KR20120022105A - Outdoor air conditioning system using low temperature waste heat - Google Patents

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KR20120022105A
KR20120022105A KR1020100085235A KR20100085235A KR20120022105A KR 20120022105 A KR20120022105 A KR 20120022105A KR 1020100085235 A KR1020100085235 A KR 1020100085235A KR 20100085235 A KR20100085235 A KR 20100085235A KR 20120022105 A KR20120022105 A KR 20120022105A
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한국생산기술연구원
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Abstract

PURPOSE: An energy-saving type outdoor air conditioning system using a low temperature arrangement is provided to enhance energy recovery by directly supplying returning cold water and cooling water to a second circulating coil. CONSTITUTION: An energy-saving type outdoor air conditioning system using a low temperature arrangement comprises a filter unit(110), a free heater(120), a first circulation coil(130), a second circulation coil(140), a plurality of air washers(150), and a reheating coil(160). The filter unit filters foreign substances included in the outdoor air flowing in. The first circulation coil heats or cools the outdoor air flowing in. The second circulation coil heats or cools the flowed the outdoor air flowing in by supplied the cooling water. The air washer sprays water and comprises a valve for controlling a quantity of spray. The reheating coil heats the outdoor air flowing in by supplied the cooling water providing to a cooling tower(D) from a cooler(C).

Description

저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치{Outdoor air conditioning system using low temperature waste heat}Outdoor air conditioning system using low temperature waste heat

본 발명은 저온 배열을 이용한 에너지절약형 외기공조장치에 관한 것으로, 특히 클린룸으로부터 냉각기로 반환되는 반환냉수와 냉각기로부터 제공되는 냉각수를 이용하여 도입외기를 가열하거나 냉각하는 다수개의 순환코일들이 직접 반환냉수 또는 냉각수를 공급받도록 하고, 또 에어와셔로부터 분무되는 물의 양을 조절할 수 있도록 함으로써 열교환 효율을 높이고 도입외기의 습도조절이 용이하도록 한 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치에 관한 것이다.The present invention relates to an energy-saving outdoor air conditioner using a low temperature arrangement, and in particular, a plurality of circulation coils for directly heating or cooling the introduced outdoor air by using the return cooling water returned from the clean room to the cooler and the cooling water provided from the cooler. Alternatively, the present invention relates to an energy-saving external air conditioner using a low-temperature arrangement that allows cooling water to be supplied and adjusts the amount of water sprayed from the air washer, thereby improving heat exchange efficiency and facilitating humidity control of the introduced outside air.

일반적으로 반도체나 액정표시장치와 같은 물품의 제조는 고 청정도가 유지되는 클린룸(Clean room) 내에서 이루어지게 된다. 한편 클린룸으로 유입되는 공기를 통해 먼지나 오염물질이 유입되는 것을 방지하고, 유입되는 공기의 온도 및 습도를 최적의 조건(12℃ 90%)으로 조정하기 위하여 외기공조장치가 사용되고 있다.In general, the manufacture of articles such as semiconductors or liquid crystal displays is performed in a clean room where high cleanliness is maintained. On the other hand, the outside air conditioner is used to prevent the inflow of dust or pollutants through the air flowing into the clean room, and to adjust the temperature and humidity of the incoming air to the optimum conditions (12 ℃ 90%).

도 1은 종래 외기공조장치의 구성도를 도시하고 있다.1 is a block diagram of a conventional external air conditioner.

종래의 외기공조장치는 도입되는 공기 중의 먼지나 각종 가스상의 오염물(SOX,NOX,NH3)을 제거하기 위하여 외기가 유입되는 유입측에 설치된 필터(11)와, 상기 필터의 후단에 설치된 프리히터(Pre-heater,12)와, 공기 중의 각종 미세입자를 여과하기 위한 에어와셔(Air washerm,13) 및 클린룸으로 투입되기 전 도입외기의 최적조건인 12℃, 90%로 조정하기 위한 리히팅 코일(14)이 구비된 것으로 구성되어 있다.The conventional air conditioner is provided with a filter (11) installed on the inlet side to which the outside air is introduced to remove dust and various gaseous contaminants (SO X , NO X , NH 3 ) in the air to be introduced, and a rear end of the filter. Pre-heater (12), air washer (13) for filtering various fine particles in the air, and for adjusting to 12 ℃, 90% of the optimal condition of the introduced outdoor air before being introduced into the clean room. The heating coil 14 is comprised.

