KR100963838B1 - Hybrid heat recovery type air conditioning system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 하이브리드 열회수식 외기공조장치에 관한 것으로, 그 목적은 클린룸으로부터 나와 대기로 배출되는 배기중에 포함된 열과, 클린룸을 순환하는 순환공기중에 포함된 열을 모두 회수하여 도입외기의 가열 또는 냉각에 사용하도록 함으로써, 클린룸의 내부에서 발생되어 공기의 배출시 버려지는 많은 양의 열을 이용해 외기공조장치의 공조부하를 감소시켜 에너지의 절감폭을 향상시킬 수 있도록 한 하이브리드 열회수식 외기공조장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 도입외기 중의 이물질을 제거하기 위한 필터와, 도입외기의 가열 또는 냉각을 위한 히터 또는 가열코일 또는 냉각코일 중 적어도 하나 이상을 구비하여 클린룸으로 도입되는 외기를 여과시킴과 더불어 온도와 습도를 조정하는 외기공조장치에 있어서, 상기 클린룸으로부터 배출되는 배기의 열을 회수한 물을 공급받아 도입외기를 예열 또는 예냉하는 제1 순환코일; 상기 클린룸을 순환하는 공기의 냉각을 위하여 별도의 냉각기로부터 클린룸에 구비된 드라이코일로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후, 냉각기로 복귀하는 반환냉수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 제2 순환코일; 및 상기 제2 순환코일과는 별도로 반환냉수를 공급받아 도입외기를 최종적으로 가열하는 리히팅 코일;을 구비하는 하이브리드 열회수식 외기공조장치에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.The present invention relates to a hybrid heat recovery type outdoor air conditioner, and an object thereof is to recover all the heat contained in the exhaust gas discharged from the clean room to the atmosphere and the heat contained in the circulating air circulating through the clean room, thereby heating or introducing the external air. Hybrid heat recovery type external air conditioner that can reduce the air conditioning load of the external air conditioner by improving the energy savings by using a large amount of heat generated inside the clean room and discarded when the air is discharged. In providing. The present invention for this purpose is provided with a filter for removing foreign matter in the introduced outdoor air, and at least one of a heater or heating coil or cooling coil for heating or cooling the introduced outside air to filter the outside air introduced into the clean room, An outdoor air conditioner for adjusting the temperature and humidity, the outdoor air conditioner comprising: a first circulating coil configured to preheat or precool the introduced outdoor air by receiving water recovered from the heat of the exhaust discharged from the clean room; In order to cool the air circulating in the clean room, the air is supplied from a separate cooler to a dry coil provided in the clean room and used for cooling the circulated air. A second circulation coil; And a heating coil for receiving the return cold water separately from the second circulation coil and finally heating the introduced outside air.

제1 순환코일, 제2 순환코일, 리히팅 코일, 반환냉수 1st circulation coil, 2nd circulation coil, riching coil, return cold water

Description

하이브리드 열회수식 외기공조장치{Hybrid heat recovery type air conditioning system}Hybrid heat recovery type air conditioning system

본 발명은 클린룸으로 공급되는 공기의 여과 및 온도와 습도의 제어를 행하는 외기공조장치에 관한 것으로, 특히 클린룸의 내부에서 발생되어 공기와 함께 배출되는 열을 최대한 회수하여 외기의 가열 및 냉각에 사용함으로써 공조부하를 감소시킬 수 있는 하이브리드 열회수식 외기공조장치에 관한 것이다.The present invention relates to an outdoor air conditioner for filtration of air supplied to a clean room and control of temperature and humidity, and in particular, to recover the maximum amount of heat generated in the clean room and discharged with the air, thereby heating and cooling the outside air. The present invention relates to a hybrid heat recovery type outdoor air conditioner capable of reducing air conditioning load.

일반적으로 반도체나 액정표시장치와 같은 물품의 제조는 고 청정도가 유지되는 클린룸(Clean room) 내에서 이루어지게 된다. 한편 클린룸으로 유입되는 공기를 통해 먼지나 오염물질이 유입되는 것을 방지하고, 유입되는 공기의 온도 및 습도를 최적의 조건(12℃ 90%)으로 조정하기 위하여 외기공조장치가 사용되고 있다.In general, the manufacture of articles such as semiconductors or liquid crystal displays is performed in a clean room where high cleanliness is maintained. On the other hand, the outside air conditioner is used to prevent the inflow of dust or pollutants through the air flowing into the clean room, and to adjust the temperature and humidity of the incoming air to the optimum conditions (12 ℃ 90%).

