KR20130053760A - Temperature sensor whick can be adhered and separated easily - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A temperature sensor capable of facilitating to attach/detach is provided to elastically join to a pipe, to enable to attach/detach a temperature sensor stably to a pipe for a long time, thereby facilitating to attach/detach the temperature sensor. CONSTITUTION: A temperature sensor(10) capable of facilitating to attach/detach is attached to a cylindrical pipe such as a gas pipe or a vacuum pipe of a semiconductor manufacturing facility including an LED or LCD, thereby measuring the temperature of the pipe. The temperature sensor is fitted into the bottom unit of a recess path(21) of a fixing plate(20), thereby being attached to the outer periphery of the pipe.

Description

탈부착이 용이한 온도센서{TEMPERATURE SENSOR WHICK CAN BE ADHERED AND SEPARATED EASILY}TEMPERATURE SENSOR WHICK CAN BE ADHERED AND SEPARATED EASILY

본 발명은 생산설비의 배관 외측에 온도센서를 부착하기 위한 온도센서 어셈블리에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 설치할 배관의 곡률보다 큰 곡률을 가지는 고정판에 온도센서를 수용할 수 있는 함몰로를 형성하여 끼움결합되도록 구성함으로써 배관에 안정적으로 온도센서를 장시간 부착가능함은 물론 곡률을 가지는 고정판으로 인해 배관과 탄력적으로 결합됨에 따라 탈부착이 용이한 온도센서에 관한 것이다.
The present invention relates to a temperature sensor assembly for attaching a temperature sensor on the outside of the piping of the production equipment, and more particularly, to form a recess to accommodate the temperature sensor on the fixed plate having a curvature greater than the curvature of the pipe to be installed The present invention relates to a temperature sensor that can be attached to a pipe stably by a stable plate for a long time as well as to be detachably attached to the pipe due to a fixed plate having a curvature.

일반적으로, 열전대(thermocouple)는 서로 다른 2개의 금속선 양끝을 맞붙여서 온도를 측정하는 장치로서 두 종류의 금속 도체 양단을 전기적으로 접속시키고 이 양단에 온도차를 주면 회로 중에 전류가 흐르는 제베크 효과가 발생하고 이때 한쪽 말단(기준접점)의 온도를 일정온도로 유지하고 열기전력의 수치를 측정함으로써 다른 말단(측온접점)의 온도를 측정할 수 있는 장치이다.In general, a thermocouple is a device for measuring temperature by joining two different metal wires together, and electrically connecting both ends of two kinds of metal conductors and giving a temperature difference between them generates a Seebeck effect in which a current flows in the circuit. At this time, by maintaining the temperature of one end (reference contact) at a constant temperature and measuring the value of the thermoelectric power is a device that can measure the temperature of the other end (temperature contact).

이러한 원리의 열전대는 그 구조가 비교적 간단하고 극저온 -200℃에서 초고온 3000℃ 정도까지 넓은 범위의 온도를 측정할 수 있어 각종 공업용 온도측정(금형의 핫 런너(hot ruuner))뿐만 아니라, 의료용 온도 측정 등에도 많이 사용되고 있다.The thermocouple of this principle is relatively simple in structure and can measure a wide range of temperature from cryogenic -200 ℃ to super high temperature 3000 ℃, so that not only various industrial temperature measurement (hot ruuner of mold) but also medical temperature measurement It is also used a lot.

아울러 상기 열전대는 측온접점이 형성되는 열전대 소선의 보호형태에 따라 일반 열전대(general thermocouple)와 시스 열전대(sheath thermocouple)로 구분된다. 일반 열전대는 분리제작된 보호관, 열전대 소선, 절연관, 단자함을 결합하여 구성되는데에 비해 보호관, 열전대소선, 산화마그네슘(MgO) 등의 절연재가 일체로 구성되는 시스 열전대는 기계적 내구성이 좋고 임의로 구부릴 수 있는 등의 특징이 있어 일반 열전대보다 많이 사용되고 있다.In addition, the thermocouple is classified into a general thermocouple and a sheath thermocouple according to the type of protection of the thermocouple element in which the temperature contact point is formed. General thermocouples are composed of a combination of separate manufactured protective tube, thermocouple wire, insulated tube, and terminal box, whereas sheath thermocouple composed of insulating material such as protective tube, thermocouple wire, magnesium oxide (MgO) has good mechanical durability and can be bent arbitrarily. It is used more than general thermocouple because of its characteristics.

