KR20120048689A

KR20120048689A - Cryopump

Info

Publication number: KR20120048689A
Application number: KR1020127007282A
Authority: KR
Inventors: 나오토 스즈키; 유키오 마수다; 오사무 야마구치
Original assignee: 가부시키가이샤 아루박; 아루박ㆍ크라이오 가부시키가이샤
Priority date: 2009-09-29
Filing date: 2010-09-28
Publication date: 2012-05-15
Also published as: CN102667156A; JP5433702B2; JPWO2011040002A1; TW201118250A; WO2011040002A1

Abstract

패널 표면에서의 응축체의 박리를 방지하여, 안정된 배기 동작을 유지하는 것이 가능한 진공 펌프를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 진공 펌프(30)는, 냉동기(32)에 의해서 냉각되는 진공 패널(31)를 가진다. 진공 패널의 응축면(310)은, 경계부(홈부(310b))에 의해서 독립된 복수의 분할면(310a)으로 구획된다. 이로 인해, 어느 하나의 분할면에서 발생한 크랙은, 상기 경계부에 의해서 인접하는 다른 분할면으로의 전파가 억제되어 크랙의 발생 영역을 해당 분할면 내로 저지하는 것이 가능하다. 또한, 응축면의 응축체의 내부 응력이 각 분할면에 분산됨으로써 완화되어 분할면에서의 응축체의 박리가 저지된다. 이로 인해, 응축면에서 응축체의 박리 및 그 후의 재응축을 원인으로 하는 진공 챔버 내의 압력 변동이 방지되어서 안정된 배기 압력이 유지된다.The present invention provides a vacuum pump capable of preventing peeling of the condensate on the panel surface and maintaining a stable exhaust operation. The vacuum pump 30 according to the embodiment of the present invention has a vacuum panel 31 that is cooled by the refrigerator 32. The condensation surface 310 of the vacuum panel is partitioned into a plurality of independent divided surfaces 310a by the boundary portion (groove 310b). For this reason, as for the crack which generate | occur | produced in one division surface, the propagation to the other division surface which adjoins by the said boundary part is suppressed, and it is possible to block the generation area of a crack in the said division surface. In addition, the internal stress of the condensate of the condensation surface is dispersed by each of the divided surfaces, and the peeling of the condensed bodies at the divided surfaces is prevented. This prevents pressure fluctuations in the vacuum chamber caused by peeling of the condensate and subsequent recondensation on the condensation surface, thereby maintaining a stable exhaust pressure.

Description

Vacuum Pump {CRYOPUMP}

본 발명은, 진공중에서 기체 분자를 포착하는 진공 패널을 구비하는 진공 펌프에 관한 것이다.
The present invention relates to a vacuum pump having a vacuum panel for trapping gas molecules in a vacuum.

진공 펌프는, 고진공 펌프의 하나로서 알려져 있으며, 막 형성, 표면 개질, 패턴 형성, 분석, 증발 건조 등을 목적으로 하는 진공 처리 장치에 이용되고 있다. 진공 펌프는, 진공 챔버 내에 배치되는 패널과 이 패널을 극저온으로 냉각하는 냉동기를 구비하고, 상기 패널에 기체 분자를 응축 또는 응결시켜 배기하는 포집식 펌프이다. 패널의 냉각 온도는, 도달 목표 압력, 포집해야 할 기체 분자의 종류 등에 따라 설정되고, 수분자(수증기)를 배기하는 경우, 예를 들면 80K의 초저온 또는 극저온으로 냉각된다(예를 들면 아래의 특허 문헌1 참조).BACKGROUND OF THE INVENTION A vacuum pump is known as one of high vacuum pumps and is used in a vacuum processing apparatus for the purpose of film formation, surface modification, pattern formation, analysis, evaporation drying, and the like. A vacuum pump is a collection pump which is equipped with the panel arrange | positioned in a vacuum chamber and the refrigerator which cools this panel to cryogenic temperature, and condenses or condenses gas molecules to the said panel and exhausts it. The cooling temperature of the panel is set according to the attainable target pressure, the kind of gas molecules to be collected, and the like, and when the moisture (water vapor) is exhausted, it is cooled to, for example, 80K ultra low temperature or cryogenic temperature (for example, the following patent) See Document 1).

특개2002-70738호 공보(단락[0002], 도 1)Japanese Patent Laid-Open No. 2002-70738 (paragraph [0002], FIG. 1)

그러나, 수증기와 수증기보다 포화 증기압이 높은 기체 분자(이산화탄소, 염소, 암모니아 등)와의 혼합 가스의 분위기하에서 수증기를 응축 배기하는 경우, 패널 표면 상의 응축체(빙막)에 크랙이 발생하고, 이것이 원인으로 응축체가 박리될 수 있다. 박리된 응축체는 승화(재기화)되고, 승화한 가스는 패널 표면에서 포착되어 재응축된다. 이러한 응축체의 승화 및 재응축은, 배기 압력의 변동을 불러서 안정된 배기 동작을 유지하는 것이 곤란하다.However, when water vapor is condensed and exhausted in the atmosphere of a mixed gas of gas molecules (carbon dioxide, chlorine, ammonia, etc.) having a higher saturated vapor pressure than water vapor, cracks occur in the condensate (ice film) on the panel surface, which causes The condensate may peel off. The peeled condensate is sublimed (regasified), and the sublimed gas is captured on the panel surface and recondensed. Sublimation and recondensation of such condensates causes fluctuations in exhaust pressure, making it difficult to maintain stable exhaust operation.

이상과 같은 사정에서, 본 발명의 목적은, 패널 표면에서의 응축체의 박리를 방지하여 안정된 배기 동작을 유지하는 것이 가능한 진공 펌프를 제공하는 것에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above, it is an object of the present invention to provide a vacuum pump capable of preventing peeling of a condenser on a surface of a panel and maintaining a stable exhaust operation.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 형태에 따른 진공 펌프는, 진공 챔버를 목표 압력으로 배기하기 위한 진공 펌프에 있어서, 패널과 냉동기를 구비한다.In order to achieve the above object, a vacuum pump of one embodiment of the present invention includes a panel and a refrigerator in a vacuum pump for exhausting a vacuum chamber at a target pressure.

