KR20130084824A - Fabrication of czts or cztse thin film for solar cells using paste or ink - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 박막 태양전지에서 빛 흡수층으로 응용될 수 있는 구리아연주석황화계(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌계(CZTSe)계 박막의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 불순물이 최소화된 고품질의 CZTS 또는 CZTSe 광흡수층 박막을 구현할 수 있는 Cu, Zn, Sn 분자 전구체로 이루어진 페이스트 또는 잉크를 이용한 박막 태양전지용 CZTS 또는 CZTSe계 박막의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method for manufacturing a copper zinc tin sulfide (CZTS) or copper zinc tin selenide (CZTSe) based thin film that can be applied as a light absorbing layer in a thin film solar cell, and more specifically, The present invention relates to a method for manufacturing a CZTS or CZTSe-based thin film for thin film solar cells using a paste or ink composed of Cu, Zn, Sn molecular precursors that can implement a CZTS or CZTSe light absorption layer thin film.
태양광으로부터 직접적으로 전기를 생산할 수 있는 태양전지는 청정에너지를 안전하게 생산할 수 있다는 점에서 가장 주목받는 미래 에너지 생산 방법이라고 할 수 있다. 이러한 태양전지의 제작을 위해 다양한 종류의 무기, 유기물 반도체들이 응용되고 있으나 현재까지 상업화 단계까지 도달한 대표적인 예는 실리콘 (Si)을 주 소재로 사용하는 실리콘 태양전지와 CIGS 계열의 박막태양전지이다. Solar cells that can generate electricity directly from sunlight can be said to be the most energy-producing method of the future in that they can safely produce clean energy. Various kinds of inorganic and organic semiconductors have been applied for the fabrication of such solar cells. However, representative examples that have reached the commercialization stage so far are silicon solar cells using silicon (Si) as the main material and thin film solar cells of CIGS series.
실리콘 태양전지는 높은 광전환 효율을 보인다는 장점이 있지만 고가의 제조비용이 들기 때문에, 이를 대체하기 위한 보다 얇은 박막 적용이 가능한 화합물 반도체를 이용하는 박막 태양전지의 제조에 대한 관심이 높다. Silicon solar cells have the advantage of showing high light conversion efficiency, but because of the high manufacturing costs, there is a high interest in the manufacture of thin film solar cells using a compound semiconductor that can be applied thinner thin film to replace them.
대표적인 박막 태양전지로는 CIS 또는 CIGS로 알려져 있는 IB족, IIIA족 및 VIA족의 원소들을 포함하는 물질을 빛 흡수 층으로 이용하는 박막 태양전지를 들 수 있다. 이러한 종류의 태양전지는 일반적으로 Cu(In,Ga)Se2의 조성을 갖는 빛 흡수 박막 층과 CdS 또는 그 밖의 n-type 화합물 반도체로 이루어진 버퍼(buffer) 박막 층이 가장 핵심적인 구성 요소라 할 수 있고, 특히 CIS 또는 CIGS 빛 흡수 층은 이러한 태양전지의 성능을 결정짓는 가장 중요한 요소라고 할 수 있다. 이러한 CIS 또는 CIGS 빛 흡수층 박막은 일반적으로 동시증발법 또는 스퍼터링과 같은 고비용의 진공 장비를 이용한 진공 증착 방법으로 제조되고 있으나 최근 들어 CIS 또는 CIGS 박막 태양전지 제조의 저가화 및 대면적화를 위해 프린팅과 같은 용액공정 방법이 많이 연구되고 있다. Representative thin film solar cells include thin film solar cells using a material containing elements of Groups IB, IIIA, and VIA, known as CIS or CIGS, as a light absorption layer. In this type of solar cell, the most important component is a light absorbing thin film layer having a composition of Cu (In, Ga) Se 2 and a buffer thin film layer made of CdS or other n-type compound semiconductors. In particular, the CIS or CIGS light absorbing layer is the most important factor determining the performance of such a solar cell. Such CIS or CIGS light absorbing layer thin films are generally manufactured by a vacuum deposition method using expensive vacuum equipment such as co-evaporation or sputtering, but recently, solutions such as printing for lowering cost and large area of CIS or CIGS thin film solar cell manufacturing Many process methods are being studied.
그러나 CIS 또는 CIGS 박막 태양전지는 고가의 원료, 즉 In 및 Ga이 필수적으로 사용되기 때문에 재료 측면에서 저가화의 한계점을 가지고 있다. 이에 반해 In 및 Ga을 지구상 흔하게 존재하며 위해성이 적은 Zn 및 Sn이 포함된 화합물인 Cu2ZnSnS4 (CZTS) 또는 Cu2ZnSnSe4 (CZTSe)는 태양전지로의 응용에 매우 적합한 광학적 성질 (예: 광흡수 계수 (>10-4 cm), 밴드갭 (1.5 eV)를 지지고 있어 향후 CIGS 박막 태양전지를 대체할 차세대 박막 태양전지 물질로 각광을 받고 있다. However, CIS or CIGS thin film solar cells have the limitation of low cost in terms of materials because expensive raw materials, In and Ga are essential. In contrast, Cu 2 ZnSnS 4 (CZTS) or Cu 2 ZnSnSe 4 (CZTSe), a compound containing Zn and Sn, which are commonly present on Earth and contains low-risk Zn and Sn, are highly suitable optical properties (e.g., It has a light absorption coefficient (> 10 -4 cm) and a band gap (1.5 eV), which is attracting attention as the next generation thin film solar cell material to replace CIGS thin film solar cell.
CIGS계 박막 태양전지와 마찬가지로 현재 주로 적용되고 있는 CZTS 박막 제조 방법은 스퍼터링 또는 진공증발과 같은 진공증착 방법이나 최근들어 용액공정에 의한 프린팅 방법도 보고가 되고 있다. 특히 미국의 IBM의 D. B. Mitzi 연구팀에서는 하이드라진 용매에 Cu2S, SnSe, ZnSe 의 이원황화합물 전구체를 이용한 CZTS 박막 제조에 성공하여 매우 우수한 태양전지 효율을 보고하였고, Moon et al (Energy & Environmental Science)은 Cu2S 및 Zn, Sn, S 원소를 에탄올 용매에서 볼밀 방법으로 분산시킨 잉크를 개발하여 스핀코팅 방법으로 5% 수준의 태양전지 디바이스를 제조하였다. Agrawal et al (Journal of the american chemical society) 은 hot injection 방법으로 Cu(acac)2, In(acac)2, SnBr2(acac)2 원소를 oleylamine에 넣은 후, 225℃에서 S 전구체를 혼합하여 나노구조체를 만들었다. 정제를 통해서 얻은 나노구조체를 Hexanethiol에 일정량을 녹인 잉크를 이용하여 knife coating 방법으CZTS 박막을 제조하였고 7% 수준의 태양전지 디바이스를 제조하였다. Like CIGS-based thin film solar cells, the CZTS thin film manufacturing method, which is currently mainly applied, has been reported to have a vacuum deposition method such as sputtering or vacuum evaporation or a printing method by a solution process. In particular, IBM's DB Mitzi team succeeded in producing CZTS thin films using Cu2S, SnSe and ZnSe binary sulfur precursors in hydrazine solvents, and reported excellent solar cell efficiency. Moon et al (Energy & Environmental Science) reported that Cu 2 An ink in which S and Zn, Sn, and S elements were dispersed by ball milling in an ethanol solvent was developed to prepare a solar cell device having a 5% level by spin coating. Agrawal et al (Journal of the american chemical society) uses Cu (acac) 2 , In (acac) 2 , and SnBr 2 (acac) 2 elements into oleylamine by hot injection, and then mixed the S precursors at 225 ° C. Created a structure The CZTS thin film was prepared by the knife coating method using ink in which a certain amount of the nanostructure obtained through purification was dissolved in Hexanethiol, and a solar cell device of 7% level was manufactured.
