KR20130028176A

KR20130028176A - 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크

Info

Publication number: KR20130028176A
Application number: KR1020110076263A
Authority: KR
Inventors: 배윤미; 박상욱; 최정모; 성기철; 박재석
Original assignee: 엘지이노텍 주식회사
Priority date: 2011-07-29
Filing date: 2011-07-29
Publication date: 2013-03-19
Also published as: KR101776316B1

Abstract

본 발명은 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크에 관한 것으로, 특히 투명기판상에 반투과 물질이 적층되어 형성되며, 조사되는 광을 서로 다른 광투과율로 통과시키는 적어도 두 개 이상의 반투과부를 포함하되, 상기 반투과부 중 적어도 어느 하나는 미결정화층 상에 결정화된 보호막이 형성된 구조를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 반투과물질막에 결정화된 구조의 보호물질막을 증착시켜반투과부를 형성함으로써, 반투과물질의 경시변화를 통해 일어나는 투과율 상승을 배제하며, 특히 제조공정에서 세정, 에칭 공정에 반투과물질막을 보호할 수 있는 효과가 있다.

Description

다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크{half tone mask having multi half permeation part}

본 발명은 서로 다른 광 투과율을 가지는 반투과부가 적어도 두 개 이상 구비됨으로써, 하나의 마스크로 복수 층을 패터닝할 수 있는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크에 관한 것이다.

포토리소그라피(Photolithography)공정으로 패터닝을 할 때 사용되는 일반적인 포토마스크는, 도 1에 도시된 바와 같이, 투명기판(11)과 투명기판(11) 상에 형성되며 광을 완전히 투과시키는 광투과부(13)와 광을 완전히 차단하는 광차단부(15)를 가진다.

상기와 같은 종래의 마스크는 한 층의 패턴을 구현할 수밖에 없으므로 노광→현상→에칭으로 이루어지는 한 사이클의 포토리소그라피공정에만 사용할 수 있다. 상세히 설명하면, 액정디스플레이의 TFT(Thin Film Transistor) 및 CF(Color Filter)는 많은 층이 증착/도포 되어 있고, 증착/도포 된 각 층은 각각 포토리소그라피공정으로 패터닝된다. 그런데 한 사이클의 포토리소그라피공정을 줄일 수만 있다면 큰 경제적인 효과를 얻을 수 있는데, 종래의 마스크는 단지 한 층의 패턴을 구현할 수밖에 없는 구조로 되어 있으므로, 비경제적이다.

특히, 위의 포토마스크의 구조에 광을 일부만 투과시키는 반투과부를 구비하는 경우, 상기 반투과부를 구성하는 반투과물질이 시간이 지남에 따라 표면이 산화되어, 투과율이 점차 증가하게 되는 경시변화가 발생하여 포토마스크의 수명이 단축 되게 되는 문제가 있다. 아울러, 세정공정이 다수 진행되는 컬러필터 등의 제조공정에 이용되는 경우, 박막의 산화가 더욱 가속되는 문제가 발생하게 된다.

본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 반투과물질막에 결정화된 구조의 보호물질막을 증착시켜반투과부를 형성함으로써, 반투과물질의 경시변화를 통해 일어나는 투과율 상승을 배제하며, 특히 제조공정에서 세정, 에칭 공정에 반투과물질막을 보호할 수 있는 하프톤 마스크를 제공하는데 있다.

상술한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 본 발명은

본 발명에 따르면, 반투과물질막에 결정화된 구조의 보호물질막을 증착시켜반투과부를 형성함으로써, 반투과물질의 경시변화를 통해 일어나는 투과율 상승을 배제하며, 특히 제조공정에서 세정, 에칭 공정에 반투과물질막을 보호할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크를 이용하면, 하나의 마스크로 다수 사이클의 포토리소그라피 공정에 적용할 수 있으므로 제조공정이 단축되어 원가가 절감되는 장점이 있다.

