KR20120090706A - Reticle and reticle cassette stocker - Google Patents

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KR20120090706A KR1020110011273A KR20110011273A KR20120090706A KR 20120090706 A KR20120090706 A KR 20120090706A KR 1020110011273 A KR1020110011273 A KR 1020110011273A KR 20110011273 A KR20110011273 A KR 20110011273A KR 20120090706 A KR20120090706 A KR 20120090706A
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    • G03F7/2059—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a scanning corpuscular radiation beam, e.g. an electron beam
    • G03F7/2063—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a scanning corpuscular radiation beam, e.g. an electron beam for the production of exposure masks or reticles

Abstract

PURPOSE: A reticle and reticle cassette storage device is provided to reduce the mobility load rate of an OHT(Overhead hoist transfer) to transfer a reticle. CONSTITUTION: A reticle cassette storage unit includes a first storage module(140) to store a reticle cassette. A reticle storage unit is installed near the reticle cassette storage unit and includes a second storage module(250) to store a reticle. A cassette transfer device(150) transfers the reticle cassette between the reticle cassette storage unit and the reticle storage unit and is installed in the reticle cassette storage unit.

Description

레티클 및 레티클 카세트 저장장치{Reticle and reticle cassette stocker}Reticle and reticle cassette stocker

본 발명은 레티클 및 레티클 카세트를 저장하고 출납하는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치에 관한 것이다. The present invention relates to a reticle and a reticle cassette storage device for storing and withdrawing a reticle and a reticle cassette.

반도체 제장 공정 중에서 미리 설계된 회로패턴을 실리콘 웨이퍼 상에 찍는 공정을 포토리소그래피(Photolithography)공정이라고 하며, 포토리소그래피공정은 크게 감광막 도포공정, 노광공정, 현상공정 등으로 이루어진다. 여기서, 노광공정은 포토레지스트가 도포된 웨이퍼를 웨이퍼 스테이지에 안착시켜 이 웨이퍼의 일정지역에만 빛을 쬠으로써 레티클 스테이지에 안착된 레티클(Reticle)의 패턴을 웨이퍼로 옮기는 공정이다. A process of printing a predesigned circuit pattern on a silicon wafer in a semiconductor manufacturing process is called a photolithography process, and the photolithography process is largely made of a photoresist coating process, an exposure process, a developing process, and the like. Here, the exposure process is a process of transferring a pattern of a reticle seated on a reticle stage by placing a photoresist-coated wafer on a wafer stage and illuminating only a predetermined region of the wafer.

노광공정에 사용되는 레티클은 레티클 카세트 내부에 수용된 상태로 OHT(Overhead hoist transfer) 등의 이송장치나 사용자를 통해 저장장치와 노광공정이 수행되는 위치로 이동된다. The reticle used in the exposure process is moved to a position where the storage device and the exposure process are performed through a user such as an OHT (overhead hoist transfer) or a user accommodated in the reticle cassette.

본 발명의 일 측면은 레티클과 레티클 카세트가 하나의 장치에서 보관될 수 있는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치를 제공하는 것이다. One aspect of the present invention is to provide a reticle and a reticle cassette storage device in which the reticle and the reticle cassette can be stored in one device.

본 발명의 일 측면에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치는 레티클 카세트를 저장하기 위한 제1스토리지 모듈을 구비하는 레티클 카세트 저장부와, 상기 레티클 카세트 저장부와 근접하게 설치되며 레티클의 저장하기 위한 제2스토리지 모듈을 구비하는 레티클 저장부와, 상기 레티클 카세트 저장부와 상기 레티클 저장부 사이에서 레티클 카세트를 이송하는 카세트 이송장치를 포함한다.According to an aspect of the present invention, a reticle and a reticle cassette storage device includes a reticle cassette storage unit including a first storage module for storing a reticle cassette, and a second reticle cassette storage unit installed adjacent to the reticle cassette storage unit. And a reticle storage unit having a storage module, and a cassette transfer device for transferring the reticle cassette between the reticle cassette storage unit and the reticle storage unit.

또한, 카세트 이송장치는 상기 레티클 카세트 저장부의 내부에 설치될 수 있다.In addition, the cassette transport apparatus may be installed inside the reticle cassette storage unit.

또한, 레티클 카세트 저장부 및 레티클 저장부는 레티클 카세트를 출납하기 위하여 제1 및 제2 로드포트모듈을 각각 구비하며, 카세트 이송장치는 상기 제1로드포트모듈, 상기 제1스토리지모듈 및 상기 제2로드포트모듈사이에서 레티클 카세트를 이송하도록 설정된다.In addition, the reticle cassette storage unit and the reticle storage unit is provided with a first and a second load port module for discharging the reticle cassette, respectively, the cassette transfer device is the first load port module, the first storage module and the second rod It is set to transfer reticle cassettes between port modules.

또한, 카세트 이송장치는 레티클 카세트를 일 수평방향으로 정의되는 X축방향으로 진퇴운동시키기 위한 X축 이송부와, X축 이송부를 상기 X축과 직교하는 수평방향으로 정의되는 Y축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Y축 이송부와, Y축 이송부를 수직방향으로 정의되는 Z축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Z축 이송부를 포함한다.Also, the cassette conveying apparatus includes an X-axis conveying unit for advancing and moving the reticle cassette in the X-axis direction defined in one horizontal direction, and moving the X-axis conveying unit in the Y-axis direction defined in the horizontal direction perpendicular to the X-axis. And a Z-axis feeder for advancing and moving the Y-axis feeder in the Z-axis direction defined in the vertical direction.

