KR20120127317A - Color filter having polarizing function and method of manufacturing thereof - Google Patents

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펑 장
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Abstract

PURPOSE: A color filter and a manufacturing method thereof are provided to secure a display effect while reducing time and costs by omitting a polarizing piece adhesion process. CONSTITUTION: A black matrix(21) is formed on a substrate(1). A polarizing structure(8) is integrally formed on a layer same as the black matrix. The polarized light structure has a plurality of sub pixels. The plurality of sub pixels is located on the black matrix and is separated each other. The polarized light structure comprises a grating pattern of nanoscale which is parallelly arranged. A color filter layer(4) is formed in the upper direction or lower direction of the black matrix and the polarizing structure. A protective layer is formed in the upper direction of the color filter layer. A transparent common electrode layer is formed in the upper direction of the protective layer.

Description

편광 기능을 갖는 컬러 필터 및 그 제조 방법{Color filter having polarizing function and method of manufacturing thereof}Color filter having a polarizing function and a method of manufacturing the same

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로, 특히 컬러 필터 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a color filter and a manufacturing method thereof.

박막 트랜지스터 액정 표시 장치(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD)는 현재의 평판 디스플레이의 주류로서, 효율이 낮고 비용이 비교적 낮으며 복사가 거의 없는 등의 이점을 가진다. TFT-LCD가 표시를 행하는 원리는, 전계가 인가되는 경우, 액정 분자의 유전 이방성과 도전 이방성을 이용하여 액정 분자의 배열 상황을 바꿈으로써 그 투과율이 바뀌도록 하는 것이다.Thin Film Transistor Liquid Crystal Display (TFT-LCD) is the mainstream of current flat panel displays, and has advantages such as low efficiency, relatively low cost, and little radiation. The principle that the TFT-LCD displays is that when the electric field is applied, the transmittance is changed by changing the arrangement of the liquid crystal molecules using the dielectric anisotropy and the conductive anisotropy of the liquid crystal molecules.

TFT-LCD 패널은 컬러 필터(color filter substrate)와 어레이 기판이 서로 대향하여 조합되어 구성된다. 도 1에 나타난 것은 종래기술에서의 컬러 필터의 단면도이다. TFT-LCD의 생산 공정에 있어서, 통상 하기의 방법을 이용하여 상기 컬러 필터를 제조하고 있다. 우선, 유리 기판(1)에 블랙 매트릭스(Black Matrix, BM)(2)를 형성하기 위한 금속층을 형성하고, 금속층의 상면에 1층의 포토레지스트(Photo Resistance, PR)를 도포한 후, 포토레지스트에 대해 노광을 행하여 포토레지스트 패턴층을 형성하고, 그리고, 포토레지스트 패턴층을 마스크로서 에칭을 행하여 블랙 매트릭스(2)를 형성한다. 다음에, 상기 구성에 컬러 필터층(4), 보호층(5), 투명 공통 전극(6) 및 스페이서(7)를 차례대로 형성한다. 상기 공정에 의해 형성된 컬러 필터는 편광 기능을 구비하지 않아, 유리 기판의 외측에 편광 기능을 갖는 편광조각을 더 부착할 필요가 있다. 이러한 컬러 필터의 제조 공정은 비교적 복잡하여 시간이 많이 걸리는 등의 문제가 존재한다.The TFT-LCD panel is constructed by combining a color filter substrate and an array substrate facing each other. Shown in FIG. 1 is a cross-sectional view of a color filter in the prior art. In the production process of a TFT-LCD, the said color filter is manufactured using the following method normally. First, a metal layer for forming a black matrix (BM) 2 is formed on the glass substrate 1, one layer of photoresist (Photo Resistance, PR) is applied to the upper surface of the metal layer, and then a photoresist The photoresist pattern layer is exposed to form a photoresist pattern layer, and the black resist 2 is formed by etching the photoresist pattern layer as a mask. Next, the color filter layer 4, the protective layer 5, the transparent common electrode 6, and the spacer 7 are sequentially formed in the above configuration. Since the color filter formed by the said process does not have a polarizing function, it is necessary to further attach the polarization fragment which has a polarizing function to the outer side of a glass substrate. The manufacturing process of such a color filter is relatively complicated and takes a lot of time.

