KR20130003274U - 기판의 강성 테스트 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 태양 전지 또는 반도체 웨이퍼와 같은 균열에 민감한, 디스크 형태의 편평한 기판의 프로세싱 분야에 관한 것이며, 특히 후속 프로세싱 단계를 실시하기 전에 상기 기판의 균열 민감도 검사를 실행할 수 있는 강성 테스트 장치에 관한 것으로서, 균열에 민감한 편평한 기판(1)의 강성 테스트 장치로서, 기판(1)을 위한 안착면과 부하 장치를 포함하고, 상기 부하 장치는 상기 기판(1)의 무접촉 방식의 부하 수단을 포함한다.

Description

기판의 강성 테스트 장치{DEVICE FOR TESTING RIGIDITY OF SUBSTRATE}

본 고안은 예컨대 태양 전지 또는 반도체 웨이퍼와 같은 균열에 민감한, 디스크 형태의 편평한 기판의 프로세싱 분야에 관한 것이다. 특히 본 고안은 후속 프로세싱 단계를 실시하기 전에 상기 기판의 균열 민감도 검사를 실행할 수 있는 강성 테스트 장치에 관한 것이다.

다수의 전자 제품은 하기에서 간단히 기판 또는 웨이퍼라고 하는 소위 반도체 기판에 기초한다. 이러한 디스크 형태의 편평한 기판은 전체 블록으로부터 분리된 후에 180 ㎛ 또는 그 이하의 전형적인 두께를 가진 얇은 플레이트에 제공된다. 조심스러운 제조 방법에도 불구하고 일반적으로 강성 재료로 이루어지고 균열에 민감한 얇은 기판의 손상이 항상 완벽하게 방지될 수 있는 것은 아니다. 이러한 손상은 후속하는 프로세싱 단계에서 기판의 균열을 야기할 수 있다. 이러한 균열에 의한 금전적 손실은 기판의 제조 직후 조기에 분류됨으로써 더 줄어들 수 있는 한편, 해당 제품이 완성 직전이라면 그 손실은 몇 배로 늘어난다.

따라서 균열 위험이 있는 기판은 추가 프로세싱 단계에서 실제로 균열되기 전에 가능한 조기에 검출하여 분류하는 것이 바람직하다.

강성 테스트를 위한 간단한 방법은 정해진 (테스트-) 힘을 기판에 가하는 것에 기초한다.

균열 위험이 있는 기판은 부하에 의해 균열되는 반면, 균열 위험이 없는 기판은 부하를 견디므로 추가 가공에 적합하다는 것이 전제된다. 테스트 수단으로서 이 경우 일반적으로 기계적으로 작용하는 장치가 사용되고, 상기 장치는 예컨대 테스트 프로브에 의해 점 형태로 기판에 정해진 힘을 가한다.

그러나 상기 방법의 단점은, 기계적 접촉 자체가 균열에 매우 민감한 기판의 손상을 일으킬 수 있다는 것이다. 특히 대량 제조 방법에서 상기 테스트는 매우 신속하게 이루어져야 한다. 기계적 힘의 작용은 일반적으로 기판의 임의의 정지를 요하는데, 그 이유는 테스트 수단과 기판 사이의 최소의 상대 운동시 이미 기판 표면에 균열이 형성될 수도 있기 때문이다. 따라서 상기 방법은 더 자주 접촉하는 연속 처리 설비에는 적합하지 않다. 테스트 롤러의 사용도 접촉에 매우 민감한 표면에서 이러한 문제를 완전히 방지할 수 없다.

본 고안의 과제는 선행기술의 단점을 극복할 수 있는 장치를 제공하는 것이다. 특히 본 고안은 기판의 기계적 손상을 방지하는 동시에 기판의 임의의 정지로 인한 시간 손실 없이 균열 민감도의 확실한 측정을 가능하게 해야 한다. "측정"이란 일차적으로는 특정 기판이 주어진 부하를 견디는지 아닌지 여부의 간단한 품질 테스트이지만, 정량적 측정에 적용될 수도 있다.

