KR20120030678A - Photoactive fluorinated polymer and the coating solution - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A photo-curable fluorinated polymer compound is provided to remarkably reduce the optical transmission loss in optical communication region, to have very low birefringency, to control refractive ratio accurately, and to manufacture an optical device in short time at low temperatures. CONSTITUTION: A photo-curable fluorinated polymer compound is in chemical formula 1. In chemical formula 1, R1 is hydrogen, halogen, methyl or trifluoromethyl group, R2 is -CO-, a functional group in chemical formula 1-a or a functional group in chemical formula 1-b, Z1 and Z3 are empty, -O- or -S-, R3 is an aromatic alkyl group in which all or a part is substituted by fluorine, an alkylene oxide group, or an alkyl group in which aromatic group is contained, Z2 is NH-, -S-, -O- or -CH2CH(OH)-CH2-, R4 is substituent capable of thermal curing and UV curing, and a and b are molar fraction respectively, and a+b=1.

Description

광경화 불소 고분자 화합물 및 그의 조성물{Photoactive fluorinated polymer and the coating solution}Photocurable fluorinated polymer compound and composition thereof {Photoactive fluorinated polymer and the coating solution}

본 발명은 불소화합물로 이루어진 중합체 화합물 및 그의 조성물에 관한 발명으로, 광도파로 소자용 불소화합물은 광스위치, 가변 광감쇠기(Variable Optical Attenuator, VOA), 가변 및 비가변 파장필터, 도파로 열격자(Arrayed Waveguide Grating, AWG) 소자 등 다양한 평면 도파로형 광소자의 코아 및 클래딩에 사용되는 물질이다. The present invention relates to a polymer compound consisting of a fluorine compound and a composition thereof. The fluorine compound for an optical waveguide device includes an optical switch, a variable optical attenuator (VOA), a variable and non-variable wavelength filter, a waveguide grating (Arrayed) It is a material used for core and cladding of various planar waveguide optical devices such as waveguide grating (AWG) devices.

또한 본 발명은 불소 화합물을 이용하여 중합체 제조 및 이를 이용한 광도파로형 광소자의 코아 및 클래딩 물질에 사용되는 화합물에 관한 것이다.     The present invention also relates to a compound used in the manufacture of polymers using fluorine compounds and cores and cladding materials of optical waveguide optical devices using the same.

본 발명에서 제조된 중합체 화합물은 자외선 경화 또는 열경화 반응에 의해 박막 형성이 용이하고 열안정성 및 내화학성이 뛰어나며, 광흡수에 의한 손실이 작고 복굴절률이 낮아서 우수한 광도파로형 광소자를 제조할 수 있다.     The polymer compound prepared in the present invention is easy to form a thin film by UV curing or thermosetting reaction, excellent thermal stability and chemical resistance, low loss due to light absorption and low birefringence can be produced an excellent optical waveguide type optical device. .

(화학식 1)(Formula 1)

Figure pat00001
Figure pat00001

화학식 1에서는 R1은 수소, 할로겐 원소, 메틸, 트리플루오르메틸기 나타내고, R2는 -CO-,

Figure pat00002
,
Figure pat00003
를 나타내고, 여기서 Ha는 H, 또는 같거나 서로 다른 할로겐 원소이며, Z1 , Z3는 없거나, -O- 또는 -S- 이고, R3는 불소로 전부 또는 일부가 치환된 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이다. In formula (1), R 1 represents hydrogen, a halogen element, methyl, trifluoromethyl group, and R 2 represents -CO-,
Figure pat00002
,
Figure pat00003
Wherein Ha is H or the same or different halogen, Z 1 , Z 3 is absent, -O- or -S-, and R 3 is an aliphatic alkyl group, alkylene, all or part of which is substituted with fluorine; It is an alkyl group containing an oxide group or an aromatic group.

Z2 는 -NH-, -S-, -O-, -CH2CH(OH)-CH2- 이고, R4는 열경화, 자외선 경화가 가능한 치환기이며, 바이닐기, 알릴기, (메타)아크릴기, 스틸렌기 아세틸렌기, 알케닐기, 알킨기 또는 이들 중 어느 하나 이상이 포함할 수 있고, 이 중 전부 또는 일부가 불소로 치환된 것일 수 있다. R5는 선형 또는 분지형 알킬기, 환상 알킬기, 방향족환기 또는 그들의 복합 치환기이며, 산소(옥소기), 카르보닐기를 포함 할 수 있고, 이 중 전부 또는 일부가 불소로 치환된 것일 수 있다. Z 2 is —NH—, —S—, —O—, —CH 2 CH (OH) —CH 2 —, and R 4 is a substituent capable of thermosetting and ultraviolet curing, a vinyl group, an allyl group, a (meth) acryl group, Styrene group acetylene group, alkenyl group, alkyne group or any one or more thereof may be included, all or part of these may be substituted with fluorine. R 5 may be a linear or branched alkyl group, a cyclic alkyl group, an aromatic ring group or a complex substituent thereof, and may include an oxygen (oxo group) and a carbonyl group, and all or part of them may be substituted with fluorine.

a, b는 공중합체의 비율로서 a는 1몰% 이상 포함하고, 좋게는 1~30몰%를 포함하고, b는 99몰%이하, 좋게는 70~99몰%를 포함하는 랜덤공중합체, 블록공중합체 또는 테이퍼드 공중합체이다.
a, b is a proportion of the copolymer a is at least 1 mol%, preferably contains 1 to 30 mol%, b is less than 99 mol%, preferably a random copolymer containing 70 to 99 mol%, Block copolymers or tapered copolymers.

일반적으로 광도파로 소자용 고분자 재료로 제작된 광소자가 신뢰성을 최우선으로 하는 옥내 또는 옥외의 통신망에 사용되므로 고분자 재료 자체는 매우 높은 열적 및 환경 안정성을 요구한다. In general, since an optical device made of a polymer material for an optical waveguide device is used in an indoor or outdoor communication network whose priority is reliability, the polymer material itself requires very high thermal and environmental stability.

또한 광소자 특성에 직접적 영향을 미치는 1.3~1.55㎛ 파장 대역에서의 낮은 광진행 손실, 미세한 굴절율 조절성, 낮은 복굴절률이 요구되며, 광소자 제작을 위하여 기판간의 접착력, 우수한 코팅성, 다층 박막 형성성, 다양한 기판의 사용 가능성이 크게 요구된다.      In addition, low light propagation loss, fine refractive index control, and low birefringence in the 1.3 ~ 1.55㎛ wavelength band directly affecting optical device characteristics are required.Adhesion between substrates, excellent coating property, and multilayer thin film formation are required for optical device fabrication. The use of various substrates is highly demanded.

또한 폴리머 광도파로를 이용한 광소자는 광섬유형 광소자에서 구현하기 힘든 다양한 기능을 수행할 수 있다. 8-채널 이상의 광분배기, 파장 다중화기, 광스위치, 광감쇠기 등은 광도파로 소자의 장점을 부각시킬 수 있는 광소자 들이다. 이와 같은 광도파로 소자의 제작에 있어서 폴리머 재료는 다양한 장점을 가지고 있다. 우선 스핀-코팅과 간단한 경화 과정을 통하여 박막을 형성할 수 있다. 이러한 간단한 공정은 소자 구조의 제한을 완화시켜서 독창적인 구조의 소자를 제작 가능하게 한다
In addition, an optical device using a polymer optical waveguide may perform various functions that are difficult to realize in an optical fiber type optical device. Optical dividers, wavelength multiplexers, optical switches, and optical attenuators, such as 8-channel or more, are optical devices that can highlight the advantages of optical waveguide devices. Polymer materials have various advantages in the fabrication of such optical waveguide devices. First, thin films can be formed through spin-coating and a simple curing process. This simple process eases the limitations of the device structure, allowing the fabrication of devices with unique structures.

상기한 종래기술에서의 광소자용 고분자 재료의 높은 광진행 손실, 높은 복 굴절률 및 미세한 굴절률 조절, 광소자 제작 공정의 용이성 등을 개선하기 위하여 안출된 본 발명은 불소 도입한 화합물을 이용하여 중합체를 제조하고, 단순히 불소를 도입한 단량체보다 본 발명에 따른 중합체를 제조함으로써 현저하게 광통신 영역에서 광전송 손실을 낮추고, 광학적 복굴절성이 매우 작으며, 정밀한 굴절률 조절이 가능하고 낮은 온도에서 단시간에 광소자 제작 공정이 가능한 광도파로 소자용 화합물 및 그것을 이용한 광도파로형 광소자를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made to improve the high optical propagation loss, high birefringence and fine refractive index control, ease of optical device fabrication process, etc. of the polymer material for optical devices in the prior art prepared by using a fluorine-introduced compound In addition, by preparing a polymer according to the present invention rather than simply introducing a fluorine monomer, the optical transmission loss is remarkably lowered in the optical communication region, the optical birefringence is very small, precise refractive index control is possible, and the optical device manufacturing process in a short time at low temperature An object of the present invention is to provide a compound for an optical waveguide device and an optical waveguide optical device using the same.

