KR20120129346A - Apparatus for forming a hole and Method for forming a hole - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A hole forming apparatus and a hole forming method are provided to form a hole on the bottom of a clean room without the pollution of the clean room. CONSTITUTION: A hole forming apparatus(100) comprises a body member(110), a drill member(120), a suction member(130), and a cooling member(140). The drill member comprises a rotation unit(121), a bearing unit(122), a drill unit(123), and a perforated portion(124). The rotation unit is formed in the lower portion of the body member to be rotatable. The bearing unit covers the rotation unit. The drill unit is formed in the lower portion of the rotation unit. The perforated portion is formed to penetrate from the side of the rotation unit to the inner space of the drill unit. The suction member communicates with one side of the bearing unit. The cooling member is arranged along the peripheral part of the drill unit and generates cold air to the drill unit.

Description

홀형성장치 및 홀형성방법{Apparatus for forming a hole and Method for forming a hole}Apparatus for forming a hole and Method for forming a hole}

본 발명은 홀형성장치 및 홀형성방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 지면 상에 특정 직경의 홀(Via)을 형성하는데 사용되는 홀형성장치 및 홀형성방법에 관한 것이다.The present invention relates to a hole forming apparatus and a hole forming method, and more particularly to a hole forming apparatus and a hole forming method used to form a hole (Via) of a specific diameter on the ground.

공장의 지면 상에 프레스나 선반 등, 특정 부재를 제조하는데 사용되는 제조장비를 설치하기 위한 일반적인 방법으로, 제조장비를 지면상에 볼트 등으로 고정시키거나, 지면에 특정 깊이의 홀을 형성하고 이러한 홀에 제조장비의 하측의 일부를 삽입하여 고정하는 방법이 사용될 수 있다.As a general method for installing manufacturing equipment, such as presses or lathes, on a factory floor, for manufacturing a particular member, the manufacturing equipment is fixed to the ground with bolts or the like, and holes having a specific depth are formed in the ground. A method of inserting and fixing a portion of the lower side of the manufacturing equipment into the hole may be used.

여기서, 지면 상에 홀을 형성하기 위한 종래의 홀형성장치는 드릴과 물분사부를 포함하는 것이 일반적이다. 작업자가 드릴을 지면에 수직인 방향으로 배치한 상태에서 홀형성장치를 동작시켜서 드릴이 회전하게 되면, 지면이 드릴에 의해 마모되면서 홀이 형성된다. 이러한 홀 형성 과정에서 발생되는 열에 의해 드릴이 파손되는 것을 방지하고자 물분사부로부터 드릴을 향하여 물이 분사된다. 이러한 물은 지면이 마모되면서 발생되는 먼지와 혼합되고, 일부는 홀 안에 채워지고, 다른 일부는 홀 밖으로 배출된다.Here, a conventional hole forming apparatus for forming a hole on the ground generally includes a drill and a water spray unit. When the drill is rotated by operating the hole forming apparatus in a state in which the worker arranges the drill in a direction perpendicular to the ground, the ground is worn by the drill to form a hole. In order to prevent the drill from being damaged by the heat generated during the hole formation process, water is sprayed from the water spray part toward the drill. This water mixes with the dust generated as the ground wears, some are filled in the holes, and some are discharged out of the holes.

한편, 일반적인 공장에서는 종래의 홀형성장치로 홀을 형성하여도 대기중으로 먼지가 분산되고, 먼지 혼합물은 배수로를 통하여 흘러 들어가게 된다. 그러나, 마이크로프로세서, 메모리 및 디스플레이 패널 등을 제조하는 클린룸(Clean room)은 밀폐된 공간일 뿐만 아니라 공기 중의 미세먼지가 거의 없어야 하는 공간이므로 홀 형성 작업과정에서 먼지가 발생되는 것은 바람직하지 않다. 또한, 클린룸은 외부의 이물질이 유입되지 않아야 하는 공간의 특성상 별도의 배수로 시설이 설치되어 있지 않으므로, 홀 형성과정에서 발생되는 먼지 혼합물이 배출되는 공간이 없다. 따라서, 종래의 홀형성장치로 클린룸의 바닥면에 홀을 형성하기 어려운 문제점이 있다.On the other hand, in a typical factory, even when holes are formed by a conventional hole forming apparatus, dust is dispersed into the atmosphere, and the dust mixture flows through the drainage path. However, since a clean room for manufacturing a microprocessor, a memory, a display panel, and the like is not only an enclosed space but also a space where almost no dust is present in the air, it is not preferable to generate dust during the hole forming process. In addition, since the clean room is not provided with a separate drainage facility due to the nature of the space where external foreign matters should not be introduced, there is no space in which the dust mixture generated during hole formation is discharged. Therefore, there is a problem that it is difficult to form a hole in the bottom surface of the clean room with a conventional hole forming apparatus.

