KR20120125449A - Mems actuator and camera module comprising the same - Google Patents

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KR20120125449A
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Abstract

PURPOSE: A MEMS actuator and a camera module with the same are provided to sufficiently distribute stress in a horizontal direction and a vertical direction by a flexure and to obtain excellent impact resistance. CONSTITUTION: A MEMS actuator comprises a lens fixing unit(100). A moving lens is fixed to the lens fixing unit comprising a circular ring(130), a body unit(110), and a flexure(120). A plurality of mount pads(131) of the circular ring is connected by a circular arc unit(132). An opening(111) receiving the circular ring is formed in a central portion of the body unit. The flexure connects the body unit in a central portion of the circular arc unit.

Description

MEMS액추에이터 및 이를 포함하는 카메라 모듈{MEMS ACTUATOR AND CAMERA MODULE COMPRISING THE SAME}MEMS actuator and camera module including the same {MEMS ACTUATOR AND CAMERA MODULE COMPRISING THE SAME}

본 발명은 MEMS 액추에이터에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 플렉쳐의 길이가 연장되고 두께가 최적화되어 응력의 분산이 용이하고 외부 충격에 대한 내충격성이 향상된 MEMS 액추에이터 및 이를 포함하는 카메라 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a MEMS actuator, and more particularly, to a MEMS actuator and a camera module including the same, in which the length of the flexure is extended and the thickness is optimized, so that the stress is easily dispersed and the impact resistance against external impact is improved.

일반적으로 컴팩트한 카메라 모듈은 소형으로써 카메라폰, PDA 및 스마트폰 등 휴대용 이동통신 기기와 다양한 IT기기에 적용되고 있다.Generally The compact camera module is compact and is applied to portable mobile communication devices such as camera phones, PDAs and smart phones and various IT devices.

이러한 카메라 모듈은 CCD나 CMOS 등의 이미지 센서를 주요 부품으로 제작되고 있으며, 화상의 크기를 조절하기 위하여 초점 조정이 가능하도록 제조되고 있다. Such a camera module is manufactured with an image sensor such as a CCD or a CMOS as a main component, and is manufactured to be able to adjust focus to adjust an image size.

이때, 카메라 모듈은 복수의 렌즈를 포함하고, 각각의 렌즈를 이동시켜 그 상대거리를 변화시킴으로써 광학적인 초점 거리가 조절된다.At this time, the camera module includes a plurality of lenses, and the optical focal length is adjusted by moving each lens to change its relative distance.

최근 기존의 음성코일모터(VCM) 대신에 MEMS(Micro electromechanical Systems) 액추에이터를 사용하여 오토 포커스(Auto Focus)를 구현하는 연구가 활발하다. Recently, researches to implement auto focus using micro electromechanical systems (MEMS) actuators instead of conventional voice coil motors (VCMs) are active.

상기 MEMS 액추에이터는 기존의 보이스 코일 대신 실리콘 웨이퍼에 하나의 무빙 렌즈가 고정된다. 따라서 전압인가시 정전기력에 의하여 무빙 렌즈가 고정된 부분이 상하로 이동하게 되어 미세하게 무빙 렌즈를 조정하여 오토 포커싱(Auto Focusing) 기능을 수행할 수 있다.In the MEMS actuator, a moving lens is fixed to a silicon wafer instead of a conventional voice coil. Therefore, when the voltage is applied, the portion where the moving lens is fixed by the electrostatic force moves up and down, thereby finely adjusting the moving lens to perform an auto focusing function.

그러나 이러한 MEMS 액추에이터는 얇은 실리콘 웨이퍼에 미세패턴으로 형성되므로 충격에 취약한 문제가 있으며, 특히 MEMS 액추에이터에 무빙 렌즈가 고정되는 부분은 변형이 용이하도록 두께가 얇게 형성되므로 작은 외부 충격에도 쉽게 파단되어 오토 포커스 기능을 제대로 수행할 수 없는 문제가 발생한다.However, these MEMS actuators are vulnerable to impact because they are formed in a thin silicon wafer with a fine pattern. Especially, the moving lens is fixed to the MEMS actuator in a thin thickness so that they are easily deformed so that they are easily broken even in small external impacts. There is a problem that can not function properly.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로서, 내충격성이 뛰어난 MEMS 액추에이터 및 이를 포함하는 카메라 모듈을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a MEMS actuator excellent in impact resistance and a camera module including the same.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 MEMS 액추에이터는 무빙 렌즈가 고정되는 렌즈고정부를 포함하는 카메라 모듈용 MEMS 액추에이터에 있어서, 상기 렌즈고정부는 복수 개의 마운트 패드가 원호부에 의하여 연결되는 환형링, 상기 환형링을 수용하는 개구부가 중앙에 형성되는 바디부, 및 상기 원호부 중앙에서 상기 바디부를 연결하는 플렉쳐를 포함한다.MEMS actuator of the present invention is a MEMS actuator for a camera module including a lens fixing to which the moving lens is fixed in order to achieve the above object, the lens fixing is an annular ring in which a plurality of mount pads are connected by an arc portion. A body portion having an opening for accommodating the annular ring is formed at the center, and a complex connecting the body portion at the center of the arc portion.