또한, X축 이송부는 레티클 카세트가 이송과정 중 회전되지 않도록 X축방향 이동에 의해 상기 레티클 카세트와 슬라이딩되며 상기 레티클 카세트를 로딩 및 언로딩하는 카세트 그립퍼와, 상기 카세트 그립퍼가 상기 X축방향으로 진퇴운동하도록 구동하는 구동장치를 포함한다.In addition, the X-axis transfer unit is a cassette gripper for sliding and loading and unloading the reticle cassette by the X-axis movement so that the reticle cassette is not rotated during the transfer process, and the cassette gripper is advanced in the X-axis direction And a drive for driving to move.

레티클 저장부는 제2로드포트모듈과 상기 제2스토리지모듈사이에서 레티클을 이송하는 레티클 이송장치과, 상기 레티클 이송장치가 수용되는 제1실의 공기를 관리하는 제1 내기관리유닛과, 제2스토리지모듈이 설치되는 제2실의 공기를 관리하는 제2내기관리유닛을 포함한다.The reticle storage unit includes a reticle transfer device for transferring a reticle between a second load port module and the second storage module, a first bet management unit that manages air in a first chamber in which the reticle transfer device is accommodated, and a second storage module. And a second bet management unit that manages air in the second chamber to be installed.

또한, 제1,2 내기관리유닛은 레티클 저장장치의 상부에 설치되며, 송풍력을 발생시키는 팬과, 팬을 통해 송풍되는 공기를 필터를 하기 위한 필터링 모듈과, 팬을 통해 순환되는 공기를 냉각시키기 위한 열교환기를 각각 포함한다.In addition, the first and second bet management unit is installed on the upper portion of the reticle storage device, the fan for generating a blowing force, a filtering module for filtering the air blown through the fan, and cools the air circulated through the fan Each of which includes a heat exchanger.

또한, 제2실은 제2스토리지모듈이 수용되며 제2내기관리유닛의 팬으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로와, 송풍안내유로의 외측 네 모서리부분에 배치되며 상기 송풍안내유로를 통과한 공기를 상기 팬으로 흡입될 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로를 포함한다. In addition, the second chamber is accommodated in the second storage module and the air flow guided by the air blown from the fan of the second bet management unit is guided down, disposed in the outer four corners of the air flow guide flow path and passed through the air flow guide flow path And a suction guiding passage for upwardly guiding air to be sucked into the fan.

제1실은 레티클 이송장치가 수용되며 제1내기관리유닛의 상기 팬으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로와, 송풍안내유로의 후방에 배치되며 상기 송풍안내유로를 통과한 공기를 상기 팬으로 흡입될 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로를 포함한다.The first chamber is accommodated with a reticle conveying device and the air flow guided to guide the air blown down from the fan of the first bet management unit, the air flow guide flow path is disposed in the rear of the air flow guide flow path is arranged behind the fan And a suction guide flow passage which guides up so that it can be suctioned.

상술한 바와 같이, 레티클 저장부와 레티클 카세트 저장부가 하나의 장치에 구성되어 레티클과 레티클 카세트를 하나의 장치에 보관함으로써 레티클 카세트를 이송시키는 OHT(Overhead hoist transfer)의 이동부하율을 감소시켜 공장설비의 투자비용이 절감되도록 하며, 레티클의 보관 품질을 향상시킬 수 있어 공장의 생산성을 향상시키는 효과가 있다. As described above, the reticle storage unit and the reticle cassette storage unit are configured in one device, and the reticle and reticle cassettes are stored in one device to reduce the moving load rate of overhead hoist transfer (OHT) for transferring the reticle cassette. The investment cost is reduced, and the storage quality of the reticle can be improved, thereby improving the productivity of the plant.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치의 레티클 카세트 저장부의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치의 레티클 저장부의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치의 단면도이다.
도 4는 도 3의 카세트 이송장치의 사시도이다.
도 5는 도 4의 카세트 이송장치의 그립퍼의 동작을 나타낸 측면도이다.
도 6은 도 3의 레티클 이송장치 및 제2스토리지 모듈에 대한 사시도이다.
도 7은 도 3의 레티클 및 레티클 카세트 저장부의 횡단면도이다. 1 is a perspective view of a reticle cassette storage unit of the reticle and the reticle cassette storage device according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of the reticle storage unit of the reticle and the reticle cassette storage device according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a reticle and a reticle cassette storage device according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of the cassette feeder of FIG.
FIG. 5 is a side view illustrating an operation of the gripper of the cassette transport apparatus of FIG. 4. FIG.
6 is a perspective view of the reticle transport device and the second storage module of FIG.
7 is a cross-sectional view of the reticle and reticle cassette reservoir of FIG. 3.

이하에서는 본 발명에 따른 일 실시예에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치를 도면을 참조하여 설명한다. Hereinafter, a reticle and a reticle cassette storage device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 및 레티클 카세트 저장장치는 도 1 내지 3에 도시한 바와 같이, 레티클 카세트 저장부(100)와, 레티클 저장부(200) 및 레티클 카세트 저장부(100)와 레티클 저장부(200) 사이에서 레티클 카세트를 이송하는 카세트 이송장치(150)를 포함한다. Reticle and reticle cassette storage device according to an embodiment of the present invention, as shown in Figure 1 to 3, the reticle cassette storage unit 100, the reticle storage unit 200 and the reticle cassette storage unit 100 and the reticle It includes a cassette transfer device 150 for transferring the reticle cassette between the storage unit 200.