이러한 시스 열전대는 반도체 및 LED 설비 중 가스 배관 또는 진공 배관의 온도를 측정하기 위해 온도 센서로서 배관 외연에 부착되는데, 이러한 시스 열전대의 배관 부착 구성은 배관 외연에 열전대를 부착한 후 이를 고정하기 위해 테이프 등 접착수단을 통해 부착하였다. These sheath thermocouples are attached to the outer periphery of the pipe as a temperature sensor to measure the temperature of the gas or vacuum pipes in the semiconductor and LED fixtures. This sheath thermocouple is attached to the outer periphery of the pipe and then taped to fix it. It was attached through the back adhesive means.

하지만, 이러한 열전대 온도센서의 테이핑 부착으로 인해 장시간 사용시 밀착성이 떨어져 분리가능성이 높아지는데 특히 고온의 배관에 부착됨에 따라 밀착 안정성이 더욱 저하되고 부착 작업 또한 사람에 의해 이루어짐에 따라 작업방법이나 작업 상태가 작업자마다 상이하여 작업결과의 예측성이 떨어진다. However, due to the taped attachment of the thermocouple temperature sensor, the adhesion is reduced when used for a long time, and thus the separation probability is increased. In particular, the adhesion stability is further degraded by being attached to a high temperature pipe and the attachment work is performed by a person. It is different for each worker and the predictability of work results is inferior.

이에 따라 고온의 LED 및 기타 배관 설비에 장착되어 온도를 센싱하는 열전대의 부착특성이 우수한 장치의 개선이 시급하다.
Accordingly, there is an urgent need to improve a device having excellent attachment characteristics for thermocouples mounted on high-temperature LEDs and other plumbing fixtures.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서 설치할 배관의 곡률보다 큰 곡률을 가지는 고정판에 온도센서를 수용할 수 있는 함몰로를 형성하여 끼움결합되도록 구성함으로써 배관에 안정적으로 온도센서를 장시간 부착가능함은 물론 곡률을 가지는 고정판으로 인해 배관과 탄력적으로 결합됨에 따라 탈부착이 용이한 온도센서를 제공함에 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the above problems by forming a depression to accommodate the temperature sensor on a fixed plate having a curvature greater than the curvature of the pipe to be installed to be fitted by fitting the temperature sensor to the pipe for a long time. The purpose is to provide a temperature sensor that is easily removable as it is elastically coupled to the pipe due to the fixing plate having a curvature.

아울러 본 발명의 다른 목적은 고정판의 저면에 스크래치 공정을 수행한 다음 그래핀 방열층을 형성함으로써 방열면적을 증대하고 방열효율을 향상시켜 고정판이 전도성 재질로 이루어져 온도센서의 측정 온도에 일정 부분 영향을 주는 문제를 해결할 수 있는 탈부착이 용이한 온도센서를 제공함에 그 목적이 있다.
In addition, another object of the present invention by performing a scratch process on the bottom of the fixed plate to form a graphene heat dissipation layer to increase the heat dissipation area and improve the heat dissipation efficiency, the fixed plate is made of a conductive material to affect the measured temperature of the temperature sensor to some extent The main purpose is to provide a detachable temperature sensor that can solve the problem.

본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래와 같은 특징을 갖는다.The present invention has the following features to achieve the above object.

본 발명은 LED 또는 LCD를 포함하는 반도체 생산 설비의 가스 배관 또는 진공 배관과 같은 원통형 배관에 부착되어 배관의 온도를 측정하기 위한 열전대 온도센서에 있어서, 상기 온도센서는 배관 외측의 외연에 탄력적으로 착탈가능하도록 부착되는 고정판의 함몰로 바닥부에 끼움결합되어 배관의 외연에 부착된다.The present invention is a thermocouple temperature sensor for measuring the temperature of the pipe is attached to a cylindrical pipe such as a gas pipe or a vacuum pipe of a semiconductor production equipment including an LED or LCD, the temperature sensor is elastically attached to the outer edge of the outside of the pipe It is attached to the outer edge of the pipe by fitting to the bottom by the depression of the fixing plate which is attached as possible.

여기서 상기 고정판은 중심부에 온도센서의 일측 단부를 수용하도록 함몰로가 형성되며 곡률을 가지는 판상으로 형성되되, 상기 곡률은 배관의 곡률보다 5%내지 20% 큰 것이 바람직하다.In this case, the fixing plate is formed in the center so as to receive the one end of the temperature sensor and has a curvature plate shape, the curvature is preferably 5% to 20% greater than the curvature of the pipe.