또한, 상기 개구부에는 상기 마운트 패드를 수용하는 오목부가 형성되고, 상기 플렉쳐는 상기 원호부의 중앙에서 연장되고 분기되어 상기 오목부의 양 경계지점과 연결된다.In addition, a recess is formed in the opening to accommodate the mount pad, and the flexure extends and branches from the center of the arc to be connected to both boundary points of the recess.

상기 환형링의 두께는 50~55㎛이고, 상기 플렉쳐의 두께는 50~60㎛로 구성될 수 있다.The thickness of the annular ring is 50 ~ 55㎛, the thickness of the complex may be composed of 50 ~ 60㎛.

그리고 상기 서로 이웃하는 마운트 패드에서 상기 환형링의 중심 방향으로 연장된 연장선은 서로 직각을 이루도록 형성될 수 있다.In addition, the extension lines extending in the center direction of the annular ring in the adjacent mounting pads may be formed to be perpendicular to each other.

상기와 같은 구성에 의하여 플렉쳐가 수평 방향과 수직방향의 응력을 충분히 분산시킬 수 있고, 외부 충격에도 내충격성이 뛰어난 장점이 있다.Due to the configuration described above, the flexure can sufficiently disperse the stresses in the horizontal and vertical directions and has excellent impact resistance against external impact.

또한, 플렉쳐가 수직 방향으로는 변형률이 작아 렌즈의 관성력에 의하여 자세 안정시간이 증가하는 것을 방지할 수 있다.In addition, since the strain is small in the vertical direction, it is possible to prevent the posture stabilization time from increasing due to the inertial force of the lens.

도 1은 본 발명의 실시에에 따른 카메라 모듈의 단면도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 MEMS 액추에이터 평면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 렌즈고정부의 평면도,
도 4는 도 3의 A부분 확대도,
도 5a는 비교 실시예의 수평방향 내부 응력을 보여주는 시뮬레이션,
도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 렌즈고정부에 수평 방향의 내부 응력을 보여주는 시뮬레이션,
도 6a는 비교 실시예의 수직 방향의 내부 응력을 나타내는 시뮬레이션,
도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 렌즈고정부에 수직 방향의 내부 응력을 보여주는 시뮬레이션,
1 is a cross-sectional view of a camera module according to an embodiment of the present invention,
2 is a plan view of a MEMS actuator according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of a lens fixing part according to an embodiment of the present invention;
4 is an enlarged view of a portion A of FIG. 3;
5a is a simulation showing the horizontal internal stress of the comparative example,
Figure 5b is a simulation showing the internal stress in the horizontal direction on the lens fixing in accordance with an embodiment of the present invention,
6A is a simulation showing the internal stress in the vertical direction of the comparative example,
Figure 6b is a simulation showing the internal stress in the vertical direction to the lens fixing according to an embodiment of the present invention,

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다.While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다.Terms including ordinal numbers such as first and second may be used to describe various components, but the components are not limited by the terms.

상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제2 구성요소는 제1 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제1 구성요소도 제2 구성요소로 명명될 수 있다.For example, without departing from the scope of the present invention, the second component may be referred to as a first component, and similarly, the first component may also be referred to as a second component.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급될 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, .

반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

또한 본 출원에서 첨부된 도면은 설명의 편의를 위하여 확대 또는 축소하여 도시된 것으로 이해되어야 한다.In addition, it is to be understood that the accompanying drawings in this application are shown enlarged or reduced for convenience of description.

