KR20130035676A - Screen plate, method for fabricating multi-layered capacitor thereby and multi-layered capacitor - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A screen plate is provided to prevent saddle phenomenon on the upper side of an internal electrode film, thereby improving reliability of a ceramic capacitor. CONSTITUTION: A screen plate(10) comprises a screen mesh(13) with a plurality of through holes; a plurality of mask parts(11) filling parts of the through holes; at least one printed region(12) formed by the mask part; and a pair of wall parts(20) which are arranged to face each other and be spaced at a constant gap from both surrounding parts of the printed region. The gap is 30-100 micron. The wall parts are arranged in parallel and the width of the wall part is 5-20 micron.

Description

스크린 인쇄판 및 이를 이용한 적층형 세라믹 캐패시터 제조방법 및 적층형 세라믹 캐패시터{Screen Plate, Method for Fabricating Multi-Layered Capacitor Thereby and Multi-Layered Capacitor}Screen Plate, Method for Fabricating Multi-Layered Capacitor, and Multi-Layered Capacitor

본 발명은 스크린 인쇄판, 이를 이용한 적층형 세라믹 캐패시터 제조방법 및 적층형 세라믹 캐패시터에 관한 것이다.The present invention relates to a screen printing plate, a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the same, and a multilayer ceramic capacitor.

적층형 세라믹 캐패시터(Multi-Layered Ceramic Capacitor: MLCC)는 이동통신 단말기, 노트북, 컴퓨터 및 개인 휴대용 단말기(PDA) 등 여러 전자제품의 인쇄회로기판에 장착되어 전기를 충전 또는 방전시키는 중요한 역할을 하는 칩 형태의 콘덴서이며, 사용되는 용도 및 용량에 따라 다양한 크기와 적층 형태를 가진다.Multi-Layered Ceramic Capacitor (MLCC) is a chip type that plays an important role in charging or discharging electricity when mounted on printed circuit boards of various electronic products such as mobile communication terminals, notebook computers, computers, and personal digital assistants (PDAs). Is a condenser and has various sizes and stacking shapes depending on the intended use and capacity.

이러한 적층형 세라믹 캐패시터는 최근 전자제품의 소형화에 따라 초소형화 및 초고용량화가 요구되고 있으며, 이에 초소형화를 위해 내부전극 및 유전체층의 두께를 얇게 하고, 초고용량화를 위해 많은 수의 유전체를 적층한 제품이 제조되고 있다.These multilayer ceramic capacitors are required to be miniaturized and ultra-high in size as electronic products are recently miniaturized. Therefore, a thin film of an internal electrode and a dielectric layer is required for miniaturization, and a large number of dielectric layers are stacked for ultra high capacity. Is being manufactured.

그러나, 많은 층의 유전체로 이루어진 적층형 세라믹 캐패시터는, 시트 상에 내부전극막을 형성하기 위해 스크린 인쇄판을 통해 도전성 페이스트를 충전하는 단계에서, 주변부의 토출량이 중앙부에 비해 상대적으로 많을 수 있다.However, in a multilayer ceramic capacitor composed of many layers of dielectrics, in the step of filling the conductive paste through the screen printing plate to form the internal electrode film on the sheet, the discharge amount of the peripheral portion may be relatively large compared to the center portion.

따라서, 내부전극막의 주변부가 상측으로 볼록해지면서 그 두께가 중앙부의 두께보다 두꺼워지는 일명 안장(saddle) 현상이 발생할 수 있다.Therefore, a saddle phenomenon may occur in which the periphery of the internal electrode film becomes convex upward and its thickness becomes thicker than the thickness of the center part.

이러한 안장 현상은, 다층의 유전체로 이루어진 적층체를 압착할 때, 상대적으로 두께가 두꺼운 내부전극막의 주변부가 밀도의 균일화를 위해 중앙부에 비해 많이 늘어나게 되는 원인이 될 수 있다. 따라서, 시트가 전체적으로 얇아지게 되고, 제조된 제품의 신뢰성이 저하되는 문제점이 발생할 수 있다.This saddle phenomenon may cause a large portion of the peripheral portion of the relatively thick inner electrode film to be expanded compared to the center portion in order to uniformize the density when compressing a laminate made of a multilayer dielectric. Therefore, the sheet may become thinner as a whole and a problem may occur in that the reliability of the manufactured product is lowered.

당 기술분야에서는, 적층형 세라믹 캐패시터의 유전체 제조시 내부전극막에서 발생하는 안장 현상을 개선하기 위한 새로운 방안이 요구되어 왔다.In the art, a new method for improving the saddle phenomenon occurring in the internal electrode film during the manufacture of the dielectric of the multilayer ceramic capacitor has been required.

본 발명의 일 측면은, 복수의 관통공을 갖는 스크린 메쉬; 상기 복수의 관통공 중에 일부를 채워 이루어진 마스크부; 상기 마스크부에 의해 정의된 적어도 하나의 인쇄영역; 및 상기 인쇄영역의 양쪽 주변부로부터 소정의 간격을 두고 마주보게 배치된 한 쌍의 벽부; 를 포함하는 스크린 인쇄판을 제공한다.One aspect of the invention, the screen mesh having a plurality of through holes; A mask part formed by filling a part of the plurality of through holes; At least one printing area defined by the mask part; A pair of wall portions disposed to face each other at predetermined intervals from both peripheral portions of the printing area; It provides a screen printing plate comprising a.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 벽부와 상기 인쇄영역의 주변부의 간격은 30 내지 100㎛으로 이루어질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the interval between the wall portion and the periphery of the printing area may be made of 30 to 100㎛.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 한 쌍의 벽부는 서로 나란히 배치될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the pair of wall portions may be arranged side by side with each other.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 벽부의 폭은 5 내지 20 ㎛으로 이루어질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the width of the wall portion may be made of 5 to 20 ㎛.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 인쇄영역은 상기 스크린 메쉬에 2열 이상 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the print area may be formed in two or more columns on the screen mesh.

이때, 상기 각 열의 인쇄영역은 서로 나란히 배열될 수 있으며, 상기 인쇄영역은 제1 열의 제1 인쇄영역과 인접한 제2 열의 제2 인쇄영역이 서로 엇갈리게 배열될 수 있다.In this case, the print areas of each column may be arranged side by side, and the print areas may be alternately arranged with the first print area of the first row and the second print area of the second row adjacent to each other.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 벽부는 상기 인쇄영역의 높이 보다 작게 형성되고, 시트를 향하는 상기 벽부의 단부와 상기 마스크부의 일면이 단차지게 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the wall portion may be formed smaller than the height of the print area, the end portion of the wall portion facing the sheet and one surface of the mask portion may be formed stepped.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 벽부는 시트를 향하는 단부가 볼록하게 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the wall portion may be formed in the convex end portion toward the sheet.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 벽부는 시트를 향하는 단부가 오목하게 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the wall portion may be formed in the concave end portion facing the sheet.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 벽부는 시트를 향하는 단부의 좌우측 길이가 상이하게 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the wall portion may be formed to have different lengths of the left and right sides of the end toward the sheet.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 벽부는 시트를 향하는 단부에 요철부를 가질 수 있다.
In one embodiment of the present invention, the wall portion may have an uneven portion at the end facing the sheet.

