KR20120025737A - Apparatus for sucking leakage liquid crystal on liquid crystal dispenser - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A device for sucking leaked liquid crystals of a liquid crystal dispenser is provided to suck and eliminate leaked liquid crystals collected on the lower side of a cylinder assembly, thereby preventing the leaked liquid crystals from falling onto the bottom of the cylinder assembly. CONSTITUTION: A cylinder assembly comprises the following units. A cylinder block(510) comprises an insertion groove. A piston is inserted into a pumping hole(521). A liquid crystal sucking path(522) and a liquid crystal discharging path(523) are connected to the pumping hole respectively. A cylinder(520) is inserted into the insertion hole of the cylinder block. The piston passes through a hole(531). A support block is inserted into the insertion groove of the cylinder block. The support block supports the top of the cylinder.

Description

액정 디스펜서 누설액정 흡입장치 {APPARATUS FOR SUCKING LEAKAGE LIQUID CRYSTAL ON LIQUID CRYSTAL DISPENSER}Liquid crystal dispenser leak liquid crystal suction device {APPARATUS FOR SUCKING LEAKAGE LIQUID CRYSTAL ON LIQUID CRYSTAL DISPENSER}

본 발명은 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal dispenser leakage liquid crystal suction device.

액정 디스펜서는 기판위에 액정을 적하시킨다. The liquid crystal dispenser drops the liquid crystal on the substrate.

도 1은 상기 액정 디스펜서의 헤드 유닛의 일예를 도시한 측면도이다. 도 2는 상기 액정 디스펜서의 헤드 유닛의 일예를 도시한 정면도이다.1 is a side view illustrating an example of a head unit of the liquid crystal dispenser. 2 is a front view illustrating an example of a head unit of the liquid crystal dispenser.

도 1, 2에 도시한 바와 같이, 상기 액정 디스펜서의 헤드 유닛(H)은 헤드 지지대(100)에 장착되어 X축 방향으로 움직이게 된다. 상기 헤드 지지대(100)는 프레임(미도시)에 장착되어 Y축 방향으로 움직이게 된다. 상기 헤드 지지대(100)에 복수 개의 헤드 유닛(H)들이 구비될 수 있다.As shown in FIGS. 1 and 2, the head unit H of the liquid crystal dispenser is mounted on the head support 100 to move in the X-axis direction. The head support 100 is mounted on a frame (not shown) to move in the Y-axis direction. A plurality of head units H may be provided in the head support 100.

상기 헤드 유닛(H)은 상기 헤드 지지대(100)에 움직임 가능하게 연결되는 지지 조립체(200)와, 상기 지지 조립체(200)에 움직임 가능하게 장착되는 회전 구동유닛(300)과, 상기 회전 구동유닛(300)을 직선 왕복 운동시키는 직선 구동유닛(400)과, 상기 지지 조립체(200)의 하면에 착탈 가능하게 결합되는 실린더 조립체(500)와, 상기 실린더 조립체(500)에 삽입됨과 아울러 상기 회전 구동유닛(200)에 착탈 가능하게 결합되는 피스톤(P)과, 상기 실린더 조립체(500)의 내부로 액정을 공급하는 액정 공급유닛(600)과, 상기 실린더 조립체(500)에 장착되는 노즐 유닛(700)을 포함한다.The head unit (H) is a support assembly 200 movably connected to the head support 100, a rotation drive unit 300 movably mounted to the support assembly 200, and the rotation drive unit A linear drive unit 400 for linearly reciprocating the 300, a cylinder assembly 500 detachably coupled to a bottom surface of the support assembly 200, and a rotation drive inserted into the cylinder assembly 500. A piston P detachably coupled to the unit 200, a liquid crystal supply unit 600 for supplying liquid crystal into the cylinder assembly 500, and a nozzle unit 700 mounted to the cylinder assembly 500. ).

상기 실린더 조립체(500)는, 도 3, 4에 도시한 바와 같이, 삽입홈(511)이 구비된 실린더 블록(510); 상기 피스톤(P)이 삽입되는 펌핑 홀(521)과, 그 펌핑 홀(521)과 각각 연통된 액정 흡입통로(522) 및 액정 토출통로(523)가 구비되며, 상기 실린더 블록(510)의 삽입홈(511)에 삽입되는 실린더(520); 상기 피스톤(P)이 관통하는 구멍(531)이 구비되며, 상기 실린더 블록의 삽입홈(521)에 삽입되어 상기 실린더(520)의 상부를 지지하는 지지 블록(530); 상기 실린더 블록(510)과 지지 블록(530)을 체결시키는 체결 유닛(540)을 포함한다. The cylinder assembly 500, as shown in Figures 3 and 4, the cylinder block 510 having an insertion groove 511; A pumping hole 521 into which the piston P is inserted, a liquid crystal suction passage 522 and a liquid crystal discharge passage 523 respectively connected to the pumping hole 521 are provided, and the cylinder block 510 is inserted. A cylinder 520 inserted into the groove 511; A support block 530 having a hole 531 through which the piston P penetrates and is inserted into an insertion groove 521 of the cylinder block to support an upper portion of the cylinder 520; It includes a fastening unit 540 for fastening the cylinder block 510 and the support block 530.

상기 실린더 블록(510)의 후면에 두 개의 착탈 홈(512)들이 구비된다. 상기 착탈 홈(512)은 실린더 블록(510)의 상면에서 하면을 직선으로 관통하며 일측이 개구된 형태이다. 그 두 개의 착탈 홈(512)들은 서로 평행하다. 상기 실린더 조립체(500)는 상기 착탈 홈(512)들에 의해 헤드 유닛(H)의 지지 조립체(200)에 착탈된다.Two removable grooves 512 are provided on the rear surface of the cylinder block 510. The detachable groove 512 penetrates a lower surface of the cylinder block 510 in a straight line and has one side open. The two removable grooves 512 are parallel to each other. The cylinder assembly 500 is attached to and detached from the support assembly 200 of the head unit H by the detachable grooves 512.