레티클 카세트 저장부(100)는 외관을 형성하는 캐비닛(110)과, 캐비닛(110)의 일측에 마련되는 로드포트모듈(120,130)과, 레티클 카세트(C)가 보관되는 제1스토리지 모듈(140)과, 로드포트 모듈(120,130)과 제1스토리지 모듈(140) 및 후술할 레티클 저장부(200)의 로드포트 모듈(220)사이에서 레티클 카세트(C)를 이송시키는 카세트 이송장치(150)를 포함한다.The reticle cassette storage unit 100 includes a cabinet 110 forming an appearance, load port modules 120 and 130 provided at one side of the cabinet 110, and a first storage module 140 in which the reticle cassette C is stored. And a cassette transfer device 150 for transferring the reticle cassette C between the load port modules 120 and 130 and the first storage module 140 and the load port module 220 of the reticle storage unit 200 to be described later. do.

로드포트 모듈(120, 130)은 레티클 카세트 저장부(200)의 내외로 레티클 카세트(C)가 출입되는 장치로, OHT(Overhead hoist transfer)(O)로부터 이송되는 레티클 카세트를 받아 캐비닛 내부로 이송하거나 캐비닛 내부의 레티클 카세트를 상부로 이송시켜 OHT(O)로 전달하는 OHT포트모듈(120)과, 사용자에 의해 놓여진 레티클 카세트를 캐비닛(110) 내부로 이송하거나 사용자에게 주어질 캐비닛(110) 내부의 레티클 카세트(C)를 외부로 이송시키는 매뉴얼포트 모듈(130)을 포함한다.The load port modules 120 and 130 are devices in which the reticle cassette C enters and exits the reticle cassette storage unit 200. The load port modules 120 and 130 receive the reticle cassettes transferred from the overhead hoist transfer O and transfer them into the cabinet. Or the OHT port module 120 transferring the reticle cassette inside the cabinet to the OHT (O) and the reticle cassette placed by the user to the inside of the cabinet 110 or to the inside of the cabinet 110 to be given to the user. Manual port module 130 for transferring the reticle cassette (C) to the outside.

본 실시예에 의하면 사용빈도가 보다 많은 OHT포트모듈(120)이 캐비닛(110)의 일측 상부에 3개가 배치되어 있으며, 사용자의 접근이 용이하도록 매뉴얼포트 모듈(130)은 OHT포트 모듈(120)의 하부에 2개가 배치되어 있다. According to the present embodiment, three OHT port modules 120 having a higher frequency of use are arranged on one side of the cabinet 110, and the manual port module 130 is an OHT port module 120 to facilitate user access. Two are arranged in the lower part of.

캐비닛(110)의 내부에는 유지보수를 위한 공간이 가운데에 배치되고 이를 중심으로 양측에 다층, 다열구조로 배열되어 레티클 카세트(C)를 수용하는 제1스토리지 모듈(140)이 설치된다.Inside the cabinet 110, a space for maintenance is disposed in the center, and a first storage module 140 is installed at both sides thereof in a multi-layered and multi-row structure to accommodate the reticle cassette C.

모듈화된 제1스토리지 모듈(140)은 캐비넷(110) 내부공간에 조립 및 해체가 용이하며 레티클 카세트(C)가 안착될 수 있도록 커플링핀(미도시)가 마련되며, 레티클 카세트(C)가 수평상태로 저장될 수 있도록 레티클 카세트(C)의 하면을 지지한다.The first modular storage module 140 is easy to assemble and dismantle in the interior space of the cabinet 110, a coupling pin (not shown) is provided so that the reticle cassette (C) can be seated, the reticle cassette (C) is horizontal Support the bottom surface of the reticle cassette C to be stored in the state.

또한, 캐비닛(110)의 내부에는 로드포트 모듈(120,130)로부터 전달되는 레티클 카세트를 제1스토리지 모듈(140) 또는 레티클 저장부(200)로 전달하거나, 이미 저장된 레티클 카세트(C) 또는 레티클 저장장치(200)로부터 전달되는 레티클 카세트를 로드포트 모듈(120, 130)로 이송하기 위한 카세트 이송장치(150)가 마련된다. In addition, the reticle cassette delivered from the load port modules 120 and 130 may be transferred to the first storage module 140 or the reticle storage unit 200 in the cabinet 110, or the reticle cassette C or the reticle storage device that is already stored. A cassette transfer device 150 for transferring the reticle cassette transferred from the 200 to the load port modules 120 and 130 is provided.

도 3 내지 5를 참조하면, 카세트 이송장치(150)는 레티클 카세트를 일 수평방향으로 정의되는 X축방향으로 진퇴운동시키기 위한 X축 이송부(151)와, X축 이송부(151)를 X축과 직교하는 수평방향으로 정의되는 Y축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Y축 이송부(154)와, Y축 이송부를 수직방향으로 정의되는 Z축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Z축 이송부(156)를 포함한다.3 to 5, the cassette conveying apparatus 150 includes an X-axis conveying unit 151 and an X-axis conveying unit 151 for advancing and moving the reticle cassette in the X-axis direction defined in one horizontal direction. And a Y-axis feeder 154 for moving forward and backward in the Y-axis direction defined in the orthogonal horizontal direction, and a Z-axis feeder 156 for moving forward and backward in the Z-axis direction defined in the vertical direction.

