KR20120021055A - Mask frame assembly and depositingmethod using the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A mask frame assembly and a method of depositing using the same are provided to prevent a frame from becoming bent by dispersing force applied to both ends in a mask tension process. CONSTITUTION: A mask frame assembly(100) comprises a frame(120), master plates(132,134), and a pattern unit(112). The frame comprises one or more structure reinforcing support defining two or more openings. The master plate comprises a first master plate(138) and two or more second master plates. The first master pate is aligned with the edge of the frame. The second master plate is aligned with two or more openings of the frame. A unit cell pattern is formed on the second master plates.

Description

마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 증착 방법{MASK FRAME ASSEMBLY AND DEPOSITINGMETHOD USING THE SAME}Mask frame assembly and deposition method using the same {MASK FRAME ASSEMBLY AND DEPOSITINGMETHOD USING THE SAME}

본 발명은 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것으로, 특히, 프레임의 변형을 방지하여 증착 정밀도를 향상시킨 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 증착 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a mask frame assembly and a deposition method using the same, and more particularly, to a mask frame assembly and a deposition method using the same to prevent the deformation of the frame to improve the deposition accuracy.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube,CRT)의 단점을 극복하여 경량화 및 소형화가 가능한 평판 표시 장치가 차세대 표시 장치로 각광 받고 있다. 이러한 평판 표시 장치의 대표적인 예로 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Display) 등이 있다. Recently, a flat panel display device capable of reducing weight and size by overcoming a disadvantage of a cathode ray tube (CRT) has been spotlighted as a next generation display device. Representative examples of such flat panel displays include liquid crystal displays and organic light displays.

여기서, 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라, 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다. 그러나, 소정의 색상을 구현하는 유기 발광층은 수분 및 산소에 치명적이기 때문에 유기 발광층을 증착과 동시에 패터닝하는 제조 방법이 제안되었다. 이와 같이, 소정의 패턴을 가지는 전극, 발광층을 형성하기 위한 방법 중 마스크를 이용하여 증착하는 방법이 사용될 수 있다. 마스크는 개구부를 구비하는 프레임에 고정되어 증착용 마스크 프레임 조립체를 구성하는 것이 일반적인데, 프레임에 고정되는 공정에서 마스크가 왜곡되는 문제가 발생될 수 있으며, 마스크의 왜곡에 따른 프레임도 휨 현상이 발생된다. Here, the organic light emitting diode display has advantages of wide viewing angle, excellent contrast, and fast response speed. However, since the organic light emitting layer that implements a predetermined color is fatal to moisture and oxygen, a manufacturing method for simultaneously patterning the organic light emitting layer is proposed. As such, a method of depositing using a mask may be used among the methods for forming an electrode having a predetermined pattern and a light emitting layer. The mask is fixed to a frame having an opening to form a mask frame assembly for deposition. In the process of being fixed to the frame, the mask may be distorted, and the frame may be warped due to the distortion of the mask. do.

다시 말하여, 프레임에 부착될 마스크는 인장력이 작용되는 상태에서 프레임에 부착되므로, 마스크와 프레임이 결합된 후에는 마스크에 작용되었던 인장력이 프레임에도 작용하게 된다. 이와 같이 휨 현상이 발생된 프레임을 이용하여 발광층을 증착하게 되면, 정밀도가 저하될 수 있다. 또한, 프레임은 마스크가 대형화됨에 따라 프레임의 좌, 우에 미치는 힘이 커져 좌, 우 휨 현상이 더욱 심해지며, 휨 현상이 큰 프레임을 이용한 증착 공정을 하게 되면, 정밀도는 더욱 심하게 저하될 수 있다.In other words, the mask to be attached to the frame is attached to the frame in the state where the tensile force is applied, the tension force applied to the mask also acts on the frame after the mask and the frame is combined. As such, when the light emitting layer is deposited using the frame in which the warpage phenomenon occurs, the precision may be deteriorated. In addition, as the mask becomes larger in size, the force on the left and right sides of the frame increases, so that the left and right warpage becomes more severe. When the deposition process using the frame having the large warpage phenomenon is performed, the accuracy may be further deteriorated.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 프레임의 변형을 방지하여 증착 정밀도를 향상시킨 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 증착 방법을 제공하는 것이다. The present invention has been made to solve the above problems, to provide a mask frame assembly and a deposition method using the same to prevent the deformation of the frame to improve the deposition accuracy.

이를 위하여, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체는 적어도 두 개의 개구부를 정의하는 적어도 하나의 구조 보강 지지대를 구비하는 프레임과, 상기 프레임의 테두리면에 얼라인되는 제1 마스터 기판과, 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인되며, 단위 셀 패턴이 형성된 적어도 두 개의 제2 마스터 기판들을 포함하는 마스터 기판과, 셀 단위로 증착하기 위한 패턴부들을 구비하며, 상기 패턴부들이 상기 적어도 두 개의 개구부에 위치하도록 고정되는 마스크를 포함하는 것을 특징으로 한다. To this end, the mask frame assembly according to the present invention comprises a frame having at least one structural reinforcing support defining at least two openings, a first master substrate aligned with an edge of the frame, and at least two of the frames. A master substrate including at least two second master substrates aligned in each of the two openings and having a unit cell pattern formed thereon, and pattern portions for depositing in cell units, wherein the pattern portions are positioned in the at least two openings. It characterized in that it comprises a mask that is fixed to.

여기서, 상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는 상기 프레임의 개구부 중앙에 열방향으로 형성할 수 있으며, 상기 프레임의 개구부 중앙에 행방향으로 형성할 수 있는 것을 특징으로 한다. Here, the at least one structural reinforcing support may be formed in the column direction in the center of the opening of the frame, it may be formed in the row direction in the center of the opening of the frame.

그리고, 상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는 열방향으로 형성되는 제1 구조 보강 지지대와, 행방향으로 형성되며, 상기 제1 구조 보강 지지대와 교차되어 형성되는 제2 구조 보강 지지대를 포함하는 것을 특징으로 한다. The at least one structural reinforcement support includes a first structural reinforcement support formed in a row direction and a second structural reinforcement support formed in a row direction and formed to intersect with the first structural reinforcement support. do.

