KR20120041058A - Apparatus for supplying a liquid chemical - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for supplying a chemical solution is provided to prevent an operator from being damaged by supplying a chemical solution sample for test to a chemical solution supply and demand part through a chemical solution simplified supply part. CONSTITUTION: Measuring tanks store a chemical solution which is supplied from a chemical solution central supply part(110) as much as predetermined amount. A chemical solution supply and demand part(310) revives the chemical solution saved in the measuring tanks. A chemical solution simplified supply part(130) stores a chemical solution sample for test for testing the quality of the chemical solution. The chemical solution simplified supply part supplies a saved chemical solution sample for test to a first measuring tank. The first measuring tank supplies a received chemical solution sample for test provided to the chemical solution supply and demand part.

Description

약액 공급 장치{Apparatus for supplying a liquid chemical}Apparatus for supplying a liquid chemical}

본 발명은 약액 공급 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 화학 약품 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical supply device, and more particularly to a chemical supply device.

일반적으로 웨이퍼는 슬라이싱(slicing) 공정,그라인딩(grinding) 공정, 랩핑(lapping) 공정, 폴리싱(polishing) 공정 등의 일련의 공정을 거쳐 반도체 소자 제조용 웨이퍼로 생산된다. 이때, 웨이퍼는 공정이 진행되는 과정에서 각종 오염물에 의해 표면이 오염되는데, 이러한 오염물은 반도체 소자의 생산 수율을 저하시키In general, a wafer is manufactured as a wafer for manufacturing a semiconductor device through a series of processes such as a slicing process, a grinding process, a lapping process, and a polishing process. At this time, the surface of the wafer is contaminated by various contaminants during the process, such contaminants reduce the production yield of the semiconductor device

는 원인이 되므로, 이러한 오염물들을 제거하기 위해 일반적으로 세정 공정을 거치게 된다.Is a source of cleaning, which is usually followed by a cleaning process to remove these contaminants.

세정 공정에 이용되는 방식 중 대표적인 방식은 웨트 스테이션(wet station)을 이용한 습식 세정 방법으로서, 웨이퍼 표면의 여러 오염물들을 제거하기 위해 일반적으로 산 또는 알칼리 등의 용액이나 초순수(Deionized water)를 이용하여 웨이퍼를 세정한다. 습식 세정을 위해서는 세정 공정에 사용되는 케미컬을 웨트 스테이션으로 공급하기 위한 약액 공급 장치가 필요하다.A typical method used in the cleaning process is a wet cleaning method using a wet station, in which a wafer using a solution such as an acid or an alkali or deionized water is generally used to remove various contaminants on the wafer surface. Clean. Wet cleaning requires a chemical liquid supply device for supplying chemicals used in the cleaning process to the wet station.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 유독성 약품의 흡입, 피부 접촉에 의한 작업자의 피해를 방지하고, 작업자의 실수에 기인하는 약액 수급부의 오염을 방지할 수 있는 약액 공급 장치를 제공하는데 있다.The technical problem to be achieved by the present invention is to provide a chemical liquid supply device that can prevent the damage of the operator due to the inhalation of toxic chemicals, skin contact, and to prevent the contamination of the chemical receiving portion due to the mistake of the operator.

상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 약액 공급 장치는 약액을 공급하는 약액 중앙 공급부, 상기 약액 중앙 공급부로부터 공급되는 약액을 기설정된 일정량만큼 공급받아 저장하는 계량 탱크들, 상기 계량 탱크들 각각에 저장된 약액을 공급받는 약액 수급부, 및 약액의 품질들을 테스트하기 위한 테스트용 약액 샘플을 저장하며, 상기 저장된 테스트용 약액 샘플을 상기 계량 탱크들 중의 제1 계량 탱크로 공급하는 약액 간이 공급부를 포함하며, 상기 제1 계량 탱크는 상기 약액 수급부로 상기 공급받은 테스트용 약액 샘플을 공급한다.Chemical solution supply apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a chemical tank central supply unit for supplying a chemical liquid, metering tanks for receiving and storing a predetermined amount of chemical liquid supplied from the chemical liquid central supply unit, the metering A chemical liquid supply unit receiving a chemical liquid stored in each of the tanks, and a test liquid sample for testing the quality of the chemical liquid, and stores a chemical liquid sample for supplying the stored test chemical liquid sample to the first one of the weighing tanks. And a supply unit, wherein the first metering tank supplies the supplied test chemical sample to the chemical supply unit.

상기 약액 간이 공급부는 상기 약액 중앙 공급부로부터 상기 제1 계량 탱크로 약액이 공급되는 것이 중단되고, 상기 제1 계량 탱크에 기저장된 약액이 상기 약액 수급부로 제공되어 상기 제1 계량 탱크가 텅 빈 상태에서 상기 제1 계량 탱크로 테스트용 약액 샘플을 제공할 수 있다.The chemical liquid simple supply unit stops supplying the chemical liquid from the chemical liquid central supply unit to the first measuring tank, and the chemical liquid pre-stored in the first measuring tank is provided to the chemical liquid supply unit so that the first measuring tank is empty. The test chemical sample may be provided to the first metering tank.

상기 약액 공급 장치는 상기 계량 탱크들 각각과 상기 약액 중앙 공급부 사이, 상기 계량 탱크들 각각과 상기 약액 수급부 사이, 및 상기 약액 간이 공급부와 상기 제1 계량 탱크 사이를 연결하는 공급 라인을 더 포함하며, 상기 공급 라인들 중 제1 공급 라인은 상기 약액 중앙 공급부와 상기 제1 계량 탱크를 연결하고, 제2 공급 라인은 상기 약액 간이 공급부와 상기 제1 계량 탱크 사이를 연결한다.The chemical liquid supply device further includes a supply line connecting between each of the metering tanks and the chemical liquid central supply part, between each of the metering tanks and the chemical liquid supply part, and between the chemical liquid quick supply part and the first measuring tank; And a first supply line of the supply lines connects the chemical liquid central supply unit and the first metering tank, and a second supply line connects the chemical liquid simple supply unit and the first metering tank.

상기 약액 공급 장치는 상기 공급 라인들 각각에 연결되는 솔 밸드 및 펌프를 더 포함하며, 상기 솔 밸브 및 상기 펌프는 연결되는 공급 라인 내의 약액의 흐름을 제어할 수 있다.The chemical liquid supply device further includes a sol ball and a pump connected to each of the supply lines, and the sol valve and the pump may control the flow of the chemical liquid in the supply line to be connected.