상기 과제는 청구범위 제 1 항에 따른 장치에 의해 해결된다. 다른 바람직한 실시예들은 종속 청구항, 상세한 설명 및 도면에 제시된다.

본 고안의 일 측면에 따른 기판의 강성 테스트 장치는, 균열에 민감한 편평한 기판(1)의 강성 테스트 장치로서, 기판(1)을 위한 안착면과 부하 장치를 포함한다.

바람직하게는, 상기 안착면은 수평으로 배치되고 및/또는 상기 기판(1)은 양측면이 고정되거나 놓여진다.

바람직하게는, 상기 안착면은 수직으로 배치되고 및/또는 상기 기판(1)은 일 측면이 위치되고 및/또는 고정된다.

바람직하게는, 상기 기판(1)의 무접촉 방식의 부하 수단은 유체 노즐이거나 또는 상기 유체 노즐을 포함한다.

바람직하게는, 상기 기판(1)의 무접촉 방식의 부하 수단은 기체 노즐이거나 또는 상기 기체 노즐을 포함한다.

바람직하게는, 상기 기판(1)의 무접촉 방식의 부하 수단은 오픈 젯을 형성하는 수단이다.

바람직하게는, 하나 또는 다수의 상기 유체 노즐(들) 및/또는 기체 노즐(들)이 상기 기판(1)의 하부에 배치된다.

바람직하게는, 상기 안착면은 동시에 상기 기판(1)을 이송시킬 수 있는 이송 장치(5)의 부분이다.

바람직하게는, 상기 무접촉 방식의 부하 수단을 보정하기 위한 장치를 더 포함한다.

바람직하게는, 상기 기판(1)의 부하 측정 및/또는 상기 부하에 의해 야기된 상기 기판(1)의 구조 변형을 측정하기 위한 장치를 포함한다.

바람직하게는, 상기 기판(1)의 수집(6) 및/또는 분류를 위한 장치를 포함한다.

전술한 바와 같이, 본 고안은 선행 기술의 단점들을 바람직하게 극복한다. 특히 본 고안은 기판의 균열 민감도 측정시 기계적 손상을 방지하는 동시에 기판의 일시적인 정지에 의한 시간 손실 없이 상기 기판의 확실한 측정을 가능하게 한다.

도 1은 본 고안에 따른 장치의 주요 부품들의 개략적인 사시도.
도 2는 기판에 본 고안에 따른 부하의 작용을 개략적으로 도시한 정면도.

본 고안은 균열에 민감한, 디스크 형태의 편평한 기판의 강성 테스트 장치를 기술한다. 상기 장치는 기판이 놓일 수 있는 안착면(shelf space) 및 기판에 부하를 가할 수 있는 부하 장치를 포함하고, 상기 부하 장치는 기판의 무접촉 방식의 부하 수단을 포함한다.

안착면은 본 고안에 따라 부하 상태의 기판을 위한 받침대로서 이용된다. 필수 조건은, 부하가 가해질 시 기판이 충분히 변형될 수 있도록 안착면이 배치되는 것이다. 이는 간단한 경우에 기판이 안착면 위에 놓이고, 상기 안착면은 기판 표면(상부 또는 하부면)의 예컨대 5%만, 바람직하게는 3% 미만, 특히 바람직하게는 1% 내지 2%와 같이 작은 부분을 커버하고, 가능한 넓은 관련 영역을 비움으로써 달성된다. 상기 영역은 특히 바람직하게 기판의 중심에 대해 대칭으로 배치된다. 이것은 특히 안착면이 관련 없는 다수의 개별 면들로 이루어진 경우에도 적용된다. "안착면"이란 기판이 수평으로 "놓이는 것"에 제한되지 않는다; 일반적으로 "지지면(support surface)"이라고 할 수도 있다.