한편 반도체나 액정표시장치의 제조공정에서 소요되는 에너지의 대부분(약 90%)은 전력이고, 이중 40%를 공조설비가 소비하게 되며, 공조설비에서 소비되는 대부분의 전력은 상기와 같이 구성되어 클린룸으로 도입되는 외기를 처리하는 외기공조장치를 작동하는데 사용되고 있다. 따라서 외기부하를 감소시켜 외기공조장치에 사용되는 전력을 감소시키는 것만으로도 매우 큰 에너지 절감효과를 기대할 수 있게 된다.On the other hand, most of the energy required in the manufacturing process of semiconductors and liquid crystal displays (about 90%) is electric power, of which 40% is consumed by air conditioning equipment, and most of the power consumed by air conditioning equipment is configured as described above and is clean. It is used to operate the outside air conditioning system to handle the outside air introduced into the room. Therefore, it is possible to expect a very large energy saving effect only by reducing the external load and reducing the power used in the external air conditioner.

이에 클린룸으로부터 배출되는 배기의 열을 회수하여 도입외기의 예열이나 예냉에 사용함으로써 외기부하를 감소시켜 에너지를 절감하는 방법에 대한 많은 연구가 진행되고 있다.Accordingly, many studies have been conducted on how to reduce energy by reducing external load by recovering heat from the exhaust discharged from the clean room and using it for preheating or precooling the introduced outside air.

한편 본 출원인은 클린룸의 내부에서 발생되어 공기와 함께 배출되는 저온 배열을 최대한 회수하여 외기의 가열 및 냉각에 사용함으로써 공조부하를 감소시킬 수 있는 하이브리드 열회수식 외기공조장치를 개발한 바 있으며, 이러한 하이브리드 열회수식 외기공조장치는 한국등록특허 제0963838호에 개시되어 있다.On the other hand, the applicant has developed a hybrid heat recovery type outdoor air conditioner that can reduce the air conditioning load by recovering the low-temperature arrangement generated in the clean room and discharged with the air as much as possible to use for heating and cooling the outside air. Hybrid heat recovery type outdoor air conditioner is disclosed in Korean Patent No. 0963838.

도 2는 하이브리드 열회수식 외기공조장치의 구성을 나타낸 도면을 도시하고 있다.2 is a view showing the configuration of a hybrid heat recovery type outdoor air conditioner.

상기 하이브리드 열회수식 외기공조장치는 클린룸(A)으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기(B)에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 하여 승온된 물을 공급받아 도입외기를 예열 또는 예냉하는 제1 순환코일(23); 상기 클린룸(A)을 순환하는 공기의 냉각을 위하여 별도의 냉각기(C)로부터 클린룸(A)에 구비된 드라이코일(A-1)로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후 냉각기(C)로 복귀하는 반환냉수 및 냉각기(C)로 반환된 냉각수의 응축에 사용된 후 냉각탑(D)으로 반환되는 고온의 냉각수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 제2 순환코일(14); 및 상기 냉각기(C)로 복귀하는 반환냉수 및 냉각기(C)로 반환된 냉각수의 응축에 사용된 후 냉각탑(D)으로 반환되는 고온의 냉각수를 공급받아 도입외기를 최종적으로 가열하는 리히팅 코일(15)을 포함하는 것으로 구성되어 있다.The hybrid heat recovery type outdoor air conditioner is used in the cleaning dust collector (B) for filtration of the exhaust discharged from the clean room (A), and is preheated by receiving the heated water by exchanging heat with the water recovering the exhaust heat. Or a first circulation coil 23 for precooling; In order to cool the air circulating in the clean room A, it is supplied from the separate cooler C to the dry coil A-1 provided in the clean room A and used for cooling the circulated air. A second circulation coil 14 which is used for condensation of return cooling water returning to the cooling water and the cooling water returned to the cooler C and then supplied with high temperature cooling water returned to the cooling tower D to cool or heat the introduced outside air; And a heating coil used for condensation of the return cooling water returned to the cooler (C) and the cooling water returned to the cooler (C), and receiving a high temperature cooling water returned to the cooling tower (D) to finally heat the introduced outside air ( 15).

이와 같은 외기공조장치는 클린룸으로부터 배출되는 배기의 열을 회수한 물과, 클린룸을 순환하는 공기의 냉각에 사용된 반환냉수를 이용하여 도입외기를 가열 또는 냉각하도록 함으로써 외기부하를 감소시켜 에너지의 절감폭을 향상시킬 수 있는 이점을 가지고 있다.The external air conditioner reduces energy by reducing external load by heating or cooling the introduced outdoor air by using the water recovered from the heat of the exhaust discharged from the clean room and the return cold water used to cool the air circulating in the clean room. It has the advantage of improving the savings.