상기 약액 간이 공급부는 상기 테스트용 약액 샘플을 저장하며, 상기 제2 공급 라인과 연결되는 약액 샘플 저장부, 상기 테스트용 약액 샘플을 상기 제2 공급 라인을 통하여 상기 제1 계량 탱크로 공급하도록 제어하는 펌프부, 상기 제1 공급 라인에 연결되는 솔 밸브와 연동하여 상기 펌프부를 제어하는 펌프 솔 밸브, 상기 약액 샘플 저장부, 상기 펌프부, 및 상기 펌프 솔 밸브를 보관하는 보관부, 상기 약액 샘플 저장부로부터 누출되는 테스트용 약액 샘플 가스를 상기 보관부 밖으로 배출하도록 상기 보관부 상단에 배치되는 가스 배출구, 및 상기 약액 샘플 저장부로부터 누출되는 약액 샘플을 상기 보관부 밖으로 배출하도록 상기 보관부 하단에 배치되는 드레인부를 포함할 수 있다.The chemical liquid simple supply unit stores the test chemical liquid sample, a chemical liquid sample storage unit connected to the second supply line, and controls to supply the test chemical liquid sample to the first metering tank through the second supply line. A pump sole valve for controlling the pump unit in conjunction with a pump unit, a sole valve connected to the first supply line, a storage unit for storing the chemical liquid sample storage unit, the pump unit, and the pump sole valve, the chemical liquid sample storage A gas outlet disposed at an upper end of the storage unit to discharge the test chemical sample gas leaking from the unit out of the storage unit, and a chemical liquid sample leaking from the chemical liquid sample storage unit at the bottom of the storage unit to discharge out of the storage unit It may include a drain portion.

상기 약액 중앙 공급부로부터 상기 제1 계량 탱크로 약액을 공급하도록 상기 제1 공급 라인에 연결되는 펌프를 제어할 때, 상기 펌프 솔 밸브는 상기 약액 샘플 저장부에 저장된 상기 테스트용 약액 샘플이 상기 제1 계량 탱크로 공급되지 않도록 상기 펌프부를 제어할 수 있다. 또한 상기 제1 공급 라인에 연결되는 솔 밸브가 상기 약액 중앙 공급부로부터 상기 제1 계량 탱크로 약액을 공급하지 않도록 상기 제1 공급 라인에 연결되는 펌프를 제어할 때, 상기 펌프 솔 밸브는 상기 약액 샘플 저장부에 저장된 상기 테스트용 약액 샘플을 상기 제2 공급 라인을 통하여 상기 제1 계량 탱크로 공급하도록 상기 펌프부를 제어할 수 있다.When controlling the pump connected to the first supply line to supply the chemical liquid from the chemical liquid central supply to the first metering tank, the pump sole valve is configured such that the test chemical sample stored in the chemical liquid sample reservoir is stored in the first sample. The pump portion can be controlled so that it is not supplied to the metering tank. The pump sol valve is also connected to the first supply line when the sole valve connected to the first supply line controls the pump connected to the first supply line so as not to supply the chemical liquid from the chemical liquid central supply to the first metering tank. The pump unit may be controlled to supply the test chemical sample stored in a storage unit to the first metering tank through the second supply line.

본 발명의 실시 예에 따른 약액 공급 장치는 테스트용 약액 샘플을 약액 수급부에 공급할 때 유독성 약품의 흡입, 피부 접촉에 의한 작업자의 피해를 방지하고, 작업자의 실수에 기인하는 약액 수급부의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.The chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention prevents the worker from being inhaled by the inhalation of toxic chemicals and skin contact when supplying the test chemical sample to the chemical liquid supply part, and prevents the contamination of the chemical liquid supply part due to the operator's mistake. It can work.

도 1은 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타낸다.
도 2는 도 1에 도시된 약액 간이 공급부를 나타낸다.
도 3은 약액 수급부를 포함하는 세정 장치의 모식도를 나타낸다.1 shows a chemical liquid supply apparatus according to an embodiment.
FIG. 2 shows a simple chemical supply unit shown in FIG. 1.
3 shows a schematic diagram of a cleaning apparatus including a chemical liquid supply and reception unit.

이하, 본 발명의 기술적 과제 및 특징들은 첨부된 도면 및 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 본 발명이 여러 가지 수정 및 변형을 허용하면서도, 그 특정 실시 예들이 도면들로 예시되어 나타내어지며, 이하에서 상세히 설명될 것이다. 그러나 본 발명을 개시된 특별한 형태로 한정하려는 의도는 아니며, 오히려 본 발명은 청구항들에 의해 정의된 본 발명의 사상과 합치되는 모든 수정, 균등 및 대용을 포함한다. 동일한 참조 번호는 도면의 설명을 통하여 동일한 요소를 나타낸다. Hereinafter, the technical objects and features of the present invention will be apparent from the description of the accompanying drawings and the embodiments. While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. However, it is not intended to be exhaustive or to limit the invention to the precise forms disclosed, but rather the invention includes all modifications, equivalents, and alternatives consistent with the spirit of the invention as defined by the claims. Like reference numerals denote like elements throughout the description of the drawings.

도 1은 실시예에 따른 약액 공급 장치(100)를 나타낸다. 도 1을 참조하면, 약액 공급 장치(100)는 약액 중앙 공급부(110), 계량 탱크들(122,124), 약액 간이 공급부(130), 공급 라인들(L1 내지 L5), 솔 밸브들(solenoid valves, V1 내지 V4), 펌프들(P1 내지 P4), 및 약액 수급부(310)를 포함한다.1 shows a chemical liquid supply apparatus 100 according to an embodiment. Referring to FIG. 1, the chemical liquid supply device 100 includes a chemical liquid central supply unit 110, metering tanks 122 and 124, a chemical liquid supply unit 130, supply lines L1 to L5, solenoid valves, and the like. V1 to V4), pumps P1 to P4, and the chemical liquid supply part 310.

약액 중앙 공급부(110)는 계량 탱크들(122,124) 각각으로 약액(liguid chemical)을 공급한다. 약액 중앙 공급부(110)는 계량 탱크들(122,124) 각각에 기설정된 일정량의 약액을 공급한다. 이때 계량 탱크들(122,124) 각각으로 공급되는 약액은 서로 다른 종류일 수 있다.The chemical liquid central supply 110 supplies liquid chemical to each of the metering tanks 122 and 124. The chemical liquid central supply unit 110 supplies a predetermined amount of chemical liquid to each of the metering tanks 122 and 124. In this case, the chemical liquids supplied to each of the metering tanks 122 and 124 may be different kinds.