상기한 목적을 달성하기 위하여 불소로 이루어진 단량체를 사용하여, 하기에 기재된 것과 같은 중합단위를 가지는 중합단위를 2 이상 가지는 공중합체 화합물을 제조하였다. In order to achieve the above object, a copolymer compound having two or more polymerized units having a polymerized unit as described below was prepared using a monomer made of fluorine.

(화학식 1)(Formula 1)

Figure pat00004
Figure pat00004

화학식 1에서는 R1은 수소, 할로겐 원소, 메틸, 트리플루오르메틸기 나타내고, In formula (1), R 1 represents hydrogen, a halogen element, methyl, trifluoromethyl group,

R2는 -CO-,

Figure pat00005
,
Figure pat00006
를 나타내고, 여기서 Ha는 H, 또는 같거나 서로 다른 할로겐 원소이며, Z1 , Z3는 없거나, -O- 또는 -S- 이고, R3는 불소로 전부 또는 일부가 치환된 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이다. R 2 is -CO-,
Figure pat00005
,
Figure pat00006
Wherein Ha is H, or the same or different halogen, Z 1 , Z 3 is absent, -O- or -S-, and R 3 is an aliphatic alkyl group, alkylene oxide, all or part of which is substituted with fluorine An alkyl group containing a group or an aromatic group.

Z2 는 NH-, -S-, -O-, -CH2CH(OH)-CH2- 이고, R4는 열경화, 자외선 경화가 가능한 치환기이며, 비닐기, 알릴기, (메타)아크릴기, 스틸렌기 아세틸렌기, 알케닐기, 알킨기 또는 이들 중 어느 하나 이상이 포함할 수 있고, 이 중 전부 또는 일부가 불소로 치환된 것일 수 있고, R5는 선형 또는 분지형 알킬기, 환상 알킬기, 방향족환기 또는 그들의 복합 치환기이며, 산소(옥소기), 카르보닐기를 포함 할 수 있고, 이 중 전부 또는 일부가 불소로 치환된 것일 수 있으며, a, b는 공중합체의 비율로서 a는 1몰% 이상 포함하고, 좋게는 1~30몰%를 포함하고, b는 99몰%이하, 좋게는 70~99몰%를 포함하는 랜덤공중합체, 블록공중합체 또는 테이퍼드 공중합체이다.Z 2 is NH-, -S-, -O-, -CH2CH (OH) -CH2-, R 4 is a substituent capable of thermosetting and ultraviolet curing, vinyl group, allyl group, (meth) acryl group, styrene Group acetylene group, alkenyl group, alkyne group or any one or more thereof may be included, all or part of them may be substituted with fluorine, R 5 is a linear or branched alkyl group, a cyclic alkyl group, an aromatic ring group or They are complex substituents, may include oxygen (oxo group), carbonyl group, all or part of them may be substituted with fluorine, a, b is a proportion of the copolymer, a contains at least 1 mol%, Preferably it is 1 to 30 mol%, b is a random copolymer, block copolymer or tapered copolymer containing 99 mol% or less, preferably 70 to 99 mol%.

본 발명의 분자량은 특별히 한정하는 것은 아니지만, 중량평균분자량을 기준으로 2000~100만의 분자량을 가지는 것이 좋으며, 더욱 좋게는 5000~5만의 분자량을 가지는 것이 가공 등의 공정에서 유리하다     Although the molecular weight of this invention is not specifically limited, It is good to have a molecular weight of 2000-1 million based on a weight average molecular weight, More preferably, it is advantageous in processes, such as a process, having a molecular weight of 5000-50,000.

상기한 본 발명의 중합체는 경화밀도 조절이 가능하여 박막형성이 유리하고 중합체의 일정한 구조와 불소함유량조절로 인해 광학적 복굴절성이 매우 작고 정밀한 굴절률조절이 가능하여, 광통신 영역에서 광전송 손실을 낮추고, 단량체의 구조적 물성에 따라 중합체의 다양한 물성조절이 가능하다. 또한 낮은 온도에서 단시간에 광소자 제작 공정이 가능하여, 우수한 성능의 광도파로형 광소자를 제공할 수 있다.      Since the polymer of the present invention is capable of controlling the curing density, thin film formation is advantageous, and due to the constant structure of the polymer and the fluorine content control, optical birefringence is very small and precise refractive index can be controlled, thereby reducing optical transmission loss in the optical communication region, and According to the structural properties of the polymer it is possible to control a variety of properties. In addition, the optical device manufacturing process is possible in a short time at a low temperature, it is possible to provide an optical waveguide optical device of excellent performance.

본 발명에서 상기 화학식 1의 중합체는 예를 들면 하기와 같은 구조를 가지는 중합체를 포함할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. In the present invention, the polymer of Formula 1 may include, for example, a polymer having a structure as follows, but is not limited thereto.

(화학식 2)(Formula 2)

Figure pat00007

Figure pat00007

(k, l, m, n는 공중합체의 몰분율로서, k 또는 m는 0.01 이상이며, k+m 은 0.01~0.3의 몰분율을 가지며, k+l+m+n의 합은 1이다.)(k, l, m, n is the mole fraction of the copolymer, k or m is 0.01 or more, k + m has a mole fraction of 0.01 ~ 0.3, the sum of k + l + m + n is 1.)

본 발명에 따른 상기 화학식 1은 화학식 3 및 화학식 4의 단량체를 중합하여 화학식 5의 중합체를 제조한 다음, 바이닐기, 알릴기, (메타)아크릴로일기, 스틸렌기, 아세틸렌기, 알케닐기, 알킨기 또는 이들 중 어느 하나 이상이 포함되어있는 선형이나 분지상 또는 환상의 알킬기 또는 방향족환기 또는 그들의 복합 치환기이며 산소(옥소기)나 카르보닐기를 포함 할 수 있고, 이 중 전부 또는 일부가 불소로 친환된 반응성 단량체와 반응하여 그라프팅하여 제조된다. 상기 그라프팅 되는 반응성 단량체의 전구체 물질로는 (메타)아크릴로일무수물, (메타)아크릴로일할라이드, 퍼플루오로스티렌를 예로들 수 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다.
Formula 1 according to the present invention is prepared by polymerizing the monomer of Formula 3 and Formula 4 to produce a polymer of Formula 5, and then vinyl, allyl, (meth) acryloyl, styrene, acetylene, alkenyl, alkyne Linear or branched or cyclic alkyl groups or aromatic ring groups or their complex substituents containing any one or more of them, and may include oxygen (oxo groups) or carbonyl groups, all or part of which are substituted with fluorine; It is prepared by grafting by reacting with a reactive monomer. Precursor materials of the reactive monomers to be grafted include, but are not limited to, (meth) acryloyl anhydride, (meth) acryloyl halide, and perfluorostyrene.

(화학식 3)(Formula 3)

Figure pat00008
Figure pat00008

(화학식 4)(Formula 4)

Figure pat00009

Figure pat00009

(화학식 5)(Formula 5)

Figure pat00010
Figure pat00010

상기 Z4는 -NH2, -SH, -OH,

Figure pat00011
,할로겐 원자로 표현될 수 있다.Z4 is -NH2, -SH, -OH,
Figure pat00011
It can be represented by a halogen atom.

상기 화학식 중, R3, R5는 하기 구조의 화합물을 대표적인 예로 들 수 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다.In the above formula, R 3 and R 5 include, but are not limited to, representative compounds of the following structures.

Figure pat00012
Figure pat00012

Figure pat00013

Figure pat00013

또한 본 발명에서 상기 화학식 3(하기 화학식 6의 구조(1) 또는 (2)) 및 화학식 4의 물질(하기 화학식 6의 구조(3) 내지 (7))로는 하기에서 선택되는 것을 예로들 수 있지만, 이에 또한 한정되는 것은 아니다.   In addition, in the present invention, the above-mentioned compounds selected from the following Formula 3 (structure (1) or (2) of Formula 6) and Formula 4 (structures (3) to (7) of Formula 6) However, the present invention is not limited thereto.