그러나 상기 외기공조장치는 반환냉수가 제일 후단에 위치한 제2 순환코일로 들어가서 순차적으로 앞의 순환코일로 전달되는 방식으로써, 동절기에 최종적으로 순환코일에서 나오는 물의 온도가 너무 낮아지게 됨에 따라 냉동기 및 냉각탑의 부하가 증가하고, 또 물의 낮은 온도로 인해 두 번째 순환코일에서 에너지 회수량이 작아지게 되며, 첫 번째 순환코일에서 에너지 회수가 거의 일어나지 않는 문제점이 발생되었다.However, the outdoor air conditioner is a method in which the return cooling water enters the second circulation coil located at the rear end and is sequentially transferred to the previous circulation coil. As a result, the temperature of the water exiting the circulation coil finally becomes too low in winter, and thus, the refrigerator and the cooling tower. Due to the increase of the load, and the low temperature of the water, the energy recovery amount is reduced in the second circulation coil, and the energy recovery rarely occurs in the first circulation coil.

또한 반도체 클린룸의 경우 습도제어가 매우 중요한 영향을 미침에도 불구하고, 에어와셔(16)로부터 분사되는 물의 양은 항상 동일하므로 정밀한 습도제어가 불가능한 문제점을 갖고 있다.In addition, in the case of the semiconductor clean room, although the humidity control has a very important effect, the amount of water injected from the air washer 16 is always the same, there is a problem that precise humidity control is impossible.

도면 중 미설명부호 21은 필터이고, 22는 프리히터이다.In the figure, reference numeral 21 denotes a filter, and 22 denotes a preheater.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 제2 순환코일들로 반환냉수 또는 냉각수를 공급함에 있어서 각각의 제2 순환코일로 직접 반환냉수 또는 냉각수를 공급할 수 있도록 함으로써 에너지 회수량을 높일 수 있는 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치를 제공함에 있다.The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to supply return cold water or cooling water directly to each second circulation coil in supplying return cooling water or cooling water to the second circulation coils. It is to provide an energy-saving outdoor air conditioner using a low-temperature arrangement that can increase the recovery amount.

본 발명의 다른 목적은 에어와셔의 노즐을 통해 분사되는 물의 양을 조절할 수 있도록 하여 정밀한 습도 제어가 가능하도록 한 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide an energy-saving outdoor air conditioner using a low-temperature arrangement that enables precise humidity control by adjusting the amount of water sprayed through the nozzle of the air washer.

상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명의 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치는 도입외기 중의 이물질을 여과하는 필터유닛; 상기 필터유닛의 후단에 설치되어 도입외기를 가열하는 프리히터; 상기 프리히터의 후단에 설치되며, 클린룸으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 하여 승온된 물을 공급받아 도입외기를 가열 또는 냉각하는 제1 순환코일; 상기 제1 순환코일의 후단에 설치되며, 클린룸에 구비된 드라이코일로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후 냉각기로 복귀하는 반환냉수 또는 냉각기로부터 클린룸으로 공급되는 냉각수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 다수개의 제2 순환코일; 상기 제2 순환코일들의 전후에 배치되어 물을 분무하되, 분무량의 조절을 위한 밸브를 각기 구비하는 다수개의 에어와셔; 상기 냉각기로부터 냉각탑으로 보내어지는 냉각수를 공급받아 도입외기를 가열하는 리히팅 코일을 구비하는 것을 특징으로 한다.Energy saving type outdoor air conditioner using a low-temperature arrangement of the present invention to achieve the object as described above and to perform the problem for eliminating the drawbacks of the prior art filter unit for filtering foreign matter in the introduced outdoor air; A preheater installed at a rear end of the filter unit to heat the introduced outside air; It is installed at the rear end of the pre-heater, and used in the scrubber for filtration of the exhaust discharged from the clean room, and heat-exchanged with the water recovering the heat of the exhaust to receive the heated water to heat or cool the introduced outside air Circulating coil; It is installed at the rear end of the first circulation coil and is supplied to the dry coil provided in the clean room to be used for cooling the circulated air, and then returned to the cooler, and the coolant supplied to the clean room is supplied from the return cold water or the cooler to be returned to the cooler. A plurality of second circulation coils for cooling or heating; A plurality of air washers disposed before and after the second circulation coils to spray water, each having a valve for adjusting the spray amount; It is characterized in that it comprises a heating coil receiving the cooling water sent from the cooler to the cooling tower to heat the introduced outside air.