본 발명의 다른 측면은, 시트 상에 적어도 하나의 인쇄영역을 갖는 스크린 인쇄판을 배치하고, 상기 인쇄영역에 도전성 페이스트를 공급하여 상기 시트 상에 내부전극막을 형성하되, 상기 인쇄영역의 양쪽 주변부로부터 소정의 간격을 두고 배치된 한 쌍의 벽부에 의해 상기 도전성 페이스트 중 일부의 공급을 차단하는 것을 포함하는 적층형 세라믹 캐피시터 제조방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, a screen printing plate having at least one printing area is disposed on a sheet, and a conductive paste is supplied to the printing area to form an internal electrode film on the sheet, the predetermined area being formed from both peripheral portions of the printing area. Provided is a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor, the method comprising interrupting the supply of some of the conductive paste by a pair of wall portions spaced apart from each other.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 시트 중에서 상기 벽부와 대응되는 위치에 상기 벽부의 주변의 개방된 관통홀을 통과한 도전성 페이스트에 의해 상기 벽부가 없는 위치에 형성된 것과 동일 평행면을 갖도록 내부전극막을 형성할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the internal electrode film is formed to have the same parallel plane as that formed at the position without the wall portion by the conductive paste passing through the open through hole around the wall portion at a position corresponding to the wall portion among the sheets. can do.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기 스크린 인쇄판은 상기 시트의 상면으로부터 소정 간격 이격되게 설치할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the screen printing plate may be installed spaced apart from the upper surface of the sheet by a predetermined interval.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 시트 상에 내부전극막을 형성할 때 내부전극막의 상면에 발생하는 안장 현상을 억제함으로써, 작동 신뢰성이 향상된 적층형 세라믹 캐패시터를 제조할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, when forming the internal electrode film on the sheet by suppressing the saddle phenomenon occurring on the upper surface of the internal electrode film, it can be expected to produce an effect of manufacturing a multilayer ceramic capacitor with improved operation reliability.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스크린 인쇄판의 개략적인 구조를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 적용되는 시트 및 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스크린 인쇄판을 이용하여 형성된 내부전극막을 도 1의 A-A선 단면으로 나타낸 단면도이다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스크린 인쇄판의 벽부를 다양한 형태로 변경한 실시 예들을 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 적용되는 시트 및 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 스크린 인쇄판과, 이 스크린 인쇄판을 이용하여 형성된 내부전극막을 나타낸 단면도이다.1 is a perspective view showing a schematic structure of a screen printing plate according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view of Fig.
3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1 showing an internal electrode film formed by using a sheet applied to an embodiment of the present invention and a screen printing plate according to an embodiment of the present invention.
4A to 4E are cross-sectional views illustrating examples in which the wall portion of the screen printing plate according to the embodiment of the present invention is changed to various forms.
5 is a cross-sectional view showing a sheet applied to one embodiment of the present invention, a screen printing plate according to another embodiment of the present invention, and an internal electrode film formed by using the screen printing plate.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

그러나, 본 발명의 실시 형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.However, embodiments of the present invention may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below.

또한, 본 발명의 실시 형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.Further, the embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art.

따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면 상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.Accordingly, the shapes and sizes of the elements in the drawings may be exaggerated for clarity of description, and the elements denoted by the same reference numerals in the drawings are the same elements.

또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.In the drawings, like reference numerals are used throughout the drawings.

덧붙여, 명세서 전체에서 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
In addition, to include an element throughout the specification does not exclude other elements unless specifically stated otherwise, but may include other elements.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시 형태에 따른 스크린 인쇄판(10)은, 복수의 관통공(14)을 갖는 스크린 메쉬(13)와, 스크린 메쉬(13)의 복수의 관통공(13) 중에 일부를 채워 비관통 상태로 이루어지는 마스크부(11)와, 스크린 메쉬(13)에서 마스크부(11)에 의해 정의되어 관통 상태로 이루어지는 인쇄영역(12)과, 인쇄영역(12) 내에서 양쪽 주변부로부터 소정의 간격을 두고 마주보게 배치된 한 쌍의 벽부(20)를 포함한다.
1 and 2, the screen printing plate 10 according to the present embodiment includes a screen mesh 13 having a plurality of through holes 14, and a plurality of through holes 13 of the screen mesh 13. The mask portion 11 which is partially penetrated by filling in the middle portion, the print region 12 defined by the mask portion 11 in the screen mesh 13 and formed in the penetrating state, and both in the print region 12. It includes a pair of wall portions 20 facing each other at a predetermined distance from the peripheral portion.

스크린 메쉬(13)는 폴리에스터 혹은 스테인레스 스틸 등을 재질로 하여 이루어질 수 있으며, 다수의 미소 개구로 된 관통공(14)을 갖는 그물망이 판상으로 형성될 수 있다.
The screen mesh 13 may be made of polyester, stainless steel, or the like, and a net having a through hole 14 having a plurality of minute openings may be formed in a plate shape.

마스크부(11)는 에멀젼 등의 유제로 이루어진 일정한 두께의 막일 수 있으며, 스크린 메쉬(13)의 상면에 공급되는 도전성 페이스트 중 시트(30)의 상면에 인쇄되는 부분만 통과시키도록 나머지 부분들을 차단시키는 역할을 한다. 이때, 시트(30)는 세라믹 그린시트로 구성할 수 있다.
The mask portion 11 may be a film having a predetermined thickness made of an emulsion such as an emulsion, and blocks the remaining portions so as to pass only the portion printed on the upper surface of the sheet 30 of the conductive paste supplied to the upper surface of the screen mesh 13. It plays a role. At this time, the sheet 30 may be composed of a ceramic green sheet.

인쇄영역(12)은, 시트(30) 상에 스크린 인쇄판(10)을 배치하고 그 위에 도전성 페이스트를 공급하였을 때, 공급된 도전성 페이스트를 하측으로 통과시켜 시트(30) 상에 패턴을 인쇄하여 내부전극막(40)을 형성하기 위한 것이다.When the screen printing plate 10 is disposed on the sheet 30 and the conductive paste is supplied thereon, the printing area 12 passes the supplied conductive paste downward to print a pattern on the sheet 30 to form the interior. It is for forming the electrode film 40.

이때, 스크린 메쉬(13)에 구비되는 인쇄영역(12)은 2열 이상을 나란하게 형성할 수 있다. 또한, 칩으로 절단했을 때 상이한 극성을 가질 수 있도록 제1 열의 제1 인쇄영역과 제1 인쇄영역과 인접한 제2 열의 제2 인쇄영역을 서로 엇갈린 형태로 배열할 수 있다.
In this case, the printing area 12 provided in the screen mesh 13 may form two or more rows side by side. In addition, the first printed area in the first row and the second printed area in the second row adjacent to the first print area may be arranged in a staggered form so as to have different polarities when cut into chips.