예컨대, 계량 탱크들(122,124) 각각은 공급되는 약액의 수위 레벨을 측정하는 센서(미도시)를 포함하며, 센서는 약액 중앙 공급부(110)로부터 계량 탱크들(122,124) 각각으로 공급되는 약액이 기설정된 수위 레벨에 도달하는지를 감지하고, 기설정된 수위 레벨에 도달하면 약액 중앙 공급부(110)는 약액 공급을 중단할 수 있다. 계량 탱크들(122,124) 각각에 의하여 계량되는 약액의 양은 서로 다를 수 있다. 예컨대, 제1 계량 탱크(122)는 공급되는 약액이 제1 수위 레벨(예컨대, 제1 센서 레벨)에 도달하는지를 감지하고, 제2 계량 탱크(124)는 공급되는 약액이 제2 수위 레벨(예컨대, 제2 센서 레벨)에 도달하는지를 감지할 수 있다. 이때 제1 센서 레벨과 제2 센서 레벨은 동일하거나 다를 수 있다.For example, each of the metering tanks 122 and 124 includes a sensor (not shown) for measuring the level of the level of the chemical liquid supplied, and the sensor is supplied with the chemical liquid supplied from the chemical liquid central supply 110 to each of the measuring tanks 122 and 124. It is detected whether the water level is set, and when the predetermined water level is reached, the chemical liquid central supply unit 110 may stop supplying the chemical liquid. The amount of chemical liquid metered by each of the metering tanks 122 and 124 may be different. For example, the first metering tank 122 detects whether the chemical liquid supplied reaches a first level (eg, first sensor level), and the second metering tank 124 detects that the chemical liquid supplied is a second level (e.g. , The second sensor level) can be detected. In this case, the first sensor level and the second sensor level may be the same or different.

공급 라인들은 제1 내지 제5 공급 라인들(L1 내지 L5)을 포함할 수 있다. 솔 밸브들(solenoid valves, V1 내지 V4) 및 펌프들(P1 내지 P4) 중 어느 하나의 솔 밸브와 펌프는 제1 내지 제4 공급 라인들(L1 내지 L4) 중 대응하는 어느 하나의 공급 라인에 연결되어 약액의 흐름을 제어한다. 예컨대, 제1 솔 밸브(V1)와 제1 펌프(P1)는 제1 공급 라인(L1)에 연결되어 제1 공급 라인(L1) 내의 약액의 흐름을 제어할 수 있다.The supply lines may include first to fifth supply lines L1 to L5. The solenoid valves and the pumps of any of the solenoid valves V1 to V4 and the pumps P1 to P4 are connected to the corresponding one of the first to fourth supply lines L1 to L4. Connected to control the flow of chemicals. For example, the first sole valve V1 and the first pump P1 may be connected to the first supply line L1 to control the flow of the chemical liquid in the first supply line L1.

제1 공급 라인(L1)은 약액 중앙 공급부(110)와 제1 계량 탱크(122)를 연결하고, 제2 공급 라인(L2)은 약액 중앙 공급부(110)와 제1 계량 탱크(122)를 연결한다.The first supply line L1 connects the chemical liquid central supply 110 and the first metering tank 122, and the second supply line L2 connects the chemical liquid central supply 110 and the first metering tank 122. do.

제1 공급 라인(L1)에는 제1 펌프(P1) 및 제1 솔 밸브(V1)가 연결되며, 제1 펌프(P1) 및 제1 솔 밸브(V1)는 약액 중앙 공급부(110)로부터 제1 공급 라인(L1)을 통하여 제1 계량 탱크(122)로의 약액의 공급을 제어한다. The first pump P1 and the first sole valve V1 are connected to the first supply line L1, and the first pump P1 and the first sole valve V1 are connected to the first chemical supply unit 110 from the chemical central supply unit 110. The supply of the chemical liquid to the first metering tank 122 is controlled through the supply line L1.

예컨대, 제1 펌프(P1)는 약액 중앙 공급부(110)와 제1 계량 탱크(122) 사이의 제1 공급 라인(L1)에 연결되며, 제1 솔 밸브(V1)는 제1 펌프(P1)와 제1 계량 탱크(122) 사이의 제1 공급 라인(L1)에 연결되어 제1 공급 라인(L1)에 흐르는 유체 흐름을 제어할 수 있다. 이때 제1 솔 밸브(V1)는 공압식 솔레노이드 밸브일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 종류의 솔레노이드 밸브가 사용될 수 있다.For example, the first pump P1 is connected to the first supply line L1 between the chemical liquid central supply 110 and the first metering tank 122, and the first sole valve V1 is connected to the first pump P1. It is connected to the first supply line (L1) between and the first metering tank 122 can control the fluid flow flowing in the first supply line (L1). In this case, the first sole valve V1 may be a pneumatic solenoid valve, but is not limited thereto, and various types of solenoid valves may be used.

또한 제2 펌프(P2)는 약액 중앙 공급부(110)와 제2 계량 탱크(124) 사이의 제2 공급 라인(L2)에 연결되며, 제2 솔 밸브(V2)는 제2 펌프(P2)와 제2 계량 탱크(124) 사이의 제2 공급 라인(L2)에 연결되어 제2 공급 라인(L2)에 흐르는 유체 흐름을 제어할 수 있다.Also, the second pump P2 is connected to the second supply line L2 between the chemical liquid central supply 110 and the second metering tank 124, and the second sole valve V2 is connected to the second pump P2. It is connected to the second supply line L2 between the second metering tank 124 to control the fluid flow flowing in the second supply line L2.

제1 계량 탱크(122)로 일정량의 약액을 공급하기 위해서는 제1 제어 신호(S1)에 의하여 제1 솔 밸드(V1)가 작동하고, 이때 제1 솔 밸브(V2)의 작동에 의하여 제1 펌프(P1)는 제1 공급 라인(L1)을 통하여 약액 중앙 공급부(110)로부터 제1 계량 탱크(122)로 약액을 공급하도록 한다. 이때 제1 솔 밸브(V1)가 공기압에 의하여 제어되는 공기압식 솔 밸브일 경우 제1 제어 신호(S1)는 공기압일 수 있다.In order to supply a predetermined amount of chemical liquid to the first metering tank 122, the first sole valve V1 is operated by the first control signal S1, and at this time, the first pump is operated by the operation of the first sole valve V2. P1 supplies the chemical liquid from the chemical liquid central supply unit 110 to the first metering tank 122 through the first supply line L1. In this case, when the first sole valve V1 is a pneumatic sole valve controlled by air pressure, the first control signal S1 may be air pressure.

이때 제1 계량 탱크(122)는 공급되는 약액의 양을 감지하고, 기설정된 수위 레벨(예컨대, 제1 센서 레벨)이 감지한다. 제1 계량 탱크(122)에 제1 센서 레벨의 약액이 공급되면 제1 솔 밸브(V2)는 잠기게 되어 제1 계량 탱크(122)로 약액의 공급을 중단시킨다. 제2 계량 탱크(124)의 경우도 상술한 바와 같이 약액 중앙 공급부(110)로부터 약액을 공급받을 수 있다.At this time, the first metering tank 122 detects the amount of the chemical liquid supplied, and the preset level level (eg, the first sensor level) is sensed. When the chemical liquid of the first sensor level is supplied to the first measuring tank 122, the first sole valve V2 is locked to stop the supply of the chemical liquid to the first measuring tank 122. In the case of the second metering tank 124, the chemical liquid may be supplied from the chemical liquid central supply 110 as described above.