한편 상기 다수개의 제2 순환코일들은 하나의 제1 개폐밸브를 매개로 반환냉수 회수관과 연결되어 동시에 같은 양의 반환냉수를 공급받도록 구성되고, 더불어 하나의 제2 개폐밸브를 매개로 냉각수 공급관과 연결되어 동시에 같은 양의 냉각수를 동시에 공급받도록 구성될 수 있다.Meanwhile, the plurality of second circulation coils are connected to the return cold water recovery pipe via one first on / off valve and configured to receive the same amount of return cold water at the same time. And may be configured to be simultaneously supplied with the same amount of cooling water.

한편 상기 각각의 제2 순환코일들은 제1 개폐밸브를 매개로 반환냉수 회수관과 각각 연결되어 개별적으로 반환냉수를 공급받도록 구성되고, 더불어 각각의 제2 순환코일들은 제2 개폐밸브를 매개로 냉각수 공급관과 각각 연결되어 개별적으로 냉각수를 공급받도록 구성될 수 있다.Meanwhile, each of the second circulation coils is connected to the return cold water return pipe through the first on-off valve, and is configured to receive return cold water separately, and each second circulation coil is the coolant through the second on / off valve. Each of the supply pipes may be configured to be individually supplied with cooling water.

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 반환냉수 및 냉각수를 제2 순환코일로 직접 공급해 주어 에너지 회수율을 높이고, 또 제2 순환코일로 공급되는 반환냉수 및 냉각수의 양을 상황에 따라 조절이 용이하도록 하여 도입외기의 온도조절이 용이하게 되었다.According to the present invention having the above characteristics, it is possible to directly supply the return cold water and the cooling water to the second circulation coil to increase the energy recovery rate, and to easily adjust the amount of return cold water and the cooling water supplied to the second circulation coil according to the situation. The temperature of the introduced outdoor air can be easily adjusted.

또한 에어와셔로부터 분무되는 유량의 제어가 가능하도록 하여 도입외기의 습도조절이 용이하게 되었다.In addition, it is possible to control the flow rate sprayed from the air washer to facilitate the humidity control of the introduced outdoor air.

도 1 은 종래 외기공조장치의 구성을 나타낸 도면,
도 2 는 하이브리드 열회수식 외기공조장치의 구성을 나타낸 도면,
도 3 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 외기공조장치의 구성을 나타낸 도면,
도 4 는 제2 순환밸브들이 동시에 같은 양의 반환냉수 또는 냉각수를 공급받도록 한 구조를 나타낸 상세도면,
도 5 는 각각의 제2 순환밸브들이 서로 다른 양의 반환냉수 또는 냉각수를 공급받도록 한 구조를 나타낸 상세도면,
도 6 은 에어와셔의 구조를 나타낸 상세도면.1 is a view showing the configuration of a conventional outdoor air conditioner,
2 is a view showing the configuration of a hybrid heat recovery type outdoor air conditioner,
3 is a view showing the configuration of an outdoor air conditioner according to a preferred embodiment of the present invention;
4 is a detailed view showing a structure in which the second circulation valves are simultaneously supplied with the same amount of return cold water or cooling water;
5 is a detailed view showing a structure in which each of the second circulation valves is supplied with different amounts of return cold water or cooling water;
Figure 6 is a detailed view showing the structure of the air washer.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In describing the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 외기공조장치의 구성을 나타낸 도면을 도시하고 있다.3 is a view showing the configuration of an external air conditioner according to a preferred embodiment of the present invention.

본 발명의 외기공조장치는 클린룸으로 공급하기 위하여 유입되는 도입외기 중의 이물질을 여과하고 도입외기를 클린룸에서 요구되는 적정 온도와 습도로 조절하되, 클린룸으로부터 배출되는 저온 배열을 이용하여 에너지의 소모를 줄일 수 있도록 한 것으로, 필터유닛(110)과, 프리히터(120)와, 제1 순환코일(130)과, 제2 순환코일(140)과, 에어와셔(150)와, 리히팅 코일(160)을 구비하는 것으로 구성된다.The outdoor air conditioner of the present invention filters foreign substances in the introduced outdoor air to supply to the clean room, and controls the introduced outdoor air to an appropriate temperature and humidity required in the clean room, and uses a low-temperature arrangement discharged from the clean room to provide energy. In order to reduce the consumption, the filter unit 110, the preheater 120, the first circulation coil 130, the second circulation coil 140, the air washer 150, the heating coil And having 160.

상기 필터유닛(110)은 외기의 유입측에 배치되며, 공지된 망구조의 필터로써 도입외기 중에 포함된 비교적 큰 입자의 이물질을 여과하게 된다. 이러한 필터유닛(110)에는 가스 상의 오염물질을 여과하기 위한 케미컬필터가 포함될 수도 있다.The filter unit 110 is disposed on the inlet side of the outside air, and filters foreign substances of relatively large particles contained in the introduced outside air as a filter of a known network structure. The filter unit 110 may include a chemical filter for filtering the contaminants in the gas phase.