도 1은 종래의 포토마스크의 구조를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크의 구조를 도시한 단면 개념도이다.
도 3은 본 발명에 따른 하프톤 마스크의 제조공정도를 도시한 것이다.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다. 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성요소는 동일한 참조부여를 부여하고, 이에 대한 중복설명은 생략하기로 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 발명은 서로 다른 광 투과율을 가지는 반투과부가 적어도 두 개 이상 구비됨으로써, 하나의 마스크로 복수 층을 패터닝할 수 있는 다중 반투과부를 구비하되, 특히 패턴화된 반투과물질층 상에 결정화된 구조의 보호막(passivation layer)을 증착하여 형성함으로써, 경시변화에 따른 투과율변동과 손상을 방지할 수 있는 구조의 하프톤 마스크를 제공하는 것을 그 요지로 한다.

도 2는 본 발명에 따른 하프톤 마스크의 구조를 도시한 단면 개념도이다.

도시된 도면을 참조하면, 본 발명에 따른 하프톤 마스크는, 투명기판(110) 상에 반투과 물질이 적층되어 형성되며, 조사되는 광을 서로 다른 광투과율로 통과시키는 적어도 두 개 이상의 반투과부(121, 151)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 특히, 상술한 상기 반투과부 중 어느 하나는 미결정화층 상에 결정화된 보호막이 형성된 구조를 포함하여 구현됨이 바람직하다.

상기 투명기판(110)은 조사되는 광을 완전 투과하는 재질의 기판을 이용할 수 있으며, 일례로 석영(qz) 기판을 이용할 수 있다. 이 경우 완전 투과라 함은 조사되는 광을 100% 투과시키는 것 외에도, 광의 일부 투과를 조율하는 반투과부에 비해 상대적으로 많은 광량을 투과시키는 것을 포함하는 개념이다.

상기 투명기판(110)의 상부에는 제1반투과물질층(120)이 패터닝된 구조로 적층되며, 상기 제1반투과물질층(120)의 상부에는 광을 차단하는 광차단부(160)가 형성되는 구조로 형성될 수 있으며, 광차단부(160)은 제1반투과물질층의 상부에 차광물질패턴(140)과 제2반투과물질층(150)이 적층되는 구조로 구현될 수 있다.

물론, 상기 제1반투과물질층(120)이 형성되지 않아 상기 투명기판(110)의 표면이 노출되는 부분에는 광을 완전투과하는 광투과부(130)이 더 구현될 수 있다.

본 발명에서 특징적인 구조인 상기 제1반투과물질층(120)상에 결정화한 구조의 보호막을 증착하여 형성되는 제1반투과부(121)는 투과율이 y%를 구비하게 되며, 이러한 보호막은 안정화된 물질을 증착하여 형성되게 된다. 이는 일반적으로 반투과부를 형성하는 막은 산화물질막으로 구현되어 시간의 흐름에 따라 투과율이 상승하게 되어 수명(life time)이 줄어들게 되는데, 본 발명에 따른 제1반투과부는 이러한 결정화한 상태의 물질을 이용한 보호막을 형성하여 안정한 구조의 성막품을 구현하여 경시변화를 차단하게 한다.

상술한 보호막(P)은 TaN, TiN, CrN 등 Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al 중 어느 하나의 금속물질에 N의 결합한 물질로 이루어질 수 있다.

이외에도, 상기 제1반투과물질층(120)은 Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al을 주 원소로 하여, 상기 주 원소 물질 또는 상기 주 원소들 중 적어도 두 개 이상이 혼합된 복합 물질이거나, 상기 주 원소 또는 복합물질에 C0_x, O_x, N_x 중 적어도 하나가 첨가된 물질로 형성될 수 있다(첨자 x는 자연수이다). 또한, 상기 제1반투과물질층(120)의 상부 면에는 상기 보호막(P), 그리고 차광물질패턴(140)이 적층 되어 조사되는 광을 차단할 수 있는 광차단부를 구성할 수 있으며, 이와는 달리 상기 차광물질패턴(140)의 상부에는 제1반투과물질패턴(150)이 적층되는 구조로 광차단부(160)를 구성할 수도 있다.