본 발명이 해결하고자 하는 기술 과제는 컬러 필터의 제조 공정을 간단화하여 제조 비용을 저하시키는 것이다.The technical problem to be solved by the present invention is to simplify the manufacturing process of the color filter to lower the manufacturing cost.

상기 기술 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일실시예는 기판에 도전물을 포함하는 중간층을 형성하는 단계 1; 상기 중간층에 포토레지스트를 형성하는 단계 2; 상기 포토레지스트를 나노 스케일의 그레이팅 패턴을 가지는 포토레지스트 패턴으로 형성하는 단계 3; 상기 나노 스케일의 그레이팅 패턴을 가지는 포토레지스트 패턴을 사용하여 하방의 중간층에 대해 에칭을 행하고, 그 중간층을 블랙 매트릭스 및 그레이팅 패턴을 가지는 편광 구조로 형성하는 단계 4;를 구비하는 컬러 필터의 제조 방법을 제공한다.In order to solve the above technical problem, an embodiment of the present invention comprises the steps of forming an intermediate layer including a conductive material on the substrate; Forming a photoresist on the intermediate layer; Forming the photoresist into a photoresist pattern having a nanoscale grating pattern; Etching the lower intermediate layer using a photoresist pattern having the nanoscale grating pattern, and forming the intermediate layer into a polarization structure having a black matrix and a grating pattern; to provide.

본 발명의 다른 실시예는 기판; 상기 기판에 형성된 블랙 매트릭스;를 가지고, 상기 기판에 블랙 매트릭스와 동일층의 편광 구조가 더 형성되며, 상기 편광 구조는 서로 떨어져 있는 복수의 영역(셀)을 포함하고, 또한 나노 스케일의 평행하게 배열된 그레이팅 패턴을 구비하는 편광 기능을 갖는 컬러 필터를 제공한다.Another embodiment of the invention is a substrate; And a black matrix formed on the substrate, wherein the polarization structure of the same layer as the black matrix is further formed on the substrate, and the polarization structure includes a plurality of regions (cells) spaced apart from each other, and arranged in parallel on a nanoscale. It provides a color filter having a polarizing function having a grating pattern.

본 발명에 따르면, 나노 스케일의 그레이팅 패턴을 가지는 포토레지스트 패턴을 형성함으로써, 해당 포토레지스트 패턴을 마스크로서 하방의 중간층(예를 들면, 금속층 또는 수지층)에 대해 에칭을 행한 후, 블랙 매트릭스를 형성함과 동시에 블랙 매트릭스를 형성하는 중간층에 편광 기능을 갖는 편광 구조를 더 형성한다. 따라서, 표시 장치의 표시 효과를 확보함과 동시에 편광조각을 부착하는 공정을 생략하여 공정 시간을 절약하고 비용을 저감시킬 수 있다.According to the present invention, by forming a photoresist pattern having a nanoscale grating pattern, a black matrix is formed after etching the lower intermediate layer (for example, a metal layer or a resin layer) using the photoresist pattern as a mask. At the same time, a polarizing structure having a polarizing function is further formed in the intermediate layer forming the black matrix. Therefore, the display effect of the display device can be secured, and the process of attaching the polarization pieces can be omitted, thereby saving process time and reducing costs.

도 1은 종래의 컬러 필터의 구조를 도시하는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 관한 편광 기능을 갖는 컬러 필터의 단면 개략도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 관한 블랙 매트릭스 및 편광 구조의 평면도이다.
1 is a schematic diagram showing the structure of a conventional color filter.
2 is a schematic cross-sectional view of a color filter having a polarizing function according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of a black matrix and a polarizing structure according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면과 실시예를 결합하면서 본 발명의 구체적인 실시형태에 대해 더 상세하게 설명한다. 이하의 실시예는 본 발명을 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the specific embodiment of this invention is described in detail, combining a figure and an Example. The following examples are provided to illustrate the present invention and do not limit the scope of the present invention.

본 발명의 실시예에 관한 컬러 필터의 제조 방법은 하기의 단계를 가진다.The manufacturing method of the color filter which concerns on the Example of this invention has the following steps.

단계 1: 기판에 블랙 매트릭스를 형성하기 위한 1층의 중간층을 형성한다.Step 1: Form one intermediate layer for forming a black matrix on the substrate.