벽부(20)는 스크린 메쉬(13)의 관통공(14) 중에 일부를 에멀젼 등의 유제로 채워 인쇄영역(12) 내에 수직방향으로 형성할 수 있다.The wall portion 20 may be formed in the printing area 12 in the vertical direction by filling a portion of the through hole 14 of the screen mesh 13 with an emulsion such as an emulsion.

이러한 벽부(20)는 인쇄영역(12)의 주변부에서 도전성 페이스트의 충전량이 중앙부에 비해 상대적으로 커지는 것을 방지하는 역할을 한다. 이때, 벽부(20)와 인쇄영역(12)의 내측면 사이의 간격은 도전성 페이스트의 토출량을 최적화할 수 있는 위치인 30 내지 100㎛로 설정할 수 있다.The wall portion 20 serves to prevent the filling amount of the conductive paste at the periphery of the print area 12 from being increased relative to the center portion. At this time, the interval between the wall portion 20 and the inner surface of the printing area 12 may be set to 30 to 100㎛ which is a position for optimizing the discharge amount of the conductive paste.

따라서, 인쇄영역(12)에 토출된 도전성 페이스트는 그 주변부에서 벽부(20)에 의해 공급이 차단되어 인쇄영역(12)의 중앙부와 주변부의 충전량이 엇비슷해지도록 한다. 이때, 벽부(20)는 시트(30)를 향하는 단부가 주변부에 충전된 도전성 페이스트에 의해 내부전극막(40)이 형성될 때 그 상면이 돌출되는 것을 눌러서 억제하는 차단벽의 역할도 같이 하게 된다.Therefore, the conductive paste discharged to the print area 12 is cut off by the wall portion 20 at the periphery thereof, so that the filling amount of the center portion and the periphery portion of the print area 12 is similar. At this time, the wall portion 20 also plays a role of a barrier wall which suppresses the upper surface protruding when the internal electrode film 40 is formed by the conductive paste filled at the end portion toward the sheet 30. .

이러한 작용에 의해, 내부전극막(40)의 주변부가 볼록해져 중앙부 보다 돌출되는 안장 현상이 방지되고, 이에 내부전극막(40)의 두께가 최대한 균일해질 수 있다.By this action, the periphery of the internal electrode film 40 is convex to prevent the saddle phenomenon protruding from the center portion, thereby the thickness of the internal electrode film 40 can be as uniform as possible.

따라서, 이러한 내부전극막(40)이 구비된 시트(30)를 복수 개 적층하여 세라믹 적층체를 형성함에 있어서, 내부전극막(40)의 상면이 대체로 평면으로 이루어지므로, 내부전극막(40)의 형상이 변형되거나, 소성시 내부전극막(40) 내에 크랙이 발생하는 것을 방지하게 되어 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
Accordingly, in forming a ceramic laminate by stacking a plurality of sheets 30 having the internal electrode film 40, the upper surface of the internal electrode film 40 is generally flat, so that the internal electrode film 40 is formed. The shape of the shape may be deformed or cracks may be prevented from occurring in the internal electrode film 40 during firing, thereby improving reliability of the product.

한편, 벽부(20)의 폭은 너무 좁거나 넓은 경우 앞서 설명한 안장 현상을 방지하고 유전체의 특성을 좋게 하는 효과가 나타나지 않을 수 있다.On the other hand, if the width of the wall portion 20 is too narrow or too wide, the effect of preventing the saddle phenomenon described above and improving the characteristics of the dielectric may not appear.

아래 표 1에 벽부(20)의 폭을 다양하게 하여 여러 개의 스크린 인쇄판을 제작한 후, 이러한 각각의 스크린 인쇄판(10)을 이용하여 내부전극막(40)이 형성된 세라믹 그린 시트(30)를 제작한 후, 이 내부전극막(40)의 인쇄패턴의 형상을 평가하고, 이러한 시트를 복수 개 적층하여 그린 세라믹 적층제를 제작한 후 그 특성을 서로 비교한 결과를 나타내었다.In Table 1 below, various screen printing plates were manufactured by varying the width of the wall portion 20, and then, each of the screen printing plates 10 was used to produce the ceramic green sheet 30 having the internal electrode film 40 formed thereon. After that, the shape of the printed pattern of the internal electrode film 40 was evaluated, and a plurality of such sheets were laminated to produce a green ceramic laminate, and the results were compared with each other.

상기 그린 세라믹 적층제는 150~1,000층의 세라믹 그린 시트(30)를 적층한 후, 압착, 절단, 소성, 외부전극 및 도금 등의 공정을 차례로 거쳐 적층형 세라믹 캐패시터로 제작하였으며, 인쇄형상, 정전용량, 파괴전압(BDV) 및 출하가속수명 등에 대해서 평가하였다.The green ceramic laminating agent was manufactured by laminating a ceramic green sheet 30 of 150 to 1,000 layers, and then pressing, cutting, firing, external electrodes, and plating in order to produce a multilayer ceramic capacitor. , Breakdown voltage (BDV), shipping life, and so on.

벽부의 폭(㎛)Width of wall part (㎛) 정전용량(%)Capacitance (%) 파괴전압(V)Breakdown voltage (V) 출하가속수명평가
Lot NG율(%)Shipment Acceleration Life Assessment
Lot NG rate (%) 종래 예Conventional example 00 107107 7575 3131 실시 예 1Example 1 55 106106 8585 1515 실시 예 2Example 2 1010 104104 9393 1010 실시 예 3Example 3 2020 101101 8787 1212 비교 예 1Comparative Example 1 3030 9595 8181 1818 비교 예 2Comparative Example 2 4040 9292 7474 2727 비교 예 3Comparative Example 3 5050 8888 7272 3535

< 벽부의 폭에 따른 그린 세라믹 적층체의 특성 평가 결과 >
<Property Evaluation Results of Green Ceramic Laminates with Different Wall Widths>

상기 표 1을 참조하면, 종래 예로서 인쇄영역에 벽부가 구비되지 않은 스크린 인쇄판을 사용하는 경우, 상기 인쇄영역의 주변부에서 도전성 페이스트의 토출량이 상기 인쇄영역의 중앙부 보다 상대적으로 많게 된다. 이에 그린시트 상에 형성되는 내부전극막의 주변부가 중앙부에 비해 상대적으로 돌출된 안장 형상을 가지게 된다.Referring to Table 1, when using a screen printing plate having no wall portion in the printing area as a conventional example, the discharge amount of the conductive paste at the periphery of the printing area is relatively larger than the central portion of the printing area. Accordingly, the peripheral portion of the internal electrode film formed on the green sheet has a saddle shape relatively protruding from the center portion.

