KR20120075324A - Material providing appratus and material providing method using the same - Google Patents

Material providing appratus and material providing method using the same Download PDF

Info

Publication number
KR20120075324A
KR20120075324A KR1020110064836A KR20110064836A KR20120075324A KR 20120075324 A KR20120075324 A KR 20120075324A KR 1020110064836 A KR1020110064836 A KR 1020110064836A KR 20110064836 A KR20110064836 A KR 20110064836A KR 20120075324 A KR20120075324 A KR 20120075324A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
raw material
supply
dispenser
sealant
rotating member
Prior art date
Application number
KR1020110064836A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101334815B1 (en
Inventor
유정필
최종권
윤청룡
Original Assignee
에이피시스템 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에이피시스템 주식회사 filed Critical 에이피시스템 주식회사
Publication of KR20120075324A publication Critical patent/KR20120075324A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101334815B1 publication Critical patent/KR101334815B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/76—Measuring, controlling or regulating
    • B29C45/77—Measuring, controlling or regulating of velocity or pressure of moulding material
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

PURPOSE: A dispensing apparatus and a dispensing method using the same are provided to simplify the apparatus by omitting a raw material supplying unit receiving chamber and a vacuum treating device which generates vacuum in the chamber. CONSTITUTION: A dispensing apparatus includes a raw material supplying module(630) and a dispenser(400). The raw material supplying module includes a supplying body(631) and a first rotating body(632). The supplying body includes an internal space which receives raw materials. A first inlet and a first outlet are arranged at the supplying body. The first rotating body includes a first shaft(632a) and a first wing(632b). The first shaft is arranged in the supplying body. The first wing is installed along the outer circumference of the first shaft. The first rotating body adjusts the introduction and the discharge of the raw materials. The dispenser includes a discharging body(410) and a second rotating body(430). The discharging body includes an internal space. A second inlet and a second outlet are arranged at the discharging body. The second rotating body includes a second shaft(431) and a second wing(432). The second shaft is arranged in the discharging body. The second wing is installed along the outer circumference of the second shaft. The second rotating body adjusts the introduction and the discharge of the raw materials.

Description

디스펜싱 장치 및 이를 이용한 디스펜싱 방법{MATERIAL PROVIDING APPRATUS AND MATERIAL PROVIDING METHOD USING THE SAME}Dispensing apparatus and method for dispensing using same {MATERIAL PROVIDING APPRATUS AND MATERIAL PROVIDING METHOD USING THE SAME}

본 발명은 원료 물질을 용이하게 공급하는 원료 공급 모듈 및 상기 원료 물질을 용이하게 도포할 수 있는 디스펜서를 구비하는 디스펜싱 장치 및 이를 이용한 디스펜싱 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a dispensing apparatus having a raw material supply module for easily supplying a raw material, and a dispenser capable of easily applying the raw material, and a dispensing method using the same.

액정표시장치(Liquid Crystal Display), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel) 및 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Device)와 같은 평판 표시 장치(Flat Panel Display)의 경우, 상부 기판과 하부 기판을 상호 접합시켜 제작된다. 이때, 상부 기판과 하부 기판을 상호 접합시키기 위해서는 접합 재료인 실런트(sealant)를 상기 상부 기판 또는 하부 기판에 도포하고, 이를 경화시킨다.In the case of a flat panel display such as a liquid crystal display, a plasma display panel, and an organic light emitting device, the upper substrate and the lower substrate are bonded to each other. Is produced. At this time, in order to bond the upper substrate and the lower substrate to each other, a sealant, which is a bonding material, is applied to the upper substrate or the lower substrate and cured.

기판 상에 실런트를 도포하는 디스펜싱 장치는 기판이 안치되는 스테이지, 스테이지 상측에 배치된 겐트리, 겐트리 상에 장착 고정되어 수평 방향으로 이동하면서 기판 상에 실런트를 도포하는 디스펜서, 디스펜서 내로 가스를 공급하는 공압 라인을 구비하여, 상기 디스펜서 내의 압력을 조절하는 레귤레이터, 디스펜서로 원료 물질을 공급하는 원료 공급 유닛을 포함한다. 여기서 디스펜서는 원료 공급 유닛으로부터 실런트를 공급 받아 이를 수용하는 시린지, 시린지의 일단에 연결되어 기판 상에 실런트를 토출하여 도포하는 노즐을 포함한다. 그리고 원료 공급 유닛은 실런트가 저장된 탱크, 일단이 탱크와 연결되고 타단이 디스펜서와 연결된 공급 라인을 포함한다. 이에, 탱크 내부의 실런트를 공급 라인으로 배출시키면, 상기 실런트는 공급 라인을 통해 디스펜서로 공급되고, 상기 디스펜서는 기판 상에 실런트를 도포한다.A dispensing apparatus for applying a sealant on a substrate includes a stage on which the substrate is placed, a gantry disposed on the stage, a dispenser for applying a sealant on the substrate while being fixed and mounted on the gantry and moving in a horizontal direction. It includes a pneumatic line for supplying, a regulator for adjusting the pressure in the dispenser, and a raw material supply unit for supplying a raw material to the dispenser. Here, the dispenser includes a syringe receiving the sealant from the raw material supply unit and a nozzle connected to one end of the syringe to discharge and apply the sealant on the substrate. The raw material supply unit includes a tank in which a sealant is stored, a supply line connected to the tank at one end and a dispenser at the other end thereof. Accordingly, when the sealant in the tank is discharged to the supply line, the sealant is supplied to the dispenser through the supply line, and the dispenser applies the sealant on the substrate.

한편, 전술한 바와 같이 종래의 디스펜싱 장치에서는 공압 라인을 구비하는 레귤레이터를 이용하여 디스펜서 내로 가스를 공급하여, 상기 디스펜서 내의 압력을 조절함으로써 실런트의 토출을 제어한다. 하지만 실런트의 도포 공정 중에 공압 라인의 리크(leak)가 빈번히 발생되고, 상기 공압 라인의 리크(leak)는 일정한 양의 실런트를 토출을 방해하는 요인으로 작용한다. 따라서 실런트 도포 공정 중에 공압 라인을 보수하거나 교체하는 작업이 진행되어야 하므로, 실런트 도포 공정을 위한 시간 또는 비용이 소용되는 단점이 있다. 또한, 실런트 도포 공정이 중지된 상태에서도 시린지 내에 잔류하는 실런트가 노즐로 계속 공급됨에 따라, 상기 노즐 끝단에 실런트 방울이 맺히거나, 뭉치는 문제가 발생된다. 이와 같이 노즐에 실런트 방울이 맺히거나 뭉치는 문제는 이후 실런트의 도포 공정을 원활히 진행할 수 없는 요인으로 작용하며, 실런트 패턴의 문제로 인한 제품의 불량이 발생될 수 있다.On the other hand, as described above, in the conventional dispensing apparatus, gas is supplied into the dispenser by using a regulator having a pneumatic line, and the discharge of the sealant is controlled by adjusting the pressure in the dispenser. However, the leak of the pneumatic line frequently occurs during the application process of the sealant, and the leak of the pneumatic line acts as a factor that prevents the discharge of a certain amount of sealant. Therefore, since the work to repair or replace the pneumatic line during the sealant application process has a disadvantage that the time or cost for the sealant application process is wasted. In addition, as the sealant remaining in the syringe continues to be supplied to the nozzle even when the sealant coating process is stopped, a sealant droplet may form or agglomerate at the end of the nozzle. The problem that sealant drops or agglomerates in the nozzle may act as a factor in which the application process of the sealant may not proceed smoothly thereafter, and a product defect may occur due to a problem of the sealant pattern.

본 발명의 일 기술적 과제는 원료 물질의 뭉침 및 맺힘을 방지하는 원료 공급 모듈 및 디스펜서를 구비하는 디스펜싱 장치 및 이를 이용한 디스펜싱 방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a dispensing apparatus having a raw material supply module and a dispenser for preventing agglomeration and condensation of raw materials and a dispensing method using the same.

본 발명의 다른 일 기술적 과제는 회전 방향 및 회전 속도에 따라 원료 물질의 토출량 및 공급량을 조절할 수 있는 디스펜싱 장치 및 원료 공급 방법을 제공하는 데 있다.Another technical problem of the present invention is to provide a dispensing apparatus and a raw material supply method capable of adjusting the discharge amount and the supply amount of the raw material according to the rotation direction and rotation speed.

본 발명에 따른 디스펜싱 장치는 원료 물질을 수용하는 내부 공간을 가지며, 상기 원료 물질이 내부로 유입되는 제 1 입구 및 상기 원료 물질이 배출되는 제 1 출구를 구비하는 공급 몸체와, 상기 공급 몸체 내에 배치되어 회전 가능한 제 1 샤프트 및 상기 제 1 사프트의 외주면을 따라 설치된 제 1 날개를 구비하며, 회전 방향 및 회전 속도에 따라 상기 원료 물질의 유입 및 배출을 조절하는 제 1 회전 부재를 포함하는 원료 공급 모듈, 상기 원료 공급 모듈로부터 전달된 원료 물질을 수용하는 내부 공간을 가지며, 상기 원료 물질이 내부로 유입되는 제 2 입구 및 상기 원료 물질이 배출되는 제 2 출구를 구비하는 토출 몸체와, 상기 토출 몸체 내에 배치되어 회전 가능한 제 2 샤프트 및 상기 제 2 사프트의 외주면을 따라 설치된 제 2 날개를 구비하며, 회전 방향 및 회전 속도에 따라 상기 원료 물질의 유입 및 배출을 조절하는 제 2 회전 부재를 포함하는 디스펜서를 포함한다.The dispensing apparatus according to the present invention has an internal space for accommodating a raw material, and has a supply body having a first inlet through which the raw material is introduced and a first outlet through which the raw material is discharged, and within the supply body. A first shaft disposed and rotatable and a first vane disposed along an outer circumferential surface of the first shaft, the raw material supply including a first rotating member configured to control the inflow and discharge of the raw material according to a rotational direction and a rotational speed; A discharge body having a module, an inner space accommodating the raw material transferred from the raw material supply module, and having a second inlet through which the raw material is introduced and a second outlet through which the raw material is discharged; A rotating shaft having a second shaft disposed therein and rotatable along the outer circumferential surface of the second shaft; And in accordance with the rotational speed and a dispenser including a second rotary member for controlling the inlet and exhaust of the raw material.

상기 원료 공급 모듈은 공급 몸체 내에 설치되며, 내측벽에 제 1 나사홈이 마련된 제 1 사이드 부재를 포함하고, 상기 제 1 사이드 부재 내에 제 1 회전 부재가 배치된다.The raw material supply module is installed in a supply body, and includes a first side member provided with a first screw groove on an inner wall thereof, and a first rotating member is disposed in the first side member.

상기 제 1 날개는 상기 제 1 사이드 부재에 마련된 제 1 나사홈에 일부 삽입되어 회전하면서 상기 원료 물질을 이동시킨다.The first wing is partially inserted into the first screw groove provided in the first side member to rotate the raw material.

상기 디스펜서는 상기 토출 몸체의 일단에 연결되어, 상기 원료 물질을 토출하는 노즐, 상기 토출 몸체 내에 설치되며, 내측벽에 제 2 나사홈이 마련된 제 2 사이드 부재를 포함한다.The dispenser includes a nozzle connected to one end of the discharge body, a nozzle for discharging the raw material, and a second side member installed in the discharge body and provided with a second screw groove on an inner wall thereof.

상기 제 2 날개는 상기 제 2 사이드 부재에 마련된 제 2 나사홈에 일부 삽입되어 회전하면서 상기 원료 물질을 이동시킨다.The second wing is partially inserted into the second screw groove provided in the second side member to rotate the raw material.

상기 제 1 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 각기 조절하는 제 1 회전 방향 조절기 및 제 1 속도 조절기를 포함하고, 상기 제 2 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 각기 조절하는 제 2 회전 방향 조절기 및 제 2 속도 조절기를 포함한다.A second rotation direction controller including a first rotation direction controller and a first speed controller for respectively adjusting the rotation direction and the rotation speed of the first rotation member, and a second rotation direction controller for respectively adjusting the rotation direction and the rotation speed of the second rotation member; And a second speed regulator.

본 발명에 따른 디스펜싱 장치는 일단이 상기 원료 공급 모듈에 연결되고, 타단이 디스펜서에 연결되어 상기 원료 공급 모듈로부터 제공된 원료 물질을 디스펜서로 공급하는 공급 라인, 상기 공급 라인의 압력을 감지하고, 상기 감지된 공급 라인의 압력을 이용하여 상기 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 조절함으로써, 원료 물질의 공급량을 제어하는 제어 모듈을 포함한다.The dispensing apparatus according to the present invention, one end is connected to the raw material supply module, the other end is connected to the dispenser supply line for supplying the raw material provided from the raw material supply module to the dispenser, the pressure of the supply line to sense the And a control module for controlling the supply amount of the raw material by adjusting the rotational direction and the rotational speed of the first rotating member of the raw material supply module using the sensed pressure of the supply line.

상기 제어 모듈은 상기 공급 라인의 압력을 감지하는 센서, 상기 센서에 의해 감지된 공급 라인의 압력과 기 설정된 압력을 비교하여 원료 물질의 공급 상태를 판단하는 판단부, 상기 판단부, 제 1 회전 방향 조절기 및 제 1 속도 조절기와 연결되어, 상기 판단부의 판단 결과에 따라 상기 제 1 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 조절하는 제어부를 포함한다.The control module is a sensor for detecting the pressure of the supply line, a determination unit for determining the supply state of the raw material by comparing the pressure of the supply line detected by the sensor with a predetermined pressure, the determination unit, the first rotation direction And a controller connected to the controller and the first speed controller to adjust the rotation direction and the rotation speed of the first rotation member according to the determination result of the determination unit.

상기 원료 물질을 수용하는 내부 공간을 가지며, 일측에 상기 원료 물질이 배출되는 통로인 배출관이 마련된 탱크, 상기 배출관으로 삽입 가능한 공급관, 상기 배출관 내에 설치되며, 상기 배출관 내부로 삽입되는 공급관에 의해 이동하여, 상기 배출관과 공급관 사이의 연통을 조절하는 밸브를 포함한다.It has an internal space for accommodating the raw material, the tank is provided with a discharge pipe which is a passage for discharging the raw material on one side, a supply pipe that can be inserted into the discharge pipe, installed in the discharge pipe, is moved by a supply pipe inserted into the discharge pipe It includes a valve for controlling the communication between the discharge pipe and the supply pipe.

상기 공급관의 측면에 상기 공급관 내부와 연통되는 유입구가 마련된다.An inlet communicating with the inside of the supply pipe is provided on the side of the supply pipe.

상기 밸브는 상기 배출관 내에 배치되며, 삽입되는 공급관에 지지되며 이동 가능한 차단 부재, 일단이 차단 부재에 결합되고 타단이 배출관에 결합되어, 상기 차단 부재의 이동에 의해 신축 가능한 지지 부재를 포함한다.The valve is disposed in the discharge pipe and is supported by a supply pipe to be inserted and is movable and includes a movable member, one end is coupled to the blocking member and the other end is coupled to the discharge pipe, the support member is stretchable by the movement of the blocking member.

상기 디스펜서는 진공 처리된 챔버 내부에 설치된다.The dispenser is installed inside a vacuumed chamber.

본 발명에 따른 디스펜싱 방법은 기판을 마련하고, 상기 기판 상측에 원료 물질을 도포하는 디스펜서를 위치시키는 단계, 상기 원료 물질이 수용된 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 조절하여, 상기 디스펜서로 원료 물질의 공급 여부 및 공급량을 제어하는 단계, 상기 디스펜서의 제 2 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 조절하여, 상기 디스펜서로부터의 원료 물질의 토출 여부 및 토출량을 조절하는 단계를 포함한다.Dispensing method according to the present invention comprises the steps of preparing a substrate, positioning the dispenser to apply the raw material on the substrate, by adjusting the rotational direction and rotational speed of the first rotating member of the raw material supply module containing the raw material And controlling whether or not the raw material is supplied to the dispenser, and controlling the rotation direction and the rotational speed of the second rotating member of the dispenser, thereby controlling whether or not the raw material is discharged from the dispenser. do.

