KR20130034848A - Multilayer ceramic capacitor and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A multilayer ceramic capacitor and a manufacturing method thereof are provided to improve capacitance thereof using an inner electrode, and to prevent dielectric breakdown. CONSTITUTION: A ceramic body(10) disperses semiconducting particles. An inner electrode(31,32) faces the inner part of the ceramics body. The volume ratio of semiconducting particles is in the range of 3 to 7. The semiconducting particles consist of silicon particles or semiconducting oxide particles. The ceramic body includes barium titanate.

Description

적층 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법{Multilayer Ceramic Capacitor and Manufacturing Method Thereof}Multilayer Ceramic Capacitor and Manufacturing Method Thereof

본 발명은 적층 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 유전율 및 커패시턴스가 증가된 적층 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer ceramic electronic component and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a multilayer ceramic electronic component and a method of manufacturing the same having increased dielectric constant and capacitance.

적층 세라믹 커패시터는 소형이면서도 고용량이 보장되고 실장이 용이하다는 장점으로 인하여 컴퓨터, PDA, 휴대폰 등의 이동통신 장치의 부품으로서 널리 이용되고 있다. Multilayer ceramic capacitors are widely used as components of mobile communication devices such as computers, PDAs, and mobile phones due to their small size, high capacity, and easy mounting.

최근에는 전자 제품이 소형화 및 다기능화 됨에 따라 칩 부품 또한 소형화 및 고기능화 되는 추세이므로, 적층 세라믹 커패시터도 크기가 작고 용량이 큰 고용량 제품이 요구되고 있다. Recently, as electronic products are miniaturized and multifunctional, chip components are also miniaturized and highly functional. Therefore, multilayer ceramic capacitors are also required to have high capacity products with small sizes and large capacities.

적층 세라믹 커패시터의 용량을 증가시키기 위해서는 유전체층 및 내부전극 층의 두께를 보다 얇게 형성하고 적층수를 증가시켜야 한다. In order to increase the capacity of the multilayer ceramic capacitor, the thickness of the dielectric layer and the internal electrode layer should be made thinner and the number of stacked layers should be increased.

그러나, 유전체층 및 내부 전극이 박층화되고 적층수가 증가함에 따라 절연 파괴(dielectric breakdown)가 발생할 가능성이 높아지고, 층간 박리(delamination) 및 크랙(crack)이 발생하여 적층 세라믹 커패시터의 신뢰성이 저하될 수 있다.However, as the dielectric layers and internal electrodes become thinner and the number of stacked layers increases, the likelihood of dielectric breakdown increases, and interlayer delamination and cracks occur, which may lower the reliability of the multilayer ceramic capacitor. .

이에 따라 적층 세라믹 커패시터의 소형화 및 고용량화에 한계가 있다.Accordingly, there is a limit in miniaturization and high capacity of the multilayer ceramic capacitor.

본 발명은 유전율 및 커패시턴스가 향상된 적층 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법을 제공함을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a multilayer ceramic electronic component having improved dielectric constant and capacitance and a method of manufacturing the same.

본 발명의 일 실시 형태인 적층 세라믹 전자 부품은 내부에 반도성 입자가 분산된 세라믹 본체; 및 상기 세라믹 본체의 내부에 대향 배치된 내부 전극;을 포함할 수 있다. In one embodiment, a multilayer ceramic electronic component includes a ceramic body having semiconductive particles dispersed therein; And internal electrodes disposed to face the inside of the ceramic body.

상기 세라믹 본체의 부피 대비 상기 반도성 입자의 부피의 비율은 3 이상 7 이하일 수 있다. The ratio of the volume of the semiconductive particles to the volume of the ceramic body may be 3 or more and 7 or less.

상기 세라믹 본체는 티탄산바륨을 포함할 수 있다. The ceramic body may comprise barium titanate.

상기 반도성 입자는 규소 입자 또는 반도성 산화물 입자일 수 있다. The semiconductive particles may be silicon particles or semiconductive oxide particles.

상기 반도성 산화물은 환원 열처리된 인듐-주석 산화물 또는 루테늄 산화물 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. The semiconductive oxide may include any one or more of indium tin oxide or ruthenium oxide which have been heat-treated by reduction.

상기 환원 열처리는 1000℃ 내지 1100℃ 수소 분위기에서 수행될 수 있다.
The reduction heat treatment may be performed in a 1000 ℃ to 1100 ℃ hydrogen atmosphere.

본 발명의 다른 실시 형태인 적층 세라믹 전자 부품의 제조 방법은 세라믹 분말의 부피에 대한 반도성 분말의 부피의 비율이 3 이상 7 이하가 되도록 상기 세라믹 분말 및 상기 반도성 분말을 칭량하는 단계; 상기 세라믹 분말 및 상기 반도성 분말의 혼합물에 유기 용매, 바인더 등을 첨가하는 단계: 및 상기 혼합물을 볼 밀링하여 세라믹 슬러리를 준비하는 단계;를 포함할 수 있다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component, comprising: weighing the ceramic powder and the semiconductive powder such that a ratio of the volume of the semiconductive powder to the volume of the ceramic powder is 3 or more and 7 or less; And adding an organic solvent, a binder, and the like to the mixture of the ceramic powder and the semiconducting powder: and preparing a ceramic slurry by ball milling the mixture.