상기 실린더(520)의 하면에 펌핑 홀(521)을 복개하는 덮개 부재(550)가 부착된다. A cover member 550 covering the pumping hole 521 is attached to the lower surface of the cylinder 520.

상기 피스톤(P)의 한쪽은 상기 지지 블록(530)의 구멍(531)을 관통하여 상기 실린더(520)의 펌핑 홀(521)에 삽입된다. 상기 펌핑 홀(521)에 삽입된 피스톤(P)의 한쪽 끝에 절단부(10)가 구비된다.One side of the piston P is inserted into the pumping hole 521 of the cylinder 520 through the hole 531 of the support block 530. The cutting part 10 is provided at one end of the piston P inserted into the pumping hole 521.

상기 실린더(520)의 상면에 실링 홈(524)이 구비되고 상기 실링 홈(524)에 상기 피스톤(P)과 접촉되는 실링 부재(20)들이 구비된다. 상기 실링 부재(20)들은 피스톤(P)의 움직임시 펌핑 홀(521)의 상부로 액정이 누설되는 것을 방지한다.A sealing groove 524 is provided on the upper surface of the cylinder 520, and the sealing member 20 is provided in the sealing groove 524 in contact with the piston P. The sealing members 20 prevent liquid crystal from leaking to the upper portion of the pumping hole 521 when the piston P moves.

상기 액정 흡입통로(522)에 상기 액정 공급유닛(600)이 연결된다.The liquid crystal supply unit 600 is connected to the liquid crystal suction passage 522.

상기 액정 토출통로(523)에 상기 노즐 유닛(700)이 연결된다. The nozzle unit 700 is connected to the liquid crystal discharge passage 523.

상기 액정 디스펜서의 헤드 유닛의 작동은 다음과 같다.Operation of the head unit of the liquid crystal dispenser is as follows.

상기 헤드 유닛(H)들은 설정된 데이터에 따라 움직인다. 상기 헤드 유닛(H)들이 움직이는 동안 상기 노즐 유닛(700)에 구비된 노즐(710)을 통해 액정 디스펜서의 스테이지(미도시)에 놓인 기판에 액정을 적하시킨다. 상기 기판은 다수 개의 단위 패널 영역들로 구획되어 있으며, 상기 단위 패널 영역들에 각각 설정된 양의 액정을 상기 노즐(710)을 통해 다수 개의 액정 방울들로 나누어 떨어뜨리게 된다. 상기 단위 패널 영역에 떨어진 액정 방울들의 각 양은 서로 같거나 기준 범위 내에 있다.The head units H move according to the set data. While the head units H move, the liquid crystal is dropped onto the substrate placed on the stage (not shown) of the liquid crystal dispenser through the nozzle 710 provided in the nozzle unit 700. The substrate is divided into a plurality of unit panel regions, and the amount of liquid crystal set in each of the unit panel regions is divided into a plurality of liquid crystal drops through the nozzle 710. Each amount of the liquid crystal drops dropped in the unit panel region is equal to or within a reference range.

상기 헤드 유닛(H)에서는 다음과 같이 액정을 적하시킨다.In the head unit H, the liquid crystal is dropped as follows.

상기 피스톤(P)의 절단부(10)가 실린더(520)의 액정 흡입통로(522)와 대면되도록 상기 회전 구동유닛(300)이 상기 피스톤(P)을 회전시킨다. 상기 피스톤(P)의 절단부(10)가 액정 흡입통로(522)와 대면된 상태에서 상기 직선 구동유닛(400)이 상기 회전 구동유닛(300)을 위로 설정된 거리만큼 이동시킨다. 상기 회전 구동유닛(300)이 위로 이동함에 따라 피스톤(P)이 위로 움직이게 된다. 상기 피스톤(P)이 위로 움직임에 따라 실린더(520)의 펌핑 홀(521)의 내주면과 덮개 부재(550)의 상면 그리고 피스톤(P)의 단면에 의해 형성되는 액정 흡입공간의 체적이 커지면서 액정 공급유닛(600)의 액정이 액정 흡입공간으로 유입된다. 상기 피스톤(P)의 절단부(10)가 실린더(520)의 액정 토출유로(523)와 대면되도록 상기 회전 구동유닛(300)이 피스톤(P)을 회전시킨다. 상기 직선 구동유닛(400)이 상기 회전 구동유닛(300)과 피스톤(P)을 설정된 거리만큼씩 연속적으로 아래로 움직이면서 액정 흡입공간에 채워진 액정을 조금씩 연속적으로 액정 토출유로(523)와 노즐 유닛(700)을 통해 토출시킨다.The rotary drive unit 300 rotates the piston P so that the cutout portion 10 of the piston P faces the liquid crystal suction passage 522 of the cylinder 520. The linear driving unit 400 moves the rotation driving unit 300 by a distance set upward in a state in which the cutting portion 10 of the piston P faces the liquid crystal suction passage 522. As the rotary drive unit 300 moves upward, the piston P moves upward. As the piston P moves upward, the volume of the liquid crystal suction space formed by the inner circumferential surface of the pumping hole 521 of the cylinder 520, the upper surface of the lid member 550, and the cross section of the piston P increases, thereby supplying liquid crystal. The liquid crystal of the unit 600 flows into the liquid crystal suction space. The rotary drive unit 300 rotates the piston P such that the cutout portion 10 of the piston P faces the liquid crystal discharge passage 523 of the cylinder 520. The linear drive unit 400 continuously moves the rotary drive unit 300 and the piston P down by a predetermined distance for a predetermined distance, and continuously discharges the liquid crystal filled in the liquid crystal suction space little by little to the liquid crystal discharge passage 523 and the nozzle unit ( Through 700).

