KR20120078491A - 유-무기 복합 배리어 필름 및 그 제조 방법 - Google Patents

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KR20120078491A
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Abstract

본 발명은 고분자 기재의 일측 또는 양측에 중간층으로서 무기층을 1회 부분적으로 진공 증착하여 배리어 필름을 만드는 단계; 상기 배리어 필름의 일측 또는 양측에 최외층으로서 유기층 또는 유-무기 하이브리드층을 도포하는 단계; 유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 도포된 배리어 필름을 상기 무기층을 피하여 절단하는 단계; 절단된 배리어 필름을 동일한 간격으로 1회 이상 접는 단계; 및 유기층들 또는 유-무기 하이브리드층들을 경화하여 접힌 배리어 필름을 접합하는 단계;를 포함하여 구성되는 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법에 관한 것이다.

Description

유-무기 복합 배리어 필름 및 그 제조 방법{A organic-inorganic complex barrier film and a process for preparing the same}
본 발명은 고분자 기재의 일측 또는 양측에 유기층 또는 유-무기 하이브리드층과 무기층이 다수 형성된 유-무기 복합 배리어 필름과 그 제조 방법에 관한 것이다.
보다 구체적으로, 본 발명은 중간층인 1층의 무기층이 고분자 기재의 일측 또는 양측에 부분적으로 형성되어 있고 최외층인 유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 고분자 기재의 일측 또는 양측에 형성되어 있고 배리어 필름이 동일한 간격으로 상기 무기층을 피하여 접힌 구조를 가지며, 상기 배리어 필름은 최외층인 상기 유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 경화되어 접합된 유-무기 복합 배리어 필름에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 고분자 기재의 일측 또는 양측에 중간층으로서 무기층을 1회 부분적으로 진공 증착하여 배리어 필름을 만드는 단계; 상기 배리어 필름의 일측 또는 양측에 최외층으로서 유기층 또는 유-무기 하이브리드층을 도포하는 단계; 유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 도포된 배리어 필름을 상기 무기층을 피하여 절단하는 단계; 절단된 배리어 필름을 동일한 간격으로 1회 이상 접는 단계; 및 유기층들 또는 유-무기 하이브리드층들을 경화하여 접힌 배리어 필름을 접합하는 단계;를 포함하여 구성되는, 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법에 관한 것이다.
유기 EL 소자 등의 표시 장치에 종래 사용되어 온 유리 기판은 선팽창계수가 작고 가스 차단성이 우수한 장점에도 불구하고, 내충격성이 약하고 유연성이 없으며 무거운 단점이 있다.
이러한 유리 기판을 플라스틱 필름으로 대체하면 표시 장치가 경량화될 수 있고 유연성 및 내충격성이 우수하여 연속 공정으로 제조할 경우 경제성을 확보할 수 있다.
그러나, 플라스틱 필름이 표시 장치의 기판으로 사용되기 위해서는 높은 증착 온도를 견딜 수 있도록 유리전이온도가 높아야 하고 뒤틀림이 방지되도록 선팽창계수가 작아서 치수 안정성이 높아야 하며, 유기 발광 재료 등의 열화를 방지하기 위해 가스 차단성이 우수하여야 하는 등의 특성들이 요구된다.
그럼에도 불구하고, 이러한 특성을 모두 만족시키는 고분자 기재(고분자-무기물 복합 기재도 포함)는 아직 존재하지 아니하므로 고분자 기재에 다층의 기능성 코팅층을 형성시킴으로써 상기 요구 특성들에 부합하는 플라스틱 필름을 개발하려는 노력이 행하여져 왔다.