상기 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재를 정방향으로 회전시켜 원료 물질을 디스펜서로 공급하고, 상기 제 1 회전 부재의 정방향 회전 속도를 조절하여 원료 물질의 공급량을 조절한다.The first rotating member of the raw material supply module is rotated in the forward direction to supply the raw material to the dispenser, and the forward rotation speed of the first rotating member is adjusted to adjust the supply amount of the raw material.

상기 제 2 회전 부재를 정방향으로 회전시켜, 상기 기판 상에 원료 물질을 도포하고, 상기 제 2 회전 부재의 정방향 회전 속도를 조절하여 토출량을 조절한다.The second rotating member is rotated in the forward direction to apply a raw material onto the substrate, and the discharge amount is controlled by adjusting the forward rotation speed of the second rotating member.

상기 디스펜서를 이용한 원료 물질의 도포 공정을 중지할 때, 상기 디스펜서의 제 2 회전 부재 및 상기 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재 중 적어도 어느 하나를 역방향으로 회전시켜 상기 원료 물질을 역류시킨다.When the application process of the raw material using the dispenser is stopped, at least one of the second rotating member of the dispenser and the first rotating member of the raw material supply module is rotated in the reverse direction to reverse the raw material.

상기 디스펜서로 원료 물질의 공급 여부 및 공급량을 제어하는 단계에 있어서, 일단이 상기 원료 공급 모듈에 연결되고 타단이 디스펜서에 연결된 공급 라인을 통해 상기 원료 공급 모듈의 원료 물질을 디스펜서에 공급하는 단계, 상기 공급 라인의 압력을 감지하는 단계, 감지된 상기 공급 라인의 압력과 기 설정된 공급 라인의 압력을 비교하여, 상기 원료 물질의 공급 상태를 판단하는 단계, 상기 원료 물질의 공급 상태의 판단 결과에 따라, 상기 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 조절하는 단계를 포함한다.Controlling whether the raw material is supplied to the dispenser and the supply amount, supplying the raw material of the raw material supply module to the dispenser through a supply line having one end connected to the raw material supply module and the other end connected to the dispenser; Detecting a pressure of a supply line, comparing the detected pressure of the supply line with a pressure of a preset supply line, determining a supply state of the raw material, and according to a determination result of the supply state of the raw material, And adjusting the rotational direction and rotational speed of the first rotational member of the raw material supply module.

감지된 상기 공급 라인의 압력과 기 설정된 공급 라인의 압력이 동일할 경우, 상기 원료 공급 모듈의 현재의 회전 방향 및 회전 속도를 유지한다.When the detected pressure of the supply line and the pressure of the preset supply line are the same, the current rotation direction and rotation speed of the raw material supply module are maintained.

감지된 상기 공급 라인의 압력이 기 설정된 공급 라인의 압력에 비해 작을 경우, 상기 제 1 회전 부재의 정방향 회전 속도를 증가시켜, 상기 공급 라인으로 공급되는 공급 유량을 증가시킨다.When the detected pressure of the supply line is smaller than the pressure of the preset supply line, the forward rotation speed of the first rotating member is increased to increase the supply flow rate supplied to the supply line.

감지된 상기 공급 라인의 압력이 기 설정된 공급 라인의 압력에 비해 클 경우, 상기 제 1 회전 부재의 정방향 회전 속도를 감소시키거나, 상기 제 1 회전 부재를 역방향으로 회전시켜, 상기 공급 라인으로 공급되는 공급 유량을 감소시킨다.When the sensed pressure of the supply line is greater than the pressure of a predetermined supply line, the forward rotation speed of the first rotation member is decreased or the first rotation member is rotated in a reverse direction to supply the supply line. Reduce feed flow rate.

상기 원료 물질로 실런트(sealatn), 액정 및 페이스트 중 어느 하나를 사용한다.As the raw material, any one of a sealant, a liquid crystal, and a paste is used.

본 발명의 실시예에 따른 디스펜싱 장치는 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재를 정방향으로 회전시켜 원료 물질을 디스펜서로 공급하고, 이때 제 1 회전 부재의 정방향 회전 속도를 조절하여 원료 물질의 공급량을 용이하게 조절할 수 있다. 또한, 디스펜서의 제 2 회전 부재를 정방향으로 회전시켜 원료 물질을 기판 상에 도포하고, 이때 제 2 회전 부재의 정방향 회전 속도를 조절함으로써 기판 상에 토출되는 원료 물질의 양을 용이하게 조절할 수 있다. 그리고 원료 물질 도포 공정의 중지 시에 상기 디스펜서의 제 2 회전 부재 및 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재 중 적어도 어느 하나를 역방향으로 회전시켜 원료 물질을 역류시킴으로써, 노즐에 원료 물질이 뭉치거나 원료 물질이 맺히는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 노즐에 맺히거나 뭉친 원료 물질에 의해 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.The dispensing apparatus according to the embodiment of the present invention rotates the first rotating member of the raw material supply module in the forward direction to supply the raw material to the dispenser, and at this time, adjusts the forward rotational speed of the first rotating member to facilitate the supply of the raw material. Can be adjusted. In addition, the second rotating member of the dispenser is rotated in the forward direction to apply the raw material onto the substrate, and at this time, the amount of the raw material discharged onto the substrate can be easily adjusted by adjusting the forward rotational speed of the second rotating member. At the time of stopping the raw material applying process, at least one of the second rotating member of the dispenser and the first rotating member of the raw material supply module is rotated in the reverse direction to reverse the raw material so that the raw material is agglomerated in the nozzle or the raw material is removed. It can prevent the formation. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of defects due to the raw material stuck or agglomerated in the nozzle.

그리고, 실시예에 의하면 공급관을 탱크의 배출관 내부로 삽입시켜, 상기 삽입된 공급관에 의해 밸브가 동작하도록 하여, 공급관과 배출관 사이를 연통시킨다. 이에, 공급관을 배출관 내부로 삽입시켜, 탱크와 공급관을 결합시키는 작업 중에 상기 탱크를 용이하게 밀폐할 수 있다. 이로 인해, 탱크와 공급관의 결합 작업 시에 상기 탱크 내부에 수용된 실런트가 대기중에 노출되어 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 공급관과 차단 부재의 분리 시에 밸브가 동작하도록 하여 상기 공급관과 배출관 사이의 연통을 차단한다. 따라서, 실런트가 소진된 탱크를 공급관과 분리하기 위하여, 상기 공급관을 배출관으로부터 배출시킬 때, 탱크를 용이하게 밀폐할 수 있다. 이로 인해, 탱크와 공급관의 분리 작업 시에 상기 탱크 내부가 대기 중에 노출되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 종래와 같이 원료 공급 유닛을 수용하는 별도의 진공 챔버를 마련하지 않고, 대기 중에서도 실런트의 손상 없이 탱크의 교체 작업을 실시할 수 있다. 또한, 원료 공급 유닛을 수용하기 위한 챔버 및 상기 챔버를 진공 처리하기 위한 진공 처리 장치가 필요하지 않게 되므로 장치가 간소화 될 수 있다.According to the embodiment, the supply pipe is inserted into the discharge pipe of the tank, and the valve is operated by the inserted supply pipe so as to communicate between the supply pipe and the discharge pipe. Thus, by inserting the supply pipe into the discharge pipe, the tank can be easily closed during the operation of coupling the tank and the supply pipe. For this reason, it is possible to prevent the sealant accommodated inside the tank from being exposed to the air and being damaged during the coupling operation of the tank and the supply pipe. In addition, the valve is operated when the supply pipe and the blocking member are separated to block communication between the supply pipe and the discharge pipe. Therefore, in order to separate the tank which exhausted the sealant from the supply pipe, the tank can be easily closed when the supply pipe is discharged from the discharge pipe. For this reason, the inside of the tank can be prevented from being exposed to the atmosphere during the separation operation between the tank and the supply pipe. Therefore, the tank replacement operation can be performed without damaging the sealant even in the air without providing a separate vacuum chamber for accommodating the raw material supply unit as in the prior art. Further, the apparatus can be simplified since a chamber for accommodating the raw material supply unit and a vacuum processing apparatus for vacuuming the chamber are not required.

또한, 원료 공급 모듈로부터 공급 라인으로 원료 물질을 공급할 때, 상기 공급 라인의 압력을 감지하여, 원료 물질의 공급 상태를 실시간으로 감지할 수 있다. 즉, 감지된 공급 라인의 압력에 따라 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재의 회전 속도 또는 회전 방향을 조절함으로써, 상기 공급 라인으로 공급되는 원료 물질의 유량을 제어할 수 있다. 이와 같이 원료 물질의 공급 상태를 실시간으로 감지할 수 있으므로, 상기 원료 물질을 제공하는 원료 공급 모듈의 동작 오류 및 공급 라인의 불량을 실시간으로 감지할 수 있다. 이로 인해 원료 물질의 도포 불량에 따른 공정 오류 발생을 방지할 수 있다.In addition, when the raw material is supplied from the raw material supply module to the supply line, the pressure of the supply line may be sensed to detect the supply state of the raw material in real time. That is, the flow rate of the raw material supplied to the supply line may be controlled by adjusting the rotation speed or the rotation direction of the first rotation member of the raw material supply module according to the sensed pressure of the supply line. As such, since the supply state of the raw material can be detected in real time, an operation error and a failure of the supply line of the raw material supply module providing the raw material can be detected in real time. As a result, it is possible to prevent a process error caused by a poor coating of the raw material.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스펜싱 장치를 도시한 단면도
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 원료 공급 유닛 및 디스펜서를 도시한 단면도
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 공급관이 배출관 외측에 배치되어, 상기 배출관과 공급관의 연통이 차단되어 있는 상태를 도시한 단면
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 공급관이 배출관 내로 삽입되어, 상기 배출관과 공급관이 연통되어 있는 상태를 도시한 단면도
도 5는 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재 및 디스펜서의 제 2 회전 부재 각각을 정방향으로 회전시켜, 상기 디스펜서의 노즐을 이용하여 기판 상에 실런트를 도포하는 것을 도시한 도면
도 6은 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재 및 디스펜서의 제 2 회전 부재 각각을 역방향으로 회전시켜, 상기 실런트를 역류시키는 것을 도시한 도면
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 원료 공급 유닛을 이용하여 디스펜서로 실런트를 공급하는 방법을 설명하기 위한 순서도1 is a cross-sectional view showing a dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention
2 is a cross-sectional view showing a raw material supply unit and a dispenser according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing a state in which a supply pipe according to an embodiment of the present invention is disposed outside the discharge pipe, and communication between the discharge pipe and the supply pipe is blocked.
4 is a cross-sectional view showing a state in which the supply pipe is inserted into the discharge pipe according to an embodiment of the present invention, the discharge pipe and the supply pipe is in communication.
FIG. 5 illustrates applying a sealant onto a substrate using a nozzle of the dispenser by rotating each of the first rotating member of the raw material supply module and the second rotating member of the dispenser in a forward direction.
FIG. 6 is a diagram illustrating reverse flow of the sealant by rotating each of the first rotating member of the raw material supply module and the second rotating member of the dispenser in a reverse direction;
7 is a flowchart illustrating a method of supplying a sealant to a dispenser using a raw material supply unit according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms, and only the embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention and to those skilled in the art. It is provided for complete information.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스펜싱 장치를 도시한 단면도이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 원료 공급 유닛 및 디스펜서를 도시한 단면도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 공급관이 배출관 외측에 배치되어, 상기 배출관과 공급관의 연통이 차단되어 있는 상태를 도시한 단면도이다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 공급관이 배출관 내로 삽입되어, 상기 배출관과 공급관이 연통되어 있는 상태를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view showing a raw material supply unit and a dispenser according to an embodiment of the present invention. 3 is a cross-sectional view showing a state in which a supply pipe according to an embodiment of the present invention is disposed outside the discharge pipe, and communication between the discharge pipe and the supply pipe is blocked. 4 is a cross-sectional view showing a state in which a supply pipe is inserted into the discharge pipe according to an embodiment of the present invention, the discharge pipe and the supply pipe is in communication.

도 1을 참조하면, 실시예에 따른 디스펜싱 장치는 내부 공간을 가지는 챔버(100), 챔버(100) 내부에 기판(s)이 안치되는 스테이지(200), 스테이지(200) 상측으로 이격 배치된 겐트리(300), 겐트리(300) 상에 장착 고정되며, 기판(s) 상에 실런트를 도포하는 디스펜서(400), 디스펜서(400)로 원료 물질을 공급하는 원료 공급 유닛(600), 겐트리(300) 상에 설치되어 디스펜서(400)를 수평 이동시키는 수평 이동 수단(500), 스테이지(200)의 하부에 배치되어 상기 스테이지(200)를 지지하는 스테이지 지지부(210), 일단이 겐트리(300)의 하부에 연결되고 타단이 스테이지 지지부(210) 상부에 연결되어, 상기 겐트리(300)를 지지하는 겐트리 사이드 부재(310)를 포함한다. 실시예에 따른 디스펜싱 장치는 기판(s) 상에 접합 재료인 실런트(sealant)를 도포하는 실런트 디스펜싱 장치 일 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고 도포하는 원료 물질로 다양한 원료 물질이 사용될 수 있다. 예를 들어, 액정 또는 금속 페이스트 등의 다양한 재료를 원료 물질로 이용할 수 있다.Referring to FIG. 1, the dispensing apparatus according to the embodiment may include a chamber 100 having an internal space, a stage 200 in which a substrate s is placed inside the chamber 100, and spaced apart from an upper side of the stage 200. The gantry 300 and the gantry 300 are mounted and fixed, the dispenser 400 for applying a sealant on the substrate s, the raw material supply unit 600 for supplying a raw material to the dispenser 400, and a gen A horizontal moving unit 500 installed on the tree 300 to horizontally move the dispenser 400, a stage support unit 210 disposed below the stage 200 to support the stage 200, and one end of a gantry It is connected to the lower portion of the 300 and the other end is connected to the upper stage support portion 210, and includes a gantry side member 310 for supporting the gantry (300). The dispensing apparatus according to the embodiment may be a sealant dispensing apparatus for applying a sealant as a bonding material on the substrate s. Of course, various raw materials may be used as the raw material to be applied, without being limited thereto. For example, various materials, such as a liquid crystal or a metal paste, can be used as a raw material.

챔버(100)는 내부가 비어있는 사각통 형상을 제작되며, 내부에는 기판(s)이 처리될 수 있는 소정의 공간이 마련된다. 실시예에서는 사각 통 형상으로 챔버(100)를 제작하였으나, 이에 한정되지 않고 기판(s)의 형상에 대응되도록 챔버(100)를 제작하는 것이 바람직하다. 한편 실시예에서는 챔버(100)를 일체형으로 제작하였으나, 챔버(100)를 상부가 개방된 하부 챔버(100)와 상부를 덮는 챔버 리드로 분리하여 구성할 수 있음은 물론이다. 또한 실시예에 따른 챔버(100)는 별도의 진공 처리 부재(미도시)와 연결되어, 상기 챔버(100) 내부를 진공 상태로 처리한다. 그리고 도시되지는 않았지만, 챔버(100)의 일측에는 기판(s)을 출입시키기 위한 기판 출입구가 마련된다.The chamber 100 has a rectangular cylindrical shape having an empty inside, and a predetermined space in which the substrate s can be processed is provided. In the embodiment, the chamber 100 is manufactured in the shape of a square cylinder, but the present invention is not limited thereto, and the chamber 100 may be manufactured to correspond to the shape of the substrate s. Meanwhile, in the embodiment, the chamber 100 is manufactured in one piece, but the chamber 100 may be divided into a lower chamber 100 having an open upper portion and a chamber lead covering the upper portion. In addition, the chamber 100 according to the embodiment is connected to a separate vacuum processing member (not shown) to process the inside of the chamber 100 in a vacuum state. Although not shown, a substrate entrance for entering and leaving the substrate s is provided at one side of the chamber 100.