또한, 상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판은 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인시키기 위해 적어도 두 개의 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. The at least two second master substrates may further include at least two stages to align with each of the at least two openings of the frame.

그리고, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체를 이용한 증착 방법은 프레임의 테두리면에 제1 마스터 기판을 얼라인시키는 단계와, 상기 프레임의 구조 보강 지지대에 의해 구분된 적어도 두 개의 개구부 각각에 단위 셀 패턴이 형성된 적어도 두 개의 제2 마스터 기판들을 얼라인시키는 단계와, 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 내에 셀 단위로 증착하기 위한 마스크를 위치시키는 단계와, 상기 제1 마스터 기판과 상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판을 제거한 뒤, 상기 프레임 상에 부착된 마스크를 이용하여 기판 상에 박막층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, in the deposition method using the mask frame assembly according to the present invention, the first master substrate is aligned on the edge of the frame, and the unit cell pattern is formed in each of at least two openings separated by the structural reinforcement support of the frame. Aligning the formed at least two second master substrates, positioning a mask for cell deposition in at least two openings of the frame, the first master substrate and the at least two second master substrates; After removing the, characterized in that it comprises the step of forming a thin film layer on the substrate using a mask attached on the frame.

여기서, 상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는 상기 프레임의 개구부 중앙에 열방향으로 형성할 수 있으며, 상기 프레임의 개구부 중앙에 행방향으로 형성할 수 있는 것을 특징으로 한다. Here, the at least one structural reinforcing support may be formed in the column direction in the center of the opening of the frame, it may be formed in the row direction in the center of the opening of the frame.

그리고, 상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는 열방향으로 형성되는 제1 구조 보강 지지대와, 행방향으로 형성되며, 상기 제1 구조 보강 지지대와 교차되어 형성되는 제2 구조 보강 지지대를 포함하는 것을 특징으로 한다. The at least one structural reinforcement support includes a first structural reinforcement support formed in a row direction and a second structural reinforcement support formed in a row direction and formed to intersect with the first structural reinforcement support. do.

또한, 상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판은 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인시키기 위해 적어도 두 개의 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. The at least two second master substrates may further include at least two stages to align with each of the at least two openings of the frame.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체는 프레임에 적어도 하나의 구조 보강 지지대를 형성하여 적어도 두 개의 개구부를 형성한다. 이와 같이, 프레임에 구조 보강용 지지대를 형성함으로써 프레임의 개구부의 면적이 분할되어 마스크 인장 과정에서 양 끝단으로만 작용했던 힘을 분산시키게 된다. 이에 따라, 구조 보강 지지대는 프레임의 휨 방지를 할 수 있으며, 프레임을 경량화시킬 수 있다. 또한, 대형 마스크를 사용하게 되더라도 적어도 두 개의 개구부가 형성된 프레임은 인장력에 대한 영향을 줄일 수 있어 프레임의 휨을 방지할 수 있다. 이와 같이, 본 발명은 휨 현상이 없는 프레임을 이용하여 박막층을 증착하게 되므로 정밀도가 우수한 증착 공정을 할 수 있다. As described above, the mask frame assembly according to the present invention forms at least one structural reinforcing support in the frame to form at least two openings. As such, by forming the support for structural reinforcement in the frame, the area of the opening of the frame is divided to disperse the forces acting only at both ends in the mask tensioning process. Accordingly, the structural reinforcing support can prevent the frame from bending, and can reduce the weight of the frame. In addition, even if a large mask is used, the frame having at least two openings may reduce the influence on the tensile force, thereby preventing the frame from warping. As described above, the present invention can deposit a thin film layer using a frame having no warping phenomenon, so that a deposition process with high precision can be performed.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체를 나타내는 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 증착 방법 중 프레임과 제1 마스터 기판, 프레임과 적어도 두 개의 제2 마스터 기판을 얼라인하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이며, 도 2b는 도 2a를 Ⅰ-Ⅰ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.
도 3a는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 증착 방법 중 마스크를 인장하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이고, 도 3b은 도 3a를 Ⅱ-Ⅱ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마스크가 부착된 프레임을 이용하여 박막층을 형성하는 단면도이다.
도 5은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체를 나타내는 사시도이다.
도 6a는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 증착 방법 중 프레임과 제1 마스터 기판, 프레임과 적어도 네 개의 제2 마스터 기판을 얼라인하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이며, 도 6b는 도 2a를 Ⅰ-Ⅰ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.
도 7a는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 증착 방법 중 마스크를 인장하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이고, 도 7b은 도 7a를 Ⅱ-Ⅱ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 마스크가 부착된 프레임을 이용하여 박막층을 형성하는 단면도이다.1 is a perspective view illustrating a mask frame assembly according to a first embodiment of the present invention.
2A is a plan view illustrating a process of aligning a frame, a first master substrate, a frame, and at least two second master substrates in a deposition method according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2B is a view of FIG. The cross-sectional view which cut 2a into II 'is shown.
3A is a plan view illustrating a process of tensioning a mask in a deposition method according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line II-II ′ of FIG. 3A.
4 is a cross-sectional view of forming a thin film layer using a frame with a mask according to a first embodiment of the present invention.
5 is a perspective view illustrating a mask frame assembly according to a second embodiment of the present invention.
6A is a plan view illustrating a process of aligning a frame, a first master substrate, a frame, and at least four second master substrates in a deposition method according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 6B is a view of FIG. The cross-sectional view which cut 2a into II 'is shown.
FIG. 7A illustrates a plan view for explaining a process of tensioning a mask in a deposition method according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 7B illustrates a cross-sectional view taken along line II-II ′ of FIG. 7A.
8 is a cross-sectional view of forming a thin film layer using a frame with a mask according to a second embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세하게 설명한다. 본 발명의 구성 및 그에 따른 작용 효과는 이하의 상세한 설명을 통해 명확하게 이해될 것이다. 본 발명의 상세한 설명에 앞서, 동일한 구성 요소에 대해서는 다른 도면 상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호로 표시하며, 공지된 구성에 대해서는 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 구체적인 설명은 생략하기로 함에 유의한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The configuration of the present invention and the operation and effect thereof will be clearly understood through the following detailed description. Before describing the present invention in detail, the same components are denoted by the same reference symbols as possible even if they are displayed on different drawings. In the case where it is judged that the gist of the present invention may be blurred to a known configuration, do.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도 1 내지 도 8을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 8.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체를 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view illustrating a mask frame assembly according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체(100)는 프레임(120), 마스크(110), 마스터 기판(132,134,138)를 구비한다. Referring to FIG. 1, the mask frame assembly 100 according to the first embodiment of the present invention includes a frame 120, a mask 110, and master substrates 132, 134, and 138.