그러나 상기한 바와 같은 헤드 유닛(H)의 실린더 조립체(500)는 상기 피스톤(P)과 마찰 접촉되는 실링 부재(20)들에서 발생되는 파티클로 인하여 실린더(520)의 펌핑 홀(521)에 유입된 액정을 오염시키게 된다. 기존의 기판에서는 실링 부재(20)에서 발생되는 파티클로 오염된 액정 방울들을 떨어뜨린 경우 기판의 성능에 문제가 발생되지 않았으나, 순도가 높은 액정 방울을 떨어뜨려야 하는 기판의 경우 액정의 순도를 유지하기 위하여 실링 부재(20)를 제거하게 된다. 상기 실링 부재(20)를 제거할 경우 상기 실린더(520)의 펌핑 홀(521)에 유입된 액정이 실린더 펌핑 홀(521)의 상부로 누설될 수 있다. 상기 실린더 펌핑 홀(521)에서 액정이 누설될 경우 누설된 액정이 실린더(520)와 지지 블록(530) 사이로 흘러들어 가거나 또는 지지 블록(530)의 구멍(531)으로 흘러나오게 된다. 이와 같이, 실린더(520)와 지지 블록(530) 사이로 흘러들어가거나 또는 지지 블록(530)의 구멍(531)으로 흘러나오는 액정은 실린더 조립체(500)를 타고 흘러 실린더 조립체(500)의 아래로 떨어지게 된다.However, the cylinder assembly 500 of the head unit H as described above flows into the pumping hole 521 of the cylinder 520 due to the particles generated in the sealing members 20 in frictional contact with the piston P. The liquid crystal is contaminated. In the conventional substrate, when the liquid crystal droplets contaminated with particles generated from the sealing member 20 are dropped, the performance of the substrate does not occur. In order to remove the sealing member 20. When the sealing member 20 is removed, the liquid crystal introduced into the pumping hole 521 of the cylinder 520 may leak to the upper portion of the cylinder pumping hole 521. When the liquid crystal leaks from the cylinder pumping hole 521, the leaked liquid crystal flows between the cylinder 520 and the support block 530 or flows out through the hole 531 of the support block 530. As such, liquid crystal flowing between the cylinder 520 and the support block 530 or out of the hole 531 of the support block 530 flows through the cylinder assembly 500 and falls below the cylinder assembly 500. do.

또한, 상기 실린더 조립체(500)를 장시간 사용할 경우 피스톤(P)과 그 피스톤(P)과 접촉되는 부품들, 즉 실링 부재(20)와 실린더의 펌핑 홀(521)의 내주면 사이에 마모가 발생되어 실린더의 펌핑 홀(521)에 유입된 액정이 펌핑 홀(521)의 상부로 누설된다. 이와 같이 누설되는 액정도 실린더 조립체(500)를 타고 흘러 실린더 조립체(500)의 아래로 떨어지게 된다.In addition, when the cylinder assembly 500 is used for a long time, wear occurs between the piston P and the parts contacting the piston P, that is, the sealing member 20 and the inner circumferential surface of the pumping hole 521 of the cylinder. Liquid crystal flowing into the pumping hole 521 of the cylinder leaks to the upper portion of the pumping hole 521. The liquid crystal leaked in this way also flows down the cylinder assembly 500 and falls below the cylinder assembly 500.

이와 같이 누설되는 액정은 실린더 조립체(500)의 아래로 떨어져 기판 또는 스테이지에 묻게 된다.The liquid crystal thus leaks down to the cylinder assembly 500 and is buried in the substrate or the stage.

본 발명의 목적은 실린더 조립체 내부에서 누설되는 액정이 실린더 조립체의 하면 및 노즐 유닛에 고여 떨어지는 것을 방지하는 것이다.It is an object of the present invention to prevent liquid crystal leaking inside the cylinder assembly from falling to the lower surface of the cylinder assembly and the nozzle unit.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 직선 왕복 구동력을 발생시키는 구동유닛; 및 상기 구동유닛의 직선 왕복 구동력에 따라 상하로 움직이며, 헤드 유닛의 하부에 고이는 누설 액정을 흡입하는 흡입 유닛을 포함하는 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the drive unit for generating a linear reciprocating drive force; And a suction unit which moves up and down according to the linear reciprocating driving force of the driving unit, and a suction unit that sucks leakage liquid crystal that accumulates in the lower portion of the head unit.

상기 흡입 유닛은 상기 구동 유닛에 결합되며, 내부 공간을 갖는 흡입 베이스부재; 상기 흡입 베이스부재에 결합되며, 상기 헤드 유닛의 하부에 흡착되는 흡착 패드; 누설 액정이 저장되는 누설액정 저장용기; 상기 흡입 베이스부재와 상기 누설액정 저장용기를 연결하는 연결 튜브; 및 상기 누설액정 저장용기에 연결되며, 상기 흡입 베이스부재 및 흡착 패드에 버큠이 공급되도록 상기 누설액정 저장용기에 버큠을 공급하는 튜브를 포함하는 것이 바람직하다.The suction unit is coupled to the drive unit, the suction base member having an internal space; A suction pad coupled to the suction base member and adsorbed to a lower portion of the head unit; A leakage liquid crystal storage container in which leakage liquid crystal is stored; A connection tube connecting the suction base member and the leakage liquid crystal storage container; And a tube connected to the leakage liquid crystal storage container and supplying the pressure to the leakage liquid crystal storage container so that the pressure is supplied to the suction base member and the suction pad.

상기 흡착 패드는 헤드 유닛의 하면 일부분을 감싸도록 형성된 것이 바람직하다.The suction pad is preferably formed to surround a portion of the lower surface of the head unit.

상기 흡착 패드는 헤드 유닛을 구성하는 노즐 유닛 및 헤드 유닛의 하면 일부분을 감싸도록 형성될 수 있다.The suction pad may be formed to surround a portion of the lower surface of the nozzle unit and the head unit constituting the head unit.