가스 차단성이 요구되는 배리어 필름의 기능성 코팅층의 예로서, 산소 및 수증기 등의 가스 차단을 위한 무기 배리어층 및 고분자 기재 표면의 결함을 줄이고 평탄성을 부여하기 위한 유기층을 들 수 있으며, 나아가, 고분자 기재와 무기 배리어층간의 선팽창계수 차이를 완화시키며 층간 접착력을 향상시키거나 무기 배리어층의 결함을 보충하고 크랙을 방지하기 위한 유-무기 하이브리드 코팅층도 유기층을 대신하여 또는 유기층과 함께 사용되고 있다.
수증기 투과율 0.1 g/m2/day 이하의 높은 가스 차단성이 요구되는 유기 EL 디스플레이용 또는 고정세 컬러 액정 디스플레이용 배리어 필름을 제조하기 위한 종래의 공정은, 밀도가 높은 투명한 무기물 또는 나노미터 단위의 얇은 금속 박막을 고분자 필름 위에 스퍼터링법과 같은 물리적 기상 증착법(PVD: physical vapor deposition) 또는 화학적 기상 증착(CVD: chemical vapor deposition)법에 의해 증착하여 무기 배리어층을 형성하는 유닛과, 유기물을 도포 또는 증착한 후 경화시키는 유기층 형성 유닛 또는 졸-겔법(가수분해 축합 및 가교) 등에 의해 유-무기 하이브리드층을 코팅, 건조 및 경화시키는 유-무기 하이브리드층 형성 유닛이 교대로 적어도 2회 이상 반복되면서 연속적으로(in-line) 행해지는 롤투롤(RTR: roll to roll) 방식인 것이 일반적이다.
그리하여, 이러한 종래 기술에 의해 제조된 배리어 필름은, 예컨대, 고분자 기재에 유기층(또는 유-무기 하이브리드층)/무기층 또는 무기층/유기층(또는 유-무기 하이브리드층)이 반복 형성되거나, 기재에 유기층(또는 유-무기 하이브리드층)/무기층/유기층(또는 유-무기 하이브리드층) 또는 무기층/유기층(또는 유-무기 하이브리드층)/무기층이 반복 형성되거나, 기재에 유기층(또는 유-무기 하이브리드층)이 형성되고 다시 무기층이 반복 형성되는 형태의 다층 구조를 갖게 된다.
그러나, 종래 기술에 의한 롤투롤 방식의 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법의 경우, 무기층 진공 증착 공정이 반복되므로 수 십억 원에 달하는 다수의 진공 증착 설비가 필요하여 설비 투자비가 과다하고 이에 따라 제조 원가가 상승하며 다수의 무기층과 유기층(또는 유-무기 하이브리드층)을 교대로 반복 형성함에 따라 공정 관리가 어려운 문제가 있다.
본 발명은 높은 가스 차단성을 발휘하는 유-무기 복합 배리어 필름을 제조함에 있어서 설비 투자비가 과다하여 제조 원가가 상승하며 공정 관리가 어려운 종래 기술에 의한 롤투롤 방식의 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법이 갖는 문제점들이 해결된 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 과제를 해결하기 위한 수단으로서의 유-무기 복합 배리어 필름은, 중간층인 1층의 무기층이 고분자 기재의 일측 또는 양측에 부분적으로 형성되어 있고 최외층인 유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 고분자 기재의 일측 또는 양측에 형성되어 있고 배리어 필름이 동일한 간격으로 상기 무기층을 피하여 접힌 구조를 가지며, 상기 배리어 필름은 최외층인 상기 유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 경화되어 접합된다.
본 발명의 과제를 해결하기 위한 수단으로서의 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법은,
고분자 기재의 일측 또는 양측에 중간층으로서 무기층을 1회 부분적으로 진공 패턴 증착하여 배리어 필름을 만드는 단계;
상기 배리어 필름의 일측 또는 양측에 최외층으로서 유기층 또는 유-무기 하이브리드층을 도포하는 단계;
유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 도포된 배리어 필름을 상기 무기층을 피하여 절단하는 단계;
절단된 배리어 필름을 동일한 간격으로 1회 이상 접는 단계; 및
유기층들 또는 유-무기 하이브리드층들을 경화하여 접힌 배리어 필름을 접합하는 단계;를 포함하여 구성된다.
