KR20120013143A - Cooling assembly and cooling unit - Google Patents

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KR20120013143A KR1020100075345A KR20100075345A KR20120013143A KR 20120013143 A KR20120013143 A KR 20120013143A KR 1020100075345 A KR1020100075345 A KR 1020100075345A KR 20100075345 A KR20100075345 A KR 20100075345A KR 20120013143 A KR20120013143 A KR 20120013143A
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Abstract

PURPOSE: A cooling water passage assembly and a cooling water passage unit are provided to smoothly circulate cooling water and to be used inside a vacuum chamber. CONSTITUTION: A cooling water passage assembly comprises first cooling water passage assembly unit(101), and second cooling water passage assembly unit. The first cooling water passage assembly unit comprises a first through-hole, and a first coupling part. The second cooling water passage assembly unit comprises a second through-hole, and a second coupling part. The first coupling part and through-hole are respectively formed along to a longitudinal direction of the first cooling water passage assembly unit. The second coupling part and through-hole are respectively formed along to a longitudinal direction of the second cooling water passage assembly unit. The first and second cooling water passage assembly units are joined by interlocking the first coupling part and the second coupling part.

Description

냉각수로 어셈블리 및 냉각수로 유닛{Cooling assembly and cooling unit}Cooling furnace assembly and cooling unit

본 발명은 냉각장치에 관한 것으로서, 특히 냉각수로 유닛 및 이 냉각수로 유닛 여러 개가 결합되어 제조되는 냉각수로 어셈블리에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cooling device, and more particularly, to a cooling water reactor unit and a cooling water reactor assembly in which several units of the cooling water passage are manufactured.

LCD 기판과 같은 기판은 가열된 상태로 기판을 처리하기 위한 진공챔버 내로 이송될 수 있다. 이때, 유리판의 온도는 약 400℃ 정도일 수 있는데, 고온의 기판에서 방출되는 복사열에 의해 진공챔버 내에 설치된 다른 처리장치들, 예를 들어 전자장치 등이 오동작할 수 있다. 따라서, 위의 처리장치들을 냉각시키기 위한 냉각부재를 처리장치에 부착하거나 그 주위에 배치할 수 있다.Substrates such as LCD substrates may be transferred into a vacuum chamber for processing the substrate in a heated state. In this case, the glass plate may have a temperature of about 400 ° C., and other processing devices installed in the vacuum chamber, for example, an electronic device, may malfunction due to radiant heat emitted from a high temperature substrate. Thus, a cooling member for cooling the above treatment apparatuses may be attached to or disposed around the treatment apparatus.

냉각부재로서 건냉식 또는 수냉식 냉각부재가 사용될 수 있는데, 수냉식 냉각부재는 냉각수로를 포함하는 판형의 부재로 제공될 수 있다. 이때 냉각수로의 입구(이하, 유입구)로부터 냉각수로의 출구(이하, 유출구)까지 냉각수가 이동하기 위해서는 냉각수로의 입구에서의 냉각수가 최소임계압력 이상의 수압을 가져야 한다. As the cooling member, a dry cooling or water cooling cooling member may be used, and the water cooling cooling member may be provided as a plate member including a cooling water passage. At this time, in order for the cooling water to move from the inlet (hereinafter referred to as an inlet) of the cooling water path to the outlet (hereinafter referred to as an outlet) of the cooling water path, the cooling water at the inlet of the cooling water path must have a water pressure equal to or greater than the minimum threshold pressure.

유입냉각수의 압력이 너무 크면 냉각부재에 균열이 발생할 수 있다. 특히, 진공챔버와 같이 그 내부가 진공으로 유지되는 경우에는 냉각부재의 냉각수로와 진공챔버 내부 공간 사이의 압력차가 더 커져 냉각부재의 균열이 더 쉽게 발생할 수 있다. 따라서, 유입냉각수의 압력은 최대임계압력보다 작을 필요가 있다. If the pressure of the inlet cooling water is too high, a crack may occur in the cooling member. In particular, when the inside of the vacuum chamber is maintained in a vacuum, such as a vacuum chamber, the pressure difference between the cooling channel of the cooling member and the internal space of the vacuum chamber is greater, so that cracking of the cooling member may occur more easily. Therefore, the pressure of the inlet cooling water needs to be smaller than the maximum threshold pressure.

또한, 유입냉각수의 압력이 최소임계압력보다 크더라도, 충분히 크지 않은 경우에는 냉각수의 순환 속도가 저하되어 냉각능력이 저하될 수 있다. 따라서, 동일한 유입 압력에 대하여 냉각수의 순환을 더 원활하게 하기 위하여는 최소임계압력이 낮은 냉각부재를 제공할 필요가 있다.In addition, even if the pressure of the inlet cooling water is greater than the minimum threshold pressure, if it is not sufficiently large, the circulation speed of the cooling water may be lowered, thereby lowering the cooling capacity. Therefore, in order to smoothly circulate the cooling water for the same inflow pressure, it is necessary to provide a cooling member having a low minimum threshold pressure.

최소임계압력은 냉각수로의 형상에 따라 달라질 수 있다. 냉각해야할 처리장치의 크기가 커서 냉각수로의 길이가 더 길어지거나, 냉각수로가 더 많이 꺾이는 경우에는 최소임계압력이 더 커질 수 있다. 따라서, 낮은 최소임계압력을 갖도록 냉각수로를 설계할 필요가 있다. 그런데, 설계된 냉각수로를 통째로 제조하는 것이 어려울 수 있다. 따라서 냉각수로를 용이하게 제조하기 위한 방법을 제공할 필요가 있다. 본 발명에서는 냉각수로 어셈블리 및 이의 조립에 사용되는 냉각수로 유닛이 제공된다.The minimum threshold pressure may vary depending on the shape of the cooling water passage. Due to the large size of the treatment unit to be cooled, the minimum critical pressure may be greater if the length of the cooling water path is longer or if the cooling water path is bent more. Therefore, it is necessary to design the cooling water passage so as to have a low minimum critical pressure. By the way, it may be difficult to manufacture the whole designed cooling water channel. Therefore, there is a need to provide a method for easily manufacturing a cooling water passage. In the present invention, a coolant furnace assembly and a coolant furnace unit used for assembly thereof are provided.

또한, 진공챔버 내에 포함되는 장치에 용접된 부위가 포함되어 있는 경우에는 진공챔버를 진공상태로 유지하기 어려울 수 있다. 즉, 용접 과정에서 용접부위에 가스(gas)가 포획되어 있을 수 있는데, 이 가스가 진공챔버 내로 유출될 수 있으므로, 진공챔버를 진공상태로 유지하기 어렵다. 따라서, 본 발명에 따른 냉각수로 유닛 및/또는 냉각수로 어셈블리를 제조할 때에 용접을 사용하지 않거나, 최소한으로 사용할 필요가 있다.In addition, when the welded part is included in the apparatus included in the vacuum chamber, it may be difficult to maintain the vacuum chamber in a vacuum state. That is, gas may be trapped in the welding part during the welding process, and since the gas may flow into the vacuum chamber, it is difficult to maintain the vacuum chamber in a vacuum state. Therefore, it is necessary to use no or minimal welding when manufacturing the assembly with the cooling water unit and / or the cooling water according to the invention.

본 발명은 냉각수를 원활히 순환시킬 수 있는 구조를 갖는 냉각수로 어셈블리, 이 냉각수로 어셈블리를 구성하는 냉각수로 유닛 및 이 냉각수로 유닛을 형성하는 방법을 제공하기 위한 것이다. 또한, 진공챔버 내에서 사용될 수 있는 냉각수로 어셈블리 및 냉각수로 유닛을 제공하기 위한 것이다.The present invention provides a cooling water furnace assembly having a structure capable of smoothly circulating cooling water, a cooling water passage unit constituting the cooling water passage assembly, and a method of forming the cooling water passage unit. It is also to provide a coolant furnace assembly and a coolant furnace unit that can be used in a vacuum chamber.

본 발명의 범위가 상술한 본 발명의 목적에 의해 제한되는 것은 아니다.The scope of the present invention is not limited by the above-mentioned object of the present invention.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 양상에 따른 냉각수로 어셈블리가 공개된다. 냉각수로 어셈블리는 제1 관통 홀이 형성되어 있으며 제1 체결부를 갖는 제1 냉각수로 유닛, 및 제2 관통 홀이 형성되어 있으며 제2 체결부를 갖는 제2 냉각수로 유닛을 포함한다. 위의 제1 체결부와 위의 제1 관통 홀은 각각 위의 제1 냉각수로 유닛의 길이 방향을 따라 형성되어 있고, 위의 제2 체결부와 위의 제2 관통 홀은 각각 위의 제2 냉각수로 유닛의 길이 방향을 따라 형성되어 있으며, 위의 제1 체결부를 위의 제2 체결부에 맞물림으로써(engaging) 위의 제1 냉각수로 유닛과 위의 제2 냉각수로 유닛이 결합되어 있다. An assembly with a coolant according to one aspect of the present invention for solving the above problems is disclosed. The cooling water passage assembly includes a first cooling water passage unit having a first through hole and having a first fastening portion, and a second cooling water passage unit having a second through hole and having a second fastening portion. The first fastening portion and the first through-hole above are formed along the longitudinal direction of the unit with the first cooling water, respectively, and the second fastening portion and the second through-hole above are respectively the second The coolant is formed along the longitudinal direction of the unit, and the unit is coupled to the first coolant passage and the second coolant passage by engaging the first fastening portion with the second fastening portion.

이때, 위의 제1 관통 홀 및 위의 제2 관통 홀을 통해 냉각액이 흐르도록 되어 있으며, 위의 제1 관통 홀 및 위의 제2 관통 홀은 병렬로 나란히 배치되어 있을 수 있다.At this time, the coolant flows through the first through hole and the second through hole, and the first through hole and the second through hole may be arranged in parallel.

이때, 위의 제1 체결부는 위의 제1 냉각수로 유닛의 길이 방향을 따라 연장되어 있는 돌출부이고, 위의 제2 체결부는 위의 제2 냉각수로 유닛의 길이 방향을 따라 연장되어 있는 함몰부이며, 위의 돌출부와 위의 함몰부는 각각 서로 맞물려 상호 고정되는 형상을 가질 수 있다.At this time, the first fastening portion is a protrusion extending along the longitudinal direction of the unit with the first cooling water, and the second fastening portion is a depression extending along the longitudinal direction of the unit with the second cooling water. The protrusions and the depressions above may have shapes that are engaged with each other and fixed to each other.

이때, 위의 제1 냉각수로 유닛 중 위의 제1 체결부가 형성되어 있는 쪽의 반대쪽에는 위의 제2 체결부와 동일한 형상을 갖는 제3 체결부가 형성되어 있고, 위의 제2 냉각수로 유닛 중 위의 제2 체결부가 형성되어 있는 쪽의 반대쪽에는 위의 제1 체결부와 동일한 형상을 갖는 제4 체결부가 형성되어 있을 수 있다.At this time, the third fastening portion having the same shape as the second fastening portion is formed on the opposite side of the first cooling water passage unit in which the first fastening portion is formed, and among the second cooling water passage units A fourth fastening part having the same shape as the first fastening part may be formed on the opposite side to the side where the second fastening part is formed.

이때, 위의 제1 냉각수로 유닛과 위의 제2 냉각수로 유닛은 동일한 형상을 가질 수 있다.In this case, the first cooling water path unit and the second cooling water path unit may have the same shape.

이때, 위의 냉각수로 어셈블리의 일 면의 표면적이 위의 일 면의 반대쪽의 타 면의 표면적보다 크도록 위의 일 면의 표면이 거칠게 되어 있을 수 있다.At this time, the surface of the upper surface may be roughened so that the surface area of one surface of the assembly with the cooling water is larger than the surface area of the other surface opposite to the one surface.

이때, 위의 제1 냉각수로 유닛의 일 면은 위의 냉각수로 어셈블리의 일 면의 일부이며, 위의 제1 냉각수로 유닛의 타 면은 위의 냉각수로 어셈블리의 타 면의 일부일 수 있다.In this case, one surface of the first cooling water path unit may be a part of one surface of the assembly of the cooling water path, and the other surface of the first cooling water path unit may be a part of the other surface of the assembly.

이때, 위의 제1 냉각수로 유닛의 일 면은 위의 냉각수로 어셈블리의 일 면의 일부이며, 위의 제1 냉각수로 유닛의 타 면은 위의 냉각수로 어셈블리의 타 면의 일부이고, 위의 제1 관통 홀의 상기 제1 냉각수로 유닛의 일 면 쪽 단부는 상기 제1 냉각수로 유닛의 타 면 쪽 단부보다 넓을 수 있다.At this time, one side of the first coolant furnace unit is part of one side of the assembly of the coolant furnace, and the other surface of the first coolant furnace unit is a part of the other side of the assembly of the coolant furnace, An end portion of one side of the first cooling water path unit of the first through hole may be wider than an end portion of the first surface of the first through hole.

이때, 위의 제1 체결부와 위의 제2 체결부에는 위의 제1 체결부와 위의 제2 체결부를 상호 고정시키는데 사용되는 체결부재가 결합되도록 되어 있는 결합 홀이 각각 형성되어 있을 수 있다.At this time, the first fastening portion and the second fastening portion may be formed in the coupling hole which is coupled to the fastening member used to mutually secure the first fastening portion and the second fastening portion, respectively. .

