KR20130040071A - Semiconductor stack package apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 스택 패키지 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 패키지 위에 패키지가 적층되는 POP(Package On Package) 타입의 반도체 스택 패키지 장치에서 발생되는 열을 외기로 쉽게 방출할 수 있게 하는 반도체 스택 패키지 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor stack package device, and more particularly, to a semiconductor stack package device for easily dissipating heat generated from a package on package (POP) type semiconductor stack package device in which packages are stacked on a package to the outside air. It is about.
일반적으로 반도체 패키지 장치는, 리드프레임이나 인쇄회로기판 등의 부재 표면에 적어도 하나 이상의 반도체 칩을 다이 본딩(Die Bonding)하고, 리드프레임의 리드나 인쇄회로기판의 단자들을 상기 반도체 칩들과 전기적으로 연결시키기 위하여 와이어 본딩(Wire Bonding)이나 솔더링(soldering)한 후, 상기 반도체 칩을 절연성 봉지재로 덮어 밀봉하는 공정들을 통해 완성된다. 또한, 이러한 반도체 패키지 장치의 크기를 줄이는 기술로서, 패키지 위에 패키지가 적층되는 패키지 온 패키지(Package On Package; POP) 기술, 복수개의 개별 반도체 칩들을 원 칩(One chip)화 하는 시스템 온 칩(System On Chip; SOC) 기술, 복수개의 기능을 담당하는 반도체 칩들(예를 들어서, 메모리 칩과 콘트롤 칩)을 하나의 패키지로 집적하는 시스템 인 패키지(System in Package) 기술 등이 알려져 있다. In general, a semiconductor package device may die bond at least one semiconductor chip to a surface of a member such as a lead frame or a printed circuit board, and electrically connect the terminals of the lead or the printed circuit board of the lead frame to the semiconductor chips. After wire bonding or soldering, the semiconductor chip is covered with an insulating encapsulant and sealed. In addition, as a technology for reducing the size of such a semiconductor package device, a package on package (POP) technology in which a package is stacked on a package, and a system on chip that makes a plurality of individual semiconductor chips into one chip On chip (SOC) technology, a system in package technology for integrating a plurality of semiconductor chips (for example, a memory chip and a control chip) that performs a plurality of functions into one package is known.
본 발명의 사상은, 제 1 반도체 패키지의 상면에 방열부재를 설치하여 반도체 칩에서 발생되는 열을 외기로 쉽게 방출할 수 있고, 전자파를 차단할 수 있게 하는 반도체 스택 패키지 장치를 제공함에 있다.It is an object of the present invention to provide a semiconductor stack package apparatus in which a heat dissipation member is provided on an upper surface of a first semiconductor package so that heat generated from a semiconductor chip can be easily discharged to the outside, and electromagnetic waves can be blocked.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 반도체 스택 패키지 장치는, 적어도 하나의 제 1 반도체 칩; 상기 제 1 반도체 칩을 지지하고, 하면에 조인터가 설치되는 제 1 기판; 상기 제 1 반도체 칩과 상기 제 1 기판을 전기적으로 연결하는 제 1 신호전달매체; 및 상기 제 1 반도체 칩과 제 1 신호전달매체를 둘러싸서 보호하는 제 1 봉지재;를 포함하는 제 1 반도체 패키지; 적어도 하나의 제 2 반도체 칩; 상기 제 2 반도체 칩을 지지하고, 상면에 상기 조인터와 연결되는 조인터 랜드가 설치되고, 하면에 단자가 설치되는 제 2 기판; 상기 제 2 반도체 칩과 상기 제 2 기판을 전기적으로 연결하는 제 2 신호전달매체; 및 상기 제 2 반도체 칩과 제 2 신호전달매체를 둘러싸서 보호하는 제 2 봉지재;를 포함하는 제 2 반도체 패키지; 및 상기 제 1 반도체 패키지 및 상기 제 2 반도체 패키지에서 발생되는 열을 외기로 방출시킬 수 있도록 상기 제 1 반도체 패키지의 상면에 설치되는 제 1 방열부재;를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a semiconductor stack package apparatus including at least one first semiconductor chip; A first substrate supporting the first semiconductor chip and having a jointer disposed on a bottom surface thereof; A first signal transmission medium electrically connecting the first semiconductor chip and the first substrate; And a first encapsulation material surrounding and protecting the first semiconductor chip and the first signal transmission medium. At least one second semiconductor chip; A second substrate supporting the second semiconductor chip, a joint land connected to the jointer on an upper surface thereof, and a terminal on a lower surface thereof; A second signal transmission medium electrically connecting the second semiconductor chip and the second substrate; And a second encapsulation material surrounding and protecting the second semiconductor chip and the second signal transmission medium. And a first heat dissipation member installed on an upper surface of the first semiconductor package to release heat generated from the first semiconductor package and the second semiconductor package to the outside.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 방열부재는, 상기 제 1 봉지재의 상면과 접촉되는 방열판일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first heat dissipation member may be a heat dissipation plate in contact with an upper surface of the first encapsulant.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 방열부재는, 상기 제 1 봉지재의 상면과 측면, 제 1 기판의 측면 및 상기 제 2 기판의 측면을 덮는 방열판일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first heat dissipation member may be a heat dissipation plate covering an upper surface and a side surface of the first encapsulant, a side surface of the first substrate, and a side surface of the second substrate.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 신호전달매체는 와이어이고, 상기 조인터는 제 1 솔더볼이며, 상기 단자는 제 2 솔더볼이고, 상기 제 2 신호전달매체는 범프일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first signal transmission medium may be a wire, the jointer may be a first solder ball, the terminal may be a second solder ball, and the second signal transmission medium may be a bump.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 신호전달매체는 와이어이고, 상기 조인터는 상기 제 2 봉지재를 관통하여 형성되는 관통 전극이며, 상기 단자는 솔더볼이고, 상기 제 2 신호전달매체는 범프일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first signal transmission medium is a wire, the jointer is a through electrode formed through the second encapsulant, the terminal is a solder ball, and the second signal transmission medium is It may be a bump.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 신호전달매체는 와이어이고, 상기 조인터는 상기 제 2 봉지재를 관통하여 형성되는 관통 전극이며, 상기 단자는 솔더볼이고, 상기 제 2 신호전달매체는 와이어일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first signal transmission medium is a wire, the jointer is a through electrode formed through the second encapsulant, the terminal is a solder ball, and the second signal transmission medium is It may be a wire.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 방열부재는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재의 상면과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부는, 상기 제 1 기판의 폭 이상의 폭을 갖는 상기 제 2 기판의 테두리 상면과 접촉되는 것일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first heat dissipation member is a heat dissipation plate, a part of which is in contact with the upper surface of the first encapsulation material, and a flange portion is provided at one end thereof, and the flange portion is greater than or equal to the width of the first substrate. It may be in contact with the upper surface of the edge of the second substrate having a width.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 방열부재는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재의 상면과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부는, 상기 제 1 기판의 폭 이상의 폭을 갖는 상기 제 2 봉지재와 접촉되는 것일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first heat dissipation member is a heat dissipation plate, a part of which is in contact with the upper surface of the first encapsulation material, and a flange portion is provided at one end thereof, and the flange portion is greater than or equal to the width of the first substrate. It may be in contact with the second encapsulant having a width.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 방열부재는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재의 상면과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부는, 상기 제 1 기판의 폭 이상의 폭을 갖는 상기 제 2 봉지재의 테두리부를 관통하여 상기 제 2 기판의 상면에 형성된 고정 랜드와 연결되는 관통 막대와 접촉되는 것일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first heat dissipation member is a heat dissipation plate, a part of which is in contact with the upper surface of the first encapsulation material, and a flange portion is provided at one end thereof, and the flange portion is greater than or equal to the width of the first substrate. It may be in contact with a through bar connected to the fixed land formed on the upper surface of the second substrate through the edge portion of the second encapsulant having a width.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 방열부재는, 상기 제 2 기판의 폭 이상의 폭을 갖는 상기 제 1 봉지재의 상면과 접촉되는 방열판일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first heat dissipation member may be a heat dissipation plate in contact with an upper surface of the first encapsulant having a width greater than or equal to the width of the second substrate.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 방열부재와, 제 1 반도체 패키지 또는 제 2 반도체 패키지 사이에 접착성을 갖는 열전달물질(Thermal Interface Material: TIM)이 설치되는 것일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, a heat transfer material (TIM) having an adhesive property may be installed between the first heat dissipation member and the first semiconductor package or the second semiconductor package.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 방열부재는, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이의 공기가 외기와 연결될 수 있도록 일측에 관통창이 형성되는 것일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first heat dissipation member may have a through window formed on one side such that air between the first substrate and the second substrate may be connected to the outside air.