해당 기판은 유리 기판, 석영 기판 또는 플라스틱 기판이어도 된다. 해당 중간층은 본 실시예에서 금속층으로, 예를 들어, 구체적으로는 알루미늄층, 크롬층, 금층 또는 은층이다. 해당 중간층은 도전물을 포함하는 수지층이어도 된다. 해당 도전물은 나노 스케일의 금속선, 예를 들면 은선 또는 알루미늄선 등이고, 또는 나중에 형성되는 편광 구조가 일정한 전자 특성을 갖는 것과 같은 금속분 형상의 첨가제이어도 된다. 해당 중간층은 후속 공정에서 블랙 매트릭스(BM)를 형성하기 위해 이용된다.The substrate may be a glass substrate, a quartz substrate or a plastic substrate. The intermediate layer is a metal layer in this embodiment, for example, an aluminum layer, a chromium layer, a gold layer or a silver layer. The intermediate layer may be a resin layer containing a conductive material. The conductive material may be a nanoscale metal wire, for example, a silver wire or an aluminum wire or the like, or a metal powder-like additive such that a polarizing structure formed later has a constant electronic characteristic. This intermediate layer is used to form a black matrix (BM) in a subsequent process.

단계 2: 중간층에 1층의 포토레지스트를 형성한다.Step 2: Form one layer of photoresist in the intermediate layer.

단계 3: 상기 포토레지스트를 이용하여 나노 스케일의 그레이팅 패턴을 가지는 포토레지스트 패턴을 형성한다.Step 3: A photoresist pattern having a nanoscale grating pattern is formed using the photoresist.

예를 들면, 나노 임프린트 프로세스를 채용할 수 있다. 즉, 미리 제작된 나노 스케일의 그레이팅 패턴을 가지는 몰드를 채용하여 포토레지스트에 대해 나노 임프린트를 행한다. 해당 몰드는 미리 편광에 필요로 하는 평행하게 배열된 슬롯으로 이루어지는 그레이팅 패턴에 의해 제조된다. 포토레지스트에 대해 나노 임프린트를 행한 후, 포토레지스트의 블랙 매트릭스 이외의 영역에 대응하여 해당 그레이팅 패턴이 프린트된다. 해당 몰드는 석영, 유리 또는 플라스틱을 이용하여 제조되어도 된다.For example, a nano imprint process can be employed. In other words, a nanoimprint is performed on the photoresist by employing a mold having a nanoscale grating pattern prepared in advance. The mold is manufactured by a grating pattern composed of parallelly arranged slots required for polarization in advance. After nanoimprinting the photoresist, the grating pattern is printed corresponding to a region other than the black matrix of the photoresist. The mold may be manufactured using quartz, glass or plastic.

단계 4: 나노 스케일의 그레이팅 패턴을 가지는 포토레지스트 패턴을 마스크로서 중간층에 대해 에칭을 행하고, 중간층을 블랙 매트릭스 및 그레이팅 패턴을 가지는 편광 구조로 형성한다.Step 4: The photoresist pattern having the nanoscale grating pattern is etched with respect to the intermediate layer as a mask, and the intermediate layer is formed into a polarizing structure having a black matrix and the grating pattern.

이 단계에서의 에칭으로서 건식 에칭이 바람직하다. 습식 에칭 또는 다른 에칭을 이용해도 된다.Dry etching is preferable as the etching in this step. Wet etching or other etching may be used.