상기 세라믹 슬러리를 준비하는 단계 이후에, 상기 세라믹 슬러리를 이용하여 세라믹 그린 시트를 준비하고, 상기 세라믹 그린 시트를 적층하는 단계를 추가적으로 포함할 수 있다. After preparing the ceramic slurry, the method may further include preparing a ceramic green sheet by using the ceramic slurry and stacking the ceramic green sheet.

상기 세라믹 분말은 티탄산바륨 분말을 포함할 수 있다. The ceramic powder may include barium titanate powder.

상기 반도성 분말은 규소 분말 또는 반도성 산화물 분말일 수 있다. The semiconductive powder may be silicon powder or semiconductive oxide powder.

상기 반도성 산화물은 환원 열처리된 인듐-주석 산화물 또는 루테늄 산화물일 수 있다. The semiconducting oxide may be indium tin oxide or ruthenium oxide which has been subjected to reduction heat treatment.

상기 환원 열처리는 1000℃ 내지 1100℃ 수소 분위기에서 수행될 수 있다. The reduction heat treatment may be performed in a 1000 ℃ to 1100 ℃ hydrogen atmosphere.

본 발명에 의하면 유전율 및 커패시턴스가 향상된 적층 세라믹 전자 부품을 얻을 수 있다. According to the present invention, a multilayer ceramic electronic component having improved dielectric constant and capacitance can be obtained.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태인 적층 세라믹 전자 부품의 사시도이다.
도 2는 도 1의 X-X' 라인을 따른 단면도이다.
도 3은 도 2의 변형예이다.
1 is a perspective view of a multilayer ceramic electronic component according to one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view along the line XX ′ of FIG. 1.
Fig. 3 is a modification of Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다. 다만, 본 발명의 실시 형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments of the present invention may be modified into various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below.

또한, 본 발명의 실시 형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. Furthermore, embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art.

따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
Accordingly, the shapes and sizes of the elements in the drawings may be exaggerated for clarity of description, and the elements denoted by the same reference numerals in the drawings are the same elements.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태인 적층 세라믹 전자 부품의 사시도이다. 도 2는 도 1의 X-X' 라인을 따른 단면도이다.1 is a perspective view of a multilayer ceramic electronic component according to one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view along the line X-X 'of FIG.

적층 세라믹 전자 부품에는 적층 세라믹 캐패시터, 칩 인덕터, 칩 비즈 등이 있을 수 있다. 여기서는 적층 세라믹 캐패시터를 예로 들어 본 발명에 대하여 상세하게 설명하지만, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. The multilayer ceramic electronic component may include a multilayer ceramic capacitor, chip inductor, chip beads, and the like. Although the present invention will be described in detail with reference to the multilayer ceramic capacitor as an example, the present invention is not limited thereto.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시 형태인 적층 세라믹 전자 부품은 세라믹 본체(10), 상기 세라믹 본체의 외부에 형성된 외부 전극(21, 22), 상기 세라믹 본체의 내부에 형성된 내부 전극(31, 32)을 포함할 수 있다. 1 and 2, the multilayer ceramic electronic component according to the present embodiment includes a ceramic body 10, external electrodes 21 and 22 formed outside the ceramic body, and internal electrodes 31 formed inside the ceramic body. , 32).

세라믹 본체(10)는 직육면체일 수 있다. 제1 및 제2 외부 전극(21, 22)을 연결한 방향을 '길이 방향' 상기 내부 전극(31, 32)이 적층되는 방향을 '적층 방향' 또는 '두께 방향', 상기 길이 방향 및 상기 적층 방향과 수직인 방향을 '폭 방향'이라 할 수 있다. The ceramic body 10 may be a rectangular parallelepiped. A direction in which the first and second external electrodes 21 and 22 are connected in a 'length direction' is a direction in which the internal electrodes 31 and 32 are stacked in a 'lamination direction' or a 'thickness direction', the length direction and the lamination. The direction perpendicular to the direction may be referred to as the 'width direction'.

세라믹 본체(10)는 길이가 폭 및 두께보다 클 수 있으며, 폭과 두께는 동일할 수도 있다.
The ceramic body 10 may have a length greater than a width and a thickness, and the width and the thickness may be the same.

세라믹 본체(10)는 내부에 반도성 입자(30)가 분산되어 있을 수 있다. The ceramic body 10 may have the semiconductive particles 30 dispersed therein.

세라믹 본체(10)는 높은 유전율을 갖는 세라믹 재료로 이루어질 수 있고, 이에 제한되는 것은 아니나, 티탄산바륨(BaTiO3)계 재료 또는 티탄산스트론튬(SrTiO3)계 재료 등을 사용할 수 있다.The ceramic body 10 may be made of a ceramic material having a high dielectric constant, but is not limited thereto, and may be a barium titanate (BaTiO 3 ) -based material or a strontium titanate (SrTiO 3 ) -based material.

세라믹 본체(10)는 복수의 유전체 층을 적층한 후에 소결시킨 것으로, 인접하는 유전체 층끼리는 경계를 확인할 수 없을 정도로 일체화되어 있을 수 있다.
The ceramic body 10 is sintered after stacking a plurality of dielectric layers, and adjacent dielectric layers may be integrated to such an extent that the boundary thereof cannot be confirmed.

