KR20130102278A - 설비 장치 모니터링 시스템 및 방법 - Google Patents

설비 장치 모니터링 시스템 및 방법 Download PDF

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KR20130102278A
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Abstract

본 발명은 설비 장치 모니터링 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 디스플레이부, 오디오 출력부, 가동 상태를 표시하는 타워 램프를 구비하는 복수의 설비 장치, 및 PLC(Programmable Logic Controller) 모듈을 통해 상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 나타내는 신호를 송수신하는 감시 장치를 포함하고, 상기 감시 장치는 상기 설비 장치 각각의 가동 상태를 나타내는 상기 신호에 기초하여 상기 PLC 모듈 내부의 제어 프로그램에 의해 상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 모니터링하고, 상기 모니터링 결과를 상기 디스플레이부 및 상기 오디오 출력부 중 적어도 하나를 통해 출력하는 설비 장치 모니터링 시스템을 제안한다.

Description

설비 장치 모니터링 시스템 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR MONITORING EQUIPMENTS}
본 발명은 작업자가 효율적으로 복수의 설비 장치를 모니터링하여 전체적인 생산 라인의 가동률을 높이고, 생산 비용을 절감할 수 있는 설비 장치 모니터링 시스템 및 방법에 관한 것이다.
복수의 설비 장치를 구비하고, 이를 동시에 가동시키는 생산 라인에서는, 각 설비 장치의 가동 상태를 파악하고, 이상이 발생했을 때 이를 최대한 빠른 시간에 발견하여 기계를 유지, 보수 및 수리함으로써 생산 라인의 가동률을 가능한 높은 수치로 유지하는 것이 중요하다. 이를 위해, 통상적으로 복수의 설비 장치에는 각 설비 장치의 동작 상태를 외부에서 확인할 수 있는 타워 램프가 구비된다. 타워 램프는 설비 장치의 이상 여부에 따라 서로 다른 색을 갖는 램프를 가동시켜 해당 설비 장치의 가동 상태를 외부에 알려준다.
타워 램프를 통해 출력되는 복수의 설비 장치의 상태는 통상 생산 라인에서 근무하는 작업자에 의해 모니터링되며, 작업자는 타워 램프를 통해 특정 설비 장치의 가동 상태에 이상이 발생했다고 판단될 경우, 해당 설비 장치를 점검하고 유지, 보수하여 전체 생산 라인의 가동률을 일정 수치 이상으로 유지한다. 그러나 타워 램프를 통해 출력되는 복수의 설비 장치의 상태는, 한 생산 라인에 지나치게 많은 복수의 설비 장치가 배치되는 경우 작업자가 효율적으로 모니터링하기 어려운 문제점이 있다.
이와 같은 문제를 해결하기 위해, 타워 램프와 별도로 오디오 출력부를 각 설비 장치에 마련하여 음성으로 이상 여부를 작업자에게 알려주거나, 또는 한 명의 작업자가 모니터링해야 하는 설비 장치의 수를 일정 숫자 이하로 제한하는 등의 방식이 제안된 바 있다. 그러나, 소음이 발생하는 생산 라인 내에서 오디오 출력부를 통한 설비 장치의 모니터링은 작업자가 쉽게 인식하기 어려운 문제가 있으며, 작업자 한 명이 적은 수의 설비 장치를 모니터링하는 방식은 전체적인 생산 라인의 유지비용을 지나치게 높이는 문제가 있었다.
하기의 선행기술문헌 중에서, 특허문헌 1은 산업플랜트 설비의 종합 정지 여유도 감시 방법 및 장치에 관한 것으로, 필요한 전력량에 따라 정지 설정값을 부여하여 그로부터 정지 여유도를 계산함으로써 효율적으로 설비 동작을 관리하는 내용을 개시하고 있다. 특허문헌 2는 반도체 제조 장치의 모니터링 시스템에 관한 것으로, 워크 스테이션을 이용하여 복수의 반도체 제조 장치 내의 중앙 처리부로부터 그 동작 상태를 검출하고, 검출한 동작 상태를 모니터 등을 통해 외부로 출력하는 것을 특징으로 한다.
