성 배리어 라인 형성 소재(320)를 프린팅 하지 않고(예시적으로는 도 7의 잉크젯 프린터의 드랍 스페이스 30~40um 정도, 도 8의 디스펜서의 토출 압력30~50Kpa,) 소량으로 프린팅 후 UV 경화를 수행한 다음 경화된 다시 같은 방법으로 소수성 배리어 라인 형성 소재(320)로 프린팅을 수회(예시적으로 디스펜서로는 2~3회, 잉크젯 프린터로는 5회)할 수 있다. 이러한 반복적인 소수성 배리어 라인 형성 소재(320) 디스펜싱과 UV 경화 과정을 통하여, 상기 소수성 배리어 라인(310) 폭을 수백 um 정도로 가늘게 제어할 수 있을 뿐만 아니라, 소수성 배리어 라인(310)의 폭을 정밀하게 조절할 수도 있다. 상기 소수성 배리어 라인(310)은 100um 내지 1.2mm인 것이며, 상기 소수성 배리어 라인(310)의 폭은 디스펜서의 토출 압력이나 잉크젯 프린터의 드랍 스페이스로 조절하는 것이거나, 상기 디스펜서의 디스펜싱 반복 회수나 상기 잉크젯 프린터의 프린팅 반복 회수로 조절하는 것인 것이 바람직하다.
예를 들면, 두께 0.34 ㎜의 종이에 도 7의 디스펜서를 이용해서 소수성 배리어 라인 형성 소재(320)로서 UV-RESIN(Threebond3021)으로 소수성 배리어 라인을 형성할 때 내구경 100um노즐을 사용해서 토출 압력 40 kpa, 프린트 속도 2 ㎜/s로, 2회 프린트하면 컷팅라인을 중심으로 1.2 ㎜의 폭을 가지는 최소 폭의 barrier을 형성할 수 있다.
상기 커팅 라인은 기 설정된 커팅 라인 폭(210-1)을 가진다. 커팅 라인의 커팅 라인 폭(210-1)은 커팅 장치의 제어에 의해 기 설정된 폭으로 형성될 수 있다.
한편, 상기 소수성 배리어 라인(310)은 기 설정된 소수성 배리어 라인폭(311)을 가질 수 있는데, 그 폭은 디스펜싱 제어 명령(디스펜싱 되는 소수성 배리어 라인 형성 소재(320)의 양, 회수)에 의존한다. 토출양이 많으면 다공성 매체(예, 종이)가 흡수하여 소수성 배리어 라인(310)의 폭이 너무 넓게 형성되며, 너무 적을 경우는 소수성 배리어가 형성되지 않는다.
하기 표 1은 커팅한 두 라인 사이의 간격과 형성된 유체 채널의 폭의 예시적인 조합을 보여 주고 있다.
| 한 커팅과 다음 컷팅 간의 간격 (㎜) | 1.4 | 2 | 3 | 4 |
| 형성된 유체 채널 폭(㎜) | 0.2 | 0.8 | 1.8 | 2.8 |
상기 표 1에서 알 수 있듯이, 상기 커팅 라인 폭(210-1)들 사이의 간격(표 1의 한 컷팅과 다름 컷팅 간의 간격, 도 11에서 최외곽 기준으로의 2개의 210의 간격)은 형성된 유체 채널(310)의 폭보다 2.5배 내지 16.7배 더 큰 것인 것이 바람직하다.
도 11에서 알 수 있듯이, 비록 다공성 매체가 상기 액상의 소수성 배리어 라인 형성 소재(320)를 어느 정도 빨아들일 수 있다. 즉, 상기 소수성 배리어 라인 형성 소재(320)가 상기 다공성 매체로 스며들 수 있어, 상기 소수성 배리어 라인의 실질적인 폭은 상기 커팅 라인 폭(211)보다 크거나 같을 수 있게 된다. 소수성 배리어 라인 형성 소재의 스며든 영역(210-2)의 폭은 다공성 매체의 성질과 소수성 배리어 라인 형성 소재에 따라 달라 질 수 있다.