하지만 이러한 방법들은 독성이 강한 용매를 사용하거나 글러브박스라는 제한된 공간을 이용한다는 점에서 대량생산을 하기에는 어려운 문제점을 가지고 있다. 또한 나노입자로 이루어진 잉크를 사용할 경우 각 성분의 조성 조절이 용이하지 않다는 단점을 지니게 된다. 따라서 CZTS 또는 CZTSe 광흡수층 박막을 제한된 공간이 아닌 공기 중에서 독성 또는 폭발성이 적은 용매를 이용하여 대면적 코팅이 가능한 제조 방법의 필요성이 제기되고 있다.However, these methods have difficulty in mass production in that they use a highly toxic solvent or a limited space such as a glove box. In addition, when using the ink consisting of nanoparticles has a disadvantage that it is not easy to control the composition of each component. Therefore, there is a need for a manufacturing method capable of coating a large area using a CZTS or CZTSe light absorbing layer thin film using a solvent having low toxicity or explosiveness in air rather than a limited space.
본 발명의 목적은 Cu, Zn, Sn과 같이 흔한 재료를 이용하여 일반 공기중에서 제조가능하고, 대면적 코팅에 적합하도록 Cu, Zn, Sn 분자 전구체 페이스트 또는 잉크를 이용하여 태양전지용 CZTS, CZTSe 또는 CZTSSe 박막을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
An object of the present invention is to produce in general air using a common material such as Cu, Zn, Sn, CZTS, CZTSe or CZTSSe for solar cells using Cu, Zn, Sn molecular precursor paste or ink to be suitable for large area coating It is to provide a method for producing a thin film.
또한 본 발명의 다른 목적은 최소량의 잔존 탄소 불순물만을 포함하는 것을 특징으로 하는 고품질의 태양전지용 CZTS, CZTSe 또는 CZTSSe 박막을 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a high quality CZTS, CZTSe or CZTSSe thin film for solar cells, which comprises only a minimum amount of residual carbon impurities.
상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 (1) Cu, Zn 및 Sn의 전구체들을 서로 혼합하는 단계; (2) 상기 혼합 전구체를 용매에 용해시키고, 고분자 바인더를 첨가하여 페이스트 또는 잉크를 수득하는 단계; (3) 상기 수득된 전구체 페이스트를 전도성 기판에 코팅한 후 이를 공기 또는 산소 기체 분위기에서 열처리하여 잔존 유기물을 제거하고 Cu, Zn, 및 Sn 혼합 산화물 박막을 수득하는 단계; 및(4) 상기 Cu, Zn, 및 Sn 혼합 산화물 박막을 황 또는 셀레늄 분위기에서 열처리하여 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막을 제조하는 방법을 제공한다. In order to solve the above technical problem, the present invention (1) mixing the precursors of Cu, Zn and Sn with each other; (2) dissolving the mixed precursor in a solvent and adding a polymeric binder to obtain a paste or ink; (3) coating the obtained precursor paste on a conductive substrate and then heat-treating it in an air or oxygen gas atmosphere to remove residual organic material and obtain a Cu, Zn, and Sn mixed oxide thin film; And (4) heat treating the Cu, Zn, and Sn mixed oxide thin films in a sulfur or selenium atmosphere to produce a copper zinc tin sulfide (CZTS) -based or copper zinc tin selenium (CZTSe) -based thin film.
또한 본 발명에서는 상기 (4) 단계에서 제조된 구리아연주석황화(CZTS)계 박막을 셀렌늄 분위기에서 한 번 더 열처리하여 구리아연주석황화셀렌(CZTSSe)계 박막을 제조할 수도 있다.In the present invention, the copper zinc tin sulfide (CZTS) -based thin film prepared in step (4) may be further heat-treated in a selenium atmosphere to prepare a copper zinc tin sulfide selenium (CZTSSe) -based thin film.
본 발명의 일실시예에 의하면, 상기 Cu, Zn 및 Sn의 전구체는 이들 금속 각각 또는 이들 혼합물의 수산화물, 질산염, 황산염, 아세트산염, 염화물 중에서 1종 이상 선택될 수 있다. 또한 Cu, Zn 또는 Sn 전구체는 2 : 0.6 ~ 1 : 0.4 ~ 1 의 몰비로 사용되는 것이 바람직하다. According to one embodiment of the present invention, the precursors of Cu, Zn and Sn may be selected from at least one of hydroxides, nitrates, sulfates, acetates and chlorides of each of these metals or mixtures thereof. Moreover, it is preferable that Cu, Zn, or Sn precursor is used by molar ratio of 2: 0.6-1: 0.4-1.
또한 본 발명의 다른 일실시예에 의하면, 상기 단계 (2)에서 사용되는 용매는 물, 알코올, 아세톤 중에서 선택될 수 있다. In addition, according to another embodiment of the present invention, the solvent used in the step (2) may be selected from water, alcohol, acetone.
또한 본 발명의 다른 일실시예에 의하면, 상기 고분자 바인더는 에틸 셀룰로스, 팔미트산, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리프로필렌카보네이트 또는 이들의 혼합물 중에서 선택될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. In addition, according to another embodiment of the present invention, the polymeric binder may be selected from ethyl cellulose, palmitic acid, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polypropylene carbonate or a mixture thereof, but is not limited thereto.
또한 본 발명의 다른 일실시예에 의하면, 상기 단계 (2)에서 분산제를 더 첨가할 수 있으며, 분산제는 예를 들어 α-터피에놀, 에틸렌글리콜, 티오아세트아미드, 에틸렌다이아민, 모노에틸렌아민 또는 이들의 혼합물 중에서 선택하여 사용할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. According to another embodiment of the present invention, a dispersant may be further added in the step (2), and the dispersant may be, for example, α-terpienol, ethylene glycol, thioacetamide, ethylenediamine, or monoethyleneamine. Or a mixture thereof, but is not limited thereto.
