KR20120041912A - Apparatus for protecting a dew point sensor - Google Patents
Apparatus for protecting a dew point sensor Download PDFInfo
- Publication number
- KR20120041912A KR20120041912A KR1020100103324A KR20100103324A KR20120041912A KR 20120041912 A KR20120041912 A KR 20120041912A KR 1020100103324 A KR1020100103324 A KR 1020100103324A KR 20100103324 A KR20100103324 A KR 20100103324A KR 20120041912 A KR20120041912 A KR 20120041912A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- point sensor
- dew point
- organic chemical
- remover
- air
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/08—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for safeguarding the apparatus, e.g. against abnormal operation, against breakdown
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
- G01D11/245—Housings for sensors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Drying Of Gases (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 노점 센서 보호 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 드라이룸(DRY ROOM)의 노점온도를 센싱하는 노점 센서를 보호하도록 한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a dew point sensor protection device, and more particularly to an apparatus for protecting a dew point sensor for sensing the dew point temperature of a dry room (DRY ROOM).
최근 생산과정에서 저습도 환경의 수요가 높아지고 있다. 저습도 환경 즉, 건조한 분위기는 주로 리튬관련 배터리 제조에 빠지지 않는 환경으로 이용되고 있다.In recent years, the demand for low humidity environment is increasing. Low humidity environment, that is, dry atmosphere is mainly used as an environment that does not fall into the manufacturing of lithium-related batteries.
이러한 저습도 환경에서 제조되는 제품의 품질과 수율을 향상시키기 위해 소정의 분위기를 유지하는 드라이룸(DRY ROOM)이 채용된다. 드라이룸은 넓은 의미로는 공기중의 수분량을 일정한 값 이하로 제어한 저습도실이다. 특히, 실내의 노점(DEW POINT) 온도가 -10℃ 이하인 경우를 드라이룸이라 한다. 드라이룸은 상대습도 10% ~ 30% 정도의 저습도실과는 구별된다. In order to improve the quality and yield of products manufactured in such a low humidity environment, a dry room (DRY ROOM) that maintains a predetermined atmosphere is employed. In a broad sense, a dry room is a low humidity room that controls the amount of moisture in the air below a certain value. In particular, the case where the dew point indoors temperature is -10 ℃ or less is called a dry room. Dry rooms are distinguished from low humidity rooms with a relative humidity of 10% to 30%.
이와 같은 드라이룸은 리튬관련 배터리 공장 뿐만 아니라 흡습성 봉합사 제조공정, 동결 냉동건조 식품회사, 자동차 환경 실험실, 저습조건이 필요한 실험실 및 공장 등에서 사용된다. Such dry rooms are used not only in lithium-related battery factories, but also in hygroscopic suture manufacturing processes, freeze freeze-dried food companies, automotive environmental laboratories, laboratories and factories requiring low humidity conditions.
도 1은 일반적인 제습기와 드라이룸간의 연결 상태를 나타낸 도면이다. 도 2는 도 1에 도시된 제습기의 제습 과정을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.1 is a view showing a connection state between a general dehumidifier and a dry room. FIG. 2 is a view for schematically explaining a dehumidification process of the dehumidifier shown in FIG. 1.