본 발명은 헤드 유닛을 구성하는 실린더 조립체 내부에서 액정이 누설되어 실린더 조립체의 하면에 고이게 될 경우 그 실린더 조립체 하면에 고인 누설 액정을 흡입하여 제거하게 되므로 누설되는 액정이 실린더 조립체 아래로 떨어지는 것을 방지하게 된다. 이로 인하여, 기판의 불량을 방지할 뿐만 아니라 스테이지를 깨끗하게 유지할 수 있게 된다.According to the present invention, when liquid crystal leaks inside the cylinder assembly constituting the head unit and accumulates on the lower surface of the cylinder assembly, the liquid crystal leaked into the lower surface of the cylinder assembly is sucked in and removed, thereby preventing the leaked liquid crystal from falling below the cylinder assembly. do. As a result, not only the defect of the substrate can be prevented, but also the stage can be kept clean.

도 1은 액정 디스펜서의 헤드 유닛의 일예를 도시한 측면도,
도 2는 상기 액정 디스펜서의 헤드 유닛의 일예를 도시한 정면도,
도 3은 상기 액정 디스펜서의 헤드 유닛을 구성하는 종래 실린더 조립체의 단면도,
도 4는 상기 액정 디스펜서의 헤드 유닛을 구성하는 실린더 조립체의 평면도,
도 5는 본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치의 일실시예 및 헤드 유닛을 도시한 측면도,
도 6은 상기 헤드 유닛을 구성하는 실린더 조립체의 하면을 도시한 평면도,
도 7은 본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치의 일실시예를 구성하는 흡착 패드의 다른 실시예를 도시한 정단면도,
도 8은 본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치의 일실시예를 구성하는 흡입 유닛의 다른 실시예를 도시한 부분 정단면도,
도 9는 본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치의 일실시예의 작동 상태를 도시한 측면도.1 is a side view showing an example of a head unit of a liquid crystal dispenser;
2 is a front view showing an example of a head unit of the liquid crystal dispenser;
3 is a cross-sectional view of a conventional cylinder assembly constituting the head unit of the liquid crystal dispenser;
4 is a plan view of a cylinder assembly constituting the head unit of the liquid crystal dispenser;
Figure 5 is a side view showing an embodiment of the liquid crystal dispenser leak liquid crystal suction apparatus and the head unit according to the present invention,
6 is a plan view showing a lower surface of the cylinder assembly constituting the head unit;
7 is a front sectional view showing another embodiment of a suction pad constituting an embodiment of a liquid crystal dispenser leak liquid crystal suction device according to the present invention;
8 is a partial front sectional view showing another embodiment of the suction unit constituting one embodiment of the liquid crystal dispenser leak liquid crystal suction device according to the present invention;
9 is a side view showing an operating state of an embodiment of a liquid crystal dispenser liquid crystal suction device according to the present invention.

이하, 본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치를 첨부도면을 참고하여 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the liquid crystal dispenser leakage liquid crystal suction device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치의 실시예 및 액정 디스펜서의 헤드 유닛을 도시한 측면도이다.5 is a side view showing an embodiment of a liquid crystal dispenser leak liquid crystal suction apparatus and a head unit of the liquid crystal dispenser according to the present invention.

도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치의 일실시예는 액정 디스펜서의 헤드 유닛(H)를 구성하는 실린더 조립체(500) 내부에서 누설되는 액정이 노즐 유닛을 포함하는 헤드 유닛(H)의 하부, 즉 실린더 조립체(500)의 하부 또는/그리고 노즐 유닛(700)에 고였을 때 그 고인 누설 액정을 흡입하도록 구성된다.As shown in FIG. 5, one embodiment of the liquid crystal dispenser leak liquid crystal suction device according to the present invention includes liquid crystal leaking inside the cylinder assembly 500 constituting the head unit H of the liquid crystal dispenser including a nozzle unit. It is configured to suck the leaked liquid crystal when accumulated in the lower portion of the head unit H, that is, the lower portion of the cylinder assembly 500 and / or the nozzle unit 700.

먼저, 상기 헤드 유닛(H)은 위에서 설명한 바와 같이, 실린더 조립체(500)와, 상기 실린더 조립체(500)에 움직임 가능하게 삽입되는 피스톤(P)과, 상기 실린더 조립체(500)에 결합된 노즐 유닛(700) 등을 포함한다.First, as described above, the head unit H includes a cylinder assembly 500, a piston P movably inserted into the cylinder assembly 500, and a nozzle unit coupled to the cylinder assembly 500. 700 and the like.

상기 실린더 조립체(500)는 삽입홈(511)이 구비된 실린더 블록(510); 상기 피스톤(P)이 삽입되는 펌핑 홀(521)과, 그 펌핑 홀(521)과 각각 연통된 액정 흡입통로(522) 및 액정 토출통로(523)가 구비되며, 상기 실린더 블록(510)의 삽입홈(511)에 삽입되는 실린더(520); 상기 피스톤(P)이 관통하는 구멍(531)이 구비되며, 상기 실린더 블록의 삽입홈(521)에 삽입되어 상기 실린더(520)의 상부를 지지하는 지지 블록(530); 상기 실린더 블록(510)과 지지 블록(530)을 체결시키는 체결 유닛(540)을 포함한다. (도 3, 4 참조)The cylinder assembly 500 includes a cylinder block 510 having an insertion groove 511; A pumping hole 521 into which the piston P is inserted, a liquid crystal suction passage 522 and a liquid crystal discharge passage 523 respectively connected to the pumping hole 521 are provided, and the cylinder block 510 is inserted. A cylinder 520 inserted into the groove 511; A support block 530 having a hole 531 through which the piston P penetrates and is inserted into an insertion groove 521 of the cylinder block to support an upper portion of the cylinder 520; It includes a fastening unit 540 for fastening the cylinder block 510 and the support block 530. (See Figures 3 and 4)

상기 실린더(520)의 하면에 펌핑 홀(521)을 복개하는 투명 재질의 덮개 부재(550)가 부착된다. A cover member 550 made of a transparent material covering the pumping hole 521 is attached to a lower surface of the cylinder 520.