마스크(110)는 자성을 띤 금속 박판으로 이루어져 있으며, 박막이 증착될 기판 즉, 피증착 기판에 셀 단위로 증착하기 위한 패턴부들(112)을 구비한다. 이러한, 마스크(110)의 패턴부들(112)은 다수의 단위표시소자와 대응되는 패턴으로 형성되며, 마스크(110)의 패턴부들(112)은 프레임(120)의 개구부(122a,122b)에 위치하도록 마스크(110)가 프레임(120)에 고정된다. 마스크(110)의 패턴부(112)의 형태는 다수의 단위표시소자에 한정되지 않으며, 사용자가 원하는 패턴으로 형성될 수 있다.The mask 110 is formed of a magnetic metal thin plate, and has pattern portions 112 for depositing a cell on a substrate on which a thin film is to be deposited, that is, a substrate to be deposited. The pattern portions 112 of the mask 110 are formed in a pattern corresponding to a plurality of unit display elements, and the pattern portions 112 of the mask 110 are positioned in the openings 122a and 122b of the frame 120. The mask 110 is fixed to the frame 120 so as to. The pattern portion 112 of the mask 110 is not limited to a plurality of unit display elements, and may be formed in a pattern desired by a user.

또한, 도 1에 도시된 마스크(110)는 복수의 단위 마스크들로 분할된 형태로 형성함으로써 인장력을 가하여 프레임(120)에 고정되는 과정에서 발생할 수 있는 패턴부들(112)의 왜곡을 최소화할 수 있다. 그리고, 증착 공정 시, 복수의 단위 마스크들 중 불량이 발생된 해당 마스크만 교체할 수 있으므로, 증착 마스크 전체를 교체하는 마스크에 비해 비용을 절감시킬 수 있다. In addition, the mask 110 illustrated in FIG. 1 may be formed in a divided form into a plurality of unit masks to minimize distortion of the pattern parts 112 that may occur in the process of being fixed to the frame 120 by applying a tensile force. have. In the deposition process, since only the corresponding mask in which the defect is generated among the plurality of unit masks may be replaced, the cost may be reduced compared to the mask replacing the entire deposition mask.

프레임(120)은 마스크(110)를 고정 및 지지하며, 적어도 두 개의 개구부(122a,122b)를 구비하여 증착시 증착 물질이 통과할 수 있도록 한다. 또한, 마스크(110)가 프레임(120)에 인장력이 가해지도록 고정되므로, 프레임(120)은 강성을 가지는 재질이며, 증착이 되는 기판 등과 접촉할 때 화학적 물리적 손상을 주지 않는 물질로 형성될 수 있다. The frame 120 fixes and supports the mask 110 and has at least two openings 122a and 122b to allow the deposition material to pass through during deposition. In addition, since the mask 110 is fixed so that the tensile force is applied to the frame 120, the frame 120 is a material having rigidity, and may be formed of a material that does not cause chemical physical damage when contacting the substrate to be deposited. .

프레임(120)은 마스크(110)를 고정 및 지지할 수 있도록 상,하,좌,우 지지대(124,126)를 구비하며, 적어도 두 개의 개구부(122a,122b)를 정의하는 적어도 하나의 구조 보강 지지대(128)를 포함한다. 이때, 프레임(120)은 적어도 하나의 구조 보강 지지대(128)를 형성하나, 본 발명의 제1 실시 예로 프레임(120)에 하나의 구조 보강 지지대(128)를 형성한 것을 예로 들어 설명하기로 한다. The frame 120 includes upper, lower, left, and right supports 124 and 126 for fixing and supporting the mask 110, and includes at least one structural reinforcing supporter defining at least two openings 122a and 122b. 128). At this time, the frame 120 forms at least one structural reinforcing support 128, but the first embodiment of the present invention will be described by taking an example of forming one structural reinforcing support 128 in the frame 120. .

구체적으로, 구조 보강 지지대(128)는 도 1에 도시된 바와 같이 프레임(120)의 개구부 중앙에 좌,우 지지대(126)와 평행하도록 열방향으로 형성할 수 있으며, 도면에 도시되지 않았으나, 개구부 중앙에 상,하 지지대(124)와 평행하도록 행방향으로 형성할 수 있다. 프레임(120)은 구조 보강 지지대(128)로 인해 프레임(120)의 개구부가 구분되어 제1 및 제2 개구부(122a,122b)가 형성된다. Specifically, the structural reinforcement support 128 may be formed in the column direction parallel to the left and right support 126 in the center of the opening of the frame 120, as shown in Figure 1, although not shown in the figure, the opening It can be formed in a row direction parallel to the upper and lower support 124 in the center. The frame 120 is divided into openings of the frame 120 by the structural reinforcement support 128 to form first and second openings 122a and 122b.

이러한, 구조 보강 지지대(128)는 프레임(120)의 휨을 방지할 수 있으며, 프레임(120)을 경량화시킬 수 있다. Such a structural reinforcement support 128 can prevent the bending of the frame 120, and can reduce the weight of the frame 120.

다시 말하여, 마스크(110)는 인장력이 작용되는 상태에서 프레임(120)에 부착되므로, 마스크(110)와 프레임(120)이 결합된 후에는 마스크(110)에 작용되었던 인장력이 프레임(120)에도 작용하게 된다. 이때, 프레임(120)에 구조 보강용 지지대(128)를 형성함으로써 프레임(120)의 개구부의 면적이 분할되어 마스크(110) 인장 과정에서 양 끝단으로만 작용했던 힘을 분산시키게 된다. 이에 따라, 구조 보강 지지대(128)는 프레임(120)의 휨 방지를 할 수 있으며, 프레임(120)을 경량화시킬 수 있다. In other words, the mask 110 is attached to the frame 120 in a state where the tensile force is applied, so that after the mask 110 and the frame 120 are coupled, the tensile force applied to the mask 110 is applied to the frame 120. Will also work. At this time, by forming the support for structural reinforcement 128 in the frame 120 is divided the area of the opening of the frame 120 to distribute the force acting only at both ends in the mask 110 tensioning process. Accordingly, the structural reinforcement support 128 can prevent the bending of the frame 120 and can reduce the frame 120.