반도성 입자는 반도체적인 성질을 띠는 입자를 말하며, 반도성 입자는 규소 입자 또는 반도성 산화물 입자일 수 있다. Semiconducting particles refer to particles having semiconducting properties, and the semiconducting particles may be silicon particles or semiconducting oxide particles.

반도성 입자는 규소 이외의 4가 원소인 탄소, 게르마늄의 입자일 수 있다.
The semiconducting particles may be particles of carbon and germanium which are tetravalent elements other than silicon.

반도성 산화물은 산화물 중 반도체 성질을 띠는 산화물을 말한다. A semiconducting oxide refers to an oxide having semiconductor properties among oxides.

반도성 산화물은 전압-전류 특성이 다음과 같은 성질을 띠는 산화물을 가리킨다. 즉, 반도성 산화물의 경우, 인가한 전압이 낮은 경우에는 전류가 거의 흐르지 않다가 인가한 전압의 크기가 임계점을 넘어서면서부터는 인가한 전압의 크기가 커질수록 전류가 크게 증가한다.Semiconducting oxides refer to oxides whose voltage-current characteristics are as follows. That is, in the case of the semiconducting oxide, when the applied voltage is low, almost no current flows, but as the applied voltage exceeds the threshold, the current increases as the applied voltage increases.

반도성 재료의 특징은, 일부 전자들이, 금속에서처럼 자유 전자는 아니지만, 절연체와 같이 높은 밴드 갭 에너지를 가지는 상태에서 베일런스 밴드(valence band)에 분포하지 않고 중간 정도의 밴드 갭 에너지를 가진 전자들이 존재한다는 점이다.A characteristic of semiconducting materials is that some electrons are not free electrons, as in metals, but electrons with moderate band gap energy that are not distributed in a valence band with high band gap energy such as insulators. It exists.

전압이 인가되지 않는 경우에는 절연체와 같은 특성을 보이지만, 전압이 인가된 경우에는 자유 전자와 같은 거동을 보이기도 하며, 이때 전압이 인가된 상태에서의 움직임은 절연체로 이루어진 유전체 층에 고립되어 이중극자 분극 거동을 일으키는 것과 유사하게 분극 작용을 일으킨다.When no voltage is applied, it exhibits the same characteristics as an insulator, but when voltage is applied, it exhibits the same behavior as free electrons. In this case, the motion in the state where the voltage is applied is isolated to the dielectric layer made of the insulator, thereby dipolar polarization. It causes polarization, similar to causing behavior.

자유 전자에 의한 분극 작용은 재료의 굴절률의 제곱에 비례하는 작은 값이지만, 이와 같이 반도성 입자에 트랩된 전자들의 경우에는 GBLC(Grain-boundary Barrier Layer Capacitor)와 같은 특성을 보여 높은 유전율을 구현할 수 있다.
The polarization action by free electrons is a small value proportional to the square of the refractive index of the material. However, the electrons trapped in the semiconducting particles exhibit the same characteristics as the grain-boundary barrier layer capacitor (GBLC) to achieve high dielectric constant. have.

반도성 산화물은 환원 열처리된 인듐-주석 산화물 또는 루테늄 산화물 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. The semiconducting oxide may comprise at least one of reduced heat treated indium-tin oxide or ruthenium oxide.

또한, 반도성 산화물은 몰리브덴 산화물, 철 산화물, 주석 산화물, 아연 산화물, CeO2, Ga2O3, SrTiO3, LaFeO3, CrxTiyO3 의 그룹으로부터 선택된 어느 하나 이상일 수 있다. In addition, semiconductive oxides can be at least one selected from molybdenum oxide, iron oxide, tin oxide, zinc oxide, a group of CeO 2, Ga 2 O 3, SrTiO 3, LaFeO 3, Cr x Ti y O 3.

인듐-주석 산화물 또는 루테늄 산화물의 구체적 예로는 RuO2, IrO2, ReO3, SrVO3, SrRuO3, SrMoO3, CaRuO3, BaRuO3, PbRuO3, BiRuO3, LaTaO3, Bi2Ru2O7 등을 들 수 있다. Indium-specific examples of the tin oxide or ruthenium oxide RuO 2, IrO 2, ReO 3 , SrVO 3, SrRuO 3, SrMoO 3, CaRuO 3, BaRuO 3, PbRuO 3, BiRuO 3, LaTaO 3, Bi 2 Ru 2 O 7 Etc. can be mentioned.

요컨대, 반도성 산화물을 다음과 같이 제조될 수 있다. 즉, 비저항이 1012 ~ 1014 Ω㎝ 인 산화물을 환원 분위기에서 열처리하여 105 ~ 108 Ω㎝ 의 비저항을 가지는 반도성 산화물을 제조할 수 있다.In short, the semiconducting oxide can be prepared as follows. That is, a semiconductive oxide having a specific resistance of 10 5 to 10 8 Ωcm can be prepared by heat-treating an oxide having a specific resistance of 10 12 to 10 14 Ωcm in a reducing atmosphere.