상기 프리히터(120)는 겨울철과 같이 대기의 온도가 낮을 경우 작동하여 도입외기를 예열하는데 사용되는 것이다. 이러한 프리히터(120)를 대신하여 가열코일이 설치될 수도 있다.The preheater 120 is used to preheat the introduced outdoor air by operating when the temperature of the atmosphere is low, such as winter. Instead of the preheater 120, a heating coil may be installed.

상기 제1 순환코일(130)은 클린룸(A)으로부터 배출되는 배기의 열을 회수한 물을 공급받아 도입외기를 예열 또는 예냉하는 것으로, 클린룸(A)으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기(B)에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 통해 승온된 물을 공급받도록 구성된다. 이처럼 세정집진기(B) 측의 물과 제1 순환코일(130) 측의 물의 열교환을 위하여 별도의 열교환기(131)가 사용된다.The first circulation coil 130 is preheated or precooled by receiving the water recovered from the heat of the exhaust discharged from the clean room A, and cleaned for filtration of the exhaust discharged from the clean room A. It is configured to receive the water used in the dust collector (B) to recover the heat of the exhaust and heated up through heat exchange. In this way, a separate heat exchanger 131 is used for heat exchange between the water of the cleaning dust collector B side and the water of the first circulation coil 130 side.

상기 제2 순환코일(140)은 다수개가 제공되며, 다수개의 제2 순환코일(140)들은 상호 일정한 간격을 유지한 채로 도입외기의 유입측으로부터 순차적으로 배치되어있다. 이처럼 배치된 제2 순환코일(140)은 클린룸(A)의 냉방에 사용된 후 냉각기(C)로 반환되는 반환냉수 또는 냉각기(C)로부터 클린룸(A)으로 공급되는 냉각수를 공급받아 도입외기를 가열하거나 냉각하게 된다.The second circulation coil 140 is provided in plural, and the plurality of second circulation coils 140 are sequentially arranged from the inflow side of the introduced outside air while maintaining a constant interval therebetween. The second circulation coil 140 disposed as described above is used to cool the clean room A and then receives the return cooling water returned to the cooler C or the coolant supplied from the cooler C to the clean room A. The outside air is heated or cooled.

한편 상기 반환냉수는 냉각기(C)로부터 클린룸(A)의 드라이코일(A-1)로 공급되어 클린룸(A)을 순환하는 공기의 냉각에 됨으로써 약 18℃의 상태로 승온된 후 냉각기(C)로 복귀하는 물을 의미하며, 이처럼 18℃로 승온되어 냉각기(C)로 반환되는 반환냉수를 제2 순환코일(140)에 공급함으로써, 겨울철에는 도입외기를 가열하게 되고, 이와 반대로 여름철에서는 도입외기를 냉각하게 된다.On the other hand, the return cold water is supplied from the cooler (C) to the dry coil (A-1) of the clean room (A) to be cooled by the air circulating in the clean room (A), the temperature is raised to about 18 ℃ after the cooler ( C) means water, and by returning the cold water returned to the cooler (C) by raising the temperature to 18 ° C. to the second circulation coil 140, the introduced outdoor air is heated in winter, and conversely, in summer Cooling the introduced outside air.

또한 냉각기(C)로부터 클린룸(A)의 드라이코일(A-1)로 공급되는 냉각수는 약 7℃의 온도를 가지며, 이러한 냉각수를 제2 순환코일(140)에 공급함으로써 여름철과 같이 대기의 온도가 높은 경우 도입외기를 효과적으로 냉각시킬 수 있게 된다.In addition, the coolant supplied from the cooler C to the dry coil A-1 of the clean room A has a temperature of about 7 ° C., and by supplying the coolant to the second circulation coil 140, the air is cooled as in summer. When the temperature is high, it is possible to effectively cool the introduced outside air.

상기와 같이 반환냉수 또는 냉각수를 다수개의 제2 순환코일(140)로 순환시킴에 있어서, 각각의 제2 순환코일(140)이 반환냉수 회수관(L1) 및 냉각수 공급관(L2)으로부터 직접 반환냉수와 냉각수를 공급받도록 구성되는 것이 바람직하다.In circulating the return cold water or cooling water to the plurality of second circulation coils 140 as described above, each second circulation coil 140 returns the return cold water directly from the return cooling water return pipe L1 and the cooling water supply pipe L2. And configured to receive cooling water.