또한, 본 발명의 사상에 따른 반도체 스택 패키지 장치는, 상기 제 2 반도체 패키지의 상면에 설치되고, 상기 제 1 방열부재와 열적으로 연결되는 제 2 방열부재;를 더 포함할 수 있다.The semiconductor stack package apparatus may further include a second heat dissipation member installed on an upper surface of the second semiconductor package and thermally connected to the first heat dissipation member.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 방열부재는, 상기 제 1 반도체 패키지 또는 제 2 반도체 패키지와 억지물림되는 체결부가 설치되는 것일 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first heat dissipation member may be provided with a fastening portion forcibly engaged with the first semiconductor package or the second semiconductor package.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 반도체 스택 패키지 장치는, 적어도 하나의 제 1 반도체 칩; 상기 제 1 반도체 칩을 지지하고, 하면에 조인터가 설치되는 제 1 기판; 상기 제 1 반도체 칩과 상기 제 1 기판을 전기적으로 연결하는 제 1 신호전달매체; 및 상기 제 1 반도체 칩과 제 1 신호전달매체를 둘러싸서 보호하는 제 1 봉지재;를 포함하는 제 1 반도체 패키지; 적어도 하나의 제 2 반도체 칩; 상기 제 2 반도체 칩을 지지하고, 상면에 상기 조인터와 연결되는 조인터 랜드가 설치되고, 하면에 단자가 설치되는 제 2 기판; 상기 제 2 반도체 칩과 상기 제 2 기판을 전기적으로 연결하는 제 2 신호전달매체; 및 상기 제 2 반도체 칩과 제 2 신호전달매체를 둘러싸서 보호하는 제 2 봉지재;를 포함하는 제 2 반도체 패키지; 상기 제 1 반도체 패키지에서 발생되는 열을 외기로 방출시킬 수 있도록 상기 제 1 반도체 패키지의 상면에 설치되는 제 1 방열부재; 상기 제 2 반도체 패키지에서 발생되는 열을 외기로 방출시킬 수 있도록 상기 제 2 반도체 패키지의 상면에 설치되고, 상기 제 1 방열부재와 열적으로 연결되는 제 2 방열부재; 및 상기 제 1 방열부재와, 제 2 방열부재 사이에 설치되는 열전달물질(Thermal Interface Material: TIM);을 포함할 수 있다.On the other hand, the semiconductor stack package apparatus according to the idea of the present invention for solving the above problems, at least one first semiconductor chip; A first substrate supporting the first semiconductor chip and having a jointer disposed on a bottom surface thereof; A first signal transmission medium electrically connecting the first semiconductor chip and the first substrate; And a first encapsulation material surrounding and protecting the first semiconductor chip and the first signal transmission medium. At least one second semiconductor chip; A second substrate supporting the second semiconductor chip, a joint land connected to the jointer on an upper surface thereof, and a terminal on a lower surface thereof; A second signal transmission medium electrically connecting the second semiconductor chip and the second substrate; And a second encapsulation material surrounding and protecting the second semiconductor chip and the second signal transmission medium. A first heat dissipation member installed on an upper surface of the first semiconductor package to release heat generated from the first semiconductor package to the outside; A second heat dissipation member installed on an upper surface of the second semiconductor package so as to discharge heat generated from the second semiconductor package to the outside, and thermally connected to the first heat dissipation member; And a heat transfer material (TIM) disposed between the first heat dissipation member and the second heat dissipation member.
본 발명의 사상에 따른 반도체 스택 패키지 장치는, POP(Package On Package) 타입의 패키지 장치에서 제 1 반도체 패키지와 제 2 반도체 패키지에서 각각 발생되는 열을 제 1 방열부재 또는 제 2 방열부재를 통해서 외기로 쉽게 방출시킬 수 있어서 과열에 의한 동작 오류를 사전에 예방할 수 있고, 전자파의 외부 방출을 차단할 수 있으며, 제품의 신뢰성과 내구성을 향상시킬 수 있으며, 제품의 생산성과 조립성을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다.In the semiconductor stack package apparatus according to the spirit of the present invention, heat generated in each of the first semiconductor package and the second semiconductor package in a package on package (POP) type air is discharged through the first heat dissipation member or the second heat dissipation member. It can be easily discharged to prevent the operation error caused by overheating in advance, can block the external emission of electromagnetic waves, improve the reliability and durability of the product, and improve the productivity and assembly of the product. To have.
도 1 내지 도 30은 본 발명 사상의 일부 실시예들에 따른 반도체 스택 패키지 장치들을 나타내는 부분 단면도들이다.
도 31은 본 발명의 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치가 보드 기판에 실장된 상태를 나타내는 부분 단면도이다.
도 32는 본 발명의 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치가 보드 기판에 실장된 상태를 나타내는 부분 단면도이다.
도 33은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 포함하는 메모리 카드를 개략적으로 보여주는 블럭 구성도이다.
도 34는 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 포함하는 전자시스템을 개략적으로 보여주는 블럭 구성도이다.1 to 30 are partial cross-sectional views illustrating semiconductor stack package devices in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
31 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus mounted on a board substrate according to some embodiments of the inventive concepts.
32 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus mounted on a board substrate in accordance with some embodiments of the inventive concept.
33 is a block diagram schematically illustrating a memory card including a semiconductor stack package apparatus according to some embodiments of the inventive concepts.
34 is a block diagram schematically illustrating an electronic system including a semiconductor stack package apparatus according to some embodiments of the inventive concepts.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.The embodiments of the present invention are described in order to more fully explain the present invention to those skilled in the art, and the following embodiments may be modified into various other forms, It is not limited to the embodiment. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. In addition, the thickness or size of each layer in the drawings is exaggerated for convenience and clarity of description.
명세서 전체에 걸쳐서, 막, 영역 또는 기판 등과 같은 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 상기 하나의 구성요소가 직접적으로 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 접촉하거나, 그 사이에 개재되는 또 다른 구성요소들이 존재할 수 있다고 해석될 수 있다. 반면에, 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "직접적으로 상에", "직접 연결되어", 또는 "직접 커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 그 사이에 개재되는 다른 구성요소들이 존재하지 않는다고 해석된다. 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.It will be understood that throughout the specification, when referring to an element such as a film, an area or a substrate being "on", "connected", "laminated" or "coupled to" another element, It will be appreciated that elements may be directly "on", "connected", "laminated" or "coupled" to another element, or there may be other elements intervening therebetween. On the other hand, when one component is said to be located on another component "directly on", "directly connected", or "directly coupled", it is interpreted that there are no other components intervening therebetween. do. Like numbers refer to like elements. As used herein, the term "and / or" includes any and all combinations of one or more of the listed items.
본 명세서에서 제 1, 제 2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제 1 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제 2 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.Although the terms first, second, etc. are used herein to describe various members, parts, regions, layers, and / or parts, these members, parts, regions, layers, and / or parts are defined by these terms. It is obvious that not. These terms are only used to distinguish one member, component, region, layer or section from another region, layer or section. Thus, the first member, part, region, layer or portion, which will be discussed below, may refer to the second member, component, region, layer or portion without departing from the teachings of the present invention.
또한, "상의" 또는 "위의" 및 "하의" 또는 "아래의"와 같은 상대적인 용어들은 도면들에서 도해되는 것처럼 다른 요소들에 대한 어떤 요소들의 관계를 기술하기 위해 여기에서 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면들에서 묘사되는 방향에 추가하여 소자의 다른 방향들을 포함하는 것을 의도한다고 이해될 수 있다. 예를 들어, 도면들에서 소자가 뒤집어 진다면(turned over), 다른 요소들의 상부의 면 상에 존재하는 것으로 묘사되는 요소들은 상기 다른 요소들의 하부의 면 상에 방향을 가지게 된다. 그러므로, 예로써 든 "상의"라는 용어는, 도면의 특정한 방향에 의존하여 "하의" 및 "상의" 방향 모두를 포함할 수 있다. 소자가 다른 방향으로 향한다면(다른 방향에 대하여 90도 회전), 본 명세서에 사용되는 상대적인 설명들은 이에 따라 해석될 수 있다.Also, relative terms such as "top" or "above" and "bottom" or "bottom" may be used herein to describe the relationship of certain elements to other elements as illustrated in the figures. It may be understood that relative terms are intended to include other directions of the device in addition to the direction depicted in the figures. For example, if the device is turned over in the figures, elements depicted as present on the face of the top of the other elements are oriented on the face of the bottom of the other elements. Thus, the exemplary term "top" may include both "bottom" and "top" directions depending on the particular direction of the figure. If the device faces in the other direction (rotated 90 degrees relative to the other direction), the relative descriptions used herein can be interpreted accordingly.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. As used herein, the singular forms "a", "an" and "the" may include the plural forms as well, unless the context clearly indicates otherwise. Also, as used herein, "comprise" and / or "comprising" specifies the presence of the mentioned shapes, numbers, steps, actions, members, elements and / or groups of these. It is not intended to exclude the presence or the addition of one or more other shapes, numbers, acts, members, elements and / or groups.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings schematically showing ideal embodiments of the present invention. In the figures, for example, variations in the shape shown may be expected, depending on manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, the embodiments of the present invention should not be construed as limited to the particular shapes of the regions shown herein, but should include, for example, changes in shape resulting from manufacturing.