상기 환원 열처리는 1000℃ 내지 1100℃ 수소 분위기에서 수행될 수 있다. 수소 농도는 1~3% 일 수 있으며, 열처리는 2~10 시간 동안 수행될 수 있다. The reduction heat treatment may be performed in a 1000 ℃ to 1100 ℃ hydrogen atmosphere. The hydrogen concentration may be 1 to 3%, and the heat treatment may be performed for 2 to 10 hours.

환원 열처리라 함은 산소가 많이 결핍된 공간에서 열을 가하는 작업을 의미한다. 공기 중에 산소가 부족한 경우에는 도전성 산화물에서 격자를 차지하고 있던 산소 이온 또는 산소 원자가 공기 중으로 빠져 나갈 수 있다. 이때 산소 원자는 공기 중으로 산소 분자 형태로 빠져 나가면서 산화물 내에 2개의 전자를 남겨 놓으며, 이 전자에 의하여 산화물은 반도성을 띨 수 있다.
Reduction heat treatment refers to the operation of applying heat in a space deficient in oxygen. When oxygen is insufficient in air, oxygen ions or oxygen atoms occupying a lattice in the conductive oxide may escape into the air. At this time, the oxygen atom leaves two electrons in the oxide as it exits in the form of oxygen molecules into the air, and the electrons can be semiconducting by the electrons.

세라믹 본체의 부피에 대한 반도성 입자의 부피의 비율은 3 이상 7 이하일 수 있다. The ratio of the volume of the semiconductive particles to the volume of the ceramic body may be 3 or more and 7 or less.

세라믹 본체의 부피에 대한 반도성 입자의 부피의 비율이 3 미만인 경우, 세라믹 본체의 유전율 증가가 미미하여 적층 세라믹 전자 부품의 커패시턴스의 상승 또한 미미하다. When the ratio of the volume of the semiconducting particles to the volume of the ceramic body is less than 3, the increase in dielectric constant of the ceramic body is insignificant, so that the capacitance of the laminated ceramic electronic component is also insignificant.

반면에, 세라믹 본체의 부피에 대한 반도성 입자의 부피의 비율이 7을 초과하는 경우, 반도성 입자 간의 간격이 좁아져 반도성 입자에 의하여 전기 전도가 발생할 수 있는 등의 원인으로 인하여 세라믹 본체의 절연 저항이 저하될 수 있다. On the other hand, when the ratio of the volume of the semiconducting particles to the volume of the ceramic body exceeds 7, the gap between the semiconducting particles is narrowed, which may cause electrical conduction by the semiconducting particles. Insulation resistance may be lowered.

반도성 입자가 연결되어 새로운 도전 통로를 형성할 수 있기 때문에 세라믹 본체의 부피에 대하여 반도성 입자가 차지하는 부피의 비율이 중요한 인자가 될 수 있다. Since the semiconductive particles can be connected to form a new conductive passage, the ratio of the volume of the semiconductive particles to the volume of the ceramic body may be an important factor.

세라믹 본체에 반도성 입자를 첨가하면 세라믹 본체의 유전율이 증가할 수 있다. Adding semiconductive particles to the ceramic body may increase the dielectric constant of the ceramic body.

기존 적층 세라믹 캐패시터는 유전체의 분극 작용에 의한 유전 현상을 이용하여 유전율을 구현함으로써 제품의 커패시턴스를 확보하였다. Conventional multilayer ceramic capacitors have secured the product's capacitance by realizing the dielectric constant using the dielectric phenomenon caused by the polarization of the dielectric.

본 발명에서처럼, 유전체에 반도성 입자를 분산시킨 경우에는 기존의 유전 현상에 더하여, 반도성 입자에 트랩된 전자들의 유사 분극 작용이 더해짐으로 인하여 유전율이 더욱더 증가될 수 있다. As in the present invention, in the case where the semiconductive particles are dispersed in the dielectric, in addition to the existing dielectric phenomenon, the dielectric constant may be further increased due to the addition of the pseudopolarization action of the trapped electrons to the semiconducting particles.

다시 말하면, 반도성 입자에는 전자들이 트랩되어 있는데 이러한 전자들의 반도체적인 성질이 이중 극자에 의한 분극 작용과 유사하며, 이러한 반도성 입자의 특성이 기존 유전체의 유전 특성에 부가되기 때문에 유전율이 더욱 증가할 수 있다.In other words, electrons are trapped in the semiconducting particle, and the semiconducting properties of these electrons are similar to the polarization action by the dipole, and the dielectric constant may increase because the properties of the semiconducting particle are added to the dielectric properties of the existing dielectric. Can be.

반도성 입자를 앞에서는 구체적으로 예를 들었지만, 이에 제한되는 것은 아니고, 일정한 전기장 하에서 분극 현상이 일어날 수 있는 것이면 족하다.Although the semiconductive particle has been exemplified in detail above, the present invention is not limited thereto, and a polarization phenomenon may be performed under a constant electric field.

유전체에 반도성 입자를 분산시키면, 유전체의 유전율이 상승되고, 이러한 유전율 상승 효과로 인하여 캐페시터 제품의 설계시 내부 전극의 적층 수를 줄일 수 있고, 이로 인하여 원가 부담을 크게 줄일 수 있다.
Dispersing the semiconductive particles in the dielectric increases the dielectric constant of the dielectric, and this increase in dielectric permits the reduction of the number of internal electrodes stacked in the design of the capacitor product, thereby greatly reducing the cost burden.