아울러 상기 고정판의 저면에는 배관으로부터 도전되는 열을 방출하고 방출면적을 증대하기 위해 기재 상에 스크래치를 형성하고 스크래치 상에 그래핀방열층을 도포하며, 상기 고정판의 양측에는 부착력을 보다 증대시키도록 보조판부가 더 연장형성되되, 상기 보조판부의 곡률은 고정판의 곡률보다 같거나 큰 것이 바람직하다.
In addition, the bottom surface of the fixing plate to form a scratch on the substrate to release the heat conducting from the pipe and to increase the discharge area and to apply a graphene heat dissipation layer on the scratch, the auxiliary plate to further increase the adhesion on both sides of the fixing plate The extension is further extended, the curvature of the auxiliary plate portion is preferably equal to or larger than the curvature of the fixed plate.

본 발명에 따르면 배관에 안정적으로 온도센서를 장시간 부착가능하고 배관과 탄력적으로 결합됨에 따라 탈부착이 용이한 효과가 있다. According to the present invention, the temperature sensor can be stably attached to the pipe for a long time and is easily detachable as it is elastically coupled to the pipe.

아울러 방열효율이 높아 고정판으로 인한 측정온도 부정확성을 감소시킬 수 있으며, 보조판부의 연장형성에 따라 보다 안정적인 온도센서 부착이 가능해진다.
In addition, high heat dissipation efficiency can reduce the measurement temperature inaccuracy caused by the fixing plate, and more stable temperature sensor can be attached by extension of the auxiliary plate part.

도 1은 본 발명에 따른 온도센서와 고정판의 결합모습을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 고정판을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 고정판을 형성하기 위한 상하부 금형을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따라 보조판부가 연장형성된 고정판을 나타내는 도면이다. 1 is a view showing a combination of the temperature sensor and the fixing plate according to the present invention.
2 is a view showing a fixing plate according to the present invention.
3 is a view showing the upper and lower molds for forming the fixed plate according to the present invention.
Figure 4 is a view showing a fixing plate extending the auxiliary plate portion according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명에 따른 온도센서에 대해 첨부되는 도면과 함께 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter will be described in detail with the accompanying drawings for the temperature sensor according to the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 온도센서와 고정판의 결합모습을 나타내는 도면이며, 도 2는 본 발명에 따른 고정판을 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 고정판을 형성하기 위한 상하부 금형을 나타내는 도면이다. 1 is a view showing a combination of the temperature sensor and the fixed plate according to the present invention, Figure 2 is a view showing a fixed plate according to the present invention, Figure 3 is a view showing the upper and lower molds for forming the fixed plate according to the present invention. .

도면을 참조하면, 본 발명에 따른 온도센서(10)는 배관의 외측에 부착되어 배관의 온도를 측정하기 위해 구비되는데, 이러한 온도센서(10)의 배관 부착을 위해 고정판(20)에 결합되어 배관에 부착되게 된다.Referring to the drawings, the temperature sensor 10 according to the present invention is attached to the outside of the pipe is provided to measure the temperature of the pipe, this temperature sensor 10 is coupled to the fixed plate 20 for the pipe attachment pipe To be attached to.

이러한 온도센서(10)가 고정판(20)에 안정적으로 결합되기 위해 상기 고정판(20)에는 함몰로(21)가 형성된다.In order to stably couple the temperature sensor 10 to the fixed plate 20, a recess 21 is formed in the fixed plate 20.

이러한 함몰로(21) 상에 온도센서(10)의 일측 단부 일정부분이 수용되어 결합되는데, 안정적인 결합을 위해 상기 반원통 형상의 함몰로(21)는 온도센서의 직경보다 같거나 1mm 내지 2mm 정도로 작게 형성하여 강제끼움방식으로 체결되도록 함이 바람직하다. A predetermined portion of one end of the temperature sensor 10 is accommodated and coupled to the depression 21, and the semi-cylindrical depression 21 is equal to or greater than the diameter of the temperature sensor for 1 mm to 2 mm for stable coupling. It is preferable to form small to be fastened in a forced fit method.