상기 패널은, 상기 진공 챔버 내의 배기해야 할 가스를 응축시키는 응축면과, 상기 응축면에 형성되어 상기 응축면을 독립된 복수의 분할면으로 구획하는 경계부를 가진다.The panel has a condensation surface for condensing the gas to be exhausted in the vacuum chamber, and a boundary portion formed on the condensation surface to divide the condensation surface into a plurality of independent divided surfaces.

상기 냉동기는, 상기 패널을 상기 목표 압력하에서의 상기 가스의 이슬점 이하로 냉각하는 것이 가능하다.
The refrigerator can cool the panel below the dew point of the gas under the target pressure.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 펌프를 구비하는 진공 처리 장치의 구성을 나타내는 부분 파단 측면도이다.
도 2는 상기 진공 펌프에 따른 진공 패널의 개략 평면도이다.
도 3은 상기 진공 패널의 주요부의 부분 파단 사시도이다.
도 4는 종래의 진공 패널의 응축면에 퇴적된 응축체의 박리 메커니즘을 설명하는 모식도이다.
도 5는 본 실시예에 따른 진공 패널의 응축면0에 퇴적한 응축체의 모습을 설명하는 모식도이다.
도 6은 진공 펌프의 배기 압력의 시간 변화를 나타내는 실험 결과이며, (A)는 비교예를 나타내고, (B)는 본 발명의 실시예를 나타낸다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 진공 패널의 응축면의 구성의 변형예를 나타내는 모식 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 진공 패널의 응축면의 구성의 변형예를 나타내는 모식 단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 펌프를 구비하는 진공 처리 장치의 구성을 나타내는 부분 파단 측면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공 펌프를 구비하는 진공 처리 장치의 구성을 나타내는 부분 파단 측면도이다.1 is a partially broken side view showing the configuration of a vacuum processing apparatus including a vacuum pump according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic plan view of a vacuum panel according to the vacuum pump.
3 is a partially broken perspective view of the main part of the vacuum panel.
It is a schematic diagram explaining the peeling mechanism of the condensate deposited on the condensation surface of the conventional vacuum panel.
5 is a schematic view for explaining the state of the condensate deposited on the condensation surface 0 of the vacuum panel according to the present embodiment.
6 is an experimental result showing a time change in the exhaust pressure of the vacuum pump, (A) shows a comparative example, and (B) shows an embodiment of the present invention.
It is a schematic cross section which shows the modification of the structure of the condensation surface of the vacuum panel which concerns on the Example of this invention.
It is a schematic cross section which shows the modification of the structure of the condensation surface of the vacuum panel which concerns on the Example of this invention.
9 is a partially broken side view showing the configuration of a vacuum processing apparatus including a vacuum pump according to another embodiment of the present invention.
Fig. 10 is a partially broken side view showing the structure of a vacuum processing apparatus including a vacuum pump according to still another embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공 펌프는, 진공 챔버를 목표 압력으로 배기하기 위한 진공 펌프이며, 패널과 냉동기를 구비한다.A vacuum pump according to an embodiment of the present invention is a vacuum pump for evacuating a vacuum chamber to a target pressure, and includes a panel and a refrigerator.

상기 패널은, 상기 진공 챔버 내의 배기해야 할 가스를 응축시키는 응축면과, 상기 응축면에 형성되어 상기 응축면을 독립된 복수의 분할면으로 구획하는 경계부를 구비한다.The panel includes a condensation surface for condensing the gas to be exhausted in the vacuum chamber, and a boundary portion formed on the condensation surface to divide the condensation surface into a plurality of independent divided surfaces.

상기 냉동기는, 상기 패널을 상기 목표 압력하에서의 상기 가스의 이슬점 이하로 냉각하는 것이 가능하다.The refrigerator can cool the panel below the dew point of the gas under the target pressure.

상기 진공 펌프에서, 패널은, 진공 챔버 내 혹은 진공 챔버의 배기 통로 내 등에 설치되어 냉동기에 의해서, 목표 압력하의 진공 챔버 내의 배기해야 할 가스의 이슬점 이하로 냉각된다. 진공 챔버 내의 가스는, 패널의 응축면에 응축함으로써 포착되고, 이로 인해 진공 챔버는 진공 배기된다.In the vacuum pump, the panel is installed in the vacuum chamber or in the exhaust passage of the vacuum chamber or the like and is cooled by the refrigerator to below the dew point of the gas to be exhausted in the vacuum chamber under the target pressure. The gas in the vacuum chamber is captured by condensation on the condensation surface of the panel, whereby the vacuum chamber is evacuated.

진공 챔버 내의 가스가 포화 증기압이 서로 다른 복수의 혼합 가스인 경우, 응축면에 퇴적한 응축체는, 내부 응력에 의해서 크랙이 발생할 수 있다. 상기 패널의 응축면은, 경계부에 의해서 독립된 복수의 분할면으로 구획되어 있어서 개개의 분할면은 고립돈 섬으로서 응축면에 존재한다. 이로 인해, 어느 하나의 분할면에서 발생한 크랙은 상기 경계부에 의해서 인접하는 다른 분할면으로의 전파가 억제되어 크랙의 발생 영역을 해당 분할면 내에 저지하는 것이 가능하다. 또한, 응축면의 응축체의 내부 응력이 각 분할면에 분산됨으로써 완화되어 분할면에서의 응축체의 박리가 저지된다. 이로 인해, 응축면에서 응축체의 박리 및 그 후의 재응축을 원인으로 하는 진공 챔버 내의 압력 변동이 방지되어서 안정된 배기 압력이 유지된다.When the gas in the vacuum chamber is a plurality of mixed gases having different saturated vapor pressures, cracks may occur in the condensate deposited on the condensation surface due to internal stress. The condensation surface of the panel is partitioned into a plurality of divided surfaces separated by the boundary portion, and each divided surface exists on the condensation surface as an isolated island. For this reason, the crack which generate | occur | produced in any one division | segmentation surface is suppressed by the said boundary part, and the propagation to another adjacent division surface can be suppressed, and it is possible to block the generation | occurrence | production area of a crack in this division surface. In addition, the internal stress of the condensate of the condensation surface is dispersed by each of the divided surfaces, and the peeling of the condensed bodies at the divided surfaces is prevented. This prevents pressure fluctuations in the vacuum chamber caused by peeling of the condensate and subsequent recondensation on the condensation surface, thereby maintaining a stable exhaust pressure.