스테이지(200)는 상부에 기판(s)을 지지하고, 상기 기판(s)을 이동시킨다. 이러한 스테이지(200)는 챔버(100) 내부에 배치된 스테이지(200) 상부에 장착 고정되며, 기판(s)과 대응되는 형상으로 제작되는 것이 바람직하다. 실시예에서는 기판(s)으로 사각형 형태의 유리를 사용하므로, 스테이지(200)도 사각형 형태의 것을 사용한다. 물론 이에 한정되지 않고 기판(s)의 형상에 따라 스테이지(200)의 형상이 다양하게 변경될 수 있다. 그리고 도시되지는 않았지만, 스테이지(200)에는 기판(s)을 이동시키는 기판 이동 수단(미도시)이 설치된다. 여기서 기판 이동 수단(미도시)은 스테이지(200)에 안치된 기판(s)을 디스펜서(400)의 이동 방향과 교차하는 방향으로 이동시키도록 제작되는 것이 바람직하다. 또한, 도시되지는 않았지만, 스테이지(200)는 기판(s)을 지지 고정시키기 위한 별도의 고정 부재(미도시)를 구비할 수 있다. 이때, 고정 부재(미도시)로 정전기력을 이용하는 정전척 또는 진공 흡입력을 이용하는 진공 고정 장치를 사용할 수 있다. 여기서, 진공 고정 장치를 고정 부재(미도시)로 사용하는 경우, 스테이지(200) 상에 진공 펌프(631)와 연통된 복수의 홀이 마련될 수 있다.The stage 200 supports the substrate s at the top and moves the substrate s. The stage 200 is fixed to the upper stage 200 disposed inside the chamber 100, it is preferable to be manufactured in a shape corresponding to the substrate (s). In the embodiment, since the glass of the rectangular shape is used as the substrate s, the stage 200 also uses the rectangular shape. Of course, the shape of the stage 200 may be variously changed according to the shape of the substrate s. Although not shown, the stage 200 is provided with substrate moving means (not shown) for moving the substrate s. Here, the substrate moving means (not shown) is preferably manufactured to move the substrate s placed in the stage 200 in a direction crossing the moving direction of the dispenser 400. In addition, although not shown, the stage 200 may include a separate fixing member (not shown) for supporting and fixing the substrate s. In this case, an electrostatic chuck using an electrostatic force or a vacuum fixing device using a vacuum suction force may be used as the fixing member (not shown). Here, when the vacuum fixing device is used as a fixing member (not shown), a plurality of holes communicating with the vacuum pump 631 may be provided on the stage 200.

상기에서는 겐트리(300)를 고정한 상태로, 스테이지(200)를 이용하여 기판(s)을 디스펜서(400)와 교차하는 방향으로 이동하는 것으로 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 겐트리(300)를 이동하는 별도의 겐트리 이동 수단(미도시)을 구비할 수 있다. 이때, 겐트리 이동 수단(미도시)은 겐트리(300)를 디스펜서(400)와 교차하는 방향으로 이동할 수 있도록 제작되는 것이 바람직하다.In the above description, the gantry 300 is fixed and the substrate s is moved in the direction crossing the dispenser 400 using the stage 200. However, the present invention is not limited thereto, and an additional gantry moving unit (not shown) for moving the gantry 300 may be provided. In this case, the gantry moving unit (not shown) is preferably manufactured to move the gantry 300 in a direction crossing the dispenser 400.

원료 공급 유닛(600)은 원료 물질인 실런트를 수용하고 이를 제공하는 탱크(610), 탱크(610)와 탈착 가능하며 탱크(610)로부터 실런트를 제공 받는 공급관(620), 공급관(620)으로부터 실런트를 제공받아 이를 디스펜서(400)로 공급하는 원료 공급 모듈(630), 일단이 원료 공급 모듈(630)과 연결되고 타단이 챔버(100) 내에 설치된 디스펜서(400)와 연결되는 공급 라인(640) 및 공급 라인(640)의 압력을 감지하고, 이를 이용하여 원료 공급 모듈(630)로부터 공급 라인(640)으로 공급되는 실런트의 공급 유량을 제어하는 제어 모듈(650)을 포함한다.The raw material supply unit 600 accommodates and seals a sealant, which is a raw material, and a tank 610 and a sealant from a supply pipe 620 and a supply pipe 620 that are detachable from the tank 610 and receive a sealant from the tank 610. And a supply line 640 for supplying the feeder 630 to the dispenser 400, one end of which is connected to the raw material supply module 630 and the other end of which is connected to the dispenser 400 installed in the chamber 100. And a control module 650 for detecting a pressure of the supply line 640 and controlling a supply flow rate of the sealant supplied from the raw material supply module 630 to the supply line 640 using the same.

탱크(610)는 내부에 실런트를 수용할 수 있는 내부 공간을 가지는 캔(611), 캔(611)의 일측에 마련된 배출관(617), 배출관(617) 내부에 설치되어 캔(611)과 공급관(620) 사이의 연통을 조절하는 밸브(616), 캔(611)의 타측 개구부를 커버하는 커버(612)를 포함한다. 또한 도시되지는 않았지만 탱크 내부에는 캔(611) 내부에서 승하강하여 상기 캔(611) 내부를 가압하는 가압 부재(미도시), 적어도 일부가 커버(612)를 관통하여 캔(611) 내부에 배치되며 가압 부재(미도시) 상측으로 유체를 분사하는 유체 분사 부재(미도시)를 포함한다.The tank 610 may be installed in a can 611 having an inner space capable of accommodating a sealant therein, a discharge pipe 617 provided at one side of the can 611, and a discharge pipe 617, so that the can 611 and the supply pipe ( A valve 616 that regulates communication between 620, The cover 612 covers the other opening of the can 611. In addition, although not shown, a pressure member (not shown) that moves up and down inside the can 611 to pressurize the inside of the can 611, and at least a portion thereof penetrates through the cover 612 and is disposed inside the can 611. It includes a fluid injection member (not shown) for injecting a fluid above the pressing member (not shown).

캔(611)은 내부에 실런트가 수용되는 내부 공간을 가지고, 상측 및 하측이 개방된 형상으로 제작된다. 실시예에 따른 캔(611)은 원통형의 형상이며, 하측으로 갈수록 내경이 좁아지도록 제작되는 것이 바람직하다. 물론 이에 한정되지 않고, 실런트를 수용할 수 있는 내부 공간이 마련된 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 그리고 이러한 캔(611)의 상측 개구부를 밀폐하도록 커버(612)가 설치되며, 하측에는 캔(611) 내부의 원료 물질이 배출되는 통로인 배출관(617)이 연결된다. 또한 캔(611) 내부에는 실런트의 잔량을 감지하는 원료량 감지기(611a)가 설치된다. 여기서 원료량 감지기(611a)는 원료 물질 예컨데 실런트의 유전율 차이로 계면의 높이를 측정하는 정전용량센서(capacitive sensor)이다. 물론 이에 한정되지 않고 캔(611) 내부에 수용되는 원료 물질의 잔량을 검출할 수 있는 다양한 수단이 사용될 수 있다.The can 611 has an inner space in which the sealant is accommodated and is manufactured in a shape in which the upper side and the lower side are open. Can 611 according to the embodiment is of a cylindrical shape, it is preferable that the inner diameter is narrowed toward the lower side. Of course, the present invention is not limited thereto and may be manufactured in various shapes provided with an inner space capable of accommodating the sealant. The cover 612 is installed to seal the upper opening of the can 611, and a discharge pipe 617, which is a passage through which raw materials in the can 611 are discharged, is connected to the lower side of the can 611. In addition, the can 611 is provided with a raw material amount detector 611a for detecting the remaining amount of the sealant. Here, the raw material amount detector 611a is a capacitive sensor for measuring the height of the interface due to the difference in dielectric constant of the raw material. Of course, the present invention is not limited thereto, and various means for detecting the remaining amount of the raw material contained in the can 611 may be used.

배출관(617)은 내부로 실런트가 이동할 수 있는 내부 공간을 가지며, 상측 및 하측이 개구된 형상으로 제작되고, 하측 개구부를 통해 공급관(620)이 삽입될 수 있다. 여기서 배출관(617)과 캔(611)은 별도의 연결 부재를 통해 결합되거나, 분리될 수 있다. 그리고 실런트가 충진된 탱크(610)를 교체하기 위하여 배출관(617) 내부로 공급관(620)이 삽입되어 결합되거나, 실런트가 소진된 탱크(610)를 공급관(620)으로 부터 분리할 수 있다. 이러한 배출관(617)의 내부에는 밸브(616)가 설치되어, 배출관(617)과 공급관(620) 사이의 연통을 조절한다. 여기서 실시예에 따른 밸브(616)로 체크 밸브를 이용하는데, 이러한 밸브(616)는 배출관(617) 내의 연통을 조절하는 차단 부재(616a)를 포함한다. 이에, 배출관(617) 내부의 일부 영역의 내경이 차단 부재(616a)에 비해 작도록 제작된다. 차단 부재(616a)에 비해 작은 내경을 가지는 배출관(617) 내부 영역의 해당 측벽은 상기 차단 부재(616a)의 이동을 제한하는 스토퍼의 역할을 한다. 하기에서는 배출관(617) 내부 영역 중 차단 부재(616a)에 비해 작은 내경을 가지는 영역을 중간 유로(617c)라 명명하고, 중간 유로(617c)의 상측 영역을 상측 유로(617a), 상기 중간 유로(617c)의 하측 영역을 하측 유로(617b)라 명명한다. 여기서, 상측 유로(617a)의 내경은 차단 부재(616a)에 비해 크도록 제작되고, 중간 유로(617c)의 내경은 차단 부재(616a)에 비해 작도록 제작된다. 그리고 하측 유로(617b)의 내경은 적어도 공급관(620)의 외경에 비해 크도록 제작되는 것이 바람직하다. 따라서 배출관(617) 내부는 밸브(616)의 차단 부재(616a)의 위치에 따라 상기 차단 부재(616a)의 상측 영역과 하측 영역의 연통이 조절되고, 이로 인해 상기 배출관(617)과 공급관(620) 내부와의 연통이 조절된다.The discharge pipe 617 has an inner space in which the sealant can move, and is formed in a shape in which the upper and lower sides are opened, and the supply pipe 620 may be inserted through the lower opening. Here, the discharge pipe 617 and the can 611 may be coupled or separated through a separate connection member. In addition, the supply pipe 620 may be inserted into the discharge pipe 617 to replace the tank 610 filled with the sealant, or may be separated from the supply pipe 620 with the sealant exhausted tank 610. The valve 616 is installed inside the discharge pipe 617 to adjust the communication between the discharge pipe 617 and the supply pipe 620. Here, a check valve is used as the valve 616 according to the embodiment, and the valve 616 includes a blocking member 616a for controlling communication in the discharge pipe 617. Accordingly, the inner diameter of a portion of the inside of the discharge pipe 617 is manufactured to be smaller than that of the blocking member 616a. The corresponding side wall of the area inside the discharge pipe 617 having a smaller inner diameter than the blocking member 616a serves as a stopper for limiting the movement of the blocking member 616a. Hereinafter, a region having an inner diameter smaller than that of the blocking member 616a among the internal regions of the discharge pipe 617 will be referred to as an intermediate passage 617c, and an upper region of the intermediate passage 617c will be referred to as an upper passage 617a and the intermediate passage ( The lower region of 617c is referred to as the lower flow passage 617b. Here, the inner diameter of the upper flow path 617a is made larger than the blocking member 616a, and the inner diameter of the intermediate flow path 617c is made smaller than the blocking member 616a. And it is preferable that the inner diameter of the lower flow path 617b is made larger than at least the outer diameter of the supply pipe 620. Therefore, the communication between the upper region and the lower region of the blocking member 616a is controlled in the discharge pipe 617 according to the position of the blocking member 616a of the valve 616, and thus the discharge pipe 617 and the supply pipe 620 are controlled. ) Communication with the inside is controlled.

상기에서는 캔(611)의 하부에 배출관(617)이 별도로 결합되는 것을 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 캔(611)과 배출관(617)이 일체형으로 제작될 수 있다. 즉, 캔(611)의 하부에 별도의 배출관(617)이 결합되지 않고, 상기 캔(611) 내부의 하단에 밸브(616)가 설치될 수 있다.In the above, the discharge pipe 617 is separately coupled to the lower part of the can 611, but the present invention is not limited thereto, and the can 611 and the discharge pipe 617 may be integrally manufactured. That is, a separate discharge pipe 617 is not coupled to the lower portion of the can 611, and a valve 616 may be installed at the lower end of the can 611.

밸브(616)는 배출관(617) 내부에 설치되어, 캔(611)과 공급관(620) 사이의 연통을 조절한다. 여기서 실시예에 따른 밸브(616)로 예를 들어, 체크 밸브를 이용한다. 이러한 밸브(616)는 배출관(617) 내부에 설치되며 볼(ball) 형상으로 제작된 차단 부재(616a), 차단 부재(616a) 상측에서 배출관(617) 내벽에 장착 고정된 고정 부재(616c), 일단이 차단 부재(616a)와 결합되고 타단이 고정 부재(616c)에 결합되어 차단 부재(616a)의 이동 방향에 따라 신축 가능하도록 제작된 지지 부재(616b)를 포함한다. 여기서, 차단 부재(616a)는 적어도 배출관(617)의 중간 유로(617c)에 비해 크고 상측 유로(617a)에 비해 작도록 제작된다. 이에, 차단 부재(616a)는 배출관(617) 내부 즉, 중간 유로(617c)와 상측 유로(617a) 사이에서 이동 가능하다. 차단 부재(616a)의 이동은 상기 차단 부재(616a)가 삽입되는 공급관(620)에 지지되거나 상기 공급관(620)으로부터 분리되는 것에 의해 조절된다. 또한 실시예에 따른 지지 부재(616b)로 스프링을 사용한다. 따라서, 지지 부재(616b)는 타단에 차단 부재(616a)가 권취되어 있는 상태로 상기 차단 부재(616a)의 이동에 의해 캔(611)이 위치한 방향으로 수축하거나, 공급관(620)이 배치된 방향으로 이완 된다.The valve 616 is installed inside the discharge pipe 617 to regulate communication between the can 611 and the supply pipe 620. Here, for example, a check valve is used as the valve 616 according to the embodiment. The valve 616 is installed inside the discharge pipe 617 and has a ball-shaped blocking member 616a, a fixing member 616c fixed to the inner wall of the discharge pipe 617 above the blocking member 616a, One end is coupled to the blocking member 616a and the other end is coupled to the fixing member 616c to include a support member 616b that is made to be stretchable in accordance with the moving direction of the blocking member 616a. Here, the blocking member 616a is manufactured to be at least larger than the intermediate channel 617c of the discharge pipe 617 and smaller than the upper channel 617a. Accordingly, the blocking member 616a is movable inside the discharge pipe 617, that is, between the intermediate flow path 617c and the upper flow path 617a. The movement of the blocking member 616a is controlled by being supported by or separated from the supply pipe 620 into which the blocking member 616a is inserted. A spring is also used as the support member 616b according to the embodiment. Therefore, the supporting member 616b is contracted in the direction in which the can 611 is located by the movement of the blocking member 616a while the blocking member 616a is wound at the other end, or the direction in which the supply pipe 620 is disposed. Is relaxed.