도 1은 종래 외기공조장치의 구성도를 도시하고 있다. 도 1을 참조하면, 종래의 외기공조장치는 도입되는 공기 중의 먼지나 각종 가스상의 오염물(SOX,NOX,NH3)을 제거하기 위한 필터(10)가 구비되고, 상기 필터의 후단으로 겨울철 동파방지를 위한 프리히터(Pre-heater,20)와, 공기 중의 각종 미세입자를 여과 하기 위한 에어와셔(Air washerm,30) 및 클린룸으로 투입되기 전 도입외기의 최적조건인 12℃, 90%로 조정하기 위한 리히팅 코일(40)이 구비된 것으로 구성되어 있다.1 is a block diagram of a conventional external air conditioner. Referring to FIG. 1, the conventional outdoor air conditioner is provided with a filter 10 for removing dust and various gaseous contaminants (SO X , NO X , NH 3 ) in the air to be introduced, and in the winter at the rear end of the filter. Pre-heater (20) for freeze protection, air washer (30) for filtering various fine particles in the air, and 12 ℃, 90% of the optimal condition of introduced outdoor air before being introduced into the clean room It is comprised with the heating coil 40 for adjusting with the furnace.

한편 반도체나 액정표시장치의 제조공정에서 소요되는 에너지의 대부분(약 90%)은 전력이고, 이중 40%를 공조설비가 소비하게 되며, 공조설비에서 소비되는 대부분의 전력은 상기와 같이 구성되어 클린룸으로 도입되는 외기를 처리하는 외기공조장치를 작동하는데 사용되고 있다. 따라서 외기부하를 감소시켜 외기공조장치에 사용되는 전력을 감소시키는 것만으로도 매우 큰 에너지 절감효과를 기대할 수 있게 된다.On the other hand, most of the energy required in the manufacturing process of semiconductors and liquid crystal displays (about 90%) is electric power, of which 40% is consumed by air conditioning equipment, and most of the power consumed by air conditioning equipment is configured as described above and is clean. It is used to operate the outside air conditioning system to handle the outside air introduced into the room. Therefore, it is possible to expect a very large energy saving effect only by reducing the external load and reducing the power used in the external air conditioner.

이에 클린룸으로부터 배출되는 배기의 열을 회수하여 도입외기의 예열이나 예냉에 사용함으로써 외기부하를 감소시켜 에너지를 절감하는 방법에 대한 많은 연구가 진행되고 있다.Accordingly, many studies have been conducted on how to reduce energy by reducing external load by recovering heat from the exhaust discharged from the clean room and using it for preheating or precooling the introduced outside air.

그러나 상기와 같이 배기의 열을 회수하여 도입외기를 예열 또는 예냉하는 것만으로는 외기부하를 감소시키는데 한계가 있으므로, 에너지 절감에 대한 요구를 충분히 만족하지 못하는 문제점이 있었다.However, there is a limit in reducing the external load only by preheating or precooling the introduced outdoor air by recovering the heat of the exhaust as described above.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 클린룸으로부터 나와 대기로 배출되는 배기중에 포함된 열과, 클린룸을 순환하는 순환공기중에 포함된 열을 모두 회수하여 도입외기의 가열 또는 냉각에 사용하도록 함으로써, 클린룸의 내부에서 발생되어 공기의 배출시 버려지는 많은 양의 열을 이용해 외기공조장치의 공조부하를 감소시켜 에너지의 절감폭을 향상시킬 수 있도록 한 하이브리드 열회수식 외기공조장치를 제공함에 있다.The present invention has been made in consideration of the above problems, and an object of the present invention is to recover all the heat contained in the exhaust gas discharged from the clean room to the atmosphere and the heat contained in the circulating air circulating through the clean room. Hybrid heat recovery type outdoor air to reduce the air conditioning load of the air conditioning system by using a large amount of heat generated inside the clean room and discarded when discharging the air, thereby improving energy saving. In providing an air conditioning apparatus.

