KR20130058273A - Chemical solution supplying apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for supplying a chemical solution is provided to improve the supply efficiency of a chemical solution by using a level measurement device and an accumulation measurement device. CONSTITUTION: A level measurement device(120) measures the level of a chemical solution in a chemical solution tank. A chemical solution charging pipe(130) supplies the chemical solution to the chemical solution tank. The chemical solution charging pipe charges the chemical solution in the chemical solution tank. An accumulation measurement device(132) is installed in the chemical solution charging pipe. The accumulation measurement device measures the quantity of the chemical solution supplied to the chemical solution tank.

Description

약액 공급 장치{CHEMICAL SOLUTION SUPPLYING APPARATUS}Chemical solution supply unit {CHEMICAL SOLUTION SUPPLYING APPARATUS}

본 발명은 약액 공급 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 약액 탱크로부터 약액을 공급하는 약액 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid supply device, and more particularly to a chemical liquid supply device for supplying a chemical liquid from the chemical liquid tank.

표시 장치 또는 반도체 장치의 제조에 이용되는 기판 상에 패턴을 형성하기 위해서는 기판의 표면에 포토레지스트와 같은 약액을 도포하는 공정이 요구된다.In order to form a pattern on a substrate used for manufacturing a display device or a semiconductor device, a process of applying a chemical liquid such as a photoresist to the surface of the substrate is required.

상기 기판 상에 상기 약액을 도포하는 약액 도포 장치는 약액 공급 장치로부터 상기 약액을 공급 받는다.A chemical liquid applying device for applying the chemical liquid on the substrate receives the chemical liquid from a chemical liquid supply device.

상기 약액 공급 장치는 상기 약액을 저장하는 약액 탱크를 포함한다. 상기 약액 탱크는 상기 약액 도포 장치로 상기 약액을 공급하기 위해 약액 공급관을 통해 상기 도포 장치와 연결된다.The chemical liquid supply apparatus includes a chemical liquid tank for storing the chemical liquid. The chemical tank is connected to the application device via a chemical supply pipe for supplying the chemical solution to the chemical application device.

하지만, 일반적으로, 상기 약액 공급 장치의 상기 약액 탱크는 상기 약액 도포 장치에 비해 낮은 위치에 배치되고, 이에 따라, 상기 약액 탱크의 압력이 상기 약액 도포 장치의 압력에 비해 낮아 상기 약액 공급 장치로부터 상기 약액 도포 장치로 상기 약액이 효율적으로 공급되지 못하는 문제점이 있다.Generally, however, the chemical liquid tank of the chemical liquid supply device is disposed at a lower position than the chemical liquid application device, so that the pressure of the chemical liquid tank is lower than the pressure of the chemical liquid application device. There is a problem in that the chemical liquid is not efficiently supplied to the chemical liquid applying device.

따라서, 상기 약액 공급 장치로부터 상기 약액 도포 장치로 상기 약액을 효율적으로 공급하기 위한 기술이 요구된다. Therefore, a technique for efficiently supplying the chemical liquid from the chemical liquid supply device to the chemical liquid applying device is required.

이에, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 약액의 공급 효율성을 향상시킨 약액 공급 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, the technical problem of the present invention was conceived in this respect, and an object of the present invention is to provide a chemical liquid supply apparatus which improves the supply efficiency of the chemical liquid.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 약액 탱크, 레벨 측정기, 약액 충전관, 적산량 측정기, 약액 충전 밸브, 기체 배출관 및 기체 배출 밸브를 포함한다. 상기 약액 탱크는 약액을 저장한다. 상기 레벨 측정기는 상기 약액 탱크 내부에 존재하는 상기 약액의 레벨을 측정한다. 상기 약액 충전관은 상기 약액 탱크로 상기 약액을 공급하여 상기 약액을 상기 약액 탱크에 충전한다. 상기 적산량 측정기는 상기 약액 충전관에 설치되어 상기 약액 탱크로 공급되는 상기 약액의 적산량을 측정한다. 상기 약액 충전 밸브는 상기 적산량 측정기 및 상기 약액 탱크 사이의 상기 약액 충전관에 설치되고, 상기 적산량 측정기에 의해 측정된 상기 약액의 적산량 및 상기 레벨 측정기에 의해 측정된 상기 약액의 레벨에 따라 개폐되어 상기 약액 탱크로 공급되는 상기 약액의 흐름을 제어한다. 상기 기체 배출관은 상기 약액 탱크에 설치되고, 상기 약액 탱크 내부에 존재하는 기체를 배출한다. 상기 기체 배출 밸브는 상기 기체 배출관에 설치되고, 상기 적산량 측정기에 의해 측정된 상기 약액의 적산량 및 상기 레벨 측정기에 의해 측정된 상기 약액의 레벨에 따라 개폐되어 상기 약액 탱크 내부에 존재하는 상기 기체의 배출을 제어한다.The chemical liquid supply apparatus according to the embodiment for realizing the object of the present invention includes a chemical liquid tank, a level meter, a chemical liquid filling tube, an integrated amount measuring instrument, a chemical liquid filling valve, a gas discharge tube, and a gas discharge valve. The chemical liquid tank stores the chemical liquid. The level meter measures the level of the chemical liquid present in the chemical liquid tank. The chemical liquid filling tube supplies the chemical liquid to the chemical liquid tank to fill the chemical liquid in the chemical liquid tank. The total amount measuring device is installed in the chemical liquid filling tube and measures the total amount of the chemical liquid supplied to the chemical liquid tank. The chemical liquid filling valve is installed in the chemical liquid filling tube between the total amount measuring instrument and the chemical liquid tank, and according to the total amount of the chemical liquid measured by the total amount measuring instrument and the level of the chemical liquid measured by the level measuring instrument. Opening and closing to control the flow of the chemical liquid supplied to the chemical tank. The gas discharge pipe is installed in the chemical liquid tank, and discharges gas existing in the chemical liquid tank. The gas discharge valve is installed in the gas discharge pipe, and opened and closed according to the accumulated amount of the chemical liquid measured by the integration meter and the level of the chemical liquid measured by the level meter. To control the emissions.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 약액 공급 장치는 상기 약액 탱크에 설치되어 상기 약액 탱크에 저장된 상기 약액을 외부로 공급하는 약액 공급관을 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the chemical liquid supply device may further include a chemical liquid supply pipe installed in the chemical liquid tank for supplying the chemical liquid stored in the chemical liquid tank to the outside.