한국 등록특허공보 KR 10-0898077-0000 한국 공개특허공보 KR 10-2003-0056807
본 발명의 과제는 상기한 종래 기술의 문제점을 보완하기 위한 것으로서, 복수의 설비 장치의 각각의 가동 상태를 나타내는 타워 램프의 동작 신호를 PLC 모듈을 이용하여 수집하고, 수집한 가동 상태를 디스플레이부 및 오디오 출력부를 통해 출력함으로써, 작업자가 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 효율적으로 모니터링하고, 이상 여부를 빠르게 인식하여 가동률 저하를 방지할 수 있는 설비 장치 모니터링 시스템 및 방법을 제공한다.
본 발명의 제1 기술적인 측면에 따르면, 디스플레이부; 오디오 출력부; 가동 상태를 표시하는 타워 램프를 구비하는 복수의 설비 장치; 및 PLC(Programmable Logic Controller) 모듈을 이용하여 상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 나타내는 신호를 송수신하는 감시 장치; 를 포함하고, 상기 PLC 모듈은 상기 송수신한 상기 신호에 기초하여 상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 모니터링하고, 상기 모니터링 결과를 상기 디스플레이부 및 상기 오디오 출력부 중 적어도 하나를 통해 출력하는 제어 프로그램을 포함하는 설비 장치 모니터링 시스템을 제안한다.
또한, 상기 복수의 설비 장치는 이산화탄소(CO2) 드릴 장비, 및 자동 광학 검사(Automatic Optical Inspection) 장비 중 적어도 하나를 포함하는 설비 장치 모니터링 시스템을 제안한다.
또한, 상기 타워 램프는 서로 다른 색을 출력하는 복수의 발광부를 통해 상기 복수의 설비 장치의 가동 상태를 표시하는 설비 장치 모니터링 시스템을 제안한다.
또한, 상기 PLC 모듈은 상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 표시하는 타워 램프의 구동 회로와 연결되어 상기 타워 램프를 동작시키는 구동 신호를 수신하는 설비 장치 모니터링 시스템을 제안한다.
또한, 상기 감시 장치는 상기 복수의 설비 장치 중 적어도 일부의 가동 상태가 미리 설정된 정상 범위에서 벗어난 것으로 판단되면, 상기 디스플레이부 및 상기 오디오 출력부 중 적어도 하나를 통해 가동 상태가 상기 정상 범위에서 벗어난 설비 장치의 정보를 출력하는 설비 장치 모니터링 시스템을 제안한다.
한편, 본 발명의 제2 기술적인 측면에 따르면, PLC 모듈을 통해 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 나타내는 신호를 수신하는 단계; 상기 PLC 모듈의 제어 프로그램에 의해 상기 복수의 신호 각각을 이용하여, 상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태가 미리 설정된 정상 범위 내에 포함되는지 판단하는 단계; 및 상기 정상 범위에서 가동 상태가 벗어난 설비 장치가 감지되면, 상기 감지한 설비 장치에 대한 정보를 화면 및 음성 중 적어도 하나로 출력하는 설비 장치 모니터링 방법을 제안한다.
또한, 상기 수신 단계는, 상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 표시하는 타워 램프의 구동 회로와 연결된 상기 PLC 모듈을 통해 상기 타워 램프를 동작시키는 구동 신호를 수신하는 설비 장치 모니터링 방법을 제안한다.
또한, 상기 복수의 설비 장치는 이산화탄소(CO2) 드릴 장비, 및 자동 광학 검사(Automatic Optical Inspection) 장비 중 적어도 하나를 포함하는 설비 장치 모니터링 방법을 제안한다.
본 발명에 따르면, 타워 램프를 통해 가동 상태를 출력하는 복수의 설비 장치에 있어서, 각 설비 장치의 타워 램프 구동 신호를 PLC 모듈을 이용하여 수집함으로써 각 설비 장치의 가동 상태를 간단하게 모니터링할 수 있다. 따라서, 큰 비용 추가 없이 효율적으로 복수의 설비 장치를 모니터링할 수 있는 시스템을 제공하여 생산 라인의 가동률 저하 방지 및 모니터링 시스템 구축에 따른 비용 절감 등의 효과를 달성할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 설비 장치 모니터링 시스템을 나타낸 도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 설비 장치 모니터링 방법을 설명하는 데에 제공되는 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 설비 장치 모니터링 시스템의 효과를 설명하는 데에 제공되는 도이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 설비 장치 모니터링 시스템을 나타낸 도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 설비 장치 모니터링 시스템은, 복수의 설비 장치(110)와 연결되는 모니터링 장치(120), 모니터링 장치(120)의 제어부(125)가 생성하는 복수의 설비 장치(110) 각각의 가동 상태를 출력하는 디스플레이부(130)와 오디오 출력부(140) 등을 포함할 수 있다. 복수의 설비 장치(110)는 이산화탄소(CO2) 드릴 장비, 자동 광학 검사(Automatic Optical Inspection) 장비 등을 포함할 수 있다.