얻어진 블랙 매트릭스와 편광 구조는 유리 기판에 형성된다. 편광 구조는 복수의 셀을 구비하고, 각각 블랙 매트릭스에 의해 확정되는 화소 영역에 위치되며, 이들 화소 영역은 어레이를 구성함과 동시에 서로 떨어진다. 그레이팅 편광자의 경우, 즉 본 실시예에서의 편광 구조의 경우, 그 주요한 구조 파라미터는 그레이팅 주기, 그레이팅 듀티 및 그레이팅의 깊이이다. 그 중에서 그레이팅 성능을 정하는 (TM 투과율 및 소광비) 키 파라미터는 그레이팅 주기와 입사광 파장의 관계이다. 그레이팅 주기가 입사광 파장보다 큰 경우, 그레이팅은 멀티 오더의 회절파를 발생시키고, 이 경우, 그레이팅을 회절 격자로서 사용할 수 있지만 편광자로서는 사용할 수 없다. 그레이팅 주기가 입사광 파장보다 작은 경우, 그레이팅은 제로 오더의 회절파만 발생시켜 편광성이 강하여 TM 편광은 투과되고 TE 편광은 반사되어 성능이 좋은 편광자로서 사용할 수 있다. 본 실시예에 있어서, 편광 구조의 그레이팅 패턴의 그레이팅 주기는 60nm-300nm이고, 그레이팅 듀티는 0.3-0.7로서 바람직하게는 0.5이며, 그레이팅의 깊이는 100nm-200nm이며, 이것에 의해 가시광에 대하여 편광 작용을 발생시킨다. 따라서, 해당 편광 구조는 편광 기능을 가지고, 해당 컬러 필터에 의해 최종적으로 형성된 표시 장치가 정상으로 표시할 수 있음을 확보한다.The obtained black matrix and polarizing structure are formed in a glass substrate. The polarization structure is provided with a plurality of cells, each located in a pixel region determined by a black matrix, and these pixel regions form an array and are separated from each other at the same time. In the case of the grating polarizer, that is, in the case of the polarization structure in this embodiment, the main structural parameters are the grating period, the grating duty and the depth of the grating. Among them, the (TM transmittance and extinction ratio) key parameter that determines the grating performance is the relationship between the grating period and the incident light wavelength. If the grating period is larger than the incident light wavelength, the grating generates diffracted waves of multiple orders, in which case the grating can be used as a diffraction grating but not as a polarizer. When the grating period is smaller than the incident light wavelength, the grating generates only the diffraction wave of zero order so that the polarization is strong, so that the TM polarization is transmitted and the TE polarization is reflected and can be used as a good polarizer. In this embodiment, the grating period of the grating pattern of the polarizing structure is 60nm-300nm, the grating duty is 0.3-0.7, preferably 0.5, and the depth of the grating is 100nm-200nm, thereby polarizing the visible light. Generates. Therefore, the polarization structure has a polarization function and ensures that the display device finally formed by the color filter can display normally.

해당 방법에 있어서, 단계 4의 전 또는 후에 컬러 필터층을 형성하는 단계 4'를 더 가진다.In the method, the method further has a step 4 'to form a color filter layer before or after step 4.

해당 단계 4'가 단계 4의 전에 행해지면, 컬러 필터층, 예를 들어 RGB 서브 화소(sub pixels)층은 기판에 위치되고, 블랙 매트릭스 및 편광 구조는 컬러 필터에 위치된다. 해당 단계 4'가 단계 4의 후에 행해지면, 블랙 매트릭스 및 편광 구조는 기판에 위치되고, 컬러 필터층은 블랙 매트릭스 및 편광 구조에 위치된다. 상기 RGB 서브 화소는 블랙 매트릭스에 의해 정의되는 서브 화소에 대응한다. 형성된 컬러 필터층은 RGB와 같은 조합에 한정되지 않고, 예를 들면 CMYK의 조합이어도 된다.If that step 4 'is done before step 4, a color filter layer, for example an RGB sub pixel layer, is placed on the substrate, and the black matrix and polarization structure are located on the color filter. If step 4 'is performed after step 4, the black matrix and the polarizing structure are located on the substrate, and the color filter layer is located on the black matrix and the polarizing structure. The RGB sub pixel corresponds to a sub pixel defined by a black matrix. The formed color filter layer is not limited to a combination such as RGB, but may be a combination of CMYK, for example.

해당 단계 4'가 단계 4의 후에 행해지는 경우, 컬러 필터층에 보호층(overcoat)을 더 형성해도 된다. 보호층의 재질은 수지 재료로서, 단차가 있는 컬러 필터층에 대해 보호하기 위해 이용되고, 또한 다른 구조층을 형성시키도록 평탄한 상면을 형성하는 데에도 이용된다.When the step 4 'is performed after the step 4, an overcoat may be further formed on the color filter layer. The material of the protective layer is a resin material, which is used to protect the stepped color filter layer, and is also used to form a flat top surface to form another structural layer.