이와 같은 약액 공급 장치에 따르면, 약액 탱크 내부에 저장된 약액의 레벨을 측정하는 레벨 측정기 및 약액 충전관에 설치되어 약액 탱크로 공급되는 약액의 유량을 측정하는 적산량 측정기를 이용하여 약액 탱크의 압력을 조절할 수 있고, 이에 따라, 약액 탱크로부터 약액 도포 장치로 약액을 효율적으로 공급할 수 있다.According to such a chemical liquid supply device, the pressure of the chemical liquid tank using a level meter for measuring the level of the chemical liquid stored in the chemical liquid tank and an integration meter for measuring the flow rate of the chemical liquid installed in the chemical liquid filling tube and supplied to the chemical liquid tank The chemical liquid can be efficiently fed from the chemical liquid tank to the chemical liquid applying device.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타내는 블록도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타내는 블록도이다.1 is a block diagram showing a chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a block diagram showing a chemical liquid supply apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiment, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "consist of" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described on the specification, but one or more other features. It is to be understood that the present disclosure does not exclude the existence or the possibility of addition of numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타내는 블록도이다.1 is a block diagram showing a chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 약액 공급 장치(100)는 약액 탱크(110), 레벨 측정기(120), 약액 충전관(130), 적산량 측정기(132), 약액 충전 밸브(134), 기체 배출관(140), 기체 배출 밸브(142), 약액 공급관(150), 약액 공급 밸브(152) 및 제어부(190)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the chemical liquid supply apparatus 100 according to the present exemplary embodiment may include a chemical liquid tank 110, a level meter 120, a chemical liquid filling tube 130, an integrated amount measuring instrument 132, and a chemical liquid filling valve 134. , A gas discharge pipe 140, a gas discharge valve 142, a chemical liquid supply pipe 150, a chemical liquid supply valve 152, and a controller 190.

상기 약액 탱크(110)는 약액을 저장한다. 상기 약액 탱크(110)에 저장되는 상기 약액은 반도체 장치 또는 표시 장치의 제조에 이용되는 식각액 및 세정액 등일 수 있다.The chemical tank 110 stores the chemical liquid. The chemical liquid stored in the chemical liquid tank 110 may be an etchant, a cleaning liquid, or the like used in the manufacture of a semiconductor device or a display device.

상기 레벨 측정기(120)는 상기 약액 탱크(110)에 존재하는 상기 약액의 레벨을 측정한다. 예를 들면, 상기 레벨 측정기(120)는 상기 약액 탱크(210)의 높이에 대응하여 정렬된 복수의 발광 소자(122)들을 포함할 수 있고, 상기 약액 탱크(110)에 존재하는 상기 약액의 레벨에 대응하여 위치한 발광 소자(122)들까지 발광할 수 있다. The level measuring unit 120 measures the level of the chemical liquid present in the chemical liquid tank 110. For example, the level measuring unit 120 may include a plurality of light emitting elements 122 arranged in correspondence with the height of the chemical tank 210, the level of the chemical liquid present in the chemical tank 110 The light emitting diodes 122 corresponding to the light emitting diodes 122 may emit light.

상기 약액 충전관(130)은 상기 약액 탱크(110)로 상기 약액을 공급하여 상기 약액을 상기 약액 탱크(110)에 충전한다. The chemical liquid filling tube 130 supplies the chemical liquid to the chemical liquid tank 110 to fill the chemical liquid in the chemical liquid tank 110.