상기 실린더 조립체(500)의 하면에는, 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 실린더(520)의 액정 토출통로(523)에 연통되도록 실린더(520)에 결합된 노즐 유닛(700)이 구멍(R1)을 관통하여 돌출되고, 상기 덮개 부재(550)가 위치하는 구멍(R2)이 구비되며, 상기 체결 유닛(540)들이 위치하는 두 개의 제2 구멍(R3)들이 구비된다.6, the nozzle unit 700 coupled to the cylinder 520 communicates with the liquid crystal discharge passage 523 of the cylinder 520 in the lower surface of the cylinder assembly 500, as shown in FIG. 6. A hole R2 protrudes through the hole, and the cover member 550 is located, and two second holes R3 are disposed in the fastening units 540.

본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치의 일실시예는 직선 왕복 구동력을 발생시키는 구동 유닛(800); 상기 구동 유닛(800)의 직선 왕복 구동력에 따라 상하로 움직이며, 헤드 유닛(H)의 하부에 고이는 누설 액정을 흡입하는 흡입 유닛(900)을 포함한다.One embodiment of the liquid crystal dispenser leakage liquid crystal suction device according to the present invention includes a drive unit for generating a linear reciprocating driving force; It includes a suction unit 900 that moves up and down in accordance with the linear reciprocating driving force of the drive unit 800, and sucks the leakage liquid crystal accumulated in the lower portion of the head unit (H).

상기 구동 유닛(800)과 흡입 유닛(900)은 테이블(T) 위에 착탈 가능하게 장착됨이 바람직하다.Preferably, the driving unit 800 and the suction unit 900 are detachably mounted on the table T.

상기 구동 유닛(800)은 몸체(810)와, 상기 몸체(810)에 장착되는 엑츄에이터(820)와, 상기 엑츄에이터(820)에 결합되는 엘엠 가이드(linear motion guide)(미도시)와, 상기 엘엠 가이드의 슬라이딩 블록에 결합됨과 아울러 상기 엑츄에이터(820)의 로드(821)에 결합되는 홀더(830)를 포함한다.The drive unit 800 includes a body 810, an actuator 820 mounted to the body 810, an linear motion guide (not shown) coupled to the actuator 820, and the L M. The holder 830 is coupled to the sliding block of the guide and coupled to the rod 821 of the actuator 820.

상기 몸체(810)는 상기 테이블(T) 위에 착탈 가능하게 결합된다.The body 810 is detachably coupled to the table (T).

상기 엑츄에이터(820)의 작동에 따라 엑츄에이터(820)의 로드(821)는 상하 방향으로 움직인다. 상기 로드(821)가 상하 방향으로 움직임에 따라 상기 홀더(830)가 상하로 움직인다. In accordance with the operation of the actuator 820, the rod 821 of the actuator 820 moves in the vertical direction. As the rod 821 moves in the vertical direction, the holder 830 moves up and down.

상기 흡입 유닛(900)은 상기 구동 유닛(800)의 홀더(830) 상면에 결합되는 흡입 베이스부재(910)와, 상기 흡입 베이스부재(910)에 결합되는 흡착 패드(920)와, 내부에 누설 액정을 저장하는 누설액정 저장용기(930)와, 상기 흡입 베이스부재(910)와 상기 누설액정 저장용기(930)를 연결하는 연결 튜브(940)와, 상기 누설액정 저장용기(930)에 연결되어 버큠을 공급하는 튜브(950)를 포함한다.The suction unit 900 includes a suction base member 910 coupled to an upper surface of the holder 830 of the driving unit 800, a suction pad 920 coupled to the suction base member 910, and a leakage therein. It is connected to the leakage liquid crystal storage container 930 for storing liquid crystal, the connection tube 940 for connecting the suction base member 910 and the leakage liquid crystal storage container 930, and the leakage liquid crystal storage container 930 It includes a tube 950 for supplying a bucket.

상기 흡입 베이스부재(910)는 한쪽이 막힌 원통 형태로 형성됨이 바람직하다. 상기 흡입 베이스부재(910)의 막힌 면이 상기 홀더(830)의 상면에 결합되며, 따라서 흡입 베이스부재(910)의 상부가 오픈된다. 상기 흡입 베이스부재(910)의 외주면에 상기 연결 튜브(940)가 결합되는 결합부(911)가 구비되며, 그 결합부(911)의 내부는 관통 구멍(미도시)이 형성된다.Preferably, the suction base member 910 is formed in a cylindrical shape in which one side is blocked. The blocked surface of the suction base member 910 is coupled to the upper surface of the holder 830, and thus the upper portion of the suction base member 910 is opened. A coupling part 911 to which the connection tube 940 is coupled is provided on an outer circumferential surface of the suction base member 910, and a through hole (not shown) is formed in the coupling part 911.

상기 흡착 패드(920)는 헤드 유닛(H)를 구성하는 실린더 조립체(500)의 하면에 돌출된 노즐 유닛(700) 및 실린더 조립체(500)의 하면 일부분을 감싸도록 형성된다. 상기 흡착 패드(920)는 노즐 유닛(700)만을 감쌀 수 있고, 또한 실린더 조립체(500)의 하면 일부분만 감쌀 수 있다.The suction pad 920 is formed to surround the nozzle unit 700 protruding from the lower surface of the cylinder assembly 500 constituting the head unit H and a portion of the lower surface of the cylinder assembly 500. The suction pad 920 may wrap only the nozzle unit 700, and may also cover only a portion of the lower surface of the cylinder assembly 500.

상기 흡착 패드(920)의 일예로, 도 7에 도시한 바와 같이, 원통 형태의 몸통부(921)와, 상기 몸통부(921)의 한쪽 끝에 연장된 주름관부(922)와, 상기 주름관부(922)에, 일정 폭과 두께를 갖는 링 형상으로 연장된 흡착판부(923)를 포함한다. 상기 몸통부(921)의 한쪽 끝이 상기 흡입 베이스부재(910)의 상부에 결합된다. 상기 흡착판부(923)는 안쪽으로 경사져있다.As an example of the suction pad 920, as illustrated in FIG. 7, a cylindrical body portion 921, a corrugated pipe portion 922 extending at one end of the trunk portion 921, and the corrugated pipe portion ( 922 includes a suction plate portion 923 extending in a ring shape having a predetermined width and thickness. One end of the body portion 921 is coupled to the upper portion of the suction base member 910. The suction plate part 923 is inclined inward.

