KR20130030625A - 대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치 - Google Patents

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KR20130030625A
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정상권
오성택
정기영
안병철
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주식회사 아바코
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Abstract

본 발명은 드럼의 곡면에 대응하여 상부면이 곡면을 이루는 캐소드 장치의 상부면에 곡면을 이루도록 타겟이 마련되고, 캐소드 내에 복수의 마그넷이 곡면을 이루도록 배치되는 대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치가 제시된다.

Description

대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치{The cathode Unit for Large Area Continuous Roll To Roll Coating}
본 발명은 스퍼터링 장치에 관한 것으로, 특히 대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치에 관한 것이다.
플렉서블 코팅을 위해 현재에는 기존의 인라인 스퍼터링 글래스(Inline Sputtering Glass) 코팅 방식의 캐소드를 사용한다. 그런데, 기존 롤투롤 방식(코팅존)은 원호 형태의 메인 드럼을 사용하고 있고, 이에 비해 타겟은 평면 형태로서고정된 비대칭적인 구조를 가지고 있으므로 박막의 접착 품질이 떨어지게 된다. 한편, 한국공개특허 제10-2007-0009944호에는 진공 롤투롤 증착 장치 및 그 증착 방법이 제시되어 있다.
본 발명은 기존 롤투롤 방식(코팅존)에 비해 원호 형태의 메인 드럼을 고려하여 메인 드럼에 대칭으로 특정한 간격을 두어 타겟을 마련하는 대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치를 제공한다.
본 발명은 롤투롤에 있어 타겟의 형태 따라 마그넷의 구조 또한 적합하게 구성하는 대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치를 제공한다.
본 발명의 실시 예들에 따른 대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치는 드럼의 곡면에 대응하여 상부면이 곡면을 이루고, 상기 상부면 상에 마련된 타겟과, 상기 캐소드 내에 마련된 복수의 마그넷을 더 포함하고, 상기 타겟은 곡면을 이루도록 마련되고, 상기 마그넷은 곡면을 이루도록 배치된다.
본 발명은 기존 롤투롤 방식(코팅존)에 비해 원호 형태의 메인 드럼을 고려하여 메인 드럼에 대칭으로 특정한 간격을 두어 타겟을 마련하고, 타겟의 형태에 따라 마그넷의 두조 또한 적합하게 구성함으로써 기판 상에 수직 형태로 입자의 코팅이 이루어지며, 플렉서블 코팅에 적합하다.
도 1은 종래의 롤투롤 스퍼터링 장치의 개략도.
도 2는 종래의 롤투롤 스퍼터링 장치에 이용되는 캐소드의 개략도.
도 3은 본 발명에 따른 롤투롤 스퍼터링 장치의 개략도.
도 4는 본 발명에 따른 롤투롤 스퍼터링 장치에 이용되는 캐소드의 개략도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 1 및 도 2는 종래의 롤투롤 스퍼터링 장치 및 이에 이용되는 캐소드의 개략도이도, 도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 롤투롤 스퍼터링 장치 및 이에 이용되는 캐소드의 개략도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 종래의 롤투롤 스퍼터링 장치는 언와인딩(30)과 리와인딩(31) 사이에 적어도 두 개의 메인 드럼(10, 11)이 마련되고, 언와인딩(30)과 메인 드럼(10) 사이, 두 메인 드럼(10, 11) 사이, 그리고 메인 드럼(11)과 리와인딩(31) 사이에 복수의 가이드 롤(20, 21, 22, 23, 24, 25, 26)이 마련된다. 따라서, 언와인딩(30)으로부터 두 메인 드럼(10, 11)를 거쳐 리와인딩(31)으로 플렉서블 기판이 진행한다. 이때, 메인 드럼(10, 11) 하측에는 캐소드(40)가 마련되고, 캐소드(40) 상측에는 마그넷(50)이 마련된다. 여기서, 캐소드(40)는 도 2에 도시된 바와 같이 상부면이 수평을 이루고 그에 따라 마그넷(50) 또한 수평을 이루게 된다. 이 경우 도 2에 도시된 바와 같이 마그넷(50) 상에 마련되는 타겟(50)이 영역에 따라 메인 드럼(10)과의 거리가 달라지게 된다. 따라서, 박막의 접착 특성이 떨어지게 된다.
그러나, 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 롤투롤 스퍼터링 장치는 언와인딩(30)과 리와인딩(31) 사이에 적어도 두 개의 메인 드럼(10, 11)이 마련되고, 언와인딩(30)과 메인 드럼(10) 사이, 두 메인 드럼(10, 11) 사이, 그리고 메인 드럼(11)과 리와인딩(31) 사이에 복수의 가이드 롤(20, 21, 22, 23, 24, 25, 26)이 마련된다. 따라서, 언와인딩(30)으로부터 두 메인 드럼(10, 11)를 거쳐 리와인딩(31)으로 플렉서블 기판이 진행한다. 이때, 메인 드럼(10, 11) 하측에는 캐소드(40)가 마련되고, 캐소드(40) 상측에는 마그넷(50)이 마련된다. 여기서, 캐소드(40)는 도 4에 도시된 바와 같이 상부면이 드럼(10)의 곡면을 따라 곡선을 이루고, 그에 따라 마그넷(80) 또한 곡면을 이루도록 배치된다. 이렇게 하면 도 4에 도시된 바와 같이 마그넷(80) 상에 마련되는 타겟(60)과 메인 드럼(10) 사이의 거리가 모든 영역에서 동일하게 된다. 따라서, 박막의 접착 특성을 향상시킬 수 있다.
10, 11 : 메인 드럼 12 : 증착 막
20, 21, 22, 23, 24, 25, 26 : 가이드 롤
30 : 언와인딩 31 : 리와인딩
40 : 종래의 캐소드 50 : 종래의 마그넷
60 : 본 발명에 따른 마그넷 70 : 종래의 타겟
80 : 본 발명에 따른 타겟

Claims (2)

  1. 드럼의 곡면에 대응하여 상부면이 곡면을 이루는 대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 상부면 상에 마련된 타겟과, 상기 캐소드 내에 마련된 복수의 마그넷을 더 포함하고, 상기 타겟은 곡면을 이루도록 마련되고, 상기 마그넷은 곡면을 이루도록 배치되는 대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치.
KR1020110094220A 2011-09-19 2011-09-19 대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치 KR20130030625A (ko)

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