상기 제1반투과부(121)은 상기 광차단부(160)가 형성되지 않는 부분에 상기 제1반투과물질층과 상기 보호막(P)으로 구성되는 제1반투과부가 노출되는 구조(투과율 y%)로 형성되며, 상기 제2반투과부(151)은 도시된 것과 같이, 상기 제1반투과물질층(120)을 패터닝하여 투명기판(110)을 노출시키고, 패터닝되어 노출된 상기 투명기판 부위에 제2반투과물질층(150)을 도포하여 형성될 수 있다. 이러한 제조공정에 의해 차광물질패턴(140)의 상부에 상기 제2반투과물질층(150)이 더 형성되는 구조로 광차단부(160)가 형성된다.

아울러, 상기 제2반투과물질층(150)은 Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al을 주 원소로 하여, 상기 주 원소 물질 또는 상기 주 원소들 중 적어도 두 개 이상이 혼합된 복합 물질이거나, 상기 주 원소 또는 복합물질에 C0_x, O_x, N_x 중 적어도 하나가 첨가된 물질로 형성될 수 있으며, 특히 상기 제1반투과부(121)의 광투과율(y)과 서로 다른 광투과율(z)을 구비하도록 형성함이 바람직하다.

물론, 도 2의 구조에서 (a)는 상술한 구조의 일예를 설명한 것이며, (b) 및 (c)는 반투과부의 다른 구현예를 도시한 것이다. 즉, 도 2의 (a)에서 광투과부(130)이 형성된 영역(A) 이나 또는 제2반투과부(151)의 구조를 도 2의 (b), (c)의 구조로 구현할 수도 있다.

즉, 도 2의 (b)에 도시된 구조와 같이, 결정화하지 않은 미결정화물질로 구성되는 제1반투과물질층(120)과 그 표면에 증착되어 형성되는 결정화된 물질인 보호막(P), 그리고 그 상부에 미결정화된 제2반투과물질(150)의 적층구조로 하여 투과율이 상술한 제1 및 제2반투과부와는 다른 제3반투과부(153;투과율a%)로 구현하는 것도 가능하며, 이와는 달리 적층되는 제2반투과물질(150)을 일부만 적층되는 구조로 구현하는 것도 가능하다. 광투과부의 투과율을 (w%)라고 할 때, 이보다는 적은 투과율을 가진 반투과부를 다양하게 구현하는 것이 가능하다.

물론, 이 경우 도 2의 (c)에 도시된 구조와 같이, 패터닝의 방식에 따라 결정화된 제1반투과물질층(120)을 패터닝하되, 미세 슬릿구조(s)를 구현하여 투과율(c%)을 조절하는 것도 가능하다.

도 3은 도 3은 도 2의 본 발명에 따른 하프톤 마스크의 제조공정을 도시한 공정순서도이다. 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 하프톤 마스크의 제조공정을 설명하면 다음과 같다.

우선, S 1단계에서 투명기판을 준비하여 세정 등의 공정을 수행하며, 이후 S 2단계에서 상기 투명기판(110) 상에 제1반투과물질층(120)을 전체적으로 성막한다. 이후, S 3 단계에서 상기 제1반투과물질층(120)의 표면에 결정화된 물질로 구성되는 보호막(P)을 증착하여 성막하고, 이후 Cr 등의 차광물질을 제1반투과물질층(120)의 상면에 적층할 수 있다.

이후, S 4단계에서, 상기 차광물질층의 상부에 포토레지스트를 도포하고, 노광, 현상을 거쳐서 상기 제1반투과물질층(120)의 일부가 노출되도록 차광물질패턴층(140)을 구현하고, 이후 포토레지스트를 박리한 후, 상기 노출되는 상기 제1반투과물질층(120)을 에칭하여 광투과부를 형성한다(S 5단계). (물론, S5단계에서는 광투과부를 형성하는 부분을 도 2의 (b), (c)와 같이 제1반투과물질층을 다양하게 패터닝하여 제3반투과부를 구현하는 것도 가능함은 상술한 바와 같다.)