본 발명의 다른 양상에 따른 냉각수로 유닛이 제공된다. 이 냉각수로 유닛은 상술한 냉각수로 어셈블리에 포함되는 제1 냉각수로 유닛과 동일한 것이다. 이때, 위의 냉각수로 유닛은 압출에 의해 형성된 것일 수 있다.A unit is provided with cooling water according to another aspect of the present invention. The cooling water path unit is the same as the first cooling water path unit included in the cooling water path assembly described above. At this time, the unit with the cooling water may be formed by extrusion.

본 발명의 또 다른 양상에 따른 냉각수로 유닛이 제공된다. 이 냉각수로 유닛은 일 방향을 따라 냉각액이 흐르도록 관통 홀이 형성되어 있는 냉각수로 유닛으로서, 일 방향으로 길게 형성된 냉각수로 유닛 본체, 위의 본체의 일 측면에 형성된 제1 체결부, 및 위의 본체의 타 측면에 형성된 제2 체결부를 포함한다. 위의 냉각수로 유닛과 동일한 형상을 갖는 제1 냉각수로 유닛 및 제2 냉각수로 유닛을 서로 나란히 결합할 때에 위의 제1 냉각수로 유닛의 위의 제1 체결부는 위의 제2 냉각수로 유닛의 위의 제2 체결부와 결합되도록, 위의 제1 체결부는 위의 제2 체결부의 형상과 상호 대응되는 형상을 갖는다. A unit is provided with cooling water according to another aspect of the present invention. The cooling water passage unit is a cooling water passage unit in which through-holes are formed so that the coolant flows along one direction. The cooling water passage unit is a cooling water elongated in one direction, and the unit body, a first fastening portion formed on one side of the upper body, and It includes a second fastening portion formed on the other side of the body. The first fastening portion of the first cooling water passage unit above when the first cooling water passage unit and the second cooling water passage unit having the same shape as the above cooling water passage unit are coupled to each other side by side. The first fastening portion has a shape corresponding to the shape of the second fastening portion so as to be coupled to the second fastening portion of the second fastening portion.

이때, 위의 제1 체결부는 위의 일 방향을 따라 위의 본체의 일 측면에 형성된 돌출부이고, 위의 제2 체결부는 위의 일 방향을 따라 위의 본체의 타 측면에 형성된 슬롯으로서 위의 돌출부에 대응되는 형상을 갖는다.In this case, the first fastening portion is a protrusion formed on one side of the main body in one direction above, and the second fastening portion is a slot formed on the other side of the main body in one direction above. It has a shape corresponding to.

이때, 위의 돌출부와 위의 본체가 접한 부분에서, 위의 돌출부의 단면은 위의 본체로부터 멀어질수록 넓어지는 형상을 할 수 있다.At this time, in a portion where the upper protrusion and the main body contact each other, the cross section of the upper protrusion may have a shape that becomes wider as it moves away from the main body.

이때, 위의 제1 체결부는 위의 일 방향을 따라 위의 본체의 일 측면에 형성된 제1 돌출부이고, 위의 제2 체결부는 위의 일 방향을 따라 위의 본체의 타 측면에 형성된 제2 돌출부이며, 위의 제1 돌출부에는 제1 관통 홀이 형성되어 있고, 위의 제2 돌출부에는 제2 관통 홀이 형성되어 있고, 위의 제1 냉각수로 유닛의 위의 제1 관통 홀과 위의 제2 냉각수로 유닛의 위의 제2 관통 홀을 결합부재에 의해 결합함으로써 위의 제1 냉각수로 유닛과 상기 제2 냉각수로 유닛이 상호 결합될 수 있다.In this case, the first fastening part is a first protrusion formed on one side of the main body in one direction above, and the second fastening part is a second protrusion formed on the other side of the main body in one direction above. A first through hole is formed in the first protrusion, and a second through hole is formed in the second protrusion, and the first through hole and the first agent of the unit are provided with the first cooling water. By combining the second through hole on the unit with the second cooling water by the coupling member, the unit with the first cooling water path and the second cooling water path may be coupled to each other.

본 발명에 의하면 냉각수를 원활히 순환시킬 수 있는 구조를 갖는 냉각수로 어셈블리, 이 냉각수로 어셈블리를 구성하는 냉각수로 유닛 및 이 냉각수로 유닛을 형성하는 방법이 제공될 수 있다. 또한, 제공된 냉각수로 어셈블리와 냉각수로 유닛은 진공챔버 내에서 사용될 수 있다.According to the present invention, there can be provided a cooling water furnace assembly having a structure capable of smoothly circulating the cooling water, a cooling water passage unit constituting the cooling water passage assembly, and a method of forming the cooling water passage unit. In addition, the provided coolant assembly and the coolant furnace unit can be used in a vacuum chamber.

본 발명의 범위가 상술한 본 발명의 효과에 의해 제한되는 것은 아니다.The scope of the present invention is not limited by the effects of the present invention described above.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수로 유닛을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수로 어셈블리 및 그 형성 방법을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각수로 유닛의 단면을 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수로 어셈블리를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각수로 유닛을 나타낸 것이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각수로 어셈블리 및 그 형성 방법을 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각수로 어셈블리를 도시한 것이다.
도 8은 도 1에 도시된 냉각수로 유닛의 다양한 변형 실시예를 나타낸 것이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부재의 사시도이다.
도 10은 도 9에 따른 냉각부재의 투시도이다.
도 11은 도 9에 따른 냉각부재를 분해하여 투시한 사시도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부재에 형성된 수로의 형상을 나타낸 것이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각부재에 형성된 수로의 형상을 나타낸 것이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따라 유출부 유동공간에 유체유도 칸막이가 형성된 것을 나타낸다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각부재의 수평 단면도이다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 냉각부재의 수직 단면들을 나타낸 것이다.
도 18은 본 발명에 따른 실시예들과 다른 구조를 갖는 냉각부재의 구성을 나타낸 것이다.
도 19 및 도 20은 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각부재를 나타낸 것이다.
도 21은 본 발명의 실시예에 따른 냉각부재가 사용될 수 있는 환경을 도시한 것이다.
도 22는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부재가 처리장치와 결합된 일 예를 나타낸 것이다.1 is a view showing a unit with a cooling water according to an embodiment of the present invention.
2 shows an assembly and a method of forming the cooling water in accordance with an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a unit with cooling water according to another embodiment of the present invention.
4 illustrates an assembly with coolant according to an embodiment of the present invention.
5 shows a unit with cooling water according to another embodiment of the present invention.
6 shows an assembly and a method of forming the cooling water in accordance with another embodiment of the present invention.
7 illustrates an assembly with coolant according to another embodiment of the present invention.
FIG. 8 shows various modified embodiments of the unit with the coolant shown in FIG. 1.
9 is a perspective view of a cooling member according to an embodiment of the present invention.
10 is a perspective view of the cooling member according to FIG. 9.
11 is an exploded perspective view of the cooling member according to FIG. 9.
12 shows the shape of the channel formed in the cooling member according to an embodiment of the present invention.
13 and 14 show the shape of the channel formed in the cooling member according to another embodiment of the present invention.
Figure 15 shows that the fluid guide partition is formed in the outlet flow space in accordance with an embodiment of the present invention.
16 is a horizontal cross-sectional view of a cooling member according to another embodiment of the present invention.
17 shows vertical sections of a cooling member according to an embodiment of the present invention.
18 shows a configuration of a cooling member having a structure different from the embodiments according to the present invention.
19 and 20 show a cooling member according to another embodiment of the present invention.
21 shows an environment in which a cooling member according to an embodiment of the present invention can be used.
22 shows an example in which a cooling member according to an embodiment of the present invention is combined with a processing apparatus.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있는 것으로, 이하의 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 본 명세서에 첨부된 각 도면을 설명함에 있어, 동일한 기능을 하며 이미 한번 언급된 참조번호가 가리키는 구성요소에 대한 중복 설명은 생략할 수 있다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various forms, and the following embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, the scope of the invention to those skilled in the art It is provided to inform you completely. In addition, the components may be exaggerated or reduced in size in the drawings for convenience of description. In the description of each drawing attached to the present specification, redundant descriptions of the components having the same function and indicated by the reference numbers already mentioned may be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수로 유닛(101)을 나타낸 도면이다.1 is a view showing a unit 101 with a coolant according to an embodiment of the present invention.

도 1의 (a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수로 유닛(101)의 사시도이고 도 1의 (b)는 도 1의 (a)의 I-I'를 따라 냉각수로 유닛(101)을 절단한 단면도를 나타낸다. FIG. 1A is a perspective view of a coolant path unit 101 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a coolant path unit 101 along line II ′ of FIG. 1A. The cross section which cut | disconnected is shown.

도 1을 참조하면, 냉각수로 유닛(101)은 일 방향으로 길게 연장되어 형성될 수 있다. 냉각수로 유닛(101)의 중앙부에는 상기 일 방향을 따라 수로(10)가 형성되어 있을 수 있다. 이때, 수로(10)를 따라 냉각액이 유동될 수 있다. 냉각수로 유닛(101)은 열전도율이 좋은 재질, 예컨대 금속으로 형성될 수 있다. 또는 금속이 아닌 재질로서 열전도율이 높은 재료로 형성될 수 있다. 냉각수로 유닛(101)은 제1 면(2) 및 제2 면(3)을 가질 수 있다. 제1 면(2)과 제2 면(3)에 접해 있는 매질의 온도가 수로(10)를 통해 흐르는 냉각액의 온도보다 높은 경우에는, 상기 매질로부터의 열은 제1 면(2)과 제2 면(3)을 통해 냉각액으로 전달되어 외부로 방출될 수 있다. Referring to FIG. 1, the unit 101 may be formed to extend in one direction. The water channel 10 may be formed in the central portion of the cooling water channel unit 101 along the one direction. At this time, the coolant may flow along the channel 10. The coolant unit 101 may be formed of a material having a good thermal conductivity, for example, a metal. Alternatively, the material may be formed of a material having a high thermal conductivity as a non-metal material. The cooling water passage unit 101 may have a first side 2 and a second side 3. When the temperature of the medium in contact with the first face 2 and the second face 3 is higher than the temperature of the coolant flowing through the water channel 10, the heat from the medium is transferred to the first face 2 and the second face. It can be delivered to the coolant through the face 3 and released to the outside.

냉각수로 유닛(101)의 일 측면에는 돌출부(111)가 형성되고 타 측면에는 돌출부(111)에 대응되는 단면을 갖는 슬롯(110)이 형성되어 있을 수 있다. 돌출부(111)와 슬롯(110)은 복수 개의 동일한 냉각수로 유닛(101)을 서로 연결하는데에 사용될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수로 어셈블리는 냉각수로 유닛(101)이 여러 개 연결되어 형성될 수 있으며, 이를 도 2에 나타내었다.Protruding portion 111 may be formed at one side of the unit 101 with cooling water, and a slot 110 having a cross section corresponding to the protruding portion 111 may be formed at the other side. The protrusion 111 and the slot 110 may be used to connect the units 101 to each other with a plurality of identical cooling water. Cooling water passage assembly according to an embodiment of the present invention can be formed by connecting a plurality of cooling water passage unit 101, this is shown in FIG.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수로 어셈블리(100) 및 그 형성 방법을 나타낸 것이다.2 illustrates the assembly 100 and a method of forming the cooling water in accordance with an embodiment of the present invention.

도 2의 (a)는 냉각수로 유닛(101)끼리 결합하는 방법의 개념을 도시한 것이다. 2 (a) shows the concept of a method of combining the units 101 with cooling water.

냉각수로 유닛(101_1)의 돌출부(111)를 냉각수로 유닛(101_2)의 슬롯(110)에 끼워 냉각수로 유닛(101_1)을 방향(B)으로 밀고 냉각수로 유닛(101_2)을 방향(F)으로 밀면 두 개의 냉각수로 유닛(101)이 서로 끼워 맞추어질 수 있다. 끼움 맞춤에 의해 두 개의 냉각수로 유닛(101_1, 101_2)이 서로 단단히 고정되기 위해서는, 돌출부(111)와 냉각수로 유닛(101)의 본체가 접한 부분(도 3의 A 참조)에서 돌출부(111)의 단면이 냉각수로 유닛(101)의 본체로부터 멀어질수록 넓어지는 형상을 하여야 한다. 이때, 돌출부(111)와 슬롯(110)의 틈이 작은 것이 바람직하다. Insert the protrusion 111 of the unit 101_1 into the coolant into the slot 110 of the unit 101_2 to push the unit 101_1 in the direction B to the coolant and the unit 101_2 in the direction F to the coolant. When pushed, the unit 101 may be fitted with each other by two coolants. In order for the units 101_1 and 101_2 to be firmly fixed to each other with two cooling waters by fitting, the protrusions 111 and the portions of the protrusions 111 at the portions where the main body of the unit 101 is in contact with the cooling water (see A in FIG. 3). The cross section should have a shape that becomes wider as it moves away from the main body of the unit 101 with cooling water. At this time, the gap between the protrusion 111 and the slot 110 is preferably small.

도 2의 (b)는 위와 같이 두 개의 냉각수로 유닛(101)이 결합되어 형성된 냉각수로 어셈블리(100)의 사시도이다. 도 2의 (b)의 결합구조를 확장하여 세 개 이상의 냉각수로 유닛(101)이 결합된 냉각수로 어셈블리(100)를 형성할 수 있음이 자명하다.2 (b) is a perspective view of the coolant assembly 100 formed by combining the unit 101 with the two coolant as described above. It is apparent that the assembly 100 may be formed of the coolant to which the unit 101 is coupled to the three or more coolants by expanding the coupling structure of FIG.