제1 계량 탱크(122)는 약액 중앙 공급부(110)로부터 공급받아 저장된 제1 센서 레벨의 제1 약액을 약액 수급부(310)로 공급한다. 제2 계량 탱크(122)는 약액 중앙 공급부(110)로부터 공급받아 저장된 제2 센선 레벨의 제2 약액을 약액 수급부(310)로 공급한다. 여기서 약액 수급부(210)는 약액을 공급받는 곳을 말한다. 예컨대, 약액을 공급받는 장치가 세정 장치인 경우에는 약액 수급부는 세정조가 될 수 있다. 이때 제1 약액 및 제2 약액은 서로 종류가 다른 세정액일 수 있으며, 제1 계량 탱크(122)와 제2 계량 탱크(124) 각각이 계량하는 약액의 양은 다를 수 있다.The first metering tank 122 is supplied from the chemical liquid central supply unit 110 and supplies the first chemical liquid stored at the first sensor level to the chemical liquid supply unit 310. The second metering tank 122 is supplied from the chemical liquid central supply unit 110 and supplies the stored second chemical liquid of the second line level to the chemical liquid supply unit 310. Here, the drug receiving unit 210 refers to a place where the chemical is supplied. For example, when the device receiving the chemical liquid is a cleaning device, the chemical liquid supply and reception unit may be a cleaning tank. In this case, the first chemical liquid and the second chemical liquid may be different cleaning liquids, and the amount of the chemical liquid measured by each of the first and second metering tanks 122 and 124 may be different.

제3 공급 라인(L3)은 제1 계량 탱크(122)와 약액 수급부(310)를 연결하고, 제1 계량 탱크(122)의 제1 약액은 제3 공급 라인(L3)을 통하여 약액 수급부(310)로 제공된다. 제4 공급 라인(L4)은 제2 계량 탱크(124)와 약액 수급부(310)를 연결하고, 제2 계량 탱크(124)의 제2 약액은 제4 공급 라인(L4)을 통하여 약액 수급부(310)로 제공될 수 있다.The third supply line L3 connects the first metering tank 122 and the chemical liquid supply part 310, and the first chemical liquid of the first metering tank 122 is the chemical liquid supply part through the third supply line L3. Provided at 310. The fourth supply line L4 connects the second metering tank 124 and the chemical liquid supply part 310, and the second chemical liquid of the second metering tank 124 is the chemical liquid supply part through the fourth supply line L4. 310 may be provided.

제3 펌프(P3)와 제3 솔 밸브(V3)는 제3 공급 라인(L3)에 연결되어 제1 계량 탱크(122)로부터 약액 수급부(310)로의 약액의 제공을 제어한다. 예컨대, 제3 펌프(P3)는 제1 계량 탱크(122)와 약액 수급부(310) 사이의 제3 공급 라인(L3)에 연결되며, 제3 솔 밸브(V3)는 제3 펌프(P3)와 제1 계량 탱크(122) 사이의 제3 공급 라인(L3)에 연결되어 제3 공급 라인(L1)에 흐르는 유체 흐름을 제어할 수 있다.The third pump P3 and the third sole valve V3 are connected to the third supply line L3 to control the supply of the chemical liquid from the first metering tank 122 to the chemical liquid supply part 310. For example, the third pump P3 is connected to the third supply line L3 between the first metering tank 122 and the chemical liquid supply part 310, and the third sole valve V3 is connected to the third pump P3. It is connected to the third supply line (L3) between and the first metering tank 122 can control the fluid flow flowing in the third supply line (L1).

제4 펌프(P4)와 제4 솔 밸브(V4)는 제4 공급 라인(L4)에 연결되어 제2 계량 탱크(122)로부터 약액 수급부(310)로의 약액의 제공을 제어한다. 예컨대, 제4 펌프(P4)는 제2 계량 탱크(124)와 약액 수급부(310) 사이의 제4 공급 라인(L4)에 연결되며, 제4 솔 밸브(V4)는 제4 펌프(P2)와 제2 계량 탱크(124) 사이의 제4 공급 라인(L4)에 연결되어 제4 공급 라인(L4)에 흐르는 유체 흐름을 제어할 수 있다.The fourth pump P4 and the fourth sole valve V4 are connected to the fourth supply line L4 to control the supply of the chemical liquid from the second metering tank 122 to the chemical liquid supply part 310. For example, the fourth pump P4 is connected to the fourth supply line L4 between the second metering tank 124 and the chemical liquid supply part 310, and the fourth sole valve V4 is connected to the fourth pump P2. It is connected to the fourth supply line (L4) between and the second metering tank 124 can control the flow of fluid flowing in the fourth supply line (L4).

도 1에는 약액 중앙 공급부(110)로부터 수급부(310)로 약액을 공급하기 위한 2개의 계량 탱크들(122,124)과 4개의 공급 라인들(L1 내지 L4)을 도시하였지만, 계량 탱크들의 수 및 이에 따른 공급 라인들의 수는 이에 한정되는 것은 아니다.Although FIG. 1 shows two metering tanks 122 and 124 and four supply lines L1 to L4 for supplying a chemical liquid from the chemical liquid central supply unit 110 to the supply unit 310, the number of the measuring tanks and The number of supply lines accordingly is not limited thereto.

약액 간이 공급부(130)는 테스트 테스트용 약액 샘플을 저장하며, 계량 탱크들 중 선택된 어느 하나, 및 선택된 계량 탱크(예컨대, 제1 계량 탱크(122)와 약액 수급부 사이의 공급 라인을 이용하여 약액 수급부(310)로 저장된 테스트용 약액 샘플을 공급한다. 제5 공급 라인(L5)은 약액 간이 공급부(130)와 선택된 계량 탱크(예컨대, 제1 계량 탱크) 사이에 연결되며, 약액 간이 공급부(130)는 저장된 테스트용 약액 샘플을 제5 공급 라인(L5)을 통하여 선택된 계량 탱크(예컨대, 제1 계량 탱크)로 공급한다.The chemical liquid supply unit 130 stores a chemical liquid sample for a test test, and uses the selected one of the weighing tanks, and the chemical liquid using a supply line between the selected measuring tank (eg, the first metering tank 122 and the chemical liquid supplying unit). The test chemical sample stored in the supply unit 310 is supplied. The fifth supply line L5 is connected between the simple chemical supply unit 130 and the selected measuring tank (eg, the first measuring tank), and the simple chemical supply unit ( 130 supplies the stored test chemical sample to the selected metering tank (eg, the first metering tank) via the fifth supply line L5.

예컨대, 약액 간이 공급부(130)는 약액 수급부(310)로 테스트용 약액 샘플을 공급하기 위하여 제1 계량 탱크(122)에 테스트용 약액 샘플을 공급하고, 제1 계량 탱크(122)에 공급된 테스트용 약액 샘플은 제3 솔 밸브(V3)와 제3 펌프(P3)에 의하여 제3 공급 라인(L3)을 통하여 약액 수급부(310)로 공급된다.For example, the simple chemical supply unit 130 supplies the test chemical sample to the first weighing tank 122 to supply the test chemical sample to the chemical supplying unit 310, and is supplied to the first weighing tank 122. The test chemical liquid sample is supplied to the chemical liquid supply part 310 through the third supply line L3 by the third sole valve V3 and the third pump P3.