상기 흡착 패드(920)는 유연성을 가지는 재질인 것이 바람직하다.The suction pad 920 is preferably a material having flexibility.

상기 누설액정 저장용기(930)는 상부가 오픈된 저장통(931)과, 상기 저장통(931)의 상부에 결합되어 상기 저장통(931)을 밀폐시키는 뚜껑(932)을 포함한다. 상기 뚜껑(932)에는 두 개의 결합구멍(미도시)이 구비된다.The leakage liquid crystal storage container 930 includes a storage container 931 having an open top and a lid 932 coupled to an upper portion of the storage container 931 to seal the storage container 931. The lid 932 is provided with two coupling holes (not shown).

상기 연결 튜브(940)의 한쪽 끝이 상기 흡입 베이스부재(910)의 결합부(911)에 결합되고 상기 연결 튜브(940)의 다른 한쪽 끝부분이 상기 누설액정 저장용기(930)의 뚜껑(932)의 결합구멍을 관통하도록 결합된다.One end of the connection tube 940 is coupled to the coupling portion 911 of the suction base member 910 and the other end of the connection tube 940 is a lid 932 of the leakage liquid crystal storage container 930. It is coupled to penetrate through the coupling hole of).

상기 튜브(950)의 한쪽 끝이 상기 누설액정 저장용기(930)의 뚜껑(932)의 결합구멍에 결합된다. 상기 튜브(950)의 다른 한쪽 끝은 버큠을 발생시키는 진공발생장치(미도시)에 연결된다.One end of the tube 950 is coupled to the coupling hole of the lid 932 of the leakage liquid crystal storage container 930. The other end of the tube 950 is connected to a vacuum generator (not shown) for generating a push.

상기 흡입 유닛(900)은 다음과 같이 작동한다.The suction unit 900 operates as follows.

상기 흡착 패드(920)가 실린더 조립체(500)의 하면에 접촉된 상태에서 튜브(950)를 통해 진공이 공급되면 그 진공은 상기 누설액정 저장용기(930)와 연결 튜브(940)를 통해 흡입 베이스부재(910)의 내부와 흡착 패드(920) 내부에 전달되면서 헤드 유닛(H)의 하면에 고인 누설 액정을 흡입하여 흡입 베이스부재(910) 내부로 유입시킨다. 상기 흡입 베이스부재(910) 내부로 유입된 누설 액정은 연결 튜브(940)를 통해 누설액정 저장용기(930) 내부에 고이게 된다.When a vacuum is supplied through the tube 950 while the suction pad 920 is in contact with the lower surface of the cylinder assembly 500, the vacuum is sucked through the leak liquid crystal storage container 930 and the connection tube 940. The liquid crystal is sucked into the suction base member 910 while being delivered to the inside of the member 910 and the inside of the suction pad 920. The leaked liquid crystal introduced into the suction base member 910 is accumulated inside the leakage liquid crystal storage container 930 through the connection tube 940.

한편, 상기 흡입 유닛(900)의 다른 실시예로, 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 구동 유닛(800)에 결합되는 흡입 베이스부재(910)와, 상기 흡입 베이스부재(910)에 결합되는 흡착 패드(920)와, 상기 흡입 베이스부재(910)에 결합되어 버큠을 공급하는 튜브(950)를 포함한다.On the other hand, in another embodiment of the suction unit 900, as shown in Figure 8, the suction base member 910 is coupled to the drive unit 800, the suction base member 910 is coupled to the suction A pad 920 and a tube 950 coupled to the suction base member 910 to supply a bucket.

상기 흡입 베이스부재(910)는 위에서 설명한 바와 같다. 단지 상기 결합부(911)가 하면보다 일정 거리 높은 위치에 있다.The suction base member 910 is as described above. Only the coupling portion 911 is located a certain distance higher than the lower surface.

상기 흡착 패드(920)도 위에서 설명한 바와 같다.The adsorption pad 920 is also as described above.

상기 튜브(950)의 한쪽 끝은 상기 흡입 베이스부재(910)의 결합부(911)에 결합된다. 상기 튜브(950)의 다른 한쪽 끝은 버큠을 발생시키는 진공발생장치(미도시)에 연결된다.One end of the tube 950 is coupled to the coupling portion 911 of the suction base member 910. The other end of the tube 950 is connected to a vacuum generator (not shown) for generating a push.

상기 흡입 유닛(900)은 다음과 같이 작동한다.The suction unit 900 operates as follows.

상기 흡착 패드(920)가 헤드 유닛(H)의 하면에 접촉된 상태에서 튜브(950)를 통해 진공이 공급되면 그 진공은 흡입 베이스부재(910)의 내부와 흡착 패드(920) 내부에 전달되면서 실린더 조립체(500)의 하면에 고인 누설 액정을 흡입하여 흡입 베이스부재(910) 내부로 유입시킨다. When a vacuum is supplied through the tube 950 while the suction pad 920 is in contact with the lower surface of the head unit H, the vacuum is transferred to the inside of the suction base member 910 and the suction pad 920. The liquid crystal leaked into the lower surface of the cylinder assembly 500 is sucked into the suction base member 910.

이하, 본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치의 작용과 효과를 설명한다.Hereinafter, the operation and effects of the liquid crystal dispenser leak liquid crystal suction device according to the present invention.

위에서 설명한 바와 같이, 액정 디스펜서의 헤드 유닛(H)은 설정된 데이터에 따라 움직인다. 상기 헤드 유닛(H)들이 움직이는 동안 상기 헤드 유닛(H)을 구성하는 노즐 유닛(700)의 노즐(710)을 통해 액정 디스펜서의 스테이지(미도시)에 놓인 기판에 액정을 적하시킨다. 헤드 유닛(H)에서 액정 방울들을 떨어뜨리는 구체적인 작동 설명은 생략한다.As described above, the head unit H of the liquid crystal dispenser moves according to the set data. While the head units H move, the liquid crystal is dropped onto a substrate placed on a stage (not shown) of the liquid crystal dispenser through the nozzle 710 of the nozzle unit 700 constituting the head unit H. A detailed description of the operation of dropping the liquid crystal droplets from the head unit H is omitted.