외부 전극(21, 22)은 세라믹 본체(10)의 외부면에 형성될 수 있다. The external electrodes 21 and 22 may be formed on the outer surface of the ceramic body 10.

외부 전극(21, 22)은 도전성 금속 및 유리 프리트를 포함하는 도전성 페이스트를 이용하여 형성되며, 이에 제한되는 것은 아니나, 도전성 금속은 구리, 구리 합금, 니켈, 니켈 합금, 은, 팔라듐 등으로 이루어질 수 있다.The external electrodes 21 and 22 may be formed using a conductive paste including a conductive metal and glass frit, but the conductive metal may be made of copper, a copper alloy, nickel, a nickel alloy, silver, palladium, or the like. have.

외부 전극(21, 22)은 세라믹 본체(10)의 양 측면에 형성될 수 있다. 이때, 상기 외부 전극(21, 22)은 상기 세라믹 본체(10)의 일면에 노출되도록 형성된 내부 전극(31, 32)과 접속될 수 있다.
The external electrodes 21 and 22 may be formed on both side surfaces of the ceramic body 10. In this case, the external electrodes 21 and 22 may be connected to the internal electrodes 31 and 32 formed to be exposed on one surface of the ceramic body 10.

내부 전극(31, 32)은 상기 세라믹 본체(10)의 내부에 적층되어 배치될 수 있다. The internal electrodes 31 and 32 may be stacked and disposed in the ceramic body 10.

내부 전극(31,32)은 일단이 세라믹 본체(10)의 일면에 노출되도록 형성될 수 있다. 어느 한 내부 전극(31)의 일단이 세라믹 본체(10)의 일면에 노출되도록 형성되었으면, 그와 이웃한 내부 전극(32)의 일단은 세라믹 본체(10)의 반대편 면에 노출되도록 형성될 수 있다. The internal electrodes 31 and 32 may be formed such that one end is exposed to one surface of the ceramic body 10. If one end of one of the internal electrodes 31 is formed to be exposed to one surface of the ceramic body 10, one end of the inner electrode 32 adjacent thereto may be formed to be exposed to the opposite surface of the ceramic body 10. .

내부 전극(31, 32)은 일반적으로 도전성 금속, 바인더 및 용제을 포함하는 페이스트를 유전체 그린시트 상에 인쇄한 후 이를 소성하여 형성될 수 있다. 도전성 금속으로는 니켈(Ni) 또는 니켈 합금 등을 사용할 수 있다. 내부 전극용 도전성 페이스트 조성물은 세라믹 공재, 예를 들면 티탄산바륨을 더 포함할 수 있다. 바인더로는 폴리비닐부티랄, 에틸셀룰로오스 등의 고분자 수지를 사용할 수 있다. 내부 전극용 도전성 페이스트의 용제는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면, 테르피네올, 디하이드로테르피네올, 부틸카르비톨, 케로신 등을 사용할 수 있다.The internal electrodes 31 and 32 may generally be formed by printing a paste including a conductive metal, a binder, and a solvent on a dielectric green sheet and then baking the paste. Nickel (Ni), a nickel alloy, etc. can be used as a conductive metal. The conductive paste composition for internal electrodes may further include a ceramic common material, for example barium titanate. Polymer binders, such as polyvinyl butyral and ethyl cellulose, can be used as a binder. The solvent of the electrically conductive paste for internal electrodes is not restrict | limited, For example, terpineol, dihydroterpineol, butyl carbitol, a kerosene, etc. can be used.

내부 전극(31,32)은 스크린 인쇄 또는 그라비아 인쇄 등의 방법으로 유전체 그린 시트 상에 형성될 수 있다.
The internal electrodes 31 and 32 may be formed on the dielectric green sheet by a method such as screen printing or gravure printing.

본 발명의 다른 실시 형태인 적층 세라믹 전자 부품의 제조 방법은 세라믹 분말의 부피에 대한 반도성 분말의 부피의 비율이 3 이상 7 이하가 되도록 상기 세라믹 분말 및 상기 반도성 분말을 칭량하는 단계; 상기 세라믹 분말 및 상기 반도성 분말의 혼합물에 유기 용매, 바인더 등을 첨가하는 단계: 및 상기 혼합물을 볼 밀링하여 세라믹 슬러리를 준비하는 단계;를 포함할 수 있다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component, comprising: weighing the ceramic powder and the semiconductive powder such that a ratio of the volume of the semiconductive powder to the volume of the ceramic powder is 3 or more and 7 or less; And adding an organic solvent, a binder, and the like to the mixture of the ceramic powder and the semiconducting powder: and preparing a ceramic slurry by ball milling the mixture.

상기 세라믹 슬러리를 준비하는 단계 이후에, 상기 세라믹 슬러리를 이용하여 세라믹 그린 시트를 준비하고, 상기 세라믹 그린 시트를 적층하는 단계를 추가적으로 포함할 수 있다. After preparing the ceramic slurry, the method may further include preparing a ceramic green sheet by using the ceramic slurry and stacking the ceramic green sheet.