또한 본 발명의 다른 일실시예에 의하면, 상기 단계 (1) 또는 단계 (2)에서 Na, K, Ni, P, As, Sb, Bi 성분 또는 이들의 혼합물 중에서 선택된 도펀트(dopant)로 첨가할 수 있다. In addition, according to another embodiment of the present invention, in step (1) or step (2) can be added as a dopant (dopant) selected from Na, K, Ni, P, As, Sb, Bi components or mixtures thereof. have.
또한 본 발명의 다른 일실시예에 의하면, 상기 단계 (3)에서 사용가능한 페이스트의 코팅법으로는 닥터 블레이드 코팅, 스핀 코팅, 스크린 코팅법 또는 스프레이 코팅법 등을 들 수 있다. In addition, according to another embodiment of the present invention, the coating method of the paste usable in the step (3) may include doctor blade coating, spin coating, screen coating or spray coating.
또한 본 발명의 다른 일실시예에 의하면, 상기 단계 (3)에서, 상기 공기 또는 산소 기체 분위기에서의 열처리는 200 내지 700℃ 범위의 온도에서 수행되는 것이 바람직하다. In addition, according to another embodiment of the present invention, in the step (3), the heat treatment in the air or oxygen gas atmosphere is preferably carried out at a temperature of 200 to 700 ℃ range.
또한 본 발명의 다른 일실시예에 의하면, 상기 단계 (4)에서, 황화 또는 셀렌화는 H2S, S 증기 또는 이들과 불활성 기체의 혼합 기체 분위기에서 수행되거나 또는 H2Se, Se 증기, 또는 이들과 불활성 기체의 혼합 기체 분위기에서 수행될 수 있다. 또한 황화 또는 셀렌화시의 열처리는 400 내지 600℃ 범위의 온도에서 수행되는 것이 바람직하다. According to another embodiment of the present invention, in the step (4), the sulfidation or selenization is carried out in H 2 S, S steam or a mixed gas atmosphere of these and inert gas, or H 2 Se, Se steam, or It may be carried out in a mixed gas atmosphere of these and an inert gas. In addition, the heat treatment during sulfidation or selenization is preferably carried out at a temperature in the range of 400 to 600 ℃.
또한 본 발명은 상기 박막 제조 방법에 의해 제조되며, 잔존 탄소량이 5 at% 이하인 것을 특징으로 하는 태양전지용 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막을 제공한다. In another aspect, the present invention provides a solar cell copper zinc tin sulfide (CZTS) -based or copper zinc tin selenium (CZTSe) -based thin film is produced by the above thin film manufacturing method, characterized in that the residual carbon amount is 5 at% or less.
본 발명에 따라 Cu, Zn, Sn 전구체 페이스트 또는 잉크를 이용하여 CZTS 또는 CZTSe 박막을 제조하게 되면 진공장비를 이용할 필요가 없고 지구상 흔한 금속 원료로만 이루어진 박막을 만들 수 있어 박막 태양전지의 저비용 제조를 구현할 수 있을 뿐만 아니라 잔존 탄소 불순물을 최소화 할 수 있어 이로 인한 효율 저하를 방지할 수 있다. 또한 페이스트 및 잉크 제조 시 용매로서 위해성 및 폭발성이 적은 알코올류를 이용하고 공기 중에서 제조되기 때문에 페이스트 및 잉크의 대량 생산에 용이하다. 또한 다양한 종류의 기판에 응용될 수 있을 뿐만 아니라 대면적 코팅에 유리하며, 구성 금속 조성의 조절이 용이하여 필요에 따라 조성에 따른 에너지 띠 간격(energy band gap)을 조절함으로써 태양전지의 전압, 전류의 조절이 가능하며 궁극적으로 텐덤 태양전지에 적용할 수 있다. According to the present invention, when the CZTS or CZTSe thin film is manufactured using Cu, Zn, Sn precursor paste or ink, it is possible to make a low cost manufacturing of thin film solar cell because there is no need to use a vacuum equipment and a thin film made of common metal raw materials on earth. In addition to this, the remaining carbon impurities can be minimized, thereby preventing a decrease in efficiency. In addition, it is easy to mass-produce pastes and inks because they are prepared in the air using alcohols with low risk and explosiveness as solvents when preparing pastes and inks. In addition, it can be applied to various kinds of substrates, and is advantageous for large area coating, and it is easy to adjust the composition of the metal composition, and adjust the energy band gap according to the composition as necessary, so that the voltage and current of the solar cell Can be controlled and ultimately applied to tandem solar cells.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 CZTS 또는 CZTSe 박막의 제조 과정을 보여주는 블록 순서도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따라 Cu 및 Zn 질산염과 Sn 염화염 전구체 혼합물을 알코올에 용해한 용액의 사진이다.
도 3은 본 발명의 비교예에 따라 Cu 및 Zn 질산염과 Sn 염화염 전구체를 각각 알코올에 용해한 용액의 사진이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따라 Cu, Zn, Sn 혼합 산화물 박막을 H2S/N2 기체 분위기에서 530℃ 열처리하여 얻은 CZTS 박막의 XRD 패턴이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따라 Cu, Zn, Sn 혼합 산화물 박막을 H2S/N2 기체 분위기에서 530℃ 열처리하여 얻은 CZTS 박막의 정면 및 측면 SEM 이미지이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따라 Cu, Zn, Sn 혼합 산화물 박막을 Se 증기/N2 기체 분위기에서 530℃ 열처리하여 얻은 CZTS 박막의 XRD 패턴이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따라 Cu, Zn, Sn 혼합 산화물 박막을 Se 증기/N2 기체 분위기에서 530℃ 열처리하여 얻은 CZTS 박막의 정면 SEM 이미지이다.1 is a block flow diagram illustrating a manufacturing process of a CZTS or CZTSe thin film according to an embodiment of the present invention.
2 is a photograph of a solution in which Cu and Zn nitrate and Sn chloride precursor mixtures are dissolved in alcohol according to one embodiment of the present invention.
3 is a photograph of a solution in which Cu and Zn nitrate and Sn chloride precursors are dissolved in alcohol according to a comparative example of the present invention.
4 is an XRD pattern of a CZTS thin film obtained by heat-treating a Cu, Zn, Sn mixed oxide thin film at 530 ° C. in a H 2 S / N 2 gas atmosphere according to an embodiment of the present invention.
5 is a front and side SEM image of a CZTS thin film obtained by heat-treating a Cu, Zn, Sn mixed oxide thin film at 530 ° C. in a H 2 S / N 2 gas atmosphere according to an embodiment of the present invention.