도 1은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.1 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치는, 크게 제 1 반도체 패키지(100)와, 제 2 반도체 패키지(200) 및 제 1 방열부재(300)를 포함할 수 있다.First, as shown in FIG. 1, a semiconductor stack package apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention generally includes a
여기서, 이하 예시되는 반도체 스택 패키지 장치들은 상기 제 2 반도체 패키지(200) 위에 제 1 반도체 패키지(100)가 적층되는 패키지 온 패키지(Package On Package; POP) 타입의 반도체 스택 패키지 장치(1000)일 수 있다.Here, the semiconductor stack package apparatus exemplified below may be a package on package (POP) type semiconductor stack package apparatus 1000 in which the
이러한, 상기 제 1 반도체 패키지(100)는, 제 1 반도체 칩(110)과, 제 1 기판(120)과, 제 1 신호전달매체(130) 및 제 1 봉지재(140)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제 1 반도체 칩(110)은 활성면에 복수개의 칩 패드를 갖고, 적어도 하나(도면에서는 2개)의 반도체 칩(110)들로 이루어질 수 있다. 또한, 복수개의 기능을 담당하는 반도체 칩들(예를 들어서, 메모리 칩과 콘트롤 칩)을 하나의 패키지 장치로 집적하는 시스템 인 패키지(System in Package) 타입인 경우, 상기 제 1 반도체 칩(110)은 적어도 하나 이상의 메모리 칩이 적용될 수 있다. 예를 들어서, 이러한 각각의 메모리 칩을 선택적으로 제어하기 위해 상기 제 2 반도체 패키지(200)에는 상기 메모리 칩을 제어하는 제어 채널을 갖는 적어도 하나 이상의 콘트롤 칩이 포함될 수 있다. 그러나, 이러한 상기 제 1 반도체 칩(110)의 설치 개수는 2개에 한정되는 것은 아니고, 그 이상이나 그 이하도 모두 가능하다.The
또한, 상기 제 1 기판(120)은, 상기 제 1 반도체 칩(110)을 지지하는 것으로서, 그 하면에 조인터(J)가 설치될 수 있다. 이러한 상기 제 1 기판(120)은, 절연성 기재 기판의 위와 아래에 각각 배선층을 접착이나 도금이나 열압착 등의 방법으로 설치할 수 있다. 그러나, 상기 제 1 기판(120)은 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다.In addition, the
또한, 상기 제 1 신호전달매체(130)는, 상기 제 1 반도체 칩(110)과 상기 제 1 기판(120)을 전기적으로 연결하는 것으로서, 도 1의 와이어가 적용될 수 있고, 이외에도 각종 범프나 솔더볼이나 관통 전극 등이 적용될 수 있다.In addition, as the first
또한, 상기 제 1 봉지재(140)는, 상기 제 1 반도체 칩(110)과 제 1 신호전달매체(130)를 둘러싸서 보호하는 것으로서, 에폭시 수지, 경화제, 유기/무기 충전재 등을 포함하는 각종 합성 수지류 재질로 제작되어 몰드(mold: 금형) 내부에서 사출 성형될 수 있는 것이다. 이러한, 상기 봉지재(140)는 레진과 같은 폴리머로 형성될 수 있는 것으로 예컨대, EMC(Epoxy Molding Compound)로 형성될 수 있다. 그러나, 상기 봉지재(140)가 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다. In addition, the
한편, 상기 제 2 반도체 패키지(200)는, 제 2 반도체 칩(210)과, 제 2 기판(220)과, 제 2 신호전달매체(230) 및 제 2 봉지재(240)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제 2 반도체 칩(210)은, 활성면에 제 2 신호전달매체(230)가 형성되는 것으로서, 복수개의 기능을 담당하는 반도체 칩들(예를 들어서, 메모리 칩과 콘트롤 칩)을 하나의 패키지로 집적하는 시스템 인 패키지(System in Package) 타입인 경우, 상기 제 2 반도체 칩(210)은 제 1 반도체 패키지(100)에 적층된 적어도 하나 이상의 메모리 칩을 선택적으로 제어하기 위해 적어도 하나 이상의 제어 채널을 갖는 콘트롤 칩일 수 있다. 또한, 도 1에 예시된 바와 같이, 상기 제 2 반도체 칩(210)은 그 활성면이 아래 방향을 향하는 플립 칩(flip-chip) 타입인 것이 가능하다. 그러나, 상기 제 2 반도체 칩(210)이 플립 칩에 한정되는 것은 아니다.The
또한, 상기 제 2 기판(220)은, 상기 제 2 반도체 칩(210)을 지지하는 것으로서, 상면에 상기 조인터(J)와 연결되는 조인터 랜드(JL)가 설치되고, 하면에 단자(T)가 설치될 수 있다. 이러한 상기 제 2 기판(220)은, 절연성 기재 기판의 위와 아래에 각각 배선층을 접착이나 도금이나 열압착 등의 방법으로 설치할 수 있다. 그러나, 상기 제 2 기판(220)은 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다.In addition, the
또한, 상기 제 2 신호전달매체(230)는, 상기 제 2 반도체 칩(210)과 상기 제 2 기판(220)을 전기적으로 연결하는 것으로서, 도 1의 범프(bump)가 적용될 수 있고, 이외에도 각종 와이어나 솔더볼이나 관통 전극 등이 적용될 수 있다.In addition, the second
또한, 상기 제 2 봉지재(240)는 상기 제 2 반도체 칩(210)과 제 2 신호전달매체(230)를 둘러싸서 보호하는 것으로서, 상기 제 2 반도체 칩(210)의 활성면과 상기 제 2 기판(220) 사이 부분, 또는 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200) 사이 부분을 채울 수 있는 언더필 부재가 적용될 수 있다. 이러한 상기 제 2 봉지재(240)는, 에폭시 수지와 같은 언더필 수지로 형성될 수 있고, 실리카 필러(filler)나 플럭스(flux) 등이 포함될 수 있다. 또한, 상기 제 2 봉지재(240)는 상기 제 1 봉지재(140)와 다른 재질로 형성될 수 있지만 동일 재료로도 형성될 수 있다. 또한, 공정에 따라서는 상기 제 2 봉지재(240)가 생략되거나, 기타 접착 테이프나 밀봉 테이프 등으로 대체되는 것도 가능하다.In addition, the
한편, 상술된 상기 제 1 기판(120)은, 바디층(121)과, 상부 보호층(122) 및 하부 보호층(123)을 포함할 수 있고, 상기 제 2 기판(220), 역시 바디층(221)과, 상부 보호층(222) 및 하부 보호층(223)을 포함할 수 있다. 이러한 상기 바디층(121)(221)은 다수의 배선 패턴이 형성될 수 있고, 상기 상부 보호층(122)(222) 및 하부 보호층(123)(223)은 이러한 상기 바디층(121)(221)을 각각 보호하는 기능을 하는데, 예컨대, 솔더 레지스트일 수 있다.Meanwhile, the
또한, 본 발명의 일부 실시예에 따른 제 1 방열부재(300)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)에서 발생되는 열을 외기로 방출시킬 수 있도록 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 상면(140a)에 설치되는 것으로서, 상기 제 1 방열부재(300)는, 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되는 방열판일 수 있다. 여기서, 상기 제 1 방열부재(300)는 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 상면(140a)에 열융착, 방열성 재질 도포, 중간 접착제를 이용한 접착, 압착, 접착 테이프를 이용한 테이핑 접착, 도금이나 스퍼터링이나 이온주입이나 용접 등의 금속 공정 등의 다양한 방법을 이용하여 설치될 수 있다. 또한, 상기 제 1 방열부재(300)의 재질은 열전달성과 전자파 차폐성이 우수한 구리(Cu), 알루미늄(Al), 철(Fe), 니켈(Ni), 코발트(Co), 텅스텐(W), 크롬(Cr), 마그네슘(Mg), 실리콘(Si), 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 아연(Zn), 주석(Sn), 스테인레스강 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택하여 적용될 수 있다. 그러나, 상기 제 1 방열부재(300)는 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다.In addition, the first
또한, 상기 제 1 방열부재(300)는, 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)을 모두 덮을 수 있도록 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 폭과 동일한 크기의 폭을 갖는 것도 가능하다. 이외에도 상기 제 1 방열부재(300)의 제작시 가공 오차인 10 마이크로미터를 고려하여 그 이상이나 그 이하로 제작하여 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)을 부분적으로 덮거나 오버하여 덮을 수 있다.In addition, the first
따라서, 상기 제 1 반도체 칩(110) 및 제 2 반도체 칩(210)에서 발생된 열은 열전도성이 우수한 상기 제 1 방열부재(300)로 집열되고, 집열된 열은 외기와 열적으로 접촉되는 상기 제 1 방열부재(300)의 표면에서 외기로 방출될 수 있다.Therefore, heat generated in the
그러므로, 상기 제 1 방열부재(300)를 제 1 반도체 패키지(100)의 상면에 설치함으로써 발열이 원활하게 이루어지도록 하고, 이와 동시에 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 상기 제 1 방열부재(300)가 흡수하여 전자파의 외부 방출을 방지할 수 있는 것이다.Therefore, the first
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 제 1 솔더볼(SB1)이며, 상기 단자(T)는 제 2 솔더볼(SB2)이고, 상기 제 2 신호전달매체(230)는 범프(bump)일 수 있다. 여기서, 상기 와이어는 칩 패드와 기판 패드를 전기적으로 연결하는 신호전달매체의 일종으로서, 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 파라듐(Pd), 니켈(Ni), 코발트(Co), 크롬(Cr), 티타늄(Ti) 등으로 형성되는 반도체 본딩용 와이어가 적용될 수 있고, 와이어 본딩 장치에 의해 형성될 수 있다. 그러나, 상기 와이어가 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 와이어 이외에도 범프나 솔더볼이나 관통 전극 등 다양한 형태의 신호전달매체가 적용되는 것도 가능하다. 또한, 상기 범프는, 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 솔더(Solder) 등으로 형성될 수 있고, 각종 증착 공정, 스퍼터링 공정, 펄스 도금이나 직류 도금 등의 도금 공정, 솔더링 공정, 접착 공정 등을 포함하는 공정들을 통해 형성될 수 있다. 그러나, 상기 범프는 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 범프 이외에도 와이어나 솔더볼이나 관통 전극 등 다양한 형태의 신호전달매체가 적용되는 것도 가능하다.1, the first
도 2는 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.2 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(301)는, 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 측면(140b), 제 1 기판(120)의 측면(120b) 및 상기 제 2 기판(220)의 측면(220b)을 덮는 방열판일 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 제 1 솔더볼(SB1)이며, 상기 단자(T)는 제 2 솔더볼(SB2)이고, 상기 제 2 신호전달매체(230)는 범프(bump)일 수 있다.As shown in FIG. 2, the first
따라서, 상기 제 1 방열부재(301)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 상방과 측방을 모두 덮을 수 있어서 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 크게 할 수 있다.Accordingly, the first
그러므로, 상기 제 1 방열부재(301)는 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 보다 넓게 하여 발열성능을 더욱 향상시킬 수 있고, 이와 동시에 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 보다 넓은 면적으로 흡수하여 전자파의 외부 방출을 보다 철저하게 방지할 수 있는 것이다.Therefore, the first
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 와이어는 칩 패드와 기판 패드를 전기적으로 연결하는 신호전달매체의 일종으로서, 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 파라듐(Pd), 니켈(Ni), 코발트(Co), 크롬(Cr), 티타늄(Ti) 등으로 형성되는 반도체 본딩용 와이어가 적용될 수 있고, 와이어 본딩 장치에 의해 형성될 수 있다. 그러나, 상기 와이어가 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 와이어 이외에도 범프나 솔더볼이나 관통 전극 등 다양한 형태의 신호전달매체가 적용되는 것도 가능하다. 또한, 상기 범프는, 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 솔더(Solder) 등으로 형성될 수 있고, 각종 증착 공정, 스퍼터링 공정, 펄스 도금이나 직류 도금 등의 도금 공정, 솔더링 공정, 접착 공정 등을 포함하는 공정들을 통해 형성될 수 있다. 그러나, 상기 범프는 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 범프 이외에도 와이어나 솔더볼이나 관통 전극 등 다양한 형태의 신호전달매체가 적용되는 것도 가능하다.In addition, as shown in Figure 2, the wire is a kind of signal transmission medium for electrically connecting the chip pad and the substrate pad, gold (Au), silver (Ag), platinum (Pt), aluminum (Al), A semiconductor bonding wire formed of copper (Cu), palladium (Pd), nickel (Ni), cobalt (Co), chromium (Cr), titanium (Ti), or the like may be applied, and may be formed by a wire bonding apparatus. Can be. However, the wire is not limited to the material or method. In addition to the wire, various types of signal transmission media such as bumps, solder balls, and through electrodes may be applied. In addition, the bumps may be formed of gold (Au), silver (Ag), platinum (Pt), aluminum (Al), copper (Cu), solder, and the like, and various deposition processes, sputtering processes, and pulses. It may be formed through processes including a plating process such as plating or direct current plating, a soldering process, an adhesion process, and the like. However, the bumps are not limited to the above materials and methods. In addition to the bumps, various types of signal transmission media such as wires, solder balls, and through electrodes may be applied.