또한, 본 발명에 도시된 단위 마스크(110)를 사용하지 않고, 대형 마스크를 사용하게 되면 인장력이 단위 마스크(110)에 비해 크게 작용하여 프레임(120)의 양 끝단의 휨은 더욱 심하게 된다. 하지만, 본 발명과 같이 프레임(120)에 구조 보강 지지대(128)가 형성되면, 인장력에 대한 영향을 줄일 수 있어 프레임(120)의 휨을 방지할 수 있다. In addition, when the large size mask is used without using the unit mask 110 shown in the present invention, the tensile force is greater than that of the unit mask 110, and thus the bending of both ends of the frame 120 becomes more severe. However, when the structural reinforcement support 128 is formed in the frame 120 as in the present invention, the influence on the tensile force can be reduced to prevent bending of the frame 120.

한편, 구조 보강 지지대(128)를 프레임(120)의 개구부 중앙에 형성하는 것을 예를 들어 설명하지만, 유기 발광 소자의 크기나, 유기 발광 표시 장치의 크기에 따라 위치를 변경할 수 있으므로 이에 한정하지 않는다. 또한, 구조 보강 지지대(128)는 도 1에 도시된 바와 같이 프레임(120)의 개구부에 열방향으로 하나 형성할 수 있지만, 열방향으로 다수개가 형성될 수 있으며, 행방향으로 다수개가 형성될 수 있다. 그리고, 구조 보강 지지대(128)의 폭은 프레임의 크기나 유기 발광 표시 장치의 크기에 고려하여 형성할 수 있으며, 사용자의 필요에 따라 변경이 가능하므로 이에 한정하지 않는다. Meanwhile, the formation of the structural reinforcement support 128 in the center of the opening of the frame 120 will be described by way of example. However, the position of the structural reinforcement support 128 may be changed according to the size of the organic light emitting diode or the size of the organic light emitting diode display. . In addition, one structural reinforcement support 128 may be formed in the column direction in the opening of the frame 120, as shown in Figure 1, a plurality can be formed in the column direction, a plurality can be formed in the row direction have. In addition, the width of the structural reinforcement support 128 may be formed in consideration of the size of the frame or the size of the organic light emitting display device, and may be changed according to a user's need, and thus the present invention is not limited thereto.

마스터 기판(132,134,138)은 프레임(120)의 상,하, 좌, 우 지지대(124,126)의 테두면과 대응되는 크기의 제1 마스터 기판(138)과, 구조 보강 지지대(128)에 의해 구분된 프레임(120)의 개구부의 크기와 대응되는 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 포함한다.The master substrates 132, 134, and 138 are frames separated by the first master substrate 138 having a size corresponding to the edges of the upper, lower, left, and right supports 124, 126 of the frame 120 and the structural reinforcement support 128. Two second master substrates 132 and 134 corresponding to the size of the opening of 120 are included.

여기서, 제1 마스터 기판(138)은 프레임(120)의 상,하, 좌, 우 지지대(124,126)의 테두면에 안착되어 고정되며, 두 개의 제2 마스터 기판(132,134) 중 하나(132)는 프레임(120)의 제1 개구부(122a)에 안착되며, 두 개의 제2 마스터 기판 중 다른 하나(134)는 프레임(120)의 제2 개구부(122b)에 안착된다. 이를 위해, 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 프레임(120)의 제1 및 제2 개구부(122a,122b) 각각에 얼라인시키기 위해 도 2b에 도시된 바와 같이 제2 마스터 기판의 갯 수와 동일하게 스테이지(202,204)를 구비한다. Here, the first master substrate 138 is seated on the edges of the upper, lower, left and right supporters 124 and 126 of the frame 120 and fixed. One of the two second master substrates 132 and 134 is The first opening 122a of the frame 120 is seated, and the other one of the two second master substrates 134 is seated in the second opening 122b of the frame 120. To this end, the number of second master substrates, as shown in FIG. 2B, to align the two second master substrates 132, 134 to the first and second openings 122a, 122b of the frame 120, respectively. Similarly, stages 202 and 204 are provided.

제1 마스터 기판(138)은 스크라이빙 되지 않은 마스터 기판으로 단위 셀 패턴을 형성하지 않는다. 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)은 기판 상에 유기 발광 표시 장치의 단위 셀 패턴(132)을 형성한다. 즉, 제2 마스터 기판(132,134)은 하나의 유기 발광 표시 장치로 기능하게 될 단위 셀들을 구비하는 기판과 동일한 위치에 단위 셀들의 패턴(132)이 형성된 기판을 말한다. The first master substrate 138 does not form a unit cell pattern as an unscrambled master substrate. The two second master substrates 132 and 134 form a unit cell pattern 132 of the organic light emitting diode display on the substrate. That is, the second master substrates 132 and 134 are substrates in which the pattern of the unit cells 132 is formed at the same position as the substrate including the unit cells to function as one organic light emitting display device.

여기서, 제2 마스터 기판은 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 마련하는 것을 예로 들어 설명하였지만, 제2 마스터 기판(132,134)은 구조 보강 지지대(128)를 기준으로 나눠지는 개구부 수와 대응되는 갯 수로 구비되며, 나눠진 개구부의 크기와 대응되거나 개구부 내에 안착될 수 있는 크기로 형성된다. Herein, the second master substrate has been described using two second master substrates 132 and 134 as an example. However, the second master substrates 132 and 134 have a number corresponding to the number of openings divided based on the structural reinforcement support 128. It is provided with a number and is formed to have a size corresponding to the size of the divided opening or to be seated in the opening.