(화학식 6)(Formula 6)

Figure pat00014
Figure pat00014

Figure pat00015
Figure pat00015

본 발명의 또 다른 양태로는 상기에서 제조된 중합체에 하기 화학식 7 및 8의 하합물을 혼합함으로써, 광도파로 필름의 물성을 향상시킬 수 있다. 특히 하기 화학식 7 및 8은 고도의 불소계 다관능기 화합물로 상기 화학식 1과 상용성이 뛰어나며, 광소자 제작을 위한 점도 조절이 용이하다. 또한, 첨가량의 변화로 쉬게 정밀한 굴절율 조절이 가능하고, 경화 밀도의 향상으로 내열성 및 내화학성이 뛰어나다. 본 발명의 이러한 양태에서는 상기 중합체 100중량부에 대하여 10 내지 80중량부, 좋게는 30~70중량부를 사용하는 것이 낮은 굴절률, 광손실, 높은 T/O coef. 결과가 나왔고, 박막형성이 우수하였다. 또한 기판 접착력이 증가하였고, 광도파로의 미세 패턴 형성 유리하다.  In another embodiment of the present invention, by mixing the polymers prepared in the formulas 7 and 8, the physical properties of the optical waveguide film can be improved. In particular, the formulas (7) and (8) are highly fluorinated polyfunctional compounds having excellent compatibility with the above formula (1), and are easy to control the viscosity for fabricating the optical device. In addition, it is possible to easily adjust the refractive index precisely by the change of the addition amount, and excellent heat resistance and chemical resistance by improving the curing density. In this embodiment of the present invention, it is preferable to use 10 to 80 parts by weight, preferably 30 to 70 parts by weight, based on 100 parts by weight of the polymer. Results were obtained and the thin film formation was excellent. In addition, the substrate adhesion is increased, it is advantageous to form a fine pattern of the optical waveguide.

(화학식 7)(Formula 7)

Figure pat00016
Figure pat00016

R1, R2, R3, Z1, Z3, Ha 는 상기에서 정의한 것과 같고, n은 2~4의 정수이다.R1, R2, R3, Z1, Z3, Ha are as defined above, and n is an integer of 2-4.

(화학식 8)(Formula 8)

Figure pat00017
Figure pat00017

상기 R1, R2, R3, Z1, Z3 는 상기에서 정의한 것과 같으며, R6, R7은 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이다.
R1, R2, R3, Z1, and Z3 are the same as defined above, and R6 and R7 are aliphatic alkyl groups, alkylene oxide groups or alkyl groups containing aromatic groups.

본 발명에서 상기 화학식 7, 화학식 8의 구조로는 하기에서 선택되는 것을 예로들 수 있지만, 이에 또한 한정되는 것은 아니다.In the present invention, as the structure of Formula 7, Formula 8 may be selected from the following, but is not limited thereto.

(화학식 9)Formula 9

Figure pat00018
Figure pat00018

본 발명에 따른 중합방법은 통상의 라디칼 중합방법을 채택할 수 있으므로, 더 이상 한정하여 설명하지 않으며, 제조된 공중합체는 용해할 수 있는 통상의 용매, 예를 들면 THF, 에테르, 케톤, 방향족화합물, 할로겐화 방향족 화합물, 할로겐화알칸, 탄화수소화합물 등의 용매에 용해하여 중합할 수 있다. 또한 중합개시제는 라디칼 중합개시제라면 제한되지 않고 예를 들면 AIBN, 퍼옥시드 등의 것을 채택할 수 있다.   Since the polymerization method according to the present invention may adopt a conventional radical polymerization method, the present invention is not limited thereto, and the prepared copolymer may be dissolved in a conventional solvent such as THF, ether, ketone, and aromatic compound. And polymerize by dissolving in a solvent such as a halogenated aromatic compound, a halogenated alkane, and a hydrocarbon compound. In addition, the polymerization initiator is not limited as long as it is a radical polymerization initiator, and examples thereof may include AIBN, peroxide, and the like.

본 발명에 따른 공중합체의 용매 또한 상기 중합체의 중합용매와 동일한 것을 채택하여도 좋고, 다른 것을 채택하여도 좋으며, 예를 들면, 퍼플루오로톨루엔 등이 좋다.    The solvent of the copolymer according to the present invention may also adopt the same one as the polymerization solvent of the polymer, or may adopt another one, for example, perfluorotoluene or the like.

코팅조성물은 다양한 종류의 기판, 바람직하게는 실리콘 웨이퍼 기판 상에서 500 ~ 5000 rpm의 속도로 스핀 코팅한 후, 질소 대기 하의 수은 램프를 이용하여 광도가 5 ~ 200 mW/cm2 정도의 바람직하게는 10 ~ 50 mW/cm2 정도의 자외선으로 2 ~ 30 분간 경화시킨 후 열판 (Hot plate) 상에서 100 ~ 200℃에서 0.5 ~ 1시간 동안 열 경화 또는 건조하여 고분자 박막을 만든다. The coating composition is spin-coated at various speeds of 500 to 5000 rpm on various kinds of substrates, preferably silicon wafer substrates, and then, using a mercury lamp under a nitrogen atmosphere, preferably 10 to 10 mW / cm 2 of luminous intensity. To 50 mW / cm 2 After curing for about 30 minutes to about 30 minutes of ultraviolet rays on a hot plate (hot plate) at 100 ~ 200 ℃ 0.5 ~ 1 hours by heat curing or drying to make a polymer thin film.

본 발명에 따른 공중합체는 아크릴레이트계의 단량체 또는 퍼플루오로스티렌이 도입된 단량체로만 이루어진 광도파로 소자보다 광통신 영역에서의 광진행 손실이 아주 낮다. 일정한 형태의 구조의 단량체의 공중합체를 제조하였으므로, 중합체의 구조적으로 광학적 복굴절성이 아주 작아 편광 무의존 광소자의 제작이 용이하고, 중합체의 단량체 구조에 따른 굴절률, 물성, 경화 조건 등을 다양화할 수 있다. 그러므로 본 발명의 중합체를 사용함으로써, 자외선 경화 또는 열경화 반응에 의해 박막 형성이 용이하고 다양한 굴절률과 물성을 표현할 수 있고, 또한 열안정성 및 내화학성이 뛰어난 우수한 광도파로형 광소자가 제조될 수 있다.
The copolymer according to the present invention has a much lower light propagation loss in the optical communication region than an optical waveguide device composed only of an acrylate-based monomer or a monomer into which perfluorostyrene is introduced. Since a copolymer of a monomer having a certain structure is manufactured, the optical birefringence of the polymer is very small, making it easy to manufacture a polarization-independent optical device and varying refractive index, physical properties, and curing conditions according to the monomer structure of the polymer. have. Therefore, by using the polymer of the present invention, it is easy to form a thin film by ultraviolet curing or thermosetting reaction, can express a variety of refractive index and physical properties, and excellent optical waveguide type optical device excellent in thermal stability and chemical resistance can be manufactured.

이하에서는 본 발명의 실시 형태에 관해서 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시예 형태로 한정되는 것이 아니고, 발명의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 변경, 수정, 개량할 수 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although embodiment of this invention is described, this invention is not limited to the following embodiment aspect, A change, correction, and improvement can be made, as long as it does not deviate from the range of invention.

[제조예1] 화학식 6(1)로 표시되는 화합물 제조Preparation Example 1 Preparation of Compound Represented by Chemical Formula 6 (1)

질소 분위기 하에 펜타플루오로스티렌 20g(103.04mmol)과 2,2,3,3,4,4,5,5-옥타플로로-1,6-헥산디올 27.01g(103.04mmol)을 DMAc용매로 완전히 용해시켰다. 30분간 교반 후 50℃로 승온시킨 다음 NaOH 5.36g(133.95mmol)과 TBAB 1.66g(5.15mmol) 넣고 1시간 교반한 후 상온에서 1hr 교반하였다. 혼합물을 탈이온수와 에테르를 사용하여 추출한다. 추출된 에테르층을 마그네시움설페이트를 사용하여 탈수하고 감압증류하여 에테르를 증발시킨다. 농축된 화합물은 실리카겔을 이용한 칼럼크로마토그래피로 혼합물을 분리한 다음 감압증류하여 목적물 화학식 6(1) 27.86g를 얻었다. (수율 62%) 1H-NMR (CDCl3): δ 4.07(2H, t), 4.56(1H, t), 4.61(2H, t), 5.64(1H, d), 6.01(1H, d), 6.60(1H, q)
20 g (103.04 mmol) of pentafluorostyrene and 27.01 g (103.04 mmol) of 2,2,3,3,4,4,5,5-octafluoro-1,6-hexanediol under nitrogen atmosphere were completely dissolved in DMAc solvent. Dissolved. After stirring for 30 minutes, the temperature was raised to 50 ° C., followed by adding NaOH 5.36 g (133.95 mmol) and TBAB 1.66 g (5.15 mmol) for 1 hour, followed by stirring at room temperature for 1 hour. The mixture is extracted with deionized water and ether. The extracted ether layer is dehydrated using magnesium sulfate and distilled under reduced pressure to evaporate the ether. The concentrated compound was separated by column chromatography using silica gel, and then distilled under reduced pressure to obtain 27.86 g of the target chemical formula (6). (Yield 62%) 1 H-NMR (CDCl 3 ): δ 4.07 (2H, t), 4.56 (1H, t), 4.61 (2H, t), 5.64 (1H, d), 6.01 (1H, d), 6.60 (1H, q)

[제조예2] 화학식 6(2)로 표시되는 화합물 제조Preparation Example 2 Preparation of Compound Represented by Chemical Formula 6 (2)