여기서, X축 방향은 레티클 카세트에 대한 로딩 및 언로딩 동작으로 위한 수평이동방향과 일치되는 것이 바람직하며, Y축 방향은 제1스토리지모듈(140)이 배열된 폭방향에 일치되는 것이 바람직하다. Here, the X-axis direction is preferably coincident with the horizontal movement direction for loading and unloading operations on the reticle cassette, and the Y-axis direction is preferably coincident with the width direction in which the first storage module 140 is arranged.

X축 이송부(151)는 레티클 카세트(C)가 이송과정 중 회전되지 않도록 X축방향 이동에 의해 레티클 카세트와 슬라이딩되며 레티클 카세트를 로딩 및 언로딩하는 카세트 그립퍼(152)와, 상기 카세트 그립퍼(152)가 X축방향으로 진퇴운동하도록 구동 및 안내하는 구동장치(153)를 포함한다. 구동장치(153)는 풀리(153a)와 밸트(153b)를 포함하여 구성되어 카세트 그립퍼 (152)을 X방향 진퇴이동시킨다.The X-axis transfer unit 151 slides with the reticle cassette by X-axis movement so that the reticle cassette C is not rotated during the transfer process, and a cassette gripper 152 for loading and unloading the reticle cassette, and the cassette gripper 152. ) Includes a driving device 153 for driving and guiding to move forward and backward in the X-axis direction. The driving device 153 includes a pulley 153a and a belt 153b to move the cassette gripper 152 in the X direction.

카세트 그립퍼(152)에 의해 파지되어 이송되는 레티클 카세트(C)는 그 상부에 목부(11)와 플랜지부(12)가 형성되어 있고, 카세트 그립퍼(152)에는 목부(11) 및 플랜지부(12)에 슬라이딩되며 삽입되어 상면에 목부(11) 상측의 플랜지부(12)가 안착될 수 있도록 목부(11)의 폭만큼 이격되어 X축방향으로 평행하게 연장된 안착부(152a)가 형성된다. The reticle cassette C gripped and conveyed by the cassette gripper 152 has a neck 11 and a flange 12 formed thereon, and the cassette gripper 152 has a neck 11 and a flange 12. A sliding portion 152a, which is spaced apart by the width of the neck portion 11 and extended in parallel in the X-axis direction, is formed so that the flange portion 12 of the upper portion of the neck portion 11 is seated on the upper surface.

이와 같은 카세트 그립퍼(152)는 레티클 카세트(C)를 X축상의 전후방향으로 출입될 수 있도록 하여 레티클 카세트(C)가 이송과정 중 회전되지 않고 방향성이 유지되도록 한다.The cassette gripper 152 as described above allows the reticle cassette C to enter and exit in the front-rear direction on the X-axis so that the reticle cassette C is not rotated during the transfer process and maintains the directionality.

X축 이송부(151)는 Y축 이송부(154)에 설치되어 Y축방향으로의 이동이 가능하다.The X-axis feeder 151 is installed in the Y-axis feeder 154 to allow movement in the Y-axis direction.

Y축 이송부(154)는 Y축방향 이동을 안내하기 위하여 Y축방향으로 형성된 수평 가이드 레일(155)과, 수평 가이드 레일(155)의 내부에 설치되는 풀리(미도시) 및 벨트(미도시)와 이들을 구동하기 위한 구동모터(미도시)를 포함하며, 수평가이드 레일(155)의 양측은 후술할 Z축 이송부(156)의 수직 가이드레일(157)에 결합되어 지지된다.The Y-axis feeder 154 includes a horizontal guide rail 155 formed in the Y-axis direction to guide the Y-axis movement, a pulley (not shown) and a belt (not shown) installed inside the horizontal guide rail 155. And a driving motor (not shown) for driving them, and both sides of the horizontal guide rail 155 are coupled to and supported by the vertical guide rails 157 of the Z-axis feeder 156 to be described later.

Z축 이송부(156)는 수직방향으로 평형하게 연장형성된 수직 가이드레일(157)과, 풀리(157a) 및 벨트(157b)와 이들을 구동하기 위한 구동모터(158)를 포함한다.The Z-axis feeder 156 includes a vertical guide rail 157 extending in parallel in the vertical direction, a pulley 157a and a belt 157b, and a driving motor 158 for driving them.

수직가이드 레일(157)의 하부에는 구동모터(158)와, 구동모터(158)의 구동력을 수직 가이드레일의 풀리(157a)에 전달하기 위한 구동축(159)이 마련되어 있다.The lower portion of the vertical guide rail 157 is provided with a drive motor 158 and a drive shaft 159 for transmitting the driving force of the drive motor 158 to the pulley 157a of the vertical guide rail.

수평가이드 레일(155)은 양측이 풀리(157a), 벨트(157b) 및 구동모터(158)에 의해 구동되며 수평 가이드 레일(155)에 의해 수직방향 이동이 안내되는 브라켓(155a)에 결합되어 수직방향인 Z축방향으로 진퇴운동이 가능하다.Both sides of the horizontal guide rail 155 are driven by the pulley 157a, the belt 157b, and the driving motor 158, and are coupled to the bracket 155a where the vertical movement is guided by the horizontal guide rail 155. Retraction movement is possible in the Z-axis direction.