도 2a 내지 도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 증착 방법의 각 공정을 나타낸 평면도 및 단면도들이다. 2A to 4 are plan and cross-sectional views illustrating respective processes of the deposition method according to the first embodiment of the present invention.

먼저, 도 2a는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 증착 방법 중 프레임(120)과 제1 마스터 기판(138), 프레임(120)과 적어도 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 얼라인하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이며, 도 2b는 도 2a를 Ⅰ-Ⅰ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다. 2A illustrates a process of aligning a frame 120, a first master substrate 138, a frame 120, and at least two second master substrates 132 and 134 in a deposition method according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 2A.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 스크라이빙 되지 않은 제1 마스터 기판(138)을 프레임(120)의 상,하, 좌, 우 지지대(124,126) 상에 얼라인한 뒤, 단위 셀 패턴(136)이 형성된 두 개의 제2 마스터 기판들(132,134)을 프레임(120)의 제1 및 제2 개구부(122a,122b) 각각에 얼라인시킨다. 2A and 2B, after aligning the unscrambled first master substrate 138 on the upper, lower, left, and right supports 124 and 126 of the frame 120, the unit cell pattern 136 The two formed second master substrates 132 and 134 are aligned with each of the first and second openings 122a and 122b of the frame 120.

구체적으로, 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 프레임(120)의 제1 및 제2 개구부(122a,122b) 각각에 얼라인시키기 위해 제1 및 제2 스테이지(202,204)를 구비한다. 제1 스테이지(202)는 제1 개구부(122a)와 대응되는 위치에 배치되어 제2 마스터 기판들 중 하나(132)를 제1 개구부(122a)에 얼라인시키며, 제2 스테이지(204)는 제2 개구부(122b)와 대응되는 위치에 배치하여 제2 마스터 기판들 중 다른 하나(134)를 제2 개구부(122b)에 얼라인시킨다. 이때, 제1 및 제2 스테이지(202,204)는 동시에 같은 방향으로 움직인다. Specifically, the first and second stages 202 and 204 are provided to align the two second master substrates 132 and 134 to the first and second openings 122a and 122b of the frame 120, respectively. The first stage 202 is disposed at a position corresponding to the first opening 122a to align one of the second master substrates 132 with the first opening 122a, and the second stage 204 may include the first stage 204. The second one of the second master substrates 134 is aligned with the second opening 122b by being disposed at a position corresponding to the second opening 122b. At this time, the first and second stages 202 and 204 simultaneously move in the same direction.

다음, 도 3a는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 증착 방법 중 마스크(120)를 인장하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이고, 도 3b은 도 3a를 Ⅱ-Ⅱ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다. Next, FIG. 3A is a plan view illustrating a process of tensioning the mask 120 in the deposition method according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line II-II ′ of FIG. 3A. It is shown.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 마스크(110)의 패턴부들(112)과 제2 마스터 기판들(132,134)에 형성된 단위 셀들의 패턴(136)을 비교하면서, 마스크(110)에 대한 텐션량을 조절한다. 이때, 마스크(110)는 인장 장치에 고정되어 양 방향으로 인장력을 가하도록 하며, 마스크(110)의 패턴부들(112)과 제2 마스터 기판들(132,134)에 형성된 단위 셀들의 패턴(136)이 서로 일치되도록 한다. 3A and 3B, the amount of tension with respect to the mask 110 is compared while comparing the pattern portions 112 of the mask 110 and the pattern 136 of the unit cells formed on the second master substrates 132 and 134. Adjust. In this case, the mask 110 is fixed to the tensioning device to apply tensile force in both directions, and the pattern portions 136 of the unit cells formed on the pattern portions 112 and the second master substrates 132 and 134 of the mask 110 are formed. Make sure they match.

이어서, 도 4는 제1 마스터 기판(138) 및 두 개의 제2 마스터 기판(132,134)을 제거한 뒤, 프레임(120)에 부착된 마스크(110)를 이용하여 박막층을 예로 들어, 발광층을 형성하는 단면도이다. Subsequently, FIG. 4 is a cross-sectional view of removing the first master substrate 138 and the two second master substrates 132 and 134 and then forming the light emitting layer using the thin film layer as an example using the mask 110 attached to the frame 120. to be.

도 4를 참조하면, 증착원(142)에 대응하도록 마스크가 부착된 프레임(100)을 설치하고 이 상부에 기판(140)을 위치시킨 후 증착을 수행하여 기판(140)에 발광층을 형성한다. Referring to FIG. 4, a frame 100 having a mask is installed to correspond to the deposition source 142, the substrate 140 is positioned on the upper portion, and deposition is performed to form a light emitting layer on the substrate 140.

도 5은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체를 나타내는 사시도이다. 5 is a perspective view illustrating a mask frame assembly according to a second embodiment of the present invention.

도 5을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체(100)는 프레임(150), 마스크(190), 마스터 기판(162,164,166,168)를 구비한다. 마스크(190)는 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 제1 실시 예와 동일하므로 생략하기로 한다. Referring to FIG. 5, the mask frame assembly 100 according to the second embodiment of the present invention includes a frame 150, a mask 190, and master substrates 162, 164, 166, and 168. Mask 190 is the same as the first embodiment of the present invention as shown in Figure 2 will be omitted.

프레임(150)은 마스크(190)를 고정 및 지지하며, 적어도 두 개의 개구부(152a,152b,152c,152d)를 구비하여 증착시 증착 물질이 통과할 수 있도록 한다. 또한, 마스크(190)가 프레임(150)에 인장력이 가해지도록 고정되므로, 프레임(150)은 강성을 가지는 재질이며, 증착이 되는 기판 등과 접촉할 때 화학적 물리적 손상을 주지 않는 물질로 형성될 수 있다. The frame 150 fixes and supports the mask 190, and includes at least two openings 152a, 152b, 152c, and 152d to allow the deposition material to pass through during deposition. In addition, since the mask 190 is fixed so that the tensile force is applied to the frame 150, the frame 150 is a material having rigidity, and may be formed of a material that does not cause chemical physical damage when contacted with a substrate to be deposited. .