안착면의 바람직한 수평 정렬 외에도 상기 안착면은 기판이 그렇게 정렬되었더라도 다르게, 예컨대 수직으로 정렬될 수 있다. 또한, 바람직한 대칭 배치 외에 안착면의 비대칭 배치도 가능하다; 예를 들어 강성 테스트를 위해 바람직하게 대향 배치된 모서리 영역에만 부하가 가해질 수 있도록 기판의 하나의 모서리만 고정될 수 있다. 특히 긴 레버에 의해 구조 변형도 최대한 그리고 더 간단하게 검출될 수 있다.

안착면의 바람직한 실시예는 수직 또는 수평으로 연장되고 기판을 지지하는 모서리 또는 외부면을 가진 핀, 거더, 스트랩, 밴드, 벨트 또는 지지 프레임이다. 가능한 강성 안착면이 바람직하다; 그러나 안착면 자체가 플랙시블하여 상부에 주어진 면 영역보다 더 많은 영역을 커버하거나 또는 기판 전체 면을 지지하는 경우에, 기판의 변형이 나타나는 것이 고려될 수도 있다.

부하 장치는 기판에 정해진 위치, 방향 및 크기의 부하를 제공하는데 이용된다. 본 고안에 따라 부하 장치는 기판의 무접촉 방식의 부하를 위한 하나 또는 다수의 수단을 포함한다. "무접촉(contactless)"이란 "기계적 접촉이 없음(no mechanical contact)"을 의미하고, 즉 프로브, 압력 패드 또는 이와 유사한 것에 의한 접촉이 없다는 것이다. 무접촉으로 작용하는 부하 장치를 사용함으로써, 기판 표면에 부하로 인해 기계적 손상이 나타나지 않는 것이 보장된다. 부하는 규정된 위치에서 규정된 크기로 이루어지므로, 균열에 민감한 기판만 실제로 균열 되거나 허용되지 않은 구조 변형을 보인다.

바람직한 실시예에 따라 기판의 무접촉 방식의 부하 수단은 유체 노즐 및 기체 노즐로 이루어진 그룹으로부터 선택되고, 이 경우 유체 노즐이 특히 바람직하다. 해당 배출구(노즐)로부터 배출되어 기판에 작용하는 액체 또는 기체 형태의 유체는 상기 정의에 따라 기판과 기계적으로 접촉하지 않기 때문에, 결함 없는 기판에서 너무 심한 부하에 의해 균열이 발생하는 것을 제외하면, 기판은 기계적으로 손상될 수 없다.

기판의 부하는 특히 바람직하게 유체에 의해 이루어진다. 유체의 밀도가 공지된 경우에, 체적 유량 및 분사젯의 위치를 정확이 조절함으로써 부하의 크기, 위치 및 방향이 정확하게 사전 선택될 수 있다.

분사젯 횡단면 A를 갖고 속도 v로 기판에 부딪히는 유체의 밀도가 ρ인 경우에, 펄스로 주어지는 힘은 식 F = ρAv²이 된다. 떨어지는 유체 컬럼의 질량이 m인 경우에 유체의 중력 G가 더해지고, 상기 중력은 G = mg에 따라 측정되고, 이 경우 g는 중력 가속도이다. 기판에 남은 유체는 소량이기 때문에(0.5 mm 두께의 유체 필름의 경우 유체의 질량은 약 12 g이다) 유체의 경우에도 상기 남은 유체의 중량(유체의 정하중)은 무시할 수 있다. 따라서 기판에 가해지는 부하는 충분히 정확하게 이론적으로 측정 가능하다.

바람직하게 기판의 무접촉 방식의 부하 수단은 자유 분사젯을 제공하는 수단이다. 즉, 특히 주변 공기와 같은 기체 분위기에 의해 형성된 분사젯은 기판의 표면에 방사될 수 있지만, 챔버 개구를 따라 기판의 넓은 면에 제공되는 압력이 형성되는 폐쇄된 챔버 내로 향하지 않는다.

물론, 하나 또는 다수의 유체 노즐(들) 및/또는 기체 노즐(들)이 제공될 수 있다. 다수의 노즐에 의해 부하가 적절하게 분포 또는 변경될 수 있다. 이송 장치를 따라 연장된 라인에 배치된 다수의 노즐들의 시퀀스 제어에 의해 계속해서 기판이 이송될 때에도 부하는 상기 기판에 대해 위치 고정되어 유지될 수 있고, 노즐 자체가 이동하지 않아도 된다.