본 발명은 따라서, 클린룸의 바닥면에 먼지를 발생시키지 않으면서 홀을 형성할 수 있게 한 홀형성장치 및 홀형성방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is therefore an object of the present invention to provide a hole forming apparatus and a hole forming method which can form holes without generating dust on the bottom surface of a clean room.

상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 홀형성장치는 몸체부재와, 상기 몸체부재의 하측에 회전가능하도록 형성된 회전부와, 상기 회전부를 감싸도록 형성된 베어링부와, 상기 회전부의 하측에 형성되고 내부공간이 형성되며 하측이 개구되게 형성된 원통형상의 드릴부와, 상기 회전부의 측면으로부터 상기 드릴부의 내부공간을 관통하도록 형성된 관통부를 포함하는 드릴부재와, 상기 베어링부의 일측에 연통되도록 형성된 흡입부재와, 상기 드릴부재의 드릴부 주변을 따라 배치되어 상기 드릴부로 냉기를 발생시키는 냉각부재를 포함한다.The hole forming apparatus according to the present invention for achieving the above object is a body member, a rotating part formed to be rotatable on the lower side of the body member, a bearing part formed to surround the rotating part, and formed on the lower side of the rotating part and inside A drill member including a cylindrical drill part having a space formed therein and having an opening at a lower side thereof, a through part formed to penetrate the inner space of the drill part from a side of the rotating part, a suction member formed to communicate with one side of the bearing part, and It is disposed along the periphery of the drill portion of the drill member and includes a cooling member for generating cold air to the drill portion.

본 발명에 따른 홀형성장치는 공기 중에 미세먼지가 거의 없어야 하는 클린룸의 바닥면에 홀을 형성하더라도, 홀형성장치 외부로 먼지가 배출되지 않게 된다. 또한, 홀형성장치는 드릴부를 냉각시키는데 있어서 종래의 홀형성장치에서와 다르게 냉각수를 사용하지 않고 드라이아이스를 사용함으로써, 먼지 혼합물이 발생되는 것을 방지할 수 있으므로, 클린룸을 오염시키지 않으면서 클린룸의 바닥면에 홀을 형성할 수 있다.In the hole forming apparatus according to the present invention, even when holes are formed in the bottom surface of the clean room where there is little dust in the air, dust is not discharged to the outside of the hole forming apparatus. In addition, since the hole forming apparatus uses dry ice without cooling water to cool the drill, unlike the conventional hole forming apparatus, the dust mixture can be prevented from being generated, and thus the clean room is not contaminated. Holes can be formed in the bottom surface of the.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 홀형성장치를 개략적으로 도시한 단면도.
도 2는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 홀형성장치를 개략적으로 도시한 단면도.
도 3은, 도 2에 도시된 홀형성장치에 의해 지면 상에 홀이 형성되는 상태를 도시한 단면도.1 is a cross-sectional view schematically showing a hole forming apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic cross-sectional view showing a hole forming apparatus according to another embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing a state in which a hole is formed on the ground by the hole forming apparatus shown in FIG.

본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서 동일한 구성에 대해서는 동일부호를 사용하며, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.The present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same components, and repeated descriptions and detailed descriptions of well-known functions and configurations that may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention will be omitted. Embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shapes and sizes of the elements in the drawings and the like can be exaggerated for clarity.

도 1을 참조하면, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 홀형성장치(100)는 몸체부재(110)와, 드릴부재(120)와, 흡입부재(130)와, 냉각부재(140)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the hole forming apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention includes a body member 110, a drill member 120, a suction member 130, and a cooling member 140. do.