세라믹 본체 내에 반도성 입자를 고르게 분산시키기 위하여 세라믹 분말과 도전성 분말을 부피 비율이 3 이상 7 이하가 되도록 칭량한 후, 여기에 유기 용매, 바인더, 가소제 등 기타 첨가제를 첨가하고, 알루미나 또는 지르코니아 등의 세라믹 볼을 이용한 3 롤 볼 밀링을 실시하여 세라믹 슬러리를 제조할 수 있다. In order to evenly disperse the semiconductive particles in the ceramic body, the ceramic powder and the conductive powder are weighed to have a volume ratio of 3 to 7, and then an organic solvent, a binder, a plasticizer, and other additives are added thereto, and alumina, zirconia, or the like is added thereto. The ceramic slurry can be manufactured by carrying out three roll ball milling using a ceramic ball.

반도성 입자가 고르게 분산된 세라믹 슬러리를 이용하여 고분자 수지 재질의 캐리어 필름 상에 닥터 블레이드 등의 방법을 통하여 도포한 후, 이를 건조하여 그린 시트를 제조한 후 이를 적층하여 적층 타입의 캐패시터를 제조할 수 있다. Using a ceramic slurry in which semiconductive particles are evenly dispersed, a polymer film is applied to a carrier film through a method such as a doctor blade, and then dried to prepare a green sheet, followed by lamination to manufacture a laminated type capacitor. Can be.

다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 요구되는 제품의 특성에 따라 적층 타입의 캐패시터가 아니라, 도 3에 나타낸 바와 같이 벌크 타입의 캐패시터를 제조할 수도 있을 것이다.
However, the present invention is not limited thereto, and the capacitor of the bulk type may be manufactured as shown in FIG.

상기 세라믹 분말은 티탄산바륨을 포함할 수 있다.The ceramic powder may include barium titanate.

상기 반도성 분말은 규소 분말 또는 반도성 산화물일 수 있다. 상기 반도성 산화물은 환원 열처리된 인듐-주석 산화물 또는 루테늄 산화물일 수 있다. 상기 환원 열처리는 1000℃ 내지 1100℃ 수소 분위기에서 수행될 수 있다.The semiconductive powder may be silicon powder or semiconducting oxide. The semiconducting oxide may be indium tin oxide or ruthenium oxide which has been subjected to reduction heat treatment. The reduction heat treatment may be performed in a 1000 ℃ to 1100 ℃ hydrogen atmosphere.

본 실시 형태에서 세라믹 분말, 반도성 산화물에 관한 사항은 앞서 설명한 바와 동일하다.
In the present embodiment, the matters related to the ceramic powder and the semiconductive oxide are the same as described above.

[실시예][Example]

다음과 같은 방법에 의하여 적층 세라믹 캐패시터를 제조하였다.A multilayer ceramic capacitor was manufactured by the following method.

우선, 평균 입자 사이즈가 250 나노미터인 인듐-주석 산화물(ITO, Indium Tin Oxide)을 1000℃ 내지 1100℃, 수소 농도 1~3%의 수소 분위기에서 10 시간 동안 열처리하여 비저항이 약 105 ~ 108 Ω㎝ 인 반도성 산화물을 준비하였다. First, indium tin oxide (ITO) having an average particle size of 250 nanometers was heat-treated in a hydrogen atmosphere at 1000 ° C to 1100 ° C and hydrogen concentration of 1 to 3% for 10 hours, so that the resistivity was about 10 5 to 10 A semiconducting oxide of 8 cm 3 was prepared.

유전체 분말로는 평균 입자 사이즈가 300 나노미터인 티탄산바륨 분말을 준비하였다.As the dielectric powder, barium titanate powder having an average particle size of 300 nanometers was prepared.

다음으로, 세라믹 본체 대비 반도성 ITO 입자의 부피의 비율이 0%, 1%, 2.5%, 5%, 10%가 되도록 칭량하였다. Next, the ratio of the volume of the semiconducting ITO particles to the ceramic body was measured to be 0%, 1%, 2.5%, 5%, and 10%.

다음으로, 티탄산바륨 분말에 에탄올과 바인더 등의 첨가제를 혼합하여 볼 밀링하여 세라믹 분말이 고르게 분산된 세라믹 슬러리를 제조하고, 닥터 블레이드 방법을 이용하여 캐리어 필름 상에 세라믹 슬러리를 도포 및 건조하여 유전체 그린 시트를 제조하였다.Next, barium titanate powder is mixed with additives such as ethanol and a binder to produce a ceramic slurry in which ceramic powder is evenly dispersed by ball milling. Sheets were prepared.

다음으로, 티탄산바륨 및 반도성 ITO 혼합 분말에 용매, 바인더 등의 첨가제를 첨가하고 볼 밀링하여 반도성 ITO가 고르게 분산된 세라믹 슬러리를 준비하였다. 닥터 블레이드 방법을 통하여 세라믹 슬러리를 폴리에틸렌 필름 상에 도포하고 이를 건조하여 세라믹 그린 시트를 준비하였다. Next, additives such as a solvent and a binder were added to the barium titanate and the semiconductive ITO mixed powder, and ball milling was performed to prepare a ceramic slurry in which the semiconducting ITO was evenly dispersed. The ceramic slurry was applied onto a polyethylene film through a doctor blade method and dried to prepare a ceramic green sheet.