두 개의 냉각수로 유닛(101)의 결합경계(160)를 용접과 같은 종래의 접합기술을 사용하여 접합함으로써 냉각수로 유닛(101)들을 더 확고하게 결합시킬 수 있다. 그런데, 용접부위에는 가스가 포획되어 있을 수 있다. 이러한 용접부위가 진공챔버 내에 존재할 경우, 포획되어 있던 가스가 진공챔버 내로 새어 나올 수 있기 때문에 진공챔버의 진공조건을 만족하기 어려울 수 있다. 예를 들어, 내부 기압을 10-7~-9torr로 유지하여야 하는 고진공챔버의 내부에 용접부위가 존재할 경우 용접부위 내에 포획되어 있는 가스가 새어나올 수 있어 이러한 진공조건을 달성하기 어렵다. 반면, 내부 기압을 10-2~-3torr로 유지하여야 하는 저진공챔버의 내부에는 용접부위가 존재하여도 이러한 진공조건을 달성할 수 있다. 그러나, 10-5~-6torr의 내부기압을 유지하여야 하는 중진공챔버의 내부에는 용접부위가 존재할 수는 있으나 매우 정밀하게 용접되어 그 내부에 포획된 공기의 양을 최소화할 필요가 있다. 따라서, 본 발명에 따른 냉각수로 유닛(101)을 저진공챔버 또는 중진공챔버에 사용할 때에는 도 2와 같이 냉각수로 유닛(101)들의 결합경계(160)를 용접에 의해 접합할 수 있다. 이와 달리, 본 발명에 따른 냉각수로 유닛(101)을 중진공챔버 또는 고진공챔버에 사용할 때에는 용접을 하지 않을 수 있다. 만일 용접 부위 내에 최소한의 가스만이 포획되도록 냉각수로 유닛(101)들을 정밀하게 용접하는 경우에는, 냉각수로 유닛(101)들은 중진공챔버 내에서도 사용될 수 있다.By joining the coupling boundary 160 of the unit 101 with the two coolants using conventional joining techniques such as welding, the units 101 can be more firmly joined with the coolant. However, gas may be trapped in the welding portion. If such a weld is present in the vacuum chamber, it may be difficult to satisfy the vacuum conditions of the vacuum chamber because the trapped gas may leak into the vacuum chamber. For example, when a welding part is present inside the high vacuum chamber in which the internal air pressure must be maintained at 10 −7 to 9 torr, gas trapped in the welding part may leak out, thus making it difficult to achieve such a vacuum condition. On the other hand, such a vacuum condition can be achieved even in the presence of a welded portion inside the low vacuum chamber in which the internal air pressure must be maintained at 10 -2 to -3 torr. However, although a welding part may exist inside the medium vacuum chamber that should maintain an internal pressure of 10 -5 to -6 torr, it is necessary to minimize the amount of air trapped inside the welding part with high precision. Therefore, when using the cooling water passage unit 101 according to the present invention in a low vacuum chamber or a medium vacuum chamber, as shown in FIG. 2, the coupling boundary 160 of the cooling unit 101 may be joined by welding. On the contrary, when the unit 101 is used in the medium vacuum chamber or the high vacuum chamber with the coolant according to the present invention, welding may not be performed. If the units 101 are precisely welded with coolant so that only a minimum of gas is trapped in the weld, the units 101 with coolant can also be used in the medium vacuum chamber.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각수로 유닛(101)의 단면을 나타낸 것이다. 도 1 및 도 2에 도시된 돌출부의 단면은 사다리꼴의 형상을 하고 있으나, 도 3에 도시한 돌출부(111)의 단면은 오각형의 형상을 하고 있다. 이에 대응하여, 도 3에 도시한 슬롯(110)의 단면은 오각형의 형상을 할 수 있다. 도 3에 도시한 돌출부(111) 중 냉각수로 유닛(101)의 본체에 접한 부분(A)에서, 돌출부(111)의 단면이 냉각수로 유닛(101)의 본체로부터 멀어질수록 넓어지는 형상을 하기 때문에, 도 3의 냉각수로 유닛(101)을 여러 개 연결하는 경우, 냉각수로 유닛들(101)이 끼움 결합에 의해 단단히 서로 고정될 수 있다. 도 1과 도 3에 도시한 돌출부 및 슬롯의 단면은 본 발명에 따라 예시한 실시예들임을 이해하여야 하며, 이 실시예들부터 복수 개의 냉각수로 유닛(101)들을 서로 단단히 끼움 결합하기 위한 여러 가지 돌출부 및 슬롯의 단면 형상을 용이하게 도출해 낼 수 있다. 예컨대, 돌출부 단면의 모양은 육각형, 칠각형, 팔각형 및/또는 여기에 곡선부를 포함한 도형일 수 있다.3 is a cross-sectional view of the unit 101 with cooling water according to another embodiment of the present invention. 1 and 2 have a trapezoidal cross section, but the cross section of the protrusion 111 shown in FIG. 3 has a pentagonal shape. Correspondingly, the cross section of the slot 110 shown in FIG. 3 may have a pentagonal shape. In the portion A of the protrusion 111 shown in FIG. 3 in contact with the main body of the unit 101 with the cooling water, the cross section of the protrusion 111 becomes wider as the distance from the main body of the unit 101 with the cooling water. Therefore, when connecting a plurality of units 101 with the cooling water of FIG. 3, the units 101 may be firmly fixed to each other by fitting coupling with the cooling water. It should be understood that the cross sections of the protrusions and slots shown in FIGS. 1 and 3 are the embodiments illustrated in accordance with the present invention, from which the various combinations for tightly fitting the units 101 with a plurality of cooling water from these embodiments The cross-sectional shape of the protrusions and slots can be easily derived. For example, the shape of the cross section of the protrusion may be hexagonal, octagonal, octagonal and / or figures including curved portions therein.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수로 어셈블리(100)를 도시한 것이다.4 illustrates the assembly 100 with coolant according to an embodiment of the present invention.

도 4의 (a)는 도 1에서 공개한 냉각수로 유닛(101)을 6개 결합하고, 그 말단을 종결부재(103, 104)로 마무리 결합하여 형성한 냉각수로 어셈블리(100)의 단면을 나타낸 것이다. 종결부재(103)에는 냉각수로 유닛(101)과 마찬가지로 돌출부가 형성되어 있으며, 이 돌출부는 냉각수로 유닛(101)의 슬롯과 끼워 맞추어지는 형상을 할 수 있다. 또한, 종결부재(104)에는 냉각수로 유닛(101)과 마찬가지로 슬롯이 형성되어 있으며, 이 슬롯은 냉각수로 유닛(101)의 돌출부와 끼워 맞추어지는 형상을 할 수 있다. 종결부재(103, 104)가 없다면 냉각수로 어셈블리(100)의 일 단에는 슬롯이 노출되어 있고 타 단에는 돌출부가 노출될 수 있다. 즉, 종결부재(103, 104)에 의해 냉각수로 어셈블리(100)의 양 단이 매끄럽게 형성될 수 있다. FIG. 4A illustrates a cross-section of the assembly 100 with cooling water formed by coupling six units 101 with cooling water disclosed in FIG. 1 and finishing the ends with termination members 103 and 104. will be. The termination member 103 has a projection formed in the same way as the unit 101 with the cooling water, and the projection can be shaped to fit with the slot of the unit 101 with the cooling water. In addition, a slot is formed in the termination member 104 in the same way as the unit 101 with the cooling water, and the slot can be shaped to fit with the protrusion of the unit 101 with the cooling water. Without the termination members 103 and 104, a slot may be exposed at one end of the assembly 100 with cooling water and a protrusion may be exposed at the other end. That is, both ends of the assembly 100 may be smoothly formed with the cooling water by the termination members 103 and 104.

도 4의 (b)는 도 1에서 공개한 냉각수로 유닛(101) 4개와, 이를 변형하여 형성한 변형 냉각수로 유닛(101A, 101B)이 결합되어 형성된 냉각수로 어셈블리(100)의 단면을 나타낸다. 변형 냉각수로 유닛(101A)의 일 측은 평평하게 형성되어 있고, 타 측에는 냉각수로 유닛(101)의 슬롯에 결합될 수 있는 돌출부가 형성되어 있을 수 있다. 또한, 변형 냉각수로 유닛(101B)의 일 측은 평평하게 형성되어 있고, 타 측에는 냉각수로 유닛(101)의 돌출부에 결합될 수 있는 슬롯이 형성되어 있을 수 있다. 변형 냉각수로 유닛(101A, 101B)에 의해 냉각수로 어셈블리(100)의 양 단이 매끄럽게 형성될 수 있다.FIG. 4B illustrates a cross section of the assembly 100 as cooling water formed by combining four units 101 with cooling water disclosed in FIG. 1 and units 101A and 101B with modified cooling water formed by deforming it. One side of the unit 101A with the modified cooling water is formed flat, and the other side may have a protrusion that can be coupled to the slot of the unit 101 with the cooling water. In addition, one side of the unit 101B with the modified cooling water may be formed flat, and the other side may have a slot that may be coupled to the protrusion of the unit 101 with the cooling water. Both ends of the assembly 100 may be smoothly formed by the coolant units 101A and 101B.

도 4의 (c)는 도 4의 (b)와 같이 형성된 냉각수로 어셈블리(100)의 사시도이다. FIG. 4C is a perspective view of the assembly 100 with cooling water formed as shown in FIG. 4B.

도 4의 (a), (b), (c)에서 냉각수로 유닛(101)의 결합경계(160)를 용접과 같은 종래에 공개된 접합기술을 사용함으로써 냉각수로 유닛(101), 변형 냉각수로 유닛(101A, 101B), 및/또는 종결부재(103, 104)가 서로 단단히 결합될 수 있다. 그러나 상술하였듯이, 용접은 냉각수로 유닛(101)이 저진공챔버에 사용되는 경우 또는 경우에 따라 중진공챔버에 사용되는 경우에 사용하는 것이 바람직하다.By using the conventionally disclosed joining technique such as welding the coupling boundary 160 of the unit 101 to the coolant in FIG. 4 (a), (b), (c), the coolant furnace unit 101, the modified coolant furnace Units 101A and 101B and / or termination members 103 and 104 may be tightly coupled to each other. However, as described above, the welding is preferably used when the unit 101 is used in a low vacuum chamber with cooling water or, in some cases, in a medium vacuum chamber.

도 4의 냉각수로 어셈블리(100)는 6개의 수로를 포함하는 것으로 되어 있으나, 수로의 개수는 임의로 설정할 수 있음이 자명하다.Although the cooling water passage assembly 100 of FIG. 4 includes six channels, it is obvious that the number of channels can be arbitrarily set.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각수로 유닛(101)을 나타낸 것이다.5 shows a unit 101 with cooling water according to another embodiment of the present invention.

도 5의 (a) 및 도 5의 (b)를 참조하면, 냉각수로 유닛(101)은 일 방향을 따라 길게 연장되어 있고 그 내부에 수로(10)가 상기 일 방향을 따라 길게 형성되어 있다. 수로(10)를 통해 냉각액이 흐를 수 있다. 냉각수로 유닛(101)은 열전도율이 좋은 재질, 예컨대 금속으로 형성될 수 있다. 냉각수로 유닛(101)은 제1 면(2) 및 제2 면(3)을 가질 수 있다. 제1 면(2)과 제2 면(3)에 접해 있는 매질의 온도가 수로(10)를 통해 흐르는 냉각액의 온도보다 높은 경우에는, 상기 매질로부터의 열은 제1 면(2)과 제2 면(3)을 통해 냉각액으로 전달되어 외부로 방출될 수 있다.Referring to FIGS. 5A and 5B, the cooling water passage unit 101 extends long in one direction, and a channel 10 is formed in the cooling passage 10. Cooling liquid may flow through the channel 10. The coolant unit 101 may be formed of a material having a good thermal conductivity, for example, a metal. The cooling water passage unit 101 may have a first side 2 and a second side 3. When the temperature of the medium in contact with the first face 2 and the second face 3 is higher than the temperature of the coolant flowing through the water channel 10, the heat from the medium is transferred to the first face 2 and the second face. It can be delivered to the coolant through the face 3 and released to the outside.

냉각수로 유닛(101)의 일 측면에는 제1 돌출부(111T)(점선 부분)가 상기 일 방향을 따라 길게 연장되어 형성되어 있고, 타 측면에는 제2 돌출부(111B)(점선 부분)가 상기 일 방향을 따라 길게 연장되어 형성되어 있다. 제1 돌출부(111T)에는 1개 이상의 결합 홀(120)이 형성되어 있고, 제2 돌출부(111B) 중 이에 대응되는 위치에 1개 이상의 결합 홀(120)이 형성되어 있을 수 있다. 도 5의 (c)에 도시한 바와 같이 두 개의 냉각수로 유닛(101)을 나란히 놓았을 때에, 두 개의 결합 홀(120)에 별도로 마련된 결합부재(121)를 결합함으로써 두 개의 냉각수로 유닛(101)을 상호 결합할 수 있다.On one side of the cooling water passage unit 101, a first protrusion 111T (dotted line) is formed to extend along the one direction, and on the other side, a second protrusion 111B (dotted line) is on the one side. It is formed to extend along the length. One or more coupling holes 120 may be formed in the first protrusion 111T, and one or more coupling holes 120 may be formed at positions corresponding to the second protrusions 111B. When the unit 101 is placed side by side with two cooling water as shown in (c) of Figure 5, by combining the coupling member 121 provided in the two coupling holes 120 separately unit 101 with two cooling water ) Can be combined with each other.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각수로 어셈블리(100) 및 그 형성 방법을 나타낸 것이다.Figure 6 shows the assembly 100 and the method of forming the cooling water in accordance with another embodiment of the present invention.

