KR20130028458A - 자동 광학 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 자동 광학 검사 장치를 제공한다. 이 장치는 시간에 따라 서로 다른 파장의 광을 출력하는 적어도 하나의 LED 광원 모듈, LED 광원 모듈이 장착되는 장착부, 장착부의 중심 영역에 배치되는 카메라, 및 LED 광원 모듈을 펄스 모드로 구동하고 상기 카메라를 LED 광원 모듈이 점등된 시간 동안만 이미지를 획득하도록 동기화시키는 제어부를 포함한다. LED 광원 모듈은 같은 파장을 가지는 복수의 LED 광원 그룹들로 분류되고, LED 광원 그룹들은 각각 순차적으로 점등된다. LED 광원 그룹들 각각의 파장은 기판 상에 적층된 서로 다른 층에서 반사가 최대가 되도록 선택된다.

Description

자동 광학 검사 장치{AUTOMATIC OPTICAL INSPECTION APPARATUS}
본 발명은 자동 광학 검사 장치에 관한 것으로, 더 구체적으로 기판의 적층된 층별 결함을 감지할 수 있는 자동 광학 검사 장치에 관한 것이다.
전통적인 자동 광학 검사 장치는 카메라로 기판의 사진을 찍어서, 사진의 이미지를 분석해 기판상의 결함을 발견한다. 이미지는 결함의 좌표(x, y 좌표, 구역 등등), 크기, 종류를 제공한다. 이미지를 분석하면 결함 위치와 종류를 알 수 있을 뿐 아니라, 결함의 숫자 흐름 등도 알 수 있다. 이러한 정보는 제조업체가 그들의 불량율을 낮출 수 있는 관리 시스템에 도움이 된다.
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 분광 이미징 원리를 이용하여 적층구조 투명박막 시료의 각 층별 패턴을 고속으로 검사하는 자동 광학 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 자동 광학 검사 장치는 시간에 따라 서로 다른 파장의 광을 출력하는 적어도 하나의 LED 광원 모듈, 상기 LED 광원 모듈이 장착되는 장착부, 상기 장착부의 중심 영역에 배치되는 카메라, 및 상기 LED 광원 모듈을 펄스 모드로 구동하고 상기 카메라를 상기 LED 광원 모듈이 점등된 시간 동안만 이미지를 획득하도록 동기화시키는 제어부를 포함한다. 상기 LED 광원 모듈은 같은 파장을 가지는 복수의 LED 광원 그룹들로 분류되고, 상기 LED 광원 그룹들은 각각 순차적으로 점등된다. 상기 LED 광원 그룹들 각각의 파장은 기판 상에 적층된 서로 다른 층에서 반사가 최대가 되도록 선택된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 LED 광원 모듈에 전력을 공급하는 전원부; 및 상기 전원부로부터 공급된 전력을 상기 제어부의 제어 신호에 따라 상기 LED 광원 그룹들을 각각 순차적으로 점등하도록 분배하는 스위치부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 LED 광원 그룹의 같은 파장을 가지는 LED들은 서로 직렬 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 자동 광학 검사 장치는 분광이미징 원리를 이용하여 적층구조 투명박막 시료의 각 층별 패턴을 고속으로 검사할 수 있다. 특히 여러 파장에서 단색광을 발생하는 LED 광원과 흑백 영상카메라를 배치하고 이를 펄스로 구동 및 동기화하여 매우 빠른 시간에 여러 층의 패턴을 검사할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 광학 검사 장치를 설명하는 개념도이다.
도 2는 도 1의 자동 광학 검사 장치를 설명하는 평면도이다.
도 3은 도 1의 자동 광학 검사 장치의 회로도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자동 광학 검사 장치를 설명하는 평면도이다.
도 5는 박막형 CuInSe2(CIS) 계열의 태양 전지를 설명하는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 광학 장치의 동작 방법을 설명하는 흐름도이다.
자동 광학 검사 장치의 성능은 주로 감지 속도와 민감도에 따라 결정된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 자동 광학 검사 장치는 각 층에 대한 민감도를 증가시킬 수 있고, 복수의 층을 조사할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 자동 광학 검사 장치는 분광 이미징 원리를 이용하여 적층 구조 투명 박막 기판의 각 층별 패턴을 고속으로 검사할 수 있다. 특히, 단색광을 발생하는 LED 광원들이 복수의 파장들에서 확보된다. 상기 LED 광원들과 영상카메라는 펄스로 구동되고 상호 동기화된다. 따라서, 소정의 층에 대응하는 파장 별로 영상 이미지가 획득되어, 빠른 시간 안에 복수의 층들에 대한 패턴 검사가 가능하다.