제습기(1)가 동작되기 시작하면, 처리팬(12)과 재생팬(20)이 구동된다. 처리팬(12)의 구동에 의해 외기(대기중의 공기)가 흡입되어 프리쿨러(10)(PRE COOLER)에게로 전달된다. 프리쿨러(10)는 이물질 제거 및 공기 냉각 등의 동작을 수행한다. 프리쿨러(10)는 흡입된 외기에 함유되어 있는 수분을 제거한다. 프리쿨러(10)에 의해 수분이 제거된 공기는 처리팬(12)으로 전달된다. 이때, 처리팬(12)으로는 드라이룸(3)의 리턴 덕트(7)(Return Duct)를 통한 공기가 함께 전달된다.When the dehumidifier 1 starts to operate, the
처리팬(12)을 통과한 공기는 제습 로터(14)의 제습처리 영역(14a) 및 퍼지 영역(14c)으로 각각 공급된다. 제습 로터(14)는 모터(16)에 벨트연결된다. 제습처리 영역(14a)에 의해 습기가 제거된 공기는 애프터쿨러(도시 생략)를 통과한 후에 공급 덕트(5)(Supply Duct)를 통해 드라이룸(3)으로 공급된다. 드라이룸(3)은 공급된 공기에 의해 습도가 설정된 값으로 유지되고, 그 내부에서 작업이 이루어진다. 드라이룸(3)에서는 일부의 공기가 외부로 배출되고 나머지 공기가 리턴 덕트(7)를 통해 처리팬(12)에게로 전달된다.Air passing through the
한편, 제습 로터(14)의 퍼지 영역(14c)으로 공급된 공기는 퍼지 영역(14c)을 통과한 후에 재생 히터(18)에게로 전달된다. 재생 히터(18)는 유입된 공기를 가열한다. 가열된 공기는 제습 로터(14)의 재생 영역(14b)에게로 전달된다. 재생 영역(14b)에서는 제습 로터(14)에 흡수된 수분을 빼앗아 제거한다. 재생 영역(14b)을 통과한 공기는 재생팬(20)에 의해 외부로 배기된다. On the other hand, the air supplied to the
제습기(1)가 대기중의 공기를 흡입하는 과정에서 유기성 가스와 같은 화학물질이 공기에 포함되어 흡입되기도 한다. 이 경우, 제습기(1)의 제습 과정을 거쳤다고 하더라도 유기성 가스와 같은 화학물질은 공급 덕트(5)를 통해 드라이룸(3)에게로 공급된다. As the dehumidifier 1 inhales air in the atmosphere, chemicals such as organic gases may be contained in the air. In this case, even if the dehumidifier 1 has been dehumidified, chemicals such as organic gases are supplied to the
한편으로는, 드라이룸(3)내의 생산설비에 의한 제품 생산 과정에서 유기성 가스와 같은 화학물질이 발생된다. On the one hand, chemicals such as organic gases are generated during the production of products by the production equipment in the
제습기(1)와 드라이룸(3)간에는 공기의 유동이 있다. 즉, 제습기(1)는 대기중의 공기를 제습처리하여 공급 덕트(5)를 통해 드라이룸(3)에게로 공급하고, 드라이룸(3)은 내부의 공기의 일부를 외부로 배출시키고 나머지 공기를 리턴 덕트(7)를 통해 제습기(1)에게로 리턴시킨다.There is a flow of air between the dehumidifier 1 and the
이러한 제습기(1)와 드라이룸(3)간의 공기 유동에 있어서, 유기성 가스와 같은 화학물질이 덕트를 통해 이동함에 의해 드라이룸(3)의 노점 온도를 센싱하는 노점 센서(도시 생략)가 손상을 받게 된다. 통상적으로, 노점 센서는 드라이룸(3)으로 공급되는 드라이 에어(DRY AIR)에 포함된 수분량(노점)을 측정한다.In the air flow between the dehumidifier 1 and the
화학물질(유기성 가스)에 의해 노점 센서가 손상(예컨대, 오염, 부식 등)되면 수분 측정 오류를 발생시킨다. 예를 들어, 노점 센서가 오염된 경우라면 노점 센서의 측정치가 실제치보다 수분이 적은 것으로 측정된다. 노점 센서가 부식된 경우라면 센서 정밀도를 저하시킨다.