공급관(620)은 그 내부로 실런트가 이동할 수 있는 내부 공간이 마련된 파이프 형상으로 제작되며, 배출관(617)과 탈착 가능하다. 즉, 공급관(620)은 배출관(617) 내부로 삽입되어 상기 배출관(617) 내부에 배치된 차단 부재(616a)를 지지하거나, 상기 배출관(617)으로부터 배출되어 차단 부재(616a)와 분리될 수 있다. 실시예에 따른 배출관(617)의 하측 유로(617b)는 원통형의 형상으로 제작되므로, 배출관(617) 역시 원통형으로 제작되는 것이 바람직하다. 그리고 공급관(620)의 외경은 배출관(617)의 내경에 비해 작도록 제작된다. 이는 공급관(620)이 배출관(617)으로 용이하게 삽입될 수 있도록 하기 위함이다. 이러한 공급관(620)이 배출관(617) 내부로 인입될 경우, 상기 공급관(620)의 일단 예컨데, 상단은 차단 부재(616a)를 지지한다. 실시예에 따른 차단 부재(616a)는 볼(ball) 형상으로 제작되므로, 공급관(620)의 상단은 오목한 형상으로 제작되는 것이 바람직하다. 물론 이에 한정되지 않고 공급관(620)의 상단은 차단 부재(616a)를 용이하게 지지할 수 있도록 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 또한 공급관(620)의 측부에는 개구 홀이 마련되는데, 상기 개구 홀을 통해 배출관(617) 내부로 유입된 실런트가 공급관(620) 내부로 이동한다. 하기에서는 공급관(620)의 측부에 마련된 개구 홀을 '유입구(620a)'라 명명한다. 이러한 유입구(620a)는 공급관(620)의 측부 영역 중, 배출관(617) 내부로 삽입되는 영역 예를 들어, 상부 영역에 마련된다. 그리고 유입구(620a)는 공급관(620)의 외주면으로부터 내부 공간이 배치된 방향으로 내리막 경사를 가지도록 제작될 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고, 배출관(617)과 공급관(620)이 연통될 수 있도록 다양한 형상으로 유입구(620a)를 제작할 수 있다.The supply pipe 620 is manufactured in the shape of a pipe having an inner space through which the sealant can move, and is detachable from the discharge pipe 617. That is, the supply pipe 620 may be inserted into the discharge pipe 617 to support the blocking member 616a disposed in the discharge pipe 617 or may be discharged from the discharge pipe 617 to be separated from the blocking member 616a. have. Since the lower passage 617b of the discharge pipe 617 according to the embodiment is manufactured in a cylindrical shape, it is preferable that the discharge pipe 617 is also manufactured in a cylindrical shape. And the outer diameter of the supply pipe 620 is manufactured to be smaller than the inner diameter of the discharge pipe (617). This is to allow the supply pipe 620 to be easily inserted into the discharge pipe (617). When the supply pipe 620 is introduced into the discharge pipe 617, for example, an upper end of the supply pipe 620 supports the blocking member 616a. Since the blocking member 616a according to the embodiment is manufactured in a ball shape, the upper end of the supply pipe 620 is preferably manufactured in a concave shape. Of course, the present invention is not limited thereto, and the upper end of the supply pipe 620 may be manufactured in various shapes to easily support the blocking member 616a. In addition, an opening hole is provided at a side of the supply pipe 620, and the sealant introduced into the discharge pipe 617 through the opening hole moves into the supply pipe 620. In the following, the opening hole provided in the side of the supply pipe 620 is called 'inlet 620a'. The inlet 620a is provided in a region, for example, an upper region, of the side region of the supply pipe 620 that is inserted into the discharge pipe 617. The inlet 620a may be manufactured to have a downhill slope in the direction in which the inner space is disposed from the outer circumferential surface of the supply pipe 620. Of course, the present invention is not limited thereto, and the inlet 620a may be manufactured in various shapes such that the discharge pipe 617 and the supply pipe 620 communicate with each other.

실시예에서는 밸브(616)로 배출관(617) 내에서 이동 가능한 차단 부재(616a) 및 신축 가능한 사이드 부재(616b)를 포함하는 체크 밸브를 이용하고, 공급관(620)에 의해 동작이 제어되는 것을 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 탱크(610)와 공급관(620)의 연통을 조절할 수 있는 다양한 밸브(616)가 사용될 수 있다. 또한, 공급관(620)에 의해 동작하지 않고 자체적으로 동작 가능한 밸브(616)를 이용할 수 있다.In the embodiment, the operation is controlled by the supply pipe 620 using a check valve including a blocking member 616a and a flexible side member 616b movable in the discharge pipe 617 to the valve 616. It was. However, the present invention is not limited thereto, and various valves 616 that control the communication between the tank 610 and the supply pipe 620 may be used. In addition, it is possible to use a valve 616 that can operate by itself without being operated by the supply pipe 620.

하기에서는 도 3 및 도 4를 참조하여, 공급관의 삽입 여부에 따른 밸브의 동작을 설명한다.3 and 4, the operation of the valve according to whether the supply pipe is inserted will be described.

도 3에 도시된 바와 같이, 탱크(610)의 배출관(617)과 공급관(620)이 분리되어 있을 경우, 즉 공급관(620)이 차단 부재(616a)를 지지하고 있지 않을 경우 탱크(610)가 밀폐되어 있는 상태가 된다. 즉, 차단 부재(616a)가 배출관(617) 내부의 중앙 유로(617c)에 배치되어, 상기 배출관(617)의 상측 유로(617a)와 하측 유로(617b) 사이의 연통을 차단한다. 이때 차단 부재(616a)는 스토퍼로 작용하는 중간 유로(617c)의 측벽에 의해 그 이동이 차단되어 더이상 하강하지 않는다. 따라서, 캔(611)으로부터 배출관(617)의 상측 유로(617a)로 배출된 실런트가 차단 부재(616a)에 의해 그 이동이 차단되어 하측 유로(617b)로 이동되지 않으므로, 상기 실런트는 배출관(617) 외부로 배출되지 않는다. 이때, 지지 부재(616b)는 공급관(620)이 배출관(617) 내부로 인입되었을 때에 비해, 이완된 상태이다. 이와 같이 탱크(610)의 배출관(617)과 공급관(620)이 분리되어 상기 탱크(610)가 밀폐되어 있는 경우는 실런트가 충진된 탱크(610)를 공급관(620)과 결합하기 전이거나, 실런트가 모두 소진된 탱크(610)를 공급관(620)으로부터 분리한 상태일 수 있다.As shown in FIG. 3, when the discharge pipe 617 and the supply pipe 620 of the tank 610 are separated, that is, when the supply pipe 620 does not support the blocking member 616a, the tank 610 It is in a sealed state. That is, the blocking member 616a is disposed in the central flow path 617c inside the discharge pipe 617 to block communication between the upper flow path 617a and the lower flow path 617b of the discharge pipe 617. At this time, the blocking member 616a is blocked by the side wall of the intermediate flow path 617c acting as a stopper and no longer descends. Therefore, since the sealant discharged from the can 611 to the upper flow path 617a of the discharge pipe 617 is blocked by the blocking member 616a and is not moved to the lower flow path 617b, the sealant is discharge pipe 617. ) It is not discharged to the outside. At this time, the support member 616b is in a relaxed state as compared with when the supply pipe 620 is drawn into the discharge pipe 617. As such, when the discharge pipe 617 and the supply pipe 620 of the tank 610 are separated and the tank 610 is sealed, the tank 610 filled with the sealant is combined with the supply pipe 620 or the sealant. May be in a state in which all of the exhausted tanks 610 are separated from the supply pipe 620.

반대로, 도 4에 도시된 바와 같이 탱크(610)의 배출관(617) 내부로 공급관(620)을 삽입시켜, 상기 공급관(620)에 차단 부재(616a)가 지지되도록 하면, 탱크(610)와 공급관(620) 사이가 연통된다. 즉, 예를 들어 실런트가 충진된 탱크(610)를 공급관(620) 상측에 대응 배치시키고, 상기 탱크(610)를 하강시켜 배출관(617) 내로 공급관(620)이 삽입되도록 한다. 이때, 공급관(620)의 상단에 차단 부재(616a)가 지지되고, 상기 공급관(620)에 마련된 유입구(620a)가 중간 유로(617c)의 상측 즉, 상측 유로(617a)에 배치되도록 공급관(620)을 삽입시킨다. 이와 같이 공급관(620)이 차단 부재(616a)를 지지한 상태로 탱크(610)가 계속하여 하강하면, 상기 차단 부재(616a)는 탱크(610)의 하강 방향과 반대 방향인 상측으로 이동한다. 이에, 차단 부재(616a)는 중앙 유로(617c)의 측벽으로부터 분리되고, 차단 부재(616a)가 상승하는 힘에 의해, 지지 부재(616b)는 차단 부재(616a)를 권취한 상태로 캔(611)이 배치된 방향으로 수축된다. 그리고 지지 부재(616b)는 공급관(620)이 배출관(617) 내부로 삽입되지 않고, 외부에 배치되었을 때에 비해 수축된 상태가 된다. 이와 같은 차단 부재(616a)의 동작에 의해 배출관(617)의 상측 유로(617a)와 하측 유로(617b)가 연통된다. 따라서, 캔(611)으로부터 배출관(617)의 상측 유로(617a)로 이동한 실런트는 공급관(620)의 유입구(620a)를 통해 상기 공급관(620) 내부로 이동한다.On the contrary, when the supply pipe 620 is inserted into the discharge pipe 617 of the tank 610 so that the blocking member 616a is supported by the supply pipe 620, the tank 610 and the supply pipe as shown in FIG. 620 is in communication. That is, for example, the tank 610 filled with the sealant is disposed to correspond to the upper side of the supply pipe 620, and the tank 610 is lowered so that the supply pipe 620 is inserted into the discharge pipe 617. At this time, the blocking member 616a is supported on the upper end of the supply pipe 620, the supply pipe 620 so that the inlet 620a provided in the supply pipe 620 is disposed above the intermediate flow path 617c, that is, the upper flow path 617a. ). As described above, when the tank 610 continues to descend while the supply pipe 620 supports the blocking member 616a, the blocking member 616a moves upward in a direction opposite to the downward direction of the tank 610. Accordingly, the blocking member 616a is separated from the side wall of the central flow path 617c, and the supporting member 616b is wound in a state in which the supporting member 616b is wound around the blocking member 616a by the force of the blocking member 616a. ) Is contracted in the arrangement direction. In addition, the support member 616b is not inserted into the discharge pipe 617 but is in a contracted state compared to when the supply pipe 620 is disposed outside. The upper flow path 617a and the lower flow path 617b of the discharge pipe 617 communicate with each other by the operation of the blocking member 616a. Therefore, the sealant moved from the can 611 to the upper flow path 617a of the discharge pipe 617 is moved into the supply pipe 620 through the inlet 620a of the supply pipe 620.

원료 공급 모듈(630)은 공급관(620)으로부터 원료 물질을 제공받아, 이를 디스펜서(400)로 공급한다. 이러한 원료 공급 모듈(630)은 실런트를 수용하는 내부 공간이 마련된 공급 몸체(631), 공급 몸체(631)의 내에 배치되는 제 1 사이드 부재(633), 적어도 일부가 제 1 사이드 부재(633) 내에 배치되어 회전하는 제 1 회전 부재(632), 제 1 회전 부재(632)에 회전 동력을 제공하는 제 1 동력부(635), 제 1 회전 부재(632)의 회전 속도를 조절하는 제 1 속도 조절기(636) 및 제 1 회전 부재(632)의 회전 방향을 조절하는 제 1 회전 방향 조절기(635a)를 포함한다.The raw material supply module 630 receives the raw material from the supply pipe 620 and supplies it to the dispenser 400. The raw material supply module 630 includes a supply body 631 having an inner space for accommodating a sealant, a first side member 633 disposed in the supply body 631, and at least a portion of the raw material supply module 630 in the first side member 633. A first speed controller configured to adjust the rotational speed of the first rotating member 632 disposed and rotating, the first power unit 635 providing rotational power to the first rotating member 632, and the first rotating member 632. 636 and a first rotational direction adjuster 635a for adjusting the rotational direction of the first rotational member 632.

공급 몸체(631)는 공급관(620)으로부터 실런트를 공급 받아, 이를 수용하는 내부 공간을 가진다. 실시예에 따른 공급 몸체(631)는 원통형의 형상으로 제작되나, 이에 한정되지 않고 실런트를 수용할 수 있는 내부 공간이 마련된 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 이러한 공급 몸체(631)의 일측에는 공급관(620)의 실런트가 유입되는 제 1 입구(634)가 마련되고, 타측에는 실런트가 배출되는 제 1 출구(636)가 마련된다. 그리고 공급 몸체(631)에 마련된 제 1 입구(634)에 공급관(620)이 연결되고, 제 1 출구(636)에 공급 라인(640)이 연결된다.The supply body 631 receives an sealant from the supply pipe 620 and has an inner space for accommodating the sealant. The supply body 631 according to the embodiment is manufactured in a cylindrical shape, but is not limited thereto, and may be manufactured in various shapes in which an inner space for accommodating the sealant is provided. One side of the supply body 631 is provided with a first inlet 634 through which the sealant of the supply pipe 620 flows, and a first outlet 636 through which the sealant is discharged. The supply pipe 620 is connected to the first inlet 634 provided in the supply body 631, and the supply line 640 is connected to the first outlet 636.

제 1 사이드 부재(633)는 공급 몸체(631)의 내측벽을 따라 설치되며, 적어도 일측 즉, 공급 라인(640)이 배치된 방향이 개방되도록 제작된다. 여기서, 제 1 사이드 부재(633)는 공급 몸체(631)와 대응되는 형상으로 제작되는 것이 바람직하다. 이에 실시예에 따른 제 1 사이드 부재(633)는 원통형의 형상으로 제작된다. 그리고 제 1 사이드 부재(633)의 내측벽에는 후술되는 제 1 회전 부재(632)의 제 1 날개(632b)의 일부가 삽입되어 회전하는 제 1 나사홈(633a)이 마련된다. 여기서 제 1 나사홈(633a)은 제 1 날개(632b)의 형상과 대응하도록 소정 각도록 기울어진 나선형의 형상으로 제작된다. 실시예에 따른 제 1 사이드 부재(633)은 비스캔 계열의 슈퍼바이톤 재질을 이용하여 제작된다. 물론 이에 한정되지 않고, 고무 이외에 다양한 재료를 이용하여 제 1 사이드 부재(633)를 제작할 수 있다. The first side member 633 is installed along the inner wall of the supply body 631, and is manufactured to open at least one side, that is, the direction in which the supply line 640 is disposed. Here, the first side member 633 is preferably manufactured in a shape corresponding to the supply body 631. Accordingly, the first side member 633 according to the embodiment is manufactured in a cylindrical shape. In addition, a first screw groove 633a is inserted into an inner wall of the first side member 633 to insert and rotate a part of the first blade 632b of the first rotating member 632 to be described later. Here, the first screw groove 633a is manufactured in a spiral shape inclined to a predetermined angle so as to correspond to the shape of the first blade 632b. The first side member 633 according to the embodiment is manufactured using a biscan-based super viton material. Of course, the present invention is not limited thereto, and the first side member 633 may be manufactured using various materials other than rubber.

제 1 회전 부재(632)는 적어도 일부가 공급 몸체(631) 내에 삽입되어, 실런트를 공급 라인(640)으로 공급하거나, 실런트를 공급 라인(640)이 배치된 방향과 반대 방향으로 이동시킨다. 실시예에서는 제 1 회전 부재(632)로 스크류 장치를 이용한다. 이러한 제 1 회전 부재(632)는 공급 몸체(631) 내에 삽입되어 회전 가능한 제 1 샤프트(632a), 제 1 샤프트(632a)의 외주면에 장착되어 상기 제 1 샤프트(632a)와 함께 회전하는 제 1 날개(632b)를 포함한다. 여기서 제 1 날개(632b)는 소정 각도로 기울어진 나선형의 형상으로 제작된다. 이에, 제 1 회전 부재(632)의 회전 방향에 따라 공급 몸체(631) 내의 실런트가 공급 라인(640)으로 이동하거나, 공급 라인(640)이 배치된 방향과 반대 방향으로 이동한다. 실시예에서는 제 1 회전 부재(632)를 시계 방향으로 회전시켜, 공급 몸체(631)에 수용된 실런트를 공급 라인(640)으로 공급한다. 또한, 반대로 제 1 회전 부재(632)를 반 시계 방향으로 회전시켜, 실런트가 공급 라인(640)이 배치된 방향과 반대 방향으로 이동하도록 한다. 하기에서는 제 1 회전 부재(632)의 회전 방향에 있어서, 시계 방향을 '정방향'이라 명명하고, 반 시계 방향으로 '역방향'이라 명명한다. 또한, 제 1 회전 부재(632)를 역방향으로 회전시켜, 실런트가 공급 라인(640)이 배치된 방향과 반대 방향으로 이동하는 것을 '역류'라 정의한다. 한편, 제 1 회전 부재(632)의 회전량 및 회전 속도에 따라 공급 라인(640)으로 공급되는 실런트의 공급량이 조절된다. 즉, 제 1 회전 부재(632)의 1회 회전 시에 상기 제 1 회전 부재(632)의 제 1 날개(632b)의 피치 상당분의 실런트가 공급 라인(640)으로 공급된다.At least a portion of the first rotating member 632 is inserted into the supply body 631 to supply the sealant to the supply line 640 or to move the sealant in a direction opposite to the direction in which the supply line 640 is disposed. In the embodiment, a screw device is used as the first rotating member 632. The first rotating member 632 is inserted into the supply body 631 and is rotatable to the first shaft 632a and the first circumferential surface of the first shaft 632a to rotate together with the first shaft 632a. Wing 632b. Here, the first wing 632b is manufactured in a spiral shape inclined at a predetermined angle. Accordingly, the sealant in the supply body 631 moves to the supply line 640 according to the rotation direction of the first rotating member 632, or moves in a direction opposite to the direction in which the supply line 640 is disposed. In the embodiment, the first rotating member 632 is rotated clockwise to supply the sealant contained in the supply body 631 to the supply line 640. On the contrary, the first rotating member 632 is rotated counterclockwise so that the sealant moves in a direction opposite to the direction in which the supply line 640 is disposed. In the following, in the rotation direction of the first rotating member 632, the clockwise direction is referred to as 'forward direction', and the counterclockwise direction is referred to as 'reverse direction'. In addition, by rotating the first rotating member 632 in the reverse direction, the sealant moves in a direction opposite to the direction in which the supply line 640 is disposed is defined as 'backflow'. Meanwhile, the supply amount of the sealant supplied to the supply line 640 is adjusted according to the rotation amount and the rotation speed of the first rotation member 632. That is, the sealant corresponding to the pitch of the first blade 632b of the first rotating member 632 is supplied to the supply line 640 during one rotation of the first rotating member 632.