이때 약액 간이 공급부(130)가 테스트용 약액 샘플을 제1 계량 탱크(122)로 공급하기 전에 약액 중앙 공급부(110)는 제1 계량 탱크(122)로의 약액의 공급을 중단하며, 약액 중앙 공급부(110)로부터 공급받아 제1 계량 탱크(122)에 기저장된 약액은 약액 수급부(310)로 모두 제공되어 제1 계량 탱크(122)는 텅 빈 상태가 된다.At this time, before the chemical liquid supply unit 130 supplies the test chemical sample to the first metering tank 122, the chemical liquid central supply unit 110 stops supply of the chemical liquid to the first metering tank 122, and the chemical liquid central supply unit ( The chemical liquid supplied from 110 and pre-stored in the first measuring tank 122 is provided to the chemical receiving part 310 so that the first measuring tank 122 is empty.

따라서 약액 중앙 공급부(110)로부터 약액 수급부(310)로의 약액 공급을 중단하고, 제1 계량 탱크(122)에 기저장된 약액이 약액 수급부(310)로 모두 제공되어 제1 계량 탱크(122)가 텅 빈 상태에서 약액 간이 공급부(130)는 제1 계량 탱크(122)로 테스트용 약액 샘플을 제공한다. 제1 계량 탱크(122)로 제공된 테스트용 약액 샘플은 제3 공급 라인(L3)을 통하여 약액 수급부(310)로 제공될 수 있다.Therefore, the chemical liquid supply from the chemical liquid central supply unit 110 to the chemical liquid supply and supply unit 310 is stopped, and all of the chemical liquid previously stored in the first metering tank 122 is provided to the chemical liquid supply and supply unit 310, and thus, the first measuring tank 122 is provided. In the empty state, the simple chemical supply unit 130 provides a test chemical sample to the first metering tank 122. The test chemical liquid sample provided to the first metering tank 122 may be provided to the chemical liquid supply part 310 through the third supply line L3.

도 2는 도 1에 도시된 약액 간이 공급부(130)를 나타낸다. 도 2를 참조하면, 약액 간이 공급부(130)는 보관부(201), 약액 샘플 저장부(210), 펌프 솔 밸브(V5), 펌프부(220), 가스 배출구(230), 및 드레인 라인(240)을 포함한다.FIG. 2 shows the simple chemical supply unit 130 shown in FIG. 1. Referring to FIG. 2, the simple chemical supply unit 130 includes a storage unit 201, a chemical sample storage unit 210, a pump sole valve V5, a pump unit 220, a gas outlet 230, and a drain line ( 240).

보관부(201)는 약액 샘플 저장부(210), 펌프 솔 밸브(V5), 펌프부(220), 가스 배출구(230), 및 드레인 라인(240)을 보관하는 공간이며, 박스 형태일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 또한 보관부(201)는 약액 샘플 저장부(210)를 교체할 때에는 개방되나, 교체 후에는 밀폐 가능한 형태일 수 있다.The storage unit 201 is a space for storing the chemical liquid sample storage unit 210, the pump sole valve V5, the pump unit 220, the gas outlet 230, and the drain line 240, and may have a box shape. It is not limited to this. In addition, the storage unit 201 may be opened when the chemical sample storage unit 210 is replaced, but may be sealed after replacement.

약액 샘플 저장부(210)는 보관부(201) 내에 배치되며, 테스트 테스트용 약액 샘플을 저장한다. 약액 샘플 저장부(210)는 드럼(drum), 병(bottle) 등 다양한 형태일 수 있다.The chemical liquid sample storage unit 210 is disposed in the storage unit 201 and stores a chemical liquid sample for a test test. The chemical liquid sample storage unit 210 may be in various forms, such as a drum and a bottle.

제5 공급 라인(L5)은 보관부(201) 내의 약액 샘플 저장부(210)와 보관부(201) 밖의 제1 계량 탱크(122)를 서로 연결한다. 커플러(coupler, 212)는 제5 공급 라인(L5)과 약액 샘플 저장부(210)를 서로 연결한다. 즉 커플러(212)는 제5 공급 라인(L5)과 약액 샘플 저장부(210) 간의 연결을 중계하는 역할을 한다.The fifth supply line L5 connects the chemical sample storage 210 in the storage 201 and the first metering tank 122 outside the storage 201 to each other. A coupler 212 connects the fifth supply line L5 and the chemical liquid sample storage 210 to each other. That is, the coupler 212 relays a connection between the fifth supply line L5 and the chemical sample storage unit 210.

약액 샘플 저장부(210)의 형태에 대응하여 커플러(212)의 형태(예컨대, 크기 및 형상)는 변경될 수 있다. 커플러(212)의 형태를 다양하게 함으로써 다양한 형태로 구현될 수 있는 약액 샘플 저장부(210)와 제5 공급 라인(L5)을 용이하게 연결할 수 있다. 즉 다양한 형태의 커플러(212)를 사용함으로써 입고되는 다양한 형태의 약액 샘플 저장부(210)에 유연하게 대처할 수 있다. 커플러(212)에 의하여 연결되는 제5 공급 라인(L5)과 약액 샘플 저장부(210)는 분리 가능하고, 분리된 약액 샘플 저장부(210)는 다른 것으로 교체 가능하다.The shape (eg, size and shape) of the coupler 212 may be changed to correspond to the shape of the chemical sample storage 210. By varying the shape of the coupler 212, it is possible to easily connect the chemical sample reservoir 210 and the fifth supply line L5, which may be implemented in various forms. That is, by using the coupler 212 of various forms, it is possible to flexibly cope with the various types of chemical sample storage unit 210 is received. The fifth supply line L5 connected to the coupler 212 and the chemical sample storage 210 may be separated, and the separated chemical sample storage 210 may be replaced with another.

펌프 솔 밸브(V5)는 펌프부(220)의 구동을 제어하며, 펌프부(220)는 약액 샘플 저장부(212)에 저장된 테스트용 약액 샘플을 제5 공급 라인(L5)을 통하여 제1 계량 탱크(122)로 공급한다.The pump sole valve V5 controls the driving of the pump unit 220, and the pump unit 220 measures the first chemical sample stored in the chemical sample storage unit 212 through the fifth supply line L5. Supply to tank 122.

펌프 솔 밸브(V5)는 제1 솔 밸브(V1)와 연계되어 동작한다. 즉 제1 솔 밸브(V1)가 약액 중앙 공급부(110)로부터 제1 계량 탱크(122)로 약액을 공급하도록 제1 펌프(P1)를 제어할 때에는 펌프 솔 밸브(V5)는 약액 샘플 저장부(210)로부터 테스트용 약액 샘플이 제1 계량 탱크(122)로 공급되지 않도록 펌프부(220)를 제어한다.The pump sole valve V5 operates in conjunction with the first sole valve V1. That is, when the first sole valve V1 controls the first pump P1 to supply the chemical liquid from the chemical liquid central supply unit 110 to the first metering tank 122, the pump sole valve V5 is the chemical liquid sample storage unit ( The pump unit 220 is controlled so that the test chemical sample from 210 is not supplied to the first metering tank 122.