도 4 는 제2 순환밸브들이 동시에 같은 양의 반환냉수 또는 냉각수를 공급받도록 한 구조를 나타낸 상세도면을 도시하고 있다.4 is a detailed view illustrating a structure in which the second circulation valves are simultaneously supplied with the same amount of return cold water or cooling water.

상기 다수개의 제2 순환코일(140)들은 하나의 제1 개폐밸브(141)를 매개로 반환냉수 회수관(L1)과 연결되고, 더불어 하나의 제2 개폐밸브(142)를 매개로 냉각수 공급관(L2)과 연결될 수 있다. 이 경우, 제1 개폐밸브(141)의 개방에 의해 다수개의 제2 순환코일(140)들은 동시에 같은 양의 반환냉수를 반환냉수 회수관(L1)으로부터 직접 공급받아 도입외기를 가열하거나 냉각하게 되며, 마찬가지로 제2 개폐밸브(142)의 개방에 의해 다수개의 제2 순환코일(140)들은 동시에 같은 양의 냉각수를 냉각수 공급관(L2)으로부터 직접 공급받아 도입외기를 냉각하게 된다.The plurality of second circulation coils 140 are connected to the return chilled water recovery pipe L1 through one first on / off valve 141 and a coolant supply pipe through one second on / off valve 142. It may be connected to L2). In this case, the plurality of second circulation coils 140 are simultaneously supplied with the same amount of return cold water directly from the return cold water recovery pipe L1 by opening the first open / close valve 141 to heat or cool the introduced outside air. Likewise, the plurality of second circulation coils 140 simultaneously receive the same amount of cooling water directly from the cooling water supply pipe L2 by opening the second opening / closing valve 142 to cool the introduced outdoor air.

도 5 는 각각의 제2 순환밸브들이 서로 다른 양의 반환냉수 또는 냉각수를 공급받도록 한 구조를 나타낸 상세도면을 도시하고 있다.5 is a detailed view showing a structure in which each of the second circulation valves is supplied with different amounts of return cold water or cooling water.

각각의 제2 순환코일(140)들은 제1 개폐밸브(141)를 매개로 반환냉수 회수관(L1)과 각각 연결되고, 더불어 각각의 제2 순환코일(140)들은 제2 개폐밸브(142)를 매개로 냉각수 공급관(L2)과 각각 연결될 수 있다. 이 경우, 각각의 제2 순환코일(140)들은 제1 개폐밸브(141) 또는 제2 개폐밸브(142)의 개방시 반환냉수 회수관(L1) 또는 냉각수 공급관(L2)으로부터 개별적으로 반환냉수 또는 냉각수를 공급받게 되므로, 상황에 따라 각각의 제2 순환코일(140)들로 공급되는 반환냉수나 냉각수의 양을 다르게 할 수 있다.Each of the second circulation coils 140 is connected to the return cold water recovery pipe L1 through the first on / off valve 141, and each of the second circulation coils 140 is the second on / off valve 142. Can be connected to each of the cooling water supply pipe (L2) via. In this case, each of the second circulation coils 140 may be returned from the return cold water recovery pipe L1 or the cooling water supply pipe L2 when the first on / off valve 141 or the second on / off valve 142 is opened. Since the cooling water is supplied, the amount of return cooling water or cooling water supplied to each of the second circulation coils 140 may vary according to the situation.

이와 같은 구조에 의하면, 제2 순환코일(140)들은 반환냉수 회수관(L1) 또는 냉각수 공급관(L2)으로부터 반환냉수 또는 냉각수를 직접 공급받아 도입외기와 열교환을 수행함으로써, 어느 하나의 순환코일로 공급되는 반환냉수가 나머지 다른 순환코일을 순차적으로 순환하도록 함으로써 에너지 회수율이 저하되고, 냉각기 및 냉각탑의 부하를 증가시키는 한국등록특허 제0963838호의 문제점을 해결할 수 있게 된다.According to such a structure, the second circulation coils 140 are directly supplied with the return cooling water or cooling water from the return cooling water recovery pipe L1 or the cooling water supply pipe L2 to perform heat exchange with the introduced air, thereby to any one circulation coil. By returning the supplied cold water to circulate the other remaining circulation coils sequentially, the energy recovery rate is lowered and the problem of Korean Patent No. 0963838, which increases the load of the cooler and the cooling tower, can be solved.

도 6 은 에어와셔의 구조를 나타낸 상세도면을 도시하고 있다.6 shows a detailed view of the structure of the air washer.