제 1 동력부(635)는 제 1 회전 부재(632)의 제 1 샤프트(632a)에 연결되어, 상기 제 1 샤프트(632a)에 회전 동력을 제공한다. 이러한 제 1 동력부(635)는 공급 몸체(631)의 외측에 배치되어, 상기 공급 몸체(631)의 외측으로 돌출된 제 1 샤프트(632a)의 일단과 연결된다. 또한 제 1 동력부(635)는 제 1 회전 부재(632)의 회전 방향을 조절하는 제 1 회전 방향 조절기(635a) 및 제 1 속도 조절기(636)와 연결된다. 즉, 제 1 회전 방향 조절기(635a)는 제 1 회전 부재(632)를 정방향 또는 역방향으로 회전되도록 조절하며, 상기 제 1 회전 방향 조절기(635a)는 후술되는 제어 모듈(650)과 연결된다. 또한, 제 1 속도 조절기(636)는 제 1 샤프트(632a)의 회전 속도를 조절하여, 공급 라인(640)으로 공급되는 실런트의 공급량을 조절한다.The first power unit 635 is connected to the first shaft 632a of the first rotating member 632 to provide rotational power to the first shaft 632a. The first power unit 635 is disposed outside the supply body 631, and is connected to one end of the first shaft 632a protruding to the outside of the supply body 631. In addition, the first power unit 635 is connected to the first rotation direction controller 635a and the first speed controller 636 to adjust the rotation direction of the first rotation member 632. That is, the first rotation direction controller 635a adjusts the first rotation member 632 to be rotated in the forward or reverse direction, and the first rotation direction controller 635a is connected to the control module 650 described later. In addition, the first speed controller 636 adjusts the rotational speed of the first shaft 632a to adjust the supply amount of the sealant supplied to the supply line 640.

공급 라인(640)은 실런트가 이동할 수 있는 내부 공간이 마련된 파이프 형상으로 제작된다. 이러한 공급 라인(640)의 일단은 원료 공급 모듈의 공급 몸체(631)와 연결되고, 타단은 디스펜서(400)와 연결된다. 이러한 공급 라인(640)은 그 내부에 수용되는 실런트의 양에 따라 압력이 가변된다. 즉, 공급 라인(640) 내부로 공급된 실런트의 양이 많을 때에 비해, 상기 공급 라인(640)의 양이 적을 때 압력이 낮다. 실시예에서는 공급되는 실런트의 양에 따라 공급 라인(640) 내부의 압력의 가변되는 것을 이용하여, 실런트의 공급 상태를 감지한다. 그리고 실런트의 공급 상태에 따라 원료 공급 모듈(630)의 제 1 회전 부재(632)의 회전 속도 및 회전 방향을 조절하여, 공급 라인(640) 및 디스펜서(400)로 공급되는 실런트의 양을 조절한다.The supply line 640 is manufactured in a pipe shape in which an inner space for moving the sealant is provided. One end of the supply line 640 is connected to the supply body 631 of the raw material supply module, and the other end is connected to the dispenser 400. The supply line 640 is variable in pressure depending on the amount of sealant contained therein. That is, the pressure is lower when the amount of the supply line 640 is smaller than when the amount of the sealant supplied into the supply line 640 is large. In an embodiment, the supply state of the sealant is sensed by using a change in the pressure inside the supply line 640 according to the amount of the sealant supplied. The amount of sealant supplied to the supply line 640 and the dispenser 400 is adjusted by adjusting the rotation speed and the rotation direction of the first rotating member 632 of the raw material supply module 630 according to the supply state of the sealant. .

디스펜서(400)는 원료 공급 모듈(630)로부터 실런트를 공급 받아, 이를 기판(S) 상에 도포한다. 이러한 디스펜서(400)는 겐트리(300) 상에 장착된 수평 이동 수단(500)과 결합되어, 상기 수평 이동 수단(500)에 의해 수평 이동하는 결합 부재(480), 실런트를 수용하는 내부 공간이 마련된 토출 몸체(410), 토출 몸체(410)의 일단에 연결되어 상기 토출 몸체(410)로부터 실런트를 제공받아 이를 기판(S) 상에 도포하는 노즐(420), 토출 몸체(410)의 내에 배치된 제 2 사이드 부재(440), 적어도 일부가 제 2 사이드 부재(440) 내에 배치되어 회전하는 제 2 회전 부재(430), 제 2 회전 부재(430)에 회전 동력을 제공하는 제 2 동력부(450), 제 2 회전 부재(430)의 회전 속도를 조절하는 제 2 속도 조절기(460)를 포함한다.The dispenser 400 receives the sealant from the raw material supply module 630 and applies the sealant on the substrate S. The dispenser 400 is coupled to the horizontal moving means 500 mounted on the gantry 300, the coupling member 480 to move horizontally by the horizontal moving means 500, the inner space for receiving the sealant It is disposed in the discharge body 410, the nozzle 420, the discharge body 410 is connected to one end of the discharge body 410 is provided with a sealant from the discharge body 410 to apply it on the substrate (S) Second side member 440, at least a portion of which is disposed in the second side member 440, and a second rotating member 430 that rotates, and a second power unit that provides rotational power to the second rotating member 430 ( 450, a second speed controller 460 for adjusting the rotational speed of the second rotating member 430.

토출 몸체(410)는 원료 공급 모듈(630)로부터 실런트를 공급받아 이를 수용하는 내부 공간을 가지며, 실시예에 따른 토출 몸체(410)는 원통형의 형상으로 제작된다. 물론 이에 한정되지 않고 실런트를 수용할 수 있는 내부 공간이 마련된 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 이러한 토출 몸체(410)의 일측에는 공급 라인(640)의 실런트가 유입되는 제 2 입구(470)가 마련되고, 타측에는 실런트가 배출되는 제 2 출구(480)가 마련된다. 그리고 토출 몸체(410)에 마련된 제 2 입구(470)에 공급관(620)이 연결되고, 제 2 출구(480)에 노즐(420)이 연결된다. 또한, 이러한 토출 몸체(410)는 겐트리(300) 상에 장착된 수평 이동 수단(500)에 의해 수평 이동하는 결합 부재(480) 상에 장착 고정된다.The discharge body 410 has an inner space for receiving the sealant from the raw material supply module 630 to receive it, and the discharge body 410 according to the embodiment is manufactured in a cylindrical shape. Of course, the present invention is not limited thereto, and may be manufactured in various shapes in which an inner space for accommodating the sealant is provided. One side of the discharge body 410 is provided with a second inlet 470 through which the sealant of the supply line 640 flows, and a second outlet 480 through which the sealant is discharged. The supply pipe 620 is connected to the second inlet 470 provided in the discharge body 410, and the nozzle 420 is connected to the second outlet 480. In addition, the discharge body 410 is fixed to the mounting member 480 to move horizontally by the horizontal moving means 500 mounted on the gantry (300).

제 2 사이드 부재(440)는 토출 몸체(410)의 내측벽을 따라 설치되며, 상측 및 하측이 개방된 원통형으로 제작된다. 여기서 제 2 사이드 부재(440)는 토출 몸체(410)와 대응되는 형상으로 제작되는 것이 바람직하며, 살시예에 따른 제 2 사이드 부재(440)는 원통형의 형상으로 제작된다. 그리고 제 2 사이드 부재(440)의 내측벽에는 제 2 날개(432)의 일부가 삽입되는 제 2 나사홈(440a)이 마련된다. 여기서 제 2 나사홈(440a)은 후술되는 제 2 날개(432)의 형상과 대응하도록 제작된다. 실시예에 따른 제 2 날개(432)는 소정 각도로 기울어진 나선형의 형상으로 제작되므로, 제 2 나사홈(440a)은 제 2 사이드 부재(440) 상에서 소정 각도로 기울어진 나선형의 형상으로 제작된다. 실시예에 따른 제 1 사이드 부재(633)은 비스캔 계열의 슈퍼바이톤 재질을 이용하여 제작되나, 이에 한정되지 않고 탄성 및 내화학성이 우수한 다양한 재료를 이용하여 제작될 수 있다.The second side member 440 is installed along the inner wall of the discharge body 410, and is manufactured in a cylindrical shape having an upper side and a lower side open. Here, the second side member 440 is preferably manufactured in a shape corresponding to the discharge body 410, the second side member 440 according to the salsi example is manufactured in a cylindrical shape. In addition, a second screw groove 440a into which a portion of the second wing 432 is inserted is provided on an inner wall of the second side member 440. Here, the second screw groove 440a is manufactured to correspond to the shape of the second blade 432 described later. Since the second blade 432 according to the embodiment is manufactured in a spiral shape inclined at a predetermined angle, the second screw groove 440a is manufactured in a spiral shape inclined at a predetermined angle on the second side member 440. . The first side member 633 according to the embodiment may be manufactured using a biscan-based super viton material, but is not limited thereto and may be manufactured using various materials having excellent elasticity and chemical resistance.

실시예에서는 제 2 회전 부재(430)로 회전축에 설치된 날개의 회전에 의해 대상물을 밀어낼 수 있는 스크류(screw) 장치를 이용한다. 이러한 제 2 회전 부재(430)는 적어도 일부가 제 2 사이드 부재(440) 내에 삽입되며 회전 가능한 제 2 샤프트(431), 제 2 샤프트(431)의 외주면에 장착되어 상기 제 2 샤프트(431)와 함께 회전하는 제 2 날개(432)를 포함한다. 실시예에 따른 제 2 샤프트(431)는 원통형의 형상으로 제작되나 이에 한정되지 않고 회전이 가능한 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 그리고 제 2 날개(432)는 소정 각도로 기울어진 나선형의 형상으로 제작된다. 이러한 제 2 회전 부재(430)의 회전 방향에 따라 토출 몸체(410) 내의 실런트가 노즐(420)이 배치된 방향으로 이동하거나, 노즐(420)이 배치된 방향과 반대 방향으로 이동한다. 실시예에서는 제 2 회전 부재(430)를 시계 방향으로 회전시켜, 토출 몸체(410) 내에 수용된 실런트를 노즐(420)을 통해 토출 시킨다. 또한, 반대로 제 2 회전 부재(430)를 반 시계 방향으로 회전시켜, 실런트를 노즐(420)이 배치된 방향과 반대 방향으로 이동시킨다. 하기에서는 제 2 회전 부재(430)의 회전 방향에 있어서 시계 방향을 '정방향'이라 명명하고, 반 시계 방향을 '역방향'이라 명명한다. 또한, 제 2 회전 부재(430)를 역방향으로 회전시켜, 실런트를 노즐(420)이 배치된 방향과 반대 방향으로 이동시키는 것을 '역류'라 정의한다. 따라서, 제 2 회전 부재(430)를 정방향으로 회전시키면 토출 몸체(410) 내의 실런트가 노즐(420)로 이동하여 토출된다. 또한 제 2 회전 부재(430)를 역 방향으로 회전시키면 토출 몸체(410) 내의 실런트가 역류한다. 이때, 제 2 회전 부재(430)의 회전량 및 회전 속도에 따라 실런트의 이동량이 조절된다. 예를 들어, 제 2 회전 부재(430)의 1회 회전시에 상기 제 2 회전 부재(430)의 제 2 날개(432)의 피치 상당분의 실런트가 이동한다.In the embodiment, a screw device capable of pushing the object by the rotation of the blade installed on the rotating shaft by the second rotating member 430 is used. At least a part of the second rotating member 430 is inserted into the second side member 440, and is mounted on the rotatable second shaft 431 and the outer circumferential surface of the second shaft 431, and the second shaft 431 is coupled to the second shaft 431. And a second vane 432 rotating together. The second shaft 431 according to the embodiment may be manufactured in a cylindrical shape, but is not limited thereto and may be manufactured in various shapes that can be rotated. The second blade 432 is manufactured in a spiral shape inclined at a predetermined angle. According to the rotation direction of the second rotating member 430, the sealant in the discharge body 410 moves in the direction in which the nozzle 420 is disposed, or moves in a direction opposite to the direction in which the nozzle 420 is disposed. In an embodiment, the second rotating member 430 is rotated in the clockwise direction to discharge the sealant contained in the discharge body 410 through the nozzle 420. On the contrary, the second rotating member 430 is rotated counterclockwise to move the sealant in a direction opposite to the direction in which the nozzle 420 is disposed. In the following description, the clockwise direction is referred to as the 'forward direction' in the rotation direction of the second rotation member 430, and the counterclockwise direction is referred to as the 'reverse direction'. In addition, the rotation of the second rotating member 430 in the reverse direction to move the sealant in a direction opposite to the direction in which the nozzle 420 is defined as 'backflow'. Therefore, when the second rotating member 430 is rotated in the forward direction, the sealant in the discharge body 410 moves to the nozzle 420 and is discharged. In addition, when the second rotating member 430 is rotated in the reverse direction, the sealant in the discharge body 410 flows back. At this time, the movement amount of the sealant is adjusted according to the rotation amount and the rotation speed of the second rotation member 430. For example, the sealant corresponding to the pitch of the second blade 432 of the second rotating member 430 moves in one rotation of the second rotating member 430.

제 2 동력부(450)는 제 2 회전 부재(430)의 제 2 샤프트(431)에 연결되어, 상기 제 2 샤프트(431)에 회전 동력을 제공한다. 이러한 제 2 동력부(450)는 토출 몸체(410)의 외측에 배치되어, 상기 토출 몸체(410)의 외측으로 돌출된 제 2 샤프트(431)의 일단과 연결된다. 또한 제 2 동력부(450)는 제 2 회전 부재(430)의 회전 방향을 조절하는 제 2 회전 방향 조절기(450a) 및 제 2 속도 조절기(460)와 연결된다. 여기서 제 2 회전 방향 조절기(450a)는 제 2 회전 부재(430)의 회전 방향을 조절하고, 제 2 속도 조절기(460)는 제 2 회전 부재(430)의 회전 속도를 조절한다. 즉, 제 2 회전 방향 조절기(450a)는 제 2 회전 부재(430)의 회전 방향을 조절하여, 실런트를 토출 및 흡입을 조절한다. 그리고 제 2 속도 조절기(460)는 제 2 회전 부재(430)의 정방향 회전 속도 및 역방향 회전 속도를 조절하여, 실런트의 토출량을 조절한다.The second power unit 450 is connected to the second shaft 431 of the second rotating member 430 to provide rotational power to the second shaft 431. The second power unit 450 is disposed outside the discharge body 410 and is connected to one end of the second shaft 431 protruding outside the discharge body 410. In addition, the second power unit 450 is connected to the second rotation direction controller 450a and the second speed controller 460 for adjusting the rotation direction of the second rotation member 430. Here, the second rotation direction controller 450a adjusts the rotation direction of the second rotation member 430, and the second speed controller 460 adjusts the rotation speed of the second rotation member 430. That is, the second rotation direction controller 450a adjusts the rotation direction of the second rotation member 430 to control discharge and suction of the sealant. In addition, the second speed controller 460 adjusts the forward rotation speed and the reverse rotation speed of the second rotation member 430 to adjust the discharge amount of the sealant.