도 3은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.3 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1 방열부재(300)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)에서 발생되는 열을 외기로 방출시킬 수 있도록 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 상면(140a)에 설치되는 것으로서, 상기 제 1 방열부재(300)는, 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되는 방열판일 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(241)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(231)는 범프일 수 있다. 또한, 상기 관통 전극(TE)은, 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 솔더(Solder) 등으로 형성될 수 있고, 상기 제 2 봉지재(241)에 식각이나 드릴링이나 레이저 천공 등을 이용하여 관통홀을 형성하고, 각종 증착 공정, 스퍼터링 공정, 펄스 도금이나 직류 도금 등의 도금 공정, 솔더링 공정, 접착 공정 등을 포함하는 금속 공정이나 관통홀에 금속 물질을 매립하거나 금속핀 또는 금속바를 삽입하거나, 용접을 하는 등의 방법을 이용하여 형성할 수 있다. 그러나, 상기 관통 전극(TE)은 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 관통 전극 이외에도 와이어나 범프나 솔더볼 등 다양한 형태의 신호전달매체가 적용되는 것도 가능하다.As shown in FIG. 3, the first
따라서, 상기 제 1 반도체 칩(110) 및 제 2 반도체 칩(210)에서 발생된 열은 열전도성이 우수한 상기 제 1 방열부재(300)로 집열되고, 집열된 열은 외기와 열적으로 접촉되는 상기 제 1 방열부재(300)의 표면에서 외기로 방출될 수 있다.Therefore, heat generated in the
그러므로, 상기 제 1 방열부재(300)를 제 1 반도체 패키지(100)의 상면에 설치함으로써 발열이 원활하게 이루어지도록 하고, 이와 동시에 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 상기 제 1 방열부재(300)가 흡수하여 전자파의 외부 방출을 방지할 수 있는 것이다.Therefore, the first
도 4는 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.4 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(301)는, 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 측면(140b), 제 1 기판(120)의 측면(120b) 및 상기 제 2 기판(220)의 측면(220b)을 덮는 방열판일 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(241)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(231)는 범프일 수 있다. 또한, 상기 관통 전극(TE)은, 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 솔더(Solder) 등으로 형성될 수 있고, 상기 제 2 봉지재(241)에 식각이나 드릴링이나 레이저 천공 등을 이용하여 관통홀을 형성하고, 각종 증착 공정, 스퍼터링 공정, 펄스 도금이나 직류 도금 등의 도금 공정, 솔더링 공정, 접착 공정 등을 포함하는 금속 공정이나 관통홀에 금속 물질을 매립하거나 금속핀 또는 금속바를 삽입하거나, 용접을 하는 등의 방법을 이용하여 형성할 수 있다. 그러나, 상기 관통 전극(TE)은 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 관통 전극 이외에도 와이어나 범프나 솔더볼 등 다양한 형태의 신호전달매체가 적용되는 것도 가능하다.As shown in FIG. 4, the first
따라서, 상기 제 1 방열부재(301)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 상방과 측방을 모두 덮을 수 있어서 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 크게 할 수 있다.Accordingly, the first
그러므로, 상기 제 1 방열부재(301)는 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 보다 넓게 하여 발열성능을 더욱 향상시킬 수 있고, 이와 동시에 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 보다 넓은 면적으로 흡수하여 전자파의 외부 방출을 보다 철저하게 방지할 수 있는 것이다.Therefore, the first
도 5는 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.5 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(300)는, 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되는 방열판일 수 있다. 또한, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(242)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(232)는 상기 제 2 반도체 칩(212)과 연결되는 와이어일 수 있다. 여기서, 상기 제 1 방열부재(300)와 상기 제 1 신호전달매체(130)와, 상기 관통 전극(TE) 및 상기 솔더볼(SB)은 도 4에서 설명한 구조와 동일할 수 있다. 따라서, 이들의 구성요소들에 대한 구체적인 설명은 생략한다.As shown in FIG. 5, the first
따라서, 상기 제 1 반도체 칩(110) 및 제 2 반도체 칩(210)에서 발생된 열은 열전도성이 우수한 상기 제 1 방열부재(300)로 집열되고, 집열된 열은 외기와 열적으로 접촉되는 상기 제 1 방열부재(300)의 표면에서 외기로 방출될 수 있다.Therefore, heat generated in the
그러므로, 상기 제 1 방열부재(300)를 제 1 반도체 패키지(100)의 상면에 설치함으로써 발열이 원활하게 이루어지도록 하고, 이와 동시에 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 상기 제 1 방열부재(300)가 흡수하여 전자파의 외부 방출을 방지할 수 있는 것이다.Therefore, the first
도 6은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.6 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concept.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(301)는, 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 측면(140b), 제 1 기판(120)의 측면(120b) 및 상기 제 2 기판(220)의 측면(220b)을 덮는 방열판일 수 있다. 또한, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(242)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(232)는 와이어일 수 있다. 여기서, 상기 제 1 방열부재(301)와 상기 제 1 신호전달매체(130)와, 상기 관통 전극(TE) 및 상기 솔더볼(SB)은 도 4에서 설명한 구조와 동일한 수 있다. 따라서, 이들의 구성요소들에 대한 구체적인 설명은 생략한다.As illustrated in FIG. 6, the first
따라서, 상기 제 1 방열부재(301)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 상방과 측방을 모두 덮을 수 있어서 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 크게 할 수 있다.Accordingly, the first
그러므로, 상기 제 1 방열부재(301)는 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 보다 넓게 하여 발열성능을 더욱 향상시킬 수 있고, 이와 동시에 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 보다 넓은 면적으로 흡수하여 전자파의 외부 방출을 보다 철저하게 방지할 수 있는 것이다.Therefore, the first
도 7은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.7 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(400)는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부(F)가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부(F)는, 상기 제 1 기판(120)의 폭(W1) 이상의 폭(W2)을 갖는 상기 제 2 기판(220)의 테두리 상면과 접촉될 수 있다. 이러한, 상기 제 1 방열부재(400)는 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 상면(140a) 및 상기 플랜지부(F)와 대응되는 상기 제 2 기판(220)의 테두리 상면에 열융착, 방열성 재질 도포, 중간 접착제를 이용한 접착, 압착, 접착 테이프를 이용한 테이핑 접착, 도금이나 스퍼터링이나 이온주입이나 용접 등의 금속 공정 등의 다양한 방법을 이용하여 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 제 1 솔더볼(SB1)이며, 상기 단자(T)는 제 2 솔더볼(SB2)이고, 상기 제 2 신호전달매체(230)는 범프(bump)일 수 있다. 이러한 제 1 신호전달매체(130)와, 상기 조인터(J)와 상기 단자(T) 및 제 2 신호전달매체(230)는 도 1에서 이미 설명된 구조와 동일할 수 있다. 따라서, 이들의 구체적인 구성요소에 대한 구체적인 설명은 생략한다.As shown in FIG. 7, the first
따라서, 상기 제 1 방열부재(400)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 상방과 측방 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 상방을 덮을 수 있고, 제 1 반도체 패키지(100)의 폭(W1)이 제 2 반도체 패키지(200)의 폭(W2) 보다 작은 경우에도 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 크게 할 수 있다.Therefore, the first
그러므로, 상기 제 1 방열부재(400)는 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 보다 넓게 하여 발열성능을 더욱 향상시킬 수 있고, 이와 동시에 다양한 형태의 폭을 가지는 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)에 능동적으로 대응하여 고정될 수 있다. 또한, 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 보다 넓은 면적으로 흡수하여 전자파의 외부 방출을 보다 철저하게 방지할 수 있는 것이다.Therefore, the first
도 8은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.8 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(400)는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부(F)가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부(F)는, 상기 제 1 기판(120)의 폭(W1) 이상의 폭(W2)을 갖는 상기 제 2 기판(220)의 테두리 상면과 접촉될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(241)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(231)는 범프일 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)와, 상기 관통 전극(TE) 및 상기 솔더볼(SB)은 도 4에서 이미 설명된 구조와 동일할 수 있다. 따라서, 이들의 구성요소에 대한 구체적인 설명은 생략한다.As shown in FIG. 8, the first