또, 보호층에 투명 공통 전극층(예를 들어, ITO Common Electrode)을 형성할 수도 있다. 실제로 프린지 필드 스위칭(FFS: Fringe-field Switch) 또는 횡전계 스위칭(IPS: In-plane Switch) 방식의 액정 표시 장치의 경우, 투명 공통 전극층이 어레이 기판에 형성하면, 그에 따라 컬러 필터에 투명 공통 전극층을 형성할 필요가 없다.Moreover, a transparent common electrode layer (for example, ITO Common Electrode) can also be formed in a protective layer. In the case of a liquid crystal display device of Fringe-field Switch (FFS) or In-plane Switch (IPS) type, when the transparent common electrode layer is formed on the array substrate, the transparent common electrode layer is formed on the color filter accordingly. There is no need to form

투명 공통 전극층 또는 보호층(투명 공통 전극이 없는 경우)에 포스트 형상의 스페이서(Post Spacer)가 더 형성되어도 된다. 이에 의해, 컬러 필터와 어레이 기판이 서로 대향하여 조합되는 경우, 스페이서를 사용하여 액정을 주입하기 위한 간극을 이격하고 셀 갭을 유지한다.Post spacers may be further formed in the transparent common electrode layer or the protective layer (when there is no transparent common electrode). Thereby, when the color filter and the array substrate are combined to face each other, the gaps for injecting the liquid crystal are spaced apart using spacers to maintain the cell gap.

실제로 스페이서는 보호층에 위치되고 투명 공통 전극층으로부터 관통되어도 된다. 또는 컬러 필터층에 위치되고 보호층과 투명 공통 전극층으로부터 관통되어도 된다. 또, 유리 기판에 위치되고 블랙 매트릭스 또는 편광 구조, 컬러 필터층, 보호층 및 투명 공통 전극층으로부터 관통되어도 된다.In fact, the spacer may be located in the protective layer and penetrated from the transparent common electrode layer. Or it may be located in the color filter layer and penetrate from the protective layer and the transparent common electrode layer. Moreover, it may be located on a glass substrate and penetrate from a black matrix or polarizing structure, a color filter layer, a protective layer, and a transparent common electrode layer.

도 2에 나타난 것은 본 발명의 실시예에 관한 편광 기능을 갖는 컬러 필터의 구조 개략도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 관한 블랙 매트릭스와 편광 구조의 평면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 컬러 필터는 기판(1); 기판(1)에 형성된 블랙 매트릭스(21); 블랙 매트릭스(21)와 동일층임과 동시에 바람직하게는 일체적으로 형성된 편광 구조(8);를 구비하고, 편광 구조(8)는 블랙 매트릭스(21) 중에 위치되면서 복수의 서로 이격되는 서브 화소를 가지며, 또 나노 스케일의 평행하게 배열되는 그레이팅 패턴을 가진다. 블랙 매트릭스(21)와 편광 구조(8)의 상방 또는 하방에 컬러 필터층(4)이 형성된다. 컬러 필터층(4)의 각각의 서브 화소는 블랙 매트릭스에 의해 구획되는 서브 화소에 대응한다. 해당 컬러 필터층(4)이 블랙 매트릭스(21)의 상방에 위치하는 경우, 컬러 필터층(4)의 상방에 보호층(5)이 더 형성될 수 있고, 보호층(5)의 상방에 투명 공통 전극층(6)이 형성된다. 기판(1), 컬러 필터층(4), 보호층(5) 또는 투명 공통 전극층(6)에 스페이서(7)가 더 형성되어도 된다.2 is a schematic view of the structure of the color filter having the polarizing function according to the embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a plan view of the black matrix and the polarizing structure according to the embodiment of the present invention. As shown in the figure, the color filter of this embodiment comprises: a substrate 1; A black matrix 21 formed on the substrate 1; And a polarization structure 8 which is the same layer as the black matrix 21 and is preferably integrally formed, wherein the polarization structure 8 is positioned in the black matrix 21 and has a plurality of sub-pixels spaced apart from each other. And grating patterns arranged in parallel on the nanoscale. The color filter layer 4 is formed above or below the black matrix 21 and the polarization structure 8. Each sub pixel of the color filter layer 4 corresponds to a sub pixel partitioned by a black matrix. When the color filter layer 4 is positioned above the black matrix 21, a protective layer 5 may be further formed above the color filter layer 4, and the transparent common electrode layer is disposed above the protective layer 5. (6) is formed. A spacer 7 may be further formed on the substrate 1, the color filter layer 4, the protective layer 5, or the transparent common electrode layer 6.

