KR102323077B1 - Head cleaning unit and substrate treating apparatus including the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 베이스, 기판 지지 유닛, 갠트리, 토출 헤드 및 헤드 세정 유닛) 등을 포함한다. 헤드 세정 유닛은 석션 노즐 및 기액 분리 부재를 포함한다. 기액 분리 부재는 내부에 공간을 가지는 외부 하우징을 포함하고, 외부 하우징의 내부에 제공된 충전재를 제공하여 외부 하우징 내로 유입된 혼합물에서 액체 성분을 걸러내고, 외부 하우징의 내부에 내부 하우징을 제공하여 유입된 혼합물의 경로를 길게 제공하여 기액 분리 효율을 증대시킨다.The present invention relates to a substrate processing apparatus. A substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a base, a substrate support unit, a gantry, a discharge head, and a head cleaning unit). The head cleaning unit includes a suction nozzle and a gas-liquid separation member. The gas-liquid separation member includes an outer housing having a space therein, providing a filler provided inside the outer housing to filter a liquid component from a mixture flowing into the outer housing, and providing an inner housing inside the outer housing Increase the gas-liquid separation efficiency by providing a long path for the mixture.

Description

헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{HEAD CLEANING UNIT AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME}A head cleaning unit and a substrate processing apparatus including the same

본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 잉크젯 방식으로 액을 토출하는 헤드를 세정하는 헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for processing a substrate, and more particularly, to a head cleaning unit for cleaning a head for discharging a liquid by an inkjet method, and a substrate processing apparatus including the same.

영상을 표시하는 액정표시장치는 다양한 박막들이 증착된 두 장의 기판 및 두 장의 기판 사이에 개재된 액정층으로 이루어진다. 일반적으로, 각 기판에 형성된 박막들은 다양한 형상의 패턴을 가지므로, 패턴의 정밀도를 위해 증착 공정 및 사진 식각 공정을 통해 형성된다. 이와 같이, 하나의 박막을 형성하기 위해서는 고가의 마스크가 사용되는 사진 식각 공정이 이용되므로, 제조 원가가 상승하고, 제조 공정 시간이 증가한다.A liquid crystal display for displaying an image includes two substrates on which various thin films are deposited and a liquid crystal layer interposed between the two substrates. In general, since thin films formed on each substrate have patterns of various shapes, they are formed through a deposition process and a photolithography process for precision of patterns. As described above, since a photolithography process using an expensive mask is used to form one thin film, the manufacturing cost increases and the manufacturing process time increases.

최근, 이러한 박막 형성 방법의 대안으로 잉크젯 프린팅 방식을 이용한 박막 형성 방법이 사용되고 있다. 잉크젯 프린팅 방식은 기판의 특정 위치에 약액을 도포하여 박막을 형성하므로, 별도의 식각 공정을 필요로 하지 않는다. 이러한 잉크젯 프린팅 방식은 액정표시장치의 컬러필터 또는 배향막 등을 형성하는 데 사용될 수 있다.Recently, a thin film forming method using an inkjet printing method has been used as an alternative to the thin film forming method. The inkjet printing method does not require a separate etching process because a thin film is formed by applying a chemical to a specific position of the substrate. This inkjet printing method may be used to form a color filter or an alignment layer of a liquid crystal display device.

일반적으로, 잉크젯 프린트 장치는 기판 상에 약액을 도포하는 헤드, 및 헤드를 세정하는 세정 유닛을 구비한다. 세정 유닛이 음압을 이용한 석션(Suction)을 동반하여 세정하는 경우, 석션에 의해 흡입된 약액과 기체의 혼합 물 중 약액이 펌프 등 음압 발생장치에 유입되는 경우 성능 저하가 발생되는 문제가 있다. 따라서 석션 노즐과 음압 발생 장치 사이에서 흡수된 혼합물로부터 약액을 분리하기 위한 유로를 늘리는 기액 분리 부재를 설치한다.In general, an inkjet printing apparatus includes a head for applying a chemical solution on a substrate, and a cleaning unit for cleaning the head. When the cleaning unit is cleaned with suction using negative pressure, there is a problem in that performance is deteriorated when a chemical liquid from a mixture of a chemical liquid and gas sucked by the suction flows into a negative pressure generating device such as a pump. Therefore, a gas-liquid separation member for extending a flow path for separating the chemical solution from the absorbed mixture is installed between the suction nozzle and the negative pressure generating device.

도 1은 일반적인 기판 처리 장치의 기액 분리 박스(1)를 나타낸 사시도이다. 도 1을 참고하면, 일반적으로, 유로를 늘리기 위해 기액 분리 박스(1) 내부에는 격판(4)이 제공되나, 이것 만으로는 기액 분리가 용이하지 않다. 또한, 기액 분리 박스(1)의 전면(6)이 개폐되도록 제공되므로 내부 세척 등을 위해 전면(6) 개방 시, 배출관(5)으로 배출되지 못한 약액이 누출될 수 있으며, 음압 발생장치가 연결된 흡기관(2) 및 석션 노즐이 연결된 복수개의 유입관(3)이 연결된 위치에 따라 유입관(3)들 간에 압력 차가 발생될 수 있다.1 is a perspective view illustrating a gas-liquid separation box 1 of a general substrate processing apparatus. Referring to FIG. 1 , in general, a diaphragm 4 is provided inside the gas-liquid separation box 1 to increase the flow path, but gas-liquid separation is not easy by this alone. In addition, since the front 6 of the gas-liquid separation box 1 is provided to be opened and closed, when the front 6 is opened for internal cleaning, the chemical liquid that has not been discharged to the discharge pipe 5 may leak, and the negative pressure generator is connected A pressure difference may be generated between the inlet pipes 3 according to positions where the intake pipe 2 and the plurality of inlet pipes 3 to which the suction nozzles are connected are connected.

본 발명은 기액 분리의 효율을 증대시킬 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide an apparatus capable of increasing the efficiency of gas-liquid separation.

또한, 본 발명은 기액 분리 부재의 개방 시 액의 누출을 방지할 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide a device capable of preventing leakage of liquid when the gas-liquid separation member is opened.