결국, 레티클 카세트(C)를 파지하여 이송하는 카세트 그립퍼(152)는 각 구동부가 허용하는 범위 내에서 X축, Y축 및 Z축 방향으로 3자유도 이동이 가능하여 레티클 카세트는 로드포트 모듈(120,130), 제1스토리지 모듈(140) 및 제2 로드포크 모듈(220) 사이를 자유롭게 이동하며 레티클 카세트(C)를 이송할 수 있다.As a result, the cassette gripper 152 that grips and transfers the reticle cassette C can move in three degrees of freedom in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions within the allowable range of each driving unit. 120 and 130, the first storage module 140 and the second road fork module 220 can move freely and transfer the reticle cassette (C).

도 2 및 3을 참조하면, 레티클 저장부(200)는 카세트 이송장치(150)를 통해 레티클 카세트(C)의 교환이 용이하게 이루어질 수 있도록 레티클 카세트 저장부(200)에 근접하게 설치되며, 외관을 형성하는 캐비닛(210)과, 캐비닛(210)의 내부에 설치되는 제2이송장치(240)와 제2스토리지 모듈(250)과, 캐비닛(210)의 상부에 설치되는 제1 내기관리유닛(260) 및 제2내기관리유닛(270)과, 캐비닛(210)의 외측에 설치되는 제2로드포트모듈(220,230)을 포함한다.2 and 3, the reticle storage unit 200 is installed in close proximity to the reticle cassette storage unit 200 to facilitate the exchange of the reticle cassette (C) through the cassette transfer device 150, the appearance Cabinet 210 to form a, the second transfer device 240 and the second storage module 250 is installed in the interior of the cabinet 210, the first bet management unit installed on the cabinet 210 ( 260 and the second bet management unit 270, and the second load port module (220, 230) installed on the outside of the cabinet (210).

제2로드포트모듈(220, 230)은 레티클 카세트 저장부(100)의 제1이송장치(150)로부터 이송되거나 제1이송장치(150)로 이송될 레티클 카세트가 출입하는 자동포트모듈(220)과, 사용자에 의해 레티클 카세트의 입출입을 위한 매뉴얼 로드포트(230)를 포함한다.The second load port module 220 or 230 is an automatic port module 220 into which the reticle cassette to be transferred from or to the first transfer device 150 of the reticle cassette storage unit 100 is moved in and out. And, the manual load port 230 for the entry and exit of the reticle cassette by a user.

자동포트모듈(220)은 제1이송장치(150)의 그립퍼(152)와의 레티클 카세트 전달이 용이하도록 레티클 카세트 저장부(100)에 대향되는 방향에 그립퍼(152)의 이송을 최소로 하는 위치에 마련되는 것이 바람직하며, 매뉴얼 로드포트(230)는 사용자의 접근이 용이한 부분에 마련되는 것이 바람직하다.The automatic port module 220 is positioned at a position where the transfer of the gripper 152 is minimized in a direction opposite to the reticle cassette storage unit 100 so as to facilitate the transfer of the reticle cassette with the gripper 152 of the first transfer device 150. Preferably, the manual load port 230 is preferably provided at a part that is easily accessible to the user.

제2로드포트모듈(220,230)가 제1로드포트(120,130)와 다른점은 레티클 카세트(C)로부터 레티클(R)을 분리하는 동작과 역으로 레티클(R)을 카세트(C)에 수납시키는 동작이 가능하다는 것이며 레티클(R)로부터 분리된 레티클 카세트(C)를 보관할 수 있는데, 이러한 동작은 공지된 것이므로 여기서는 자세한 내용에 대한 기술은 생략한다.The second load port module (220,230) is different from the first load port (120,130) is the operation of separating the reticle (R) from the reticle cassette (C) and the operation of storing the reticle (R) in the cassette (C) This is possible and it is possible to store the reticle cassette (C) separated from the reticle (R), since this operation is known, the description of the details will be omitted here.

도 6을 참조하면, 제2스토리지 모듈(250)은 레티클(R)에 형성된 패턴면이 오염되는 것을 방지할 수 있도록 레티클(R)의 패턴면이 측면으로 향하도록 수직으로 보관되며, 이를 위해 하측에 배치된 모터(256)에 의해 회전 가능한 원통형상의 중앙부재(251)와, 이 중앙부재(251)의 외면에 장착되어 레티클(R)을 지지하는 다수의 레티클 선반(252)을 구비한다.  Referring to FIG. 6, the second storage module 250 is vertically stored so that the pattern surface of the reticle R faces to the side to prevent the pattern surface formed on the reticle R from being contaminated. And a cylindrical central member 251 rotatable by the motor 256 disposed therein, and a plurality of reticle shelves 252 mounted on the outer surface of the central member 251 to support the reticle R.