도 6의 (a) 및 도 6의 (b)에 도시한 바와 같이 도 5에 도시한 냉각수로 유닛(101) 여러 개를 결합함으로써 냉각수로 어셈블리(100)를 제공할 수 있다. As illustrated in FIGS. 6A and 6B, the assembly 100 may be provided by combining several units 101 with the cooling water illustrated in FIG. 5.

도 6의 (a)는 냉각수로 유닛(101)끼리 결합하는 방법의 개념을 도시한 것이다. 냉각수로 유닛(101_1)의 왼쪽에 형성된 결합 홀(120)과 냉각수로 유닛(101_2)의 오른쪽에 형성된 결합홀(120)에 결합부재(121)를 결합함으로써 두 개의 냉각수로 유닛(101)을 상호 결합할 수 있다. FIG. 6A illustrates a concept of a method of combining units 101 with cooling water. By coupling the coupling member 121 to the coupling hole 120 formed on the left side of the unit 101_1 with the cooling water and the coupling hole 120 formed on the right side of the unit 101_2 with the cooling water, the unit 101 is interconnected with the two cooling waters. Can be combined.

냉각수로 유닛(101)들의 결합체 사이의 결합경계(160)를 용접 등의 공지된 방법을 이용하여 접합할 수 있다. 단, 상술한 바와 같이 냉각수로 유닛(101)들을 고진공챔버 또는 중진공챔버에 사용하는 경우에는 용접하지 않는 것이 바람직할 수 있다.The coupling boundary 160 between the combinations of the units 101 may be joined by the cooling water using a known method such as welding. However, when the unit 101 is used in the high vacuum chamber or the medium vacuum chamber as described above, it may not be welded.

도 6의 (b)에서 볼 수 있듯이, 완성된 냉각수로 어셈블리(100)의 양 측면은 냉각수로 유닛(101)의 돌출부(111T, 111B)에 의해 돌출될 수 있다. 완성된 냉각수로 어셈블리(100)의 양 측에 돌출부가 존재하지 않도록, 냉각수로 어셈블리(100)에 변형된 냉각수로 유닛 또는 종결부를 포함시킬 수 있다. 이에 대하여 도 7에 설명한다.As shown in (b) of FIG. 6, both sides of the assembly 100 with the completed cooling water may protrude by the protrusions 111T and 111B of the unit 101 as the cooling water. In order to prevent protrusions on both sides of the assembly 100 with the finished coolant, the unit or the termination part may be included with the modified coolant in the coolant assembly 100. This will be described with reference to FIG. 7.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각수로 어셈블리(100)를 도시한 것이다.7 illustrates assembly 100 with coolant according to another embodiment of the present invention.

도 7의 (a)는 도 5에서 공개한 냉각수로 유닛(101)을 6개 결합하고, 그 말단을 종결부재(103, 104)로 마무리 결합하여 형성한 냉각수로 어셈블리(100)의 단면을 나타낸 것이다. 종결부재(103, 104)에는 결합 홀(120T)이 형성되어 있으며, 결합 홀(120T)과 결합 홀(120)은 결합부재(121)를 통해 결합 될 수 있다. 종결부재(103, 104)에 의해 냉각수로 어셈블리(100)의 양 단이 매끄럽게 형성될 수 있다. FIG. 7A illustrates a cross section of the assembly 100 with cooling water formed by coupling six units 101 with cooling water disclosed in FIG. 5 and finishing the ends with termination members 103 and 104. will be. A coupling hole 120T is formed in the termination members 103 and 104, and the coupling hole 120T and the coupling hole 120 may be coupled through the coupling member 121. Both ends of the assembly 100 may be smoothly formed with cooling water by the termination members 103 and 104.

도 7의 (b)는 도 5에서 공개한 냉각수로 유닛(101) 4개와, 이를 변형하여 형성한 변형 냉각수로 유닛(101A, 101B)이 결합되어 형성된 냉각수로 어셈블리(100)의 단면을 나타낸다. 변형 냉각수로 유닛(101A, 101B)은 각각 도 5에 공개한 냉각수로 유닛(101)에 형성되어 있는 돌출부(111T, 111B) 중 어느 하나가 제거된 형태이다. 변형 냉각수로 유닛(101A, 101B)에 의해 냉각수로 어셈블리(100)의 양 단이 매끄럽게 형성될 수 있다.FIG. 7B illustrates a cross-section of the assembly 100 with cooling water formed by combining four units 101 with the cooling water disclosed in FIG. 5 and units 101A and 101B with the modified cooling water formed by deforming the cooling water. Each of the modified cooling water path units 101A and 101B is formed by removing any one of the protrusions 111T and 111B formed in the unit 101 with the cooling water channel shown in FIG. 5. Both ends of the assembly 100 may be smoothly formed by the coolant units 101A and 101B.

도 7의 (c)는 도 7의 (b)와 같이 형성된 냉각수로 어셈블리(100)의 사시도이다. FIG. 7C is a perspective view of the assembly 100 with cooling water formed as shown in FIG. 7B.

도 7의 (a), (b), (c)에서 냉각수로 유닛(101)의 결합경계(160)를 용접과 같은 종래에 공개된 결합기술을 사용함으로써 냉각수로 유닛(101), 변형 냉각수로 유닛(101A, 101B), 및/또는 종결부재(103, 104)가 서로 단단히 결합될 수 있다. 단, 상술하였듯이, 냉각수로 유닛(101)이 고진공챔버 또는 중진공챔버에 사용되는 경우에는 용접하지 않는 것이 좋을 수 있다.In the cooling water passage unit 101, the modified cooling water passage by using a conventionally disclosed coupling technique such as welding the coupling boundary 160 of the unit 101 to the cooling water passage in FIGS. Units 101A and 101B and / or termination members 103 and 104 may be tightly coupled to each other. However, as described above, when the unit 101 is used in a high vacuum chamber or a medium vacuum chamber with cooling water, it may be better not to weld.

도 7의 냉각수로 어셈블리(100)는 6개의 수로를 포함하는 것으로 되어 있으나, 수로의 개수는 임의로 설정할 수 있음이 자명하다.Although the cooling water passage assembly 100 of FIG. 7 includes six channels, it is obvious that the number of channels can be arbitrarily set.

도 8은 도 1에 도시된 냉각수로 유닛(101)의 다양한 변형 실시예를 나타낸 것이다. FIG. 8 shows various modified embodiments of the unit 101 with the coolant shown in FIG. 1.

도 8의 (a)에 도시된 냉각수로 유닛(101)은 도 1에 나타낸 냉각수로 유닛(101)과 동일한 단면을 갖는다.The cooling water path unit 101 shown in FIG. 8A has the same cross section as the cooling water path unit 101 shown in FIG. 1.

도 8의 (b)에 도시된 냉각수로 유닛(101)에 형성된 수로(10)는 제2 면(3) 쪽보다 제1 면(2) 쪽으로 더 많은 양의 냉각액이 흐를 수 있는 형상을 갖는다. 도 8의 (b)에서는 수로(10)의 단면이 삼각형인 것으로 도시하였으나, 도 8의 (e)에 도시한 것과 같은 사다리꼴일 수 있으며, 본 발명이 이에 한정되지 않음을 이해할 수 있다. 이에 의해 제2 면(3) 쪽보다 제1 면(2) 쪽에 냉각액이 치우쳐서 흐르게 되므로, 제2 면(3) 쪽보다 제1 면(2) 쪽에 더 큰 냉각효과를 나타낼 수 있다.The cooling water channel 10 formed in the unit 101 of the cooling water channel shown in FIG. 8B has a shape in which a larger amount of coolant flows toward the first surface 2 than the second surface 3. In FIG. 8B, the cross section of the channel 10 is shown as a triangle, but may be trapezoidal as shown in FIG. 8E, and the present invention is not limited thereto. As a result, the coolant flows to the first side 2 side rather than the second side 3 side, and therefore, a greater cooling effect can be exhibited on the first side 2 side than on the second side 3 side.

도 8의 (c)에 도시된 냉각수로 유닛(101)의 제1 면(2)은 표면이 거칠게 처리되어 있다. 따라서 제1 면(2)의 표면적인 제2 면(3)의 표면적 보다 크다. 이러한 구성에 의해 제1 면(2)을 통한 열 교환량이 제2 면(3)을 통한 열 교환량보다 크도록 할 수 있어, 제1 면(2) 측에 더 큰 냉각효과를 나타낼 수 있다.The surface of the first surface 2 of the unit 101 is roughened with the coolant shown in FIG. 8C. The surface area of the first face 2 is thus larger than the surface area of the second face 3. By this configuration, the heat exchange amount through the first surface 2 can be made larger than the heat exchange amount through the second surface 3, thereby exhibiting a greater cooling effect on the first surface 2 side.

도 8의 (d)에 도시된 냉각수로 유닛(101)의 제1 면(2)은 (c)에 도시된 바와 같이 거칠게 되어 있고, 수로(10)는 (b) 도시한 바와 같이 제1 면(2) 쪽으로 더 많은 양의 냉각액이 흐를 수 있는 형상을 갖는다. 이러한 형상에 의해 제1 면(2)을 통한 열 교환량이 제2 면(3)을 통한 열 교환량보다 크도록 할 수 있어, 제1 면(2) 측에 더 큰 냉각효과를 나타낼 수 있다.The first surface 2 of the unit 101 with the coolant shown in FIG. 8D is roughened as shown in (c), and the channel 10 has a first surface as shown in (b). It has a shape in which a larger amount of coolant can flow toward (2). This shape allows the amount of heat exchange through the first face 2 to be larger than the amount of heat exchange through the second face 3, thus exhibiting a greater cooling effect on the first face 2 side.

도 8의 (e)는 도 8의 (d)의 변형예이고, 도 8의 (f)는 도 8의 (c)의 변형예이다. 도 8의 (f)에 도시된 냉각수로 유닛(101)에 형성된 수로(10)의 단면은 비원형이지만 제1 면(2) 및 제2 면(3) 측으로 실질적으로 동일한 양의 냉각액이 흐를 수 있는 형상을 갖는다. FIG. 8E is a modified example of FIG. 8D, and FIG. 8F is a modified example of FIG. 8C. The cross section of the channel 10 formed in the unit 101 in the cooling water channel shown in FIG. 8 (f) is non-circular, but a substantially equal amount of coolant may flow toward the first surface 2 and the second surface 3. It has a shape.

도 8의 (c)~(f) 등에서는 제1 면(2)만이 거칠게 된 것으로 표시하였으나, 실시예에 따라 제1 면(2) 및/또는 제2 면(3)이 거칠게 될 수도 있다.In FIGS. 8C and 8F, only the first surface 2 is shown to be rough, but according to an embodiment, the first surface 2 and / or the second surface 3 may be rough.

본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수로 유닛(101)의 내부에 형성된 수로(10)의 단면 모양은 원형, 다각형, 정사각형, 직사각형 등 다양한 모양을 할 수 있다.The cross-sectional shape of the water channel 10 formed in the cooling water channel unit 101 according to an embodiment of the present invention may have various shapes such as circular, polygonal, square, and rectangular.

비록 도 8에서는 도 1에 도시된 냉각수로 유닛(101)의 변형예만을 도시하였으나, 도 5에 도시된 냉각수로 유닛(101)에도 동일한 방식의 변형예가 존재할 수 있음은 본 발명의 기술분야에 속하는 자에게는 자명하다.Although only a modification of the unit 101 with the coolant shown in FIG. 1 is illustrated in FIG. 8, a modification of the same manner may exist in the coolant furnace unit 101 shown in FIG. 5. Self-explanatory

본 발명은 도 1 및/또는 도 5에 도시한 형태의 냉각수로 유닛(101)을 제조하는 방법을 포함한다. 이 방법은 압출 공정을 포함할 수 있다. 압출 공정에 필요한 거푸집은 도 8에 도시한 단면을 가질 수 있다. 압출 공정을 이용하여 냉각수로 유닛(101)을 제조하면, 도 8의 (c)~(f) 등에 도시한 제1 면(2)의 거친 부분은 냉각수로 유닛(101)의 일 방향을 따라 균일하게 길게 연장되어 형성될 수 있다. 이와 달리, 압출 공정에 필요한 거푸집에 있어서, 냉각수로 유닛(101)의 제1 면(2)에 대응되는 부분을 평면으로 처리하여 제1 면(2)을 평평하게 형성한 후에, 공지된 다른 방법에 의해 불규칙적으로 제1 면(2)을 거칠게 가공할 수도 있다.The invention includes a method of manufacturing the unit 101 with cooling water of the type shown in FIGS. 1 and / or 5. This method may include an extrusion process. Formwork required for the extrusion process may have a cross section shown in FIG. When the unit 101 is manufactured by the cooling water using the extrusion process, rough portions of the first surface 2 shown in FIGS. 8C to 8F are uniform along one direction of the unit 101 by the cooling water. It may be formed to extend long. On the other hand, in the formwork required for the extrusion process, the surface corresponding to the first surface 2 of the unit 101 with the cooling water is treated in a plane to form the first surface 2 flat, and then another known method It is also possible to roughly process the first surface 2 irregularly.

상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각수로 유닛(101)을 결합하여 제공되는 냉각수로 어셈블리(100)는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부재(1, 1')를 구성하는데에 사용될 수 있다. The coolant passage assembly 100 provided by combining the unit 101 with the coolant according to the embodiment of the present invention described above may be used to configure the cooling members 1 and 1 'according to the embodiment of the present invention. have.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부재(1, 1')를 설명한다.Hereinafter, the cooling members 1 and 1 'according to an embodiment of the present invention will be described.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부재(1)의 사시도이다.9 is a perspective view of a cooling member 1 according to an embodiment of the present invention.