한편, 상기 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)의 디스펜싱 제어 명령에는 상기 소수성 배리어 라인의 형성 시, 상기 커팅 라인의 적어도 일부에는 상기 소수성 배리어 라인이 형성되어 있지 않도록 제어할 수도 있을 것이다. 그리고, 상기 (C) 단계 이후에, 상기 (B) 단계의 소수성 배리어 라인 형성 단계 및 상기 (C) 단계의 큐어링 단계를 교번하여 적어도 1회 이상씩 더 수행하는 것인 것이 바람직하나, 경우에 따라, 상기 (B) 단계가 상기 (C) 단계 전에 적어도 2회 이상 반복적으로 수행될 수도 있을 것이다.
상기 액상의 소수성 배리어 라인(310)을 큐어링 하는 것은 소수성 배리어 라인(310)을 경화시키는 것이므로, 여러 가지 방법이 사용될 수 있다. 상기 (C) 단계의 경화는 1) UV를 조사하여 상기 소수성 배리어 라인을 경화시키는 것인 것이거나, 2) 가온 경화시키는 것일 수 있다. 상기 소수성 배리어 라인 형성 소자가 UV-접착제와 UV-Ink의 경우 UV를 조사하여 경화시킬 수 있고, 상기 소수성 배리어 라인 형성 소재(320)가 일액형 접착제의 경우 가온하여 경화시킬 수 있다. 예시적으로 토출압력 40 kpa, 프린트 속도 2 ㎜/s로 프린트한 소수성 배리어 라인 형성 소재(320) UV-resin(threebond3021)은 10mW/㎠에서 30초 동안의 UV조사를 통하여 완전히 경화시킬 수 있다.
커팅 장치를 제어하는 상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 디스펜싱 장치를 제어하는 상기 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)이 구성되는 방법은 상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 상기 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)은 한 대의 제어 컴퓨터를 사용하는 것과 같이 동일한 시스템을 사용하는 제1 제어 시스템 구성 방법이 있을 수 있다. 이때, 상기 한 대의 제어 컴퓨터는 커팅 장치와 상기 디스펜싱 장치와 유무선 네트워크(700)로 연결되어 있으며, 각 장치가 수행하는 커팅 또는 디스펜싱을 위한 제어 명령을 전송할 수 있다.
한편, 상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템은 커팅 제어 시스템이며, 상기 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)은 디스펜싱 제어 시스템으로 상기 커팅 제어 시스템과 독립적으로 작동되는 제2 제어 시스템 구성 방법 중 어느 하나 이상인 것이 바람직하다. 상기 각 제어 시스템은 상기 커팅 장치 또는 상기 디스펜싱 장치에 내장되어 있는 것일 수 있다.
상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 상기 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)에 입력되거나/출력/전송되는 제어 명령 또는 상기 커팅 장치 또는 상기 디스펜싱 장치에 입력되는 제어 명령은 유무선 네트워크(700) 또는 파일 복사 방식으로 CAD 파일로 최초 입력되는 것인 것이며, 상기 CAD 파일은 적어도 하나 이상의 제 3의 시스템(511)으로부터 유무선 네트워크(700)를 통하여 다운로드 되는 것이거나, 상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 상기 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)과 독립적으로 생성되는 것인 것이 바람직하다.
상기 (A) 단계 내지 상기 (C) 단계는 상기 다공성 매체에는 적어도 2 이상의 이격된 영역에서 동일 모양의 마이크로 유체 채널 또는 서로 다른 모양의 마이크로 유체 채널의 형성을 위하여 수행되는 것인 것이 바람직하다. 예를 들면, 도 9나 도 10에 있는 마이크로 유체 채널이 하나의 다공성 기재에 여러 개가 형성되어 있는 것이 대량 생산의 관점에서 더욱 바람직할 것이다.
도 12는 본 발명의 마이크로 유체 채널 제조 시스템의 일 실시예적 네트워크 구성을 보여 주고 있다.
제 1 마이크로 유체 채널 제어 시스템(211)은 유무선 네트워크(700)를 통하여 커팅 라인 형성 수단(200)과 연결되어 있고, 커팅 라인 형성 수단(200)과 연결되어 있고, 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)은 유무선 네트워크(700)를 통하여 소수성 배리어 라인 형성 수단(300)과 연결되어 있고, 커팅 라인 형성 수단(200)과 연결되어 있다. 한편, 큐어링 수단(400)을 제어하는 큐어링 제어 시스템(411)은 유무선 네트워크(700)를 통하여 큐어링 수단(400)과 연결되어 있을 수 있다. 이때, 큐어링 제어 시스템(411)은 소수성 배리어 형성 소재 등에 따라 최적화된 큐어링 제어 명령을 큐어링 수단(400)에 전송할 수 있다. 한편, 상기 제 3의 시스템(511)도 유무선 네트워크(700)를 통하여 제 1 마이크로 유체 채널 제어 시스템(211)이나 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)과 연결되어 있을 수 있다.