또한, 본 발명은 복수개의 석션 노즐 간에 석션 압력 차이의 발생을 방지할 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide an apparatus capable of preventing generation of a suction pressure difference between a plurality of suction nozzles.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited thereto, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는 베이스; 상기 베이스에 설치되고 기판이 놓이는 기판 지지 유닛; 상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 토출 헤드; 상기 토출 헤드가 결합된 갠트리; 및 상기 토출 헤드의 노즐 또는 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛;을 포함하되, 상기 헤드 세정 유닛은, 상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고, 상기 기액 분리 부재는, 내부에 공간을 가지는 외부 하우징; 상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및 상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되, 상기 외부 하우징의 외벽에는, 상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구; 상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및 상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성된다.The present invention provides a substrate processing apparatus. The substrate processing apparatus includes a base; a substrate support unit installed on the base and on which a substrate is placed; a discharge head for discharging a liquid onto a substrate placed on the substrate supporting unit; a gantry to which the discharge head is coupled; and a head cleaning unit for cleaning a nozzle or a nozzle surface of the discharge head, wherein the head cleaning unit includes: a suction nozzle for sucking the liquid remaining in the discharge head; and a gas-liquid separation member that separates the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid, wherein the gas-liquid separation member includes: an outer housing having a space therein; a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and a filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle; an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; and an outlet for discharging the liquid in the space to the outside. is formed

상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부가 개방되고 그 내외부를 연통시키는 개구가 형성된 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재를 포함한다.The gas-liquid separation member may further include an inner housing provided inside the outer housing, the upper portion of which is open and an opening communicating the inner and outer portions thereof is formed; wherein the intake port is provided on an upper wall of the outer housing, The inner housing has an upper end connected to the upper wall of the outer housing, and the inner side communicates with the intake port through the upper portion of the inner housing, and the filler includes an inner filler provided inside the inner housing.

상기 개구는, 상기 내부 하우징의 하벽에 제공된다.The opening is provided in the lower wall of the inner housing.

상기 유입구는, 상기 개구보다 높은 위치에 제공된다.The inlet is provided at a position higher than the opening.

상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재; 및 상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함한다.The gas-liquid separation member may further include an inner housing provided inside the outer housing, the upper and lower portions of which are open, wherein the intake port is provided on an upper wall of the outer housing, and the inner housing includes an upper end of the gas-liquid separation member. an inner filler connected to the upper wall of the outer housing, the interior of which communicates with the intake port through an upper portion of the inner housing, the filler comprising: an inner filler provided inside the inner housing; and a lower filler connected to the lower end of the inner housing and provided to face the inside of the inner housing.

상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함한다.The gas-liquid separation member may further include an inner housing provided inside the outer housing, the upper and lower portions of which are open, wherein the intake port is provided on an upper wall of the outer housing, and the inner housing includes an upper end of the gas-liquid separation member. The lower part is connected to the upper wall of the outer housing, the inside of which is in communication with the intake port through the upper part of the inner housing, and the filling material is connected to the lower end of the inner housing and provided opposite to the inside of the inner housing, Including; filling material.

상기 하우징은, 그 상부가 개방되고, 상기 공간의 상부를 개폐하는 덮개;를 가진다.The housing includes a cover having an open upper portion and opening and closing the upper portion of the space.

상기 배출구는, 상기 외부 하우징의 하벽에 제공되고, 상기 외부 하우징의 하벽은, 그 가장자리 영역에서 상기 배출구를 향해 갈수록 하향 경사지게 제공된다.The outlet is provided on a lower wall of the outer housing, and the lower wall of the outer housing is provided to be inclined downward from an edge region toward the outlet.

상기 외부 하우징은, 길이 방향이 상하 방향인 원통형으로 제공되고, 상기 유입구는, 상기 외부 하우징의 측벽에 상기 외부 하우징의 둘레방향을 따라 복수개가 제공된다.The outer housing is provided in a cylindrical shape having a longitudinal direction in a vertical direction, and a plurality of inlets are provided on a sidewall of the outer housing along a circumferential direction of the outer housing.

상기 충전재는, 메쉬(Mesh) 형태를 가진다.The filler has a mesh (Mesh) form.

또한, 본 발명은 헤드 세정 유닛을 제공한다. 헤드 세정 유닛은, 액을 토출하는 토출 헤드의 노즐 및 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서, 상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고, 상기 기액 분리 부재는, 내부에 공간을 가지는 외부 하우징; 상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및 상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되, 상기 외부 하우징의 외벽에는, 상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구; 상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및 상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구;가 형성된다.The present invention also provides a head cleaning unit. The head cleaning unit includes: a nozzle for discharging a liquid and a head cleaning unit for cleaning a nozzle surface, comprising: a suction nozzle for sucking a liquid remaining in the discharge head; and a gas-liquid separation member that separates the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid, wherein the gas-liquid separation member includes: an outer housing having a space therein; a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and a filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle; an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; And an outlet for discharging the liquid in the space to the outside; is formed.

상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부가 개방되고 그 내외부를 연통시키는 개구가 형성된 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재를 포함한다.The gas-liquid separation member may further include an inner housing provided inside the outer housing, the upper portion of which is open and an opening communicating the inner and outer portions thereof is formed; wherein the intake port is provided on an upper wall of the outer housing, The inner housing has an upper end connected to the upper wall of the outer housing, and the inner side communicates with the intake port through the upper portion of the inner housing, and the filler includes an inner filler provided inside the inner housing.

상기 유입구는, 상기 개구보다 높은 위치에 제공된다.The inlet is provided at a position higher than the opening.

상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재; 및 상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함한다.The gas-liquid separation member may further include an inner housing provided inside the outer housing, the upper and lower portions of which are open, wherein the intake port is provided on an upper wall of the outer housing, and the inner housing includes an upper end of the gas-liquid separation member. an inner filler connected to the upper wall of the outer housing, the interior of which communicates with the intake port through an upper portion of the inner housing, the filler comprising: an inner filler provided inside the inner housing; and a lower filler connected to the lower end of the inner housing and provided to face the inside of the inner housing.

상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함한다.The gas-liquid separation member may further include an inner housing provided inside the outer housing, the upper and lower portions of which are open, wherein the intake port is provided on an upper wall of the outer housing, and the inner housing includes an upper end of the gas-liquid separation member. The lower part is connected to the upper wall of the outer housing, the inside of which is in communication with the intake port through the upper part of the inner housing, and the filling material is connected to the lower end of the inner housing and provided opposite to the inside of the inner housing, Including; filling material.