냉각부재(1)는 냉각수로 어셈블리(100), 유입버퍼부(200) 및 유출버퍼부(300)를 포함할 수 있다. 1점 쇄선(90)은 냉각수로 어셈블리(100)와 유입버퍼부(200)의 경계를 대략적으로 나타내기 위한 가상의 선이고, 1점 쇄선(91)은 냉각수로 어셈블리(100)와 유출버퍼부(300)의 경계를 대략적으로 나타내기 위한 가상의 선이다. 냉각부재(1)는 제1 면(2) 및 제2 면(3)을 가질 수 있다. 유입버퍼부(200)와 유출버퍼부(300)는 냉각수로 어셈블리(100)와 따로 제조되어 냉각수로 어셈블리(100)에 결합될 수 있다. The cooling member 1 may include a coolant assembly 100, an inlet buffer unit 200, and an outlet buffer unit 300. The dashed dashed line 90 is an imaginary line for roughly indicating the boundary between the assembly 100 and the inflow buffer 200 with the coolant, and the dashed dashed line 91 is the assembly 100 and the outlet buffer with the coolant. This is an imaginary line for roughly indicating the boundary of 300. The cooling member 1 may have a first face 2 and a second face 3. The inflow buffer part 200 and the outflow buffer part 300 may be manufactured separately from the assembly 100 with the cooling water and may be coupled to the assembly 100 with the cooling water.

유입버퍼부(200)와 유출버퍼부(300)는 각각 1점 쇄선(90, 91)을 따라 냉각수로 어셈블리(100)에 용접에 의해 결합될 수 있다. 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 냉각부재를 저진공챔버 또는 중진공챔버에 사용할 때에는, 도 9와 같이 유입버퍼부(200)와 유출버퍼부(300)를 각각 용접에 의하여 냉각수로 어셈블리(100)에 결합할 수 있다. 이와 달리, 본 발명에 따른 냉각부재를 중진공챔버 또는 고진공챔버에 사용할 때에는 도 20과 같이 유입버퍼부(200)와 유출버퍼부(300)를 각각 연결부재(700)를 사용하여 냉각수로 어셈블리(100)에 결합할 수 있다. 이때 연결부재(700)는 O-ring 볼트와 같은 연결부재일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 연결부재(700)에는 고무(rubber)가 포함되어 있어 냉각수가 유출되지 않도록 할 수 있다.The inflow buffer 200 and the outflow buffer 300 may be coupled by welding to the assembly 100 with cooling water along the dashed dashed lines 90 and 91, respectively. As described above, when the cooling member according to the present invention is used in the low vacuum chamber or the medium vacuum chamber, as shown in FIG. 9, the inlet buffer part 200 and the outlet buffer part 300 are welded into the coolant assembly 100 by welding, respectively. Can be combined. On the contrary, when the cooling member according to the present invention is used in the medium vacuum chamber or the high vacuum chamber, the inlet buffer 200 and the outlet buffer 300 are connected to the cooling water assembly 100 using the connecting member 700, respectively, as shown in FIG. ) Can be combined. In this case, the connection member 700 may be a connection member such as an O-ring bolt, but is not limited thereto. The connection member 700 may include a rubber to prevent the cooling water from leaking out.

냉각수로 어셈블리(100)의 내부에는 수로(10)들이 형성되어 있고, 냉각수로 어셈블리(100)의 주변의 온도를 낮추는 기능을 할 수 있다. The water passages 10 are formed in the cooling water passage assembly 100, and may function to lower the temperature of the surroundings of the assembly 100 with the cooling water passage.

유입버퍼부(200) 및 유출버퍼부(300) 내부에는 각각 냉각수가 유동할 수 있는 유입부 유동공간과 유출부 유동공간이 형성될 수 있다. 유입부 유동공간과 유출부 유동공간은 냉각수로 어셈블리(100)에 형성된 수로들을 통해 서로 연결될 수 있다.An inlet flow space and an outlet flow space through which the coolant flows may be formed in the inflow buffer 200 and the outflow buffer 300, respectively. The inlet flow space and the outlet flow space may be connected to each other through channels formed in the assembly 100 with cooling water.

유입버퍼부(200)에는 하나 이상의 유입구(40)가 형성될 수 있다. 도 9에는 한 개의 유입구(40)만이 도시되었으나, 유입구(40)는 복수 개일 수 있다. 또한, 비록 도시하지는 않았지만, 유출버퍼부(300)에는 하나 이상의 유출구가 형성될 수 있다. 냉각수는 유입구(40)를 통해 냉각부재(1) 내로 유입되고 유출구를 통해 냉각부재(1) 바깥으로 빠져나갈 수 있다.One or more inlets 40 may be formed in the inlet buffer 200. Although only one inlet 40 is shown in FIG. 9, there may be a plurality of inlets 40. In addition, although not shown, one or more outlets may be formed in the outlet buffer part 300. Cooling water may be introduced into the cooling member 1 through the inlet 40 and may exit the cooling member 1 through the outlet.

도 10은 도 9에 따른 냉각부재(1)의 투시도이고, 도 11은 분해 사시 및 투시도이다.FIG. 10 is a perspective view of the cooling member 1 according to FIG. 9, and FIG. 11 is an exploded perspective and perspective view.

도 10을 살펴보면, 냉각수로 어셈블리(100)는 그 내부에 형성된 복수 개의 수로들(10)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 10, the coolant passage assembly 100 may include a plurality of channels 10 formed therein.

유입버퍼부(200)의 내부에는 냉각수가 유동할 수 있는 유입부 유동공간(20)이 형성되어 있을 수 있다. 또한, 유입버퍼부(200)의 외부로부터 유입부 유동공간(20)까지 냉각수를 유입시키도록 되어 있는 하나 이상의 유입구들(40)이 유입버퍼부(200)에 결합되어 있을 수 있다. An inlet flow space 20 through which the coolant may flow may be formed inside the inlet buffer 200. In addition, one or more inlets 40 configured to introduce cooling water from the outside of the inlet buffer unit 200 to the inlet flow space 20 may be coupled to the inlet buffer unit 200.

유출버퍼부(300)의 내부에는 냉각수가 유동할 수 있는 유출부 유동공간(30)이 형성되어 있을 수 있다. 또한, 유출부 유동공간(30)으로부터 유출버퍼부(300)의 외부까지 냉각수를 유출시키도록 되어 있는 하나 이상의 유출구들(50)이 유출부 유동공간(30)에 결합되어 있을 수 있다.An outlet flow space 30 through which the coolant may flow may be formed in the outlet buffer 300. In addition, one or more outlets 50 configured to discharge the coolant from the outlet flow space 30 to the outside of the outlet buffer part 300 may be coupled to the outlet flow space 30.

하나 이상의 유입구들(40) 및 하나 이상의 유출구들(50)은 각각 유입버퍼부(200) 및 유출버퍼부(300)에 형성된 관통 홀이거나, 또는 각각 유입버퍼부(200) 및 유출버퍼부(300)에 관통 삽입된 통형 부재일 수 있다.One or more inlets 40 and one or more outlets 50 are through holes formed in the inlet buffer 200 and the outlet buffer 300, respectively, or the inlet buffer 200 and the outlet buffer 300, respectively. It may be a cylindrical member inserted through).

이하, 수로(10) 중 유입부 유동공간(20) 쪽에 위치한 일 단부는 수로 유입구(10_1)라고 지칭하고, 유출부 유동공간(30) 쪽에 위치한 타 단부는 수로 유출구(10_2)라고 지칭할 수 있다.Hereinafter, one end of the channel 10 located at the inlet flow space 20 may be referred to as the channel inlet 10_1, and the other end of the channel 10 may be referred to as the channel outlet 10_2. .

냉각부재(1)를 이루는 재료는 금속일 수 있다. 또는 금속이 아닌 물질로서 열절도율이 높은 물질일 수 있다.The material constituting the cooling member 1 may be metal. Alternatively, the material may be a non-metal material having a high thermal conductivity.

냉각수로 어셈블리(100)에는 복수 개의 수로가 형성되어 있기 때문에 여러 개의 냉각수 연결 포트를 필요로 할 수 있다. 그러나, 냉각수로 어셈블리(1)가 사용되는 진공챔버의 냉각수 연결 포트가 제한적으로 제공되는 경우에는 유입버퍼부(200) 및/또는 유출버퍼부(300)를 냉각부재(1)에 포함시킴으로써 이러한 문제를 해결할 수 있다. 즉, 유입버퍼부(200) 및/또는 유출버퍼부(300)는 본 발명의 실시예에 따라 냉각부재(1)에 포함되거나 또는 포함되지 않을 수 있다.Since a plurality of channels are formed in the coolant passage assembly 100, several coolant connection ports may be required. However, in the case where the cooling water connection port of the vacuum chamber in which the assembly 1 is used as the cooling water is provided in a limited manner, the inflow buffer 200 and / or the outflow buffer 300 may be included in the cooling member 1. Can be solved. That is, the inflow buffer 200 and / or the outflow buffer 300 may or may not be included in the cooling member 1 according to the embodiment of the present invention.

도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부재(1)에 형성된 수로를 나타낸 것으로서, 도 9의 A-A' 선을 따라 절단한 수평 단면도이다.12 is a horizontal cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 9, showing a channel formed in the cooling member 1 according to an exemplary embodiment of the present invention.

유입구(40)를 통해 유입된 냉각수는 유입부 유동공간(20)에서 유동하여 수로(10) 내부로 유입될 수 있다. 수로(10) 내부로 유입된 냉각수는 유출부 유동공간(30)으로 흘러나와 유동한 후 유출구(50)를 통해 냉각부재(1) 바깥으로 흘러나갈 수 있다. 이때, 냉각수의 원활한 흐름을 위해 유입구(40)의 수직 단면의 크기는 수로들(11) 각각의 수직 단면의 크기보다 클 수 있다.Cooling water introduced through the inlet 40 may flow in the inlet flow space 20 to be introduced into the waterway 10. Cooling water introduced into the water channel 10 may flow out of the outlet flow space 30 and then flow out of the cooling member 1 through the outlet 50. In this case, the size of the vertical cross section of the inlet 40 may be larger than the size of the vertical cross section of each of the channels 11 to smoothly flow the cooling water.

도 12에서 수로들(10)의 수직 단면의 크기 및 모양은 모두 동일하다. 이때, 수로(13, 14)가 다른 수로들(11, 12, 15, 16)에 비하여 유입구(40)의 연장선 상에 더 가까이 있기 때문에 수로(13, 14)를 통과하는 냉각수의 양이 다른 수로들(11, 12, 15, 16)을 통과하는 냉각수의 양보다 더 많을 수 있다.In FIG. 12, the size and shape of the vertical cross section of the channels 10 are all the same. At this time, since the channels 13 and 14 are closer to the extension line of the inlet 40 than the other channels 11, 12, 15 and 16, the amount of cooling water passing through the channels 13 and 14 is different. It may be more than the amount of cooling water passing through the fields (11, 12, 15, 16).

냉각부재(1)의 주위를 균일하게 냉각시키기 위해서는 내부의 각 수로(10)에 의한 냉각효과가 균등한 것이 바람직하다. 이하, 냉각부재(1)가 균일한 냉각성능을 제공하기 위한 변형된 실시예들을 살펴본다.In order to uniformly cool the periphery of the cooling member 1, it is preferable that the cooling effect by each channel 10 inside is equal. Hereinafter, the modified embodiments for providing a uniform cooling performance of the cooling member 1 will be described.

도 13 및 도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각부재(1)에 형성된 수로를 나타낸 것이다. 13 and 14 show a channel formed in the cooling member 1 according to another embodiment of the present invention.

도 13의 (a)를 참조하면, 유입부 유동공간(20)에 유체유도 칸막이(baffle)(250)가 형성되어 있다. 유입구(40)를 통해 유입버퍼부(200) 내로 유입된 냉각수는 유체유도 칸막이(250)의 좌우로 유도된 후 각 수로(10)로 들어갈 수 있다. 도 13의 (a)에서는 유체유도 칸막이(250)의 수평 단면이 직사각형인 것으로 도시되어 있으나, 이 수평 단면의 모양을 조절함으로써 유입부 유동공간(20) 내에서의 냉각수의 유동 경로를 조절할 수 있고, 이에 따라 각 수로(10)에 유입되는 냉각수의 양을 조절할 수 있다. 예를 들어, 유체유도 칸막이(250)의 수평 단면은 유입구(40) 쪽으로 갈수록 좁아지는 형상을 하는 사다리꼴 또는 삼각형의 형상을 할 수 있다.Referring to FIG. 13A, a fluid guide partition 250 is formed in the inlet flow space 20. Cooling water introduced into the inlet buffer unit 200 through the inlet 40 may be guided to the left and right sides of the fluid induction partition 250 and enter the respective channels 10. In FIG. 13A, the horizontal cross section of the fluid induction partition 250 is rectangular, but by adjusting the shape of the horizontal cross section, the flow path of the coolant in the inlet flow space 20 can be adjusted. Thus, the amount of cooling water introduced into each channel 10 can be adjusted. For example, the horizontal cross section of the fluid induction partition 250 may have a trapezoidal or triangular shape that is narrowed toward the inlet 40.

도 13의 (b)는 본 발명에 따른 또 다른 실시예로서, 유입부 유동공간(20)에 다수개의 유체유도 칸막이들(250)이 형성된 것이다. 각 유체유도 칸막이(250)는 유입구(40)를 통해 냉각부재(1) 내로 유입된 냉각수를 각 수로(10) 쪽으로 유도함으로써 각 수로(10)를 통과하는 냉각수의 양을 조절할 수 있다.FIG. 13 (b) is a further embodiment according to the present invention, in which a plurality of fluid guide partitions 250 are formed in the inlet flow space 20. Each fluid guide partition 250 may adjust the amount of cooling water passing through each channel 10 by guiding the cooling water introduced into the cooling member 1 through the inlet 40 toward each channel 10.