모니터링 장치(120)는 PLC(Programmable Logic Controller) 모듈(123)과 제어부(125)를 포함한다. PLC 모듈(123)은 복수의 설비 장치(110)와 연결되어 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 검출한다. PLC 모듈(123)는 복수의 설비 장치(110)의 가동 상태를 나타내는 타워 램프를 구동하는 구동 신호를 수신하여 설비 장치(110) 각각의 가동 상태를 검출할 수 있으며, 일례로 PLC 모듈(123)에 저장된 제어 프로그램에 의해 각 설비 장치(110)의 가동 장치가 검출될 수 있다.
일례로, 복수의 설비 장치(110)는 가동 상태를 출력하는 타워 램프를 적어도 하나씩 구비할 수 있으며, 타워 램프는 각 설비 장치(110)의 가동 상태를 정상 가동 상태, 대기 상태, 이상 상태 등의 3가지 경우로 구분하여 표시할 수 있다. 이때, 타워 램프는 정상 가동 상태, 대기 상태, 이상 상태를 구분하여 나타내기 위해, 서로 다른 3가지 색상의 빛을 출력할 수 있다. 이하, 설명의 편의를 위해 정상 가동 상태를 녹색, 대기 상태를 노란색, 이상 상태를 빨간색으로 표시하는 것을 가정한다.
한편, 복수의 설비 장치(110)는 가동 상태가 타워 램프를 통해 표시되도록 제어하는 인터페이스 회로를 포함할 수 있으며, PLC 모듈(123)은 타워 램프의 동작을 제어하는 인터페이스 회로와 연결될 수 있다. PLC 모듈(123)이 타워 램프의 동작을 제어하는 인터페이스 회로와 연결되어 타워 램프를 통해 출력되는 신호를 인식하면, PLC 모듈(123)의 제어 프로그램은 타워 램프를 통해 출력되는 신호로부터 각 설비 장치(110)의 가동 상태가 정상인지 여부를 판단한다. 도 1에는 총 9개의 설비 장치(110)가 구비되는 것으로 도시되어 있으나, 반드시 이와 같은 숫자로 한정되는 것은 물론 아니며, 2번, 6번, 7번, 8번 설비 장치(110)에서 이상이 발생한 것을 가정한다.
일부 설비 장치(110)가 대기 상태 또는 이상 상태로 진입하면, 해당 설비 장치(110)에 구비된 타워 램프는 녹색이 아닌 노란색 또는 빨간색 불빛을 출력하도록 제어된다. 타워 램프가 출력하는 불빛의 색은 타워 램프의 동작을 제어하는 인터페이스 회로에 의해 결정되며, PLC 모듈(123)은 상기 인터페이스 회로와 전기적으로 연결되어 인터페이스 회로가 출력하는 타워 램프의 동작 제어 신호를 수신한다. 제어부(125)는 PLC 모듈(123)이 수신한 타워 램프의 동작 제어 신호를 이용하여 1~9번 설비 장치(110) 각각의 가동 상태를 검출할 수 있다. 도 1에서 제어부(125)는 2번, 6번, 7번, 8번 설비 장치(110)의 가동 상태가 이상 상태인 것으로 검출한다.
제어부(125)는 디스플레이부(130)와 오디오 출력부(140)를 제어하여 각 설비 장치(110)의 가동 상태 검출 결과가 디스플레이부(130)와 오디오 출력부(140)를 통해 출력되도록 제어한다. 오디오 출력부(140)는 복수의 설비 장치(110) 중 일부에라도 이상이 발생한 경우, 경고 음성 등을 출력하여 설비 장치(110)를 모니터링하는 작업자의 주의를 환기시킬 수 있다. 디스플레이부(130)는 복수의 설비 장치(110)가 배치되는 생산 라인의 레이아웃(Layout)을 표시하고, 이상 상태에 진입한 설비 장치(110)를 표시한다. 모니터링 작업자는 디스플레이부(130)가 출력하는 각 설비 장치(110)의 가동 상태를 확인하여 이상 상태에 진입한 설비 장치(110)를 빠르게 확인하고 유지, 보수 등의 조치를 취할 수 있다.