반면에 제1 솔 밸브(V1)가 약액 중앙 공급부(110)로부터 제1 계량 탱크(122)로 약액을 공급하지 않도록 제1 펌프(P1)를 제어할 때는 펌프 솔 밸브(V5)는 약액 샘플 저장부(210)로부터 테스트용 약액 샘플을 제5 공급 라인(L5)을 통하여 제1 계량 탱크(122)로 공급하도록 펌프부(220)를 제어한다.On the other hand, when the first sole valve V1 controls the first pump P1 to not supply the chemical liquid from the chemical liquid central supply 110 to the first metering tank 122, the pump sole valve V5 stores the chemical liquid sample. The pump unit 220 is controlled to supply the test chemical sample from the unit 210 to the first metering tank 122 through the fifth supply line L5.

펌프부(220)는 펌프 구동부(222), 펌프 구동 밸브(MV), 및 제5 펌프(P5)를 포함한다. 펌프 구동부(222)는 보관부(201) 내에 배치되며, 제5 펌프(P5)를 구동하기 위한 펌프 구동 소스(source)를 펌프 구동 밸브(MV)에 공급한다. 이때, 펌프 구동 소스는 가스(예컨대, N2 gas)일 수 있다. 펌프 구동 밸브(MV)는 펌프 구동 소스의 흐름을 제어하며, 제어된 펌프 구동 소스에 의하여 제5 펌프(P5)는 구동된다.The pump unit 220 includes a pump driving unit 222, a pump driving valve MV, and a fifth pump P5. The pump driver 222 is disposed in the storage 201 and supplies a pump drive source for driving the fifth pump P5 to the pump drive valve MV. In this case, the pump driving source may be a gas (eg, N 2 gas). The pump drive valve MV controls the flow of the pump drive source, and the fifth pump P5 is driven by the controlled pump drive source.

제5 펌프(P5) 구동은 펌프 솔 밸브(V5)에 의하여 제어되며, 제1 솔 밸브(V1)와 연계하여 제5 펌프(P5)의 구동을 제어한다.The driving of the fifth pump P5 is controlled by the pump sole valve V5, and controls the driving of the fifth pump P5 in association with the first sole valve V1.

예컨대, 펌프 솔 밸브(V5)와 제5 펌프 사이에는 공기압관(G1)이 연결되며, 제1 솔 밸브(V1)를 제어하는 제1 제어 신호(S1, 예컨대, 공기압)는 공기압관(G1)을 통하여 제5 펌프(P5)에 전달될 수 있다.For example, an air pressure pipe G1 is connected between the pump sole valve V5 and the fifth pump, and the first control signal S1 (for example, air pressure) for controlling the first sole valve V1 is the air pressure pipe G1. It may be delivered to the fifth pump (P5) through.

예컨대, 약액 간이 공급부(130)에 의하여 테스트용 약액 샘플을 제1 계량 탱크(122)로 공급하려고 할 때, 제1 솔 밸브(V1)를 제어하는 공기압이 제공되는 공기압관(미도시)과 제1 솔 밸브(V1)와의 연결을 끊어 제1 솔 밸브(V1)가 약액 중앙 공급부(110)로부터 제1 계량 탱크(122)로 약액을 공급하도록 제1 펌프(P1)를 제어하는 것을 차단한다. 그리고 연결이 끊긴 공기압관을 펌프 솔 밸브(V5)에 연결함으로써 펌프 솔 밸브(V5)는 제1 솔 밸브(V1)를 제어하기 위하여 공급되는 제1 제어 신호(S1, 예컨대, 공기압)를 공급받는다.For example, when attempting to supply the test chemical sample to the first metering tank 122 by the simple chemical supply unit 130, an air pressure pipe (not shown) provided with air pressure for controlling the first sole valve V1 and The first sole valve V1 is disconnected from the first sole valve V1 to block the control of the first pump P1 to supply the chemical liquid from the chemical liquid central supply 110 to the first metering tank 122. Then, by connecting the disconnected air pressure pipe to the pump sole valve V5, the pump sole valve V5 receives the first control signal S1 (for example, air pressure) supplied to control the first sole valve V1. .

펌프 솔 밸브(V5)는 공급받은 제1 제어 신호(S1)는 공기압관(G1)을 통하여 제5 펌프(P5)를 제어한다. 즉 펌프 솔 밸브(V5)는 제어 신호(S1)에 기초하여 제5 공급 라인(L5)을 통하여 약액 샘플 저장부(210)로부터 제1 계량 탱크(122)로 테스트용 약액 샘플을 공급하도록 제5 펌프(P5)를 제어할 수 있다.The pump sole valve V5 is supplied with the first control signal S1 to control the fifth pump P5 through the air pressure pipe G1. That is, the pump sole valve V5 is configured to supply the test chemical liquid sample from the chemical liquid sample storage unit 210 to the first metering tank 122 through the fifth supply line L5 based on the control signal S1. The pump P5 can be controlled.

가스 배출구(230)는 약액 샘플 저장부(210)에 저장된 테스트용 약액 샘플에 의하여 발생하는 유해 가스를 보관부(201) 밖으로 배출한다. 가스 배출구(230)는 보관부(201) 내부 상단에 배치될 수 있다.The gas outlet 230 discharges the noxious gas generated by the test chemical sample stored in the chemical sample storage unit 210 out of the storage unit 201. The gas outlet 230 may be disposed at an upper end of the storage 201.

드레인부(240)는 약액 샘플 저장부(210)로부터 누출되는 테스트용 약액 샘플을 보관부(201) 밖으로 배출한다. 드레인부(240)는 보관부(201) 하단, 예컨대, 약액 샘플 저장부(210) 하부에 배치될 수 있다.The drain unit 240 discharges the test chemical sample leaked from the chemical sample storage unit 210 out of the storage unit 201. The drain part 240 may be disposed under the storage part 201, for example, under the chemical sample storage part 210.

약액 수급부(310)로의 약액의 공급은 기본적으로 약액 중앙 공급부(110)로부터의 약액의 공급에 의하여 이루어진다. 일반적으로 약액 중앙 공급부(110)로부터 약액 수급부(310)로 공급되는 약액(예컨대, A사가 제조한 약액)과는 다른 약액(예컨대, B사가 제조한 약액)의 품질 등을 테스트하기 위한 테스트용 약액 샘플을 약액 수급부(310)로 공급하기 위해서는 테스트용 약액 샘플을 비이커(beaker)에 담아 작업자가 직접 약액 수급부(310)에 공급해야 한다.The supply of the chemical liquid to the chemical liquid supply part 310 is basically achieved by the supply of the chemical liquid from the chemical liquid central supply part 110. Generally, a test for testing the quality of a chemical liquid (for example, a chemical liquid manufactured by Company B) and a chemical liquid different from the chemical liquid (for example, chemical liquid manufactured by Company A) supplied from the chemical liquid central supply unit 110 to the chemical liquid supply / demand part 310. In order to supply the chemical liquid sample to the chemical liquid supply unit 310, a test chemical liquid sample must be supplied to the chemical liquid supply unit 310 by putting the test chemical sample in a beaker.