다음으로, 니켈을 주성분으로 하는 내부 전극용 페이스트로 세라믹 그린 시트 상에 스크린 인쇄법을 이용하여 내부 전극을 형성하고, 그린 시트를 적층하여 적층체를 형성하고, 적층체를 85℃에서 1,000kgf/㎠의 압력으로 등압 압축 성형(isostatic pressing) 한 후 적층체를 절단하여 그린 칩을 준비하였다. Next, an internal electrode paste containing nickel as a main component was used to form internal electrodes on the ceramic green sheet using screen printing, and the green sheets were laminated to form a laminate, and the laminate was 1,000 kgf / After isostatic pressing at a pressure of cm 2, the laminate was cut to prepare a green chip.

그린 칩을 외부 전극용 페이스트에 디핑 및 건조하여 그린 칩의 외부면에 외부 전극을 형성하였다. The green chip was dipped in an external electrode paste and dried to form an external electrode on an outer surface of the green chip.

외부 전극이 형성된 그린 칩을 대기 분위기 하에서 230℃에서 60시간 유지하는 탈바인더 공정을 거친 후, 900℃에서 환원 분위기에서 소성하여, 내부 전극과 외부 전극을 동시에 소성하였다.After the green chip on which the external electrode was formed was subjected to a binder removal process maintained at 230 ° C. for 60 hours in an air atmosphere, the green chip was baked at 900 ° C. in a reducing atmosphere, and the internal electrode and the external electrode were simultaneously fired.

상기 공정을 거쳐 세라믹 본체에 도전성 산화물인 ITO가 고르게 분산된 적층 세라믹 캐패시터를 제조하였다.
Through the above process, a multilayer ceramic capacitor in which ITO, which is a conductive oxide, was evenly dispersed in the ceramic body was manufactured.

표 1에는 세라믹 본체의 부피 중 반도성 ITO 입자가 차지하는 부피의 비율을 변화시키면서 유전율 및 커패시턴스 측정 결과를 나타내었다.
Table 1 shows the results of measuring dielectric constant and capacitance while changing the ratio of the volume of semiconductive ITO particles in the volume of the ceramic body.

티탄산바륨Barium titanate 반도성 ITOSemiconductor ITO 세라믹 본체 대비 반도성 입자의 부피 비율(%)Volume ratio of semiconductive particles to ceramic body (%) 유전율permittivity 캐패시턴스
(uF)
Capacitance
(uF)
크기
(nm)
size
(nm)
부피비
(vol%)
Volume ratio
(vol%)
크기
(nm)
size
(nm)
부피비
(vol%)
Volume ratio
(vol%)
비교예 1*Comparative Example 1 * 300300 100100 -- -- 00 32503250 9.99.9 비교예 2*Comparative Example 2 * 300300 9999 250250 1One 1One 33103310 10.310.3 비교예 3*Comparative Example 3 * 300300 97.597.5 250250 2.52.5 2.52.5 35603560 11.011.0 실시예 Example 300300 9595 250250 55 55 39303930 12.912.9 비교예 4* Comparative Example 4 * 300300 9090 250250 1010 1010 59005900 18.818.8

*: 본 발명의 범위에 속하지 않음.
*: Not within the scope of the present invention.

표 1을 참조하면, 비교예 1은 세라믹 본체에 반도성 ITO를 첨가하지 않은 경우로서 유전율은 3250, 커패시턴스는 9.9uF 이고, 비교예 2는 반도성 ITO의 부피 비율이 1%인 경우로서 유전율은 3310, 커패시턴스는 10.3uF 이고, 비교예 3은 반도성 ITO의 부피 비율이 2.5%인 경우로서 유전율은 3560, 커패시턴스는 11.0 uF 이다. Referring to Table 1, Comparative Example 1 is a case where the semiconducting ITO is not added to the ceramic body, the dielectric constant is 3250, the capacitance is 9.9uF, Comparative Example 2 is the case where the volume ratio of the semiconducting ITO is 1%, the dielectric constant is 3310, the capacitance is 10.3 uF, Comparative Example 3 is a case where the volume ratio of the semiconducting ITO is 2.5%, the dielectric constant is 3560, the capacitance is 11.0 uF.

실시예 3은 세라믹 본체 대비 반도성 ITO의 부피 비율이 5%인 경우로서 유전율은 3930, 커패시턴스는 12.9uF 이다. In Example 3, the volume ratio of the semiconducting ITO to the ceramic body is 5%. The dielectric constant is 3930 and the capacitance is 12.9 uF.

비교예 4는 세라믹 본체 대비 반도성 ITO의 부피 비율이 10%인 경우로서 유전율은 5900, 커패시턴스는 18.8 uF 이다. In Comparative Example 4, the volume ratio of the semiconducting ITO to the ceramic body was 10%. The dielectric constant was 5900 and the capacitance was 18.8 uF.

표 1에 의하면, 반도성 ITO의 함량이 증가함에 따라 유전율 및 커패시턴스가 증가함을 확인할 수 있다. According to Table 1, it can be seen that the dielectric constant and capacitance increase as the content of the semiconducting ITO increases.

특히 반도성 ITO의 부피 비율이 5% 인 실시예 3에서 유전율 및 커패시턴스가 급격히 증가함을 확인할 수 있다. In particular, it can be seen that in Example 3 having a volume ratio of semiconducting ITO, dielectric constant and capacitance increase rapidly.