이후, 투명기판이 노출되는 부분과 상기 차광패턴이 구현된 구조의 상부 면에 제2반투과물질층(150)을 전체적으로 도포한다(S 6단계). 그리고 상기 제2반투과물질층(150)의 상부에 제2포토레지스트를 도포하고 노광, 현상을 거쳐서 도 2에 도시된 구조와 같이, 차광물질패턴(140)을 재차 패터닝하여 차광물질패턴층 하부에 적층된 제1반투과물질을 노출시켜 제1반투과부(121)을 구현한다. 물론, 이 경우 상기 제1반투과부는 표면에 보호막(P)이 형성된 구조임은 상술한 바와 같다.

또한, 이와 동시에 제2반투과물질을 완전히 제거하여 투명기판을 노출시킴으로써, 광투과부(130)를 구현하는 한편, 상기 제1반투과물질층(120)을 에칭하는 S 4~S 5단계에서 노출된 투명기판에 제2반투과물질을 노출시켜 제2반투과부(151)를 구현한다(S 7단계).

물론, 이 공정단계에서 S 6단계에서 제2반투과물질막(150)을 성막한 후, 산화처리를 통해 제2반투과물질막에도 산화막을 형성하여 전체적으로 노출되는 반투과부의 경시변화를 방지할 수 있도록 함이 바람직하다.

전술한 바와 같은 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였다. 그러나 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능하다. 본 발명의 기술적 사상은 본 발명의 전술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

110: 투명기판
120: 제1반투과물질층
121: 제1반투과부
130: 광투과부
140: 차광물질패턴
150: 제2반투과물질층
151: 제2반투과부
153: 제3반투과부
P: 보호막(Passivation layer)

Claims

투명기판상에 반투과 물질이 적층되어 형성되며, 조사되는 광을 서로 다른 광투과율로 통과시키는 적어도 두 개 이상의 반투과부; 를 포함하되,
상기 반투과부 중 적어도 어느 하나는 미결정화층 상에 결정화된 보호막이 형성된 구조를 포함하는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크.
청구항 1에 있어서,
상기 반투과부는,
패터닝된 제1반투과물질층 상에 결정질 보호막이 형성된 구조의 제1반투과부; 및
제2반투과물질층이 패터닝되어 형성되는 제2반투과부와 제1반투과물질층상에 제2반투과물질이 적층된 구조의 제3반투과부; 중
어느 하나 이상을 포함하여 배치되는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크.
청구항 2에 있어서,
상기 보호막은,
Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al 중 어느 하나에 N이 포함된 화합물로 이루어지는 결정화막인 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크.
청구항 1 내지 청구항 3중 어느 한 항에 있어서,
상기 하프톤 마스크는,
상기 투명기판 면이 노출되어 광을 투과시키는 광투과부;와
상기 투명기판상에 형성되어 조사되는 소정 파장대의 광을 차단시키는 광차단부; 를 더 포함하는 다중 반투과부를 구비한 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크.
청구항 4에 있어서,
상기 제2반투과물질층은,
Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al을 주 원소로 하여, 상기 주 원소 물질 또는 상기 주 원소들 중 적어도 두 개 이상이 혼합된 복합 물질
이거나, 상기 주 원소 또는 복합물질에 C0x, Ox, Nx 중 적어도 하나가 첨가된 물질로 형성되는 다중 반투과부를 구비한 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크.
청구항 4에 있어서,
상기 광차단부는,
상기 제1반투과물질층의 상부에 적층되는 차광물질패턴과;
상기 차광물질패턴 상부에 적층되는 제2반투과물질층 패턴;로 형성되는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크.
청구항 6에 있어서,
상기 차광물질패턴은 Cr 또는 Cr 산화물로 이루어지는 다중 반투과부를 구비한 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크.
청구항 4에 있어서,
상기 제2반투과물질층의 표면에는 산화처리를 통한 산화처리막이 형성되는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크.