상기 경계부는, 상기 응축면에 오목하게 형성된 홈부로 형성될 수 있다. 여기서, 각 분할면을 상기 홈부에서 고립시킨 섬 형상으로 형성할 수 있다. 홈부는, 직선 형상일 수 있고, 또는 곡선 형상일수도 있다. 홈부는 규칙적으로 형성될 수 있고, 불규칙적으로 형성되는 것도 가능하다. 홈부의 형성 개수, 형성 패턴 등은 특별히 한정되지 않고, 형성해야 할 분할면의 크기에 따라 적절하게 설정하는 것이 가능하다. 예를 들면, 홈부는 격자모양으로 형성될 수 있으며, 이로 인해 분할면을 용이하게 형성하는 것이 가능하다. 홈부의 단면 형상도 특별히 한정되지 않고, 삼각형상(V자형 모양), 구형 모양, 만곡 형상 등일 수 있다.The boundary portion may be formed as a recessed portion formed in the condensation surface. Here, each divided surface can be formed in island shape isolated from the said groove part. The groove portion may be straight or curved. The groove portion may be formed regularly, or may be irregularly formed. The number of formation, the formation pattern, etc. of a groove part are not specifically limited, It is possible to set suitably according to the magnitude | size of the dividing surface which should be formed. For example, the groove portion may be formed in a lattice shape, thereby making it possible to easily form a divided surface. The cross-sectional shape of the groove is also not particularly limited, and may be triangular (V-shaped), spherical, curved or the like.

상기 경계부는, 상기 응축면에 돌출 형성된 벽부로 구성될 수 있다. 이 경우에도, 각 분할면을 상기 벽부에서 고립시킨 섬 형상으로 형성할 수 있다. 벽부는, 직선 형상이거나 곡선 형상일 수 있다. 벽부는 규칙적이거나 불규칙적으로 형성될 수 있다. 벽부의 형성 갯수, 형성 패턴 등은 특별히 한정되지 않고, 형성해야 할 분할면의 크기에 따라 적절하게 설정하는 것이 가능하다. 예를 들면, 벽부는 격자모양으로 형성될 수 있으며, 이로 인해 분할면을 용이하게 형성하는 것이 가능하다. 벽부의 단면 형상도 특별히 한정되지 않고, 삼각형상(V자형 모양), 구형 모양, 만곡 형상 등일 수 있다.The boundary part may include a wall part protruding from the condensation surface. Also in this case, each divided surface can be formed in island shape isolated in the said wall part. The wall portion may be straight or curved. The wall may be formed regularly or irregularly. The number of formation, the formation pattern, etc. of a wall part are not specifically limited, It can set suitably according to the magnitude | size of the division surface to form. For example, the wall portion may be formed in a lattice shape, thereby making it possible to easily form a divided surface. The cross-sectional shape of the wall portion is also not particularly limited, and may be triangular (V-shaped), spherical, curved or the like.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은, 본 발명의 일 실시예예 따른 진공 펌프를 구비하는 진공 처리 장치의 구성을 나타내는 부분 파단 측면도이다. 진공 처리 장치(1)은, 진공 챔버(10)와 주펌프(20)와 진공 펌프(30)를 구비한다.1 is a partially broken side view showing the configuration of a vacuum processing apparatus including a vacuum pump according to an embodiment of the present invention. The vacuum processing apparatus 1 includes the vacuum chamber 10, the main pump 20, and the vacuum pump 30.

진공 챔버(10)는, 내부를 진공 배기 가능한 밀폐 구조를 가지고 있으며, 예를 들면, 알루미늄 합금, 스텐레스강 등의 금속재료로 구성된다. 진공 챔버(10)의 내부에는, 도시하지 않은 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 피처리 기판을 지지하는 스테이지, 피처리 기판을 가열, 플라스마 조사, 에칭, 성막 등의 각종 진공 처리를 실행하기 위한 가열원, 플라스마원, 성막원 등이 설치될 수 있다.The vacuum chamber 10 has a hermetic structure which can evacuate the inside, for example, and consists of metal materials, such as aluminum alloy and stainless steel. Inside the vacuum chamber 10, a stage for supporting a substrate to be processed, such as a semiconductor wafer or a glass substrate (not shown), and a heating source for performing various vacuum processing such as heating, plasma irradiation, etching, and film formation on the substrate to be processed. , Plasma sources, deposition sources, and the like may be installed.

주펌프(20)는, 예를 들면, 터보 분자 펌프나 루트형 펌프 등의 드라이 펌프가 이용되지만, 이외에도 확산 펌프 등의 다른 진공 펌프가 이용되는 것도 가능하다. 주펌프(20)는, 진공 챔버(10)의 저부에 설치되고 진공 챔버(10)의 내부를 소정의 제1 진공도(예를 들면, 1×10^-4Pa)로 배기한다.As the main pump 20, for example, a dry pump such as a turbo molecular pump or a root pump is used, but other vacuum pumps such as a diffusion pump may be used. The main pump 20 is installed at the bottom of the vacuum chamber 10 and exhausts the interior of the vacuum chamber 10 at a predetermined first vacuum degree (for example, 1 × 10 ⁻⁴ Pa).

진공 펌프(30)는, 진공 챔버(10)의 내부에 존재하는 수증기(H2O)를 응축 배기하기 위한 것으로, 제1 진공도보다 고진공의 제2 진공도(예를 들면 1×10-5Pa)까지 진공 챔버(10)의 내부를 배기한다. 본 실시예에서, 진공 펌프(30)는, 주펌프(20)에 의해서 진공 챔버의 내부가 상기 제1 진공도가 되면 구동된다.The vacuum pump 30 is for condensing and evacuating water vapor (H 2 O) present in the vacuum chamber 10, and the vacuum chamber to a second vacuum degree (for example, 1 × 10 -5 Pa) of higher vacuum than the first vacuum degree. The inside of 10 is exhausted. In the present embodiment, the vacuum pump 30 is driven by the main pump 20 when the inside of the vacuum chamber becomes the first degree of vacuum.