(제조예1)에서 2,2,3,3,4,4,5,5-옥타플로로-1,6-헥산디올 대신에 퍼플루오로테트라에틸렌 글리콜 42.26g(103.04mmol) 사용한 것을 제외하고는 (제조예1)과 같다. 목적물인 화학식 6(2), 33.71g을 얻었다. (수율 56%) 1H-NMR (CDCl3): δ 3.90(2H, t), 4.08(1H, q), 4.49(2H, t), 5.64(1H, d), 6.01(1H, d), 6.60(1H, q)Except for using 42.26 g (103.04 mmol) of perfluorotetraethylene glycol instead of 2,2,3,3,4,4,5,5-octafluoro-1,6-hexanediol in Preparation Example 1 Is the same as (Production Example 1). 33.71 g of Chemical Formula 6 (2) was obtained. (Yield 56%) 1 H-NMR (CDCl 3 ): δ 3.90 (2H, t), 4.08 (1H, q), 4.49 (2H, t), 5.64 (1H, d), 6.01 (1H, d), 6.60 (1H, q)

[제조예3] 화학식 6(3)로 표시되는 화합물 제조Preparation Example 3 Preparation of Compound Represented by Chemical Formula 6 (3)

질소 분위기 하에 펜타플루오로스티렌 10g(51.52mmol)을 DMAc용매로 완전히 용해시켰다. 30분간 교반 후 NaOH 3.09g(77.28mmol)과 TBAB 0.42g(1.32mmol) 넣고 상온에서 30분간 교반한다. 퍼플루오로트리에틸렌 글리콜 모노메틸에테르 20.50g(51.52mmol)을 DMAc에 희석하여 천천히 적가한 후 상온에서 1hr 교반하였다. 혼합물을 탈이온수와 에테르를 사용하여 추출한다. 추출된 에테르층을 마그네시움설페이트를 사용하여 탈수하고 감압증류하여 에테르를 증발시킨다. 농축된 화합물은 실리카겔을 이용한 칼럼크로마토그래피로 혼합물을 분리한 다음 감압증류하여 목적물인 화학식 6(3), 26.82g을 얻었다. (수율 91%) 1H-NMR (CDCl3): δ 4.48(2H, t), 5.63(1H, d), 6.01(1H, d), 6.56(1H, q)Under a nitrogen atmosphere, 10 g (51.52 mmol) of pentafluorostyrene were completely dissolved in a DMAc solvent. After stirring for 30 minutes, NaOH 3.09g (77.28mmol) and TBAB 0.42g (1.32mmol) were added and stirred at room temperature for 30 minutes. 20.50 g (51.52 mmol) of perfluorotriethylene glycol monomethyl ether was diluted in DMAc and slowly added dropwise, followed by stirring at room temperature for 1 hr. The mixture is extracted with deionized water and ether. The extracted ether layer is dehydrated using magnesium sulfate and distilled under reduced pressure to evaporate the ether. The concentrated compound was separated by column chromatography using silica gel, and then distilled under reduced pressure to obtain 26.82 g of Chemical Formula 6 (3). (Yield 91%) 1 H-NMR (CDCl 3 ): δ 4.48 (2H, t), 5.63 (1H, d), 6.01 (1H, d), 6.56 (1H, q)

[제조예4] 화학식 6(4)로 표시되는 화합물 제조Preparation Example 4 Preparation of Compound Represented by Chemical Formula 6 (4)

(제조예3)에서 퍼플루오로트리에틸렌 글리콜 모노메틸에테르 대신에 퍼플루오로트리에틸렌 글리콜 모노부틸에테르 28.23g(51.52mmol) 사용한 것을 제외하고는 (제조예3)과 같다. 목적물인 화학식 6(4), 31.99g을 얻었다. (수율 86%) 1H-NMR (CDCl3): δ 4.46(2H, t), 5.64(1H, d), 6.01(1H, d), 6.56(1H, q)Production Example 3 was the same as Production Example 3, except that 28.23 g (51.52 mmol) of perfluorotriethylene glycol monobutyl ether was used instead of perfluorotriethylene glycol monomethyl ether. 31.99 g of the chemical formula (6), which is the target product, was obtained. (Yield 86%) 1 H-NMR (CDCl 3 ): δ 4.46 (2H, t), 5.64 (1H, d), 6.01 (1H, d), 6.56 (1H, q)

[제조예5] 화학식 6(5)로 표시되는 화합물 제조Preparation Example 5 Preparation of Compound Represented by Chemical Formula 6 (5)

질소 분위기 하에 퍼플루오로페놀 10g(54.33mmol)을 DMAc용매로 완전히 용해시켰다. 30분간 교반 후 NaOH 3.26g(81.49mmol)과 TBAB 0.35g(1.08mmol) 넣고 상온에서 30분간 교반한다. 11H,1H,9H-퍼플루오로노난-1-올 23.47g(54.33mmol)을 DMAc에 희석하여 천천히 적가한 후 상온에서 1hr 교반하였다. 혼합물을 탈이온수와 에테르를 사용하여 추출한다. 추출된 에테르층을 마그네시움설페이트를 사용하여 탈수하고 감압증류하여 에테르를 증발시킨다. 농축된 화합물을 THF용매로 완전히 용매시킨 후 트리에틸렌아민 6.04g(59.76mmol) 넣고 30분간 교반하였다. 아크릴로일크로라이드 5.40g(59.76mmol)을 THF에 희석하여 천천히 적가한 후 상온에서 1hr 교반하였다. 혼합물을 탈이온수와 에테르를 사용하여 추출한다. 추출된 에테르층을 마그네시움설페이트를 사용하여 탈수하고 감압증류하여 에테르를 증발시킨다. 실리카겔을 이용한 칼럼크로마토그래피로 혼합물을 분리한 다음 감압증류하여 목적물인 화학식 6(5), 14.83g를 얻었다. (수율 42%) 1H-NMR (CDCl3): δ 4.62(2H, t), 5.86, 6.00, 6.10(1H, t,t,t), 5.92(1H, d), 6.13(1H, q), 6.46(1H, d)Under nitrogen atmosphere, 10 g (54.33 mmol) of perfluorophenol were completely dissolved in DMAc solvent. After stirring for 30 minutes, NaOH 3.26g (81.49mmol) and TBAB 0.35g (1.08mmol) were added and stirred at room temperature for 30 minutes. 23.47 g (54.33 mmol) of 11H, 1H, 9H-perfluorononan-1-ol was diluted in DMAc and slowly added dropwise, followed by stirring at room temperature for 1 hour. The mixture is extracted with deionized water and ether. The extracted ether layer is dehydrated using magnesium sulfate and distilled under reduced pressure to evaporate the ether. The concentrated compound was completely dissolved in THF solvent, and then 6.04 g (59.76 mmol) of triethyleneamine was added and stirred for 30 minutes. 5.40 g (59.76 mmol) of acryloyl chloride was diluted in THF and slowly added dropwise, followed by stirring at room temperature for 1 hr. The mixture is extracted with deionized water and ether. The extracted ether layer is dehydrated using magnesium sulfate and distilled under reduced pressure to evaporate the ether. The mixture was separated by column chromatography using silica gel, and then distilled under reduced pressure to obtain 14.83 g of the chemical formula (6). (Yield 42%) 1 H-NMR (CDCl 3 ): δ 4.62 (2H, t), 5.86, 6.00, 6.10 (1H, t, t, t), 5.92 (1H, d), 6.13 (1H, q), 6.46 (1 H, d)

[제조예6] 화학식 6(6)로 표시되는 화합물 제조Preparation Example 6 Preparation of Compound Represented by Chemical Formula 6 (6)

(제조예5)에서 11H,1H,9H-퍼플루오로노난-1-올 대신에 4-트리플루오로메틸-2,3,5,6-테트라플루오로티오페놀 13.68g(54.73mmol) 사용한 것을 제외하고는 (제조예5)과 같다. 목적물인 화학식 6(6), 12.59g을 얻었다. (수율 49%) 1H-NMR (CDCl3): δ 5.93(1H, d), 6.13(1H, q), 6.47(1H, d)13.68 g (54.73 mmol) of 4-trifluoromethyl-2,3,5,6-tetrafluorothiophenol was used instead of 11H, 1H, 9H-perfluorononan-1-ol in Preparation Example 5. Except for (Manufacture Example 5) except that. 12.59 g of Chemical Formula 6 (6) was obtained. (Yield 49%) 1 H-NMR (CDCl 3 ): δ 5.93 (1H, d), 6.13 (1H, q), 6.47 (1H, d)

[제조예7] 화학식 6(7)로 표시되는 화합물 제조Preparation Example 7 Preparation of Compound Represented by Chemical Formula 6 (7)