중앙부재(251)에 장착된 레티클 선반(252)은 두 개의 링이 연결된 형상으로 이루어진다. 이 레티클 선반(252)의 내외측 링 상면에는 수직 보관되는 레티클(R)의 하부를 지지할 수 있도록 제 1슬롯(253)과 제 2슬롯(254)이 형성되고, 레티클 선반(252)의 내측 링 하면에는 레티클(R)의 상부를 지지할 수 있도록 제 3슬롯(255)이 형성되며, 이때의 슬롯들(253,254,255)은 하나의 세트가 하나의 수직평면상에 배열된다.The reticle shelf 252 mounted to the central member 251 has a shape in which two rings are connected. The first and second slots 253 and 254 are formed on the inner and outer ring upper surfaces of the reticle shelf 252 so as to support the lower portion of the reticle R, which is vertically stored, and the inside of the reticle shelf 252. A third slot 255 is formed on the lower surface of the ring to support the upper portion of the reticle R. In this case, one set of slots 253, 254 and 255 is arranged on one vertical plane.

즉, 레티클(R)은 어느 하나의 레티클 선반(252)에 형성된 제 1슬롯(253)과 제 2슬롯(254)에 하면이 지지되고 레티클 선반(252)의 상부에 배치된 다른 레티클 선반(252)의 하면에 형성된 제 3슬롯(255)에 내측 상면에 지지됨으로써 수직 보관되는 것이다. That is, the reticle R is supported on the lower surface of the first slot 253 and the second slot 254 formed in one of the reticle shelves 252 and another reticle shelf 252 disposed above the reticle shelf 252. It is stored vertically by being supported on the inner upper surface in the third slot (255) formed on the lower surface of.

레티클 이송장치(240)은 캐비닛 내부의 제2스토리지 모듈(250)의 측면에 배치되며, 제2스토리지 모듈(250)과 로드포트모듈(220,230)의 레티클 카세트의 사이에서 레티클(R)을 이송하는 역할을 수행한다. 구체적으로, 레티클 이송장치(240)는 레티클(R)을 파지할 수 있도록 둘 이상의 핑거로 이루어진 그립퍼(242)와, 제2스토리지 모듈(250)에서 수직 보관된 레티클(R)을 수직 및/또는 수평이송할 수 있도록 그립퍼(242)를 회전시키는 틸트부(244)와, 이 틸트부(244)를 전후좌우로 수평이동시키는 제 1구동부(246)와, 이 제 1구동부(246)를 수직이동시키는 제 2구동부(248)를 포함한다. The reticle transfer device 240 is disposed on the side of the second storage module 250 inside the cabinet, and transfers the reticle R between the second storage module 250 and the reticle cassettes of the load port modules 220 and 230. Play a role. Specifically, the reticle conveying device 240 vertically and / or vertically and / or the gripper 242 made of two or more fingers to hold the reticle R and the reticle R stored vertically in the second storage module 250. A tilting part 244 for rotating the gripper 242 to move horizontally, a first driving part 246 for horizontally moving the tilting part 244 horizontally, and a vertical movement of the first driving part 246 The second driving unit 248 to include.

도 2,3 및 7을 참조하면, 캐비닛(210)의 내부공간은 제2이송장치(240)가 설치되는 제1실(211)과 제2스토리지 모듈(250)이 설치되는 제2실(212)로 구분될 수 있으며 제1실(211)과 제2실(212)사이에는 게이트(미도시)가 형성되어 제2이송장치(240)를 통한 레티클(R)의 이동이 가능하게 한다.2, 3, and 7, the interior space of the cabinet 210 includes a first chamber 211 in which the second transfer device 240 is installed and a second chamber 212 in which the second storage module 250 is installed. And a gate (not shown) is formed between the first chamber 211 and the second chamber 212 to allow movement of the reticle R through the second transfer device 240.

레티클 이송장치(240)가 수용되는 제1실(211)의 상부에는 내부의 공기를 관리하는 제1 내기관리유닛(260)이 설치되고, 마찬가지로 제2스토리지모듈(250)이 설치되는 제2실(212)의 상부에는 공기를 관리하는 제2내기관리유닛(270)이 설치된다.In the upper part of the first chamber 211 in which the reticle transfer device 240 is accommodated, a first bet management unit 260 for managing the air therein is installed, and a second chamber in which the second storage module 250 is installed. At the top of the 212, a second bet management unit 270 for managing air is installed.

제1 내기관리유닛(260)은 송풍력을 발생시키는 팬(261)과, 팬(261)을 통해 송풍되는 공기를 필터를 하기 위한 필터링 모듈(262)과, 팬(261)을 통해 순환되는 공기를 냉각시키기 위한 열교환기(263)를 포함한다.The first bet management unit 260 includes a fan 261 generating a blowing force, a filtering module 262 for filtering the air blown through the fan 261, and air circulated through the fan 261. It includes a heat exchanger 263 for cooling the.

마찬가지로, 제2내기관리유닛(270)은 송풍력을 발생시키는 팬(271)과, 팬(271)을 통해 송풍되는 공기를 필터를 하기 위한 필터링 모듈(272)과, 팬(271)을 통해 순환되는 공기를 냉각시키기 위한 열교환기(273)를 포함한다. Similarly, the second bet management unit 270 circulates through the fan 271 for generating the blowing force, the filtering module 272 for filtering the air blown through the fan 271, and the fan 271. And a heat exchanger 273 for cooling the air to be cooled.

이러한 열교환기(263,273)는 외부로부터 냉각수를 공급받아 내기와의 열교환을 통해 내기를 냉각시킬 수 있도록 마련될 수 있다.The heat exchangers 263 and 273 may be provided to cool the bet through heat exchange with the bet by receiving cooling water from the outside.