기판의 부하는 연속해서 또는 간헐적으로 이루어질 수 있다.

연속적인 부하의 경우에 유체는 중단 없이 적어도 하나의 배출구(노즐)로부터 배출된다. 기판이 유체 분사젯 또는 기체 분사젯과 부딪히는 경우에, 상기 기판은 정해진 부하를 받는다. 부하 위치는 길이방향으로 연장된 라인을 따라 앞으로 이동된다. 이것을 원치 않는 경우에, 기판은 부하가 가해지는 동안 일시적으로 정지해야 한다.

간헐적인 부하의 경우에 유체는 임의적으로만, 예컨대 짧은 펄스로 기판에 부딪힌다. 따라서 일정한 주파수의 진동 부하가 제공된다. 펄스 주파수가 기판의 고유 진동 주파수와 일치하는 경우에, 상기 기판은 공명 상태가 될 수 있고, 이는 유체의 유량이 적은 경우에 특히 집중적인 기계적 부하를 일으킨다. 펄스 주파수 변동에 의해 그리고 기판의 각각의 반응(진폭, 상 응답) 측정에 의해 상기 기판의 균열 민감도가 추론될 수 있다.

또한, 물론 노즐은 기판의 상부 및 하부에 배치될 수 있다. 예를 들어 이러한 방식으로 노즐이 한 측면 및 다른 측면에서 교대로 작동됨으로써, 특히 효과적으로 기판의 진동 여기(vibrational movement)가 달성될 수 있다.

물론, 기판에는 연속적인 부하뿐만 아니라 간헐적인 부하도 작용할 수 있다.

특히 바람직한 실시예에 따라, 안착면은 동시에 기판을 부하 지점으로 이송할 수 있는 이송 장치의 부분이다. 따라서 안착면은 바람직하게 수평으로 연장된 제조 라인의 부분 또는 모듈에 의해 제공된다.

이송 장치는 개별 기판들의 공급 및 방출에 이용된다. 특히 바람직하게 이송 장치는 평행하게 수평으로 연장되고 탄성 재료로 이루어진 2개의 벨트로 형성되고, 상기 벨트의 평행한 간격은 바람직하게 100 mm이고, 상기 끈은 바람직하게 5 mm의 직경을 갖는다. 2개의 끈은 동일한 속도로 이송 방향으로 이동되고, 이 경우 속도는 바람직하게 초당 200 mm 내지 600 mm이고, 특히 바람직하게 초당 400 mm이다. 물론 예컨대 롤러와 같은 다른 이송 장치도 적합하고, 또는 이송은 개별 캐리어 프레임 또는 이와 유사한 것에 의해 이루어질 수 있다. 이송 장치가 균열된 기판의 탈락을 가능하게 하는 경우에 바람직하다.

또한, 부하 장치와 바람직하게 안착면을 포함하는 이송 장치가 동시에 작동 가능한 것이 바람직하다. 즉, 특히 바람직하게 안착면 위에 놓인 기판이 계속해서 이송되는 동안 동시에 상기 기판의 부하가 이루어질 수 있고, 이 경우 기판은 정지하지 않는다. 따라서 기판의 정지 시간 및 기판의 프로세싱이 방지되고, 기판의 무접촉 방식의 부하로 인해 균열에 민감하지 않은 기판의 기계적 손상을 염려하지 않아도 된다. 이송은 바람직하게 수평으로, 즉 기판이 본 고안에 따른 장치에 편평하게 놓여 공급되도록 이루어진다. 물론, 본 고안은 기본적으로 기판이 수직으로 정렬된 경우에도 적용될 수 있고, 이 경우 기체 또는 액체 분사젯의 정렬은 바람직하게 실질적으로 수평이다.