선택적으로, 본 발명의 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법은,
접힌 배리어 필름의 측면들에 밀봉층을 도포하는 단계; 및
상기 밀봉층을 경화하는 단계;를 더 포함하여 구성된다.
본 발명의 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법은, 더 높은 가스 차단성을 발휘하는 유-무기 복합 배리어 필름을 제공함은 물론이고, 고가의 진공 증착 설비는 최소한으로 요구하되 필름 절단 장치만을 추가로 요구하므로 설비 투자비가 대폭 감소되어 제조 원가를 획기적으로 낮출 수 있고, 다수의 무기층과 유기층을 교대로 적어도 2회 이상 반복 형성하는 복잡한 공정 대신에 배리어 필름을 접고 절단한 후 다수의 유기층을 동시에 경화함으로써 층간 결합을 완성할 수 있으므로 용이하게 공정 관리를 할 수 있는 효과를 발휘한다.
도 1은, 무기층이 1회 부분적으로 증착되어 있는 접힌 배리어 필름을 나타낸 도면이다.
도 2는, 도 1의 접힌 배리어 필름에 선택적으로 밀봉층이 형성된 것을 나타낸 도면이다.
이하에서 본 발명의 유-무기 복합 배리어 필름에 대해 구체적으로 설명한다.
본 발명에 사용되는 고분자 기재는 필름으로 성형할 경우 그 위에 코팅층을 유지할 수 있는 열가소성 수지라면 특별히 제한되지 아니하며, 내열성의 관점에서 유리전이온도가 250℃ 이상인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 사용되는 고분자 기재로 내용제성이나 내열성 등이 우수한 열경화성 수지 또는 광경화성 수지도 사용할 수 있다.
본 발명에 사용되는 고분자 기재에는 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서 가소제, 염료/안료, 대전방지제, 자외선흡수제, 산화방지제, 무기미립자, 박리촉진제, 레벨링제 및 수지개질제 등이 첨가될 수도 있다.
본 발명에 사용되는 고분자 기재의 두께는 절단된 필름들을 적층한 후에도 유연성이 확보되도록 200 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.
본 발명에 사용되는 무기층에는 Si, Al, In, Sn, Zn, Ti, Cu, Ce 및 Ta로 구성되는 군으로부터 선택되는 하나 이상의 금속의 산화물, 질화물 또는 산화질화물이 사용될 수 있으며, 유연성이 좋은 Si계 산화물을 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명에 사용되는 무기층의 두께는 유-무기 복합 배리어 필름의 유연성 확보 측면에서 100 nm 이하인 것이 바람직하다.
본 발명에 사용되는 유기층 또는 유-무기 하이브리드층에는 아크릴계, 실란계, 실록산계, 실라잔계 경화성 수지들이 사용될 수 있으며 이에 한정되지 아니한다. 후술하는 바와 같이 밀봉층에 에폭시 수지를 사용하는 경우, 예를 들어 에폭시 아크릴 레이트 계열 등의 유연성 방습 seal제와 같은 자외선에 의해 광경화될 수 있는 수지를 사용하는 것이 바람직하나 또한 이에 한정되지 아니한다.
본 발명의 유기층 또는 유-무기 하이브리드층의 두께는 5 ㎛ 초과인 경우 유기층 두께 증가에 의한 배리어 성 및 유연성에 큰 차이가 없으므로 5 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.
이하에서 본 발명의 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법에 대해 구체적으로 설명한다.
