KR20130049465A

KR20130049465A - A saw wire

Info

Publication number: KR20130049465A
Application number: KR1020110114509A
Authority: KR
Inventors: 임승호
Original assignee: 홍덕소우테크 주식회사
Priority date: 2011-11-04
Filing date: 2011-11-04
Publication date: 2013-05-14
Also published as: KR101311346B1

Abstract

PURPOSE: A saw wire is provided to improve capacity for supplying a cutting material, to rapidly discharge a cutting scrap generated in a cutting process, to prevent declining in the quality of non-cutting object surface, and to rapidly cut. CONSTITUTION: A saw wire is a crimp wire in which successive crimp is formed. A unit crimp(10) comprising of the successive crimp is formed to be rotated in one way direction when processing in a longitudinal direction of the crimp wire when the cut surface which is cut in a direction perpendicular to a longitudinal direction of the crimp wire is viewed as a longitudinal direction of the crimp wire.

Description

Saw wire {A saw wire}

본 발명은 소우 와이어에 관한 것으로, 절삭재의 공급능력을 향상시키고 절삭시 발생되는 절산분을 빠르게 배출하며, 피절단체 표면의 질적 저하 없이 빠른 속도로 절삭가능하도록 한 소우 와이어에 관한 것이다. The present invention relates to a saw wire, which improves the supply capability of cutting material, quickly discharges the cutting powder generated during cutting, and relates to the saw wire which enables cutting at a high speed without reducing the quality of the surface of the cut body.

소우 머신에 이용되는 소우 와이어는 일반적으로는 탄화규소가루, 다이아몬드 가루등의 연마용 입자와 오일 등이 혼합된 절삭액과 함께 피절단물에 적절한 압력으로 접촉시키면서 주행하여 절단하는 것이다. 이러한 소우 와이어는 통상 절삭시 받는 높은 장력을 견디기 위하여 2500~4000MPa의 인장 강도를 갖는 0.08 ~ 0.5mmΦ의 고탄소 강선이 이용되고 있다. 소우 와이어는 사용상의 목적에 맞는 정밀한 치수 공차가 요구됨과 함께 선선성의 확보를 위해 고탄소 강선 소재보다 연질인 구리, 주석 또는 황동 도금이 널리 사용되고 있다. 특히 황동은 연성이 풍부하여 와이어와 신선용 다이스 사이에서 신선 윤활제의 운반 기능과 더불어 윤활 기능을 부여하여 상대적으로 고정밀도의 선경 공차와 진원도를 유지하면서, 매우 빠른 신선 속도에서도 단선을 억제하여 생산 단가 측면에서 저가로 소우 와이어를 제조할 수 있게 한다. Generally, the saw wire used for a sawing machine is cut | disconnected by running while contacting a to-be-processed object with the appropriate pressure with the cutting liquid which mixed abrasive grains, such as silicon carbide powder and diamond powder, and oil. In order to withstand the high tension received during cutting, these saw wires are used in a high carbon steel wire of 0.08 to 0.5 mm Φ having a tensile strength of 2500 to 4000 MPa. Saw wire is required to be precise dimensional tolerance for the purpose of use, and copper, tin or brass plating is softer than high carbon steel wire material to secure the linearity. In particular, brass is rich in ductility, and it provides lubrication function as well as conveying of fresh lubricant between wire and drawing dies to maintain relatively high wire diameter tolerance and roundness, while suppressing disconnection even at very high drawing speed. This makes it possible to manufacture saw wire at low cost.

소우 와이어를 이용해 경질 재료 예를 들면 실리콘 블록으로부터 웨이퍼를 절단하는 방법은 다음과 같다. 복수의 홈을 갖는 복수의 롤러에 소정의 피치로 와이어를 감은 와이어 열을 주행시킨 상태에서 이 와이어 열에 피 절단체인 실리콘 블록을 일정한 힘으로 누르면서, 와이어 열과 피절단체 사이에 절삭액을 흘려서 연마용 입자의 절삭 작용에 의해 실리콘 블록을 웨이퍼로 절단하게 된다. 절단 공정의 효율과 절단된 웨이퍼의 두께 품질은 절단되는 경질재 블록의 특성 및 소우 와이어의 속도와 같은 많은 인자에 따라 좌우된다. 그 중에서 소우 와이어의 굵기 균일도 유지와 연마재를 얼마나 많이 동반할 수 있는가 하는 것이 중요한 인자이다.A method of cutting a wafer from a hard material such as a silicon block using a saw wire is as follows. Abrasive particles are formed by flowing cutting fluid between the wire rows and the cut bodies while pressing a silicon block, which is a cut object, with a constant force while driving a wire row wound with a wire at a predetermined pitch to a plurality of rollers having a plurality of grooves. The silicon block is cut into the wafer by the cutting action of. The efficiency of the cutting process and the thickness quality of the cut wafer depends on many factors such as the nature of the hard block being cut and the speed of the saw wire. Among them, the important factor is maintaining the uniformity of the thickness of the saw wire and how much can be accompanied by the abrasive.