상기 적산량 측정기(132)는 상기 약액 충전관(130)에 설치되어 상기 약액 충전관(130)을 통해 상기 약액 탱크(110)로 공급되는 상기 약액의 적산량을 측정한다. 예를 들면, 상기 적산량 측정기(132)는 상기 약액 충전관(130)을 통해 상기 약액 탱크(110)로 공급되는 상기 약액의 유량을 측정하는 유량계를 포함할 수 있다.The total amount measuring device 132 is installed in the chemical liquid filling tube 130 to measure the total amount of the chemical liquid supplied to the chemical liquid tank 110 through the chemical liquid filling tube 130. For example, the total amount measuring device 132 may include a flow meter for measuring the flow rate of the chemical liquid supplied to the chemical liquid tank 110 through the chemical liquid filling tube 130.

상기 약액 충전 밸브(134)는 상기 약액 충전관(130)에 설치된다. 구체적으로, 상기 약액 충전 밸브(134)는 상기 적산량 측정기(132) 및 상기 약액 탱크(110) 사이의 상기 약액 충전관(130)에 설치된다. 상기 약액 충전 밸브(134)는 상기 적산량 측정기(132)에 의해 측정된 상기 약액의 적산량 및 상기 레벨 측정기(120)에 의해 측정된 상기 약액의 레벨에 따라 개폐되어 상기 약액 탱크(110)로 공급되는 상기 약액의 흐름을 제어한다.The chemical liquid filling valve 134 is installed in the chemical liquid filling tube 130. Specifically, the chemical liquid filling valve 134 is installed in the chemical liquid filling tube 130 between the integration meter 132 and the chemical liquid tank 110. The chemical liquid filling valve 134 is opened and closed according to the total amount of the chemical liquid measured by the total amount measuring instrument 132 and the level of the chemical liquid measured by the level measuring instrument 120 to the chemical liquid tank 110. Control the flow of the chemical liquid supplied.

상기 기체 배출관(140)은 상기 약액 탱크(110)에 설치되고, 상기 약액 탱크(110) 내부에 존재하는 기체를 배출한다. 예를 들면, 상기 약액 탱크(110)에 상기 약액을 충전할 경우, 상기 기체 배출관(140)은 상기 약액 탱크(110) 내부에 존재하는 기체를 배출할 수 있다.The gas discharge pipe 140 is installed in the chemical liquid tank 110 and discharges gas existing in the chemical liquid tank 110. For example, when the chemical liquid is filled in the chemical liquid tank 110, the gas discharge pipe 140 may discharge gas existing in the chemical liquid tank 110.

상기 기체 배출 밸브(142)는 상기 기체 배출관(140)에 설치되고, 상기 적산량 측정기(132)에 의해 측정된 상기 약액의 적산량 및 상기 레벨 측정기(120)에 의해 측정된 상기 약액의 레벨에 따라 개폐되어 상기 약액 탱크(110) 내부에 존재하는 기체의 배출을 제어한다.The gas discharge valve 142 is installed in the gas discharge pipe 140, and is integrated into the accumulated amount of the chemical liquid measured by the integration meter 132 and the level of the chemical liquid measured by the level meter 120. Open and close accordingly to control the discharge of the gas present in the chemical tank (110).

상기 약액 공급관(150)은 상기 약액 탱크(110)에 설치되고, 상기 약액 탱크(110)에 저장된 상기 약액을 외부의 약액 도포 장치로 공급한다. 상기 약액 공급관(150)은 공급구(400)를 통해 상기 외부의 약액 도포 장치와 연결될 수 있다.The chemical liquid supply pipe 150 is installed in the chemical liquid tank 110, and supplies the chemical liquid stored in the chemical liquid tank 110 to an external chemical liquid applying device. The chemical liquid supply pipe 150 may be connected to the external chemical liquid applying device through the supply port 400.

상기 약액 공급 밸브(152)는 상기 약액 공급관(150)에 설치되어 상기 약액 탱크(110)로부터 상기 외부의 약액 도포 장치로 공급되는 상기 약액의 흐름을 제어한다.The chemical liquid supply valve 152 is installed in the chemical liquid supply pipe 150 to control the flow of the chemical liquid supplied from the chemical liquid tank 110 to the external chemical liquid applying device.

상기 약액 탱크(110)로부터 상기 약액 도포 장치로 상기 약액이 원활히 공급되기 위해서 상기 약액 탱크(110)의 제1 압력은 상기 약액 도포 장치의 제2 압력에 비해 높을 수 있다. In order to smoothly supply the chemical liquid from the chemical liquid tank 110 to the chemical liquid applying device, the first pressure of the chemical liquid tank 110 may be higher than that of the second pressure of the chemical liquid applying device.

상기 제어부(190)는 상기 레벨 측정기(120), 상기 적산량 측정기(132), 상기 약액 충전 밸브(134) 및 상기 기체 배출 밸브(142)와 연결되고, 상기 적산량 측정기(132)에 의해 측정된 상기 약액의 적산량 및 상기 레벨 측정기(120)에 의해 측정된 상기 약액의 레벨에 따라 상기 약액 충전 밸브(134) 및 상기 기체 배출 밸브(142)의 개폐를 제어한다.The controller 190 is connected to the level meter 120, the total amount meter 132, the chemical liquid filling valve 134, and the gas discharge valve 142, and measured by the total amount meter 132. The opening and closing of the chemical liquid filling valve 134 and the gas discharge valve 142 is controlled according to the accumulated amount of the chemical liquid and the level of the chemical liquid measured by the level meter 120.