이제 본 발명에 대하여 도면을 참고하여 상세하게 설명하고, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will now be described in detail with reference to the drawings. Like reference numerals designate like elements throughout, and duplicate descriptions thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 카메라 모듈의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 MEMS 액추에이터의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 렌즈고정부의 평면도이고, 도 4는 도 3의 A부분 확대도이다.1 is a cross-sectional view of a camera module according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view of a MEMS actuator according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a plan view of a lens fixing according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is an enlarged view of portion A of FIG. 3.

본 발명의 실시예에 따른 카메라 모듈은 무빙 렌즈(410)를 상하로 움직이는 MEMS 액추에이터(10)와, 상기 MEMS 액추에이터(10)를 고정하고 내부에 다수 개의 렌즈(420,430,440)를 포함하는 배럴(20)과, 상기 배럴(20)의 하부에 위치하여 상기 배럴(20)을 고정하는 홀더(30) 및 내부를 차폐하는 커버(40)를 포함한다.The camera module according to the embodiment of the present invention includes a MEMS actuator 10 which moves the moving lens 410 up and down, and a barrel 20 which fixes the MEMS actuator 10 and includes a plurality of lenses 420, 430, and 440 therein. And a holder 30 positioned below the barrel 20 to fix the barrel 20 and a cover 40 to shield the inside.

상기 배럴(20)과 홀더(30) 및 커버(40)는 일반적으로 MEMS 액추에이터가 내장되는 카메라 모듈의 구성이 동일하게 적용될 수 있으므로 더 이상의 자세한 설명은 생략한다.The barrel 20, the holder 30, and the cover 40 generally have the same configuration as the camera module in which the MEMS actuator is built, and thus the detailed description thereof will be omitted.

상기 MEMS(Micro electromechanical Systems) 액추에이터(10)는 기존의 보이스 코일 대신 실리콘 웨이퍼를 사용하여 무빙 렌즈(410)를 상하로 이동시켜 미세하게 무빙 렌즈(410)를 조정하여 오토 포커싱(Auto Focusing) 기능을 수행한다.The MEMS (Micro electromechanical Systems) actuator 10 uses a silicon wafer instead of the conventional voice coil to move the moving lens 410 up and down to finely adjust the moving lens 410 to perform an auto focusing function. Perform.

도 2를 참조하여 더욱 자세하게 살펴보면, 상기 MEMS 액추에이터(10)는 실리콘 웨이퍼에 패턴을 형성하여 제작되며, 크게 사각형상의 프레임(300)과 상기 프레임(300)의 중앙에 위치하여 무빙 렌즈가 고정되는 렌즈고정부(100) 및 상기 렌즈고정부(100)와 프레임(300)에 연결된 모션 컨트롤러(200)로 구분된다.Referring to FIG. 2, the MEMS actuator 10 is formed by forming a pattern on a silicon wafer, and is positioned in the center of the rectangular frame 300 and the frame 300 to fix the moving lens. The fixing unit 100 and the lens fixing unit 100 and the motion controller 200 connected to the frame 300 is divided.

상기 도면은 이해를 돕기 위해 예시된 것으로서 상기 구성은 실시에 맞게 다양하게 변형될 수 있다.As the drawings are illustrated to help understand, the configuration may be variously modified to suit the implementation.

상기 MEMS 액추에이터(10)는 정전기력(electrostatic force)에 의하여 구동되어 전압인가시 상기 렌즈고정부(100)가 상기 프레임(300)과의 인력과 척력에 의하여 상하로 이동하게 된다.The MEMS actuator 10 is driven by an electrostatic force so that when the voltage is applied, the lens fixing part 100 moves up and down by the attraction force and the repulsive force with the frame 300.

상기 모션 컨트롤러(200)는 상기 렌즈고정부(100)와 힌지(210)로 연결되어 있어 상기 렌즈고정부(100)의 상하 이동이 용이하도록 구성된다.The motion controller 200 is connected to the lens fixing part 100 and the hinge 210 to facilitate the vertical movement of the lens fixing part 100.

이러한 구성에 의하여 MEMS 액추에이터(10)는 구동하는 전류가 상대적으로 작아져 전력소모량에서 기존의 VCM(Voice Coil Motor) 방식의 액추에이터보다 뛰어난 장점이 있다.By such a configuration, the MEMS actuator 10 has a relatively small current to drive, and thus has an advantage over the conventional VCM (Voice Coil Motor) actuator in power consumption.