상기 하우징은, 그 상부가 개방되고, 상기 공간의 상부를 개폐하는 덮개;를 가진다.The housing includes a cover having an open upper portion and opening and closing the upper portion of the space.

상기 배출구는, 상기 외부 하우징의 하벽에 제공되고, 상기 외부 하우징의 하벽은, 그 가장자리 영역에서 상기 배출구를 향해 갈수록 하향 경사지게 제공된다.The outlet is provided on a lower wall of the outer housing, and the lower wall of the outer housing is provided to be inclined downward from an edge region toward the outlet.

상기 외부 하우징은, 길이 방향이 상하 방향인 원통형으로 제공되고, 상기 유입구는, 상기 외부 하우징의 측벽에 상기 외부 하우징의 둘레방향을 따라 복수개가 제공된다.The outer housing is provided in a cylindrical shape having a longitudinal direction in a vertical direction, and a plurality of inlets are provided on a sidewall of the outer housing along a circumferential direction of the outer housing.

상기 충전재는, 메쉬(Mesh) 형태를 가진다.The filler has a mesh (Mesh) form.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 본 발명의 장치는 기액 분리의 효율을 증대시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the apparatus of the present invention can increase the efficiency of gas-liquid separation.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 본 발명의 장치는 기액 분리 부재의 개방 시 액의 누출을 방지할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, the device of the present invention can prevent leakage of liquid when the gas-liquid separation member is opened.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 본 발명의 장치는 복수개의 석션 노즐 간에 석션 압력 차이의 발생을 방지할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, the device of the present invention can prevent the generation of a suction pressure difference between the plurality of suction nozzles.

도 1은 일반적인 기판 처리 장치의 기액 분리 박스를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 헤드 세정 유닛의 개략적인 모습을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 기액 분리 부재를 A-A'방향에서 바라본 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기액 분리 부재를 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기액 분리 부재를 나타낸 단면도이다.1 is a perspective view illustrating a gas-liquid separation box of a general substrate processing apparatus.
2 is a perspective view of a substrate processing apparatus according to an exemplary embodiment.
3 is a perspective view schematically illustrating a head cleaning unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of the gas-liquid separation member of FIG. 3 viewed from the direction A-A'.
5 is a cross-sectional view showing a gas-liquid separation member according to another embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view showing a gas-liquid separation member according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes of elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이다.2 is a perspective view of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 베이스(B), 기판 지지 유닛(100), 갠트리(200), 토출 헤드(300), 그리고 헤드 세정 유닛(400)을 포함한다.Referring to FIG. 2 , the substrate processing apparatus 10 includes a base B, a substrate support unit 100 , a gantry 200 , a discharge head 300 , and a head cleaning unit 400 .

베이스(B)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(B)의 상면에는 기판 지지 유닛(100)이 설치된다.The base (B) may be provided in a rectangular parallelepiped shape having a constant thickness. The substrate support unit 100 is installed on the upper surface of the base (B).

기판 지지 유닛(100)에는 기판(S)이 놓인다. 예를 들면, 기판 지지 유닛(100)은 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(110)에 수직한 회전 중심축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다. 지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다.A substrate S is placed on the substrate support unit 100 . For example, the substrate support unit 100 has a support plate 110 on which the substrate S is placed. The support plate 110 may be a plate having a rectangular shape. A rotation driving member 120 is connected to the lower surface of the support plate 110 . The rotation driving member 120 may be a rotation motor. The rotation driving member 120 rotates the support plate 110 about a central axis of rotation perpendicular to the support plate 110 . When the support plate 110 is rotated by the rotation driving member 120 , the substrate S may be rotated by the rotation of the support plate 110 .

제 1 방향(Ⅰ)은 갠트리(210)의 길이 방향이다. 제 2 방향(Ⅱ)은 상부에서 바라볼 때, 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이다. 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ) 및 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.The first direction (I) is the longitudinal direction of the gantry 210 . The second direction (II) is a direction perpendicular to the first direction (I) when viewed from above. The third direction (III) is a direction perpendicular to the first direction (I) and the second direction (II).

지지판(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제 2 방향(Ⅱ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터가 내장될 수 있으며, 슬라이더(132)는 리니어 모터에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동된다.The support plate 110 and the rotation driving member 120 may be linearly moved in the second direction (II) by the linear driving member 130 . The linear driving member 130 includes a slider 132 and a guide member 134 . The rotation driving member 120 is installed on the upper surface of the slider 132 . The guide member 134 extends long in the second direction (II) to the center of the upper surface of the base (B). A linear motor may be built in the slider 132 , and the slider 132 is linearly moved in the second direction (II) along the guide member 134 by the linear motor.

갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(200)는 베이스(B)의 상면으로부터 위방향으로 이격 배치되며, 갠트리(200)는 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하도록 배치된다. 갠트리(200)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동이 가능하도록 제공된다.The gantry 200 is provided above the path along which the support plate 110 is moved. The gantry 200 is disposed upwardly spaced apart from the upper surface of the base B, and the gantry 200 is disposed such that its longitudinal direction faces the first direction I. The gantry 200 is provided to enable linear movement in the second direction (II).

토출 헤드(300)는 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)에 결합된다. 토출 헤드(300)는 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)의 길이 방향, 즉 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동하고, 또한 제3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동될 수 있다. 헤드 세정 유닛(400)에 의한 토출 헤드(300) 세정을 위해, 토출 헤드(300)는 갠트리(200) 및 헤드 이동 유닛(500)에 의해 헤드 세정 유닛(400)의 상부에 위치된다.The discharge head 300 is coupled to the gantry 200 by the head moving unit 500 . The discharge head 300 may be linearly moved in the longitudinal direction of the gantry 200 by the head moving unit 500 , that is, in the first direction (I), and may also be linearly moved in the third direction (III). For cleaning the discharge head 300 by the head cleaning unit 400 , the discharge head 300 is positioned above the head cleaning unit 400 by the gantry 200 and the head moving unit 500 .