이러한 안장 형상의 내부전극막을 가지는 시트를 복수 개 적층하여 그린 세라믹 적층체를 제조한 후 그 특성을 살펴보았다.After stacking a plurality of sheets having such a saddle-shaped inner electrode film to prepare a green ceramic laminate, the characteristics were examined.

그 결과, 전기를 저장할 수 있는 공간의 크기를 나타내는 정전용량은 107%로 가장 높게 나타났으며, 절연파괴가 이루어지는 파괴전압은 75V이고, 출하가속수명은 31%로 정전용량을 제외하고는 대체로 성능이 낮음을 알 수 있다.
As a result, the capacitance representing the size of the space to store electricity was the highest, 107%, the breakdown voltage of insulation breakdown is 75V, the shipping acceleration life is 31%, the performance is generally except the capacitance It can be seen that this is low.

이와 대비되는 실시 예로서 스크린 인쇄판(10)의 벽부(20)의 폭이 5 내지 20㎛의 범위에 있는 경우를 예로 들었다. 이러한 실시 예의 경우, 인쇄영역(12)의 주변부에서 도전성 페이스트의 토출량이 벽부(20)에 의해 조절된다. 따라서, ㅅ시(30) 상에 형성되는 내부전극막(40)의 주변부가 중앙부에 비해 상대적으로 돌출되는 안장 현상이 방지될 수 있다.As an example, the case where the width of the wall portion 20 of the screen printing plate 10 is in the range of 5 to 20 μm is taken as an example. In this embodiment, the discharge amount of the conductive paste in the peripheral portion of the print area 12 is adjusted by the wall portion 20. Therefore, a saddle phenomenon in which the peripheral portion of the inner electrode film 40 formed on the chassis 30 is relatively protruded compared to the center portion can be prevented.

이에 시트(30) 상에 형성된 내부전극막(40)은 주변부와 중앙부의 두께의 차이가 10% 미만이 되는 상면이 대체로 평탄한 형상을 가지게 된다. 또한, 내부전극막(40)의 주변부와 중앙부의 두께 차이에 의해 기인하는 크랙이나 데라미네이션의 발생을 방지할 수 있다.Accordingly, the internal electrode film 40 formed on the sheet 30 has a substantially flat top surface having a difference in thickness between the peripheral portion and the central portion of less than 10%. In addition, it is possible to prevent the occurrence of cracks and lamination caused by the difference in thickness between the peripheral portion and the central portion of the internal electrode film 40.

이러한 내부전극막(40)을 가지는 시트(30)를 복수 개 적층하여 그린 세라믹 적층체를 제조한 후 그 특성을 살펴보았다.After stacking a plurality of sheets 30 having the internal electrode film 40 to prepare a green ceramic laminate, the characteristics thereof were examined.

그 결과, 정전용량에 있어서, 실시 예 1로서 벽부(20)의 폭이 5㎛인 경우는 106%이고, 실시 예 2로서 벽부(20)의 폭이 10㎛인 경우는 104%이며, 실시 예 3으로서 벽부(20)의 폭이 20㎛인 경우는 101%로, 벽부(20)의 폭이 5 내지 20㎛에 있는 실시 예 1 내지 3의 경우 정전용량이 모두 100% 이상으로 우수하게 나타남을 알 수 있다.As a result, the capacitance was 106% in the case where the width of the wall portion 20 was 5 μm as Example 1, and 104% in the case where the width of the wall portion 20 was 10 μm as the second embodiment. 3, the width of the wall portion 20 was 20 μm, and in the case of Examples 1 to 3 in which the width of the wall portion 20 was 5 to 20 μm, the capacitances were all excellent at 100% or more. Able to know.

또한, 파괴전압에 있어서, 실시 예 1인 벽부(20)의 폭이 5㎛인 경우는 85V이고, 실시 예 2인 벽부(20)의 폭이 10㎛인 경우는 93V이며, 실시 예 3인 벽부(20)의 폭이 20㎛인 경우는 87V로, 벽부(20)의 폭이 5 내지 20㎛에 있는 실시 예 1 내지 3의 경우 파괴전압이 모두 85V 이상을 나타내므로 벽부가 없는 종래 예의 75V에 비해 파괴전압이 개선되었음을 알 수 있다.In the breakdown voltage, when the width of the wall portion 20 according to the first embodiment is 5 µm, it is 85 V. When the width of the wall portion 20 according to the second embodiment is 10 µm, the width is 93 V. In the case where the width of 20 is 20 μm, the breakdown voltages are 85 V in the case of Examples 1 to 3 where the width of the wall part 20 is 5 to 20 μm. It can be seen that the breakdown voltage is improved.

또한, 출하가속수명에 있어서, 실시 예 1인 벽부(20)의 폭이 5㎛인 경우는 15%이고, 실시 예 2인 벽부(20)의 폭이 10㎛인 경우는 10%이며, 실시 예 3인 벽부(20)의 폭이 20㎛인 경우는 12%로, 벽부(20)의 폭이 5 내지 20㎛에 있는 실시 예 1 내지 3의 경우 출하가속수명이 모두 15% 이하를 나타내므로 벽부가 없는 종래 예의 31%에 비해 출하가속수명이 개선되었음을 알 수 있다.In addition, in shipment acceleration life, when the width | variety of the wall part 20 which is Example 1 is 5 micrometers, it is 15%, and when the width | variety of the wall part 20 which is Example 2 is 10 micrometers, it is 10%. When the width of the wall portion 20 of 3 is 20 μm, the width of the wall portion 20 is 12%. In Examples 1 to 3 in which the width of the wall portion 20 is 5 to 20 μm, all of the shipment acceleration lifespan is 15% or less. It can be seen that the shipping acceleration life is improved compared to 31% of the conventional example without additional parts.

위와 같은 결과로 볼 때, 본 실시 예들의 경우 종래 예에 비해 절연 저항의 저하 등을 효율적으로 억제할 수 있으며, 신뢰성이 높은 적층형 세라믹 캐피시터를 제조할 수 있다.
As a result of the above, in the case of the present embodiments, it is possible to efficiently suppress the decrease in insulation resistance and the like, compared to the conventional example, and to manufacture a highly reliable multilayer ceramic capacitor.

한편, 상기 실시 예들과 대비되는 비교 예로서 스크린 인쇄판의 벽부의 폭이 30 내지 50㎛의 범위에 있는 경우를 예로 들었다. 이러한 비교 예의 경우, 상기 인쇄영역의 주변부에서 도전성 페이스트의 토출량이 상기 인쇄영역의 중앙부 보다 상대적으로 더 적어지게 된다. 이에 그린시트 상에 형성되는 내부전극막의 주변부가 중앙부에 비해 상대적으로 오목하게 파인 형상을 가지게 된다.On the other hand, as a comparative example in contrast to the above embodiments, the case where the width of the wall portion of the screen printing plate is in the range of 30 to 50㎛. In this comparative example, the discharge amount of the conductive paste at the periphery of the print area becomes relatively smaller than the central part of the print area. As a result, the periphery of the internal electrode film formed on the green sheet has a relatively concave shape compared to the center portion.