도 14의 (a)는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 수로의 수평 단면을 나타낸 것이다. 도 12에서는 동일한 모양과 크기의 수로들(10)이 균일한 간격을 가지고 병렬로 나란히 배치되어 있다. 이에 비하여, 도 14의 (a)에서는 각 수로(11~16)의 단면의 크기가 서로 다르며, 유입부 유동공간(20) 내에 유체유도 칸막이가 형성되어 있지 않다. 도 12에 도시한 바와 같이 유입부 유동공간(20) 내에 유체유도 칸막이(250)가 형성되어 있지 않은 경우에는 수로(11, 16)를 향하는 냉각수의 운동 에너지는 수로(12, 15)를 향하는 냉각수의 운동에너지에 비해 작을 수 있다. 그러나, 도 14의 (a)와 같이 수로(11, 16)의 단면의 크기가 수로(12, 15)에 유입되는 단면의 크기보다 크게 형성된 경우 수로(11, 16) 부분에서의 유체 흐름 저항이 상대적으로 작게 되어 수로(11, 16)를 통과하는 냉각수의 양이 증가할 수 있다. 이는 수로(13, 14)에 대하여도 마찬가지로 적용될 수 있다. 따라서, 각 수로(11~16)의 단면의 크기를 조절함으로써 각 수로(11~16)를 통과하는 냉각수의 양을 조절할 수 있다는 것을 이해할 수 있다. 냉각수의 양을 조절함으로써 냉각부재(1)의 각 표면부에서의 냉각능력을 균일화할 수 있다.Figure 14 (a) shows a horizontal cross section of the water channel according to another embodiment of the present invention. In FIG. 12, channels 10 of the same shape and size are arranged side by side in parallel at equal intervals. On the other hand, in FIG. 14A, the cross sections of the channels 11 to 16 are different from each other, and no fluid induction partition is formed in the inlet flow space 20. As shown in FIG. 12, when the fluid induction partition 250 is not formed in the inlet flow space 20, the kinetic energy of the coolant toward the channels 11 and 16 is the coolant toward the channels 12 and 15. It may be smaller than the kinetic energy of. However, when the size of the cross section of the channels 11 and 16 is larger than the size of the cross section flowing into the channels 12 and 15 as shown in FIG. It may be relatively small to increase the amount of cooling water passing through the channels 11 and 16. This can be applied to the channels 13 and 14 as well. Therefore, it can be understood that the amount of cooling water passing through each of the channels 11-16 can be adjusted by adjusting the size of the cross section of each of the channels 11-16. By adjusting the amount of cooling water, the cooling capacity at each surface portion of the cooling member 1 can be made uniform.

도 14의 (b)에 도시한 냉각부재(1)에서는 유입부 유동공간(20) 내에 유체유도 칸막이(250)가 형성되어 있지 않으며 각 수로(11~16)의 수직 단면의 크기가 서로 동일하지만, 각 수로(11~16) 간의 간격이 동일하지 않다. 상술한 바와 같이, 도 12와 같이 유입부 유동공간(20) 내에 유체유도 칸막이(250)가 형성되어 있지 않은 경우에는 수로(11, 16)를 향하는 냉각수의 운동에너지가 수로(12, 15)를 향하는 냉각수의 운동에너지에 비해 작을 수 있다. 그러나, 도 14의 (b)와 같이 수로(11)와 수로(12) 사이의 간격이 수로(12)와 수로(13) 사이의 간격에 비해 좁은 경우에는, 냉각수로 어셈블리(100)의 외곽부(71)의 유체 흐름 저항이 냉각수로 어셈블리(100) 중앙부(72)의 유체 흐름 저항보다 작게되므로 수로(11)에도 냉각수가 잘 흐를 수 있게 된다. 이는 수로(14, 15, 16)에 대하여도 마찬가지이다.In the cooling member 1 shown in FIG. 14B, the fluid induction partition 250 is not formed in the inlet flow space 20, and the vertical cross sections of the channels 11 to 16 are the same. , The intervals between the channels 11 to 16 are not equal. As described above, when the fluid induction partition 250 is not formed in the inlet flow space 20 as shown in FIG. 12, the kinetic energy of the cooling water directed toward the channels 11 and 16 causes the channels 12 and 15 to flow. It may be small compared to the kinetic energy of the cooling water. However, when the distance between the channel 11 and the channel 12 is narrow as compared with the distance between the channel 12 and the channel 13 as shown in FIG. 14B, the outer portion of the cooling water channel assembly 100 is formed. Since the fluid flow resistance of the 71 is smaller than the fluid flow resistance of the central portion 72 of the assembly 100 with the cooling water, the cooling water may flow well in the channel 11. The same is true for the channels 14, 15, and 16.

도 15는 본 발명의 일 실시예에 따라 유출부 유동공간에 유체유도 칸막이가 형성된 예를 나타낸다.15 illustrates an example in which a fluid guide partition is formed in the outlet flow space according to an embodiment of the present invention.

도 15에 도시한 바와 같이, 유출부 유동공간(30) 내에도 유체유도 칸막이(251)가 형성될 수 있다. 유체유도 칸막이(251)에 의해 수로들(11~16)로부터 나온 냉각수가 유출구(50) 쪽으로 유도될 수 있다. 유출부 유동공간(30) 내에 유체유도 칸막이(251)가 없는 경우 수로 유출구들(10_2) 중 일부에서의 유체 흐름 저항이 증가할 수 있고, 따라서 이 일부의 수로 유출구(10_2)에 대응하는 수로 유입구(10_1)에서의 냉각수의 흐름에 유체 저항이 작용할 수 있다. 이때, 유출부 유동공간(30) 내에 형성되는 유체유도 칸막이(251)의 형상은 유입부 유동공간(20) 내에 형성되는 유체유도 칸막이(250)와 동일하거나 대칭의 구조를 가질 수 있다. 또한, 도 15에는 유체유도 칸막이(251)가 여러 개의 피스(piece)로 구성된 것으로 도시하였으나, 도 13의 (a)에 도시한 것과 같이 하나의 피스(piece)로 구성될 수도 있다.As shown in FIG. 15, a fluid guide partition 251 may also be formed in the outlet flow space 30. Cooling water from the channels 11 to 16 may be directed toward the outlet 50 by the fluid guide partition 251. If there is no fluid induction partition 251 in the outlet flow space 30, the fluid flow resistance at some of the channel outlets 10_2 may increase, and thus the channel inlet corresponding to the portion of the channel outlet 10_2. Fluid resistance may act on the flow of cooling water at 10_1. In this case, the shape of the fluid induction partition 251 formed in the outlet flow space 30 may have the same or symmetrical structure as the fluid induction partition 250 formed in the inflow flow space 20. In addition, although the fluid induction partition 251 is illustrated as being composed of several pieces in FIG. 15, it may be composed of one piece as shown in FIG. 13A.

추가적으로, 도 15의 유입부 유동공간(20)에는 도 13에서 설명한 유체유도 칸막이(250)가 형성될 수 있다. 또한, 도 15의 냉각수로 어셈블리(100)의 내부구조는 도 14에 도시한 것과 같은 구조를 가질 수 있다.In addition, the fluid guide partition 250 described with reference to FIG. 13 may be formed in the inlet flow space 20 of FIG. 15. In addition, the internal structure of the assembly 100 with the cooling water of FIG. 15 may have a structure as shown in FIG. 14.

도 13 및 도 15에는 유입구(40) 및 유출구(50)가 각각 1개씩만 형성된 것으로 도시하였으나, 각각 복수 개가 형성될 수도 있다. 유입구(40) 및 유출구(50)의 개수 및 그 위치에 따라 유체유도 칸막이(250, 251)의 형상이나 위치가 달라질 수 있음은 자명하다.13 and 15 illustrate that only one inlet 40 and one outlet 50 are formed, respectively, but a plurality of inlets 40 may be formed. It is apparent that the shape or position of the fluid guide partitions 250 and 251 may vary depending on the number and positions of the inlets 40 and the outlets 50.

도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각부재(1)의 수평 단면도이다.16 is a horizontal cross-sectional view of the cooling member 1 according to another embodiment of the present invention.

도 16을 참조하면, 유입버퍼부(20)의 수평 단면은 유입구(40)로부터 냉각수로 어셈블리(100) 쪽으로 갈수록 점점 넓어진다. 이러한 형상에 의해 유입구(40)를 통해 유입된 냉각수가 냉각수로 어셈블리(100)의 수로까지 잘 유도될 수 있다. 또한, 이러한 형상은 도 12의 유입버퍼부(20)에 삼각형의 수평 단면을 갖는 유체유도 칸막이(253)를 결합한 것으로 간주할 수도 있다. 또한, 유출버퍼부(30)의 수평 단면은 냉각수로 어셈블리(100)로부터 유출구(50) 쪽으로 갈수록 점점 좁아지는 형상을 할 수 있다. 이러한 형상에 의해 냉각수로 어셈블리(100)의 수로로부터 나온 냉각수가 유출구(50)로 잘 유도될 수 있다.Referring to FIG. 16, the horizontal cross section of the inlet buffer portion 20 gradually widens from the inlet 40 toward the assembly 100 with the coolant. By such a shape, the coolant introduced through the inlet 40 may be led to the channel of the assembly 100 as the coolant. In addition, such a shape may be regarded as a combination of the fluid guide partition 253 having a triangular horizontal cross section to the inflow buffer 20 of FIG. In addition, the horizontal cross section of the outflow buffer portion 30 may have a shape that gradually narrows toward the outlet opening 50 from the assembly 100 with cooling water. This shape allows the coolant from the channel of the assembly 100 to the coolant to be guided well to the outlet 50.

도 17은 본 발명에 실시예에 따른 냉각부재(1)의 수직 단면을 나타낸 것이다.Figure 17 shows a vertical cross section of the cooling member 1 according to the embodiment of the present invention.

냉각부재(1)가 사용되는 실제 환경에서, 냉각부재(1) 외부의 온도는 보통 냉각부재(1)의 온도보다 높기 때문에 냉각부재(1) 외부의 열이 제1 면(2)과 제2 면(3)을 통해 냉각부재(1) 내부로 전달된다. 냉각부재(1) 내부로 전달된 열은 냉각수에 의해 외부로 빠져나가게 된다. 이때, 제1 면(2)이 제2 면(3)에 비해 넓은 표면적을 갖는 경우에는 제1 면(2) 쪽에 존재하는 물체가 제2 면(3) 쪽에 존재하는 물체에 비해 더 잘 냉각될 수 있다.In the actual environment in which the cooling member 1 is used, since the temperature outside the cooling member 1 is usually higher than the temperature of the cooling member 1, the heat outside the cooling member 1 is reduced to the first surface 2 and the second surface. It is transmitted into the cooling member 1 through the surface (3). The heat transferred into the cooling member 1 is discharged to the outside by the cooling water. In this case, when the first surface 2 has a larger surface area than the second surface 3, an object existing on the first surface 2 side may be better cooled than an object existing on the second surface 3 side. Can be.

도 17의 (a)는 도 11의 B-B'를 따라 절단한 단면도이고, 도 17의 (b) 내지 도 17의 (d)는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각부재(1)의 단면도로서 도 17의 (a)에 대응하는 것을 나타낸 것이다.FIG. 17A is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG. 11, and FIGS. 17B to 17D are cross-sectional views of the cooling member 1 according to another embodiment of the present invention. Fig. 17A corresponds to Fig. 17A.

도 17의 (a)의 경우, 제1 면(2)과 제2 면(3)의 표면적이 동일하기 때문에 제1 면(2)과 제2 면(3)에 대해 동일한 냉각성능을 가질 수 있다. In the case of FIG. 17A, since the surface areas of the first surface 2 and the second surface 3 are the same, the cooling surface may have the same cooling performance with respect to the first surface 2 and the second surface 3. .

도 17의 (b)의 경우, 제1 면(2)의 표면적이 제2 면(3)의 표면적에 비해 넓기 때문에 제1 면(2)의 냉각성능이 제2 면(3)의 냉각성능에 비해 더 우수할 수 있다. In the case of FIG. 17B, since the surface area of the first surface 2 is larger than the surface area of the second surface 3, the cooling performance of the first surface 2 is reduced to that of the second surface 3. It can be better than that.

도 17의 (c)의 경우 수로(10)의 수직 단면 형상이 비-원형이다. 수로(10)의 수직 단면이 제1 면(2) 쪽으로 갈수록 넓어지기 때문에 제1 면(2)의 냉각성능이 제2 면(3)의 냉각성능에 비해 더 우수할 수 있다. In the case of FIG. 17C, the vertical cross-sectional shape of the channel 10 is non-circular. Since the vertical cross section of the channel 10 becomes wider toward the first surface 2, the cooling performance of the first surface 2 may be better than that of the second surface 3.

도 17의 (d)는 도 17의 (b)와 도 17의 (c)의 특징을 결합한 것으로서 제1 면(2)의 냉각성능이 제2 면(3)의 냉각성능에 비해 더 우수할 수 있다. 17 (d) is a combination of the features of FIGS. 17 (b) and 17 (c), and the cooling performance of the first surface 2 may be superior to that of the second surface 3. have.

도 17의 (d)에는 수로(10)의 수직 단면이 삼각형으로 되어 있으나, 이와 달리 실시예에 따라 도 17의 (e)와 같이 제1 면(2) 쪽으로 갈수록 넓어지는 사다리꼴일 수 있다. In FIG. 17D, the vertical cross section of the channel 10 is triangular. Alternatively, the channel 10 may have a trapezoidal shape that widens toward the first surface 2 as shown in FIG. 17E.