따라서, 상기 제 1 방열부재(400)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 상방과 측방 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 상방을 덮을 수 있고, 제 1 반도체 패키지(100)의 폭(W1)이 제 2 반도체 패키지(200)의 폭(W2) 보다 작은 경우에도 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 크게 할 수 있다.Therefore, the first
그러므로, 상기 제 1 방열부재(400)는 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 보다 넓게 하여 발열성능을 더욱 향상시킬 수 있고, 이와 동시에 다양한 형태의 폭을 가지는 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)에 능동적으로 대응하여 고정될 수 있다. 또한, 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 보다 넓은 면적으로 흡수하여 전자파의 외부 방출을 보다 철저하게 방지할 수 있는 것이다.Therefore, the first
도 9는 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.9 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(400)는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부(F)가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부(F)는, 상기 제 1 기판(120)의 폭(W1) 이상의 폭(W2)을 갖는 상기 제 2 기판(220)의 테두리 상면과 직접 접촉될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(241)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(232)는 상기 제 2 반도체 칩(212)과 연결되는 와이어일 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)와, 상기 관통 전극(TE)과, 상기 솔더볼(SB) 및 상기 제 2 신호전달매체(232)는 도 4에서 이미 설명된 구조와 동일할 수 있다. 따라서, 이들의 구성요소들에 대한 구체적인 설명은 생략한다.9, a portion of the first
따라서, 상기 제 1 방열부재(400)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 상방과 측방 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 상방을 덮을 수 있고, 제 1 반도체 패키지(100)의 폭(W1)이 제 2 반도체 패키지(200)의 폭(W2) 보다 작은 경우에도 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 크게 할 수 있다.Therefore, the first
그러므로, 상기 제 1 방열부재(400)는 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)와의 접촉 면적을 보다 넓게 하여 발열성능을 더욱 향상시킬 수 있고, 이와 동시에 다양한 형태의 폭을 가지는 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)에 능동적으로 대응하여 고정될 수 있다. 또한, 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 보다 넓은 면적으로 흡수하여 전자파의 외부 방출을 보다 철저하게 방지할 수 있는 것이다.Therefore, the first
도 10은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.10 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 10에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(401)는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부(F)가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부(F)는, 상기 제 1 기판(120)의 폭(W1) 이상의 폭(W2)을 갖는 상기 제 2 봉지재(241)와 직접 접촉될 수 있다. 이러한, 상기 제 1 방열부재(401)는 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 상면(140a) 및 상기 제 2 봉지재(241)의 상면에 열융착, 방열성 재질 도포, 중간 접착제를 이용한 접착, 압착, 접착 테이프를 이용한 테이핑 접착, 도금이나 스퍼터링이나 이온주입이나 용접 등의 금속 공정 등의 다양한 방법을 이용하여 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(241)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(231)는 범프일 수 있다. As shown in FIG. 10, a portion of the first
도 11은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.11 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 11에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(402)는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부(F)가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부(F)는, 상기 제 1 기판(120)의 폭(W1) 이상의 폭(W2)을 갖는 상기 제 2 봉지재(241)의 테두리부를 관통하여 상기 제 2 기판(220)의 상면에 형성된 고정 랜드(FL)와 연결되는 관통 막대(TR)와 접촉될 수 있다. 여기서, 상기 관통 막대(TR)는, 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 솔더(Solder) 등으로 형성될 수 있고, 상기 제 2 봉지재(241)에 식각이나 드릴링이나 레이저 천공 등을 이용하여 관통홀을 형성하고, 각종 증착 공정, 스퍼터링 공정, 펄스 도금이나 직류 도금 등의 도금 공정, 솔더링 공정, 접착 공정 등을 포함하는 금속 공정이나 관통홀에 금속 물질을 매립하거나 금속핀 또는 금속바를 삽입하거나, 용접을 하는 등의 방법을 이용하여 형성할 수 있다. 그러나, 상기 관통 막대(TR)은 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 관통 막대(TR)는, 도 3에서 상술된 바 있는 상기 관통 전극(TE)과 동일한 방법으로 제작되는 것도 가능하나 상기 관통 막대(TR)는 상기 관통 전극(TE)과는 달리 신호전달의 역할을 하는 것이 아니라 상기 관통 막대(TR)는 상기 제 1 방열부재(402)를 상기 제 2 반도체 패키지(200) 위에 고정시키는 역할을 하는 것으로서, 주위로부터 절연되는 것도 가능하고, 이외에도, 상기 제 2 기판(220)의 열을 상기 제 1 방열부재(402)로 전달하거나, 상기 제 1 방열부재(402)를 통해서 흡수된 열과 전자파를 외부로 쉽게 전달할 수 있도록 별도의 배선(예를 들어서, 그라운드 접지 배선)과 연결될 수 있다. 즉, 상기 관통 막대(TR)는, 상기 관통 전극(TE)을 제작하는 방법과 동일한 방법으로 제작될 수 있으나, 상기 관통 막대(TR)는 상기 관통 전극(TE)과는 달리 그 목적이 전기적인 신호를 전달하는 것이 아니라 상기 제 1 방열부재(402)를 상기 제 2 기판(220)에 고정시키는 역할과 동시에, 상기 제 2 기판(220)의 열을 상기 제 1 방열부재(402)나 기타 외부 배선으로 전달하는 역할을 할 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(241)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(231)는 범프일 수 있다.As shown in FIG. 11, a portion of the first
도 12는 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.12 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 12에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(403)는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부(F)가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부(F)는, 상기 제 1 기판(120)의 폭(W1) 이상의 폭(W2)을 갖는 상기 제 2 봉지재(242)의 테두리부를 관통하여 상기 제 2 기판(220)의 상면에 형성된 고정 랜드(FL)와 연결되는 관통 막대(TR)와 접촉될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(242)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(232)는 와이어일 수 있다. 이러한, 상기 관통 막대(TR)는, 상기 관통 전극(TE)을 제작하는 방법과 동일한 방법으로 제작될 수 있으나, 상기 관통 막대(TR)는 상기 관통 전극(TE)과는 달리 그 목적이 전기적인 신호를 전달하는 것이 아니라 상기 제 1 방열부재(403)를 상기 제 2 기판(220)에 고정시키는 역할과 동시에, 상기 제 2 기판(220)의 열을 상기 제 1 방열부재(403)나 기타 외부 배선으로 전달하는 역할을 할 수 있다.As shown in FIG. 12, a portion of the first
도 13은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.13 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 13에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(404)는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부(F)가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부(F)는, 상기 제 1 기판(120)의 폭(W1) 이상의 폭(W2)을 갖는 상기 제 2 봉지재(242)와 접촉될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(242)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(232)는 와이어일 수 있다. 이러한, 상기 제 1 방열부재(404)는 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 상면(140a) 및 상기 플랜지부(F)와 대응되는 상기 제 2 봉지재(242)의 테두리 상면에 열융착, 방열성 재질 도포, 중간 접착제를 이용한 접착, 압착, 접착 테이프를 이용한 테이핑 접착, 도금이나 스퍼터링이나 이온주입이나 용접 등의 금속 공정 등의 다양한 방법을 이용하여 설치될 수 있다. As shown in FIG. 13, a portion of the first
도 14 내지 도 16은 본 발명 사상의 일부 실시예들에 따른 반도체 스택 패키지 장치들을 나타내는 부분 단면도들이다.14 through 16 are partial cross-sectional views illustrating semiconductor stack package devices in accordance with some example embodiments of the inventive concepts.