한편, 본 발명은 인쇄 기술을 사용하므로, 상기 다공성 매체 또는 상기 다공성 매체와 결합되어 있는 기 설정된 기재는 단차가 있는 구조물이어도 된다. 즉, 잉크젯 프린터나 디스펜서는 다공성 매체와 이격되어 소수성 배리어 라인 형성 소재(320)를 토출하므로 다공성 매채나 기재가 어느 정도 단차를 가지거나, 평면이 아닌 불규칙한 표면을 가지는 경우에도, 본 발명 사상은 실시될 수 있게 된다. 한편, 다공성 매채의 가공 상태가 다르거나, 2 이상의 가공 상태를 가지는 것일 경우에도 마찬가지로 본 발명 사상이 적용될 수 있게 된다.
본 발명의 마이크로 유체 채널은 분석물의 존재의 표시자로서 기능할 수 있는 생물학적 유체 내 분석물의 존재에 반응 하는 시약으로 처리될 수 있다. 일부 실시형태에서, 분석물에 대한 반응은 육안으로 볼 수 있다. 예를 들면, 친수성 기재는 분석물의 존재의 색상 표시자를 제공하기 위해 분석 영역에서 처리될 수 있다. 표시자는, 분석물이 있는 경우 착색되거나, 분석물이 있는 경우 색상이 변하거나, 또는 분석물이 있는 경우 형광, 인광, 냉광을 방출하는 분자를 포함할 수도 있다. 다른 실시형태에서, 소변 검사지 등의 유체 내 단백질 검사지, 수질의 중금속 검사지 등 방사선, 자기, 광학, 및/또는 전기적 수단이 사용되어 단백질, 항체, 또는 기타 분석물의 존재를 검출할 수 있다. 그리고 유체 시료 분석시스템의 유체 채널로 활용될 수 있다.
본 발명은 분석, 검사, 검출 등과 관련된 다양한 산업에 활용될 수 있다.
다공성 매체(100)
커팅 라인 형성 수단(200)
커팅 라인(210)
커팅 라인 폭(210-1)
소수성 배리어 라인 형성 수단(300)
소수성 배리어 라인(310)
소수성 배리어 라인폭(311)
소수성 배리어 라인 형성 소재(320)
큐어링 수단(400)
마이크로 유체 채널(150)
기재(50)
제 1 마이크로 유체 채널 제어 시스템(211)
제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)
큐어링 제어 시스템(411)
제 3의 시스템(511)
유무선 네트워크(700)
커팅 라인 형성 수단(200)
커팅 라인(210)
커팅 라인 폭(210-1)
소수성 배리어 라인 형성 수단(300)
소수성 배리어 라인(310)
소수성 배리어 라인폭(311)
소수성 배리어 라인 형성 소재(320)
큐어링 수단(400)
마이크로 유체 채널(150)
기재(50)
제 1 마이크로 유체 채널 제어 시스템(211)
제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템(311)
큐어링 제어 시스템(411)
제 3의 시스템(511)
유무선 네트워크(700)
Claims (16)
- (A) 기 설정된 다공성 매체에 커팅 제어 명령을 수신하여, 커팅 라인 형성 수단으로 기 설정된 모양의 커팅 라인을 형성하는 단계;
(B) 디스펜싱 제어 명령을 수신하여, 소수성 배리어 라인 형성 수단으로 상기 커팅 라인을 따라 적어도 1회 이상의 소수성 배리어 라인을 형성하는 단계;및
(C) 상기 소수성 배리어 라인이 형성된 상기 다공성 매체를 큐어링(curing)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 다공성 매체의 후면에는 기 설정된 재질의 기재가 형성되어 있는 것이며, 상기 커팅 라인은 적어도 하나 이상의 폐곡선을 포함하는 것인 것이며, 상기 폐곡선 중 적어도 일부 이상에서 상기 커팅 라인은 상기 다공성 매체를 관통하나 상기 기재는 관통하지 않는 것인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 디스펜싱 제어 명령은 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템이 내리는 것이며, 상기 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템의 디스펜싱 제어 명령에는 상기 소수성 배리어 라인의 형성 시, 상기 커팅 라인의 적어도 일부에는 상기 소수성 배리어 라인이 형성되어 있지 않도록 제어하는 것인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 커팅 라인은 기 설정된 커팅 라인 폭을 가지는 것이며,
상기 소수성 배리어 라인은 기 설정된 소수성 배리어 라인 폭을 가지는 것인 것이며,
상기 소수성 배리어 라인은 상기 커팅 라인 폭보다 크거나 같은 것인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 4항에 있어서,