아울러 상기 고정판(20)은 원통형의 배관 외연에 부착됨에 따라 직사각형 형태의 플레이트를 도 3에 도시된 상부금형(30) 및 하부금형(40)으로 곡률을 가지는 반원통판 형상으로 형성하되, 상부금형(30)에 돌출로(31)를 형성하여 고정판(20)에 함몰로(21)가 형성되도록 한다. In addition, the fixing plate 20 is formed in a semi-cylindrical plate shape having a curvature of the rectangular plate as the upper mold 30 and the lower mold 40 shown in FIG. Protruding path 31 is formed in 30 so that the recess 21 is formed in the fixed plate 20.

물론 상기 하부금형(40)에도 상부금형(30)과 형상적으로 대응되도록 홈로(41)가 형성되어야 하며 필요에 따라 고정판(20)의 금형공정 후에도 온도센서를 강제 끼움하기 위해 상부금형(30) 및 하부금형(40)을 이용할 수도 있다. Of course, the lower mold 40 also has a groove 41 to be formed to correspond in shape to the upper mold 30, and if necessary, the upper mold 30 to force the temperature sensor even after the mold process of the fixing plate 20. And the lower mold 40 may be used.

한편 상기 고정판(20)의 곡률은 부착할 배관의 원형 곡률을 감안하여 5% 내지 20% 크게 형성함이 바람직한데. 이는 고정판(20)이 탄력적으로 배관에 부착되도록 하기 위함이다. Meanwhile, the curvature of the fixing plate 20 is preferably 5% to 20% larger in consideration of the circular curvature of the pipe to be attached. This is for the fixing plate 20 to be elastically attached to the pipe.

이에 따라 배관의 외연에 부착된 고정판(20) 및 온도센서(10)는 상방향으로 고정판(20)에 가압하는 경우 탈착이 되고 부착을 위해서는 온도센서(10)를 고정판(20)에 수용 고정시킨 후 부착할 배관위치에 강제로 눌러 부착한다.
Accordingly, the fixing plate 20 and the temperature sensor 10 attached to the outer edge of the pipe are detachable when pressurized to the fixing plate 20 in the upward direction, and the temperature sensor 10 is accommodated and fixed to the fixing plate 20 for attachment. After pressing, attach it to the piping position.

한편 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정판(20)은 저면에 그래핀방열층이 형성되는데, 이는 금속재질로 이루어지는 고정판(20)의 방열이 원활이 이루어도록 하여 고정판(20)으로 인한 측정 온도 상승 효과를 저지하기 위한 것이다. Meanwhile, the fixed plate 20 according to another embodiment of the present invention has a graphene heat dissipation layer formed on a bottom surface thereof, so that the heat dissipation of the fixed plate 20 made of a metal material is performed smoothly, thereby increasing the measurement temperature due to the fixed plate 20. It is to prevent the effect.

아울러 방열효과를 보다 상승시키기 위해 방열면적을 향상시키는 스크래치 공정이 고정판(20) 저면상에 수행되는데, 그래핀방열층은 이러한 스크래치 공정 수행 후에 형성시킴은 물론이다. In addition, a scratch process for improving the heat dissipation area is performed on the bottom surface of the fixing plate 20 to further increase the heat dissipation effect, and the graphene heat dissipation layer is formed after performing the scratch process.

이와 같은 그래핀방열층 형성에 따라 온도센서의 센싱값 신뢰도가 더욱 향상될 것이다.
As the graphene heat radiation layer is formed, the reliability of the sensing value of the temperature sensor will be further improved.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따라 보조판부가 연장형성된 고정판을 나타내는 도면이다. Figure 4 is a view showing a fixing plate extending the auxiliary plate portion according to an embodiment of the present invention.

또한 본 발명의 또 다른 실시예로서 상기 고정판(20)의 양측에 부착력을 보다 증대시키기 위한 보조판부(50)가 연장형성되는데, 이러한 보조판부(50)는 곡률을 가지는 판상형태로 이루어지되, 그 곡률이 고정판(20)의 곡률과 같거나 큰 것이 바람직하다.In addition, as another embodiment of the present invention, the auxiliary plate portion 50 is formed to extend on both sides of the fixing plate 20 to further increase the adhesion, such an auxiliary plate portion 50 is formed in a plate shape having a curvature, It is preferable that the curvature is equal to or larger than the curvature of the fixed plate 20.