질소 분위기 하에 퍼플루오로트리에틸렌 글리콜 모노메틸에테르 30.0g(75.36mmol)을 THF용매로 완전히 용해시킨 후 트리에틸렌아민 15.25g(150.72mmol) 넣고 30분간 교반하였다. 아크릴로일크로라이드 8.18g(90.43mmol)을 THF에 희석하여 천천히 적가한 후 상온에서 1hr 교반하였다. 혼합물을 탈이온수와 에테르를 사용하여 추출한다. 추출된 에테르층을 마그네시움설페이트를 사용하여 탈수하고 감압증류하여 에테르를 증발시킨다. 실리카겔을 이용한 칼럼크로마토그래피로 혼합물을 분리한 다음 감압증류하여 목적물인 화학식 6(7), 28.28g를 얻었다. (수율 83%) 1H-NMR (CDCl3): δ 4.52(2H, t), 5.92(1H, d), 6.13(1H, q), 6.46(1H, d)Under nitrogen atmosphere, 30.0 g (75.36 mmol) of perfluorotriethylene glycol monomethyl ether was completely dissolved in THF solvent, and 15.25 g (150.72 mmol) of triethyleneamine was added thereto and stirred for 30 minutes. 8.18 g (90.43 mmol) of acryloyl chloride was diluted in THF and slowly added dropwise, followed by stirring at room temperature for 1 hr. The mixture is extracted with deionized water and ether. The extracted ether layer is dehydrated using magnesium sulfate and distilled under reduced pressure to evaporate the ether. The mixture was separated by column chromatography using silica gel, and then distilled under reduced pressure to obtain 28.28 g of the chemical formula 6 (7). (Yield 83%) 1 H-NMR (CDCl 3 ): δ 4.52 (2H, t), 5.92 (1H, d), 6.13 (1H, q), 6.46 (1H, d)

[제조예8] 화학식 6(8)로 표시되는 화합물 제조Preparation Example 8 Preparation of Compound Represented by Chemical Formula 6 (8)

(제조예7)에서 퍼플루오로트리에틸렌 글리콜 모노메틸에테르 대신에 퍼플루오로트리에틸렌 글리콜 모노부틸에테르 30.0g(54.73mmol) 사용한 것을 제외하고는 (제조예7)과 같다. 목적물인 화학식 6(8), 26.68g을 얻었다. (수율 81%) 1H-NMR (CDCl3): δ 4.51(2H, t), 5.92(1H, d), 6.13(1H, q), 6.46(1H, d)Production Example 7 was the same as Production Example 7, except that 30.0 g (54.73 mmol) of perfluorotriethylene glycol monobutyl ether was used instead of perfluorotriethylene glycol monomethyl ether. 26.68 g of Formula 6 (8) was obtained as a target product. (Yield 81%) 1 H-NMR (CDCl 3 ): δ 4.51 (2H, t), 5.92 (1H, d), 6.13 (1H, q), 6.46 (1H, d)

[제조예9] 화학식 9(1)로 표시되는 화합물 제조Preparation Example 9 Preparation of Compound Represented by Chemical Formula 9 (1)

질소 분위기 하에 퍼플루오로-트리스-(9-하이드록시메틸-2,5,8-트리옥사노닐)메탄 50g(42.79mmol)을 THF용매로 완전히 용해시킨 후 트리에틸렌아민 20.78g(205.4mmol) 넣고 30분간 교반하였다. 아크릴로일크로라이드 17.43g(192.5mmol)을 THF에 희석하여 천천히 적가한 후 상온에서 1hr 교반하였다. 혼합물을 탈이온수와 에테르를 사용하여 추출한다. 추출된 에테르층을 마그네시움설페이트를 사용하여 탈수하고 감압증류하여 에테르를 증발시킨다. 실리카겔을 이용한 칼럼크로마토그래피로 혼합물을 분리한 다음 감압증류하여 목적물인 화학식 9(1), 47.82g를 얻었다. (수율 84%) 1H-NMR (CDCl3): δ 4.51(6H, t), 5.92(3H, d), 6.12(3H, q), 6.45(3H, d)Under nitrogen atmosphere, 50 g (42.79 mmol) of perfluoro-tris- (9-hydroxymethyl-2,5,8-trioxanyl) methane was completely dissolved in THF solvent, followed by 20.78 g (205.4 mmol) of triethyleneamine. Stir for 30 minutes. 17.43 g (192.5 mmol) of acryloyl chloride was diluted in THF and slowly added dropwise, followed by stirring at room temperature for 1 hr. The mixture is extracted with deionized water and ether. The extracted ether layer is dehydrated using magnesium sulfate and distilled under reduced pressure to evaporate the ether. The mixture was separated by column chromatography using silica gel, and then distilled under reduced pressure to obtain 47.82 g of the chemical formula 9 (1). (84% yield) 1 H-NMR (CDCl 3 ): δ 4.51 (6H, t), 5.92 (3H, d), 6.12 (3H, q), 6.45 (3H, d)

[제조예10] 화학식 9(2)로 표시되는 화합물 제조Preparation Example 10 Preparation of Compound Represented by Chemical Formula 9 (2)

(제조예9)에서 퍼플루오로-트리스-(9-하이드록시메틸-2,5,8-트리옥사노닐)메탄 대신에 퍼플루오로-테트라키스-(9-하이드록시메틸-2,5,8-트리옥사노닐)메탄 50.0g(32.71mmol) 사용한 것을 제외하고는 (제조예9)과 같다. 목적물인 화학식 9(2), 43.94g을 얻었다. (수율 77%) 1H-NMR (CDCl3): δ 4.51(8H, t), 5.92(4H, d), 6.13(4H, q), 6.46(4H, d)In Production Example 9, perfluoro-tetrakis- (9-hydroxymethyl-2,5, instead of perfluoro-tris- (9-hydroxymethyl-2,5,8-trioxanyl) methane The same procedure as in (Preparation Example 9) except that 50.0 g (32.71 mmol) of 8-trioxanyl) methane was used. 43.94 g of Formula 9 (2) was obtained as a target product. (Yield 77%) 1 H-NMR (CDCl 3 ): δ 4.51 (8H, t), 5.92 (4H, d), 6.13 (4H, q), 6.46 (4H, d)

[제조예11] 화학식 9(3)로 표시되는 화합물 제조Preparation Example 11 Preparation of Compound Represented by Chemical Formula 9 (3)

질소 분위기 하에 헥사플루오로-2,3-비스(트리플루오로메틸)-2,3-부탄디올(이하 퍼플루오로피나콜) 50g(149.6mmol), 2-하이드록시에틸메타크릴레이트 38.95g(299.3mmol), 트리페닐포스핀 172.3g(685.5mmol), 디에틸에테르의 혼합하여 교반한다. 30분간 교반 후에 혼합물을 0℃로 낮추어 디이소프로필아조디카르복시레이트(DIAD) 133.6g(685.5mmol)과 디에틸에테르에 희석하여 천천히 적하한다. 상온에서 24시간 교반 후 혼합물을 농축한다. 실리카겔을 이용한 칼럼크로마토그래피로 혼합물을 분리한 다음 감압증류하여 목적물인 화학식 9(3), 62.67g를 얻었다. (수율 75%) 1H-NMR (CDCl3) : δ 1.90 (6H, t), 4.36 (8H, m), 5.63 (2H, t), 6.09 (2H, t)
50 g (149.6 mmol) of hexafluoro-2,3-bis (trifluoromethyl) -2,3-butanediol (hereinafter referred to as perfluoropinacol) under a nitrogen atmosphere, and 38.95 g of 2-hydroxyethyl methacrylate (299.3) mmol), triphenylphosphine 172.3 g (685.5 mmol), and diethyl ether are mixed and stirred. After stirring for 30 minutes, the mixture was lowered to 0 ° C., diluted with diisopropyl azodicarboxylate (DIAD) 133.6 g (685.5 mmol) and diethyl ether, and slowly added dropwise thereto. After stirring for 24 hours at room temperature, the mixture is concentrated. The mixture was separated by column chromatography using silica gel, and then distilled under reduced pressure to obtain 62.67 g of the chemical formula 9 (3). (Yield 75%) 1 H-NMR (CDCl 3 ): δ 1.90 (6H, t), 4.36 (8H, m), 5.63 (2H, t), 6.09 (2H, t)

[실시예 1 ] Example 1

표1에 기재된 함량의 단량체를 투입하고, 개시제 (AIBN)는 투입된 단량체의 전체 몰에 대한 (표 1)에 명기된 몰당량으로 투입하였다.The monomers of the contents shown in Table 1 were added, and the initiator (AIBN) was added in the molar equivalents specified in (Table 1) to the total moles of the added monomers.