프레임(150)은 마스크(190)를 고정 및 지지할 수 있도록 상,하,좌,우 지지대(154,156)를 구비하며, 두 개의 구조 보강 지지대(158a,158b)가 서로 교차하여 형성한다. 구체적으로, 프레임(150)은 프레임(150)의 좌, 우 지지대(156)와 평행하도록 열방향으로 형성된 제1 구조 보강 지지대(158a)와, 제1 구조 보강 지지대(158a)와 교차되며 프레임(150)의 상, 하 지지대(154)와 평행하도록 행방향으로 형성된 제2 구조 보강 지지대(158b)를 포함한다. 프레임(150)은 제1 및 제2 구조 보강 지지대(158a,158b)로 인해 제1 내지 제4 개구부(152a,152b,152c,152d)가 형성된다. The frame 150 includes upper, lower, left, and right supports 154 and 156 to fix and support the mask 190, and two structural reinforcement supports 158a and 158b cross each other. Specifically, the frame 150 intersects the first structural reinforcing support 158a and the first structural reinforcing support 158a formed in a column direction so as to be parallel to the left and right supporters 156 of the frame 150. And a second structural reinforcing supporter 158b formed in a row direction to be parallel to the upper and lower supporters 154 of 150. The frame 150 has first to fourth openings 152a, 152b, 152c and 152d due to the first and second structural reinforcing supports 158a and 158b.

이와 같이, 제1 및 제2 구조 보강 지지대(158a,158b)가 교차로 형성된 프레임(150)은 대형의 유기 발광 표시 장치를 제조할 때, 프레임(150)의 휨 현상 없음과 동시에 프레임(150)의 경량화를 가능하게 할 수 있다. As described above, the frame 150 having the first and second structural reinforcing supports 158a and 158b intersected with each other when the large size organic light emitting display device is manufactured, the frame 150 is not warped and the frame 150 is formed at the same time. Light weight can be enabled.

다시 말하여, 대형의 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 그에 따른 마스크(190)의 크기와 프레임(150)의 크기가 커지게 됨으로써 인장력이 프레임(150)이나 마스크(190)에 크게 작용하게 된다. 이때, 프레임(150)에 구조 보강용 지지대들(158a,158b)을 서로 교차하여 형성함으로써 개구부의 면적이 4개로 분할되어 인장력이 분할되어 작용되며, 휨 없이 안정화된 상태를 유지할 수 있다. In other words, in order to manufacture a large organic light emitting display device, the size of the mask 190 and the size of the frame 150 increase accordingly, so that the tensile force acts greatly on the frame 150 or the mask 190. At this time, by forming the structural reinforcing supporters 158a and 158b in the frame 150 to cross each other, the area of the opening is divided into four and the tensile force is divided, thereby maintaining a stabilized state without bending.

한편, 구조 보강 지지대(158a,158b)는 도 5에 도시된 바와 같이 열방향으로 형성된 제1 구조 보강 지지대(158a)와 행방향으로 형성된 제2 구조 보강 지지대(158b)를 서로 교차하여 형성할 수 있지만, 유기 발광 표시 장치의 크기나 유기 발광 표시 소자의 크기에 따라 열방향으로 다수 개의 제1 구조 보강 지지대와, 행방향으로 다수 개의 제2 구조 보강 지지대를 서로 교차하여 형성할 수 있다. Meanwhile, the structural reinforcement supports 158a and 158b may cross the first structural reinforcement support 158a formed in the column direction and the second structural reinforcement support 158b formed in the row direction as shown in FIG. 5. However, the plurality of first structural reinforcing supports and the plurality of second structural reinforcing supports may be formed to cross each other in the column direction according to the size of the organic light emitting diode display or the size of the organic light emitting display element.

마스터 기판(162,164,166,168,170)은 프레임(150)의 상,하, 좌, 우 지지대(154,156)의 테두면과 대응되는 크기의 제1 마스터 기판(170)과, 제1 및 제2 구조 보강 지지대(158a,158b)에 의해 구분된 프레임(150)의 개구부(152a,152b,152c,152d)의 크기와 대응되는 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 포함한다. The master substrates 162, 164, 166, 168, and 170 may include a first master substrate 170 having a size corresponding to the edges of the upper, lower, left, and right supports 154 and 156 of the frame 150, and the first and second structural reinforcement supports 158a, Four second master substrates 162, 164, 166, and 168 corresponding to the sizes of the openings 152a, 152b, 152c, and 152d of the frame 150 divided by 158b are included.

여기서, 제1 마스터 기판(170)은 프레임(150)의 상,하, 좌, 우 지지대(154,156)의 테두면에 안착되어 고정되며, 네 개의 제2 마스터 기판들(162,164,166,168)은 프레임(150)의 제1 내지 제4 개구부(152a,152b,152c,152d) 각각에 안착된다. 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 프레임(150)의 제1 내지 제4 개구부(152a,152b,152c,152d) 각각에 얼라인시키기 위해 도 6b에 도시된 바와 같이 제2 마스터 기판의 갯 수와 동일하게 스테이지(212,214,216,218)를 구비한다. Here, the first master substrate 170 is seated on and fixed to the edges of the upper, lower, left, and right supports 154 and 156 of the frame 150, and the four second master substrates 162, 164, 166, and 168 are frame 150. Are seated in each of the first to fourth openings 152a, 152b, 152c, and 152d. Number of second master substrates as shown in FIG. 6B to align the four second master substrates 162, 164, 166, 168 with each of the first through fourth openings 152a, 152b, 152c, 152d of the frame 150. And stages 212, 214, 216 and 218.

제1 마스터 기판(170)은 스크라이빙 되지 않은 마스터 기판으로 단위 셀 패턴을 형성하지 않는다. 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)은 기판 상에 유기 발광 표시 장치의 단위 셀 패턴(180)을 형성한다. 즉, 제2 마스터 기판(162,164,166,168)은 하나의 유기 발광 표시 장치로 기능하게 될 단위 셀들을 구비하는 기판과 동일한 위치에 단위 셀들의 패턴(180)이 형성된 기판을 말한다. The first master substrate 170 does not form a unit cell pattern as an unscrambled master substrate. The four second master substrates 162, 164, 166, and 168 form a unit cell pattern 180 of the OLED display on the substrate. That is, the second master substrates 162, 164, 166, and 168 refer to a substrate in which the pattern 180 of the unit cells is formed at the same position as the substrate including the unit cells to function as one organic light emitting display device.