또한, 상기 제어부(190)는 상기 적산량 측정기(132)에 의해 측정된 상기 약액의 적산량 및 상기 레벨 측정기(120)에 의해 측정된 상기 약액의 레벨을 대응시키는 계산기를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제어부(190)는 상기 적산량 측정기(132)에 의해 측정된 상기 약액의 적산량이 제1 적산량일 경우 상기 약액의 레벨을 제1 높이로 대응시키고 상기 적산량 측정기(132)에 의해 측정된 상기 약액의 적산량이 상기 제1 적산량의 두 배인 제2 적산량일 경우 상기 약액의 레벨을 상기 제1 높이의 두 배인 제2 높이로 대응시킬 수 있다.In addition, the controller 190 may include a calculator that corresponds to the integrated amount of the chemical liquid measured by the total amount measuring unit 132 and the level of the chemical liquid measured by the level measuring unit 120. For example, the controller 190 corresponds to the level of the chemical liquid to the first height when the total amount of the chemical liquid measured by the total amount measuring instrument 132 is the first total amount, and to the total amount measuring instrument 132. When the integration amount of the chemical liquid measured by the second integration amount is twice the first integration amount, the level of the chemical liquid may correspond to the second height twice the first height.

상기 약액 공급 장치(100)의 동작을 설명하면, 다음과 같다.The operation of the chemical supply device 100 will be described below.

상기 약액 충전 밸브(134)를 개방하여 상기 약액 충전관(130)을 통해 상기 약액 탱크(110)로 상기 약액을 충전하고, 상기 기체 배출 밸브(142)는 개방되어 상기 약액 탱크(110) 내부에 존재하는 기체를 상기 기체 배출관(140)을 통해 배출한다. The chemical liquid filling valve 134 is opened to fill the chemical liquid into the chemical liquid tank 110 through the chemical liquid filling tube 130, and the gas discharge valve 142 is opened to the inside of the chemical liquid tank 110. Existing gas is discharged through the gas discharge pipe 140.

상기 레벨 측정기(120)는 상기 약액 탱크(110) 내부에 충전된 상기 약액의 레벨을 측정하고, 상기 약액 충전관(130)에 설치된 상기 적산량 측정기(132)는 상기 약액 충전관(130)을 통해 상기 약액 탱크(110)로 공급되는 상기 약액의 적산량을 측정한다.The level measuring unit 120 measures the level of the chemical liquid filled in the chemical liquid tank 110, and the total amount measuring instrument 132 installed in the chemical liquid filling tube 130 controls the chemical liquid filling tube 130. The integrated amount of the chemical liquid supplied to the chemical liquid tank 110 is measured.

상기 약액 탱크(110)에 상기 약액이 제1 레벨(LV1) 충전되면, 상기 기체 배출 밸브(142)는 폐쇄되고, 이에 따라, 상기 약액 탱크(110) 내부의 공기는 배출되지 않는다. 상기 기체 배출 밸브(142)는, 상기 적산량 측정기(132)에 의해 측정된 상기 약액의 적산량 및 상기 레벨 측정기(120)에 의해 측정된 상기 약액의 레벨에 따라 상기 기체 배출 밸브(142)의 개폐를 제어하는 상기 제어부(190)에 의해 폐쇄될 수 있다.When the chemical liquid is filled in the chemical liquid tank 110 at the first level LV1, the gas discharge valve 142 is closed, and thus, the air inside the chemical liquid tank 110 is not discharged. The gas discharge valve 142 may be configured according to the integration amount of the chemical liquid measured by the integration meter 132 and the level of the chemical liquid measured by the level meter 120. It may be closed by the control unit 190 to control the opening and closing.

상기 약액 탱크(110)의 제1 압력을 상기 약액 도포 장치의 제2 압력에 비해 상승시키기 위해, 상기 약액 충전관(130)을 통해 상기 약액 탱크(110)로 상기 약액을 충전시킨다. 예를 들면, 상기 제1 레벨(LV1)에 비해 높은 상기 제2 레벨(LV2)에서 상기 약액 탱크(110)는 상기 약액 도포 장치의 제2 압력에 비해 높은 상기 제1 압력을 가질 수 있다.The chemical liquid is filled into the chemical liquid tank 110 through the chemical liquid filling tube 130 to increase the first pressure of the chemical liquid tank 110 compared to the second pressure of the chemical liquid applying device. For example, the chemical liquid tank 110 may have the first pressure higher than the second pressure of the chemical liquid applying apparatus at the second level LV2 that is higher than the first level LV1.