상기 커팅 라인들 간의 폭은 상기 유체 채널의 폭보다 2.5배 내지 16.7배 더 큰 것인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 4항에 있어서,
상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템의 디스펜싱 제어 명령은 상기 (B) 단계의 소수성 배리어 라인이 상기 다공성 매체에 스며들도록 제어하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 (B) 단계는 적어도 2회 이상 반복적으로 수행되는 것인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 (C) 단계 이후에, 상기 (B) 단계의 소수성 배리어 라인 형성 단계 및 상기 (C) 단계의 큐어링 단계를 교번하여 적어도 1회 이상씩 더 수행하는 것인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 (C) 단계는 UV를 조사하여 상기 소수성 배리어 라인을 경화시키는 것인 것이거나, 가온 경화시키는 것인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 소수성 배리어 라인은 100um 내지 1.2mm인 것이며,
상기 소수성 배리어 라인의 폭은 디스펜서의 토출 압력이나 잉크젯 프린터의 드랍 스페이스로 조절하는 것이거나, 상기 디스펜서의 디스펜싱 반복 회수나 상기 잉크젯 프린터의 프린팅 반복 회수로 조절하는 것인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 다공성 매체는 니트로셀룰로오스 아세테이트, 셀룰로오스 아세테이트, 셀룰로오스 종이, 여과지, 티슈 종이, 필기용 종이, 종이 타올, 천, 및 다공성 폴리머 필름 중 어느 하나인 것이며,
상기 소수성 배리어 라인을 형성하는 소재는 UV-접착제, 일액형 에폭시계 접착제, 일액형 아크릴계 접착제, UV-잉크 및 감광제 중 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 커팅 제어 명령은 제 1 마이크로 유체 채널 제어 시스템이 내리는 것이며,
상기 디스펜싱 제어 명령은 제 2 마이크로 유체 채널 제어 시스템이 내리는 것이며,
상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템이 구성되는 방법은
상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템은 동일한 시스템인 제1 제어 시스템 구성 방법 및
상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템은 커팅 제어 시스템이며, 상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템은 디스펜싱 제어 시스템으로 상기 커팅 제어 시스템과 독립적으로 작동되는 제2 제어 시스템 구성 방법 중 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 12항에 있어서,
상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템에 입력되는 제어 명령은 유무선 네트워크 또는 파일 복사 방식으로 CAD 파일로 최초 입력되는 것인 것이며,
상기 CAD 파일은 적어도 하나 이상의 제3의 시스템으로부터 유무선 네트워크를 통하여 다운로드 되는 것이거나, 상기 제1 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 상기 제2 마이크로 유체 채널 제어 시스템과 독립적으로 생성되는 것인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 (A) 단계 내지 상기 (C) 단계는 상기 다공성 매체에는 적어도 2 이상의 이격된 영역에서 동일 모양의 마이크로 유체 채널 또는 서로 다른 모양의 마이크로 유체 채널의 형성을 위하여 수행되는 것인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법. - 제 1항에 있어서, 상기 다공성 매체 또는 상기 다공성 매체와 결합되어 있는 기 설정된 기재는 단차가 있는 구조물이거나 2 이상의 가공 상태를 가지는 것인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 채널 제조 방법.