Damage to dew point sensors (eg, contamination, corrosion, etc.) by chemicals (organic gases) can cause moisture measurement errors. For example, if the dew point sensor is contaminated, the dew point sensor is measured to have less moisture than the actual value. If the dew point sensor is corroded, it will degrade the sensor accuracy.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 유기성 가스와 같은 화학물질에 의한 노점 센서의 손상을 방지하도록 한 노점 센서 보호 장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the above-mentioned conventional problems, and an object thereof is to provide a dew point sensor protection device for preventing damage to a dew point sensor by a chemical such as an organic gas.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시양태에 따른 노점 센서 보호 장치는, 노점 센서의 전단에 설치되고, 제습기 덕트에서 노점 센서에게로 유입되는 드라이 에어에 포함된 유기 화학물질을 제거하는 유기 화학물질 제거기; 및 유기 화학물질 제거기와 노점 센서 사이에 설치되고, 유기 화학물질 제거기를 통과한 드라이 에어에 포함된 먼지를 제거하는 먼지 제거기;를 포함한다.In order to achieve the above object, a dew point sensor protection device according to a preferred embodiment of the present invention is installed at the front end of the dew point sensor, and removes organic chemicals contained in the dry air flowing into the dew point sensor in the dehumidifier duct. Organic chemical eliminators; And a dust remover installed between the organic chemical remover and the dew point sensor and removing dust included in the dry air passing through the organic chemical remover.
바람직하게, 유기 화학물질 제거기는 카본 필터로 구성되고, 먼지 제거기는 라인 필터로 구성된다.Preferably, the organic chemical remover consists of a carbon filter and the dust remover consists of a line filter.
한편, 노점 센서의 후단에 설치되고 제습기 덕트에서 노점 센서까지 드라이 에어를 이송시키기 위한 진공 펌프;를 추가로 포함하여도 된다.On the other hand, it may be further included; a vacuum pump installed at the rear end of the dew point sensor for transferring the dry air from the dehumidifier duct to the dew point sensor.
유기 화학물질 제거기와 먼지 제거기와 노점 센서 및 진공 펌프는 하나의 하우징내에 설치됨이 바람직하다.The organic chemical remover, dust remover, dew point sensor and vacuum pump are preferably installed in one housing.
이러한 구성의 본 발명에 따르면, 노점 센서의 전단에 설치된 유기 화학물질 제거기가 노점 센서에게로 유입되는 화학물질을 제거해 주므로, 유기 화학물질(유기성 가스)로 인한 노점 센서의 손상을 방지할 수 있다.According to the present invention having such a configuration, since the organic chemical remover provided in front of the dew point sensor removes the chemical introduced into the dew point sensor, damage to the dew point sensor due to organic chemicals (organic gas) can be prevented.
노점 센서의 전단에서 유기 화학물질 및 먼지를 미연에 제거해 주므로, 노점 센서의 동작 신뢰도를 향상시킬 뿐만 아니라 사용 수명을 보다 연장시킨다.By removing organic chemicals and dust in front of the dew point sensor, it not only improves the operation reliability of the dew point sensor but also extends its service life.
도 1은 일반적인 제습기와 드라이룸간의 연결 상태를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 제습기의 제습 과정을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 노점 센서 보호 장치가 적용된 예를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view showing a connection state between a general dehumidifier and a dry room.
FIG. 2 is a view for schematically explaining a dehumidification process of the dehumidifier shown in FIG. 1.
3 is a view for explaining an example in which a dew point sensor protection device according to an embodiment of the present invention is applied.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 노점 센서 보호 장치에 대하여 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 상세한 설명에 앞서, 이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니된다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
Hereinafter, a dew point sensor protection device according to an embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings. Prior to the detailed description of the present invention, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 노점 센서 보호 장치가 적용된 예를 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining an example in which a dew point sensor protection device according to an embodiment of the present invention is applied.