상기 에어와셔(150)는 제2 순환코일(140)들의 전후에 배치되어 물을 분무할 수 있도록 다수개로 구성되며, 이러한 에어와셔(150)들은 도입외기 중에 포함된 미세 이물질을 여과함과 더불어 도입외기의 습도 조절을 행하게 된다.The air washer 150 is arranged in front and behind the second circulation coils 140 to be sprayed with water, and the air washer 150 is introduced in addition to filtering the fine foreign matter contained in the introduced outdoor air Humidity control of the outside air is performed.

한편 상기 에어와셔(150)들은 펌프(P)에 의해 공급되는 물을 제공받아 분무하게 되며, 이때 각각의 에어와셔(150)들에는 분무량의 조절을 위한 밸브(151)가 구비되어 각각의 에어와셔(150)들로부터 분무되는 물의 양을 상황에 따라 적절하게 조절할 수 있도록 함으로써 도입외기의 습도를 보다 정밀하게 제어할 수 있게 된다.Meanwhile, the air washers 150 are sprayed by receiving the water supplied by the pump P. In this case, each of the air washers 150 is provided with a valve 151 for adjusting the spray amount. By controlling the amount of water sprayed from the 150 according to the situation it is possible to more precisely control the humidity of the introduced outdoor air.

상기 리히팅 코일(160)은 냉각기(C)로부터 냉각탑(D)으로 보내어지는 약 32℃의 냉각수를 공급받아 도입외기를 가열하는 것이다.The heating coil 160 receives the cooling water of about 32 ° C. sent from the cooler C to the cooling tower D to heat the introduced outside air.

한편 상기 리히팅 코일(160)의 후단에는 도입외기의 원활한 유입 및 처리된 외기를 클린룸(A)으로 공급하기 위한 송풍기(170)가 설치된다.
On the other hand, the rear end of the heating coil 160 is provided with a blower 170 for supplying the fresh air introduced and processed outside air to the clean room (A).

상기와 같이 구성된 본 발명의 외기공조장치는 숭풍기(170)의 작동에 의해 외기를 유입하게 되며, 이처럼 유입되는 외기는 필터유닛(110)을 거쳐 1차 여과과정을 거친 뒤, 프리히터(120) 및 제1 순환코일(130)을 거침으로써 예열이나 예냉과정을 거치게 된다. 물론 여름철과 같이 도입외기의 온도가 높은 경우, 프리히터(120)는 사용하지 않게 된다.The outside air conditioner of the present invention configured as described above is introduced into the outside air by the operation of the sungpung 170, the outside air is introduced after the first filtration process through the filter unit 110, preheater 120 ) And the first circulation coil 130 to undergo a preheating or precooling process. Of course, when the temperature of the introduced outdoor air is high, such as summer, the preheater 120 is not used.

상기와 같이 제1 순환코일(130)을 거친 도입외기는 제2 순환코일(140)들과 에어와셔(150)들을 통과함으로써 2차 여과과정을 거치는 것과 함께 온도와 습도의 조정이 이루어지게 된다.As described above, the introduced outdoor air passing through the first circulation coil 130 passes through the second circulation coils 140 and the air washers 150 to undergo a second filtration process, and the temperature and humidity are adjusted.

한편 제2 순환코일(140)들의 경우, 반환냉수 또는 냉각수를 선택적으로 공급받을 수 있으므로, 관리자는 도입외기의 온도에 따라 반환냉수가 제2 순환코일(140)들에 공급되게 하거나 또는 냉각수가 제2 순환코일(140)들에 공급되도록 제어하게 되며, 각각의 제2 순환코일(140)들에 공급되는 반환냉수 또는 냉각수의 양을 서로 다르게 조절할 수 있으므로 보다 정밀한 온도 제어가 가능하게 된다.Meanwhile, in the case of the second circulation coils 140, the return cold water or the cooling water may be selectively supplied, and the manager may allow the return cooling water to be supplied to the second circulation coils 140 or the cooling water depending on the temperature of the introduced outside air. It is controlled to be supplied to the two circulation coils 140, and the amount of return cold water or cooling water supplied to each of the second circulation coils 140 can be adjusted differently, thereby enabling more precise temperature control.

또한 각각의 에어와셔(150)들로부터 분무되는 유량의 제어에 의해 수분무 기화식 가습과 함께 나타나는 건구온도의 저하를 이용하여 종래의 클린룸(A)에서 어려웠던 30℃ 이하의 저온 가열원에서도 충분한 가습량 및 정밀제어가 가능하게 되었다.In addition, it is sufficient even in a low temperature heating source of 30 ° C. or less, which was difficult in the conventional clean room A, by using a decrease in the dry bulb temperature which is accompanied by moisture vaporization humidification by controlling the flow rate sprayed from the respective air washers 150. Humidification amount and precise control became possible.

