KR20120131107A - 표시 장치 - Google Patents

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KR20120131107A
KR20120131107A KR1020120055000A KR20120055000A KR20120131107A KR 20120131107 A KR20120131107 A KR 20120131107A KR 1020120055000 A KR1020120055000 A KR 1020120055000A KR 20120055000 A KR20120055000 A KR 20120055000A KR 20120131107 A KR20120131107 A KR 20120131107A
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thin film
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KR1020120055000A
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다까히꼬 무네요시
히데까즈 니따
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가부시키가이샤 재팬 디스프레이 이스트
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
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Abstract

표시 장치는, 절연성이 있는 기판인 절연 기판부(215)와, 절연 기판부(215) 상에서 각 화소에 박막 트랜지스터가 형성되고 있는 박막 트랜지스터부(220)와, 박막 트랜지스터부(220)의 박막 트랜지스터에 의해 전기적으로 구동되고, 각 화소의 광의 투과를 제어하는 셔터 기구부(300)를 구비하고, 셔터 기구부(300)는 구조적 부분인 메커니컬층(352)과, 메커니컬층(352)상에 형성된 도전층(354)을 갖고, 메커니컬층(352)과 도전층(354)은 함께 박막 트랜지스터부(220)에 형성된 도전부(226)에 접해서 고정되어 있다.

Description

표시 장치{DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치에 관한 것으로, 특히 화소에 미소 전기 기계 시스템을 사용한 표시 장치에 관한 것이다.
컴퓨터 등의 정보 통신 단말이나 텔레비전 수상기의 표시 디바이스로서, 액정 표시 장치 등의 표시 장치가 널리 사용되고 있다. 액정 표시 장치에서는, 액정 패널의 2개의 기판 사이에 봉입된 액정 분자의 배향을 변화시킴으로써, 백라이트로부터 액정 패널에 조사된 광의 투과 정도를 변화시켜, 화상을 표시하고 있다. 최근, 액정 표시 장치를 비롯한 표시 장치가, 특히 휴대 전화나 스마트폰에 이용되고 있다.
한편, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems : 미소 전기 기계 시스템)라고 불리는 미세 가공 기술을 이용한 구조가 각 분야에 있어서 이용되고 있고, 표시 장치의 분야에 있어서도 주목받고 있다. 일본 특허 출원 공개 제2008-197668호 공보 및 일본 특허 출원 공표 제2008-533510호 공보에는, 각 화소에 MEMS의 셔터 기구를 도입하고, 셔터 기구내의 셔터를 움직여서 백라이트로부터의 광의 투과 또는 차단을 미소 시간내에 행하여 밝기를 조절함으로써, 화상을 표시하는 표시 장치가 개시되어 있다.
이 MEMS의 셔터 기구를 이용한 표시 장치에 있어서, 화소내의 셔터 기구의 가동 부분은, 광의 투과 및 차단을 단시간에 제어하기 위해, 고속으로 동작하는 것이 요구된다. 이로 인해, 이 가동 부분과 기판과의 전기적 및 기계적인 접속을 확보하기 위한 접속 부분에는 구조상 큰 부하가 걸리게 되고, 접속 부분의 강도가 약할 경우에는, 표시 장치의 동작이나 내구성에 큰 영향을 줄 우려가 있다.
본 발명은, 상술한 사정을 감안해서 이루어진 것이며, 화소의 셔터 기구에 의해 표시 제어를 행하는 표시 장치에 있어서, 보다 구조적으로 강화되는 동시에, 내구성이 향상된 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 표시 장치는, 절연성이 있는 기판인 절연 기판과, 상기 절연 기판 상에 표시부를 형성하는 복수의 화소를 갖고, 상기 복수의 화소의 각 화소에는, 박막 트랜지스터와, 상기 박막 트랜지스터에 의해 전기적으로 구동되고, 상기 각 화소의 광의 투과를 제어하는 셔터 기구부와, 상기 절연 기판 상에 형성된 제1 도전층을 구비하고, 상기 셔터 기구부는 구조적 부분인 메커니컬층과, 상기 메커니컬층 상에 형성된 제2 도전층을 갖고, 상기 메커니컬층과 상기 제2 도전층은 함께 상기 제1 도전층에 바로 접촉해서 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 장치이다.