특히 부하가 가해지는 동안 동시에 이송이 이루어지는 경우에 본 고안에 따른 장치는 다른 실시예에 따라 무접촉 방식의 부하 수단을 보정하기 위한 장치를 포함한다. 보정은 기판에 부하가 가해지는 위치와 관련된다. 이로 인해 무접촉 방식의 부하 수단은 매우 정확하고 오래 지속되는 부하를 기판에 가할 수 있는 한편, 기판은 계속해서 더 이송된다. 따라서 정지 시간이 방지될 수 있고, 상기와 같은 설비의 작업 처리량은 증가한다. 보정을 위한 장치는 운동학적으로 이송 장치의 이동과 결합될 수 있거나 또는 보정이 이송 장치와 무관하게, 예컨대 전기 모터에 의해 이루어진다. 기계적 부하의 경우에도 상기와 같은 보정이 고려될 수 있다; 그러나 이 경우 최소의 속도 차이(슬립)가 기계적 손상을 일으키는 한편, 본 고안에 따른 무접촉 방식의 부하의 경우에는 기계적 손상을 일으키지 않는다.

대안적인 실시예에 따라 무접촉 방식의 부하 수단의 보정은 노즐의 선회에 의해 이루어지므로, 기판에 부하가 작용하는 지점은 소정의 시간 범위 동안 변경되지 않는다. 그러나 물론 이러한 경우에 부하의 방향은 일정하지 않을 수 있고, 변하는 간격과 그에 따른 부하의 크기 변동을 보상하기 위해 체적 유량이 조정되어야 한다.

다른 실시예에 따라 본 고안에 따른 장치는 기판의 부하 측정 및 부하로 인한 기판의 구조 변형을 측정하기 위한 장치를 포함한다.

특히 이송 수단이 부하의 방향으로 휘어지지 않게 형성되는 경우에, 부하에 의해 야기된 기판의 구조 변형이 검출 가능한 경우 특히 바람직하다. 보통의 균열 민감도에서도 파손될 정도로 기판이 과부하를 받지 않도록 하기 위해, 부하의 정확한 조절이 중요하다. 따라서 유체의 체적 유량 및 그로부터 얻어지는 이론적 부하에 대한 정보 외에 실제로 발생하는 부하도 적어도 무작위로 검출하는 것이 바람직하다.

또한, 기판은 부하에도 불구하고 균열되지 않을 수 있지만, 경미한 손상을 포함할 수 있고, 이러한 손상은 추후에 균열을 일으킬 수 있다. 이러한 "잠재적(hidden)" 균열 민감도는 규정된 부하로 인해 야기되는 기판의 구조 변형을 측정함으로써 또는 진동 상태에서 전술한 변동에 의해 검출될 수 있다. 다른 장점은, 부하가 전체적으로 더 약해질 수 있다는 것이다. 따라서 보다 소수의 기판이 균열되고, 이는 검출 후에 상기 기판의 용이한 취급을 가능하게 한다; 그럼에도 불구하고 균열 위험이 있는 모든 기판은 검출된다.

따라서, 기판의 이론적인 부하가 유체의 공지된 체적 유량 및 유체의 분사젯 직경과 밀도에 의해 계산될 뿐 아니라, 실제 부하가 측정되는 경우에도 바람직하다. 따라서 본 고안에 따른 장치의 특히 바람직한 실시예는 이송 수단에 작용하는 부하의 측정을 위한 장치를 포함하고, 상기 부하와 기판의 중력은 유체에 의해 제공된 부하와 직접적으로 관련이 있다. 측정을 위한 상기 장치는 예를 들어 스프링에 대해서 작용하는 이송 수단의 하강에 기초할 수 있다. 해당 값의 계산을 위해 상기 실시예가 참조된다.

이를 위해 특히 광학 작동 시스템, 예컨대 카메라 시스템 또는 간단한 광센서가 사용될 수 있다. 기판의 구조와 재료가 공지되어 있는 경우에, 부하 공지시 구조 변형의 측정에 의해 기판이 정상 범위에서 변형되는지 여부 또는 예를 들어 손상으로 인해 허용되지 않은 높은 변형을 포함하는지 여부가 제시될 수 있다. 다른 장점은 기판의 균열 확률이 기판의 실제 균열이 없이도 측정될 수 있음으로써 주어진다. 따라서 균열 위험이 있는 기판은 지체 없이 제거될 수 있고, 경우에 따라서 추가의/다른 용도로 공급될 수 있다.