실리콘 블록을 절단하는데 사용되는 와이어 열은 롤러에 통상 1000~3000회 정도 감겨있다. 이러한 와이어 열을 구성하는 와이어는 경질 재료를 절단하며 설치된 롤러의 홈을 따라 이동하게 되는데, 경질 재료를 절단하는 동안 연마재는 경질 재료뿐만 아니라, 소우 와이어도 함께 마모시켜 와이어의 굵기가 가늘어지는 문제가 있다. 또한 절단 초기에는 표면에 존재하는 연질의 도금층에 의해 연마재를 많이 동반할 수 있었으나, 경질재료의 절단과 함께 도금층이 제거되어 소지층이 노출되면서 연마재를 동반하는 능력이 저하된다. The wire row used to cut the silicon block is usually wound around 1000 to 3000 times on the roller. The wire constituting such a row of wires moves along the grooves of the rollers installed while cutting the hard material. The abrasive material wears not only the hard material but also the saw wire while cutting the hard material, thereby reducing the thickness of the wire. have. In addition, in the initial stage of cutting, the abrasive could be entrained by the soft plating layer present on the surface. However, the plating layer is removed together with the cutting of the hard material, so that the base layer is exposed, and thus the ability to accompany the abrasive decreases.

따라서, 소우 와이어를 사용 중에 직경의 가늘어지는 문제와 절삭재를 동반시키는 것을 향상할 필요가 있다. 국제특허 출원공보 WO 90/12670에는 절삭재가 소우 와이어에 잘 동반되는 소우 와이어가 개시되어 있다. 이것은 소우 와이어의 외면을 변경함으로써 달성될 수 있다. 그 하나의 실시 예에 따르면, 마이크로 캐비티(micro-cavity)가 소우 와이어의 표면에 배치된다. 또 다른 실시 예에 따르면, 소우 와이어는 다수 개의 원주 홈을 갖는 소우 와이어의 외면을 제공함으로써 다양한 직경으로 제조된다. 비록 이러한 해결책은 더 우수한 절삭재의 동반을 제공하지만 외면을 변경하는 것은 일반적으로 많은 시간과 노력이 소요되는 번거로운 문제점이 있다.Therefore, there is a need to improve the tapering problem and accompanying cutting material during use of the saw wire. International patent application WO 90/12670 discloses a saw wire in which cutting material accompanies the saw wire well. This can be accomplished by changing the outer surface of the saw wire. According to one embodiment, a micro-cavity is disposed on the surface of the saw wire. According to yet another embodiment, the saw wire is made of various diameters by providing an outer surface of the saw wire having a plurality of circumferential grooves. Although this solution provides better cutting material accompaniment, changing the exterior is a cumbersome problem that generally takes a lot of time and effort.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 절삭재의 공급능력을 향상시키고 절삭시 발생되는 절산분을 빠르게 배출하며, 피절단체 표면의 질적 저하 없이 빠른 속도로 절삭가능하도록 한 소우 와이어를 제공함을 그 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the above problems, to provide a sawing wire to improve the supply capacity of the cutting material, to quickly discharge the cutting acid generated during cutting, and to be able to cut at a high speed without reducing the quality of the surface of the cut body. For that purpose.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 따른 소우 와이어는, 와이어에 연속적인 크림프가 형성된 크림프와이어로서, 상기 크림프와이어의 길이방향에 대하여 수직한 방향으로 절단한 절단면을 상기 크림프와이어의 길이방향으로 보았을 때, 상기 연속적인 크림프를 구성하는 단위크림프는 상기 크림프와이어의 길이방향으로 진행시 일방향으로 회전하도록 형성된 것을 특징으로 한다.Saw wire according to the present invention for solving the above problems is a crimp wire with a continuous crimp formed on the wire, the cutting surface cut in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the crimp wire in the longitudinal direction of the crimp wire When viewed, the unit crimp constituting the continuous crimp is characterized in that it is formed to rotate in one direction when running in the longitudinal direction of the crimp wire.

또한, 크림프가 형성되기 전의 와이어의 절단면에 수직한 적어도 하나의 평면에 상기 단위크림프가 형성되며, 상기 각 평면 방향으로 형성된 상기 단위크림프의 수를 n(n은 자연수), 상기 단위크림프가 연속적으로 형성된 상기 크림프와이어를 꼬았을 때, 그 길이방향으로 상기 단위크림프가 1회전 할 때까지 상기 크림프와이어의 진행거리인 나선형의 피치를 Pcs, 상기 각 평면상의 단위크림프의 평균피치를 Pc, 크림프를 형성하기 전의 와이어의 직경을 d라 할 때, Pcs = 200(n/Pc) ~ 400(n/Pc) 이고, Pc = 5×n×d ~ 15×n×d 인 관계에 있는 것이 바람직하다. In addition, the unit crimp is formed in at least one plane perpendicular to the cut surface of the wire before the crimp is formed, n (n is a natural number) of the unit crimps formed in each of the planar direction, the unit crimp is continuously When twisting the formed crimp wire, Pcs is the pitch of the spiral, which is the traveling distance of the crimp wire, until the unit crimp is rotated by one in the longitudinal direction, and the average pitch of the unit crimps on each plane is Pc. When the diameter of the wire before the following is d, it is preferable that it is Pcs = 200 (n / Pc) -400 (n / Pc), and Pc = 5xnxd-15xnxd.

또한, 상기 크림프와이어의 중심으로부터 상기 크림프와이어의 최외측을 반경으로 하는 외접경을 측정하였을 때, 상기 외접경의 편차는 ±10㎛ 이하인 것이 바람직하다. Moreover, when the external diameter which makes the outermost side of the crimp wire the radius from the center of the crimp wire is measured, it is preferable that the deviation of the external diameter is ± 10 µm or less.