6 is an XRD pattern of a CZTS thin film obtained by heat-treating a Cu, Zn, Sn mixed oxide thin film at 530 ° C. in a Se vapor / N 2 gas atmosphere according to an embodiment of the present invention.
7 is a front SEM image of a CZTS thin film obtained by heat-treating a Cu, Zn, Sn mixed oxide thin film at 530 ° C. in a Se vapor / N 2 gas atmosphere according to one embodiment of the present invention.
이하 본 발명을 상세히 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail.
본 명세서에서 CZTS, CZTSe, 또는 CZTSSe는 Cu2(Zn,Sn)(S,Se)4로 나타내어지는 구리아연주석황화 또는 구리아연주석셀렌 박막을 나타낸다.In the present specification, CZTS, CZTSe, or CZTSSe denotes a copper zinc tin sulfide or copper zinc tin selenium thin film represented by Cu 2 (Zn, Sn) (S, Se) 4 .
본 발명의 특징인 Cu, Zn, Sn 전구체 페이스트(paste) 또는 잉크(ink)의 제조와 이를 이용한 CZTS 또는 CZTSe 박막 제조에 관한 구성을 도 1을 참조로 하여 설명한다.Referring to Figure 1 will be described with reference to Figure 1 the production of Cu, Zn, Sn precursor paste (ink) or ink (ink), and the CZTS or CZTSe thin film manufacturing using the same feature of the present invention.
도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따르면 먼저 단계 (1)에서 Cu, In, 및 Ga 전구체들을 준비하여 이들을 적합한 농도 비로 서로 혼합한다(100). As shown in FIG. 1, according to one embodiment of the present invention, first, Cu, In, and Ga precursors are prepared in step (1) and mixed with each other at a suitable concentration ratio (100).
본 발명의 일실시예에서 사용될 수 있는 Cu, Zn, Sn의 전구체로는 이들 금속 각각 또는 이들 혼합물의 수산화물, 질산염, 황산염, 아세트산염, 염화물 등을 들 수 있다. 이때, 상기 Cu, Zn 또는 Sn 전구체는 2 : 0.6 ~ 1 : 0.4 ~ 1 의 몰비로 사용할 수 있다. 박막의 성장이 몰비에 따라서 다르기 때문에 큰 결정립을 얻기 위해서는 몰비의 조절이 필요하다. Precursors of Cu, Zn and Sn that can be used in one embodiment of the present invention include hydroxides, nitrates, sulfates, acetates, chlorides, and the like of each of these metals or mixtures thereof. In this case, the Cu, Zn or Sn precursor may be used in a molar ratio of 2: 0.6 to 1: 0.4 to 1. Since the growth of the thin film depends on the molar ratio, it is necessary to adjust the molar ratio to obtain large grains.
그 다음 단계 (2)에서 상기 전구체 혼합물을 물, 알코올, 아세톤 등의 용매등에 교반하여 용해시킨 후 고분자 바인더 및 유기 첨가제와 혼합하여 Cu, Zn, Sn 혼합 전구체 페이스트 또는 잉크를 제조한다(101). Next, in step (2), the precursor mixture is dissolved by stirring in a solvent such as water, alcohol, acetone, etc., and then mixed with a polymer binder and an organic additive to prepare a Cu, Zn, Sn mixed precursor paste or ink (101).
또한, 상기 혼합 및 교반반응 과정 시 전구체 혼합물에는 최종 수득되는 페이스트 또는 잉크의 사용 목적에 따라 분산제나 바인더 성분을 첨가할 수 있다. 분산제 또는 바인더는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 것을 선택하여 사용할 수 있으며, 분산제의 예로는 α-터피네올, 에틸렌글리콜, 티오아세트아미드, 에틸렌다이아민 등이 있고, 바인더의 예로는 에틸 셀룰로스, 팔미트산, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리프로필렌카보네인트 등을 들 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. In addition, during the mixing and stirring process, the precursor mixture may be added with a dispersant or a binder component depending on the purpose of the final paste or ink. The dispersant or binder may be selected and used conventionally in the art, examples of the dispersant include α-terpineol, ethylene glycol, thioacetamide, ethylenediamine and the like, examples of the binder is ethyl cellulose , Palmitic acid, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polypropylene carbonate, and the like, but is not limited thereto.
또한 상기 분산제 또는 바인더의 사용량은 통상적인 것으로서, 제한이 없으며, 예를 들어, 전구체 혼합물의 총량을 기준으로 각각 약 10 내지 400 중량% 범위에서 사용할 수 있다.In addition, the amount of the dispersing agent or the binder is conventional, and there is no limit, for example, it may be used in the range of about 10 to 400% by weight, respectively, based on the total amount of the precursor mixture.
또한 본 발명의 다른 실시에에 따르면, 상기 금속 전구체 혼합물은 최종 박막이 태양전지에 사용될 경우의 전지의 효율 향상을 위해 도펀트(dopant) 성분을 추가로 포함할 수도 있으며, 그러한 도펀트 성분으로는 Na, K, Ni, P, As, Sb 및 Bi 등의 금속 성분 또는 이들의 조합 중에서 선택할 수 있다. 도펀트 성분은 반응계에서 해당 금속 이온을 생성할 수 있는 화합물들이면 모두 사용가능하며, 사용량은 전구체 혼합물의 총량을 기준으로 약 0.1 내지 10 중량% 범위가 적합하다.In addition, according to another embodiment of the present invention, the metal precursor mixture may further include a dopant component to improve the efficiency of the cell when the final thin film is used in a solar cell, such a dopant component may include Na, Metal components, such as K, Ni, P, As, Sb, and Bi, or a combination thereof can be selected. The dopant component may be used as long as it is a compound capable of generating the corresponding metal ion in the reaction system, and the amount of the dopant is suitably in the range of about 0.1 to 10 wt% based on the total amount of the precursor mixture.
다음으로, 단계 (3)의 코팅 단계로서, 얻어진 페이스트 또는 잉크를 기판 상에 코팅한 후 공기 중 또는 산소 분위기에서 열처리하여 CZT 산화물계 박막을 제조한다(102). 이때, 상기 기판은 전도성을 갖는 물질로서 소성 온도, 예를 들면 300℃ 이상의 온도에서 견딜 수 있는 모든 물질이 가능하며, 예로서 ITO(인듐주석산화물) 또는 FTO(불소-도핑 된 인듐주석산화물) 유리, Mo 코팅된 유리, 금속 포일, 금속 판, 및 전도성 고분자 물질이 이용될 수 있고, 또한 비전도성 기판에 전도성 박막 층이 형성된 형태의 기판이 사용될 수도 있다. Next, as a coating step of step (3), the obtained paste or ink is coated on a substrate and then heat-treated in air or in an oxygen atmosphere to prepare a CZT oxide-based thin film (102). At this time, the substrate is a conductive material, and any material capable of withstanding at a firing temperature, for example, at a temperature of 300 ° C. or higher, for example, ITO (indium tin oxide) or FTO (fluorine-doped indium tin oxide) glass , Mo coated glass, metal foils, metal plates, and conductive polymeric materials may be used, and substrates in the form of conductive thin film layers formed on non-conductive substrates may also be used.