이러한 상면에 오목부를 가지는 시트를 복수 개 적층하여 그린 세라믹 적층체를 제조한 후 그 특성을 살펴보았다.After manufacturing a green ceramic laminate by stacking a plurality of sheets having recesses on the upper surface, the characteristics thereof were examined.

그 결과, 정전용량에 있어서, 비교 예 1로서 상기 벽부의 폭이 30㎛인 경우는 95%이고, 비교 예 2로서 상기 벽부의 폭이 40㎛인 경우는 92%이며, 비교 예 3으로서 상기 벽부의 폭이 50㎛인 경우는 88%로, 상기 벽부의 폭이 30 내지 50㎛에 있는 비교 예 1 내지 3의 경우 정전용량이 모두 100% 미만으로 낮게 나타났으며, 이러한 정전용량은 상기 벽부의 폭이 커질수록 점점 저하됨을 알 수 있다.As a result, in the capacitance, 95% of the width of the wall portion was 30 μm as Comparative Example 1, 92% of the width of the wall portion 40 μm as Comparative Example 2, and the wall as Comparative Example 3 In the case where the width of the part was 50 μm, the capacitance was lower than 100% in Comparative Examples 1 to 3 where the width of the wall part was 30 to 50 μm. It can be seen that as the width increases, it gradually decreases.

또한, 파괴전압에 있어서, 비교 예 1인 상기 벽부의 폭이 30㎛인 경우는 81V이고, 비교 예 2인 벽부의 폭이 40㎛인 경우는 74V이며, 비교 예 3인 벽부의 폭이 50㎛인 경우는 72V로, 상기 벽부의 폭이 30 내지 50㎛에 있는 비교 예 1 내지 3의 경우 파괴전압이 모두 실시 예 보다 낮은 85V 미만을 나타내며, 이러한 파괴전압은 상기 벽부의 폭이 커질수록 점점 저하됨을 알 수 있다.In the breakdown voltage, when the width of the wall portion of Comparative Example 1 is 30 μm, it is 81 V. When the width of the wall portion of Comparative Example 2 is 40 μm, it is 74 V. The width of the wall portion of Comparative Example 3 is 50 μm. In the case of the case of 72V, Comparative Examples 1 to 3 where the width of the wall portion is 30 to 50㎛ all of the breakdown voltage is less than 85V lower than the embodiment, this breakdown voltage is gradually reduced as the width of the wall portion increases It can be seen.

또한, 출하가속수명에 있어서, 비교 예 1인 상기 벽부의 폭이 30㎛인 경우는 18%이고, 비교 예 2인 상기 벽부의 폭이 40㎛인 경우는 27%이며, 비교 예 3인 상기 벽부의 폭이 50㎛인 경우는 35%로, 상기 벽부의 폭이 30 내지 50㎛에 있는 비교 예 1 내지 3의 경우 출하가속수명이 실시 예 1의 최저 수치인 15%에 미치지 못하는 18% 이상을 모두 나타났으며, 이러한 출하가속수명은 상기 벽부의 폭이 커지면 더욱 현저히 저하됨을 알 수 있다.
Moreover, in the shipment acceleration life, when the width | variety of the said wall part of Comparative Example 1 is 30 micrometers, it is 18%, and when the width | variety of the said wall part of Comparative Example 2 is 40 micrometers, it is 27%, The said wall of the comparative example 3 In the case of 50 µm of the width of the part, 35%, and in the case of Comparative Examples 1 to 3 having the width of the wall part of 30 to 50 µm, 18% or more of which the shipping acceleration life was not lower than 15% which is the lowest value of Example 1 All appeared, and it can be seen that this shipment acceleration life is significantly reduced as the width of the wall portion increases.

따라서, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 실시 예 1 내지 3은, 종래 예 및 비교 예 1 내지 3에 비해 우수한 작동 신뢰성을 가지는 것을 알 수 있다. 이에, 정전용량, 파괴전압 및 출하가속수명을 모두 고려하였을 때 바람직한 벽부(20)의 폭은 30㎛ 이하, 더 바람직하게는 5 내지 20 ㎛이 될 수 있다. 결과적으로, 이러한 실시 예 1 내지 3의 그린 세라믹 적층체를 이용하여 제작된 적층형 세라믹 캐패시터는 최적화된 성능을 가질 것으로 기대할 수 있다.
Therefore, it can be seen that Examples 1 to 3 according to one embodiment of the present invention have excellent operating reliability compared to the conventional examples and Comparative Examples 1 to 3. Thus, considering the capacitance, the breakdown voltage and the accelerated life cycle life, the preferred width of the wall portion 20 may be 30 μm or less, more preferably 5 to 20 μm. As a result, the multilayer ceramic capacitors fabricated using the green ceramic laminates of Examples 1 to 3 can be expected to have optimized performance.

한편, 본 실시 형태에서는 이러한 벽부(20)의 시트(30)를 향하는 단부가 평평한 면을 갖도록 도시되어 설명하고 있다. 그러나, 본 발명의 벽부는 도 4A에서 도시된 바와 같이 벽부(21)의 시트(30)를 향하는 면을 볼록면(21a)으로 형성하거나, 도 4B에 도시된 바와 같이 벽부(22)의 시트(30)를 향하는 면을 오목면(22a)으로 형성하거나, 도 4C 및 도 4D에 도시된 바와 같이 벽부(23)(24)의 시트(30)를 향하는 면을 그 좌우측의 길이를 달리하여 적어도 일측이 경사진 형태로 형성할 수 있다. 또한, 필요시 도 4E에 도시된 바와 같이 벽부(25)의 시트(30)를 향하는 면을 요철면(25a)으로 구성할 수 있다.
In addition, in this embodiment, the edge part which faces the sheet | seat 30 of this wall part 20 is shown and demonstrated so that it may have a flat surface. However, the wall portion of the present invention forms the surface facing the sheet 30 of the wall portion 21 as the convex surface 21a as shown in FIG. 4A, or the sheet of the wall portion 22 (as shown in FIG. 4B). At least one side of the surface facing the sheet 30 is formed as a concave surface 22a, or the surface facing the sheet 30 of the wall portions 23 and 24 with different lengths on the left and right sides as shown in FIGS. 4C and 4D. It can be formed in this inclined form. If necessary, the surface facing the sheet 30 of the wall portion 25 may be configured as the uneven surface 25a as shown in FIG. 4E.

그리고, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시 형태에 의한 벽부(26)는 인쇄영역(12)의 높이보다 작게 형성할 수 있다. 즉, 시트(30)를 향하는 단부와의 사이에 소정의 틈(h)이 발생하도록, 벽부(26)의 단부와 마스크부(11)의 일면이 단차지게 형성할 수 있다.And, referring to Figure 5, the wall portion 26 according to an embodiment of the present invention can be formed smaller than the height of the print area (12). That is, the edge part of the wall part 26 and the one surface of the mask part 11 can be formed so that a predetermined clearance h may arise between the edge part which faces the sheet | seat 30. As shown in FIG.