단량체의 전체 그램수의 30wt%의 THF을 질소 분위기 하에 30분간 교반하면서 65℃가 되도록 가열하였고, 표 1에 명기된 몰%에 따라 단량체 8(1), 단량체 화학식 8(3), 개시제의 전체 그램수에 대하여 30%의 THF에 용해한 용액을 12시간동안 천천히 적하하였다. 적하가 끝난 후 12시간 더 교반 후 상온이 될 때까지 냉각하였다. 상온 상에서 트리에틸아민을 화합물 8(1)의 몰에 대한 2몰당량을 적가한 후 30분간 교반한 다음, 메타아크릴 언하이드라이드(methacrylic anhydride)를 화합물 8(1)의 몰에 대한 2몰당량을 적가 하였다. 상온에서 4시간 교반 후 반응용액을 메탄올에 침전시킨다. 침전물을 30℃/12시간 감압 건조한다. 침전 과정을 3회 실시하여 중합체 1을 얻었다. 제조된 중합체의 분자량은 Polymer Laboratories사의 GPC장치의 컬럼(상품명 mixed-B 2개, 500Å 1개)을 이용하여 측정하였다. (용제는 MC이고 폴리스타이렌을 표준으로 하여 측정하였다.)30 wt% of the total grams of the THF was heated to 65 DEG C while stirring for 30 minutes under a nitrogen atmosphere, and according to the mole% specified in Table 1, the monomer 8 (1), the monomer formula 8 (3), and the total initiator The solution dissolved in 30% of THF with respect to grams was slowly added dropwise for 12 hours. After the addition was completed, the mixture was further stirred for 12 hours, and cooled to room temperature. At room temperature, triethylamine was added dropwise to 2 molar equivalents to mole of compound 8 (1), followed by stirring for 30 minutes, and then methacrylic anhydride to 2 molar equivalents to mole of compound 8 (1). Was added dropwise. After stirring for 4 hours at room temperature, the reaction solution is precipitated in methanol. The precipitate is dried under reduced pressure at 30 ° C./12 hours. Precipitation was carried out three times to obtain polymer 1. The molecular weight of the prepared polymer was measured using a column of Polymer Laboratories' GPC apparatus (trade name mixed-B 2, 500 Å 1). (The solvent is MC and polystyrene was measured as a standard.)

상기 제조된 중합체 1.0g을 옥타플로오루톨루엔(OFT) 0.42g, 광개시제 I184C(CIBA GEIGY, Irgacure 184) 0.015g, TPO(CIBA GEIGY, Irgacure TPO) 0.005g을 혼합한 다음 용액을 0.2㎛ 테프론 필터로 여과하여 광도파로 소자의 코아 및 클래딩 층으로 사용되는 코팅 용액을 제조한다. 1.0 g of the polymer prepared above was mixed with 0.42 g of octafluoro rutoluene (OFT), 0.015 g of photoinitiator I184C (CIBA GEIGY, Irgacure 184), and 0.005 g of TPO (CIBA GEIGY, Irgacure TPO), and then the solution was mixed with a 0.2 μm Teflon filter. Filtration produces a coating solution for use as core and cladding layers in the optical waveguide device.

제조된 코팅액은 실리콘 웨이퍼 기판 상에서 3500rpm의 속도로 스핀 코팅한 후, 질소 대기 하의 수은 램프를 이용하여 광도가 14mW/cm2의 자외선으로 5 분간 경화시킨 후 열판 (Hot plate) 상에서 200℃에서 0.5시간 동안 열 경화하여 고분자 박막을 만든다. 아래 표 2는 상기 실시예에서 제조한 고분자 박막에 대한 1550nm 파장으로 프리즘 커플러 장비을 사용하여 굴절률, Thermo-optic coefficient(dn/dT) 측정하였고, 광진행손실은 굴절률 정합액을 사용한 슬렙도파로의 합침법을 이용하여 측정하였다.
The coating solution was spin-coated at a speed of 3500 rpm on a silicon wafer substrate, and then cured for 5 minutes in an ultraviolet light of 14 mW / cm 2 using a mercury lamp under a nitrogen atmosphere, and then 0.5 hours at 200 ° C. on a hot plate. Thermally cured to form a polymer thin film. Table 2 below was used to measure the refractive index, Thermo-optic coefficient (dn / dT) using a prism coupler at a wavelength of 1550nm for the polymer thin film prepared in the above Example, the optical progress loss is a method of combining the slab waveguide using the refractive index matching solution Measured using.

[실시예 2~10 ] 중합체 제조(표 1 참조) Examples 2-10 Polymer Preparation (see Table 1)

실시예2~10는 표 1에 기재된 상기 합성한 단량체 제조예 2~9의 종류, 단량체 몰%, 개시제의 몰 당량만 달리 하였고, 중합 방법은 실시예 1과 동일한 조건으로 진행하였으며, 동일한 방법으로 코팅조성물을 제조하고 코팅하여 물성을 측정하였다.Examples 2 to 10 differed only in the type, monomer mole%, and molar equivalents of the monomers prepared in Synthesis Examples 2 to 9 shown in Table 1, and the polymerization method was performed under the same conditions as in Example 1, and in the same manner. The coating composition was prepared and coated to measure physical properties.

[비교예 1~2 ] 중합체 제조(표 1 참조) Comparative Examples 1 and 2 Preparation of Polymer (see Table 1)

하기 비교예 1 및 2의 중합체를 이용하여 상기 제조된 중합체 1.0g을 옥타플로오루톨루엔 0.42g, 광개시제 I184C(CIBA GEIGY, Irgacure 184) 0.015g, TPO(CIBA GEIGY, Irgacure TPO) 0.005g을 혼합한 다음 용액을 0.2㎛ 테프론 필터로 여과하여 광도파로 소자의 코아 및 클래딩 층으로 사용되는 코팅 용액을 제조한다. 1.0 g of the polymer prepared above using the polymers of Comparative Examples 1 and 2 were mixed with 0.42 g of octafluoro rutoluene, 0.015 g of photoinitiator I184C (CIBA GEIGY, Irgacure 184), and 0.005 g of TPO (CIBA GEIGY, Irgacure TPO). The solution was then filtered through a 0.2 μm Teflon filter to prepare a coating solution for use as the core and cladding layer of the optical waveguide device.

제조된 코팅액은 실리콘 웨이퍼 기판 상에서 3500rpm의 속도로 스핀 코팅한 후, 질소 대기 하의 수은 램프를 이용하여 광도가 14mW/cm2의 자외선으로 5 분간 경화시킨 후 열판 (Hot plate) 상에서 200℃에서 0.5시간 동안 열 경화하여 고분자 박막을 만들었으며 그 결과를 실시예 1의 방법으로 측정하여 표 2에 수록하였다. The coating solution was spin-coated at a speed of 3500 rpm on a silicon wafer substrate, and then cured for 5 minutes in an ultraviolet light of 14 mW / cm 2 using a mercury lamp under a nitrogen atmosphere, and then 0.5 hours at 200 ° C. on a hot plate. The polymer film was thermally cured to produce a polymer thin film, and the results thereof were measured by the method of Example 1 and listed in Table 2.

Figure pat00019
Figure pat00019

Figure pat00020
Figure pat00020

Figure pat00021
Figure pat00021

상기 표 2에서 보듯이 중합체 1~6은 단량체의 구조에 의해 다양한 굴절률 결과가 나왔다. 중합체 7~10은 3가지 이상의 단량체와 단량체의 몰%에 따라 다양한 굴절률 결과가 나왔고, 3가지 이상 단량체를 사용함으로써 중합체의 굴절률뿐만 아니라 중합체의 물성조정도 가능하다. 또한 중합체 1~10 는 복굴절률이 비교 1, 2에 비하여 10 ~ 100배 정도 낮아 광소자의 편광 의존성을 10 ~ 100배 낮출 수 있다. 또한 열광학 계수 (T/O coef.)가 1.5 ~ 3배 높아서 열광학 소자의 구동 전력을 2 ~ 3배 낮출 수 있다. 복굴절률, 광손실, 높은 T/O coef. 의 결과가 나왔다.As shown in Table 2, polymers 1 to 6 showed various refractive index results depending on the structure of the monomers. Polymers 7 to 10 showed various refractive index results according to three or more monomers and the mole% of the monomers, and by using three or more monomers, not only the refractive index of the polymer but also the physical properties of the polymer can be adjusted. In addition, the polymers 1 to 10 may have a birefringence of about 10 to 100 times lower than that of Comparative 1 and 2, thereby lowering the polarization dependence of the optical device by 10 to 100 times. In addition, the thermo-optic coefficient (T / O coef.) Is 1.5 to 3 times higher, which reduces the driving power of the thermo-optic device by 2 to 3 times. Birefringence, light loss, high T / O coef. The results came out.

비교 1, 2는 퍼플루오로스티렌이 말단에 도입된 고분자로 광도파로형 광소자 제작에 사용되고 있는 물질로 우수한 특성을 나타내는 물질이다. 본 발명에서 제조된 중합체 1~10과 비교1,2 고분자의 복굴절률, 광손실, T/O coef.의 결과를 비교해 보면 중합체 1~10은 비교예1 및 2에 비하여 매우 우수한 특성을 나타냈다.Comparative 1 and 2 are polymers in which perfluorostyrene is introduced at the end and are used for fabricating an optical waveguide type optical device, and have excellent properties. Comparing the results of the birefringence, the light loss, and the T / O coef. Of the polymers 1 to 10 and the polymers 1 to 2 prepared in the present invention, the polymers 1 to 10 showed very excellent characteristics compared to the comparative examples 1 and 2.