또한, 상기 크림프와이어의 한 쪽 끝을 권취된 릴에 고정시키고, 나머지 한 쪽 끝을 자유로운 상태로 놓았을 때, 상기 단위 크림프가 회전하는 방향에 대하여 상기 크림프와이어가 상기 회전방향의 반대 방향으로 회전하는 자전성이 1회/1m 이상인 것이 바람직하다. Further, when one end of the crimp wire is fixed to the wound reel, and the other end is placed in a free state, the crimp wire rotates in a direction opposite to the rotation direction with respect to the direction in which the unit crimp rotates. It is preferable that the rotating property to be said is once / 1 m or more.

본 발명에 따른 소우 와이어는, 절삭재의 공급능력을 향상시키고 절삭시 발생되는 절산분을 빠르게 배출하며, 피절단체 표면의 질적 저하 없이 빠른 속도로 절삭가능하다. The saw wire according to the present invention improves the supply capability of the cutting material, quickly discharges the cutting powder generated during cutting, and can be cut at a high speed without degrading the surface of the cut surface.

도1은 본 발명 일 실시예에 따른 소우 와이어의 개략적인 평면도,
도2 내지 도6은 도1의 특정구간의 단면을 개략적으로 도시한 도면,
도7은 도1의 소우 와이어를 길이방향으로 보았을 때의 도면,
도8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 소우 와이어에 있어서, 단위크림프의 형성모양을 개략적으로 도시한 도면이다. 1 is a schematic plan view of a saw wire according to an embodiment of the present invention;
2 to 6 schematically illustrate a cross section of a specific section of FIG.
7 is a view when the saw wire of FIG. 1 is viewed in the longitudinal direction;
8 is a view schematically showing a shape of a unit crimp in the saw wire according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 와이어 소우 머신에 사용되는 소우 와이어에 관한 것으로, 반도체, 세라믹, 초경합금 등의 경질 재료의 절단 및 슬라이스용으로 이용된다. The present invention relates to a saw wire used in a wire saw machine, and is used for cutting and slicing hard materials such as semiconductors, ceramics, cemented carbides, and the like.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 소우 와이어는, 와이어에 연속적인 크림프(Crimp)를 형성한 크림프와이어로서, 상기 크림프와이어의 길이방향에 대하여 수직한 방향으로 절단한 절단면을 상기 크림프와이어의 길이방향으로 보았을 때, 상기 연속적인 크림프를 구성하는 단위 크림프는 상기 크림프와이어의 길이방향으로 진행시 일방향으로 회전하도록 형성된다. 즉, 상기 크림프는 상기 크림프와이어의 길이방향을 따라 나선형의 궤적을 그린다. The saw wire according to the present invention is a crimp wire in which a continuous crimp is formed on a wire. When the cut surface cut in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the crimp wire is viewed in the longitudinal direction of the crimp wire, The unit crimp constituting the continuous crimp is formed to rotate in one direction when running in the longitudinal direction of the crimp wire. That is, the crimp draws a spiral trajectory along the longitudinal direction of the crimp wire.

즉, 본 발명의 주요한 특징 중의 하나는 와이어에 연속적으로 크림프를 형성하되, 연속적인 크림프를 구성하는 단위크림프가 회전하는 것이다. 상기 연속적인 크림프는 크림프가 형성되기 전의 와이어의 절단면에 수직한 평면에 대하여 형성되며, 크림프가 형성된 크림프와이어가 꼬임으로써 상기 단위크림프가 나선형을 그리며 회전하게 된다. That is, one of the main features of the present invention is to form a crimp continuously in the wire, the unit crimp constituting the continuous crimp is rotated. The continuous crimp is formed with respect to a plane perpendicular to the cut surface of the wire before the crimp is formed, and the unit crimps are spirally rotated by twisting the crimp wire formed with crimps.

상기 단위크림프는 크림프가 형성되기 전의 와이어의 절단면에 수직한 적어도 하나의 평면에 형성된다. 따라서, 크림프가 형성되기 전의 와이어에는 복수의 단위크림프가 형성될 수도 있다. The unit crimp is formed in at least one plane perpendicular to the cut surface of the wire before the crimp is formed. Therefore, a plurality of unit crimps may be formed on the wire before the crimp is formed.

도1은 본 발명 일 실시예에 따른 소우 와이어의 개략적인 평면도이고, 도2 내지 도6은 도1의 특정구간의 단면을 개략적으로 도시한 도면이며, 도7은 도1의 소우 와이어를 길이방향으로 보았을 때의 도면이다. 1 is a schematic plan view of a saw wire according to an embodiment of the present invention, Figures 2 to 6 are schematic views showing a cross section of a specific section of Figure 1, Figure 7 is a longitudinal direction of the saw wire of Figure 1 It is a figure when it sees with a.

특히, 상기 도1은 크림프가 형성되기 전의 와이어의 절단면에 수직한 하나의 방향에 단위크림프(10)를 연속적으로 형성하고, 이러한 크림프와이어를 꼬았을 때의 모습을 개략적으로 도시한 것이다.In particular, FIG. 1 schematically illustrates a state in which the unit crimp 10 is continuously formed in one direction perpendicular to the cut plane of the wire before the crimp is formed, and the crimp wire is twisted.