이 경우 틈(h)은 도전성 페이스트의 충전량을 2차적으로 조절하는 역할을 할 수 있으므로, 이러한 틈(h)의 높이에 따라 벽부(26)의 폭을 조절하는 것이 가능해질 수 있다. 따라서, 이러한 구조의 벽부(26)를 인쇄영역(12)이 좁은 스크린 인쇄판(10)에 적용하는 경우 벽부(26)의 폭을 더 줄이는 등 설계가 보다 용이해질 수 있다.
In this case, since the gap h may serve to adjust the filling amount of the conductive paste secondary, it may be possible to adjust the width of the wall portion 26 according to the height of the gap h. Therefore, when the wall portion 26 having such a structure is applied to the screen printing plate 10 having a narrow print area 12, the design of the wall portion 26 may be easier.

위와 같이 구성된 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스크린 인쇄판을 이용하여 적층형 세라믹 캐패시터를 제조하는 방법의 일 실시 형태를 설명하면 다음과 같다.An embodiment of a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the screen printing plate according to the embodiment of the present invention configured as described above is as follows.

세라믹 파우더, 폴리머 및 용제를 혼합하여 닥터 블레이드 등의 공법으로 슬러리(slurry)를 제조한다.A ceramic powder, a polymer, and a solvent are mixed to prepare a slurry by a method such as a doctor blade.

세라믹 파우더는 BaTiO3계 물질을 포함할 수 있다. 그러나, 이에 제한되는 것은 아니며, BaTiO3에 칼슘(Ca), 지르코늄(Zr) 등이 일부 공용된 (Ba1-xCax)TiO3, Ba(Ti1-yCay)O3, (Ba1-xCax)(Ti1-y)Zry)O3 또는 Ba(Ti1-yZry)O3 등을 포함할 수 있다. 이때, 세라믹 파우더의 평균 입경은 바람직하게 1.0㎛ 이하일 수 있다.The ceramic powder may include a BaTiO 3 based material. However, the present invention is not limited thereto, and some of Ba (Ba 1-x Ca x ) TiO 3 , Ba (Ti 1-y Ca y ) O 3 , (Ba BaOO 3 , including calcium (Ca) and zirconium (Zr) are commonly used. 1-x Ca x ) (Ti 1-y ) Zr y ) O 3 or Ba (Ti 1-y Zr y ) O 3 or the like. In this case, the average particle diameter of the ceramic powder may be preferably 1.0 μm or less.

또한, 이러한 세라믹 파우더 물질에 세라믹 첨가제, 유기용제, 가소제, 결합제 및 분산제를 배합하고 바스킷밀(basket mill)을 이용하여 슬러리를 제조할 수 있다.In addition, a ceramic additive, an organic solvent, a plasticizer, a binder, and a dispersant may be blended with the ceramic powder material, and a slurry may be prepared using a basket mill.

이후, 제조된 슬러리를 캐리어 필름(carrier film) 위에 도포하고 건조하여 약 수㎛의 두께로 세라믹 그린 시트(30)를 제조한다.Thereafter, the prepared slurry is applied onto a carrier film and dried to prepare a ceramic green sheet 30 having a thickness of about several μm.

세라믹 그린 시트(30)는 기본 재료인 세라믹 파우더와 함께 전이금속, 희토류 원소 또는 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al) 등을 더 포함할 수 있다.The ceramic green sheet 30 may further include a transition metal, a rare earth element or magnesium (Mg), aluminum (Al), and the like together with the ceramic powder as the base material.

또한, 소결 온도를 낮추기 위하여 글래스 성분의 소결 조제를 더 포함할 수 있다. 이 글래스 성분의 소결 조제는 특정 성분으로 제한되는 것은 아니며, 예컨대 B, Ba, Ca, Al 또는 Li 등의 원소를 함유하는 이산화규소계 글래스 성분일 수 있다.
In addition, a sintering aid of the glass component may be further included to lower the sintering temperature. The sintering aid of this glass component is not limited to a specific component, For example, it may be a silicon dioxide type glass component containing elements, such as B, Ba, Ca, Al, or Li.

그리고, 이 세라믹 그린 시트(30) 위에 약 1-2㎛의 두께로 도전성 페이스트를 인쇄하여 내부전극막(40)을 형성한다. 이때, 도전성 페이스트의 인쇄방법은 스크린 인쇄 또는 그라비아 인쇄 방법 등을 사용할 수 있다. 또한, 도전성 페이스트는 은(Ag), 납(Pb), 백금 등의 귀금속 재료 및 니켈(Ni), 구리(Cu) 중 하나의 물질로 형성되거나 이 중에서 적어도 2개의 물질을 혼합하여 형성될 수 있다.
Then, the conductive paste is printed on the ceramic green sheet 30 with a thickness of about 1-2 탆 to form the internal electrode film 40. At this time, the printing method of the conductive paste may be screen printing or gravure printing method. In addition, the conductive paste may be formed of a noble metal material such as silver (Ag), lead (Pb), platinum, or one of nickel (Ni) and copper (Cu), or may be formed by mixing at least two of them. .

본 발명의 일 실시 형태에 의한 스크린 인쇄 방법은, 복수의 관통공(14)을 갖는 스크린 메쉬(13)를 준비하고, 이 스크린 메쉬(13)의 관통공(14) 중 일부를 채우는 마스크부(11)를 형성하고, 이 마스크부(11)에 의해 관통공(14) 중 일부가 인쇄영역(12)으로 정의되게 한다. 그리고, 인쇄영역(12) 내에 벽부(20)가 구비되도록 하여 스크린 인쇄판(10)을 제작한다.According to one or more embodiments of the present invention, a screen portion 13 includes a mask mesh 13 having a plurality of through holes 14 and filling a part of the through holes 14 of the screen mesh 13. 11) and a portion of the through hole 14 is defined by the mask portion 11 as the print area 12. Then, the screen printing plate 10 is manufactured by providing the wall portion 20 in the printing area 12.

이때, 인쇄영역(12)은 스크린 메쉬(13)에 형성된 마스크부(11)에 별도의 노광 또는 현상 공정을 통해 형성할 수 있다. 예컨대, 인쇄영역(12)은 포토리소그라피 공정으로 마스크부(11) 상에 포토 레지스트를 도포하고 포토 마스크를 적용하여 UV 등을 통해 노광한 후 현상 공정을 통해 형성하거나, 마스크부(11)에 레이저 또는 드라이 에칭 방법을 사용하여 형성할 수 있다.In this case, the print area 12 may be formed in the mask part 11 formed on the screen mesh 13 through a separate exposure or development process. For example, the print area 12 is formed by applying a photoresist on the mask portion 11 by a photolithography process and exposing through a UV or the like by applying a photo mask, followed by a developing process, or by applying a laser to the mask portion 11. Or it can form using a dry etching method.