이상의 실시예에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 실시예는 나노 스케일의 그레이팅 패턴을 가지는 포토레지스트 패턴을 형성함으로써, 해당 포토레지스트 패턴을 마스크로서 하방의 중간층(예를 들면, 금속층 또는 수지층)에 대해 에칭을 행한 후, 블랙 매트릭스를 형성함과 동시에 블랙 매트릭스를 형성하는 중간층에 편광 기능을 갖는 편광 구조를 더 형성한다. 따라서, 표시 장치의 표시 효과를 확보함과 동시에 편광조각을 부착하는 공정을 생략하여 공정 시간을 절약하고 비용을 저감시킬 수 있다.As shown in the above embodiment, the embodiment of the present invention forms a photoresist pattern having a nanoscale grating pattern, so that the photoresist pattern is used as a mask for a lower intermediate layer (for example, a metal layer or a resin layer). After etching, a polarizing structure having a polarizing function is further formed in the intermediate layer forming the black matrix while forming the black matrix. Therefore, the display effect of the display device can be secured, and the process of attaching the polarization pieces can be omitted, thereby saving process time and reducing costs.

이상의 기재는 본 발명의 최적의 실시형태에 불과하며, 당업자는 본 발명의 기술적 원리를 벗어나지 않는 것을 전제로서 약간의 개량 및 변형을 행할 수 있고, 이들 개량 및 변형은 본 발명의 보호 범위에 속한다고 간주되어야 함을 서술해 두고자 한다.The above description is only an optimal embodiment of the present invention, and those skilled in the art can make some improvements and modifications on the assumption that they do not depart from the technical principles of the present invention, and those improvements and modifications belong to the protection scope of the present invention. It should be stated that it should be considered.

1 기판
1, 21 블랙 매트릭스
4 컬러 필터층
5 보호층
6 투명 공통 전극층
7 스페이서
8 편광 구조
1 board
1, 21 black matrix
4 color filter layer
5 protective layer
6 transparent common electrode layer
7 spacer
8 polarized structure

Claims (15)