각 층별로 특정한 기능을 위한 물질과 공간적 패턴을 제작하는 적층구조의 투명박막은 평면 디스플레이 또는 박막형 태양전지의 제작 등에 주로 응용된다. 투명 박막의 제조 공정에서 다양한 패턴을 가지고 여러 층이 적층된 투명 박막이 형성될 수 있다. 각 층별로 원하는 패턴이 결함 없이 실현되었는지를 검사하는 과정이 필요하다. 특히, 대면적 박막의 대량생산 공정에 있어서, 고속으로 각 층별 패턴의 이상 유무를 빨리 검사하는 자동 광학 검사 장치가 요구된다.
자동 광학 검사 장치는 각 층별로 실제 구현된 패턴의 이미지를 획득하여 설계한 패턴과 육안으로 또는 수치적 알고리즘을 통한 비교 판단을 제공할 수 있다.
일예로, 박막형 CuInSe2(CIS) 계열의 태양 전지는 기판 상에 차례로 적층된 배면 전극, 버퍼층, 광흡수층, 창층, 전극, 및 반사방지막을 가질 수 있다. 기판 상에 배면 전극이 형성되고 나서, 상기 기판의 결함이 조사될 수 있다. 또한, 상기 기판 상에 배면 전극, 및 버퍼층이 형성되고 나서, 상기 전극, 및 버퍼층의 결함이 조사될 수 있다. 또는 박막형 CuInSe2(CIS) 계열의 태양 전지의 모든 층이 형성되고, 결함이 조사될 수 있다.
이 경우, 기판 상에 적층된 구조는 자동 광학 검사 장치의 성능에 영향을 줄 수 있다. 기판 상에 적층된 구조 및/또는 조사하고자 하는 층에 따라, 자동 광학 검사 장치의 출력 파장이 선택될 필요가 있다. 또한, 기판 상에 복수의 적층된 구조를 가지는 경우, 각 층별 결함이 조사될 필요가 있다. 이를 위하여, 본 발명의 자동 광학 검사 장치는 각 층별로 최적 파장을 적용하여 이미지를 획득하여, 층별 결함을 조사할 수 있다.
본 발명의 자동 광학 검사 장치는 모든 층이 형성된 후에 층별 결함을 조사할 수 있다. 또한, 본 발명의 자동 광학 검사 장치 기판 상에 모든 층이 적층되기 전에도 하부 층들 또는 최상위 층의 결함을 조사할 수 있다. 이를 위하여, 본 발명의 자동 광학 검사 장치는 파장 별로 기판에 균일하게 광을 조사할 수 있다. 본 발명의 자동 광학 검사 장치는 소정의 순서에 따라 조사되는 파장을 변경할 수 있다. 이에 따라, 소정의 파장은 소정의 층에서 최대의 반사율을 가지도록 선택될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 자동 광학 검사 장치는 파장을 변경하면서 영상 이미지를 획득하는 분광 이미징 방법이 사용된다.
분광 이미징을 실현하는 방법은 파장선택을 광원에서 하는가 영상카메라에서 하는가에 따라 분광광원을 사용하는 방법과 분광카메라를 사용하는 방법으로 구분될 수 있다.
분광 이미징은 기판에 백색광을 조사한 후 기판의 이미지를 파장에 따라 선택적으로 획득할 수 있다. 이에 따라, 특정 파장에서 반사율이 높은 물질로 이루어진 층의 이미지는 반사율이 상대적으로 낮은 물질의 층의 이미지와 구별될 수 있다.
여러 층을 구별하기 위해서 이미지를 획득하는 선택 파장의 수는 증가될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 광학 검사 장치는 파장(색깔)이 서로 다른 여러 종류의 단색 LED를 조합하고, 이를 파장 별로 선택적으로 구동하는 분광 광원을 사용하였다. 이에 따라, 상기 단색 LED를 사용하여 분광 광원을 구동하고 이미지는 수 ms(밀리 초) 이내에 획득될 수 있다. 즉, 외부에서 인가되는 노출 펄스신호는 LED를 켜고, 동시에 영상카메라의 이미지 획득을 시작할 수 있다.
노출 펄스신호로 구동하는 LED는 연속적인 구동의 조건보다 열방출에 의한 문제가 적어서 더 높은 휘도로 구동될 수 있다. 또한 여러 파장의 이미지가 필요한 경우, 디지털 스위치를 사용하여 구동하는 다른 파장의 단색 LED만 선택하여 주면 되므로 매우 빠른 시간에 이미지획득을 반복할 수 있다.