도2 내지 도6을 참조하여, 상기 단위크림프(10)가 일방향으로 회전하는 구성을 구체적으로 설명한다. 2 to 6, a configuration in which the unit crimp 10 rotates in one direction will be described in detail.

도2는 도1의 L1 구간에서 단위크림프(10)의 배치를 도시한 것이다. 구체적으로, 도2는 상기 크림프와이어의 길이방향(P1 지점 측에서 P2 지점 측으로 바라봄)으로 상기 단위크림프(10)를 바라보았을 때의 모양을 도시한 것이다. P1 지점으로부터 P2 지점까지의 단위크림프는 수평방향으로 배치된다. FIG. 2 illustrates the arrangement of the unit crimp 10 in the L1 section of FIG. 1. Specifically, Figure 2 shows the shape when looking at the unit crimp 10 in the longitudinal direction (looking from the P1 point side to the P2 point side) of the crimp wire. The unit crimps from the point P1 to the point P2 are arranged in the horizontal direction.

도3은 도1의 L2 구간에서 단위크림프(10)의 배치를 도시한 것이다. 도3은 상기 크림프와이어의 길이방향(P3 지점 측에서 P4 지점 측으로 바라봄)으로 단위크림프(10)를 바라보았을 때의 모양을 도시한 것이다. P3 지점으로부터 P4 지점까지의 단위크림프(10)는 도2의 단위크림프(10)에 비하여 반시계 방향으로 회전하여 비스듬이 배치된다. 본 실시예에서 L2 구간의 단위크림프(10)는 L1 구간의 단위크림프(10)보다 45도 각도로 회전되어 있다. FIG. 3 illustrates the arrangement of the unit crimp 10 in the section L2 of FIG. 1. FIG. 3 shows the shape when the unit crimp 10 is viewed in the longitudinal direction of the crimp wire (looking from the point P3 to the point P4). The unit crimp 10 from the point P3 to the point P4 is rotated counterclockwise relative to the unit crimp 10 of FIG. In the present embodiment, the unit crimp 10 of the L2 section is rotated at an angle of 45 degrees than the unit crimp 10 of the L1 section.

도4는 도1의 L3 구간에서 단위크림프(10)의 배치를 도시한 것이다. 도4는 상기 크림프와이어의 길이방향(P5 지점 측에서 P6 지점 측으로 바라봄)으로 단위크림프(10)를 바라보았을 때의 모양을 도시한 것이다. P5 지점으로부터 P4 지점까지의 단위크림프(10)는 도3의 단위크림프(10) 대하여 더 반시계 방향으로 회전되어 수직으로 배치된다. 본 실시예에서 L3 구간의 단위크림프(10)는 L2 구간의 단위크림프(10)보다 45도 각도 더 회전되어 있다. 4 illustrates the arrangement of the unit crimp 10 in the section L3 of FIG. 1. FIG. 4 shows the shape when the unit crimp 10 is viewed in the longitudinal direction of the crimp wire (viewed from the P5 point side to the P6 point side). The unit crimp 10 from the point P5 to the point P4 is rotated more counterclockwise with respect to the unit crimp 10 of FIG. 3 and disposed vertically. In the present embodiment, the unit crimp 10 in the L3 section is rotated 45 degrees more than the unit crimp 10 in the L2 section.

도5는 도1이 L4 구간에서 단위크림프(10)의 배치를 도시한 것이다. 도5는 P7 지점 측에서 P8 지점 측으로 상기 크림프프와이어의 길이방향으로 단위크림프(10)를 보았을 때의 모양을 도시한 것이다. L4 구간의 단위크림프(10)는 L3 구간의 단위크림프(10)보다 반시계 방향으로 더 회전되어 비스듬이 배치되다. 본 실시예에서, L4 구간의 단위크림프(10)는 L3 구간의 단위크림프(10)보다 45도 각도 더 회전된다. 5 illustrates the arrangement of the unit crimp 10 in the section L4. FIG. 5 shows the shape when the unit crimp 10 is viewed in the longitudinal direction of the crimp wire from the point P7 to the point P8. The unit crimp 10 of the L4 section is further rotated counterclockwise than the unit crimp 10 of the L3 section so that the oblique is arranged. In the present embodiment, the unit crimp 10 in the L4 section is rotated 45 degrees more than the unit crimp 10 in the L3 section.

도6는 도1이 L5 구간에서 단위크림프(10)의 배치를 도시한 것이다. 도6은 P9 지점 측에서 P10 지점 측으로 상기 크림프프와이어의 길이방향으로 단위크림프(10)를 보았을 때의 모양을 도시한 것이다. L5 구간의 단위크림프(10)는 L4 구간의 단위크림프(10)보다 반시계 방향으로 더 회전되어 다시 수평으로 배치되다. 본 실시예에서, L5 구간의 단위크림프(10)는 L4 구간의 단위크림프(10)보다 45도 각도 더 회전된다.Figure 6 shows the arrangement of the unit crimp 10 in the section L5. FIG. 6 shows the shape when the unit crimp 10 is seen in the longitudinal direction of the crimp wire from the P9 point side to the P10 point side. The unit crimp 10 of the L5 section is further rotated counterclockwise than the unit crimp 10 of the L4 section and is horizontally disposed again. In the present embodiment, the unit crimp 10 of the L5 section is rotated 45 degrees more than the unit crimp 10 of the L4 section.