부하의 측정은 측정 웨이퍼에 의해 시차를 두고 이루어질 수도 있고, 상기 측정 웨이퍼는 주기적으로 설비를 지나가고, 부하 장치에 의해 제공된 부하를 검출한다.

또한, 바람직하게 본 고안에 따른 장치는 기판을 수집/분류하기 위한 장치를 포함한다. 특히 균열 위험이 있는 기판이 부하로 인해 실제로 균열되는 경우에, 파편이 수집을 위한 장치로 이용되는 용기 또는 컨테이너 내에 수집되는 것이 바람직하다.

바람직하게 기판의 균열시 또는 최대로 허용된 구조 변형을 초과하는 경우에 기판의 수집이 이루어진다. 이러한 단계는 균열 위험이 있는 기판이 실제로 부하가 가해져 테스트된 다수의 기판으로부터 분리되게 한다. 이러한 분류는 바람직하게 균열 위험 검출 직후에 이루어지지만, 균열 위험이 있는 기판의 실질적인 또는 논리적인 "마킹(marking)"을 실시하는 것도 고려될 수 있으므로, 이러한 기판은 추후에 분리되기 전에 부분적으로 프로세스 체인을 지나간다. 또한, 마킹은 상기와 같은 기판을 조절하여 균열 위험이 별로 중요하지 않거나 문제가 되지 않는 다른 용도에 제공하는데 이용될 수 있다. 이는 특히 아직 균열되지 않았지만 균열에 민감한 것으로 검출된 기판의 경우에 바람직하다.

특히 균열 위험이 있지만 아직 균열되지 않은 기판이 검출된 경우에, 연속하는 기판의 이동 흐름에서 상기 기판이 능동적으로 분류될 수 있는 것이 바람직하다. 분류를 위한 상기와 같은 장치로서 예를 들어 이송 영역 내의 해치와 같은 기계적 그리퍼(gripper) 또는 노즐이 이용될 수 있다. 이것은 신호를 통해 제어될 수 있고, 상기 신호는 높은 균열 민감도를 검출하기 위한 유닛에 의해 생성된다. 상기 유닛은 전술한 방식으로 균열 민감도를 측정하고, 사전에 저장된 설정값과 이것을 비교하고, 경우에 따라서 기판의 분류 및/또는 수집을 위한 상기 장치를 제어한다.

도 1에는 기판(1)의 사시도가 도시된다. 상기 기판은 평행한 2개의 라운드 벨트로서 형성된 이송 장치(5) 위에 놓이고, 상기 벨트는 이송 방향(7)으로 구동된다. 2개의 이송 벨트는 동시에 본 고안에 따른 안착면을 형성한다. 잘 도시된 바와 같이, 이 경우 2개의 개별 면으로 이루어지는 상기 면은 기판 표면의 작은 부분만을 커버한다. 2개의 개별 면들은 기판(1)의 중심점에 대해 대칭으로 배치되고, 가능한 넓은 관련된 영역을 비운다. 상기 영역은 이 경우 2개의 라운드 벨트 사이의 전체적인 중간 부분이다. 부하(2)는 수직 화살표로 도시된다. 상기 화살표는 오픈 젯으로서 형성되므로, 압력 부하를 받은 챔버(도시되지 않음)에 의해 부하가 제공되는 경우처럼 기판(1)의 정확히 규정된 지점에 부하가 가해지고 규정되지 않거나 또는 넓은 영역에는 부하가 가해지지 않는다. 부하 동안 기판(1)이 정지하지 않아야 하는 경우에, 부하 방향(별도로 도시되지 않음)이 보정될 수 있다(도시되지 않음). 대안으로서 부하(2)는 예를 들어 부하 장치에 포함된 무접촉 방식의 부하 수단이 틸팅됨으로써 항상 동일한 지점, 예를 들어 기판(1)의 상측면의 중심에 부하가 작용하도록 보정될 수 있다. 그러나 이 경우 부하(2)의 방향이 변경된다.