진공 펌프(30)는, 진공 챔버(10) 내부에 위치하는 진공 패널(31)과, 진공 챔버(10)의 외부에 위치하는 진공 패널(31)을 냉각하는 냉동기(32)를 구비한다. 냉동기(32)는, 진공 챔버(10)의 저부(10a)를 기밀로 관통하는 콜드 헤드(32a)를 구비하고, 콜드 헤드(32a)는 그 첨단부에서 진공 패널(31)을 지지한다. 냉동기(32)는, 도시하지 않은 헬륨 압축기로부터 이송되는 헬륨을 콜드 헤드(32a)에 대해 팽창시키고, 진공 패널(31)을 예를 들면, 80 K이하의 초저온 또는 극저온으로 냉각한다.The vacuum pump 30 includes a vacuum panel 31 located inside the vacuum chamber 10 and a refrigerator 32 for cooling the vacuum panel 31 located outside the vacuum chamber 10. The refrigerator 32 includes a cold head 32a that hermetically penetrates the bottom 10a of the vacuum chamber 10, and the cold head 32a supports the vacuum panel 31 at its tip. The refrigerator 32 expands helium conveyed from the helium compressor (not shown) with respect to the cold head 32a, and cools the vacuum panel 31 to, for example, ultra low temperature or cryogenic temperature of 80 K or less.

진공 패널(31)의 냉각 온도는 특별히 한정되지 않고, 진공 펌프(30)의 도달 목표 압력 아래에서 진공 패널(31) 상에서 수증기를 응축할 수 있는 온도(이슬점) 이하이면 가능하다.The cooling temperature of the vacuum panel 31 is not specifically limited, It is possible if it is below the temperature (dew point) which can condense water vapor on the vacuum panel 31 under the reaching target pressure of the vacuum pump 30. FIG.

다음으로, 진공 패널(31)의 상세한 구성에 대하여 설명한다. 도 2는 진공 패널(31)의 평면도, 도 3은 진공 패널(31)의 부분 사시도이다.Next, the detailed structure of the vacuum panel 31 is demonstrated. 2 is a plan view of the vacuum panel 31, and FIG. 3 is a partial perspective view of the vacuum panel 31.

진공 패널(31)은 동이나 알루미늄 등의 열전도성의 높은 금속재료의 원반으로 구성된다. 진공 패널(31)은, 진공 챔버(10)의 내부에 대향하는 표면이 배기 대상인 수증기를 응축시키는 응축면(310)으로 구성된다. 덧붙여서, 진공 패널(31)은, 원반 형상으로 한정되는 것은 아니며, 구형 모양도 가능하다. 또한, 진공 패널(31)은 평판으로 한정되는 것은 아니며, 만곡판, 원통 형상 등일 수 있다.The vacuum panel 31 is composed of a disk made of a high thermal conductive metal material such as copper or aluminum. The vacuum panel 31 is comprised by the condensation surface 310 which the surface which opposes the inside of the vacuum chamber 10 condenses the water vapor | steam which is exhaust object. In addition, the vacuum panel 31 is not limited to disk shape, A spherical shape is also possible. In addition, the vacuum panel 31 is not limited to a flat plate, and may be a curved plate, a cylindrical shape, or the like.

응축면(310)은, 서로 독립된 복수의 분할면(310a)을 구비한다. 각 분할면(310a)은, 응축면(310)에 격자모양으로 형성된 복수 라인의 홈부(310b)(경계부)에 의해서 구획된다. 이로 인해, 각 분할면(310a)은, 서로 고립된 섬으로서 응축면(310) 상에 점형상으로 존재한다. 덧붙여서, 도 2는 이해하기 쉽도록 간략화하여 도시한 것으로, 실제로는 분할면(310a)은 도시한 예보다 미세하게 형성된다.The condensation surface 310 includes a plurality of divided surfaces 310a which are independent of each other. Each divided surface 310a is partitioned by a plurality of lines of groove portions 310b (boundary portions) formed in a lattice shape on the condensation surface 310. For this reason, each divided surface 310a exists in a point shape on the condensation surface 310 as islands isolated from each other. Incidentally, FIG. 2 is a simplified diagram for easy understanding, and in fact, the dividing surface 310a is formed finer than the illustrated example.

홈부(310b)는, 인접하는 복수의 분할면(310a)의 경계를 구성한다. 홈부(310b)는 대략 삼각형상(V자형 모양)의 단면 형상을 가진다. 본 실시예에서 홈부(310b)는, 각각의 분할면(310a)이 정방형이 되도록 면내에서 직교하는 2축 방향(X축 방향, Y축 방향)으로 각각 직선적으로 복수 형성된다. 홈부(310b)의 폭, 깊이, 형성 간격은 특별히 제한되는 것은 아니며, 각 분할면(310a)의 크기(면적), 간격 등에 따라 적절하게 설정된다. 예를 들면, 진공 패널(31)의 직경이 470㎜인 경우, 홈부(310b)의 폭, 깊이, 형성 간격은 각각 1㎜, 0.5㎜, 5㎜로 할 수 있다.The groove part 310b constitutes the boundary of the several division | segmentation surface 310a which adjoins. The groove portion 310b has a cross-sectional shape of approximately triangular shape (V-shape). In the present embodiment, a plurality of grooves 310b are each formed linearly in a two-axis direction (X-axis direction, Y-axis direction) orthogonal in the plane so that each divided surface 310a becomes square. The width, depth, and formation interval of the groove 310b are not particularly limited, and are appropriately set according to the size (area), spacing, and the like of each divided surface 310a. For example, when the diameter of the vacuum panel 31 is 470 mm, the width, depth, and formation interval of the groove 310b can be 1 mm, 0.5 mm, and 5 mm, respectively.

이상과 같이 구성되는 본 실시예의 진공 펌프(30)에서, 진공 패널(31)은, 냉동기(32)에 의해서 80K 이하로 냉각된다. 진공 챔버(10) 내의 잔류 가스(혹은 방출 가스)는, 진공 패널(31)의 응축면(310) 상에 응축함으로써 포착되고, 이로 인해 진공 챔버(10)는 상기 제2 진공도까지 배기된다.In the vacuum pump 30 of the present embodiment configured as described above, the vacuum panel 31 is cooled to 80 K or less by the refrigerator 32. Residual gas (or discharge gas) in the vacuum chamber 10 is captured by condensation on the condensation surface 310 of the vacuum panel 31, whereby the vacuum chamber 10 is exhausted to the second degree of vacuum.