한편 제2 순환코일(140)들과 에어와셔(150)들을 거친 도입외기는 리히팅 코일(160)을 거친 후 클린룸(A)으로 공급된다.
Meanwhile, the introduced outdoor air passing through the second circulation coils 140 and the air washers 150 is supplied to the clean room A after passing through the heating coil 160.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
(110) : 필터유닛 (120) : 프리히터
(130) : 제1 순환코일 (140) : 제2 순환코일
(141) : 제1 개폐밸브 (142) : 제2 개폐밸브
(150) : 에어와셔 (160) : 리히팅 코일<Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
110: filter unit 120: preheater
130: first circulation coil 140: second circulation coil
141: first on-off valve 142: second on-off valve
150: air washer 160: heating coil

Claims (3)

도입외기 중의 이물질을 여과하는 필터유닛(110);
상기 필터유닛(110)의 후단에 설치되어 도입외기를 가열하는 프리히터(120);
상기 프리히터(120)의 후단에 설치되며, 클린룸(A)으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기(B)에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 하여 승온된 물을 공급받아 도입외기를 가열 또는 냉각하는 제1 순환코일(130);
상기 제1 순환코일(130)의 후단에 설치되며, 클린룸(A)에 구비된 드라이코일(A-1)로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후 냉각기(C)로 복귀하는 반환냉수 또는 냉각기(C)로부터 클린룸(A)으로 공급되는 냉각수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 다수개의 제2 순환코일(140);
상기 제2 순환코일(140)들의 전후에 배치되어 물을 분무하되, 분무량의 조절을 위한 밸브(151)를 각기 구비하는 다수개의 에어와셔(150);
상기 냉각기(C)로부터 냉각탑(D)으로 보내어지는 냉각수를 공급받아 도입외기를 가열하는 리히팅 코일(160)을 구비하는 것을 특징으로 하는 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치.A filter unit 110 for filtering foreign substances in the introduced outside air;
A preheater 120 installed at a rear end of the filter unit 110 to heat the introduced outside air;
It is installed at the rear end of the preheater 120, and used in the cleaning dust collector (B) for filtration of the exhaust discharged from the clean room (A) to receive the heated water by heat-exchanging with the water recovered the exhaust heat A first circulation coil 130 for heating or cooling the introduced outside air;
Return cold water installed at the rear end of the first circulation coil 130 and supplied to the dry coil A-1 provided in the clean room A and used to cool the circulation air, and then returned to the cooler C. A plurality of second circulation coils 140 receiving cooling water supplied from the cooler C to the clean room A to cool or heat the introduced outside air;
A plurality of air washers 150 disposed before and after the second circulation coils 140 to spray water, each having a valve 151 for adjusting the spray amount;
Energy saving type outdoor air conditioner using a low-temperature arrangement characterized in that it comprises a heating coil (160) for receiving the cooling water sent from the cooler (C) to the cooling tower (D) for heating the introduced outside air. 제 1 항에 있어서,
상기 다수개의 제2 순환코일(140)들은 하나의 제1 개폐밸브(141)를 매개로 반환냉수 회수관(L1)과 연결되어 동시에 같은 양의 반환냉수를 공급받도록 구성되고, 더불어 하나의 제2 개폐밸브(142)를 매개로 냉각수 공급관(L2)과 연결되어 동시에 같은 양의 냉각수를 동시에 공급받도록 구성된 것을 특징으로 하는 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치.The method of claim 1,
The plurality of second circulation coils 140 are connected to the return cold water recovery pipe L1 via one first on-off valve 141 and configured to receive the same amount of return cold water at the same time. Energy-saving outdoor air conditioning apparatus using a low-temperature arrangement, characterized in that connected to the cooling water supply pipe (L2) via the on-off valve (142) configured to receive the same amount of cooling water at the same time. 제 1 항에 있어서,
상기 각각의 제2 순환코일(140)들은 제1 개폐밸브(141)를 매개로 반환냉수 회수관(L1)과 각각 연결되어 개별적으로 반환냉수를 공급받도록 구성되고, 더불어 각각의 제2 순환코일(140)들은 제2 개폐밸브(142)를 매개로 냉각수 공급관(L2)과 각각 연결되어 개별적으로 냉각수를 공급받도록 구성된 것을 특징으로 하는 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치.The method of claim 1,
Each of the second circulation coils 140 is connected to each of the return cold water return pipes L1 via the first opening / closing valve 141 to be individually supplied with the return cooling water, and each of the second circulation coils ( 140 is an energy-saving outdoor air conditioner using a low-temperature arrangement, characterized in that configured to receive the cooling water individually connected to each of the cooling water supply pipe (L2) via the second opening and closing valve (142).
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