본 발명의 실시예에 따른 노점 센서 보호 장치는 하나의 하우징(50)내에 설치된다. The dew point sensor protection device according to an embodiment of the present invention is installed in one
하우징(50)의 내부에는 제 1 밸브(30), 카본 필터(32), 라인 필터(34), 노점 센서(36), 제 2 밸브(38), 진공 펌프(40), 및 유량계(42) 등이 설치된다.Inside the
제 1 밸브(30)는 공급 덕트(5)의 드라이 에어를 샘플링관(25)을 통해 공급받는다. 여기서, 본 발명의 특허청구범위에 기재된 제습기 덕트는 제습기(1)와 드라이룸(3) 사이의 덕트를 의미한다. 공급 덕트(5)가 제습기 덕트의 일 예가 된다. 물론, 리턴 덕트(7)도 제습기 덕트의 일 예가 될 수 있다. 제 1 밸브(30)는 개폐가 가능하다. 제 1 밸브(30)는 밸브 개도치가 조절되어 드라이 에어량을 조절한다. 제 1 밸브(30)는 필터(32, 34) 또는 노점 센서(36)의 교체시 드라이 에어를 차단한다. 제 1 밸브(30)는 드라이 에어량 조절 및 드라이 에어 차단시 제 2 밸브(38)와 함께 연동된다. The
카본 필터(32)는 제 1 밸브(30)의 바로 후단에 설치되되 노점 센서(36)의 전단에 설치된다. 카본 필터(32)는 제 1 밸브(30)를 통과한 후에 유입되는 드라이 에어에 포함된 유기 화학물질(유기성 가스)을 제거한다. 카본 필터(32)는 본 발명의 특허청구범위에 기재된 유기 화학물질 제거기의 일 예가 된다. 카본 필터(32)는 미세기공(예컨대, 마이크로 기공(micro pore))을 갖는 카본 나노튜브를 활용하여 제조된다. 카본 필터(32)는 유기성 가스 등에 대한 흡착 능력이 여타 필터에 비해 우수하다.The
라인 필터(34)는 카본 필터(32)와 노점 센서(36)의 사이에 설치된다. 라인 필터(34)는 카본 필터(32)를 통과한 후에 유입되는 드라이 에어에 포함된 먼지를 제거한다. 라인 필터(34)는 본 발명의 특허청구범위에 기재된 먼지 제거기의 일 예가 된다. The
노점 센서(36)는 라인 필터(34)를 통과한 후에 유입되는 드라이 에어내에 포함된 수분량(노점)을 측정한다. 노점 센서(36)에서 측정된 값은 트랜스미터(transmitter)(도시 생략)에게로 전달된다. 트랜스미터는 입력된 값을 근거로 노점을 나타낸다. 노점 센서(36)는 센서 홀더에 의해 지지된다.The
제 2 밸브(38)는 노점 센서(36)의 바로 후단에 설치된다. 제 2 밸브(38)는 개폐가 가능하다. 제 2 밸브(38)는 밸브 개도치가 조절되어 드라이 에어량을 조절한다. 제 2 밸브(38)는 필터(32, 34) 또는 노점 센서(36)의 교체시 드라이 에어를 차단한다. 제 2 밸브(38)는 드라이 에어량 조절 및 드라이 에어 차단시 제 1 밸브(30)와 함께 연동된다. The
진공 펌프(40)는 제 2 밸브(38)의 후단에 설치된다. 진공 펌프(40)는 공급 덕트(5)에서 샘플링관(25)을 통해 드라이 에어를 노점 센서(36)에까지 이송시키기 위하여 진공 펌핑한다.The
유량계(42)는 진공 펌프(40)에서 흡입되는 드라이 에어량을 육안으로 확인할 수 있도록 한다.
The
필요에 따라서는 라인 필터(34)를 카본 필터(32)의 전단에 설치할 수도 있겠으나, 카본 필터(32)를 라인 필터(34)의 전단에 설치하는 것이 보다 바람직하다. 만약, 라인 필터(34)를 카본 필터(32)의 전단에 설치하게 되면 유기성 가스에 의해 라인 필터(34)가 손상을 입을 수 있다. 카본 필터(32)를 라인 필터(34)의 전단에 설치하게 되면 라인 필터(34)와 노점 센서(36)를 모두 보호할 수 있는 효과가 있다.
Although the
상술한 도 3에서는 하우징(50)내의 구성요소가 샘플링관(25)을 통해 공급 덕트(5)에 연결된 것으로 도시하였으나, 공급 덕트(5) 대신에 리턴 덕트(7)에 연결된 것으로 하여도 무방하다.