본 발명의 과제를 해결하기 위한 수단으로서의 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법은,
고분자 기재의 일측 또는 양측에 중간층으로서 무기층을 1회 부분적으로 진공 증착하여 배리어 필름을 만드는 단계;
상기 배리어 필름의 일측 또는 양측에 최외층으로서 유기층 또는 유-무기 하이브리드층을 도포하는 단계;
유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 도포된 배리어 필름을 상기 무기층을 피하여 절단하는 단계;
절단된 배리어 필름을 동일한 간격으로 1회 이상 접는 단계; 및
유기층들 또는 유-무기 하이브리드층들을 경화하여 접힌 배리어 필름을 접합하는 단계;를 포함하여 구성된다.
이하에서 본 발명의 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법의 각 단계에 대해 구체적으로 설명한다.
상기 배리어 필름을 만드는 단계는, 고분자 기재의 일측 또는 양측 표면에 직접 가스 배리어층인 무기층을 1회 부분적으로 진공 증착하여 수행될 수 있다.
이와 달리, 본 단계는 고분자 기재의 일측 또는 양측 표면에 유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 형성되고 그 표면에 무기층을 1회 부분적으로 진공 증착하여 수행될 수도 있다. 예컨대, 고분자 기재의 양측 표면에 형성된 유-무기 하이브리드층들에 무기층을 1회 부분적으로 증착하는 경우, 무기층/유-무기 하이브리드층/고분자 기재/유-무기 하이브리드층/무기층의 대칭적 구조를 가진 배리어 필름을 만들 수 있다.
본 발명은 무기층 부분적 진공 증착을 1회만 수행하고도 후술하는 배리어 필름을 절단 및 접합하는 단계에 의하여 다층의 무기층이 형성된 유-무기 복합 배리어 필름을 제조할 수 있다.
본 발명에 있어서, 진공 증착은 물리적 또는 화학적 증착 방법 모두 사용될 수 있으나, 무기막의 유연성 측면에서 유리한 화학적 기상 증착법(CVD)이 바람직하다.본 발명은 무기층을 부분적으로 진공 증착한다. 이는 후술하는 배리어 필름을 절단하는 단계에 의해 발생할 수 있는 무기층의 손상을 예방하여 가스 차단성을 더욱 향상시키기 위한 것이다.
고분자 기재의 일측 또는 양측에 최종적으로 적용하고자 하는 표시 장치의 기판 사이즈(예: 3세대 기판 사이즈, 550 mm x 650 mm)의 길이마다 간극(패턴)이 생기도록 무기층을 패턴 증착하는 것이 바람직하다. 패턴 증착 방법은 이 분야의 통상 기술자에게 공지되어 있으므로 자세한 설명은 생략한다. 다만, 간극의 넓이는 5mm 내지 10mm인 것이 바람직하다. 간극이 5mm이하이면 공정성 측면에서 어려움이 있고 10mm 이상이면 생산성 및 기재 필름 손실 측면에서 문제가 있다.
다음으로, 상기 유기층 또는 유-무기 하이브리드층을 도포하는 단계는, 상기 배리어 필름의 일측 또는 양측에 최외층으로서의 유기층 또는 유-무기 하이브리드층을 도포함으로써 수행될 수 있다. 예컨대, 고분자 기재의 양측 표면에 형성된 유-무기 하이브리드층들에 무기층을 부분적으로 진공 증착한 다음에 부분적인 무기층에 직접 유기층을 도포하는 경우, 유기층/무기층+유기층/유-무기 하이브리드층/고분자 기재/유-무기 하이브리드층/무기층+유기층/유기층의 대칭적 구조를 가진 배리어 필름을 만들 수 있다.
본 발명의 유기층 또는 유-무기 하이브리드층은 이후 단계에서 경화되어 적층된 필름들을 접합하는 기능을 발휘하도록 최외층으로서 도포된다.
이후 단계에서 경화되어 무기층 등과 물리적 또는 화학적 계면 결합을 형성하기에 더 유리한 유-무기 하이브리드층을 도포하는 것이 더 바람직하다.