도 3을 참조하면, 상기 렌즈고정부(100)는 크게 환형링(130)과 상기 환형링(130)이 수용되는 바디부(110) 및 상기 환형링(130)과 바디부(110)를 연결하는 플렉쳐(120)로 구성된다.Referring to FIG. 3, the lens fixing part 100 connects the annular ring 130 and the body portion 110 in which the annular ring 130 is accommodated, and the annular ring 130 and the body portion 110. It is composed of a flexure 120.

상기 환형링(130)은 무빙 렌즈가 고정될 수 있는 마운트 패드(131)가 복수 개 형성되고 상기 복수 개의 마운트 패드(131)를 연결하는 복수 개의 원호부(132)로 구성되어 상기 환형링(130)의 내부 홀(H)에 무빙 렌즈의 볼록부(도 1의 410a)가 끼워지게 된다.The annular ring 130 is formed of a plurality of mount pads 131 to which a moving lens can be fixed, and is formed of a plurality of arc portions 132 connecting the plurality of mount pads 131 to the annular ring 130. The convex portion (410a of FIG. 1) of the moving lens is fitted into the inner hole H of FIG.

상기 마운트 패드(131)는 서로 대칭 구조를 갖는 복수 개로 형성될 수 있다. 예를 들면, 서로 마주보는 2개의 마운트 패드(131)로 구성되거나 4개의 마운트 패드(131)로 형성될 수 있다. 만약 4개의 마운트 패드(131)로 형성된 경우 각각의 마운트 패드(131)에서 상기 환형링(130)의 중심까지 연장한 연장선은 서로 90°를 갖도록 형성될 수 있다.The mount pad 131 may be formed in plurality in symmetrical structure with each other. For example, two mount pads 131 facing each other or four mount pads 131 may be formed. If four mount pads 131 are formed, extension lines extending from each mount pad 131 to the center of the annular ring 130 may be formed to have 90 ° to each other.

상기 바디부(110)는 상기 환형링(130)이 수용될 수 있도록 개구부(111)가 형성되어 있으며, 상기 개구부(111)에는 상기 마운트 패드(131)를 수용하기 위한 오목부(112)가 더 형성된다.The body part 110 has an opening 111 formed to accommodate the annular ring 130, and a recess 112 for accommodating the mount pad 131 is further formed in the opening 111. Is formed.

상기 플렉쳐(120)는 상기 원호부(132)의 중앙에서 연장되고 분기되어 각각 상기 오목부(112)의 경계지점(112a)과 연결되어 형성된다. (여기서 상기 오목부의 경계지점은 바디부에 형성되어 있는 개구부와 오목부가 만나는 지점을 지칭한다.)The complex 120 extends and branches from the center of the arc portion 132 and is connected to the boundary point 112a of the recess 112, respectively. (Here, the boundary point of the concave portion refers to a point where the opening formed in the body portion and the concave portion meet.)

이를 더욱 자세하게 살펴보면, 상기 플렉쳐(120)는 상기 원호부 중앙(P)에서 연장되는 제1연결부(123)와 상기 제1연결부(123)에서 분기되는 연장부(122) 및 상기 연장부(122)의 양측이 오목부(112)의 경계지점(112a)과 연결되는 제2연결부(121)로 구성된다.In detail, the flexure 120 includes a first connection portion 123 extending from the arc portion P and an extension portion 122 and the extension portion 122 branching from the first connection portion 123. Both sides of the) is composed of a second connection portion 121 is connected to the boundary point 112a of the recess 112.

이때 환형링(130)의 두께는 50~55㎛, 상기 연장부(122)의 두께는 50~60㎛로 형성되어 구조 강도가 개선되고 내충격성이 향상되도록 구성될 수 있다.In this case, the thickness of the annular ring 130 is 50 ~ 55㎛, the thickness of the extension 122 is formed of 50 ~ 60㎛ can be configured to improve the structural strength and impact resistance.

상기 연장부(122)와 바디부(110) 사이에는 원호를 갖는 장홀(H1)이 형성된다. 이러한 구성에 의하여 상기 환형링(130)의 내부 홀(H)에 무빙 렌즈의 볼록부(도 1의 410a)가 삽입되면 상기 연장부(122)가 충분히 후방으로 밀리면서 상기 무빙 렌즈를 고정하게 된다.A long hole H1 having an arc is formed between the extension part 122 and the body part 110. By such a configuration, when the convex portion 410a of the moving lens is inserted into the inner hole H of the annular ring 130, the extension portion 122 is pushed sufficiently backward to fix the moving lens. .