투명박막 시료의 층별 패턴 이미지를 각 층의 선별적 이미지를 획득하는데 필요한 파장의 LED를 점등함으로써 영상카메라를 통하여 쉽게 획득할 수 있고 짧은 노출펄스를 통한 구동으로 이를 매우 고속으로 실현할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 구성요소는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 광학 검사 장치를 설명하는 개념도이다.
도 2는 도 1의 자동 광학 검사 장치를 설명하는 평면도이다.
도 3은 도 1의 자동 광학 검사 장치의 회로도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 자동 광학 검사 장치(100)는 적층구조 투명 박막의 이미지를 각 층에 따라 또는 사용된 특정 물질에 따라 구별하여 고속으로 획득할 수 있다. 상기 자동 광학 검사 장치(100)는 파장을 변경하면서 영상 이미지를 획득하는 분광 이미징 방법이 사용된다.
상기 자동 광학 검사 장치(100)는 시간에 따라 서로 다른 파장의 광을 출력하는 적어도 하나의 LED 광원 모듈(160a~160f), 상기 LED 광원 모듈이 장착되는 장착부(140), 상기 장착부의 중심 영역에 배치되는 카메라(150), 및 상기 LED 광원 모듈(160a~160f)을 펄스 모드로 구동하고 상기 카메라(150)를 상기 LED 광원 모듈(160a~160f)이 점등된 시간 동안만 이미지를 획득하도록 동기화시키는 제어부(110)를 포함한다. 상기 LED 광원 모듈(160a~160f)은 같은 파장을 가지는 복수의 LED 광원 그룹들(182a~182c)로 분류되고, 상기 LED 광원 그룹들(182a~182c)은 각각 순차적으로 점등된다. 상기 LED 광원 그룹들 각각의 파장은 기판 상에 적층된 서로 다른 층에서 반사가 최대가 되도록 선택된다.
LED 광원 모듈(160a~160f)은 조명광원이다. LED 광원 모듈(160a~160f)은 제1 내지 제3 LED 광원 그룹들(182a~182c)을 포함할 수 있다. 제1 LED 광원 그룹(182a)의 파장은 λ1일 수 있다. 제2 LED 광원 그룹(182b)의 파장은 λ2일 수 있다. 제3 LED 광원 그룹(182c)의 파장은 λ3일 수 있다.
상기 LED 광원 모듈(160a~160f)은 다수의 LED를 조합한 광원이다. 각 LED 광원 그룹(182a)은 동일한 파장의 단색 LED를 직렬로 연결되어 형성된다. 각 LED 광원 그룹(182a)은 동시에 점등 및 소등할 수 있다. 즉, 각 파장의 LED 광원 그룹(182a)은 스위치부(120)의 대응하는 출력 채널에 연결된다. 상기 스위치부(120)의 입력단자는 LED 광원 모듈(160a~160f)을 구동을 위한 전원부(130)와 연결된다. 상기 전원부(130)는 동시에 점등하는 LED 개수에 맞는 용량을 가지고 펄스 구동이 가능한 전류공급장치일 수 있다. 상기 전원부(130)는 각 LED 광원 그룹(182a~182c)의 모든 LED를 동시에 점등할 수 있는 용량을 가질 수 있다. 상기 전원부(130)는 스위칭 모드 전원 공급기(switching mode power supply; SMPS)일 수 있다. 각 LED 광원 그룹(182a~182c)은 전류 제한용 저항(169a~169c)에 연결될 수 있다.
각 LED 광원 그룹(182a~182c)의 파장 선택은 측정 대상인 기판(170)의 층별 물질의 반사 특성에 따라 이루어진다. 각 파장에서의 LED 광원 그룹(182a~182c)에서 LED 개수는 이미지 획득에 필요한 적절한 휘도에 맞추어 결정될 수 있다.
상기 스위치부(120)는 소정의 순서에 따라 순차적으로 출력 채널을 선택하여 전류를 각 LED 광원 그룹(182a~182c)에 제공한다. 예를 들어, 제1 LED 광원 그룹(182a)이 점등된 후 소등되면, 제2 LED 관원 그룹(182b)이 점등된 후 소등될 수 있다. 이어서, 제3 LED 광원 그룹(182c)이 점등된 후 소등될 수 있다.