본 실시예에서 진공 펌프(30)는, 주로 진공 챔버(10) 내의 수증기(H2O)를 배기하도록 운전된다. 여기서, 진공 챔버(10) 내에 수증기보다 포화 증기압의 높은 가스(예를 들면, 이산화탄소, 염소, 암모니아)가 존재하는 경우, 이러한 가스도 수증기와 함께 진공 패널(31)에 포착되어 수증기와의 혼합 가스의 응축체로서 응축면(310) 상에 퇴적한다. 상기 혼합 가스의 응축체는, 응축열이나 응축시의 체적 팽창율의 서로 다름 등에 의해 내부 응력이 비교적 크기 때문에, 진공 패널(31) 상에서 크랙이 발생할 수 있다.In this embodiment, the vacuum pump 30 is mainly operated to exhaust the water vapor H 2 O in the vacuum chamber 10. Here, when there is a gas (eg, carbon dioxide, chlorine, ammonia) having a saturated vapor pressure higher than water vapor in the vacuum chamber 10, such gas is also captured by the vacuum panel 31 together with water vapor and mixed with water vapor. Is deposited on the condensation surface 310 as a condensate. Since the internal stress of the condensed body of the mixed gas is relatively large due to the heat of condensation or the difference in the volume expansion rate at the time of condensation, cracks may occur on the vacuum panel 31.

여기서, 응축체에 발생한 크랙이 소정 이상으로 성장하면, 응축면에서 응축체의 박리가 유발된다. 도 4는, 응축면에서의 응축체의 박리 메카니즘을 설명하는 모식도이다. 응축면 S 상의 응축체(빙막) F에 발생하는 크랙 C1은, 임의의 위치에서 발생하여(도 4(A)), 성장과 합체를 거쳐 비교적 큰 크랙 C2을 발생시킨다(도 4(B)). 크랙 C2은 응축면 S에서 박리되어(도 4(C)), 최종적으로 박리편 C3을 발생시킨다(도 4(D)). 응축면 S에서 응축체 F의 박리는, 펌프 배기 능력의 저하를 발생시킴과 동시에, 박리편 C3의 승화(재기화)에 의해서 진공 챔버 내의 압력을 상승시킨다. 또한, 승화한 가스는 응축면 S에서 재응축하고, 이로 인해 진공 챔버 내의 압력이 저하된다. 이러한 현상이 반복됨으로써, 배기 압력이 변동되어 안정된 고진공도를 유지하는 것이 곤란해진다.Here, when the crack which generate | occur | produced in the condensate grows more than predetermined | prescribed, peeling of a condensate will be caused in a condensation surface. It is a schematic diagram explaining the peeling mechanism of the condensate in a condensation surface. The crack C1 generated in the condensate (ice film) F on the condensation surface S is generated at an arbitrary position (Fig. 4 (A)), and generates relatively large crack C2 through growth and coalescence (Fig. 4 (B)). . Crack C2 is peeled off the condensation surface S (FIG. 4 (C)), and finally, peeling piece C3 is generated (FIG. 4 (D)). The peeling of the condenser F on the condensation surface S causes a decrease in the pump exhaust capacity and increases the pressure in the vacuum chamber by sublimation (regasification) of the peeling piece C3. Further, the sublimed gas recondenses on the condensation surface S, whereby the pressure in the vacuum chamber is lowered. By repeating this phenomenon, it becomes difficult to maintain a stable high vacuum degree by varying the exhaust pressure.

한편, 본 실시예에서는, 진공 패널(31)은, 응축면(310)이 홈부(310b)에 의해서 독립된 복수의 분할면(310a)으로 구획된다. 도 5(A)는, 진공 패널(31)의 응축면(310) 상에 퇴적한 응축체 F를 나타낸다. 응축체 F는, 분할면(310a)과 홈부(310b)의 표면 형상을 모방하여 응축면(310) 상에 퇴적된다.In the present embodiment, on the other hand, the vacuum panel 31 is divided into a plurality of divided surfaces 310a in which the condensation surface 310 is independent by the groove portion 310b. FIG. 5A shows the condenser F deposited on the condensation surface 310 of the vacuum panel 31. The condenser F is deposited on the condensation surface 310 by imitating the surface shapes of the divided surface 310a and the groove portion 310b.

도 5(B)는, 응축체 F에 크랙이 발생했을 때의 모습을 나타내는 모식도이다. 개개의 분할면(310a)은, 고립한 섬으로서 응축면(310)상에 존재한다. 따라서, 어느 하나의 분할면(310a)에서 발생한 크랙 C은, 홈부(310b)에 의해서 큰 전파 저항을 받음으로써, 인접하는 다른 분할면으로의 전파와 분할면(310a) 상호간의 크랙 C의 합체가 억제된다. 즉, 응축면에 형상적인 이방성을 부여하는 경계부를 형성함으로써, 크랙 C의 전파의 모양을 제어하는 것이 가능해진다. 따라서, 개개의 분할면(310a)의 크기를 크랙 C에 의한 해당 분할면에서의 박리를 일으키지 않도록 하는 크기로 설정함으로써, 크랙의 발생 영역을 해당 분할면 내로 저지할 수 있다.FIG. 5 (B) is a schematic diagram showing a state when a crack occurs in the condenser F. FIG. Each divided surface 310a exists on the condensation surface 310 as an isolated island. Therefore, the crack C generated in any one of the divided surfaces 310a receives a large propagation resistance by the groove 310b, so that the combination of the propagation of the crack C between the adjacent divided surfaces and the divided surfaces 310a is generated. Suppressed. That is, by forming the boundary part which gives shape anisotropy to a condensation surface, it becomes possible to control the pattern of the propagation of the crack C. Therefore, by setting the size of each dividing surface 310a to the size which does not cause peeling in the said dividing surface by crack C, the area | region which a crack generate | occur | produces can be restrained in the said dividing surface.

또한 본 실시예에 의하면, 응축면(310) 의 응축체 F의 내부 응력이 각 분할면(310a)에 분산됨으로써 완화되어 분할면(310a) 상에서의 응축체 F의 박리를 유효하게 저지하는 것이 가능하다. 이로 인해, 응축면(310)에서 응축체 F의 박리 및 그 후의 재응축을 원인으로 하는 진공 챔버 내의 압력 변동을 방지할 수 있어서 안정된 배기 압력을 유지하는 것이 가능하다.In addition, according to the present embodiment, the internal stress of the condenser F of the condensation surface 310 is dissipated to each of the divided surfaces 310a, so that the peeling of the condensed substance F on the divided surface 310a can be effectively prevented. Do. For this reason, the pressure fluctuation in the vacuum chamber which causes peeling of the condensate F and subsequent recondensation on the condensation surface 310 can be prevented, and it is possible to maintain a stable exhaust pressure.