상기 약액 탱크(110)에 상기 약액이 상기 제2 레벨(LV2) 충전되면, 상기 약액 충전 밸브(134)는 폐쇄되고, 이에 따라, 상기 약액 탱크(110)로 상기 약액의 충전이 중지된다. 상기 약액 충전 밸브(134)는, 상기 적산량 측정기(132)에 의해 측정된 상기 약액의 적산량 및 상기 레벨 측정기(120)에 의해 측정된 상기 약액의 레벨에 따라 상기 약액 충전 밸브(134)의 개폐를 제어하는 상기 제어부(190)에 의해 폐쇄될 수 있다.When the chemical liquid is filled in the chemical liquid tank 110 in the second level LV2, the chemical liquid filling valve 134 is closed, and thus, the chemical liquid tank 110 stops filling of the chemical liquid. The chemical liquid filling valve 134 of the chemical liquid filling valve 134 according to the integrated amount of the chemical liquid measured by the total amount measuring instrument 132 and the level of the chemical liquid measured by the level measuring instrument 120. It may be closed by the control unit 190 to control the opening and closing.

상기 약액 탱크(110)에 저장된 상기 약액을 상기 약액 공급관(150) 및 상기 공급구(400)를 통해 상기 약액 도포 장치로 공급한다. The chemical liquid stored in the chemical liquid tank 110 is supplied to the chemical liquid applying apparatus through the chemical liquid supply pipe 150 and the supply port 400.

실시예에 따라, 상기 약액 공급 장치(100)는 상기 약액 탱크(110) 내부의 압력을 증가시키기 위해 상기 약액 탱크(110) 내부로 기체를 공급하는 기체 공급관(160), 및 상기 기체 공급관(160)에 설치되어 상기 약액 탱크(110) 내부로 공급되는 상기 기체의 흐름을 제어하는 기체 공급 밸브(162)를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, the chemical liquid supply apparatus 100 may supply a gas into the chemical liquid tank 110 to increase the pressure inside the chemical liquid tank 110, and the gas supply pipe 160. Installed in the) may further include a gas supply valve 162 for controlling the flow of the gas supplied into the chemical tank 110.

본 실시예에 따르면, 상기 약액 탱크(110) 내부에 저장된 상기 약액의 레벨을 측정하는 상기 레벨 측정기(120) 및 상기 약액 충전관(130)에 설치되어 상기 약액 탱크(110)로 공급되는 상기 약액의 유량을 측정하는 상기 적산량 측정기(132)를 이용하여 상기 약액 탱크(110)의 압력을 조절할 수 있고, 이에 따라, 상기 약액 탱크(110)로부터 상기 외부의 약액 도포 장치로 상기 약액을 효율적으로 공급할 수 있다.According to this embodiment, the chemical solution is installed in the level measuring unit 120 and the chemical liquid filling tube 130 to measure the level of the chemical liquid stored in the chemical liquid tank 110 is supplied to the chemical liquid tank 110 The pressure of the chemical liquid tank 110 may be adjusted by using the integrated amount measuring device 132 that measures the flow rate of the chemical liquid tank 110. Accordingly, the chemical liquid may be efficiently transferred from the chemical liquid tank 110 to the external chemical liquid applying device. Can supply

또한, 상기 제어부(190)는 상기 적산량 측정기(132)에 의해 측정된 상기 약액의 적산량 및 상기 레벨 측정기(120)에 의해 측정된 상기 약액의 레벨을 대응시킬 수 있으므로, 상기 레벨 측정기(120)가 오동작 하더라도 상기 약액 탱크(110)의 과충전을 방지할 수 있고, 상기 레벨 측정기(120)의 오동작을 검출할 수 있다.In addition, the control unit 190 may correspond to the integrated amount of the chemical liquid measured by the total amount measuring unit 132 and the level of the chemical liquid measured by the level measuring unit 120, the level measuring unit 120 Even if) malfunctions, it is possible to prevent overcharging of the chemical liquid tank 110 and to detect a malfunction of the level measuring unit 120.

또한, 상기 적산량 측정기(132)가 상기 약액 충전관(130)을 통해 상기 약액 탱크(110)로 공급되는 상기 약액의 유량을 측정할 수 있으므로, 상기 약액 충전관(130)에 설치된 상기 약액 충전 밸브(134)가 오동작할 경우 상기 약액 충전 밸브(134)의 오동작을 검출할 수 있다.In addition, since the integration meter 132 may measure the flow rate of the chemical liquid supplied to the chemical liquid tank 110 through the chemical liquid filling tube 130, the chemical liquid filling installed in the chemical liquid filling tube 130 When the valve 134 malfunctions, a malfunction of the chemical filling valve 134 may be detected.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타내는 블록도이다.Figure 2 is a block diagram showing a chemical liquid supply apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 약액 공급 장치(500)는 제1 약액 공급 장치(200) 및 제2 약액 공급 장치(300)를 포함한다. 2, the chemical liquid supply apparatus 500 according to the present exemplary embodiment includes a first chemical liquid supply apparatus 200 and a second chemical liquid supply apparatus 300.