장착부(140)는 LED 광원 모듈(160a~160f)을 장착할 수 있다. 상기 장착부(140)는 전등갓 형태일 수 있다. 또는 상기 LED 광원 모듈의 출력광은 기판(170) 상의 측정 영역(172)에 광을 균일하게 조사할 수 있다. 상기 장착부(140)의 중심 영역에는 카메라(150)가 장착될 수 있다. 상기 장착부(140)의 주변 부위에는 상기 LED 광원 모듈들(160a~160f)이 장착될 수 있다. 각 LED 광원 모듈(160a~160f)은 모든 LED 광원 그룹(182a~182c)에 대응하는 LED들을 포함할 수 있다.
상기 측정 영역(172)이 원형인 경우에는 상기 장착부(140)는 원형 전등갓일 수 있다. 또한 상기 측정 영역(172)이 직사각형인 경우에는 상기 장착부(140)는 직사각형 전등갓일 수 있다. 상기 장착부(140)의 내측면은 반사률이 좋은 물질로 코팅될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판에서 반사된 빛은 상기 장착부(140)의 내측면에 재반사될 수 있다.
카메라(150)는 상기 기판의 상기 측정 영역(172)의 이미지를 획득한다. 상기 카메라(150)는 단색(흑백) CCD 혹은 CIS(CMOS IMAGE SENSOR)일 수 있다. 상기 카메라(150)는 제어부(110)가 제공하는 노출 펄스에 의하여 동작할 수 있다. 동일한 측정 영역(172)에서, 상기 카메라(150)는 조명 파장을 변화시키면서 LED 광원 그룹(182a~182c)의 개수 만큼의 이미지를 순차적으로 획득할 수 있다.
상기 제어부(110)는 LED 광원 그룹(182a~182c)을 일정한 순서에 의하여 동작시키도록 스위치부(120)를 제어할 수 있다. 또한, 상기 제어부(110)는 선택된 LED 광원 그룹(182a~182c)이 발광하는 동안 상기 카메라(150)가 이미지를 획득할 수 있도록 제어될 수 있다. 상기 카메라(150)가 하나의 이미지를 획득하는 시간은 수 msec이내일 수 있다. 따라서, 모든 LED 광원 그룹(182a~182c)에 대하여, 상기 카메라(150)가 이미지를 획득하는 시간은 수십 msec이내일 수 있다. 따라서, 매우 빠른 속도로 이미지 획득이 가능하다. 획득된 이미지는 메모리에 저장되고, 영상 처리를 통하여 결함 또는 오염 위치가 발견될 수 있다.
상기 스위치부(120)는 상기 제어부(110)의 제어에 따라 전원부(130)의 전력을 LED 광원 그룹(182a~182c)에 순차적으로 제공한다. 이에 따라, 특정한 LED 광원 그룹(182a)은 발광하고, 상기 LED 광원 그룹(182a)이 발광하는 동안, 상기 카메라(150)는 상기 스위치부(120)에 동기화되어 이미지를 획득한다. 상기 출력 채널의 개수는 LED 광원 그룹의 개수와 동일할 수 있다.
상기 제어부(110)는 상기 LED 광원 모듈(160a~160f) 및 카메라(150)를 동기화시켜 제어한다. 상기 제어부(110)가 출력하는 노출 펄스의 펄스폭 및 반복률은 사용한 LED 광원 모듈의 특성과 카메라의 감도 및 공정에서 요구하는 측정시간을 고려하여 조절할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자동 광학 검사 장치를 설명하는 평면도이다. 도 2에서 설명한 것과 중복되는 설명은 생략한다,
도 1 및 도 4를 참조하면, 자동 광학 장치의 측정 영역(172)은 직사각형 형태일 수 있다. 기판(170)은 컨베이어 시스템 등에 의하여 이동할 수 있다. 다만, 자동 광학 장치가 이미지를 획득하기 위하여 상기 기판(172)은 일시 정지할 수 있다. 상기 자동 광학 장치는 복수의 카메라(150)를 포함하고, 상기 카메라는 동시에 동작할 수 있다. 또한, LED 광원 모듈들(260)은 측정 영역에 공간적으로 균일한 조도를 제공하도록 배열될 수 있다. LED 광원 모듈들(260)은 복수의 특정한 파장으로 펄스 모드로 발광할 수 있다. 상기 LED 광원 모듈들(260)은 같은 파장을 가지는 복수의 LED 광원 그룹들로 분류되고, 상기 LED 광원 그룹들은 각각 순차적으로 점등된다. 제어부는 상기 스위치부 및 카메라들을 동기화시켜 제어할 수 있다.