또한, 본 발명의 표시 장치는, 상기 셔터 기구부는 광을 차단하기 위한 셔터부와, 상기 셔터부를 구동하기 위해서 동작하고, 상기 절연 기판의 기판면과 평행한 방향으로 연장되는 보 형상 구조물인 비임부와, 상기 비임부를 고정해 지지하기 위한 앵커부를 구비하고, 상기 셔터부, 상기 비임부 및 상기 앵커부의 각각은 상기 메커니컬층과 상기 제2 도전층을 갖고, 상기 앵커부의 상기 메커니컬층과 상기 제2 도전층이 상기 제1 도전층에 바로 접촉해서 고정되어 있다고 할 수 있다.
또한, 본 발명의 표시 장치는, 상기 앵커부가 주발형 형상이며, 상기 제2 도전층은 상기 주발형 형상을 한 상기 메커니컬층의 외측 주위에 형성되어 있다고 할 수 있다. 또한, 상기 제2 도전층은 상기 주발형 형상을 한 상기 메커니컬층의 내측에도 형성되어 있는 것으로 해도 된다.
또한, 본 발명의 표시 장치는, 상기 앵커부가 주발형 형상이며, 상기 메커니컬층은 상기 주발형 형상을 한 상기 제2 도전층의 외측 주위에 형성되는 동시에, 상기 제2 도전층의 내측에도 형성되어 있는 것으로 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 관한 MEMS 셔터 표시 장치에 대해서 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1의 TFT 기판의 구성을 도시하는 도면이다.
도 3은 도 2의 1화소에 대해서 TFT 기판을 확대해서 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 3의 셔터 기구부의 상면도이다.
도 5는 도 4의 V-V선에 있어서의 단면도이다.
도 6은 도 5와 같은 시야에 있어서의, 제1 비임부 및 제2 비임부의 메커니컬층과 도체층의 배치가 역으로 된 경우의 도면이다.
도 7은 도 5와 같은 시야에 있어서의, 제2 실시형태에 관한 셔터 기구부의 단면도가 도시되어 있다.
도 8은 도 5와 같은 시야에 있어서의, 제3 실시형태에 관한 셔터 기구부의 단면도가 도시되어 있다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 도면에 있어서, 동일 또는 동등한 요소에는 동일한 번호를 부여하고, 중복되는 설명을 생략한다.
[제1 실시형태]
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 관한 각 화소의 셔터 기구에 의해 표시 화상의 제어를 행하는 MEMS 셔터 표시 장치(100)에 대해서 도시하는 도면이다. 이 도 1에 도시된 바와 같이, MEMS 셔터 표시 장치(100)는 광을 투과하는 개구부(도시하지 않음)를 각 화소마다 갖는 백라이트 광원(150)과, 백라이트 광원(150)으로부터의 광의 투과를 후술하는 셔터 기구부(300)에 의해 제어하는 TFT(Thin Film Transistor) 기판(200)과, 백라이트 광원(150)의 R(적) G(녹) B(청) 3색의 광을 시간을 어긋나게 해서 발광시키기 위한 제어를 행하는 발광 제어 회로(102)와, TFT 기판(200)의 셔터 기구부(300)의 동작을, 패널 제어선(108)을 통해서 제어하는 표시 제어 회로(106)와, 발광 제어 회로(102) 및 표시 제어 회로(106)의 통괄적인 제어를 행하는 시스템 제어 회로(104)를 갖고 있다.
도 2는 도 1의 TFT 기판(200)의 구성을 도시하는 도면이다. TFT 기판(200)의 표시 영역에는 화소(210)가 매트릭스 형상으로 배치되어 있고, 화소(210)에는 행방향으로 주사선(204), 열방향으로 신호선(202)이 접속되어 있다. 주사선(204)의 일단에는 주사선 주사 회로(203)가 접속되어 있고, 신호선(202)의 일단에는 신호 입력 회로(201)가 설치되어 있다. 또한, 신호 입력 회로(201)는 주사선 주사 회로(203)를 제어하고, 신호 입력 회로(201)에는 패널 제어선(108)이 입력되어 있다. TFT 기판(200)에 패널 제어선(108)으로부터 화상 데이터와 구동 타이밍이 입력되면, 신호 입력 회로(201)는 소정의 타이밍에서 주사선 주사 회로(203)를 제어하면서, 디지털 화상 데이터를 신호선(202)에 입력한다. 각 화소(210)는 주사선(204)에 의해 주사선 주사 회로(203)로부터 동작이 제어되고, 소정의 타이밍에서 신호선(202)으로부터 디지털 화상 데이터를 취한다.