토출 헤드(300)는 기판 지지 유닛(100)에 놓인 기판(S)에 액을 토출한다. 예를 들면, 액은 액정의 액적일 수 있다. 토출 헤드(300)는 복수 개가 제공될 수 있다. 본 실시예에서는 3개의 토출 헤드(310,320,330)가 제공된 예를 도시하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 토출 헤드(300)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 나란하게 배열될 수 있으며, 갠트리(200)에 결합된다.The discharge head 300 discharges the liquid to the substrate S placed on the substrate support unit 100 . For example, the liquid may be a liquid crystal droplet. A plurality of discharge heads 300 may be provided. In the present embodiment, an example in which three discharge heads 310 , 320 , and 330 are provided is illustrated, but the present invention is not limited thereto. The discharge heads 300 may be arranged side by side in a line in the first direction (I), and are coupled to the gantry 200 .

토출 헤드(300)의 저면에는 액을 토출하는 복수 개의 노즐들이 제공된다. 예를 들어, 각각의 헤드들에는 128개 또는 256개의 노즐들이 제공될 수 있다. 노즐들은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다.A plurality of nozzles for discharging liquid are provided on the bottom surface of the discharge head 300 . For example, each of the heads may be provided with 128 or 256 nozzles. The nozzles may be arranged in a line at intervals of a predetermined pitch.

각각의 토출 헤드(300)에는 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있으며, 노즐들의 액 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.Each of the discharge heads 300 may be provided with as many piezoelectric elements as corresponding to the nozzles, and the liquid discharge amount of the nozzles may be independently adjusted by controlling a voltage applied to the piezoelectric elements.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 헤드 세정 유닛(400)의 개략적인 모습을 나타낸 도면이다. 도 4는 도 3의 기액 분리 부재(420)를 A-A'방향에서 바라본 단면도이다. 도 3 및 도 4를 참고하면, 헤드 세정 유닛(400)은 석션 노즐(410) 및 기액 분리 부재(420)를 포함한다. 헤드 세정 유닛(400)은 토출 헤드(300)의 노즐 및/또는 노즐이 형성된 노즐 면에 잔류하는 액정 또는 세정액 등의 액을 세정한다.3 is a diagram schematically illustrating a head cleaning unit 400 according to an embodiment of the present invention. 4 is a cross-sectional view of the gas-liquid separation member 420 of FIG. 3 viewed from the direction A-A'. 3 and 4 , the head cleaning unit 400 includes a suction nozzle 410 and a gas-liquid separation member 420 . The head cleaning unit 400 cleans the liquid, such as liquid crystal or cleaning liquid, remaining on the nozzle of the discharge head 300 and/or the nozzle surface on which the nozzle is formed.

석션 노즐(410)은 토출 헤드(300)의 노즐 및/또는 노즐 면의 세정 시, 노즐 면에 인접되도록 위치하여 음압 발생 부재(422)에 의해 발생된 음압에 의한 압력차이를 이용해 토출 헤드(300)에 잔류하는 액을 흡수한다. 액 흡수 시 액정 또는 세정액 등의 액체와 함께 토출 헤드(300) 주변의 기체가 혼합되어 흡수된다. 흡수된 액체와 기체의 혼합된 혼합물(이하 “혼합물”이라 한다.)은 기액 분리 부재(420)의 외부 하우징(421)으로 유입된다.The suction nozzle 410 is positioned adjacent to the nozzle surface when cleaning the nozzle and/or the nozzle surface of the discharge head 300 and uses the pressure difference due to the negative pressure generated by the negative pressure generating member 422 to the discharge head 300 . ) to absorb the remaining liquid. When the liquid is absorbed, the gas around the discharge head 300 is mixed and absorbed together with the liquid such as liquid crystal or cleaning liquid. A mixed mixture of the absorbed liquid and gas (hereinafter referred to as “mixture”) flows into the outer housing 421 of the gas-liquid separation member 420 .

기액 분리 부재(420)는 석션 노즐(410)에 의해 흡입된 혼합물을 기체와 액체로 분리한다. 기액 분리 부재(420)는 외부 하우징(421), 음압 발생 부재(422), 충전재(423) 및 내부 하우징(424)을 포함한다.The gas-liquid separation member 420 separates the mixture sucked by the suction nozzle 410 into gas and liquid. The gas-liquid separation member 420 includes an outer housing 421 , a negative pressure generating member 422 , a filler 423 , and an inner housing 424 .

외부 하우징(421)은 내부에 공간(421a)을 가진다. 외부 하우징(421)은 상부가 개방되고, 공간(421a)의 상부를 개폐하는 덮개(421e)를 포함할 수 있다. 덮개(421e)가 공간(421a)의 상부에 제공됨으로써, 공간(421a)의 개폐 시, 공간(421a)에 잔류하는 액이 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있다. 외부 하우징(421)의 외벽에는 흡기구(421b), 유입구(421c) 및 배출구(421d)가 형성된다.The outer housing 421 has a space 421a therein. The outer housing 421 has an open upper portion and may include a cover 421e that opens and closes the upper portion of the space 421a. Since the cover 421e is provided on the upper portion of the space 421a, it is possible to prevent the liquid remaining in the space 421a from leaking to the outside when the space 421a is opened or closed. An intake port 421b, an inlet port 421c, and an outlet port 421d are formed on the outer wall of the outer housing 421 .

흡기구(421b)는 음압 발생 부재(422)와 연결된다. 흡기구(421b)는 외부 하우징(421)의 상벽 즉, 덮개(421e)에 형성된다. 예를 들면, 흡기구(421)는 덮개(421e)의 중심부에 형성될 수 있다. 음압 발생 부재(422)는 공간(421a)의 기체를 외부로 배출시킴으로써 공간(421a)에 음압을 발생시킨다.The intake port 421b is connected to the negative pressure generating member 422 . The intake port 421b is formed on the upper wall of the outer housing 421 , that is, the cover 421e. For example, the intake port 421 may be formed in the center of the cover 421e. The negative pressure generating member 422 generates a negative pressure in the space 421a by discharging the gas in the space 421a to the outside.