제어 모듈(650)은 공급 라인(640) 내의 압력을 감지하는 센서(651), 센서(651)와 연결되어 상기 센서(651)에서 감지된 공급 라인(640)의 압력과 기 설정된 압력을 비교하여 실런트의 공급 상태를 판단하는 판단부(652) 및 판단부(652)의 판단 결과에 따라 원료 공급 모듈(630) 제 1 회전 부재(632)의 회전 방향 및 회전 속도를 제어하는 제어부(653)을 포함한다. 여기서 센서(651)는 공급 라인(640) 내부로 공급되는 실런트의 양에 따라 상기 공급 라인(640) 내부의 압력의 변화를 감지한다. 그리고 센서(651)에 의해 감지된 압력은 판단부(652)로 전송된다. 판단부(652)는 작업자가 기 설정한 공급 라인(640)의 압력과 센서(651)에 의해 감지된 공급 라인(640)의 압력을 비교하여, 실런트의 공급 상태를 판단한다. 여기서 기 설정된 공급 라인(640)의 압력은 상기 공급 라인(640)을 이용하여 디스펜서(400)의 시린지(410)로 연속하여 실런트를 공급하기에 용이한 압력일 수 있다. 제어부(653)는 제 1 회전 방향 조절기(635a) 및 제 1 속도 조절기(636)와 연결되어, 상기 제 1 회전 방향 조절기(635a) 및 제 1 속도 조절기(636)를 통해 제 1 회전 부재(632)의 회전 방향 및 회전 속도를 제어한다. 이에, 제어부(653)는 판단부(652)에서 판단한 결과에 따라 제 1 회전 부재(632)의 회전 방향 및 회전 속도를 조절하여 공급 라인(640)의 압력을 증가시키거나, 감소 시킨다.The control module 650 is connected to the sensor 651 and the sensor 651 which detect the pressure in the supply line 640, and compares the pressure of the supply line 640 detected by the sensor 651 with a preset pressure. The control unit 653 for controlling the rotation direction and the rotational speed of the raw material supply module 630 and the first rotation member 632 according to the determination result of the determination unit 652 and the determination unit 652 determining the supply state of the sealant. Include. The sensor 651 detects a change in the pressure inside the supply line 640 according to the amount of sealant supplied into the supply line 640. In addition, the pressure sensed by the sensor 651 is transmitted to the determination unit 652. The determination unit 652 compares the pressure of the supply line 640 preset by the operator with the pressure of the supply line 640 sensed by the sensor 651, and determines the supply state of the sealant. The pressure of the preset supply line 640 may be a pressure that is easy to continuously supply the sealant to the syringe 410 of the dispenser 400 using the supply line 640. The control unit 653 is connected to the first rotation direction controller 635a and the first speed controller 636, and the first rotation member 632 through the first rotation direction controller 635a and the first speed controller 636. Control the rotation direction and rotation speed. Accordingly, the controller 653 increases or decreases the pressure of the supply line 640 by adjusting the rotation direction and the rotation speed of the first rotation member 632 according to the result determined by the determination unit 652.

도 5는 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재 및 디스펜서의 제 2 회전 부재 각각을 정방향으로 회전시켜, 상기 디스펜서의 노즐을 이용하여 기판 상에 실런트를 도포하는 것을 도시한 도면이다. 도 6은 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재 및 디스펜서의 제 2 회전 부재 각각을 역방향으로 회전시켜, 상기 실런트를 역류시키는 것을 도시한 도면이다. 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 원료 공급 유닛을 이용하여 디스펜서로 실런트를 공급하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.FIG. 5 is a diagram illustrating the application of the sealant onto the substrate using the nozzle of the dispenser by rotating each of the first rotating member of the raw material supply module and the second rotating member of the dispenser in a forward direction. FIG. 6 is a diagram illustrating the reverse flow of the sealant by rotating the first rotating member of the raw material supply module and the second rotating member of the dispenser in the reverse direction. 7 is a flowchart illustrating a method of supplying a sealant to a dispenser using a raw material supply unit according to an embodiment of the present invention.

하기에서는 도 5 내지 도 7을 참고하여, 실시예에 따른 원료 공급 모듈을 이용하여 디스펜서로 실런트를 공급하고, 디스펜서로 기판 상에 실런트를 도포하는 방법을 설명한다. 이때 상기에서 설명한 내용과 중복되는 내용은 생략하거나 간략히 설명한다.Hereinafter, a method of supplying a sealant to a dispenser using a raw material supply module according to an embodiment and applying the sealant on a substrate using the dispenser will be described with reference to FIGS. 5 to 7. In this case, the content overlapping with the above description will be omitted or briefly described.

챔버(100) 내부에 배치된 스테이지(200) 상에 기판(s)을 안치시킨다. 그리고 원료 공급 유닛(600)을 이용하여 디스펜서(400)로 실런트를 공급하고, 디스펜서(400)는 기판(s) 상에 실런트를 도포한다. The substrate s is placed on the stage 200 disposed in the chamber 100. The sealant is supplied to the dispenser 400 using the raw material supply unit 600, and the dispenser 400 applies the sealant on the substrate s.

이를 위해, 먼저 실런트가 수용된 탱크(610)의 배출관(617) 내에 공급관(620)을 인입시켜, 상기 공급관(620)에 밸브(616)의 차단 부재(616a)가 지지되도록 함으로써, 탱크(610)와 공급관(620) 사이를 연통시킨다. 즉, 예를 들어 실런트가 충진된 탱크(610)를 공급관(620) 상측에 대응 배치시키고, 상기 탱크(610)를 하강시켜 배출관(617) 내로 공급관(620)이 인입되도록 한다. 그리고 공급관(620)에 차단 부재(616a)가 지지한 상태로 탱크(610)를 계속하여 하강시키면, 상기 차단 부재(616a)는 탱크(610)의 하강 방향과 반대 방향인 상측으로 이동한다. 이에, 차단 부재(616a)는 중앙 유로(617c)의 측벽으로부터 분리되고, 차단 부재(616a)가 상승하는 힘에 의해, 지지 부재(616b)는 차단 부재(616a)를 권취한 상태로 캔(611)이 배치된 방향으로 수축된다. 이와 같은 차단 부재(616a)의 동작에 의해 배출관(617)의 상측 유로(617a)와 하측 유로(617b)가 연통된다. 따라서, 캔(611)으로부터 배출관(617)의 상측 유로(617a)로 이동한 실런트는 공급관(620)의 유입구(620a)를 통해 상기 공급관(620) 내부로 이동한다. 그리고 공급관(620)의 타단은 원료 공급 모듈(630)과 연통되어 있으므로, 상기 공급관(620) 내로 이동한 실런트는 원료 공급 모듈(630)의 공급 몸체(631) 내부로 공급된다.To this end, the supply pipe 620 is first introduced into the discharge pipe 617 of the tank 610 in which the sealant is accommodated, so that the blocking member 616a of the valve 616 is supported by the supply pipe 620, thereby providing a tank 610. And communication between the supply pipe 620. That is, for example, the tank 610 filled with the sealant is disposed to correspond to the upper side of the supply pipe 620, and the tank 610 is lowered to allow the supply pipe 620 to be introduced into the discharge pipe 617. When the tank 610 is continuously lowered while the blocking member 616a is supported by the supply pipe 620, the blocking member 616a moves upward in a direction opposite to the downward direction of the tank 610. Accordingly, the blocking member 616a is separated from the side wall of the central flow path 617c, and the supporting member 616b is wound in a state in which the supporting member 616b is wound around the blocking member 616a by the force of the blocking member 616a. ) Is contracted in the arrangement direction. The upper flow path 617a and the lower flow path 617b of the discharge pipe 617 communicate with each other by the operation of the blocking member 616a. Therefore, the sealant moved from the can 611 to the upper flow path 617a of the discharge pipe 617 is moved into the supply pipe 620 through the inlet 620a of the supply pipe 620. Since the other end of the supply pipe 620 is in communication with the raw material supply module 630, the sealant moved into the supply pipe 620 is supplied into the supply body 631 of the raw material supply module 630.

공급 몸체(631) 내부에 실런트가 충진되면, 도 7에 도시된 바와 같이 제 1 회전 부재(632)를 정방향으로 회전시켜, 실런트를 공급 라인(640)을 통해 디스펜서체(400)로 공급한다(S100). 즉, 도 5에 도시된 바와 같이 제 1 회전 방향 조절기(635a) 및 제 1 동력부(635)를 이용하여 원료 공급 모듈(630)의 제 1 회전 부재(632)를 정방향으로 회전시킨다. 이때, 제 1 속도 조절기(636)를 이용하여 제 1 회전 부재(632)가 일정한 속도로 회전하도록 조절한다. 이러한 제 1 회전 부재(632)의 회전에 의해 제 1 날개(632b)는 제 1 사이드 부재(633)의 내벽에 마련된 제 1 나사홈(633a)을 따라 정방향으로 회전한다. 제 1 나사홈(633a)이 정방향으로 회전하는 힘은 실런트를 공급 라인(640)이 배치된 방향으로 미는 힘으로 작용한다. 따라서, 제 1 회전 부재(632)의 정방향 회전에 의해 공급 몸체(631) 내로 공급된 실런트는 공급 라인(640)으로 이동한다. 그리고 실런트는 공급 라인(640)을 통해 디스펜서(400)의 토출 몸체(410) 내로 공급 된다.When the sealant is filled in the supply body 631, as shown in FIG. 7, the first rotating member 632 is rotated in the forward direction to supply the sealant to the dispenser body 400 through the supply line 640 ( S100). That is, as shown in FIG. 5, the first rotation member 632 of the raw material supply module 630 is rotated in the forward direction by using the first rotation direction controller 635a and the first power unit 635. At this time, the first rotation member 632 is adjusted to rotate at a constant speed using the first speed controller 636. By the rotation of the first rotating member 632, the first vane 632b rotates along the first screw groove 633a provided in the inner wall of the first side member 633 in the forward direction. The force that the first screw groove 633a rotates in the forward direction acts as a force that pushes the sealant in the direction in which the supply line 640 is disposed. Accordingly, the sealant supplied into the supply body 631 by the forward rotation of the first rotating member 632 moves to the supply line 640. The sealant is supplied into the discharge body 410 of the dispenser 400 through the supply line 640.

또한, 상기와 같이 원료 공급 모듈(630)을 이용하여 공급 라인(640)으로 실런트를 공급하는 동안, 센서(651)는 공급 라인(640)의 압력을 실시간으로 감지한다(S200). 이때, 예를 들어, 센서(651)에서 감지된 공급 라인(640)의 압력이 판단부(652)에 기 설정된 압력에 비해 낮을 경우, 상기 공급 라인(640)으로 공급된 실런트의 양이 부족한 것으로 판단한다. 따라서, 제어부(653)를 이용하여 원료 공급 모듈(630)의 제 1 동력부(635) 및 제 1 속도 조절기(636)를 제어하여, 상기 제 1 회전 부재(632)의 정방향 회전 속도를 증가시킨다(S510). 그리고, 증가된 제 1 회전 부재의 회전 속도로 원료 물질을 공급 라인(640) 및 디스펜서(400)로 공급하면(S520), 실런트의 공급 유량이 증가한다. 이때 센서(651)는 실시간으로 공급 라인(640)의 압력을 감지하고, 상기 센서(651)에 의해 감지된 공급 라인(640)의 압력이 기 설정한 압력과 동일해 지면, 제 1 회전 부재(632)의 회전 방향 및 회전 속도를 유지할 수 있도록 한다(S400). 이에, 공급 라인(640)으로 원하는 양의 실런트가 공급된다.In addition, while supplying the sealant to the supply line 640 using the raw material supply module 630 as described above, the sensor 651 detects the pressure of the supply line 640 in real time (S200). At this time, for example, when the pressure of the supply line 640 sensed by the sensor 651 is lower than the pressure set in the determination unit 652, the amount of sealant supplied to the supply line 640 is insufficient. To judge. Therefore, the first power unit 635 and the first speed regulator 636 of the raw material supply module 630 are controlled using the controller 653 to increase the forward rotation speed of the first rotation member 632. (S510). Then, when the raw material is supplied to the supply line 640 and the dispenser 400 at the increased rotational speed of the first rotating member (S520), the supply flow rate of the sealant increases. At this time, the sensor 651 detects the pressure of the supply line 640 in real time, and when the pressure of the supply line 640 detected by the sensor 651 is equal to the preset pressure, the first rotating member ( It is to be able to maintain the rotation direction and rotation speed of the 632 (S400). Accordingly, the desired amount of sealant is supplied to the supply line 640.

또한, 센서(651)에서 감지된 공급 라인(640)의 압력이 판단부(652)에 기 설정된 압력에 비해 낮아, 제어부(653)를 이용하여 제 1 회전 부재(632)의 정방향 회전 속도를 회전시켜도 공급 라인(640)의 압력이 증가하지 않으면, 상기 공급 라인(640)에 리크(leak)가 있는 것으로 판단할 수 있다. 이와 같은 경우, 공급 라인(640)을 교체하거나 보수 작업을 실시 할 수 있다. 또한, 탱크(610)에 수용된 실런트가 모두 소진된 것으로 판단할 수 있다. 이에, 탱크(610) 내에 실런트를 충진하거나, 실런트가 충진된 다른 탱크(610)로 교체한다.In addition, the pressure of the supply line 640 sensed by the sensor 651 is lower than the pressure set in the determination unit 652, so that the forward rotation speed of the first rotating member 632 is rotated using the controller 653. If the pressure in the supply line 640 does not increase even when the pressure is increased, it may be determined that there is a leak in the supply line 640. In this case, the supply line 640 may be replaced or repaired. In addition, it may be determined that the sealant accommodated in the tank 610 is exhausted. Therefore, the sealant is filled in the tank 610 or replaced with another tank 610 filled with the sealant.

한편, 센서(651)에서 감지된 공급 라인(640)의 압력이 기 설정된 압력에 비해 클 경우, 상기 공급 라인(640)으로 공급된 실런트의 양이 오버(over)된 것으로 판단한다. 따라서, 제어부(653)를 이용하여 원료 공급 모듈(630)의 제 1 동력부(635) 및 제 1 속도 조절기(636)를 제어하여, 상기 제 1 회전 부재(632)의 정방향 회전 속도를 감소시킨다(S610). 그리고 감소된 제 1 회전 부재(630)의 회전 속도로 원료 물질을 공급 라인(640) 및 디스펜서(400)로 공급하면(S620), 실런트의 공급 유량이 감소한다. 이때, 센서(651)는 실시간으로 공급 라인(640)의 압력을 감지하고, 상기 센서(651)에 의해 감지된 공급 라인(640)의 압력이 기 설정한 압력과 동일해 지면, 제 1 회전 부재(632)의 회전 속도를 유지할 수 있도록 한다(S400). 이에, 공급 라인(640)으로 원하는 양의 실런트가 공급된다.On the other hand, when the pressure of the supply line 640 sensed by the sensor 651 is greater than the preset pressure, it is determined that the amount of the sealant supplied to the supply line 640 is over (over). Therefore, using the controller 653 The first power unit 635 and the first speed controller 636 of the raw material supply module 630 are controlled to reduce the forward rotation speed of the first rotation member 632 (S610). When the raw material is supplied to the supply line 640 and the dispenser 400 at the reduced rotational speed of the first rotating member 630 (S620), the supply flow rate of the sealant decreases. At this time, the sensor 651 detects the pressure of the supply line 640 in real time, and when the pressure of the supply line 640 sensed by the sensor 651 is equal to the preset pressure, the first rotating member It is to be able to maintain the rotational speed of (632) (S400). Accordingly, the desired amount of sealant is supplied to the supply line 640.