도 5는 박막형 CuInSe2(CIS) 계열의 태양 전지를 설명하는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 광학 장치의 동작 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 박막형 CuInSe2(CIS) 계열의 태양 전지는 기판(170a) 상에 차례로 적층된 배면 전극(271), 버퍼층(272), 광흡수층(273), 창층(미도시), 전극(미도시), 및 반사방지막(미도시)을 가질 수 있다.
기판(170a)의 굴절율은 n1이고, 상기 배면 전극(271)의 굴절율은 n2이고, 상기 버퍼층의 굴절율 n3이고, 상기 광흡수층(273)의 굴절율은 n4일 수 있다. 제1 파장(λ1)은 상기 배면 전극(271)과 상기 버퍼층(272) 사이의 반사율이 최대인 파장일 수 있다. 제2 파장(λ2)은 상기 버퍼층(272)과 상기 광흡수층(273) 사이의 반사율이 최대인 파장일 수 있다. 제3 파장(λ3)은 상기 광흡수층(273)과 공기 또는 창층 사이의 반사율이 최대인 파장일 수 있다.
상기 자동 광학 장치는 박막형 CuInSe2(CIS) 계열의 태양 전지가 모두 형성된 다음에 층별 결함을 측정할 수 있다. 또한, 상기 자동 광학 장치는 CuInSe2(CIS) 계열의 태양 전지가 모두 형성되기 전에도 층별 결함을 측정할 수 있다.
기판(170a)은 콘베이어 시스템 또는 스테이지 상에 고정된다. 이어서, 검사할 층을 선택하고, 검사할 층에 해당하는 파장(λ1)을 선택한다(S110). 이어서, 선택한 파장(λ1)에 대응하는 LED 또는 LED 광원 그룹을 점등한다(S120). 상기 LED 광원 그룹의 점등에 동기화되어, 카메라는 이미지를 획득한다(S140). 이어서, 검사할 층을 변경한다(S160). 측정 영역에서 모든 측정이 완료되면(S140), 다음 측정 영역을 측정하기 위하여 기판을 이동한다(S150). 이어서, 기판은 고정된다(S110).
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.
100: 자동 광학 검사 장치
160a~160f: LED 광원 모듈
140: 장착부
150: 카메라
182a~182c: LED 광원 그룹들

Claims (3)

  1. 시간에 따라 서로 다른 파장의 광을 출력하는 적어도 하나의 LED 광원 모듈;
    상기 LED 광원 모듈이 장착되는 장착부;
    상기 장착부의 중심 영역에 배치되는 카메라; 및
    상기 LED 광원 모듈을 펄스 모드로 구동하고 상기 카메라를 상기 LED 광원 모듈이 점등된 시간 동안만 이미지를 획득하도록 동기화시키는 제어부를 포함하고,
    상기 LED 광원 모듈은 같은 파장을 가지는 복수의 LED 광원 그룹들로 분류되고, 상기 LED 광원 그룹들은 각각 순차적으로 점등되는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 LED 광원 모듈에 전력을 공급하는 전원부; 및
    상기 전원부로부터 공급된 전력을 상기 제어부의 제어 신호에 따라 상기 LED 광원 그룹들을 각각 순차적으로 점등하도록 분배하는 스위치부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 LED 광원 그룹의 같은 파장을 가지는 LED들은 서로 직렬 연결된 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9488598B2 (en) 2014-06-02 2016-11-08 Samsung Display Co., Ltd. Inspecting apparatus for inspecting a multilayer structure
CN115639211A (zh) * 2022-10-20 2023-01-24 苏州明益信智能设备有限公司 电池盖板自动化高速检测设备
US20230030308A1 (en) * 2021-07-28 2023-02-02 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Inspection method and inspection apparatus

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008249411A (ja) 2007-03-29 2008-10-16 Dkk Toa Corp 測定装置用光源モジュール及び測定装置
JP2009168478A (ja) 2008-01-11 2009-07-30 Hitachi High-Technologies Corp 光度計

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9488598B2 (en) 2014-06-02 2016-11-08 Samsung Display Co., Ltd. Inspecting apparatus for inspecting a multilayer structure
US20230030308A1 (en) * 2021-07-28 2023-02-02 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Inspection method and inspection apparatus
US11991457B2 (en) * 2021-07-28 2024-05-21 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Inspection method and inspection apparatus
CN115639211A (zh) * 2022-10-20 2023-01-24 苏州明益信智能设备有限公司 电池盖板自动化高速检测设备
CN115639211B (zh) * 2022-10-20 2024-03-19 苏州明益信智能设备有限公司 电池盖板自动化高速检测设备

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