도 14 내지 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(500)는, 상기 제 2 기판(220)의 폭(W4) 이상의 폭(W3)을 갖는 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되는 방열판일 수 있다. 이러한, 상기 제 1 방열부재(500)는 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 상면(140a)에 열융착, 방열성 재질 도포, 중간 접착제를 이용한 접착, 압착, 접착 테이프를 이용한 테이핑 접착, 도금이나 스퍼터링이나 이온주입이나 용접 등의 금속 공정 등의 다양한 방법을 이용하여 설치될 수 있다. 14 to 16, the first
여기서, 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 제 1 솔더볼(SB1)이며, 상기 단자(T)는 제 2 솔더볼(SB2)이고, 상기 제 2 신호전달매체(230)는 범프(bump)일 수 있다. 또한, 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(241)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(231)는 범프일 수 있다. 또한, 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 신호전달매체(130)는 와이어이고, 상기 조인터(J)는 상기 제 2 봉지재(242)를 관통하여 형성되는 관통 전극(TE)이며, 상기 단자(T)는 솔더볼(SB)이고, 상기 제 2 신호전달매체(232)는 와이어일 수 있다. 이러한 상기 제 1 신호전달매체(130)와, 상기 조인터(J)와, 상기 단자(T) 및 제 2 신호전달매체(231)는 도 1 내지 도 6에서 이미 설명된 구조와 동일할 수 있다. 따라서, 이들의 구성요소들에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Here, as shown in FIG. 14, the first
도 17은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.17 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 17에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예에 따른 제 1 방열부재(300)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 상기 제 2 반도체 패키지(200)에서 발생되는 열을 외기로 방출시킬 수 있도록 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 상면(140a)에 설치될 수 있고, 상기 제 1 방열부재(300)와, 제 1 반도체 패키지(100) 사이에 접착성을 갖는 열전달물질(TIM)(Thermal Interface Material: TIM)이 설치될 수 있다. 여기서, 열전달물질(TIM)은 그 표면이 접착성을 갖기 때문에 물질이 접촉되는 경우, 물질의 표면에 형성되는 틈새에도 유연하게 접착되어 물질의 경계와 경계간 접촉면적을 크게 하는 동시에 열전달율이 높아서 효율적으로 열전달을 가능하게 하는 물질이다. 이러한, 상기 열전달물질(TIM)은 단량체 또는 저분자량 중합체 내에 열전도성 입자들을 분산시킨 후, 단량체 또는 저분자량 중합체를 부분적으로 중합시켜서 적당한 점도를 갖는 물질로 제조할 수 있고, 액체, 고체, 젤이나 겔 형태 또는 접착 테이프 등의 형태로 사용할 수 있다. 그러나, 상기 열전달물질(TIM)은 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다.As shown in FIG. 17, the first
따라서, 상기 제 1 반도체 패키지(100)에서 발생된 열은 상기 열전달물질(TIM)을 통해서 열전도성이 우수한 상기 제 1 방열부재(300)로 전달되고, 상기 제 1 방열부재(300)로 집열된 열은 외기와 열적으로 접촉되는 상기 제 1 방열부재(300)의 표면에서 외기로 방출될 수 있다.Therefore, heat generated in the
그러므로, 상기 열전달물질(TIM)에 의해 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 상기 제 1 방열부재(300) 간의 열적 접촉성을 향상시키고, 상기 제 1 방열부재(300)의 조립성을 향상시킬 수 있는 동시에, 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 상기 제 1 방열부재(300)가 흡수하여 전자파의 외부 방출을 방지할 수 있는 것이다.Therefore, the thermal contact between the
도 18은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.18 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 18에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(301)는, 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 측면(140b), 제 1 기판(120)의 측면(120b) 및 상기 제 2 기판(220)의 측면(220b)을 덮는 방열판일 수 있고, 상기 제 1 방열부재(301)와, 제 1 반도체 패키지(100) 및 제 2 반도체 패키지(200) 사이에 접착성을 갖는 열전달물질(TIM)이 설치될 수 있다. 따라서, 상기 제 1 반도체 패키지(100)에서 발생된 열은 상기 열전달물질(TIM)을 통해서 열전도성이 우수한 상기 제 1 방열부재(301)로 전달되고, 상기 제 1 방열부재(301)로 집열된 열은 외기와 열적으로 접촉되는 상기 제 1 방열부재(301)의 표면에서 외기로 방출될 수 있다.As shown in FIG. 18, the first
그러므로, 상기 열전달물질(TIM)에 의해 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 상기 제 1 방열부재(301) 간의 열적 접촉성을 향상시키고, 상기 제 1 방열부재(301)의 조립성을 향상시킬 수 있는 동시에, 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 상기 제 1 방열부재(301)가 흡수하여 전자파의 외부 방출을 방지할 수 있는 것이다.Therefore, the thermal contact between the
도 19는 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.19 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 19에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(400)는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부(F)가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부(F)는, 상기 제 1 기판(120)의 폭(W1) 이상의 폭(W2)을 갖는 상기 제 2 기판(220)의 테두리 상면과 접촉될 수 있고, 상기 제 1 방열부재(400)와, 제 1 반도체 패키지(100) 및 제 2 반도체 패키지(200) 사이에 접착성을 갖는 열전달물질(TIM)이 설치될 수 있다. 따라서, 상기 제 1 반도체 패키지(100)에서 발생된 열은 상기 열전달물질(TIM)을 통해서 열전도성이 우수한 상기 제 1 방열부재(400)로 전달되고, 상기 제 1 방열부재(400)로 집열된 열은 외기와 열적으로 접촉되는 상기 제 1 방열부재(400)의 표면에서 외기로 방출될 수 있다.As shown in FIG. 19, the first
그러므로, 상기 열전달물질(TIM)에 의해 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 상기 제 1 방열부재(400) 간의 열적 접촉성을 향상시키고, 상기 제 1 방열부재(400)의 조립성을 향상시킬 수 있는 동시에, 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200)의 내부 배선에서 발생되는 전자파를 상기 제 1 방열부재(400)가 흡수하여 전자파의 외부 방출을 방지할 수 있는 것이다.Therefore, thermal contact between the
도 20은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.20 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 20에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(301)는, 상기 제 1 기판(120)과 제 2 기판(220) 사이의 공기가 외기와 연결될 수 있도록 일측에 관통창(W)이 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제 1 반도체 패키지(100)에서 발생된 열은 상기 열전달물질(TIM)을 통해서 열전도성이 우수한 상기 제 1 방열부재(301)로 전달되고, 상기 제 1 방열부재(301)로 집열된 열은 외기와 열적으로 접촉되는 상기 제 1 방열부재(301)의 표면에서 외기로 방출될 수 있다. 아울러, 상기 관통창(W)을 통해서 외부의 공기가 상기 제 1 기판(120)과 제 2 기판(220) 사이의 공간으로 유출입되는 것이 가능하여 상기 제 2 반도체 칩(210)(예를 들어서, 발열 가능성이 높은 콘트롤 칩)에서 발생되는 고온의 열을 더욱 신속하게 냉각시킬 수 있다.As shown in FIG. 20, the first
그러므로, 상기 열전달물질(TIM)에 의해 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 상기 제 1 방열부재(301) 간의 열적 접촉성을 향상시키는 동시에, 상기 관통창(W)을 이용하여 내부 공기의 유출입을 원활하게 하여 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 제 2 반도체 패키지(200)를 다중으로 냉각시킬 수 있다. Therefore, thermal contact between the
도 21은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.21 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 21에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(400)는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부(F)가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부(F)는, 상기 제 1 기판(120)의 폭(W1) 이상의 폭(W2)을 갖는 상기 제 2 기판(220)의 테두리 상면과 상기 열전달물질(TIM)에 의해 접착될 수 있으며, 상기 제 1 방열부재(400)는, 상기 제 1 기판(120)과 제 2 기판(220) 사이의 공기가 외기와 연결될 수 있도록 일측에 관통창(W)이 형성될 수 있다.As shown in FIG. 21, a portion of the first
따라서, 상기 제 1 반도체 패키지(100)에서 발생된 열은 상기 열전달물질(TIM)을 통해서 열전도성이 우수한 상기 제 1 방열부재(400)로 전달되고, 상기 제 1 방열부재(400)로 집열된 열은 외기와 열적으로 접촉되는 상기 제 1 방열부재(400)의 표면에서 외기로 방출될 수 있다. 아울러, 상기 관통창(W)을 통해서 외부의 공기가 상기 제 1 기판(120)과 제 2 기판(220) 사이의 공간으로 유출입되는 것이 가능하여 상기 제 2 반도체 칩(210)(예를 들어서, 발열 가능성이 높은 콘트롤 칩)에서 발생되는 고온의 열을 더욱 신속하게 냉각시킬 수 있다.Therefore, heat generated in the
그러므로, 상기 열전달물질(TIM)에 의해 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 상기 제 1 방열부재(400) 간의 열적 접촉성을 향상시키는 동시에, 상기 관통창(W)을 이용하여 내부 공기의 유출입을 원활하게 하여 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 제 2 반도체 패키지(200)를 다중으로 냉각시킬 수 있다.Therefore, thermal contact between the
도 22는 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.22 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 22에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치는, 크게 제 1 반도체 패키지(100)와, 제 2 반도체 패키지(200)와, 제 1 방열부재(300) 및 제 2 방열부재(600)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제 2 방열부재(600)는, 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 상면에 설치되는 것으로서, 상기 제 1 방열부재(301)와 열적으로 연결될 수 있다. 이러한, 상기 제 2 방열부재(600)는, 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 상면에 열융착, 방열성 재질 도포, 중간 접착제를 이용한 접착, 압착, 접착 테이프를 이용한 테이핑 접착, 도금이나 스퍼터링이나 이온주입이나 용접 등의 금속 공정 등의 다양한 방법을 이용하여 설치될 수 있다. 또한, 상기 제 2 방열부재(600)의 재질은 열전달성과 전자파 차폐성이 우수한 구리(Cu), 알루미늄(Al), 철(Fe), 니켈(Ni), 코발트(Co), 텅스텐(W), 크롬(Cr), 마그네슘(Mg), 실리콘(Si), 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 아연(Zn), 주석(Sn), 스테인레스강 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택하여 적용될 수 있다. 그러나, 상기 제 2 방열부재(600)는 상기 재질이나 방법에 한정되는 것은 아니다.As illustrated in FIG. 22, a semiconductor stack package apparatus according to some embodiments of the present inventive concept may include a
따라서, 상기 제 1 반도체 패키지(100)에서 발생된 열은 열전도성이 우수한 상기 제 1 방열부재(301)로 전달되고, 상기 제 2 반도체 패키지(200)에서 발생된 열은 열전도성이 우수한 상기 제 2 방열부재(600)로 전달되어 상기 제 1 방열부재(301)의 표면에서 외기로 방출될 수 있다. 그러므로, 제 2 반도체 패키지(200)에서 발생된 열을 외부로 쉽게 방출시킬 수 있는 동시에, 상기 제 1 반도체 칩(110)과 제 2 반도체 칩(210) 사이에 설치되는 제 2 방열부재(600)가 서로 간에 영향을 미칠 수 있는 전자파를 중간에서 차단하여 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200) 간의 전자파 간섭현상을 방지할 수 있다.Therefore, the heat generated from the