상기 제1 약액 공급 장치(200)는 제1 약액 탱크(210), 제1 레벨 측정기(220), 제1 약액 충전관(230), 적산량 측정기(232), 제1 약액 충전 밸브(234), 제1 기체 배출관(240), 제1 기체 배출 밸브(242), 제1 약액 공급관(250), 제1 약액 공급 밸브(252), 제1 기체 공급관(260), 제1 기체 공급 밸브(262) 및 제어부(290)를 포함한다.The first chemical liquid supply apparatus 200 includes a first chemical liquid tank 210, a first level measuring instrument 220, a first chemical liquid filling tube 230, an integrated amount measuring instrument 232, and a first chemical liquid filling valve 234. , The first gas discharge pipe 240, the first gas discharge valve 242, the first chemical liquid supply pipe 250, the first chemical liquid supply valve 252, the first gas supply pipe 260, and the first gas supply valve 262. ) And the control unit 290.

상기 제1 약액 탱크(210), 상기 제1 레벨 측정기(220), 상기 제1 약액 충전관(230), 상기 적산량 측정기(232), 상기 제1 약액 충전 밸브(234), 상기 제1 기체 배출관(240), 상기 제1 기체 배출 밸브(242), 상기 제1 약액 공급관(250), 상기 제1 약액 공급 밸브(252), 상기 제1 기체 공급관(260), 상기 제1 기체 공급 밸브(262) 및 상기 제어부(290)의 구성 및 기능은 이전의 실시예에 따른 상기 약액 탱크(110), 상기 레벨 측정기(120), 상기 약액 충전관(130), 상기 적산량 측정기(132), 상기 약액 충전 밸브(134), 상기 기체 배출관(140), 상기 기체 배출 밸브(142), 상기 약액 공급관(150), 상기 약액 공급 밸브(152), 기체 공급관(160), 기체 공급 밸브(162) 및 상기 제어부(190)의 구성 및 기능과 실질적으로 동일하므로, 상세한 설명은 생략한다.The first chemical tank 210, the first level measuring instrument 220, the first chemical liquid filling tube 230, the total amount measuring instrument 232, the first chemical liquid filling valve 234, the first gas Discharge pipe 240, the first gas discharge valve 242, the first chemical liquid supply pipe 250, the first chemical liquid supply valve 252, the first gas supply pipe 260, the first gas supply valve ( 262 and the configuration and function of the control unit 290 is the chemical liquid tank 110, the level meter 120, the chemical liquid filling tube 130, the total amount measuring instrument 132, the Chemical liquid filling valve 134, the gas discharge pipe 140, the gas discharge valve 142, the chemical liquid supply pipe 150, the chemical liquid supply valve 152, gas supply pipe 160, gas supply valve 162 and Since the configuration and function of the controller 190 are substantially the same, a detailed description thereof will be omitted.

상기 제2 약액 공급 장치(300)는 제2 약액 탱크(310), 제2 레벨 측정기(320), 제2 약액 충전관(330), 제2 약액 충전 밸브(334), 제2 기체 배출관(340), 제2 기체 배출 밸브(342), 제2 약액 공급관(350), 제2 약액 공급 밸브(352), 제2 기체 공급관(360) 및 제2 기체 공급 밸브(362)를 포함한다.The second chemical liquid supply device 300 includes a second chemical liquid tank 310, a second level meter 320, a second chemical liquid filling tube 330, a second chemical liquid filling valve 334, and a second gas discharge tube 340. ), A second gas discharge valve 342, a second chemical liquid supply pipe 350, a second chemical liquid supply valve 352, a second gas supply pipe 360, and a second gas supply valve 362.

상기 제2 약액 탱크(310), 상기 제2 레벨 측정기(320), 상기 제2 약액 충전관(330), 상기 제2 약액 충전 밸브(334), 상기 제2 기체 배출관(340), 상기 제2 기체 배출 밸브(342), 상기 제2 약액 공급관(350), 상기 제2 약액 공급 밸브(352), 상기 제2 기체 공급관(360) 및 상기 제2 기체 공급 밸브(362)의 구성 및 기능은 이전의 실시예에 따른 상기 약액 탱크(110), 상기 레벨 측정기(120), 상기 약액 충전관(130), 상기 약액 충전 밸브(134), 상기 기체 배출관(140), 상기 기체 배출 밸브(142), 상기 약액 공급관(150), 상기 약액 공급 밸브(152), 상기 기체 공급관(160) 및 상기 기체 공급 밸브(162)의 구성 및 기능과 실질적으로 동일하므로, 상세한 설명은 생략한다.The second chemical liquid tank 310, the second level meter 320, the second chemical liquid filling pipe 330, the second chemical liquid filling valve 334, the second gas discharge pipe 340, and the second The configuration and function of the gas discharge valve 342, the second chemical liquid supply pipe 350, the second chemical liquid supply valve 352, the second gas supply pipe 360 and the second gas supply valve 362 is The chemical liquid tank 110, the level meter 120, the chemical liquid filling tube 130, the chemical liquid filling valve 134, the gas discharge pipe 140, the gas discharge valve 142, Since the chemical liquid supply pipe 150, the chemical liquid supply valve 152, the gas supply pipe 160 and the gas supply valve 162 are substantially the same as the configuration and function, detailed description thereof will be omitted.