다르게는, 도 17의 (f)와 같이 수로(10)의 수직 단면의 중심부는 좁되 제1 면(2)과 제2 면(3) 쪽으로 갈수록 넓어지는 형태를 가질 수 있다.Alternatively, as shown in (f) of FIG. 17, the center of the vertical cross section of the water channel 10 may have a narrow shape but widen toward the first surface 2 and the second surface 3.

또한, 도시하지는 않았지만, 수로(10)를 전체적으로 제2 면(3)보다 제1 면(2)에 더 가깝게 형성할 수 있는데, 이때에도 제1 면(2)의 냉각성능이 제2 면(3)의 냉각성능에 비해 더 우수할 수 있다. In addition, although not shown, the water channel 10 may be formed closer to the first surface 2 than the second surface 3 as a whole, and in this case, the cooling performance of the first surface 2 is reduced to the second surface 3. It can be better than the cooling performance of).

또한, 도시하지는 않았지만, 제1 면(2)과 제2 면(3)의 표면적을 모두 증가시키기 위해 제1 면(2)과 제2 면(3)의 표면을 모두 거칠게 가공할 수 있다.In addition, although not shown, in order to increase both the surface area of the 1st surface 2 and the 2nd surface 3, the surface of both the 1st surface 2 and the 2nd surface 3 can be roughened.

도 17에서 설명한 (i) 냉각부재(1) 표면을 거칠게 가공하는 개념과 (ii) 수로(10)의 단면 모양을 변형시키는 개념은 독립적으로 적용될 수 있다는 것을 이해할 수 있다.It can be understood that the concept of (i) roughening the surface of the cooling member 1 and the concept of modifying the cross-sectional shape of the channel 10 described in FIG. 17 may be independently applied.

도 18은 본 발명에 따른 실시예들과 다른 구조를 갖는 냉각부재의 구성을 나타낸 것이다.18 shows a configuration of a cooling member having a structure different from the embodiments according to the present invention.

도 18의 (a)를 참조하면, 냉각부재(1')는 유입구(1040)와 유출구(1050)를 가지고 있으며, 이 사이를 수로(1010)가 연결한다. 본 발명의 실시예들에 따르면 복수 개의 수로(10)가 병렬로 나란히 배치되어 있지만, 도 18의 비교예에서는 한 개의 수로(1010)가 지그재그 형태로 길게 연장되어 있다. 또는, 도 18의 비교예의 수로(1010)는 여러 개의 짧은 수로들이 직렬로 연결된 것으로 간주할 수도 있다. 수로(1010)는 지그재그 형태이기 때문에 여러 개의 코너부가 존재하게 되는데 코너부에 의해 유체 저항이 상승되어 유입구(1040)로부터 유입된 액체가 유출구(1050)로 빠져나오기 위해서는 유입구(1040)에 상당히 큰 유체 압력을 가하여야 한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부재(1)와 도 18의 냉각부재(1')가 동일한 크기를 가지며 동일한 냉각효과를 제공한다고 가정할 때에, 냉각부재(1')의 유입구(1040)에 가해지는 유체 압력은 냉각부재(1)의 유입구(40)에 가해지는 유체 압력에 비해 수 배 내지 수 백배까지 더 클 수 있다.Referring to FIG. 18A, the cooling member 1 ′ has an inlet 1040 and an outlet 1050, and a channel 1010 connects therebetween. According to embodiments of the present invention, the plurality of channels 10 are arranged side by side in parallel, but in the comparative example of FIG. 18, one channel 1010 extends in a zigzag form. Alternatively, the channel 1010 of the comparative example of FIG. 18 may be regarded as several short channels connected in series. Since the channel 1010 has a zigzag shape, a plurality of corner portions exist, and the fluid resistance is increased by the corner portions so that the liquid introduced from the inlet 1040 flows out to the outlet 1050 so that the fluid is large in the inlet 1040. Pressure should be applied. Assuming that the cooling member 1 according to the embodiment of the present invention and the cooling member 1 'of FIG. 18 have the same size and provide the same cooling effect, the inlet 1040 of the cooling member 1' is provided. The fluid pressure applied may be several times to several hundred times greater than the fluid pressure applied to the inlet 40 of the cooling member 1.

도 18의 (a)에 따른 냉각부재(1')는 도 18의 (b)와 같이 드릴에 의해 구멍이 뚫린 플레이트(1100) 중 유입구(1040), 유출구(1050) 및 수로(1010)를 제외한 부분에 피팅부(fitting)를 끼워 넣어 막음으로써 형성할 수 있다.The cooling member 1 ′ according to (a) of FIG. 18 except for the inlet 1040, the outlet 1050, and the water channel 1010 of the plate 1100 drilled by a drill as shown in FIG. 18B. It can form by inserting a fitting into a part and preventing it.

도 19의 (a)는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각부재(1)를 나타낸 것이다.19 (a) shows a cooling member 1 according to another embodiment of the present invention.

도 19의 (a)의 냉각부재(1)는 도 9 내지 도 11에 도시한 냉각부재의 냉각수로 어셈블리(100) 부분에 대응된다. 도 19의 (a)의 냉각부재(1)에도 복수 개의 수로(10)가 형성되어 있는데, 수로 유입구(10_1) 및 수로 유출구(10_2)에는 각각 도 11 내지 도 17에서 설명한 유입버퍼부(200)와 유출버퍼부(300)가 결합될 수 있다. 또는 이와 달리 수로 유입구(10_1) 및 수로 유출구(10_2)는, 도 11 내지 도 17에서 설명한 유입버퍼부(200)와 유출버퍼부(300)가 아닌 다른 공지된 구조에 의해 냉각수 소스(source)에 직접 연결될 수도 있다. 도 19의 (a)의 냉각부재(1)는 압출 공정에 의하여 형성될 수 있다. 따라서 냉각부재(1)에는 용접부위가 존재하지 않을 수 있다. 또는 도 19의 (a)의 수로(10)는 드릴에 의해 형성될 수도 있다. 그러나, 오차 없이 가공할 수 있는 드릴의 길이에는 한계가 있기 때문에, 드릴로 수로(10)를 형성하는 경우에는 가공되는 수로의 깊이에 한계가 있다. The cooling member 1 of FIG. 19A corresponds to a part of the assembly 100 with the cooling water of the cooling member illustrated in FIGS. 9 to 11. A plurality of channels 10 are also formed in the cooling member 1 of FIG. 19A, and the inflow buffer 200 described with reference to FIGS. 11 to 17 is provided at the channel inlet 10_1 and the channel outlet 10_2, respectively. And the outflow buffer 300 may be combined. Alternatively, the channel inlet 10_1 and the channel outlet 10_2 may be connected to the cooling water source by a known structure other than the inlet buffer 200 and the outlet buffer 300 described with reference to FIGS. 11 to 17. It can also be connected directly. The cooling member 1 of FIG. 19A may be formed by an extrusion process. Therefore, the welding part may not exist in the cooling member 1. Alternatively, the channel 10 of FIG. 19A may be formed by a drill. However, since there is a limit to the length of the drill that can be processed without error, there is a limit to the depth of the channel to be processed when the channel 10 is formed by the drill.

도 20의 (b)는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 냉각수로 어셈블리(100)이다. 그런데, 냉각수로 어셈블리(100)는 상판(100T) 및 하판(100B)으로 이루어지며, 상판(100T)과 하판(100B)의 경계면(100A)은 용접에 의해 결합될 수 있다. 이러한 구성은 냉각수로 어셈블리(100)가 상술한 저진공챔버에 또는 중진공챔버에 사용될 때에 이용될 수 있으며 고진공챔버에 사용되는 것은 적절하지 않을 수 있다. 중진공챔버에 사용되기 위해서는 용접부위 내에 포획된 가스가 최소화되어야 한다. 20B is a coolant passage assembly 100 according to another embodiment of the present invention. By the way, the coolant assembly 100 is composed of an upper plate 100T and a lower plate 100B, and the interface 100A of the upper plate 100T and the lower plate 100B may be coupled by welding. Such a configuration may be used when the coolant assembly 100 is used in the low vacuum chamber or in the medium vacuum chamber described above and may not be suitable for use in the high vacuum chamber. In order to be used in the medium vacuum chamber, the gas trapped in the weld area should be minimized.

도 20은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 냉각부재(1)를 나타낸 것이다. 도 9 내지 도 17에의 냉각부재에서는 유입버퍼부(200)와 유출버퍼부(300)가 냉각수로 어셈블리(100)에 일체로 결합되어 있었으나, 도 20과 같이 유입버퍼부(200)와 유출버퍼부(300)가 별도의 연결부재(700)에 의해 냉각수로 어셈블리(100)에 결합될 수도 있다.20 shows a cooling member 1 according to another embodiment of the present invention. In the cooling member of FIGS. 9 to 17, the inflow buffer part 200 and the outflow buffer part 300 were integrally coupled to the assembly 100 with the cooling water, but the inflow buffer part 200 and the outflow buffer part as shown in FIG. 20. 300 may be coupled to the assembly 100 by the coolant by a separate connection member 700.

도 21의 (b)는 연결부재(700)의 일 실시예를 나타낸 것이다. 연결부재(700)는 몸체(701) 및 나사부(702)를 포함하여 구성될 수 있다. 나사부(702)는 유입버퍼부(200), 유출버퍼부(300) 및/또는 냉각수로 어셈블리(100)에 삽입될 수 있다. 나사부(702)와 몸체(701)의 경계에는 고무링(703)이 끼워짐으로써 냉각액의 유출을 막을 수 있다. 도 21의 (b)는 연결부재(700)의 실시예를 도시한 것일 뿐 본 발명이 이에 의하여 한정되는 것은 아니다.21 (b) shows an embodiment of the connection member 700. The connection member 700 may include a body 701 and a threaded portion 702. The screw portion 702 may be inserted into the assembly 100 by the inflow buffer 200, the outlet buffer 300 and / or coolant. A rubber ring 703 is fitted between the threaded portion 702 and the body 701 to prevent the coolant from leaking. FIG. 21B illustrates an embodiment of the connection member 700, but the present invention is not limited thereto.

유입버퍼부(200), 유출버퍼부(300) 및 냉각수로 어셈블리(100)에는 나사부(702)와 결합하기 위한 나사산이 형성되어 있을 수 있다. 이 나사산은 유입버퍼부(200), 유출버퍼부(300) 및 냉각수로 어셈블리(100)를 압출에 의해 가공한 다음에 필요한 위치에 별도의 공작기계를 이용하여 형성할 수 있다. Threads for coupling with the threaded portion 702 may be formed in the inlet buffer portion 200, the outlet buffer portion 300, and the coolant passage assembly 100. The thread may be formed by using an additional machine tool at the required position after the inlet buffer unit 200, the outlet buffer unit 300, and the assembly 100 by extrusion process the cooling water.

도 21은 본 발명의 실시예에 따른 냉각부재가 사용될 수 있는 환경을 도시한 것이다. 21 shows an environment in which a cooling member according to an embodiment of the present invention can be used.

도 21의 (a) 및 도 21의 (b)는 각각 LCD 기판과 같은 기판이 처리될 수 있는 기판 처리장치의 평면도 및 정면도를 나타낸 것이다. 챔버(501)에는 LCD 기판을 이송하는 이송로봇이 설치되어 있을 수 있다. 가열된 기판이 상기 이송로봇에 의해 진공챔버(500) 안으로 이송될 수 있다. 21 (a) and 21 (b) show a plan view and a front view of a substrate processing apparatus capable of processing a substrate such as an LCD substrate, respectively. The chamber 501 may be provided with a transfer robot for transferring the LCD substrate. The heated substrate may be transferred into the vacuum chamber 500 by the transfer robot.

도 21의 (c)는 진공챔버(500)의 구성을 나타낸 것이다. 진공챔버(500)는 챔버외벽(501)과, 진공챔버(500) 내부에 워크피스(work piece)(600)를 고정하거나 전자장치와 같은 처리장치(601)를 고정하기 위한 고정대(502)를 포함할 수 있다. 워크피스(600)는 LCD 기판과 같은 기판일 수 있으며, 이 기판은 섭씨 수백도로 가열된 상태로 이송로봇에 의해 진공챔버(500) 안으로 이송될 수 있다.21C shows the configuration of the vacuum chamber 500. The vacuum chamber 500 includes a chamber outer wall 501 and a fixture 502 for fixing a workpiece 600 inside the vacuum chamber 500 or a processing apparatus 601 such as an electronic device. It may include. The workpiece 600 may be a substrate, such as an LCD substrate, which may be transferred into the vacuum chamber 500 by a transfer robot while heated to several hundred degrees Celsius.

본 발명에 따른 냉각부재(1)는 처리장치(601)의 표면에 부착되거나 또는 처리장치(601)로부터 얼마간 떨어진 상태로 고정되어 있을 수 있다. 냉각부재(1)는 워크피스(600)로부터 복사되거나 대류되어 전달되는 열 에너지를 흡수하여 진공챔버(500) 외부로 방출할 수 있다.(단, 대류는 진공챔버 내에 가스가 존재하는 경우). 이를 위해 냉각부재(1)에는 냉각수가 사용될 수 있다. 이때, 도 17의 (b) 및 도 17의 (d)에서 설명한 제1 면(2)은 워크피스(600) 쪽을 향할 수 있다.The cooling member 1 according to the present invention may be attached to the surface of the processing apparatus 601 or fixed in a state some distance from the processing apparatus 601. The cooling member 1 may absorb the heat energy radiated or convectively transmitted from the workpiece 600 and may be discharged to the outside of the vacuum chamber 500 (provided that convection is present in the vacuum chamber). Cooling water may be used for the cooling member 1 for this purpose. In this case, the first surface 2 described with reference to FIGS. 17B and 17D may face the workpiece 600.