상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은 도입외기 중의 이물질을 제거하기 위한 필터와, 도입외기의 가열 또는 냉각을 위한 히터 또는 가열코일 또는 냉각코일 중 적어도 하나 이상을 구비하여 클린룸으로 도입되는 외기를 여과시킴과 더불어 온도와 습도를 조정하는 외기공조장치에 있어서,The present invention to achieve the object as described above and to perform a problem for eliminating the conventional defects is at least one of a filter for removing foreign matter in the introduced outdoor air, a heater or heating coil or cooling coil for heating or cooling of the introduced outdoor air In the outside air-conditioning device having at least one, and filtering the outside air introduced into the clean room, and adjusting the temperature and humidity,

상기 클린룸으로부터 배출되는 배기의 열을 회수한 물을 공급받아 도입외기를 예열 또는 예냉하는 제1 순환코일;A first circulation coil configured to preheat or precool the introduced outdoor air by receiving water recovered from the heat of the exhaust discharged from the clean room;

상기 클린룸을 순환하는 공기의 냉각을 위하여 별도의 냉각기로부터 클린룸 에 구비된 드라이코일로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후, 냉각기로 복귀하는 반환냉수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 제2 순환코일; 및In order to cool the air circulating in the clean room, the air is supplied from a separate cooler to a dry coil provided in the clean room and used for cooling the circulated air. A second circulation coil; And

상기 제2 순환코일과는 별도로 반환냉수를 공급받으며, 외기공조장치의 말단에 배치되어 도입외기를 최종적으로 가열하는 리히팅 코일;을 구비하는 하이브리드 열회수식 외기공조장치를 특징으로 한다.And a rich heating coil receiving return cold water separately from the second circulation coil and disposed at an end of the external air conditioner to finally heat the introduced outside air.

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 하이브리드 열회수식 외기공조장치는 클린룸으로부터 배출되는 배기의 열을 회수한 물과, 클린룸을 순환하는 공기의 냉각에 사용된 반환냉수를 이용하여 도입외기를 가열 또는 냉각하도록 함으로써 외기부하를 감소시켜 에너지의 절감폭을 향상시킬 수 있게 되었다.The hybrid heat recovery type outdoor air conditioner of the present invention having the above characteristics heats the introduced outside air by using the water recovered from the heat of the exhaust discharged from the clean room and the return cold water used for cooling the air circulating through the clean room. Alternatively, by cooling, the external load can be reduced to improve the energy saving.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In describing the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 하이브리드 열회수식 외기공조장치의 구성도를 도시하고 있다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 외기공조장치(100)는 필터(110)와, 히터(120)와, 제1 순환코일(130)과, 제2 순환코일(141)을 포함하는 에어와셔(140)와, 리히팅 코일(150)이 외기의 도입측으로부터 순차적으로 배치된 것으로 구성되며, 가장 말단에는 외기의 도입 및 처리된 외기를 클린룸(200)으로 공급하기 위한 송풍기(160)가 구비되어 있다.2 is a block diagram of a hybrid heat recovery type outdoor air conditioner according to a preferred embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, the outdoor air conditioner 100 according to a preferred embodiment of the present invention includes a filter 110, a heater 120, a first circulation coil 130, and a second circulation coil 141. The air washer 140 and the heating coil 150, which are included, are configured to be sequentially disposed from the inlet side of the outside air, and the blower for supplying the outside air introduced and processed at the outermost end to the clean room 200 160 is provided.

통상적으로 클린룸(200)으로부터 배출되는 공기의 85%는 드라이코일(201)을 거쳐 냉각된 후 클린룸(200)의 내부로 다시 투입되고, 나머지 15%만이 외부로 배출된다. 본 발명은 재순환되는 85% 공기의 열을 회수하는 반환냉수를 제2 순환코일(141) 및 리히팅 코일(150)로 공급하고, 외부로 배출되는 15% 공기의 열을 회수한 물을 제1 순환코일(130)로 공급하여 도입외기의 가열 또는 냉각에 사용하게 함으로써, 클린룸(200)의 내부에서 발생된 후 버려지는 대부분의 열을 최대한 활용하여 외기공조장치(100)의 부하를 감소시키도록 한 것으로, 이하 각각의 구성요소에 대하여 구체적으로 설명한다.Typically, 85% of the air discharged from the clean room 200 is cooled through the dry coil 201 and then re-introduced into the clean room 200, and only the remaining 15% is discharged to the outside. The present invention supplies the return cold water for recovering the heat of 85% air to be recycled to the second circulation coil 141 and the heating coil 150, and recovers the heat of 15% air discharged to the outside for the first water. By supplying the circulating coil 130 to be used for heating or cooling the introduced outside air, the load of the outside air conditioning apparatus 100 is reduced by making the most of the heat generated after being generated inside the clean room 200. Each component will be described in detail below.