실시예에 따라, 상기 적산량 측정기(232)는 상기 제1 약액 충전관(230)뿐만 아니라 상기 제2 약액 충전관(330)에도 연결되어, 상기 제2 약액 충전관(330)을 통해 상기 제2 약액 탱크(310)로 공급되는 상기 약액의 적산량을 측정한다.According to an embodiment, the integration meter 232 is connected to the second chemical liquid filling tube 330 as well as the first chemical liquid filling tube 230, and the second chemical liquid filling tube 330 is connected to the second chemical liquid filling tube 330. 2 The integration amount of the chemical liquid supplied to the chemical liquid tank 310 is measured.

또한, 실시예에 따라, 상기 제1 약액 공급 장치(200)는 복수의 상기 제1 약액 공급관(250)들을 포함하고, 상기 제2 약액 공급 장치(300)는 복수의 상기 제2 약액 공급관(350)들을 포함한다. 상기 제1 약액 공급관(250)들 중에서 적어도 하나 이상은 공급구(400)를 통해 외부의 약액 도포 장치로 약액을 공급하고, 상기 제2 약액 공급관(350)들 중에서 적어도 하나 이상은 상기 공급구(400)를 통해 상기 외부의 약액 도포 장치로 상기 약액을 공급한다.In addition, according to an embodiment, the first chemical liquid supply apparatus 200 includes a plurality of the first chemical liquid supply tubes 250, and the second chemical liquid supply apparatus 300 includes a plurality of the second chemical liquid supply tubes 350. ) At least one of the first chemical liquid supply pipes 250 supplies the chemical liquid to the external chemical liquid applying device through the supply port 400, and at least one of the second chemical liquid supply pipes 350 is the supply port ( The chemical liquid is supplied to the external chemical liquid applying device through 400.

이와 달리, 상기 제1 약액 공급관(250)들 중에서 적어도 다른 하나 이상 및 상기 제2 약액 공급관(350)들 중에서 적어도 다른 하나 이상은 서로 연결될 수 있다. 따라서, 상기 제1 약액 탱크(210)로부터 상기 제2 약액 탱크(310)로 상기 약액이 공급될 수 있다.Alternatively, at least one or more of the first chemical liquid supply pipes 250 and at least another one or more of the second chemical liquid supply pipes 350 may be connected to each other. Therefore, the chemical liquid may be supplied from the first chemical liquid tank 210 to the second chemical liquid tank 310.

상기 제1 약액 탱크(210)로부터 상기 제2 약액 탱크(310)로 상기 약액이 공급되는 경우, 상기 제1 약액 탱크(210)의 제1 압력은 상기 제2 약액 탱크(310)의 제2 압력에 비해 높을 수 있다.When the chemical liquid is supplied from the first chemical liquid tank 210 to the second chemical liquid tank 310, the first pressure of the first chemical liquid tank 210 is a second pressure of the second chemical liquid tank 310. Can be higher than

구체적으로, 상기 제1 약액 탱크(210) 내부에 저장된 상기 약액의 레벨을 측정하는 상기 제1 레벨 측정기(220) 및 상기 제1 약액 충전관(230)에 설치되어 상기 제1 약액 탱크(210)로 공급되는 상기 약액의 유량을 측정하는 상기 적산량 측정기(232)를 이용하여 상기 제1 약액 탱크(210)의 제1 압력을 조절할 수 있다.Specifically, the first chemical liquid tank 210 is installed in the first level meter 220 and the first chemical liquid filling tube 230 for measuring the level of the chemical liquid stored in the first chemical liquid tank 210. The first pressure of the first chemical liquid tank 210 may be adjusted by using the integrated amount measuring instrument 232 measuring the flow rate of the chemical liquid supplied to the liquid crystal.

본 실시예에 따르면, 상기 제1 약액 공급 장치(200)에 포함된 상기 제1 약액 탱크(210)로부터 상기 제2 약액 공급 장치(300)에 포함된 상기 제2 약액 탱크(310)로 약액을 공급할 수 있다.According to the present embodiment, the chemical liquid is transferred from the first chemical liquid tank 210 included in the first chemical liquid supply device 200 to the second chemical liquid tank 310 included in the second chemical liquid supply device 300. Can supply

또한, 상기 제1 약액 탱크(210) 내부에 저장된 상기 약액의 레벨을 측정하는 상기 제1 레벨 측정기(220) 및 상기 제1 약액 충전관(230)에 설치되어 상기 제1 약액 탱크(210)로 공급되는 상기 약액의 유량을 측정하는 상기 적산량 측정기(232)를 이용하여 상기 제1 약액 탱크(210)의 압력을 조절할 수 있고, 이에 따라, 상기 제1 약액 탱크(210)로부터 상기 제2 약액 탱크(310)로 상기 약액을 효율적으로 공급할 수 있다.In addition, the first level measuring device 220 and the first chemical filling tube 230 for measuring the level of the chemical stored in the first chemical tank 210 is installed in the first chemical tank 210 The pressure of the first chemical liquid tank 210 may be adjusted using the integration meter 232 for measuring the flow rate of the chemical liquid supplied, and accordingly, the second chemical liquid from the first chemical liquid tank 210 may be adjusted. The chemical liquid may be efficiently supplied to the tank 310.