비교예 4의 경우는 유전율 및 커패시턴스가 상당히 큰 값을 가지지만, 본 발명의 범위에 속하지 않는다. 그 이유는 반도성 ITO가 차지하는 부피가 커짐에 따라 반도성 ITO 입자 사이의 간격이 짧아져 세라믹 본체의 절연저항이 감소되기 때문이다.
In the case of Comparative Example 4, the dielectric constant and capacitance have a considerably large value, but are not within the scope of the present invention. The reason for this is that as the volume occupied by the semiconducting ITO increases, the interval between the semiconducting ITO particles is shortened, thereby reducing the insulation resistance of the ceramic body.

본 발명은 상술한 실시 형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.The present invention is not limited by the above-described embodiments and the accompanying drawings, but is intended to be limited only by the appended claims. It will be apparent to those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. something to do.

10: 세라믹 본체
21, 22: (제1 및 제2) 외부 전극
30: 반도성 입자
31, 32: 내부 전극
10: Ceramic body
21, 22: (first and second) external electrodes
30: semiconductive particle
31, 32: internal electrode

Claims (12)

내부에 반도성 입자가 분산된 세라믹 본체; 및
상기 세라믹 본체의 내부에 대향 배치된 내부 전극;
을 포함하는 적층 세라믹 전자 부품.
A ceramic body in which semiconductive particles are dispersed therein; And
Internal electrodes disposed to face the interior of the ceramic body;
Laminated ceramic electronic component comprising a.
제1항에 있어서,
상기 세라믹 본체의 부피 대비 상기 반도성 입자의 부피의 비율은 3 이상 7 이하인 적층 세라믹 전자 부품.
The method of claim 1,
The ratio of the volume of the semiconductive particle to the volume of the ceramic body is 3 to 7 or less multilayer ceramic electronic component.
제1항에 있어서,
상기 세라믹 본체는 티탄산바륨을 포함하는 적층 세라믹 전자 부품.
The method of claim 1,
The ceramic body is a multilayer ceramic electronic component comprising barium titanate.
제1항에 있어서,
상기 반도성 입자는 규소 입자 또는 반도성 산화물 입자인 적층 세라믹 전자 부품.
The method of claim 1,
The semiconducting particles are silicon particles or semiconductive oxide particles.
제4항에 있어서,
상기 반도성 산화물은 환원 열처리된 인듐-주석 산화물 또는 루테늄 산화물 중 어느 하나 이상을 포함하는 적층 세라믹 전자 부품.
5. The method of claim 4,
The semiconducting oxide comprises at least one of reduced heat treated indium-tin oxide or ruthenium oxide.
제5항에 있어서,
상기 환원 열처리는 1000℃ 내지 1100℃ 수소 분위기에서 수행된 적층 세라믹 전자 부품.
The method of claim 5,
The reduction heat treatment is a multilayer ceramic electronic component carried out in a 1000 ℃ to 1100 ℃ hydrogen atmosphere.
세라믹 분말의 부피에 대한 반도성 분말의 부피의 비율이 3 이상 7 이하가 되도록 상기 세라믹 분말 및 상기 반도성 분말을 칭량하는 단계;
상기 세라믹 분말 및 상기 반도성 분말의 혼합물에 유기 용매, 바인더 등을 첨가하는 단계: 및
상기 혼합물을 볼 밀링하여 세라믹 슬러리를 준비하는 단계;
를 포함하는 적층 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
Weighing the ceramic powder and the semiconductive powder such that the ratio of the volume of the semiconductive powder to the volume of the ceramic powder is 3 or more and 7 or less;
Adding an organic solvent, a binder, and the like to the mixture of the ceramic powder and the semiconductive powder: and
Ball milling the mixture to prepare a ceramic slurry;
Method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component comprising a.
제7항에 있어서,
상기 세라믹 슬러리를 준비하는 단계 이후에, 상기 세라믹 슬러리를 이용하여 세라믹 그린 시트를 준비하고, 상기 세라믹 그린 시트를 적층하는 단계를 추가적으로 포함하는 적층 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
The method of claim 7, wherein
After the preparing of the ceramic slurry, further comprising preparing a ceramic green sheet by using the ceramic slurry and stacking the ceramic green sheet.
제7항에 있어서,
상기 세라믹 분말은 티탄산바륨 분말을 포함하는 적층 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
The method of claim 7, wherein
The ceramic powder is a manufacturing method of a multilayer ceramic electronic component containing barium titanate powder.
제7항에 있어서,
상기 반도성 분말은 규소 분말 또는 반도성 산화물 분말인 적층 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
The method of claim 7, wherein
The semiconducting powder is a silicon powder or a semiconducting oxide powder.
제10항에 있어서,
상기 반도성 산화물은 환원 열처리된 인듐-주석 산화물 또는 루테늄 산화물인 적층 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
The method of claim 10,
The semiconducting oxide is a reduction heat treatment indium tin oxide or ruthenium oxide manufacturing method of a multilayer ceramic electronic component.
제11항에 있어서,
상기 환원 열처리는 1000℃ 내지 1100℃ 수소 분위기에서 수행되는 적층 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
The method of claim 11,
The reduction heat treatment is a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component is carried out at 1000 ℃ to 1100 ℃ hydrogen atmosphere.
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