도 23은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.23 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 23에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치는, 크게 제 1 반도체 패키지(100)와, 제 2 반도체 패키지(200)와, 제 1 방열부재(400) 및 제 2 방열부재(601)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제 2 방열부재(601)는, 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 상면에 설치되는 것으로서, 상기 제 1 방열부재(400)와 상기 열전달물질(TIM)을 통해서 서로 열적으로 연결될 수 있다. As shown in FIG. 23, a semiconductor stack package apparatus according to some embodiments of the present inventive concept may largely include a
또한, 상기 제 1 방열부재(400)는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부(F)가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부(F)는, 상기 제 1 기판(120)의 폭(W1) 이상의 폭(W2)을 갖는 상기 제 2 기판(220)의 테두리 상면과 접촉될 수 있다. 따라서, 상기 제 1 반도체 패키지(100)에서 발생된 열은 열전도성이 우수한 상기 제 1 방열부재(301)로 전달되고, 상기 제 2 반도체 패키지(200)에서 발생된 열은 열전도성이 우수한 상기 제 2 방열부재(600)로 전달되어 상기 제 1 방열부재(301)의 표면에서 외기로 방출될 수 있다. In addition, the first
도 24는 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.24 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 24에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치는, 크게 제 1 반도체 패키지(100)와, 제 2 반도체 패키지(200)와, 제 1 방열부재(500) 및 제 2 방열부재(602)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제 2 방열부재(602)는, 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 상면에 설치되고, 상기 제 1 방열부재(500)와 열적으로 연결될 수 있다. 또한, 상기 제 1 방열부재(500)는, 상기 제 2 기판(220)의 폭(W4) 이상의 폭(W3)을 갖는 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되는 방열판일 수 있다. 또한, 상기 제 2 방열부재(602)는 상기 제 1 방열부재(500)와 상기 열전달물질(TIM)에 의해 열적 및 물리적으로 접촉될 수 있다.As illustrated in FIG. 24, a semiconductor stack package apparatus according to some embodiments of the present inventive concept may largely include a
따라서, 상기 제 1 반도체 패키지(100)에서 발생된 열은 열전도성이 우수한 상기 제 1 방열부재(500)로 전달되고, 상기 제 2 반도체 패키지(200)에서 발생된 열은 열전도성이 우수한 상기 제 2 방열부재(602)로 전달되어 상기 제 1 방열부재(500) 및 제 2 방열부재(602)의 표면에서 외기로 방출될 수 있다.Therefore, the heat generated from the
도 24 내지 도 29는 본 발명 사상의 일부 실시예들에 따른 반도체 스택 패키지 장치들을 나타내는 부분 단면도들이다.24 to 29 are partial cross-sectional views illustrating semiconductor stack package devices in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 24에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(700)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 일측면에 형성되는 체결홈부(141)와 억지물림되는 체결부(710)가 설치될 수 있고, 도 26에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(701)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100)와 제 2 반도체 패키지(200) 사이의 공간에 끼워지는 체결부(720)가 설치될 수 있으며, 도 27에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(702)는, 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 일측과 억지물림되는 체결부(730)가 설치될 수 있다. 이러한 상기 체결부(710)(720)(730)를 이용하여 상기 제 1 방열부재(700)(701)(702)를 간단하게 밀어 넣는 원터치 동작만으로 체결을 가능하게 하여 상기 제 1 방열부재(700)(701)(702)의 조립성을 향상시키고, 조립 공정을 단순화할 수 있다.As shown in FIG. 24, the first
도 28에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(703)는, 상기 제 2 반도체 패키지(200)의 일측에 형성되는 체결홈부(201)와 억지물림되는 체결부(740)가 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 방열부재(703)는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부(F)가 설치되는 방열판이고, 상기 플랜지부(F)는, 상기 제 1 기판(120)의 폭(W1) 이상의 폭(W2)을 갖는 상기 제 2 기판(220)의 테두리 상면과 상기 체결부(740)를 통해 간단하게 체결될 수 있다. As illustrated in FIG. 28, the first
도 29에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(704)는, 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 일측에 억지물림되는 체결부(750)가 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 방열부재(704)는, 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a) 및 측면(140b)과 접촉되고, 상기 제 1 방열부재(704)는, 상기 제 2 기판(220)의 폭(W4) 이상의 폭(W3)을 갖는 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 상기 체결부(750)를 통해 상기 제 1 반도체 패키지(100)의 일측에 체결될 수 있다.As illustrated in FIG. 29, the first
도 30은 본 발명 사상의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 나타내는 부분 단면도이다.30 is a partial cross-sectional view illustrating a semiconductor stack package apparatus in accordance with some embodiments of the inventive concepts.
도 30에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방열부재(705)는, 상기 제 1 봉지재(140)의 상측에 형성되는 체결홈부(142)와 억지물림되는 체결부(760)가 설치될 수 있다. 또한, 상기 제 1 방열부재(705)는, 상기 제 1 봉지재(140)의 상면(140a)과 접촉되고, 그 표면에 적어도 하나 이상의 방열핀(770)이 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제 1 방열부재(705)는 원터치 방식으로 간편하게 상기 제 1 봉지재(140)와 체결될 수 있고, 다수개의 상기 방열핀(770)들이 갖는 넓은 표면적을 이용하여 방열 면적을 증대시킴으로써 외기로의 열방출을 원활하게 할 수 있다. As shown in FIG. 30, the first
도 31 및 도 32는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 반도체 스택 패키지 장치들이 보드 기판(3000)에 실장된 상태를 나타내는 부분 단면도들이다.31 and 32 are partial cross-sectional views illustrating a state in which semiconductor stack package devices are mounted on a
도 31의 반도체 스택 패키지 장치는, 제 1 반도체 패키지(100)와, 제 2 반도체 패키지(200)와 제 1 방열부재(300) 및 보드 기판(3000)을 포함할 수 있고, 도 32의 반도체 스택 패키지 장치는, 제 1 반도체 패키지(100)와, 제 2 반도체 패키지(200)와 제 1 방열부재(301) 및 보드 기판(3000)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 제 2 반도체 패키지(200)는 도 1 내지 도 2에서 설명한 구조와 동일할 수 있다. 따라서, 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 제 2 반도체 패키지(200)의 구성요소들에 대한 구체적인 설명은 생략한다.The semiconductor stack package apparatus of FIG. 31 may include a
이러한, 상기 제 1 반도체 패키지(100) 및 제 2 반도체 패키지(200)는 상기 보드 기판(3000)에 실장될 수 있다. 상기 보드 기판(3000)은 바디층(3100), 상부 보호층(3200), 하부 보호층(3300), 상부 패드(3400) 및 연결 부재(3500)를 포함할 수 있다. 상기 바디층(3100)에는 다수의 배선 패턴이 형성될 수 있다. 상부 보호층(3200) 및 하부 보호층(3300)은 바디층(3100)을 보호하는 기능을 하는데, 예컨대, 솔더 레지스트일 수 있다. 이러한 보드 기판(3000)은 전술한 바와 같이 규격화되어 있고, 또한 그 사이즈 축소에 한계가 있다. 따라서, 보드 기판(3000)에 대해서는 더 이상의 설명은 생략한다.The
도 33은 본 발명의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 포함하는 메모리 카드(7000)를 개략적으로 보여주는 블럭 구성도이다.33 is a block diagram schematically illustrating a
도 33에 도시된 바와 같이, 메모리 카드(7000) 내에서 제어기(7100)와 메모리(7200)는 전기적인 신호를 교환하도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제어기(7100)에서 명령을 내리면, 메모리(7200)는 데이터를 전송할 수 있다. 제어기(7100) 및/또는 메모리(7200)는 본 발명의 실시예들 중 어느 하나에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 포함할 수 있다. 메모리(7200)는 메모리 어레이(미도시) 또는 메모리 어레이 뱅크(미도시)를 포함할 수 있다. As shown in FIG. 33, in the
이러한 카드(7000)는 다양한 종류의 카드, 예를 들어 메모리 스틱 카드(memory stick card), 스마트 미디어 카드(smart media card; SM), 씨큐어 디지털 카드(secure digital; SD), 미니 씨큐어 디지털 카드(mini secure digital card; mini SD), 또는 멀티 미디어 카드(multi media card; MMC)와 같은 메모리 장치에 이용될 수 있다.The
도 34는 본 발명의 일부 실시예에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 포함하는 전자시스템(8000)을 개략적으로 보여주는 블럭 구성도이다.34 is a block diagram schematically illustrating an
도 27에 도시된 바와 같이, 전자시스템(8000)은 제어기(8100), 입/출력 장치(8200), 메모리(8300) 및 인터페이스(8400)를 포함할 수 있다. 상기 전자시스템(8000)은 모바일 시스템 또는 정보를 전송하거나 전송받는 시스템일 수 있다. 상기 모바일 시스템은 PDA, 휴대용 컴퓨터(portable computer), 웹 타블렛(web tablet), 무선 폰(wireless phone), 모바일 폰(mobile phone), 디지털 뮤직 플레이어(digital music player) 또는 메모리 카드(memory card)일 수 있다. As shown in FIG. 27, the
여기서, 상기 제어기(8100)는 프로그램을 실행하고, 전자시스템(8000)을 제어하는 역할을 할 수 있다. 상기 제어기(8100)는, 예를 들어 마이크로프로세서(microprocessor), 디지털 신호 처리기(digital signal processor), 마이크로콘트롤러(microcontroller) 또는 이와 유사한 장치일 수 있다. 또한, 상기 입/출력 장치(8200)는 전자시스템(8000)의 데이터를 입력 또는 출력하는데 이용될 수 있다. Herein, the
또한, 상기 전자시스템(8000)은 입/출력 장치(8200)를 이용하여 외부 장치, 예컨대 개인용 컴퓨터 또는 네트워크에 연결되어, 외부 장치와 서로 데이터를 교환할 수 있다. 상기 입/출력 장치(8200)는, 예를 들어 키패드(keypad), 키보드(keyboard) 또는 표시장치(display)일 수 있다. 상기 메모리(8300)는 제어기(8100)의 동작을 위한 코드 및/또는 데이터를 저장하거나, 및/또는 제어기(8100)에서 처리된 데이터를 저장할 수 있다. 제어기(8100) 및 메모리(8300)는 본 발명의 실시예들 중 어느 하나에 따른 반도체 스택 패키지 장치를 포함할 수 있다. 또한, 상기 인터페이스(8400)는 상기 시스템(8000)과 외부의 다른 장치 사이의 데이터 전송통로일 수 있다. 상기 제어기(8100), 입/출력 장치(8200), 메모리(8300) 및 인터페이스(8400)는 버스(8500)를 통하여 서로 통신할 수 있다. In addition, the
예를 들어, 이러한 전자시스템(8000)은 모바일 폰(mobile phone), MP3 플레이어, 네비게이션(navigation), 휴대용 멀티미디어 재생기(portable multimedia player, PMP), 고상 디스크(solid state disk; SSD) 또는 가전 제품(household appliances)에 이용될 수 있다.For example, such
본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상을 해치지 않는 범위 내에서 당업자에 의한 변형이 가능함은 물론이다.It is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified by those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention.