몸체부재(110)는 홀형성장치(100)의 몸체가 된다. 몸체부재(110)는 홀형성장치(100)의 동작을 제어하기 위한 버튼과, 드릴을 회전시키기 위한 동력을 발생시키는 모터를 포함한다. 몸체부재(110) 내부에는 모터를 구동하기 위한 전력을 발생시키는 전원공급부가 배치될 수 있으며, 이와 다르게 외부로부터 전원을 공급받도록 이루어진 것도 가능하다.The body member 110 becomes a body of the hole forming apparatus 100. Body member 110 includes a button for controlling the operation of the hole forming apparatus 100, and a motor for generating power for rotating the drill. The body member 110 may be provided with a power supply for generating power for driving the motor, alternatively it may be configured to receive power from the outside.

드릴부재(120)는 회전부(121)와, 베어링부(122)와, 드릴부(123)와, 관통부(124)를 포함한다. 회전부(121)는 상기 몸체부재(110)의 하측에 회전가능하도록 형성된다. 베어링부(122)는 상기 회전부(121)를 감싸도록 형성된다. 드릴부(123)는 상기 회전부(121)의 하측에 형성되고 내부공간이 형성되며 하측이 개구되게 형성된 원통형상의 부재이다. 드릴부(123)에서 지면과 접촉되는 하측에는 복수의 절삭돌기들이 형성된다. 관통부(124)는 상기 회전부(121)의 측면으로부터 상기 드릴부(123)의 내부공간을 관통하도록 형성된다.The drill member 120 includes a rotating part 121, a bearing part 122, a drill part 123, and a through part 124. The rotating part 121 is formed to be rotatable under the body member 110. The bearing part 122 is formed to surround the rotating part 121. The drill part 123 is formed in the lower side of the rotating part 121, the inner space is formed and the cylindrical member formed to open the lower side. A plurality of cutting protrusions are formed at the lower side in contact with the ground in the drill part 123. The through part 124 is formed to penetrate the inner space of the drill part 123 from the side of the rotating part 121.

한편, 드릴부(123)는 회전부(121)에 편심되도록 형성되는 것도 가능하다. 더욱 상세하게 설명하면, 드릴부(123)와 회전부(121)의 경계부분(A)에서 드릴부(123)의 가상의 중심축이 회전부(121)의 회전축으로부터, 대략 0.1㎜ 내지 1㎜ 정도로 편심될 수 있다. 이에 따라, 드릴부(123)가 지면과 마찰되면서 드릴부(123)의 두께보다 더 큰 폭으로 지면이 마모된다. 따라서, 지면의 마모된 부분과 드릴부(123)사이에 유격이 발생되고, 이러한 유격사이로 후술할 냉각부재(140)로부터 발생되는 냉기가 드릴부(123)로 더욱 용이하게 유입될 수 있다. 그러므로, 냉각부재(140)에 의한 냉각이 더욱 용이하게 이루어질 수 있다.On the other hand, the drill portion 123 may be formed to be eccentric to the rotating portion 121. In more detail, the virtual central axis of the drill part 123 is eccentric about 0.1 mm to 1 mm from the rotation axis of the rotating part 121 at the boundary A between the drill part 123 and the rotating part 121. Can be. Accordingly, the ground wears to a width larger than the thickness of the drill portion 123 while the drill portion 123 rubs against the ground. Therefore, a play is generated between the worn part of the ground and the drill part 123, and cold air generated from the cooling member 140 to be described later may be more easily introduced into the drill part 123 between the play. Therefore, cooling by the cooling member 140 can be made more easily.

흡입부재(130)는 상기 베어링부(122)의 일측에 연통되도록 형성된다. 이를 위해 베어링부(122)의 측면에는 연통홀이 형성된다. 흡입부재(130)는 드릴부(123)의 내부공간의 공기를 흡입하는 역할을 한다. 흡입부재(130)의 일예로 진공펌프일 수 있다. 드릴부(123)가 지면과 접촉되어 회전하는 과정에서 흡입부재(130)에서 펌핑이 이루어지면, 홀 형성시 발생되는 먼지가 관통부(124)를 따라 베어링부(122)를 지나 흡입부재(130)로 유입된다. 따라서, 먼지가 드릴부(123) 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.Suction member 130 is formed to communicate with one side of the bearing portion (122). To this end, a communication hole is formed at the side of the bearing part 122. The suction member 130 serves to suck air in the internal space of the drill part 123. An example of the suction member 130 may be a vacuum pump. When pumping is performed in the suction member 130 while the drill part 123 is in contact with the ground and rotates, dust generated when the hole is formed passes through the bearing part 122 along the through part 124 and the suction member 130. Flows into). Therefore, it is possible to prevent dust from flowing out of the drill unit 123.