- 제 1항 내지 제 15항 중 어느 한 항의 방법을 통해서 제조되는 마이크로 유체 채널.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120033985A KR101393446B1 (ko) | 2012-04-02 | 2012-04-02 | 마이크로 유체 채널 제조 방법 및 그 방법으로 제조되는 마이크로 유체 채널 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120033985A KR101393446B1 (ko) | 2012-04-02 | 2012-04-02 | 마이크로 유체 채널 제조 방법 및 그 방법으로 제조되는 마이크로 유체 채널 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20130111802A true KR20130111802A (ko) | 2013-10-11 |
| KR101393446B1 KR101393446B1 (ko) | 2014-05-12 |
Family
ID=49633035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020120033985A KR101393446B1 (ko) | 2012-04-02 | 2012-04-02 | 마이크로 유체 채널 제조 방법 및 그 방법으로 제조되는 마이크로 유체 채널 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101393446B1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101508317B1 (ko) * | 2014-07-24 | 2015-04-07 | 한양대학교 산학협력단 | 소수도 가변재질기반 미세유동채널 및 그 제작방법 |
| CN108725008A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-02 | 华南理工大学 | 一种改善金属有机物分解型银墨水结合强度的方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000034677A (ja) * | 1998-07-15 | 2000-02-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 部分親水性シート |
| KR20070045431A (ko) * | 2005-10-27 | 2007-05-02 | 주식회사 엘지생명과학 | 이종물질이 패터닝된 단일 기판의 제조방법 및 상기 방법에의해 제조된 기판을 이용한 모세관 유동 제어 디바이스 |
| KR101135370B1 (ko) * | 2010-04-07 | 2012-04-16 | 경북대학교 산학협력단 | 소수성막을 이용한 액체 렌즈의 액체 봉합 방법 및 액체 렌즈 |
-
2012
- 2012-04-02 KR KR1020120033985A patent/KR101393446B1/ko active IP Right Grant
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101508317B1 (ko) * | 2014-07-24 | 2015-04-07 | 한양대학교 산학협력단 | 소수도 가변재질기반 미세유동채널 및 그 제작방법 |
| CN108725008A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-02 | 华南理工大学 | 一种改善金属有机物分解型银墨水结合强度的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR101393446B1 (ko) | 2014-05-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20210215689A1 (en) | Microarray based sample dectection system | |
| DE60305356T2 (de) | Tintenstrahldruckkopf | |
| JP5651707B2 (ja) | 多孔質基材に液流案内構造を製造する方法 | |
| CN104437689B (zh) | 基于光敏印章印刷的纸基微流控芯片制造方法 | |
| DE60310443T2 (de) | Druckverfahren mit gummistempel | |
| DE102016205388A1 (de) | System und verfahren zur bildung von hydrophoben strukturen in einem hydrophilen druckmedium | |
| CN105903502B (zh) | 基于热转移蜡亲疏水图案微流控纸芯片的制备方法 | |
| KR101393446B1 (ko) | 마이크로 유체 채널 제조 방법 및 그 방법으로 제조되는 마이크로 유체 채널 | |
| US10794905B2 (en) | Fluid flow device on a porous substrate and method for making the same | |
| US20060201812A1 (en) | Microfluidic devices fabricated by direct thick film writing and methods thereof | |
| US20150367342A1 (en) | Apparatus For Producing Paper-Based Chemical Assay Devices | |
| US11313854B2 (en) | Patterned membrane structure | |
| CN104475178A (zh) | 一种微流控纸芯片制造装置及方法 | |
| KR100771760B1 (ko) | 유체 분사 시스템과 기포 처리 방법 및 장치 | |
| US9044944B2 (en) | Liquid discharge head and method of making the same | |
| KR20050028806A (ko) | 마이크로 전기 기계 장치 및 기포 처리 방법 | |
| CN113567405B (zh) | 纸基微流体二极管装置及可视化生物分子检测方法 | |
| DE60317791T2 (de) | Tintenstrahldruckkopf | |
| KR102010668B1 (ko) | 인쇄공정을 이용한 멤브레인 센서의 제조방법 | |
| US9427752B2 (en) | Dispensing heads with fluid puddle limiting surface features | |
| CN101638003A (zh) | 液滴排出头和装配有该液滴排出头的液滴排出装置 | |
| CN106029234B (zh) | 多孔膜构图技术 | |
| JP2006255780A (ja) | プラスチック加工方法及びノズル板の製造方法 | |
| US20230349897A1 (en) | Microarray based sample detection system | |
| Punpattanakul et al. | Fabrication of paper-based lab-on-a-chip by printing SU-8 polymer |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170327 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180406 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190402 Year of fee payment: 6 |