상기 필터(110)는 외기의 도입측에 배치되어 외기중에 포함된 비교적 큰 입자의 이물질을 제거하게 되며, 외기중에 포함된 가스 상의 오염물질을 여과하기 위하여 케미컬필터가 사용될 수도 있다.The filter 110 is disposed on the introduction side of the outside air to remove foreign particles of relatively large particles contained in the outside air, and a chemical filter may be used to filter the gaseous contaminants contained in the outside air.

상기 히터(120)는 겨울철과 같이 대기의 온도가 낮을 경우, 관리자에 의해 선택적으로 작동하여 도입외기를 예열하는 사용되며, 여름철과 같이 대기의 온도가 높을 경우에는 사용되지 아니한다. 이와 같은 히터(120)의 대신하여 가열코일이 설치될 수도 있다. 물론 여름철과 같이 대기 온도가 높을 경우, 냉각기(220)로부터 공급되는 냉각수를 이용하여 도입외기의 온도를 낮추는 미도시된 냉각코일이 구비될 수 있다.The heater 120 is used to preheat the introduced outside air by selectively operating by the manager when the temperature of the atmosphere is low, such as winter, and is not used when the temperature of the atmosphere is high, such as summer. Instead of the heater 120, a heating coil may be installed. Of course, when the air temperature is high, such as summer, a cooling coil not shown to lower the temperature of the introduced outdoor air by using the cooling water supplied from the cooler 220 may be provided.

상기 제1 순환코일(130)은 클린룸(200)으로부터 배출되는 배기의 열을 회수한 물을 공급받아 도입외기를 예열 또는 예냉하는 것으로, 클린룸(200)으로부터 배 출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기(210)에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 통해 승온된 물을 공급받도록 구성된다. 이처럼 세정집진기(210) 측의 물과 제1 순환코일(130) 측의 물의 열교환을 위하여 별도의 열교환기(230)가 사용된다.The first circulation coil 130 receives preheated or precooled inlet air by receiving water from which the heat of the exhaust discharged from the clean room 200 is recovered, and for filtering the exhaust discharged from the clean room 200. Used to clean the dust collector 210 is configured to receive the water heated by heat exchange with the water recovered the heat of the exhaust. In this way, a separate heat exchanger 230 is used for heat exchange between the water of the cleaning dust collector 210 and the water of the first circulation coil 130.

상기 제2 순환코일(141)은 도입외기 중의 미세먼지와 수용성 화학기체를 제거하기 위한 물을 분사하는 노즐(142)들과 함께 설치되어 에어와셔(140)를 구성하게 되며, 클린룸(200)의 냉방에 사용된 후, 냉각기(220)로 반환되는 반환냉수를 공급받도록 구성된다.The second circulation coil 141 is installed together with the nozzles 142 for injecting water for removing fine dust and water-soluble chemical gas in the introduced outside air to form an air washer 140, and the clean room 200. After being used for cooling of the, it is configured to receive the return cold water returned to the cooler 220.

보다 구체적으로 상기 반환냉수는 클린룸(200)을 순환하는 85%의 순환공기 냉각을 위하여 별도의 냉각기(220)로부터 약 7℃의 상태로 드라이코일(201)(dry coil)로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후, 약 18℃로 승온된 상태로 냉각기(220)로 복귀하는 물을 의미하며, 이처럼 18℃로 승온되어 냉각기(220)로 복귀하는 반환냉수를 제2 순환코일(141)에 공급함으로써, 겨울철에는 도입외기를 가열하게 되고, 이와 반대로 여름철에서는 도입외기를 냉각하게 된다.More specifically, the returned cold water is supplied to the dry coil 201 (dry coil) in a state of about 7 ° C. from a separate cooler 220 for cooling 85% of the circulating air circulating in the clean room 200. After being used for cooling, it means water returning to the cooler 220 in a state of being heated to about 18 ° C, the second return coil 141 to return the cold water is returned to the cooler 220 is raised to 18 ° C as described above By supplying to the air, the introduced outdoor air is heated in winter, and conversely, the introduced outdoor air is cooled in summer.

한편 제2 순환코일(141)로 공급되는 반환냉수는 도입외기와의 열교환을 통해 도입외기를 가열 또는 냉각한 후, 냉각기(220)로 반환된다.Meanwhile, the returned cold water supplied to the second circulation coil 141 is returned to the cooler 220 after heating or cooling the introduced outdoor air through heat exchange with the introduced outdoor air.