상기 노즐 유닛(700)의 노즐(710)을 통해 액정을 적하하는 동안 실린더 조립체(500)의 실린더(520) 내부에서 액정이 누설되면 그 누설되는 액정은 실린더(520)와 지지 블록(530) 사이 그리고 실린더(520)와 실린더 블록(510) 사이를 통해 흘러 덮개 부재(550)가 위치한 구멍(R2) 또는/그리고 노즐 유닛(700)이 관통된 구멍(R1)을 통해 실린더 조립체(500)의 외부로 빠져나와 구멍의 둘레인 실린더 조립체(500)의 하면에 고이게 된다. 경우에 따라서 누설 액정은 노즐 유닛(700)의 외면을 타고 흘러 노즐 유닛(700)의 하면에 고일 수 있다. 또한 경우에 따라서는 지지 블록(530)의 구멍(531)을 통해 누설 액정이 빠져나와 실린더 조립체(500)의 외면을 타고 실린더 조립체(500)의 하면에 고일 수 있다. 상기 실린더 조립체(500)의 하면또는 노즐 유닛의 하면에 누설 액정이 고이게 되면 감지 장치(미도시)로 감지하거나 관리자가 눈으로 확인한 다음 본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치로 고인 누설 액정을 흡입한다.If liquid crystal leaks inside the cylinder 520 of the cylinder assembly 500 while the liquid crystal is dropped through the nozzle 710 of the nozzle unit 700, the leaked liquid crystal is between the cylinder 520 and the support block 530. And flows between the cylinder 520 and the cylinder block 510 to the outside of the cylinder assembly 500 through a hole R2 in which the lid member 550 is located and / or a hole R1 through which the nozzle unit 700 passes. And exit the bottom of the cylinder assembly 500, which is the periphery of the hole. In some cases, the leaked liquid crystal may flow through the outer surface of the nozzle unit 700 and may be accumulated on the lower surface of the nozzle unit 700. In some cases, the liquid crystal leaks out through the hole 531 of the support block 530, and may be accumulated on the bottom surface of the cylinder assembly 500 by riding the outer surface of the cylinder assembly 500. If leakage liquid crystals accumulate on the lower surface of the cylinder assembly 500 or the lower surface of the nozzle unit, the liquid crystal is detected by a detection device (not shown) or checked by a manager, and then suctioned the liquid leakage accumulated by the liquid crystal dispenser leakage liquid crystal suction device according to the present invention. do.

본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치가 실린더 조립체 하면 또는/그리고 노즐 유닛의 하면에 고인 누설액정을 흡입하는 동작은 다음과 같다.The liquid crystal dispenser leak liquid crystal suction apparatus according to the present invention sucks the leaked liquid crystal in the lower surface of the cylinder assembly and / or the nozzle unit is as follows.

상기 헤드 유닛(H)을 구성하는 실린더 조립체(500) 하면에 누설 액정이 고인 경우 그 고인 누설 액정 아래에 흡착 패드(920)가 위치하도록 테이블(T)을 이동시킨다. 상기 흡착 패드(920)가 누설 액정이 고인 아래에 위치한 상태에서, 도 9에 도시한 바와 같이, 구동 유닛(800)의 엑츄에이터(820)가 작동하여 로드(821) 및 홀더(830)가 위로 움직인다. 상기 홀더(830)가 위로 움직임에 따라 흡입 베이스부재(910)와 흡착 패드(920)가 위로 움직여 실린더 조립체(500)의 하면에 접촉된다. 이때 흡착 패드(920)의 흡착판부(923)가 고인 누설 액정을 감싸게 된다. 상기 튜브(950)를 통해 흡입 베이스부재(910)의 내부와 흡착 패드(920) 내부에 버큠이 공급된다. 상기 흡착 패드(920) 내부에 작용하는 버큠에 의해 실린더 조립체(500) 하면에 고인 누설 액정이 흡착 패드(920) 내부 및 흡입 베이스부재(910) 내부로 흡입되면서 연결 튜브(940)를 통해 누설액정 저장용기(930) 내부에 모이게 된다.When the leakage liquid crystal is accumulated on the lower surface of the cylinder assembly 500 constituting the head unit H, the table T is moved so that the suction pad 920 is positioned under the accumulated leakage liquid crystal. In the state where the suction pad 920 is located under the leakage liquid crystal, as shown in FIG. 9, the actuator 820 of the driving unit 800 operates to move the rod 821 and the holder 830 upward. . As the holder 830 moves upward, the suction base member 910 and the suction pad 920 move upward to contact the bottom surface of the cylinder assembly 500. At this time, the adsorption plate portion 923 of the adsorption pad 920 surrounds the accumulated leakage liquid crystal. Through the tube 950, the suction is supplied to the inside of the suction base member 910 and the inside of the suction pad 920. The leakage liquid crystal accumulated on the lower surface of the cylinder assembly 500 by the pressure acting on the suction pad 920 is sucked into the suction pad 920 and the suction base member 910 and leaks through the connection tube 940. The storage container 930 is collected inside.

상기 헤드 유닛(H)의 실린더 조립체(500) 하면에 고인 누설 액정을 모두 흡입하게 되면 튜브(950)를 통해 공급되는 버큠을 중단시킨다. 그리고 구동 유닛(800)의 엑츄에이터(820)가 작동하여 로드(821) 및 홀더(830)를 아래로 이동시킨다. 상기 로드(821) 및 홀더(830)가 아래로 이동함에 따라 흡착 패드(920)가 실린더 조립체(500)의 하면에서 떨어져 아래로 이동한다.When all the liquid crystal leaked into the lower surface of the cylinder assembly 500 of the head unit H is sucked, the vacuum supplied through the tube 950 is stopped. The actuator 820 of the driving unit 800 operates to move the rod 821 and the holder 830 downward. As the rod 821 and the holder 830 move downward, the suction pad 920 moves downward from the lower surface of the cylinder assembly 500.