덧붙여, 응축체 F의 크랙 C은, 홈부(310b) 내에 있어도 발생 할 수 있다. 그러나, 홈부(310b)와 분할면(310a) 사이에 형상상의 등방성이 없으므로, 홈부(310b)와 분할면(310a) 사이에 걸치는 크랙의 전파 및 합체는 효과적으로 저지된다.In addition, the crack C of the condenser F may occur even in the groove 310b. However, since there is no shape isotropy between the groove portion 310b and the divided surface 310a, propagation and coalescence of cracks spread between the groove portion 310b and the divided surface 310a are effectively prevented.

도 6(A), 도 6(B)는, 배기 압력의 시간 변화를 나타내고, (A)는 응축면이 연속 평면에서 형성된 비교예(도 4)에 따른 진공 패널을 이용했을 때의 실험 결과, (B)는 응축면이 경계부에서 구획된 복수의 분할면에서 형성된 본 실시예에 따른 진공 패널(31)을 이용했을 때의 실험 결과이다. 실험에서는, 진공 챔버를 1×10^-5Pa까지 배기한 후, 진공 챔버에 수증기(H2O)를 130 sccm, 이산화탄소(CO₂)를 100 sccm 계속 각각 도입하면서 압력을 측정했다. 진공 패널의 냉각 온도는 70K으로 했다.6 (A) and 6 (B) show a time change in the exhaust pressure, and (A) shows the results of experiments using the vacuum panel according to the comparative example (FIG. 4) in which the condensation surface was formed in the continuous plane. (B) is an experimental result when using the vacuum panel 31 which concerns on this embodiment in which the condensation surface was formed in the some division surface divided by the boundary part. In the experiment, after evacuating the vacuum chamber to 1 × 10 ⁻⁵ Pa, the pressure was measured while continuously introducing 130 sccm of steam (H 2 O) and 100 sccm of carbon dioxide (CO ₂ ) into the vacuum chamber. The cooling temperature of the vacuum panel was 70K.

도 6(A)에 도시한 바와 같이, 비교예에 따른 진공 패널에서는 운전을 개시하고 나서 약 1시간 경과 후에 압력의 변화가 나타나기 시작하고 이후, 계속해서 압력의 변동이 있었다. 이에 반해, 본 실시예에 의하면, 도 6(B)에 도시한 바와 같이, 운전 개시부터 압력의 변동이 없고, 장시간에 걸쳐서 안정된 배기 압력을 유지할 수 있는 것이 확인되었다. 또한, 도시하지 않은, 본 실시예에 의하면, 24 시간의 배기 시간에 걸쳐서 배기 압력을 안정적으로 유지할 수 있는 것이 확인되었다. 이와 같이 배기 압력을 안정적으로 유지할 수 있는 요인은, 진공 패널에서 응축체의 박리를 확실히 방지할 수 있기 때문에다. 종래 기술에서는 응축체가 박리를 일으키는 두께인 3㎜ 퇴적했을 경우에도, 본 실시예에 의하면 진공 패널에서의 박리가 없는 것이 확인되고 있다.As shown in Fig. 6A, in the vacuum panel according to the comparative example, the pressure began to appear about 1 hour after the start of the operation, and thereafter, the pressure was continuously changed. In contrast, according to the present embodiment, as shown in Fig. 6B, it was confirmed that there was no change in pressure from the start of operation, and stable exhaust pressure could be maintained for a long time. In addition, according to this embodiment, not shown, it was confirmed that the exhaust pressure can be stably maintained over the exhaust time of 24 hours. Thus, the factor which can maintain exhaust pressure stably is because the peeling of a condensate can be prevented reliably in a vacuum panel. In the prior art, even when the condenser accumulates 3 mm, which is a thickness causing peeling, according to this embodiment, it is confirmed that there is no peeling in the vacuum panel.

이상과 같이, 본 실시예에 의하면, 진공 패널(31)의 응축면(310)이 홈부(310b)에 의해서 복수의 분할면(310a)으로 형성되므로, 응축면(310) 상에서 응축체의 박리를 방지할 수 있다. 이로 인해, 진공 펌프(30)에 의한 안정된 배기 동작을 실현할 수 있어서 진공 챔버 내의 압력 변동을 방지할 수 있다. 또한, 진공 챔버 내에서 성막 등의 진공 프로세스를 장시간에 걸쳐서 안정되게 실시하는 것이 가능하다.As described above, according to the present embodiment, since the condensation surface 310 of the vacuum panel 31 is formed into the plurality of divided surfaces 310a by the groove portion 310b, the condensation of the condensation body is removed on the condensation surface 310. You can prevent it. For this reason, the stable exhaust operation | movement by the vacuum pump 30 can be implement | achieved, and the pressure fluctuation in a vacuum chamber can be prevented. It is also possible to stably perform a vacuum process such as film formation over a long time in the vacuum chamber.

이상, 본 발명의 실시예에 대해 설명했지만, 물론 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상에 근거하여 여러 가지 변형이 가능하다.As mentioned above, although embodiment of this invention was described, of course, this invention is not limited to this, A various deformation | transformation is possible for it based on the technical idea of this invention.

예를 들면, 이상의 실시예에서는, 진공 패널(31)의 응축면(310)을 구성하는 복수의 분할면(310a)을 평면 형상으로 하고, 또한, 각 분할면(310a)을 구획하는 홈부(310b)의 단면 형상을 삼각형상(V자형 모양)으로 하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 홈부(310b)의 폭을 분할면(310a)의 도랑보다 작게 했지만, 홈부(310b)의 폭을 분할면(310a)의 폭과 같거나 그 이상의 크기로 형성하는 것도 가능하다. 이러한 구성예에 있어서도 상술한 실시예와 동일한 작용 효과를 얻을 수 있다.For example, in the above embodiment, the plurality of divided surfaces 310a constituting the condensation surface 310 of the vacuum panel 31 have a planar shape, and the groove portion 310b for partitioning each of the divided surfaces 310a. ), The cross-sectional shape is triangular (V-shaped), but is not limited thereto. In addition, although the width of the groove 310b is made smaller than the ditches of the dividing surface 310a, the width of the groove 310b can be formed to be equal to or larger than the width of the dividing surface 310a. Also in such a structural example, the effect similar to the Example mentioned above can be acquired.