벽부(20)는 스크린 메쉬(13)의 관통공(14) 중에 일부를 에멀젼 등의 유제로 채워 인쇄영역(12) 내에 수직방향으로 형성할 수 있다. 또한, 벽부(20)는 별도의 노광 또는 현상 공정을 통해 인쇄영역(12)을 형성할 때 해당하는 마스크부(11)의 일부 영역을 남겨 형성할 수 있다.The wall portion 20 may be formed in the printing area 12 in the vertical direction by filling a portion of the through hole 14 of the screen mesh 13 with an emulsion such as an emulsion. In addition, the wall portion 20 may form a portion of the mask portion 11 that is left when the printing region 12 is formed through a separate exposure or development process.

이러한 벽부(20)는 인쇄영역(12)의 주변부에서 도전성 페이스트의 충전량이 커지는 것을 방지하는 역할을 한다. 벽부(20)와 인쇄영역(12)의 내측면 사이의 간격은 도전성 페이스트의 토출량이 큰 영역에 해당하는 30 내지 100㎛로 구성할 수 있다.
The wall portion 20 serves to prevent the filling amount of the conductive paste from increasing in the periphery of the print area 12. The interval between the wall portion 20 and the inner surface of the print area 12 may be 30 to 100 μm, which corresponds to the area where the discharge amount of the conductive paste is large.

결과적으로, 세라믹 그린 시트(30) 위에 스크린 인쇄판(10)을 소정 간격(G) 이격되게 설치하고, 이 스크린 인쇄판(10)의 인쇄영역(12) 또는 그 주위에 도전성 페이스트를 디스펜싱한 후, 스퀴지(squeegee) 등의 가압수단을 이용하여 세라믹 그린 시트(30) 상에 내부전극막(40)을 인쇄하는 것이다.As a result, the screen printing plate 10 is provided on the ceramic green sheet 30 at a predetermined interval G, and after the conductive paste is dispensed around the printing area 12 or the periphery of the screen printing plate 10, The internal electrode film 40 is printed on the ceramic green sheet 30 by using pressing means such as a squeegee.

도전성 페이스트는 금속 분말, 세라믹 분말 및 실리카(SiO2) 분말을 포함할 수 있다. 금속 분말은 Ni, Mn, Cr, Co, Al 또는 이들의 합금을 사용할 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 평균입경은 50~400nm가 바람직하다.The conductive paste may include metal powder, ceramic powder and silica (SiO 2 ) powder. The metal powder may be Ni, Mn, Cr, Co, Al or alloys thereof, but is not limited thereto. Moreover, as for average particle diameter, 50-400 nm is preferable.

내부전극막(40)의 두께는 용도에 따라 적절히 조절될 수 있으며, 바람직하게 0.1 내지 1.0㎛의 범위 내에서 선택될 수 있다.
The thickness of the internal electrode film 40 may be appropriately adjusted according to the use, and may be preferably selected within the range of 0.1 to 1.0 μm.

따라서, 인쇄영역(12)에 토출된 도전성 페이스트는 그 주변부에서 벽부(20)에 의해 주입이 차단되어 인쇄영역(12)의 중앙부와 주변부의 충전량이 엇비슷해지고, 특히, 벽부(20)는 그 단부가 주변부에서 토출된 도전성 페이스트에 의해 내부전극막이 형성될 때 그 상면이 돌출되는 것을 억제하는 차단벽의 역할을 함께 수행하게 된다.
Therefore, the conductive paste discharged into the printing area 12 is blocked from being injected by the wall part 20 at the periphery thereof, so that the filling amount of the central part and the periphery of the printing area 12 is dissimilar, in particular, the wall part 20 has its end portion. When the internal electrode film is formed by the conductive paste discharged from the periphery, it serves as a barrier to suppress the upper surface from protruding.

이때, 스크린 메쉬(13)의 인쇄영역(12)을 통과하는 도전성 페이스트가 벽부(20)에 차단되어 해당 위치에서는 도전성 페이스트가 통과되지 않고 그 벽부(20)의 주변부를 통해 공급되면서 인쇄영역(12)의 전체 충전량이 조절되어 내부전극막(40)의 인쇄 형상이 대체로 그 상면이 평탄하게 이루어질 수 있다. 이때, 벽부(20)는 내부전극막(40)의 주변부를 눌러서 이 주변부가 돌출되는 것을 방지하는 역할도 할 수 있다.
At this time, the conductive paste passing through the printing area 12 of the screen mesh 13 is blocked by the wall portion 20 so that the conductive paste does not pass through the corresponding portion of the wall portion 20 while being supplied through the peripheral portion of the wall portion 20. ), The total amount of charges may be adjusted so that the printing shape of the internal electrode film 40 may be substantially flat. In this case, the wall portion 20 may also serve to prevent the peripheral portion from protruding by pressing the peripheral portion of the internal electrode film 40.

이후, 내부전극막(40)이 형성된 세라믹 그린 시트(30)를 캐리어 필름에서 박리하고, 캐리어 필름이 박리된 복수의 세라믹 그린 시트(30)를 고온 및 고압에서 압착하여 쌓아 올리게 되는데, 바람직하게 수십 내지 수백 층까지 바아(bar) 형상으로 겹쳐 쌓아 올려 고적층화된 그린 세라믹 적층체를 제조한다.
Thereafter, the ceramic green sheet 30 having the internal electrode layer 40 formed thereon is peeled off from the carrier film, and the plurality of ceramic green sheets 30 from which the carrier film has been peeled off is pressed and stacked at a high temperature and high pressure. Stacking up to a few hundred layers in a bar shape to produce a highly laminated green ceramic laminate.

이후 그린 세라믹 적층체를 절단 공정을 거쳐 소정의 크기로 절단하여 그린 칩을 제조하게 된다. 이후, 가소, 소성, 연마, 외부전극 도금 등의 공정을 거치면 최종적으로 적층형 세라믹 캐패시터가 완성된다.Thereafter, the green ceramic laminate is cut to a predetermined size through a cutting process to manufacture a green chip. Subsequently, through the process of calcination, firing, polishing, and external electrode plating, a multilayer ceramic capacitor is finally completed.

이때, 소성은 약 1100℃ 이상의 고온에서 하는 것이 바람직하다. 이는 내부전극막(40)으로 Ni 등의 비금속을 사용하는 경우, 저온인 400℃부터 산화가 일어나면서 소결 수축이 일어나게 되므로 1000℃ 이상에서 급격히 소성될 수 있기 때문이다.At this time, it is preferable to perform baking at high temperature about 1100 degreeC or more. This is because when a non-metal such as Ni is used as the internal electrode film 40, since sintering shrinkage occurs while oxidation occurs at a low temperature of 400 ° C, it may be rapidly fired at 1000 ° C or higher.