또한, 상기 헤드 유닛(H)을 구성하는 노즐 유닛(700)의 하면에 누설 액정이 고인 경우 흡착 패드(920)를 노즐 유닛(700)의 아래에 위치시킨 상태에서 흡착 패드(920)를 위로 올린다. 이때 흡착 패드(920)의 내부에 노즐 유닛(700)이 위치하게 될 뿐만 아니라 흡착 패드(920)의 흡착판부(923)가 실린더 조립체의 하면에 접촉된다. 그리고 위와 같은 작동으로 노즐 유닛(700)의 하면에 고인 누설 액정을 누설액정 저장용기(930) 내부로 흡입하게 된다. In addition, when the liquid crystal leaks to the lower surface of the nozzle unit 700 constituting the head unit H, the suction pad 920 is lifted up with the suction pad 920 positioned below the nozzle unit 700. . At this time, not only the nozzle unit 700 is positioned inside the suction pad 920 but also the suction plate portion 923 of the suction pad 920 contacts the bottom surface of the cylinder assembly. In addition, the liquid crystal leaked into the leakage liquid crystal storage container 930 leaked on the lower surface of the nozzle unit 700 by the above operation.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치는 헤드 유닛(H)을 구성하는 실린더 조립체(500) 내부에서 액정이 누설되어 실린더 조립체(500)의 하면에 고이게 될 경우 그 실린더 조립체(500) 하면 또는 노즐 유닛의 하면에 고인 누설 액정을 흡입하여 제거하게 되므로 누설되는 액정이 실린더 조립체(500) 아래로 떨어지는 것을 방지하게 된다. 이로 인하여, 기판의 불량을 방지할 뿐만 아니라 스테이지를 깨끗하게 유지할 수 있게 된다.As described above, the liquid crystal dispenser leak liquid crystal suction device according to the present invention is the cylinder assembly when the liquid crystal leaks inside the cylinder assembly 500 constituting the head unit (H) and collects on the lower surface of the cylinder assembly 500. Since the liquid crystal leaked into the lower surface of the lower surface or the lower surface of the nozzle unit is sucked and removed, the liquid crystal leaking is prevented from falling below the cylinder assembly 500. As a result, not only the defect of the substrate can be prevented, but also the stage can be kept clean.

800; 구동 유닛 900; 흡입 유닛
910; 흡입 베이스부재 920; 흡착 패드
930; 누설 액정 저장용기 940; 연결 튜브
950; 튜브 H; 헤드 유닛800; Drive unit 900; Suction unit
910; Suction base member 920; Adsorption pad
930; Leakage liquid crystal storage container 940; Connecting tube
950; Tube H; Head unit

Claims (5)

직선 왕복 구동력을 발생시키는 구동 유닛; 및
상기 구동 유닛의 직선 왕복 구동력에 따라 상하로 움직이며, 헤드 유닛의 하부에 고이는 누설 액정을 흡입하는 흡입 유닛을 포함하는 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치.A drive unit for generating a linear reciprocating drive force; And
And a suction unit which moves up and down according to the linear reciprocating driving force of the driving unit, and sucks the leaked liquid crystal that accumulates in the lower portion of the head unit. 제 1 항에 있어서, 상기 흡입 유닛은 상기 구동 유닛에 결합되며, 내부 공간을 갖는 흡입 베이스부재;
상기 흡입 베이스부재에 결합되며, 상기 헤드 유닛의 하부에 흡착되는 흡착 패드;
누설 액정이 저장되는 누설액정 저장용기;
상기 흡입 베이스부재와 상기 누설액정 저장용기를 연결하는 연결 튜브;
상기 누설액정 저장용기에 연결되며, 상기 흡입 베이스부재 및 흡착 패드에 버큠이 공급되도록 상기 누설액정 저장용기에 버큠을 공급하는 튜브를 포함하는 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치.According to claim 1, The suction unit is coupled to the drive unit, the suction base member having an internal space;
A suction pad coupled to the suction base member and adsorbed to a lower portion of the head unit;
A leakage liquid crystal storage container in which leakage liquid crystal is stored;
A connection tube connecting the suction base member and the leakage liquid crystal storage container;
And a tube connected to the leakage liquid crystal storage container, the tube supplying a pressure to the leakage liquid crystal storage container so that the pressure is supplied to the suction base member and the suction pad. 제 1 항에 있어서, 상기 흡입 유닛은 상기 구동 유닛에 결합되며, 내부 공간을 갖는 흡입 베이스부재;
상기 흡입 베이스부재에 결합되며, 상기 헤드 유닛의 하부에 흡착되는 흡착 패드; 및
상기 흡입 베이스부재에 연결되며, 상기 흡입 베이스부재 및 흡착 패드에 버큠을 공급하는 튜브를 포함하는 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치.According to claim 1, The suction unit is coupled to the drive unit, the suction base member having an internal space;
A suction pad coupled to the suction base member and adsorbed to a lower portion of the head unit; And
And a tube connected to the suction base member and supplying the suction to the suction base member and the suction pad. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 흡착 패드는 헤드 유닛의 하면 일부분을 감싸도록 형성된 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치.The liquid crystal dispenser leakage liquid crystal suction device of claim 2, wherein the suction pad is formed to surround a portion of a lower surface of the head unit. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 흡착 패드는 헤드 유닛을 구성하는 노즐 유닛 및 헤드 유닛의 하면 일부분을 감싸도록 형성된 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서 누설액정 흡입장치.[4] The liquid crystal dispenser of claim 2 or 3, wherein the suction pad is formed to surround a nozzle unit constituting the head unit and a portion of a lower surface of the head unit.
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