여기서, 제2 마스터 기판은 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 마련하는 것을 예로 들어 설명하였지만, 제2 마스터 기판은 다수의 제1 및 구조 보강 지지대와, 이와 교차되는 다수의 제2 구조 보강 지지대로 형성할 수 있으며, 다수의 제1 및 제2 구조 보강 지지대로 나눠진 개구부의 크기와 대응되거나 개구부 내에 안착될 수 있는 크기로 형성된다. Here, the second master substrate has been described using four second master substrates 162, 164, 166, and 168 as an example, but the second master substrate includes a plurality of first and structural reinforcement supports and a plurality of second structural reinforcement supports intersecting with the second master substrate. It may be formed in a shape that corresponds to the size of the opening divided into a plurality of first and second structural reinforcement support or is formed in a size that can be seated in the opening.

도 6a 내지 도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 증착 방법의 각 공정을 나타낸 평면도 및 단면도들이다. 6A through 8 are plan and cross-sectional views illustrating respective processes of the deposition method according to the second exemplary embodiment of the present invention.

먼저, 도 6a는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 증착 방법 중 프레임(150)과 제1 마스터 기판(170), 프레임(150)과 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 얼라인하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이며, 도 6b는 도 6a를 Ⅲ-Ⅲ' 및 Ⅳ-Ⅳ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다. 6A illustrates a process of aligning a frame 150, a first master substrate 170, a frame 150, and four second master substrates 162, 164, 166, and 168 in a deposition method according to a second embodiment of the present disclosure. FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line III-III 'and IV-IV' of FIG. 6A.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 스크라이빙 되지 않은 제1 마스터 기판(170)을 프레임(150)의 상,하,좌,우 지지대(154,156) 상에 얼라인한 뒤, 단위 셀 패턴(180)이 형성된 네 개의 제2 마스터 기판들(162,164,166,168)을 프레임(150)의 제1 내지 제4 개구부(152a,152b,152c,152d) 각각에 얼라인시킨다. 6A and 6B, the unscrambled first master substrate 170 is aligned on the upper, lower, left, and right supports 154 and 156 of the frame 150, and then the unit cell pattern 180 is aligned. The formed four second master substrates 162, 164, 166, and 168 are aligned with each of the first to fourth openings 152a, 152b, 152c, and 152d of the frame 150.

구체적으로, 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 프레임(150)의 제1 내지 제4 개구부(152a,152b,152c,152d) 각각에 얼라인시키기 위해 제1 내지 제4 스테이지(212,214,216,218)를 구비한다. 제1 스테이지(212)는 제1 개구부(152a)와 대응되는 위치에 배치되어 제2 마스터 기판들 중 하나(162)를 제1 개구부(152a)에 얼라인시키며, 제2 스테이지(214)는 제2 개구부(152b)와 대응되는 위치에 배치하여 제2 마스터 기판들 중 하나(164)를 제2 개구부(152b)에 얼라인시키며, 제3 스테이지(216)는 제3 개구부(152c)와 대응되는 위치에 배치하여 제2 마스터 기판들 중 하나(164)를 제3 개구부(152c)에 얼라인시키며, 제4 스테이지(218)는 제4 개구부(152d)와 대응되는 위치에 배치하여 제2 마스터 기판들 중 하나(168)를 제4 개구부(152d)에 얼라인시킨다. 이때, 제1 내지 제4 스테이지(152a,152b,152c,152d)는 동시에 같은 방향으로 움직인다. Specifically, the first to fourth stages 212, 214, 216 and 218 are provided to align the four second master substrates 162, 164, 166 and 168 to each of the first to fourth openings 152a, 152b, 152c and 152d of the frame 150. do. The first stage 212 is disposed at a position corresponding to the first opening 152a to align one of the second master substrates 162 with the first opening 152a, and the second stage 214 may include a second stage 214. 2 is arranged at a position corresponding to the opening 152b to align one of the second master substrates 164 with the second opening 152b, and the third stage 216 corresponds to the third opening 152c. In position to align one of the second master substrates 164 to the third opening portion 152c, and the fourth stage 218 is disposed at a position corresponding to the fourth opening portion 152d to place the second master substrate. One of them 168 is aligned with the fourth opening 152d. At this time, the first to fourth stages 152a, 152b, 152c, and 152d simultaneously move in the same direction.

다음, 도 7a는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 증착 방법 중 마스크(190)를 인장하는 공정을 설명하기 위한 평면도를 도시한 것이며, 도 7b는 도 7a를 Ⅴ-Ⅴ'으로 절단한 단면도를 도시한 것이다. Next, FIG. 7A is a plan view illustrating a process of tensioning the mask 190 in the deposition method according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line VV ′ of FIG. 7A. It is shown.

도 7a 및 도 7b를 참조하면, 마스크(190)의 패턴부들(192)과 제2 마스터 기판들(162,164,166,168)에 형성된 단위 셀들의 패턴(180)을 비교하면서, 마스크(190)에 대한 텐션량을 조절한다. 이때, 마스크(190)는 인장 장치에 고정되어 양 방향으로 인장력을 가하도록 하며, 마스크(190)의 패턴부들(192)과 제2 마스터 기판들(162,164,166,168)에 형성된 단위 셀들의 패턴(180)이 서로 일치되도록 한다. 그리고, 제1 마스터 기판 및 네 개의 제2 마스터 기판들을 제거하여 마스크 프레임 조립체의 제조를 완료한다.7A and 7B, while comparing the pattern portions 192 of the mask 190 with the pattern 180 of unit cells formed on the second master substrates 162, 164, 166, and 168, the tension amount of the mask 190 may be compared. Adjust. In this case, the mask 190 is fixed to the tensioning device to apply tensile force in both directions, and the pattern 180 of the unit cells formed on the pattern portions 192 of the mask 190 and the second master substrates 162, 164, 166, and 168. Make sure they match. Then, the first master substrate and the four second master substrates are removed to complete the manufacture of the mask frame assembly.