상기 도2 내지 도6은 단위크림프(10)가 1회전 할 때의 피치(Pcs)의 반 만큼 회전했을 때까지의 과정을 도시하고 있다. 또한, 도2 내지 도6은 특정구간에서의 개략적인 단면을 도시한 것이며, 실제적으로 단위크림프(10)는 연속적으로 와이어절단면에 대하여 회전한다. 2 to 6 show a process until the unit crimp 10 is rotated by half of the pitch Pcs at the time of one rotation. 2 to 6 show a schematic cross section in a specific section, in practice, the unit crimp 10 rotates continuously with respect to the wire cutting surface.

즉, 본 발명에 따른 소우 와이어(100)에 형성된 단위크림프(10)는 그 절단면을 기준으로 원주방향을 따라 회전하도록 형성되고, 그 길이방향을 따라서는 나선형을 그리며 형성된다. 도7은 도2 내지 도5를 함께 도시한 것으로서, 크림프와이어를 길이방향으로 보았을 때, 단위크림프(10)가 형성된 모양을 도시한 것이다. That is, the unit crimp 10 formed in the saw wire 100 according to the present invention is formed to rotate in the circumferential direction with respect to the cut surface, and is formed spirally along the longitudinal direction. FIG. 7 is a view illustrating FIGS. 2 to 5 together, which show the shape of the unit crimp 10 when the crimp wire is viewed in the longitudinal direction.

본 발명에 따른 소우 와이어는, 크림프가 형성되기 전의 와이어의 절단면에 수직한 적어도 하나의 평면에 상기 단위크림프가 형성되며, 상기 각 평면 방향으로 형성된 상기 단위크림프의 수를 n(n은 자연수)이라 하고, 상기 단위크림프가 연속적으로 형성된 상기 크림프와이어를 꼬았을 때 그 길이방향으로 상기 단위크림프가 1회전 할 때까지 상기 크림프와이어의 진행거리인 나선형의 피치를 Pcs라 하며, 상기 각 평면상의 단위크림프의 평균피치를 Pc라 하고, 크림프를 형성하기 전의 와이어의 직경을 d라 할 때, 다음과 같은 관계가 성립한다. In the saw wire according to the present invention, the unit crimp is formed in at least one plane perpendicular to the cutting plane of the wire before the crimp is formed, and the number of the unit crimps formed in the respective plane directions is n (n is a natural number). When the crimp wire is continuously formed with the unit crimp twisted, the spiral pitch, which is the traveling distance of the crimp wire until the unit crimp is rotated once in the longitudinal direction, is referred to as Pcs. When the average pitch of is Pc and the diameter of the wire before forming the crimp is d, the following relationship is established.

Pcs = 200(n/Pc) ~ 400(n/Pc) 이고, Pcs = 200 (n / Pc) to 400 (n / Pc),

Pc = 5×n×d ~ 15×n×d Pc = 5 × n × d to 15 × n × d

인 관계에 있다.Are in a relationship.

다시 도1을 참조하면, 본 발명 일 실시예에 따른 소우 와이어(100)는, 단위크림프(10)가 크림프가 형성되지 않은 와이어(200)의 절단면에 수직한 하나의 평면에 대하여 단위크림프(10)가 형성된 예를 도시한 것이다. 따라서, 상기 관계식에서 n=1인 경우를 도시한 것이다. Referring back to FIG. 1, the saw wire 100 according to an exemplary embodiment of the present invention includes a unit crimp 10 with respect to one plane in which the unit crimp 10 is perpendicular to the cut surface of the wire 200 in which no crimp is formed. Shows an example in which) is formed. Accordingly, n = 1 is shown in the above relation.

한편, 도8은 단위크림프의 수가 다른 실시예를 도시한다. 도8의 소우와이어(300)는 단위크림프의 수가 2인 경우를 도시한다. 즉, 도8은 단위크림프(30,40)를 서로 다른 평면에 대하여 연속적으로 형성한 것을 도시한 것이다. 8 illustrates an embodiment in which the number of unit crimps is different. The saw wire 300 of FIG. 8 shows the case where the number of unit crimps is two. That is, FIG. 8 illustrates that the unit crimps 30 and 40 are continuously formed in different planes.

구체적으로, 단위크림프(30)은 X축 방향으로 형성되고, 다른 단위크림프(40)은 Y축 방향으로 형성된다. 다만 설명의 편의를 위해서 단위크림프(30,40)가 회전되지 않은 상태로 도시하였다. 도8과 같이 두 평면에 대하여 크림프가 형성된 크림프와이어가 꼬여짐으로써, 상기 단위크림프(30) 및 또 다른 단위크림프(40)은 상술한 도7과 같이 회전하는 형태가 된다. Specifically, the unit crimp 30 is formed in the X-axis direction, the other unit crimp 40 is formed in the Y-axis direction. However, the unit crimps 30 and 40 are not rotated for convenience of description. As shown in FIG. 8, the crimp wires formed with crimps are twisted about two planes, such that the unit crimp 30 and the other unit crimp 40 are rotated as shown in FIG. 7.