한편, 상기와 같은 흡입부재(130)와 몸체부재(110)는 일체로 형성될 수 있다. 이는 홀형성장치(100)의 부피를 최소화하여 홀형성장치(100)의 보관과 이동이 더욱 용이하도록 하기 위함이다.On the other hand, the suction member 130 and the body member 110 as described above may be integrally formed. This is to minimize the volume of the hole forming apparatus 100 to facilitate the storage and movement of the hole forming apparatus 100.

냉각부재(140)는 상기 드릴부재(120)의 드릴부(123) 주변을 따라 배치되어 상기 드릴부(123)로 냉기를 발생시킨다. 이를 위한 냉각부재(140)의 상세한 구조의 일예로, 수용부(141)와, 커버부(142)와, 드라이아이스(143)를 포함할 수 있다.The cooling member 140 is disposed along the periphery of the drill part 123 of the drill member 120 to generate cold air to the drill part 123. As an example of the detailed structure of the cooling member 140 for this purpose, it may include a receiving portion 141, the cover portion 142, dry ice 143.

수용부(141)는 상기 드릴부(123)와 일정거리 이격되도록 배치되고, 내부공간이 형성되며, 상측이 개구되도록 형성된다. 즉, 수용부(141)는 지면 상에서 홀이 형성되는 부분의 주변을 따라 배치된 것으로, 상면이 개구되게 형성된 토러스(Torus) 형상일 수 있다. 이러한 수용부(141)의 외측 둘레면에는 외부 공기가 유입되는 공기유입홀(141a)이 형성된다. 그리고 수용부(141)에서 상기 드릴부(123)를 향하는 면에는 외부 공기가 배출되는 공기배출홀(141b)이 형성된다. 이러한 수용부(141)는 투명한 소재로 이루어질 수 있다. 이는, 사용자가 외부로부터 홀 형성 작업과정을 용이하게 확인할 수 있게 하기 위함이다.The receiving part 141 is disposed to be spaced apart from the drill part 123 by a predetermined distance, an inner space is formed, and an upper side thereof is opened. That is, the accommodating part 141 is disposed along the periphery of the portion where the hole is formed on the ground, and may have a torus shape in which the upper surface is opened. The outer circumferential surface of the receiving portion 141 is formed with an air inlet hole 141a through which external air flows. In addition, an air discharge hole 141b through which external air is discharged is formed on a surface of the receiving part 141 facing the drill part 123. The receiving portion 141 may be made of a transparent material. This is for the user to easily check the hole forming operation process from the outside.

커버부(142)는 상기 드릴부(123)를 감싸면서 상기 수용부(141)의 상측을 폐쇄하도록 형성된다. 커버부(142)의 일예로 실리콘 시트 또는 우레탄 씨트일 수 있다. 실리콘 시트는 고온에서 금속과 마찰되더라도 거의 마모되지 않는다. 우레탄 시트는 실리콘 시트보다 더욱 고온에서 금속과 마찰되더라도 거의 마모되지 않는다.The cover part 142 is formed to close the upper side of the receiving part 141 while surrounding the drill part 123. For example, the cover part 142 may be a silicone sheet or a urethane sheet. Silicon sheets hardly wear even when rubbed with metal at high temperatures. The urethane sheet hardly wears even if rubbed with the metal at a higher temperature than the silicon sheet.

드라이아이스(143)는 상기 수용부(141)의 내부공간에 배치된다. 이러한 드라이아이스(143)는 이산화탄소를 고체화한 것으로 대기 상에서 고체상태에서 기체상태로 승화하면서 주위의 열을 흡수하여 온도를 급격히 낮추는 역할을 한다. 드라이아이스(143)는 주변의 공기의 온도를 -78.5°까지 하강시키므로, 일반적인 냉각수보다 냉각 성능이 우수하다.Dry ice 143 is disposed in the inner space of the receiving portion (141). The dry ice 143 solidifies the carbon dioxide and serves to rapidly lower the temperature by absorbing the surrounding heat while subliming from the solid state to the gas state in the air. The dry ice 143 lowers the temperature of the surrounding air to -78.5 °, and thus has better cooling performance than general cooling water.