상기 리히팅 코일(150)은 제2 순환코일(141)과 마찬가지로 반환냉수를 공급받도록 구성되어 클린룸(200)으로 외기를 투입하기 전, 도입외기를 최종적으로 가열하도록 설치된다.Like the second circulation coil 141, the reheating coil 150 is configured to receive return cold water and is installed to finally heat the introduced outside air before introducing the outside air into the clean room 200.

한편, 냉각기(220)로 반환된 냉각수의 응축에 사용된 후, 냉각탑(240)으로 반환되는 약 30℃의 냉각수를 히터(120)와 제2 순환코일(141) 및 리히팅 코일(150)로 추가적으로 공급하도록 함으로써, 반환냉수만을 이용하여 도입외기의 충분한 가열이 어려울 경우 냉각탑(240)으로 반환되는 고온의 냉각수를 추가적으로 이용함으로써 외기공조장치의 부하를 감소시킬 수 있게 된다.On the other hand, after being used for the condensation of the cooling water returned to the cooler 220, the cooling water of about 30 ℃ returned to the cooling tower 240 to the heater 120, the second circulation coil 141 and the heating coil 150. By additionally supplying, it is possible to reduce the load of the outdoor air conditioner by additionally using a high-temperature cooling water returned to the cooling tower 240 when it is difficult to sufficiently heat the introduced outdoor air using only the return cold water.

상기와 같이 냉각탑(240)으로 반환되는 고온의 냉각수를 히터(120)와 제2 순환코일(141) 및 리히팅 코일(150)로 공급함에 있어, 반환냉수와 함께 공급되도록 구성될 수도 있으며, 반환냉수의 공급은 차단한 상태로 냉각탑(240) 측의 고온의 냉각수만이 공급되도록 할 수도 있다.In supplying the high temperature cooling water returned to the cooling tower 240 to the heater 120, the second circulation coil 141, and the heating coil 150 as described above, it may be configured to be supplied together with the return cooling water, Cold water may be supplied so that only the high temperature cooling water on the cooling tower 240 side is blocked.

상기와 같이 구성된 본 발명의 외기공조장치(100)는 송풍기(160)의 작동에 의해 외기를 도입하게 되며, 이처럼 도입되는 외기는 필터(110)를 거쳐 1차 여과과정을 거친 뒤, 히터(120) 및 제1 순환코일(130)을 거쳐 예열이나 예냉과정을 거치게 된다. 물론 여름철과 같이 도입외기의 온도가 높을 경우, 히터(120)를 사용하지 않을 수도 있다.The outside air conditioner 100 of the present invention configured as described above is introduced to the outside air by the operation of the blower 160, the outside air is introduced through the filter 110 after the first filtration process, the heater 120 ) And the first circulation coil 130 undergoes a preheating or precooling process. Of course, when the temperature of the introduced outdoor air is high, such as summer, the heater 120 may not be used.

상기와 같이 제1 순환코일(130)을 거친 도입외기는 제2 순환코일(141)과 노즐(142)로 이루어지는 에어와셔(140)를 통과함으로써 2차 여과과정을 거치는 것과 함께 온도와 습도가 1차적으로 조정된다.As described above, the introduced outside air passing through the first circulation coil 130 passes through the air washer 140 formed of the second circulation coil 141 and the nozzle 142 to undergo a second filtration process and has a temperature and humidity of 1. Are adjusted differentially.

상기와 같이 제1 순환코일(130)과 제2 순환코일(141)을 거치며 온도와 습도가 조정된 도입외기는 최종적으로 리히팅 코일(150)을 거치며 승온되어 12℃, 90%의 상태로 클린룸(200)으로 공급되며, 클린룸(200)을 순환하는 85%의 공기와 혼합 되어 클린룸(200)의 내부로 투입된다.As described above, the introduced outside air whose temperature and humidity are adjusted while passing through the first circulation coil 130 and the second circulation coil 141 is finally heated up through the heating coil 150 to be clean at a temperature of 12 ° C. and 90%. It is supplied to the room 200, mixed with 85% of air circulating in the clean room 200, and introduced into the clean room 200.

한편 혹한기와 같이 대기의 온도가 매우 낮아 반환냉수만으로는 도입외기를 충분한 온도로 승온시키기 어려울 경우, 냉각탑(240)으로 반환되는 냉각수를 히터(120)와 제2 순환코일(141) 및 리히팅 코일(150)로 공급해주게 된다.On the other hand, if the temperature of the atmosphere is very low, such as cold weather, it is difficult to raise the temperature of the introduced outdoor air to a sufficient temperature only with the return cold water, the cooling water returned to the cooling tower 240 is the heater 120, the second circulation coil 141 and the heating coil ( 150).