상기 코팅은 통상의 방법에 따라, 예를 들면 닥터 블레이드 코팅법, 스크린 코팅법, 스핀 코팅법, 스프레이 코팅법 등을 사용하여 수행될 수 있으며, 코팅 두께는 0.5 내지 50 ㎛ 범위일 수 있다.The coating may be carried out according to a conventional method, for example, using a doctor blade coating method, a screen coating method, a spin coating method, a spray coating method and the like, and the coating thickness may be in the range of 0.5 to 50 μm.
얻어진 코팅물의 열처리는 공기 또는 산소 기체 분위기에서, 200 내지 700℃, 바람직하게는 350 내지 550 ℃의 온도 범위에서 진행된다 (103). 이 과정은 페이스트 또는 잉크 제조 시 사용된 유기 용매, 유기 첨가물, 고분자 바인더 등으로부터 제공되는 탄소 잔류물을 제거하기 위한 단계로서 잔존 탄소량이 5 at% 이하의 CZT 산화물 박막을 수득할 수 있다.The heat treatment of the obtained coating proceeds in a temperature range of 200 to 700 ° C., preferably 350 to 550 ° C., in an air or oxygen gas atmosphere (103). This process is a step for removing carbon residues provided from organic solvents, organic additives, polymer binders, and the like used in the manufacture of pastes or inks, which can yield CZT oxide thin films having a carbon content of 5 at% or less.
다음으로 단계 (4), 열처리 단계로서 제조된 Cu, Zn, Sn 혼합 산화물 박막을 황 또는 셀레늄 분위기에서 반응시켜 Cu, Zn, Sn 혼합 산화물 박막을 황화 또는 셀렌화 하여 CZTS 또는 CZTSe 박막을 제조하는 단계이다 (104/105). 황화는 H2S와 같은 기체 분위기 또는 황 증기 분위기에서의 열처리를 통해 가능하며 또한 이들과 불활성 기체와의 혼합기체 분위기에서의 열처리를 통해서도 가능하다. 셀렌화는 셀레늄 분위기에서 가능하며 셀레늄의 소스(source)로는 H2Se 기체를 사용할 수 있으나 이의 유독성으로 인해 바람직하게는 Se 증기를 사용하여 진행된다. 황화 또는 셀렌화시의 열처리 온도는 전도성 기판 종류에 따라 결정될 수 있으나 바람직하게는 400 내지 600℃의 온도 범위에서 진행된다. 또한 황화를 먼저 수행하여 CZTS 박막을 만든 후 순차적으로 셀렌화를 수행하여 CZTSSe 박막을 제조 할 수 있다.(105) Next, in step (4), the Cu, Zn, Sn mixed oxide thin film prepared as a heat treatment step is reacted in a sulfur or selenium atmosphere to sulfide or selenize the Cu, Zn, Sn mixed oxide thin film to produce a CZTS or CZTSe thin film. (104/105). Sulfurization is possible through heat treatment in a gas atmosphere or sulfur vapor atmosphere such as H 2 S, and also through heat treatment in a mixed gas atmosphere of these and an inert gas. Seleniumization is possible in the selenium atmosphere and H 2 Se gas may be used as the source of selenium, but due to its toxicity, it is preferably carried out using Se steam. The heat treatment temperature at the time of sulfidation or selenization may be determined depending on the type of the conductive substrate, but is preferably performed in a temperature range of 400 to 600 ° C. In addition, sulfidation may be performed first to make a CZTS thin film, and then selenization may be sequentially performed to manufacture the CZTSSe thin film. (105)
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 CZTS 또는 CZTSe계 박막 형성 방법은 기존의 제조 방법에 사용되던 동시증발법(co-evaporation) 또는 스퍼터링 방법이 아닌 페이스트(paste) 또는 잉크(ink)를 이용하는 프린팅 방법으로, CZTS 또는 CZTSe 박막 태양전지 생산시의 원료의 손실을 줄이고 대량 생산 및 대면적화가 가능하며, 공정속도를 높일 수 있다. 또한 기존의 프린팅 방법과는 달리 각 원소의 전구체로 이루어져 있는 페이스트 또는 잉크를 사용하여 코팅한 후 유기물을 완전히 제거하는 단계를 거쳐 CZTS 또는 CZTSe 박막을 제조하기 때문에 잔존 탄소 불순물에 의한 CZTS 또는 CZTSe 결정립 크기 증가의 억제 또한 이와 관련된 낮은 태양전지 효율 문제를 해결할 수 있다. 또한 본 발명에서는 CuZnSn 산화물 나노입자 또는 CZTS 또는 CZTSe 나노입자를 이용하지 않고 Cu, Zn, Sn 전구체를 이용하고 있기 때문에 각 원소들의 조성 조절이 용이하여 다양한 에너지 갭(Eg)을 갖는 박막 제조를 할 수 있어 서로 다른 에너지 갭을 갖는 박막을 적층하여 제조할 수 있는 텐덤(tandem) 구조의 박막 태양전지에도 응용 가능한 기술이다. As described above, the CZTS or CZTSe-based thin film forming method according to the present invention is a printing method using a paste or ink rather than the co-evaporation or sputtering method used in the conventional manufacturing method By reducing the loss of raw materials in the production of CZTS or CZTSe thin film solar cell, mass production and large area are possible, and the process speed can be increased. In addition, unlike conventional printing methods, CZTS or CZTSe grain size due to residual carbon impurities is produced because CZTS or CZTSe thin film is manufactured by coating with a paste or ink composed of precursors of each element and then completely removing organic matter. Inhibiting the increase can also solve the low solar cell efficiency problem. In addition, in the present invention, since Cu, Zn, and Sn precursors are used without using CuZnSn oxide nanoparticles or CZTS or CZTSe nanoparticles, the composition of each element can be easily controlled to prepare a thin film having various energy gaps (Eg). It is also applicable to a thin film solar cell with a tandem structure that can be manufactured by stacking thin films having different energy gaps.
특히, 본 발명에서는 Cu, Zn, Sn 전구체 물질을 용매에 용해시키기 전에 전구체 물질을 서로 혼합한 후 용매에 용해시키기 때문에 전구체 물질의 용해도를 증가시켜 석출 침전물의 생성을 막아 매우 균일한 상태의 페이스트 또는 잉크를 제조 할 수 있다.