유입구(421c)는 석션 노즐(410)과 연결된다. 석션 노즐(410)이 흡입한 혼합물은 유입구(421c)를 통해 공간(421a)으로 유입된다. 유입구(421c)는 개구(424a)보다 높은 위치에 제공된다. 일 실시 예에 따르면, 외부 하우징(421)은 길이 방향이 상하 방향인 원통형으로 제공되고, 유입구(421c)는 외부 하우징(421)의 측벽에 외부 하우징(421)의 둘레 방향을 따라 복수개가 제공된다.The inlet 421c is connected to the suction nozzle 410 . The mixture sucked by the suction nozzle 410 is introduced into the space 421a through the inlet 421c. The inlet 421c is provided at a position higher than the opening 424a. According to an embodiment, the outer housing 421 is provided in a cylindrical shape with a longitudinal direction in the vertical direction, and a plurality of inlets 421c are provided on the sidewall of the outer housing 421 along the circumferential direction of the outer housing 421 . .

상술한 바와 같이, 흡기구(421b)가 덮개(421e)의 중심부에 제공되고, 유입구(421c)가 외부 하우징(421)의 측벽에 외부 하우징(421)의 둘레 방향을 따라 제공됨으로써, 각각의 유입구(421c)로부터 흡기구(421b)까지의 경로의 길이 차가 균일하게 제공된다. 따라서, 각 유입구(421c)와 연결된 석션 노즐(410)들의 흡기 압력이 서로 균일하게 인가될 수 있다.As described above, the intake port 421b is provided at the center of the cover 421e, and the inlet port 421c is provided on the sidewall of the outer housing 421 along the circumferential direction of the outer housing 421, so that each inlet ( The difference in length of the path from the intake port 421b to the intake port 421c is uniformly provided. Accordingly, the intake pressures of the suction nozzles 410 connected to each inlet 421c may be uniformly applied to each other.

공간(421a) 내의 액체는 배출구(421d)를 통해 외부로 배출된다. 배출구(421d)는 외부 하우징(421)의 하벽에 제공된다. 예를 들면, 배출구(421d)는 외부 하우징(421)의 하벽의 중앙 영역에 제공될 수 있다. 외부 하우징(421)의 하벽은, 그 가장자리 영역에서 배출구(421d)를 향해 갈수록 하향 경사지게 제공된다. 따라서, 공간(421) 내에 흡수된 액이 배출구(421d)로 배출되지 않고 외부 하우징(421)의 하벽에 잔류되는 것을 최소화 시킨다.The liquid in the space 421a is discharged to the outside through the discharge port 421d. An outlet port 421d is provided on the lower wall of the outer housing 421 . For example, the outlet 421d may be provided in a central region of the lower wall of the outer housing 421 . The lower wall of the outer housing 421 is provided to be inclined downward toward the outlet 421d in the edge region thereof. Accordingly, it is minimized that the liquid absorbed in the space 421 is not discharged to the outlet 421d and remains on the lower wall of the outer housing 421 .

충전재(423)는 상기 공간(421a)에 제공된다. 충전재(423)는 석션 노즐(410)에 의해 흡입된 혼합물로부터 액체를 걸러낸다. 충전재(423)는 내부 충전재(423a)를 포함한다. 내부 충전재(423a)는 내부 하우징(424)의 내부에 제공된다. 일 실시 예에 의하면, 내부 충전재(423a)는 메쉬(Mesh) 형태를 가지고, 내부 하우징(424) 및 덮개(421e)의 하면에 밀착되게 제공된다. 내부 충전재(423)는 그 상면이 흡기구(421b)에 대향되도록 제공된다. 따라서, 유입구(421c)로부터 흡수된 혼합물은 내부 충전재(423a)를 통과해 흡기구(421b)로 배출된다. 이 과정에서, 혼합물 내의 액체 성분은 내부 충전재(423a)의 조직에 부착되고, 부착된 액체 성분이 서로 뭉쳐 일정 중량을 가지는 경우, 액체 성분은 개구(424a)를 통해 공간(421a)으로 배출되고, 공간으로 배출된 액체 성분은 배출구(421d)를 통해 외부 하우징(421)의 외부로 배출된다.A filler 423 is provided in the space 421a. Filler 423 filters the liquid from the mixture sucked by suction nozzle 410 . Filler 423 includes inner filler 423a. An inner filler material 423a is provided inside the inner housing 424 . According to an embodiment, the inner filler 423a has a mesh shape and is provided in close contact with the lower surfaces of the inner housing 424 and the cover 421e. The inner filler 423 is provided so that its upper surface faces the intake port 421b. Accordingly, the mixture absorbed from the inlet 421c passes through the inner filler 423a and is discharged to the intake port 421b. In this process, the liquid component in the mixture is attached to the tissue of the internal filler 423a, and when the attached liquid component is agglomerated with each other and has a certain weight, the liquid component is discharged into the space 421a through the opening 424a, The liquid component discharged into the space is discharged to the outside of the outer housing 421 through the discharge port 421d.

내부 하우징(424)은 외부 하우징(421)의 내부에 제공된다. 내부 하우징(424)은 그 상부가 개방된다. 내부 하우징(424)에는 그 내외부를 연통시키는 개구(424a)가 형성된다. 개구(424a)는 내부 하우징(424)의 하벽에 제공된다. 내부 하우징(424)은 그 상단이 외부 하우징(421)의 상벽, 즉, 덮개(421e)와 연결된다. 내부 하우징(424)은 그 내부가 그 상부를 통해 흡기구(421b)와 연통된다. 상술한 바와 같이, 내부 하우징(424)이 제공됨으로써, 유입구(421c)를 통해 흡수된 혼합물이 내부 하우징(424)의 외벽을 지나 흡기구(421b)로 배출되므로, 혼합물이 지나는 경로가 길어진다. 따라서, 기액 분리 효율이 증대된다.The inner housing 424 is provided inside the outer housing 421 . The inner housing 424 has an open top. An opening 424a is formed in the inner housing 424 to communicate the inner and outer sides thereof. An opening 424a is provided in the lower wall of the inner housing 424 . The upper end of the inner housing 424 is connected to the upper wall of the outer housing 421 , that is, the cover 421e. The inner housing 424 has its inside communicated with the intake port 421b through its upper portion. As described above, since the inner housing 424 is provided, the mixture absorbed through the inlet 421c is discharged to the intake port 421b through the outer wall of the inner housing 424, so that the path through which the mixture passes is lengthened. Accordingly, the gas-liquid separation efficiency is increased.