또한, 도8에 도시된 단위크림프(30,40)의 피치는 동일하게 형성된 것을 도시한다. 따라서 도8 실시예에 따른 소우와이어(300)에 있어서, X축 방향으로의 단위크림프(30)의 피치와 Y축 방향으로의 단위크림프(40)의 피치가 동일하므로, 상기 평균피치(Pc)는 X축 방향으로의 단위크림프(30)의 피치 또는 Y축 방향으로의 단위크림프(40)의 피치와 같다. 물론, 상기 단위크림프(30) 및 다른 단위크림프(40)의 피치는 서로 다르게 형성될 수 있다. 그렇다 하더라고, X축 방향으로의 단위크림프(30)의 피치와 Y축 방향으로의 단위크림프(40)의 피치의 평균피치(Pc)는 상술한 관계식인 5×n×d ~ 15×n×d 의 범위 내에 존재한다.In addition, the pitch of the unit crimps (30, 40) shown in Figure 8 shows that the same formed. Therefore, in the saw wire 300 according to the embodiment of FIG. 8, since the pitch of the unit crimp 30 in the X-axis direction and the pitch of the unit crimp 40 in the Y-axis direction are the same, the average pitch Pc Is equal to the pitch of the unit crimp 30 in the X-axis direction or the pitch of the unit crimp 40 in the Y-axis direction. Of course, the pitch of the unit crimp 30 and the other unit crimp 40 may be formed differently. Even so, the average pitch Pc of the pitch of the unit crimp 30 in the X-axis direction and the pitch of the unit crimp 40 in the Y-axis direction is 5 × n × d to 15 × n × d, which is the above-described relational expression. It exists in the range of.

다시 상술한 관계식을 참조하면, 크림프의 나선형의 피치(Pcs)는, 크림프를 형성하기 전의 와이어(200)에 상기 단위크림프를 그 절단면에 수직한 평면에 형성할 때, 상기 단위크림프의 원주방향으로의 수(n)를 크림프와이어 길이방향으로의 단위크림프의 평균피치(Pc)로 나눈 값의 200 ~ 400배로 이루어진다. 이와 같은 관계를 만족하도록 크림프를 형성할 때, 절단된 절단물의 표면이 열화되지 않는다.Referring again to the above-described relation, the spiral pitch Pcs of the crimp is formed in the circumferential direction of the unit crimp when the unit crimp is formed on the wire 200 before forming the crimp in a plane perpendicular to the cut surface thereof. The number n is 200 to 400 times the value obtained by dividing the average pitch Pc of the unit crimp in the longitudinal direction of the crimp wire. When the crimp is formed to satisfy this relationship, the surface of the cut cut is not degraded.

한편, 크림프의 나선형의 피치(Pcs)가, 상기 단위크림프의 원주방향으로의 수(n)를 크림프와이어 길이방향으로의 단위크림프의 평균피치(Pc)로 나눈 값의 200배 미만인 경우에는 절삭재의 공급능력과 절삭분의 배출능력의 향상을 기대할 수 없으며, 크림프와이어를 제조하는데 시간이 오래 걸리고, 크림프와이어의 제조시 과도한 가공에 의해 단선이 발생될 가능성이 높아지는 문제가 있다.On the other hand, if the spiral pitch Pcs of the crimp is less than 200 times the value obtained by dividing the number n in the circumferential direction of the unit crimp by the average pitch Pc of the unit crimp in the longitudinal direction of the crimp wire, Improving the supply capacity and the discharge capacity of the cutting powder can not be expected, it takes a long time to manufacture the crimp wire, there is a problem that the disconnection is likely to occur due to excessive processing during the manufacture of the crimp wire.

또한, 크림프의 나선형의 피치(Pcs)가 상기 단위크림프의 원주방향으로의 수(n)를 크림프와이어 길이방향으로의 단위크림프의 평균피치(Pc)로 나눈 값의 400배를 초과하는 경우에는 절삭재의 공급능력과 절삭분의 배출능력이 현저히 저하될 뿐만 아니라, 절단물의 표면에 소우 마크 등이 발생되어 품질 저하가 발생되는 문제가 있다. In addition, when the spiral pitch Pcs of the crimp exceeds 400 times the value obtained by dividing the number n in the circumferential direction of the unit crimp by the average pitch Pc of the unit crimp in the longitudinal direction of the crimp wire. Not only the supply capacity of the ash and the discharge capacity of the cutting powder are remarkably lowered, but also a sow mark is generated on the surface of the cut, resulting in a problem of deterioration in quality.

본 발명에 따른 소우 와이어는, 상기 크림프와이어의 중심으로부터 상기 크림프와이어의 최외측을 반경으로 하는 외접경(D)을 측정하였을 때, 상기 외접경(D)의 편차는 ±10㎛ 이하이다.In the saw wire which concerns on this invention, when the outer diameter (D) which makes the outermost side of the crimp wire the radius from the center of the crimp wire was measured, the deviation of the outer diameter (D) is ± 10 micrometer or less.

외접경(D)의 편차는 10mm 지름의 판을 갖는 마이크로 메타로 측정가능하다. 외접경(D)의 편차가 ±10㎛ 이하일 때 절단물의 표면이 열화되지 않는다. 외접경(D)의 편차가 ±10㎛를 초과하는 경우에 절단속도는 증가될 수 있으나 절단물의 표면이 열화되는 문제가 발생된다. 따라서, 절단물의 표면의 열화를 방지하면서 절단능력을 개선할 수 있는 최적의 범위인 것이다. The deviation of the external diameter D can be measured by micro meta with a plate of 10 mm diameter. When the deviation of the external diameter D is ± 10 µm or less, the surface of the cutout does not deteriorate. When the deviation of the external diameter D exceeds ± 10 μm, the cutting speed may be increased, but the surface of the cut may be deteriorated. Therefore, it is an optimal range that can improve the cutting ability while preventing the surface of the cut.