이 결과에 나타나듯이 본 발명에 의한 중합체 제조함으로써 단량체의 구조와 몰%에 의해 미세한 굴절률 및 물성의 조정이 가능하고, 기존 광도파로형 고분자의 비해 낮은 복굴절률 및 광손실, 높은 T/O coef. 나타나므로 우수한 광소자를 제작할 수 있다. As shown in the results, the polymer according to the present invention can be used to finely adjust the refractive index and physical properties of the monomer by the structure and mole%, and the low birefringence and light loss, high T / O coef compared to the conventional optical waveguide polymer. As a result, an excellent optical device can be manufactured.

[실시예 11~13 ] [Examples 11-13]

본 발명에서 제조된 중합체을 광소자에 적용함에 있어 좀 더 용이한 고분자 박막 제작에 필요한 고분자 물성조절을 위해 (화학식 9)의 화합물을 첨가함으로써 우수한 고분자 박막제작이 가능하다. 즉, (표3)에 기재된 중합체와 (화학식 9)의 다관능기를 가진 화합물을 혼합하여 점도조절, 경화밀도조절, 박막 적층성, 기판과의 접착성 보완 등의 여러 물성의 조절이 가능하다In applying the polymer prepared in the present invention to an optical device, an excellent polymer thin film can be manufactured by adding a compound of Formula 9 to control polymer properties required for easier polymer thin film production. That is, by mixing the polymer described in (Table 3) and the compound having a polyfunctional group of (Formula 9), it is possible to control various physical properties such as viscosity control, curing density control, thin film lamination, complementary adhesion to the substrate

혼합체 1~3은 표3에 명기된 함량의 중합체, 단량체, 광개시제, 용매(옥타플루오르톨루엔)를 혼합한 다음 용액을 0.2㎛ 테프론 필터로 여과하였다.Mixtures 1 to 3 were mixed with polymers, monomers, photoinitiators, and solvents (octafluorotoluene) in the contents specified in Table 3, and then the solution was filtered through a 0.2 μm Teflon filter.

제조된 코팅액은 실리콘 웨이퍼 기판 상에서 1500rpm의 속도로 스핀 코팅한 후, 질소 대기 하의 수은 램프를 이용하여 광도가 14mW/cm2의 자외선으로 5 분간 경화시킨 후 열판 (Hot plate) 상에서 200℃에서 0.5시간 동안 열 경화하여 고분자 박막을 만든다. The coating solution was spin-coated at a speed of 1500 rpm on a silicon wafer substrate, and then cured for 5 minutes in an ultraviolet light of 14 mW / cm 2 using a mercury lamp under nitrogen atmosphere, and then 0.5 hours at 200 ° C. on a hot plate. Thermally cured to form a polymer thin film.

Figure pat00022

Figure pat00022

상기 표 3에서 보듯이 혼합물 1,2에서 화합물 9(1), 화합물 9(2)의 혼합으로 중합체 7이 가지는 물성보다 낮은 굴절률, 광손실, 높은 T/O coef. 결과가 나왔고, 경화밀도가 증가하여 박막형성이 우수하였다. 혼합물 3은 광손실도 낮지만 , 광소자 제조과정 중 중요한 물성인 기판 접착력이 증가하였고, 경화밀도 증가로 인해 광도파로의 미세 패턴 형성 유리하였다. As shown in Table 3, a mixture of Compound 9 (1) and Compound 9 (2) in the mixture 1, 2 has a lower refractive index, light loss, and higher T / O coef than the properties of Polymer 7. The results were obtained, and the curing density was increased, and the thin film formation was excellent. Although the mixture 3 had low light loss, the adhesion of the substrate, which is an important property of the optical device manufacturing process, was increased, and the formation of fine patterns in the optical waveguide was advantageous due to the increase of the curing density.

본 발명에 의해 제조된 중합체는 단량체의 구조 및 함량의 따라 다양한 물성을 가지고, 광소자용 고분자의 중요한 물성인 굴절률 조절과 낮은 복굴절률, 광손실, 높은 T/O coef. 가진다. 또한 이러한 중합체에 다관능기 화합물과 혼합함으로써 고분자의 물성을 좀 더 미세하게 조절할 수 있다. The polymer prepared by the present invention has various physical properties depending on the structure and content of the monomer, and the refractive index control, low birefringence, light loss, and high T / O coef. Have In addition, the physical properties of the polymer can be finely adjusted by mixing the polymer with a multifunctional compound.

Claims (16)

하기 구조를 가지는 중합체.
Figure pat00023

R1은 수소, 할로겐 원소, 메틸, 트리플루오르메틸기 나타내고,
R2는 -CO-, ,
Figure pat00025
를 나타내고, 여기서 Ha는 H, 또는 같거나 서로 다른 할로겐 원소이며, Z1 , Z3는 없거나, -O- 또는 -S- 이고, R3는 불소로 전부 또는 일부가 치환된 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이다. Z2 는 NH-, -S-, -O-, -CH2CH(OH)-CH2- 이고, R4는 열경화, 자외선 경화가 가능한 치환기이며, 바이닐기, 알릴기, (메타)아크릴기, 스틸렌기 아세틸렌기, 알케닐기, 알킨기 또는 이들 중 어느 하나 이상이 포함할 수 있고, 이 중 전부 또는 일부가 불소로 치환된 것일 수 있고, R5는 선형 또는 분지형 알킬기, 환상 알킬기, 방향족환기 또는 그들의 복합 치환기이며, 산소(옥소기), 카르보닐기를 포함 할 수 있고, 이 중 전부 또는 일부가 불소로 치환된 것일 수 있다. 상기 a, b는 공중합체의 몰분율을 나타내며, a+b 는 1이다.


A polymer having the following structure.
Figure pat00023

R 1 represents hydrogen, a halogen element, methyl, trifluoromethyl group,
R 2 is -CO-, ,
Figure pat00025
Wherein Ha is H, or the same or different halogen, Z 1 , Z 3 is absent, -O- or -S-, and R 3 is an aliphatic alkyl group, alkylene oxide, all or part of which is substituted with fluorine An alkyl group containing a group or an aromatic group. Z 2 is NH-, —S—, —O—, —CH 2 CH (OH) —CH 2 —, R 4 is a substituent capable of thermosetting and ultraviolet curing, and a vinyl group, an allyl group, a (meth) acryl group, and styrene Group acetylene group, alkenyl group, alkyne group or any one or more thereof may be included, all or part of them may be substituted with fluorine, R 5 is a linear or branched alkyl group, a cyclic alkyl group, an aromatic ring group or These are complex substituents, and may include oxygen (oxo group), carbonyl group, and all or part of them may be substituted with fluorine. A and b represent the mole fraction of the copolymer, and a + b is 1.


제 1항에 있어서,
상기 a는 0.01~0.3이고, b는 0.7~0.99인 중합체.
The method of claim 1,
A is 0.01 to 0.3, and b is 0.7 to 0.99.
제 1항에 있어서,
상기 중합체가 하기 구조를 가지는 중합체.
Figure pat00026

상기 k, l, m, n는 공중합체의 몰분율로서, k 또는 m는 0.01 이상이며, k+m 은 0.01~0.3의 몰분율을 가지며, k+l+m+n의 합은 1이다.
The method of claim 1,
The polymer has the following structure.
Figure pat00026

The k, l, m, n is a mole fraction of the copolymer, k or m is 0.01 or more, k + m has a mole fraction of 0.01 ~ 0.3, the sum of k + l + m + n is 1.
제 1항에 있어서,
상기 R3 및 R5가 하기 구조를 가지는 중합체.
Figure pat00027

Figure pat00028

(상기 구조식에서 Ha는 H, 또는 같거나 서로 다른 할로겐 원소이고, m ~ v는 0~100까지의 자연수를 이다)
The method of claim 1,
R3 and R5 have the following structure.
Figure pat00027

Figure pat00028

(In the above structure, Ha is H, or the same or different halogen element, m ~ v is a natural number from 0 to 100)
제 1항 내지 제 4항의 중합체와 하기 화학식 6 또는 화학식 7에서 선택되는 어느 하나 이상의 화합물을 포함하는 광경화형 조성물.
(화학식 6)
Figure pat00029


(화학식 7)
Figure pat00030



상기에서 R1은 수소, 할로겐 원소, 메틸, 트리플루오르메틸기 나타내고,
R2는 -CO-,
Figure pat00031
,
Figure pat00032
를 나타내고, 여기서 Ha는 H, 또는 할로겐 원소이며, Z1 , Z3는 없거나, -O- 또는 -S- 이고, R3는 불소로 전부 또는 일부가 치환된 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이며, 상기 R6, R7는 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이고, n 은 2~4의 자연수를 가진다.
A photocurable composition comprising the polymer of claim 1 and at least one compound selected from formula (6) or formula (7).
(Formula 6)
Figure pat00029