도 3은 도 2의 1화소(210) 부분의 TFT 기판(200)을 확대해서 도시하는 사시도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 화소(210)는 절연성의 글래스 기판(215)과, 글래스 기판(215)상에 형성된 박막 트랜지스터, 신호선(202) 및 주사선(204)을 갖는 박막 트랜지스터부(220)와, 박막 트랜지스터부(220)상에 형성되고, 박막 트랜지스터부(220) 내의 박막 트랜지스터에 의해 전기적으로 제어되고, 기계적인 동작을 행하는 셔터 기구부(300)를 갖고 있다.
셔터 기구부(300)는, 개구부(311)를 갖고, 이동함으로써 백라이트 광원(150)으로부터의 광을 투과 또는 차단하는 셔터부(310)와, 셔터부(310)를 광을 투과시키는 위치와, 차단하는 위치로 이동시키기 위한 제1 액추에이터부(320) 및 제2 액추에이터부(330)를 갖고 있다. 제1 액추에이터부(320) 및 제2 액추에이터부(330)의 각각은 셔터부(310)를 지지하는 동시에, 셔터부(310)와 전기적으로 접속되는 제1 비임부(342)와, 제1 비임부(342)를 박막 트랜지스터부(220)에 고정하는 동시에, 박막 트랜지스터부(220)의 소정의 배선과 전기적으로 접속되는 제1 앵커부(344)와, 제1 비임부(342)와 다른 전하로 대전시킴으로써, 제1 비임부(342)를 끌어당기고, 셔터부(310)를 동작시키는 제2 비임부(346)와, 제2 비임부(346)를 박막 트랜지스터부(220)에 고정하는 동시에, 박막 트랜지스터부(220)의 소정의 배선과 전기적으로 접속되는 제2 앵커부(348)를 갖고 있다.
도 4는 도 3의 셔터 기구부(300)의 상면도이다. 셔터 기구부(300)는 셔터부(310)에 대하여 대칭이 되는 형상이며, 제1 액추에이터부(320)가 구동해서 셔터부(310)가 제1 액추에이터부(320)에 근접하는 방향으로 이동했을 경우에는, 백라이트 광원(150)으로부터의 광을 개구부(311)로부터 투과시키고, 제2 액추에이터부(330)가 구동해서 셔터부(310)가 제2 액추에이터부(330)에 근접하는 방향으로 이동했을 경우에는, 백라이트 광원(150)으로부터의 광을 셔터부(310)에 의해 차단하도록 되어 있다.
도 5는 도 4의 V-V선에 있어서의 단면도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 셔터부(310), 제1 비임부(342), 제2 비임부(346) 및 앵커부(344)는 각각 주로 구조적 강도를 담당하는 메커니컬층(352)과, 주로 전기적 특성을 담당하는 도체층(354)(제2 도전층)과, 메커니컬층(352) 및 도체층(354)을 덮고, 전기적인 절연성을 확보하기 위한 유전체층(356)을 갖고 있다. 여기에서, 메커니컬층(352)을 형성하는 재료로서는, Al, Cu, Ni, Cr, Mo, Ti, Ta, Nb, Nd 등의 금속 또는 합금, Al2O3, SiO2, Ta2O5, 또는 Si3N4 등의 유전체 재료, 또는, 다이아몬드 형상 탄소, Si, Ge, GaAs, CdTe 등의 반도체 재료 또는 그 합금을 들 수 있다. 또한, 도체층(354)을 형성하는 재료로서는, Al, Cu, Ni, Cr, Mo, Ti, Ta, Nb, Nd, 또는 그 합금, 또는, 다이아몬드 형상 탄소, Si, Ge, GaAs, CdTe 등의 반도체 재료 또는 그 합금을 들 수 있다.