다음으로, 상기 배리어 필름을 절단하는 단계는, 배리어 필름(무기층이 전면적으로 형성되고 유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 도포된 고분자 기재)을 최종적으로 적용하고자 하는 표시 장치의 기판 사이즈의 배수 길이만큼 무기층을 피하여 즉, 무기층의 간극을 절단함으로써 수행된다.
다음으로, 상기 배리어 필름을 접는 단계는, 절단된 배리어 필름을 예컨대, 기판 사이즈의 길이에 간극 넓이를 더한 만큼 동일한 간격으로 1회 이상 접음으로써 수행된다.
본 발명의 배리어 필름은 무기층과 유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 복합된 구조이므로 최종 필름이 너무 두꺼워지지 않도록 1회 내지 3회 접는 것이 바람직하다.
예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이, 고분자 기재(101)의 양측 표면에 형성된 유-무기 하이브리드층들(102)에 부분적으로 무기층(103)을 1회 증착한 다음에 부분적으로 증착된 무기층에 유기층(104)을 도포하여 만든 배리어 필름(100)을 기판 사이즈의 2개 길이만큼 무기층을 피하여 절단한 후 동일한 간격으로 1회 접은 경우, 하부 배리어 필름[유기층(104)/무기층(103)+유기층(104)/유-무기 하이브리드층(102)/고분자 기재(101)/유-무기 하이브리드층(102)/무기층(103)+유기층(104)/유기층(104)] - 상부 배리어 필름[유기층(104)/무기층(103)+유기층(104)/유-무기 하이브리드층(102)/고분자 기재(101)/유-무기 하이브리드층(102)/무기층(103)+유기층(104)/유기층(104)]의 구조를 가진 접힌 배리어 필름(10)을 만들 수 있다.
마지막으로, 유기층들 또는 유-무기 하이브리드층들을 경화하여 상기 접힌 배리어 필름을 접합하는 단계는, 각 배리어 필름의 최외층인 유기층 또는 유-무기 하이브리드층을 경화시킴으로써 수행된다.
유기층 또는 유-무기 하이브리드층을 경화하는 방법은 이 분야에 공지된 방법들, 예컨대, 열경화, 광경화 등에 의해서 수행될 수 있다.
이에 따라, 본 발명은 무기층을 1회만 진공 증착하고도 절단된 배리어 필름을 적층하고 최외층인 유기층 또는 유-무기 하이브리드층을 경화시킴으로써 다층의 무기층이 형성된 유-무기 복합 배리어 필름을 제조할 수 있다.
선택적으로, 본 발명의 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법은,
상기 절단된 배리어 필름의 측면들에 밀봉층을 도포하는 단계; 및
상기 밀봉층을 경화하는 단계;를 더 포함하여 구성된다.
상기 밀봉층을 도포하는 단계 및 경화하는 단계는 배리어 필름의 측면을 통한 가스 침투를 방지하기 위하여 수행되는 것이다.
상기 밀봉층을 도포하는 단계는, 밀봉의 완전성을 고려한다면, 상기 배리어 필름을 절단하는 단계 후에, 도 2에 도시된 바와 같이, 접힌 배리어 필름의 모든 측면 전체 두께에 걸쳐 밀봉층을 도포함으로써 수행될 수 있다.
상기 밀봉층을 경화하는 단계는 이 분야에 공지된 방법들, 예컨대, 열경화, 광경화 등에 의해서 수행될 수 있다. 에폭시 수지가 사용되는 경우에는 자외선에 의해 광경화하여 수행될 수 있다.
본 발명에 사용되는 유기층 또는 유-무기 하이브리드층과 밀봉층의 경화 방법 및 조건이 동일하다면, 공정의 단순화를 위해, 상기 밀봉층을 경화하는 단계는 상기 유기층들 또는 유-무기 하이브리드층들을 경화하여 접힌 배리어 필름을 접합하는 단계와 동시에 수행될 수 있다.
이어서, 본 발명에 의한 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법을 바람직한 실시예와 비교예를 들어 구체적으로 설명한다.