이상에서는 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. You will understand.

본 발명에 따른 약액 공급 장치는 약액 탱크 내부에 저장된 약액의 레벨을 측정하는 레벨 측정기 및 약액 충전관에 설치되어 약액 탱크로 공급되는 약액의 유량을 측정하는 적산량 측정기를 이용하여 약액 탱크의 압력을 조절할 수 있고, 이에 따라, 약액 탱크로부터 약액 도포 장치로 약액을 효율적으로 공급할 수 있다.The chemical liquid supply apparatus according to the present invention uses a level meter for measuring the level of the chemical liquid stored in the chemical liquid tank and an integrated amount measuring device installed in the chemical liquid filling tube to measure the flow rate of the chemical liquid supplied to the chemical liquid tank. The chemical liquid can be efficiently fed from the chemical liquid tank to the chemical liquid applying device.

100, 200, 300, 500: 약액 공급 장치
110, 210, 310: 약액 탱크 120, 220, 320: 레벨 측정기
130, 230, 330: 약액 충전관 132, 232: 적산량 측정기
134, 234, 334: 약액 충전 밸브 140, 240, 340: 기체 배출관
142, 242, 342: 기체 배출 밸브 150, 250, 350: 약액 공급관
152, 252, 352: 약액 공급 밸브 160, 260, 360: 기체 공급관
162, 262, 362: 기체 공급 밸브100, 200, 300, 500: chemical supply unit
110, 210, 310: chemical tank 120, 220, 320: level meter
130, 230, 330: Chemical filling tube 132, 232: Accumulator
134, 234, 334: chemical liquid filling valves 140, 240, 340: gas discharge pipe
142, 242, 342: gas discharge valve 150, 250, 350: chemical liquid supply pipe
152, 252, 352: chemical liquid supply valves 160, 260, 360: gas supply pipe
162, 262, 362: gas supply valve

Claims (2)

약액을 저장하는 약액 탱크;
상기 약액 탱크 내부에 존재하는 상기 약액의 레벨을 측정하는 레벨 측정기;
상기 약액 탱크로 상기 약액을 공급하여 상기 약액을 상기 약액 탱크에 충전하는 약액 충전관;
상기 약액 충전관에 설치되어 상기 약액 탱크로 공급되는 상기 약액의 적산량을 측정하는 적산량 측정기;
상기 적산량 측정기 및 상기 약액 탱크 사이의 상기 약액 충전관에 설치되고, 상기 적산량 측정기에 의해 측정된 상기 약액의 적산량 및 상기 레벨 측정기에 의해 측정된 상기 약액의 레벨에 따라 개폐되어 상기 약액 탱크로 공급되는 상기 약액의 흐름을 제어하는 약액 충전 밸브;
상기 약액 탱크에 설치되고, 상기 약액 탱크 내부에 존재하는 기체를 배출하는 기체 배출관: 및
상기 기체 배출관에 설치되고, 상기 적산량 측정기에 의해 측정된 상기 약액의 적산량 및 상기 레벨 측정기에 의해 측정된 상기 약액의 레벨에 따라 개폐되어 상기 약액 탱크 내부에 존재하는 상기 기체의 배출을 제어하는 기체 배출 밸브를 포함하는 약액 공급 장치.Chemical liquid tank for storing chemical liquid;
A level meter for measuring the level of the chemical liquid present in the chemical liquid tank;
A chemical liquid filling tube for supplying the chemical liquid to the chemical liquid tank to fill the chemical liquid in the chemical liquid tank;
An integrated amount measuring device installed in the chemical liquid filling tube and measuring an integrated amount of the chemical liquid supplied to the chemical liquid tank;
The chemical liquid tank is installed in the chemical liquid filling tube between the integration meter and the chemical tank, and opened and closed according to the integration amount of the chemical liquid measured by the integration meter and the level of the chemical liquid measured by the level meter. A chemical liquid filling valve controlling the flow of the chemical liquid supplied to the chemical liquid filling valve;
A gas discharge pipe installed in the chemical liquid tank and discharging gas existing in the chemical liquid tank:
Installed in the gas discharge pipe, and opened and closed according to the accumulated amount of the chemical liquid measured by the integration meter and the level of the chemical liquid measured by the level meter to control the discharge of the gas present in the chemical liquid tank. A chemical liquid supply device including a gas discharge valve. 제1항에 있어서, 상기 약액 탱크에 설치되어 상기 약액 탱크에 저장된 상기 약액을 외부로 공급하는 약액 공급관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The chemical liquid supply apparatus according to claim 1, further comprising a chemical liquid supply pipe installed in the chemical liquid tank and supplying the chemical liquid stored in the chemical liquid tank to the outside.
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