상기 보조판부(50)는 양측에 하나의 판상형태로 연장 형성됨이 바람직하나, 이외에도 다양한 형태로 연장형성되어 고정판(20)과 온도센서(10)의 안정적인 부착을 보다 증대시킬 수 있다.
The auxiliary plate part 50 is preferably formed to extend in one plate shape on both sides, but in addition to the extension plate formed in various forms it can increase the stable attachment of the fixed plate 20 and the temperature sensor 10.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to those precise embodiments, and many alternatives, modifications, and variations will be apparent to those skilled in the art. I will understand.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

10 : 온도센서 20 : 고정판
21 : 함몰로 30 : 상부금형
31 : 돌출로 40 : 하부금형
41 : 홈로 50 : 보조판부10: temperature sensor 20: fixed plate
21: depression 30: upper mold
31: protrusion 40: lower mold
41: home 50: auxiliary plate

Claims (4)

LED 또는 LCD를 포함하는 반도체 생산 설비의 가스 배관 또는 진공 배관과 같은 원통형 배관에 부착되어 배관의 온도를 측정하기 위한 열전대 온도센서에 있어서,
상기 온도센서는 배관 외측의 외연에 탄력적으로 착탈가능하도록 부착되는 고정판의 함몰로 바닥부에 끼움결합되어 배관의 외연에 부착되는 것을 특징으로 하는 탈부착이 용이한 온도센서.
In the thermocouple temperature sensor for measuring the temperature of the pipe attached to a cylindrical pipe such as a gas pipe or a vacuum pipe of a semiconductor production equipment including an LED or LCD,
The temperature sensor is easily detachable temperature sensor, characterized in that attached to the outer periphery of the pipe by fitting to the bottom portion of the fixing plate which is attached to the outer edge of the pipe elastically detachable.
제 1항에 있어서,
상기 고정판은
중심부에 온도센서의 일측 단부를 수용하도록 함몰로가 형성되며 곡률을 가지는 판상으로 형성되되,
상기 곡률은 배관의 곡률보다 5%내지 20% 큰 것을 특징으로 하는 탈부착이 용이한 온도센서.
The method of claim 1,
The stationary plate
A recess is formed in the center to accommodate one end of the temperature sensor and is formed in a plate shape having a curvature.
The curvature is detachable, easy temperature sensor, characterized in that 5% to 20% greater than the curvature of the pipe.
제 1항에 있어서,
상기 고정판의 저면에는 배관으로부터 도전되는 열을 방출하고 방출면적을 증대하기 위해 기재 상에 스크래치를 형성하고 스크래치 상에 그래핀방열층을 도포하는 것을 특징으로 하는 탈부착이 용이한 온도센서.
The method of claim 1,
The bottom surface of the fixed plate to form a scratch on the substrate to release the heat conducting from the pipe and increase the discharge area, easy to detachable temperature sensor, characterized in that to apply a graphene heat-radiating layer on the scratch.
제 1항에 있어서,
상기 고정판의 양측에는 부착력을 보다 증대시키도록 곡률을 가지는 보조판부가 더 연장형성되되, 상기 보조판부의 곡률은 고정판의 곡률보다 같거나 큰 것을 특징으로 하는 탈부착이 용이한 온도센서.The method of claim 1,
A side plate portion having a curvature is further extended to both sides of the fixing plate to further increase the adhesion, the curvature of the auxiliary plate portion is easy to detachable temperature sensor, characterized in that the curvature of the fixing plate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180118094A (en) * 2015-02-25 2018-10-30 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 Substrate processing apparatus, thermocouple, and insulation member
US10228291B2 (en) 2015-02-25 2019-03-12 Kokusai Electric Corporation Substrate processing apparatus, and thermocouple
WO2021240378A1 (en) * 2020-05-26 2021-12-02 Edwards Vacuum Llc Vacuum apparatus temperature sensor assembly

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180118094A (en) * 2015-02-25 2018-10-30 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 Substrate processing apparatus, thermocouple, and insulation member
US10228291B2 (en) 2015-02-25 2019-03-12 Kokusai Electric Corporation Substrate processing apparatus, and thermocouple
US10684174B2 (en) 2015-02-25 2020-06-16 Kokusai Electric Corporation Substrate processing apparatus, and thermocouple
US11300456B2 (en) 2015-02-25 2022-04-12 Kokusai Electric Corporation Substrate processing apparatus, and thermocouple
WO2021240378A1 (en) * 2020-05-26 2021-12-02 Edwards Vacuum Llc Vacuum apparatus temperature sensor assembly

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