하기 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것이고 이에 의해 본 발명의 범위를한정하기 위한 것은 아니다.
실시예 1는 본 발명에 의해 1회 접힌 유-무기 복합 배리어 필름을 제조하는 예이고, 실시예 2는 본 발명에 의해 1회 접히고 및 밀봉된 유-무기 복합 배리어 필름을 제조하는 예이며, 실시예 3은 본 발명에 의해 3회 접히고 밀봉된 유-무기 복합 배리어 필름을 제조하는 예이다.
실시예 1
2축 연신 압출공정으로 양면 프라이머 처리를 한 50㎛ PET 필름을 RF PECVD 공정을 통해 HMDSO(헥사메틸디실옥산):Ar gas: O2 gas를 3sccm : 100sccm : 5 sccm 주입하고 작업진공도 3 mtorr 하에서 RF power 300W로 증착층의 면적이 10cm × 10cm, 증착층 사이의 간격이 1cm가 되도록 SiOx(1 < x < 2) 박막을 70 nm 두께로 패턴 증착하였다. 상기의 증착 필름의 양면에 고 내습성 아크릴계 수지(RichStone사 AT6001)를 바 코팅으로 각각 3㎛ 두께로 도포한 후 전체 필름의 크기는 22cm × 11cm, 내부의 2개의 증착층 크기는 각각 10cm × 10cm, 증착층 사이의 간격이 1cm가 되도록 직사각형 모양으로 재단한 뒤 증착층과 증착층 사이 중앙을 대칭축으로 1회 접어 최종적으로 전체 필름의 크기는 11cm × 11cm, 중앙의 증착층 크기는 10cm × 10cm, 적층 순서는 수지층/기재/증착층/수지층/증착층/기재/수지층 구조의 복합 필름을 형성하였다. 상기의 복합 필름을 150m J/cm2의 세기로 UV를 조사하여 경화시켜 유-무기 복합 배리어 필름을 제작하였다.
실시예 2
상기 실시 예 1에서 제작된 유-무기 복합 배리어 필름의 측면 edge 부위를 자외선 경화형 epoxy 수지(RichStone사 AT4291A)에 침지시킨 후 다시 꺼내어 100 mJ/cm2의 세기로 UV를 조사하여 경화시켜 유-무기 복합 배리어 필름을 제작하였다.
실시예 3
전체 필름의 크기가 33cm × 11cm, 내부의 3개의 증착층의 크기가 각각 10cm × 10cm이며 증착층 사이의 간격이 1cm 가 되도록 직사각형 모양으로 재단한 뒤 증착층과 증착층 사이 중앙을 대칭축으로 2회 접어 전체 필름의 크기는 11cm × 11cm, 중앙의 증착층 크기는 10cm × 10cm의 수지층/기재/증착층/수지층/증착층/기재/수지층/기재/증착층/수지층 구조의 적층 필름을 준비하는 것과, 실시예 2와 같이 측면 edge 부위에 epoxy 수지 처리 후 추가로 경화한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 유-무기 복합 배리어 필름을 제조하였다.
실시예 1 내지 3에 의해 제조된 유-무기 복합 배리어 필름들의 수증기 투과율 및 산소 투과율 측정 결과를 아래의 표 1에 정리한다. 수증기 투과율 및 산소 투과율은 각각 Mocon PERMATRAN- W-3/33(ASTM F1249, 상온, 100%RH)과 OX-TRAN 2/20(ASTM D3985, 상온, 0% RH)을 사용하였다.

 적층 회수
 밀봉 여부
 수증기 투과율
(g/m2/day)		 산소 투과율
(cc/m2/day/atm)
실시예 1 1 X 0.03 0.5
실시예 2 1 O 0.01 0.2
실시예 3 3 O 기기측정범위 이하
(< 0.005)		 기기 측정범위 이하
(<0.05)
실시예 1 내지 3에 설명한 바와 같이, 본 발명의 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법은 최소한의 진공 증착 설비를 사용하며 공정 관리가 용이한 단순한 공정으로 유-무기 복합 배리어 필름을 제조하는 방법임을 알 수 있다.