그런데 테스트용 약액 샘플은 유독성 약품이 대부분이기 때문에, 수작업에 의하여 테스트용 약액 샘플을 공급할 경우에는 작업자가 유독성 약품을 흡입하거나 유독성 약품이 작업자의 피부에 접촉하여 인체에 해로울 수 있다. 또한 작업자의 수작업에 따른 실수 등에 의하여 약액 수급부(310)의 오염이 발생할 수 있다.However, since the test chemical samples are mostly toxic chemicals, when the test chemical samples are supplied by hand, the worker may inhale the toxic chemicals or the toxic chemicals may contact the skin of the worker and be harmful to the human body. In addition, contamination of the chemical supply / receiving unit 310 may occur due to a mistake due to a manual operation of an operator.

그러나 실시예에 따른 약액 공급 장치는 테스트용 약액 샘플을 약액 수급부(310)에 공급하기 위하여 약액 간이 공급부(130)를 별로도 구비한다. 약액 간이 공급부(130)는 약액 수급부(310)로 테스트용 약액 샘플을 공급하기 위하여 별도의 계량 탱크, 펌프와 솔 밸브가 연결되는 별도의 공급 라인, 및 별도의 제어 신호를 사용하는 것이 아니라, 제1 계량 탱크(212), 제3 펌프(P3)와 제3 솔 밸브(V3)가 연결되는 제3 공급 라인(L3), 및 제1 솔 밸브(V1)를 제어하는 제1 제어 신호(S1)를 사용한다.However, the chemical liquid supply apparatus according to the embodiment further includes a chemical liquid simple supply unit 130 to supply the chemical liquid sample for test to the chemical liquid supply unit 310. The simple chemical supply unit 130 does not use a separate metering tank, a separate supply line to which a pump and a solenoid valve are connected, and a separate control signal to supply a test chemical sample to the chemical supplying unit 310. First control signal S1 for controlling the first metering tank 212, the third supply line L3 to which the third pump P3 and the third solenoid valve V3 are connected, and the first solenoid valve V1. ).

또한 작업자가 테스트용 약액 샘플을 직접 약액 수급부(310)에 공급하는 것이 아니라, 작업자는 단지 테스트용 약액 샘플이 저장된 약액 샘플 저장부(210)를 공급 또는 교체함에 의하여 약액 수급부(310)에 테스트용 약액 샘플을 공급하기 때문에 유독성 약품의 흡입, 피부 접촉에 의한 작업자의 피해를 방지하고, 작업자의 실수에 기인하는 약액 수급부(310)의 오염을 방지할 수 있다.In addition, the operator does not directly supply the test chemical sample to the chemical solution receiving unit 310, the operator merely supply or replace the chemical sample storage unit 210, the test chemical sample is stored in the chemical supply section 310 Since the test chemical sample is supplied, it is possible to prevent the worker from being inhaled by the inhalation of toxic chemicals and skin contact, and to prevent the contamination of the chemical solution receiving unit 310 due to the operator's mistake.

도 3은 약액 수급부(310)를 포함하는 세정 장치의 모식도를 나타낸다. 도 3을 참조하면, 세정 장치는 약액 공급 장치(100)로부터 약액을 공급받아 웨이퍼를 세정하는 세정조(310), 세정조(310)에 DIW를 공급하는 탈이온수(DeIonized Water) 탱크(320), 및 세정액의 온도를 조절하는 온도 조절부(330)를 포함한다.3 shows a schematic view of the cleaning apparatus including the chemical liquid supply part 310. Referring to FIG. 3, the cleaning apparatus receives a chemical liquid from the chemical liquid supply apparatus 100, a cleaning tank 310 for cleaning a wafer, and a deionized water tank 320 for supplying DIW to the cleaning tank 310. And a temperature controller 330 for controlling the temperature of the cleaning liquid.

세정조(310)는 피세정물인 웨이퍼를 수용하며, 제1 계량 탱크(122)로부터 제1 세정액을 공급받고, 제2 계량 탱크(124)로부터 제2 세정액을 공급받을 수 있다.The cleaning tank 310 may receive a wafer to be cleaned, may receive a first cleaning liquid from the first metering tank 122, and a second cleaning liquid from the second metering tank 124.

탈이온수 탱크(320)는 탈이온수를 저장하고, 저장된 탈이온수를 세정조(310)에 공급한다. 온도 조절부(330)는 세정조(310) 내의 세정액의 온도를 조절한다. 예컨대, 온도 조절부(330)는 온도 조절용 배관(315), 펌프(332), 솔 밸브(334), 및 히터(336)를 포함한다. 온도 조절용 배관(315)의 일단은 세정조(310)의 일단과 연결되고, 온도 조절용 배관(315)의 타단은 세정조(310)의 다른 일단과 연결되며, 세정조(310) 내의 세정액은 온도 조절용 배관(315) 내를 순환한다. 펌프(332) 및 솔 밸브(334)는 온도 조절용 배관에 연결되며, 온도 조절용 배관(315) 내를 순환하는 세정액의 흐름을 조절한다. 히터(336)는 온도 조절용 배관(315) 내의 세정액의 온도를 조절한다.The deionized water tank 320 stores deionized water and supplies the stored deionized water to the washing tank 310. The temperature controller 330 adjusts the temperature of the cleaning liquid in the cleaning tank 310. For example, the temperature controller 330 includes a temperature control pipe 315, a pump 332, a sole valve 334, and a heater 336. One end of the temperature control pipe 315 is connected to one end of the cleaning tank 310, the other end of the temperature control pipe 315 is connected to the other end of the cleaning tank 310, the cleaning liquid in the cleaning tank 310 is The inside of the adjustment pipe 315 is circulated. The pump 332 and the sole valve 334 are connected to the temperature control pipe, and regulates the flow of the cleaning liquid circulating in the temperature control pipe 315. The heater 336 adjusts the temperature of the cleaning liquid in the temperature control pipe 315.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

110: 약액 중앙 공급부 122: 제1 계량 탱크
124: 제2 계량 탱크 L1 내지 L5: 공급 라인들
V1 내지 V4: 솔 밸브들 P1 내지 P4: 펌프들
130: 약액 간이 공급부 310: 약액 수급부
210: 약액 샘플 저장부 201: 보관부
220: 펌프부 222: 펌프 구동부
230: 가스 배출구 240: 드레인부.110: chemical liquid supply center 122: the first weighing tank
124: second metering tank L1 to L5: supply lines
V1 to V4: sole valves P1 to P4: pumps
130: chemical liquid supply part 310: chemical liquid supply part
210: chemical sample storage unit 201: storage unit
220: pump unit 222: pump drive unit
230: gas outlet 240: drain portion.