도 21의 (c)를 살펴보면, 워크피스(600)로부터 방출되는 열 에너지가 챔버외벽(501)을 통해 진공챔버(500)의 바닥면으로부터 처리장치(601)로 전달되거나, 진공챔버(500) 내에 존재하는 미량의 기체에 의해 대류되어 처리장치(601)의 아래쪽으로 전달될 수 있다. 따라서, 냉각부재(1)는 처리장치(601)의 상면뿐만 아니라 하면을 감쌀 수도 있다. 마찬가지로 처리장치(601)의 측면을 감쌀 수도 있다.Referring to FIG. 21C, thermal energy discharged from the workpiece 600 is transferred from the bottom surface of the vacuum chamber 500 to the processing apparatus 601 through the chamber outer wall 501 or the vacuum chamber 500. Condensation may be delivered to the bottom of the treatment device 601 by traces of gas present therein. Therefore, the cooling member 1 may cover not only the upper surface but also the lower surface of the processing apparatus 601. Similarly, the side surface of the processing apparatus 601 may be wrapped.

본 발명에 따른 냉각부재의 용도가 기판 제조를 위한 진공챔버에서만 사용되는 것으로 한정되지 않는다는 것을 이해할 수 있다.It will be appreciated that the use of the cooling member according to the invention is not limited to being used only in a vacuum chamber for manufacturing a substrate.

도 22는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부재가 처리장치와 결합된 일 예를 나타낸 것이다.22 shows an example in which a cooling member according to an embodiment of the present invention is combined with a processing apparatus.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

1, 1': 냉각부재 2: 제1 면
3: 제2 면 10 ~ 16, 1010: 수로
10_1: 수로 유입구 10_2: 수로 유출구
20: 유입부 유동공간 30: 유출부 유동공간
40, 1040: 유입구 50, 1050: 유출구
100: 냉각수로 어셈블리 101, 101_1, 101_2: 냉각수로 유닛
101A, 101B: 변형 냉각수로 유닛
103, 104: 종결부재 110: 슬롯
111, 111T, 111B: 돌출부
120, 120T: 결합홀 121: 결합부재
160: 결합경계 200: 유입버퍼부
250, 251: 유체유도 칸막이
300: 유출버퍼부 500: 진공챔버
501: 챔버 502: 고정대
600: 워크피스 601: 처리장치
700: 연결부재1, 1 ': cooling member 2: first surface
3: second page 10-16, 1010: channel
10_1: channel inlet 10_2: channel outlet
20: inlet flow space 30: outlet flow space
40, 1040: inlet 50, 1050: outlet
100: coolant passage assembly 101, 101_1, 101_2: coolant passage unit
101A, 101B: Unit with Modified Coolant
103, 104: terminating member 110: slot
111, 111T, 111B: protrusions
120, 120T: coupling hole 121: coupling member
160: binding boundary 200: inlet buffer
250, 251: fluid guide partition
300: outflow buffer 500: vacuum chamber
501: chamber 502: fixing table
600: workpiece 601: processing unit
700: connecting member

Claims (17)

제1 관통 홀이 형성되어 있으며 제1 체결부를 갖는 제1 냉각수로 유닛; 및
제2 관통 홀이 형성되어 있으며 제2 체결부를 갖는 제2 냉각수로 유닛
를 포함하며,
상기 제1 체결부와 상기 제1 관통 홀은 각각 상기 제1 냉각수로 유닛의 길이 방향을 따라 형성되어 있고, 상기 제2 체결부와 상기 제2 관통 홀은 각각 상기 제2 냉각수로 유닛의 길이 방향을 따라 형성되어 있으며,
상기 제1 체결부를 상기 제2 체결부에 맞물림으로써(engaging) 상기 제1 냉각수로 유닛과 상기 제2 냉각수로 유닛이 결합되어 있는,
냉각수로 어셈블리.A first cooling water passage unit having a first through hole and having a first fastening portion; And
A second cooling water passage unit having a second through hole and having a second fastening portion;
Including;
The first fastening portion and the first through hole are respectively formed along the longitudinal direction of the unit with the first cooling water, and the second fastening portion and the second through hole are each with the second cooling water in the longitudinal direction of the unit. Is formed along the
The first cooling unit and the second cooling unit are coupled to each other by engaging the first coupling unit with the second coupling unit;
Assembly with coolant. 제1항에 있어서, 상기 제1 관통 홀 및 상기 제2 관통 홀을 통해 냉각액이 흐르도록 되어 있으며, 상기 제1 관통 홀 및 상기 제2 관통 홀은 병렬로 나란히 배치되어 있는, 냉각수로 어셈블리.The cooling water passage assembly according to claim 1, wherein a coolant flows through the first through hole and the second through hole, and the first through hole and the second through hole are disposed in parallel in parallel. 제1항에 있어서, 상기 제1 체결부는 상기 제1 냉각수로 유닛의 길이 방향을 따라 연장되어 있는 돌출부이고, 상기 제2 체결부는 상기 제2 냉각수로 유닛의 길이 방향을 따라 연장되어 있는 함몰부이며, 상기 돌출부와 상기 함몰부는 각각 서로 맞물려 상호 고정되는 형상을 갖는, 냉각수로 어셈블리.The method of claim 1, wherein the first fastening portion is a protrusion extending along the longitudinal direction of the unit with the first cooling water, the second fastening portion is a depression extending along the longitudinal direction of the unit with the second cooling water. , The protrusion and the recessed portion has a shape that is engaged with each other and fixed to each other, the cooling water assembly. 제1항에 있어서, 상기 제1 냉각수로 유닛 중 상기 제1 체결부가 형성되어 있는 쪽의 반대쪽에는 상기 제2 체결부와 동일한 형상을 갖는 제3 체결부가 형성되어 있고, 상기 제2 냉각수로 유닛 중 상기 제2 체결부가 형성되어 있는 쪽의 반대쪽에는 상기 제1 체결부와 동일한 형상을 갖는 제4 체결부가 형성되어 있는, 냉각수로 어셈블리.According to claim 1, The third fastening portion having the same shape as the second fastening portion is formed on the opposite side of the first cooling water passage unit in which the first fastening portion is formed, Among the second cooling water passage unit And a fourth fastening portion having the same shape as the first fastening portion is formed on the side opposite to the side where the second fastening portion is formed. 제1항에 있어서, 상기 제1 냉각수로 유닛과 상기 제2 냉각수로 유닛은 동일한 형상을 갖는, 냉각수로 어셈블리.The coolant furnace assembly of claim 1, wherein the first coolant furnace unit and the second coolant furnace unit have the same shape. 제1항에 있어서, 상기 냉각수로 어셈블리의 일 면의 표면적이 상기 일 면의 반대쪽의 타 면의 표면적보다 크도록 상기 일 면의 표면이 거칠게 되어 있는, 냉각수로 어셈블리.The cooling water furnace assembly according to claim 1, wherein the surface of the one surface is roughened so that the surface area of one surface of the cooling water passage assembly is larger than the surface area of the other surface opposite the one surface. 제6항에 있어서, 상기 제1 냉각수로 유닛의 일 면은 상기 냉각수로 어셈블리의 일 면의 일부이며, 상기 제1 냉각수로 유닛의 타 면은 상기 냉각수로 어셈블리의 타 면의 일부인, 냉각수로 어셈블리.The coolant furnace assembly of claim 6, wherein one side of the first coolant furnace unit is part of one side of the coolant furnace assembly, and the other side of the first coolant furnace unit is part of the other side of the coolant furnace assembly. . 제1항에 있어서, 상기 제1 냉각수로 유닛의 일 면은 상기 냉각수로 어셈블리의 일 면의 일부이며, 상기 제1 냉각수로 유닛의 타 면은 상기 냉각수로 어셈블리의 타 면의 일부이고, 상기 제1 관통 홀의 상기 제1 냉각수로 유닛의 일 면 쪽 단부는 상기 제1 냉각수로 유닛의 타 면 쪽 단부보다 넓은, 냉각수로 어셈블리.The cooling system of claim 1, wherein one surface of the first cooling water path unit is part of one surface of the cooling water path assembly, and the other surface of the first cooling water path unit is a part of the other surface of the cooling water path assembly. 1 The end of one side of the first cooling water passage unit of the through hole is wider than the end of the other side of the first cooling water passage unit. 제1항에 있어서, 상기 제1 체결부와 상기 제2 체결부에는 상기 제1 체결부와 상기 제2 체결부를 상호 고정시키는데 사용되는 체결부재가 결합되도록 되어 있는 결합 홀이 각각 형성되어 있는, 냉각수로 어셈블리.The cooling water according to claim 1, wherein the first fastening portion and the second fastening portion are respectively formed with coupling holes for engaging the fastening members used to mutually secure the first fastening portion and the second fastening portion. Into assembly. 냉각수로 유닛으로서, 상기 냉각수로 유닛은 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 냉각수로 어셈블리에 포함되는 제1 냉각수로 유닛과 동일한 것인, 냉각수로 유닛.A cooling water passage unit, wherein the cooling water passage unit is the same as the first cooling water passage unit included in the cooling water passage assembly according to any one of claims 1 to 8. 제10항에 있어서, 상기 냉각수로 유닛은 압출에 의해 형성된 것인, 냉각수로 유닛.The coolant furnace unit of claim 10, wherein the coolant furnace unit is formed by extrusion. 냉각수로 유닛으로서, 상기 냉각수로 유닛은 제9항의 냉각수로 어셈블리에 포함되는 제1 냉각수로 유닛과 동일한 것인, 냉각수로 유닛.A cooling water passage unit, wherein the cooling water passage unit is the same as the first cooling water passage unit included in the cooling water passage assembly of claim 9. 제12항에 있어서, 상기 냉각수로 유닛은 압출에 의해 형성된 것인, 냉각수로 유닛.The unit of claim 12, wherein the unit is formed by extrusion. 일 방향을 따라 냉각액이 흐르도록 관통 홀이 형성되어 있는 냉각수로 유닛으로서,
일 방향으로 길게 형성된 냉각수로 유닛 본체;
상기 본체의 일 측면에 형성된 제1 체결부; 및
상기 본체의 타 측면에 형성된 제2 체결부
를 포함하며,
상기 냉각수로 유닛과 동일한 형상을 갖는 제1 냉각수로 유닛 및 제2 냉각수로 유닛을 서로 나란히 결합할 때에 상기 제1 냉각수로 유닛의 상기 제1 체결부는 상기 제2 냉각수로 유닛의 상기 제2 체결부와 결합되도록 상기 제1 체결부는 상기 제2 체결부의 형상과 상호 대응되는 형상을 갖는,
냉각수로 유닛.A cooling water passage unit in which a through hole is formed so that a coolant flows along one direction.
A unit body with cooling water elongated in one direction;
A first fastening part formed on one side of the main body; And
Second fastening portion formed on the other side of the body
Including;
The first fastening portion of the first cooling water passage unit when the first cooling water passage unit and the second cooling water passage unit having the same shape as the cooling water passage unit are coupled side by side to each other, the second fastening portion of the second cooling water passage unit. The first fastening portion has a shape corresponding to the shape of the second fastening portion to be coupled with,
Unit with coolant. 제14항에 있어서, 상기 제1 체결부는 상기 일 방향을 따라 상기 본체의 일 측면에 형성된 돌출부이고, 상기 제2 체결부는 상기 일 방향을 따라 상기 본체의 타 측면에 형성된 슬롯으로서 상기 돌출부에 대응되는 형상을 갖는, 냉각수로 유닛.15. The method of claim 14, wherein the first fastening portion is a protrusion formed on one side of the main body in the one direction, the second fastening portion corresponding to the protrusion as a slot formed on the other side of the main body in the one direction Unit with cooling water, having a shape. 제15항에 있어서, 상기 돌출부와 상기 본체가 접한 부분에서, 상기 돌출부의 단면은 상기 본체로부터 멀어질수록 넓어지는 형상을 하는, 냉각수로 유닛.The cooling water flow path unit according to claim 15, wherein in a portion where the protrusion and the main body come into contact with each other, the cross section of the protrusion has a shape that becomes wider away from the main body. 제14항에 있어서,
상기 제1 체결부는 상기 일 방향을 따라 상기 본체의 일 측면에 형성된 제1 돌출부이고, 상기 제2 체결부는 상기 일 방향을 따라 상기 본체의 타 측면에 형성된 제2 돌출부이며,
상기 제1 돌출부에는 제1 관통 홀이 형성되어 있고, 상기 제2 돌출부에는 제2 관통 홀이 형성되어 있고,
상기 제1 냉각수로 유닛의 상기 제1 관통 홀과 상기 제2 냉각수로 유닛의 상기 제2 관통 홀을 결합부재에 의해 결합함으로써 상기 제1 냉각수로 유닛과 상기 제2 냉각수로 유닛이 상호 결합되는,
냉각수로 유닛.






The method of claim 14,
The first fastening portion is a first protrusion formed on one side of the main body in the one direction, the second fastening portion is a second protrusion formed on the other side of the main body in the one direction,
A first through hole is formed in the first protrusion, a second through hole is formed in the second protrusion,
The first cooling water path unit and the second cooling water path unit are coupled to each other by coupling the first through hole of the first cooling water path unit and the second through hole of the second cooling water path unit by a coupling member.
Unit with coolant.






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