도 2는 기판(1)의 정면도를 도시하고, 이송 방향은 도면 평면에 수직이다. 부하(2)는 위에서부터 수직으로 작용한다. 상기 부하는 이송 장치(5)의 2개의 라운드 벨트에 의해 흡수된다. 라운드 벨트는 상응하는 대응력(3)을 제공해야 하고 또는 상기 부하를 흡수하는데 적합해야 한다. 도면에서 상기 대응력은 2개의 성분(3A, 3B)으로 나뉜다. 부하(2) 및/또는 대응력(3)은 이송 장치(5)에 작용하는 부하를 측정하는데 적합한 장치(도시되지 않음)에 의해 측정될 수 있으므로, 이론적으로는 물론 실제로 작용하는 부하(2)가 공지된다.

도 2는 부하(2)에 의해 야기된 구조 변형의 측정을 위한 바람직한 치수를 도시한다. 부하가 가해지지 않은 경우에 기판(1)은 편평하다. 바람직한 치수는 기판(1)의 최대, 일반적으로는 중간 정도의 휨(4)에 해당한다. 이러한 치수가 사전 설정된 값(최대 허용 휨(4'))을 초과하는 경우에, 높은 균열 위험이 전제될 수 있다; 이어서 기판(1)이 분류된다(도시되지 않음). 기판(1)이 균열되는 경우에, 상기 기판 아래에 수집을 위한 장치(6)가 배치되고, 상기 장치는 기판(1)의 파편을 수집할 수 있다.

1 : 기판 2 : 부하
3 : 대응력 3A : 제 1 성분
3B : 제 2 성분 4 : 휨
4' : 최대 허용 휨 5 : 이송 장치
6 : 수집 장치 7 : 이송 방향

Claims (11)

1. 균열에 민감한 편평한 기판(1)의 강성 테스트 장치로서,
   기판(1)을 위한 안착면과 부하 장치를 포함하고, 상기 부하 장치는 상기 기판(1)의 무접촉 방식의 부하 수단을 포함하는, 기판의 강성 테스트 장치.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 안착면은 수평으로 배치되고 및/또는 상기 기판(1)은 양측면이 고정되거나 놓여지는, 기판의 강성 테스트 장치.
3. 청구항 1에 있어서, 상기 안착면은 수직으로 배치되고 및/또는 상기 기판(1)은 일 측면이 위치되고 및/또는 고정되는, 기판의 강성 테스트 장치.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판(1)의 무접촉 방식의 부하 수단은 유체 노즐이거나 또는 상기 유체 노즐을 포함하는, 기판의 강성 테스트 장치.
5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판(1)의 무접촉 방식의 부하 수단은 기체 노즐이거나 또는 상기 기체 노즐을 포함하는, 기판의 강성 테스트 장치.
6. 청구항 4 또는 청구항 5에 있어서, 상기 기판(1)의 무접촉 방식의 부하 수단은 오픈 젯을 형성하는 수단인, 기판의 강성 테스트 장치.
7. 청구항 4 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서, 하나 또는 다수의 상기 유체 노즐(들) 및/또는 기체 노즐(들)이 상기 기판(1)의 하부에 배치되는, 기판의 강성 테스트 장치.
8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 안착면은 동시에 상기 기판(1)을 이송시킬 수 있는 이송 장치(5)의 부분인, 기판의 강성 테스트 장치.
9. 청구항 8에 있어서, 상기 무접촉 방식의 부하 수단을 보정하기 위한 장치를 더 포함하는, 기판의 강성 테스트 장치.
10. 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판(1)의 부하 측정 및/또는 상기 부하에 의해 야기된 상기 기판(1)의 구조 변형을 측정하기 위한 장치를 포함하는, 기판의 강성 테스트 장치.
11. 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판(1)의 수집(6) 및/또는 분류를 위한 장치를 포함하는, 기판의 강성 테스트 장치.

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