본 발명 실시예에 따른 소우 와이어는, 상기 크림프와이어의 한 쪽 끝을 권취된 릴에 고정시키고, 나머지 한 쪽 끝을 자유로운 상태로 놓았을 때, 상기 단위 크림프가 회전하는 방향에 대하여 상기 크림프와이어가 상기 회전방향의 반대 방향으로 회전하는 자전성이 1회/1m 이상이 되도록 형성된다. In the saw wire according to the embodiment of the present invention, when one end of the crimp wire is fixed to the wound reel and the other end is set free, the crimp wire is rotated in a direction in which the unit crimp is rotated. It is formed so that the rotational property which rotates in the opposite direction to the said rotation direction becomes 1 time / 1m or more.

본 발명에 따른 소우 와이어는 자전성이 부여됨으로써, 절단능력과 표면 품질을 향상시킨다. 1m 길이에 대해 1회 이상의 자전성을 부여할 경우 슬라이싱 진행 중에 소우 와이어가 회전하게 되므로 소우 와이어의 전체 원주면을 사용하여 절단이 가능하다. The saw wire according to the present invention is provided with a magnetism, thereby improving cutting ability and surface quality. If one or more magnetisms are given for a length of 1m, the saw wire is rotated during the slicing process, and thus cutting is possible using the entire circumferential surface of the saw wire.

따라서 소우 와이어의 편마모 현상이 줄어들 뿐만 아니라, 절삭액의 공급과 절산분의 배출 능력이 향상된다. 결과적으로, 절단능력이 향상되고 절단물의 표면 품질로 향상된다. 자전성이 1m 당 1회 미만인 경우에는 자선성의 효과가 미미하므로, 자전성은 1회/1m 이상으로 하는 것이 바람직하다.Accordingly, the wear wire of the saw wire is not only reduced, but the cutting fluid is supplied and the cutting power of the cutting powder is improved. As a result, the cutting capacity is improved and the surface quality of the cut is improved. When the magnetism is less than once per 1m, the effect of the charity is insignificant. Therefore, it is preferable that the magnetism is at least once / m.

이하, 상기 구성에 따른 본 발명 실시예의 효과를 아래 비교실험결과 데이터에 근거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the effect of the embodiment of the present invention according to the above configuration will be described in detail based on the comparative experiment result data below.

먼저, 본 발명 구성에 따른 와이어는 발명예1 내지 5로 구별하여 실험하였다. 본 발명예1 내지 5에 사용된 와이어 직경은 250㎛ 이다. 아래 표에서와 같이 크림프의 나선형의 피치(Pcs)를 변경하고, 상기 단위크림프의 원주방향으로의 수(n)는 1 내지 3개를 채택하고, 자전성은 부여하지 않은 경우와 2회/m 인 경우로 구별하였다.First, the wire according to the configuration of the present invention was tested by distinguishing the invention examples 1 to 5. The wire diameters used in Examples 1 to 5 of the present invention are 250 μm. As shown in the table below, the spiral pitch (Pcs) of the crimp is changed, and the number n of the unit crimp in the circumferential direction is 1 to 3, and is twice / m when the magnetism is not given. Case was distinguished.

한편 상기 발명예들과 구별하여 비교예1 내지 3은 상기 발명예와 동일한 직경을 갖는 와이어를 사용하고, 크림프가 없는 경우와, 크림프가 있으나 하나 또는 두개의 평면에 나선형의 피치를 가지지 않고 형성된 경우를 실험하였다. 즉, 비교예1은 크림프가 없는 경우, 비교예2는 크림프가 하나의 평면에 형성된 경우, 비교예3은 크림프가 두 개 형성되되 상기 크림프가 나선형으로 형성되지 않고(하기 표에서 ∞로 표기) 평면 상에 형성된 경우이다. 비교예3의 크림프의 피치 4.25는 두 개의 크림프의 피치의 평균값이다.On the other hand, in contrast to the invention examples Comparative Examples 1 to 3 using a wire having the same diameter as the invention example, there is no crimp, and when there is a crimp but is formed without a spiral pitch in one or two planes Was tested. That is, in Comparative Example 1 when there is no crimp, in Comparative Example 2 when the crimp is formed in one plane, in Comparative Example 3, two crimps are formed, but the crimps are not formed in a spiral shape (indicated by ∞ in the following table). When formed on a plane. The pitch 4.25 of the crimp of the comparative example 3 is an average value of the pitch of two crimps.

상기와 같이 제조된 8종의 와이어를 사용해 650mm x 650mm x 250mm의 다결정 실리콘 잉곳을 156mm x 156mm의 16개의 실리콘 브릭(brick)으로 절단하여 절단된 brick의 외관 특성을 비교하였다.Using eight kinds of wires prepared as described above, 650 mm x 650 mm x 250 mm polycrystalline silicon ingots were cut into 16 silicon bricks of 156 mm x 156 mm to compare the appearance characteristics of the cut bricks.