Claims (7)

약액을 공급하는 약액 중앙 공급부;
상기 약액 중앙 공급부로부터 공급되는 약액을 기설정된 일정량만큼 공급받아 저장하는 계량 탱크들;
상기 계량 탱크들 각각에 저장된 약액을 공급받는 약액 수급부; 및
약액의 품질들을 테스트하기 위한 테스트용 약액 샘플을 저장하며, 상기 저장된 테스트용 약액 샘플을 상기 계량 탱크들 중의 제1 계량 탱크로 공급하는 약액 간이 공급부를 포함하며,
상기 제1 계량 탱크는 상기 약액 수급부로 상기 공급받은 테스트용 약액 샘플을 공급하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.A chemical liquid central supply unit for supplying a chemical liquid;
Metering tanks configured to receive and store a predetermined amount of chemical liquid supplied from the chemical liquid central supply unit;
A chemical liquid supply unit receiving the chemical liquid stored in each of the metering tanks; And
A chemical liquid simple supply for storing a test chemical liquid sample for testing the qualities of the chemical liquid, and supplying the stored test chemical liquid sample to a first one of the measuring tanks,
The first metering tank is a chemical supply device, characterized in that for supplying the supplied test chemical sample to the chemical supply. 제1항에 있어서, 상기 약액 간이 공급부는,
상기 약액 중앙 공급부로부터 상기 제1 계량 탱크로 약액이 공급되는 것이 중단되고, 상기 제1 계량 탱크에 기저장된 약액이 상기 약액 수급부로 제공되어 상기 제1 계량 탱크가 텅 빈 상태에서 상기 제1 계량 탱크로 테스트용 약액 샘플을 제공하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method of claim 1, wherein the simple chemical supply unit,
The supply of the chemical liquid from the chemical liquid central supply part to the first measuring tank is stopped, and the chemical liquid previously stored in the first measuring tank is provided to the chemical liquid supply part so that the first measuring tank is empty. Chemical solution supply apparatus characterized in that for providing a test chemical sample. 제1항에 있어서, 상기 약액 공급 장치는,
상기 계량 탱크들 각각과 상기 약액 중앙 공급부 사이, 상기 계량 탱크들 각각과 상기 약액 수급부 사이, 및 상기 약액 간이 공급부와 상기 제1 계량 탱크 사이를 연결하는 공급 라인을 더 포함하며,
상기 공급 라인들 중 제1 공급 라인은 상기 약액 중앙 공급부와 상기 제1 계량 탱크를 연결하고, 제2 공급 라인은 상기 약액 간이 공급부와 상기 제1 계량 탱크 사이를 연결하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.According to claim 1, The chemical liquid supply device,
A supply line connecting between each of the metering tanks and the chemical liquid central supply part, between each of the metering tanks and the chemical liquid supply part, and between the chemical liquid quick supply part and the first metering tank,
A first supply line of the supply lines connects the central chemical supply part and the first metering tank, and a second supply line connects the simple chemical supply part and the first metering tank . 제3항에 있어서, 상기 약액 공급 장치는,
상기 공급 라인들 각각에 연결되는 솔 밸드 및 펌프를 더 포함하며,
상기 솔 밸브 및 상기 펌프는 연결되는 공급 라인 내의 약액의 흐름을 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.According to claim 3, The chemical liquid supply device,
Further comprising a sole ball and a pump connected to each of the supply lines,
And the solenoid valve and the pump control the flow of the chemical liquid in the supply line to which the sole valve and the pump are connected. 제4항에 있어서, 상기 약액 간이 공급부는,
상기 테스트용 약액 샘플을 저장하며, 상기 제2 공급 라인과 연결되는 약액 샘플 저장부;
상기 테스트용 약액 샘플을 상기 제2 공급 라인을 통하여 상기 제1 계량 탱크로 공급하도록 제어하는 펌프부;
상기 제1 공급 라인에 연결되는 솔 밸브와 연동하여 상기 펌프부를 제어하는 펌프 솔 밸브;
상기 약액 샘플 저장부, 상기 펌프부, 및 상기 펌프 솔 밸브를 보관하는 보관부;
상기 약액 샘플 저장부로부터 누출되는 테스트용 약액 샘플 가스를 상기 보관부 밖으로 배출하도록 상기 보관부 상단에 배치되는 가스 배출구; 및
상기 약액 샘플 저장부로부터 누출되는 약액 샘플을 상기 보관부 밖으로 배출하도록 상기 보관부 하단에 배치되는 드레인부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method of claim 4, wherein the simple chemical supply unit,
A chemical sample storage unit for storing the test chemical sample and connected to the second supply line;
A pump unit controlling the test chemical sample to be supplied to the first metering tank through the second supply line;
A pump sole valve controlling the pump unit in association with a sole valve connected to the first supply line;
A storage unit for storing the chemical sample storage unit, the pump unit, and the pump sole valve;
A gas outlet disposed at an upper end of the storage unit to discharge the test chemical sample gas leaking from the chemical sample storage unit out of the storage unit; And
And a drain disposed at the bottom of the storage unit to discharge the chemical liquid sample leaking from the chemical sample storage unit out of the storage unit. 제5항에 있어서,
상기 약액 중앙 공급부로부터 상기 제1 계량 탱크로 약액을 공급하도록 상기 제1 공급 라인에 연결되는 펌프를 제어할 때, 상기 펌프 솔 밸브는 상기 약액 샘플 저장부에 저장된 상기 테스트용 약액 샘플이 상기 제1 계량 탱크로 공급되지 않도록 상기 펌프부를 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method of claim 5,
When controlling the pump connected to the first supply line to supply the chemical liquid from the chemical liquid central supply to the first metering tank, the pump sole valve is configured such that the test chemical sample stored in the chemical liquid sample reservoir is stored in the first sample. The chemical liquid supply device, characterized in that for controlling the pump so that it is not supplied to the metering tank. 제6항에 있어서,
상기 제1 공급 라인에 연결되는 솔 밸브가 상기 약액 중앙 공급부로부터 상기 제1 계량 탱크로 약액을 공급하지 않도록 상기 제1 공급 라인에 연결되는 펌프를 제어할 때, 상기 펌프 솔 밸브는 상기 약액 샘플 저장부에 저장된 상기 테스트용 약액 샘플을 상기 제2 공급 라인을 통하여 상기 제1 계량 탱크로 공급하도록 상기 펌프부를 제어하는 약액 공급 장치.The method of claim 6,
When the sol valve connected to the first supply line controls the pump connected to the first supply line so as not to supply the chemical liquid from the chemical liquid central supply to the first metering tank, the pump sol valve stores the chemical liquid sample. The chemical liquid supply apparatus for controlling the pump unit to supply the test chemical sample stored in the unit to the first metering tank through the second supply line.
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