상기 무빙 렌즈가 삽입되는 경우 플렉쳐(120)에 가해진 수평 응력이 분산되는 과정을 살펴보면, 상기 제1연결부(123)에 가장 많은 응력이 발생하게 되나 상기 제1연결부(123)와 연결된 상기 연장부(122)가 길이방향으로 최대한 연장되어 있으므로 용이하게 응력이 분산되게 된다.Looking at the process of dispersing the horizontal stress applied to the flexure 120 when the moving lens is inserted, the most stress is generated in the first connector 123, but the extension part connected to the first connector 123 Since 122 extends as far as possible in the longitudinal direction, stress is easily dispersed.

상기 오목부(112)에는 스토퍼(113)가 돌출형성되어 무빙 렌즈가 과도하게 한쪽으로 치우쳐 삽입되어 상기 제1연결부(123)가 파단되는 문제를 방지하도록 구성될 수 있다.The stopper 113 may protrude from the recess 112 so that the moving lens may be excessively inserted into one side to prevent the first connector 123 from breaking.

상기 플렉쳐(120)에 가해진 수직 응력이 분산되는 과정을 살펴보면, 상기 렌즈고정부(100)가 상기 무빙 렌즈에 의하여 카메라의 초점이 맞추어 지도록 연속적으로 상하로 이동한다.Looking at the process of dispersing the vertical stress applied to the flexure 120, the lens fixing part 100 is continuously moved up and down to focus the camera by the moving lens.

이후 초점이 맞추어져 상기 렌즈고정부가 정지하는 경우 상기 무빙렌즈는 상하방향으로 관성력을 갖게된다.After that, when the lens is fixed and the lens is fixed, the moving lens has an inertial force in the vertical direction.

그러나 상기 플렉쳐(120)는 상하방향으로는 변형량이 적도록 설계되어 무빙 렌즈는 관성력에 의한 진동시간이 감소하게 되므로 자세안정시간이 짧아지게 된다.However, since the flexure 120 is designed to have a small amount of deformation in the vertical direction, the moving lens has a reduced vibration time due to inertial force, thereby shortening the posture stabilization time.

따라서 상기 관성력은 상기 플렉쳐에 수직 방향의 내부 응력으로 작용하게 된다. 그러나 상기 플렉처의 연장부(123)가 상기 오목부(112)의 양 경계지점(112a)까지 최대한 길게 연장되어 형성되어 있으므로 상기 수직 응력을 효과적으로 분산시키게 된다. Therefore, the inertial force acts as an internal stress in the direction perpendicular to the flexure. However, since the extension part 123 of the complex is formed to extend as long as possible to both boundary points 112a of the recess 112, the vertical stress is effectively distributed.

또한, 상기 연장부는 50~60㎛의 두께를 갖도록 형성되어 충격에 의하여 파단되지 않게 된다.In addition, the extension is formed to have a thickness of 50 ~ 60㎛ is not broken by the impact.

즉, 상기 플렉쳐의 연장부의 두께와 길이가 증가됨으로써, 오토 포커스시 진동시간이 감소하면서도 두께에 의하여 구조적인 강도가 증가하고 응력의 분산이 용이하여 수직 응력이나 외부 충격에 의하여 부러지지 않게 되는 것이다.That is, by increasing the thickness and length of the extension portion of the flexure, while the vibration time during autofocus decreases, the structural strength increases by the thickness and the stress is easily dispersed, so that it is not broken by vertical stress or external impact.

이하 도 5와 도 6을 참조하여 본 발명에 의한 응력이 분산되는 상태를 살펴본다. 이때 본 발명의 실시예에 따른 렌즈고정부(100)는 환형링(130)의 두께가 50㎛, 상기 연장부(122)의 두께는 55㎛, 상기 환형링과 연장부의 거리는 45㎛, 상기 연장부와 바디부의 거리는 45㎛로 구성되었고, 비교 실험예는 양 마운트 패드 사이에 2개의 플렉쳐의 두께가 30㎛이고 기울어져 각각 연결되었다. Hereinafter, a state in which stresses according to the present invention are dispersed will be described with reference to FIGS. 5 and 6. At this time, the lens fixing part 100 according to the embodiment of the present invention has a thickness of the annular ring 130 is 50㎛, the thickness of the extension 122 is 55㎛, the distance between the annular ring and the extension is 45㎛, the extension The distance between the body portion and the body portion was 45 μm, and in the comparative experimental example, the thicknesses of the two complexes between the two mount pads were 30 μm and tilted, respectively.