제1실(211)은 레티클 이송장치(240)가 수용되는 공간으로 제1내기관리유닛(260)의 팬(261)으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로(211a)와, 송풍안내유로(211a)의 후방에 배치되며 송풍안내유로(211a)를 통과한 공기가 팬(261)으로 다시 흡입되어 지속적인 공기순환이 이루어질 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로(211b)를 포함하여 이루어진다.The first chamber 211 is a space in which the reticle transfer device 240 is accommodated, and a blowing guide flow path 211a through which air blown from the fan 261 of the first bet management unit 260 is guided downward, and a blowing guide flow path. It is disposed behind the 211a, and the air passing through the airflow guide flow path 211a includes a suction guide flow path 211b that guides up so that the air is sucked back into the fan 261 to achieve a continuous air circulation.

송풍안내유로(211a)와 흡입안내유로(211b)는 제1실(211)의 하부에서 연통되게 구성되어 하강 및 상승기류가 자연스럽게 유도되도록 구성된다.The air blowing guide passage 211a and the suction guide passage 211b are configured to communicate with each other under the first chamber 211 so that the downward and upward airflows are naturally induced.

마찬가지로, 제2실(212)은 제2스토리지모듈(250)이 수용되는 공간으로 대략 원형에 가까운 형상으로 형성되며 제2 내기관리유닛(270)의 팬(271)으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로(212a)와, 송풍안내유로(212a)의 외측에 형성되는 네 모서리 부분에 형성되며 송풍안내유로(212a)를 통과한 공기가 팬(271)으로 다시 흡입되어 지속적인 공기순환이 이루어질 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로(212b)를 포함하여 이루어진다.Similarly, the second chamber 212 is a space in which the second storage module 250 is accommodated and is formed in a shape substantially close to a circle, and the air blown from the fan 271 of the second bet management unit 270 is guided downward. It is formed at the four corners formed on the outside of the blowing guide flow path 212a and the blowing guide flow path 212a, and the air passing through the blowing guide flow path 212a is sucked back into the fan 271 to achieve continuous air circulation. It comprises a suction guide flow path (212b) to guide so as to rise.

또한, 송풍안내유로(212a)와 흡입안내유로(212b)는 제2실(212)의 하부에서 연통되게 구성되어 하강 및 상승기류가 자연스럽게 유도되도록 구성된다.In addition, the blowing guide passage 212a and the suction guide passage 212b are configured to communicate in the lower portion of the second chamber 212 is configured to naturally guide the falling and rising airflow.

제1실(211) 및 제2실(212)의 내기는 CDA(Clean Dry Air)또는 질소(N2)로 채워지며, 별도의 공급장치를 통해 주기적으로 CDA(Clean Dry Air)또는 질소(N2)를 제1실 및 제2실로 공급된다.The wagers of the first chamber 211 and the second chamber 212 are filled with clean dry air (CDA) or nitrogen (N 2 ), and periodically with a separate supply device, clean dry air (CDA) or nitrogen (N 2). ) Is supplied to the first chamber and the second chamber.

이와 같은 레티클 저장부(200) 내부의 내기는 레티클(R)에 악영향을 주는 화합물과 먼지가 제거된 CDA(Clean Dry Air)또는 질소(N2)로 채워지고 동시에 제1,2내기관리유닛(260,270)과 순환유로구조에 의해 잔류 먼지가 지속적으로 제거되면서 내부의 온도 및 습도가 관리되어 레티클의 보관 품질이 향상될 수 있다.The bet inside the reticle storage unit 200 is filled with CDA (Clean Dry Air) or nitrogen (N 2 ) that has a negative effect on the reticle (R) and dust is removed, and at the same time the first and second bet management units (260,270) ) And circulating flow structure continuously removes residual dust and manages internal temperature and humidity to improve the storage quality of the reticle.

본 발명은 상기에 기재된 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 수정 및 변형할 수 있다는 점은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.The present invention is not limited to the embodiments described above, and it is apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit of the present invention. Accordingly, modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100: 레티클 카세트 저장부 120: OHT로드포트
140: 제1스토리지모듈 150: 카세트 이송장치
200: 레티클 저장부 220: 자동로드포트
240: 레티클 이송장치 250: 제 2 스토리지모듈
260: 제1내기관리유닛 270: 제2내기관리유닛100: reticle cassette storage unit 120: OHT load port
140: first storage module 150: cassette feeder
200: reticle storage unit 220: automatic load port
240: reticle feeder 250: second storage module
260: first bet management unit 270: second bet management unit

Claims (9)