따라서, 본 발명에서 권리를 청구하는 범위는 상세한 설명의 범위 내로 정해지는 것이 아니라 후술되는 청구범위와 이의 기술적 사상에 의해 한정될 것이다.Therefore, the scope of the claims in the present invention will not be defined within the scope of the detailed description, but will be defined by the following claims and their technical spirit.
100: 제 1 반도체 패키지 200: 제 2 반도체 패키지
110: 제 1 반도체 칩 120: 제 1 기판
J: 조인터 130: 제 1 신호전달매체
140: 제 1 봉지재 140a: 상면
140b, 120b, 220b: 측면 210: 제 2 반도체 칩
220: 제 2 기판 JL: 조인터 랜드
T: 단자 230, 231, 232: 제 2 신호전달매체
240, 241, 242: 제 2 봉지재
300, 301, 400, 401, 402, 403, 404, 500, 700, 701, 702, 703, 704, 705: 제 1 방열부재
121, 221: 바디층 122, 222: 상부 보호층
123, 223: 하부 보호층 SB1: 제 1 솔더볼
SB2: 제 2 솔더볼 TE: 관통 전극
SB: 솔더볼 F: 플랜지부
W1, W2, W3, W4: 폭 FL: 고정 랜드
TR: 관통 막대 TIM: 열전달물질
W: 관통창 600: 제 2 방열부재
601, 602: 제 2 방열부재 141, 142, 201: 체결홈부
710, 720, 730, 740, 750, 760: 체결부 770: 방열핀
3000: 보드 기판 3100: 바디층
3200: 상부 보호층 3300: 하부 보호층
3400: 상부 패드 3500: 연결 부재
7000: 메모리 카드 7100: 제어기
7200: 메모리 8000: 전자시스템
8100: 제어기 8200: 입/출력 장치
8300: 메모리 8400: 인터페이스
8500: 버스100: first semiconductor package 200: second semiconductor package
110: first semiconductor chip 120: first substrate
J: Joiner 130: First Signaling Media
140:
140b, 120b, 220b: Side 210: Second Semiconductor Chip
220: second substrate JL: joiner land
T:
240, 241, 242: second encapsulant
300, 301, 400, 401, 402, 403, 404, 500, 700, 701, 702, 703, 704, 705: first heat radiation member
121, 221:
123 and 223: Lower protective layer SB1: First solder ball
SB2: second solder ball TE: through electrode
SB: Solder Ball F: Flange
W1, W2, W3, W4: Width FL: Fixed Land
TR: Through Bar TIM: Heat Transfer Material
W: through window 600: second heat dissipation member
601, 602: second
710, 720, 730, 740, 750, 760: fastening portion 770: heat radiation fin
3000: Board Substrate 3100: Body Layer
3200: upper protective layer 3300: lower protective layer
3400: upper pad 3500: connecting member
7000: memory card 7100: controller
7200: memory 8000: electronic system
8100: controller 8200: input / output device
8300: Memory 8400: Interface
8500: bus
Claims (10)
적어도 하나의 제 2 반도체 칩; 상기 제 2 반도체 칩을 지지하고, 상면에 상기 조인터와 연결되는 조인터 랜드가 설치되고, 하면에 단자가 설치되는 제 2 기판; 상기 제 2 반도체 칩과 상기 제 2 기판을 전기적으로 연결하는 제 2 신호전달매체; 및 상기 제 2 반도체 칩과 제 2 신호전달매체를 둘러싸서 보호하는 제 2 봉지재;를 포함하는 제 2 반도체 패키지; 및
상기 제 1 반도체 패키지 및 상기 제 2 반도체 패키지에서 발생되는 열을 외기로 방출시킬 수 있도록 상기 제 1 반도체 패키지의 상면에 설치되는 제 1 방열부재;
를 포함하는 반도체 스택 패키지 장치.At least one first semiconductor chip; A first substrate supporting the first semiconductor chip and having a jointer disposed on a bottom surface thereof; A first signal transmission medium electrically connecting the first semiconductor chip and the first substrate; And a first encapsulation material surrounding and protecting the first semiconductor chip and the first signal transmission medium.
At least one second semiconductor chip; A second substrate supporting the second semiconductor chip, a joint land connected to the jointer on an upper surface thereof, and a terminal on a lower surface thereof; A second signal transmission medium electrically connecting the second semiconductor chip and the second substrate; And a second encapsulation material surrounding and protecting the second semiconductor chip and the second signal transmission medium. And
A first heat dissipation member installed on an upper surface of the first semiconductor package to release heat generated in the first semiconductor package and the second semiconductor package to the outside;
Semiconductor stack package device comprising a.
상기 제 1 방열부재는, 상기 제 1 봉지재의 상면과 접촉되는 방열판인 반도체 스택 패키지 장치.The method of claim 1,
And the first heat dissipation member is a heat dissipation plate in contact with an upper surface of the first encapsulant.
상기 제 1 방열부재는, 상기 제 1 봉지재의 상면과 측면, 제 1 기판의 측면 및 상기 제 2 기판의 측면을 덮는 방열판인 반도체 스택 패키지 장치.The method of claim 1,
And the first heat dissipation member is a heat dissipation plate covering an upper surface and a side surface of the first encapsulant, a side surface of the first substrate, and a side surface of the second substrate.
상기 제 1 방열부재는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재의 상면과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부가 설치되는 방열판이고,
상기 플랜지부는, 상기 제 1 기판의 폭 이상의 폭을 갖는 상기 제 2 기판의 테두리 상면과 접촉되는 것인 반도체 스택 패키지 장치.The method of claim 1,
The first heat dissipation member is a heat dissipation plate, a part of which is in contact with an upper surface of the first encapsulation material, and a flange portion is provided at one end thereof.
The flange portion is in contact with the upper surface of the edge of the second substrate having a width greater than the width of the first substrate.
상기 제 1 방열부재는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재의 상면과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부가 설치되는 방열판이고,
상기 플랜지부는, 상기 제 1 기판의 폭 이상의 폭을 갖는 상기 제 2 봉지재와 접촉되는 것인 반도체 스택 패키지 장치.The method of claim 1,
The first heat dissipation member is a heat dissipation plate, a part of which is in contact with an upper surface of the first encapsulation material, and a flange portion is provided at one end thereof.
And the flange portion is in contact with the second encapsulant having a width greater than or equal to the width of the first substrate.
상기 제 1 방열부재는, 그 일부가 상기 제 1 봉지재의 상면과 접촉되고, 그 일단에 플랜지부가 설치되는 방열판이고,
상기 플랜지부는, 상기 제 1 기판의 폭 이상의 폭을 갖는 상기 제 2 봉지재의 테두리부를 관통하여 상기 제 2 기판의 상면에 형성된 고정 랜드와 연결되는 관통 막대와 접촉되는 것인 반도체 스택 패키지 장치.The method of claim 1,
The first heat dissipation member is a heat dissipation plate, a part of which is in contact with an upper surface of the first encapsulation material, and a flange portion is provided at one end thereof.
And the flange portion is in contact with a through bar connected to a fixed land formed on an upper surface of the second substrate through an edge of the second encapsulant having a width greater than or equal to the width of the first substrate.
상기 제 1 방열부재와, 제 1 반도체 패키지 또는 제 2 반도체 패키지 사이에 접착성을 갖는 열전달물질(Thermal Interface Material: TIM)이 설치되는 것인 반도체 스택 패키지 장치.The method of claim 1,
And a heat transfer material (TIM) having an adhesive property between the first heat dissipation member and the first semiconductor package or the second semiconductor package.
상기 제 1 방열부재는, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이의 공기가 외기와 연결될 수 있도록 일측에 관통창이 형성되는 것인 반도체 스택 패키지 장치. The method of claim 1,
The first heat dissipation member, the semiconductor stack package apparatus is a through-winding is formed on one side so that air between the first substrate and the second substrate can be connected to the outside air.
상기 제 2 반도체 패키지의 상면에 설치되고, 상기 제 1 방열부재와 열적으로 연결되는 제 2 방열부재;
를 더 포함하는 반도체 스택 패키지 장치.The method of claim 1,
A second heat radiation member installed on an upper surface of the second semiconductor package and thermally connected to the first heat radiation member;
Semiconductor stack package device further comprising.
상기 제 1 방열부재는, 상기 제 1 반도체 패키지 또는 제 2 반도체 패키지와 억지물림되는 체결부가 설치되는 것인 반도체 스택 패키지 장치.The method of claim 1,
The first heat dissipation member, the semiconductor stack package apparatus is provided with a fastening portion forcibly interlocked with the first semiconductor package or the second semiconductor package.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110104832A KR20130040071A (en) | 2011-10-13 | 2011-10-13 | Semiconductor stack package apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020110104832A KR20130040071A (en) | 2011-10-13 | 2011-10-13 | Semiconductor stack package apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130040071A true KR20130040071A (en) | 2013-04-23 |
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ID=48440055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country | Link |
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KR (1) | KR20130040071A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015064953A1 (en) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 하나마이크론(주) | Method for manufacturing electronic component |
KR20150125814A (en) * | 2014-04-30 | 2015-11-10 | 삼성전자주식회사 | Semiconductor Package Device |
US9412729B2 (en) | 2013-08-12 | 2016-08-09 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package and fabricating method thereof |
US9730323B2 (en) | 2014-02-25 | 2017-08-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor package |
-
2011
- 2011-10-13 KR KR1020110104832A patent/KR20130040071A/en not_active Application Discontinuation
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