컬러 필터의 제조 방법으로서,
기판에 도전물을 포함하는 중간층을 형성하는 단계 1;
상기 중간층에 포토레지스트를 형성하는 단계 2;
상기 포토레지스트를 나노 스케일의 그레이팅 패턴을 가지는 포토레지스트 패턴으로 형성하는 단계 3;
해당 나노 스케일의 그레이팅 패턴을 가지는 포토레지스트 패턴을 사용하여 하방의 중간층에 대해 에칭을 행하고, 해당 중간층을 블랙 매트릭스 및 그레이팅 패턴을 가지는 편광 구조로 형성하는 단계 4;
를 구비하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
As a manufacturing method of a color filter,
Forming an intermediate layer comprising a conductive material on the substrate;
Forming a photoresist on the intermediate layer;
Forming the photoresist into a photoresist pattern having a nanoscale grating pattern;
Etching the lower intermediate layer using a photoresist pattern having the nanoscale grating pattern, and forming the intermediate layer into a polarization structure having a black matrix and a grating pattern;
The manufacturing method of the color filter characterized by including the.
제1항에 있어서,
상기 편광 구조의 그레이팅 패턴은 평행하게 배열된 슬롯이고, 상기 그레이팅 패턴의 그레이팅 주기는 60nm-300nm이며, 그레이팅 듀티는 0.3-0.7이고, 그레이팅의 깊이는 100nm-200nm인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
The method of claim 1,
The grating pattern of the polarizing structure is a slot arranged in parallel, the grating period of the grating pattern is 60nm-300nm, the grating duty is 0.3-0.7, the depth of the grating is 100nm-200nm Way.
제2항에 있어서,
상기 편광 구조의 그레이팅 패턴의 그레이팅 듀티는 0.5인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
The method of claim 2,
The grating duty of the grating pattern of the polarizing structure is 0.5, the manufacturing method of the color filter.
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 단계 3은, 나노 스케일의 그레이팅 패턴을 가지는 몰드를 채용하여, 상기 포토레지스트에 대해 나노 임프린트를 행하고, 상기 포토레지스트의 블랙 매트릭스 이외의 영역에 대응하여 상기 그레이팅 패턴을 프린트함으로써 포토레지스트 패턴을 얻는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
In Step 3, a photoresist pattern is obtained by employing a mold having a nanoscale grating pattern, performing nanoimprint on the photoresist, and printing the grating pattern corresponding to a region other than the black matrix of the photoresist. The manufacturing method of the color filter characterized by the above-mentioned.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 중간층은 금속층 또는 도전물을 포함하는 수지층을 가지는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The intermediate layer has a resin layer containing a metal layer or a conductive material.
제5항에 있어서,
상기 도전물은 나노 스케일의 금속선 또는 금속분(粉)을 가지는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
The method of claim 5,
The conductive material has a nanoscale metal wire or metal powder, the manufacturing method of the color filter characterized by the above-mentioned.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 단계 4의 전 또는 후에 컬러 필터층을 형성하는 단계 4'를 더 가지는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
7. The method according to any one of claims 1 to 6,
And a step 4 'to form a color filter layer before or after the step 4.
기판;
상기 기판에 형성되어 있는 블랙 매트릭스;를 구비하는 편광 기능을 갖는 컬러 필터로서,
상기 기판에 블랙 매트릭스와 동일층의 편광 구조가 더 형성되고, 상기 편광 구조는 서로 이격되는 복수의 영역을 가지며, 또한 나노 스케일의 평행하게 배열되는 그레이팅 패턴을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 편광 기능을 갖는 컬러 필터.
Board;
A color filter having a polarizing function comprising; a black matrix formed on the substrate,
The polarizing structure of the same layer as the black matrix is further formed on the substrate, and the polarizing structure has a plurality of regions spaced apart from each other, and has a polarizing function arranged in parallel on a nano scale. Color filter.
제8항에 있어서,
상기 편광 구조의 그레이팅 패턴은 평행하게 배열되는 슬롯이고, 상기 그레이팅 패턴의 그레이팅 주기는 60nm-300nm이며, 그레이팅 듀티는 0.3-0.7이고, 그레이팅의 깊이는 100nm-200nm인 것을 특징으로 하는 편광 기능을 갖는 컬러 필터.
9. The method of claim 8,
The grating pattern of the polarizing structure is a slot arranged in parallel, the grating period of the grating pattern is 60nm-300nm, the grating duty is 0.3-0.7, the depth of the grating is 100nm-200nm characterized in that Color filter.
제9항에 있어서,
상기 편광 구조의 그레이팅 패턴의 그레이팅 듀티는 0.5인 것을 특징으로 하는 편광 기능을 갖는 컬러 필터.
10. The method of claim 9,
The grating duty of the grating pattern of the polarizing structure is 0.5, the color filter having a polarizing function.
제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 블랙 매트릭스와 편광 구조를 형성하기 위한 재료는 금속층 또는 도전물을 포함하는 수지층을 가지는 것을 특징으로 하는 편광 기능을 갖는 컬러 필터.
11. The method according to any one of claims 8 to 10,
The material for forming the polarization structure with the black matrix has a resin layer comprising a metal layer or a conductive material.
제11항에 있어서,
상기 도전물은 나노 스케일의 금속선 또는 금속분을 가지는 것을 특징으로 하는 편광 기능을 갖는 컬러 필터.
The method of claim 11,
The conductive material has a polarization function, characterized in that the nano-scale metal wire or metal powder.
제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 블랙 매트릭스와 편광 구조의 상방 또는 하방에 위치하는 컬러 필터층을 더 가지는 것을 특징으로 하는 편광 기능을 갖는 컬러 필터.
13. The method according to any one of claims 8 to 12,
And a color filter layer located above or below the black matrix and the polarizing structure.
제13항에 있어서,
상기 컬러 필터층의 위에 위치하는 보호층을 더 가지는 것을 특징으로 하는 편광 기능을 갖는 컬러 필터.
The method of claim 13,
And a protective layer positioned on the color filter layer.
제14항에 있어서,
상기 보호층의 위에 위치하는 투명 공통 전극층을 더 가지는 것을 특징으로 하는 편광 기능을 갖는 컬러 필터.
15. The method of claim 14,
And a transparent common electrode layer on the protective layer.
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