In FIG. 3, the components in the
이어, 본 발명의 실시예에 따른 노점 센서 보호 장치의 동작에 대하여 설명하면 다음과 같다.Next, the operation of the dew point sensor protection device according to an embodiment of the present invention will be described.
제습기(1)가 동작하게 되면, 제습기(1)에서 제습처리된 드라이 에어는 공급 덕트(5)를 통해 드라이룸(3)에게로 공급된다. 이 경우, 제 1 밸브(30) 및 제 2 밸브(38)는 개방된 상태이고, 진공 펌프(40)는 진공 펌핑을 수행한다.When the dehumidifier 1 is operated, the dry air dehumidified in the dehumidifier 1 is supplied to the
그에 따라, 공급 덕트(5)의 드라이 에어는 샘플링관(25)을 통해 제 1 밸브(30)를 거쳐 카본 필터(32)에게로 유입된다. As a result, the dry air of the
카본 필터(32)에서는 유입된 드라이 에어내에 포함된 유기 화학물질(유기성 가스)을 제거한다.The
유기 화학물질이 제거된 드라이 에어는 라인 필터(34)에게로 공급된다. 라인 필터(34)는 유입된 드라이 에어내의 먼지를 제거한다. Dry air from which organic chemicals have been removed is supplied to the
유기 화학물질 및 먼지가 제거된 드라이 에어는 노점 센서(36)를 통과한다. 노점 센서(36)는 통과하는 드라이 에어내에 포함된 수분량(노점)을 측정하여 트랜스미터(도시 생략)에게로 보낸다. 트랜스미터(도시 생략)는 입력된 값을 근거로 노점을 표시한다. Dry air from which organic chemicals and dust are removed passes through the
이와 같이 하면, 노점 센서(36)의 전단에서 미리 유기 화학물질 및 먼지가 제거되었기 때문에 노점 센서(36)는 보다 정확한 노점 측정을 수행할 수 있다. 그리고, 유기 화학물질에 의한 노점 센서(36)의 손상 및 데이터 오류의 발생을 대폭적으로 줄인다. 부수적으로, 노점 센서(36)의 사용 수명을 연장시키는 이점이 있다.
In this way, since the organic chemicals and the dust have been removed in advance in front of the
한편, 본 발명은 상술한 실시예로만 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 기술사상 역시 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. You must see.
25 : 샘플링관 30 : 제 1 밸브
32 : 카본 필터 34 : 라인 필터
36 : 노점 센서 38 : 제 2 밸브
40 : 진공 펌프 42 : 유량계
50 : 하우징25
32: carbon filter 34: line filter
36
40: vacuum pump 42: flow meter
50: housing
Claims (5)
상기 유기 화학물질 제거기와 상기 노점 센서 사이에 설치되고, 상기 유기 화학물질 제거기를 통과한 드라이 에어에 포함된 먼지를 제거하는 먼지 제거기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 노점 센서 보호 장치.An organic chemical remover installed at the front of the dew point sensor and removing the organic chemical contained in the dry air flowing into the dew point sensor from the dehumidifier duct; And
And a dust remover disposed between the organic chemical remover and the dew point sensor and removing dust contained in the dry air passing through the organic chemical remover.
상기 유기 화학물질 제거기는 카본 필터로 구성되는 것을 특징으로 하는 노점 센서 보호 장치.The method according to claim 1,
Dew point sensor protection device characterized in that the organic chemical remover is composed of a carbon filter.
상기 먼지 제거기는 라인 필터로 구성되는 것을 특징으로 하는 노점 센서 보호 장치.The method according to claim 1,
Dew point sensor protection device characterized in that the dust remover is composed of a line filter.
상기 노점 센서의 후단에 설치되고, 상기 제습기 덕트에서 상기 노점 센서까지 상기 드라이 에어를 이송시키기 위한 진공 펌프;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 노점 센서 보호 장치. The method according to any one of claims 1 to 3,
And a vacuum pump installed at a rear end of the dew point sensor and configured to transfer the dry air from the dehumidifier duct to the dew point sensor.