도 7(A) 내지 도 7(C)는, 응축면의 구성의 변형예를 나타내는 진공 패널의 모식 단면도이다. 도 7에서, (A)는 단면 형상이 구형 모양의 홈부(410b)로 분할면(410a)을 형성한 예를 나타낸다. 홈부(410b)는 분할면(410a)과 같거나 그 이상의 폭을 가진다. (B)는, 단면 삼각형상의 홈부(510b)를 연속적으로 형성하고, 홈부(510b)의 경사면을 분할면(510a)으로 한 구성예를 나타낸다. (C)는, 홈부(610b)의 폭을 분할면(610a)의 폭과 같거나 그 이상으로 형성한 예를 나타낸다.7 (A) to 7 (C) are schematic cross-sectional views of a vacuum panel showing a modification of the condensation surface configuration. In FIG. 7, (A) shows an example in which the divided surface 410a is formed by the groove portion 410b having a spherical cross section. The groove 410b has a width equal to or greater than the dividing surface 410a. (B) shows the structural example in which the groove part 510b of cross-sectional triangle shape was continuously formed, and the inclined surface of the groove part 510b was made into the dividing surface 510a. (C) shows an example in which the width of the groove portion 610b is formed equal to or greater than the width of the dividing surface 610a.

또한, 이상의 실시예에서는, 진공 패널의 응축면을 복수의 분할면으로 구획하는 경계부를 홈부에서 구성했지만, 상기 경계부를 벽부로 구성하는 것도 가능하다. 이 경우에도, 개개의 분할면을 고립한 섬으로서 응축면에 점 형상으로 존재시킬 수 있다. 이러한 구성의 일례는, 예를 들면, 도 7(A)의 구성예에 대응되고, 이 경우, 홈부(410b)는 분할면에 대응되고, 분할면(410a)은 벽부에 대응된다.Moreover, in the above embodiment, although the boundary part which divides the condensation surface of a vacuum panel into several division surface was comprised in the groove part, it is also possible to comprise the said boundary part as a wall part. Also in this case, the individual divided surfaces can be present in the form of dots on the condensation surface as isolated islands. An example of such a configuration corresponds to, for example, the configuration example of FIG. 7A, in which case the groove 410b corresponds to the divided surface, and the divided surface 410a corresponds to the wall portion.

또한, 이상의 실시예에서는, 진공 패널의 응축면에 경계부를 형성함으로써 복수의 분할면을 형성했지만, 이와는 달리, 도 8(A) 내지 도 8(C)에 도시한 바와 같이, 진공 패널 그 자체를 응축면에 분할면이 형성되는 형상으로 가공하는 것도 가능하다. 예를 들면, 도 8에서, (A)는, 단면 형상이 반원 형상의 벽부(710b)로 분할면(710a)을 구획한 진공 패널(71)을 나타낸다. (B)는, 단면 형상이 삼각형상의 벽부(810b)로 분할면(810a)을 구획한 진공 패널(81)을 나타낸다. 그리고 (C)는, 단면 형상이 구형 모양의 홈부(910b)로 분할면(910a)을 구획한 진공 패널(91)을 나타낸다. 이러한 진공 패널(71, 81, 91)은, 예를 들면, 금속판을 프레스 가공하는 등으로 하여 형성할 수 있다. 또한, 도 8(A), 도 8(B)에서, 상기 벽부(710b, 810b)는 분할면에서 만날 수 있으며, 분할면 (710a, 810a)은 홈부에서 만날 수 있다. 또한, 도 8(C)에서, 홈부(910b)는 분할면에서 만날 수 있고, 분할면(910a)은 벽부에서 만나는 것도 가능하다.In the above embodiment, a plurality of divided surfaces are formed by forming a boundary portion on the condensation surface of the vacuum panel. Alternatively, as shown in Figs. 8A to 8C, the vacuum panel itself is removed. It is also possible to process into the shape in which the divided surface is formed in a condensation surface. For example, in FIG. 8, (A) shows the vacuum panel 71 which divided | divided the dividing surface 710a into the semicircular wall part 710b of cross-sectional shape. (B) shows the vacuum panel 81 which divided | divided the division surface 810a into the triangular wall part 810b of cross-sectional shape. And (C) shows the vacuum panel 91 which divided | divided the dividing surface 910a into the groove part 910b of spherical shape. Such vacuum panels 71, 81, 91 can be formed by, for example, pressing a metal plate. In addition, in FIGS. 8A and 8B, the wall portions 710b and 810b may meet at the dividing surface, and the dividing surfaces 710a and 810a may meet at the groove portion. In Fig. 8C, the groove portion 910b can meet at the dividing surface, and the dividing surface 910a can also meet at the wall portion.

또한, 진공 펌프(30)를 구비하는 진공 처리 장치는, 상술의 구성에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 도 9에 도시한 바와 같이 구성될 수 있다. 도 9에 도시한 진공 처리 장치(2)는, 진공 챔버(10)와, 주펌프(20)와, 진공 펌프(30)와, 진공 챔버(10)의 내부와 진공 펌프(30)가 설치되는 펌프실을 나누는 게이트 밸브(40)를 구비한다. 더불어, 도 9에서 도 1의 구성과 같은 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.In addition, the vacuum processing apparatus provided with the vacuum pump 30 is not limited to the above-mentioned structure, For example, it can be comprised as shown in FIG. The vacuum processing apparatus 2 shown in FIG. 9 includes a vacuum chamber 10, a main pump 20, a vacuum pump 30, an interior of the vacuum chamber 10, and a vacuum pump 30. The gate valve 40 which divides a pump chamber is provided. In addition, in FIG. 9, the same code | symbol is attached | subjected about the same part as the structure of FIG. 1, and the detailed description is abbreviate | omitted.

도 9에서, 게이트 밸브(40)는, 도어 밸브 등의 개폐 밸브로 구성되고, 진공 챔버(10)의 진공 배기 시, 전개 상태가 된다. 또한, 진공 챔버(10)의 내부를 대기로 개방할 때 등에 있어서, 완전히 닫힌 상태로 되어 펌프실 내를 진공 상태로 유지하는 것이 가능하다. 이러한 구성의 진공 처리 장치(2)에서도 상술한 실시예와 같은 작용 효과를 얻을 수 있다.In FIG. 9, the gate valve 40 is comprised by opening / closing valves, such as a door valve, and will be in an expanded state at the time of evacuating the vacuum chamber 10. FIG. In addition, when opening the inside of the vacuum chamber 10 to air | atmosphere etc., it can be fully closed and can maintain the inside of a pump chamber in a vacuum state. Also in the vacuum processing apparatus 2 of such a structure, the effect similar to the Example mentioned above can be acquired.