상기에서는 센서(651)에서 감지된 공급 라인(640)의 압력이 기 설정된 압력에 비해 클 경우, 제 1 회전 부재(632)의 정방향 회전 속도를 감소시키는 것을 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 공급 라인(640)의 압력이 기 설정된 압력에 비해 클 경우, 제어부(653)를 통해 제 1 회전 방향 조절기(635a)를 제어하여, 제 1 회전 부재(632)를 역방향으로 회전시킬 수 있다. 이때, 예를 들어, 센서(651)에 의해 감지된 공급 라인(640)의 압력이 기 설정한 압력과 동일해 질 때가지 일시적으로 제 1 회전 부재(632)를 역방향으로 회전시킬 수 있다. 이에, 공급 라인(640)으로 원하는 양의 실런트가 공급된다.In the above, when the pressure of the supply line 640 sensed by the sensor 651 is greater than the preset pressure, the forward rotation speed of the first rotating member 632 has been described. However, the present invention is not limited thereto, and when the pressure of the supply line 640 is greater than the preset pressure, the first rotational direction controller 635a is controlled through the controller 653 to reverse the first rotational member 632 in the reverse direction. Can be rotated. At this time, for example, the first rotation member 632 may be temporarily rotated in the reverse direction until the pressure of the supply line 640 sensed by the sensor 651 becomes equal to the preset pressure. Accordingly, the desired amount of sealant is supplied to the supply line 640.

디스펜서(400)의 토출 몸체(410) 내로 실런트가 공급되면, 도 5에 도시된 바와 같이 제 2 회전 방향 조절기(450a) 및 제 2 동력부(450)를 이용하여 제 2 회전 부재(430)를 정방향으로 회전시킨다. 이때, 제 2 속도 조절기(460)를 이용하여 제 2 회전 부재(430)가 일정한 속도로 회전하도록 한다. 이와 같은 제 2 회전 부재(430)가 정방향으로 회전하면, 제 2 날개(432)는 제 2 사이드 부재(440)의 내벽에 마련된 제 2 나사홈(440a)을 따라 정방향으로 회전한다. 이때, 제 2 나사홈(440a)이 정방향으로 회전하는 힘은 실런트를 노즐(420)로 이동시키는 미는 힘으로 작용한다. 따라서, 제 2 회전 부재(430)의 정방향 회전에 의해 실런트가 노즐(420)로 이동하고 항기 노즐(420)은 실런트를 토출하여 기판(S) 상에 도포한다. 이때, 디스펜서(400)는 겐트리(300)에 설치된 수평 이동 수단(500)에 의해 수평 이동하면서 기판(s) 상에 실런트를 도포한다. 또한 기판(s)은 스테이지(200)에 의해 디스펜서(400)가 수평 이동하는 방향과 교차하는 방향으로 수평 이동 한다. 그리고 디스펜서(400)를 이용하여 기판(s) 상에 실런트를 도포하는 동안에, 실시예에 따른 원료 공급 모듈(630)을 이용하여 공급 라인(640) 및 디스펜서(400)로 실런트를 연속적으로 공급한다.When the sealant is supplied into the discharge body 410 of the dispenser 400, as shown in FIG. 5, the second rotating member 430 is moved by using the second rotation direction controller 450a and the second power unit 450. Rotate in the forward direction. At this time, the second rotation member 430 rotates at a constant speed by using the second speed controller 460. When the second rotating member 430 rotates in the forward direction, the second vane 432 rotates in the forward direction along the second screw groove 440a provided on the inner wall of the second side member 440. At this time, the force that the second screw groove 440a rotates in the forward direction acts as a pushing force for moving the sealant to the nozzle 420. Accordingly, the sealant moves to the nozzle 420 by the forward rotation of the second rotating member 430, and the aircraft nozzle 420 discharges the sealant and applies the same on the substrate S. At this time, the dispenser 400 applies the sealant on the substrate s while moving horizontally by the horizontal moving unit 500 installed in the gantry 300. In addition, the substrate s moves horizontally in a direction crossing the direction in which the dispenser 400 moves horizontally by the stage 200. While the sealant is applied onto the substrate s using the dispenser 400, the sealant is continuously supplied to the supply line 640 and the dispenser 400 using the raw material supply module 630 according to the embodiment. .

기판(s) 상에 실런트를 도포하던 중, 도 6에 도시된 바와 같이 탱크(610) 내부에 실런트가 소량으로 존재하거나 모두 소진되었을 경우, 실런트의 도포 공정을 중지하고 탱크(610)를 교체한다. 이때, 탱크(610) 또는 공급관(620)에 설치된 잔량 감지기(611a)를 이용하여 실런트의 잔량을 검출할 수 있다. 그리고 실런트의 도포 공정을 중지를 위해, 디스펜서(400)의 제 2 회전 부재(430)의 정방향 회전을 중지한다. 또한 실시예에서는 실런트의 도포 공정이 중지된 상태일 경우, 제 2 회전 부재(430)를 역방향으로 회전시켜, 상기 토출 몸체(410) 내의 실런트를 역류시킨다. 즉, 제 2 회전 방향 조절기(450a) 및 제 2 동력부(450)를 이용하여 제 2 회전 부재(430)를 역방향으로 회전시킨다. 여기서 제 2 회전 부재(430)의 제 2 날개(432)의 역방향 회전력은 노즐(420)이 배치된 방향과 반대 방향으로 실런트를 역류시키는 힘으로 작용한다. 이에, 실런트의 도포 공정이 중지된 상태에서 디스펜서(400)의 토출 몸체 내에 잔류하고 있는 실런트가 노즐(420)로 계속하여 이동하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 도포 공정이 중지된 상태에서, 노즐(420)로 실런트가 계속 공급되어 상기 노즐(420)이 막히거나 상기 노즐(420) 끝단에 실런트가 맺히는 것을 방지할 수 있다. 그리고 이와 같이 디스펜서(400)의 제 2 회전 부재(430)를 역방향으로 회전시킬 때, 원료 공급 모듈(630)의 제 1 회전 부재(630)를 역방향으로 회전시켜, 상기 공급 라인(640) 및 공급 몸체(631) 내이 실런트를 역류 시키는 것이 바람직하다.While applying the sealant on the substrate s, as shown in FIG. 6, when a small amount of sealant is present or exhausted in the tank 610, the application process of the sealant is stopped and the tank 610 is replaced. . At this time, the remaining amount of the sealant may be detected using the remaining amount detector 611a installed in the tank 610 or the supply pipe 620. In order to stop the application process of the sealant, the forward rotation of the second rotating member 430 of the dispenser 400 is stopped. In addition, in the embodiment, when the application process of the sealant is stopped, the second rotating member 430 is rotated in the reverse direction to reverse the sealant in the discharge body 410. That is, the second rotation member 430 is rotated in the reverse direction by using the second rotation direction controller 450a and the second power unit 450. Here, the reverse rotational force of the second vane 432 of the second rotating member 430 acts as a force to reverse the sealant in a direction opposite to the direction in which the nozzle 420 is disposed. Accordingly, it is possible to prevent the sealant remaining in the discharge body of the dispenser 400 from continuously moving to the nozzle 420 while the application process of the sealant is stopped. Therefore, the sealant is continuously supplied to the nozzle 420 while the coating process is stopped, thereby preventing the nozzle 420 from being blocked or forming the sealant at the end of the nozzle 420. When the second rotating member 430 of the dispenser 400 is rotated in the reverse direction, the first rotating member 630 of the raw material supply module 630 is rotated in the reverse direction to supply the supply line 640 and the supply. It is preferable to backflow the sealant in the body 631.

상기에서는 탱크(610) 내에 실런트가 모두 소진되거나 소량으로 잔류하여, 도포 공정을 중지할 경우, 디스펜서(400)의 제 2 회전 부재(430) 및 원료 공급 모듈(630)의 제 1 회전 부재(632)를 역방향으로 회전시키는 것을 예를 들어 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고 다른 공정 상의 이유 예를 들어 공정 조건 변경, 장치 부품의 보수 등과 같은 다양한 이유로 도포 공정을 중지해야 하는 경우, 디스펜서(400)의 제 2 회전 부재(430) 및 원료 공급 모듈(630)의 제 1 회전 부재(632)를 역방향으로 회전시킬 수 있다.In the above, when the sealant is exhausted or remains in a small amount in the tank 610 to stop the coating process, the second rotating member 430 of the dispenser 400 and the first rotating member 632 of the raw material supply module 630. For example, the rotating in the reverse direction has been described. However, the present invention is not limited thereto, and when the application process needs to be stopped for various reasons, for example, a change in process conditions or maintenance of device components, the second rotating member 430 and the raw material supply module 630 of the dispenser 400 may be used. ) May rotate the first rotating member 632 in the reverse direction.

이와 같이 실시예에서는 원료 공급 모듈(630)의 제 1 회전 부재(632)를 정방향으로 회전시켜 실런트를 디스펜서(400)로 공급하고, 이때 제 1 회전 부재(632)의 정방향 회전 속도를 조절하여 실런트의 공급량을 용이하게 조절할 수 있다. 또한, 디스펜서(400)의 제 2 회전 부재(430)를 정방향으로 회전시켜 실런트를 기판(S) 상에 도포하고, 이때 제 2 회전 부재(430)의 정방향 회전 속도를 조절함으로써 기판(S) 상에 토출되는 실런트의 양을 용이하게 조절할 수 있다. 그리고 실런트 도포 공정의 중지 시에 상기 디스펜서(400)의 제 2 회전 부재(430) 및 원료 공급 모듈(630)의 제 1 회전 부재(632) 각각을 역방향으로 회전시켜 실런트를 역류시킴으로써, 노즐(420) 내에 실런트가 뭉치거나 상기 노즐(420) 끝단에 실런트가 맺히는 것을 방지할 수 있다.As described above, in the embodiment, the first rotating member 632 of the raw material supply module 630 is rotated in the forward direction to supply the sealant to the dispenser 400, and at this time, the forward rotation speed of the first rotating member 632 is adjusted to adjust the sealant. The supply amount of can be adjusted easily. In addition, the sealant is applied onto the substrate S by rotating the second rotating member 430 of the dispenser 400 in the forward direction, and at this time, by adjusting the forward rotation speed of the second rotating member 430 on the substrate S. The amount of sealant discharged to the can be easily adjusted. When the sealant coating process is stopped, each of the second rotating member 430 of the dispenser 400 and the first rotating member 632 of the raw material supply module 630 is rotated in the reverse direction to reverse the sealant, thereby causing the nozzle 420 to flow. The sealant may be prevented from sticking together or forming a sealant at the end of the nozzle 420.

또한, 실시예에서는 배출관(617) 내부에 삽입되는 공급관(620), 배출관(617) 내에 설치되어 공급관(620)에 의한 지지 여부에 따라 동작하는 밸브(616)를 마련한다. 이에, 공급관(620)이 배출관(617)으로 삽입되어 차단 부재(616a)를 지지함과 동시에 캔(611)과 공급관(620) 및 배출관(617)과 공급관(620) 사이가 연통된다. 또한, 공급관(620)이 밸브(616)의 차단 부재(616a)와 분리됨과 동시에 상기 차단 부재(616a)에 의해 캔(611)과 외부 사이의 연통의 차단된다. 따라서, 탱크(610)를 공급관(620)과 결합시키거나, 상기 탱크(610)를 공급관(620)으로부터 분리하는 작업을 실시할 때, 대기중의 물질이 캔(611) 또는 배출관(617)으로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 별도의 진공 챔버(100)를 마련하지 않고 대기 중에서도 탱크(610)의 교체 작업을 실시할 수 있다.In addition, in the embodiment, a supply pipe 620 inserted into the discharge pipe 617 and a valve 616 installed in the discharge pipe 617 and operated according to the support by the supply pipe 620 are provided. Accordingly, the supply pipe 620 is inserted into the discharge pipe 617 to support the blocking member 616a, and at the same time, the can 611 and the supply pipe 620 and the discharge pipe 617 and the supply pipe 620 communicate with each other. In addition, the supply pipe 620 is separated from the blocking member 616a of the valve 616 and the communication between the can 611 and the outside is blocked by the blocking member 616a. Therefore, when the tank 610 is combined with the supply pipe 620 or when the tank 610 is separated from the supply pipe 620, atmospheric substances are transferred to the can 611 or the discharge pipe 617. Inflow can be prevented. For this reason, the operation of replacing the tank 610 can be performed even in the air without providing a separate vacuum chamber 100.

그리고, 실시간으로 공급 라인(640)의 압력을 감지하여, 상기 공급 라인(640)으로 공급되는 실런트의 공급 상태를 실시간으로 감지할 수 있다. 이에, 감지된 실런트의 공급 상태에 따라, 원료 공급 모듈(630)의 실런트를 공급 라인(640)으로 공급하는 공급 유량을 실시간으로 제어할 수 있어, 실런트를 디스펜서(400)로 연속적으로 공급하는 것이 용이하다. 따라서, 도포 공정이 중단되거나 실런트 패턴의 불량이 발생되는 방지할 수 있다. 또한, 실런트의 공급 상태를 실시간으로 감지할 수 있으므로, 상기 실런트를 제공하는 원료 공급 모듈(630)의 동작 오류 및 공급 라인(640)의 불량을 실시간으로 감지할 수 있다. 이로 인해, 공급 라인(640)의 압력이 기 설정된 압력에 비해 작거나 클 경우, 원료 공급 모듈(630)의 동작을 제어하거나 공급 라인(640)의 유지 보수하는 작업을 빠른 시간 내에 실시할 수 있다.In addition, by detecting the pressure of the supply line 640 in real time, the supply state of the sealant supplied to the supply line 640 may be sensed in real time. Accordingly, according to the detected state of supply of the sealant, the supply flow rate for supplying the sealant of the raw material supply module 630 to the supply line 640 can be controlled in real time, so that the sealant is continuously supplied to the dispenser 400. It is easy. Therefore, it is possible to prevent the coating process from being interrupted or a defect of the sealant pattern is generated. In addition, since the supply state of the sealant may be sensed in real time, an operation error of the raw material supply module 630 providing the sealant and a failure of the supply line 640 may be detected in real time. Therefore, when the pressure of the supply line 640 is smaller or larger than the preset pressure, the operation of controlling the operation of the raw material supply module 630 or maintaining the supply line 640 may be performed in a short time. .

상기에서는 기판(s) 상에 실런트를 도포하는 디스펜싱 장치를 예를 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 실시예에 따른 원료 공급 모듈(630) 및 디스펜서는 액정을 공급하는 장치에 적용될 수 있다.In the above, the dispensing apparatus for applying the sealant on the substrate s has been described as an example. However, the present invention is not limited thereto, and the raw material supply module 630 and the dispenser may be applied to the apparatus for supplying liquid crystal.