본 실시예에서는 별도의 제어부(125)에 의해 PLC 모듈(123)의 제어 프로그램이 검출한 가동 상태 검출 결과가 디스플레이부(130)와 오디오 출력부(140)로 출력되는 것을 가정하였다. 즉, 제어부(125)는 복수의 설비 장치(110) 각각의 모니터링 동작과는 무관하게, 디스플레이부(130)와 오디오 출력부(140)의 동작을 제어하고자 하는 목적으로만 구비될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 설비 장치 모니터링 방법을 설명하는 데에 제공되는 흐름도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 설비 장치 모니터링 방법은 PLC 모듈(123)을 통해 복수의 설비 장치(110)의 가동 상태를 검출하는 것으로 시작된다(S20). 앞서 설명한 바와 같이, 각 설비 장치(110)의 타워 램프를 동작시키는 인터페이스 회로에 PLC 모듈(123)이 연결될 수 있으며, PLC 모듈(123)이 수신하는 타워 램프의 동작 제어 신호를 이용하여 제어부(125)가 각 설비 장치(110)의 동작 상태를 검출할 수 있다.
복수의 설비 장치(110) 각각의 가동 상태를 검출하면, 제어부(125)는 모든 설비 장치(110)의 가동 상태가 정상인지 여부를 판단한다(S22). 가동 상태가 정상인지 판단하는 단계에서 제어부(125)는, PLC 모듈(123)이 각 설비 장치(110)의 타워 램프 인터페이스 회로로부터 수신하는 타워 램프 동작 제어 신호를 이용할 수 있다. 즉, 타워 램프에서 녹색 불빛이 출력되도록 제어하는 신호를 수신하면 해당 설비 장치(110)가 정상 가동 상태인 것으로 판단하고, 타워 램프에서 빨간색 불빛이 출력되도록 제어하는 신호를 수신하면 해당 설비 장치(110)가 이상 상태에 진입한 것으로 판단할 수 있다.
S22 단계의 판단 결과, 모든 설비 장치(110) 중에서 가동 상태가 정상이 아닌 설비 장치(110)가 존재하는 것으로 판단되면, PLC 모듈(123)의 제어 프로그램은 가동 상태가 비정상인 설비 장치의 정보를 수집한다(S24). 예를 들어, PLC 모듈(123)은 복수의 설비 장치(110) 각각으로부터 타워 램프를 동작시키는 복수의 타워 램프 동작 제어 신호를 단순히 수신하고, 제어 프로그램이 복수의 타워 램프 동작 제어 신호 중에서, 타워 램프가 노란색 또는 빨간색 불빛을 출력하도록 제어하는 신호가 있는지 여부를 판단할 수 있다. 타워 램프가 노란색 또는 빨간색 불빛을 출력하도록 제어하는 신호가 있는 것으로 판단되면, 제어 프로그램은 타워 램프 동작 제어 신호를 수신한 신호 입/출력부를 통해서 해당 신호를 출력한 설비 장치(110)에 대한 정보를 역으로 추적하여 수집할 수 있다. 즉, 타워 램프 동작 제어 신호의 종류를 PLC 모듈(123)의 제어 프로그램이 판단하고, 제어부(125)는 단순히 디스플레이부(130)와 오디오 출력부(140)의 동작을 제어하는 방식으로 동작하는 것이 가능하다.
가동 상태가 비정상인 설비 장치(110)의 정보가 수집되면, 제어부(125)는 복수의 설비 장치(110)의 가동 상태가 출력되도록 디스플레이부(130) 및 오디오 출력부(140)를 제어한다(S26). S22 단계의 판단 결과, 모든 설비 장치(110)의 가동 상태가 정상인 것으로 판단된 경우에는, 가동 상태가 비정상인 설비 장치(110)의 정보를 수집하는 S24 단계를 생략하고, 바로 복수의 설비 장치(110)의 가동 상태를 출력할 수도 있다(S26). 이하, 도 3을 참조하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 설비 장치 모니터링 시스템의 효과를 설명하는 데에 제공되는 도이다.
도 3을 참조하면, 이산화탄소(CO2) 드릴 장비 가동 상태가 표시되는 디스플레이부(130)가 도시되어 있다. 1번부터 6번까지 총 6개의 드릴 장비가 화면에 표시되며, 각 장비 아래에는 장비의 동작 상태가 표시된다. 도 3에는 1, 2, 4, 6번 드릴 장비는 정상적으로 동작하나, 3, 5번 드릴 장비는 정상적으로 동작하지 않는 예시를 가정한다.