도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기액 분리 부재(420)를 나타낸 단면도이다. 도 5를 참고하면, 내부 하우징(424)은 그 상부 및 하부가 개방된다. 충전재(423)는 하부 충전재(423b)를 포함한다. 하부 충전재(423b)는 내부 하우징(424)의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징(424)의 내부에 대향되게 제공된다. 하부 충전재(423b)는 메쉬(Mesh) 형태를 가진다. 따라서, 유입구(421c)로 유입된 혼합물은 하부 충전재(423b)를 지나 흡기구(421b)로 배출됨으로써, 하부 충전재(423b)는 도 4의 내부 충전재(423a)와 유사한 기능을 가진다. 그 외, 기액 분리 부재(420)의 구조, 구성 및 기능 등은 도 4의 기액 분리 부재(420)와 유사하다.5 is a cross-sectional view showing a gas-liquid separation member 420 according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 5 , the upper and lower portions of the inner housing 424 are open. Filler 423 includes lower filler 423b. The lower filler 423b is connected to the lower end of the inner housing 424 and is provided opposite to the inside of the inner housing 424 . The lower filler 423b has a mesh shape. Accordingly, the mixture introduced into the inlet 421c passes through the lower filler 423b and is discharged to the intake port 421b, so that the lower filler 423b has a function similar to that of the inner filler 423a of FIG. 4 . Other than that, the structure, configuration, and function of the gas-liquid separation member 420 are similar to those of the gas-liquid separation member 420 of FIG. 4 .

도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기액 분리 부재(420)를 나타낸 단면도이다. 도 6을 참고하면, 내부 하우징(424)은 그 상부 및 하부가 개방된다. 충전재(423)는 내부 충전재(423a) 및 하부 충전재(423b)를 포함한다. 내부 충전재(423a)는 내부 하우징(424) 내에 제공되고, 도 5의 내부 충전재(423a)와 그 구조, 구성 및 기능이 유사하다. 그 외, 기액 분리 부재(420)의 구조, 구성 및 기능 등은 도 4의 기액 분리 부재(420)와 유사하다.6 is a cross-sectional view showing a gas-liquid separation member 420 according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 6 , the upper and lower portions of the inner housing 424 are opened. Filler 423 includes inner filler 423a and lower filler 423b. The inner filler 423a is provided in the inner housing 424 and has a structure, configuration, and function similar to that of the inner filler 423a of FIG. 5 . Other than that, the structure, configuration, and function of the gas-liquid separation member 420 are similar to those of the gas-liquid separation member 420 of FIG. 4 .

10: 기판 처리 장치 S: 기판
100: 기판 지지 유닛 200: 갠트리
300: 토출 헤드 400: 헤드 세정 유닛
410: 석션 노즐 420: 기액 분리 부재
421: 외부 하우징 422: 음압 발생 부재
423: 충전재 424: 내부 하우징10: substrate processing apparatus S: substrate
100: substrate support unit 200: gantry
300: discharge head 400: head cleaning unit
410: suction nozzle 420: gas-liquid separation member
421: outer housing 422: negative pressure generating member
423: filling material 424: inner housing

Claims (19)