상기와 같은 구조로 이루어진 냉각부재(140)는 공기유입홀(141a)을 통하여 외부 공기가 유입되고, 드라이아이스(143)에 의해 외부 공기가 냉각되며, 냉각된 공기는 공기배출홀(141b)을 통하여 드릴부(123)를 향하여 이동된다. 드릴부(123)는 이러한 냉기에 의해 냉각될 수 있다.In the cooling member 140 having the above structure, the outside air is introduced through the air inlet hole 141a, and the outside air is cooled by the dry ice 143, and the cooled air opens the air discharge hole 141b. It is moved toward the drill 123 through. The drill part 123 may be cooled by such cold air.

상기와 같은 구조로 이루어진 홀형성장치(100)는 공기 중에 미세먼지가 거의 없어야 하는 클린룸의 바닥면에 홀을 형성하더라도, 홀형성장치(100) 외부로 먼지가 배출되지 않게 된다. 또한, 홀형성장치(100)는 드릴부(123)를 냉각시키는데 있어서 종래의 홀형성장치(100)에서와 다르게 냉각수를 사용하지 않고 드라이아이스(143)를 사용함으로써, 먼지 혼합물이 발생되는 것을 방지할 수 있으므로, 클린룸을 오염시키지 않으면서 클린룸의 바닥면에 홀을 형성할 수 있다.The hole forming apparatus 100 having the structure as described above does not discharge dust to the outside of the hole forming apparatus 100 even when holes are formed in the bottom surface of the clean room where there is almost no fine dust in the air. In addition, unlike the conventional hole forming apparatus 100, the hole forming apparatus 100 uses the dry ice 143 without using the cooling water to cool the drill unit 123, thereby preventing the dust mixture from being generated. As a result, holes can be formed in the bottom surface of the clean room without contaminating the clean room.

한편, 도 2를 참조하면, 본 발명의 다른 일실시예에 따른 홀형성장치(100)는 밀폐부재(150)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 2, the hole forming apparatus 100 according to another embodiment of the present invention may further include a sealing member 150.

밀폐부재(150)는 차단부재(140)와 드릴부재(120) 사이의 개방된 공간을 외부로부터 밀폐하는 역할을 한다. 이를 위한 밀폐부재(150)의 일측은 차단부재(140)의 상측에 고정결합되고, 타측은 상기 베어링부(122)의 둘레면을 감싸도록 형성된다. 이러한 밀폐부재(150)에 의해 냉각부재(140)에서 발생되는 냉기가 외부로 유실되지 않으므로, 드릴부(123)의 냉각이 더욱 효율적으로 이루어질 수 있다.The sealing member 150 serves to seal the open space between the blocking member 140 and the drill member 120 from the outside. One side of the sealing member 150 for this purpose is fixedly coupled to the upper side of the blocking member 140, the other side is formed to surround the circumferential surface of the bearing portion (122). Since the cool air generated in the cooling member 140 is not lost to the outside by the sealing member 150, cooling of the drill part 123 may be more efficiently performed.

전술한 구조로 이루어진 홀형성장치(100)로 클린룸의 바닥면에 특정 깊이의 홀을 형성하는 홀형성방법을 설명한다. The hole forming method of forming a hole having a specific depth on the bottom surface of the clean room with the hole forming apparatus 100 having the above-described structure will be described.

도 3을 참조하면, 지면 상에서 홀을 형성하려는 위치에 드릴부(123)를 배치한다. 다음으로, 상기 드릴부(123)의 주변에 냉각부재(140)의 수용부를 배치한다. 수용부는 드릴부(123)의 둘레로부터 일정한 간격으로 이격되게 배치된 것이 바람직하다. 이는 냉각부재(140)로부터 발생되는 냉기가 드릴부(123)에 균일하게 공급되게 하기 위함이다. 다음으로, 상기 수용부에 드라이아이스를 배치하고, 홀형성장치(100)를 동작시켜서 드릴부(123)를 회전시킨다.Referring to FIG. 3, the drill part 123 is disposed at a position to form a hole on the ground. Next, the accommodating part of the cooling member 140 is disposed around the drill part 123. The receiving portion is preferably arranged spaced apart from the circumference of the drill portion 123 at regular intervals. This is to allow the cool air generated from the cooling member 140 to be uniformly supplied to the drill unit 123. Next, the dry ice is disposed in the accommodating part, and the drill part 123 is rotated by operating the hole forming apparatus 100.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, substitutions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. will be. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are not intended to limit the technical spirit of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by the embodiments and the accompanying drawings. . The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