In particular, in the present invention, since the precursor materials are mixed with each other before dissolving the Cu, Zn, Sn precursor materials in the solvent, and then dissolved in the solvent, the solubility of the precursor material is increased to prevent the formation of precipitate precipitates, so that the paste or Ink can be produced.
이하, 본 발명의 구성 및 특성을 이하 실시예를 참조하여 설명하나, 이들 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 예시적인 것일 뿐 본 발명의 범위가 이에 한정되는 것으로 해석되어서는 안된다.
Hereinafter, the structure and characteristics of the present invention will be described with reference to the following examples, which should be construed as illustrative only and not for the purpose of limiting the scope of the present invention.
실시예Example 1: 전구체를 먼저 혼합한 후 용해시켜 잉크/페이스트 제조 1: Ink / paste preparation by first mixing the precursors and then dissolving them
먼저 Cu, Zn, Sn 전구체 용액 제조를 위해, Cu(NO3)2ㆍxH2O 1g (5.3mmol), Zn(NO3)3ㆍxH2O 0.79g (2.65mmol), SnClㆍ2H2O 0.503g (2.65mmol)을 비이커에 넣어 서로 혼합하였다. 수득된 혼합 전구체를 에탄올 40ml에 녹인 후, 터피놀 6.9g과 에틸셀룰로즈 0.75g이 혼합된 에탄올 용액 20ml을 교반하며 혼합하여 주었다. First, Cu (NO 3 ) 2 .xH 2 O 1g (5.3mmol), Zn (NO 3 ) 3 .xH 2 O 0.79g (2.65mmol), SnCl.2H 2 O 0.503 g (2.65 mmol) were placed in a beaker and mixed with each other. The obtained mixed precursor was dissolved in 40 ml of ethanol, and 20 ml of an ethanol solution containing 6.9 g of terpinol and 0.75 g of ethyl cellulose was mixed with stirring.
이후 40℃에서 30분간 용매인 에탄올을 증발시켜 적당한 점도를 갖는 Cu, Zn, Sn 혼합 전구체의 페이스트를 수득하였다. 도 2에서 보듯이 전구체들이 완전히 용해되어 있는 용액을 얻었다.
After evaporating the solvent ethanol for 30 minutes at 40 ℃ to obtain a paste of Cu, Zn, Sn mixed precursor having a suitable viscosity. As shown in FIG. 2, a solution in which the precursors were completely dissolved was obtained.
비교예 1: 전구체를 각각 용해시킨 후 잉크/페이스트 제조 Comparative Example 1 Preparation of Ink / Paste After Dissolving Precursors
상기 실시예와 같이 Cu, Zn, Sn 전구체를 용해 전에 먼저 혼합하지 않고, 각 전구체를 별도로 용매에 용해시켜 실시예와 비교하였다. 이를 위해 Cu(NO3)2ㆍxH2O 1g (5.3mmol), Zn(NO3)3ㆍxH2O 0.79g (2.65mmol), SnClㆍ2H2O 0.503g (2.65mmol)을 각각 에탄올 (40 ml)에 녹인 후 터피놀 6.9g과 에틸셀룰로즈 0.75g이 혼합된 에탄올 용액 20ml을 교반하며 혼합하여 주었다. 이후 40℃에서 30분간 용매인 에탄올을 증발시켜 적당한 점도를 갖는 Cu, Zn, Sn 혼합 전구체의 페이스트를 수득하였다. 도 3에서 보듯이 전구체들이 완전히 용해되지 않고 침전물들이 존재하고 있는 용액을 얻었다.
Cu, Zn, Sn precursors were not mixed first before dissolution as in the above example, and each precursor was separately dissolved in a solvent and compared with the example. To this end, Cu (NO 3 ) 2 ㆍ xH 2 O 1g (5.3 mmol), Zn (NO 3 ) 3 ㆍ xH 2 O 0.79 g (2.65 mmol), SnCl.2H 2 O 0.503 g (2.65 mmol), respectively, were prepared using ethanol ( 40 ml), 20 ml of ethanol solution mixed with 6.9 g of terpinol and 0.75 g of ethyl cellulose were mixed with stirring. After evaporating the solvent ethanol for 30 minutes at 40 ℃ to obtain a paste of Cu, Zn, Sn mixed precursor having a suitable viscosity. As shown in FIG. 3, a solution was obtained in which the precursors were not completely dissolved but precipitates were present.
실시예Example 2: 2: CZTSCZTS 박막의 제조 Manufacture of thin film
수득된 잉크 또는 페이스트를 닥터 블레이드(doctor blade) 또는 스핀 코팅 방법으로 유리 기판에 코팅한 후 공기 분위기 하에서 350℃에서 30분간 열처리하여 CZT 산화물 박막을 얻었다. The obtained ink or paste was coated on a glass substrate by a doctor blade or spin coating method and then heat-treated at 350 ° C. for 30 minutes in an air atmosphere to obtain a CZT oxide thin film.
상기 CZT 산화물박막의 황화를 통한 CZTS 박막 제조를 위해서 수득된 CZT 산화물 박막을 H2S(1000 ppm)/N2 혼합 기체 분위기 하에서 500℃에서 30분간 열처리 하였다. 이와 같이 얻어진 CZTS 박막의 XRD 패턴을 분석하여 도 4에 나타내었다. 또한 박막의 모폴로지를 SEM 이미지를 통해 분석하여 도 5에 나타내었다. XRD 패턴 분석으로부터 상기 방법에 의해 제조된 CZTS 박막은 Kesterite(JCPDS card no.26-0575) 구조를 가지고 있음을 확인하였으며, 박막을 이루고 있는 CZTS 나노입자는 50 내지 100 nm 크기를 갖는 것을 확인하였다. 또한 EPMA 분석을 통해 박막 내 잔존 탄소 불순물 양을 측정하였으며 5 at% 이하로 분석되었다.
The CZT oxide thin film obtained for producing a CZTS thin film through sulfidation of the CZT oxide thin film was heat-treated at 500 ° C. for 30 minutes in a H 2 S (1000 ppm) / N 2 mixed gas atmosphere. The XRD pattern of the CZTS thin film thus obtained is analyzed and shown in FIG. 4. In addition, the morphology of the thin film is analyzed by SEM image and shown in FIG. 5. It was confirmed from the XRD pattern analysis that the CZTS thin film prepared by the above method had a Kesterite (JCPDS card no. 26-0575) structure, and the CZTS nanoparticles forming the thin film had a size of 50 to 100 nm. In addition, the amount of remaining carbon impurity in the thin film was measured by EPMA analysis and was analyzed at 5 at% or less.