삭제delete 베이스;
상기 베이스에 설치되고 기판이 놓이는 기판 지지 유닛;
상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 토출 헤드;
상기 토출 헤드가 결합된 갠트리; 및
상기 토출 헤드의 노즐 또는 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛;을 포함하되,
상기 헤드 세정 유닛은,
상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
상기 기액 분리 부재는,
내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부가 개방되고 그 내외부를 연통시키는 개구가 형성된 내부 하우징;
상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
상기 외부 하우징의 외벽에는,
상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되고,
상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재를 포함하는 기판 처리 장치.Base;
a substrate support unit installed on the base and on which a substrate is placed;
a discharge head for discharging a liquid onto a substrate placed on the substrate supporting unit;
a gantry to which the discharge head is coupled; and
A head cleaning unit for cleaning a nozzle or a nozzle surface of the discharge head;
The head cleaning unit,
a suction nozzle for sucking the liquid remaining in the discharge head; and
a gas-liquid separation member for separating the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid;
The gas-liquid separation member,
an outer housing having a space therein;
an inner housing provided inside the outer housing, the upper portion of which is open, and an opening communicating the inner and outer housings;
a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and
A filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle;
On the outer wall of the outer housing,
an intake port connected to the negative pressure generating member;
an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; and
an outlet for discharging the liquid in the space to the outside; is formed,
The intake port is provided on the upper wall of the outer housing,
The inner housing, the upper end of which is connected to the upper wall of the outer housing, and the inside communicates with the intake port through the upper portion of the inner housing,
The filler may include an internal filler provided inside the inner housing. 제 2 항 에 있어서,
상기 개구는, 상기 내부 하우징의 하벽에 제공되는 기판 처리 장치.3. The method of claim 2,
The opening is provided in a lower wall of the inner housing. 제 2 항에 있어서,
상기 유입구는, 상기 개구보다 높은 위치에 제공되는 기판 처리 장치.3. The method of claim 2,
The inlet is provided at a position higher than the opening. 베이스;
상기 베이스에 설치되고 기판이 놓이는 기판 지지 유닛;
상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 토출 헤드;
상기 토출 헤드가 결합된 갠트리; 및
상기 토출 헤드의 노즐 또는 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛;을 포함하되,
상기 헤드 세정 유닛은,
상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
상기 기액 분리 부재는,
내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;
상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
상기 외부 하우징의 외벽에는,
상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되고,
상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
상기 충전재는,
상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재; 및
상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함하는 기판 처리 장치.Base;
a substrate support unit installed on the base and on which a substrate is placed;
a discharge head for discharging a liquid onto a substrate placed on the substrate supporting unit;
a gantry to which the discharge head is coupled; and
A head cleaning unit for cleaning a nozzle or a nozzle surface of the discharge head;
The head cleaning unit,
a suction nozzle for sucking the liquid remaining in the discharge head; and
a gas-liquid separation member for separating the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid;
The gas-liquid separation member,
an outer housing having a space therein;
an inner housing provided inside the outer housing, the upper and lower portions of which are open;
a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and
A filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle;
On the outer wall of the outer housing,
an intake port connected to the negative pressure generating member;
an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; and
an outlet for discharging the liquid in the space to the outside; is formed,
The intake port is provided on the upper wall of the outer housing,
The inner housing, the upper end of which is connected to the upper wall of the outer housing, and the inside communicates with the intake port through the upper portion of the inner housing,
The filler is
an inner filler provided inside the inner housing; and
and a lower filler connected to the lower end of the inner housing and provided to face the inner side of the inner housing. 베이스;
상기 베이스에 설치되고 기판이 놓이는 기판 지지 유닛;
상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 토출 헤드;
상기 토출 헤드가 결합된 갠트리; 및
상기 토출 헤드의 노즐 또는 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛;을 포함하되,
상기 헤드 세정 유닛은,
상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
상기 기액 분리 부재는,
내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;
상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
상기 외부 하우징의 외벽에는,
상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되고,
상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
상기 충전재는,
상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함하는 기판 처리 장치.Base;
a substrate support unit installed on the base and on which a substrate is placed;
a discharge head for discharging a liquid onto a substrate placed on the substrate supporting unit;
a gantry to which the discharge head is coupled; and
A head cleaning unit for cleaning a nozzle or a nozzle surface of the discharge head;
The head cleaning unit,
a suction nozzle for sucking the liquid remaining in the discharge head; and
a gas-liquid separation member for separating the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid;
The gas-liquid separation member,
an outer housing having a space therein;
an inner housing provided inside the outer housing, the upper and lower portions of which are open;
a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and
A filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle;
On the outer wall of the outer housing,
an intake port connected to the negative pressure generating member;
an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; and
an outlet for discharging the liquid in the space to the outside; is formed,
The intake port is provided on the upper wall of the outer housing,
The inner housing, the upper end of which is connected to the upper wall of the outer housing, and the inside communicates with the intake port through the upper portion of the inner housing,
The filler is
and a lower filler connected to the lower end of the inner housing and provided to face the inner side of the inner housing. 베이스;
상기 베이스에 설치되고 기판이 놓이는 기판 지지 유닛;
상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 토출 헤드;
상기 토출 헤드가 결합된 갠트리; 및
상기 토출 헤드의 노즐 또는 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛;을 포함하되,
상기 헤드 세정 유닛은,
상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
상기 기액 분리 부재는,
내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
상기 외부 하우징의 외벽에는,
상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되고,
상기 하우징은,
그 상부가 개방되고,
상기 공간의 상부를 개폐하는 덮개;를 가지는 기판 처리 장치.Base;
a substrate support unit installed on the base and on which a substrate is placed;
a discharge head for discharging a liquid onto a substrate placed on the substrate supporting unit;
a gantry to which the discharge head is coupled; and
A head cleaning unit for cleaning a nozzle or a nozzle surface of the discharge head;
The head cleaning unit,
a suction nozzle for sucking the liquid remaining in the discharge head; and
a gas-liquid separation member for separating the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid;
The gas-liquid separation member,
an outer housing having a space therein;
a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and
A filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle;
On the outer wall of the outer housing,
an intake port connected to the negative pressure generating member;
an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; and
an outlet for discharging the liquid in the space to the outside; is formed,
The housing is
its upper part is open,
A substrate processing apparatus having a; cover for opening and closing the upper portion of the space. 베이스;
상기 베이스에 설치되고 기판이 놓이는 기판 지지 유닛;
상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 토출 헤드;
상기 토출 헤드가 결합된 갠트리; 및
상기 토출 헤드의 노즐 또는 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛;을 포함하되,
상기 헤드 세정 유닛은,
상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
상기 기액 분리 부재는,
내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
상기 외부 하우징의 외벽에는,
상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되고,
상기 배출구는, 상기 외부 하우징의 하벽에 제공되고,
상기 외부 하우징의 하벽은, 그 가장자리 영역에서 상기 배출구를 향해 갈수록 하향 경사지게 제공된 기판 처리 장치.Base;
a substrate support unit installed on the base and on which a substrate is placed;
a discharge head for discharging a liquid onto a substrate placed on the substrate supporting unit;
a gantry to which the discharge head is coupled; and
A head cleaning unit for cleaning a nozzle or a nozzle surface of the discharge head;
The head cleaning unit,
a suction nozzle for sucking the liquid remaining in the discharge head; and
a gas-liquid separation member for separating the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid;
The gas-liquid separation member,
an outer housing having a space therein;
a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and
A filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle;
On the outer wall of the outer housing,
an intake port connected to the negative pressure generating member;
an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; and
an outlet for discharging the liquid in the space to the outside; is formed,