글래스 기판(215) 상의 박막 트랜지스터부(220)는 배선(224), 보호층(222) 및 앵커부(344)의 도체층(354)과 배선(224)을 전기적으로 접속하는 도전부(226)(제1 도전층)를 갖고 있다. 여기에서, 배선(224)은, 예를 들어 Al, Cu 등의 재료에 의해 형성되고, 도전부(226)는, 예를 들어 ITO(Indium Tin Oxide) 등의 투명 전극에 의해 형성된다.
이 도면에 도시된 바와 같이, 앵커부(344)의 도체층(354)과 메커니컬층(352)은 함께 박막 트랜지스터부(220)의 도전부(226)에 바로 접촉해서 고정되어 있다. 또한, 제2 앵커부(348)도 제1 앵커부(344)와 마찬가지로 주로 구조적 강도를 담당하는 메커니컬층과, 주로 전기적 특성을 담당하는 도체층과, 메커니컬층 및 도체층을 덮고, 전기적인 절연성을 확보하기 위한 유전체층을 갖고, 제2 앵커부(348)의 도체층과 메커니컬층은 함께 도시하지 않은 박막 트랜지스터부의 도전부에 접해서 고정되어 있다.
박막 트랜지스터부(220)에 의해 도전부(226)를 통해서 제1 앵커부(344)의 도체층(354)에 전압이 인가되면, 제1 앵커부(344)와 전기적으로 접속되어 있는 제1 비임부(342)와, 제2 앵커부(348)와 전기적으로 접속되어 있는 제2 비임(346) 사이에 전위차가 발생하고, 제1 비임부(342)와 제2 비임부(346)가 정전력에 의해 서로 당기는 것으로 셔터부(310)를 이동시킬 수 있다. 이때, 제1 앵커부(344)와 도전부(226)와의 계면에 그 반력이 가해지지만, 도체층(354) 뿐만 아니라, 메커니컬층(352)에 대해서도 박막 트랜지스터부(220)의 도전부(226)에 접해서 고정되어 있기 때문에, 구조적으로 강화되는 동시에, 내구성의 향상이 도모되고 있다. 또한, 제2 앵커부에 대해서도 마찬가지로 반력이 가해지지만, 제2 앵커부의 도체층과 제2 앵커부의 메커니컬층이, 도시하지 않은 박막 트랜지스터부의 도전부에 접해서 고정되어 있음으로써, 구조적으로 강화되는 동시에, 내구성의 향상이 도모되고 있다. 상술하면, 본 제1 실시형태의 도체층(354)과 메커니컬층(352)의 양쪽을 도전부(226)에 바로 접촉해서 고정시키는 구조로 함으로써, 도체층(354)만이 고정되는경우에 비해, 셔터부(310)가 이동했을 때에 앵커부의 저부에 걸리는 인장이나 비틀림의 힘을 메커니컬층(352)이 직접 받아낼 수 있으므로, 안정된 셔터 동작을 행할 수 있다. 또한, 메커니컬층(352)만이 고정되는 경우에 비해, 앵커부의 저부로부터 공급되는 셔터 구동을 위한 전압을 도체층(354)에 직접 인가할 수 있으므로, 안정된 셔터 동작을 행할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 제1 비임부(342) 및 제2 비임부(346)에 있어서의 메커니컬층(352) 및 도체층(354)은, 도 6의 셔터 기구부(700)의 제1 비임부(742) 및 제2 비임부(746)에 도시된 바와 같이, 역으로 배치되어 있어도 된다.
[제2 실시형태]
다음에, 제2 실시형태에 관한 MEMS 셔터 표시 장치에 대해서 설명한다. 제2 실시형태에 관한 MEMS 셔터 표시 장치는 MEMS 셔터 표시 장치, TFT 기판, 화소 및 셔터 기구부의 각각의 구성에 있어서, 도 1 내지 도 4를 사용해서 설명한 제1 실시형태와 동일하므로, 설명을 생략한다.