먼저 수평방향의 내부 응력을 살펴보면 상기 비교 실험예는 도 5a와 같이 최대 응력값이 521MPa인 것에 비하여 본 발명의 렌즈고정부(100)는 도 5b에서 알 수 있듯이 제1연결부에 가해지는 최대 응력값이 225MPa로 비교 실험예에 비하여 최대 응력값이 56% 감소한 것을 알 수 있다.Looking at the internal stress in the horizontal direction first, the comparative experimental example has a maximum stress value of 521 MPa as shown in Figure 5a, the lens fixing part 100 of the present invention as shown in Figure 5b the maximum stress value applied to the first connection portion This 225 MPa shows that the maximum stress value was reduced by 56% compared with the comparative experimental example.

또한, 수직 방향의 응력은 비교 실험예는 도 6a와 같이 최대 응력값이 460MPa인 것에 비하여 본 발명의 렌즈고정부(100)는 도 6b와 같이 298MPa로 비교 실험예에 비하여 최대 응력값이 35%감소하였음을 알 수 있다.
In addition, the comparative stress in the vertical direction is a maximum stress value of 460 MPa as shown in Figure 6a, while the lens fixing part 100 of the present invention is 298MPa as shown in Figure 6b, the maximum stress value is 35% compared to the comparative example It can be seen that the decrease.

위에서 설명된 본 발명의 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.The embodiments of the present invention described above are disclosed for purposes of illustration, and those skilled in the art having various ordinary knowledge of the present invention may make various modifications, changes, and additions within the spirit and scope of the present invention. Additions should be considered to be within the scope of the following claims.

100: 렌즈고정부 110: 바디부
111: 개구부 112: 오목부
120: 렌즈고정부 121: 제1연결부
122: 연장부 123: 제2연결부
130: 환형링 131: 마운트 패드
132: 원호부 410: 무빙 렌즈
100: lens fixing 110: body portion
111: opening 112: recess
120: lens fixing 121: first connection portion
122: extension portion 123: second connection portion
130: annular ring 131: mount pad
132: arc 410: moving lens

Claims (6)

무빙 렌즈가 고정되는 렌즈고정부를 포함하는 MEMS 액추에이터에 있어서,
상기 렌즈고정부는 복수 개의 마운트 패드가 원호부에 의하여 연결되는 환형링, 상기 환형링을 수용하는 개구부가 중앙에 형성되는 바디부, 및 상기 원호부 중앙에서 상기 바디부를 연결하는 플렉쳐를 포함하는 MEMS 액추에이터.
In the MEMS actuator comprising a lens fixing to which the moving lens is fixed,
The lens fixing part includes an annular ring having a plurality of mount pads connected by an arc portion, a body portion having an opening for accommodating the annular ring, and a complex connecting the body portion at the center of the arc portion. Actuator.
제1항에 있어서, 상기 개구부에는 상기 마운트 패드를 수용하는 오목부가 형성되고, 상기 플렉쳐는 상기 원호부의 중앙에서 연장되어 분기되고 상기 오목부의 양 경계지점과 연결되는 MEMS 액추에이터.The MEMS actuator of claim 1, wherein a recess is formed in the opening to receive the mount pad, and the flexure extends and branches from the center of the arc and is connected to both boundary points of the recess. 제2항에 있어서, 상기 환형링의 두께는 50~55㎛이고, 상기 플렉쳐의 두께는 50~60㎛인 MEMS 액추에이터.The MEMS actuator according to claim 2, wherein the annular ring has a thickness of 50 to 55 µm and the thickness of the flexure ring is 50 to 60 µm. 제1항에 있어서, 상기 서로 이웃하는 마운트 패드에서 상기 환형링의 중심 방향으로 연장된 연장선은 서로 직각을 이루는 MEMS 액추에이터.The MEMS actuator of claim 1, wherein the extension lines extending from the neighboring mount pads toward the center of the annular ring are perpendicular to each other. 제2항에 있어서, 상기 오목부에는 하나 이상의 스토퍼가 형성된 MEMS 액추에이터.The MEMS actuator of claim 2, wherein at least one stopper is formed in the recess. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 MEMS 액추에이터를 포함하는 카메라 모듈.Camera module comprising the MEMS actuator of any one of claims 1 to 5.
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