실시예Example 3: 3: CZTSeCZTSe 박막의 제조 Manufacture of thin film
CZTSe 박막은 Cu, Zn, Sn 혼합 산화물 박막을 직접 Se/Ar 기체 분위기 하에서 열처리 하거나 수득된 CZTS 박막을 같은 조건에서 10분간 열처리하여 박막을 제조할 수 있다. CZTSe thin film can be prepared by heat-treating the Cu, Zn, Sn mixed oxide thin film directly in a Se / Ar gas atmosphere or heat-treated the obtained CZTS thin film for 10 minutes under the same conditions.
수득된 CZTSe 박막의 XRD 패턴 분석 결과를 도 5에 나타내었다. 또한 수득된 CZTSe 박막의 모폴로지를 SEM 이미지를 통해 분석하여 도 6에 나타내었다. The XRD pattern analysis result of the obtained CZTSe thin film is shown in FIG. In addition, the morphology of the obtained CZTSe thin film is analyzed by SEM image and shown in FIG. 6.
상기 XRD 분석은 일본 시마쥬 사의 XRD-6000을 사용하여 수행하였으며 CZTSe 특성에 해당하는 (112) 피크와 (101), (200) 피크의 존재로부터 Kesterite 구조의 CZTSe 박막이 제조되었음을 확인할 수 있다. The XRD analysis was performed using XRD-6000 manufactured by Shimadzu, Japan, and it can be confirmed that the CZTSe thin film having a Kesterite structure was prepared from the presence of (112) peaks and (101) and (200) peaks corresponding to CZTSe properties.
또한 박막의 모폴로지를 SEM 이미지를 통해 박막을 이루는 CZTS 입자들이 성장하였음을 확인하였고, EPMA 분석을 통해 박막 내 잔존 탄소 불순물 양이 5 at% 이하로 존재함을 확인하였다.In addition, the morphology of the thin film confirmed that the CZTS particles forming the thin film were grown through the SEM image, and it was confirmed that the amount of carbon impurities remaining in the thin film was 5 at% or less through the EPMA analysis.
Claims (16)
(2) 상기 혼합 전구체를 용매에 용해시키고, 고분자 바인더를 첨가하여 페이스트 또는 잉크를 수득하는 단계;
(3) 상기 수득된 전구체 페이스트를 전도성 기판에 코팅한 후 이를 공기 또는 산소 기체 분위기에서 열처리하여 잔존 유기물을 제거하고 Cu, Zn, 및 Sn 혼합 산화물 박막을 수득하는 단계; 및
(4) 상기 Cu, Zn, 및 Sn 혼합 산화물 박막을 황 또는 셀레늄 분위기에서 열처리하는 단계를 포함하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.(1) mixing precursors of Cu, Zn and Sn with each other;
(2) dissolving the mixed precursor in a solvent and adding a polymeric binder to obtain a paste or ink;
(3) coating the obtained precursor paste on a conductive substrate and then heat-treating it in an air or oxygen gas atmosphere to remove residual organic material and obtain a Cu, Zn, and Sn mixed oxide thin film; And
(4) A method of manufacturing a copper zinc tin sulfide (CZTS) -based or copper zinc tin selenium (CZTSe) -based thin film, comprising the step of heat-treating the Cu, Zn, and Sn mixed oxide thin film in a sulfur or selenium atmosphere.
상기 Cu, Zn 및 Sn의 전구체는 이들 금속 각각 또는 이들 혼합물의 수산화물, 질산염, 황산염, 아세트산염, 염화물 중에서 1종 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method of claim 1,
The precursors of Cu, Zn and Sn are each selected from at least one of hydroxides, nitrates, sulfates, acetates, and chlorides of these metals or their mixtures, based on copper zinc tin sulfide (CZTS) or copper zinc tin selenide ( CZTSe) method for producing a thin film.
상기 Cu, Zn 또는 Sn 전구체는 2 : 0.6 ~ 1 : 0.4 ~ 1 의 몰비로 사용되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method of claim 1,
The Cu, Zn or Sn precursor is a copper zinc tin sulfide (CZTS) -based or copper zinc tin selenium (CZTSe) -based thin film manufacturing method characterized in that used in a molar ratio of 2: 0.6 ~ 1: 0.4 ~ 1.
상기 단계 (2)에서 사용되는 용매는 물, 알코올, 아세톤 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method of claim 1,
The solvent used in the step (2) is a method of producing a copper zinc tin sulfide (CZTS) or copper zinc tin selenium (CZTSe) thin film, characterized in that selected from water, alcohol, acetone.
상기 고분자 바인더는 에틸 셀룰로스, 팔미트산, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리프로필렌카보네이트 또는 이들의 혼합물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method of claim 1,
The polymer binder may be selected from ethyl cellulose, palmitic acid, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polypropylene carbonate, or a mixture thereof. Method of preparation.
상기 단계 (2)에서 분산제를 더 첨가하는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method of claim 1,
Copper zinc tin sulfide (CZTS) -based or copper zinc tin selenium (CZTSe) -based thin film manufacturing method characterized in that the addition of the dispersant in the step (2).
상기 분산제는 α-터피에놀, 에틸렌글리콜, 티오아세트아미드, 에틸렌다이아민, 모노에틸렌아민 또는 이들의 혼합물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method according to claim 6,
The dispersant is a copper zinc tin sulfide (CZTS) or copper zinc tin selenium (CZTSe), characterized in that selected from α-terpienol, ethylene glycol, thioacetamide, ethylenediamine, monoethyleneamine or a mixture thereof. Method for producing a thin film.
상기 단계 (1) 또는 단계 (2)에서 Na, K, Ni, P, As, Sb, Bi 성분 또는 이들의 혼합물 중에서 선택된 도펀트(dopant)로 첨가하는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method of claim 1,
Zinc zinc sulfide (CZTS) system, characterized in that added in the step (1) or step (2) as a dopant (dopant) selected from Na, K, Ni, P, As, Sb, Bi components or mixtures thereof Or a method of manufacturing a copper zinc tin selenium (CZTSe) -based thin film.
상기 단계 (3)에서, 상기 페이스트의 코팅은 닥터 블레이드 코팅, 스핀 코팅, 스크린 코팅법 또는 스프레이 코팅법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method of claim 1,
In the step (3), the coating of the paste is copper zinc tin sulfide (CZTS) -based or copper zinc tin selenium (CZTSe), characterized in that performed by doctor blade coating, spin coating, screen coating or spray coating method Method for producing a thin film.
상기 단계 (3)에서, 상기 공기 또는 산소 기체 분위기에서의 열처리는 200 내지 700℃ 범위의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method of claim 1,
In the step (3), the heat treatment in the air or oxygen gas atmosphere of the copper zinc tin sulfide (CZTS) -based or copper zinc tin selenium (CZTSe) -based thin film, characterized in that carried out at a temperature in the range of 200 to 700 ℃ Manufacturing method.