이때 사용된 작업 조건은, 와이어의 공급 속도가 12m/sec, 실리콘 잉곳의 절단 속도는 800㎛/min을 기준으로 작업하였으며, 절단성능을 비교하기 위해 마지막 잉곳의 절단 시에 실리콘 잉곳을 통과하는 소우 와이어가 휨이 15mm일 때의 절단 속도를 측정하여 최대의 절단 속도로 기록하였다. 측정된 결과에 대해서 아래 표와 같다. The working conditions used were 12m / sec wire feed rate, and the cutting speed of silicon ingot was 800 µm / min, and the sawing passed through the silicon ingot during the cutting of the last ingot to compare the cutting performance. The cutting speed when the wire was 15 mm in deflection was measured and recorded at the maximum cutting speed. The measured results are shown in the table below.

[표1]Table 1

상기의 표1에 나타난 바와 같이 본 발명의 발명예1 내지 5가 비교예 1 내지 3에 비해 실리콘 잉곳을 절단 시에 Brick의 불량 발생 비율이 현저하게 줄어든 것을 알 수 있었다. 이것은 나선피치에 의해 균일한 절삭이 이루어지기 때문이다.As shown in Table 1, Examples 1 to 5 of the present invention was found to significantly reduce the defective rate of the brick when cutting the silicon ingot compared to Comparative Examples 1 to 3. This is because uniform cutting is achieved by the spiral pitch.

또한 최대 절단 속도에서도 본 발명의 발명예들이 비교예들에 비해 빠르게 나타나며, 특히 발명예2와 비교예2의 실험결과에서 보듯이 나선피치가 있는 경우에 최대절단속도가 빠르고 불량 발생비율도 현저히 낮은 것을 알 수 있다.In addition, even at the maximum cutting speed, the inventive examples are faster than the comparative examples. Especially when there is a spiral pitch as shown in the experimental results of Inventive Example 2 and Comparative Example 2. It can be seen that the maximum cutting speed is fast and the failure rate is significantly low.

따라서, 본 발명에서와 같이 와이어에 길이 방향으로 적절하게 나선형 피치를 갖는 크림프를 부여하는 것에 의해 절단 속도와 절단된 brick의 품질을 현저하게 향상시키는 개선 효과를 나타냄을 알 수 있고, 거기에 더하여 자전성을 부여 하면 절단 속도와 절단된 brick의 품질을 더욱 개선되는 것을 알 수 있다.Therefore, it can be seen that by giving a crimp having a spiral pitch appropriately in the longitudinal direction to the wire as in the present invention, the improvement effect of remarkably improving the cutting speed and the quality of the cut bricks is exhibited. It can be seen that the addition of malleability further improves the cutting speed and the quality of the cut brick.

이처럼, 본 발명에 의하면 길이 방향에 대해 크림프를 나선형 피치를 부여하하고, 균일한 외접경을 갖도록 함으로써, 절삭용 입자가 와이어와 피절단물의 접촉부로 확실하게 공급되고, 절단시에 발생한 절삭분의 배출이 좋아지며, 피절단물과 접촉되는 와이어의 외접경이 균일해진 결과로 소우 와이어의 절단 능력이 향상되고 절단된 brick의 품질을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, the crimp is provided in the longitudinal direction to have a uniform outer diameter, so that the cutting particles are reliably supplied to the contact portion between the wire and the cutting object, As a result of better discharge, the outer diameter of the wire in contact with the cutting object becomes uniform, the cutting ability of the saw wire is improved, and the quality of the cut brick can be improved.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 범주를 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 많은 변형이 제공될 수 있다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, and many modifications may be made without departing from the scope of the present invention.

10... 단위크림프
20... 크림프 형성 전의 와이어의 중심
200... 크림프 형성 전의 와이어
d.. 크림프 형성 전의 와이어의 직경
D... 외접경10 ... unit cream
20 ... Center of wire before crimp formation
200 ... wire before crimp formation
d .. Diameter of the wire before crimp formation
D ... circumference

Claims

Crimp wire with a continuous crimp formed on the wire,
When the cut surface cut in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the crimp wire in the longitudinal direction of the crimp wire, the unit crimp constituting the continuous crimp is formed to rotate in one direction when proceeding in the longitudinal direction of the crimp wire Saw wire, characterized in that.

The method of claim 1,
Wherein the unit crimp is formed in at least one plane perpendicular to the cutting plane of the wire before the crimp is formed, n (n is a natural number),
When twisting the crimp wire in which the unit crimps are continuously formed, the pitch of the spiral which is the traveling distance of the crimp wire until the unit crimp is rotated one direction in the longitudinal direction is Pcs,
Pc, the average pitch of the unit crimp on each plane
When d is the diameter of the wire before forming the crimp,
Pcs = 200 (n / Pc) to 400 (n / Pc),
Pc = 5 × n × d to 15 × n × d
A saw wire characterized by being in a relationship.

The method of claim 1,
Saw wire, characterized in that the deviation of the circumference is less than ± 10㎛ when the outer diameter of the crimp wire from the center of the crimp wire to the outermost diameter of the crimp wire is measured.

The method according to claim 1 or 3,
When one end of the crimp wire is fixed to the wound reel, and the other end is placed in a free state, the crimp wire rotates in a direction opposite to the rotation direction with respect to the direction in which the unit crimp is rotated Saw wire, characterized in that the malleability is at least 1 m / 1 m.