표 1에 나타난 바와 같이, 본 발명에 의한 실시예 1 내지 3에 의해 제조된 유-무기 복합 배리어 필름들은 수증기 투과율이 0.1 g/m2/day 이하이므로, 높은 가스 차단성이 요구되는 유기 EL 디스플레이용 또는 고정세 컬러 액정 디스플레이용으로 사용하기에 적합함을 알 수 있다.
10: 접힌 배리어 필름
100: 상부 배리어 필름, 하부 배리어 필름
101: 고분자 기재
102: 유-무기 하이브리드층
103: 무기층
104: 유기층
105: 밀봉층

Claims (12)

  1. 고분자 기재의 일측 또는 양측에 중간층으로서 무기층을 1회 부분적으로 진공 증착하여 배리어 필름을 만드는 단계;
    상기 배리어 필름의 일측 또는 양측에 최외층으로서 유기층 또는 유-무기 하이브리드층을 도포하는 단계;
    유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 도포된 배리어 필름을 상기 무기층을 피하여 절단하는 단계;
    절단된 배리어 필름을 동일한 간격으로 1회 이상 접는 단계; 및
    유기층들 또는 유-무기 하이브리드층들을 경화하여 접힌 배리어 필름을 접합하는 단계;를 포함하여 구성되는, 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    접힌 배리어 필름의 측면들에 밀봉층을 도포하는 단계; 및
    상기 밀봉층을 경화하는 단계;를 더 포함하여 구성되는, 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 유기층들 또는 유-무기 하이브리드층들을 경화하여 접힌 배리어 필름을 접합하는 단계와 상기 밀봉층을 경화하는 단계가 동시에 이뤄지는, 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법.
  4. 청구항 2에 있어서, 상기 유기층들 또는 유-무기 하이브리드층들을 경화하여 접힌 배리어 필름을 접합하는 단계와 상기 밀봉층을 경화하는 단계가 광 경화에 의해 동시에 이뤄지는, 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법.
  5. 청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 진공 증착이 화학적 기상 증착(CVD: chemical vapor deposition)인, 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법.
  6. 청구항 1 또는 2에 있어서, 배리어 필름을 동일한 간격으로 1회 내지 3회 접는 단계인, 유-무기 복합 배리어 필름 제조 방법.
  7. 중간층인 1층의 무기층이 고분자 기재의 일측 또는 양측에 부분적으로 형성되어 있고 최외층인 유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 고분자 기재의 일측 또는 양측에 형성되어 있고 배리어 필름이 동일한 간격으로 상기 무기층을 피하여 접힌 구조를 가지며,
    상기 배리어 필름은 최외층인 상기 유기층 또는 유-무기 하이브리드층이 경화되어 접합된, 유-무기 복합 배리어 필름.
  8. 청구항 7에 있어서, 접힌 구조를 가진 배리어 필름의 측면들에 형성된 밀봉층을 더 포함하여 구성되는, 유-무기 복합 배리어 필름.
  9. 청구항 7 또는 8에 있어서, 상기 고분자 기재의 두께가 200 ㎛ 이하인, 유-무기 복합 배리어 필름.
  10. 청구항 7 또는 8에 있어서, 상기 무기층의 두께가 100 nm 이하인, 유-무기 복합 배리어 필름.
  11. 청구항 7 또는 8에 있어서, 상기 유기층 또는 유-무기 하이브리드층의 두께가 5 ㎛ 이하인, 유-무기 복합 배리어 필름.
  12. 청구항 7 또는 8에 있어서, 배리어 필름이 1회 내지 3회 접힌 구조를 가진, 유-무기 복합 배리어 필름.



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