(Formula 7)
Figure pat00030



In the above, R 1 represents hydrogen, a halogen element, methyl, trifluoromethyl group,
R 2 is -CO-,
Figure pat00031
,
Figure pat00032
Wherein Ha is H, or a halogen element, Z 1 , Z 3 is absent, or -O- or -S-, and R 3 is an aliphatic alkyl group, alkylene oxide group or aromatic group in which all or part is substituted with fluorine; It is an alkyl group contained, and R6, R7 is an alkyl group containing an aliphatic alkyl group, an alkylene oxide group or an aromatic group, n has a natural number of 2 to 4.
제 5항에 있어서,
상기 화합물이 하기에서 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 광경화성 조성물.
Figure pat00033
6. The method of claim 5,
Photocurable composition, characterized in that the compound is any one or more selected from the following.
Figure pat00033
제1항 내지 제 4항에서 선택되는 어느 하나의 중합체와 광개시제 및 용매를 포함하는 광경화성 고분자 코팅 조성물.A photocurable polymer coating composition comprising any one of the polymers selected from claims 1 to 4, a photoinitiator and a solvent. 제5항의 조성물을 포함하는 광경화성 코팅 조성물.A photocurable coating composition comprising the composition of claim 5. 평면 기판상에 형성된 하부 클래딩층과, 상기한 하부 클래딩층 상에 형성된 코어층과, 상기한 코어층 상에 형성된 상부 클래딩층을 포함하는 광도파로형 광소자에 있어서, 상기한 코어층 또는 클래딩층이 상기 제 1항 내지 4항에서 선택되는 어느 하나의 중합체를 포함하는 광도파로 소자. In the optical waveguide type optical device including a lower cladding layer formed on a flat substrate, a core layer formed on the lower cladding layer, and an upper cladding layer formed on the core layer, the core layer or cladding layer described above. The optical waveguide device comprising any one of the polymers selected from the above 1 to 4. 평면 기판상에 형성된 하부 클래딩층과, 상기한 하부 클래딩층 상에 형성된 코어층과, 상기한 코어층 상에 형성된 상부 클래딩층을 포함하는 광도파로형 광소자에 있어서, 상기한 코어층 또는 클래딩층이 상기 제 5항에서 선택되는 어느 한 코팅 조성물을을 포함하여 제조되는 광도파로형 광소자.In the optical waveguide type optical device including a lower cladding layer formed on a flat substrate, a core layer formed on the lower cladding layer, and an upper cladding layer formed on the core layer, the core layer or cladding layer described above. An optical waveguide type optical device manufactured by including any one of the coating compositions selected from the above. 하기 구조를 가지는 중합체.
Figure pat00034

화학식 1에서는 R1은 수소, 할로겐, 메틸, 트리플루오르메틸기 나타내고,
Ha는 H, 또는 같거나 서로 다른 할로겐 원소이며, R3는 불소로 전부 또는 일부가 치환된 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이며, R5는 선형 또는 분지형 알킬기, 환상 알킬기, 방향족환기 또는 그들의 복합 치환기이며, 산소(옥소기), 카르보닐기를 포함 할 수 있고, 이 중 전부 또는 일부가 불소로 치환된 것일 수 있고, 상기 k, l, m, n는 공중합체의 몰분율로서, k 또는 m는 0.01 이상이며, k+m 은 0.01~0.3의 몰분율을 가지며, k+l+m+n의 합은 1이다.
A polymer having the following structure.
Figure pat00034

In formula (1), R 1 represents a hydrogen, halogen, methyl, trifluoromethyl group,
Ha is H or the same or different halogen, R 3 is an alkyl group containing an aliphatic alkyl group, an alkylene oxide group or an aromatic group, all or part of which is substituted with fluorine, and R 5 is a linear or branched alkyl group, a cyclic alkyl group , An aromatic ring group or a complex substituent thereof, and may include an oxygen (oxo group) and a carbonyl group, all or part of which may be substituted with fluorine, and k, l, m, and n are mole fractions of the copolymer. , k or m is 0.01 or more, k + m has a mole fraction of 0.01 ~ 0.3, the sum of k + l + m + n is 1.
하기 화학식 3의 단량체.
(화학식 3)
Figure pat00035

R1은 수소, 할로겐 원소, 메틸, 트리플루오르메틸기 나타내고,
R2는 -CO-,
Figure pat00036
,
Figure pat00037
를 나타내고, 여기서 Ha는 H, 또는 같거나 서로 다른 할로겐 원소이며, Z1은 없거나, -O- 또는 -S- 이고, 상기 Z4는 -NH2, -SH, -OH,
Figure pat00038
또는 할로겐기 이며 R3는 불소로 전부 또는 일부가 치환된 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이다.
Monomer of the formula (3).
(Formula 3)
Figure pat00035

R 1 represents hydrogen, a halogen element, methyl, trifluoromethyl group,
R 2 is -CO-,
Figure pat00036
,
Figure pat00037
Wherein Ha is H, or a same or different halogen element, Z 1 is absent, -O- or -S-, and Z4 is -NH2, -SH, -OH,
Figure pat00038
Or a halogen group and R 3 is an alkyl group containing an aliphatic alkyl group, an alkylene oxide group, or an aromatic group, all or part of which is substituted with fluorine.
제 12항에 있어서,
상기 R3가 하기 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 단량체
Figure pat00039
The method of claim 12,
Monomer characterized in that the R3 has the following structure
Figure pat00039
하기 화학식의 단량체
Figure pat00040

R1, R2, R3, R5 및 Z1, Z3는 상기 제 1항과 같다.
R1은 수소, 할로겐 원소, 메틸, 트리플루오르메틸기 나타내고,
R2는 -CO-,
Figure pat00041
,
Figure pat00042
를 나타내고, 여기서 Ha는 H, 또는 같거나 서로 다른 할로겐 원소이며, Z1은 없거나, -O- 또는 -S- 이고, R3는 불소로 전부 또는 일부가 치환된 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이며, 상기 R5는 선형 또는 분지형 알킬기, 환상 알킬기, 방향족환기 또는 그들의 복합 치환기이며, 산소(옥소기), 카르보닐기를 포함 할 수 있고, 이 중 전부 또는 일부가 불소로 치환된 것일 수 있다.
Monomer of Formula
Figure pat00040

R1, R2, R3, R5 and Z1, Z3 are the same as in claim 1 above.
R 1 represents hydrogen, a halogen element, methyl, trifluoromethyl group,
R 2 is -CO-,
Figure pat00041
,
Figure pat00042
Wherein Ha is H, or the same or different halogen, Z 1 is absent, -O- or -S-, and R 3 is an aliphatic alkyl group, an alkylene oxide group substituted with all or part of fluorine, or Is an alkyl group containing an aromatic group, and R5 is a linear or branched alkyl group, a cyclic alkyl group, an aromatic ring group or a complex substituent thereof, and may include oxygen (oxo group) and carbonyl group, all or part of which is substituted with fluorine It may be.
하기 화학식의 단량체.
Figure pat00043

n는 2~4의 자연수를 가지고, R1, R2, R3, Z1, Z3, Ha는 상기 제 1항과 같다.

상기에서 R1은 수소, 할로겐 원소, 메틸, 트리플루오르메틸기 나타내고, R2는 -CO-, , 를 나타내고, 여기서 Ha는 H, 또는 할로겐 원소이며, Z1 , Z3는 없거나, -O- 또는 -S- 이고, R3는 불소로 전부 또는 일부가 치환된 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이며, n 은 2~4의 자연수를 가진다.
Monomers of the formula
Figure pat00043

n has a natural number of 2-4, and R <1>, R <2>, R <3>, Z <1>, Z <3> and Ha are the same as said 1st term.

In the above, R 1 represents hydrogen, a halogen element, methyl, trifluoromethyl group, R 2 represents -CO-,, wherein Ha is H, or a halogen element, Z 1 , Z 3 is absent, -O- or- S-, R 3 is an alkyl group containing an aliphatic alkyl group, an alkylene oxide group or an aromatic group all or part of which is substituted with fluorine, n has a natural number of 2 to 4.
하기 화학식의 다관능기 화합물.
Figure pat00044

상기 R6, R7는 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이고, R1, R2, Z1, Z3는 제 1항과 같다.
상기에서 R1은 수소, 할로겐 원소, 메틸, 트리플루오르메틸기 나타내고,
R2는 -CO-,
Figure pat00045
,
Figure pat00046
를 나타내고, 여기서 Ha는 H, 또는 할로겐 원소이며, Z1 , Z3는 없거나, -O- 또는 -S- 이고, R6, R7는 지방족 알킬기, 알킬렌 옥사이드기 또는 방향족기가 함유된 알킬기이다.
Polyfunctional compound of the following formula.
Figure pat00044

R6 and R7 are aliphatic alkyl groups, alkylene oxide groups or alkyl groups containing aromatic groups, and R1, R2, Z1, and Z3 are the same as those of claim 1.
In the above, R 1 represents hydrogen, a halogen element, methyl, trifluoromethyl group,
R 2 is -CO-,
Figure pat00045
,
Figure pat00046
Wherein Ha is H or a halogen element, Z 1 and Z 3 are absent, -O- or -S-, and R 6 and R 7 are an alkyl group containing an aliphatic alkyl group, an alkylene oxide group or an aromatic group.
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