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.

도 1 은 종래 외기공조장치의 구성도,1 is a configuration diagram of a conventional outdoor air conditioner,

도 2 는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 하이브리드 열회수식 외기공조장치의 구성도.2 is a block diagram of a hybrid heat recovery type outdoor air conditioner according to a preferred embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

(100) : 외기공조장치 (110) : 필터(100): outside air conditioner (110): filter

(120) : 히터 (130) : 제1 순환코일120: heater 130: first circulation coil

(140) : 에어와셔 (141) : 제2 순환코일140: air washer 141: second circulation coil

(142) : 노즐 (150) : 리히팅 코일142: nozzle 150: heating coil

(160) : 송풍기160: blower

(200) : 클린룸 (201) : 드라이코일200: Clean Room 201: Dry Coil

(210) : 세정집진기 (220) : 냉각기(210): washing dust collector (220): cooler

(230) : 열교환기 (240) : 냉각탑230: heat exchanger 240: cooling tower

Claims (4)

도입외기 중의 이물질을 제거하기 위한 필터와, 도입외기의 가열 또는 냉각을 위한 히터 또는 가열코일 또는 냉각코일 중 적어도 하나 이상을 구비하여 클린룸으로 도입되는 외기를 여과시킴과 더불어 온도와 습도를 조정하는 외기공조장치에 있어서,A filter for removing foreign substances in the introduced outside air, and at least one of a heater or heating coil or cooling coil for heating or cooling the introduced outside air to filter the outside air introduced into the clean room, and to adjust temperature and humidity. In the outdoor air conditioner, 상기 클린룸(200)으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기(210)에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 하여 승온된 물을 공급받아 도입외기를 예열 또는 예냉하는 제1 순환코일(130);The first circulation coil which is used in the cleaning dust collector 210 for filtration of the exhaust discharged from the clean room 200 and is pre-heated or pre-cooled by introducing the heated water by heat-exchanging with the water recovered from the exhaust heat. 130; 상기 클린룸(200)을 순환하는 공기의 냉각을 위하여 별도의 냉각기(220)로부터 클린룸(200)에 구비된 드라이코일(201)로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후 냉각기(220)로 복귀하는 반환냉수 및 냉각기(220)로 반환된 냉각수의 응축에 사용된 후 냉각탑(240)으로 반환되는 고온의 냉각수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 제2 순환코일(141); 및In order to cool the air circulating in the clean room 200, it is supplied from the separate cooler 220 to the dry coil 201 provided in the clean room 200 and used to cool the circulated air, and then to the cooler 220. A second circulation coil 141 for cooling or heating the introduced outside air by receiving the high temperature cooling water returned to the cooling tower 240 after being used for condensation of the returned cooling water and the cooling water returned to the cooler 220; And 상기 냉각기(220)로 복귀하는 반환냉수 및 냉각기(220)로 반환된 냉각수의 응축에 사용된 후 냉각탑(240)으로 반환되는 고온의 냉각수를 공급받아 도입외기를 최종적으로 가열하는 리히팅 코일(150);을 구비하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 열회수식 외기공조장치.Reheating coil 150 used for condensation of the return cooling water returned to the cooler 220 and the cooling water returned to the cooler 220 and then receiving the high temperature coolant returned to the cooling tower 240 to finally heat the introduced outside air. Hybrid heat recovery type outdoor air conditioning apparatus comprising: a. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 순환코일(141)은 도입외기 중 미세먼지와 수용성 화학기체를 제거하기 위한 물을 분사하는 노즐(142)과 함께 설치되어 물의 여과과정 중 도입외기와 열교환을 하도록 구성됨을 특징으로 하는 하이브리드 열회수식 외기공조장치.The second circulation coil 141 is installed with a nozzle 142 for injecting water for removing fine dust and water-soluble chemical gas from the introduced outside air, and is configured to exchange heat with the introduced outside air during the filtration process. Heat recovery air conditioner. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 냉각기(220)로 반환된 냉각수의 응축에 사용된 후, 냉각탑(240)으로 반환되는 고온의 냉각수를 상기 히터(120)로도 공급하도록 구성된 것을 특징으로 하는 하이브리드 열회수식 외기공조장치.Hybrid heat recovery type outdoor air conditioner, after being used for condensation of the cooling water returned to the cooler (220), to supply the high temperature cooling water returned to the cooling tower (240) to the heater (120).
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