100: 홀형성장치 110: 몸체부재
120: 드릴부재 121: 회전부
122: 베어링부 123: 드릴부
124: 관통부 130: 흡입부재
140: 냉각부재 141: 수용부
141a: 공기유입홀 141b: 공기배출홀
142: 커버부 143: 드라이아이스
150: 밀폐부재100: hole forming device 110: body member
120: drill member 121: rotating part
122: bearing part 123: drill part
124: through part 130: suction member
140: cooling member 141: receiving portion
141a: air inlet hole 141b: air outlet hole
142: cover portion 143: dry ice
150: sealing member

Claims (4)

몸체부재;
상기 몸체부재의 하측에 회전가능하도록 형성된 회전부와, 상기 회전부를 감싸도록 형성된 베어링부와, 상기 회전부의 하측에 형성되고 내부공간이 형성되며 하측이 개구되게 형성된 원통형상의 드릴부와, 상기 회전부의 측면으로부터 상기 드릴부의 내부공간을 관통하도록 형성된 관통부를 포함하는 드릴부재;
상기 베어링부의 일측에 연통되도록 형성된 흡입부재;
상기 드릴부재의 드릴부 주변을 따라 배치되어 상기 드릴부로 냉기를 발생시키는 냉각부재;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀형성장치.Body member;
A rotating part formed to be rotatable on the lower side of the body member, a bearing part formed to surround the rotating part, a cylindrical drill part formed at a lower side of the rotating part, and having an inner space formed therein, and a lower side thereof opened; and a side of the rotating part A drill member including a through portion formed to penetrate an internal space of the drill portion from the drill;
A suction member formed to communicate with one side of the bearing part;
A cooling member disposed along a drill portion of the drill member to generate cold air to the drill portion;
Hole forming apparatus comprising a. 제1항에 있어서,
상기 냉각부재는:
상기 드릴부와 일정거리 이격되도록 배치되고, 내부공간이 형성되며, 상측이 개구되도록 형성된 것으로, 외측 둘레면에 외부 공기가 유입되는 공기유입홀이 형성되고, 상기 드릴부를 향하는 면에는 외부 공기가 배출되는 공기배출홀이 형성된 수용부;
상기 드릴부를 감싸면서 상기 수용부의 상측을 폐쇄하도록 형성된 커버부; 및
상기 수용부의 내부공간에 배치된 드라이아이스;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀형성장치.The method of claim 1,
The cooling member is:
It is disposed to be spaced apart from the drill by a predetermined distance, the inner space is formed, the upper side is formed to be opened, the air inlet hole for the outside air is introduced into the outer circumferential surface, the outside air is discharged to the surface facing the drill portion Receiving portion formed air discharge hole is formed;
A cover part formed to close the upper side of the accommodation part while surrounding the drill part; And
Dry ice disposed in the inner space of the receiving portion;
Hole forming apparatus comprising a. 제1항에 있어서,
일측은 상기 냉각부재의 상측에 고정결합되고, 타측은 상기 베어링부의 둘레면을 감싸도록 형성된 밀폐부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 홀형성장치.The method of claim 1,
One side is fixedly coupled to the upper side of the cooling member, the other side hole forming apparatus further comprises a sealing member formed to surround the circumferential surface of the bearing portion. 제1항 내지 제3항 및 어느 한 항에 기재된 구조로 이루어진 홀형성장치로 클린룸의 바닥면에 특정 깊이의 홀을 형성하는 홀형성방법에 있어서,
지면 상에 상기 드릴부를 배치하는 단계;
상기 드릴부의 주변에 상기 냉각부재의 수용부를 배치하는 단계; 및
상기 드릴부와 상기 수용부 내부에 드라이아이스를 배치하는 단계;
를 포함하는 홀형성방법.In the hole forming method of forming a hole of a specific depth in the bottom surface of the clean room with a hole forming device composed of the structure of any one of claims 1 to 3,
Placing the drill portion on the ground;
Disposing a receiving part of the cooling member around the drill part; And
Arranging dry ice in the drill part and the receiving part;
Hole forming method comprising a.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPH01106206U (en) * 1988-01-08 1989-07-18
JP2003011115A (en) 2001-07-03 2003-01-15 Mitsubishi Materials Corp Boring device and boring method using the device
JP3822553B2 (en) * 2002-10-15 2006-09-20 株式会社Ｎｉｐｐｏコーポレーション Core collection method for asphalt pavement

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112589910A (en) * 2020-12-31 2021-04-02 和也健康科技有限公司 Mattress punching tool bit and device

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