레티클 카세트를 저장하기 위한 제1스토리지 모듈을 구비하는 레티클 카세트 저장부와;
상기 레티클 카세트 저장부와 근접하게 설치되며 레티클의 저장하기 위한 제2스토리지 모듈을 구비하는 레티클 저장부와;
상기 레티클 카세트 저장부와 상기 레티클 저장부 사이에서 레티클 카세트를 이송하는 카세트 이송장치;를 포함하는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치.A reticle cassette storage unit having a first storage module for storing a reticle cassette;
A reticle storage unit installed in proximity to the reticle cassette storage unit and having a second storage module for storing the reticle;
And a cassette transfer device for transferring the reticle cassette between the reticle cassette storage unit and the reticle storage unit. 제 1 항에 있어서,
상기 카세트 이송장치는 상기 레티클 카세트 저장부의 내부에 설치되는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치. The method of claim 1,
The cassette transport apparatus is a reticle and a reticle cassette storage device is installed in the reticle cassette storage unit. 제 2 항에 있어서,
상기 레티클 카세트 저장부 및 레티클 저장부는 레티클 카세트를 출납하기 위하여 제1 및 제2 로드포트모듈을 각각 구비하며,
상기 카세트 이송장치는 상기 제1로드포트모듈, 상기 제1스토리지모듈 및 상기 제2로드포트모듈사이에서 레티클 카세트를 이송하도록 설정되는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치. The method of claim 2,
The reticle cassette storage unit and the reticle storage unit is provided with a first and a second load port module, respectively, for retracting the reticle cassette,
The cassette transport apparatus is a reticle and reticle cassette storage device is configured to transfer the reticle cassette between the first load port module, the first storage module and the second load port module. 제 3 항에 있어서,
상기 카세트 이송장치는 레티클 카세트를 일 수평방향으로 정의되는 X축방향으로 진퇴운동시키기 위한 X축 이송부와,
상기 X축 이송부를 상기 X축과 직교하는 수평방향으로 정의되는 Y축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Y축 이송부와,
상기 Y축 이송부를 수직방향으로 정의되는 Z축방향으로 진퇴이동시키기 위한 Z축 이송부를 포함하는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치. The method of claim 3, wherein
The cassette conveying apparatus includes an X-axis conveying unit for advancing and moving the reticle cassette in the X-axis direction defined in one horizontal direction;
A Y-axis feeder for advancing and moving the X-axis feeder in a Y-axis direction defined by a horizontal direction perpendicular to the X-axis;
A reticle and a reticle cassette storage device including a Z-axis feeder for moving the Y-axis feeder in the Z-axis direction defined in the vertical direction. 제 4 항에 있어서,
상기 X축 이송부는 레티클 카세트가 이송과정 중 회전되지 않도록 X축방향 이동에 의해 상기 레티클 카세트와 슬라이딩되며 상기 레티클 카세트를 로딩 및 언로딩하는 카세트 그립퍼와, 상기 카세트 그립퍼가 상기 X축방향으로 진퇴운동하도록 구동하는 구동장치를 포함하는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치. The method of claim 4, wherein
The X-axis conveying unit slides with the reticle cassette by X-axis movement so that the reticle cassette is not rotated during the conveying process, and a cassette gripper for loading and unloading the reticle cassette, and the cassette gripper moves forward and backward in the X-axis direction. A reticle and a reticle cassette storage device comprising a drive device for driving. 제 3 항에 있어서,
상기 레티클 저장부는 상기 제2로드포트모듈과 상기 제2스토리지모듈사이에서 레티클을 이송하는 레티클 이송장치과, 상기 레티클 이송장치가 수용되는 제1실의 공기를 관리하는 제1 내기관리유닛과, 상기 제2스토리지모듈이 설치되는 제2실의 공기를 관리하는 제2내기관리유닛을 포함하는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치.The method of claim 3, wherein
The reticle storage unit includes a reticle transfer device for transferring a reticle between the second load port module and the second storage module, a first bet management unit that manages air in a first chamber in which the reticle transfer device is accommodated, 2. A reticle and reticle cassette storage device including a second bet management unit that manages air in a second chamber in which a storage module is installed. 제 6 항에 있어서, 상기 제1,2 내기관리유닛은 상기 레티클 저장부의 상부에 설치되며, 송풍력을 발생시키는 팬과, 상기 팬을 통해 송풍되는 공기를 필터를 하기 위한 필터링 모듈과, 상기 팬을 통해 순환되는 공기를 냉각시키기 위한 열교환기를 각각 포함하는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치.The method of claim 6, wherein the first and second bet management unit is installed on the upper portion of the reticle storage, the fan for generating a blowing force, a filtering module for filtering the air blown through the fan, and the fan A reticle and a reticle cassette storage device each including a heat exchanger for cooling air circulated through. 제 7 항에 있어서,
상기 제2실은 상기 제2스토리지모듈이 수용되며 제2내기관리유닛의 상기 팬으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로와, 상기 송풍안내유로의 외측 네 모서리부분에 배치되며 상기 송풍안내유로를 통과한 공기를 상기 팬으로 흡입될 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로를 포함하는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치. The method of claim 7, wherein
The second chamber is accommodated in the second storage module and the air blowing guide flow path is guided down the air blown from the fan of the second bet management unit, and is disposed in the four outer corners of the air blowing guide flow path and the air flow guide flow path A reticle and a reticle cassette storage device comprising a suction guide passage for guiding the air passing therethrough so as to be sucked into the fan. 제 7 항에 있어서,
상기 제1실은 상기 레티클 이송장치가 수용되며 상기 제1내기관리유닛의 상기 팬으로부터 송풍되는 공기가 하강 안내되는 송풍 안내유로와, 상기 송풍안내유로의 후방에 배치되며 상기 송풍안내유로를 통과한 공기를 상기 팬으로 흡입될 수 있도록 상승 안내하는 흡입 안내유로를 포함하는 레티클 및 레티클 카세트 저장장치. The method of claim 7, wherein
The first chamber is accommodated in the reticle transfer device and the air flow guide air flow guided down the air blown from the fan of the first bet management unit, the air disposed in the rear of the air flow guide flow path and the air flow guide flow path A reticle and a reticle cassette storage device comprising a suction guide channel for guiding the suction to be sucked into the fan.
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