이어서, 도 8은 제1 마스터 기판(170) 및 네 개의 제2 마스터 기판(162,164,166,168)을 제거한 뒤, 프레임(150)에 부착된 마스크(190)를 이용하여 박막층을 예로 들어, 발광층을 형성한다. Subsequently, FIG. 8 removes the first master substrate 170 and the four second master substrates 162, 164, 166, and 168, and then forms a light emitting layer using the mask 190 attached to the frame 150 as an example.

도 8을 참조하면, 증착원(142)에 대응하도록 마스크가 부착된 프레임(100)을 설치하고 이 상부에 기판(140)을 위치시킨 후 증착을 수행하여 기판(140)에 발광층을 형성하는 단면도이다. Referring to FIG. 8, a cross-sectional view of forming a light emitting layer on the substrate 140 by installing a frame 100 having a mask corresponding to the deposition source 142, placing the substrate 140 thereon, and performing deposition is performed. to be.

이상의 설명은 본 발명을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 명세서에 개시된 실시 예들은 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 특허청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 균등한 범위 내에 있는 모든 기술도 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석해야 할 것이다. The above description is merely illustrative of the present invention, and various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the specification of the present invention are not intended to limit the present invention. The scope of the present invention should be construed by the claims below, and all techniques within the scope equivalent thereto will be construed as being included in the scope of the present invention.

100 : 마스크 프레임 조립체 110,190 : 마스크
112, 192 : 마스크의 패턴부 120,150 : 프레임
122a, 122b,152a,152b,152c,152d : 프레임의 개구부들
124,154 : 상,하 지지대 126,156 : 좌,우 지지대
128, 158a,158b : 구조 보강 지지대
132,134,162,164,166,168 : 제2 마스터 기판
138, 170 : 제1 마스터 기판 202,204,212,214,216,218 : 스테이지100: mask frame assembly 110,190: mask
112, 192: pattern portion of the mask 120, 150: frame
122a, 122b, 152a, 152b, 152c, 152d: openings in the frame
124,154: Upper and lower support 126,156: Left and right support
128, 158a, 158b: structural reinforcement support
132,134,162,164,166,168: second master substrate
138, 170: first master substrate 202, 204, 212, 214, 216, 218: stage

Claims (8)

적어도 두 개의 개구부를 정의하는 적어도 하나의 구조 보강 지지대를 구비하는 프레임과;
상기 프레임의 테두리면에 얼라인되는 제1 마스터 기판과, 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인되며, 단위 셀 패턴이 형성된 적어도 두 개의 제2 마스터 기판들을 포함하는 마스터 기판과;
셀 단위로 증착하기 위한 패턴부들을 구비하며, 상기 패턴부들이 상기 적어도 두 개의 개구부에 위치하도록 고정되는 마스크를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.A frame having at least one structural reinforcement support defining at least two openings;
A master substrate including a first master substrate aligned with an edge of the frame, and at least two second master substrates aligned with each of at least two openings of the frame and having a unit cell pattern formed thereon;
A mask frame assembly comprising a pattern portion for depositing on a cell-by-cell basis, the pattern portion being fixed to be located in the at least two openings. 제1항에 있어서,
상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는
상기 프레임의 개구부 중앙에 열방향으로 형성할 수 있으며,
상기 프레임의 개구부 중앙에 행방향으로 형성할 수 있는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체. The method of claim 1,
The at least one structural reinforcement support
It can be formed in the column direction in the center of the opening of the frame,
Mask frame assembly, characterized in that formed in the row direction in the center of the opening of the frame. 제1항에 있어서,
상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는
열방향으로 형성되는 제1 구조 보강 지지대와,
행방향으로 형성되며, 상기 제1 구조 보강 지지대와 교차되어 형성되는 제2 구조 보강 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체. The method of claim 1,
The at least one structural reinforcement support
A first structural reinforcement support formed in a column direction,
And a second structural reinforcing supporter formed in a row direction and intersecting with the first structural reinforcing supporter. 제1항에 있어서,
상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판은 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인시키기 위해 적어도 두 개의 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체. The method of claim 1,
And the at least two second master substrates further comprise at least two stages to align with each of the at least two openings of the frame. 프레임의 테두리면에 제1 마스터 기판을 얼라인시키는 단계와;
상기 프레임의 구조 보강 지지대에 의해 구분된 적어도 두 개의 개구부 각각에 단위 셀 패턴이 형성된 적어도 두 개의 제2 마스터 기판들을 얼라인시키는 단계와;
상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 내에 셀 단위로 증착하기 위한 마스크를 위치시키는 단계와;
상기 제1 마스터 기판과 상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판을 제거한 뒤, 상기 프레임 상에 부착된 마스크를 이용하여 기판 상에 박막층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 방법. Aligning a first master substrate on an edge of the frame;
Aligning at least two second master substrates each having a unit cell pattern formed in each of the at least two openings divided by the structural reinforcing supporters of the frame;
Positioning a mask for depositing on a cell-by-cell basis in at least two openings of the frame;
Removing the first master substrate and the at least two second master substrates, and then forming a thin film layer on the substrate using a mask attached on the frame. 제5항에 있어서,
상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는
상기 프레임의 개구부 중앙에 열방향으로 형성할 수 있으며,
상기 프레임의 개구부 중앙에 행방향으로 형성할 수 있는 것을 특징으로 하는 증착 방법. The method of claim 5,
The at least one structural reinforcement support
It can be formed in the column direction in the center of the opening of the frame,
And may be formed in a row direction at the center of the opening of the frame. 제5항에 있어서,
상기 적어도 하나의 구조 보강 지지대는
열방향으로 형성되는 제1 구조 보강 지지대와,
행방향으로 형성되며, 상기 제1 구조 보강 지지대와 교차되어 형성되는 제2 구조 보강 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 방법. The method of claim 5,
The at least one structural reinforcement support
A first structural reinforcement support formed in a column direction,
And a second structural reinforcing supporter formed in a row direction and intersecting with the first structural reinforcing supporter. 제5항에 있어서,
상기 적어도 두 개의 제2 마스터 기판은 상기 프레임의 적어도 두 개의 개구부 각각에 얼라인시키기 위해 적어도 두 개의 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 방법.The method of claim 5,
And the at least two second master substrates further comprise at least two stages to align with each of the at least two openings of the frame.
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