상기 유기 화학물질 제거기와 상기 먼지 제거기와 상기 노점 센서 및 상기 진공 펌프는 하나의 하우징내에 설치되는 것을 특징으로 하는 노점 센서 보호 장치.
The method of claim 4,
The organic chemical eliminator, the dust remover, the dew point sensor and the vacuum pump is installed in one housing.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100103324A KR101224418B1 (en) | 2010-10-22 | 2010-10-22 | Apparatus for protecting a dew point sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100103324A KR101224418B1 (en) | 2010-10-22 | 2010-10-22 | Apparatus for protecting a dew point sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120041912A true KR20120041912A (en) | 2012-05-03 |
KR101224418B1 KR101224418B1 (en) | 2013-01-21 |
Family
ID=46262803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100103324A KR101224418B1 (en) | 2010-10-22 | 2010-10-22 | Apparatus for protecting a dew point sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101224418B1 (en) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10148604A (en) | 1996-11-18 | 1998-06-02 | Babcock Hitachi Kk | Device and method measuring for dew-point temperature |
JP3399927B2 (en) * | 2000-12-20 | 2003-04-28 | ニッテツ北海道制御システム株式会社 | Method and apparatus for measuring moisture in gas |
KR100824284B1 (en) * | 2006-03-02 | 2008-04-24 | 전남대학교산학협력단 | The apparatus of automatic liquid sampler |
KR100865530B1 (en) * | 2007-11-29 | 2008-10-27 | 주식회사 성지테크 | A pressure inspection system for pressure impurities removal and pressure apparatus |
-
2010
- 2010-10-22 KR KR1020100103324A patent/KR101224418B1/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101224418B1 (en) | 2013-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2011132391A1 (en) | Measurement device for water vapor transmission rate and measurement method for water vapor transmission rate | |
US20200348278A1 (en) | Simple chamber for formaldehyde or voc release test and pretreatment | |
JP2006261675A (en) | Method and apparatus for supervising pollution of substrate wafer | |
KR101729934B1 (en) | Backwashing Method of Gas Sensor Plumbing | |
US10431484B2 (en) | Method and station for measuring the contamination of a transport box for the atmospheric conveyance and storage of substrates | |
CN101524617A (en) | Method for removing moisture in gases by a Nafion tube | |
CN106769246A (en) | A kind of method and device for power plant sulfur dioxide concentration Site Detection | |
KR101224418B1 (en) | Apparatus for protecting a dew point sensor | |
EP3438637B1 (en) | System having pre-separation unit | |
KR101027645B1 (en) | Gas Monitoring system with cleaning unit for sampling ports | |
JP2009300095A (en) | Device for measuring contamination concentration | |
KR20190055646A (en) | System ant method for evaluating performance of biofilter | |
JP6504738B2 (en) | Gas detector and method of operating the same | |
KR20080096932A (en) | Contamination removal method at vapor condensation gas | |
CN104977388A (en) | Detection system for detecting purifying rate of air purifier and air purifying material, and detection method thereof | |
CN107402170B (en) | Device and method for continuously monitoring radioactive aerosol for preventing acidic substance corrosion | |
JPH10332552A (en) | Method and system for analyzing water soluble contaminant in atmosphere in clean room for fabricating semiconductor device | |
KR20150117391A (en) | Multitude Atmosphere Sampling Device | |
CN111103401A (en) | Continuous monitoring system for smoke emission | |
JP3206240U (en) | Analysis equipment | |
WO2017115667A1 (en) | Gas-borne fine particle measuring instrument and clean environmental device | |
CN211652646U (en) | Gas humidity measuring device | |
CN113797723A (en) | Flue gas pretreatment system and method for boiler test | |
JP2013165597A (en) | Distribution board with corrosion protection function | |
JP4157061B2 (en) | Volatile measuring device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151120 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161221 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180109 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190110 Year of fee payment: 7 |
|
R401 | Registration of restoration |