더불어, 진공 펌프(30)를 구비하는 진공 처리 장치는, 상술한 구성으로 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 도 10에 도시한 바와 같이 구성될 수 있다. 도 10에 도시한 진공 처리 장치(3)는, 진공 챔버(10)와, 주펌프(20)와, 진공 펌프(30)와, 진공 챔버(10)와 주펌프(20)를 접속하는 배기 통로(15)를 구비한다. 덧붙여, 도 10에서 도 1의 구성과 같은 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.In addition, the vacuum processing apparatus provided with the vacuum pump 30 is not limited to the above-mentioned structure, For example, it can be comprised as shown in FIG. The vacuum processing apparatus 3 shown in FIG. 10 includes a vacuum passage 10, a main pump 20, a vacuum pump 30, and an exhaust passage connecting the vacuum chamber 10 and the main pump 20. (15) is provided. In addition, in FIG. 10, the same code | symbol is attached | subjected about the same part as the structure of FIG. 1, and the detailed description is abbreviate | omitted.

도 10에서, 진공 펌프(30)는, 배기 통로(15)에 장착되고, 진공 챔버(10)에서 주펌프(20)로 향하는 가스(예를 들면, 수증기)를 배기 통로(15) 내부로 배기한다. 진공 펌프(30)는, 원통형 진공 패널(131)을 구비하고, 배기 통로(15) 내부에, 예를 들면, 배기 통로(15)와 동심으로 배치된다. 이러한 원통형 진공 패널(131)의 내주면 및 외주면에는, 서로 독립된 복수의 분할면을 가지는 상술한 바와 같은 응축면이 형성된다.In FIG. 10, the vacuum pump 30 is mounted in the exhaust passage 15, and exhausts gas (for example, steam) from the vacuum chamber 10 to the main pump 20 into the exhaust passage 15. do. The vacuum pump 30 includes a cylindrical vacuum panel 131 and is disposed concentrically with the exhaust passage 15, for example, inside the exhaust passage 15. On the inner circumferential surface and the outer circumferential surface of the cylindrical vacuum panel 131, a condensation surface as described above having a plurality of divided surfaces independent of each other is formed.

덧붙여 해당 응축면은, 진공 패널(131)의 내주면 및 외주면의 적어도 한쪽에 형성될 수 있다. 이러한 구성을 갖는 진공 처리 장치(3)에서도 상술한 실시예와 같은 작용 효과를 얻을 수 있다. 또한, 배기 통로(15) 내에 설치되는 진공 패널(131)의 수는 하나로 한정되는 것은 아니며, 복수일 수 있다. 이 경우, 직경이 서로 다른 복수의 원통형 진공 패널이 서로 동심으로 배치될 수 있으며, 동일 직경을 갖는 복수의 원통형 진공 패널이 배기 통로를 따라서 직렬로 배치되는 것도 가능하다.In addition, the condensation surface may be formed on at least one of the inner circumferential surface and the outer circumferential surface of the vacuum panel 131. Also in the vacuum processing apparatus 3 which has such a structure, the effect similar to the Example mentioned above can be acquired. In addition, the number of the vacuum panels 131 installed in the exhaust passage 15 is not limited to one, but may be plural. In this case, a plurality of cylindrical vacuum panels having different diameters may be arranged concentrically with each other, and a plurality of cylindrical vacuum panels having the same diameter may be arranged in series along the exhaust passage.

여기서, 이상의 실시예에서는, 진공 펌프(30)에 의해서 배기해야 할 가스로서 수증기를 예로 들었지만, 이에 한정되지 않고 진공 처리에 이용되는 각종 프로세스 가스(예를 들면, 질소나 아르곤)의 배기에 있어서도 본 발명을 적용 가능하다. 예를 들면, 진공 패널을 30~40K로 냉각함으로써, 진공 챔버 내의 질소 및 아르곤을 응축 배기할 수 있다. 이 경우에도, 진공 패널상의 응축체가 내부 응력에 의해서 크랙이 발생할 우려가 있지만, 본 발명에 따른 진공 패널을 이용함으로써 해당 응축체의 박리를 저지하여, 배기 압력의 변동을 방지하는 것이 가능하다.
Here, in the above embodiment, although water vapor has been exemplified as a gas to be exhausted by the vacuum pump 30, the present invention is not limited to this, but the exhaust gas of various process gases (for example, nitrogen or argon) used for vacuum treatment is also present. The invention is applicable. For example, by cooling a vacuum panel to 30-40K, nitrogen and argon in a vacuum chamber can be condensed and exhausted. Also in this case, there is a possibility that the condensate on the vacuum panel may be cracked due to internal stress, but by using the vacuum panel according to the present invention, it is possible to prevent peeling of the condensate and prevent fluctuations in the exhaust pressure.

1, 2, 3…진공 처리 장치
10…진공 챔버
15…배기 통로
20…주펌프
30…진공 펌프
31, 61, 71, 81, 91, 131…진공 패널
32…냉동기
40…게이트 밸브
310…응축면
310a, 410a, 510a, 610a, 710a, 810a, 910a…분할면
310b, 410b, 510b, 810b, 910b…홈부
610b, 710b…벽부1, 2, 3... Vacuum processing unit
10... Vacuum chamber
15... Exhaust passage
20... Main pump
30... Vacuum pump
31, 61, 71, 81, 91, 131... Vacuum panel
32... Freezer
40 ... Gate valve
310 ... Condensation
310a, 410a, 510a, 610a, 710a, 810a, 910a... Split plane
310b, 410b, 510b, 810b, 910b... Groove
610b, 710b... Wall

Claims

A vacuum pump for evacuating a vacuum chamber to a target pressure,
A panel having a condensation surface for condensing gas to be exhausted in the vacuum chamber, a boundary portion formed on the condensation surface and partitioning the condensation surface into a plurality of independent division surfaces;
Refrigerator capable of cooling the panel below the dew point of the gas under the target pressure
Vacuum pump having a.

The method of claim 1,
The boundary portion is a vacuum pump that is a groove portion formed in the condensation surface.

The method of claim 2,
The groove portion, a vacuum pump formed in a grid shape on the condensation surface.

The method of claim 1,
The boundary portion is a vacuum pump which is a wall portion protruding from the condensation surface.