상기 단계 (4)에서, 황 분위기는 H2S, S 증기 또는 이들과 불활성 기체의 혼합 기체에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method of claim 1,
In the step (4), the sulfur atmosphere is H 2 S, S steam or a mixture of these and an inert gas of copper zinc tin sulfide (CZTS) -based or copper zinc tin selenium (CZTSe) -based thin film Manufacturing method.
상기 단계 (4)에서, 셀레늄 분위기는 H2Se, Se 증기, 또는 이들과 불활성 기체의 혼합 기체에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method of claim 1,
In the step (4), the selenium atmosphere is H 2 Se, Se vapor, or a mixture of these and an inert gas, a copper zinc tin sulfide (CZTS) -based or copper zinc tin selenium (CZTSe) -based thin film Method of preparation.
상기 단계 (4)에서, 황화 또는 셀렌화시의 열처리는 400 내지 600℃ 범위의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 구리아연주석황화(CZTS)계 또는 구리아연주석셀렌(CZTSe)계 박막의 제조 방법.The method of claim 1,
In the step (4), the method for producing a copper zinc tin sulfide (CZTS) or copper zinc tin selenium (CZTSe) thin film, characterized in that the heat treatment during sulfidation or selenization is carried out at a temperature in the range of 400 to 600 ℃. .
(2) 상기 혼합 전구체를 용매에 용해시키고, 고분자 바인더를 첨가하여 페이스트 또는 잉크를 수득하는 단계;
(3) 상기 수득된 전구체 페이스트를 전도성 기판에 코팅한 후 이를 공기 또는 산소 기체 분위기에서 열처리하여 잔존 유기물을 제거하고 Cu, Zn, 및 Sn 혼합 산화물 박막을 수득하는 단계;
(4) 상기 Cu, Zn, 및 Sn 혼합 산화물 박막을 황 분위기에서 열처리하여 구리아연주석황화(CZTS)계 박막을 제조하는 단계; 및
5) 상기 구리아연주석황화(CZTS)계 박막을 셀레늄 분위기에서 열처리하는 단계를 포함하는 구리아연주석황화셀렌(CZTSSe)계 박막을 제조하는 방법.(1) mixing precursors of Cu, Zn and Sn with each other;
(2) dissolving the mixed precursor in a solvent and adding a polymeric binder to obtain a paste or ink;
(3) coating the obtained precursor paste on a conductive substrate and then heat-treating it in an air or oxygen gas atmosphere to remove residual organic material and obtain a Cu, Zn, and Sn mixed oxide thin film;
(4) heat treating the Cu, Zn, and Sn mixed oxide thin film in a sulfur atmosphere to prepare a copper zinc tin sulfide (CZTS) -based thin film; And
5) A method of manufacturing a copper zinc tin sulfide (CZTSSe) -based thin film comprising the step of heat-treating the copper zinc tin sulfide (CZTS) -based thin film in a selenium atmosphere.
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103594561A (en) * | 2013-11-27 | 2014-02-19 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | Method for manufacturing Cu2ZnSn(S, Se)4 solar battery absorbing layer through oxide thin film in vulcanizing and selenizing mode |
| KR101457486B1 (en) * | 2013-09-30 | 2014-11-06 | 재단법인대구경북과학기술원 | Method for manufacturing counter electrode for dye-sensitized solar cell |
| KR20150051181A (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-11 | 재단법인대구경북과학기술원 | PREPARATION METHOD OF CZTSSe-BASED THIN FILM SOLAR CELL AND CZTSSe-BASED THIN FILM SOLAR CELL PREPARED BY THE METHOD |
| KR20180051565A (en) | 2015-09-08 | 2018-05-16 | 디아이씨 가부시끼가이샤 | Curing accelerator for oxidative polymerization type unsaturated resin, printing ink and coating material |
| CN109817733A (en) * | 2018-12-26 | 2019-05-28 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | A kind of preparation method of copper-zinc-tin-sulfur film solar cell absorbed layer |
| CN111640820A (en) * | 2020-06-02 | 2020-09-08 | 东北师范大学 | Simple and convenient method for improving back contact of copper-zinc-tin-sulfur-selenium film photovoltaic device |
| CN114447128A (en) * | 2022-01-29 | 2022-05-06 | 江西理工大学 | Method for preparing zinc-yellow-tin-ore-structure thin-film solar cell absorption layer based on sulfur-source-free precursor |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101583361B1 (en) * | 2014-09-25 | 2016-01-08 | 재단법인대구경북과학기술원 | Porous CZTS-based thin fiom and Its manufacturing method |
| CN106057973A (en) * | 2016-07-01 | 2016-10-26 | 福建师范大学 | Method for preparing solar cell absorbing layer CTS film through oxide nanometer particles |
| KR102169332B1 (en) | 2019-02-15 | 2020-10-26 | 재단법인대구경북과학기술원 | Thin film solar cell comprising an absorbing layer containing an alkali metal and a method for manufacturing the same |
| KR102584673B1 (en) | 2021-08-30 | 2023-10-06 | 재단법인대구경북과학기술원 | Flexible thin film solar cell and method for manufacturing the same |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101049850B1 (en) * | 2007-10-18 | 2011-07-15 | 주식회사 엘지화학 | Method for manufacturing metal oxide transparent conductive thin film |
| KR101246686B1 (en) * | 2010-03-19 | 2013-03-21 | 제일모직주식회사 | Paste for forming electrode of solar cell and solar cell with the same |
| KR101149474B1 (en) * | 2010-03-25 | 2012-06-08 | 아주대학교산학협력단 | Preparation method of cis-based or czts-based colloidal solution by wet type ball milling process and method for preparing cis-based or czts-based compound thin film as an optical absorber layer of solar cell using the same |
-
2012
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101457486B1 (en) * | 2013-09-30 | 2014-11-06 | 재단법인대구경북과학기술원 | Method for manufacturing counter electrode for dye-sensitized solar cell |
| KR20150051181A (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-11 | 재단법인대구경북과학기술원 | PREPARATION METHOD OF CZTSSe-BASED THIN FILM SOLAR CELL AND CZTSSe-BASED THIN FILM SOLAR CELL PREPARED BY THE METHOD |
| CN103594561A (en) * | 2013-11-27 | 2014-02-19 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | Method for manufacturing Cu2ZnSn(S, Se)4 solar battery absorbing layer through oxide thin film in vulcanizing and selenizing mode |
| KR20180051565A (en) | 2015-09-08 | 2018-05-16 | 디아이씨 가부시끼가이샤 | Curing accelerator for oxidative polymerization type unsaturated resin, printing ink and coating material |
| CN109817733A (en) * | 2018-12-26 | 2019-05-28 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | A kind of preparation method of copper-zinc-tin-sulfur film solar cell absorbed layer |
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