도 7에는, 제1 실시형태의 도 5와 같은 시야에 있어서의, 제2 실시형태에 관한 셔터 기구부(400)의 단면도가 도시되어 있다. 제1 실시형태와 마찬가지로, 셔터 기구부(400)는 셔터부(410)와, 셔터부(410)를 지지하는 동시에, 셔터부(410)와 전기적으로 접속되는 제1 비임부(442)와, 제1 비임부(442)를 박막 트랜지스터부(220)에 고정하는 동시에, 박막 트랜지스터부(220)의 배선(224)과 전기적으로 접속되는 제1 앵커부(444)와, 제1 비임부(442)와 다른 전하로 대전시킴으로써, 제1 비임부(442)를 끌어당기고, 셔터부(410)를 동작시키는 제2 비임부(446)와, 제2 비임부(446)를 박막 트랜지스터부(220)에 고정하는 동시에, 박막 트랜지스터부(220)의 소정의 배선과 전기적으로 접속되는 도시하지 않은 제2 앵커부를 갖고 있다.
여기에서, 제1 실시형태의 도 5와의 차이는, 도 5의 앵커부(344)에 있어서의 메커니컬층(352)의 내측에 더 도체층(354)을 가짐으로써, 본 실시형태의 앵커부(444)에 있어서는, 메커니컬층(352)이 도체층(354)에 샌드위치 형상으로 끼워져 있는 구조로 되어 있고, 메커니컬층(352)과 외측의 도체층이 박막 트랜지스터부(220)의 도전부(226)에 접해서 고정되어 있다. 메커니컬층(352)을 사이에 끼우는 도체층(354)은 서로 도시하지 않은 비아 홀(via hole)에 의해 접속되어 있다.
따라서, 셔터부(410)가 구동할 때에, 제1 비임부(442)와 제2 비임부(446)가 서로 끌어당겨져, 앵커부(444)와 도전부(226)의 계면에 그 반력이 가해지지만, 제1 실시형태와 마찬가지로 제2 실시형태의 셔터 기구부(400)에 있어서도, 도체층(354) 뿐만 아니라, 메커니컬층(352)에 대해서도 박막 트랜지스터부(220)의 도전부(226)에 접해서 고정되어 있기 때문에, 구조적으로 강화되는 동시에, 내구성의 향상이 도모되고 있다.
[제3 실시형태]
다음에, 제3 실시형태에 관한 MEMS 셔터 표시 장치에 대해서 설명한다. 제3 실시형태에 관한 MEMS 셔터 표시 장치는 MEMS 셔터 표시 장치, TFT 기판, 화소 및 셔터 기구부의 각각의 구성에 있어서, 도 1 내지 도 4를 사용해서 설명한 제1 실시형태와 동일하므로, 설명을 생략한다.
도 8에는, 제1 실시형태의 도 5와 같은 시야에 있어서의, 제3 실시형태의 셔터 기구부(500)의 단면도가 도시되어 있다. 제1 실시형태와 마찬가지로, 셔터 기구부(500)는 셔터부(510)와, 셔터부(510)를 지지하는 동시에, 셔터부(510)와 전기적으로 접속되는 제1 비임부(542)와, 제1 비임부(542)를 박막 트랜지스터부(220)에 고정하는 동시에, 박막 트랜지스터부(220)의 배선(224)과 전기적으로 접속되는 제1 앵커부(544)와, 제1 비임부(542)와 다른 전하로 대전시킴으로써, 제1 비임부(542)를 끌어당기고, 셔터부(510)를 동작시키는 제2 비임부(546)와, 제2 비임부(546)를 박막 트랜지스터부(220)에 고정하는 동시에, 박막 트랜지스터부(220)의 소정의 배선과 전기적으로 접속되는 도시하지 않은 제2 앵커부를 갖고 있다.
여기에서, 제1 실시형태의 도 5와의 차이는, 도체층(354)이 메커니컬층(352)에 샌드위치 형상으로 끼워져 있는 구조로 되어 있고, 앵커부(544)에 있어서는, 도체층(354)과 외측의 메커니컬층(352)이 박막 트랜지스터부(220)의 도전부(226)에 접해서 고정되어 있다.