The outlet is provided on the lower wall of the outer housing,
A lower wall of the outer housing is provided to be inclined downward toward the outlet in an edge region thereof. 제 2 항 내지 제 8 항 중 어느 하나에 있어서,
상기 외부 하우징은, 길이 방향이 상하 방향인 원통형으로 제공되고,
상기 유입구는, 상기 외부 하우징의 측벽에 상기 외부 하우징의 둘레방향을 따라 복수개가 제공되는 기판 처리 장치.9. The method according to any one of claims 2 to 8,
The outer housing is provided in a cylindrical shape with a longitudinal direction in the vertical direction,
A plurality of inlets are provided on a sidewall of the outer housing in a circumferential direction of the outer housing. 제 2 항 내지 제 8 항 중 어느 하나에 있어서,
상기 충전재는, 메쉬(Mesh) 형태를 가지는 기판 처리 장치.9. The method according to any one of claims 2 to 8,
The filler is a substrate processing apparatus having a mesh (Mesh) shape. 삭제delete 액을 토출하는 토출 헤드의 노즐 및 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서,
상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
상기 기액 분리 부재는,
내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부가 개방되고 그 내외부를 연통시키는 개구가 형성된 내부 하우징;
상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
상기 외부 하우징의 외벽에는,
상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되고,
상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재를 포함하는 헤드 세정 유닛.A head cleaning unit for cleaning a nozzle and a nozzle surface of a discharge head that discharges a liquid, the head cleaning unit comprising:
a suction nozzle for sucking the liquid remaining in the discharge head; and
a gas-liquid separation member for separating the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid;
The gas-liquid separation member,
an outer housing having a space therein;
an inner housing provided inside the outer housing, the upper portion of which is open, and an opening communicating the inner and outer housings;
a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and
A filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle;
On the outer wall of the outer housing,
an intake port connected to the negative pressure generating member;
an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; and
an outlet for discharging the liquid in the space to the outside; is formed,
The intake port is provided on the upper wall of the outer housing,
The inner housing, the upper end of which is connected to the upper wall of the outer housing, and the inside communicates with the intake port through the upper portion of the inner housing,
The filler is a head cleaning unit including an inner filler provided inside the inner housing. 제 12 항에 있어서,
상기 유입구는, 상기 개구보다 높은 위치에 제공되는 헤드 세정 유닛.13. The method of claim 12,
The inlet is a head cleaning unit provided at a position higher than the opening. 액을 토출하는 토출 헤드의 노즐 및 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서,
상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
상기 기액 분리 부재는,
내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;
상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
상기 외부 하우징의 외벽에는,
상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되고,
상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
상기 충전재는,
상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재; 및
상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함하는 헤드 세정 유닛.A head cleaning unit for cleaning a nozzle and a nozzle surface of a discharge head that discharges a liquid, the head cleaning unit comprising:
a suction nozzle for sucking the liquid remaining in the discharge head; and
a gas-liquid separation member for separating the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid;
The gas-liquid separation member,
an outer housing having a space therein;
an inner housing provided inside the outer housing, the upper and lower portions of which are open;
a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and
A filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle;
On the outer wall of the outer housing,
an intake port connected to the negative pressure generating member;
an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; and
an outlet for discharging the liquid in the space to the outside; is formed,
The intake port is provided on the upper wall of the outer housing,
The inner housing, the upper end of which is connected to the upper wall of the outer housing, and the inside communicates with the intake port through the upper portion of the inner housing,
The filler is
an inner filler provided inside the inner housing; and
and a lower filler connected to the lower end of the inner housing and provided to face the inside of the inner housing. 액을 토출하는 토출 헤드의 노즐 및 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서,
상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
상기 기액 분리 부재는,
내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;
상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
상기 외부 하우징의 외벽에는,
상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되고,
상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
상기 충전재는,
상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함하는 헤드 세정 유닛.A head cleaning unit for cleaning a nozzle and a nozzle surface of a discharge head that discharges a liquid, the head cleaning unit comprising:
a suction nozzle for sucking the liquid remaining in the discharge head; and
a gas-liquid separation member for separating the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid;
The gas-liquid separation member,
an outer housing having a space therein;
an inner housing provided inside the outer housing, the upper and lower portions of which are open;
a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and
A filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle;
On the outer wall of the outer housing,
an intake port connected to the negative pressure generating member;
an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; and
an outlet for discharging the liquid in the space to the outside; is formed,
The intake port is provided on the upper wall of the outer housing,
The inner housing, the upper end of which is connected to the upper wall of the outer housing, and the inside communicates with the intake port through the upper portion of the inner housing,
The filler is
and a lower filler connected to the lower end of the inner housing and provided to face the inside of the inner housing. 액을 토출하는 토출 헤드의 노즐 및 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서,
상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
상기 기액 분리 부재는,
내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
상기 외부 하우징의 외벽에는,
상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되고,
상기 하우징은,
그 상부가 개방되고,
상기 공간의 상부를 개폐하는 덮개;를 가지는 헤드 세정 유닛.A head cleaning unit for cleaning a nozzle and a nozzle surface of a discharge head that discharges a liquid, the head cleaning unit comprising:
a suction nozzle for sucking the liquid remaining in the discharge head; and
a gas-liquid separation member for separating the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid;
The gas-liquid separation member,
an outer housing having a space therein;
a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and
A filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle;
On the outer wall of the outer housing,
an intake port connected to the negative pressure generating member;
an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; and
an outlet for discharging the liquid in the space to the outside; is formed,
The housing is
its upper part is open,
A head cleaning unit having a cover for opening and closing the upper part of the space. 액을 토출하는 토출 헤드의 노즐 및 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서,
상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
상기 기액 분리 부재는,
내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
상기 외부 하우징의 외벽에는,
상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되고,
상기 배출구는, 상기 외부 하우징의 하벽에 제공되고,
상기 외부 하우징의 하벽은, 그 가장자리 영역에서 상기 배출구를 향해 갈수록 하향 경사지게 제공된 헤드 세정 유닛.A head cleaning unit for cleaning a nozzle and a nozzle surface of a discharge head that discharges a liquid, the head cleaning unit comprising:
a suction nozzle for sucking the liquid remaining in the discharge head; and
a gas-liquid separation member for separating the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle into gas and liquid;
The gas-liquid separation member,
an outer housing having a space therein;
a negative pressure generating member for generating negative pressure in the space; and
A filler provided in the space and filtering the liquid from the mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle;
On the outer wall of the outer housing,
an intake port connected to the negative pressure generating member;
an inlet connected to the suction nozzle and through which a mixture containing the liquid sucked by the suction nozzle is introduced into the space; and
an outlet for discharging the liquid in the space to the outside; is formed,
The outlet is provided on the lower wall of the outer housing,
A lower wall of the outer housing is provided to be inclined downward toward the outlet in an edge region thereof. 제 12 항 내지 제 17 항 중 어느 하나에 있어서,
상기 외부 하우징은, 길이 방향이 상하 방향인 원통형으로 제공되고,
상기 유입구는, 상기 외부 하우징의 측벽에 상기 외부 하우징의 둘레방향을 따라 복수개가 제공되는 헤드 세정 유닛.18. The method according to any one of claims 12 to 17,
The outer housing is provided in a cylindrical shape with a longitudinal direction in the vertical direction,
The head cleaning unit is provided with a plurality of inlets along a circumferential direction of the outer housing on a sidewall of the outer housing. 제 12 항 내지 제 17 항 중 어느 하나에 있어서,
상기 충전재는, 메쉬(Mesh) 형태를 가지는 헤드 세정 유닛.


18. The method according to any one of claims 12 to 17,
The filler is a head cleaning unit having a mesh (Mesh) shape.
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