100: 챔버 400: 디스펜서
430: 제 2 회전부재 440: 제 2 사이드 부재
630: 원료 공급 모듈 462: 제 1 회전부재
633a: 제 1 사이드 부재 100: chamber 400: dispenser
430: second rotating member 440: second side member
630: raw material supply module 462: the first rotating member
633a: first side member

Claims (21)

원료 물질을 수용하는 내부 공간을 가지며, 상기 원료 물질이 내부로 유입되는 제 1 입구 및 상기 원료 물질이 배출되는 제 1 출구를 구비하는 공급 몸체와,
상기 공급 몸체 내에 배치되어 회전 가능한 제 1 샤프트 및 상기 제 1 사프트의 외주면을 따라 설치된 제 1 날개를 구비하며, 회전 방향 및 회전 속도에 따라 상기 원료 물질의 유입 및 배출을 조절하는 제 1 회전 부재를 포함하는 원료 공급 모듈;
상기 원료 공급 모듈로부터 전달된 원료 물질을 수용하는 내부 공간을 가지며, 상기 원료 물질이 내부로 유입되는 제 2 입구 및 상기 원료 물질이 배출되는 제 2 출구를 구비하는 토출 몸체와,
상기 토출 몸체 내에 배치되어 회전 가능한 제 2 샤프트 및 상기 제 2 사프트의 외주면을 따라 설치된 제 2 날개를 구비하며, 회전 방향 및 회전 속도에 따라 상기 원료 물질의 유입 및 배출을 조절하는 제 2 회전 부재를 포함하는 디스펜서를 포함하는 디스펜싱 장치.A supply body having an inner space for accommodating a raw material, the feed body having a first inlet through which the raw material is introduced and a first outlet through which the raw material is discharged;
A first rotating member disposed in the supply body and having a rotatable first shaft and a first wing installed along an outer circumferential surface of the first shaft, the first rotating member controlling inflow and outflow of the raw material according to a rotational direction and a rotational speed; Raw material supply module comprising;
A discharge body having an internal space for receiving the raw material transferred from the raw material supply module, the discharge body having a second inlet through which the raw material is introduced and a second outlet through which the raw material is discharged;
A second rotating member disposed in the discharge body and having a rotatable second shaft and a second wing installed along an outer circumferential surface of the second shaft, the second rotating member controlling inflow and outflow of the raw material according to a rotational direction and a rotational speed; Dispensing device comprising a dispenser comprising. 청구항 1에 있어서,
상기 원료 공급 모듈은 공급 몸체 내에 설치되며, 내측벽에 제 1 나사홈이 마련된 제 1 사이드 부재를 포함하고,
상기 제 1 사이드 부재 내에 제 1 회전 부재가 배치되는 디스펜싱 장치.The method according to claim 1,
The raw material supply module is installed in the supply body, and includes a first side member provided with a first screw groove on the inner wall,
Dispensing apparatus, the first rotating member is disposed in the first side member. 청구항 1에 있어서,
상기 제 1 날개는 상기 제 1 사이드 부재에 마련된 제 1 나사홈에 일부 삽입되어 회전하면서 상기 원료 물질을 이동시키는 디스펜싱 장치.The method according to claim 1,
And the first vane is partially inserted into a first screw groove provided in the first side member to rotate the raw material. 청구항 1에 있어서,
상기 디스펜서는 상기 토출 몸체의 일단에 연결되어, 상기 원료 물질을 토출하는 노즐;
상기 토출 몸체 내에 설치되며, 내측벽에 제 2 나사홈이 마련된 제 2 사이드 부재를 포함하는 디스펜싱 장치.The method according to claim 1,
The dispenser is connected to one end of the discharge body, the nozzle for discharging the raw material;
And a second side member installed in the discharge body and having a second screw groove provided on an inner wall thereof. 청구항 1에 있어서,
상기 제 2 날개는 상기 제 2 사이드 부재에 마련된 제 2 나사홈에 일부 삽입되어 회전하면서 상기 원료 물질을 이동시키는 디스펜싱 장치.The method according to claim 1,
And the second vane is partially inserted into a second screw groove provided in the second side member to move the raw material while rotating. 청구항 1에 있어서,
상기 제 1 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 각기 조절하는 제 1 회전 방향 조절기 및 제 1 속도 조절기를 포함하고,
상기 제 2 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 각기 조절하는 제 2 회전 방향 조절기 및 제 2 속도 조절기를 포함하는 디스펜싱 장치.The method according to claim 1,
A first rotation direction controller and a first speed controller for respectively adjusting a rotation direction and a rotation speed of the first rotation member,
Dispensing apparatus comprising a second rotation direction controller and a second speed controller for respectively adjusting the rotation direction and the rotation speed of the second rotation member. 청구항 1에 있어서,
일단이 상기 원료 공급 모듈에 연결되고, 타단이 디스펜서에 연결되어 상기 원료 공급 모듈로부터 제공된 원료 물질을 디스펜서로 공급하는 공급 라인;
상기 공급 라인의 압력을 감지하고, 상기 감지된 공급 라인의 압력을 이용하여 상기 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 조절함으로써, 원료 물질의 공급량을 제어하는 제어 모듈을 포함하는 디스펜싱 장치.The method according to claim 1,
A supply line, one end of which is connected to the raw material supply module and the other end of which is connected to the dispenser to supply raw material provided from the raw material supply module to the dispenser;
And a control module which senses the pressure of the supply line and controls the supply amount of the raw material by adjusting the rotational direction and the rotational speed of the first rotating member of the raw material supply module using the sensed pressure of the supply line. Dispensing device. 청구항 7에 있어서,
상기 제어 모듈은 상기 공급 라인의 압력을 감지하는 센서;
상기 센서에 의해 감지된 공급 라인의 압력과 기 설정된 압력을 비교하여 원료 물질의 공급 상태를 판단하는 판단부;
상기 판단부, 제 1 회전 방향 조절기 및 제 1 속도 조절기와 연결되어, 상기 판단부의 판단 결과에 따라 상기 제 1 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 조절하는 제어부를 포함하는 디스펜싱 장치.The method of claim 7,
The control module includes a sensor for sensing the pressure of the supply line;
A determination unit for comparing a pressure of a supply line sensed by the sensor with a preset pressure to determine a supply state of a raw material;
And a control unit connected to the determination unit, the first rotation direction controller, and the first speed controller to adjust the rotation direction and the rotation speed of the first rotation member according to a determination result of the determination unit. 청구항 1에 있어서,
상기 원료 물질을 수용하는 내부 공간을 가지며, 일측에 상기 원료 물질이 배출되는 통로인 배출관이 마련된 탱크;
상기 배출관으로 삽입 가능한 공급관;
상기 배출관 내에 설치되며, 상기 배출관 내부로 삽입되는 공급관에 의해 이동하여, 상기 배출관과 공급관 사이의 연통을 조절하는 밸브를 포함하는 디스펜싱 장치.The method according to claim 1,
A tank having an inner space for accommodating the raw material and provided with a discharge pipe that is a passage through which the raw material is discharged;
A supply pipe insertable into the discharge pipe;
And a valve installed in the discharge pipe and moved by a supply pipe inserted into the discharge pipe to control communication between the discharge pipe and the supply pipe. 청구항 9에 있어서,
상기 공급관의 측면에 상기 공급관 내부와 연통되는 유입구가 마련되는 디스펜싱 장치.The method according to claim 9,
Dispensing device that is provided on the side of the supply pipe in communication with the inside of the supply pipe. 청구항 9에 있어서,
상기 밸브는 상기 배출관 내에 배치되며, 삽입되는 공급관에 지지되며 이동 가능한 차단 부재;
일단이 차단 부재에 결합되고 타단이 배출관에 결합되어, 상기 차단 부재의 이동에 의해 신축 가능한 지지 부재를 포함하는 디스펜싱 장치.The method according to claim 9,
The valve is disposed in the discharge pipe, the blocking member is supported on the supply pipe to be inserted and movable;
A dispensing device, one end of which is coupled to the blocking member and the other end of which is coupled to the discharge pipe, comprises a support member that is stretchable by movement of the blocking member. 청구항 1에 있어서,
상기 디스펜서는 진공 처리된 챔버 내부에 설치되는 디스펜싱 장치.The method according to claim 1,
The dispenser is installed inside the vacuumed chamber. 기판을 마련하고, 상기 기판 상측에 원료 물질을 도포하는 디스펜서를 위치시키는 단계;
상기 원료 물질이 수용된 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 조절하여, 상기 디스펜서로 원료 물질의 공급 여부 및 공급량을 제어하는 단계;
상기 디스펜서의 제 2 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 조절하여, 상기 디스펜서로부터의 원료 물질의 토출 여부 및 토출량을 조절하는 단계를 포함하는 디스펜싱 방법.Preparing a substrate and positioning a dispenser to apply a raw material on the substrate;
Controlling whether or not the raw material is supplied to the dispenser by adjusting a rotational direction and a rotational speed of the first rotating member of the raw material supply module in which the raw material is accommodated;
And adjusting the rotation direction and the rotation speed of the second rotating member of the dispenser to control whether or not the raw material is discharged from the dispenser. 청구항 13에 있어서,
상기 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재를 정방향으로 회전시켜 원료 물질을 디스펜서로 공급하고, 상기 제 1 회전 부재의 정방향 회전 속도를 조절하여 원료 물질의 공급량을 조절하는 디스펜싱 방법.The method according to claim 13,
Dispensing method for supplying the raw material to the dispenser by rotating the first rotating member of the raw material supply module in the forward direction, and adjusting the supply amount of the raw material by adjusting the forward rotational speed of the first rotating member. 청구항 13에 있어서,
상기 제 2 회전 부재를 정방향으로 회전시켜, 상기 기판 상에 원료 물질을 도포하고, 상기 제 2 회전 부재의 정방향 회전 속도를 조절하여 토출량을 조절하는 디스펜싱 방법.The method according to claim 13,
And rotating the second rotating member in a forward direction to apply a raw material onto the substrate, and adjusting a discharge amount by adjusting a forward rotational speed of the second rotating member. 청구항 13에 있어서,
상기 디스펜서를 이용한 원료 물질의 도포 공정을 중지할 때, 상기 디스펜서의 제 2 회전 부재 및 상기 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재 중 적어도 어느 하나를 역방향으로 회전시켜 상기 원료 물질을 역류시키는 디스펜싱 방법.The method according to claim 13,
And stopping at least one of the second rotating member of the dispenser and the first rotating member of the raw material supply module in a reverse direction when stopping the application process of the raw material using the dispenser. 청구항 13에 있어서,
상기 디스펜서로 원료 물질의 공급 여부 및 공급량을 제어하는 단계에 있어서,
일단이 상기 원료 공급 모듈에 연결되고 타단이 디스펜서에 연결된 공급 라인을 통해 상기 원료 공급 모듈의 원료 물질을 디스펜서에 공급하는 단계;
상기 공급 라인의 압력을 감지하는 단계;
감지된 상기 공급 라인의 압력과 기 설정된 공급 라인의 압력을 비교하여, 상기 원료 물질의 공급 상태를 판단하는 단계;
상기 원료 물질의 공급 상태의 판단 결과에 따라, 상기 원료 공급 모듈의 제 1 회전 부재의 회전 방향 및 회전 속도를 조절하는 단계를 포함하는 디스펜싱 방법.The method according to claim 13,
In the step of controlling the supply and supply amount of the raw material to the dispenser,
Supplying a raw material of the raw material supply module to the dispenser through a supply line having one end connected to the raw material supply module and the other end connected to the dispenser;
Sensing pressure in the supply line;
Determining a supply state of the raw material by comparing the sensed pressure of the supply line with a preset supply pressure;
And adjusting the rotational direction and the rotational speed of the first rotating member of the raw material supply module according to the determination result of the supply state of the raw material. 청구항 17에 있어서,
감지된 상기 공급 라인의 압력과 기 설정된 공급 라인의 압력이 동일할 경우, 상기 원료 공급 모듈의 현재의 회전 방향 및 회전 속도를 유지하는 디스펜싱 방법.18. The method of claim 17,
Dispensing method for maintaining the current rotational direction and rotational speed of the raw material supply module when the detected pressure of the supply line and the pressure of the predetermined supply line is the same. 청구항 17에 있어서,
감지된 상기 공급 라인의 압력이 기 설정된 공급 라인의 압력에 비해 작을 경우, 상기 제 1 회전 부재의 정방향 회전 속도를 증가시켜, 상기 공급 라인으로 공급되는 공급 유량을 증가시키는 디스펜싱 방법.18. The method of claim 17,
And when the detected pressure of the supply line is smaller than the pressure of a preset supply line, increasing a forward rotation speed of the first rotating member to increase a supply flow rate supplied to the supply line. 청구항 17에 있어서,
감지된 상기 공급 라인의 압력이 기 설정된 공급 라인의 압력에 비해 클 경우, 상기 제 1 회전 부재의 정방향 회전 속도를 감소시키거나, 상기 제 1 회전 부재를 역방향으로 회전시켜, 상기 공급 라인으로 공급되는 공급 유량을 감소시키는 디스펜싱 방법.18. The method of claim 17,
When the sensed pressure of the supply line is greater than the pressure of a predetermined supply line, the forward rotation speed of the first rotation member is decreased or the first rotation member is rotated in a reverse direction to supply the supply line. Dispensing method to reduce feed flow rate. 청구항 13 내지 청구항 20 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 원료 물질로 실런트(sealatn), 액정 및 페이스트 중 어느 하나를 사용하는 디스펜싱 방법.The method according to any one of claims 13 to 20,
Dispensing method using any one of the sealant (sealatn), liquid crystal and paste as the raw material.
KR1020110064836A 2010-12-28 2011-06-30 Material providing appratus and material providing method using the same KR101334815B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100136827 2010-12-28
KR20100136827 2010-12-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120075324A true KR20120075324A (en) 2012-07-06
KR101334815B1 KR101334815B1 (en) 2013-11-29

Family

ID=46709334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110064836A KR101334815B1 (en) 2010-12-28 2011-06-30 Material providing appratus and material providing method using the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101334815B1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101484286B1 (en) * 2014-01-28 2015-01-20 (주)피엔티 Slot die coating apparatus
CN105080791A (en) * 2015-09-23 2015-11-25 山景雷特乐橡塑科技（苏州）有限公司 Automatic gel dispensing equipment for liquid silica gel
CN108940731A (en) * 2018-07-31 2018-12-07 欣辰卓锐（苏州）智能装备有限公司 A kind of automatic dispensing device
KR101959387B1 (en) * 2018-09-04 2019-03-18 송준혁 Reinforcement spreading apparatus for building structure and method of reinforcement spreading for building structure using the same

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001079473A (en) * 1999-09-17 2001-03-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd Coating nozzle
KR20050070603A (en) * 2003-12-30 2005-07-07 주식회사 우진세렉스 Resin pressure control device
WO2007058258A1 (en) * 2005-11-21 2007-05-24 Shibaura Mechatronics Corporation Paste applying apparatus, method for manufacturing display panel using same and paste applying method
KR100772053B1 (en) * 2006-11-13 2007-10-31 율촌화학 주식회사 Apparatus for suppling a quantitative materail and method thereof

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101484286B1 (en) * 2014-01-28 2015-01-20 (주)피엔티 Slot die coating apparatus
CN105080791A (en) * 2015-09-23 2015-11-25 山景雷特乐橡塑科技（苏州）有限公司 Automatic gel dispensing equipment for liquid silica gel
CN108940731A (en) * 2018-07-31 2018-12-07 欣辰卓锐（苏州）智能装备有限公司 A kind of automatic dispensing device
KR101959387B1 (en) * 2018-09-04 2019-03-18 송준혁 Reinforcement spreading apparatus for building structure and method of reinforcement spreading for building structure using the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR101334815B1 (en) 2013-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101334815B1 (en) Material providing appratus and material providing method using the same
KR101278096B1 (en) Liquid dispensing system
US8608025B2 (en) Pneumatic liquid dispensing apparatus and method
US9401291B2 (en) Coating apparatus
KR20170013322A (en) System and method for operation of a pump with feed and dispense sensors, filtration and dispense confirmation, and reduced pressure priming of filter
US9296010B2 (en) Coating film forming apparatus
CN101077765A (en) Valve unit for filling machines
US5782978A (en) Coating device with movable fluid supply nozzle and rotatable substrate holder
CN103125012A (en) Substrate treatment system
JP2012196600A (en) Paste application head, paste application device, and paste application method
KR100225842B1 (en) Constant rate discharge apparatus and constant rate discharge method
KR101261217B1 (en) Resin supply apparatus for dispenser
JP2010066666A (en) Liquid crystal dropping apparatus
KR20090002639A (en) Valve and apparatus and method for treating substrate with the same
KR20110063641A (en) Automated vacuum assisted valve priming system and methods of use
JP6888293B2 (en) Fill nozzle
KR100994598B1 (en) Liquid suppling apparatus for dispenser
JP2007312977A (en) Liquid preparation device
JP2008229421A (en) Liquid substance dropping apparatus and liquid substance dropping method
KR101255743B1 (en) Material providing unit and material providing method ussing the same
KR101940044B1 (en) Inflow decelerating type housing valve system
JP3608431B2 (en) Syringe device
JP4844820B2 (en) Material applicator
KR20120075892A (en) Material providing appratus and material providing method
JPH09129533A (en) Chemicals automatic feeder in semiconductor manufacturing equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160906

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170926

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190909

Year of fee payment: 7