따라서, 셔터부(510)가 구동할 때에, 제1 비임부(542)와 제2 비임부(546)가 서로 끌어당겨져, 앵커부(544)와 도전부(226)의 계면에 그 반력이 가해지게 되지만, 제1 실시형태와 마찬가지로, 도체층(354) 뿐만 아니라, 메커니컬층(352)에 대해서도 박막 트랜지스터부(220)의 도전부(226)에 접해서 고정되어 있기 때문에, 구조적으로 강화되는 동시에, 내구성의 향상이 도모되고 있다.
또한, 상술한 각 실시형태에 있어서는, 2개의 액추에이터를 사용해서 셔터부를 동작시키는 것이라고 했지만, 1개의 액추에이터이라도 좋고, 그 밖의 셔터 기구를 갖는 표시 장치로서, 기판과의 접속 기구를 갖는 구조이면 된다.
또한, 상술한 각 실시형태에 있어서는, 메커니컬층 및 도체층이 접하는 도전성이 있는 동일한 층은 도전부로 했지만, 배선에 직접적으로 접하도록 해도 되고, 그 밖의 도전성이 있는 층을 개재하도록 해도 된다.
본 발명의 특정 실시예로 간주되는 것을 설명하였지만, 다양한 변경이 이루어질 수 있으며, 첨부된 특허청구범위는 본 발명의 정신 및 영역내에 있는 이러한 모든 변경예를 커버하는 것으로 의도되었다.
100 : 셔터 표시 장치
102 : 발광 제어 회로
104 : 시스템 제어 회로
106 : 표시 제어 회로
108 : 패널 제어선
150 : 백라이트 광원
200 : TFT 기판
201 : 신호 입력 회로
202 : 신호선
203 : 주사선 주사 회로
204 : 주사선
210 : 화소
215 : 글래스 기판
220 : 박막 트랜지스터부
222 : 보호층
224 : 배선
226 : 도전부
300 : 셔터 기구부
310 : 셔터부
311 : 개구부
320 : 제1 액추에이터부
330 : 제2 액추에이터부
342 : 제1 비임부
344 : 제1 앵커부
346 : 제2 비임부
348 : 제2 앵커부
352 : 메커니컬층
354 : 도체층
356 : 유전체층
400 : 셔터 기구부
410 : 셔터부
442 : 제1 비임부
444 : 제1 앵커부
446 : 제2 비임부
500 : 셔터 기구부
510 : 셔터부
542 : 제1 비임부
544 : 제1 앵커부
546 : 제2 비임부
742 : 제1 비임부
746 : 제2 비임부

Claims (5)

  1. 절연성이 있는 기판인 절연 기판과, 상기 절연 기판 상에 표시부를 형성하는 복수의 화소를 갖고,
    상기 복수의 화소의 각 화소에는, 박막 트랜지스터와, 상기 박막 트랜지스터에 의해 전기적으로 구동되고, 상기 각 화소의 광의 투과를 제어하는 셔터 기구부와, 상기 절연 기판 상에 형성된 제1 도전층을 구비하고,
    상기 셔터 기구부는, 구조적 부분인 메커니컬층과, 상기 메커니컬층 상에 형성된 제2 도전층을 갖고,
    상기 메커니컬층과 상기 제2 도전층은 함께 상기 제1 도전층에 바로 접촉하여 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 셔터 기구부는,
    광을 차단하기 위한 셔터부와,
    상기 셔터부를 구동하기 위해서 동작하고, 상기 절연 기판의 기판면과 평행한 방향으로 연장되는 보 형상 구조물인 비임부와,
    상기 비임부를 고정하여 지지하기 위한 앵커부를 구비하고,
    상기 셔터부, 상기 비임부 및 상기 앵커부의 각각은, 상기 메커니컬층과 상기 제2 도전층을 갖고,
    상기 앵커부의 상기 메커니컬층과 상기 제2 도전층이, 상기 제1 도전층에 바로 접촉하여 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 앵커부는 주발형 형상이며,
    상기 제2 도전층은, 상기 주발형 형상을 한 상기 메커니컬층의 외측 주위에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 도전층은, 또한, 상기 주발형 형상을 한 상기 메커니컬층의 내측에도 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 앵커부는 주발형 형상이며,
    상기 메커니컬층은, 상기 주발형 형상을 한 상기 제2 도전층의 외측 주위에 형성됨과 함께, 상기 도전층의 내측에도 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
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