PLC 모듈(123)은 1~6번 드릴 장비 각각의 타워 램프를 동작시키는 인터페이스 회로와 연결되어, 각 인터페이스 회로로부터 타워 램프 동작 제어 신호를 수신한다. PLC 모듈(123)의 제어 프로그램은, 수신한 타워 램프 동작 제어 신호로부터 1~6번 드릴 장비 각각의 가동 상태가 정상 상태인지 여부를 판단하고, 그 결과를 제어부(125)에 송신한다. 제어부(125)는 PLC 모듈(123)로부터 수신한 모니터링 결과를 디스플레이부(130)에 출력한다. 이때, 작업자가 이상이 발생한 드릴 장비를 직관적으로 인식할 수 있도록, 복수의 드릴 장비를 실제 생산 라인에 배치된 것과 같은 레이아웃으로 디스플레이부(130)에 표시하고, 이상 상태에 진입한 드릴 장비 - 도 3에서 3번 및 5번 드릴 장비 - 의 색깔을 다르게 표시하는 등의 방법을 적용할 수 있다. 작업자는 각 드릴 장비의 타워 램프를 일일이 찾아서 인식할 필요 없이, 디스플레이부(130)가 출력하는 화면만으로 복수의 드릴 장비 각각의 가동 상태를 파악하고, 이상 상태에 진입한 장비를 유지, 보수할 수 있다.
이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
110 : 설비 장치
120 : 모니터링 장치
123 : PLC 모듈
125 : 제어부
130 : 디스플레이부
140 : 오디오 출력부

Claims (8)

  1. 디스플레이부;
    오디오 출력부;
    가동 상태를 표시하는 타워 램프를 구비하는 복수의 설비 장치; 및
    PLC(Programmable Logic Controller) 모듈을 이용하여 상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 나타내는 신호를 송수신하는 감시 장치; 를 포함하고,
    상기 PLC 모듈은 상기 송수신한 상기 신호에 기초하여 상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 모니터링하고, 상기 모니터링 결과를 상기 디스플레이부 및 상기 오디오 출력부 중 적어도 하나를 통해 출력하는 제어 프로그램을 포함하는 설비 장치 모니터링 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 설비 장치는 이산화탄소(CO2) 드릴 장비, 및 자동 광학 검사(Automatic Optical Inspection) 장비 중 적어도 하나를 포함하는 설비 장치 모니터링 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 타워 램프는 서로 다른 색을 출력하는 복수의 발광부를 통해 상기 복수의 설비 장치의 가동 상태를 표시하는 설비 장치 모니터링 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 PLC 모듈은 상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 표시하는 타워 램프의 인터페이스 회로와 연결되어 상기 타워 램프를 동작시키는 구동 신호를 수신하는 설비 장치 모니터링 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 감시 장치는 상기 복수의 설비 장치 중 적어도 일부의 가동 상태가 미리 설정된 정상 범위에서 벗어난 것으로 판단되면, 상기 디스플레이부 및 상기 오디오 출력부 중 적어도 하나를 통해 가동 상태가 상기 정상 범위에서 벗어난 설비 장치의 정보를 출력하는 설비 장치 모니터링 시스템.
  6. PLC 모듈을 통해 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 나타내는 신호를 수신하는 단계;
    상기 PLC 모듈의 제어 프로그램에 의해 상기 복수의 신호 각각을 이용하여, 상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태가 미리 설정된 정상 범위 내에 포함되는지 판단하는 단계; 및
    상기 정상 범위에서 가동 상태가 벗어난 설비 장치가 감지되면, 상기 감지한 설비 장치에 대한 정보를 화면 및 음성 중 적어도 하나로 출력하는 설비 장치 모니터링 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 수신 단계는,
    상기 복수의 설비 장치 각각의 가동 상태를 표시하는 타워 램프의 구동 회로와 연결된 상기 PLC 모듈을 통해 상기 타워 램프를 동작시키는 구동 신호를 수신하는 설비 장치 모니터링 방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 복수의 설비 장치는 이산화탄소(CO2) 드릴 장비, 및 자동 광학 검사(Automatic Optical Inspection) 장비 중 적어도 하나를 포함하는 설비 장치 모니터링 방법.
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