만약 내부전극막(40)이 급격히 소성되면 내부전극막(40)의 과소성으로 인해 전극이 뭉치거나 끊어질 수 있으며, 내부전극막(40)의 연결성 및 용량이 저하될 수 있다. 또한, 소성 후 크랙과 같은 적층형 세라믹 캐패시터의 내부구조 결함이 발생할 수 있다.If the internal electrode film 40 is fired rapidly, the electrodes may clump or break due to the underfiring of the internal electrode film 40, and the connectivity and capacity of the internal electrode film 40 may decrease. In addition, internal structure defects of the multilayer ceramic capacitor such as cracks may occur after firing.

따라서, 약 400 내지 500℃의 비교적 낮은 온도에서 소결이 시작되는 금속 분말의 소결 개시 온도를 최대한 지연시켜 유전체와의 수축의 차이를 최소화할 필요가 있다
Therefore, it is necessary to minimize the sintering start temperature of the metal powder, which starts sintering at a relatively low temperature of about 400 to 500 ° C., to minimize the difference in shrinkage with the dielectric.

본 발명은 상술한 실시 형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다.The present invention is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, but is intended to be limited by the appended claims.

따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. something to do.

10 ; 스크린 인쇄판 11 ; 마스크부
12 ; 인쇄영역 13 ; 스크린 메쉬
14 ; 관통공
20, 21, 22, 23, 24, 25, 26 ; 벽부 30 ; 시트
40 ; 내부전극막10; Screen printing plate 11; Mask portion
12; Print area 13; Screen mesh
14; Through hole
20, 21, 22, 23, 24, 25, 26; Wall section 30; Sheet
40; Internal electrode film

Claims (16)

복수의 관통공을 갖는 스크린 메쉬;
상기 복수의 관통공 중에 일부를 채워 이루어진 마스크부;
상기 마스크부에 의해 정의된 적어도 하나의 인쇄영역; 및
상기 인쇄영역의 양쪽 주변부로부터 소정의 간격을 두고 마주보게 배치된 한 쌍의 벽부; 를 포함하는 스크린 인쇄판.A screen mesh having a plurality of through holes;
A mask part formed by filling a part of the plurality of through holes;
At least one printing area defined by the mask part; And
A pair of wall portions disposed to face each other at predetermined intervals from both peripheral portions of the printing area; Screen printing plate including. 제1항에 있어서,
상기 벽부와 상기 인쇄영역의 주변부의 간격이 30 내지 100㎛인 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄판.The method of claim 1,
The screen printing plate, characterized in that the interval between the wall portion and the peripheral portion of the printing area is 30 to 100㎛. 제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 벽부는 서로 나란히 배치된 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄판.The method of claim 1,
And the pair of wall portions are arranged side by side with each other. 제1항에 있어서,
상기 벽부의 폭이 5 내지 20 ㎛인 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄판.The method of claim 1,
The wall printing plate, characterized in that the width of 5 to 20 ㎛. 제1항에 있어서,
상기 인쇄영역이 상기 스크린 메쉬에 2열 이상 형성된 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄판.The method of claim 1,
And at least two rows of the print area formed on the screen mesh. 제5항에 있어서,
상기 각 열의 인쇄영역이 서로 나란히 배열된 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄판.The method of claim 5,
And the print areas of each column are arranged side by side. 제6항에 있어서,
상기 인쇄영역은 제1 열의 제1 인쇄영역과 인접한 제2 열의 제2 인쇄영역이 서로 엇갈리게 배열된 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄판.The method according to claim 6,
And wherein the print area is arranged such that the first print area of the first row and the second print area of the second row adjacent to each other are alternated with each other. 제1항에 있어서,
상기 벽부는 상기 인쇄영역의 높이 보다 작게 형성되고, 시트를 향하는 상기 벽부의 단부와 상기 마스크부의 일면이 단차지게 형성된 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄판.The method of claim 1,
And the wall portion is formed to be smaller than the height of the printing area, and one end of the wall portion facing the sheet and one surface of the mask portion are formed stepwise. 제1항에 있어서,
상기 벽부는 시트를 향하는 단부가 볼록하게 형성된 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄판.The method of claim 1,
And the wall portion is formed such that an end facing the sheet is convex. 제1항에 있어서,
상기 벽부는 시트를 향하는 단부가 오목하게 형성된 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄판.The method of claim 1,
The wall portion is a screen printing plate, characterized in that the end toward the sheet is formed concave. 제1항에 있어서,
상기 벽부는 시트를 향하는 단부의 좌우측 길이가 상이하게 형성된 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄판.The method of claim 1,
The wall printing plate, characterized in that the left and right lengths of the end portion facing the sheet is different. 제1항에 있어서,
상기 벽부는 시트를 향하는 단부에 요철부를 갖는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄판.The method of claim 1,
And the wall portion has an uneven portion at an end portion facing the sheet. 시트 상에 적어도 하나의 인쇄영역을 갖는 스크린 인쇄판을 배치하고, 상기 인쇄영역에 도전성 페이스트를 공급하여 상기 시트 상에 내부전극막을 형성하되, 상기 인쇄영역의 양쪽 주변부로부터 소정의 간격을 두고 배치된 한 쌍의 벽부에 의해 상기 도전성 페이스트 중 일부의 공급을 차단하는 것을 포함하는 적층형 세라믹 캐피시터 제조방법.A screen printing plate having at least one printing area is disposed on a sheet, and a conductive paste is supplied to the printing area to form an internal electrode film on the sheet, and disposed at predetermined intervals from both peripheral portions of the printing area. A method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor comprising interrupting the supply of some of the conductive paste by a pair of wall portions. 제13항에 있어서,
상기 시트 중에서 상기 벽부와 대응되는 위치에 상기 벽부의 주변의 개방된 관통홀을 통과한 도전성 페이스트에 의해 상기 벽부가 없는 위치에 형성된 것과 동일 평행면을 갖도록 내부전극막을 형성하는 것을 특징으로 하는 적층형 세라믹 캐패시터 제조방법.The method of claim 13,
A multilayer ceramic capacitor, wherein the internal electrode film is formed to have the same parallel surface as that formed at the position without the wall part by the conductive paste passing through the open through hole around the wall part at the position corresponding to the wall part in the sheet; Manufacturing method. 제13항에 있어서,
상기 스크린 인쇄판은 상기 시트의 상면으로부터 소정 간격 이격되게 설치하는 것을 특징으로 하는 적층형 세라믹 캐패시터 제조방법.The method of claim 13,
The screen printing plate is a laminated ceramic capacitor manufacturing method characterized in that the spaced apart from the upper surface of the sheet by a predetermined interval. 제13항 내지 제15항 중 어느 한 항의 제조방법에 의해 제조된 적층형 세라믹 캐패시터.The multilayer ceramic capacitor manufactured by the manufacturing method of any one of Claims 13-15.
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